Темы диссертаций и авторефератов по специальности «Оборудование производства электронной техники», ВАК РФ 05.27.07

Тема диссертацииАвторГодВ корзину
Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производствАндрианов, Андрей Михайлович2000
Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производствеКовалев, Анатолий Андреевич2000
Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техникиКеменов, Владимир Николаевич2000
Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производстваХаханин, Сергей Юрьевич2000
Система диагностики механических элементов вакуумного оборудованияПересадько, Андрей Григорьевич2000
Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологийВасин, Владимир Анатольевич2000
Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработкиСосунов, Александр Геннадьевич2000
Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогреваНевшупа, Роман Александрович1999
Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движенияВасиленко, Николай Васильевич1999
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок :Применительно к сборке ИС в полимерные корпусаТыщишин, Василий Васильевич1999
Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального Коган, Иосиф Леонидович1999
Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частицУгольников, Сергей Викторович1998
Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеровСемин, Юрий Федорович1998
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографииБалашов, Владимир Николаевич1998
Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудованияМихальцов, Евгений Петрович1998
Повышение вакуумных и фикционных характеристик механизмов с твердосмазочным покрытием на основе дисульфида молибдена для вакуумного технологического оборудованияБеликов, Андрей Иванович1998
Разработка методического и приборного обеспечения испытаний радиоэлектронных средств на акустические воздействияКороленко, Елена Викторовна1998
Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектронаТупик, Виктор Анатольевич1998
Исследование и оптимизация систем теплоснабжения производства электронной техникиПасков, Василий Викторович1997
Исследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудованияГущин, Игорь Витальевич1997
Основы проектирования процессов и устройств для производства СБИС с использованием плазмы магнетронного разрядаСырчин, Владимир Кимович1997
Повышение выхода горных СБИС путем удаления привнесенных микрочастиц в вакуумеБулыгина, Екатерина Вадимовна1997
Построение прецизионных координатных систем и механизмов оборудования производства электронной техникиКарпович, Святослав Евгеньевич1997
Развитие теории и основ проектирования низковольтного электронно-оптического оборудования для диагностики изделий интегральной электроникиСуворинов, Александр Владимирович1997