Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Аккулов, Руслан Иршатович

• Аккулов, Руслан Иршатович
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Аккулов, Руслан Иршатович

i Cip.

Введение.'.

Глава 1. Состояние вопроса, задачи исследования

1.1 Общие замечания.

1.2 Межоперационные транспортирующие средства.:.

1.3 Объект исследования - транспортная система гибкой автоматизированной линии.

1.4 Краткий обзор работ по теме исследования.

1.5 Задачи и методы исследования.

1.6 Результаты и выводы. f

Глава 2. Исследование свойств тяговых органов пассиковых агрегатов.

2.1 Общие замечания.

2.2 Классификация тяговых органов пассиковых агрегатов.

2.3 Механические характеристики пассиков.

2.4 Вязко-упругие свойства комбинированных пассиков.

2.5 Сравнительные испытания пассиков на износоустойчивость.

2.6 Результаты и выводы.

Глава 3. Исследование взаимодействия пассиков с роликами и транспортируемыми объектами.

3.1 Общие замечания.

3.2 Составление дифференциальных уравнений движения ветвей пассикового агрегата.

3.3 Внешняя нагрузка на ветвях пассикового агрегата.

3.4 Решение дифференциального уравнения движения ветвей пассикового агрегата при стационарном режиме его работы.

3.5 Параметры взаимодействия пассика с роликами и транспортируемыми объектами.

3.6 Результаты и выводы.

Глава 4. Исследование параметров генерации загрязнений элементами пассикового ^ агрегата.

4.1 Общие замечания. Критерий привносимой дефектности.

4.2 Исходные условия для оценки интенсивности образования частиц изнашивания в парах фения.

4.3 Интенсивность генерации загрязняющих частиц парами «пассик-ролик».

4.4 Интенсивность генерации загрязняющих частиц парами «пассик-транспортируемый» объект.

4.5 Анализ влияния различных факторов на интенсивность генерации загрязнений парами «пассик-ролик» и «пассик-ТО».

4.5.1 Влияние обобщенных параметров на интенсивность пылегенерации.

4.5.2 Численный анализ влияния значимых параметров.

4.5.3 Экспериментальная проверка полученных решений.

4.6 Результаты и выводы.

Глава 5. Технические нормы и методики для проектирования и эксплуатации И АТС микроэлекгроники.

5.1 Общие замечания.

5.2 Технические нормы на параметры пассикового агрегата.

5.2.1 Технические нормы на габаритные размеры ПА. 130.

5.2.2 Тип пассика, нормы для размеров его сечения, предварительные напряжение и натяжение пассика.

5.2.3 Диаметры роликов, величина хода натяжного устройства, минимальный зазор между секциями и другие нормы и рекомендации.

5.3 Методика (основная) проектирования пассикового агрегата.

5.3.1 Выбор типа пассика.

5.3.2 Назначение межосевого расстояния а.•.

5.4 Особенности проектирования пассиковых секций для загрузки и разгрузки транспортируемых объектов.

5.4.1 Особенность методики проектного расчета ПА при установке транспортируемого объекта на движущиеся пассики.

5.4.2 Особенности проекгного расчета ПА при съеме транспортируемого объекта с движущихся пассиков.

5.5 Методики эксплуатации пассиковых агрегатов.

5.5.1 Хранение пассиков.

5.5.2 Монтаж пассика.

5.5.3 Предварительная вытяжка пассиков перед установкой в пассиковый агрегат.

5.5.4 Установка и контроль натяжения пассиков в ПА.

5.5.5 Рекомендации по повышению износостойкости комбинированных пассиков. 163 5.6 Результаты и выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов межоперационных транспортных систем микроэлектроники»

Актуальность темы. Современное развитие микроэлектроники связывают с изготовлением кристаллов больших площадей с минимальными топологическими размерами структур. Такое сочетание требует предельно высоких точностей и чистоты производства, усложнения технологических операций и средств защиты от привносимой дефектности, увеличения продолжительности обработки и пути прохождения п/п пластинами всего технологического маршрута до нескольких десятков км. Выполнение таких работ может быть решено только на основе комплексной автоматизации и механизации производства и внедрения новых прогрессивных технологий, в том числе "безлюдных"-типа гибких автоматизированных линий (ГАЛ), объединенных транспортной системой в единый комплекс из нескольких унифицированных технологических модулей для обработки п/п пластин с загрузкой, хранением и выгрузкой без участия оператора.

Важную роль в автоматизированном производстве микроэлектроники играет транспортная система (ТС), поскольку межоперационные перемещения п/п пластин сопровождают ее от начала и до конца технологического маршрута. Уменьшение топологических размеров ИС при одновременном увеличении площади кристалла повышает вероятность появления дефектов на пластине в виде загрязняющих частиц. Поэтому межоперационный транспорт должен обладать не только надежностью в работе, но и быть чистым в том смысле, что генерация загрязняющих частиц самим транспортирующим агрегатом должна быть исчезающее малой и обеспечивать заданную чистоту для производства ИЭТ.

Транспортирующие агрегаты ТС микроэлектроники должны обладать работоспособностью, в том числе в вакуумированных объемах, и функциональной пригодностью, простотой конструкции и легкостью в обслуживании, иметь исчезающее малую интенсивность пылегенерации и низкую стоимость, возможность обеспечения гибкого маршрута. Таким качеством в большей мере отвечают пассиковые агрегаты (ПА) ТС МЭ, особенно при реализации горизонтальных маршрутов обработки п/п пластин.

Однако малая изученность ПА - этого нового вида транспортирующих устройств, отсутствие широких исследований и общей теории, отражающей ее специфические особенности, ограничивает возможности создания современных ТС МЭ, в том числе с такими агрегатами. Поэтому исследование и усовершенствование транспортных систем МЭ является актуальными и своевременными, и составляет основную цель диссертационного исследования.

Целью работы является разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем микроэлектроники при выполнении следующих задач исследования:

- разработать классификацию пассиков, облегчающих выбор рационального типа из наиболее перспективных для каждого вида пассикового агрегата; изучить и уточнить необходимые для проектирования и эксплуатации характеристики наиболее перспективных пассиков - по механическим, упругим, реологическим свойствам и интенсивности пылегенерации;

- исследовать закономерности взаимодействия ветвей пассикового aiperaTa с роликами и транспортируемыми объектами и установить влияние параметров взаимодействия на работоспособность деталей и интенсивность пылегенерации элементами пассиковых агрегатов.

- исследовать механизмы генерации загрязняющих частиц изнашивания в парах "пассик-ролик" и "пассик - транспортируемый объект" и составить зависимости для оценки интенсивности пылегенерации ^тими парами;

- обосновать технические нормы и составить методики для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем микроэлектроники.

Методы исследования. В работе проведено комплексное теоретическое и экспериментальное исследование. Руководящим принят теоретический метод исследования, базирующийся на положениях фундаментальных наук по прочности, теории механизмов и деталей машин, по трению и изнашиванию твердых тел и проектированию механизмов.

Экспериментальная часть работы выполнена на оборудовании для определения стандартных свойств материалов, а также с применением электротензометрии и виброизмерительной техники, долговременных статических испытаний и сравнительных испытаний на износоустойчивость. Созданы оригинальные установки, стенды, приспособления и приборы. При численном анализе использована ЭВМ.

Научные положения, совокупность которых представляет собой теоретические обобщения и решение крупной научной задачи, имеющее важное народнохозяйственное значение:

- нормальное функционирование межоперационной транспортной системы с пассиковыми агрегатами для производства ИЭТ, допустимая привносимая дефектность в процессе межоперационных перемещений п/п пластин, работоспособность и функциональная пригодность, долговечность деталей ПА обеспечивается закономерностями взаимодействия ветвей пассиков с роликами и транспортируемыми объектами;

- силовые и кинематические параметры взаимодействия ветвей с элементами Г1А определяются типом, размерами и структурой сечения пассиков, его изгибной жесткостью, механическими и реологическими свойствами, интенсивностью изнашивания рабочих поверхностей пассиков, массой и формой опорной поверхности транспортируемых объектов, размерами и параметрами шероховатости ободов роликов и контактирующей поверхностью ТО;

- пассиковые агрегаты являются новой модификацией механизмов с гибкими связями, новым видом транспортирующих устройств с гибкими связями, сочетающие в себе элементы ременных и пассиковых передач, сверхлегких канатных и ленточных конвейеров с предельно малыми нагрузками и с исчезающе малой интенсивностью пылегенерации; низкие эксплуатационные показатели созданных модулей ТС ГАЛ с пассиковыми агрегатами объясняются малой изученностью таких механизмов, отсутствием широких исследований и общей теории, отражающих специфические особенности ПА; научно обоснованные автором технические нормы и методики для проектирования и эксплуатации ПА и другие разработки диссертации позволяют создавать транспортные системы МЭ; отвечающие уровню лучших мировых достижений.

Научная новизна работы заключается в комплексе теоретических и экспериментальных исследований, отражающие специфические особенности транспортных систем МЭ с пассиковыми агрегатами на базе которого:

- разработана классификация пассиков, обоснованы критерии и методика выбора из наиболее перспективных рационального типа пассика для каждого типа агрегата транспортной системы;

- установлены закономерности деформаций и уточнены эксплуатационные характеристики наиболее перспективных комбинированных тяговых органов для пассиковых агрегатов;

- уточнены закономерности взаимодействия элементов пассиковых агрегатов и установлено влияние параметров ПА на эксплуатационные показатели транспортных систем МЭ;

- установлено, что из-за изгибной жесткости пассиков в местах сбегания их с роликов возникают реактивные силы, которые в сочетании с максимальной скоростью скольжения, образуя пары трения, генерируют загрязняющие частицы изнашивания; по интенсивности пылегенерации не только соизмеримые с выбросами загрязнений из других кинематических пар, но и превосходящие их в разы - этот важный факт для чистых производств не нашел освещения в общей теории механизмов с гибкими звеньями;

- выявлено, что механизмы генерации загрязнений парами «пассик-ролик» и «пассик-транспортируемый объект» могут быть описаны на основе положений теории усталостного изнашивания твердых тел, что важно для составления необходимых зависимостей для оценки интенсивности пылегенерации пар трения еще на этапах проектирования;

- обоснованы технические нормы и разработаны методики для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем микроэлектроники.

Практическая значимость работы заключается в следующем:

1. В результате проведенных испытаний различных типов пассиков установлены наиболее перспективные типы, для которых определены необходимые для расчетной нракгики основные параметры - пределы прочности о, модули упругости Е, коэффициенты Пуассона ц, предварительные напряжения о0, реологические компоненты v~f(t),snn = fit) и др.

2. Систематизированы сведения по конструктивному исполнению, свойствам и ассортименту наиболее перспективных отечественных пассиков и пассиков иностранных фирм - производителей (Швейцария, Германия, Словения, Япония) с указанием адресов их представительств, что позволяет, в частности эксплуатационникам заказывать непосредственно через фирмы необходимые типы пассиков и монтировать их под свои нужды.

3. Разработки в виде инструкций, методических указаний и рекомендаций, технические нормы и методики для проектирования и эксплуатации, оформленные в виде отдельной методики, переданы конструкторам и эксплуатационникам для использования при проектировании и эксплуатации транспортных систем МЭ. Результат работы используется в учебном процессе при чтении разделов курсов «Детали машин» и «Методы и средства измерений, испытаний и контроля», в том числе и в лабораторных работах.

На защиту выносятся:

1. Результаты обобщений по систематизации и классификация тяговых органов и исследование их свойств, применительно к условиям эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем микроэлектроники.

2. Результаты исследований по взаимодействию ветвей пассиков с роликами и транспортируемыми объектами и обобщений по влиянию параметров взаимодействия на эксплуатационные показатели транспортных систем МЭ.

3. Результаты исследования механизма генерации загрязнений парами «пассик-ролик» и «пассик - транспортируемый объект», анализа и оценки влияния различных параметров ПА на интенсивность пылегенерации этими парами.

4. Технические нормы и методики проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов, обеспечивающих работоспособность и чистоту транспортных систем микроэлектроники.

Достоверность результатов обусловлена не противоречием исходных положений фундаментальных наук в области прочности, теории механизмов и деталей машин, теории трения и изнашивания, подтверждаются проверками на адекватность по экспериментальным данным и сравнениям с известными решениями в литературе, в том числе допускают правильный предельный переход к известным из литературы более простым частным случаям.

Апробация работы. Основные положения работы докладывались и обсуждались на , следующих конференциях:

10-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2003» Москва 2003;

11-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2004» Москва 2004;

12-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2005» Москва 2005;

V-я Международная научно-техническая конференция «Электроника и информатика -2005» Москва 2005;

13-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика - 2006» Москва 2006.

Публикации. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 12 печатных работах в научно-технических журналах, сборниках научных трудов и тезисов докладов.

Структура и объем работы. Диссертация состоит из введения, пяти глав, общих выводов и положений, списка литературы из 107 наименований, в том числе 15 на иностранном языке и приложений. Общий объем составляет 212 страниц, в том числе 173 страницы основного текста, 39 рисунков, 11 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Аккулов, Руслан Иршатович

Основные результаты и выводы работы.

1. Проведен системный анализ межоперационных транспортирующих агрегатов (ТА) транспортных систем МЭ, показаны достоинства и недостатки и даны оценки по их применимости в ТС МЭ. Установлено, что применительно к ТС МЭ, особенно ТС ГАЛ, при реализации горизонтальных, и с небольшими (до 10°-12°) уклонами, маршрутах обработки п/п пластин наиболее перспективными ТА являются пассиковые агрегаты (ПА). Показано, что ПА являются новой модификацией механизмов с гибкими звеньями, новым видом транспортирующих устройств, отличающихся от известных механизмов с гибкими звеньями конструктивными, кинематическими, силовыми, нагрузочными параметрами и эксплуатационными условиями и эта специфичность требует глубоких исследований и уточнений основных положений общей теории механизмов с гибкими звеньями.

2. Показано, что созданные макеты ТС ГАЛ с пассиковыми агрегатами при натурных испытаниях показали неудовлетворительные характеристики по работоспособности и интенсивности пылегенерации. Анализ конструктивных решений таких ТС ГАЛ, использованных материалов для деталей, соотношений основных параметров и т.д. показал, что основными причинами неудачных моделей ТС ГАЛ явились малая изученность ТС с ПА, отсутствие научно обоснованных технических норм и методик для проектирования и эксплуатации транспортных систем с пассиковыми агрегатами.

3. Разработана классификация пассиков, в основу которой положен конструктивный признак, как наиболее информативный по нагрузочной способности и эксплуатационными показателями. Предложенная классификация значительно упрощает выбор необходимого типа пассика для ПА ТС. Показано, что для ПА ТС рациональной конструкцией является пассик комбинированный плоский с симметричной структурой сечения. Установлено, что наиболее перспективными для ПА ТС является комбинированные пассики: отечественного производства - ИСКОЖ, иностранного - фирмы Habasit (Швейцария), тип Суплекс, а также фирмы Extremultus (Германия, Словения), тип GG и фирмы Nitta (Япония), Polybelt с двухсторонними обкладками из синтетических эластомеров.

4. Разработаны средства и методики для изучения механических и реологических свойств наиболее употребительных пассиков в условиях статического и динамического нагружения. Установлены для названных пассиков технические нормы на пределы прочности, относительные удлинения при разрыве, модули упругости, коэффициенты Пуассона; установлены закономерности деформаций ползучести е =f(t) и релаксации напряжений a=f(t), эти закономерности необходимы для обоснованного выбора рационального напряжения пассиков и параметров натяжных устройств ПА ТС.

5. Разработаны средства и методика для сравнительных испытаний по пылегенерации для наиболее перспективных пассиков ПА ТС. Установлено, что наименьшую интенсивность генерации частиц изнашивания имеют плоские комбинированные пассики: из отечественных - ИСКОЖ, из иностранных - Суплекс S (Швейцария). Удовлетворительную износостойкость показали также упомянутые в п.З пассики фирм Extremultus и Nitta.

6. Уточнены закономерности взаимодействия пассиков с роликами и транспортируемыми объектами, при этом задача решена с учетом изгибной жесткости тягового органа при различных случаях нагружения несущей ветви ПА. Эти закономерности позволяют определить основные параметры взаимодействия - прогибы ветвей, углы поворота сечений тягового органа, в том числе «углов жесткости», кривизну пассика и изгибающие моменты в его сечениях, поперечные силы в пассиках в местах набегания ветвей на ролики и сбегания с роликов и др. параметры.

7. Наиболее важным для проектирования Г1А ТС МЭ результатом работы является то, что в местах сбегания пассиков с роликов, из-за изгибной жесткости тягового органа, появляются реактивные силы, которые в сочетании с максимальной скоростью связи по ободу ролика образуют опасные пары трения, генерирующие загрязняющие частицы изнашивания; причем загрязнения из этих пар не только соизмеримы с выбросами загрязнений из других источников, но и могут превосходить их в разы. Этот весьма важный факг для чистых производств не нашел отражения в общей теории механизмов с гибкими связями.

8. Показано, что полученные решения по взаимодействию пассиков с элементами агрегата могут быть использованы для других устройств с гибкими звеньями. Эти решения являются более общими, так как частные случаи этих решений полностью совпадают с известными в литературе более простых задач, что косвенно подтверждает и правильность полученных в диссертации решений.

9. Установлены наиболее опасные подвижные соединения ПА для выбросов загрязнений - пары трения «пассик-ролик» и «пассик-днище транспортируемого объекта». Выявлено, что механизм генерации загрязнений этими парами могут быть описаны на основе положений теории усталостного изнашивания твердых шероховатых тел, что позволило составить зависимости для аналитической оценки интенсивности выбросов загрязнений указанными подвижными соединениями. Показано, что эти зависимости позволяют оценить целесообразность выбранных параметров ПА по критериям привносимой дефектности для эксплуатации их в транспортных системах МЭ, а также дают возможность определять привносимые загрязнения в общий фон технологической среды и необходимое время наработки до профилактической очистки ТС в процессе производства ИЭТ.

10. Обоснованны технические нормы на основные параметры ПА и составлены методики для проектирования и эксплуатации пассиковых агрегатов транспортных систем микроэлектроники. Разработанные технические нормы, методики и другие материалы диссертационного исследования позволяют создавать межоперационные транспортируемые системы для производства ИЭТ на уровне лучших мировых достижений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Аккулов, Руслан Иршатович, 2007 год

1. Назаров Г.В., Сатаров Г.Х. Транспортные и загрузочные системы микроэлектроники.- М.: МИЭТ, 1991.- 67 с.

2. Стасова О.М., Гузенкова Н.Д., Симонова A.M. и др. Основные этапы создания свободного от загрязнений полупроводникового производства. Зарубежная электронная техника, 1997. №1. С. 15-39.

3. Гоманьков И.Л., Редин В.М., Масляный А.Д., Попов Ю.А. Автоматические системы транспортирования кассет с пластинами. //Сб. Производственно-технологическая экология в микроэлектронике. /Под ред. В.М. Редина и В.И. Ушакова. -М.: МИЭТ, 1991.

4. Гольцова М.В. Пути сокращения затрат на освоение производства новых поколений ИС. Зарубежная электронная техника, 1995. № 2-3. С. 63-80.

5. Гребенкин В.З., Громов В.В., Осипова С.Д. и др. Транспортирующие устройства для межоперационного перемещения полупроводниковых пластин при производстве СБИС. Электронная промышленность, 1988. №10. С. 24-26.

6. Eulero L, De pressione funium in corpora subiecta, lorumque motu a frictione impedito, Труды СПБ АН, т. XX, 1775.

7. Тищенко О.Ф., Нестерова Н.П. и др. Элементы приборных устройств, ч. I, М., Высшая школа, 1978,-328с.

8. Андреев А.В. Исследование и расчет конвейерных лент и приборов. М., УХЛЕТЕКИЗДАТ, 1959,-100с.

9. Андреев А.В. Передачи трением. М., Машиностроение, 1978,-176с.

10. Ponselet S, Cours de Mecanique appliquee des Machines, part. 1, 1845. Liege

11. Kretz M, Note sur les transmissions de mouvementa a lacal de courroies, Annales des leines, 1862

12. Resal H, Traite de Mecanique Generall, t.III, 1875

13. Grashof F, Theoretische Maschinenlehre, Bd 2.1883

14. Петров Н.П. Влияние трения при работе упругим ремнем. Известия СПБ технологического института. 1893, с. 1-43.

15. Жуковский Н.Е. О скольжении ремня на шкивах. Труды отдела физических наук Общества любителей естествознания, 1894,-24с.

16. August F. Zeitch.f.Math und Physik, 33, 1888

17. Appel P. Acta Math. 12. 1889

18. Boesner F, Henzi, Maier, Kammerer. Versuche mit Riementriebe, z. d. v. d. J. 1912-650S.21. Hamel G. Elem. Mech. 1922

19. Hamel G. Sitrungsber. d. Berlin Math. Geselsch, 1925-26

20. Hamel G. Zeit. f. angewand. Math. Mech. 7.1927

21. Lorent R. Technishe Mech. Starrer Gebilde, 1924

22. Bisconcini G. Rend. R. Accd. d. Jincei. 6a, 1925

23. Шульце-Пиллот. Г. Новая теория приводных ремней с указанием их расчета. М-JI., Гизлегпром, 1932,-88с.

24. Добровольский В.А. Ременная передача. Харьков, ГосНТИ Украины, 1934,-218с.

25. Пронин Б.А. Исследование долговечности клиновых приводных и вентиляторных ремней и КПД клиноременных передач. МАМИ, Дис. . канд.техн.наук, М, 1950,-268с.

26. Гутьяр Е.М. Скольжение ремня на шкивах. Вестник металлопромышленности, 1937, №18, с.7-17.

27. Гутьяр Е.М. Определение модуля упругости приводных ремней. Известия высш. учеб. заведений. М.: Машиностроение, 1959, №1, с.3-7.

28. Цепляев М.В. Передачи с гибкой связью. М., Оборонгиз. 1941,-76с.

29. Пронин Б.А. Клиноременные и фрикционные передачи и вариаторы. Машгиз, 1960,-334с.

30. Иванов Е.А. Ременные передачи. JL, Машгиз, 1948,-148с.

31. Табличные расчеты деталей станков. Машгиз., 1952,-270с.

32. Решетов Д.Н., Левина З.М. Расчет передач гибкой связью (ременных и цепных). "Вестник машиностроения", 1952, №12, с.14-26.

33. Мавлютов P.P. КПД быстроходных ременных передач. Сб. трудов Уфимского авиац.ин-та, Башк.кн.из-во, 1956, с.75-91.

34. Светлицкий В.А. Передачи с гибкой связью. Из-во "Машиностроение", 1967,-156с.

35. Станько Д.Г. К вопросу теории ременной передачи. Из-я Томского политехнического института. им.С.М. Кирова. Т.68, Вып.1, 1951,с.315-337.

36. Старосельский А.А. О трении лент о цилиндрическую поверхность. Сб. Расчет, конструирование и исследование передач. Изд. Одесского политехнического института, 1958, с.З-Н.

37. Волошина Л.П. О некоторых механических свойствах прорезиненных ремней. Вестник машиностроения, 1954, №11, с.28-29.

38. Теллис И.Я. Экспериментальное определение дуги покоя и скольжения в передаче гибкой лентой. Науч. записки Одесского политехнического института. Т.9, 1956, с.99-104.

39. Вирабов Р.В. О влиянии центробежных сил на работу ременной передачи. Ж. Вестник машиностроения. 1966, №11, с.23-27.

40. Челкн А.П. Производство приводных ремней, транспортных лент, и рукавов. М., Госхимиздаг. 1954,-244с.

41. Воробьев И.И. и др. Плоские приводные бесконечные ремни из синтетических материалов. М., НИИМАШ, 1967, с Л.

42. Галаджаев Р.С. Исследование деформации клинового ремня методом электротензометрирования. Труды НПИ, т. 153, 1964, с.35-42.

43. Галаджие Р.С. О ползучести клиновых ремней в условиях эксплуатации. Каучук и резина. 1964, №6, с.47-50.

44. ТУ 17-1245-75. Ремни приводные плоские бесконечные из синтетических материалов. 4с.

45. Богатырев И.С., Пронин Б.А. Машины для испытания ременных передач на тяговую способность и КПД. Вестник машиностроения. 1951, №10, с.32-35.

46. Крагельский И.В. Динамическое определение прочности текстильных материалов. М., Гизлегпром, Серпухов, 1933, -54с.

47. Крагельский И.В. Трение волокнистых веществ. M-JL, Гизлегпром, Калуга, 1941,-128с.

48. Горалик Б.М. Некоторые особенности работы резины как конструкционного материала. Труды НИИРП, Сб.№2, 1955,с.3-13.

49. Беляев В.Н. Ременные передачи. В кн. Детали машин. Сборник материалов по расчету и конструированию. Кн.1, Машгиз, М., 1953, с.507-562.

50. Беляев В.Н. Современное состояние расчета и конструирования плоскоременных передач. Передачи в машиностроении. М., Из-во АН СССР, 1953, с.338-350.

51. Беляев В.Н., Пронин Б.А. Передачи трением и пути их развития. Передачи в машиностроении. М., Из-во АН СССР, 1953, с.281-298.

52. Беляев В.Н. Плоскоременные передачи. Справочник "Детали машин", под ред. Н.С. Ачеркана, т.З, из-во Машиностроение, 1969, с.346-423.

53. Козьмин П.С. Машины непрерывного транспорта. ч.1 и П. M-J1, Машгиз, 1938/1948-220/358с.

54. Спиваковский А.О., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. М., Машиностроение, 1968,-503с.

55. Долголенко А.А. Подъемно-транспортные машины. JL "Речной транспорт", 1956,-379с.

56. Зенков P.JL, Петров М.М. Конвейеры большой мощности. М.: Машиностроение, 1964,-428с.

57. Панкратов С.А. Динамика машин для открытых горных пород и земляных работ. Из-во Машиностроение, 1967,-446с.

58. Завгородний Е.Х. Исследование динамического модуля упругости конвейерных лент. Сб. Вопросы рудничного транспорта, вып. 6, 1962, с.36-43.

59. Биличенко Н.Я. и др. О режимах работы конвейерных прорезиненных лент. Сб. Вопросы рудничного транспорта. М., 1962, с.3-13.

60. Карбасов О.Г. Определение динамических усилий в конвейерной ленте при пуске ленточного конвейера. Известия ВУЗов, Горный журнал, 1962, №9, с.80-86.

61. Лариков Е.А., Виляевская Т.И. Узлы и детали механизмов и приборов: основы теории и расчета. М.: Машиностроение, 1974.-328с.

62. Левин И.Я. Справочник конструктора точных приборов. М.: Машиностроение, 1967.-743с.

63. Литвин Ф.Л. Проектирование механизмов и деталей приборов. Л.: Машиностроение, 1967.-743с.

64. Кулагин В.В. Исследование точности ленточных передач. Дисс. канд. техн. наук, Л., 1965.-212с.

65. Исследование методов и разработка экспериментальных автоматизированных манипуляторов и систем внутриагрегатного транспорта для эпитаксиального оборудования. Отчет о НИР.-№ГРФ-07874/7002070.-М.:,1979.-119с.

66. Разработки и исследование элементов конвейерной системы для автоматизированной поточной линии производства структур на пластине. Отчет по НИР У-10774/43 73415.-М., 1975.-102с.

67. Отчет "Исследование привносимой дефектности механизмами транспортирующего устройства ГАП для производства СБИС" г.р. №018070076092 М: 1988, 873с.

68. Гребенкин В.З., Громов В.В., Сахаров Е.А. Параметры взаимодействия пассиков с пластинами и роликами в транспортирующих устройствах. Сб. научн. трудов "Оборудование гибких производственных систем для микроэлектроники", М.: МИЭ'Г, 1987. с.107-115.

69. Гребенкин В.З., Редин В.М., Сахаров Е.А., Цейгалов А.В. Исследование пылегенераций кинематическими парами в транспортирующих устройствах ГАЛ при межоперционных перемещениях полупроводниковых пластин. Сб. научн. трудов

70. Обеспечение и контроль чистых помещений и технологических сред в производстве изделий микро- и радиоэлектроники. /Под ред. И.Г. Блинова. М.: МИЭТ, 1989. с.73-80.

71. Митропольский А.К. Техника статистических вычислений. М.: Наука, 1971.-576с.

72. Румлинский J1.3. Математическая обработка результатов эксперимента. Справочное пособие. М.: Наука, 1971.-192с.

73. Транспортирующие устройства с автоматическим адрессованием грузов для АПЛ по производству ПП приборов с использованием комбинированных лент "Habasit" и "Poly Ве1Г.Технический отчет по НИР, М.: МИЭТ, ГР №750604456, 1976.-127с.

74. HABASIT® conveyor belting made from high quality synthetics, T25, Рейнах-Базель (Швейцария), 1968.-15c.

75. HABASIT AG СН-4153 Reinach-Basel/Schweiz, 1968.-Юс.

76. Гребенкин В.З., Аккулов Р.И. Выбор рационального типа гибкой связи для транспортирующих пассиковых агрегатов микроэлектроники// Оборонный комплекс -научно-техническому прогрессу России. М.: ФГУП «ВИМИ». 2005. №4. С. 28-32.

77. Исследование тангенциальных приводов машин для переработки химических волокон. Отчет о НИР, М.: МИЭТ, ГР №01850065956, 1995.-141с.

78. Гребенкин В.З., Сахаров Е.А. Релаксация напряжений в комбинированных ремнях. Сб. научных трудов "Научные основы разработки новых технологий и технологического оборудования производства СБИС", М.: МИЭТ, 1988.-С.158-162.

79. Прочность. Устойчивость. Колебания. Справочник в 3-х томах. Т1 и Т2. /Под ред. И.А. Биргера и Я.Г. Пановко. М.: Машиностроение, 1968.-831с./46с.

80. Араманович И.Г. и Левин В.И. Уравнения математической физики. М.: Наука, 1969.-286с.

81. Корн Г. и Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1977.-831с.

82. Тимошенко С.П. Сопротивление материалов в 2-х томах. Т. М.: Наука, 1965.-480с.

83. Василенко Н.В., Ивашов Е.Н., Ковалев Л.К. и др. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства электронной техники. В 2-х томах. Т.2. Красноярск: Кн. изд-во Сиб. аэрокосм, акад., 1996.-416с.

84. Демкин Н.Б. Фактическая площадь касания твердых поверхностей. М.: АН СССР, 1962.-111с.

85. Крагельский И.В., Непомнящий Е. Ф., Харач Г. М. Усталостный механизм иVкраткая методика аналитической оценки величины износа поверхностей трения при скольжении (исходя из свойств материалов и условий их работы). М.: АН СССР, 1967.-19с.

86. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977.-526с.

87. Крагельский И.В., Михин Н.М. Узлы трения машин. М.: Машиностроение. 1984.-280с.

88. Рыбаков C.JI., Крагельский И.В. О механизме износа уплотнительных резин. В Сб. "Резина конструкционный материал современного машиностроения. М.: Химия, 1967.-С.286-294.

89. Проф. Козьмин JI.C. Элеваторы, транспортеры и конвейеры. ч.1. Транспортные устройства с тяговым органом. М.-:Л.: ГосНТИ по машиностроению, металлообработке и черной металлургии, 1932.-428с.

90. Машины непрерывного транспорта /Под ред. В.И. Павлянского. М.: Машиностроение, 1969.-719с.

91. Александров М.П. Подъемно-транспортные машины. М.: Высш. шк. 1972.-504с.

92. Мацумото Г. Чистые системы транспортирования. Денсидзайрс, 1987, т.26, №8, с.62-68 (Яп.).