Математические модели и алгоритмы управления качеством производства материалов на основе углеродных структур тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.01, кандидат технических наук Кравчук, Инна Сергеевна

• Кравчук, Инна Сергеевна
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кравчук, Инна Сергеевна

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ОБЗОРНО-АНАЛИТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ В ОБЛАСТИ

МОДЕЛИРОВАНИЯ И АЛГОРИТМИЗАЦИИ ПРОЦЕССА УПРАВЛЕНИЯ

КАЧЕСТВОМ ПРОИЗВОДСТВА ЭЛЕКТРОННЫХ ОБЪЕКТОВ.

1.1. Основная задача и состояние работ в области управления качеством при производстве наноустройств.

1.2. Структура и свойства наноматериалов.

1.3. Методы производства наноматериалов.

1.4. Устройства на основе наноматериалов.

1.5. Функциональное моделирование системы менеджмента качества на основе IDEF0 в различных процессах производства наноматериалов и электронных устройств.

Выводы по главе 1.

ГЛАВА 2. МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ УПРАВЛЕНИЯ КАЧЕСТВОМ

ПРОИЗВОДСТВА ЭЛЕКТРОННЫХ ОБЪЕКТОВ НА ОСНОВЕ

УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР.

2.1. Классификация задач оптимизации.

2.2. Оптимизация обобщенного критерия качества дискриминационным методом.

2.3. Вероятностное моделирование.

2.4. Задача о замене оборудования.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ И АЛГОРИТМЫ ПОИСКА ОПТИМАЛЬНЫХ УПРАВЛЕНЧЕСКИХ РЕШЕНИЙ В ОБЛАСТИ КАЧЕСТВА ПРОИЗВОДСТВА МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР.

3.1. Адаптивное управление качеством производства наноматериалов.

3.2. Регрессионный анализ.

3.3. Моделирование процесса адаптивного управления с подстройкой параметров модели.

3.4. Методы выбора недоминирующего решения из ряда недоминируемых альтернатив.

3.5. Метод упорядоченного предпочтения через сходство с идеальным решением для задач многоцелевого принятия решений.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. ПРАКТИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ РАЗРАБОТАННЫХ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ И АЛГОРИТМОВ УПРАВЛЕНИЯ КАЧЕСТВОМ.

4.1. Экспериментальные исследования процессов формирования электронных нанообъектов на основе модифицированных углеродных структур.

4.2. Методы сканирующей туннельной микроскопии.

4.3. Расчетные данные оптимизации процессов производства с применением разработанных математических моделей.

Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Математические модели и алгоритмы управления качеством производства материалов на основе углеродных структур»

Интерес к субмикронным структурам связан с возможностью существенной модификации свойств известных веществ, а также новыми возможностями, которые открывает технология создания материалов и изделий из структурных элементов микрометрового диапазона. Современное положение России на мировом рынке требует коренного совершенствования производственных процессов на отечественных предприятиях. На российский рынок постоянно увеличивается приток импортных товаров. Достойную конкуренцию им смогут составить только качественные российские товары. Данные процессы требуют изменений основных принципов управления процессами производства на отечественных предприятиях, создания систем управления качеством, аналогичных существующим в развитых зарубежных странах.

Особенно актуальны проблемы повышения качества продукции в отечественной электронной промышленности. Рынок изделий широкого потребления данной отрасли промышленности насыщен товарами из стран Юго-Восточной Азии, высокотехнологичные системы производят в США, Японии и некоторых странах Западной Европы [22]. Когда в России будет практически организовано производство конкурентноспособных наукоемких изделий электронной техники, что непосредственно связано с внедрением современных систем управления качеством продукции, тогда отечественные электронные системы займут достойное место на мировом рынке.

Увеличение объема производства на российских предприятиях качественных электронных компонентов, стоимость которых будет существенно ниже зарубежных аналогов, позволит сэкономить крупные финансовые средства, а также обеспечить независимость ряда важнейших отраслей отечественной промышленности от зарубежных поставщиков. Изделия электронной техники, создаваемые на базе перспективных проводящих материалов, используются в настоящее время во многих важнейших производственных сферах: авиационной, космической, военной, атомной, энергетической [39]. Также областью использования данных материалов в последнее время стала отрасль новых информационных и телекоммуникационных технологий, применение в которых высокотехнологичных проводящих материалов позволяет создавать высокопроизводительные кластерные информационно-управляющие системы [40]. Развитие технологии изготовления приборов микроэлектроники связано, прежде всего, с уменьшением геометрических размеров микросхем, микрочипов, элементов электронной памяти и микродатчиков различного назначения. Современные средства традиционных технологических операций позволяют получать размеры элементов в субмикронной области: промышленно достигнутая технологическая норма 0,13 мкм позволяет создавать транзисторы размером порядка 1 мкм [71]. Однако дальнейшее уменьшение геометрических размеров функциональных элементов на подложке неизбежно приведет к физическому пределу, определяемому длиной волны ультрафиолетового излучения, применяемого в традиционной фотолитографии [44]. С изобретением сканирующего туннельного микроскопа - СТМ (Рорер, Биннинг — 1981г.) появилась возможность не только наблюдать и исследовать поверхность различных веществ с атомарным разрешением, но и активно воздействовать на нее [59], то есть манипулировать веществом на уровне отдельных молекул и получать объекты из конечного их числа, удаляя, перемещая или замещая молекулы одного вещества другим. Появилась перспектива работать с отдельными атомами. Эта возможность, называемая в современных источниках информации субмикронной технологией [19], позволяет значительно расширить диапазон геометрических параметров искусственно созданных объектов применительно к микроэлектронике.

Целесообразность выбора углерода в качестве подложки и объекта модификации определяется множественностью его аллотропных форм [75], соединений и широкого диапазона электрофизических свойств: от диэлектрических до полупроводниковых [45]. Поэтому формирование электронных объектов на основе модифицированных углеродных структур является задачей актуальной и современной, так как при использовании подобных структур появляется возможность получать как изолирующие, полупроводниковые, так и электропроводящие объекты [56]. Необходимо разработать технологические основы синтеза перспективных материалов, являющихся составной частью системы управления качеством. В процессе производства необходимо достичь соответствующих значений физико-технических параметров производимых материалов.

Контроль параметров производимых материалов в значительной степени определяется метрологическим обеспечением, которое должно удовлетворять уровню технологии. Необходимо строить систему контроля качества на неразрушающих методах, что позволит приблизить систему управления качеством к идеализированной схеме, подобной системе мониторинга [68]. В этой системе управления метрологическое обеспечение выполняет функцию звена обратной связи.

Цель работы. Целью диссертационной работы является решение научной задачи, имеющей важное хозяйственное значение - повышение конкурентноспособности отечественных электронных приборов на мировом рынке посредством создания методологии системы управления качеством путем разработки математических моделей управления качеством производства материалов на основе модифицированных углеродных структур, а также алгоритмов поиска оптимальных управленческих решений в области обеспечения качества электронных устройств на стадии проектирования, основанных на многокритериальной задаче принятия решений и отображенных структурной моделью IDEF0.

Задачи исследований. Для реализации поставленной цели необходимо выполнить следующий комплекс исследований: анализ существующих экспериментальных работ в области формирования объектов субмикронного диапазона;

- анализ предложенных теоретических моделей, обосновывающих образование углеродных структур; разработка математических моделей повышения качества производимых электронных объектов;

- разработка алгоритмов поиска оптимальных управленческих решений в области качества в процессах производства электронных объектов;

- отображение структуры управления процессами в системе IDEF0;

- практическая реализация разработанных математических моделей и алгоритмов управления качеством;

- сравнение результатов экспериментальных исследований в области качества объектов до и после применения разработанных математических моделей и алгоритмов системы менеджмента качества.

Методы исследования. В качестве методов исследования ' в работе используются положения теории систем, теории графов, теории множеств, теории принятия решений, дискриминационный метод оптимизации параметров, методы многокритериальной оптимизации, методы адаптивного управления качеством, методы системного анализа, методы нечеткой логики.

Научная новизна работы обусловлена:

1. Предложенными математическими моделями управления качеством производства материалов и оптимизации параметров качества производимых объектов.

2. Алгоритмами оценки параметров качества материалов и выбора оптимальных управленческих решений в процессах производства.

3. Отображением структуры процессов оптимального управления в системе IDEF0.

Практическое значение работы.

1. Предложены математические модели управления качеством процесса производства материалов, которые сокращают материальные затраты, связанные с различными доработками в процессе производства и устранением дефектов на финишных этапах производства.

2. Предложены алгоритмы управления качеством процесса производства, исключающие возможность пропуска необходимых мероприятий, приводящего к возникновению дефектов.

3. Созданы программные продукты по расчету статистической оценки уровня качества электронных объектов.

Достоверностьрезультатов. Достоверность проведенных теоретических исследований обеспечивается строгим математическим обоснованием предлагаемых подходов и методов, а также сравнением с теоретическими данными, известными в научной литературе и полученными автором.

Реализация и внедрение результатов работы. Теоретические и практические результаты работы используются в учебном процессе МГИЭМ и практике системного конструирования для производства материалов и приборов электронной техники в НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники, НИИ перспективных материалов и технологий.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Дискриминационная модель оптимизации обобщенного критерия качества производимых материалов.

2. Адаптивная модель управления качеством и алгоритм выбора оптимального управленческого решения.

3. Математическая модель выбора оптимального управленческого решения из ряда недоминируемых альтернатив.

4. Алгоритм выбора оптимального недоминируемого решения и его программная реализация.

5. Структуры процессов оптимального управления качеством производства материалов на основе методологии IDEF0. Апробация работы.

Основные результаты работы докладывались и обсуждались на: IX Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы»; Всероссийской конференции с международным Интернет-участием «От наноструктур, наноматериалов и нанотехнологий к наноиндустрии»; VI международной научно-технической конференции (МИРЭА); 15-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2008»; 5-й международной научно-практической конференции «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности»; VIII международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии».

Публикации.

По теме диссертации опубликовано 2 научных статьи, 6 докладов научных конференций, 1 методическое указание для студентов вузов.

Объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, общих выводов, заключения, списка литературы и приложения.

Заключение диссертации по теме «Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям)», Кравчук, Инна Сергеевна

Основные выводы

1. Проведенные обзорно-аналитические исследования показали, что и в зарубежной, и в отечественной литературе отсутствуют достаточно чёткие и систематизированные сведения о математических моделях и алгоритмах управления качеством производства материалов на основе модифицированных углеродных структур.

2. Разработанная адаптивная модель управления качеством производства материалов создает предпосылки обеспечения необходимого уровня качества материалов на стадии проектирования процесса производства и исключает проведение различных доработок непосредственно в процессе производства.

3. Разработанная дискриминационная модель оптимизации параметров качества производимых объектов обеспечивает выбор наиболее рационального уровня качества на стадии проектирования производства и проведения инженерного анализа.

4. Построенный алгоритм оценки параметров качества позволяет эффективно оценивать уровень качества каждой производимой партии материалов.

5. Построенный алгоритм выбора оптимального управленческого решения на основе многокритериальной задачи принятия решений обеспечивает наиболее рациональный выбор технологических решений из множества альтернатив, рассматриваемых в процессе производства, исключая возможность пропуска некоторых мероприятий, порождающих дефекты конечного продукта, и материальные затраты, связанные с устранением этих дефектов на финишных этапах производства.

6. Предложена практическая реализация разработанных математических моделей и алгоритмов управления качеством, которая обеспечивает возможность контроля качества в процессе производства электронных объектов, предельно минимизируя возможность появления дефектов.

7. Проведенный сравнительный анализ результатов машинного эксперимента с известными в научной литературе данными показал сходимость этих результатов, что свидетельствует о корректности выбора математических моделей и алгоритмов управления качеством.

8. Предложенная статистическая оценка качества измеряемых параметров объектов выявила повышение уровня качества по сравнению с показателями, существовавшими ранее и известными в научной литературе.

9. Результатом диссертационной работы следует считать создание математических моделей, а также алгоритмов управления качеством и обработки информации при производстве электронных объектов. Предложенные математические модели и алгоритмы обеспечивают возможность принимать научно обоснованные, технически целесообразные и экономически выгодные технологические решения для повышении уровня качества при формировании электронных объектов на всех стадиях процесса производства.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кравчук, Инна Сергеевна, 2008 год

1. Ивашов Е.Н., Кравчук И.С. Математическая модель оценки обобщенного критерия качества производимых наноструктур. Труды 1. международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». - Ульяновск: УлГУ, 2007. - 323 с.

2. Ивашов Е.Н., Кравчук И.С. Математическая модель и алгоритм выбора оптимального процесса производства углеродных наноструктур.

3. TERMATIC-2007 // Материалы Международной научно-техническойконференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 октября 2007 г., г.Москва, М.: МИРЭА, 2007, часть 3, - с. 162-165.

4. Кравчук И.С., Тихоглаз Ю.С., Занг Н.Ч. Математическая модель и алгоритм управления качеством в кластерных системах сбора и обработки информации. — Системы управления и информационные технологии, 2008, 1.2(31),-с. 299-303.

5. Кравчук И.С., Тихоглаз Ю.С., By Тхи Тует Ланг. Эволюционная стратегия управления в задачах распознавания образов// Системы управления и информационные технологии, 2008, 2.3(32). с.т 358-360.

6. Ивашов Е.Н., Кравчук И.С. Адаптивное управление качеством производства электронных нанообъектов. (Ульяновск)

7. Ивашов Е.Н., Кравчук И.С. Математическая модель адаптивного управления качеством производства наноматериалов. М.: МИРЭА, 2008.

8. Ивашов Е.Н., Кравчук И.С., Тихоглаз Ю.С. Математические модели и алгоритмы управления качеством распознавания образов в кластерных системах обработки информации. М.: МГИЭМ, - 2008.

9. Кузькин В.И. Формирование электронных нанообъектов на основе модифицированных углеродных структур. — М: МГИЭМ. 2005.

10. Нанотехнологическая установка «Луч-2». Руководство пользователя. — М. -1999.

11. Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Модель влияния магнитного поля на формирование углеродных нанотрубок и фуллеренов. Деп. рукопись ВИНИТИ №2327 В. 2003: 31.12.2003. 6 е., ил.

12. Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Технологические устройства для получения наноструктур с использованием углеродных нанотрубок. Сборник докладовснаучно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»/ — М.: МГИЭМ, 2003.

13. Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Углеродные нанотрубки в системах измерения и контроля качества / Сб. докладов научно-технической конференции «Датчики и преобразователи систем измерения, контроля и управления» 03. - М.: МГИЭМ, 2003. - Судак-03.

14. Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Моделирование процессов, протекающих при образовании углеродных наноструктур. Деп. рукопись ВИНИТИ № 2324 В. 2003: 31.12.2003. б е., ил.

15. Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Технологические устройства для получения наноструктур с использованием углеродных нанотрубок. — Сборник докладов научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». — М.: МГИЭМ, 2003. Судак-03.

16. Ивашов Е.Н., Реутова М.В. Применение метода Саати при структурировании множества альтернатив получения углеродных нанотрубок, фуллеренов и кластеров. Деп. рукопись ВИНИТИ № 2325 В. 2003:31.12.2003.- 12 с., ил.

17. Ивашов Е.Н., Пак М.М. и др. Механическое и полевое тестирование модифицированных наноструктур. Деп. рук. ВИНИТИ № 1202-В 2004: 13.07.04.

18. Ивашов Е.Н., Пак М.М. Туннельный метод измерения нанорельефа поверхности. Деп. рук. ВИНИТИ № 1201-В 2004: 13.07.04.

19. Ивашов Е.Н., Пак М.М. Оптоволоконная нанотехнология в электронике и методы ее реализации. Деп. рук. ВИНИТИ № 1203-В 2004: 13.07.04.

20. Пак М.М. Методы измерения наноструктур материалов на основе устройств получения нанодорожек, определения химического состава и нанорельефа. НТК «Вакуумные технологии и нанотехнологии». — Вакуум 03. М.: МГИЭМ, 2004. - Судак 2003, материалы конференции.

21. Пак М.М. и др. Формирование наноструктур на атомарном уровне. НТК «Прогрессивные машиностроительные технологии». — «Образование через науку» (материалы конференции). М.: МГИЭМ, 2005.

22. J.Robertson, Advanced Physics, v.35, р.317 (1986)

23. E.F. Sheka, V.D. Khavryutchenko and V.A. Zayetz, Physical Low-Dimension Structures. 2/3, 59 (1995);

24. Sleptsov V.V., Kyzin А.А., Baranov A.M., Elinson V.M. Electrical and optical properties of carbon films. In Book "Physics and Technology of Diamond Materials", Poland Publishers, Moscow, 1994, p.80-87

25. Bou P., Vandenbulcke L. // J. Electrochem. Soc. 1991. v. 13 8, p.2991-2994

26. Hashimoto К., Muraki Y., Baba R., Fujishima A. // J. Electro anal. Chemistry. 1995, v.397, p.339-341

27. Резников Б.А. Методы и алгоритмы оптимизации на дискретных моделях сложных систем. Д.: ВИКИ им. А.Ф.Можайского, 1983.-215с.

28. Автоматизированные системы управления оборудованием. Адаптивное управление: Метод, указания по проведению лаб. работ/ Московский государственный институт электроники и математики; Сост. В.П. Чулков. — М., 2006, 36 с.

29. Ли Т.Т., Адаме Т.Э., Гейнз У.М. Управление процессами с помощью ЭВМ. Моделирование и оптимизация. М., Советское радио, 1972.

30. Фаронов В.В. ТУРБО Паскаль 7.0. Начальный курс. Учебное пособие. — М., Норидж, 1997. 616 с.

31. Чулков В.П. САПР оборудования и технологии производства СБИС. Учебное пособие. Московский государственный институт электроники и математики. М., 2003. - 180 с.

32. Моделирование технологических операций производства СБИС:'учебное пособие/ В.П. Чулков. Московский государственный институт электроники и математики. М., 1994. 73 с.

33. Саати T.JI. Элементы теории массового обслуживания и ее приложения. М., Советское радио, 1977.

34. Беленов В.К., Блинникова-Вяземская Е.В., Иоаннисянц Т.А. Количественный анализ технологического процесса. — Микроэлектроника, 1975, вып. 8.

35. Вальков В.М., Вершин В.Е. Автоматизированные системы управления технологическими процессами. М., Машиностроение, 1977.

36. Норенков И.П. Введение в автоматизированное проектирование технических устройств и систем. М., Высшая школа, 1980, 311 с.

37. Золотухин И.В., Калинин Ю.Е., Стогней О.В. Новые направления физического материаловедения: Учебное пособие. — Воронеж: Издательство Воронежского государственного университета, 2000. 360 с.

38. Нанотехнологии в электронике / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. М.: Техносфера, 2005.-448 с.

39. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. 2-е изд., перераб. и доп. — М.: Радио и связь, 1987. — 464 е., с илл.

40. Суздалев И.П. Нанотехнология: физико-химия нанокластеров, наноструктур и наноматериалов. — М.: КомКнига, 2006. — 592 с. (Синергетика: от прошлого к будущему.)

41. Корячко В.П. и др. Теоретические основы САПР: Учебник для вузов / В.П. Корячко, В.М. Курейчик, И.П. Норенков. -М.: Энергоатомиздат, 1987. — 400 е., с илл.

42. Головин Ю.И. Введение в нанотехнологию. М.: «Издательство Машиностроение-1», 2003. 112 с.

43. Кобаяси Н. Введение в нанотехнологию / Н. Кобаяси. — Пер. с японск. -М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2005. 134 е.: ил.

44. Чуличков А.И. Математические модели нелинейной динамики. 2-е изд., испр. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. - 296 с.

45. Коротков В.П., Тайц Б.А. Основы метрологии и теории точности измерительных устройств. М.: Издательство стандартов, 1978. — 352 с.

46. Кравченко В.А., Цидилин С.М., Федосеева Т.Л. Алгоритмы решения задач многокритериальной оптимизации: Учебное пособие. — М.: Издательство МИЭМ, 1988. 74 с.

47. Выявление экспертных знаний (процедуры и реализации) / О.И. Ларичев, А.И. Мечитов, Е.М. Мошкович, Е.М. Фуремс. М.: Наука, 1989. -128 с.

48. Беляков Г.П. и др. Основы системотехники: Учеб. Пособие для вузов / Г.П.4 Беляков, В.А. Сарычев, В.А. Сорокин, В.О. Чернышев. Под ред. В.О. Чернышева. Томск: МГП «РАСКО», 1992. - 312 е.: ил.

49. Рапопорт Э.Я. Анализ и синтез систем автоматического управления с распределенными параметрами: Учеб. Пособие / Э.Я. Рапопорт. — М.: Высш. шк., 2005.-292 е.: ил.

50. Чулков В.П. Системы машинного проектирования технологических процессов производства БИС: Учеб. Пособие / В.П. Чулков. — М.: МИЭМ, 1990.-77 с.

51. Советов Б.Я. Моделирование систем. Практикум: Учеб. пособие для вузов / Б.Я. Советов, С.А. Яковлев. 3-е изд., стер. - М.: Высш. шк., 2005. -295 е.: ил.

52. Оптимальное управление. Сборник. М.: «Знание», 1978. - 144 с. (Нар. Ун-т. Естественнонаучный фак. Издается с 1961 г.)

53. Быков В.П. Методическое обеспечение САПР в машиностроении. JL: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1989. — 255 с.

54. Элементная база микро- и наноэлектроники: физика и технология. Сб. науч. тр. М.: МГИЭТ (ТУ), 1994. - 180 е.: ил.

55. Виброзащита радиоэлектронной аппаратуры полимерными копмаундами / Ю.В. Зеленев, А.А. Кирилин, Э.Б. Слободник, Е.Н. Талицкий; Под ред. Ю.В. Зеленева. -М.: Радио и связь, 1984. 120 е., ил.

56. Норенков И.П., Маничев В.Б. Основы теории и проектирования САПР: Учеб. для втузов по спец. «Вычислительные маш., компл., сист. и сети». -М.: Высш. шк., 1990. 335 е.: ил.

57. Олфрей Г.Ф. Физическая электроника / Под ред. М.Б. Великовского; пер. с англ. В.И. Гайдука. М.: Издательство «Мир», 1966. — 316 с.

58. Семенкин Е.С., Семенкина О.Э., Коробейников С.П. Оптимизация технических систем. Учебное пособие. Красноярск: СИБУП, 1996. — 284 с.

59. Дружинин Г.В. Методы оценки и прогнозирования качества. — М.: Радио и связь, 1982. 160 е., ил. - (Межиздательская серия: Надежность и качество).

60. Информационные технологии управления: Учебное пособие / Под ред. Ю.М. Черкасова. М.: ИНФРА-М, 2001. - 216 с. - (Серия «Высшее образование»).

61. Варакута С.А. Управление качеством продукции: Учебное пособие. М.: ИНФРА-М, 2001. - 207 с. - (Серия «Вопрос - ответ»).

62. Аристов О.В. Управление качеством: Учебник. М.: ИНФРА-М, 2008. -240 с.: ил. - (Высшее образрвание).

63. Шестопал Ю.Т., Дорофеев В.Д., Шестопал Н.Ю., Андреева Э.А. Управление качеством: Учеб. пособие. М.: ИНФРА-М, 2008. - 331 с. -(Высшее образование).

64. Клыков Ю.И., Горьков Л.Н. Банки данных для принятия решений. М.: Сов. Радио, 1980. - 208 е.: ил.

65. Компьютерные технологии обработки информации: Учеб. пособие / С.В. Назаров, В.И. Першиков, В.А. Тафинцев и др.; Под ред. С.В. Назарова. — М.: Финансы и статистика, 1995. 248 е.: ил.

66. Борисенко В.Е. Наноэлектроника основа информационных систем XXI века. -М.: ИНФРА-М, 2001.

67. Рыбалко В.В. Наноразмерные углеродсодержащие материалы. М.: МГИЭМ, 2003 г. - 50 е., ил.

68. Нанотехнологические процессы и установки. Лускинович П.Н. и др. // сб. докладов. Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научных семинаров. М.: МИФИ, 2001. — 116 с.

69. Чумаченко Б.О., Лавров К.Н. Нанотехнологии — ключевой приоритет обозримого будущего. — М.: Олма-пресс, 2004.

70. Нанотехнологии и вычислительная математика. Г.Г. Еленин // сб. докладов. Математическое моделирование нанотехнологических процессов и наноструктур. Труды научных семинаров. М.: МИФИ, 2001. — 116 с.

71. Неволин В.К. Электронные устройства с элементами нанометровых размеров // Электронная промышленность. М: МИФИ, 2002.

72. Золотухин И.В. Углеродные нанотрубки. -М.: ФИЗИКА, 1999.

73. Соколов В.И., Станкевич И.В. Фуллерены новые аллотропные формы углерода: структура, электронное строение и химические свойства // Успехи химии, т. 62 (5), с. 455, 1993.

74. Шпилевский М.Э., Стельмах В.Ф. Фуллерены и фуллереноподобные структуры основа перспективных материалов. — М.: ЮНИТИ, 2004.

75. Саати Т. Принятие решений. Метод анализа иерархий. М.: Радиосвязь, 1993.

76. Норенков И.П., Маничев В.Б. Основы теории и проектирования САПР: Учеб. для втузов. М.: Высш. шк., 1993. - 335 е., ил.

77. Алексеев О.В., Головков А.А., Пивоваров И.Ю. и др. Автоматизация проектирования радиоэлектронных средств. М.: Высш. шк., 2000. - 479 с.

78. Зародов А.Ф. Представление иерархии моделей при проектировании систем //Аэрокосмические технологии, сб. трудов. — М.: МГТУ, 2003. — 125 с.

79. Солодовников И.В., Зародов А.Ф. Использование методов имитационного моделирования в исследовании экологических систем. Тр. Сем. «Новые информационные технологии». -М.: МИЭМ, 2001. 27 с.

80. Киндлер Е. Языки моделирования. М.: Энергоатомиздат, 1985. - 288 е.,

81. Антамошкин А.Н. и др. Системный анализ: Проектирование, оптимизация и приложения: Учебное пособие. В 2-х томах. Том 2. — Красноярск: Сибирская аэрокосмическая академия, 1996. — 290 с.

82. Фоминых В.П. Оборудование и технология дуговой сварки. Учеб. пособие для проф.-тех. училищ. — М.: Машиностроение, 1996. 312 е., ил.

83. Элементарный учебник физики / Под ред. Г.С. Ландсберга. Т. 2. — М.: Электричество и магнетизм, 1973. 528 е., ил.

84. Трофимова Т.И. Физика в таблицах и формулах: Учеб. пособие для студентов вузов. 2-е изд., испр. - М.: Дрофа, 2004. - 432 е., ил.

85. Гершензон Е.М. Молекулярная физика: Учеб. пособие для студентов высших пед. уч. заведений / Е.М. Гершензон, Н.Н. Малов, А.Н. Мансуров. — М.: Издательский центр «Академия», 2000. — 272 е., ил.

86. Савостьянов В.П., Филатова Г.А., Филатов В.В. Расчет и конструирование деталей аппаратуры САУ: Учеб. пособие. — М.: Машиностроение, 1982.-328 е., ил.

87. Слепов Н.Н. Современные технологии цифровых оптоволоконных сетей связи. М.: Радио и связь, 2000. - 468 е., ил.

88. Иванов И.П. Углеродные нанотрубки: их свойства и применение. — М.: ИНФРА-М, 2005. 345 е., ил.

89. Смирнов С.А. Оценка интеллектуальной собственности. М.: Финансы и статистика, 2002. — 352с., ил.

90. Неволин В.К. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии. Учеб. пособие. М.: МГИЭМ, 2000.

91. Колмогоров А.Н. О представлении непрерывных функций нескольких переменных суперпозициями непрерывных функций меньшего числа переменных. Докл. АН СССР, 1956. Т. 108, с. 179-182.

92. Чаплыгин Ю.А. Нанотехнология в электронике // МИЭТ — 2005. — с. 153170.

93. Практикум по высшей математике для студентов экономических специальностей: методические указания к самостоятельной работе студентов / Под ред. Сагитова Р.В. / РЭА им. Г.В. Плеханова. М.: Издательство «Менеджер», 2008. - 208 с.

94. Фаронов В.В. Турбо Паскаль 7.0. Начальный курс: Учеб. пособие. М.: КНОРУС, 2006. - 576 с.

95. Клименко Ю.И. Высшая математика для экономистов: теория, примеры, задачи: Учебник для вузов / Ю.И. Клименко. — М.: Издательство «Экзамен», 2005. — 736 с. (Серия «Учебник для вузов»)

96. Пискунов Н.С. Дифференциальное и интегральное исчисления. Т.2. — М.: Наука, 1976. — 576 е., ил.