Помехоустойчивые интерферометрические системы контроля объектов на основе формирования, регистрации и обработки набора интерференционных картин тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат технических наук Маргарянц, Никита Борисович

• Маргарянц, Никита Борисович
• кандидат технических наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат технических наук Маргарянц, Никита Борисович

Оглавление

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. ПОМЕХОУСТОЙЧИВОСТЬ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИХ СИСТЕМ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ ОБЪЕКТОВ

1.1. Влияние внешних факторов на помехоустойчивость интерферометрических систем

1.1.1. Требования к относительной нестабильности длины волны источника излучения

1.1.2. Влияние мощности источника излучения и чувствительности приемника излучения на характеристики интерференционных картин и интерферометрических сигналов

1.1.3. Влияние микровибраций и температурной нестабильности окружающей среды на параметры регистрируемой интерференционной картины

1.2. Методы повышения помехоустойчивости при формировании и регистрации интерференционных картин

1.2.1. Стабилизация параметров источников излучения интерферометрических систем

1.2.2. Требования к параметрам оптико-механических узлов интерферометрических систем

1.2.3. Повышение помехоустойчивости интерферометрических систем при использовании набора видеокадров

Глава 2. ФОРМИРОВАНИЕ, РЕГИСТРАЦИЯ И ОБРАБОТКА МНОГОМЕРНЫХ ДАННЫХ В ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ

2.1. Методы формирования многомерных интерферометрических сигналов

2.1.1. Формирование многомерных интерферометрических сигналов в корреляционной и спектральной интерферометрии

2.1.2. Формирование многомерных сигналов в интерферометрии управляемого фазового сдвига

2.2. Оценивание параметров интерферометрического сигнала на основе набора картин интерференционных полос

2.2.1. Оценка начальной фазы интерферометрического сигнала

2.2.2. Оценка положения огибающей интерферометрического сигнала

2.3. Влияние дискретизации и квантования распределения интенсивности в интерференционной картине на погрешность оценивания фазы

2.4. Обработка многомерных сигналов в интерферометрических системах малой когерентности

2.5. Восстановление фазы при использовании алгоритма управляемого фазового сдвига

Глава 3. ИСЛЕДОВАНИЕ ПОМЕХОУСТОЙЧИВОСТИ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ ОБРАБОТКИ НАБОРА ИНТЕРФЕРЕНЦИОНЫХ КАРТИН

3.1. Исследование стабильности параметров оптико-механической части интерферометрической системы при обработке набора интерференционных картин

3.2. Оценивание линейности узла фазового сдвига на основе пьезоэлемента

3.3. Помехоустойчивая методика регистрации набора интерференционных картин для определения динамики изменен ия геометрических параметров объекта

3.4. Исследование устойчивости метода восстановления фазы интерферометрического сигнала

3.5. Исследование параметров интерференционных картин малой когерентности

Глава 4. ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТРОЛЯ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ И МИКРОСТРУКТУРЫ ОБЪЕКТОВ

4.1. Исследование структуры материалов при помощи системы широкопольной оптической когерентной микроскопии

4.1.1. Исследование микроструктуры случайно-неоднородных на автоматизированном микроинтерферометре

4.2. Неразрушающий контроль внутренней микроструктуры объектов методом оптической когерентной микроскопии с перестраиваемой длиной волны

4.2.1. Неразрушающее изучение микроструктуры предметов искусства

4.2.2. Изучение внутреннего строения растительных тканей

4.3. Определение температурного коэффициента теплового расширения материалов на интерференционном дилатометре

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ. Акты использования результатов диссертационной

работы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Помехоустойчивые интерферометрические системы контроля объектов на основе формирования, регистрации и обработки набора интерференционных картин»

ВВЕДЕНИЕ

Интерференционные методы исследования широко используются при бесконтактном контроле различных объектов [1,2]. Неразрушающие исследования актуальны при изучении свойств биологических объектов и биохимических процессов, сопровождающих изменения этих свойств [3-7]. В материаловедении актуальна задача определения температурного коэффициента линейного расширения (ТКЛР) материалов в широком диапазоне изменения температур и оценки особенностей приповерхностного слоя исследуемых образцов [8,9].Основными требованиями, предъявляемыми к современным интерферометрическим системам (ИС) при контроле свойств объектов, являются высокая разрешающая способность, возможность быстрой визуализации поверхностной и/или объемной структуры при использовании методов неразрушающего контроля.

Наиболее важная информация об исследуемом объекте, как правило, содержится в фазе интерференционных полос и, в ряде случаев, в амплитуде интерферометрического сигнала. При этом требуются устойчивые, оптимальные с точки зрения достигаемой точности методы формирования, регистрации и обработки интерференционных картин. Во многих экспериментах требуется обрабатывать значительные объемы информации о рельефе поверхности объекта на участках большой площади, а также о приповерхностной томографической структуре объекта, поэтому необходимо обеспечивать длительную стабильную работу используемых ИС в условиях случайных отклонений фазы при воздействии помех, а также повышать быстродействие интерферометрических систем. Специфика структуры изучаемых материалов, необходимость создания методов и средств контроля объектов с высоким разрешением, необходимость в автоматизации получения измерительной информации требуют создания новых методов и технических систем с высокой помехоустойчивостью.

Целью диссертационной работы является создание методов, методик

и технических систем с обеспечением помехоустойчивости при воздействии

5

внешних влияющих факторов на основе регистрации последовательности интерференционных картин и использования методов обработки последовательности видеокадров для оценивания характеристик исследуемых объектов.

Для достижения цели необходимо решить следующие задачи:

1. Исследование помехоустойчивости ИС и путей повышения помехоустойчивости.

2. Исследование особенностей формирования, анализа и обработки многомерных данных в ИС.

3. Создание методик обеспечения помехоустойчивости при воздействии внешних влияющих факторов и разработка научно-технических решений для создания ИС.

4. Исследование свойств и структуры объектов и материалов методами оптической когерентной томографии (ОКТ) и интерферометрии фазового сдвига с обеспечением требуемой помехоустойчивости.

Научная новизна выполненных исследований:

1. Рассмотрены внешние факторы, влияющие на помехоустойчивость ИС и предложены методы снижения влияния помех на основе регистрации и обработки набора интерференционных картин.

2. Проанализированы аналитические зависимости погрешности определения начальной фазы и погрешности определения положения огибающей интерференционного сигнала малой когерентности от отношения сигнал-шум в ИС и выработаны рекомендации для формирования и регистрации набора интерференционных картин, обеспечивающие получение оптимальных с точки зрения заданной точности оценок характеристик объектов.

3. Разработана методика применения алгоритмов обработки набора интерференционных картин для получения оценок фазы и/или амплитуды многомерных интерферометрических сигналов с высокой

помехоустойчивостью в системах ОКТ и интерферометрии фазового сдвига.

4. Разработана методика регистрации, анализа и обработки данных, повышающая помехоустойчивость при определении величины микронеровности поверхности образца и смещения поверхности объекта с помощью интерференционного дилатометра.

5. Разработана и реализована структура и оптико-электронная система лазерной помехоустойчивой ИС контроля смещений поверхности объекта абсолютным методом с дополнительной функциональной возможностью определения высоты образца и отклонений рельефа образца по высоте за счет использования дополнительного интерферометрического канала малой когерентности.

Практическая значимость работы:

1. Сформулированы требования к формированию набора интерференционных картин в ИС для получения оценок фазы и/или амплитуды с требуемой точностью при обработке последовательности видеокадров.

2. Проведена верификация программного обеспечения в процессе проведения экспериментальных исследований, на основании которой даны рекомендации по оптимизации регистрации, обработки и хранению данных, получаемых в процессе измерений.

3. С использованием ОКТ выполнены наблюдения процессов функционирования и деградации биологических объектов при потере влаги, показаны возможности исследования свойств слоев растительных тканей.

4. Создан и испытан интерференционный дилатометр для определения температурного удлинения образцов абсолютным методом при совместимости с существующими техническими решениями и методиками.

5. Разработанное техническое решение, при котором определение температурного удлинения образца проводится при предварительной установке нулевой разности хода в ИС на базе интерферометра Майкельсона, позволило значительно снизить влияние нестабильности длины волны источника излучения по сравнению с классической схемой систем на базе интерферометра Физо. Внедрение результатов работы. Результаты работы использованы в 3-х НИР, выполненных в НИУ ИТМО, что подтверждается соответсвующими актами о внедрении, по договору № 28863 "Создание оптико-электронной системы и программно-алгоритмического обеспечения метрологического комплекса для измерений характеристик теплового расширения наноматериалов" (2008 г.), по государственному контракту № 07.514.11.4058 (тема НИЧ № 310335) "Формирование, анализ и представление трехмерных изображений в информационно-телекоммуникационных системах" (20112012 гг.), по государственному контракту № 11.519.11.2023 (тема НИЧ № 310336) "Оценка состояния и диагностика биотканей неинвазивными высокоразрешающими методами оптической когерентной томографии и трехмерной микроскопии" (2011-2012 гг.).

Основные результаты и научные положения, выносимые на защиту:

1. Итерационный метод восстановления параметров интерференционного сигнала с оцениванием фона и амплитуды по критерию минимума СКО реального и модельного сигнала и оцениванием фазы и частоты по критерию минимума СКО фазы.

2. Методика помехоустойчивого восстановления смещения поверхности объекта по набору приведенных фаз, полученных в различные моменты времени.

3. Для метода восстановления параметров интерференционного сигнала получены соотношения между уровнем помех прибора, количеством

интерференционных картин в серии и погрешностью восстановления фазы.

4. Методика формирования, регистрации и обработки последовательности интерференционных картин малой когерентности расширяет область применения и функциональность приборов интерферометрического контроля объектов, позволяя оценивать параметры случайно-неоднородных, в том числе биологических, сред.

Апробация результатов работы. Основные результаты работы представлены на XXXVI научной и учебно-методической конференции профессорско-преподавательского и научного состава СПбГУ ИТМО (Санкт-Петербург, Россия, 2007), Advanced laser technologies 2007 (Levi, Finland, 2007), XXXVII научной и учебно-методической конференции СПбГУ ИТМО (Санкт-Петербург, Россия, 2008), XXXVIII научной и учебно-методической конференции СПбГУ ИТМО (Санкт-Петербург, Россия, 2009), 4-ой Всероссийской и стран-участниц КООМЕТ конференции по проблемам термометрии Температура-2011 (Санкт-Петербург, Россия, 2011), Cross-Strait Tsinghua Optics and Photonics Workshop (Hsinchu, China, 2011), XL научной и учебно-методической конференции СПбГУ ИТМО (Санкт-Петербург, Россия, 2011), 5-th Finnish-Russian Photonics and Laser Simposium PALS2011 (Санкт-Петербург, Россия, 2011), XLI научной и учебно-методической конференции СПбГУ ИТМО (Санкт-Петербург, Россия, 2012), The 3rd International Topical Meeting on Optical Sensing and Artificial Vision OSAV'12 (Санкт-Петербург, Россия, 2012), XLII научной и учебно-методической конференции НИУ ИТМО (Санкт-Петербург, Россия, 2013).

Публикации. Материалы диссертации опубликованы в 9 научных статьях, из них 7 в изданиях, рекомендуемых ВАК РФ.

Личный вклад автора. Представленные в диссертационной работе результаты получены либо лично соискателем, либо при его непосредственном участии.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, основной части, содержащей 4 главы, заключения, списка литературы. Общий объем диссертации - 155 страниц. Работа содержит 75 иллюстраций и 2 таблицы. Список литературы включает 96 библиографических источников.

В Главе 1 анализируется влияние различных факторов на помехоустойчивость ИС. Детально рассмотрены требования к относительной нестабильности длины волны источника излучения для обеспечения заданной точности измерений, количественно оценено влияние мощности источника излучения и чувствительности приемника излучения на характеристики интерферометрических сигналов, исследовано влияние микровибраций на параметры регистрируемой интерференционной картины, показана необходимость учета влияния температурной нестабильности на изменение оптической разности хода в интерферометре. Проанализировано влияние внешних факторов на параметры реального интерферометрического сигнала, показано, что обработка последовательности интерференционных картин, зарегистрированных на матричный фотодетектор, позволяет оценить характер изменения фазы интерференционных полос, обусловленный влиянием внешних факторов - микровибраций и низкочастотных отклонений, вызванных температурной нестабильностью установки.

В Главе 2 рассмотрены особенности процессов формирования, регистрации и обработки данных в ИС при использовании методов интерферометрии малой когерентности и лазерной интерферометрии для бесконтактной диагностики объектов. Проанализирован процесс формирования набора интерференционных картин и параметры интерференционного сигнала (2) в зависимости от используемого типа ИС. Показано, что оценивание начальной фазы и положения огибающей интерференционного сигнала по набору интерференционных картин эффективно с точки зрения принципа максимального правдоподобия, при этом погрешность получаемых оценок зависит от отношения сигнал-шум,

мощности источника и параметров фотоприемника. Рассмотрены методы обработки многомерных сигналов в системах малой когерентности и управляемого фазового сдвига.

В Главе 3 приведены результаты исследований стабильности параметров оптико-механической части ИС с использованием набора интерференционных картин, предложена методика помехоустойчивого восстановления смещения поверхности объекта по набору значений приведенных фаз, полученных в различные моменты времени, получены оценки линейности разработанного узла фазового сдвига на основе пьезоэлемента, описан метод итерационного восстановления параметров интерференционного сигнала с оцениванием фона и амплитуды по критерию минимума СКО реального и модельного сигнала и оцениванием фазы и частоты по критерию минимума СКО фазы, проведено моделирование устойчивости метода при различных уровнях амплитудных и фазовых помех. Получены соотношения, позволяющие оценить количество интерференционных картин в серии измерений в зависимости от помех и требуемой точности оценки фазы. Представлены результаты предварительного исследования особенностей формирования картин интерференционных полос малой когерентности, проведенного на разработанном макете ИС малой когерентности.

В Главе 4 приведено описание и технические характеристики модернизированного микроинтерферометра МИИ-4 и разработанного интерференционного дилатометра, приведена методика измерений образцов методом ОКТ и интерферометрии управляемого фазового сдвига на основе регистрации и обработки набора видеокадров. Приведен анализ результатов исследования микроструктуры случайно-неоднородных, в том числе биологических, сред и определения ТКЛР образцовой меры корунда.

Заключение диссертации по теме «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», Маргарянц, Никита Борисович

Выводы по главе 4

1. Восстановление рельефа поверхности непрозрачных объектов и оценивание характеристик трехмерной внутренней микроструктуры случайно-неоднородных сред с высоким порядка 1 мкм разрешением целесообразно проводить с использованием бесконтактного метода ОКТ с регистрацией и обработкой набора интерференционных картин. Исследование биологических объектов при использовании в ИС излучения длинноволновой части видимого диапазона спектра или ближнего ИК диапазона из-за малого влияния энергии излучения на тканевые структуры и слои является неинвазивным.

2. Совместное использование ИС спектральной и корреляционной ОКТ применительно к исследованию деградации и восстановления биологических тканей формируют новый подход к исследованию общей структуры приповерхностного слоя биологических объектов с пространственным разрешением порядка 10 мкм и линейным размером до 7 мм с уточнением структуры локальных неоднородностей с разрешением порядка 1 мкм и линейным размером до 200 мкм.

3. По сравнению с известными техническими системами созданная оптико-электронная ИС обладает дополнительными функциональной возможностью определения высоты образца и отклонений рельефа образца по высоте за счет использования дополнительного интерферометрического канала малой когерентности, что значительно снижает влияние нестабильности длины волны источника на точность оценивания характеристик исследуемого образца.

4. Проведенные исследования показали возможность использования в качестве источника излучения в интерферометре малой когерентности светодиода высокой яркости. Варьирование ширины спектра излучения с помощью оптического фильтра дает возможность устанавливать длину когерентности излучения с учетом степени шероховатости поверхности исследуемого образца и требований к точности определения размера конкретного образца.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертационной работе разработаны и исследованы методы и интерферометрические системы бесконтактного контроля объектов с обеспечением помехоустойчивости на основе формирования, регистрации и обработки набора интерференционных картин, а именно:

1. Исследованы факторы, влияющие на помехоустойчивость ИС, обоснована возможность повышения помехоустойчивости ИС за счет регистрации и обработки набора интерференционных картин.

2. Предложена методика вычисления смещения поверхности исследуемого образца, обеспечивающая корректное преобразование значения разности фаз с минимальной дисперсией оценок фазы в локальной точке.

3. Разработан новый метод восстановления параметров интерференционного сигнала с оцениванием фона и амплитуды по критерию минимума СКО реального и модельного сигнала и оцениванием фазы и частоты по критерию минимума СКО фазы. Данный метод позволяет восстанавливать фазу по полной серии из заданного числа видеокадров, с исключением кадров, наиболее отклоняющихся от вычисленной фазы. Это позволяет повысить точность восстановления фазы и исключить влияние кратковременных помех на установку.

4. Разработанный метод локальной отбраковки точек позволяет детектировать и устранить влияние фазовых помех от различных источников, разнесенных по полю кадра. Для точек кадра, не искаженных помехами, значения сигнала не отбраковываются, следовательно, не происходит снижение точности восстановления параметров сигнала в отсутствие помех.

5. Использование интерферометрического канала малой когерентности в интерференционном дилатометре обеспечивает возможность определения высоты исследуемого образца и отклонений рельефа поверхности с погрешностью в несколько микрометров. При этом относительная погрешность определения температурного удлинения образца снижается до допустимых малых значений.

6. Получены соотношения между уровнем помех, количеством интерференционных картин в серии и погрешностью восстановления фазы для оценки требуемого количества видеокадров для обеспечения заданной точности измерений.

7. Показано, что методика формирования, регистрации и обработки последовательности интерференционных картин малой когерентности позволяет расширить функциональность приборов интерферометрического контроля параметров случайно-неоднородных сред.

СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

Публикации из перечня ВАК:

1. Gurov I., Vorobeva Е., Karpets A., Margaryants N. Full-field high-speed optical coherence tomography system for evaluating multilayer and random tissues // Proc. SPIE. - 2007. - V. 6618. - P. 661807-01 - 661807-07.

2. Alarousu E., Gurov I., Kalinina N., Karpets A., Margariants N., Myllyla R., Prykari Т., Vorobeva E. Full-field high-resolving optical coherence tomography system for evaluating paper materials // Proc. of SPIE. - 2008. -V. 7022. - P. 702212-01-702212-07.

3. Компан Т. А., Коренев А. С., Пухов H. Ф., Гуров И. П., Дудина Т. Ф., Маргарянц Н.Б. Метод спекл-интерферометрии для определения теплового расширения наноматериалов // Измерительная техника. — 2011.-№4.-С. 48-52.

4. Волынский М. А., Воробьева Е. А., Гуров И. П., Маргарянц Н.Б. Бесконтактный контроль микрообъектов методами интерферометрии малой когерентности и оптической когерентной томографии // Изв. вузов. Приборостроение. - 2011. - Т. 54. - № 2. - С. 75-82.

5. Гуров И.П., Жукова Е.В., Маргарянц Н.Б. Исследование внутренней микроструктуры материалов методом оптической когерентной микроскопии с перестраиваемой длиной волны // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2012. — №3(79).-С. 40-45.

6. Гуров И.П., Волынский М.А., Жукова Е.В., Маргарянц Н.Б. Исследование растительных тканей методом оптической когерентной микроскопии // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2012. — №5(81). - С. 42—47.

7. М.А. Волынский, И.П. Гуров, Е.В. Жукова, Н.Б. Маргарянц, Е.С. Рысева Исследование микроструктуры поверхностных слоев растительной ткани методом оптической когерентной микроскопии // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2013. - №2(84). - С. 54-59.

Публикации в других изданиях:

8. Волынский М.А., Гуров И.П., Жукова Е.В., Левшина A.B., Маргарянц Н.Б., Сёмов A.A. Исследование трехмерной микроструктуры материалов на основе методов оптической когерентной томографии // Фотография. Изображение. Документ. — 2010. -№ 1. - С. 81-86.

9. Волынский М.А., Гуров И.П., Ефремов A.B., Маргарянц Н.Б. Применение интерферометра малой когерентности для определения размера образцов наноматериалов в интерференционном дилатометре // Труды научно-исследовательского центра Фотоники и оптоинформатики. Сб. статей. / Под ред. И.П. Гурова и С.А. Козлова. СПб: СПбГУ ИТМО. - 2010. - Вып. 2. - С. 366-375.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Маргарянц, Никита Борисович, 2013 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Коронкевич В. П., Полещук А. Г., Седухин А. Г., Ленкова Г. А. Лазерные интерферометрические и дифракционные системы // Компьютерная оптика. - 2010. - Т.34. - №1. - С.4-23.

2. РоёЫе^ка Н., НкгепЬе^ег С.К., ТисЫп У.У. Interfeгometry т ВютесИсте // 1.Вюте<1. Орг. - 1998. - У.З. - Р. 225-280.

3. Майоров Е.Е., Прокопенко В.Т. Когерентно-ограниченная интерферометрическая система в исследовании биологических объектов // Мед. Техника. - 2012. - № 3. - С. 24-26.

4. Котов И.Р., Майоров Е.Е., Хопов В.В. Интерферометрические исследования биологических объектов // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2004. - №15. - С. 70-72.

5. Кутис И.С., Сапожникова В.В., Куранов Р.В., Каменский В.А. Исследование методами оптической когерентной микроскопии и оптической когерентной томографии морфо-функционального состояния тканей высших растений // Физиология растений. - 2005. - Т. 52. — № 4. — С. 628-634.

6. Сапожникова В.В., Каменский В.А., Куранов Р.В. Визуализация растительных тканей методом оптической когерентной томографии // Физиология растений. - 2003. - Т. 50. - № 2. - С. 316-320.

7. Родиков С.А. Методы и устройства анализа зрелых яблок. Москва.¡ООО Издательская фирма "Физико-математическая литература", 2009. - 216 с.

8. Компан Т.А. Измерительные возможности и перспективы развития дилатометрии // Мир измерений. -2011.- №7. - С. 14-21.

9. Котов И.Р., Майорова О.В., Прокопенко В.Т., Хопов В.В. Контроль микрорельефа диффузно отражающих поверхностей с использованием когерентно-ограниченных источников излучения // Известия высших учебных заведений. Приборостроение. - 2006. - Т. 49. - № 8. - С. 65-70.

142

10. Латыев С.М. Компенсация погрешностей в оптических приборах. -Л.Машиностроение, 1985.-248 с.

11. Васильев В.Н. Гуров И.П. Компьютерная обработка сигналов в приложении к интерферометрическим системам. - СПб.: БХВ-СПб, 1998. -240с.

12. Trishenkov М.А. Detection of low-lewel optical signals. Kluwer Academic Publishers, 1997.-453 p.

13. Коронкевич В.П., Ханов В.А. Современные лазерные интерферометры. -Новосибирск: Наука, 1985. — 181с.

14. Wyant J.C. Interferometric optic metrology: basic principles and new systems // Laser Focus. - 1982. - V.l8. -P. 65-71.

15. Лазерные измерительные системы / Батраков A.C., Бутусов М.М., Гречка Г.П. и др.; Под ред. Д.П. Лукьянова. - М.: Радио и связь, 1981. - 456 с.

16. Дубнищев Ю.Н., Ринкевичус Б.С. Методы лазерной доплеровской анемометрии - М.: Наука, 1982. - 304 с.

17. Чудов В.А. Измерения в машиностроении // Измерительная техника. -1990. - №3. - С.61-62.

18. Васильев В.Н., Гуров И.П. Оптическая интерферомерия и информационные технологии. Системы прецизионного технологического контроля // Известия вузов. Приборостроение. - 1996. - №5-6. — С. 13-20.

19. Васильев В.Н., Гуров И.П. Технология бесконтактного контроля объектов на основе когерентного и спектрального радаров в биомедицинских исследованиях и промышленности // Оптические и лазерные технологии. - СПб.: СПбГУ ИТМО. - 2002. - С. 160-175.

20. Гуров И.П., Джабиев А.Н. Интерферометрические системы дистанционного контроля объектов. - СПб.:СПбГУ ИТМО, 2000. - 97 с.

21. Коронкевич, В.П., Соболев, B.C., Дубнищев, Ю.Н. Лазерная интерферометрия. - Новосибирск: Наука, 1983. - 216 с.

22. Аблеков В.К., .Колядин С.А., Фролов A.B. Высокоразрешающие оптические системы. - М.: Машиностроение, 1985. - 176 с.

23. Сайт фирмы Santec [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://www.santec.com/en/products/instruments/tunablelaser/tsl-510, свободный. Яз. англ. (дата обращения 11.01.2013).

24. Сайт фирмы Thorlabs [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://www.thorlabs.com/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=1277, свободный. Яз. англ. (дата обращения 05.01.2013).

25. Коста Дж., Манджини С., Отонелло П. Измерение теплового расширения при помощи спекл-интерферометра //Приборы для научных исследований. - 1987. - №1. - С. 81-85.

26. Коломийцов Ю.В. Интерферометры. Основы инженерной теории. Применения. - Л.: Машиностроение, 1976. - 296 с.

27. В.К. Кирилловский Оптические измерения Часть 5. Аберрации и качество изображения. Учебное пособие // СПб.:СПбГУ ИТМО, 2006. -107 с.

28. Тихонов В.И. Оптимальный прием сигналов. - М.:Радио и связь, 1983. -320 с.

29. Ван Трис Г. Теория обнаружения, оценок и модуляции. - М.:Сов. Радио, 1972.-Т.1.-744 с.

30. de Groot P. Vibration in phase-shifting interferometry // J. Opt. Soc.Am. A. -1995. - V.12(2). - P. 354-365.

31. de Groot P., Deck L.L. Numerical simulations of vibration inphase-shifting interferometry //Appl. Opt. - 1996. -V. 35. -P. 2173-2181.

32. Deck L. Vibration-resistant phase-shifting interferometry // Appl.Opt. - 1996. -V. 34,-P. 6555-6662.

33. Ennos A.E. Speckle interferometry // In: Laser Speckle and Related Phenomena, J.C. Dainty, ed. NY: Springer-Verlag. - 1975. - P. 203-253.

34. Onodera R, Ishii Y. Phase-extraction analysis of laser-diode phase-shifting interferometry that is insensitive to changes in laser power // J. Opt. Soc. Am. A. - 1996. - V.13, - P.139-146.

35. Власов А.Н., Перебякин В.А., Привалов В.Е. Стабилизированные гелий-неоновые лазеры с внутренними зеркалами. Обзоры по электронной технике. -М., ЦНИИ "Электроника", 1986. Cep.ll. Вып.7 (1206). 50с.

36. Власов А.Н. Стабилизированный гелий-неоновый лазер для прецизионной диагностической медицинской аппаратуры // Тезисы докладов на конференции "Лазеры для медицины и экологии". - С.-Пб., -2004. С.22.

37. Fercher A.F. Optical coherence tomography - development, principles, applications // Z. Med. Phys. - 2010. - V. 20. - № 4. - P. 251-276.

38. Dresel Т., Hausler G., Ventzke H. Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar // Appl. Opt. - 1992. - Vol. 31. - P. 919 - 925.

39. Gurov I., Volynsky M. Evaluation of test polymer samples by full-field low-coherence interferometric profilometer // Proc. OSAV'2008. 3rd Intern. Topical Meeting on Optical Sensing and Artificial Vison. St. Petersburg:St. Petersburg State University ITMO. - 2008. - P. 384-388.

40. Fercher A. F., Drexler W., Hitzenberger С. K., Lasser T. Optical coherence tomography - principles and applications // Rep. Prog. Phys. - 2003. - Vol. 66.-P. 239-303.

41. Гуров И. П. Оптическая когерентная томография: принципы, проблемы и перспективы // Проблемы когерентной и нелинейной оптики. СПб: СПбГУ ИТМО. - 2004. - С. 6-30.

42. Tomlins P. Н., Wang R. К. Theory, developments and applications of optical coherence tomography // J. Phys. D: Appl. Phys. - 2005. - Vol. 38. - P. 25192535.

43. Adler D. C., Stenger J., Gorczynska I., Lie H., Hensick Т., Spronk R., Wolohojian S., Khandekar N., Jiang J. Y., Barry S., Cable A.E., Huber R., Fujimoto J. G. Comparison of three-dimensional optical coherence tomography and high resolution photography for art conservation studies // Optics Express. - 2007. - Vol. 15. - P. 15972-15986.

44. Компан Т.А. Дилатометрия. В кн.: Российская Метрологическая Энциклопедия. СПб.: Изд. «Лики России», 2001. С.455-460.

45. Аматуни А.Н. Методы и приборы для определения температурных коэффициентов линейного расширения материалов. - М.: Изд. стандартов, 1972. - 140 с.

46. Ponin О., Sharov A., Gayavov I., Kompan Т., Swiegers J., Swat A. Demonstrating the suitability of Sitall for SALT primary mirror // Proceedings of SPIE "Large Ground-based Telescopes". - 2002. - V. 4837. - P. 795-804.

47. Kompan T.A., Korenev A.S., Lukin A.Ya. Investigation of thermal expansion of a glass-ceramic material with an extra-low thermal linear expansion coefficient // Int. J. Thermophysics. - 2008. - V. 29. - № 5. - P. 1896-1905.

48. Компан T.A., Коренев A.C., Лукин A.C. Автоматизированная система дилатометрических измерений с многопараметрической обработкой интерференционной картины // Измерительная техника. - 2001. - № 6. -С. 31-35.

49. Щербак В.И. Оптимальная оценка оптических сигналов по критерию максимального правдоподобия. //Измерительная техника. - 1987. — №7. -С.25-27.

50. Трифонов А.П., Нечаев Е.П., Парфенов В.Н. Обнаружение стохастических сигналов с неизвестными параметрами. — Воронеж: ВГУ, 1991.-246 с.

51. Трифонов А.П., Шинаков Ю.С. Совместное различение сигналов и оценка их параметров на фоне помех. М.: Радио и связь, 1986. - 264 с.

52. Прикладные математические методы анализа в радиотехнике. ЛО.А. Евсинов, Г.В. Обрезков, В.Д. Разевиг и др.: под ред. Г.В. Обрезкова. - М.; Высш. шк.,1985. - 344 с.

53. Куликов Е.И. Методы измерения случайных процессов. - М: Радио и связь, 1986. - 272 с.

54. Порфирьев Л.Ф. Основы теории преобразования сигналов в оптико-электронных системах. - Л.: Машиностроение, 1989. - 392 с.

55. Куликов Е.И., Трифонов А.П. Оценка параметров сигналов на фоне помех. М.: Сов. радио, 1978. - 296 с.

56. Ю.Горлач А.А. и др. Цифровая обработка сигналов в измерительной технике/ А. А. Горлач, М.Я. Минц, В.Н. Чинков. - К.: Техшка, 1985. -151 с.

57. Агранович Б. Л. Построение квазиоптимальных одноканальных фа-зоизмерителей // В сб.: Тонкие магнитные пленки, вычислительная техника и радиотехника: Труды II Краевой конференции. Красноярск, 1971. Т. 1. С.3-7.

58. Чердынцев В.А. Радиотехнические системы. - Минск:Высшая школа, 1988.-369 с.

59. Лебедько Е.Г. Теоретические основы преобразования информации в оптико-электронных системах. - СПб: НИУ ИТМО, 2012.-159 с.

60. Lai G., Yatagai Т. Generalized phase-shifting interferometry // J. Opt. Soc. Am. A. - 1991. - V. 8. - P. 822-827.

61. Creath K. Phase measurement interferometry technique // Prog. Opt. - 1988. -V.26.-P. 349-383.

62. Дудина Т.Ф., Гуров И.П. Исследование особенностей регистрации спекл-интерференционных полей фотоприемной матрицей // Международный оптический конгресс "Оптика - XXI век": Сборник трудов международной конференции «Фундаментальные проблемы оптики — 2010» (Санкт-Петербург, 2010. С. 338-341.

63. Hunloon R.D.,Weiss A., Smith W. Electronic fringe interpolator for an optical interferometer // J. Opt. Soc. Am. - 1954. - Vol. 44. - P. 264-269.

64. Горелик Г.С. О применении модуляционного метода в оптической интерферометрии // ДАН СССР. - 1952. - Т.83. - № 4. - С. 549-552.

65. Гуров И.П. Методы и техника автоматической обработки сигналов в интерференционных измерительных системах // Измерения, контроль, автоматизация. Выпуск 2. - 1990. - С. 69-79.

66. Эцин И.Ш. Модуляционный метод измерения весьма малых смещений разности фаз в интерференционных схемах // Измерительная техника. — 1968.-№5.-С. 24-27.

67. Уонг К., Варвиг Р., Экман П. Применение акустооптического метода для измерения и задания субангстремных перемещений зеркала // Приборы для научных исследований. - 1982. - № 7. — С. 28-33

68. Шестопалов Ю.Н., Драпкин М.Я. Фотоэлектрические интерферометры для научных исследований. М., 1978. - 49 с.

69. Протопопов В.В., Устинов Н.Д. Лазерное гетеродинирование. -М.: Наука, 1985.-285 с.

70. Гужов В.И. Компьютерная интерферометрия: Учеб. Пособие. — Новосибирск : НГТУ, 2000. - 78 с.

71. Гужов В.И., Ильиных С.П. Компьютерная интерферометрия: Учеб. Пособие. - Новосибирк : НГТУ, 2004. - 252 с.

72. Wyant J.C. Interferometric optical metrology: basic principles and new systems // Laser Focus. - 1982. - V. 18. - №. 5. - P. 65-71.

73. Schwider J., Burow R., Elssner K.E., Grzanna R., Spolaczyk R., Merkel K. Digital wavefront measuring interferometry: some systematic error sources // Appl. Opt. - 1983. - V. 22. - P. - 3421-3432.

74. Van Wingerden Т., Frankena H.J., Smorenburg C. Linear approximation for measurement errors in phase shifting interferometry // Appl. Opt. - 1991. - V. 30.-P. 2718-2729.

75. Carre P. Installation et utilisation du comparateur photohlectrique et interferentiel du Bureau International des Poids et Mesures // Metrología. -1966.-V. 2. - № 1. - P. 13-23.

76. Novak J. Five-step phase-shifting algorithms with unknown values of phase shift // Optik, 2003. - V. 114. - P. 63-68.

77. Волынский M.A., Гуров И.П., Полякова B.A., Рипак Д.А. Исследование погрешностей пятишагового алгоритма управляемого фазового сдвига при изменениях видности интерференционных полос //Труды научно-

148

исследовательского центра Фотоники и оптоинформатики. Сб. статей / Под ред. И.П. Гурова и С.А. Козлова. СПб: СПбГУ ИТМО. 2010. Вып. 2. С. 367-376.

78. М.В. Волков "Восстановление линий экстремумов и фазы зашумленных интерференционных полос с применением метода нелинейной локально-адаптивной фильтрации" // "Фундаментальные проблемы оптики-2002" (Сборник трудов), СПб 2002. - С. 138-140.

79. Gurov I., Volkov М. Distorted noisy interferograms en hancement and evaluation by the nonlinear 2D data-de pendent fringe processing / Optical Measurement Systems for Industrial Inspection П: Application in Industrial Design / Ed. by Osten W., Jueptner W.P.O., Kujawinska M. // Proc. SPIE. 2001. -V. 4398. - P. 255-264.

80. Волков M.B., Гуров И.П., Восстановление фазы картин интерференционных полос // Оптический журнал. - 2005. -Т.73. - №3. -С. 12-19.

81. Испытания полиграфических материалов / Зерцов В.А., Семионов А.А., Воскресенская Е.А. и др.//Контроль рабочих свойств полиграфических материалов/ под ред. Семионова А.А. - М.:Книга, 1964. - 488 с.

82. Merit S. Superluminescent sources for optical coherence tomography // in Conference on Lasers and Electro-Optics/International Quantum Electronics Conference and Photonic Applications Systems Technologies, Technical Digest (CD). - Optical Society of America, 2004. - paper PTuG2.

83. Sheoran G., Dubey S., Anand A., Mehta D. S., Shakher C. Swept-source digital holography to reconstruct tomographic images // Optics Letters. - 2009. -Vol. 34.-Issue 12.-P. 1879-1881.

84. Васильев В. H., Гуров И. П. Сравнительный анализ методов оптической когерентной томографии // Изв. вузов. Приборостроение. 2007. - Т. 50. -№7.-С. 30-40.

85. Воробьева Е.А., Гуров И.П., Петерсон М.В. Исследование метода обработки сигналов в системах оптической когерентной томографии с

149

повышенным быстродействием // Изв. вузов. Приборостроение. 2010. -Т. 53. -№ 3. - С. 65-73.

86. Dubois A., Grieve К., Moneron G., Lecaque R., Vabre L., Boccara C. Ultrahigh-resolution full-field optical coherence tomography // Appl. Opt. 2004. - Vol. - 43. - P. 2874-2883.

87. Сайт фирмы Lumenera [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://www.lumenera.com/resources/documents/datasheets/industrial/Lm075-datasheet.pdf, свободный. Яз. англ. (дата обращения 11.03.2013).

88. Schmitt J.M. Optical coherence tomography: a review // IEEE J. Select Topics Quant. Electron. - 1999. - V.5. - P. 1205-1215.

89. Pan Y., Birngruber R., Rosperich J., Engelhart R. Low-coherence optical tomography in turbid tissue: theoretical analysis // Appl. Opt. - 1995. - V.34. -P. 6564-6575.

90. Pezzati L., Daffara C., Bencini D., Carcagni P. Near-infrared confocal laser scanning microscope for the analysis of paintings // Proc. 2nd Int. Topical Meeting on Optical Sensing and Artificial Vision (OSAV'2008). - 2008. - St. Petersburg: St. Petersburg State University ITMO. - P. 56-51.

91. Alarousu E., Krehut L., Prykari Т., Myllya R. Study on the use of optical coherence tomography in measurements of paper properties.// Meas. Sci. Technol. 2005.-Vol. 16.-P. 1131 - 1137.

92. Аксененко М.Д., Бараночников M.JI. Приемники оптического излучения. - М.: Радио и связь, 1987. - 296с.

93. Пресс Ф.П. Фоточувствительные приборы с зарядовой связью М.: Радио и связь, 1991. - 262с.

94. Kogelnik Н., Li N. Laser beams and resonators // Appl. Opt. - 1966. - V.5. -№10.-P. 1550.

95. Сайт фирмы PI [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://www.physikinstrumente.com/en/products/prspecs.php?sortnr=202500 свободный. Яз. англ. (дата обращения 01.04.2013).

96. Сайт фирмы ТЬогкЬэ [Электронный ресурс]. Режим доступа: http://www.thorlabs.de/NewGroupPage9.cfm?ObjectGroup_ID=5281 свободный. Яз. англ. (дата обращения 03.04.2013).