Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.07, кандидат технических наук Невшупа, Роман Александрович

  • Невшупа, Роман Александрович
  • кандидат технических науккандидат технических наук
  • 1999, Москва
  • Специальность ВАК РФ05.27.07
  • Количество страниц 209
Невшупа, Роман Александрович. Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева: дис. кандидат технических наук: 05.27.07 - Оборудование производства электронной техники. Москва. 1999. 209 с.

Оглавление диссертации кандидат технических наук Невшупа, Роман Александрович

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

1. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМ И ЗАДАЧ ПОВЫШЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА

1.1. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ НАДЕЖНОСТИ НА ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

1.2. АНАЛИЗ ПРОТИВОРЕЧИЙ МЕЖДУ ТРЕБОВАНИЯМИ, ПРЕДЪЯВЛЯЕМЫМИ К НАДЕЖНОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ И ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ НАДЕЖНОСТИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА

1.2.1. Анализ требований к механизмам, работающим в вакууме

1.2.2. Типовые вакуумные механизмы и элементы

1.2.3. Анализ противоречий между требованиями, предъявляемыми к вакуумному приводу

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1

2. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ ОБЕЗГАЖИБАЮЩЕГО ПРОГРЕВА НА ДЕФОРМАЦИЮ ДЕТАЛЕЙ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА

2.1. ОСОБЫЕ ТРЕБОВАНИЯ К КОНСТРУКЦИОННЫМ МАТЕРИАЛАМ И РЕЖИМАМ ЭКСПЛУАТАЦИИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА КАК ПРЕДПОСЫЛКИ ПОЛЗУЧЕСТИ ДЕТАЛЕЙ ВАКУУМНЫХ МЕХАНИЗМОВ

2.2. ОСНОВНЫЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ПРОЦЕССОВ ПОЛЗУЧЕСТИ И РЕЛАКСАЦИИ НАПРЯЖЕНИЙ МЕТАЛЛОВ

-32.3. АНАЛИЗ ПАРАМЕТРОВ, ХАРАКТЕРИЗУЮЩИХ НЕУСТАНОВИВШУЮСЯ СТАДИЮ ПОЛЗУЧЕСТИ

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 2

3. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ПОКАЗАТЕЛЕЙ НАДЕЖНОСТИ СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ С УЧЕТОМ ПРОГРЕВА

3.1. АНАЛИЗ ЗАВИСИМОСТИ ПОКАЗАТЕЛЕЙ НАДЕЖНОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ОТ ПАРАМЕТРОВ ПРИВОДА

3.2. ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ НАДЕЖНОСТИ СВВ ОБОРУДОВАНИЯ

3.3. РАЗРАБОТКА ВЕРОЯТНОСТНОЙ МОДЕЛИ ФОРМИРОВАНИЯ ВЫХОДНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРИВОДА НА ПРИМЕРЕ ГЕРМЕТИЧНОЙ ПЛАНЕТАРНОЙ ПЕРЕДАЧИ

3.3.1 .Анализ факторов, формирующих выходные параметры привода

3.3.2. Модель возникновения деформаций деталей привода при прогреве

77

3.3.3. Вероятностная модель формирования действительной погрешности взаимного положения элементов герметичной планетарной передачи с учетом прогрева

3.3.4. Вероятностная модель формирования собственного момента сопротивления вращению с учетом прогрева

3.3.5. Вероятностная модель формирования кинематической погрешности и погрешности мертвого хода ГПП с учетом прогрева

-4Стр.

3.3.6. Вероятностная модель формирования потока газовыделения при

работе ГПП с учетом прогрева

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 3

4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОГРЕВА НА РАБОТОСПОСОБНОСТЬ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА

4.1. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФОРМАЦИЙ КОРПУСНЫХ ДЕТАЛЕЙ ПРИВОДА ВСЛЕДСТВИЕ ПРОГРЕВА

4.1.1. Экспериментального стенда и методика проведения прогрева

4.1.2. Описание оборудования и методики измерения деформаций, возникших в результате прогрева

4.1.3. Результаты исследования деформаций моделей корпусных деталей, возникающих при обезгаживающем прогреве

4.2. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ДЕФОРМАЦИЙ НА ФОРМИРОВАНИЕ ВЫХОДНЫХ ПАРАМЕТРОВ ГПП 13

4.2.1. Экспериментальная установка и методика исследования

4.2.2. Результаты экспериментов

4.3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЛНОВЫХ ОБОЛОЧЕК 162 4.3.1 .Исследование деформации волновых оболочек при прогреве 162 4.3.2. Исследование изменения собственного момента сопротивления

вращению волновой передачи под влиянием прогрева

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 4

5. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ПАРАМЕТРОВ ЗУБЧАТЫХ ВВОДОВ ВРАЩЕНИЯ С УЧЕТОМ ПРОГРЕВА

5.1. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ПАРАМЕТРА ПОТОКА ОТКАЗОВ, СВЯЗАННЫХ С НЕЗАПУСКОМ ПРИВОДА

5.1.1.Расчет приведенной действительной погрешности взаимного положения элементов привода с учетом прогрева

5.1.2. Методика расчета собственного момента сопротивления ГПП

5.1.3. Методика расчета параметра потока внезапных отказов, связанных с незапуском привода, с учетом прогрева

5.2. МЕТОДИКА РАСЧЕТА ПОТОКА ГАЗОВЫДЕЛЕНИЯ ИЗ ЗУБЧАТОГО ЗАЦЕПЛЕНИЯ ГПП С УЧЕТОМ ПРОГРЕВА

5.3. РЕКОМЕНДАЦИИ ПО РАСЧЕТУ СОБСТВЕННОГО МОМЕНТА СОПРОТИВЛЕНИЯ ВОЛНОВОЙ ОБОЛОЧКИ С УЧЕТОМ ПРОГРЕВА

5.4. РЕКОМЕНДАЦИИ ПО ИСПОЛЬЗОВАНИЮ РАСЧЕТОВ МОМЕНТА СОПРОТИВЛЕНИЯ В СИСТЕМЕ ДИАГНОСТИКИ

ВЫВОДЫ

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ 1

ПРИЛОЖЕНИЕ 2

ПРИЛОЖЕНИЕ 3

Посвящается моим родителям

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Оборудование производства электронной техники», 05.27.07 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева»

ВВЕДЕНИЕ

Современное вакуумное технологическое оборудование, оборудование структурного, физического и химического анализа материалов, космическое и ядерное оборудование невозможно представить без вакуумного привода.

Последние достижения в технологии электронных приборов, такие как переход на 0.18 мкм технологию изготовления микросхем памяти и микропроцессоров и разработка электронно-оптических преобразователей на основе нового типа ОаАв активных катодных покрытий с отрицательным сродством, позволяющим в несколько раз повысить порог чувствительности и разрешающую способность преобразователя, стали возможны благодаря применению новейших видов оборудования, такого как установки ионной имплантации, электронно-лучевой и рентгеновской литографии, ионного и плазмохимического травления, сборки ФЭП методом переноса и т.д., включающего до 20 операций, осуществляемых в едином технологическом цикле в вакууме. При этом на несколько порядков возросли требования по вакууму и его парциальному составу: предельное давление Р<10"10 Па, рабочий

о п

вакуум РРаб.=10" ...10" Па, отсутствие углеводородов.

При создании линий, включающих в себя ряд технологических камер-модулей остро встает проблема надежности оборудования, как один из факторов повышения эффективности его эксплуатации. Надежность машин необходима для автоматизации процессов, которые не может реализовать оператор в силу ограниченных физиологических возможностей, уменьшения огромных затрат на ремонт и убытков от простоя. Проблема устранения аварийных отказов является актуальной

-7в сверхвысоковакуумном технологическом оборудовании, где аварийные отказы ведут к длительным (до двух суток) простоям, связанным с последующим выводом установки на рабочий режим и с потерей дорогостоящих полуфабрикатов.

В космической технике, такой как орбитальные станции, космические корабли, научные спутники и спутники связи, самоходные станции для исследования других планет и др., требования, предъявляемые к надежности привода, особенно высоки, поскольку отказ привода может привести к отказу всего комплекса, стоимость которого исчисляется десятками и сотнями миллионов долларов. Замена отказавших элементов, как правило, либо невозможна, либо сопряжена с огромными сложностями и затратами (вывод 1 килограмма груза на орбиту оценивается в 10 тысяч долларов США), а избыточное резервирование утяжеляет и усложняют конструкцию. Привод должен иметь высокую надежность при работе в условиях большого перепада температур, воздействия потоков частиц, космического излучения.

Еще более актуальной является задача предотвращения отказов в вакуумных установках ядерного оборудования (Токамак, ИТЭР и др.) и экспериментальных физических установках, что связано обеспечением экологических требований и безопасностью. Высокая надежность привода здесь также должна обеспечиваться в тяжелых условиях воздействия высоких температур и радиации.

Возрастающие требования к чистоте технологической среды, развитие сверхвысоковакуумной техники и появление оборудования экстремально высокого вакуума (р<10"10 Па) привело к усложнению условий работы привода и в составе технологического оборудования. Достижение столь глубокого вакуума стало возможно благодаря новым технологиям очистки внутренних поверхностей вакуум-

ных камер, специальным методам обработки и пассивирования поверхности, приводящих к уменьшению газовыделения, а также тщательному обезгаживанию всей вакуумной системы, заключающемуся в предварительном вакуумном отжиге и последующем обезгаживающем прогреве установке.

Наиболее эффективное обезгаживание происходит при выдержке установки при Т=400-450°С в течение 8-150 ч. и откачке высоковакуумными средствами. Однако, наличие в составе установки механических элементов (клапанов, затворов, манипуляторов, вводов движения и др.) или аналитического оборудования не позволяет прогревать установку выше 150-250°С, что значительно снижает эффективность обезгаживания. Повышенные температуры прогрева приводят к ухудшению работоспособности механизмов, снижают их надежность и долговечность.

Для повышения надежности прогреваемого вакуумного привода необходимо выявить причины возникновения отказов, раскрыть механизм формирования отказов, установить влияние прогрева.

Целью данной работы является повышение надежности вакуумного привода на основе учета влияния обезгаживающего прогрева.

В соответствии с поставленной целью на защиту выносятся:

1. Вероятностная математическая модель формирования внезапного отказа (незапуска) привода.

2. Модель влияния прогрева на выходные параметры герметичных зубчатых вводов вращения.

3. Математическая модель формирования выходных параметров герметичной планетарной передачи: собственного момента сопротивления, кинематической погрешности, потока газовыделения, - с учетом влияния прогрева.

-94. Инженерная методика расчета параметра потока внезапных отказов (незапусков) герметичной планетарной передачи.

5. Инженерная методика расчета выходных параметров герметичной планетарной передачи.

Результаты исследования были использованы при разработке «Системы диагностики механических элементов вакуумного оборудования» в МГТУ им. Н.Э.Баумана, а также в международном российско-испанском проекте «Разработка теории газообмена и методов ее практического использования».

В заключении автору хотелось бы выразить искреннюю признательность Д.Р.Ахмадиеву за помощь и критические замечания при исследовании остаточных деформаций деталей при прогреве. Особую благодарность автор приносит своему коллеге А.Г.Пересадько за сотрудничество и весьма значительную помощь при подготовке экспериментального высоковакуумного стенда и обработке результатов исследований, а также студентам и аспирантам студенческого конструкторского бюро и коллективу кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э.Баумана за рассмотрение работы и полезные замечания.

- 101. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМ И ЗАДАЧ ПОВЫШЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ВАКУУМНОГО ПРИВОДА

1.1. АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ НАДЕЖНОСТИ НА

ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Производительность оборудования является тем важнейшим его выходным параметром и техническим критерием /85/, который позволяет объективно оценивать эффективность принятых конструктивных решений, связанных с разработкой привода как элемента оборудования.

Привод и внутрикамерные механизмы из-за нестабильности своих параметров, низкой надежности сильно влияют на фактическую производительность оборудования, вызывая ее заметное снижение. Близость нестабильных параметров оборудования (в том числе привода) к жестким допустимым значениям снижает параметрическую надежность оборудования; тяжелые условия работы механизмов в вакууме резко сокращают срок службы кинематических пар, снижают надежность функционирования привода и техническую (фактическую) производительность оборудования в целом.

Рассмотрим влияние показателей надежности привода на производительность вакуумного оборудования.

Фактическая производительность ()ф учитывает внецикловые потери времени, имеющие место при работе реальных установок в условиях производства:

я

где к - технологическая производительность к=1Лр ; Тц - время цикла; -время рабочих ходов цикла, включающее в общем случае время формирования параметров изделия в процессе обработки; 1Х - время несовмещенных холостых (вспомогательных) ходов цикла; Шп - внецикловые потери, приходящиеся на один рабочий цикл.

Внецикловые потери оборудования включают потери по инструменту, по оборудованию, по переналадке на другое изделие /85/, а также на запуск и остановку оборудования /81/ и описываются соответствующими коэффициентами.

Фактическая производительность с учетом всех перечисленных потерь может быть записана:

где цис - коэффициент использования установки; цп - коэффициент параметрической надежности установки; - коэффициент надежности функционирования; цт - коэффициент запуска; ц3 - коэффициент загрузки.

Техническая производительность является важнейшей характеристикой оборудования и позволяет учесть только собственные внецикловые простои, вызванные отказами и ремонтом оборудования за период его работы:

п

(2)

Qm =

(3)

где цт - коэффициент технического использования, цт=цп цф 4зп\ ХХпб -собственные потери оборудования на ремонт и подрегулировку (без учета брака) и по браку соответственно, приходящиеся на цикл.

Коэффициент надежности функционирования равен /85/:

_ в,+в. 1

1

где вр - суммарное время работы установки за данный период; в6 - суммарное время, связанное с выпуском брака за данный период; вн - суммарное время наладки и ремонта оборудования за данный период; - внецикловые потери по ремонту /'-го элемента или узла; М- количество рассматриваемых малонадежных механизмов. В свою очередь:

М М 0 м

X = (5)

1 1 1

где 0],Т]- соответственно среднее время устранения отказа и наработка на

отказ у-го узла или элемента установки.

После преобразования и выделения элементов привода движения в вакуум получим:

Похожие диссертационные работы по специальности «Оборудование производства электронной техники», 05.27.07 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Оборудование производства электронной техники», Невшупа, Роман Александрович

выводы

1. Анализ существующих методов регулирования надежности показал, что существенное повышение надежности привода как в системе ППР, так и при использовании системы диагностирования технического состояния возможно лишь при использовании вероятностной информации о параметрах привода, в том числе точностных, включая остаточную деформацию деталей в результате обезгаживаю-щего прогрева.

2. Получены теоретические зависимости для расчета ряда показателей надежности привода, в том числе параметра потока внезапных отказов и среднего времени наработки на отказ, которые являются функцией величины остаточных деформаций деталей при прогреве и момента сопротивления привода.

3. Показано противоречивое влияние прогрева на параметры привода: повышение параметрической надежности по параметру «вакуум» приводит к понижению параметрической надежности по параметру «точность», снижает вероятность безотказной работы.

4. Показано, что величина остаточных деформаций деталей вакуумного привода при прогреве соизмерима с допусками на отклонение размеров, формы и взаимного положения деталей привода: прогрев корпусных деталей привода при температурах 200-450°С и даже малых изгибных нагрузках (2-4 МПа) приводит к возникновению остаточных деформаций 3-140 мкм за прогрев; прогрев волновых оболочек в рабочем деформированном состоянии (в сборе с генератором волн) приводит к возникновению остаточных деформаций и отклонению от круглости поперечного сечения оболочки (-65 мкм по радиусу).

-1865. Показано, что возникновение остаточных деформаций корпусных деталей привода в диапазоне 344-678 мкм приводит к выборке зазоров и возникновению интерференции зубчатого зацепления ГПП, что приводит к увеличению пикового значения потока газовыделения в 37.5 раз, среднего потока газовыделения в 2.53 раза; пикового значения момента сопротивления в 6 раз, среднего момента сопротивления в 1.15 раза.

6. Разработана вероятностная модель формирования выходных параметров герметичных зубчатых вводов вращения: собственного момента сопротивления, потока газовыделения, кинематической погрешности; показано влияние первичных погрешностей, в том числе погрешностей изготовления и сборки деталей привода, а также остаточных деформаций, возникающих в деталях привода при обезгажи-вающем прогреве.

7. Показано, что собственный момент сопротивления вращению герметичных зубчатых вводов вращения является периодическим полигармоническим сигналом , хорошо выделяется при спектральном анализе и может использоваться при компьютерном диагностировании привода в качестве основного информационного источника.

8. Показано, что сигнал потока газовыделения состоит из периодически возникающих пиков с последующим переходным процессом, которые сильно кор-релированы с пиками собственного момента сопротивления, однако использование коррелограммиого метода оценки СПМ сигнала потока газовыделения не позволяет выделить периодическую составляющую в сигнале.

9. Показано, что возрастание собственного момента сопротивления при возникновении интерференции сопровождается увеличением максимального пикового значения сигнала момента, что может использоваться для диагностики состояния привода в качестве дополнительного источника информации.

10. Даны рекомендации по расчету показателей надежности с учетом влияния обезгаживающего прогрева: параметра потока внезапных отказов и вероятности безотказной работы по незапуску или заклиниванию привода, вероятности превышения давлением допустимого значения, - выходных характеристик привода (момента сопротивления и потока газовыделения), а также по использованию результатов исследований в системе диагностики вакуумного привода.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Невшупа, Роман Александрович, 1999 год

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ

ЛИТЕРАТУРЫ

1. Александрова А.Т. Исследование процессов дестабилизации параметров системы "механизм - контролируемая вакуумная среда" и разработка теоретических основ проектирования оптимальных механизмов: Автореф. ...дис. док. техн. наук: 05.02.12. - М., 1979. - 46 с.

2. Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования/ И.В.Панкратов , Г.Х. Саторов, Е.А.Деулин, Б.И. Васичев// Обзоры по электронной технике. Сер.7, Технология, организация производства и оборудование. - 1986. - Вып. 14 (1219) - М..: ЦНИИ "Электроника". - 44 с.

3. Андреева Л.Е. Упругие элементы приборов. - М.: Машиностроение, 1981. - 392 с.

4. Аршакуни А.Л. Систематизация и разработка кинетических уравнений для описания процессов ползучести конструкционных материалов. - Автореф. дис. ...канд. тех. наук. - М., 1981. - 16 с.

5. Ашинов С.А, Исследование автоматизированного оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме с целью повышения его производительности и надежности: Автореферат дис. ...канд. техн. наук. - М., 1982. - 16 с.

6. Баринов С.М. Исследование переходной ползучести некоторых материалов: Автореф. дис. ...канд. тех. наук. - М., 1975. - 16 с.

7. Белкин И.М. Допуски и посадки: Учеб. пособие для студентов машиностроительных специальностей высших технических заведений. - М.: Машиностроение, 1992.-528 с.

- 1898. Бендат Дж., Пирсол А. Прикладной анализ случайных данных: Пер. с англ. - М.:: Мир, 1989. -540 с.

9. Блинов И.Г., Данилин Б.С., Пупко В.А. Вопросы эксплуатации надежности установок вакуумного напыления // Электронная техника. Сер. 10, Технология и организация производства. - 1970. - №3. - С. 100-116.

10. Бойл Дж., Спенс Дж. Анализ напряжений в конструкциях при ползучести: Пер с англ. - М.:Мир, 1986. - 360 с.

П.Бородачев H.A. Точность производства в машиностроении и приборостроении. - М.: Машиностроение, 1973. - 372 с.

12. Бронштейн И.Н., Семендяев К.А. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов. - М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986. - 544 с.

13. Вагин Н.С. Разработка герметичных волновых зубчатых передач для сверхвысоковакуумного технологического оборудования и повышение их надежности: Дис. ...канд. техн. наук: 05.02.12. - М., 1984. - 226 с.

14. Вакуумная техника: Справочник/ Е.С.Фролов, В.Е.Минайчев, А.Т.Александрова и др.; под общ. ред. Е.С.Фролова, В.Е.Минайчева. - М.: Машиностроение, 1992. - 480 с.

15. Василенко Н.В. Исследование кинематических и прочностных характеристик волновой передачи винт-гайка для вводов движения в вакуум оборудования электронной техники: Автореф. дис. ...канд. техн. наук: 05.02.12.- Красноярск, 1978.- 16 с.

16.Волчкевич Л.И. Надежность автоматических линий. - М.: Машиностроение, 1969. - 308с.

-19017. Вопросы технологической надежности./ Под ред. И.В.Дунина-Барковского. - М.: Изд-во стандартов, 1974. - 168 с.

18. Гаврилова Т.Ф. Модель механизма ползучести и методика определения параметров уравнения состояния материала. - Автореф. дис. ...канд. тех. наук. -Киев, 1983.- 16 с.

19. Гиндин И.А., Стародубов Я.Д. Ползучесть кристаллических тел при низких температурах (90 - 1.2 К)// Физические процессы пластической деформации при низких температурах: Сб. науч. тр. - Киев: Наукова думка, 1974. - С. 322-339.

20. ГОСТ 1643-81. Основные нормы взаимозаменяемости. Передачи зубчатые цилиндрические: Допуски. - М.: Изд-во стандартов, 1985. - 69 с.

21. ГОСТ 21098-82. Цепи кинематические. Методы расчета точности. - М.: Изд-во стандартов, 1984. - 26 с.

22. ГОСТ 27.002-83. Надежность в технике. Термины и определения. - М.: Изд-во стандартов, 1983. -30 с.

23. ГОСТ 27.503-81. Надежность в технике. Система сбора и обработки информации. Методы оценки показателей надежности. - М.: Изд-во стандартов, 1982. -55 с.

24. ГОСТ 3248-81. Металлы. Методы испытаний на ползучесть. - М.: Изд-во стандартов, 1981. -44 с.

25. ГОСТ 5582-75. Сталь тонколистовая коррозионно-стойкая, жаростойкая и жаропрочная. - М.: Изд-во стандартов, 1975. - 18 с.

26. ГОСТ 5632-72. Стали высоколегированные и сплавы коррозионно-стойкие, жаростойкие и жаропрочные. Марки и технические требования. - М.: Изд-во стандартов, 1984. - 32 с.

27. ГОСТ 5949-75. Сталь сортовая и калиброванная коррозионно-стойкая, жаростойкая и жаропрочная. Технические условия. - М.: Изд-во стандартов, 1975. -28 с.

28. ГОСТ 9178-81. Основные нормы взаимозаменяемости. Передачи зубчатые цилиндрические мелкомодульные: Допуски. - М.: Изд-во стандартов, 1981. -39 с.

29. ГОСТ 9940-81. Трубы бесшовные горячедеформированные из коррозионно-стойкой стали. Технические условия. - М.: Изд-во стандартов, 1981. - 18 с.

30. Гущин И.В. Исследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудования: Автореферат дис. ...канд. техн. наук. - М., 1997. -16 с.

31. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. -М.: Энергия, 1972. - 256 с.

32. Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напыли-тельного оборудования с целью создания унифицированных конструкций: Авто-реф. дис. ...канд. техн. наук. - М., 1971. -16 с.

33. Деулин Е.А. Основы теории проектирования механизмов автоматизированного сверхвысоковакуумного оборудования: Дисс. ...док. тех. наук. - М., 1987. -640 с.

34. Деулин Е.А., Медников М.И., Папко В.М. Расчет, конструирование и особенности эксплуатации механизмов для работы в вакууме/ Заочный институт повышения квалификации ИТР. - М.: Машиностроение, 1986. - 80 с.

35. Деулин Е.А., Павлов А.Н. Повышение точности герметичных планетарных вводов вращения // Известия вузов. Машиностроение. - 1982. - №10. - С.37-42.

>

36. Жданович Т.К. Термическая и термомеханическая обработка обычной и чистой по примесям аустенитной нержавеющей стали с целью повышения её эксплуатационных свойств. - Автореф. дис. ...канд. тех. наук. - М., 1985. - 16 с.

37. Зарипова Р.Г., Кайбышев O.A., Салищев Г.А. Изменение структуры и свойств аустенитной коррозионно-стойкой стали при динамической рекристалли-зации//Металловедение и термическая обработка металлов. - 1993. - № 9. - С. 19-22.

38. Ильичев В.Я., Старцев В.И., Шаповалов И.А. Ползучесть некоторых ау-стенитных сталей при низких температурах.// Физические процессы пластической деформации при низких температурах: Сб. науч. тр.- Киев: Наукова думка, 1974.-С. 358-361.

39. Исследование работоспособности механизмов специзделия в условиях вакуума, низких и высоких температур: Отчет о научно-исследовательской работе/ МГТУ. Руководитель Б.П.Нажесткин. - ГР №81017636, инв. №А121176. -М.., 1978. - 170 с.

40. Исследования ползучести твердых водорода и дейтерия/ Д.Н. Болынут-кин, Ю.Е. Стеценко, JI.A. Индан, A.A. Худотеплая// Физические процессы пластической деформации при низких температурах: Сб. науч. тр. - Киев: Наукова думка, 1974.-С. 345-351.

41. Кеннеди А.Дж. Ползучесть и усталость в металлах: Пер. с англ. - М.: Металлургия, 1965. - 312 с.

42.Коваль В.А. Исследование низкотемпературной ползучести некоторых ГЦК металлов: Автореф. дис. ...канд. тех. наук. - Харьков, 1975. - 16 с.

43. Кожевников В.П., Короткова J1.B. Методы точностных расчетов и рекомендации по их применению в электронной промышленности// Обзоры по электронной технике. Сер.8. - 1986. - Вып. 2 (359). - М.: ЦНИИ "Электроника". -42 с.

44. Конструкционные материалы: Справочник/ Б.Н.Арзамасов, В.А.Брострем, Н.А.Буше и др.; Под общ. ред. Б.Н.Арзамасова. - М.: Машиностроение, 1990.-688 с.

45.Куцоконь В.А. и др. Применение теории вероятности при проектировании механизмов приборов. - JL: Машиностроение, 1971. - 260 с.

46. Куцоконь В.А. Точность кинематических цепей приборов. - Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1980. - 221 с.

47. Львовский E.H. Статистические методы построения эмпирических формул: Учеб. Пособие для втузов. - 2-е изд. перераб. и доп. - М.: Высш. шк., 1988. -239 с.

48. Лютый Е.М. О влиянии температурно-временных факторов на процессы деформационного упрочнения сталей типа 1Х18Н9Т. - Автореф. дис. ...канд. тех. наук. - Львов, 1973. - 27 с.

49. Малинин H.H. Прикладная теория пластичности и ползучести: Учебник для студентов вузов. - М.: Машиностроение, 1975. - 400 с.

50. Марпл. - мл. С.Л. Цифровой спектральный анализ и его приложения: Пер. с англ. - М.: Мир, 1990. - 584 с.

51. Методика оптимизации периодичности проведения замен технических устройств /ГКС СМ СССР. - М.: Издательство стандартов, 1975. - 31 с.

52.Нечволод Н.К. Ползучесть кристаллических тел при низких температурах. - Киев-Донецк: Вища школа. Головное издательство, 1980. -184 с.

53. Носовский Б.И. Исследование условий возникновения локальных разрушений в сварных соединениях из аустенитных сталей, работающих при повышенных температурах: Дис. ...канд. техн. наук. - М., 1972. - 186 с.

54. ОСТ 11.426.001-76. Вводы вакуумные волновые. Технические условия. -Введ. 1.01.1978.-М., 1978.-24 с.

55. Паркер Э.Р., Уошберн Дж. Роль границ в явлениях ползучести/ Пер. с англ. М.Б.Гутермана // Ползучесть и возврат: Сб. науч. тр. - М.: ГНТИ черной и цветной металлургии, 1961.- С. 260-285.

56. Перель Л.Я., Филатов A.A. Подшипники качения: Расчет, проектирование и обслуживание опор: Справочник. - М.: Машиностроение, 1992. - 524 с.

57. Повышение надежности исполнительных механизмов УВН./ С.А.Ашинов, И.Г.Блинов, Е.А.Деулин, Ю.Я.Мелехин, Ю.А.Хруничев.// Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование. - 1978. - Вып. 14(566); Ч.З. - М.: ЦНИИ "Электроника". - 40с.

58. Ползучесть аустенитных сталей при низких температурах/ Г.А.Степанов, Э.А.Киви, Л.С.Беркутская, И.А.Шлямнева.// Физические процессы пластической деформации при низких температурах: Сб. науч. тр. - Киев: Наукова думка, 1974. -С. 361-364.

59. Производительность и структура установок вакуумного нанесения тонких пленок./С.А.Ашинов, Е.А.Деулин, Ю.Я.Мелехин, Ю.А.Хруничев.// Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме. Сер. 7, Технология, организация производства и оборудование. - 1977. - Вып. 14(566); 4.1. -М.:ЦНИИ "Электроника", 1977.-48 с.

60. Проников A.C. Надежность машин. - М.: Машиностроение, 1978. - 591 с.

61.Пупко В.А. Исследование производительности и экономической эффективности вакуумного напылительного оборудования для изготовления тонкопленочных интегральных микросхем: Автореферат дис. ...канд. техн. наук. - М.: 1969. -22 с.

62. Работнов Ю.Н. Ползучесть элементов конструкций. - М.: Наука, 1966. -

752 с.

63. Разработка методики проектирования и исследования параметров прецизионных вакуумных приводов: Отчет о научно-исследовательской работе/ МГТУ; Руководитель Е.А.Деулин. - ГР№80005833, инв. № А121880. - М., 1980. - 190 с.

64. Разработка системы ранней диагностики механических элементов вакуумного оборудования.: Отчет о научно-исследовательской работе/ МГТУ. Руководитель Е.А.Деулин. Исполнители Р.А.Невшупа, А.Г.Пересадько, С.Г.Золотухин и др. - ГР №01.9.60000548, инв. №02.9.60000015. - М., 1995. - 90 с.

65.Регель В.Р., Слуцкер А.И., Томашевский Э.Е. Кинетическая природа прочности твердых тел. - М.: Наука, Главная редакция физ.-мат. литературы. -1974. - 560 с.

66. Решетов Д.Н. Детали машин: Учебник для втузов. - М.: Высшадшкола, 1989.-496 с.

67.Розенберг В.М. Основы жаропрочности металлических материалов. -М.Металлургия, 1973. - 328 с.

68. Руководство к выполнению расчетной части курсовых и дипломных проектов: Учебное пособие для студентов вечернего факультета/ Л.И.Волчкевич, И.И.Камышный, Е.А.Деулин и др. - М.: МВТУ, 1985. - 60 с.

- 19669. Рябов В.Т. Исследование автоматизированных процессов сборки блоков сверхминиатюрных ламп с целью повышения надежности и производительности сборочных машин: Автореф. дис. ...канд. техн. наук: 05.02.07.- М., 1978. - 16 с.

70. Саксаганский Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. - М.: Атомиздат, 1980. - 216 с.

71.Синодеев И.В. Разработка и исследование механизмов поступательного движения на базе планетарных винтовых передач с внешним сопряжением для вакуумного технологического оборудования: Автореф. дис. ...канд. техн. наук. - М., 1984. - 16 с.

72. Солдагов В.П. Неустановившаяся ползучесть металлов при низких температурах. - Автореф. дис. ...док. тех. наук. - Харьков, 1988. -42 с.

73.Соснин О.В. О ползучести металлических материалов (Феноменологическая теория): Автореф. дис. ...док. физ.-мат. наук. - Новосибирск, 1970. - 40 с.

74. Старостин В.Ф. Движение шарика в радиально-упорном шарикоподшипнике// Труды ВНИИГШ. - 1966. - №1(45). - С. 42-53.

75. Старцев В.И., Ильичев В.Я., Пустовалов В.В. Пластичность и прочность металлов и сплавов при низких температурах. - М.: Металлургия, 1975. - 328 с.

76. Статистическая обработка результатов экспериментов на микро-ЭВМ и программируемых калькуляторах/ A.A. Костылев, П.В. Миляев, Ю.Д. Дорский и др. - Л.: Энергоатомиздат. Ленингр. отд-ние, 1991. -304 с.

77. Степаньянц Ю.Р. Исследование автоматизированных процессов сборки электронно-оптических систем цветных кинескопов с целью повышения точности и производительности сборочного оборудования: Автореф. дис. ...канд. техн. наук: 05.02.07.- М., 1979. - 16 с.

- 19778. Уравнения и краевые задачи теории пластичности и ползучести. Справочное пособие/ Г.С. Писаренко, Н.С.Можаровский. - Киев:Наукова Думка, 1981. -496 с.

79. Физические величины: Справочник/ А.П.Бабичев, Н.А.Бабушкина, А.М.Братковский и др.; Под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова. - М.: Энерго-атомиздат, 1991. - 1232 с.

80. Хруничев Ю.А. Автоматические сборочные станки в электровакуумном производстве// Автоматизация сборочных работ в приборостроении: Тезисы докладов Всесоюзной научно-технической конференции. - М.:МВТУ, 1975. -160 с.

81. Хруничев Ю.А. Анализ производительности оборудования для производства электронных приборов// Электровакуумное машиностроение: Межвузовский сборник. - 1978. - Вып. 2. - М.: МИРЭА. -С. 46-71.

82. Хруничев Ю.А., Кахановский Г.В., Савков В.Н. Методика разработки унифицированных сборочных механизмов на основе анализа технологического процесса и оборудования// Проблемы автоматизации и надежности оборудования в электронной технике. - 1978. - № 267. - С. 34.

83. Цветков Ю.Б. Исследование автоматизированных установок совмещения и экспонирования для фотолитографии с целью повышения их производительности и точности: Автореф. дис. ...канд. техн. наук: 05.02.07.- М., 1979. - 16 с.

84. Чадек Й. Ползучесть металлических материалов: Пер. с чешского Г.В.Бережковой/Под ред. В.Р.Регеля. - М.:Мир, 1987. - 302 с.

85. Шаумян Г.А. Комплексная автоматизация производственных процессов. -М.: Машиностроение, 1973. - 639с.

- 19886. Шевченко С.М. Долговечность и ползучесть некоторых металлов в интервале температур (0,2-0,8)Тпл при одно- и двухосном напряженном состоянии: Автореф. дис.... канд. тех. наук. - Горький, 1982. - 16 с.

87. Юрков Ю.В. Исследование шарикоподшипников, работающих в автоматизированном вакуумном технологическом оборудовании: Автореф. дис. ...канд. техн. наук: 05.02.07 - М., 1981. -16 с.

88. Akchmadiev D.R., Deulin Е.А. About reliability of baking ultra high vacuum mechanisms// 12th International Vacuum Congress: Book of abstracts. - Hague, 1992. -P. 88.

89. Brevet 1585043 (Republique Française) Dispositif de pompage/ Hirsch.R.L. -7.6.68, N154195; Bulletin Officiel de la Propriété Industrielle. - N2. - P. 133-145.

90. Catalogue "Vacuum Generators": High Precision Specimen Translators, 04.009.378. Sussex. England. Великобритания.

91. Catalogue Balzers, BA 800074 PE (8801), Liechtenstein, Ed. - 1987. - P.6-8. Лихтенштейн.

92. Catalogue Edward's Vacuum Equipment, 01978. - P. 132-133. Великобритания.

93. Catalogue Leisk (Leisk Engineereng Limited), 04.006.984, 04.005.287, West Sussex, England. Великобритания.

94. Catalogue Leisk. RM Series Rotary motions, 04.003.180. England. Великобритания.

95. Catalogue Leybold-Heraeus Schiebedurckfuhrung Kat.-N 882.29. -P. 11-12. Германия.

- 19996. Catalogue MECA 2000 TRANSFER RODS Preliminary brochure 4015. Франция.

97. Catalogue RIBER, 608 40 J 595. - P. 803. Франция.

98. Catalogue RIBER. Single motion feedthrongh. 608 IOL 191-192, 710. Франция.

99. Catalogue Ulvac, №E4205, p.13, №E0203. - P.8. Япония.

100. Catalogue ULVAC, Rotary motion feedthrough, Model TDU-8, № У2302, Japan, Tokyo. Япония.

101. Catalogue Vacuum Generators, Rotary Motion Feedthroughs, RD5, RD6, RD7. 04.004.476 Revised 9/79. США.

102. Catalogue Varian Vacuum Products, 1995/1996. - P. 445-446.

103. Catalogue VAT, BPRL 91 E1. Швейцария.

104. Deulin E.A., Nevshupa R.A.. Computer simulation of gas-surface interaction during operation of mechanisms in vacuum// 5-th European Vacuum Conference/ 10-th International Conference on Thin Films: Book of abstracts. -Salamanca, Spain. -1996. - P. 106.

105. Deulin E.A., Usov A.B., Marusov V.A., et.aU/ IVC-12: Book of abstracts. - Hague, 1992.-P. 80.

106. Deulin E.A.. Concept of exchange of gases under friction in vacuum.// 5-th European Vacuum Conference/ 10-th International Conference on Thin Films: Book of abstracts. - Salamanca, Spain, 1996. - P. 50.

107. Diani J.-M., Parks D.M.. Strain-state effects on Kinetics of Straine-Induced Martensite. - Annual Report '97 of Center of Material Science and Engineering, Masschusetts Institute of Technology.

-200108. Dushman S. Scientific foundations of vacuum technique. - Wiley, New York, 1962.

109. Fujii Y., Ishimaru H. Desorption from ball bearings in ultrahigh vacuum.// J.Vac.Sci.Technol. -1991. - A 9(3). -Pp. 2017-2020.

110. Garofalo F. Fundamentals of creep and creep rupture in metals. -Macmillan, NY, 1965. -360 p.

111. Geyari C. Design considerations in the use of stainless steel for vacuum and cryogenic equipment.// Vacuum. - 1987. - V.27. - P. 297.

112. Groszkowski J.- Bulletin de L'Academie Polonaise des Schiences: Serie des Sciences techniques. - 1963. - Vol.11, N4. - P.21(189)-25(193).

113. Kassner M.E. A case for Taylor hardening during primary and steady-state creep in aluminium and type 304 stainless steel.// Journal of Material Science. - 1990. -V. 25. - P. 1997-2000.

114. Mechanical and physical properties of the austenitic chromium-nickel stainless steels at elevated temperatures. - London, 1966. - 90 p.

115. Readhead P.A., Hobson J.P., Kornelsen E.V. The physical basis of ultrahigh vacuum. - Chapman & Hall, London, 1968.

116. Revue Of Scientific Instruments. -1941. - Vol.12, 91. - P.91-93

117. Roth A. Vacuum Sealing Techniques. - Pergamon Press, 1966.

118. Source book on stainless steels: A discriminative selection of outstanding articles from the periodical publications of Department American Society for Metals. -3rd print. - Metals Pak (Ohio), 1977. - VII, 408 p.

119. Takeshita T. /JsaMpe to nypocacy // Current Adv. Mater. And Process. (The 117th ISIJ Meeting). - 1989. - 2, №3. - C. 843.

Состав и механические свойства некоторых коррозионно-стойких сталей, используемых в вакуумном машиностроении /14 /, /111 /, /44 /, /119 /, /118 /

Марка стали Механические свойства (по данным /111 /) Состав

ГОСТ 563272 AISI США SIS Швеция Werkstott Германия Великобритания Япония Go,2, МПа МПа С мах Сг Ni Mo Ti

08X18Н9 304 2332 1,4301 Еп58Е SUS27 200 500 0,08 18-20 8-12

304L 2352 1.4306 180 480 0.03 18-20 8-12

12X18Н9Т1 200 520 0,12 17-19 8-9,5 5С-0.8

08Х16Н11МЗ 316 2347 1,4401 220 500 0,08 16-18 10-14 2-3

08Х18Н10Т 321 2337 1.4541 210 500 0,08 17-19 9-13 5С-0.7

1 По данным /14 /

1 1 4 Обозначение Наитюдте фимеч

Летали

; Вал б их одной 1

2 Корпус 2

3 Вал бходной 1

4 В им/л 4

5 Гайка 2

6 Колесо зубчатое 1

7 Втулка 7

8 Втулка 7

9 Стакан 1

10 Винт 4

// Корпус 1

Ь Стакан 1

и Втулка 7

14 Колесо зубчатое 1

Стандартные изделия

15 Кольцо J

16 Кольцо 2

17 Кольцо 1

7 8 шшшттт-ъ 6

19 8тЖхЮтт21-8д 4

?0 Шпонка 2

21 Сильфом 1

"

и» ИЕ5ЭЕЦ5Ш гпп Лит 1 Мааа \Масшпш5

/ЬШ Диет 1 /кхтб

Кж

Программа для обработки экспериментальных данных

(Разработали А.Г.Пересадько, Р.А.Невшупа. Дата последнего изменения: февраль 1999)

[FILENAME, PATHNAME] = uigetfile('*.dat', 'Ввод файла данных', 100, 100) cd(PATHNAME);

fid = fopen(FILENAME,'r');

Ncan=3; %Число каналов во вводимом файле данных

Del=l/30; %Интервал сбора данных в одном канале в секундах

А=1:1:10;Т=1:1:10;rev=l:1:10;шош=1:1:10;press=l:1:10;х=1:1:10; [A, COUNT] = fread(fid,[Ncan,inf],'short'); fclose(fid);N=round(COUNT/Ncan); s=0r

for i=4:N-4,

rev(i-3)=A(l,i); mom(i-3)=A(2,i); press(i-3)=A(3,i); s=s+l; x(i-3)=s;

end

Ndat=max(size(press)); v=0;

for i=l:Ndat,

v=v+Del; T(i)=v;

end

sT=size(T); figure (1);

subplot(3,1,1),plot(T,mom);

ylabel('Момент M');xlabel('Время T, сек.');grid; subplot(3,1,2),plot (T,press);

ylabel('Давление P'); xlabel('Время T, сек.1); grid; subplot(3,1,3),plot(T,rev);

ylabel('Обороты ввода'); xlabel('Время T, ceK.');grid;

zoom on;

pause

MaxRev=max(rev);MinRev=min(rev);MeanRev=mean(rev); MedianRev=med.ian (rev) ; for i=l:Ndat,

if rev(i)>MeanRev, rev(i)=MaxRev; elseif rev(i)<=MeanRev, rev(i)=MinRev;

end

end

Ncycles=0; Tper=0; for i=l:Ndat-l,

if rev (i) ===rev (i + 1) , else

if Ncycles ==0, Inachala=i;

end

Ncycles=Ncycles+l;

end

end Ncycles2=0; for i=l:Ndat-1,

if rev(Ndat-i)==rev(Ndat-(i-1) ) , else

if Ncycles2 ==0, Iokonch=Ndat-i;

end

Ncycles2=Ncycles2+l;

end

end

Tper=zeros(1,Ncycles); j=0;

for i=Inachala:Ndat-1, if rev(i)==rev(i+1),

Tper(j)-Tper(j)+Del; else j=j+l;, end

end

Tper=Tper*2;

RevFreq=mean(Tper) ; %Период вращения вала сек.

Freq=60/RevFreq %Частота вращения вала об.мин

Inachala; %Точка начала вращения

Tnachal.a=Inachala*Del %Время начала вращения Trab=Ncycles/2*RevFreq; %Время работы Tokonch=Iokonch*Del %Время окончания вращения Freq2=60/((Tokonch-Tnachala)/(Ncycles/2)) pause;

Tn=Tnachala; Tk=Tok.onch;

in=round(Tn/Del); % Номер точки начала работы ввода

ik=round(Tk/Del); % Номер точки окончания работы ввода

шош=-(mom*l.12е-3-2.324);% Расчёт момента эксперимент ГПП Msumm=0; for i=in:ik,

Msumm=Msumm+mom(i); % Определение среднего значения момента

end

Msr=Msumm/(ik-in);

Mmax=max(mom); % Определение максимального значения момента

Msumm=0;

for i=in:ik,

Msumm=(mom(i)-Msr)A2; % Определение дисперсии момента

end

dispM=Msumm/(ik-in-1);

Strl='M_s_r=1; Str2=1..M_m_a_x=';Str3='..DispM='; Strl=strcat(Strl,num2str(Msr)); Str2=strcat(Str2,num2str(Mmax)); Str3=strcat(Str3,num2str(dispM));

Strs=strcat(Strl,Str2);Strs=strcat(Strs,Str3); subplot(2,1,1),plot(T,mom); ylabel('Момент M, Н.м'); title(Strs);grid; press=press*3.29e-10+6.34e-8; % Расчёт давления q=zeros(size(press));

dq=diff(press); % Дифференцирование массива давления So=64; % Скорость откачки

Vk=32; % Объём камеры

for i=l:Ndat-1,

q(i)=dq(i)*Vk+press(i)*So; % Расчёт потока

end

q(Ndat)-q(Ndat-1) ;

StrP=strcat(' файл...',FILENAME);

subplot(2,1,2),plot(T,press);title(StrP);

ylabel('Давление P, торр 1);xlabel('Время T, ceK.');grid; pause

Tz=6;% Tz - время установления давления при включении ввода

% для учёта переходных процессов in=round((Tn+Tz)/Del); % Номер точки начала расчёта потока Qb=0;

for i=l:round(0.9*in),

Qb=Qb+q(i); % Определение значения фонового потока Qb

end

Qb=Qb/(round(0.9*in-l)); Qsumm=0; for i=in:ik,

Qsr Qsumm=Qsunm+q(i); %Определение среднего значения потока end

Qsr=Qsumm/(ik-in); Qsr=Qsr-Qb;

% Вычитание фонового потока Qb из суммарного среднего потока Qsr MaxQ=max(q)-Qb;% Определение максимального значения потока MaxQ Qsuram=0; %

for i=in:ik, %

Qsumm=(q(i)-Qsr)л2; % Определение дисперсии потока

dispQ

end %

dispQ=Qsumm/(ik-in-1); %

StrQl= ' . . . Q__c__p= ' ; StrQ2=' . . . Q_M_a_x=' ; StrQ3= ' . . . DispQ=' ;

StrQl=strcat(StrQl,num2str(Qsr));

StrQ2=strcat(StrQ2,num2str(MaxQ));

StrQ3=strcat(StrQ3,num2str(dispQ));

StrQl=strcat(StrQl,StrQ2,StrQ3);

subplot(2,1,1),plot(T,mom); ylabel('Момент M, Н.м'); title(Strs);grid;

StrQ=strcat(1 файл.FILENAME); StrQ=strcat(StrQ,StrQl); subplot(2,1,2),plot(T,q);

ylabel('Поток Q, торр л/с1); xlabel('Время T, сек.'); title(StrQ); text (50, 50,StrQl);grid; [x,у,button]=ginput(2);

Nnach=round(min(x)/Del); Nokonch=round(max(x)/Del);

n=Nokonch-Nnach+l

if n<=256

n=258;

Nokonch=Nnach+n;

String=strcat('внимание!!! введённое число точек меньше параметра LAG=256, число точек изменено n=LAG+l'); disp(String);

end

momsr=mean(mom);DispS=sum((mom-momsr).A2)/max(T); mom=mom-momsr; Mas=0; j=0; for i=Nnach:Nokonch j=j+i;

Mas(j)=mom(i);

end

MasSr=mean(Mas); Mas=Mas-MasSr; LAG=256; mode=0; [R0,R]=correlation(n,LAG,mode,Mas,Mas); Window=l:1:LAG; for i=l:LAG

Window(i)=0.538+0.462*cos(pi*i/LAG); %Окно Хэмминга

end

R=R.*Window; Np=4096; Y=fft(R,Np); Pyy=Y.*conj(Y)/Np; f=l/Del*(0:(Np/2-1))/Np; [Pmax I]=max(Pyy); Fpmax=f(I)

figure(2); zoom on; semilogy(f,Pyy(1:Np/2));grid; pause;

T=T';mom=mom';rev=rev';press=press';q=q';

MOut=[T mom rev press q];

cd(1 С:\Herz\Disser\Experimentos GPP');

[FILENAME, PATHNAME] ''= uipu.tf ile ( * * . dat' , 'Сохранение данных', 100, 100); cd(PATHNAME);

save(FILENAME, 'MOut', '-ASCII','-DOUBLE 1, '-TABS'); f=f';Pout=Pyy(1:Np/2);Pout=Pout';FOut=[f Pout]; cd ( ' C: \Herz\D_isser\Experimentos GPP' ) ;

[FILENAME, PATHNAME] = uiputfile('*.dat', 'Сохранение спектра', 100, 100) cd(PATHNAME);

save(FILENAME, 'FOut', '-ASCII','-DOUBLE', '-TABS');

pause;

close all;

ПРОГРАММА РЕАЛИЗАЦИИ МЕЖДОНАРОДЙргЧ) ЙАУЧНО-ТЕХНИЙЕСкОГО ПРОЕКТА ^Разработка теории газообмена прц трении и метоцоч» ее прдк+йческого использования»

Конечная цель проекта, важнейшие этапы реализации проекта Головные организации и организации соисполнители по проекту и важнейшим этапам, страны Срок начала и окончания (год, полугодие) Заказчик. Финансирую щая организация' Затраты российской стороны, р.мктйяя стоимость (млн пх/б^ Предполагав мые затраты инопартнера по проекту

Всего на период вы-полие-ния про* екта А том числе

НИО| Капиталовложения

Всего из них госбюджет

1 2 3 4 5 6 7 8 9

Этац 1 Теоретическое исследовайие процесса газообмена прй работе пар тренйя 6 вакууме и создание теоретических и компьютерны* мЬДелеЙ. Подготовка экспериментальных установок и стендов дМ исследования потоков газо-выДелейия и газОобмЬна в процессе жизни кинематических- пар. 1у1ГТУ Россия Институт Прикладной Физйки ' Испания- 06.97-12.97 Заказчики 1. Институт Ядерного Синтеза 2. ГЦ НИИ «(Полюс» Финансирую щая организация: Миннауки РФ : 200 200 190 10 40000 *

1 Этап 2 Подготовка экспериментальных установок для исследования п(юцессов сорбции и растворения газов прй трении. Изготовление и настройка экспериментальных блоков ддя исследования адсорб-ционно-десорбционных процессов под действием механических напряжений и деформаций. МГТУ Россия Йнсгитут Прикладной Физйки Испания 01.9806.9$ Заказчики 1. Институт Ядерного Синтеза 2. ГЦ НИИ «Полюс» Финансирую щая организация: Миннауки 147 147 145 2 25000 ШБ

Эп*п 3 Экспериментальное исследование газообмена в ЬригцверхностныХ слоях материала, ' находящегося & д сформировал но-нал-ряженном состоянии. Создание компьютерной и физической моделей процессов газообмена в приповерхностны^ слфк трущихся или механически напряженных пар. МГТУ Россия Институт Прикладной Физики Испания 07:98-12.98 Заказчики 1. Институт Ядернрго Синтеза. 2. П} НИИ • «Полюс» финансирую фая организация: Миннауки РФ 152 152 150 2 33000 иБО л 4 • !

Руководитель проекта

Заказчики:

1. Институт Ядерного Синтеза

2.Государственное Предприятие НИИ «Полюс»

Проф., д.т.н. Деулин Е.А.

А

Зам. директора Семашко Н.И.

Начальник комплекса «Токомак» МотенкО В.Г.

г^^^ Директор Казаков АЛ-

Руководитель НТЦ «Лазермаш» Шитов В .А.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.