Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат технических наук Леонов, Леонид Борисович

• Леонов, Леонид Борисович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Леонов, Леонид Борисович

Введение.

Глава 1. Вакуумные системы современного технологического и физико-аналитического оборудования электронной техники на основе турбомолекулярных насосов.

1.1 Общая характеристика.

1.2 Вакуумно-термическая обработка приборов вакуумной электроники с использованием высоковакуумных турбомолекулярных насосов.

1.3 Оборудование ионной имплантации.

1.4 Оборудование для осаждения плёнок из сепарированных ионных потоков.

1.5 Оборудование для осаждения плёнок методом ионного распыления.

1.6 Физико-аналитическое оборудование электронной техники.

1.7 Магистрально-модульный комплекс сверхвысоковакуумной лучевой технологии.

1.8 Масс-спектрометрический гелиевый течеискатель на основе турбомолекулярного насоса.

Выводы по главе 1.

Глава 2. Анализ работ по исследованиям и разработке турбомолекулярных насосов.

2.1 Обзор теоретических и прикладных вопросов создания турбомолекулярных насосов.

2.2 Классификация турбомолекулярных насосов по конструктивному выполнению их основных узлов.

2.3 Ступени турбомолекулярных насосов.

2.4 Возникновение откачивающего действия у движущихся и неподвижных наклонных каналов ступеней турбомолекулярных насосов.

2.5 Оценка прочности роторных ступеней турбомолекулярных насосов.

2.6 Обсуждение работ по теоретическим и прикладным вопросам создания турбомолекулярных насосов.

Выводы по главе 2.

Глава 3. Вопросы теории, расчёта и конструирования турбомолекулярных насосов. 3.1 Графоаналитическая модель переноса молекул газа через каналы, роторной ступени турбомолекулярного насоса.

3.2 Метод расчёта вакуумных характеристик проточной части ТМН без учёта потоков газовыделений с её рабочих поверхностей.

3.3 Анализ закономерностей процесса откачки газа турбомолекулярным насосом.

3.4 Быстрота действия ТМН по смеси газов.

Выводы по главе 3.

Глава 4. Расчёт проточной части ТМН. 4.1 Принцип оптимизации вакуумных параметров ТМН.

4.2 Методика расчёта оптимальной проточной части ТМН.

4.3 Исследование вакуумных характеристик ТМН для различных условий работы.

Выводы по главе 4.

Глава 5. Экспериментальные исследования турбомолекулярных высоковакуумных насосов 5.1. Становление и развитие методов экспериментальных исследований

5.2 Методика испытаний вакуумных характеристик ТМН.

5.3 Экспериментальное оборудование. Результаты испытаний.

5.4 Оценка точности и воспроизводимости измеренных величин.

5.5 Получение безмасляного вакуума при помощи ТМН, имеющего масляные опоры вращения роторных ступеней, и масляный форвакуумный насос.

Выводы по главе 5.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка методов и средств повышения эффективности действия турбомолекулярных насосов в составе вакуумных систем оборудования электронной техники»

Вторая половина XX в. была ознаменована ускоренным развитием отечественной науки, техники и производства в наиболее важных для страны направлениях, среди которых особое место принадлежало электронной технике.

Трудно назвать в настоящее время какую-либо другую отрасль техники, которая по наукоёмкости, диапазону используемых физических процессов и технических принципов может сравниться с электроникой.

Особая роль в развитии электронных технологий принадлежит вакуумной технике, которая используется и как рабочая среда электровакуумных приборов различного назначения, и как средство для осуществления сложнейших физико-технологических процессов современной твердотельной электроники, протекающих в высоком и сверхвысоком вакууме на молекулярном и атомном уровне с использованием энергетических потоков электронов, ионов, плазмы, нейтральных атомов и др.

Эти процессы широко используются для осаждения покрытий из молекулярных и сепарированных ионных пучков, размерной обработки остросфокусированными потоками электронов и ионов, ионного легирования, выращивания сверхтонких структур методом молекулярно-лучевой эпитаксии и других процессов.

На этом этапе динамка уменьшения линейных размеров элементов микросхем являлась приоритетной и была реализована на высоком технологическом и аппаратном уровне [1-12].

Создание элементов интегральных схем с размерами порядка единиц и десятков нанометров потребовало качественного изменения традиционной электроники и перевода ее в область наноэлектроники. Реализация новых технологических процессов наноэлектроники, включающих совокупность методов создания функциональных элементов нанометровых размеров на поверхности подложек, в том числе элементов, состоящих из отдельных атомов и молекул, потребовала создания нового класса сверхвысоковакуумного технологического и физико-аналитического оборудования.

Нанотехнология стала одним из важных достижений последнего времени современной науки, техники и технологии, и стимулировала дальнейшее развитие высоких технологий производства различных изделий электронной техники. Нанотехнология позволяет, например, в зависимости от размера частиц, изменять электронную структуру материалов, проводимость, реакционную способность, механические свойства и др.

Определяющими высоковакуумными процессами наноэлектроники являются: нанолитография высокого разрешения на основе рентгено- ионно- и электроно-литографии и высокояркостного синхротронного излучения [13-14], ионно-лучевое перемешивание с целью изменения структуры исходного материала, который невозможно достичь с использованием обычных равновесных нанотехнологических процессов, аморфизация нанометровых пленок с использованием высокоэнергетических ионных пучков; создание тонких поверхностных пленок методом туннельной и атомно-силовой микроскопии [15-24] и др.

Важным направлением работ, обеспечивающих выполнение большинства технологических процессов современной электронной техники, является формирование требуемых вакуумных условий в рабочих камерах оборудования [25].

До сравнительно недавнего времени одним из распространенных средств получения вакуума для технологических целей в рабочих камерах технологического оборудования являлись струйные вакуумные насосы (диффузионные, бустерные, эжекторные), которые благодаря простоте их изготовления, сравнительно низкой стоимости и высокой надежности, использовались в некоторых видах оборудования.

Однако присутствие в спектре остаточной газовой среды, создаваемой насосами этого типа, тяжелых углеводородных соединений с массовым числом более 44 (паров масла) не удовлетворяли требованиям большинства электронных технологий [25].

Сорбционные насосы также имели достаточно ограниченное применение, благодаря ряду присущих им недостатков, таких как селективность откачки, наличие сорбционной памяти, малое время работы при повышенных давлениях, чувствительность к прорыву атмосферы, неприспособленность к автоматизации процесса откачки [26].

Одним из перспективных средств получения безмасляного вакуума в широком диапазоне рабочих давлений от 1 до 10"9 Па явились молекулярные и турбомолекулярные насосы, первые промышленные образцы которых были созданы в середине прошлого века и имели перспективу дальнейшего развития

27-30], которая реализуется и до настоящего времени с участием многих специалистов. Автор настоящей работы посвятил этой проблеме более 30 лет.

Следует отметить, что отечественная электронная промышленность и смежные отрасли науки и техники по мере своего развития испытывают необходимость в периодическом совершенствовании средств получения высокого вакуума с предпочтительным использованием турбомолекулярных насосов (ТМН).

Широко используемые в электронной технике процессы связанные с применением химически активных газов, например процессы реактивного ионно-плазменного, реактивного ионно-лучевого травления и др. обусловили необходимость создания ТМН в химстойком исполнении [31, 32, 33].

Стремление к увеличению выпускного давления ТМН привело к использованию в качестве последних ступеней проточной части ступени молекулярных и вихревых насосов [34, 35 ].

Для проведения уникальных физических исследований были созданы малогабаритные ТМН специального назначения [36].

Работы теоретического и прикладного характера по дальнейшему развитию и совершенствованию конструкций ТМН продолжаются. Этой проблеме посвящена представленная работа. Диссертация состоит из введения и пяти глав.

Заключение диссертации по теме «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники», Леонов, Леонид Борисович

Выводы по главе 5:

1. Удаление первых статорных ступеней из насоса ТМН - 200 увеличило его быстроту действия примерно в 1,2 раза, а у ТМН - 100 быстрота действия увеличилась примерно в 1,3 раза.

2. В результате выполненного комплекса экспериментальных исследований на специально созданном оборудовании по предложенной методике установлена зависимость эксплуатационных характеристик ТМН от конструктивных, кинематических и физических параметров.

3. Впервые предложен и экспериментально подтверждён в результате спектрального анализа остаточной газовой среды метод получения "безмасляного" вакуума при использовании ТМН с "масляными" опорами вращения и "масляным" форвакуумным насосом.

Заключение

1. Установившиеся тенденции электронной промышленности непрерывного внедрения новых технологий в практику производства современных и перспективных изделий электронной техники, требуют опережающего развития вакуумной техники, высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для реализации современных и суперсовременных технологических процессов, протекающих на молекулярном и атомном уровне с использованием энергетических потоков электронов, ионов, плазмы, нейтральных атомов и др. воздействий в условиях высокого и сверхвысокого вакуума.

2. Одним из важнейших требований, предъявляемых к остаточной газовой среде рабочих объёмов технологического вакуумного оборудования является высокий вакуум на уровне 10"6 - 10"9 Па и отсутствие в его составе тяжёлых углеводородных соединений. Для удовлетворения этого требования необходимо использовать в оборудовании высоких вакуумных технологий "безмасляные" средства откачки.

3. Для современного высоковакуумного технологического и научного оборудования электронной техники наиболее перспективными средствами откачки являются турбомолекулярные насосы, которые, имеющие резервы дальнейшего усовершенствования и развития.

4. На основе анализа требований к современному оборудованию высоких вакуумных технологий электронной техники в работе выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований и предложен ряд новых технических решений, направленных на дальнейшее улучшение параметров и совершенствование конструкций турбомолекулярных насосов в том числе: предложены теоретические зависимости для расчёта основных параметров и анализа эксплуатационных характеристик ТМН; теоретически обоснован эффект повышения быстроты действия ТМН в результате применения оптимальных геометрических параметров ступеней насоса; выведено понятие ступени, под которым следует понимать любой элемент проточной части ТМН, изменяющий концентрацию откачиваемого газа; выполнены исследования, направленные на создание равнопрочной конструкции роторного диска с учётом оптимальной частоты его вращения.

5. В результате выполненного комплекса экспериментальных исследований на специально созданном оборудовании по предложенной в работе методике установлена зависимость эксплуатационных характеристик ТМН от конструктивных, кинематических и физических параметров. Впервые предложены: алгоритм расчёта проточной части ТМН с учётом ряда ограничивающих факторов, связанных с процессом откачки; метод расчёта быстроты действия ТМН по суммарному потоку газа в молекулярном режиме течения с использованием принципа независимости потоков различных газов; классификация ТМН на основе физических принципов их действия и методов структурного синтеза, предусматривающая возможную перспективу их развития и создания новых поколений ТМН с улучшенными характеристиками. метод получения "безмасляного" вакуума при использовании турбомолекулярного насоса с масляными опорами вращения и "масляным" форвакуумным насосом, который экспериментально подтверждён результатами спектрального анализа остаточной газовой среды; инструкция по эксплуатации ТМН в рекомендованном режиме работы, гарантирующая получение "безмасляного" вакуума.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Леонов, Леонид Борисович, 2005 год

1. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. М. Энергия. 1972.256 с.

2. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем. М. Энергия. 1977. 375 с.

3. Блинов И. Г., Кожитов Л. В. Оборудование полупроводникового производства. М. Машиностроение. 1986. 263 с.

4. Быков Д.В. Кеменов В. Н., Арменский Е. В., Александрова А. Т., Леонов Л. Б. и др. Исследование состояния использования вакуумной техники и технологии в электронном производстве и других отраслях промышленности. Научно-технический отчёт. М. МИЭМ. 1997.

5. Е. С. Фролов, В. Е. Минаичев, А. Т. Александрова и др. Вакуумная техника. Справочник. М. Машиностроение. 1992.471 с.

6. Борисов В. П., Кеменов В. Н., Маклаклов А. А. Вакуумная техника электронной промышленности. Электронная промышленность. Вып. 7.1984. 2-6 с.

7. Данилин Б. С.,Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для очистки и травления материалов. М. Энергоатомиздат. 1987. 264 с.

8. Пипко А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А. Конструирование и расчёт вакуумных систем. М: Энергия. 1979. 503 с.

9. Кеменов В. Н., Нестеров С. Б. Вакуумная техника и технология. М. МЭИ.2002. 83 с.

10. Пипко А. И., Плисковский В. Я., Королёв Б. И., Кузнецов В. И. Основы вакуумной техники. М. Энергоиздат. 1981.432 с.

11. Розанов Л. Н. Вакуумные машины и установки. М. Машиностроение.1975. 336 с.

12. Зайдель А. Н. Техника и практика спектроскопии. М. Энергия. 1976. 335 с.

13. Колеров Э. П. Проблемы субмикронной литографии. М. МИЭМ. Сб. Автоматическое оборудование и технология производства изделий электронной техники. 1991. 69-72 с.

14. Колеров Э. П. Особенности проектирования вакуумных систем оборудования для высокоэнергетических технологий. М. МИЭМ. Сб. Автоматическое оборудование и технология производства изделий электронной техники. 1991. 72-76 с.

15. Головин Ю. И. Введение в нанотехнологию. М. Машиностроение. 2003.112с.

16. Нанотехнология в ближайшем десятилетии. Под редакцией Андриевского Р. Л. М. МИР. 2002. 292 с.

17. Марголин В. И. Основы нанотехнологии. Санкт-Петербург. АЭТИ. 2001. 55 с.

18. Владимиров Г.Г., Лускинович П.Н., Никишин В.И. Нанотехнология новое направление в создании изделий электронной техники. // Электронная промышленность. 9. с 39-35.1987.

19. Корняков Н.В., Левин В.Л., Макаров Е.Б., Мордвинов В.М. Сканирующий туннельный микроскоп в микролитографии // Электронная техника. Серия №. Микроэлектроника, 1 (140) с 3 7

20. Макаров В. Л., Варшавский А. Г. Наука и высокие технологии России на рубеже третьего тысячелетия.- ВЛ. М. Наука. 636 с.

21. Васичев Б. Н. Электронная литография. М. Знание. 1982. 32 с.

22. Васичев Б. Н. Основные явления в зоне действия электронного пучка. Энциклопедия Т. III-8. Технология, оборудование и система управления в электронном машиностроении. Стр 58-63.

23. Попов В. К. Электронно-оптические системы технологического назначения. Стр. 79-87.

24. Гревцев Н. В. Рентгенолитография. М. Машиностроение. Т111-8. 2000.137152 с.

25. Розанов Л. Н. Вакуумная техника. М. Высшая школа. 1990. 320 с.

26. Кеменов В. Н. Реализация системного подхода при проектировании вакуумных систем оборудования высоких технологий. Вакуумная техника и технология. Т9. №4 1999.

27. Кеменов В. Н., Шугаев В. Г. Безмасляные турбомолекулярные вакуумные насосы с магнитной подвеской ротора. Электронная промышленность. Вып. 7.1988. 58-59 с.

28. Becker W. Vakuumtechnik. 1968. №3,17 с.

29. Кондрашев В. С. Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов. Труды МИЭМ "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение". Под редакцией Александровой А. Т. Вып. 9.1970. Стр. 131-155

30. Кондрашев В. С., Волчкевич А. И., Демешкевич Т.Б. Турбомолекулярные насосы современные сверхвысоковакуумные средства откачки. Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. №12 1969.104 -118 с.

31. Скоркин А. С., Жлукто Б. Д., Выскуб В. Т. и др. Химически стойкий турбомолекулярный насос ТМН-3500 X. Электронная промышленность. №12, 1991. 71-72 с.

32. Скоркин А. С. Ряд турбомолекулярных насосов в химстойком исполнении. Вакуумная техника и технология Т2,№3.1992 12-13 с.

33. Трифонов В. П., Толстихин А. И., Скоркин А. С., Кеменов В. Н. Турбомолекулярный насос НВТ-300Х химстойкого исполнения, работающий в любом монтажном исполнении. Сб. ВИМИ. 1992 Вып. 3. 26-27с.

34. Розанов Л. Н. Современное состояние и перспективы развития откачных устройств. Вакуумная техника и технология.Т. 14. №2. 63-70 с.

35. Герасимов В. С., Миронова Т. Н., Розанов Л. Н., Одинцов Н. А. Конструкции молекулярных насосов. Вакуумная техника и технология. Т15. №2 2005.147151 с.

36. Одинцов Н. А. Турбомолекулярные насосы для получения сверхвысокого вакуума. Вакуумная техника и технология. Т15.№2 2005 119-120 с.

37. Александрова А. Т. Оборудование электровакуумного производства. М. Энергия. 1975. 384 с.

38. Симонов В. В. Оборудование ионной имплантации. М. Радиои связь. 1988. 184 с.

39. Ревелева М. А. Ионная имплантация. Энциклопедия. Технология. Оборудование и системы управления в электронном машиностроении. TIII-8. М. Машиностроение. 2000.121-136 с.

40. Попов В. Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии.- М.: Высшая школа. 1988. 255 с.

41. Вакуумное оборудование тонкоплёночных технологий. В 2х томах под ред. Ковалёва Л. К., Василенко. Сибирская аэро-космическая акад. 1996. 416 с.

42. Маишев Ю. П. Источники ионов и ионно-лучевое оборудование. Вакуумная техника и технология. №4.1992. 53-58 с.

43. Виноградов М. И., Маишев Ю. П. Вакуумные процессы и оборудование ионной и электронно-лучевой технологии. М. Машиностроение. 1990. 360 с.

44. Шабельников Л. Г. Аналитическое приборостроение и электроника. Электронная промышленность. №10.1990. 3-6 с.

45. Закурдаев И. В., Кобец Т. Д., Махов И. Е. Применение оже-спектроскопии для исследования молекулярных источников и конструкционных материалов. Электронная промышленность. №10.1990.25-26 с.

46. Кратенко В. И., Ляпин В. М., Махов И. Е. и др. Комплекс для высоковакуумной лучевой технологии. Электронная промышленность. №10.1990. с 58-61.

47. Денисов А. Г. Создание комплексов сверхвысоковакуумного диагностического и технологического оборудования. Автореферат диссерт. ДТН. М. МИЭМ.1985.47 с.

48. Евлампиев А. И.,Литошенко А. П., Муравьёва Л. Д. Новый масс-спектрометрический течеискатель безмасляное средство контроля качества герметизации изделий. Вакуумная техника и технология. Том II, №3.1992.39-41 с.

49. Дубинский В. А., Кеменов В. Н. Форвакуумные каталитические ловушки типа Л К. Научно-технические достижения. Межотраслевой сб. Мю 1992.17с.

50. W. Becker: Molekularpumpe, DAS 1010235 (22. 4.1955).

51. M.Hablanlan. "The Axial Flow Compressor as a High Vacuum Pump". First International Congress on Vacuum Technology. Namur. Belgium. 1958.

52. W.Becker "Ober eine Neue Molekularpumpe". First International Congress on Vacuum Technology. Namur. Belgium. 1958.

53. Инструкция по эксплуатации турбомолекулярного насоса ТМН-200.

54. Инструкция по эксплуатации турбомолекулярного насоса ТМН-5000.55. Каталог фирмы Snecma.

55. W. Gaede. Die Molekularluftpupe. Annalen der Physik. 41, 337,1913.

56. W. Becker. Die Turbomolekularpume. Vakuum-Technik.lS.Jhrg., Heft 9,1966.

57. W. Becker. Die Turbomolekularpume. Vakuum-Technik.15.Jhrg., Heft 10,1966.

58. C.Kruger, A.Shapiro. "Vacuum pumping with a blated axial flow turbomashine". Seventh National Symposium on Vacuum Technology Transaction.1960. pp. 6 -12.

59. L. Maurice, S. Sagot. "Teorie des pompes turbomolecularies". Vide. 1964,19, №1.I,109-122.

60. H. Gamier. "Pompe turbomolekulaire SNECMA". Entropie, 1966, 8, p. 65 72.

61. Беляев Л. А., О зависимости параметров молекулярного турбонасоса от некоторых элементов его конструкции. «Вопросы радиоэлектроники». Серия1., «Технология производства и оборудование», 1965. № 9.

62. Л. А. Беляев. "О расчёте параметров молекулярных турбонасосов". Сб. "Вакуумная техника". Вып. 1, Таткнигоиздат, 1968.

63. Л. А. Беляев. Метод расчёта молекулярных турбонасосов". Химическое и нефтяное машиностроение, № 6,1970.

64. Т. Sawada, М. Suzuki, О. Taniguchi. 'The axial-flow Molecular pump. On a rotor with a single blade row". Scient. Paper. Inst, and Chem. Press. 1968, 62, N2, p. 49-64.

65. Леонов Л.Б. "Исследование характеристик турбомолекулярного насоса ТМН-200 с модернизированной проточной частью". Тех. Отчёт по НИР п/я А-1614 №2306,1975.

66. Фролов Е.С., Демихов К.Е. Методика определения основных размеров дискового рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. "Известия вузов. Машиностроение", №7,1969.

67. Фролов Е.С., Демихов Е.С. Шевляков А.Н., Никулин Н.К. Определение основных размеров лопаточного колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. "Известия вузов. Машиностроение", №11,1969.

68. Проспект фирмы Leybold-Heraeus, 75.2.1./1231.04.80 Su 2.D.

69. Проспект фирмы SHECMA. Turbomolecular pump. Type 614.

70. Проспект фирмы Edwards ETR series.

71. Проспект фирмы Balzers. Turbo molecular pumping units. PM 800 033 RE (8807)

72. Проспект фирмы Varian. Turbo-V by Varian.

73. Проспект фирмы SEIKO-SEIKI. Turbomolecular Pamps (STP-200, STP-300, STP-2000).

74. Лубенец В.Д, и др. Теоретическая эффективность рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса при зеркальном законе взаимодействия молекул газа со стенками межлопаточного канала. "Известия вузов. Машиностроение", № 5,1971.

75. Лубенец В.Д. и др. Теоретическая эффективность рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса с учетом диффузного закона взаимодействия молекул газа со стенками межлопаточного канала. "Известия вузов. Машиностроение", №6,1971.

76. Фролов Е.С., Леонов Л.Б. Скорость откачки и степень повышения давлений рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. "Известия вузов. Машиностроение" 1968, № 6.

77. Демихов К.Е., Шевляков А.Н. К определению вероятности перехода молекул через рабочее колесо ТВН с непараллельными стенками межлопаточного канала. "Известия вузов. Машиностроение", № 5, 1972.

78. Фролов Е. С., Демихов К.Е., Шевляков А.Н. Теоретическая модель переноса молекул через колесо ТВН с непараллельными стенками межлопаточного канала. Труды МВТУ им Баумана. Компрессорные и вакуумные машины и пневмоагрегаты. Выпуск №2.1973, № 158.

79. Леонов Л.Б. "Характеристика ступени турбомолекулярного насоса". -Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1981, вып.3(86).

80. А.К. Щедов. И Ю.М. Тузанкин. Молекулярный вакуумный насос. Авт. св. № 572584, СССР. Опубл. 1977, Бюл.изобр. и откр. № 34.

81. Протокол испытаний ОТ33.3231Д. Макет турбомолекулярного насоса с радиальным потоком откачиваемого газа. 1967.

82. Кондрашев В. С. "Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов". Труды МИЭМ. "Полупроводниковое электровакуумное машиностроение". Вып. 9. М. 1970, Стр. 131-155.

83. Кондрашев В. С. и Голубев В. П. Многоступенчатый вакуумный молекулярный насос. Авт. св. № 291051, кл. F04d 19/04,. СССР

84. Seeman Н. Патент Германии № 605902, 27с,15/04,1932/1936.

85. Hix. Р. Патент Чехословакии № 104298, 27с, 5,1957/1959.

86. B.C. Кондрашев. "Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов". Труды МИЭМ. Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение. Вып. 9. М. 1970. Стр. 131 155.

87. Насос STRH 600С фирмы SEIKO SEIKI.

88. Фролов Е. С., Демихов К.Е., Никулин Н.К., Кузнецов В. Влияние осевых зазоров на характеристику ступени турбомолекулярного вакуум-насоса. ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ. Насосостроение. Вып. 2.1971.

89. Фролов Е. С. Теория и расчёт турбомолекулярных вакуум-насосов. Учебное пособие. МВТУ им. Н.Э. Баумана. М. 1975.

90. Фролов Е. С. Турбомолекулярные вакуум-насосы.- М.: Машиностроение, 1980.-119 с.

91. Вакуумная техника: Справочник. Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др.: Под общ. ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1992.-480 с.:ил.

92. Леонов Л. Б. "Расчет проточной части турбомолекулярною вакуумного насоса". Деп.- ЦНИИ "Электроника", № ДЭ-2197,1976.

93. Леонов Л. Б. К вопросу теоретического определения оптимальных геометрических параметров первого роторного диска ТВН —Физика и техника вакуума Издательство Казанского университета. 1974. с 206209.

94. Л.Б. Леонов и И.Д. Анохин. "Роторный диск турбомолекулярного вакуумного насоса." Авт. свид. № 453492, кл. F 04d, 19/04,1971.

95. Л.А. Беляев, Р.Т. Надыршин, Л.Б. Леонов. К определению оптимального профиля венца роторного диска ТВН. Тезисы доклада 5-ой Всесоюзной научно-технической конференции по вакуумной технике. Казань. 26-28 IX 1972г.

96. Л. Леонов.11 К расчёту роторных дисков турбомолекулярного насоса". Электронная промышленность. № 1, 2005.

97. Г. С. Жирицкий, В. А. Стрункин "Конструкция и расчёт на прочность деталей паровых и газовых турбин". Машиностроение. М. 1968.

98. М. В. Райко. "Расчёт деталей и узлов машин". "Техника". Киев. 1966. стр. 3839.

99. Дэшман С. "Научные основы вакуумной техники". "Мир". М. 1964. Стр.23.

100. Я. Грошковский. "Техника высокого вакуума". Издательство "МИР". М.1975.

101. Л. Леонов. "Простейшая модель перехода потоков газа через движущиеся наклонные каналы ". Электронная промышленность. № 1, 2005.

102. Леонов Л.Б. Теоретическая модель переноса молекул газа через колесо турбомолекулярного вакуум-насоса. Научно-техническая конференция факультета "Энергомашиностроение", МВТУ им. Н.Э. Баумана. М. 1970.

103. В. Кузнецов, Л. Леонов. "Оптимизация параметров турбомолекулярныхвакуумных насосов". Тезисы докладов 5 Всесоюзной научно-техническойконференции. Казань.1972.

104. Л. Леонов. "Расчёт вакуумных характеристик турбомолекулярных насосов без учёта потоков газовыделений". Электронная промышленность. № 3, 2005.

105. Дэшман С. "Научные основы вакуумной техники". "Мир". М. 1964. Стр.88.

106. Вакуумная техника. Термины и определения. ГОСТ 5197 85.

107. Леонов. Л. Б. О быстроте действия турбомолекулярного вакуумного насоса. — Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1980, выл. 4.

108. Леонов Л. Б. Методика расчета турбомолекулярных вакуумных насосов на ЭВМ.—Электронная техника. Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1980. вып. 3, с. 78-81.

109. Jl. Леонов." О стандартах испытаний средств вакуумирования". Электронная промышленность. № 1, 2005.

110. ОСТ 11 295.021 -74. "Насосы и агрегаты вакуумные. Методы испытаний".

111. H.G. Holler. The problem of specially large systematic errors in the measurement of pumping speeds of high vacuum pumps of large out put. "Vacuum" 1963,v.13,№12,p: 539-541.

112. Dayton B.B., Ind. and Eng. Chem., 40,795, 1948.

113. И.Ф. Михайлов В.Ф. Ямницкий (ХФТИ ФН УССР) "О влиянии геометрии вакуумного объёма на остаточную плотность газа."Вопросы атомной науки и техники, Серия: Техника физического эксперимента. 1982, вып. 2(11).

114. Vakuumtechnik. Abnahmeregeln fQr Turbomolekularpumpen/ Din 28 428. Nov 1978 Preisgr. 7.

115. M. N. Hablanian. Recommended procedure for measuring pumping speeds. J. Vac. Sci. Technol. A 5 (4), Jul/Aug 1987. p. 2552-2557.

116. В. В. Кузьмин, B.X. Набиуллин. "Установка для градуировки вакуумметров". Академия наук СССР. Приборы и техника эксперимента. №5. Москва. 1975.

117. ГОСТ 25663 83 (СТ. СЭВ 3409 - 81). Насосы вакуумные механические. Методы испытаний.

118. ГОСТ 25662 83 (СТ. СЭВ 3407 - 81). Насосы вакуумные диффузионные.

119. ГОСТ 17398-72. Насосы. Термины и определения.

120. Л. Леонов. "Насосы или компрессоры?". Мир Непознанного. № 03 (135). Март 2002.

121. Л. Леонов. Зависимость вакуумных характеристик турбомолекулярных насосов от условий работы. Электронная техника. Сер.4. Электровакуумные и газоразрядные приборы, 1986, вып.З.

122. Л. Леонов." Методика испытаний быстроты действия турбомолекулярных насосов". Электронная промышленность. № 3, 2005.

123. А. И. Пипко, В. Я. Плпсковский, Б. И. Королёв, В. и. Кузнецов. Основы вакуумной техники. М. Энергоиздат. 1981. стр. 196.

124. Алексашин В. А., Кеменов В.Н., Кузнецов Б. М. и Леонов Л.Б. "Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос". Авт. свид. № 567848, Кл. F 04d, 19/04, 1976.

125. Кузнецов В. И. и Леонов Л. Б. "Способ эксплуатации турбомолекулярного вакуумного насоса." Авт. свид. № 531928, Кл. F 04d, 19/04,1973.

126. К о з л о в В. И., Р о м а н о в А. А., Т и т о в Б. Ф. Ловушка с сорбирующими элементами для паромасляного диффузионного насоса. — Физика и техника сверхвысокого вакуума. —Л.: Машиностроение» 1964.

127. Л. Леонов. "Вакуумные установки на базе ТМН" Электронная техника, сер.7, ТОПО - 1989 - вып.4 (155).