Влияние структурных превращений на электрофизические свойства стекол электронной техники С87-2, С78-4, С78-5 тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат физико-математических наук Шомахов, Замир Валериевич

  • Шомахов, Замир Валериевич
  • кандидат физико-математических науккандидат физико-математических наук
  • 2012, Нальчик
  • Специальность ВАК РФ05.27.01
  • Количество страниц 132
Шомахов, Замир Валериевич. Влияние структурных превращений на электрофизические свойства стекол электронной техники С87-2, С78-4, С78-5: дис. кандидат физико-математических наук: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах. Нальчик. 2012. 132 с.

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Шомахов, Замир Валериевич

СОДЕРЖАНИЕ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ АНАЛИЗ ИССЛЕДОВАНИЙ ЭЛЕКТРОФИЗИФЕСКИХ СВОЙСТВ СТЕКОЛ.

1.1. Структура и строение стекол.

1.2. Физико-химические превращения в стеклах.

1.3. Особенности электропроводности стекол.

Выводы к главе 1.

ГЛАВА 2. ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СТЕКОЛ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.

2.1. Образцы для исследования.

2.2. Экспериментальная установка и методика измерения проводимости на постоянном токе.

2.3. Температурная зависимость электропроводности на постоянном токе

2.3.1. Электропроводность свинцово-силикатного стекла С87-2.

2.3.2. Электропроводность свинцово-силикатного стекла С78-4.

2.3.3. Электропроводность боратно-бариевого стекла С78-5.

2.4. Кинетические зависимости электропроводности.

2.5. Корреляция электропроводности и кинетика фазового. превращения в стеклах.

2.6. Измерения диэлектрических свойств стекол на переменном токе.

2.6.1. Влияние термодинамических параметров обработки на диэлектрическую проницаемость стекол.

2.6.2. Особенности спектроскопии адмиттанса стекол.

Выводы ко 2 главе.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЯ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ СТЕКОЛ И

ИХ ОБСУЖДЕНИЕ.

3.1. Рентгенофазовые исследования.

3.1.1. Аппаратура и методика исследования.

3.1.2. Кристаллофазы в стеклах после различных термообработок.

3.2. Методика и оборудование для SEM/EDX эксперимента и результаты исследования.

3.3. Нанорельеф поверхности стекол.

3.3.2. Свинцово-силикатное стекло С87-2.

3.3.3. Боратно-бариевое стекло С78-5.

3.3.4. Свинцово-силикатное стекло С78-4.

3.3.5. Сравнение параметров шероховатости стекол различных марок.

3.4. Экспериментальная установка и методика измерения вязкоупругих свойств стекол.

Выводы к 3 главе.

ВЫВОДЫ.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», 05.27.01 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Влияние структурных превращений на электрофизические свойства стекол электронной техники С87-2, С78-4, С78-5»

Актуальность темы

Процессы фазового разделения и кристаллизации лежат в основе получения разнообразных стеклокристаллических материалов, в том числе стекол, содержащих нанокристаллы. В зависимости от выбранной системы различные стадии этих процессов могут существенно влиять на структуру образцов и их физико-химические свойства. Несмотря на существование теоретических представлений об указанных процессах, для каждого конкретного материала требуется детальное экспериментальное исследование кинетики структурных превращений и особенностей структуры, образующейся в результате протекания процессов фазового разделения.

Процессы, происходящие в стеклах, такие как фазовые превращения, сопровождающиеся образованием и ростом новых наноразмерных кристаллических фаз, играют важную роль при создании технологических процессов изготовления микроканальных пластин.

Микроканальные пластины (МКП) - класс изделий электронной техники, предназначенных для работы в вакууме в качестве многоканальных детекторов, преобразователей и вторично-электронных усилителей пространственно-организованных потоков заряженных частиц и излучений. Благодаря ряду уникальных свойств МКП находят применение в различных областях науки и техники, прежде всего как усилители электронных изображений в электронно-оптических преобразователях, предназначенных для приборов ночного видения.

Из сказанного следует, что электрофизические и эксплуатационные характеристики электронно-оптических преобразователей определяются главным образом физико-химическими свойствами стекол, используемых в МКП (свинцово-силикатные стекла) и для МКП (боратно-бариевые стекла).

В связи с этим исследования процессов фазообразования, кинетики роста новых фаз и их влияния на электрофизические и механические свойства стекол являются важными для совершенствования существующих и создания новых технологических процессов производства изделий электронной техники.

Цель настоящей работы заключается в установлении закономерностей изменения электрофизических и вязкоупругих свойств стекол, используемых в электронной технике, и их связи с фазообразованием и кинетикой роста новых фаз.

Для достижения указанной цели были поставлены следующие задачи:

1. Разработка методик и создание установок для исследования температурной зависимости электропроводности, а также вязкоупругих свойств стекол.

2. Исследование температурной зависимости электропроводности стекол С87-2, С78-4, С78-5.

3. Изучение влияния структурных и фазовых превращений в объеме и на поверхности стекол на электропроводность при изотермическом отжиге.

4. Исследование диэлектрических свойств стекол на переменном токе.

5. Исследование вязкоупругих свойств стекол.

Научная новизна полученных результатов

1. Получены новые экспериментальные результаты по температурной зависимости электропроводности и особенности изменения энергии активации проводимости в стеклах С87-2, С78-4, С78-5.

2. Установлены новые закономерности кинетики электропроводности при изотермическом отжиге и связанные с ними структурные и фазовые изменения в объеме и на поверхности стекол.

3. Установлено уменьшение энергии активации электропроводности исследуемых образцов при высокотемпературном отжиге.

4. Разработана новая методика измерения вязкоупругих свойств, основанная на исследовании акустической эмиссии при ударе микрозонда о поверхность твердых материалов, и создана экспериментальная установка для ее реализации.

Практическая ценность результатов

Экспериментальные результаты исследования электропроводности, структурных и фазовых превращений в объеме и на поверхности стекол выполнены в рамках хоздоговорных работ с Владикавказским технологическим центром БАСПИК и включены в научно-технические отчеты, представленные заказчику.

Экспериментальные установки, созданные автором, используются в учебной лаборатории «Физическая химия материалов и изделий электронной техники» при выполнении курсовых и выпускных квалификационных работ студентами факультета микроэлектроники и компьютерных технологий Кабардино-Балкарского государственного университета.

Основные положения, выносимые на защиту

1. Результаты по температурной зависимости электропроводности стекол С87-2, С78-4, С78-5.

2. Кинетические зависимости роста нанокристаллической фазы на поверхности и в объеме стекол и связанные с ними проводимости.

3. Зависимость энергии активации проводимости от температуры и времени изотермического отжига.

4. Результаты по диэлектрическим свойствам стекол на переменном токе.

5. Оригинальная методика и установка для определения вязкоупругих свойств твердых тел зондовым акустическим методом.

Достоверность основных результатов

Научные положения, результаты экспериментальных исследований, выводы по диссертации обоснованы и получены с использованием современных методов. Достоверность научных положений подтверждена системным подходом к исследованиям, применением аттестованных измерительных средств, анализом погрешности опытов, воспроизведением экспериментов и сопоставлением полученных результатов с независимыми данными других исследователей. Рентгеноструктурные и рентгенофазовые анализы проводились на установках ЦКП «Рентгеновская диагностика материалов» (КБГУ). Результаты SEM/EDX получены на установке Hitachi S-570 с системой элементного анализа Quantax 200 (СПбГЭТУ «ЛЭТИ»),

Личный вклад автора

Цель и задачи диссертации были сформулированы и поставлены научным руководителем, доктором физико-математических наук, профессором A.M. Кармоковым, который принимал участие в обсуждении результатов работы. Экспериментальные измерения, научные положения и научные выводы сделаны самостоятельно диссертантом. Соавторы статей принимали участие в обсуждении полученных результатов.

Апробация работы

Основные положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях: VII Всероссийской конференции молодых ученых «Наука XXI веку», Майкоп, 2005; Международном конгрессе студентов, аспирантов и молодых ученых «Перспектива 2007», Нальчик, 2007; I Всероссийской научно-технической конференции «Наноструктуры в полимерах и полимерные нанокомпозиты», Нальчик, 2007; Международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии и фотоэлектроника», Нальчик, 2008; VIII Международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии», Кисловодск, 2008;

Международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике», Нальчик, 2009; IX Международной научной конференции «Химия твердого тела: монокристаллы, наноматериалы, нанотехнологии», Кисловодск, 2009; III Международной конференции «Деформация и разрушение материалов и наноматериалов», Москва, 2009; Международном конгрессе студентов, аспирантов и молодых ученых «Перспектива 2010», Нальчик, 2010; III Международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике», Нальчик, 2010; X Юбилейной международной научной конференции «Химия твердого тела: наноматериалы, нанотехнологии», Ставрополь, 2010; IV Международной научно-технической конференции «Микро- и нанотехнологии в электронике», Нальчик, 2011; VIII Российской ежегодной конференции молодых научных сотрудников и аспирантов «Физикохимия и технология неорганических материалов», Москва, ИМЕТ РАН, 2011.

Публикации

По теме диссертации опубликовано 17 работ, в том числе 4 статьи в журналах, рекомендованных ВАК РФ для публикации результатов кандидатских и докторских диссертаций.

Объем и структура диссертации

Диссертационная работа изложена на 131 странице, содержит 81 рисунок и 14 таблиц, состоит из введения, трех глав, выводов и списка литературы из 132 наименований.

Похожие диссертационные работы по специальности «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», 05.27.01 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Шомахов, Замир Валериевич

ВЫВОДЫ

1. Создана установка для исследования температурной зависимости электропроводности в вакууме 2-10"5 тор при температурах до 600 °С. Разработаны методика и установка для изучения вязкоупругих свойств (скорость звука, декремент затухания и т.д.) твердых тел зондовым акустическим методом.

2. Температурные зависимости электропроводности стекол С87-2, С78-4, С78-5 имеют излом при температурах 150-200 °С. При этой температуре установлено значительное изменение энергии активации проводимости для всех стекол (в высокотемпературной области энергия активации проводимости на два порядка выше, чем в низкотемпературной области).

3. Исследования методами рентгенофазового, атомно-силового и сканирующего электронного микроскопов показали образование и рост наноразмерных кристаллических фаз в объеме аморфной матрицы и на поверхности стекол при различных температурах отжига. Установлена их связь с изменением кинетики электропроводности при изотермическом отжиге.

4. Время стабилизации структурных превращений и электропроводности зависит от температуры изотермического отжига стекол и меняется по экспоненциальному закону в пределах температур от 350 до 500 °С.

5.Для образцов С78-5 отжиг не приводит к значительным изменениям диэлектрической проницаемости по сравнению с исходным состоянием. При этом пропускание тока через образец (3,5х10~4Кл за все время отжига) приводит к увеличению е на -15 %. Для стекол С87-2 и С78-4 пропускание тока во время отжига также приводит к увеличению £, но на величину -20 % и более. Получены спектры диэлектрической релаксации стекол и определено

6 8 время релаксации исследуемых стекол (для С87-2 -10" с, С75-5 -10" с).

6. Результаты, полученные разработанным методом для определения вязкоупругих свойств твердых тел, показывают, что с увеличением температуры изотермического отжига, модуль упругости уменьшается в 1,5 раза.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Шомахов, Замир Валериевич, 2012 год

1. Шульц М.М., Мазурин О.В. Современные представления о строении стекол и их свойствах. Д.: Наука, 1988.-201 с.

2. Шелби Дж. Структура, свойства и технология стекла. М.: Мир, 2006. - 288 с.

3. Zachariasen W.H. The atomic arrangement in glass // Journal American Chemical Society. 1932. - V. 54, №10. - P. 3941-3951.

4. Роусон Г. Неорганические стеклообразующие системы. M.: Мир, 1970. - 312 с.

5. Кобеко П.П. Аморфные вещества. М.: Изд-во АН СССР, 1952. - 204 с.

6. Фрёлих Г. Теория диэлектриков. М: Изд-во иностранной литературы, 1960.-251 с.

7. Торопов H.A., Барзаковский В.П., Лапин В.В., Курцева H.H. Диаграммы состояния силикатных систем: справочник. Выпуск первый. Л.: Наука, 1969.-514 с.

8. Кулов С.К. Микроканальные пластины. Владикавказ: СевероКавказский технологический университет, 2001. - 86 с.

9. Евстропьев К.С., Торопов H.A. Химия кремния и физическая химия силикатов. М.: Гос. изд-во литературы по строительным материалам, 1956.- 152 с.

10. Варгин В.В., Евстропьев К.С., Кракау К.А.и др. Физико-химические свойства стекол и их зависимость от состава // под ред. В.Г. Воано. М.-Л.: Гизлегпром, 1937. - 199 с.

11. Мазурин О.В., Стрельцина М.В., Швайко-Швайковская Т.П. Стеклообразный кремнезем и двухкомпонентные силикатные системы: справочник. Л.: Наука, 1973. - 272 с.

12. Аппен A.A. Химия стекла. Л.: Химия, 1970. - 353 с.

13. Shelby J.E. Glastechn. Ber. 1983. - V 56, № 13. - P. 1057-1062.

14. Taigo Takashi, Masahide Takahashi, Jisun Jin et al. // J. Ceram. Soc. 2005. - V. 88, №6.-P. 1591-1596.

15. Fayon F, Landron С., Sacurai К. et al. // J. Non-Cryst. Solids. 1999. - V. 243, № 1 P. 39^14.

16. Канунникова О.М., Гончаров О.Ю. Рентгеноэлектронный анализ строения свинцово-силикатных стекол // Журнал прикладной спектроскопии. 2009. -Т. 76, №2,-С. 209-217.

17. Канунникова О. М. Атомное строение и физико-химические превращения в тонких слоях свинцово-силикатных стекол при внешних воздействиях: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. Ижевск, 2008. - С. 35.

18. Александров А.П., Журков С.Н. Явление хрупкого разрыва. M.-JL: ГТТИ, 1933.- 120 с.

19. Пух В.П., Байкова Л.Г., Киреенко М.Ф., Тихонова JI.B., Казанникова Т.П., Синани А.Б. Атомная структура и прочность неорганических стекол // Физика твердого тела 2005. - Т. 47, В. 5. - С. 850-855.

20. Либау Ф. Структурная химия силикатов. М.: Мир, 1988. - 207 с.

21. Jones F.L., Kreidl N.J. Optical properties and the constitution of glass // J. Soc. Glass Technology. 1949. -V. 33, № 153. - P. 239-254.

22. Мидлер M., Крайдл H. Свинцовосиликатные стекла. В кн. Стеклообразное состояние. Тр. V Всес. совещ. - Л, 1971. - С. 139-144.

23. Машков В.А. Модель эффективных координационных состояний для свинцовосиликатных стекол // Физика и химия стекла. 1980. - Т. 6, № 3, С. 270-276.

24. Физико-химические свойства и структура неорганических стекол. Под. ред. А.Г. Власова, В.А. Флоринской. Л.: Химия, 1974. - 360 с.

25. Алехин В.П., Хоник В.А. Структура и закономерности деформации аморфных сплавов. -М.: Металлургия, 1992. -248 с.

26. Фельц А. Аморфные и стеклообразные неорганические твердые тела. -М.: Мир, 1986.-556 с.

27. Khonik V.A. Internal friction of metallic glasses: mechanisms and conditions of their realization // Journal de Physique IV. 1996. - V. 6. - P. C8-591-C8-600.

28. Хоник В.А. Стекла: структура и структурные превращения // Соровский образовательный журнал. -2001. Т.7, №3. С. 95-102

29. Jansson К., Nygren M. Crystallization behaviour of amorphous Zr.xCox alloys with 0.20 < x < 0.41 // Materials Res. Bull. 1984. - V. 19, № 8. - P. 1091-1104.

30. Воронько Ю.К., Галактионов С.С., Дмитрук JT.H., Петрова О.Б., Попов A.B., Ушаков С.Н., Шукшин В.Е. Спектроскопические исследования стекол на основе боратов редкоземельных элементов // Физика и химия стекла.-Т. 32, №1. -2006. -С. 3-11.

31. Глезер A.M. Аморфные и нанокристаллические структуры: сходства, различия, взаимные переходы // Рос. хим. журнал. 2002. - Т. 46, № 5. - С. 57-63.

32. Кулов С.К., Кармоков A.M., Молоканов O.A. Наноразмерные неоднородности на поверхности свинцово-силикатного стекла для МКП // Известия Российской академии наук. Серия физическая. 2009. - Т. 73, № 11.-С. 1649-1651.

33. Дмитрук JT.H., Петрова О.Б., Попов A.B., Шукшин В.Е. Синтез и исследование прозрачной стеклокерамики на основе боратов РЗЭ // Труды института общей физики им. A.M. Прохорова. 2008. - Т.64. - С. 49-65.

34. Павлушкин Н.М. Стекло: справочник. -М.: Стройиздат. 1973. -488 с.

35. Немилов C.B. Оптическое материаловедение: физическая химия стекла. Учебное пособие. СПб: СПбГУ ИТМО, 2009. 113 с.

36. Тамман Г. Стеклообразное состояние. М.: Госхимиздат, 1935. - 150 с.

37. Мюллер P.JI. Электропроводность стеклообразных веществ. JT.: Изд. ЛГУ, 1968.-251 с.

38. Анисимов М.П. Нуклеация: теория и эксперимент // Успехи химии. -2003. Т. 72, №7. - С. 664-705.

39. Гапоненко C.B. Оптические процессы в полупроводниковых нанокристаллитах (квантовых точках) // Физика и техника полупроводников. 1996. Т. 30, №4. - С. 577-619.

40. Валов П.М., Лейман В.И. Размерные эффекты в энергии экситонов и фазовых переходах первого рода в нанокриталлах CuCl в стекле // Физика твердого тела. 1999. - Т. 41, В. 2. - С. 310-318.

41. Валов П.М., Лейман В.И., Семенов К.С. Начальные стадии зарождения и свойства наночастиц CuCl в стекле // Физика твердого тела. 2001. Т. 43, В. 9.-С. 1698-1701.

42. Валов П.М., Лейман В.И. Стадия формирования и роста зародышей фазы CuCl в стекле // Физика твердого тела. 2005. - Т. 47, В. 11. - С. 2060-2065.

43. Валов П.М., Лейман В.И., Максимов В.М., Деркачева О.Ю. Кинетика нуклеации в твердом растворе CuCl в стекле: расчет и сравнение с экспериментом // Физика твердого тела. 2011. - Т. 53, В. 3. - С. 446^451.

44. Зельдович Я.Б. К теории образования новой фазы // ЖЭТФ. 1942. -Т. 12, № 11-12.-С.525-538.

45. Алексеева И.П., Атонен О.В., Голубков В.В., Онущенко A.A., Раабен Э.Л. Кинетические закономерности выделения нанокристаллов PbS в натриевоцинковосиликатном стекле // Физика и химия стекла. -2007.-Т. 33, №1.-С. 3-11.

46. Бокин П.Я. Механические свойства силикатных стекол. Л.: Наука. 1970.-180 с.

47. Кобелев Н.П., Колыванов Е.Л., Хоник В.А. Температурные зависимости низкочастотного внутреннего трения и модуля сдвига в объемном аморфном сплаве // Физика твердого тела. 2003. - Т 45, В. 12. - С. 2124-2130.

48. Абросимова Г.Е., Кобелев Н.П., Колыванов Е.Л., Хоник В.А. Влияние температурной обработки на скорость звука и упругие модули в объемном металлическом стекле Zr—Cu-Ni—AI—'Ti // Физика твердого тела. -2004. -Т46, В. 10.-С. 1797-1800.

49. Аппен A.A., Козловская Е.И., Гань Фу-си. Исследование упругих и акустических свойств силикатных стекол // Журнал прикладной химии. -1961. -Т. 34, В.5. С. 975-981.

50. Абросимова Г.Е., Кобелев Н.П., Колыванов Е.Л., Хоник В.А. Влияние температурной обработки на скорость звука и упругие модули вобъемном металлическом стекле Zr-Cu-Ni-Al-Ti // Физика твердого тела. 2004. - Т. 46, В. 10.-С. 1797-1800.

51. Френкель Я.И. Теория твердых и жидких тел. M.-JL: Гос. техн.-теорет. изд-во, 1934.-121 с.

52. W. Jost. J. Diffusion and electrolytic conduction in crystals // J.Chem. Phys. -1933.-V. 1, N 7. -P. 466-475.

53. Сканави Г.И. Физика диэлектриков. М.-Л.: Гос. техн.-теорет. изд-во, 1949.-500 с.

54. Немилов С.В. Оптическое материаловедение: оптические стекла: учебное пособие, курс лекций. СПб: СПбГУ ИТМО, 2011. - 175 с.

55. Мюллер Р.Л. Химия твердого тела и стеклообразное состояние. В кн.: Химия твердого тела. Л.: ЛГУ, 1965. - С. 9-63.

56. Мазурин О.В. Электрические свойства стекла. Л.: Изд. ЛТИ им. Ленсовета, 1962. 161 с.

57. Стевелс Дж. Электрические свойства стекла. М.: Изд. иностранной литературы, 1961. - 93 с.

58. Френкель Я.И. Электрические колебания в дисперсных системах П Коллоидный журнал. 1948. - Т.10, №2. - С. 148.

59. Вест А. Химия твердого тела. 4.2. -М.: Мир, 1988. 336 с.

60. Евстропьева К.С. Электрические свойства и строение стекла. -М.-Л.: Химия, 1964.- 178 с.

61. Самотейкин В.В., Гладушко O.A. Учет структурных особенностей в модели электропроводности и диффузии в стеклах Imp: // и уууу . gl а/ ina.ru /'at 1007 3 .shtml.

62. Мюллер Р.Л., Щукарев С.А. Исследование электропроводности стёкол систем B203-Na20 // ЖФХ. 1930. Т. 1. - С. 625-631.

63. Соколов И.А., Мурин И.В., Крийт В.Е., Гальперина А.Я. Температурно-концентрационная зависимость электрической проводимости калиево-фосфатных стекол // Вестник СПбГУ. 2010. - Сер. 4, В. 3, - С. 90-96.

64. Мазурин О.В., Стрельцина М.В., Швайко-Швайковская Т.П. Свойства стёкол и стеклообразующих расплавов. Однокомпонентные и двухкомпонентные окисные несиликатные системы: справочник. JL: Наука, 1975.-Т.2.-632 с.

65. Нараев В.Н., Пронкин A.A., Соколов И.А., Нараев A.B. Протонная проводимость в силикатных стеклах // Известия Санкт-Петербургского государственного технологического института (технического университета). 2007. №2(28). - С. 33- 37.

66. Павлова Т.А. Исследование характера электропроводности некоторых бесщелочных стёкол // Изв. вузов. Химия и химическая технология. -1958.-Хо 5.-С. 82-89.

67. Гречаник JT.A. Электропроводность натриево-свинцово-силикатных стёкол, содержащих окись железа // Физика твердого тела. 1962. - Т.4, № 2. - С.454^157.

68. Соколов И.А., Мурин И.В., Пронкин A.A. Природа носителей тока и их числа переноса в стеклах системы Ag20-B203 // Физика и химия стекла. 2006. - Т.32, №1. - С. 90 - 99.

69. Горбулин А.Г., Кулов С.К., Молоканов O.A., Кармоков A.M. Электропроводность стекол для микроканальных пластин // II Международный семинар «Теплофизические свойства веществ». -Нальчик. 2006. - С 38^40.

70. Шугушхов A.A., Молоканов O.A., Кулов С.К., Кармоков A.M. Электропроводность и электромассоперенос в стеклах МКП // VII Международная конференция «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии». Ставрополь - Кисловодск, 2007. - С. 510.

71. Хатухов A.A., Ашхотов О.Г. Влияние внешних факторов на резистивные свойства микроканальных пластин // Вакуумная электроника на Северном Кавказе: Тез. докл. региональной конф. Нальчик, 2001. - С. 40.

72. Хатухов A.A., Макаров E.H., Ашхотов О.Г. Влияние отжига ОВЗ на внешний вид и параметры МКП // Приборы и техника ночного видения: тез. докл. российской конф. Нальчик, 2002. - С. 61.

73. Хатухов A.A., Ашхотов О.Г. Резистивные характеристики базовых стекол МКП и их одиночных каналов // Микроканальные пластины. -Владикавказ, 2002. С. 256-262.

74. Хатухов A.A., Ашхотов О.Г. Резистивные характеристики пограничных и внутренних каналов микроканальных сот МКП 18-10 // Электронный журнал «Исследовано в России». 2003. - №24. - С. 245-259. http :///humal.аре. rciarn .ru/artic les/2003/024,pd Г.

75. Хатухов A.A., Ашхотов О.Г. Измерение сопротивления каналов микроканальных пластин с минимизацией токов утечки // Прикладная физика. 2003. - №4. - С. 123-125.

76. Хатухов A.A., Ашхотов О.Г., Бояджиди В.Ю. и др. Влияние технохимической обработки одножильных стеклянных стержней на электрическое сопротивление // Известия вузов. Северо-Кавказский регион. 2003. - №4. - С. 41-43.

77. Иоффе А.Ф. Физика кристаллов. М., 1929. - 100 с.

78. Шомахов З.В., Молоканов O.A., Кулов С.К., Кармоков A.A. Изотермы проводимости и массоперенос в стеклах для МКП // II Международная научно-техническая конференция «Микро- и нанотехнология в электронике». Нальчик. - 2009. - С. 126-129.

79. Шомахов З.В., Молоканов O.A., Кулов С.К., Кармоков A.A. Исследование проводимости стекол, применяемых при изготовлении МКП // II Международная научно-техническая конференция «Микро- и нанотехнология в электронике». Нальчик, 2009. - С. 130-132.

80. Шомахов З.В., Молоканов O.A., Кулов С.К., Кармоков A.A. Температурная зависимость и кинетика электропроводности свинцово-силикатного стекла С87-2 // Известия КБГУ. 2010. - №1. - С. 102-108.

81. Кармоков A.M., Лосанов Х.Х., Молоканов O.A., Нагоев Б.Н., Шомахов З.В. Электропроводность свинцовосиликатного стекла С87-2 // Международная научно-техническая конференция «Микро- и нанотехнология и фотоэлектроника». Нальчик, 2008. - С. 13.

82. Андреев Н.С., Мазурин О.В., Порай-Кошиц Е.А. Явление ликвации в стеклах / под ред. М.М. Шульца. JL: Наука, 1974. - 220 с.

83. McMillan P. W. Glass-ceramics. London: UK, Academic Press, 1979.

84. Слезов В.В., Сагалович В.В. Диффузионный распад твердых растворов // УФН. 1987.-Т. 151, № 1.- С. 67-104.

85. Алексеева И.П., Атонен О.В., Голубков В.В., Онущенко А.А., Раабен Э.Л. Кинетические закономерности выделения нанокристаллов PbS в натриевоцинковосиликатном стекле // Физика и химия стекла. -2007.-Т. 33, № 1,-С. 3-11.

86. Anderson O.L. and Stuart D.A. Calculation of Activation Energy of Ionic Conductivity in Silica Glasses by Classical Methods // Journal of The American Ceramic Society. Anderson and Stuart. - December 1954. - V. 37, -№. 12.-P. 573-580.

87. Кулов С.К., Кармоков A.M., Молоканов О.А. Наноразмерные неоднородности на поверхности свинцово-силикатного стекла для МКП // Известия Российской академии наук. Серия физическая. 2009. - Т. 73, № 11.-С. 1649-1651.

88. Свергун Д.И., Фейгин Л.А. Рентгеновское и нейтронное малоугловое рассеяния. М.: Наука, 1986. 279 е.; Филиппович В.Н. К теории рассеяния рентгеновских лучей под малыми углами // ЖТФ. 1956. - Т. 26, № 2. -С. 398-416.

89. Шомахов З.В., Молоканов O.A., Кармоков A.M. Электропроводность свинцово-силикатното стекла в процессах нагрева и изотермического отжига // Нано- и микросистемная техника. 2011. - №7. - С. 14-17.

90. Сканави Г.И. Диэлектрическая поляризация и потери в стеклах и керамических материалах с высокой диэлектрической проницаемостью. JL: Госэнергоиздат, 1952. 175 с.

91. Иванов-Шиц А.К., Мурин И.В. Ионика твердого тела. Т.1. СПб: СПбГУ, 2000.-617 с.

92. Грачева И.Е., Максимов А.И., Мошников В.А., Плех М.Е. Автоматизированная установка для газочувствительности сенсоров на основе полупроводниковых нанокомпозитов // Приборы и техника эксперимента. 2008. - №3. - С. 143-146.

93. Блайт Э.Р., Блур Д. Электричекие свойства полимеров. М.: Физматлит, 2008.-376 с.

94. Дифрактометр рентгеновский ДРОН-6. Руководство по эксплуатации Я61.210.074 РЭ. СПб.: Научно-производственное предприятие Буревестник, 2002. - 56 с.

95. Молоканова О.О., Шомахов З.В. Корреляция фазовых превращений и оптических свойств в стеклах для МКП // II Международная научно-техническая конференция «Микро- и нанотехнология в электронике». -Нальчик, 2009. С. 68-70.

96. Шомахов З.В., Молоканов O.A., Кармоков A.M., Лосанов Х.Х., Нагоев Б.Н. Электропроводность боратно-бариевого стекла в процессе образования и роста нанокристаллов // Известия КБГУ. 2011. - T.I. - №3. - С. 102-105.

97. Шомахов З.В., Альмяшев В.И., Кармоков A.M., Тешев Р.Ш., Молоканов O.A., Шокаров Х.Б. Влияние температуры изотермического отжига на образование нанокристаллов в стекле С78-5 // Известия КБГУ. 2011. -T.I. - №4. - С. 5-7.

98. Канашевич Г.В. Применение АСМ в исследовании поверхностей и функциональных слоев в оптических материалах, полученных методомэлектронной микрообработки // БЕЛСЗМ-6. Минск 12-15 октября 2004. С. 42^14.

99. Канунникова О.М. Методика анализа строения тонких силикатных пленок. // Электронный научный журнал «Исследовано в России» 2156 http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2006/225.pdf.

100. Стогний И.А., Новицкий О.М., Стукалов О.М. Ионно-лучевое полирование наноразмерного рельефа поверхности оптических материалов // Письма в ЖЭТФ. 2002. - Т. 28, В. 1. - С. 39^18.

101. Нефедов Д.В., Яфаров Р.К. Миграционное заращивание рельефа поверхности при формировании нанокристаллов с использованием СВЧ газового разряда низкого давления // Письма в ЖЭТФ. 2007. - Т. 33, В. 21.-С. 78-84.

102. ПО.Малков A.A., Соснов Е.А., Малыгин A.A., Куликов H.A., Брусиловский Г. Л., Калиникос Е. Г. Влияние титаноксидных нанопокрытий на качество поверхности стеклянных изделий электронной техники. // Физика и химия стекла. 2006. - Т. 32, № 1. - С. 1-12.

103. Руководство пользователя Solver PRO. М: ЗАО «НТ-МДТ», 2005. - 144 с.

104. Красильников В.А. Звуковые и ультразвуковые волны в воздухе, воде и твердых телах. М.: Физмагиз, 1960. - 560 с.

105. Труэлл Р., Эльбаум Ч., Чик Б. Ультразвуковые методы в физике твердого тела. М.: Мир, 1972. - 308 с.

106. Грешников В.А., Дработ Ю.Б. Акустическая эмиссия. Применение для испытаний материалов и изделий. М.: Стандартиздат, 1976. - 272 с.

107. Kolosov О., Yamanaka К. Nonlinear detection of ultrasonic in an atomic force microscope // Jap. J. Appl. Phys. 1993. - Pt. 2. - V. 32. - N. 8A. - P. 1095-1098.

108. Rabe U., Arnold W. Acoustic microscopy by atomic force microscopy // Appl. Phys. Lett. 1994.-V. 64.-N. 12.-P. 1493-1495.

109. Rabe U., Dvorak M., Arnold W. The atomic force microscope as a near-field probe for ultrasound // Thin Solid Films. 1995. - V. 264. -N. 2. - P. 165-168.

110. Efimov A.E., Saunin S.A. Atomic force acoustic microscopy as a tool for polymer elasticity analysis // Proc. Of the All-Russia Conference «Scanning probe microscopy-2002». N. Novgorod: IPM RAS, 2002. - P. 79-81.

111. Батог Г.С., Батурин А.С., Бормашов B.C., Шешин Е.П. Расчет толщин и упругих свойств тонкопленочных покрытий на основании данных атомно-силовой акустической микроскопии // ЖТФ. 2006. - Т. 76, № 8. С.123-128.

112. Efimov А.Е., Saunin S.A. Atomic force acoustic microscopy as a tool for polymer elasticity analysis // Proc. Of the All-Russia Conference «Scanning probe microscopy-2002». N. Novgorod: IPM RAS, 2002. - P. 79-81.

113. Рехвиашвили С.Ш. Дислокационный механизм трения в наноконтактах // ЖТФ. -2002. -Т. 72, № 2. С. 140-142.

114. Рехвиашвили С.Ш., Шомахов З.В., Кармоков A.M. Акустическая эмиссия при взаимодействии зонда с поверхностью металлов // Нано- и микросистемная техника. 2009. - № 4. - С. 19-22.

115. Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. М.: Наука, 1981.-286 с.

116. Бабичев А.П., Бабушкина H.A., Братковский A.M. и др. / Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова М.: Энергоатомиздат, 1991. - 1232 с.

117. Рехвиашвили С.Ш., Шомахов З.В., Кармоков A.M. Исследование вязкоупругих свойств стекол для микроканальных пластин зондовым акустическим методом // Инженерная физика. 2009. - № 11.-С. 31-36.

118. Справочник по производству стекла. Т.1. / под ред. И.И. Китайгородского, С.И Сильвестровича. М.: Госстройиздат, 1963. - С.132-135.

119. Сандитов Д.С., Мантатов В.В., Сандитов Б.Д. Коэффициент Пуассона и пластичность стекол // ЖТФ. 2009. - Т.79, №4. - С. 150-152.

120. Справочник по производству стекла. Т. 1. Под ред. Китайгородского И.И., Сильвестровича С.И. -М.: Госстройиздат, 1963. С. 132-135.

121. Кармоков Т.А., Шомахов З.В. Расчеты механических свойств стекол для микроканальных пластин по их химическому составу // В мире научных открытий. -2010. -№4(10). -Ч. 10. С. 16-17.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.