Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.07 Оборудование производства электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств

Андрианов, Андрей Михайлович 2000
Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве

Ковалев, Анатолий Андреевич 2000
Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники

Кеменов, Владимир Николаевич 2000
Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства

Хаханин, Сергей Юрьевич 2000
Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования

Пересадько, Андрей Григорьевич 2000
Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий

Васин, Владимир Анатольевич 2000
Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки

Сосунов, Александр Геннадьевич 2000
Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева

Невшупа, Роман Александрович 1999
Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения

Василенко, Николай Васильевич 1999
Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок: Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса

Тыщишин, Василий Васильевич 1999
Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения

Коган, Иосиф Леонидович 1999
Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц

Угольников, Сергей Викторович 1998
Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии

Балашов, Владимир Николаевич 1998
Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования

Михальцов, Евгений Петрович 1998
Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона

Тупик, Виктор Анатольевич 1998