Автоматизация радиационно-лазерных процессов изготовления симметричных канальных элементов интегральной оптики тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.07, кандидат технических наук Кудаев, Сергей Валентинович

• Кудаев, Сергей Валентинович
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кудаев, Сергей Валентинович

Введение.

1. Структурный анализ оптоэлектронных интегральных схем и технологических процессов их изготовления.

1.1. Методы построения оптоэлектронных интегралшых схем.

1.2. Конструктивно - технологические особенности формирования элементов интегральной оптики.

1.3. Анализ принципов автоматизации процессов шготовления интегрально - оптических схем.

1.4. Постановка задачи.

2. Разработка и исследование автоматизированиях радиационно-лазерных методов изготовления симметричных ошических волноводов.

2.1. Формализация задач управления процессами формирования элементов интегральной оптики проникающими ишучениями.

2.2. Разработка и исследование модели процесса юследовательного многослойного формирования волноводов в о&еме монолитной стеклянной подложки.

2.3. Разработка математической модели процесса ванесения симметрирующих слоев на поверхность подложки.

2.4. Выводы.

3. Алгоритмы и средства автоматизации процессов фэрмирования элементов интегральной оптики.

3.1. Разработка моделей и алгоритмов формироважя интегрально -оптических элементов.

3.2. Исследование и разработка критериев выбора средств изготовления оптических волноводов.

3.3. Разработка алгоритма последовательного формирования топологии волноводной структуры фотонной интегралшой схемы.

3.4: Выводы.

4. Экспериментальные исследования и шедрение результатов в промышленности и в учебном процессе.

4.1. Экспериментальные исследования ®роцессов фоторазрушения радиационных центров окраски.

4.2. Апробация и внедрение результатовдиссертационной работы.

4.3. Анализ экологических последствий внедрения автоматизированных радиационно-лазерных технологийобработки стеклоизделий.

4.4. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Автоматизация радиационно-лазерных процессов изготовления симметричных канальных элементов интегральной оптики»

Актуальность работы. В отличие от пржплого, когда в технической деятельности главенствовала обработка материшов, особенностью современного этапа развития общества является возрастающая роль обработки информации.

Такие задачи, как управление сложными объектами, обработка изображений и распознавание образов, моделироваше ситуаций и принятие решений, проблемы робототехники, характеризуются ¡¡Ьлыним объемом перерабатываемой информации, сложными законами прейразования. Показано [120], что дальнейшее повышение производительности вычислений в электронике может быть связано с мультипроцессорными комшвксами. Однако, организация высокопараллельных вычислений в ЭВМ сталкивается с принципиальными трудностями, главным образом при обеспечении множественных межсоединений процессоров и элементов различного уровня средствами электроники.

Потенциальным преимуществом оптшеских вычислительных машин служит присущая оптике доступность паралжльной обработки информации и межсоединений. Существенно также, что оятические частоты обеспечивают значительно большую полосу пропускания ж, соответственно, предельно допустимое быстродействие по сравнению с радиочастотным диапазоном [126, с. 292].

Оптическая вычислительная техника -это комплекс оптоэлектронных аппаратурных средств, позволяющих эффектишо осуществлять математические и логические действия с информацией, представленной в оптической форме. Оптоэлектронику как научно-техническое назравление [111, с. 6] характеризуют три отличительные черты:

1. Физическую основу оптоэлектроники составляют явления, методы, средства, для которых принципиальны сочетание и ©разрывность оптических и электронных процессов. Оптоэлектронное устрэйство определяется как прибор чувствительный к электромагнитному излечению в видимой, ИК- или ультрафиолетовой (УФ) областях; или прибор, излучающий и преобразующий излучение в этих спектральных областях; технологические концепции современной микроэлектроники: миниатюризация элементов; предпочтительноеразвитие твердотельных плоскостных конструкций; интеграция элементов и функций, ориентация на специальные сверхчистые материалы; 3. Функциональное назначение опт©лектроники состоит в решении задач информатики с производительностью порядка 1012.1014 бит/с [38, с. 19]: формировании информации путем преобразования различных внешних воздействий в соответствующие электрические и оптические сигналы; переносе информации; преобразовании и^юрмации по заданному алгоритму; хранении информации, включающем жие процессы, как запись, собственно хранение, неразрушающее считывааие, стирание; отображении информации, т.е. преобразовании выходных сигналов информационной системы к воспринимаемому человеком виду [142].

Однако на пути развития оптжческой информационной техники имеется немало существенных трудностей, (обусловленных технологией их производства и связанных с особенностями использования фотонов излучения в качестве носителей информации. Необходимость тщательной юстировки элементов объемной оптической схемы, большие размеры и стоимость элементов, а также проблемы их совместимости с интегральными электронными устройствами требуют новых подходов к построению технологических процессов (ТП) производства оптических средств [38, с. 21].

Интегральная оптика призвана сыграть ту же роль по отношению к элементной базе оптоэлектронных сисвем передачи и обработки информации, какую сыграла микроэлектроника, зажнив в технике объемные полупроводниковые приборы. Отмеченные трудности в принципе преодолеваются, если распространение и преобразование излучения происходит в объединенных общей подложкой твердотельных диэлектрических структурах [133, с. 5]. При этом технологическая реализация процессов изготовления волноведущих структур интегральной оптики основана на штодах, близких к методам технологии изготовления электронных ИМС. Неойходимое качество формирования структур микронных и субмикронных разменов в этом случае обеспечивается только при условии автоматизации ТП. Однако, ориентация современных методов и средств автоматизации ТП на изготовление электронных ИМС не позволяет учитывать особенности распространения оптического излучения в формируемых структурах. В результате плотность упаковки интегрально - оптических элементов (ИОЭ) функциональной обработки сигналов оказывается значительно меньше плотности интеграции электронных приборов, изготовленных с помощью тех же автоматизированных технологических комплексов. Малая плотность упаковки ИОЭ на подложке фотонной интегральной схемы (ФИС) приводит к невозможности реализации основного преимущества оптических вычислительных систем - осуществления высокопараллельной обработки информации [34].

Цель работы: автоматизация технологических процессов изготовления оптических волноводов для обеспечения повышения плотности упаковки ИОЭ обработки сигналов на подложке.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1. Проанализировать назначение и конструктивно - технологические варианты исполнения устройств и элементов интегральной оптики, выявить ограничения плотности упаковки оптических волноводов (ОВ) при их изготовлении микроэлектронными методами, а также специфические требования, определяющие принципы управления ТП изготовления ФИС;

2. Обосновать выбор управляющих технологических факторов, обеспечивающих создание в интегрально - оптических подложках локальных областей каналирования мод сигнального излучения (СИ);

3. Разработать математические модели технологических процессов формирования ОВ, а также волноводных и других характеристик формируемых структур;

4. Разработать алгоритмы управления технологическим оборудованием, реализующие автоматизацию технологических процессов;

5. Разработать критерии выбора технологического оборудования, пригодного для реализации автоматизированных ТП формирования ФИС с повышенной плотностью упаковки.

Методы исследования включают физические эксперименты, численное и аналитическое моделирование процессов взаимодействия жроникающего электромагнитного излучения с веществом; применение матештического аппарата квантовой электроники и электродинамики к исследование процесса распространения излучения в элементах ФИС; использование методов теории автоматического управления, теории точности, теории графов, а также методов обработки изображений для разработки алгоритмов управлешя технологическим процессом.

Научная новизна. В диссертации получены следующие новые научные результаты:

1. Разработаны ММ и алгоритмы автоматизированного управления процессами взаимодействия проникающего у - и лазерного излучений с материалом подложки, определяющие структуру ТП последовательной» формирования канальных симметричных ОВ и ИОЭ, обеспечивающего аозможность многослойной упаковки ОВ;

2. Разработана структура автоматизированного ТП нанесения на поверхность полупроводниковой или диэлектрической подложки ФИС симметрирующих слоев из порошков, совпадающих по составу с материалм подложки, обеспечивающего возможность уменьшения размеров ОВ шлоть до минимальных размеров канальных симметричных волноводов;

3. Разработаны алгоритмы управления процессами формирования ИОЭ функциональной обработки сигналов, допускающих многослойную упаковку;

4. Разработан алгоритм последовательного формирований топологии волно-водной структуры ФИС, позволяющий повысить производительность процесса лазерной размерной обработки за счет уменьшенш суммарной длины холостых переходов;

5. Разработаны автоматизированные методы нанесения полутоновых и цветных

Т^ОЧ'Т'УТЭНО - ТТрТ»Ч'у'ОРДЛ"4' 1" ГТ'Д-'ГГ^ о~-'ТГ,,г>;;г,*Ггтт? ' Т-Г - ' процессами взаимодействия проникающего электромагнитного излучения с монолитными и порошковыми стеклянным! материалами в соответствии с разработанными ММ и алгоритмами;

Практическая ценность полученных результатов заключается в:

• повышении плотности упаковки ОВ на подлиске ФИС;

• в повышении производительности процессоБлазерной размерной обработки

• повышении художественной выразительносж стеклоизделий, за счет разработки принципов управления существующим прецизионным оборудованием с целью реализации процессов формирования оптических и графических элементов с помощью проникающего у- и лазерного излучения.

Публикации по теме диссертации, апробация ивнедрение ее результатов.

Диссертация в целом и ее отдельные результаты обсуждались на следующих научно - технических конкурсах, конференциях и выставках:

1. Конкурсы:

1.1. Всероссийский конкурс грантов для аширантов «Стипендиаты Президента России». Проведенные исследования удостоены гранта в 1998/1999 уч. году;

1.2. Всероссийский конкурс научных работмолодых ученых по радиоэлектронике и связи за 1998 г. Работа отмяена Дипломом и 3-ей премией Президиума Центрального Совета Российского научно - технического общества радиоэлектроники и связи им, А.С Попова;

1.3. Всероссийский конкурс научных работмолодых ученых по радиоэлектронике и связи за 1999 г. Работа ошечена Дипломом Президиума Центрального Совета Российского наушо - технического общества радиоэлектроники и связи им. А.С Попощ

1.4. Конкурс на лучший доклад на Всеросшйской конференции «Гагарин-ские чтения». Выступления в 1997, 195&, 1999 гг. отмечены дипломами конференций;

2. Конференции:

2.1. НТК с международным участием "Приборостроение - 94", (Судак,

1994 г.);

2.2. 2-ая Международная светотехническая конференция, (Суздшь,

1995 г.);

2.3. 5-ая и 6-ая Международнме конференции "Лазерные технологии - К", "Лазерные технологиии-91', (Шатура, 1995 г., 1998 г.);

2.4. 2-ая и 3-я Международна НТК "Физика и радиоэлектроника в медицине и биотехнологии", (Вгадимир, 1996 г., 1998 г.);

2.5. Международные конфершции "LASE'98: High-Power Lasers and Application", (San Jose, Qlifornia, USA, 1998), "LASE'99", (San tee, California, USA, 1999);

2.6. IX Международная конференция "Laser Optics'98, Санкт-Петербург,

1998 г.);

2.7. Международная НТК «Перспективные технологии в средствах передачи информации» (Владимжр, июль 1999 г.);

2.8. Всероссийская НТК: "Коаверсия, приборостроение, рынок", (Владимир, июнь 1995 г.);

2.9. Российские научные конференции «Радиационная стойкость электронных систем»: Стойкость-^, Стойкость-99 (Москва, июнь 1998 г., иинь

1999 г.));

2.10. XXIII, XXIV и XXV Всероссийские молодежные научные конференции "Гагаринские чтения"|Москва, 1997 г., 1998 г., 1999 г);

2.11. Областные НТК: "Проектирование и применение радиотехничесжх устройств", (Владимир, маа 1994 и 1995 гг.).

3. Выставки:

3.1. Международная научно - зехническая выставка "Наука, конверсия, шб-разование", (Тульский ГТ¥, май 1993 г.);

3.2. Выставка годичного Всероссийского собрания "Наука - 94", (ВлГТУ, февраль 1995 г.).

По теме диссертации опубликовано 33 работы (подана заявка на изобиетение № 98105811, приоритет 25.03.98; в настоящее время заяжа проходит экспертизу).

Результаты диссертационной работы внедрены в промышленность и использованы при выполнении хоздоговорных и госбюджетных нарно - исследовательских работ Владимирского Государственного Университета и Владимирского Регионального лазерного инженерно - технологических» центра в рамках исследований, проводимых в интересах предприятий Шадимирской области, а также в учебный процесс при подготовке радиоинженеров и магистров в ВлГУ.

На основании проведенных исследований на защиту выносяжя:

1. Функциональное, алгоритмическое и математическое обеспечеаие системы программного управления радиационно - лазерным ТП последовательного формирования в объеме стеклянной подложки канальных симметричных ОВ и ИОЭ;

2. Математическое обеспечение системы программного управления ТП лазерного нанесения на поверхность полупроводниковой или диэжктрической подложки ФИС симметрирующих слоев из порошков;

3. Алгоритм управления процессом подстройки параметров У - образного раз-ветвителя оптических сигналов для формирования логических эжментов;

4. Алгоритм последовательного формирования топологии волноведной структуры ФИС;

5. Функциональное, алгоритмическое и математическое обеспетаие систем программного управления ТП нанесения полутоновых и цветных контурно -штриховых изображений на стекла.

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав основной части, изложенных на 171 странице и иллюстрированных 96 рисунками и 19 таблицами; заключения; списка литературы, включающего 198 наименований отечественных, зарубежных и переводных источников; а также 6 приложенш, подтверждающих практическую значимость проведенных исследований.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация технологических процессов и производств (в том числе по отраслям)», Кудаев, Сергей Валентинович

5. Основные результаты работы внедрены в исследовательскую деятельность Владимирского Государственного университета (ВлГУ) и Регионального лазерного инженерно - технологического центра и использованы при выполнении НИР по заказам промышленных предприятий области, а также в учебном процессе при подготовке радиоинженеров и магистров в ВлГУ.

Основны'ё:положения диссертации опубликованы в работах::

1. Davidov N.N., Kudaev S.V., Prokoshev V.G. Research of laser-indaced structures on the division surface of mediums and physical-technological founlations of they application//Abstracts of IX Conference "Lasers Optics'98",St Petersburg, june

1998, p54.

2. Davidov N.N., Sushkova L.T., Rufitskii M.V., Kudaev S.V., GalMn A.F., Orlov V.N., Prokoshev V.G. Research of physical - chemical processes in optically transparent materials during colouring points formation by volumeric - graphical processing// SPIE - The International Society for Optical Engineering, Proceedings series, volume 2713, USA, Washington, 1996, pp. 400403.

3. Давыдов H.H., Кудаев C.B. Анализ экологических преимуществ внедрения лазерных технологий изготовления стеклянных шаблонов//Материалы III Международной НТК "Физика и радиоэлектроника в медицина и биотехнологии, Владимир, 1998, с. 283.284

4. Давыдов Н.Н., Кудаев С.В. Исследование физико-технологичеосих основ построения процессов графической обработки стекол на базе вьр'реннего де-фектообразования под воздействием мощных импульсов лазерного излуче-ния//Сборник тезисов МНГК "Лазерные технологии'98", Шату|а, июнь 1998 г., с. 98

5. Давыдов Н.Н., Кудаев С.В. Лазерный способ изготовления дифракционных решеток для биомедицинской спектроскопии//Материалы III Международной НТК "Физика и радиоэлектроника в медицине и биотехноюгии, Владимир, 1998, с. 113.115

6. Давыдов Н.Н., Кудаев С.В. Процессы формирования интегралшых световодов в стеклянных подложках воздействием проникающих электромагнитных излучений//Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика |адиационно-го воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. Выпуск 1-2. Научно - технический сборник. М.: ЦНИИатоминформ, 1999. - с.20 - 24.

7. Давыдов H.tf.y Кудаев C.B. Процессы формирования элементов интегральной оптики на границе монолитных и порошковых сред//Радиационная стойкость электронных систем "СТОЙКОСТЬ-98", Научно-технический сборник, Москва, июнь 1998 г., с. 135. 136 *

8. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Бутин В.И. Локально неоднородное фотоотсвечивание радиационной окраски и его технологическоеприменение//Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационюго воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. Выпуск 1-2. Научно - тешический сборник. М.: ЦНИИатоминформ, 1999. - с.16 - 19.

9. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Бутин В.И., Феоктистов A.B. Технология получения осветленных изображений в объеме тонирошнных стеклоизделий. Информационный листок Владимирского ЦНТИ № 71-95, июнь 1995 г

Ю.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Бушевой С.Н. Оценка эюлогических последствий внедрения радиационных технологий обработки стеклоизде-лий//Материалы II Международной НТК "Физика и радиоэлектроника б медицине и биотехнологии, Владимир, май 1996, с. 190.J 93 П.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., Бутин В.И. Способ нанесения внутреннего тонированного рисунка в прозрачных сгеклоизделиях. Информационный листок Владимирского ЦНТИ № 79-95, ишп> 1995 г 12.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., Бутин B.I. Технология радиационного тонирования слеклоизделий. Информационньж листок Владимирского ЦНТИ № 70-95, июнь 1995 г 1 З.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., Бушевой С.Н. Способ лазерной объемно - графической обработки изделий из стекла и хрусталя. Информационный листок Владимирского ЦНТИ № 71-95, июш 1995 г 14.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., СушковаЛ.Т. Технология автоматизированной лазерной объемно - графической обработки изделий из стекла и хрусталя. Информационный листок Владим^ского ЦНТИ № 78-95, июнь 1995 г

15.Давыдов Н:Н'., Кудаев C.B., Пржошев В.Г. Способ цветной художественно -графической отделки поверхности стеклоизделий//Заявка на изобретшие №98105811, приоритет 25.03.98

16.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Феоктистов A.B. Лучевая обработка-стеклощде-лий радиоэлектронного производства// Тезисы НТК "Приборостроение - §4", Винница-Симферополь, 1994, с.96.

П.Давыдов H.H., Кудаев C.B., Феисгистов A.B., Фролова Т.Н. Методы восжро-изведения внутренних световж эффектов в светотехнических матеща-лах//Труды II Международной светотехнической конференции, Суздаль, май 1995 г, С.129.130

18.Кудаев C.B. Алгоритмы преобразования цветных растровых изображший для лазерной художественно -графической обработки.//Сборник тезЕсов докладов научной конференции XXIV Гагаринские чтения, часть 9, Москва, апрель 1998 г.

19.Кудаев C.B. Лазерная технологш цветной графической обработки стеклша-териалов//Сборник тезисов докждов научной конференции XXIV Гагарн-ские чтения, часть 9, Москва, апрель 1998 г.

20.Кудаев C.B. Метод определения эквивалентных параметров градиентжых оптических волноводов/ZXXV ГАГАРИНСКИЕ ЧТЕНИЯ. Тезисы докладов Международной молодежной тучной конференции. Москва, 6-10 апреля 1999 г. - М.: Изд-во «ЛАТМЭС»,1999. - Том 1, с. 464.465

21.Кудаев C.B. Физические оснош применения мощного проникающего лазерного и у-излучения в технологии обработки стекол//Сборник тезисов докладов научной конференции XXIV Гагаринские чтения, часть 9, Москва, апрель 1998 г

22.Кудаев C.B., Бушевой С.Н. Обземно - графическая обработка стекломже-риалов интенсивными пучками проникающего электромагнитного излзче-ния//Сборник тезисов докладов научной конференции XXIII Гагаринсзсие чтения, часть 1, Москва, апрель 1997 г, с. 146

23.Кудаев С.В.чр-Бушевой С.Н. Сравнительный анализ эколшической безопасности радиационных и химических технологий обработки и контроля полупроводников и стекломатериалов//Сборник тезисов докладов научной конференции XII Гагаринские чтения, часть 5, Москва, апрель 1997 г,,с. 42

24.Кудаев C.B., Давыдов H.H. Интегрально - оптические методы передачи и обработки информации//Материалы Международной HTI «Перспективные технологии в средствах передачи информации». - Владимвр: Институт оценки природных ресурсов, 1999. - В 2 частях./Ч. 1 Под ред.А.Г. Самойлова. -с. 288-292.

25.Кудаев C.B., Давыдов H.H. Локально неоднородное фо-шотсвечивание радиационной окраски и его технологическое применеше/УРадиационная стойкость электронных систем "СТОИКОСТЬ-98", Н^но-технический сборник, Москва, июнь 1998 г., с. 137-138

26.Кудаев C.B., Давыдов H.H. Методика оценки деградации параметров оптических волноводов, сформированных радиационно-лазерным мето-дом//Радиационная стойкость электронных систем "СТСЖКОСТЬ-99", Научно-технический сборник, Москва, июнь 1998 г. - М.: СПЭЛС - НИИП, 1999.-с. 175.176

27.Кудаев C.B., Давыдов H.H. Моделирование характеристш оптических волноводов в радиационно - тонированных стекжнных подлож-ках//Радиационная стойкость электронных систем "СТОЙЮСТЬ-99", Научно-технический сборник, Москва, июнь 1998 г. - М.: СПЭЛС - НИИП, 1999. -с. 177.178

28.Кудаев C.B., Давыдов H.H. Процессы формирования интезральных световодов в стеклянных подложках воздействием проникающих шектромагнитных излучений//Тезисы докладов Всероссийской НТК "Новые материалы и технологии '98", Москва, ноябрь 1998 г. - М.: Изд-во '1АТМЭС", 1998, С.227.228

29.Кудаев С.В.;4Лысихин Д.А. Векторные изобракения: алгоритм оптимизации технологического применения//ХХУ ГАГАМНСКИЕ ЧТЕНИЯ. Тезисы докладов Международной молодежной научшй конференции. Москва, 6-10 апреля 1999 г. - М.: Изд-во «ЛАТМЭС», 1999.-Том 1, с. 456.457 *

30.Кудаев C.B., Феоктистов A.B., Давыдов Н.1 Радиационное окрашивание стекол и способ стабилизации окраски//Тезися обл. конф. "Проектирование и применение радиотехнических устройств", Шадимир, май 1994 г., с. 8.9

31.Кудаев C.B., Феоктистов A.B., Давыдов H.H.Способы нанесения в стекло-изделиях объемных тонированных изображений/ЛГезисы обл. конф. "Проектирование и применение радиотехнических устройств", Владимир, май 1995 г., с. 25

32.Кудаев C.B., Феоктистов A.B., Давыдов Д.Н.,Давыдов H.H. Технология лазерного объемного скрайбирования стеюкжзделий//Тезисы обл. конф. "Проектирование и применение радиотехнических устройств", Владимир, май 1995 г., с. 26

33.Лысихин Д.А., Давыдов H.H., Кудаев C.B., 1утин В.И. Исследование контрастности границ радиационно - тонировашых стеклянных фотошабло-нов//Радиационная стойкость электронных систем "СТОЙКОСТЬ-99". Научно-технический сборник, Москва, июнь 1998 г.,- М.: СПЭЛС - НИИП, 1999. -с. 179.180.

34.Лысихин Д.А., Кудаев C.B., Давыдов H.H. Исшедование контрастности границ радиационно - тонированных фотошаблсаов/УТезисы докладов Международной НТК "Радиоэлектроника, электротешика и энергетика". В 2-х томах. Т.1. - М.: Издательство МЭИ, 1999. - с. 17,

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кудаев, Сергей Валентинович, 2000 год

1. A.c. СССР № 1252308 МКИСОЗВ 31/00. "Способ изготовления шетопро-зрачного витража"/ A.M. Чу1унов.- Опубл. 23.08.86. Бюл. № 31.

2. A.c. СССР № 1593564, MKI В 44 С 5/08. "Способ изготовленш декоративного изделия"/ В.Я. Вейшерг Опубл. 1990. Бюл. № 34.

3. A.c. СССР № 1737399 MKHG02B 27/48, 27/44. "Оптическая система для преобразования излучения полупроводникового лазера"/ МЛ. Голуб, C.B. Карпеев, И.Н. Сисакян,В.А. Сойфер.- Опубл. 30.05.92. Бюл. Ш 20.

4. A.c. СССР № 1809411 MKPÏG02B 15/14, 15/16. "Объектив с першенным фокусным расстоянием'! H.A. Градобоева, З.В. Добрк;ердова, Л.В. Иванова.- Опубл. 15.0413. Бюл. № 14.

5. A.c. СССР № 1818307 МК1 СОЗВ 33/0. "Способ художественней обработки изделий из стекла, пршмущественно боросиликатного и хрусталя"/ И.М. Чуриков, A.B. Павшуксв, H.H. Давыдов.- Опубл. 30.5.93. Бюж №20.

6. A.c. СССР № 1828453 МКЙ СОЗВ 31/00. "Способ изготовленш декоративно-облицовочного матерала'7 Ю.А. Федоров,- Опубл. 15.07.93. Бюл. № 26.

7. Абдуллаев Ф.Х. Распространение пространственного солитона в системе туннельно-связанных оптических волноводов с переменным коэффициентом связи//Журнал техничесюй физики. 1998. - Т. 68, № 6. - С. 1-7.

8. Агравал Г. Нелинейная волжонная оптика: Пер. с англ. M.: Mif, 1996.323 е.: ил.

9. Адаме М. Введение в теорио оптических волноводов: Пер. с шгл./Под ред. И.Н. Сисакяна. М.: Ми|, 1984. - 512 е.: ил.

10. Алексеев С.А. и др. Экспершентальная оптика полупроводник®: Учеб. пособие для студентов вузкв оптических приборостроительные спец./ С.А. Алексеев, В.Т. Прокопежо, А.Д. Яськов. Спб.: Политехшта, 1994.248 е.: ил.

11. Амания М., Танака Ю. Архитектура ЭВМ и искусственный интеллект. -М.: Мир, 1993.-400 с.: ил.- ■-. -х. —192 —

12. Арбузов В*И., Толстой М.Н., Элертс М.А. Абсолютные характеристики центров окраски в стекле Na2 3Si02 // Изв. АН CCCF. Сер. физ. 1986. -т. 50, №3.-с. 551-555.

13. Арестова M.JL, Быковский А.Ю. Методика реализащи оптоэлектронных схем многопараметрической обработки сигналов ш основе принципов многозначной логики//Квантовая электроника. 1995- т. 22, № 10.- с. 980984.

14. Атхале Р. А., Ли Дж. Н. Методы оптической обработки информации, основанные на вычислении внешнего произведения//ТЖЭР.- 1984.- т. 72, № 7.- с. 206-218.

15. Барабанов B.C., Сергеев П.Б. Наведенное электроннжм пучком поглощение излучения ArF-, KrF- и XeF-лазеров в сятических материа-лах//Квантовая электроника.- 1995,- т. 22, № 7,- с. 745-748.

16. Бедилов М.Р., Бейсембаева Х.Б., Сабитов М.С. Влшние ионизирующей радиации на оптический пробой силикатных стеколЖвантовая электроника,- 1996.- т. 23, № 5,- с. 455-456.

17. Блоджет Э. Дж. Сборка и монтаж микроэлектронных гхем//В мире науки.-1983,-№9.- с. 46-58.

18. Бломберген Н. Электрический пробой в твердых телэс под действием лазерного излучения (обзор)//Квантовая электроника,- 1974.- № 4.- с. 786805.

19. Боровский A.B., Галкин А.Л. Лазерная физика: рентгеновские лазеры, ультракороткие импульсы, мощные лазерные системе:- М.: ИздАТ, 1996.496 е.: ил.

20. Босый О.Н., Ефимов О.М. Закономерности и механиж эффекта накопления в отсутствие допороговой ионизации матрицы стежла//Квантовая электроника,- 1996.- т. 23, № 8,- с. 737-742.

21. Босый О.Н., Ефимов О.М. Закономерности и механиж эффекта накопления в условиях многофотонной генерации центров окраски/УКвантовая электроника.- 1996.- т. 23, № 8,- с. 729-736.

22. Бреховских С.М. Викторова Ю.Н., Ланда Л.М. Радиационные эффекты вАстеклах,- М.: Энергоиздат, 1982. 184 слил.23 , Бреховских С.М. и др. Основы радиацишного материаловедения стекла и керамики.-М.: Стройиздат, 1971.

23. Бреховских С.М., Тюльнин В.А. Радиащонные центры в неорганических стеклах.- М.: Энергоатомиздат, 1988.

24. Бужинский И.М., Поздняков А.Е., Ушаков С.А. Зависимость порога разрушения стекла К 8 от диаметра обзучаемой поверхности// Оптико-механическая промышленность.- 1973.-Ж» 5.- с. 69-70.

25. Бюргановская Г.В. и др. Действие излечений на неорганические стекла.-М.: Атомиздат, 1968.

26. Вавилов Ю.В. и др. Комплексное воздейггвие ионизирующего и светового излучений на стекла//Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. 1994.- Вып. 1-2,- с. 59-63.

27. Вавилов Ю.В. и др. Наведенное поглошшие и радиолюминесценция стек-ловолоконного жгута//Вопросы атомнойнауки и техники. Сер. Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. 1994.- Вып. 1-2,- с. 64-67.

28. Вавилов Ю.В., Зубков В.И. Изотермичеаий отжиг радиационных центров окраски в натриевосиликатном стекле/физика и химия стекла.- 1988.- т. 14, №5.-с. 729-733.

29. Васильев С.А., Дианов Е.М., Курков 1.С., Медведков О.И., Протопопов В.Н. Фотоиндуцированные внутртолоконные решетки показателя преломления для связи мод сердцевинм>болочка//Квантовая электроника.-1997,-т. 24, № 2,-с. 151-154.

30. Введение в интегральную оптику / Под ред. М. Барноски. Пер. с англ. под ред. Т.А. Шмаонова,- М.: Мир, 1977,- 368с.: ил.

31. Вейко В.П. Лазерная обработка пленочних элементов. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1986. - 248 е.: ил.

32. Волноводная оптоэлектршика/Т. Тамир, X. Котельник, У. Берне ж др.; Пер. с англ. А.П. Горобцаи др./Под ред. В.И. Аникина. M.: Мир, 3991. -575 е.: ил.

33. Гладкий В.П., Никитин ЖА., Прохоров В.П., Яковенко H.A. Элементы волноводной оптоэлектрожики для устройств функциональной обр^ютки цифровой информации/УКвантовая электроника.- 1995.- т. 22, № Ю.- с. 1027-1033.

34. Головня В.Г. Технология деталей радиоаппаратуры. М.: Радио и связь, 1983.-296 е.: ил.

35. Голубков B.C. и др. Интегральная оптика в информационной тешике/ B.C. Голубков, H.H. Евтижев, В.Ф. Папуловский.- М.: Энергоатошздат, 1985. 152 е.: ил.

36. ГОСТ 9411-81. Стекло оптаческое цветное.

37. Готра З.Ю. Технология шкроэлектронных устройств: Справочник,- М.: Радио и связь, 1991. 528 с: ил.

38. Грицкевич О.В., Мещеряков H.A., Подъяпольский Ю.В. Лазерная рамер-ная обработка криволинешых поверхностей вращения/УКвантовая электроника." 1996,- т. 23, № 7.- е. 660-662.

39. Гудмен Дж.У., Леонберджер Ф.Дж., Гун Суньюань, Атхале P.A. Оптические связи в СБИС-системж//ТИИЭР,- 1984,- т. 72, № 7.- с. 114-133.

40. Давыдов H.H., Кудаев C.B. Анализ экологических преимуществ внесения лазерных технологий изгоювления стеклянных шаблонов//Материаж>1 III Международной НТК "Фишка и радиоэлектроника в медицине и бштех-нологии, Владимир, 1998, с 283.284

41. Давыдов H.H., Кудаев C.B. Лазерный способ изготовлешя дифракционных решеток для биомедицинской спектроскопии//Мате|яалы III Международной НТК "Физика и радиоэлектроника в медицине жбиотехнологии, Владимир, 1998, с. 113. 115

42. Давыдов H.H., Кудаев C.B. Процессы формирования элемнтов интегральной оптики на границе монолитных и порошковых срщ//Радиационная стойкость электронных систем "СТОЙКОСТЬ-98", Научно-технический сборник, Москва, июнь 1998 г., с. 135.136

43. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Бутин В.И., Феоктистов A.B.Технология получения осветленных изображений в объеме тонировашых стеклоизде-лий. Информационный листок Владимирского ЦНТИ №13-95, 1995.

44. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Бушевой С.Н. Оценка эколошческих последствий внедрения радиационных технологий обработай стеклоизде-лий//Материалы II Международной НТК "Физика и радюэлектроника в медицине и биотехнологии, Владимир, май 1996, с. 190. 113

45. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., Бутин В.И. Сюсоб нанесения внутреннего тонированного рисунка в прозрачных стекл «изделиях. Информационный листок Владимирского ЦНТИ № 79-95, 19%.

46. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., Бутин В.И. Тешология радиационного тонирования слеклоизделий. Информационны! листок Влади196 — мирского ЩНТИ № 70-95, 1995.г > -" 'Î

47. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., 1ушевой С.Н. Способ лазерной объемно графической обработки изделий жз стекла и хрусталя. - Информационный листок Владимирского ЦНТИ №71-95, 1995.

48. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Давыдов Д.Н., Сушкова JI.T. Технология автоматизированной лазерной объемно графической обработки изделий из стекла и хрусталя. - Информационный меток Владимирского ЦНТИ № 78-95, 1995.

49. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Прокошев В.Г.Способ цветной художественно графической отделки поверхности стшюизделий//3аявка на изобретение №98105811, приоритет 25.03.98

50. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Феоктистов А.Ж Лучевая обработка стеклоиз-делий радиоэлектронного производства// Тезисы НТК "Приборостроение -94", Винница-Симферополь, 1994, с. 96.

51. Давыдов H.H., Кудаев C.B., Феоктистов AM., Фролова Т.Н. Методы воспроизведения внутренних световых эффекюв в светотехнических материалах/Пруды II Международной светотежической конференции, Суздаль, 1995, с.129.130

52. Давыдов H.H., Сушкова Л.Т., Бутин В.И.Радиационное тонирование и стерилизация стеклоизделий медицинскою назначения//Материалы II Международной НТК "Физика и радиоэлекшроника в медицине и биотехнологии,-Владимир, 1994. с.220. .223.

53. Двайт Г.Б. Таблицы интегралов и другие математические формулы.- Спб.: "Издательство и типография АО ВНИИГ имБ.В. Веденеева", 1995.- 176 с.

54. Дианов Е.М., Васильев С.А., Медведков O.S., Фролов A.A. Динамика наведения показателя преломления при облу^нии германосиликатных световодов различными типами УФ излучежй//Квантовая электроника.-1997,-т. 24, №9,-с. 805-808.

55. Дианов Е.М., Соколов В.О., Сулимов В.Е, Модель дефекта-источника красной люминесценции- при записи решетэк показателя преломления в волоконных световодах на основе германоашикатного стекла//Квантоваяэлектроника.- 1997.- т. 24, № 7.- eil7-621.

56. Евтихиев H.H., Есепкина H.A., Долгий В.А., Лавров А.П., Хотянов БЛ, Чернокожин В.В., Шестак С.А. Шггоэлектронный процессор в виде шб-ридной микросхемы//Квантовая электроника.- 1995.- т. 22, №-10.- с. 915990.

57. Ефимов О.В., Матвеев Ю.А., Ме^юков A.M. Влияние примесных иоюв железа на нелинейное окрашиваете щелочно-силикатных стекол// Квантовая электроника.- 1995.- т. 22, № 7- с. 663-665.

58. Иванов В.В., Ю.А. Михайлов, ВД. Осетров, А.И. Попов, Г.В. Склизк&в. Поверхностная лучевая прочносп оптических и лазерных стекол для т-косекундных импульсов//Квантожя электроника.- 1995.- т. 22, № 6,-с. 589-592.

59. Интегральная оптика/Под ред. Т. Тамира; Пер. с англ. под рвд. Т.А. Шмаонова,- М.: Мир, 1978. -344 е.: ил.

60. Итиока Е., Танида Дж. Оптичесгае параллельные логические вентили на основе теневой системы для оптических цифровых вычислше-лей//ТИИЭР.- 1984,- т. 72, № 7,- с.42-58.

61. Карлов Н.В., Кириченко H.A., Лук&янчук Б.С. Лазерная термохимия: осю-вы и применения/Учебное руковсдство.-2-e изд., испр. и доп.-М.: Центр-Ком, 1994.-368 е.: ил.

62. Карманный справочник по архинктуре Intel. М.: Интел текнолоджжз, 1998. - 22 е.: ил.

63. Климков Ю.М. Основы расчета ситико-электронных приборов с лазер-ми.- М.: Сов. радио, 1978,- 224 е.: ж.

64. Клэр Ж.-Ж. Введение в интегршьную оптику: Пер. с фр./ Под ред. В.К. Соколова.-М.: Сов. радио,1981- 104 е.: ил.

65. Козлов В.А., Свахин A.C., Тер-Мширтычев В.В. Интегрально-оптическм усилитель на основе твердотелшых активных материалов//Квантошя электроника.- 1995.- т. 22, № 8.- с. 156-858.

66. Колдунов М.Ф., Маненков A.A., Пзжотило И.Л. Теоретический анализ эффекта накопления в лазерном разрешении прозрачных диэлектриков щммногократном облучении//Квантовая электроника.- 1995.- т. 22, № 7.-с. 701-705.

67. Колдунов М.Ф., Маненков A.A., Покотило И.Л. Формулировка критерия термоупругого лазерного разрушения прозрачных диэлектрков и зависимость порога разрушения от длительности импульса//Ква®говая электроника,- 1997,- т. 24, № 10,- с. 944-948.

68. Колесников П.М. Теория неоднородных световодов и резонаторов. -Минск: Наука и техника, 1982. 296 е.: ил.

69. Комплекс лазерный технологический ТЛ-1.5. Паспорт и |уководство по эксплуатации. Шатура: НИЦТЛ РАН - Предприятие «Шнона», 1994. -112 с.

70. Кривошеев М.И., Кустарев А.К. Цветовые измерения. М.:Энергоатомиз-дат, 1990.

71. Кристофидес Н. Теория графов. Алгоритмический подход: Пер. с англ./ Под ред. Г.П. Гаврилова. М.: Мир, 1978. - 432 е.: ил.

72. Крылов К.И. и др. Основы лазерной техники: Учеб. пособш для студентов приборостроительных спец. вузов/ К.И. Крылов, ВТ. Прокопенко, В.А. Тарлыков.-Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 19Ю. 316 е.: ил.

73. Крылов К.И. и др. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. -Л.: Машиностроение, 1978,- 336 е.: ил.

74. Кудаев C.B. Алгоритмы преобразования цветных растровых изображений для лазерной художественно -графической обработки.//С§орник тезисов докладов научной конференции XXIV Гагаринские чтения.: часть 9, Москва, апрель 1998 г.

75. Кудаев C.B. Лазерная технология цветной графической обработки стекло-материалов//Сборник тезисов докладов научной конференции XXIV Гагаринские чтения, часть 9, Москва, апрель 1998 г.

76. Кудаев C.B., Бушевой С.Н. Объемно графшеская обработка стекломате-риалов интенсивными пучками проникающего электромагнитного излуче-ния//Сборник тезисов докладов научной конференции XXIII Гагаринские чтения, часть 1, Москва, апрель 1997 г, с. 14ê

77. Кудаев C.B., Давыдов H.H. Локально неоднородное фотоотсвечивание радиационной окраски и его технологические применение//Радиационная стойкость электронных систем "СТОЙКОСТЬ-98", Научно-технический сборник, Москва, июнь 1998 г., с. 137-138

78. Кудаев C.B., Феоктистов A.B., Давыдов H.H. Радиационное окрашиваше стекол и способ стабилизации окраски//Тезисы обл. кон|. "Проектирование и применение радиотехнических устройств", Владимир, май 1994 г., с. 8.9

79. Кудаев C.B., Феоктистов A.B., Двыдов H.H. Способы нанесения в стекжь изделиях объемных тонировазных изображений/ЛГезисы обл. конф. "Проектирование. и применение радиотехнических устройств", Владим^э, май 1995 г., с. 25

80. Кудаев C.B., Феоктистов A.B., Давыдов Д.Н., Давыдов H.H. Технолошя лазерного объемного скрайбиревания стеклоизделий//Тезисы обл. ков|). "Проектирование и применение радиотехнических устройств", Владиммр, май 1995 г., с. 26

81. Куринной Г.Ч. Математика: Справочник. Харьков: Фолио; Ростов н/f: Феникс, 1997. - 463 е.: ил.

82. Лебедева В.В. Экспериментальная оптика. 3-е изд. - М.: Изд-во Моск. yï-та, 1994.- 352 с.

83. Линдли К. Практическая обработка изображений на языке Си: Пер. с анш. -М.: Мир, 1996. 512 е.: ил.

84. Луизов A.B. Цвет и свет.- М.: Энергоатомиздат, 1988.- 256 е.: ил.

85. Лындин Н.М., Нурлигареев Д.Х.Хычугов В.А. Направленный ответвитеаь на основе изогнутых канальных Кт -волноводов в стекле//Квантовая электроника." 1996,- т. 23, № 5,- с. 4(1-472.

86. Лысихин Д.А., Кудаев C.B., Давыдов H.H. Исследование контрастности границ радиационно тонированных фотошаблоновПезисы докладов Всероссийской НТК "Радиоэлектроника, электронша и энергетика" г. Москва, март 1999 г. - М.:., 1999. - с. .

87. Лютер-Дэвис Б., Гамалий Е.Г., Янжи Ванг, Роде А.В.Дихончук В.Т. Вещество в сверхсильном лазерном поле//Квантовая элекфоника.- 1992,- т. 19, №4.- с. 317-359.

88. Маймистов А.И. Обратимые логические элементы нот область применения оптических солитонов//Квантовая электроника.- 1995.- т. 22, № 10.-с. 1044-1048.

89. Малюгин В.Д. Параллельные логические вычисления посредством арифметических полиномов. М.: Физматлит, 1997. - 192 е.: ш.

90. Маркузе Д. Оптические волноводы: Пер. с англ./Под ред В.В. Шевченко. -М.: Мир, 1974.-576 е.: ил.

91. Материалы в приборостроении и автоматике: Справочнж / Под ред. Ю.М. Пятина. 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Машиностроение 1982. - 528 е.: ил.

92. Мачулка Г.А. Лазерная обработка стекла.- М.: Сов. радщ 1979.- 136 е.: ил.

93. Мослехи Б., Гудмен Дж. У., Тур М., Шоу Н. Дж. Обработка сигналов решетчатыми волоконно-оптическими структурами//ТИИЗР,- 1984,- т. 72, № 7.-е. 181-206.

94. Несущие конструкции радиоэлектронной аппаратуры/ ПИ. Овсищер и др. -М.: Радио и связь, 1988. 232 е.: ил.

95. Низовой В.Г. Охрана труда на предприятиях стекольной зромышленности. Изд. 2-е, испр. и доп. М.: Легкая индустрия, 1974. - 160и: ил.

96. Окрашивание стекла: Пер. с чеш./И. Моцик, И. Небрженский, И. Фандер-лик; Под ред. В.А. Федоровой.- М.: Cf ойиздат, 1983.

97. Оптические дисковые системы: Пер с англ./ Г. Боухьюз, Дж. Браат, А. Хейсер и др. М.: Радио и связь, 1911.- 280 е.: ил.

98. Оптоэлектронные преобразователи m основе управляемых световодных структур/Под ред. В.М. Пролейко. М: Радио и связь, 1984. - 72 е.: ил.

99. Основы радиационно химического аппаратостроения . А.Х. Брегер и др./Под ред. А.Х. Брегера. - М.: Атомщцат, 1967. - 500 е.: ил .

100. Патент РФ № 2059575 МПК С03В 13/00. Способ художественной обработки изделий из стекла//Н.Н. Даввдов, JI.T. Сушкова, Д.Н. Давыдов.-Опубл. 10.05.96. Бюл. № 13

101. Пилипович В.А., Есман А.К., Гонча^енко И.А., Поседько B.C., Солоно-вич И.Ф. Циркуляционный волокошо-оптический контур памяти со встроенным служебным каналом//Квштовая электроника.- 1995.- т. 22, № 10.- с. 1019-1022.

102. Полевые транзисторы на арсениде гашия. Принципы работы и технология изготовления: Пер. с англ./ Под ред. Д.В. Ди Лоренцо, Д.Д. Канделуола. -М.: Радио и связь, 1988. 496 е.: ил.

103. Прангишвили И.В., Виленкин С.Я., Медведев И.Л. Параллельные вычислительные системы с общим управлением. М.: Энергоатомиздат, 1983. -386 е.: ил.

104. Преснухин Л.Н., Воробьев Н.В., Шипкевич A.A. Расчет элементов цифровых устройств: Учеб. пособие / Под ред. Л.Н. Преснухина. М.: Высш. школа, 1991. - 384 е.: ил.

105. Преснухин Л.Н., Шахнов В.А. Конструирование электронно вычислительных машин и систем. Учеб. посо!ие для втузов по спец «Конструирование и производство ЭВА». -М.: Высш. шк., 1996. - 512 с: ил.

106. Примак И.У, Сотский А.Б., Хомченкэ A.B. Интегрально-оптические датчики с регистрацией коэЦфициента отражения в схеме признанного воз-буждения//Письма в ЖТФ 1997. - Т. 23, № 13. - С. 7-12.

107. Пясецкий В.В. Цветные жпевизоры: устройство, эксплуатации, ремонт. -Воронеж: Центр.- Чернозш. кн. изд-во, 1991. 320 с.

108. Радиационная стойкость в оптоэлектронике/ Ф.А. Заитов и ;ф.; Под ред. В.Г. Сретина,- М.: Военищат, 1987.- 166 е.: ил.

109. Розанов H.H. Оптическая бистабильность и гистерезис в распределенных нелинейных системах.-М: Наука. Физматлит, 1997.- 336 е.: ил.

110. Рыкалин H.H. и др. Высаютемпературные технологические процессы: те-плофизические основы. -М.: Наука, 1985.

111. Рыкалин H.H., Углов А.1. Температурное поле в средах с юглощением при действии локальных источников тепла//Физика и химм обработки материалов.- 1967.- № 5.-е. 11-14.

112. Рэди Дж. Действие мощюго лазерного излучения. Пер. с анш. М.: Мир, 1974.- 468 е.: ил.

113. Рябов С.Г., Торопкин Г.Н, Усольцев И.Ф. Приборы квантовей электроники (характеристики, трименение, тенденции развития)/ Под ред. М.Ф. Стельмаха. М.: Ccei радио, 1976. - 312 е.: ил.

114. Сборник задач по методам вычислений: Учеб. пособие для вуюв/ Под ред. П.И. Монастырского.- 2-г изд., перераб. и доп.- М.: Физмшглит, 1994.320 с.

115. Свечников Г.С. Элемента интегральной оптики.- М.: Радио извязь, 1987. -104 е., ил.

116. Семенов A.C., Смирнов IJL, Шмалько A.B. Интегральная ошика для систем передачи и обработм информации.-М.: Радио и связь, 1990.- 224 с.: ил.

117. Снайдер А. Лав Дж. Теоря оптических волноводов: Пер. с шгл./Под ред. Е.М. Дианова, В.В. Шевчзнко. М.: Радио и связь, 1987. - 656s.: ил.

118. Содха М.С., Гхатак А.К. Неоднородные оптические волноюды: Пер. с англ./Под ред. В.А. Киселева. М.: Связь, 1980. - 216 е.: ил.

119. Солер А.Д., Удоев Ю.П. Оптическая бистабильность и модужция света в204 —тонкопленочных резонаторах на основе эффекта полного внутреннего отражения/Журнал технической физики. 1997.- Т. 67, № 12. - С. 6-7.

120. Сочук А. А., Стренд Т. С., Цифровые оштгаские вычисления/ЛГИИЭР.-1984,- т. 72, №7.- с. 8-33.

121. Справочник по производству стекла. В 2-х т.,т.2. Под ред. И.И. Китайгородского и С.И. Сильвестровича. М.: Госстршиздат, 1963. - 526 е.: ил.

122. Стекло: Справочник./ Под ред. Н.М. Павлушмна.- М.: Стройиздат, 1973.487 е.: ил.

123. Столен Р.Х., ди Паула Р.П. Одномодовяе волоконные компонен-ты//ТИИЭР.- 1987,- т. 75, №11.- с. 66-82.

124. Суэмацу Я. и др. Основы оптоэлектроники: Пер. с яп.- М.: Мир, 1988.288 е.: ил.

125. Суэмацу Я. Интегрально-оптический подход! разработке перспективных полупровдниковых лазеров/ЛГИИЭР,- 1987.- тЛ5, № 11,- с. 38-55.

126. Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полу!роводниковых и диэлектрических материалов: Учебник для студ. вузов.-М.: Высш. шк., 1983.- 271 е.: ил.

127. Тараненко В.Г., Шанин О.И. Адаптивная ожика. М.: Радио и связь, 1990,- 112 е.: ил.

128. Тейлор Х.Ф. Волноводная оптика в процессорах и измерительных систе-мах//ТИИЭР.- 1987,-т. 75. № 11.-е. 97-110.

129. Теория автоматического управления: Угеб. для машиностроит. спец.вузов/В.Н. Брюханов, М.Г. Косов, С.П. Протопопов и др.; Под ред. Ю.М. Соломенцева. 2-е изд., испр. - М.: Высш. шк., 1999. - 268с.: ил.

130. Теория управления. Терминология. Вып. 107. -М.: Наука, 1988. 56 с.

131. Теория оптических систем. Учебник для вузов- Б.Н. Бегунов и др.- 2-е изд.перераб. и'д'оп.- М.: Машиностроеше, 1981.- 432 е.: ил.

132. Технология и автоматизация произюдства радиоэлектронной аппаратуры: Учебн. для вузов/И.П. Бушминскш, О.Ш. Даутов, А.П. Достанко и др.; Под ред. А.П. Достанко, Ш.М. Чшдарова. М.: Радио и связь, 1989.624 е.: ил.

133. Томлинсон У.Дж., Брэкетт Ч.А. Применение интегральной оптики и опто-электроники в связи//ТИИЭР.- 1987.- т. 75, № 11,- с. 83-96.

134. Тормышев Ю.И., Федоренко М.П. Методы и средства формирования шаговых траекторий. М.: Машинострэение, 1980. - 359 е.: ил.

135. Унгер Х.Г. Планарные и волоконные оптические волноводы: Пер. с англ./Под ред. В.В. Шевченко. М.:Мир, 1980. - 656 е.: ил.

136. Ушаков H.H. Технология производства ЭВМ: Учеб для студ. вузов по спец. "Вычислит, машины, комплежсы, системы и сети". 3-е изд., пере-раб. и доп. - М.: Высш. шк., 1991. -416 е.: ил.

137. Фаткуллин А. Внутри Rambus//KoMibK)Teppa.- 1998.-№10.-с. 48-51.

138. Фаткуллин А. Медная технология не совсем Plug-n-PlayZ/Компьютерра, 1998.-№20.-с. 23.

139. Физические величины: Справочшк/А.П. Бабичев, и др.; Под. ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова,- М.: Энергоатомиздат, 1991.-1232 е.: ил.

140. Форрест С.Р. Оптоэлектронные интегральные схемы//ТИИЭР.- 1987.т. 75, № 11.-е. 55-66.

141. Фотоника: Пер. с англ. и фр./Под ¡>ед. М. Балкански, П. Лалемана. -М.: Мир, 1978. -416 с.: ил.

142. Хансперджер Р.Г. Интегральная ожтика. Теория и технология: Пер. с англ./Под ред. В.А. Сычугова. М.: Мир,1985. - 384 е.: ил.

143. Хаус X. Волны и поля в оптошектронике: Пер. с англ./Под ред. К.Ф. Шипилова. М.: Мир, 1988. - 412 е.: ил.

144. Хуан А. Об архитектуре оптический цифровой вычислительной маши-ны//ТИИЭР,- 1984,- т. 72, № 7,- с. 3442.

145. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учеб. для вузов. М.:Радио и связь, 1991. - 464 е.: ил.

146. Чехов О.С^й др. Вопросы экологии в стекольном производстве. М.: Лег-промбытиздат, 1990. - 144а., ил.

147. Шатилов А.В., Гусев Г.П, Дворников Г.Д. О порогах самофокусировки излучения наносекундной длительности в оптических стеклах//0птико-механическая промышленюсть,- 1972.- № 4.- с. 18-20.

148. Шафеев Г.А. Лазерная актавация и металлизация диэлектриков//Кшнтовая электроника,- 1997.- т. 24,® 12,- с. 1137-1144.

149. Шикин Е.В., Боресков А.Ж Компьютерная графика. Динамика, реалистические изображения. М.: ДИАЛОГ-МИФИ, 1996. - 288 е.: ил.

150. Backus J. Function-level computing//Spectrum.- Aug 1982.- pp 22-37.

151. Baldacchini G., De Nicola E, Giubileo G., Menchini F., Messina G., Matereali

152. R.M., Scacco A. Selective jroduction of aggregate centers in LiF cr)5tals by ionizing radiations//Nuclear Instruments and methods in physics resarch. -1998.-Vol. 141.-P. 542-541.

153. Boucinha M., Chu V., Alpuim J.P., Conde J.P. Micromachining of an airbridge structure using thin-films oe glass substrates//Sensors and Actuators.-1999. -Vol. 74. P. 5-8.

154. Coremans A., Groot D. Resdual stresses and thermal stability of las® beam sintered metal parts//Proceelngs of the LANE'97: Laser Assisted Na shape Engineering 2./Eds.: M. Geiger, F. Vollertsen. Meisenbach-Verlag, Banberg, 1997.-p. 577-588.

155. Davidov N.N., Kudaev S.V.,Prokoshev V.G. Research of laser-induce! structures on the division surface of mediums and physical-technological fcunda-tions of they application/VAlstracts of IX Conference "Lasers Optics'98". -St Petersburg, 1998. p54.

156. Gabathuler W., Lukosz W. Electro-nanomechanically wavelength-tunable integrated-optical Bragg reflectors Part II: Stable devke operation//Optics Communications. 1998. - Vol. 47. - P. 258-264.

157. Gatto A., Escoubas L., Roche P., Commandre M. Simulatim of the degradation of optical glass substrates caused by UV irradiation ihile coating//Optics Communications. 1998. - Vol. 148. - P. 347-354.

158. Gazecki J., Kubica J.M., Zamora M., Reeves G.K., Johason C.M., Ridgway M.C. Refractive indices and thicknesses of optical waveguides fabricated by silicon ion implantation into silica glass//Thin Solid Filma- 1999. Vol. 340. -P. 233-236.

159. Geiger M., Otto A., Hoffmann P., Fleckenstein M. Sytem components for product and process innovations// Proceedings of the LAME'97: Laser Assisted Net shape Engineering 2./Eds.: M. Geiger, F. Vollertsen.-Meisenbach-Verlag, Bamberg, 1997. p. 45-59.

160. Haronian D. In-plane degree of optical waveguide displacement sensors basedon geometrical modulation//Sensors and Actuators. 1991 - Vol. 69. - P. 217— 225.

161. Jain R.E., Snyder D.A. Switching characteristics of logi gates addressed by picosecond light pulses //IEEE J. Quantum Electron.-1913.- vol. QE-19, 1 4,-pp. 656-663.

162. Keyes R. W. The evolution of digital electronics toward VLSI//IEEE Orans. Electron Devices.-1979.- vol. ED-26, no. 4,- pp. 271-278.

163. Kosikova J., Schrofel J. Integrated waveguide structures prepared in very pure glass by electric field assistediC Na+ ion exchange//Optics Communications. -1998.-Vol. 156.-P. 384-391

164. Kraupl S., Hoffmann P. Newdevelopments for laser sintering of metallicpow-ders// Proceedings of the LiNE'97: Laser Assisted Net shape Engnœring 2./Eds.: M. Geiger, F. Vollstsen. -Meisenbach-Verlag, Bamberg, 1991 p. 607-614.

165. Kreutz E.W. Pulsed laser d^osition of ceramics: fundamentals and apflica-tions//Applied Surface Science 1998. - Vol. 127. - P. 606-613.

166. Levy M.L. An investigation tf flaws in complex CMOS devices by a scmning photoexcitation technique //Prac. 15th Annu. IEEE Reliability Symp.-197T- pp. 44-53.

167. Lohmeyer M., Bahlmann N, Hertel P. Geometry tolerance estimatici for rectangular dielectric waveguide devices by means of perturiation theory//Optics Communicatioas. 1999. - Vol. 163. - P. 86-94.

168. Lohmeyer M., Bahlmann N, Zhuromskyy O., Dotsch H., Hertel P. Biase-matched rectangular magnetsoptic waveguides for applications in integrated optics isolators: numerical assessment//Optics Communications. 1998. -Vol. 158.-P. 189-200.

169. Mizunami T., Yamashiro M.,Gupta S., Shimomura T. Two-photon absoiption coefficient measurements in hydrogen-loaded germanosilicate cptical fiber//Optics Communications 1999. - Vol. 162. - P. 85-90.

170. Montereali R.M., Mancini A, Righini G.C., Pelli S. Active stripe waveguides produced by electron beam lithography in LiF single crystals//0ptics Communications. 1998. - Vi, 153. - P. 223-225.

171. Naghski D.H., Boyd J.T., Hcsrard E.J., Steckl A.J. Potential for size reduction of AlGaAs optical channel wa-eguide structures fabricated by focused ionâeam209 —implantation' and oxidation//Optics Communications. 1198. - Vol. 150. -P. 97-100.

172. Saraswat K.C., Mohammadi F. Effect of scaling of interconnections on the time delay of VLSI circuits//IEEE Trans. Electron Devices.- 1982.- vol. ED-29, no. 4. -pp. 645-650.

173. She S., Zhang S. Analysis of nonlinear TE waves in a periofic refractive index waveguide with nonlinear cladding//Optics Communierions. 1999. -Vol. 161.-P. 141-148.

174. Shogo U., Sheard S.J. A configuration for guided-wave excitation into a disposable integrated-optic head//Optics Communications. -1998. Vol. 146. -P. 85-89.

175. Taylor M.E., Atwater H.A. Monte Carlo simulations of epitaxial growth: comparison of pulsed laser deposition and molecular bean epitaxy//Applied Surface Science. 1998. - Vol. 127. - P. 159-163.

176. Tonova D., Paneva A., Pantchev B. Determination of refractive index profiles of gradient optical waveguides by ellipsometry//Optics Communications. -1998.-Vol. 150.-P. 121-125.

177. Vahimaa P., Kuittinen M., Turunen J., Saarinen J., Saktio R.-P., Lopez-Lago E., Linares J. Guided-mode propagation through an ion-exchanged graded-index boundary//Optics Communications. 1998. - Vol. 147. - P. 247253.