Ближнепольная микроскопия локального оптического отклика поверхности SiC и полупроводниковых наноструктур на основе Si, GaAs и InP тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.05, доктор физико-математических наук Казанцев, Дмитрий Всеволодович

• Казанцев, Дмитрий Всеволодович
• доктор физико-математических наук
• 2006

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Ближнепольная микроскопия локального оптического отклика поверхности SiC и полупроводниковых наноструктур на основе Si, GaAs и InP»

Общие принципы.4

Схемы экспериментов.6

Теория.7

Анализ рассеяния света объектом и собирания иглой.7

Решение обратных задач при восстановлении источника.9

Технические аспекты сканирующих систем.10

Особенности взаимодействия иглы с образцом.10

Системы сканирования и обратная связь.10

Измерительные приложения микроскопии ближнего поля.11

Квазиклассические" изображения.11

Регистрация "полей утечек".13

Спектроскопия люминесценции молекул.15

Комбинационное рассеяние.16

Использование 81ЧОМ для записи/считывания информации с высокой пространственной плотностью.16

Выводы.17

Заключение диссертации по теме «Оптика», Казанцев, Дмитрий Всеволодович

Выводы

Сканирующая микроскопия ближнего оптического поля является современной экспериментальной методикой, позволяющей приложить опыт оптических исследований к областям поверхности, значительно меньшим длины волны. Особенно многообещающим выглядит приложение методики к оптическим исследованиям в среднем и ближнем ИК-диапазоне спектра, где ее преимущество по отношению к традиционным оптическим методам наиболее очевидно. Область локализации взаимодействия исследуемого объекта на поверхности с электромагнитным полем может быть в принципе сделана сколь угодно малой, и существующие ограничения пространственного разрешения метода носят во всех случаях технический, а не принципиальный характер.

Существующие электромеханические методы относительного позиционирования макроскопически больших (сантиметры) объектов с точностью атомарного масштаба (ангстремы) обеспечивают растровое сканирование и поддержание сканирующего зонда на заданном расстоянии от поверхности.

Продемонстрирована возможность создания сканирующих систем, обеспечивающих оптическое исследование свойств поверхности и малых объектов на ней, обеспечивающих высокое пространственное разрешение (заметно меньшее рабочей длины волны), и которые способны работать в различных условиях, в том числе при низких температурах и в вакууме.

Из недостатков метода следует отметить малую чувствительность оптических зондов, основанных на ограничении области взаимодействия образца со светом размерами микро-(нано?) отверстия в непрозрачном экране и неоднозначность физической интерпретации данных, получаемых с помощью БИОМ рассеяния ближним полем иглы.

Список публикаций по теме диссертации.

Представленные в диссертации оригинальные результаты опубликованы в следующих работах:

1. Д.В. Казанцев. Фонон-поляритонные волны на поверхности кристалла SiC.//Письма в ЖЭТФ, 2006, т. 83, вып. 8.

2. Д.В. Казанцев. Предусилитель сигнала пьезоэлектрического датчика вибрации кантилевера атомно-силового микроскопа. //ПТЭ, №6, с. 1-6,2005.

A. Huber, N. Ocelic, D. Kazantsev, R. Hillenbrand. Near-field imaging of mid-infrared surface phonon polariton propagation.// Appl. Phys. Lett. 87 (2005) pp.081103-081106.

3. D. V. Kazantsev, C. Dal Savio, H. U. Danzebrink, Cantilever Temperature Characterisation in Low Temperature Vacuum Atomic Force Microscope//Rev.Sci.Instr., Vol. 77 (2006) pp.

4. H.-U. Danzebrink, D.V. Kazantsev, C. Dal-Savio, K.Pierz, B. Guettler. Optical microscope with SNOM option for micro- and nanoanalytical investigations at low temperatures. // Appl. Phys. A (2003), pp. 889-892(2003).

5. Dal Savio, C.; Dziomba, Th.; Kazantsev D.V. und Danzebrink H.-U.: Entwicklung eines kombinierten Nahfeldmikroskopie- und -spektroskopiesystems. PTB-Bericht F-47: 100 Seiten, 66 Abb. ISBN: 3-86509-064-8 (2003)

6. D.V.Kazantsev, C. Dal Savio, K. Pierz, B.Guettler, H.-U. Danzebrink: Low-Temperature scanning system for near-field optical investigations. //Journal of Miscroscopy, Vol. 209, Pt 3 March 2003, pp. 199-204.

7. D.V. Kazantsev, C. Dal-Savio, B. Guttler, H.U. Danzebrink. Low-temperature scanning system for high spatial resolution surface spectroscopy.//1st German-Japanese symposium on spatially resolved spectroscopy and fabrication of nanostructures for nano-atom photonics. Berlin, March 17-19,2003.

8. G.Guttroff, M.Bayer, A.Forchel, D.V.Kazantsev, M.K.Zundel, K.Eberl. Near-field scanning optical spectroscopy of InP single quantum dots.//JETP Lett., Vol. 66, iss.7, pp. 497-501.

9. D.V. Sokolov, D.V. Kazantsev, J.W.G. Tyrrell, T. Hasek, and H.U. Danzebrink: Combined Confocal and Scanning Probe Sensor for Nano-Coordinate Metrology. //Ch.2 in G. Wilkening, L. Koenders, Nanoscale Calibration Standards and Methods. Dimensional and Related Measurements in the Micro-and Nanometer Range. Handbuch/Nachschlagewerk - ISBN 3-527-40502-X Wiley-VCH, Berlin (2005).

10. Guttroff G., Bayer M., Forchel A., Kazantsev D.V., Zundel M.K., Eberl К: Investigation of Electronic Structure of InP Single Quantum Dots Using Near Field Scanning Optical Spectroscopy. // Phys.Stat.Sol. A. - 1997. - No. 164, pp.291-296.

11. Maidykovski, A.I., Lebedev, O.V., Dolgova, T.V., Kazantsev, D.V., Fedyanin, A.A. Observation of the local field distribution in photonic crystal microcavity by SNOM technique. // Conf. Optical Properties of Nanocrystals (9-11 July 2002) Proceedings of the SP IE - The International Society for Optical Engineering vol. 4808 p. 180-185.

12. D.Kazantsev: A simple scanning head for low-temperature scanning near-field microscopy. // Ultramicroscopy 1998, Vol. 71, Iss. 1-4, pp. 191-198.

13. D.Kazantsev, G.Guttroff, M.Bayer, A.Forchel. Sample temperature measurement in a scanning near field microscope. //Appl. Phys. Lett - 1998. - Vol. 72, No.6, pp. 689-691.

14. Д.В. Казанцев, Н.А.Гиппиус, Дж.Ошиново, А.Форхель. Спектроскопия микроструктур GaAs/AlGaAs с субмикронным пространственным разрешением с помощью сканирующего микроскопа ближнего оптического поля. // Письма в ЖЭТФ 1996, т.63, вып.7, сс. 523-527.

15. Казанцев Д.В., Селиванов Ю.Г., Трофимов В.Т., Чижевский Е.Г. Поверхностные состояния кристаллов селенида свинца. Письма в ЖЭТФ, т. 62, вып. 5, с. 422-426.

16. Kazantsev D.V., Gippius N.A., Oshinovo J., Forchel A. Direct measurement of carrier diffusion parameters near the GaAs/AlGaAs quantum well edge using a scanning near-field optical microscope. // Ultramicroscopy 1998, Vol. 71, Iss 1-4, pp. 235-241.

17. Казанцев Д.В., Савинов С.В., Яминский И.В. Высоковольтный усилитель для пьезоманипулятора сканирующего туннельного микроскопа. // Электронная промышленность. - 1993 - N. 10, с. 40-41.

18. Казанцев Д.В., Савинов С.В. Скоростной интерфейс связи сканирующего туннельного микроскопа с IBM AT. // Электронная промышленность. - 1993 - N. 10, с. 49-57

19. Казанцев Д.В. Локальная шина данных сканирующего туннельного микроскопа. // Электронная промышленность. - 1993 - N. 10, с. 57-62.

20. М. Brehm, H.G. Frey, R. Guckenberger, R. Hillenbrand, D. Kazantsev, F. Keilmann, N. Ocelic, and T. Taubner. Consolidating Apertureless SNOM. //NFO-8 Proc., Journal of the Korean Physical Society 47 (2005) S213-S216.

21. H. U. Danzebrink, C. Dal Savio, Th. Dziomba, D. Kazantsev, B. Guttler, and H.-A. Fuss. A compact Sensor-Head for Near-Field Optical Microscopy and Spectroscopy. //NFO-7 Proc. (August, 2002).

22. D. V. Sokolov, D. V. Kazantsev, J. W. G. Tyrrell, H.-U. Danzebrink. Development of a self-sensing SPM probing system. //Seminar NanoScale 2004. 6th Seminar on Quantitative Microscopy (QM) and 2nd Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods Dimensional and related measurements in the micro- and nanometre range. March 25-26,2004.

23. Казанцев Д.В. Локальная оптическая спектроскопия полупроводниковых структур с помощью сканирующего микроскопа ближнего поля.//Всероссийское совещание «Зондовая микроскопия», 2-5 марта 1998 г., Институт физики микроструктур, Нижний Новгород.

24. Г.Гуттрофф, М.Байер, А.Форхель, Д.Казанцев, М.Цундель, К.Эберл. Регистрация спектров люминесценции отдельных квантовых точек InP в массиве с помощью сканирующего микроскопа ближнего оптического поля. // Полупроводники-97, III Всероссийская конференция по физике полупроводников, 1-5 декабря 1997, Москва, ФИАН.

25. Д.В.Казанцев, Р.Гатц, Н.Оцелич, Р.Хилленбранд, Сканирующий микроскоп рассеяния ближним оптическим полем иглы (sSNOM). //Симпозиум Нанофизика и наноэлектроника-2006. Март, 13-17, Нижний Новгород.

26. Д.В.Казанцев, Р.Хилленбранд, Дж.Витгборн. Использование сканирующего микроскопа рассеяния света ближним оптическим полем иглы (s-SNOM) для изображения полупроводниковой микроструктуры.//Симпозиум Нанофизика и наноэлектроника-2006. Март, 13-17, Нижний Новгород.

27. Д.В.Казанцев, Р.Хилленбранд, Ж-Х.Сонг, Т.Атай, А.В.Нурмикко. Микроскопия рассеяния света иглой над димерами металлических нанодисков.// Симпозиум Нанофизика и наноэлектроника-2006. Март, 13-17, Нижний Новгород.

28. J. Wittbom, D. Kazantsev and R. Hillenbrand, Material and Doping Contrast at Nanoscale Resolution Using Scattering-Type Scanning Near-Field Optical Microscopy.// SYMPOSIUM NN Scanning Probe Microscopy in Materials Research November 28 - December 1,2005.

Благодарности

Автор находит приятным долгом поблагодарить своих учителей и научно-административных «покровителей», которые способствовали постепенному превращению молодого выпускника университета во взрослого самостоятельного специалиста: O.A. Акципетрова, B.C. Багаева, В.И. Панова, А.Г. Пояркова. Полученные от них знания и приобретенный под их руководством опыт трудно переоценить.

Автор благодарит старших коллег, чьи эпизодические обсуждения способствовали расширению его научного кругозора: Е.А. Виноградова, J1.B. Келдыша, В.Д. Кулаковского, В.Б. Тимофеева, А. Форхеля.

Автор благодарит сотрудников и соавторов, рядом с которыми ему довелось работать: М, Байера, М.М. Бонч-Осмоловского, H.A. Гиппиуса, Б. Гюттлера, Х.-У. Данцебринка, A.A. Ежова, Ф. Кайлманна, Ю.Н. Моисеева, A.B. Мельникова, Т.В. Мурзину, А.И. Орешкина, С.И. Орешкина, А.Н. Рубцова, C.B. Савинова, С.Г. Тиходеева,

A.A. Федянина, Р. Хилленбранда, Д. Шульца, И.В. Яминского. Их доброжелательная поддержка воодушевляла автора продолжать в трудные времена занятия наукой, а критика (порой весьма жесткая) побуждала доводить качество интерпретации наблюдений и представления результатов до достойного уровня.

Автор благодарит сотрудников лаборатории 170 ИТЭФ за постоянный живой интерес к работе и за увлекательные обсуждения всего происходящего в науке: А.Ю. Морозова, Е.С. Суслову, А.В.Маршакова, А.Д.Миронова, Т.В.Миронову и всех остальных сотрудников лаборатории.

Автор благодарит механиков, изготовивших разработанные им сканирующие системы:

B.И. Соустина, М. Кемпе и Р. Гатца. Без их мастерства в изготовлении деталей (порой из таких трудных в обработке материалов, как титан или пьезокерамика) прецизионные приборы остались бы только на бумаге.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Казанцев, Дмитрий Всеволодович, 2006 год

1.Heinzelmann, D.W.Pohl. Scanning Near-field Microscopy. // Appl. Phys. A. - 1984, Vol. A59,pp. 89-101.

2. E.H.Synge. A suggested model for extending microscopic resolution into the ultra-microscopic region.// Phylos. Mag. 1928. - No. 6, p. 356-362.

3. A.Lewis, M.Isaacson, Muray M., Harootunian A. // Biophysical Journal. 1983. - Vol. 41, pp. 405A.

4. Lewis A., Isaacson M., Harootunian A., Muray M. Developement of a 50E spatial resolution lihgtmicroscope. // Ultramicroscopy. 1984 - 13, pp. 227-231.

5. Pohl D.W., Denk W., Lanz M. Optical stethoscopy: image with resolution ?J20. // Appl. Phys. Letters, 1984, Vol. 44, No. 7, pp. 651-653.

6. Betzig E., Isaacson M., Barshatzky H., Lewis A., Lin K. Superresolution Imaging with Near-field

7. Scanning Optical microscopy (NSOP). // Skan.Tun.Micr., 23rd Meet, of GSEM Bremen, 1987, pp. 155-165.

8. Couijon D., Sarayeddine K., Spajer M. Scanning tunneling optical microscopy. // Optics Commun. 1989. - No. 71, pp. 23-28.

9. Betzig E., Finn P.L., Weiner J.S. Combined shear force and near-field scanning optical microscopy. // Appl. Phys. Lett. 1992. - No. 60, pp. 2484-2486.

10. Durig U., Pohl D.W., Rohrer F., Near-field optical-scanning microscopy.// J. Appl. Phys. 1986 -Vol. 59, No. 10, pp. 3318-3327.

11. Bethe H.A. Theory of diffraction by small holes. //Phys. Rev. 1944. - Vol. 66, pp. 163-182.

12. Zehnhausern F., O'Boyle M.P., Wickramasinghe H.K. Apertureless Near-Field Optical Microscope. //Appl. Phys. Lett. 1994. - Vol. 65, Iss. 13, pp. 1623-1625.

13. Bachelot R., Gleyzes P., Boccara A.C. Apertureless Near-Field Optical Microscopy by Local Perturbation of a Diffraction Spot. //Ultramicroscopy 1995. - Vol. 61, Iss. 1-4, pp. 111-116.

14. F. Keilmann and R. Hillenbrand. Near-field microscopy by elastic light scattering from a tip. // Phil. Trans.,R. Soc. London A 362 (2004) pp. 787-805.

15. Bachelot R., Gleyzes P., Boccara A.C. Apertureless Near-Field Optical Microscopy by Local Perturbation of a Diffraction Spot. //Ultramicroscopy 1995. - Vol. 61, Iss. 1-4, pp. 111-116.

16. T. Taubner, F. Keilmann, and R. Hillenbrand, Nano Lett. 4,1669 (2004).

17. R.Hillenbrand, F.Keilmann, Complex Optical Constants on a Subwavelength Scale. //Phys. Rev. Lett., 85, Nr. 14, pp.3029-3032 (2000).

18. M.Minsky U.S. Patent 3,013,467 (December, 1961).

19. C. J. R. Sheppard and A. Choudhury, "Image formation in the scanning microscope," Opt. Acta 24,1051-1073 (1977).

20. C. J. R. Sheppard, "Scanning optical microscopy," in Advances in Optical and Electron Microscopy, R. Barer and V. E. Cosslett, eds. (Academic, London, 1987), Vol. 10, pp. 1-98.

21. T.Wilson, Ed. Confocal microscopy (Academic, London, 1990), ISBN: 0127572708.

22. Timothy R. Corle and Gordon S. Kino, Confocal Scanning Optical Microscopy and Related Imaging Systems. // ISBN: 0-12-408750-7. Academic Press, 1250 Sixth Avenue, San Diego, CA (1996)

23. Novotny L., Pohl D.W., Regli P. Light propagation through nanometer-sized structures: the two-dimensional-aperture scanning near-field microscope// J. Opt. Soc. Am. 1994, Vol. 11, No. 6, pp.1768-1779.

24. Haftier Ch., The generalized multiple multipole technique for computational electromagnetics. -Artech, Boston, Mass., USA, 1990.

25. Xiao M. Polarisation effects in reflection scanning near field optical microscopy. // Optics Comm. 1997, No. 136, pp. 213-218.

26. Xiao M. Cutting off the diffraction: A numerical solution in scanning near-field optical microscopy. // Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 69, No. 21, pp.3125-3127.

27. Xiao M., Bozhevolnyi S. Imaging with reflection near-field optical microscope: contribution of the near and far fields. // Optics Comm. 1996, No. 130, pp. 337-347.

28. Xiao M., Bozhevolnyi S., Keller 0. Numerical Study of Configurational Resonances in Near-Field Optical Microscopy with a Mesoscopic Metallic Probe. //Appl. Phys. A-materials science & processing. 1996. - Vol. 62, Iss. 2, pp. 115-121.

29. Zvyagin M., Ohtsu M. Near Field optical microscope for true surface topography: theoretical study. // Optics Comm. 1997. - No. 133, pp. 328-338.

30. Grober R.D., Rutherford T., Harris T.D. Modal approximation for the electromagnetic field of a near-field optical probe. //Appl. Opt. 1996. - Vol. 35, No. 19, pp. 3488-3495.

31. Bouwcamp C.J. On Bethe's theory of diffraction by small holes. // Philips Res. Rep., No. 5, pp. 321-332.

32. Madrazo A., Nieto-Vesperinas M., Model Near-Field Calculations for Optical Data Storage Readout. //Appl. Phys. Lett. 1997. - Vol. 70, No. 1, pp. 31-33.

33. R. Uma Maheswari, H. Kadono, M. Ohtsu. Power spectral analysis for evaluating optical near field images of 20 nm gold particles. //Opt. Comm. 1996. - No. 131, pp. 133-142.

34. Cline J.A., Isaacson M. Probe-sample interactions in near-field reflection microscopy. // Appl. Opt. 1995,- Vol. 34., No. 22, pp. 4869-4876.

35. Bozhevolnyi S.I., Smolyaninov I.I., Keller O. Correlation Between Optical and Topographical Images from an External Reflection Near-Field Microscope with Shear Force Feedback. //Appl. Opt. 1995. - Vol. 34, Iss. 19, pp. 3793-3799.

36. O.Marti, private communication

37. Ссылка на описание головки с лазерным датчиком смещения при сканировании

38. Martin Y., Wickramasinghe Н. К. Toward accurate metrology with scanning force microscopes. //J. of Vac. Sei. & Technology. B, mic. 1995. - Vol. 13, No. 6, pp. 2335.

39. Gregor M.J., Grosse S., Blome P.G., Ulbrich R.G. Photons and Local probes, под ред. O.Marti and R.Muller (Kluwer, Dordrecht, 1995) стр. 133-138.

40. Grober R.D., Harris T.D., J.K. Trautman, Betzig E. Design and implementation of a low temperature near-field scanning optical microscope.// Rev. Sei. Instrum. 1994. - Vol. 65, No. 3. pp. 626-631.

41. W. Gohde, J. Tittel, Th. Basche, C. Brauchle, U.C. Fischer, and H. Fuchs. A low-temperature scanning confocal and near-field optical microscope. //Rev. Sei. Instr. 1997. - Vol. 68, No. 6, pp.2466-2474.

42. Moerner W.E., Plakhotnik Т., Irngartinger Т., Wild U.P., Pohl D.W., Hecht В. Near-Field Optical Spectroscopy of Individual Molecules in Solids. // Phys. Rev. Lett. 1994. - Vol. 73, Iss. 20, pp. 2764-2767.

43. Flack F., Samarth N., Nikitin V., Crowell P.A., Shi J., Levy J., Awschalom D.D., Near-Field Optical Spectroscopy of Localized Excitons in Strained CdSe Quantum Dots. //Phys.Rev.B -1996. Vol. 54, Iss. 24, pp. 17312-17315.

44. G.Guttroff, M.Bayer, A.Forchel, D.Kazantsev, M.Zundel, K.Eberl. Scanning Near Field Optical Microscopy and Spectrscopy of InP Single Quantum Dots. // JETP Lett., Vol. 66, Iss. 7, pp. 497501.

45. Weeber J.C., Bourillot E., Dereux A., Goudonnet J.P., Chen Y., Girard C., Observation of Light Confinement Effects with a Near-Field Optical Microscope. //Phys. Rev. Lett. 1996. - Vol. 77, Iss. 27, pp. 5332-5335.

46. Davis R.C., Williams C.C. Nanometer-scale absorbtion spectroscopy by near-field photodetection optical microscopy. // Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 69, No. 9, pp. 1179-1180.

47. Muramatsu H., Chiba N., Homma K., Nakajima K., Ataka T., Ohta S., Kusumi A., Fujihira M., Near-field optical microscopy in liquid. // Appl. Phys. Lett. 1995. - Vol. 12, pp. 3245-3247.

48. Moyer P.J., Kammer S.B. High-Resolution Imaging Using Near-Field Scanning Optical Microscopy and Shear Force Feedback in Water. //Appl.Phys.Lett. -1996. Vol. 68, Iss. 24, pp. 3380-3382.

49. Martin Y., Zenhausern F., Wickramasinghe H.K. Scattering spectroscopy of molecules at nanometer resolution. // Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 68, No. 18, pp: 2475-2477.

50. Naya M., Micheletto R., R. Uma Maheswari, Ohtsu M. Near-field imaging of flagellar filaments of salmonella in water with optical feedback control. // Appl. Opt. 1997. -Vol. 36, No. 7, pp. 1681-1683.

51. Talley Ch.E., Gooksey G.A., Dunn C. High resolution fluorescence imaging with cantilevered near-field optic probes. // Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 69, Iss. 25, pp. 3809-3810.

52. Vitukhnovsky A.G. Optical near-field microscopy methods in biology and medicine.// Proc.

53. SPIE Vol. 4069, p. 168-172, Raman Scattering, Vladimir S. Gorelik; Anna D. Kudryavtseva; Eds.

54. Lewis M.K., Wolanin P., Gafiii A., Steel D.G. Protein Structural-Changes Studied by Near-Field Spectroscopy. // Biophys. Journal. 1997. - Vol. 72, Iss. 2, pp. TU415-TU415.

55. Marcheseragona S.P., Haydon P.G. Near-Field Scanning Optical Microscopy (NSOM) A New Tool for Biological Imaging. // Molecular Biology of the Cell. 1996, Vol. 7, Iss. S, pp. 916-916.

56. Moyer P., Marcheseragona S.P., Christie B. Biological Applications of Near-Field Scanning Optical Microscopy. //American Laboratory 1994. - Vol. 26, Iss. 6, pp. 30+.

57. Meixner A.J., Bopp. M.A., Tarrach G., Direct Measurement of Standing Evanescent Waves with a Photon Scanning Tunneling Microscope. // Appl. Optics. 1994. - Vol. 33, No. 34, pp. 79958000.

58. Bopp. M.A., Tarrach G., Meixner A.J., Zschokkegranacher I. Mapping of a Standing Evanescent-Wave Using Near-Field Optical Microscopy. // Helvetica Physica Acta 1994, Vol. 67, Iss. 2, pp. 223-224.

59. Fillard J.P., Castagne M., Prioleau C. Atomic Force Microscopy Silicon Tips as Photon Tunneling Sensors: a Resonant Evanescent Coupling Experiment. // Appl. Opt. 1995. - Vol. 34, No. 19, pp. 3742.

60. Choo A.G., Jackson H.E., Thiel U., Debrabander G.N., Boyd J.T. Near-Field Measurements of Optical Channel Wave-Guides and Directional-Couplers. //Appl. Phys. Lett. -1994. Vol. 65, Iss. 8, pp. 947-949.

61. Higgins D.A.,Vanden Bout D.A., Kerimo J., Barbara P.F.Polarisation-modulation near-field scanning optical microscopy of mesostructured materials. // J. Phys. Chem. 1996. - No. 100, pp. 13794-13803.

62. Betzig E., Chichester R.J. Single Molecules Observed by Near-Field Scanning Optical Microscopy// Science. 1993. - Vol. 262, Iss. 5138, pp. 1422-1425.

63. Kopelman R., Tan W.H. Near-Field Optics Imaging Single Molecules. //Science. - 1993. - Vol. 262, Iss. 5138, pp. 1382-1384.

64. Borman S., Near-Field Spectroscopy Technique Images Single Molecules. // Chemical & Engeneering News - 1993. - Vol. 71, Iss. 48, pp. 6-7.

65. Trautman J.K., Maklin J.J., Bras L.E., Betzig E. Near-field spectroscopy of single molecules at room temperature.// Nature, -1994- No. 369, pp. 40-42.

66. Saiki T., Ohtsu M. Jang K., Jhe W. Direct Observation of Size-Dependent Features of the Optical Near-Field on a Subwavelength Spherical Surface. // Opt. Lett. 1996, -Vol. 21, Iss. 9, pp. 674-676.

67. E. Rousseau, M. Van der Auweraer and F. C. De Schryver, in Proceedings of the XVIIIIUPAC Symposium on Photochemistry, Dresden, 2000, p. 521.

68. E. Rousseau, I. Scheblykin, M. Van der Auweraer and F. C. De Schryver, in Proceedings of the Symposium on Fast Reactions in Solution, Versailles, 2001, p. PL 10.

69. S. De Feyter, J. Hofkens, M. Van der Auweraer, R. J. M. Nolte, K. Mullen and F. C. De Schryver, Nanometer space resolved photochemistry.// Chem. Commun., 2001,7, 585-592.

70. Tsai D.P., Othonos A., Moskovits M., Uttamchandani D. Raman spectroscopy using a fiber optic probe with subwavelength aperture. //Appl. Phys. Lett., -1994. Vol. 64, No. 14, pp. 1768-1770

71. Zeisel D., Nettesheim S., Zenobi R. Pulsed laser-induced desorption and optical imaging on nanometer scale with scanning near-field microscopy using chemically etched fiber tips. //Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 68, Iss. 18, pp. 2491-2492.

72. Duncan W.M. Near-Field Scanning Optical Microscope for Microelectronic Materials and Devices. //J. of Vac. Sci. & Tech. A-Vac. Surf and films. 1996. - Vol. 14, Iss. 3, pp. 1914-1918.

73. Kneipp, K. et al. Single molecule detection using surface-enhanced Raman scattering (SERS).

74. Phys. Rev. Lett. 78, 1667-1670 (1997).

75. Jahncke C.L., Hallen H.D., Paesler M.A., Nano-Raman Spectroscopy and Imaging with Near-Field Scanning Optical Microscope. // Journal of Raman Spectroscopy 1996. - Vol. 27, Iss. 8, pp. 579-586.

76. Smith D.A., Webster S., Ayad M., Evans S.D., Fogherty D., Batchelder D. Development of a Scanning Near-Field Optical Probe for Localized Raman-Spectroscopy. // Ultramicroscopy -1995,- Vol. 61, Iss. 1-4, pp. 247-252.

77. Betzig R.E., Trautman J.K.,Wolfe R., Gyorgy E.M., Finn P.L., Kryder M.H., Chang C.H., High-Density Near-Field Optical-Recording. // Journal of Appl. Phys. 1993. -Vol. 73, Iss. 10, pp. 5791-5791.

78. Betzig R.E., Trautman J.K., Wolfe R., Gyorgy E.M., Finn P.L. Near-field magneto-optics and high density data storage. //Appl. Phys. Lett. 1992. - Vol.61, pp. 142-145.

79. Durkan C., Shvets I.V., Lodder J.C. Observation of Magnetic Domains Using a Reflection-Mode Scanning Near-Field Optical Microscope. // Appl. Phys. Lett., -1997. Vol. 70, Iss. 10, pp. 13231325.

80. Hosaka S., Shintani T., Miyamoto M., Kikukawa A., Hirotsune A., Terao M., Yoshida M., Fujita K., Kammer S. Phase-Change Recording Using a Scanning Near-Field Optical Microscope. // Journ of Appl. Phys. 1996. - Vol. 79, Iss. 10, pp. 8082-8086.

81. Jersch J., Dickmann K. Nanostructure Fabrication Using Laser Field Enhancement in the Near-Field of a Scanning Tunneling Microscope Tip. //Appl.Phys.Lett. 1996. - Vol. 68, Iss. 6, pp. 868-870.

82. Martin Y., Rishton S., Wickramasinghe H.K. Optical data storage read out at 256 Gbits/in.2. // Appl. Phys. Lett. 1997. - Vol. 71, No. 1, pp. 1-3.

83. G.Tarrach. Private communication

84. Lieberman K., Ben-Ami N., Lewis-A. Fully Integrated Near-Field Optical, Far-Field Optical, and Normal-Force Scanned Probe Microscope. //Rev. of Sci. Instr. 1996. - Vol. 67, Iss. 10, pp. 3567-3572.

85. Valascovic G.A., Holton M., Morrison G.H. Parameter control, characterisation and optimisation in the fabrication of optical fiber near-field probes. //Appl. Opt. 1995, -Vol. 34, No. 7, pp. 1215-1228.

86. Pangaribuan T., Yamada K., Jiang Sh. Reproducible Fabrication Technique of Nanometric Tip Diameter Fiber Probe for Photon Scanning Tunneling Microscope. // Jpn.J.Appl.Phys., 1992, Vol. 31, No.9A, pp.L1302 L1304.

87. Mononobe S., Naya M., Saiki T., Ohtsu M. Reproducible Fabrication of a Fiber Probe with a Nanometric Protrusion for Near-Field Optics. // Appl. Opt. 1997. - Vol. 36, Iss. 7, pp. 14961500.

88. Saiki T., Mononobe S., Kusano J. Tailoring a high-transmission fiber probe for photon scanning tunneling microscope. // Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 68, No. 19, pp. 2612-2614.

89. Pagnot T., Pierali C. Fabrication of Multimode Fiber Tapers with a High Reproducibility of the Subwavelength Extremity Size Application to Scanning Near-Field Optical Microscope Probes. // Optics Communiications 1996, Vol. 132, Iss. 1-2, pp. 161-169.

90. Butler D.J., Nugent K.A., Roberts A. Characterization of Optical Fibers Using Near-Field Scanning Optical Microscopy. IIJourn. of Appl. Phys. 1994. - Vol. 75, Iss. 6, pp. 2753-2756.

91. Betzig E., Trautman J.K. Near-field optics: microscopy, spectroscopy, and surface modification beyond the diffraction limit. //Science. 1992. - No. 257, pp. 189-195.

92. Obermueller Ch., Karrai K. Far field characterization of diffracting circular apertures. //Appl. Phys. Lett. 1995. - Vol. 67, Iss. 23, pp. 3408-3410.

93. Grober R.D., Schoelkopf R.J., Prober D.E. Optical Antenna Towards a Unity Efficiency Near-Field Optical Probe. //Appl. Phys.Lett. -1997. - Vol. 70, Iss. 11, pp. 1354-1356.

94. M.Fee, S. Chu, T.W.Hansch Scanning electromagnetic transmission line microscope with sub-wavelength resolution. // Optics comm. 1989. - Vol. 69, No. 3,4, pp. 219-224.

95. Mihalcea C., Scholz W., Werner S., Munster S., Oesterschulze E., Kassing R. Multipurpose Sensor Tips for Scanning Near-Field Microscopy. //Appl.Phys.Lett. 1996. - Vol. 68, Iss. 25, pp. 3531-3533.

96. Ruiter A.G.T., Moers M.H.P., van Hulst N.F., De Boer M. Microfabrication of Near-Field Optical Probes. //J. of Vac. Sci. & Technol. -1996. Vol. 14, Iss. 2, pp. 597-601.

97. J. Koglin, U. C. Fischer, H. Fuchs. Scanning near field optical microscopy with the tetrahedral tip at a resolution of 6 nm. // J. of Biomed. Opt. 1996. - Vol. 1, No. 1, pp. 75-78.

98. Noell W., Abraham M., Mayr K., Ruf A., Barenz J., Hollricher O., Marti O., Guthner P. Micromachined aperture probe tip for multifunctional scanning probe microscopy. //Appl. Phys. Lett. 1997. - Vol. 70, Iss.10, pp.1236-1238.

99. Schwarz U., Berthie M.L., Couijon D., Bielefeldt H. Simple reflection scanning near field microscope using the back reflected light inside the laser cavity as detection mode. // Opt. Comm. 1997. - No. 134, pp.301-309.

100. Fukuzawa K., Kuwano H., Conversion of Evanescent into Propagating Light in Near-Field Scanning Optical Microscopy. //Journ. of Appl. Phys. 1996. - Vol. 79, Iss. 11, pp. 8174-8178.

101. Akamine S., Kuwano H., Yamada H. Scanning Near-Field Optical Microscope Using an Atomic-Force Microscope Cantilever with Integrated Photodiode. //Appl.Phys.Lett. 1996. -Vol. 68, Iss. 5, pp. 579-581.

102. Davis R.C., Williams C.C., Neuzil P. Optical-Intensity Mapping on the Nanometer-Scale by Near-Field Photodetection Optical Microscopy. //Opt. Lett. 1996. - Vol. 21, Iss. 7, pp. 447-449.

103. Васильев С.И., Казанцев Д.В., Моисеев Ю.Н., Панов В.И., Савинов С.В., Яминский И.В. Приборы локального зондирования поверхности. // Электронная промышленность, 1993, №10, с. 29-33.

104. Tarrach G., Ворр М.А., Zeisel D., Meixner A.J. Design and Construction of a Versatile Scanning Near-Field Optical Microscope for Fluorescence Imaging of Single Molecules. //Review of Scientific Instruments 1995, Vol. 66, Iss. 6, pp. 3569-3575

105. Meixner A.J., Zeisel D. Ворр M.A., Tarrach G. Superresolution Imaging and Detection of Fluorescence from Single Molecules by Scanning Near-Field Optical Microscopy. //OPTICAL ENGINEERING 1995, Vo.l 34, Iss. 8, pp. 2324-2332

106. G.Behme, A.Richter, M.Suptitz, Ch.Lienau. Vacuum near-field scanning optical microscope for variable cryogenic temperatures. //Rev.Sci.Instrum. 1997. - Vol. 68(9) pp. 3458-3462.

107. L.M. Roylance, J.B.Angell, IEEE Trans. Electron Dev. ED-26, p. 1911 (1979).

108. M.Tortonese, H.Yamada, R.C.Barrett, C.F.Quate. Atomic force miscroscope using a piezoresistive cantilever, in Transducers'91: 1991 Int. Conf. on Solid State Sensors and Actuators, 1991, Piscatway, NJ, IEEE catalog: 91CH2817-5.

109. C. W. Yuan, E. Batalla, M. Zacher, A. L. de Lozanne, M. D. Kirk, and M. Tortonese. Low temperature magnetic force microscope utilizing a piezoresistive cantilever. // Appl. Phys. Lett. -1994.-Vol. 65, pp. 1308-1310.

110. A. Volodin, K. Temst, C. Van Haesendonck, and Y. Bruynseraede. Low temperature magnetic force microscopy with enhanced sensitivity based on piezoresistive detection //Rev. Sci. Instrum. -2000.-Vol. 71, pp. 4468.

111. R. E. Thomson. Low-temperature atomic force microscope using piezoresistive cantilevers.

112. Rev.Sci. Instr. -1999. Vol. 70, Iss. 8, pp. 3369-3372.

113. J.E. Sader, I. Larson, P. Mulvaney, L. R. White, Method for the calibration of atomic force microscope cantilevers// Rev. Sci. Instrum. 66, Iss. 7, pp. 3789-3798 (1995).

114. J.W. Yi, W.Y.Shih, W.-H.Shih. Effect of length, width, and mode on the mass detection sensitivity of piezoelectric unimorph cantilevers. // J.Appl.Phys. 2002. - Vol. 91, Nr.3, pp. 16801686.

115. Landolt-Bornstein New Series III/22a, ed.in chief O.Madelung, Springer-Verlag

116. K.G. Lyon, G.L.Salinger, C.A.Swenson, G.K.White. Linear thermal expansion measurements on silicon from 6 to 340K. //J.Appl.Phys. 1977, -Vol. 48, pp.865-868.

117. Y.Okada, Y.Tokumaru, Precise determination of lattice parameter and thermal expansion coefficient of silicon between 300 and 1500K.//J.Appl.Phys. 1984. - Vol. 56, pp.314-320.

118. H.J. McSkimin, Measurement of Elastic Constants at Low Temperatures by Means of Ultrasonic Waves Data for Silicon and Germanium Single Crystals, and for Fused Silica. //J.Appl.Phys. - 1953. - 24, pp. 988-997.

119. W.Fulkerson, J.P.Moore, R.K.Williams, R.S.Graves, D.L.McElroy, Thermal conductivity, electrical resistivity and Seebeck coefficient of silicon from 100 to 1300K. //Phys.Rev., 167, pp.765-782 (1968).

120. Stahelin M., Bopp M.A., Tarrach G., Meixner A.J., Zschokkegranacher I. Temperature Profile of Fiber Tips Used in Scanning Near-Field Optical Microscopy.//Appl.Phys.Lett. 1996. - Vol. 68, Iss. 19, pp. 2603-2605.

121. Kavaldjiev D.I., Toledo-Crow R., Vaez-Iravani M. On the Heating of the Fiber Tip in a Near-Field Scanning Optical Microscope. // Appl. Phys. Lett. 1995. - Vol. 67, Iss. 19, pp. 2771-2773.

122. M. Miyamoto, T. Shintani, S. Hosaka, R. Imura. Thermal Simulation Analysis of Scanning Near-Field Optical Microscope Point Heating Mechanisms. //Jap. J. of Appl. Phys., Part 2-Letters. 1996. - Vol. 35, Iss. 5A, pp. L584-L586.

123. D.Kazantsev, G.Guttroff, M.Bayer, A.Forchel. Sample temperature measurement in a scanning near field microscope. //Appl. Phys. Lett 1998. - Vol. 72, No.6, pp. 689-691.

124. Hsu J.W.P., Fitzgerald E.A., Xie Y.H., Silverman P.J. Studies of Electrically Active Defects in Relaxed GeSi Films Using a Near-Field Scanning Optical Microscope. //Journ. of Appl. Phys.-1996. Vol. 79, Iss. 10, pp. 7743-7750.

125. T.Saiki, N.Saito, J.Kusano. Determination of slant angle of p-n interface by multiwavelength near-field photocurrent measurement.// Appl. Phys. Lett. 1996. - 69(5), pp. 644-646.

126. Saiki T., Mononobe S., Kusano, J. Spatially resolved photoluminescence spectroscopy of lateral p-n junctions prepared by Si-doped GaAs using a photon scanning tunneling microscope. // Appl. Phys. Lett. 1995. - Vol. 67, No. 15, pp. 2191-2193.

127. Richter A., Tomm J.W., Lienau Ch., Luft J. Optical Near Field photocurrent spectroscopy: A new technique for analyzing microscopic aging processes in optoelectronic devices. // Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 69, No. 26, pp. 3981-3983.

128. Liu J., Kuech T.F. A near-field scanning optical microscopy study of the uniformity of GaAs surface passivation. //Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 69, No. 5, pp. 662-664.

129. Liu J., Zhi D., Kuech T. F. GaN films studied by near-field scanning optical microscopy, atomic force microscopy and high resolution X-ray diffraction. // Journal of crystal growth. -1997. Vol. 170, No. 1/4, pp. 357-361.

130. Liu J., Perkins N.R., Kuech T.F. A near-field scanning optical microscopy study of the photoluminescence from GaN films. II Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 69, No. 23, pp. 35193521.

131. Horsch I., Kusche R., Marti 0., Weigl B., Ebeling K.J. Spectrally Resolved Near-Field Mode Imaging of Vertical-Cavity Semiconductor-Lasers. // J. of Appl. Phys. 1996. - Vol. 79, Iss. 8, pp.3831-3834.

132. Herzog W.D., Unlu M.S., Goldberg B.B., Rhodes G.H., Harder C. Beam Divergence and Waist Measurements of Laser-Diodes by Near-Field Scanning Optical Microscopy. //Appl. Phys. Lett.- 1997. Vol. 70, Iss. 6, pp. 688-690.

133. Li H., Wang X.Q., Hersee S.D. The Measurement of Lateral Index Variations in Unstable Resonator Semiconductor-Lasers from Spectrally Resolved Near-Field Images. // IEEE photonics Technology Lett. 1997. - Vol. 9, Iss. 1, pp. 31-33.

134. Grober R.D., Harris T.D., J.K. Trautman, Betzig E. Wegscheider W., Pfeiffer L., West K. Optical spectroscopy of GaAs/AlGaAs quantum wire structure using near-field scanning optical microscopy. // Appl. Phys. Lett. 1994, Vol. 64, No. 11, pp. 1421-1423.

135. Harris T.D., Gershoni D., Grober R.D., Pfeiffer L., West K., Chand N. Near-Field Optical Spectroscopy of Single Quantum Wires. //Appl. Phys. Lett. 1996. - Vol. 68, Iss. 7, pp. 988-990.

136. Kazantsev D.V., Gippius N.A., Oshinovo J., Forchel A., Spectroscopy of GaAs/AlGaAs Microstructures with Submicron Spatial-Resolution Using a Near-Field Scanning Optical Microscope. // JETP Lett. -1996. Vol. 63, Iss. 7, pp. 550-554.

137. Hallen H.D., La Rosa A.H., Jahncke C.L. Near-Field Scanning Optical Microscopy and Spectroscopy for Semiconductor Characterization. //Phys.Stat.Sol. A-Appl.Recearch. 1995. -Vol. 152, Iss. l,pp. 257-268.

138. Rogers J.K., Seiferth F., Vaez-Iravani M. Near-Field Probe Microscopy of Porous Silicon -Observation of Spectral Shifts in Photoluminescence of Small Particles. //Appl. Phys. Lett. 1995, Vol. 66, Iss. 24, pp. 3260-3262.

139. Mertz J., Hipp M., Mlynek J., Marti O. Optical Near-Field Imaging with a Semiconductor Probe Tip. //Appl. Phys. Lett. 1994. - Vol. 64, Iss. 18, pp. 2338-2340.

140. K.Brunner, U.Bockelmann, G.Abstreiter, M.Walther, G.Bohm, G.Traenkle, G.Weimann. Photoluminescence from a single GaAs/AlGaAs quantum dot. Phys.Rev.Lett., 69, p.3216, (1992).

141. S.Fafard, R.Leon, D.Leonard, J.L.Merz, P.M.Petroff. Visible photoluminescence from N-dot ensembles and the linewidth of ultrasmall AlxIni.xAs/AlyGai.yAs quantum dots. Phys.Rev.B, 50, p. 8086, (1994).

142. First observation of narrow line from SA QD

143. Guttroff G., Bayer M., Forchel A., Kazantsev D.V., Zundel M.K., Eberl K: Investigation of Electronic Structure of InP Single Quantum Dots Using Near Field Scanning Optical Spectroscopy. // Phys.Stat.Sol. A. 1997. - No. 164, pp. 291-296.

144. D. Leonard, M. Krishnamurthy, C. M. Reaves, S. P. Denbaars, and P. M. Petroff. Direct formation of quantum-sized dots from uniform coherent islands of InGaAs on GaAs surfaces. Appl. Phys. Lett. 63, pp. 3203-3205 (1993).

145. D. Leonard, M. Krishnamurthy, S. Fafard, J. L. Merz, and P. M. Petroff. Molecular-beam epitaxy growth of quantum dots from strained coherent uniform islands of InGaAs on GaAs. // J. of Vac. Sci. & Tech. B 12, Iss. 2, pp. 1063-1066 (1994)

146. M.J.Steer, D.J.Mowbray, W.R.Tribe, M.S.Skolnick, M.D.Sturge, M.Hopkinson, A.G.Cullis, C.R.Whitehouse. Electronic energy levels and energy relaxation mechanisms in self-organized InAs/GaAs quantum dots.//Phys. Rev. B, Vol. 54, Iss. 24, pp. 17738-17744.

147. P.A.Claxton, J.S.Roberts, J.P.R.David, C.M. Sotomayor-Torres, M.S.Skolnick, P.R.Tapster, K.J.Nash. J.Cryst.Growth, 81, p.288 (1987).158 Homogenity of SA Qds

148. Y.Toda, S.Shinomori, K.Suzuki, Y.Arakawa. Polarized photoluminescence spectroscopy of single self-assembled InAs quantum dots. // Phys.Rev.B, 58, p. R10147 (1998).

149. E. Dekel, D. Gershoni, E. Ehrenfreund, D. Spektor, J. M. Garcia, and P. M. Petroff Multiexciton Spectroscopy of a Single Self-Assembled Quantum Dot. // Phys.Rev.Lett., 80 p.4991, (1998).

150. D. Gammon, E. S. Snow, B. V. Shanabrook, D. S. Katzer, and D. Park. Fine structure splitting in the optical spectra of single GaAs quantum dots. // Phys. Rev. Lett. 76, p. 3005-3008 (1996).

151. M. Grundmann, O. Stier, D. Bimberg. InAs/GaAs pyramidal quantum dots: Strain distribution, optical phonons, and electronic structure // Phys. Rev. B 52, p.l 1969-11981 (1995)

152. J.-Y. Marzin, G.Bastard. // Solid State Comm., 92,437 (1994).

153. E. Dekel, D. Gershoni, E. Ehrenfreund, D. Spektor, J. M. Garcia, and P. M. Petroff. Multiexciton Spectroscopy of a Single Self-Assembled Quantum Dot. Phys. Rev.Lett. 80, (1998).

154. R. J. Warburton, C. S. Duerr, K. Karrai, J. P. Kotthaus, G. Medeiros-Ribeiro, and P. M. Petroff. Charged Excitons in Self-Assembled Semiconductor Quantum Dots. // Phys. Rev. Lett. 79, pp. 5282-5285(1997).

155. M.Bayer, A.Schmidt, A.Forchel, F.Faller, T.L.Reinecke, P.L.Knipp, A.A.Dremin, V.D.Kulakovskii. Electron-hole transitions between states with nonzero angular momenta in the megnetoluminescence of quantum dots. // Phys.Rev. Lett. 74 p.3439 (1995).

156. R. Rinaldi, P. V. Giugno, R. Cingolani H. Lipsanen, M. Sopanen, J. Tulkki. Zeeman Effect in Parabolic Quantum Dots. // Phys. Rev. Lett. 77, p. 342 (1996).

157. A. Kuther, M. Bayer, A. Forchel, A. Gorbunov V. B. Timofeev, F. Schaefer and J. P. Reithmaier. Zeeman splitting of excitons and biexcitons in single Ino.60Gao.40As/GaAs self-assembled quantum dots. // Phys.Rev.B 58, p.R7508, (1998).

158. F. Zehnhausern, Y.Martin, K.Wickramasinghe. Scanning interferometric apertureless microscopy optical imaging with 10 Angstrom resolution. // Science 269, pp.1083-1085, (1995).

159. B.Knoll, F.Keilmann, A.Kramer, R.Guckenberger. Contrast of microwave near field microscopy. // Appl. Phys. Lett, 70, pp. 2667-269 (1997).

160. J.Renger, S.Grafstrom, L.M. Eng, R. Hillenbrand. Resonant light scattering by near-field-induced phonon polaritons.//Phys.Rev.B, Vol. 71 (2005), pp. 075410.

161. R.Hillenbrand, F. Keilmann. Complex Optical constants on a subwavelength scale.//Phys.Rev.Lett. 85, pp. 3029-3032 (2000).

162. P.Nordlander, C.Oubre, E.Prodan, K.Li, M.I.Stockman. Plasmon hybridization in nanoparticle dimmers. // Nanoletters (2004), Vol. 4, No. 5, pp. 899-903.

163. W.Rechberger, A.Hohenau, A.Leitner, J.R.Krenn, B.Lamprecht, F.R.Aussenegg. Optical properties of two interacting gold nanoparticles.//Opt. Comm., 220 (2003), pp.137-141.

164. T. Atay. J.H.Song, A.V.Nurmikko. Strongly interacting plasmon nanoparticle pairs: from dipole-dipole to conductively coupled regime.// Nanoletters, Vol.4, No.9, pp. 1627-1631 (2004)

165. R.H.Lyddane, R.G.Sachs, E.Teller. On the polar vibrations of Alcali Chalides. //Phys. Rev., 59, pp.673-674 (1941).

166. T.H.K.Barron. Long-wave optical vibrations. // Phys.Rev. 123, pp.1995-1998 (1961).

167. R.Ruppin, R.Engman. Optical phonons of small crystals. // Rep. Prog. Phys. 33, pp.149-196 (1970).

168. D.L.Mills, E.Burstein. Polaritons: the electromagnetic modes of media. // Rep. Prog. Phys. 37, pp. 817-926 (1974).

169. R Ruppin, Polariton modes of spheroidal microcrystals.// J. Phys.: Condens. Matter 10 (1998) pp. 7869-7878.

170. A. Huber, N. Ocelic, D. Kazantsev, R. Hillenbrand. Near-field imaging of mid-infrared surface phonon polariton propagation.// Appl. Phys. Lett. 87 (2005) pp.081103-081106.

171. N. Ocelic and R. Hillenbrand. Subwavelength-scale tailoring of surface phonon polaritons by focused ion-beam implantation.// Nature Materials, 1. September 2004; published online 1 August 2004, http://dx.doi.org/10.1038/nmatl 194.

172. Lieberman K., Lewis A., Simultaneous Scanning Tunneling and Optical Near-Field Imaging with a Micropipette. // Appl. Phys. Lett. 1993. - Vol. 62, Iss. 12, pp. 1335-1357.

173. Toledo-Crow R., Yang P.C., Chen Y. Near-field differential scanning optical microscope with atomic force regulation. //Appl. Phys. Lett.- 1992.- Vol. 60, Iss. 24, pp. 2957-2960.

174. Shchemelinin A., Rudman M., Lieberman K., Lewis A., A Simple Lateral Force Sensing Technique for Near-Field Micropattern Generation. //Rev. of Sci. Instrum. 1993, Vol. 64, Iss. 12, pp. 3538-3541.

175. Hsu J.W.P., Fitzgerald E.A., Xie Y.H., Silverman P.J. Near-field scanning optical microscopy imaging of individual threading dislocations on relaxed GexSij.x films. //Appl. Phys. Lett. 1994. - Vol. 65, No. 3 pp. 344-346.

176. Gregor M.J., Blome P.G., Schofer J., Ulbrich R.G. Probe Surface Interaction in Near-Field Optical Microscopy The Nonlinear Bending Force Mechanism. //Appl. Phys. Lett. - 1996. -Vol. 68, Iss. 3, pp. 307-309.

177. Durkan C., Shvets I.V. Study of Shear Force as a Distance Regulation Mechanism for Scanning Near-Field Optical Microscopy. //J. of Appl. Phys. 1996. - Vol. 79, Iss. 3, pp. 1219-1223.

178. Atia W.A., Davis Ch.C. A phase-locked shear-force microscope for distance regulation in near-field microscopy. //Appl. Phys. Lett. 1997. - Vol. 70, No. 4, pp.405-407.

179. Bielefeldt H., Horsch I., Krausch G., Lux-Steiner M., Mlynek J., Marti O. Reflection-scanning near-field microscopy and spectroscopy of opaque samples. Appl. Phys. A, 1994, Vol. 59, pp. 103-108.

180. Pylkki R.J., Moyer P.J., West P.E., Scanning Near-Field Optical Microscopy and Scanning Thermal Microscopy. //Japan. J. of Appl. Phys. Part 1-Regular papers Short Notes & Review Papers. 1994. - Vol. 33, Iss. 6B, pp. 3785-3790.

181. Tarrach G., Bopp M.A., Zeisel D., Meixner A.J. Design and Construction of a Versatile Scanning Near-Field Optical Microscope for Fluorescence Imaging of Single Molecules. //Rev. Sci. Instr. 1995. - Vol. 66, Iss. 6, pp. 3569-3575.

182. Karrai K., Grober R.D. Piezoelectric Tuning Fork Tip-Sample Distance Control for Near-Field Optical Microscopes. //Ultramicroscopy 1995. - Vol. 61, Iss. 1-4, pp. 197-205.

183. D. V. Serebryakov, A. P. Cherkun, B. A. Loginov, V. S. Letokhov. Tuning-fork-based fasthighly sensitive surface-contact sensor for atomic force microscopy/near-field scanning opticalmicroscopy//Rev. Sci .Instr. -2002 Vol.73, Nr.4, pp. 1795-1802.

184. Barenz J., Hollricher O., Marti O. An Easy-to-Use Non-Optical Shear-Force Distance Control for Near-Field Optical Microscopes. // Rev. Sci. Instr.- 1996.- Vol. 67, Iss. 5, pp. 1912-1916.

185. Ссылка на Марты, где у них датчик с пъезопластинкой

186. Decca R.S., Drew H.D., Empson K.L. Mechanical tip-to-sample separation control for near-field optical microscopy. //Rev. Sci. Instr. 1997. - Vol. 62, No.2, pp. 1291-1295.

187. Guttroff G., Keto J.M., Shih C.K., Anselm A., Streetman B.G. A Design of Reflection Scanning Near-Field Optical Microscope and Its Application to AlGaAs/GaAs Heterostructures. //Appl.Phys.Lett 1996. - Vol. 68, Iss. 25, pp. 3620-3622.

188. Bozhevolnyi S.I., Keller 0., Xiao M. Control of the tip-surface distance in near-field microscopy. // Appl. Opt. 1993. - Vol. 32, No. 25, pp. 4864-4868.

189. Chiba N., Muramatsu H., Ataka Т., Fujihira M., Observation of Topography and Optical-Image of Optical-Fiber End by Atomic-Force Mode Scanning Near-Field Optical Microscope. //Jap. J. of Appl. Phys. Part 1. 1995. - Vol. 34, Iss. 1, pp. 321-324.

190. J. W. P. Hsu, Mark Lee, and B. S. Deaver , A nonoptical tip-sample distance control method for near-field scanning optical microscopy using impedance changes in an electromechanical system. //Rev .Sci. Instr., 1995, Vol. 66, Issue 5, pp. 3177-3181.

191. K.Karrai, R.D. Grober, Piezoelectric tip-sample distance control for near field optical microscopes. //Appl.Phys.Lett. (1995), Vol. 66, Nr. 14, pp. 1842-1844.

192. R.D. Grober, J.Acimovic, J.Schuck, D.Hessman, P.J.Kindleman, J.Hespanha, A.S.Morse, K.Karrai, I.Tiemann, S.Manus. Fundamental limits to force detection using quartz tuning forks. // Rev.Sci.Instr., 2000, Vol. 71, Nr. 7, pp. 2776-2780.

193. M. Antognozzi, М. D. Szczelkun, A. D. L. Humphris, and M. J. Miles, Increasing shear force microscopy scanning rate using active quality-factor control. // Appl.Phys.Lett. 2003, Vol. 82 (17), pp. 2761-2763.

194. По нашим наблюдениям, импеданс камертона минимален на частоте резонанса, где он составляет несколько МОм.

195. Хоровиц П., Хилл У. Искусство схемотехники (пер. с англ. Бронина Б.Н., Коротова А.И., Микшиса М.Н. и др.) //№: Мир, Изд. 5-е, перераб. 6-е, ISBN: 5-03-003315-7/5-03003395-5/0-521-37095-7

196. J.W.G.Tyrrell, D.V.Sokolov, H.U. Danzebrink. Development of a scanning probe microscope compact sensor head featuring a diamond probe mounted on a quartz tuning fork. //Meas. Sci. Technol., 2003, Vol. 14, pp.2139-2143.

197. T. R. Albrecht, P. Griitter, D. Home, and D. Rugar. Frequency modulation detection using high-Q cantilevers for enhanced force microscope sensitivity.//J. of Appl. Phys., 1991, Vol. 69, Iss. 2, pp. 668-673.

198. F.J.Giessibl, A direct method to calculate tip-sample forces from frequency shifts in frequency-modulation atomic force microscopy.//Appl. Phys. Lett. 78, pp. 123-125 (2001).

199. Справочные данные на микросхему AD829, производимую Analog Devices, доступны в Интернете по адресу:http://www.analog.com/UploadedFiles/DataSheets/110698496AD829g.pdf

200. H.-U. Danzebrink, D.V. Kazantsev, С. Dal Savio, К. Pierz, В. Guttler. Optical microscope with SNOM option for micro- and nanoanalytical investigations at low temperatures. //Appl. Phys. A, (2003), Vol. 76, Nr. 6, pp. 889-892.

201. Раденко М.Е., Сеньков В.К. Реализация волоконно-оптического интерфейса для микропроцессорных систем. // Микропроцессорные средства и системы. 1986.-№ 2, с. 126131.