Быстродействующий калориметрический метод контроля примеси в полупроводниковых материалах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.13, кандидат технических наук Шляхова, Альфия Ганиулловна

• Шляхова, Альфия Ганиулловна
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шляхова, Альфия Ганиулловна

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. Калориметрический метод измерений и контроля в применении к термическому анализу веществ.

1.1. Термометрия.

1.2. Калориметрия теплового потока.

1.3. Критерии оценки калориметров.

1.3.1. Метрологические характеристики калориметров.

1.3.2. Анализ задачи калориметрического исследования.

1.3.3. Требования к калориметру.

1.4. Промышленные калориметры теплового потока.

1.4.1. Промышленные дифференциальные мощностные калориметры.

1.5. Методы исследования распада твердых растворов.

1.6. Калориметрический метод измерения диэлектрических потерь.

1.7. Выводы к главе 1.

ГЛАВА 2. Быстродействующий микрокалориметр для контроля качества арсенида галлия.

2.1. Разработка и изготовление быстродействующего дифференциального микрокалориметра и дифференциального микроваттметра на анизотропных термоэлементах (АТЭ) из висмута.

2.2. Физические основы работы АТЭ на примере висмута и расчет оптимальных геометрических размеров АТЭ.

2.3. Изготовление одиночных сенсоров на основе АТЭ из висмута.

2.4. Изготовление теплового сенсора на основе АТЭ.

2.5. Конструкция дифференциального микрокалориметра.

2.6. Конструкция дифференциального микроваттметра с термоэлектрическим охлаждением.

2.7. Разработка лабораторного микрокалориметра.

2.8. Методика определения теплового потока на дифференциальном микрокалориметре (либо на дифференциальном микроваттметре с ТО).

2.9. Методика определения удельной теплоемкости на дифференциальном микрокалориметре.

2.10. Методика определения концентрации носителей заряда методом Холла.

2.11. Методика селективного травления Ga-GaAs: Те.

2.12. Объекты исследования для диэлектрических потерь.

2.13. Экспериментальная установка и методика измерений диэлектрических потерь.

2.14. Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3. Анализ калориметрических методик и результаты контроля качества и степени чистоты веществ.

3.1. Анализ авторских калориметрических методик.

3.2. Металлографические и калориметрические исследования микровключений галлия в легированном арсениде галлия.

3.3. Калориметрические исследования а и |3 - модификаций галлия.

3.4. Результаты измерения диэлектрических потерь.

3.5. Выводы к 3 главе.

ГЛАВА 4. Применение микрокалориметрии в учебном процессе.

4.1. Учебно-исследовательская работа студентов (УИРС).

4.2. Обоснование введения эффективного значения переменного напряжения.

4.3. Определение удельной теплоемкости твердых тел.

4.4. Определение удельной теплоты плавления (кристаллизации) веществ

4.5. Калориметрический способ определения энергии магнитного поля соленоида и электрического поля конденсатора.

4.6. Выводы к главе 4.

ВЫВОДЫ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Быстродействующий калориметрический метод контроля примеси в полупроводниковых материалах»

Актуальность. К контролю качества и степени чистоты веществ относится физико-химический, в частности, термический анализ (ТА) веществ. Во многих случаях ТА не применим, так как существенным недостатком метода является низкая относительная и абсолютная чувствительность на уровне 1 % и 10"3 г, соответственно. Поэтому обычно обнаружение примеси, с целью контроля качества материалов, на уровне микроконцентраций 10"5 % с использованием ТА не представляется возможным. Несмотря на большой объем информации по данной проблеме применение ТА для обнаружения и контроля примесей в полупроводниках в имеющихся публикациях даже не обсуждается из-за его низкой разрешающей способности. В то же время быстро развивающаяся полупроводниковая электроника предъявляет высокие и разнообразные требования к качеству полупроводниковых материалов, в частности, арсенида галлия, с использованием для контроля самых различных и взаимодополняемых методов. Для контроля степени чистоты веществ и обнаружения примеси требуются новые теплофизические приборы, сочетающие быстродействие и чувствительность. Поскольку промышленные калориметры с такими параметрами отсутствуют необходимо предпринять исследования по разработке и созданию быстродействующего высокочувствительного микрокалориметра. Предполагаемое решение этих проблем состоит в применении в калориметрии сенсоров на основе анизотропных кристаллов из висмута, а также в оптимизации ТА. Разработки в этом направлении являются актуальными и позволят занять ТА должное место в ряду аналитических методик.

Объектом исследования являются методы и приборы термического анализа веществ и материалов.

Предметом исследования является высокочувствительная и быстродействующая микрокалориметрия для контроля микровключений галлия в арсениде галлия.

Цель работы состоит в повышении чувствительности термического анализа и достигается в результате научного обоснования предлагаемых путей усовершенствований ТА веществ и их практической реализации.

Основная задача научных исследований - разработать быстродействующий дифференциально-сканирующий калориметр и методику его использования для контроля качества материалов. Поставленные частные задачи:

1. Провести анализ научно-технической литературы о существующем техническом уровне чувствительности и быстродействия калориметров для контроля качества веществ и материалов при ТА.

2. Разработать пути повышения чувствительности ТА веществ.

3. Оптимизировать параметры тепловых датчиков для ТА веществ.

4. Разработать методику проведения эксперимента с использованием микрокалориметра для оценки чистоты арсенида галлия при ТА.

5. Исследовать включения галлия в GaAs: Те методом ТА.

6. Исследовать а и (3 модификации галлия, а также области их температурной устойчивости.

7. Применить калориметрию для измерения диэлектрических потерь в изолирующих материалах.

Достоверность полученных результатов. Сформулированные в диссертационной работе научные положения и рекомендации обоснованы теоретическим анализом и экспериментальными данными и не противоречат известным положениям, полученными другими авторами; базируются на экспериментальных данных; обеспечиваются корректной постановкой экспериментов.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Предложен быстродействующий сенсор теплового потока на основе висмута. Проведена оптимизация его параметров, позволяющая улучшить быстродействие и чувствительность.

2. Разработан и изготовлен дифференциальный микрокалориметр с параметрами, сочетающими высокую чувствительность 10"7 Вт с уникальным быстродействием 10" с для контроля качества арсенида галлия.

3. Разработана методика проведения эксперимента с использованием микрокалориметра для оценки чистоты материалов и веществ.

Практическая ценность работы определяется тем, что 1. Разработанный прибор и методика его использования для ТА позволяют в лабораторных и промышленных условиях контролировать качество производства материалов для электроники.

2. Установлено, что ТА веществ, основанный на дифференциально-сканирующей калориметрии (ДСК) с использованием анизотропных термоэлементов из висмута, способен обеспечить обнаружение микропримесей в анализируемых системах на уровне Ю*10 г.

3. Установлена взаимосвязь между содержанием микровключений галлия в GaAsrTe и уровнем легирования, заключающаяся в том, что при

IQ 1 концентрации свободных носителей заряда > 2*10 см" в данной системе могут присутствовать включения галлия.

4. Разработанные оригинальные авторские калориметрические устройства внедрены и использованы в учебно-исследовательской работе студентов.

Личный творческий вклад автора. Автором выполнен анализ научно-технической литературы о существующем техническом уровне чувствительности и быстродействия калориметров, разработаны пути повышения чувствительности ТА веществ, разработан и изготовлен быстродействующий дифференциально-сканирующий калориметр и предложена методика его использования для контроля качества материалов при ТА, произведены экспериментальные исследования, обработка и анализ данных, сделаны выводы.

Апробация работы. Полученные в работе результаты представлялись на II Валихановских чтениях (Кокшетау, Республика Казахстан, 1994), НТК «Научные исследования и подготовка специалистов в вузе» (Альметьевск, Россия, 1997, 1999), НТК «АлНИ-2002» (Альметьевск, Россия, 2003), 18 Всерос. НТК «Электромеханические и внутрикамерные процессы в энергетических установках струйная акустика и диагностика, приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий» Казань, ВАКУ, 2006).

Публикации. По материалам диссертационной работы опубликовано 12 печатных работ, из них 1 статья в журнале, рекомендованном ВАК РФ, 4 работы в материалах и трудах конференций.

Структура и объем диссертации. Работа изложена на 124 стр., содержит 3 табл. и 24 рис., перечень литературы из 72 наименований и состоит из введения, четырех глав, выводов, списка использованной литературы.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий», Шляхова, Альфия Ганиулловна

выводы

1. Проведен анализ технического уровня серийно выпускаемых калориметров и установлено, что для контроля степени чистоты веществ и обнаружения примеси требуется разработка теплофизических приборов, сочетающих быстродействие и чувствительность.

2. Разработаны критерии и требования к термическому анализу и анализируемым образцам. Установлено, что оптимальным методом для термического анализа веществ с высокой разрешающей способностью является ДСК с использованием малых навесок (m ~ 0,01 мг.) и малых скоростей нагрева (0,1 -1) град/мин.

3. Оптимизированы параметры АТЭ из висмута в качестве датчиков теплового потока: наклон главной оси симметрии должен составлять с плоскостью основания датчика угол 0 = 41°, а его толщина и ширина - 0,25 мм.

4. Разработан и изготовлен дифференциальный микрокалориметр и дифференциальный микроваттметр с термоэлектрическим охлаждением на АТЭ из висмута, с параметрами, сочетающими высокую чувствительность

7 2 порог обнаруживаемой мощности 10" Вт) с высоким быстродействием (10* с), превосходящим на два порядка параметры известных калориметров.

5. Установлено, что ТА веществ, основанный на ДСК с использованием АТЭ из висмута, способен обеспечить обнаружение микровключений в анализируемых системах. При пробе анализируемого вещества ~ 1 мг достигнута относительная чувствительность определения галлиевых включении в арсениде галлия на уровне 10"5 % при абсолютной чувствительности Ю'10 г.

6. Установлена взаимосвязь между содержанием микровключений галлия в GaAs:Te и уровнем легирования, заключающаяся в том, что при концентрации свободных носителей заряда > 2-1018 см'3 в данной системе могут образовываться включения галлия, связанного с распадом твердого раствора.

7. С использованием разработанного калориметра обнаружены фазовые переходы между аир модификациями галлия и его расплавом, а также установлены области их температурной устойчивости.

8. Показано, что калориметрический способ измерения диэлектрических потерь, основанный на применении современных датчиков теплового потока, способен регистрировать минимальное значение tg5 на уровне 10"4. Калориметрическим методом получена резонансная зависимость tg8 от частоты внешнего электрического поля.

Благодарности: Автор выражает искреннюю признательность кандидату физико-математических наук, доценту Н.П. Дивину за помощь при изготовлении микрокалориметра. Также автор выражает благодарность доктору технических наук, профессору В.А. Белавину за участие в руководстве при выполнении данной работы, а также доктору физико-математических наук P.M. Баязитову за плодотворные дискуссии и консультации.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шляхова, Альфия Ганиулловна, 2007 год

1. Достижения и перспективы термического анализа веществ / Н.П. Дивин, В.П. Басаргин, А.Г. Шляхова и др. // II Валихановские чтения: Сб. научн. докл. / КПИ. Кокшетау, 1994. - С.379-384.

2. Оптимизация термического анализа веществ / Н.А. Семиколенова, О.Е. Чернуха, А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова // Вестник Омского университета. 2004. - №3. - С.54-56.

3. Берг, Л.Г. Введение в термографию / Л.Г. Берг; М.: Наука, 1969. 395 с.

4. Уэндландт, У. Термические методы анализа / У. Уэндландт; М.: Мир, 1978.-526 с.

5. Ляликов, Ю.С. Физико-химические методы анализа / Ю.С. Ляликов; М.: Химия, 1974.-536 с.

6. Русин, Г.Г. Физико-химические методы анализа / Г.Г. Русин; М.: Агропромиздат, 1990. 303 с.

7. Gray, A. Thermal Analys / 4. ICTA /. Budapest: Akad. Kiado, 1975. 279 p. A. Gray Analytical Calorimetry № 5: Plenum Press. VI. p.322.

8. Топор, Н.Д. Термический анализ минералов и неорганических соединений / Н.Д. Топор, Л.П. Огородова, Л.В. Мельчакова. М.: МГУ, 1987. -190 с.

9. Берштейн, В.А. Дифференциальная сканирующая калориметрия в физикохимии полимеров / В.А. Берштейн, В.М. Егоров.-Л.: Химия, 1990.-256 с.

10. Хеммингер, В. Калориметрия. Теория и практика / В. Хеммингер, Г. Хене. М.: Химия, 1990. - 176 с.

11. Glarebrougb, L. Proc. Royal Soc/ L.Glarebrougb.-1952.-V. 215A.-P.507-511.

12. Watson, E. Anal. Chem / E. Watson, M. O'Neil, Z. Justin, N. Brenner. 1964.- V. 36. № 7. - P.1233-1238.

13. Бублик, В.Т. Природа и особенности поведения точечных дефектов в легированных монокристаллах соединений А3В5 / В.Т. Бублик, М.Г. Мильвидский, В.Б. Освенский // Изв. ВУЗов. Физика. 1980. - № 1. - С.7-22.

14. Мильвидский, М.Г. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников / М.Г. Мильвидский, В.Б. Освенский. М.: Металлургия, 1984.-256 с.

15. Природа точечных дефектов в монокристаллах GaAs в зависимости от состава расплава при выращивании / В.Т. Бублик, В.В. Каратаев, Р.С. Кулагин и др. // Кристаллография. 1973. - т. 18. - № 2. - С.353-356.

16. Природа точечных дефектов в арсениде галлия, легированном теллуром / Л.И. Гайдай, В.Т. Бублик, Н.А. Анастасьева и др. // Электронная техника, сер.6. Материалы. 1979. - № 2. - С.84-85.

17. Собственные точечные дефекты в монокристаллах фосфида галлия / А.Н. Морозов, В.Т. Бублик, И.А. Ковальчук и др. // Кристаллография. 1986. - т. 31.- № 5. С.986-993.

18. Природа собственных точечных структурных дефектов в арсениде индия и их влияние на электрофизические свойства монокристаллов / В.Т. Бублик, А.И Блаут-Блачев, В.В. Каратаев, М.Г. Мильвидский и др. // Кристаллография. -1977. т. 22. - № 6.-С. 1240-1246.

19. Природа и концентрация собственных точечных дефектов в нелегированных монокристаллах. InP / А.Н. Морозов, В.Т. Бублик, В.Б. Освенский и др. // Кристаллография. 1983. - т. 28. - № 4. - С.776-781.

20. О механизме образования микровключений компонента А в1. Л fполупроводниках А В / Е.А. Глушков, Н.В. Измайлов, А.А. Литвин и др. // Изв. СССР. Неорган.материалы. 1985. - т. 21. - № 12. - С.2003-2005.

21. Mullin, J.B. Laittice superdilation phenomena in doped GaAs / J.B. Mullin, B.W. Straughan, C.M. Driscoll, A.F.W. Willoughby etc.// J.Appl. Phys. 1979. -V.47. - № 6. - P.2584-2587.

22. Superdilation and defects in tellurium doped gallium arsenide / P.S. Dobson, P.F. Fewster, D.T.J. Hurle etc. // Inst. Phys Cond. Ser. 1979. - № 45. - K5. - chapter 2. - P.163-170.

23. Исследование твердого раствора Те в GaAs / Г.М. Кузнецов, О.В. Пелевин, А.Д. Барсуков и др. // Изв. АН СССР. Неорган.материалы. 1973. -т. 8. - № 5. - С.847-849.

24. Исследование состояния атомов селена и теллура в арсениде галлия / Г.М. Кузнецов, О.В. Пелевин, В.В. Оленин и др. // Легированные полупроводники -М.: Наука, 1975. - С.37-41.

25. Природа мелких ямок травления в легированных теллуром монокристаллах GaAs / С.С. Шифрин, В.Б. Освенский, М.Г. Мильвидский и др. // Кристаллография 1973. - т. 18. - № 6. - С. 1299-1302.

26. Структурные особенности монокристаллов арсенида галлия, сильно легированных донорными примесями / Н.С. Белецкая, С.П. Гришина, Е.В. Лопатин и др. // Кристаллография 1972. - т. 17. - № 1. - С.158-165.

27. Влияние термообработки на электрические свойства сильно легированного арсенида галлия п-типа / М.Г. Мильвидский, В.Б. Освенский, В.И. Фистуль и др. // ФТП 1967. - т. 1. - № 7. - С.969-974.

28. Фистуль, В.И. Распад пересыщенных полупроводниковых твердых растворов / В.И. Фистуль. М.: Металлургия, 1977. - 240 с.

29. Могутнов, Б.М. Калориметрическое исследование распада пересыщенных твердых растворов в сплавах Fe-Co-Mo / Б.М. Могутнов, Н.Г. // Тез. VII Всесоюз. конфер. по калориметрии Черноголовка: 1977. - С.64-68.

30. Аристова, Н.М. Калориметрическое изучение процессов дефектообразования в твердых растворах на основе Ni-Al / Н.М.Аристова, JI.A. Кучеренко, В.А. Трошкина // Тез. VII Всесоюз. конфер. по калориметрии -Черноголовка: 1977. С.68-73.

31. Внутреннее трение в полупроводниках А3В5 содержащих включения матричного металла / B.C. Постников, А.В. Паршин, С.И. Рембеза и др. // Письма в ЖТФ 1978. - т. 4. - № 12. - С.740-743.

32. Микровключения раствора-расплава в эпитаксиальных слоях, выращенных из жидкой фазы / Н.Д. Василенко, O.K. Городниченко, И.Е. Марончук и др. // ЖТФ. 1980. - т. 50. - № 6. - С. 1355-1357.

33. Solvent microinclusions in GaAs epitaxial layers / N.D. Vasilenko, E.A. Glushkov, I.E. Maronchuk etc. // Growth 1981. - V. 52. - № 2. - P.354-358.

34. Brozel, M.P. Observations of gallium precipitates in LEC GaAs / M.P. Brozel, E.J. Foulkes, D.J. Stirland // Proc. Int. Symp. Defect Recognit. and Image Process III-V Compounds-Montpellier 1985. - P. 177-184.

35. Ворожцов, Б.И. Нестационарный калориметрический метод измерения угла диэлектрических потерь и диэлектрической проницаемости в сильных полях высокой частоты / Б.И. Ворожцов, И.С. Филатов // Изв. высш. учебн. завед. Физика. 1958. - № 4. - С. 105-113.

36. Анатычук, Л.И. Термоэлементы и термоэлектрические устройства / Л.И. Анатычук; Справочник. Киев: Наукова Думка, 1979. - 768 с.

37. Анатычук, Л.И. Микрокалориметрия / Л.И. Анатычук, О.Я. Лусте; -Львов: Вища школа, 1981. 159 с.

38. Дивин, Н.П. Физические основы управляемого выращивания монокристаллов висмута для анизотропных термоэлементов и их применение:автореф. дис. к. ф-м. наук: 01.04.07 / Дивин Николай Петрович. Ленинград, 1982.-14 с.

39. Кубышин, С.М. Пленочные приемники излучения / С.М. Кубышин, С.П. Фуртак, В.М. Засименко // ПТЭ 1989. - № 4. - с.236.

40. Полупроводниковые термоэлектрические датчики теплового потока / Л.И. Анатычук, Л.П. Булат, Д.Д. Гуцал, А.П. Мягкота // ПТЭ 1989. - № 4. -с.248.

41. Термоэлектрические датчики теплового потока / П.Н. Инглизян, С.П. Лалыкин, Я.М. Шевченко и др. // ПТЭ 1989. - № 5. -с.263.

42. Шляхова, А.Г. Быстродействующий дифференциальный микрокалориметр / А.Г. Шляхова, А.Т. Шляхов, Н.П. Дивин // Ученые записки Альметьевского государственного нефтяного института. 2005. - т.З. - С.225-235.

43. Шляхов, А.Т. Дифференциальный микроваттметр с термоэлектрическим охлаждением / А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова, Н.П. Дивин // Материалы НТК "АлНИ-2002". / АлНИ. Альметьевск, 2003. - С.141-142.

44. Дивин, Н.П. Быстродействующий микрокалориметр / Н.П. Дивин, А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова // Материалы НТК "АлНИ-2002". / АлНИ. Альметьевск, -2003.-С. 143.

45. Кучис, Е.В. Гальваномагнитные эффекты и методы их исследования / Е.В. Кучис; М.: Радио и связь, 1990. 264 с.

46. Шляхова, А.Г. Калориметрическое исследование включений матричного металла в GaAs: Те / А.Г. Шляхова, А.Т. Шляхов, Э.Р. Галимов // Ученыезаписки Альметьевского государственного нефтяного института. 2006. - т.4. - С.423-432.

47. Коленко, Е.А. Способ металлизации диэлектрических материалов / Е.А. Коленко, К.Е. Коленко // ПТЭ 1989. - № 5. - С.233.

48. Шляхов, А.Т. Оптимизация измерения диэлектрических потерь калориметрическим способом / А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова // Научные исследования и подготовка специалистов в вузе: Сб. научн. докл. Выпуск 1. / АлНИ. Альметьевск, 1997. - С.12-14.

49. Физический энциклопедический словарь / Под ред. A.M. Прохорова. М.: Советская энциклопедия, 1983. - 928 с.

50. Мильвидский, М.Г. Физико-химические основы получения разлагающихся полупроводниковых соединений / М.Г. Мильвидский, О.В. Пелевин, Б.А. Сахаров; М.: Металлургия, 1974. 291 с.

51. Шляхова, А.Г. Дифференциально-сканирующая калориметрия для контроля качества арсенида галлия / А.Г. Шляхова // Изв. ВУЗов: Проблемы энергетики. 2006. - №11-12. - С. 104-107.

52. Петренко, В.И. Эффект скачкообразного перехода от равновесной к взрывной кристаллизации в каплях висмута / В.И. Петренко, В.Д. Александров // Письма в ЖТФ-1983. т. 9. - № 9. - С.1354-1356.

53. Иванова, Р.В. Химия и технология галлия / Р.В. Иванова; М.: Металлургия, 1973. -392 с.

54. Шляхов, А.Т. Оптимизация термического анализа веществ / А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова // Научные исследования и подготовка специалистов в вузе. Выпуск 2. / Ал НИ. Альметьевск, 1999. - С. 115-123.

55. Дорохова, Е.Н. Аналитическая химия. Физико-химические методы анализа / Е.Н. Дорохова, Г.Б. Прохорова; М.: Высшая школа, 1991. 256 с.

56. Ефремов, М.Ю. Низкотемпературный пленочный дифференциальный сканирующий калориметр для исследования конденсатов / М.Ю. Ефремов, А.Ф. Бацулин, Г.Б. Сергеев // Вестник Московского Университета сер. 2. Химия -1999. т. 40. - № 3. - С. 194-197.

57. Майорова, А.Ф. Термоаналитические методы исследования / А.Ф. Майорова // Соросовский образовательный журнал 1998. - № 10. - С.50-54.

58. Химическая энциклопедия: в 5 т. / Под гл. ред. И.Л. Кнунянц М.: Сов. энциклопедия, 1988. 623 с.

59. Структурные особенности твёрдого галлия в микропористом стекле / И.Г. Сорина, С. Tien, Е.В. Чарная и др. // ФТТ 1998. - т. 40. - выпуск 8. - С. 15521553.

60. Акопян, И.Х. Исследование фазового состава микрокристаллов Agl методами экситонной спектроскопии и дифференциальной сканирующей калориметрии / И.Х. Акопян, Б.В. Новиков, С.А. Соболева // ФТТ 1998. - т. 40. - выпуск № 5. - С.852-854.

61. NMR investigation of gallium in porous glasses in the range of the melting-freezing phase transition / E.V. Charnaya, W.D. Hoffmann, D. Michel etc. // 28 th Congress Ampere Canterbury, England, 1 st-6 th September 1996, Extended Abstract, P.45-46.

62. Шляхов, A.T. Калориметрические исследования а и |3 модификаций галлия / A.T. Шляхов, А.Г. Шляхова // Научные исследования и подготовка специалистов в вузе. Выпуск 1. / АлНИ. Альметьевск, 1997. - С. 14-19.

63. Скрышевский, А.Ф. Структурный анализ жидкостей и аморфных тел / А.Ф. Скрышевский; М.: Высшая школа, 1980. 328 с.

64. Уэрт, Ч. Физика твердого тела /Ч. Уэрт, Р. Томсон; М.: Мир, 1969. 558 с.

65. Брандт, А.А. Исследование диэлектриков на сверхвысоких частотах /

66. A.А. Брандт; М.: Физматиздат, 1963. 403 с.

67. Разработка курсовых и дипломных экспериментально-исследовательских работ по общей и квантовой физике / А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова, P.P. Аширов,

68. B.П. Басаргин // Современные психолого-педагогические проблемы высшей школы: Сб. статей Кокшетау - 1993. - С.38-39.

69. Шляхов, А.Т. Калориметрический способ определения энергии магнитного поля соленоида и электрического поля конденсатора / А.Т. Шляхов, А.Г. Шляхова // Материалы НТК "АлНИ-2002". / АлНИ. Альметьевск, 2003. - С.138-141.

70. Индивидуальные лабораторные задания как средство саморазвития студентов / Н.П. Дивин, В.П. Басаргин, Р.Г. Кожабаев и др. // II Валихановские чтения: Сб. статей Кокшетау - 1994. - С.385-392.