Фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Писаренко, Инна Владимировна

• Писаренко, Инна Владимировна
• кандидат физико-математических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Писаренко, Инна Владимировна

Введение и постановка задачи.

Глава 1. Литературный обзор.

1.1. Технологические параметры и формирование фаз нитридов металлов.

1.2. Структура и магнитные свойства пленок нитридов металлов.

1.3. Влияние легирующих добавок на образование нитридов.

Глава 2. Получение и исследование пленок Fe-N и Fe-N/Fe/Fe-N.

2.1. Метод реактивного магнетронного распыления.

2.2. Измерение магнитных характеристик.

2.3. Исследование структуры и фазового состава пленок с помощью электронного микроскопа.

2.3.1. Лоренцева электронная микроскопия.

2.4. Определение скорости осаждения пленок.

Глава 3. Структура, фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N.

3.1. Определение оптимального давления рабочего газа при осаждении пленок Fe.

3.2. Влияние концентрации азота и давления рабочего газа на свойства пленок Fe-N, осажденных при комнатной температуре.

3.2.1. Фазовый состав и магнитные параметры пленок Fe-N с разным содержанием азота в смеси рабочего газа (Pat+n2 = 2,3-10"4 Topp, Ts = 20 °С).

3.2.2. Состав и свойства пленок Fe-N, осажденных при Ts = 20 °С, CN = 10 ат.% при разном давлении рабочего газа.

3.3. Влияние температуры подложки на фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N (CN =10 ат.%, ?Аг+т = 4 -10"4 Topp).

3.3.1. Фазовый состав и магнитные параметры пленок Fe-N, осажденных на горячие подложки.

3.3.2. Влияние концентрации азота на фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N, осажденных при PAr+N2 = 4 -10"4 Topp, Ts = 350 °С.

3.3.3. Влияние давления рабочего газа на фазовый состав и магнитные свойства пленок с CN =10 ат.%, осажденных при Ts = 350 °С.

3.4. Фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N, осажденных на горячие ПОДЛОЖКИ При PAr+N2 = 8 -10'4 Topp.

3.5. Доменная структура пленок Fe-N.

3.6. Выводы.

Глава 4. Магнитные свойства отожженных пленок Fe-N.

4.1. Изотермический отжиг пленок Fe-N.

4.2. Термомагнитная обработка пленок Fe-N.

4.3. Выводы.

Глава 5. Трехслойные пленки Fe-N/Fe/Fe-N.

5.1. Магнитные свойства трехслойных пленок Fe-N/Fe/Fe-N.

5.2. Зависимость магнитных параметров трехслойных пленок от концентрации азота.

5.3. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Фазовый состав и магнитные свойства пленок Fe-N»

В современной электро- и радиотехнике, микроэлектронике, технике звуко- и видеозаписи широко используются магнитные пленки, причем к их эксплуатационным характеристикам предъявляются все более и более высокие требования. Современные компьютеры для запоминания и долговременного хранения информации в виде программ, исходных данных, результатов обработки и т.п. содержат внешнюю память - накопитель информации, представляющий собой запоминающее устройство большой емкости. Внешние запоминающие устройства большинства компьютеров различного назначения основаны на магнитной записи [1]. Такие устройства, как правило, содержат носители информации в виде гибких или жестких дисков либо магнитных лент и блок записывающих и воспроизводящих магнитных головок.

Одна из основных задач совершенствования внешних запоминающих устройств заключается в повышении информационной плотности записи, которая зависит не только от магнитных свойств материала рабочего слоя носителя, но и в не меньшей степени от технических, физических и конструктивных параметров преобразователей, с помощью которых реализуется запись и воспроизведение. Запоминающие устройства должны обеспечить надежное и длительное хранение информации, малое время доступа, низкую стоимость хранения единицы информации, высокую плотность и скорость записи. В лучших накопителях информации используются тонкопленочные магнитные и магниторезистивные головки различных модификаций. Магнитные пленки имеют особенности, благодаря которым их использование способствует повышению плотности записи информации и быстродействия запоминающих устройств. Чтобы отвечать этим требованиям, пленки должны обладать вполне определенным набором структурных и магнитных характеристик. 5

Для осуществления магнитной записи на высококоэрцитивном носителе требуются магнитные головки с магнитопроводом, обладающим свойствами магнитомягкого материала с высокой магнитной индукцией насыщения. Основные физические свойства, которыми должен обладать материал для магнитных головок: высокая магнитная индукция насыщения, высокая магнитная проницаемость на высоких частотах, низкая коэрцитивная сила, нулевая магнитострикция и, наконец, высокие термостабильность, коррозионная стойкость и износостойкость [2,3]. Одним из путей поиска таких материалов стало формирование нитридов металлов, что дает возможность получать материалы с определенными магнитными характеристиками путем контроля их химического состава.

Зависимость магнитных свойств от технологических условий изготовления пленок позволяет целенаправленно изменять магнитные параметры, как в процессе создания пленок, так и в процессе термической обработки. Получать пленки с определенными параметрами, можно только зная механизмы формирования их свойств и сопоставляя эти данные с магнитными характеристиками. Поэтому до настоящего времени не ослабевает интерес к исследованиям в этой области.

Целью диссертационной работы является исследование зависимости структуры, фазового состава и магнитных параметров тонких магнитных пленок Fe-N от давления рабочего газа, концентрации азота в смеси рабочего газа и температуры подложки. Определение технологических условий, при которых пленки Fe-N, полученные магнетронным распылением при базовом давлении 10"5 Topp, имеют магнитную индукцию выше магнитной индукции чистого железа. В связи с этим были поставлены задачи;

1. Получить пленки Fe-N методом реактивного магнетронного распыления.

2. Исследовать фазовый состав пленок Fe-N в зависимости от давления рабочего газа (Раг+ю), содержания азота в рабочем газе (Cn) и температуры 6 подложки (Т8).

3. Установить взаимосвязь фазового состава с магнитными свойствами.

4. Определить области давления рабочего газа, содержания азота в рабочем газе и температуры подложки, в которых формируется высокомагнитная фаза Ре16Н2.

5. Исследовать доменную структуру пленок Ре-1\Г.

6. Исследовать влияние на магнитные свойства пленок Ре-И изотермического и термомагнитного отжига.

7. Изучить влияние толщины слоев Бе и Ре-Ы на магнитные свойства трехслойных пленок Ре-К/Ре/Ре-И.

Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, заключения и списка литературы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Писаренко, Инна Владимировна

5.3. Выводы.

Проведя анализ магнитных параметров от толщины слоев Бе и Ре-Ы в трехслойных пленках Ре-ЫУРе/Ре-Ы можно сделать следующие выводы:

1. В трехслойных пленках Ре-Ы/Ре/Ре-Ы при толщине слоев с1ре-н = 10 нм и с1ре = 50-^60 нм коэрцитивная сила имеет минимальное значение Нс = 119 А/м.

2. В трехслойных пленках Ре-И/Ре/Ре-И с ёре-и = <1Ре при толщине = <1Ре = 20-ь25 нм минимальное значение коэрцитивной силы составляет Нс = 716-н796 А/м.

3. Магнитная индукция трехслойных пленок Ре-Ы/Ре/Ре-М, осажденных на подложки при Т8 = 350 °С составляет В5 = 1,5 ± 0,15 Т, что существенно меньше магнитной индукции однослойных пленок Ре-Ы, полученных при тех же технологических параметрах.

4. Увеличение концентрации азота в смеси рабочего газа сопровождается увеличением коэрцитивной силы и уменьшением магнитной индукции в трехслойных пленках Ре-Ы/Ре/Ре-Ы в результате образования нитридов железа с низкой или нулевой В8.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ.

Показано, что фазовый состав пленок Fe-N, полученных реактивным магнетронным распылением, зависит от технологических параметров: базового давления, давления рабочего газа, концентрации азота в рабочей смеси газов, температуры подложки. В пленках Fe-N, осажденных при Рдг+ш = 2,3 -10"4 Topp и температуре подложки Ts=20 °С при изменении концентрации азота в рабочей смеси газов от 0 до 20 ат. % фазовый состав пленок изменяется от a-Fe(N) ->a-Fe(N)+Fe4N->a -Fe(N)+FexN+Fe2N. Все пленки Fe-N являются поликристаллическими мелкозернистыми с размером зерна R3 = 4-^6 нм. При увеличении концентрации азота магнитная индукция уменьшается, а величина коэрцитивной силы проходит через минимум, который соответствует Сн - Ю ат.%.

Установлено, что увеличение температуры подложки до Ts= 350 °С сопровождается увеличением магнитной индукции, что обусловлено образованием высокомагнитной фазы Fei6N2. Увеличение размера зерна пленок, осажденных на горячие подложки, приводит к возрастанию коэрцитивной силы.

В пленках, осажденных на горячие подложки при увеличении давления рабочего газа происходит рост магнитной индукции до 2,2 Т при Р = 8-Ю"4 Topp. При повышении давления рабочего газа размер зерна уменьшается, что сопровождается уменьшением коэрцитивной силы.

Показано, что максимальная доля высокомагнитной фазы Fe^N2 образуется в пленках Fe-N при следующих технологических параметрах: Раг+ю - 8-Ю"4 Topp, Ts= 350 °С, CN = 10 ат.% в рабочем газе. Образование максимальной доли Fei6N2 сопровождается увеличением магнитной индукции до 2,2 Т, что больше Bs чистого железа.

102

5. Качественный анализ поведения магнитных параметров при изменении технологических условий получения пленок показал, что изменение В8 и Нс обусловлено изменением фазового состава, размера зерна и магнитостатических полей рассеяния на межфазных границах. Наблюдается хорошая корреляция магнитных параметров с размером зерна и фазовым составом пленок.

6. Установлено, что процессы окисления в пленках Бе-И замедляются, поэтому магнитная индукция при их искусственном и естественном старении практически не изменяется. Увеличение коэрцитивной силы при искусственном и естественном старении обусловлено процессами объемной и поверхностной диффузии азота и ростом размера зерна, что подтверждается расчетами.

7. Показано, что в трехслойных пленках Ре-М/Ре/Ре-М величина коэрцитивной силы зависит от толщины слоев Бе-ОЧ и Ре. Минимум Нс = 119 А/м соответствует толщинам с1ре-ы = Ю нм, с1ре = 50*60 нм.

В заключении выражаю глубокую благодарность научному руководителю доктору ф.-м.н., профессору Чеботкевич JI.A., а также доктору ф.-м.н., профессору Лифшицу В.Г., к.ф.-м.н. Воробьеву Ю.Д., ведущему инженеру лаборатории пленочных технологий Печниковой Л.П., к.ф.-м.н. Соппе И.В., к.ф,-м.н. Рудневу A.C., к.ф.-м.н. Лунякову Ю.В., к.ф.-м.н. Игнатовичу КВ.

103

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Писаренко, Инна Владимировна, 2000 год

1. Кандаурова Г.С. Природа магнитного гистерезиса // Соросовский образовательный журнал. 1997. - С. 106.

2. Мочалов В.Д. Магнитная микроэлектроника / М.: Советское радио. 1977. -С. 115.

3. Карпенков С.Х. Тонкопленочные средства магнитных накопителей // Зарубежная радио-электроника,- 1993. т.6. - С. 26 - 31.

4. Oda Ki., Yoshio Т., Oda Ко. Preparation of Co-N films by rf-sputtering // J. Materials. Science. 1987. - v.22, № 8. - P. 2729 - 2733.

5. Ma E., Liu B.X., Chen X., Li H.D. Structural transformation induced by nitrogen implantation // Thin Solid Film. 1987. - v. 147. - P. 49 - 55.

6. Shin K.K, Re M.E., Dove D.B. Multilayered Fe/Fe-N films // J. Appl. Phys. -1990. v. 57, №4. - P. 412- 413.

7. Ishiwata N., Wakabayashi C., Uray H. Soft magnetism of high-nitrogen-cocentration FeTaN films // J. Appl. Phys. 1991. - v.69, № 8. - P. 5616 - 5618.

8. Hoshi Y., Naoe M. Deposition of Fe-N films by means of an opposed targets sputtering type plasma source // J. Appl. Phys. 1991. - v.69, № 8. - P. 5622 - 5624.

9. Ohmori H., Katori K., Hayashi K., Hayakawa M., Aso K. Magnetic properties and structure in Co-based nitrid thin films // IEEE Transactions on magnetics. 1991. - v. 27, №6. -P. 5319-5321.

10. Jiang E.Y., Sun D.C., Lin C., Tian M.B., Bai H.L., Liu Ming S. Facing targets sputtered Fe-N gradient films // J. Appl. Phys. 1995. - v. 78, № 4. - P. 2596 - 2600.

11. Kopcewicz M., Jagielski J., Gawlik G., Grabias A. Role of alloying elements in the stability of nitrides in nitrogen-implanted a-Fe // J. Appl. Phys. 1995. - v. 78, № 2.-P. 1312-1321.

12. Gao C., Shamsuzzoha M. The observation of phase formation in annealed rf-sputtered Fe-N films //J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1995. - v. 146. - P. 273 - 282.

13. Jiang H., Tao K., Li H.D. Structure and magnetic properties of Fe-N films deposited on heated substrates by ion-beam-assisted deposition // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1995. - v. 149. - P. 358 - 362.

14. Jiang H., Wu Q.L., Tao K., Li H.D. Structure and magnetic properties of Fe-N films prepared by ion-beam-assisted deposition // J. Appl. Phys. 1995. - v. 78, № 5. -P. 3299-3302.

15. Okamoto S., Kitakami O., Shimada Y. Characterization of epitaxixally grown Fe-N films by sputter beam method // J. Appl. Phys. 1996. - v. 79, № 3. - P. 1678 -1683.

16. Yu Z.Q., Rong J., Du Y.W. Magnetic properties and preparation of Fe3N compound // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1996. - v. 156. - P. L8 - L10.105

17. Bobo J.F., Casanove M. J., Hennet L., Snoeck., Piecuch M. Structural and magnetic properties of Fe-Fe2N sputtered multilayers // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1996. - v. 164. - P. 61 - 65.

18. Wang H.Y., Jiang E.Y., Wang C.D., Ming S.L. (Fe,Ti)i6N2 films with high saturation magnetization prepared by facing target sputtering // Thin Solid Films. -1997.-v. 300.-P. 59-63.

19. Sun D. C., Lin C., Jiang E. Y., Wu C.D. Multiphase iron nitride gradient films // Thin Solid Films. 1995. - v. 260. - P. 1 - 3.

20. Taneco N., Shimada Y., Fukamichi K., Miyakawa C. Fabrication of Fe-Zr-N films with very low coercivity // J. Appl. Phys. 1991. - v. 30, № 2A. - P. L195 - L197.

21. Yao Z.Y., Jiang H., Liu Z.K., Huang D.D., Qin F.G., Zhu S.C., Sun Y.X. Formation and magnetic properties of Fei6N2 films prepared by ion-beam-assisted deposition // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1998. - v. 161. - 181. - P. 1291 - 1292.

22. Kelly R. 11 J. Vac. Sci. Technol. 1982. - v. 21, № 3. - P.778.

23. Ma E., Lin B.X., Chen X., Li H.D. Thin films interfaces and phenomena // Proc. Materials Reasearch Society Symp. - 1986. - v. 54. - P. 215.106

24. Maeda H. Effect of nitrogen on the high coercivity and microstructures of Co-Ni allow films // J. of Applied Physics. 1982. - P. 1126 - 1129.

25. Yamashita et al. Method for manufacturing a thin film magnetic recording medium // United States Patent. 1988. - v. 749, № 4. - P. 459.

26. Jack K.H. // Proc.Roy. Soc. London Ser. 1951. - A (208). - P.216.

27. Kim Т.К., Takahashi M. // J.Appl.Phys.Lett. 1972. - v. 20. - P. 492.

28. Кубашевски О. Диаграммы состояния двойных систем на основе железа: Пер. с англ. / Под. ред. Петровой Л.А. М.: Металлургия. 1985. - С. 184.

29. Диаграмма состояния двойных металлических систем: Справочник, т. 2. / Под ред. Н.П. Лякишева. М.: Машиностроение. - 1997. - С. 513 - 515.

30. Sifkovits М., Smolinski Н., Hellwig S., Weber W. Interplay of chemical bonding and magnetism in Fe4N, Fe3N and Fe2N // J. of Magnetism and Magnetic Materials. -1999. v. 204. - P. 191 - 198.

31. Базаров И.П. Термодинамика / Москва: Ф.-М. Лит. 1961. - С. 146.

32. Хачатурян А.Г. Теория фазовых превращений и структура твердых растворов / М.: Наука. 1974. - С. 80.

33. Mohn P., Matar S.F. The Fe4N system revisited: an ab initio calculation study of the magnetic interactions // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1999. - v. 191. P. 234 - 240.

34. Григорович В. К. Электронное строение и термодинамика сплавов железа Москва: Наука. 1970. - С. 240 - 243.

35. ЛифшицБ.Г. Металлография / Москва: Металлургия. 1990. - С. 152.

36. Физическое материаловедение. / Под ред. Р. Кана, вып.1. Москва: Мир. -1967. - С. 289.

37. Sakakima Н., Osano К., Omata Y. Magnetic properties of compositionally modulated nitride amorphus alloy films // IEEE Trans. Magn. 1987. - v. MAG. - 23, №5. -P. 3707.

38. Kaminaka N., Sakakamita H., Takahashi K., Osano K., Hasegawa H. Co-based superstructured nitride alloy films: characteristics and applications for high frequency heads. // IEEE Trans. Magn. 1990,- v. MAG. - 26, № 5. - P. 2936.

39. Marishige O. et al. // IEEE Trans. Magn. 1992. - v. 28. - P. 990.

40. Mamiya H., Nakatani I. Dinamic studu of iron-nitride fine particle system: field dependence of the blocking temperature // J. of Magnetism and Magnetic Materials. -1998.-v. 177-181.-P. 966-967.

41. Королев Б.И. Основы вакуумной техники / Москва: Госэнергоиздат. 1958. -С. 278.108

42. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы./ Москва: Радио и связь. 1982. - С. 72.

43. Ильин Э.В., Писаренко И.В. Структура и магнитные свойства многослойных Co-Ti /Мо пленок. // Тезисы докладов III Всероссийской научной конференции студентов- физиков, Екатеринбург. 1995. - С. 77.

44. Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. / М.: Энергия. 1967. -С. 11.

45. Соппа И.В. Химическая намагниченность продуктов превращений пирита и титаномаггемита //Дис. канд. физ.-мат. н. -Москва. 1989. - С. 112.

46. Абакумов В.М., Кобелев В.В., Саланский Н.М., Добротин Ю.Н., Страхов В.Г., Шишков А.Г. Проект стандарта на измерения статических свойств тонких магнитных пленок. // Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок. Красноярск. -1969. С. 5 - 12.

47. Томас Г., Гориндж М.Д. Просвечивающая электронная микроскопия материалов / Под. ред. Вайнштейна Б.К. М.: Наука. - 1983. - С.ЗО - 37.109

48. Хирш П., Хови А., Николсон Р., Пэшли Д., Уэлан М. Электронная микроскопия тонких кристаллов / Под. ред. Утевского JIM. М.: Мир. -1968. - С 11 -28,392-399.

49. Миркин Л.И. Справочник по рентгено-структурному анализу поликристаллов // М.: Ф.-М.Л. 1961. - С. 458 - 461.

50. Воробьев Ю.Д. Влияние поверхностных и объемных неоднородностей на коэрцитивную силу тонких магнитных пленок // Дис. канд. физ.-мат. н.: 539.216:537.622. Владивосток. - 1985. - С. 165.

51. Буравихин В.А., Попов В.И. Физика магнитных пленок / Иркутск. 1967.

52. Плотников B.C. Релаксация структуры и начальная стадия кристаллизации пленок аморфных ферро- и ферримагнитных сплавов ПМ-М и ПМ-РЗ //Дис. канд. физ.-мат. н.: 532.782:539.23/539.27. Владивосток. - 1986. - С. 57.

53. Баранов А.Г., Гладков Ю.А., Судаков Н.И., Аюрзанайн Б.А. К вопросу измерения толщины тонких магнитных пленок фотометрическим методом // Аппаратура и методы исследования тонких магнитных пленок. Красноярск. -1968. С. 59 -63.

54. Физика тонких пленок / Под. ред. Фраккомба М.Х., Гофмана Р.У. М.: Мир. -т. IV.-С. 132.

55. Бозорт Р. Ферромагнетизм / Под. ред. Кондорского Е.И. М.: Изд. Ин. Лит. - 1956. - С. 192.110

56. Иванов Р.Д. Магнитные металлические пленки в микроэлектронике / Москва: Советское радио. 1980. - С. 5 - 9.

57. Cadieu F.J., Chencicski N. Selective thermalization in sputtering to produce high Tc films // IEEE Trans. Magn. 1975. - v. 11, № 2. - P. 227 - 230.

58. Осуховский В.Э., Воробьев Ю.Д., Чеботкевич Л.А., Елисеенко Л.Г., Слабженникова И.М. Влияние отжига на закрепление доменной границы неоднородностями поликристаллических пленок // Физика Металлов и Металловедение. 1986. - т. 61, № 3. - С. 543 - 548.

59. Чеботкевич Л.А., Воробьев Ю.Д., Писаренко И.В. Магнитные свойства пленок нитрида железа, полученных магнетронным распылением. / Физика твердого тела. 1998. - т. 40, № 4. - С. 706 - 707.

60. Вонсовский C.B., Шур Я.С., Ферромагнетизм / Л.: Технико-теоретич. литер.- 1948.-С. 816.

61. Банных О.А., Будберг П.Б., Алисова С.П. и др. Диаграммы состояния двойных и многокомпонентных систем на основе железа / М.: Металлургия. -1986.-С. 440.111

62. Чеботкевич Л.А. Взаимодействие доменных границ с дефектами и магнитные свойства тонких пленок// Дис. докт. физ.-мат. н.: 539.216:537.622. 539.216:538.221:539.12.04:537.622. Владивосток. - 1989. - С. 105 - 110.

63. Осуховский В.Э., Воробьев Ю.Д., Слабженникова И.М., Науменко Л.Ф. Локализованные дефекты и коэрцитивная сила тонких магнитных пленок // Физика металлов и металловедение. 1985. - т. 60, № 3. - С. 623 - 624.

64. Писаренко И.В. Влияние технологических параметров на магнитные свойства пленок Ре-И // Тезисы докладов межвузовской студенческо-преподавательской коференции ВГУЭС. Владивосток. - 1997. - С. 4.

65. Малек 3., Шуппель В., Магнитокристаллическая и наведенная анизотропии // Тонкие ферромагнитные пленки. Под. ред. Телеснина Р.В. М.:. Мир. - 1964. -С. 81-83.

66. Технология тонких пленок / Под. ред. Майссела Л., Глэнга Р. М.: Советское радио. - 1977. - т. 1. - С. 436 - 437.

67. Чеботкевич Л.А. Физика тонких пленок. Уч. Пособие / Владивосток: ДВГУ. 1992. - С. 36.

68. Иванов A.A., Лобов И.В. Два возможных механизма коэрцитивности поликристаллических тонких пленок // Новые магнитные материалы микроэлектроники. Сб. докл. Всесоюзн. школы-семинара. Донецк: АН. УССР. -1992. - С. 99 - 100.

69. Дьячук П.П., Иванов A.A., Лобов И.В. Движение изгибающейся доменной границы в непрерывном потенциальном поле дефектов / Изв. АН СССР, серия физ. 1981.-т.45.-С. 1701 - 1703.

70. Malytin V I., Osukhovskii V.E., Ivanov A.A., Chebotkevich L.A., Lobov I.V., Vorobiev Yu.D. The effect of volume and surface inhomogeneities on the coercivity of thin magnetic films // Phys. Stat. Sol. A. 1986. - v. 93. - P. 585 - 595.

71. Чеботкевич Л.А., Ветер B.B. Роль магнитоупругого взаимодействия в формировании коэрцитивной силы пленок // Физика металлов и металловедение. 1986. - т.62, в. 1. - С. 101 - 107.

72. Кашина Л.Г., Чеботкевич Л.А., Ветер В.В. Влияние зерновой структуры тонких магнитных пленок на магнитные свойства // Сб. докл. "Некоторые вопросы физики тонких магнитных пленок". Владивосток: ДВГУ. - 1974.113

73. Чеботкевич Л.А., Писаренко И.В., Нефедев К.В., Воробьев Ю.Д. Фазовый состав и магнитные свойства Fe-N пленок. // Тезисы докладов Международной научной конференции "Магнитные материалы и их применение". Минск. -1998.

74. Чеботкевич Л.А., Писаренко И.В., Нефедев К.В., Воробьев Ю.Д. Фазовый состав и магнитные свойства Fe-N пленок. // Физика металлов и металловедение. 1999.-т. 87, №5. -С. 42-45.

75. Праттон М. Тонкие ферромагнитные пленки / Под. ред. Брянской Е.О., Калинина H.H. Л.: Судостроение. - 1967. - с. 145 - 149.114

76. Суху. Р. Магнитные пленки. / Пер. с англ. под ред. Телеснина Д.В. М.:Мир - 1967. - С. 422.

77. Tokinaga Т., Harada М., Ohkoshi М. et. al. Stability of magnetic and migneto-optic properties in TbCo sputtered films. // IEEE Trans, on Magn. 1986. - v. Mag. -22, № 5. - P. 940-942.

78. Федосюк В.М., Макутин Г.В., Касютич О.И. Мультислойные магнитные структуры // Зарубежная радиоэлектроника. 1992. - № 4 - 5. - С. 42.

79. Farrow R.F.C., Lee С.Н., Parkin S.S.P. Magnetic multilayer structures // IBM J. RES. Develop. 1990. - v. 34, № 6. - P. 903.

80. Barnas J. Interlayer exchange coupling in ultra-thin layered structures // J. of Magnetism and Magnetic Materials. 1994. - v. 128. - P. 171 - 178.115

81. Чеботкевич JI.A., Воробьев Ю.Д., Писаренко И.В. Структура и магнитные свойства пленок FeN. // Тезисы докладов XVI Международной школы семинара "Новые магнитные материалы" Москва. 1998. - ч. II. - С. 460.