Физическая химия процессов в системе неравновесная плазма кислорода-полимер тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, доктор химических наук Рыбкин, Владимир Владимирович

• Рыбкин, Владимир Владимирович
• доктор химических наук
• 2000

Оглавление диссертации доктор химических наук Рыбкин, Владимир Владимирович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1. Температура газа и тепловые источники в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде 1 I

1.2. Кинетика образования и гибели колебательно - возбужденных состояний 02(Х !

1.3. Механизм образования и гибели атомов кислорода в основном состоянии

1.4. Механизм образования и гибели метастабильных состояний молекул Ог^^) , Огф1^), атомов О^Б), 0(!8) и озона

1.5. Ионный состав плазмы кислорода

1.6. Параметры электронной компоненты. Функция распределения электронов по энергиям

1.7. Напряженность продольного электрического поля

1.8. Моделирование положительного столба тлеющего разряда в кислороде

1.8.1. Уровни и задачи моделирования

1.8.2. Модели положительного столба З"? Выводы. Постановка задачи

1.9. Физико-химические закономерности процессов взаимодействия неравновесной плазмы с полимерами

1.9.1. Прикладные аспекты плазменной обработки полимеров

1.9.2. Основные закономерности кинетики убыли массы

1.9.3. Гетерогенные превращения при плазменном воздействии. Газообразные продукты деструкции

1.9.4. Механизмы процессов взаимодействия плазмы 02 с поверхностью ПЭТФ и ПИ

Выводы. Постановка задачи

ГЛАВА 2. ОСНОВНЫЕ МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ

2.1. Экспериментальная установка

2.2. Методика измерений функций распределения электронов по энергиям.

2.2.1. Общие положения метода.

2.2.2. Методы дифференцирования зондовых характеристик

2.2.3. Выбор метода определения второй производной зондового тока.

2.2.4. Методика измерений и обработки вторых производных зондового тока.

2.3. Измерения напряженности продольного электрического поля и потока положительных ионов на стенку реактора

2.3.1. Методика измерений интенсивностей линий и полос

2.3.2. Определение температуры газа

2.3.3. Определение скоростей диссоциации и вероятностей гетерогенной гибели атомов методом ЭПР

2.4. Методики масс-спектральных измерений

2.4.1. Определение парциальных давлений (мольных долей) стабильных компонентов газовой смеси

2.4.2. Определение скоростей образования газообразных продуктов при плазменном воздействии

2.4.3. Определение констант скоростей и вероятностей взаимодействия активных частиц плазмы с полимером в потоковом послесвечении плазмы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физическая химия процессов в системе неравновесная плазма кислорода-полимер»

Актуальность проблемы. Применение низкотемпературной плазмы низкого давления неразрывно связано с развитием наукоемких технологий, отвечающих возрастающим требованиям экономичности и экологической чистоты. По этой причине ионно-плазменные процессы, уже ставшие неотъемлемой частью технологических процессов микроэлектроники, в последнее время начинают находить промышленное применение в таких традиционно консервативных отраслях, как текстильная и легкая промышленность. Помимо решения экономических и экологических проблем, неравновесная плазма разрядов низкого давления, характеризующаяся сверхравновесными концентрациями химически активных частиц при низкой газовой температуре, является особо привлекательной для направленного изменения свойств поверхности синтетических и натуральных полимерных материалов, обладающих повышенной "чувствительностью" к действию высоких температур. Воздействие плазмы на поверхность изменяет ее физико-химические свойства, приводя к возможности создания фактически новых материалов с повышенными адгезионными, сорбционными и другими подобными свойствами.

На сегодняшний день ситуация в области исследований взаимодействий плазма-полимер характеризуется тем, что инженерные разработки и практическая реализация опережают фундаментальные исследования, посвященные пониманию механизмов физико-химических процессов, что не позволяет оптимизировать уже имеющиеся процессы и целенаправленно создавать новые. Причины этого связаны, во-первых, со сложностью объекта исследований - неравновесной системой, действующей на поверхность большим набором потенциально-возможных химически активных компонентов, которые могут приводить к самым разнообразным превращениям, во-вторых, с тем, что эта система является самосогласованной, то есть физические характеристики плазмы, определяющие ее химическую активность, сами зависят от инициированных ею химических превращений.

Таким образом, разработка методологических подходов к исследованию и описанию свойств плазмы, которые позволили бы рассчитать ее внутренние параметры (концентрации активных частиц, скорости их образования-гибели, электрические поля, газовые температуры, скорости образования продуктов гетерогенных взаимодействий и т.д.) на основе внешних, задаваемых параметров (давления, тока разряда, геометрии реактора) является актуальной задачей.

Основной целью данной работы являлась разработка самосогласованной модели плазмы разряда постоянного тока в кислороде, реагирующей с полимером, позволяющей a priori рассчитать ее стационарные свойства и предсказать результат ее действия на полимер с точки зрения скоростей образования газообразных продуктов и потерь массы.

Решение этой задачи подразумевает:

1) выяснение процессов, формирующих энергетическое распределение электронов в плазме;

2) установление механизмов образования и гибели заряженных и нейтральных (включая возбужденные) частиц плазмы;

3) анализ источников нагрева газа;

4) выяснение роли различных активных компонентов плазмы в процессе плазмоокислительной деструкции и определении кинетических характеристик их взаимодействия с полимером;

5) разработка и реализация методов совместного решения кинетического уравнения Больцмана, уравнений колебательной и химической кинетики, уравнений баланса зарядов в гидродинамическом приближении и уравнения теплопроводности.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Для анализа состояния плазмы предложен системный подход, заключающийся в том, что единая плазменная система разбивается на подсистемы по принципу общности физико-химических процессов, имеющих место в ней, и, как следствие, общности математического аппарата их описания.

2. Впервые показано, что для описания плазмы 02 на уровне, который позволяет при задании давления, тока разряда, геометрии реактора рассчитать основные внутренние параметры плазмы, необходимо рассматривать подсистемы электронного газа, колебательной кинетики основного состояния молекулы Ог, образования и гибели заряженных частиц, кинетики реакций нейтральных частиц и тепловых источников.

3. Установлены те взаимосвязи между всеми подсистемами, которые являются наиболее существенными для реализации стационарного состояния плазмы.

4. На основе многочисленных экспериментальных данных и их анализа обоснован набор сечений взаимодействия электронов с молекулой Ог, который непротиворечиво описывает параметры электронного газа, как в условиях дрейфующих электронных роев, так и в условиях плазмы.

5. Впервые измерены скорости диссоциации молекул 02, на основе которых определены константы, обоснованы сечения и механизм процесса диссоциации.

6. Проанализированы механизмы распределения энергии внешнего электрического поля на осуществление различных реакций. Найдено, что -50% энергии выделяется в виде тепловой при гетерогенной гибели атомов кислорода и молекул 02(Ь'Хц+) на стенке реактора, а остальная часть переходит в поступательную энергию в объеме за счет тепла химических реакций.

7. Разработаны алгоритмы и программы совместного решения уравнения Больцмана, уравнений колебательной кинетики, уравнений образования и гибели зарядов, уравнений химической кинетики и теплопроводности, позволяющие проводить самосогласованный расчет неравновесной плазмы. Аналогов такого комплекса взаимосвязанных программ нам неизвестно.

8. Разработана новая методика, позволяющая определять скорости образования газообразных продуктов деструкции и расходования кислорода в условиях, когда изменения концентраций обусловлены не только химическими реакциями, но и массопереносом потоком газа и диффузионным транспортом, а результаты содержат погрешности, обусловленные конечным временем реакции измерительной системы на регистрируемую величину.

9. Для пленочных полиимидных полимеров, полиэтилентерефталата и тканей разной структуры на его основе впервые получены кинетические данные о скоростях ' процессов реагирования кислорода, образования газообразных продуктов и их виде, убыли массы в стационарном режиме плазмоокислительной деструкции. Измерены температурные зависимости скоростей, как в зоне плазмы, так и в потоковом послесвечении, определены эффективные энергии активации.

10. Для исследованных материалов впервые показано, что процесс их плазмоокислительной деструкции обеспечивается атомами

О(Т), которые реагируют по 1-му кинетическому порядку. Впервые определены константы скорости и вероятности этой реакции как в зоне плазмы, так и в послесвечении. Показано, что в зоне плазмы из-за ее активирующего действия соответствующие константы существенно больше, чем для зоны послесвечения.

11. Впервые на основе новой методики исследованы стадии инициирования плазмоокислительной деструкции исследованных материалов. Показано, что в момент зажигания разряда химические реакции инициируются за счет энергии ВУФ излучения плазмы и энергии рекомбинации атомов.

12. Исследована кинетика плазмоокислительная деструкции тканых материалов на основе ПЭТФ. Впервые показано, что специфика реакций с тканями, отличающая их от пленок, обусловлена структурой. Наличие сквозных пор, образованных переплетением нитей, приводит к тому, что в реакциях принимает участие не только поверхность, непосредственно контактирующая с плазмой, но и тыльная сторона ткани, расположенная на стенках реактора.

13. Разработан новый оптико-спектральный метод, позволяющий контролировать скорости потерь массы исследованных материалов, защищенный авторским свидетельством.

На защиту выносятся следующие положения работы:

1. Принципы анализа и представления плазмы кислорода в виде совокупности отдельных подсистем.

2. Анализ физико-химических процессов, определяющих содержание каждой подсистемы, и взаимосвязей между подсистемами: а) экспериментальные результаты исследования физико-химических параметров кислородной плазмы; б) механизмы формирования неравновесной функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) и обоснование выбора сечений взаимодействия электронов с молекулой 02; в) механизмы формирования распределения частиц по колебательным уровням 02(Х3Е8"); г) кинетическая схема реакций образования и гибели основных нейтральных компонентов плазмы 02: молекул 02(а1Аё, Ь1Иё+), атомов 0(°Р, 'О, !8); д) процессы образования и гибели заряженных частиц; е) энергетический баланс неравновесной плазмы 02. ж) результаты исследований кинетических закономерностей плазмоокислительной деструкции полимеров и определения активных частиц плазмы, реагирующих с материалом.

4. Методика определения скоростей образования газообразных продуктов и расходования кислорода при плазмоокислительной деструкции.

5. Методика оптико-спектрального контроля скоростей убыли массы.

Практическая ценность. Учитывая, что плазма кислорода широко используется в микроэлектронике, для модификации поверхности различных материалов, для тестирования стойкости материалов к атмосферным воздействиям и условиям низких околоземных орбит, разработанная модель может использоваться для самосогласованных расчетов плазмохимических реакторов с целью выбора внешних параметров, обеспечивающих оптимальные условия проведения процесса. Развитые подходы и программное обеспечение имеют самостоятельное значение, и были успешно реализованы не только для анализа физико-химических процессов в плазме кислорода, но и для плазмы Н2, плазмы смеси Н2-ГЧ2 и плазмы воздуха. Методика определения скоростей образования газообразных продуктов гетерогенных реакций может быть применена как для других материалов, так и для иных плазмообразующих газов.

Работа выполнялась по координационному плану Минвуза СССР "Ионно-импульсная технология» (п.п.5.24,5.25); по научно-технической программе Комитета по высшей школе Миннауки РФ "Фундаментальные и прикладные проблемы взаимодействия плазмы с поверхностью" (раздел 10.1); по программе "Университеты России" (1995-97 г.г.), а также пользовалась поддержкой грантов Госкомитета по делам науки, высшей школы и технической политики РФ (Санкт-Петербургский научный центр, 1992-93 г.г.; Ярославский политехнический институт, 1993-94 г.г., 1997 г.), гранта РФФИ (проект №00-02-17101), гранта Еи 1С15-СТ98-0805, индивидуального гранта 188ЕР (1994-99 г.г.).

Публикации и апробация работы. Основные положения, результаты и выводы работы докладывались и обсуждались на следующих конференциях, симпозиумах и семинарах: на постоянно действующем семинаре "Получение, исследование и применение низкотемпературной плазмы", ИНХС РАН; VI Всесоюзной конференции по физике низкотемпературной плазмы, Киев, 1979; III Всесоюзном симпозиуме по плазмохимии, Москва, 1979; X Сибирском совещании по спектроскопии, Томск, 1981; Х1Х-Всесоюзном съезде по спектроскопии, Томск, 1983;

IV Всесоюзном симпозиуме по плазмохимии, Днепропетровск, 1984;

Всесоюзном семинаре "Перспективы применения плазменной технологии в текстильной и легкой промышленности", Иваново, 1989; VIII Всесоюзной конференции по старению и стабилизации полимеров, Черноголовка, 1989; Всесоюзной научно-технической конференции "Физика и технология тонкопленочных полимерных систем": Ташкент, 1991; Международных симпозиумах по теоретической и прикладной плазмохимии (ISTAPC-91, ISTAPC-95), Рига (1991), Иваново (1995); П-Всесоюзной научно-технической конференции "Физика и технология тонкопленочных полимерных систем", Гомель, 1993; Международной конференции "Физика и техника плазмы", Минск, 1994; 12 Международном симпозиуме по плазмохимии, США, Миннеаполис, 1995; II Конгрессе химиков -текстильщиков и колористов «За возрождение Российского текстиля», Иваново, 1996; Международном симпозиуме Techtextile, Германия, Франкфурт на Майне, 1997; I Международной научно - технической конференция «Актуальные проблемы химии и химической технологии» (Химия-97), Иваново, 1997; Девятой школе по плазмохимии для молодых ученых России и стран СНГ, Иваново, 1999; 14 Международном симпозиуме по плазмохимии, Чехия, Прага, 1999; II Всероссийской конференции «Молекулярная физика неравновесных систем», Иваново, 1999.

По результатам диссертации опубликовано 57 работ. Из них 27 статей, 2 авторских свидетельства.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, 13 глав, выводов и библиографии. Общий объем диссертации составляет 286 страниц, включая 26 таблиц и 106 рисунков. Список литературы содержит 308 наименований.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Рыбкин, Владимир Владимирович

Основные результаты и выводы

В диссертации получены следующие основные результаты: I. Разработана самосогласованная модель плазмы разряда постоянного тока в кислороде, реагирующей с полимером, в условиях малого возмущения плазмы продуктами деструкции. Модель позволяет определить основные физико-химические параметры плазмы на основе задания внешних параметров разряда, таких, как ток разряда, давление, радиус реактора и температура его стенки. Модель представляет плазму в виде совокупности отдельных взаимосвязанных подсистем, выделенных по принципу общности физико-химических процессов, имеющих место в них и, как следствие, математического аппарата их описания. В качестве подсистем предложено рассматривать подсистему кинетики электронного газа, колебательной кинетики основного состояния, реакций образования и гибели заряженных частиц, кинетики реакций нейтральных частиц, тепловых источников и подсистему кинетики гетерогенных процессов. На основе собственных экспериментальных результатов, данных литературы и расчетов установлены наиболее существенные взаимосвязи между этими подсистемами, выяснено физико-химическое содержание каждой из них, которое позволяет объединить подсистемы для непротиворечивого анализа плазменной системы как целого. Для этого:

1) Получены экспериментальные данные, характеризующие различные подсистемы. Измерены напряженности электрических полей, газовые температуры, интенсивности излучения линий атомов кислорода и молекул 02(Ь1Её+), скорости диссоциации молекул 02 и времена жизни атомов, функции распределения электронов по энергиям, плотности потоков положительных ионов на стенку реактора, скорости образования газообразных продуктов и расходования кислорода при действии плазмы и ее послесвечения на такие полимерные материалы, как различные виды полиимидов, ПЭТФ и ткани на его основе.

2) Показано, что для формирования ФРЭЭ существенными являются столкновения электронов не только с 02((Х3Х„", У=0)), но и с атомами

0(3Р) и молекулами 02(а1Дё). Обоснован выбор набора сечений взаимодействия электронов с 02(Х3£ё").

Проанализировано распределение молекул 02(Х3£8") по колебательным уровням. Найдено, что эффективные колебательные температуры кардинально не отличаются от газовых. Поэтому в процессах с участием электронов достаточно учитывать их столкновения с 02((Х3£ё", У=0)). В то же время КВМ играют важную роль в механизме гибели состояния 02(а1Лё) и в нагреве газа.

Выяснены процессы, формирующие состав заряженных частиц плазмы. Показано, что положительные ионы образуются в результате ионизации электронным ударом 02(Х,Л) и

О(Т), а гибнут, рекомбинируя с электронами, на стенках реактора. Отрицательные ионы О" образуются в процессе диссоциативного прилипания электронов к молекулам 02(Х,Д), а гибнут в объеме в реакциях ассоциативного отрыва электрона с участием

•5

02(Д) и

О(Т). Ионы О" влияют на скорость гибели положительных ионов и электронов, влияя на поле объемного заряда.

Проанализированы реакции, определяющие состав основных нейтральных

3 11 частиц плазмы 02: атомов 0( Р), 0( Э), 0( 8), молекул 02(Д), 02(Ь). Предложены кинетические схемы, позволяющие определить не только концентрации этих частиц в согласии с опытом, но и согласующиеся с балансом энергии, вводимой в плазму. Это дало возможность рассчитать температуру газа. Результаты расчетов согласуются с опытом.

Для исследованных материалов показано, что процесс их плазмоокислительной деструкции обеспечивается атомами О(^Р). Определены константы скорости и вероятности этого процесса. Показано, что в зоне плазмы из-за ее активирующего действия соответствующие константы существенно больше, чем для зоны послесвечения. Предложены механизмы образования молекул С02, Н20 и Н2. Эти данные позволили установить взаимосвязь между скоростями образования атомов в плазме и скоростями гетерогенных процессов.

260

II. Исследованы стадии инициирования плазмоокислительной деструкции пленок ПЭТФ и ПИ КарШп. Показано, что в момент зажигания разряда химические реакции инициируются за счет энергии ВУФ излучения плазмы и энергии рекомбинации атомов. Это сопровождается отрывом водорода от макромолекул, а также распадом имидного цикла (ПИ) и сложноэфирной группировки (ПЭТФ) с образованием молекул СО и С02. По образующимся радикальным центрам присоединяются атомы

О(Т), приводя к образованию газообразных продуктов и образованию новых активных центров. Далее, до установления стационарного состояния, процесс развивается, проявляя черты как цепного, так и автокаталитического.

III. Созданы программы и разработаны алгоритмы решения уравнения Больцмана, уравнений колебательной кинетики, уравнений образования и гибели зарядов, уравнений химической кинетики и теплопроводности. Программы объединены в единый блок, позволяющий проводить как самосогласованный расчет неравновесной плазмы, так и использовать их в желаемой комбинации.

IV. Разработан новый оптико-спектральный метод, позволяющий контролировать скорости потерь массы полимерных материалов. Метод защищен авторским свидетельством.

Заключение

Полученные результаты приводят нас к выводу, что общая методика системного самосогласованного анализа физико-химических свойств низкотемпературной плазмы газового разряда постоянного тока может осуществляться по схеме, приведенной на рис. 10.3. Использование всех составляющих этой схемы позволяет рассчитать внутренние параметры плазмы на основе знания только внешних, задаваемых экспериментатором, параметров. В зависимости от задач и степени известности кинетических данных отдельные подсистемы могут быть и опущены (предельный случай - анализ единственной подсистемы). Естественно, что в этом случае часть величин, которые являются решением соответствующих подсистем, должны быть известны, например, из опыта. Уровень самосогласованности конечно становится ниже, а объем информации, который требуется для подтверждения надежности модели - возрастает.

Рис. 10.3. Схема системного самосогласованного анализа физико-химических свойств низкотемпературной плазмы газового разряда постоянного тока

Такого рода подход был успешно использован нами не только для анализа процессов в плазме кислорода, но и для плазмы воздуха [298], водорода [299], смесей азот- водород [300].

В приведенной схеме в подсистеме реакций нейтральных частиц в неявном виде содержится еще одна - подсистема гетерогенных реакций, которую в данном случае не имело смысла рассматривать отдельно, так как она представлена только

201 двумя относительно простыми реакциями - рекомбинации атомов и дезактивации молекул 02(Ь1Хё+). При наличии на стенке реагирующего полимера эта подсистема требует отдельного рассмотрения. Понятно, что гетерогенные реакции в общем случае должны влиять и на объемные свойства плазмы. Так, газообразные продукты изменяют условия формирования ФРЭЭ и баланса зарядов, что должно приводить к изменениям стационарного состояния плазмы, скоростей генерации активных частиц, скоростей гетерогенных процессов, скоростей образования газообразных продуктов и т.д. Можно представить себе случаи, когда новое стационарное состояние и не устанавливается. Для выяснения общих закономерностей процессов взаимодействия плазма-полимер на первом этапе естественно упростить ситуацию - проводить эксперимент в условиях пренебрежимо малого влияния реагирующего материала на свойства плазмы. Это можно сделать путем выбора размеров образца, контролируя при этом параметры плазмы. Все приводимые далее данные относятся к таким условиям. Размеры образцов выбирали таким образом, чтобы измеряемые интенсивности линий, напряженность электрического поля и температура газа без образца и с ним согласовывались в пределах точности их измерений. При этом удельные скорости образования газообразных продуктов не зависели от размеров обрабатываемого материала.

Глава 11. Результаты исследований стационарной кинетики образования газообразных продуктов и убыли массы

11.1. Характеристики исследованных материалов

В качестве объектов исследований использовались пленки толщиной 20-40 мкм ароматических полиимидных полимеров марки КарШп-Н, ДФО и РД (коммерческие названия), пленочный ПЭТФ (ГОСТ 24234-80) толщиной 50 мкм. Структура элементарных звеньев полимеров представлена ниже: Кар1:оп-Н

ПЭТФ о о

Пленка ПИ Kapton-H изготовлена фирмой Du Pont, а пленки марки ДФО и РД (другое название ДФО-Р) были изготовлены в НПО "Пластик" (г.Москва).

Необходимо отметить, что свойства двух последних полиимидов в отношении плазменного воздействия практически не изучены.

Список литературы диссертационного исследования доктор химических наук Рыбкин, Владимир Владимирович, 2000 год

1. Lefebre М., Pealat М., Taran J.P. Diagnostic of plasmas by CARS (coherent anti-Stokes Raman scattering) // Pure and Appl.Chem.- 1992,- V.64,№5.- P.685-689.

2. Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V. The experimental and theoretical investigation of low pressure DC discharge in pure oxygen // Proc.of ESCAMPIG96. Poprad, Slovakia, August 27-30.-Topic 3,- P.167-168.

3. Минаев Л.Э., Янковский В.А. Влияние неупругих процессов на нагрев газа в тлеющем разряде // Химическая физика.- 1983.- №9.- С. 1177-1180.

4. Gousset G., Panafieu P., Touzeau M., Vialle M. Experimental study of DC oxygen glow discharge by V.U.V. absorption spectroscopy // Plasma Chem.Plasma Proc.- 1987.-V.7, №4,- P.409-427.

5. Izod T.P.J., Wayne R.P. The reaction and deactivation of 02(b1Zg+)// Proc.Roy.Soc.-1968.-A308.-P.81-94.

6. Derwent R.G.,Thrush B.A. Measurements on 02!Ag and 02'Xg+ in discharge flow systems// Trans.Faraday Soc.-1971.-№7.-P.2036-2043.

7. Правилов A.M. Процессы фотораспада и рекомбинации с излучением в двухатомных молекулах, входящих в состав атмосферы// Химия плазмы. Сб.статей под ред. Б.М.Смирнова.М.:Энергоатомиздат.-1987.- В. 14.-С.65-102.

8. Harteck P., Reeves R.R. Formation and reactions of the excited 02(A32U+) molecules// Disc.Faraday Soc.-1964.-V.37.-P.82-86.

9. Пенкин Н.П., Смирнов B.B., Цыгир О.Д. Исследование электрокинетических характеристик и диссоциации молекул 02 в кислородном разряде // Журн.техн.физики.-1982.-Т.52,№8.-С.1546-1552.

10. Capitelli M., Dilonardo M. Non equilibrium vibrational populations and dissociation rates of oxygenium electrical discharges // J. Phys. Chem. -1978.-№30.-P.95-107.

11. Сергеев П. А., С ловецкий Д.И. Колебательное возбуждение и диссоциация молекул N2, H2, 02 в неравновесной плазме // Третий Всесоюзный симпозиум по плазмохимии.М.:Наука.-1979.-С.132-136.

12. Wong S.F. Boness M.J.W., Schulz G.J. Vibrational excitation of 02 by electron impact above 4 eV // Phys.Rev.Lett.-1973.-V.31, №16.-P.969-971.

13. Kiefer J.H. Effect of V-V transfer on the rate of diatomic dissociation // J.Chem.Phys.-1972.-V.57,№5.-P.1938-1956.

14. Cacciatore M., Capitelli M., Dilonardo M. Non equilibrium vibrational population and dissociation rates of oxygenium electrical discharge // Beitr.Plasmaphys.-1978.-Bd.l8,H.5.-S.279-299.

15. Mazek K., Ruzicka T., Laska L. Electron collision rates in oxygen glow discharge // Czech.J.Phys.-1978.-B28, №4.-P. 1321-1334.

16. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме// М.:Наука,1980- 310 С.

17. Webster H., Bair E.J. Ozone ultraviolet photolysis.IY.02*+0(3P) vibrational energy transfer// J.Chem.Phys.-1972.-V.56-P.6104-6108.

18. Rundle H.W., Gullespu K.A., Jelland R.M., Sova R., Deckers J.M. Chemical reactions in electrical discharges. III. The positive column in DC glow discharges through oxygen// Canad.J.Chem.-1966.-V.44, №24.-P.2995-3007.

19. Пенкин Н.П., Смирнов B.B., Цыгир О.Д. Исследование оптических и электрокинетических характеристик разряда в кислороде// V Всесоюзн.конф. по физике низкотемпературной плазмы. Тез.докладов.Киев.-1979.-Т.2.-С.456.

20. Басевич В.А., Когарко С.М. Выход атомов кислорода в разрядной трубке // ЖФХ.-1969.-Т.43, №9.-С.2381.

21. Costa M.D., Zuliani Р.А., Deckers J.M. Chemical reactions in glow discharge // Canad.J.Chem.-1979.-V.57, №5.-P.568-579.

22. Sabadil H., Biborosch L., Koebe D. Zur 02- Dissociation in der Gleichstromglimmentladung//Beitr.Plasmaphys.-1975.-Bd.l 5,H.6.-S.319-332.

23. Hermoch V. On the radial distribution of atoms in an oxygen glow discharge // Proc. 13-th Conf.Phenom.Ionized Gas. Berlin 1977.Contr.Paper.Part I.Leipzig.-1977.-P.251 -252.

24. Бровикова И.Н., Максимов А.И. Исследование диссоциации двухатомных молекул в плазме тлеющего разряда методом ЭПР// Третий Всесоюзный симп. по плазмохимии. М.:Наука.-1979.-С. 17-20.

25. Королева Е.А., Хворостовская А.Е. Коэффициенты дезактивации метастабильных атомов 0('D) и 0(1S) в тлеющем разряде в кислороде // Оптика и спектроскопия.-1973.-Т.35, В.1.-С.19-23.

26. Hake R.D., Phelps A.V. Momentum transfer and inelastic collision cross sections for electron in 02, CO and C02// Phys.Rev.A.-1967.-V.158, №1.-P.70-81.

27. Sabadil H. Zum Mechanismus der homogen positive Saule der SauerstoffNiederdruckentladung // Beitr.Plasmaphys.-1971.-Hl 1, Bd 1.-S.53-66.

28. Laska L.,Mazek K., Ruzicka T. Numerical analysis of glow discharge in oxygen // Czech.J.Phys.-l 979.-V.B29, №5 .-P.498-511.

29. Eliasson B.,Kodelschatz K.Electron impact dissociation in oxygen // J.Phys.B:At.Mol.Phys.-1986.-V.19, №8.-P. 1241-1247.

30. Клоповский K.C.,Попов A.M.,Рахимов A.T.,Рахимова T.B., Феоктистов В.А. Самосогласованная модель ВЧ разряда низкого давления в кислородной плазме // Физика плазмы,-1993.-Т. 19, В.7.-С.910-918.

31. Gousset G., Touzeau М., Vialle М., Ferreira С.М. Kinetic model of dc oxygen glow discharge // Plasma Chem.and Plasma Proc.-1989.-V.9, №2.-P. 189-206.

32. Gilmore F. Potential energy curves for N2, NO, 02 and corresponding ions // J.Quant.Spectr.and Radiat.Transfer.-1965.-V.5, №2.-P.369-389.

33. Кузьменко H.E., Кузнецова JI.A., Кузяков Ю.А. Факторы Франка-Кондона двухатомных молекул / М.: МГУ, 1984,- 344 С.

34. Zipf Е.С. Dissociation of Molecules by Electron Impact // Electron-Molecule Interaction Their Application. Academic Press.Inc.-1984.- V.I.- P.335-401.

35. Trajmar S., Williams W., Kupperman A. Angular Dependence of Electron Impact Excitation Cross Sections of 02 // J.Chem.Phys.-1972.- V.56, №8.-P.3759-3765.

36. Wakiya D. Differential and intergal cross sections from the ground state // J.Phys.B.1978.-V.l 1, №22.-P.3931-3938.

37. Wakiya D. Optically allowed transitions from the ground state // J.Phys.B.-1978.-V.l 1, №22.-P.3913-3930.

38. Бычков В.JT., Гордеев О.А. Сечения электрон-молекулярных столкновений, приводящих к диссоциации молекул, входящих в состав воздуха // Химическая физика. -1992.-T.il, №8.-С.1064-1074.

39. Lawton S.A., Phelps A.V.Excitation of the Ь.Б§+ state of 02 by low energy electrons // J.Chem.Phys. -1978.-V.69, №3,- P. 1055-1068.

40. Smith A.L.S., Austin J.M. Time Resolved Mass Spectrometry of Pulsed Electrical Discharge in Molecular Gases // Dyn.Mass.Spectr. -1975.-V4.-P.211-216.

41. Mazek K. Electron gas in discharge plasma in air // Czech. J.Phys.-1984.-V.B34, №7.-P.655-664.

42. Захаров Л.И., Клоповский K.C., Осипов А.П., Попов A.M., Половичева О.Б., Рахимова Т.В. Самородов В.А., Соколов А.П. Кинетика процессов возбужденных объемным самостоятельным разрядом в кислороде // Физика плазмы.-1988.-Т.14, В.З.-С.327-333.

43. Belie D.C., Hall R.I. Dissociative electron attachment from to metastable oxygen 02(a1Ag) state // J.Chem.Phys.-1973.-V.59, №9.-P.4922-4931.

44. Burrow P.D. Dissociative attachment from the 02(а'Д§) state // J.Chem.Phys-1973.-V.59, №9.-P.4922-4931.

45. Schulz G.L. Cross sections and electron affinity for O" ions from 02, CO and C02 by electron impact //Phys.Rev.-1962.-V.128, №1.-P. 178-187.

46. Rapp D., Briglia D. Total cross sections for ionization and attachment in gases by electron impact. II Negative ion formation // J.Chem.Phys.-1965.-V.43, №5.-P. 14801489.

47. O'Malley. Calculation of dissociative attachment in hot 02. // Phys.Rev.-1967.-V.155, №1.- P.59-63.

48. Sabadil H., Bachmann P., Kastelewicz H. Reactionskinetik der Ozonbildung in der Sauerstoffglimmentladung.// Beitr.Plasmaphys.-1980.-Bd.20,H4.-S.283-295.

49. Khakoo M.A., Newell W.R., Smith A.C.H. Electron impact excitation from alAg state of molecular oxygen // J.Phys.B.-1983.-V.16, №10.-P.317-322.

50. Khakoo M.A., Newell W.R., Toner W.T., Easom R.W. Electron impact excitation of atomic oxygen, molecular oxygen and excited molecular oxygen // Acta Phys. Pol. -1982.-V.A61, №6.-P.589-605.

51. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.:Атомиздат.-1974.-456 С.

52. Бровикова И.А., Шукуров A.JI. Исследование гетерогенных процессов в плазме 02 методом ЭПР // 2-й Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Материалы симпозиума. Иваново. 1995.-С. 120-121.

53. Veis P., Cernogora G., Magne L. A double pulse discharge techique for the study of oxygen recombination // Proc.of ESCAMPIG96. Poprad, Slovakia, August 27-30.-Topic 3.- P.255-256.

54. Антонов E.E., Пономаревич В.И. Измерение коэффициента гетерогеннойлрекомбинации свободных атомов кислорода 0( Р) на поверхности молибденового стекла//Химическая физика. -1990.-Т.9, №12.-С.1697-1701.

55. Brake М., Hinkle J., Asmussen I. Dissociation and recombination of oxygen atoms produced in microwave discharge, Part I // Plasma Chem. and Plasma Proc.-1983. -V.3, №l.-P.63-78.

56. Herron J.T., Schiff H.J. A mass spectrometric study of normal oxygen and oxygen subjected to electrical discharge // Canad.J.Chem.-1958.-V.36, №5.-P.l 159-1170.

57. Foner S.N., Hudson R.L. Metastable oxygen molecules producted by electrical discharges // J.Chem.Phys.-1956.-V.225, №3.-P.601-602.

58. Хворостовская Л.Э., Янковский В.Я. Экспериментальное исследование процессов с участием метастабильных атомов и молекул в тлеющем разряде в кислороде//Химическая физика.- 1984,- Т.З, №11.-С.1561-1571.

59. Таблицы физических величин: Справочник/ Под.ред. И.К.Кикоина.-М.Атомиздат. 1976. -1005С .

60. Морозов И.И., Темчин С.М. Кинетика реакций синглетного кислорода в газовой фазе / Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.:Энергоатомиздат.-1990.-В.16.-С.39-66.

61. Fehsenfeld F.C., Albritton D.L., Burt J.A., Schiff H.J. Associative-detachment reactions of O" and 02"by C^Ag) // Canad.J.Chem. -1969.- V.47, №10,- P.1793-1795.

62. Boisse-Laporte, Granier A., Matos-Ferreira C., Gousset G.,Maree J.,Toizeau M.,Vialle M. Diagnostics et modelization des decharges daus l'oxygen // Rev.Int.Hautes Temper. Refract., Fr.-1989.-V25, №3 .-P. 167-186.

63. Клоповский K.C., Ковалев K.C., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В. О роли колебательно-возбужденного озона в образовании синглетного кислорода в кислород-азотной плазме // Физика плазмы.-1992.-Т.18, В.2.-С.1606-1616.

64. Lopaev D.V. Vibrationally excited ozone in oxygen dc discharge, its influence on the discharge kinetics// 2-й Международный симпозиум по теорет. и прикл. плазмохимии.Материалы симпозиума.Иваново.-1995 .-С.83-90.

65. Kirulo M.J., Brawn W., Kalder A. Infrared laser enhanced reactions chemistry of vibrationally excited 03 with NO and 02(*Ag) // J.Photochem.-1974.-V.13, №l.-P.71-87.

66. Steinfeld J.J., Adler-Golden S.M., Gallagher J.M. Critical survey of data on the spectroscopy and kinetics of ozone in the messophere and themosphere // J. Phys. and Chem. Ref. Data. -1987.- V.16, №4. -P. 94-951.

67. Kenner R.D., Ogryzlo E.A., Wassell P.T. Excitation of green line in the night afterglow// Nature.-1981 .-V.291 .-P.398-399.

68. Young R.A., Black G. Deactivation of О('О) // J.Chem.Phys.-1967.-V.47, №7,-P.2311-2318.

69. Atkinson R., Welge K.H. Temperature dependence of 0(1S) deactivation by C02, 02, N2 and Ar // J.Chem.Phys.-1972.-V.57, №9.p.3689-3693.

70. Дворянкин A.H., Ибрагимов Л.Б., Кулагин Ю.А., Шелепин J1.A. Механизмы электронной релаксации в атомно-молекулярных средах. Химия плазмы ./Под ред. Б.М.Смирнова.М.:Энергоатомиздат.-1987. В. 14.- С.102-127.

71. Slanger T.G., Black G.Interactions of O^b1^) with 0(3P) and 03 // J.Chem.Phys.-1979.-V.70, №7.-P.3434-3443.

72. Максимов А. И. , Рыбкин В. В. Реакции образования и гибели метастабильного состояния 02(b1Eg+) в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде. //Журнал прикл. спектр.-1982.-Т. 37,В. 1-- С. 33-38.

73. Янковский В.Я., Хворостовская Л.Э. Роль конкурирующих процессовотушения атмосферной зеленой эмиссии ^=557,7 нм 01 атомами 0( Р) и молекулами 02(a1Ag) / Фотохимические процессы земной атмосферы. Под ред. И.К.Ларина. М.:Наука.-1990.-С.82-85.

74. Смирнов Б.М. Возбужденные атомы // М.: Энергоиздат. 1982.-232С.

75. Самойлович В.Г., Гибалов В.И., Козлов К.В. Физическая химия барьерного разряда.М.: МГУ.1989.-175С.

76. Хворостовская А.Е., Янковский В.А. О механизме образования озона в тлеющем разряде в молекулярном кислороде // Оптика и спектроскопия.-1973.-Т.35, В.З.-С.593-596.

77. Sabadil H.,Kastelewicz Н., Bachmann P. Formation and decomposition of 03 in oxygen glow discharge and in their afterglows // Proc.5th Symp.Plasma Chem. Edinburgh, 10-14 Aug., 1981, Symp.Proc.V.l.-P.456-460.

78. Brederlow G. Massenspectrometrische Untersuchungen der aus der positiven Saule von Sauerstoff glimmentladungen effundierenden und extrahierten Ladungstrager// Ann.Phys.-1960.-Bd.5, F.7, H.7-8.-S.414-428.

79. Keren H., Avivi P., Dothan F. Positive ion mass spectra of glow discharge in oxygen // Phys.Lett.-1976.-V.56 A, №2.- P.85-86.

80. Thomson J.B. Electron energy distribution in plasmas. IY. Oxygen and nitrogen // Proc.Roy.Soc.-1961.-A 262.-P.503-518.

81. Knewstub P.F., Dawson P.H., Tickner A.W. Mass spectrometry of ions in glow discharge. Y. Oxygen // J.Chem.Phys.-1963.-V.38, №4.-P.1031-1032.

82. Winstanley Lunt R., Gregg A.H. The occurence of negative ions in the glow discharge through oxygen and other gases // Trans.Faraday Soc.-1940.-V.36.-P. 10621073.

83. Lopaev D.V., Rulev G.B. Spatial distribution of negative ions in dc discharge plasma in pure 02 // Proc.of ESCAMPIG96. Poprad, Slovakia, August 27-30.-Topic 3,-P.79-80.

84. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии // М.: Наука.1981.-143С.

85. Новгородов М.З. Экспериментальные исследования электрических и оптических характеристик положительного столба тлеющего разряда в молекулярных газах // Труды ФИАН СССР. М.:Наука.1974.-Т.78.-С.60-118.

86. Демидов В.И., Колоколов Н.Б., Кудрявцев А. А. Зондовые методы исследования низкотемпературной плазмы // М.: Энергоатомиздат. 1996,- 240 С.

87. Rundle H.W., Clark D.R., Deckers J.M. Electron energy ditributiion functions in 02 glow discharge // Canad.J.Phys.-1973.-V.51, №2.-P. 144-148.

88. Kralikova В., Skala J. The Langmuir probe influence on the measurement of the electron energy distribution in 02 plasma // Czech.J.Phys.-1978.-V.B28, №9.p.985-988.

89. Пенкин Н.П., Цыгир О.Д. Исследование диссоциации кислорода в разряде // Вестник ЛГУ. -1973.-№16.-С.34-43.

90. Ivanov V.V., Klopovskiy K.S., Lopaev D.V., Muratov E.A., Popov A.M. The experimental and theoretical investigation of nonlocality effects of electron energeticspectrum in oxygen glow discharge // Proc.of ESCAMPIG96. Poprad,

91. Slovakia, August 27-30.-Topic 3.- P.121-123.

92. Исламов Р.Ш., Кочетов И.В., Певгов В.Г. Анализ процессов взаимодействия электронов с молекулой кислорода// Препринт Ш69.М.:ФИАН СССР. 1977.-21 С.

93. Kajita S., Ushiroda S., Kondo V. Influence of the dissociation process of oxygen on the electron's warm parameters in oxygen // J.Appl.Phys.-1990.-V.67, №9.-P.4015-4023.

94. Gousset G., Ferreira C.M., Pinheiro M., Sa P.A., Touzeau M., Vialle M., Loureiro J. Electron and heavy-particle kinetics in the low pressure oxygen positive column // J. Appl.Phys.-1991 .-V.21, №3.-P.290-300.

95. Gunterschulze A.Z. Vergleichende messung des anodenfalles und der optishen und elektrischen dicke des anodenfallgesietes in Beichtem und schweren Wasserstoff // Z.Phys.-1927.-H.42.-S.763.

96. Карулина Е.И., Лебедев Ю.А. О соотношении характеристик плазмы неравновесных самостоятельных разрядов СВЧ и постоянного тока // Сб.статей Плазмохимия -1991.М.:ИНХС АН СССР.-1991,- С.7-44.

97. Иванова Ю.А., Рытова Н.М., Солдатова И.В., Тимакин В.Н., Эпштейн И.Л. Тлеющий разряд в Аг+Н2. Эксперимент и математическое моделирование // Химия высоких энергий .-1988.-Т.22, №4,- С.363-368.

98. Волынец В.Н., Лукьянова A.B., Рахимов А.Г., Словецкий Д.И., Суетин Н.В. Моделирование положительного столба разряда постоянного тока в CF4// Физика плазмы .-1991.-Т. 17, В.2.-С.221-225.

99. Ferreira С.М., Gousset G. A consistent model of the low-pressure oxygen positive column// J.Appl.Phys.-1991.-V.24, №5.-P.775-778.

100. Gordiets В., Ferreira C.M. Surface and volume kinetics in a N2/02 low pressure glow discharge // 12th Int.Symp. on Plasma Chemistry. Proceedings. V. 1.1995.Minneapolis.USA.-P.445-450

101. Guerra V., Loureiro J. Self-consistent kinetic model for N2-02 DC glow discharge // 12th Int.Symp. on Plasma Chemistry. Proceedings. V.1.1995.Minneapolis.USA.-P.451-456.

102. Garscadden A., Nagral R. Non- equilibrium electronic and vibrational kinetics in H2-N2 and H2 discharges // Plasma Sources Sci.Techn.- 1995.- V.4.-P.268-280.

103. Myerson A.L. Exposure dependent surface recombination efficiencies of atomic oxygen // J.Chem.Phys.-1969.-V.50, №3.-P.1228-1234.

104. Ferreira C.M., Gousset G., Touzeau M. Quasi-neutral theory of positive columns in electronegative gases // J.Appl.Phys.-1988.-V.21, №9.-P.1403-1413.

105. Полиимиды новый класс термостойких полимеров/ Н.А. Адрова, М.И. Бессонов, J1.A. Лайус, А.П. Рудаков.- Л.: Наука, 1968,- 211 С.

106. Полиимиды класс термостойких полимеров/ М.И. Бессонов, М.М. Котон, В.В. Кудрявцев, Л.А. Лайус.- Л.: Наука, 1983.- 328 С.

107. Wilson A.M. Polyimide insulators for multilevel interconnections // Thin Solid Films.-1981.-V.83,- P.145-163.

108. Ferguson D.S. The energy dependence and surface morphology of Kapton degradation under atomic oxygen bombardment // 13th Space Simul.Conf., Orlando, Fla, Oct. 8-11, 1984.- Washington D.C., 1984,- P.205-221.

109. Технологическое применение низкотемпературной плазмы //Р.Оулет, М. Барбье, П. Черемиссинофф. Пер. с англ. М. : Энергоиздат, 1983. - 144 С.

110. Прогресс текстильной химии / Под ред. проф. Б.Н.Мельникова. -М.: Легпромбытиздат, 1989.- 240 С.

111. Мельников Б.Н., Блиничева И.Б., Максимов А.И. Перспективы применения плазменной технологии в текстильной промышленности. Обзорая информация. М.: ЦНИИЛегпром, 1985.- 47 С.

112. Горберг Б.Л., Максимов А.И., Мельников Б.Н. Место плазмохимической обработки в технологических процессах отделки текстильных материалов // В кн.: Новая техника и технология отделочного производства.- Иваново, 1984.- С.20-23.

113. Wertheimer M.R., Thomas H.R., Perri M.J., Klembtrg-Sapieha J.E., Martinu L. Plasmas and polymers: From laboratory to large scale commercialization // Pure and Appl. Chem.- 1995,- V.68, № 5,- P. 1047-1054.

114. Гильман А.Б., Потапов B.K. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов // Прикладная физика.-1995.-Вып.З-4.-С.14-21

115. Максимов А.И., Горберг Б. Л., Титов В.А. Возможности и проблемы плазменной обработки тканей и полимерных материалов // Текстильная химия. -1992.-№1.-С. 101-117.

116. Пономарев A.H., Василец B.H. Кинетика и механизм химического взаимодействия НТП с полимерами. Лекция // Материалы 9 Школы по плазмохимии для молодых ученых России и стран СНГ.- Иваново, Ив.гос.хим,-техн.ун-т., 1999.- С. 18-32.

117. Гильман А.Б. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов. Лекция // Материалы 9 Школы по плазмохимии для молодых ученых России и стран СНГ.- Иваново, Ив.гос.хим.-техн.ун-т., 1999.- С.54-66.о

118. Golub М.А., Wydeven Т. Reactions of atomic oxygen ( 0( P)) with various polymer films//Polym. Degrad. and Stabil.-1988.-V.22, № 4.-P. 325-338.

119. Cross J.H., LeMay M.W., McCluce D.J. Texturing of poly(ethyleneterephthalate) film surfaces by sputter etching// J. Vac. Sci.:Technol A3.-1985.-V.3, May/Jun.- P.495-498.

120. Friedrich J., Künn G!, Gähde J. Untersuchungen zur Plasmaätzung von Polymeren. Teil I: Strukturänderungen von Polymeren nach Plasmaätzung// Acta Polym.-1979.-B.30, № 8.-S. 470-477.

121. Friedrich J., Gähde J. Untersuchungen zur Plasmaätzung von Polymeren. Teil II. Einfluß der Plasmaparameter auf die Abbaugeschwindigkeit und die Freilegung übermolekularer Plymerstrukturen// Acta Polym. -1980.-B.31, №1 .-S.52-58.

122. Багиров М.А., Осколонов В.А., Волченков E.JL, Малин В.П., Абрамов В.Х. Исследование травления поверхности полимеров активированным кислородом// III Всесоюзн. Симп. по плазмохимии , Москва, 1979, Тез. докл.- М.: Наука, 1979, T.I.- С. 252.

123. Hansen R.H., Pascale J.V., De Benedictis T., Rentzepis P.M. Effect of atomic oxygen on polymers// J. Polym. Sci.-1965.-V.A3, № 6,- P. 2205-2214.

124. Lawton E.L. Oxidation of polymers by radiofrequency plasma// J. Polym. Sei. Al.-1972,- V.10, № 6.- P. 1857-1859.

125. Poll H.-U., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberflächen I. PlasmaPolymer Wechselwirkung // Acta Polym.-1980.-B. 31, № 12.-S. 757-766.

126. Гриневич В.И., Максимов А. И. Травление полимеров в низкотемпературной плазме/ В Сб. "Применение низкотемпературной плазмы в химии" под ред. JI.C. Полака .- М.: Наука, 1981, С. 135-169.

127. Шарнина JI.B. Разработка эффективных методов плазменной активации текстильных материалов.- Дисс. на соиск. ученой степени канд. хим. наук, Иваново, ИХТИ, 1990, 191с.

128. Митченко Ю.И., Фенин В.А., Чеголя A.C. Структурно-химические превращения полимеров, подвергнутых действию газового разряда// Высокомолекулярные соединения.- 1989.-А 31, № 2.-С. 369.

129. Urbanczyk G.W., Lipp-Symonowiez В. Einfluss von Nidertemperatur Plasma auf Feinstruktur und Anfärbarkeit von Polyesterfasern// Meli. Textil.- 1983.- В. 64, № 11.-S. 838-840.

130. Friedrich J., Loeschcke I., Frommelt H., Reiner H., Zimmermann H., Lütgen P. Ageing and degradation of poly(ethyleneterephthalate) in an oxygen plasma// Polym. Degrad. and Stab.-1991.-V.31, № l.-P. 97-114.

131. Липатов Ю.С., Безрук Л.И., Лебедев E.B., Гомза Ю.П. Влияние степени кристалличности полимеров на скорость их деструкции в плазме высокочастотного разряда// Высокомолекулярные соединения.-1974,- Б 16, № 5.- С. 328.

132. Баранова С.А., Грибанов С.А., Клюшкин В.Н., Пахомов П.М., Шаблыгин М.В., Геллер В.Э. Идентификация кристаллитов пакетной и складчатойморфологии в полиэтилентерефталате методом

133. ИК-спектроскопии// Высокомолекулярные соединения. 1980.- А 22, № 3,- С.536.

134. Till S.J., Brown A.G., Deshimukh V.G.I. Reactive ion etching of polyimide for multilevel resist and contact hole applications// Microelectronic Engineering.- 1985,-V.3, №1-4.- P.491-498.

135. Yeh J.T.C., Grebe K.R., Palmer M.J. Magnetic field enhanced reactive ion etching of polyimide//J. Vac. Sci Technol.- 1984,- V.A2, №3.- P.1292-1295.

136. Vanderlinde W.E., Ruaff A.L. Reactive ion beam etching of polyimide thin films// J.Vac.Sci Technol.- 1988.- V.A6, №6,- P. 1621-1625.

137. Robb F.Y. Hydrogen plasma etching of organics// Journ. Electrochem. Soc. -1984.- V.134, №7. P.1670-1674.

138. Shaw J., Hatzakis M., Paraszczak J. Organosilicon polymers for lithografic application//Polym. Eng. Sci.- 1983.- V.23, № 18.- P.1084.

139. Saotome Y., Gokan H., Saigo K. A silicon containing positive photoresist (SIPR) for bilaer system// Journ. Electrochem. Soc. 1985.- V.132, №4. - P.909-913.

140. Wydeven Т., Johnson C.C., Golub M.A. Plasma etching of polyN,N'-(p,p'-oxydiphenylene)pyromellitimide. film and photo/thermal degradation of etched and unetched film// American Chem. Soc. Symp. Ser.- 1979,- V.108.- P.299-314.

141. Полунин B.P., Станчула П.П., Закс М.Б. Исследование плазмохимического травления полиимидной пленки // Изв. Северо-Кавк. Научного центра высшей школы. Технические науки.- 1986.- №3(55).- С.113-116.

142. Herndon Т.О., Burke R.L., Landoch W.L. Plasma etching of vias in polyimide using non-errodible masks// Proc. 4th Symp.Plasma Proc., San-Francisko, Calif., May 813, 1983,- Pennigton, N.-Y.- 1983,- P.401-409.

143. Tzeng Y., Lin Т.Н., Belser M.A., Koppel T.B. Microwave plasma etching of photoresist and polyimide in air and oxygen // 7th Bien. Univ. Ind. Microelectron. Symp., Rochester.- N.-Y.- 1987.- P.155-160.

144. Lin Т.Н., Belser M., Tzeng Y. Pulsed microwave plasma etching of polymers in oxygen and nitrogen for microelectronic applications// IEEE Transections on Plasma Science.- 1988,- V.16, №6. -P.631-637.

145. Cook J.M., Benson B.W. Application of EPR spectroscopy to oxidative removal of organic materials// Journ. Electrochem. Soc. 1983.- V.130, №2. -P.2459-2467.

146. Мокроусов К.Я., Орликовский A.A. Исследование процесса травления ПММА в низкотемпературной плазме// Труды ИОФАН СССР.- 1987,- Т.8.- С. 115125.

147. Ferguson D.S. The energy dependence and surface morphology of Kapton degradation under atomic oxygen borbardment// 13th Space Simul.Conf., Orlando, Fla., Oct. 8-11, 1984,- Washington, D.C, 1984.- P.205-221.

148. Arnold G.S., Peplinski D.R. Reactions of atomic oxygen with polyimide films// AIAA Journal.- 1985.- V.23, №10,- P.1621-1626.

149. Knopf P.F., Martin R.L., Damman R.E., McCardo M. Correlation of laboratory and flight data for the effects of atomic oxygen on polymeric materials// AIAA Pap.-1985.-№1066,-IIP.

150. Nishikawa Т., Sonoda K., Nakamishi R. Effect of atomic oxygen on polymers used as surface materials for spacecrafts// Proc.21st Symp. Elec. Insul. Mater., 1988, Tokio.-1988,- P.191-194.

151. Wrobel A., Kryszewski M., Rakowski W. Effect of plasma treatment on surface structure and properties of polymer fabric// Polymer.- 1978.- V. 19, № 8.- P. 908-912.

152. Friedrich J. Polymere in nichtisothermen plasmen// Wiss. and Fortschr.-1986.-B.36, №12 .-S. 311-314.

153. Grevenstein E.,Jr. Mosher Arthur J. Reaction of atomic oxygen with aromatic hydrocarbons// J. Amer. Chem. Soc.- 1970,- V. 92, № 12.- P. 3810-3812.

154. Gaffney J.S., Atrinson R., Pitts J.N.,Jr. Reaction of 0( P) atoms with toluene and 1 -methylcyclohexene// J. Amer. Chem. Soc.-1976.- V. 98, № 7,- P. 1828-1832.

155. Tezuka M., Yajima Т., Tsuchiya A. Direct hydroxylation of aromatic compounds in an RF plasma// Chem. Lett.-1982.-№ 9,- P. 1437-1438.

156. Friedrich J., Gähde J., Frommelt H., Wittrich H. Modifizierung von Feststoffoberflächen in einer HF-Entladung unter dem Aspekt der Haftvermittlung . Teil III: Plasmachemisches Aufbringen funktioneller Gruppen und selektiver Plasma

157. Abbau teilkristalliner Polymere// Faserforsch, und Textiltechnik Z.1976,- B.27, №11.- S. 604-608.

158. Yasuda H., Marsh H.C., Brandt S.,Reilley C.N. ESCA study of polymer surfaces treated by plasma// J.Polym. Sei.: Polym. Chem. Edit.-1977.-V.15, № 2,- P. 991-1019.

159. Friedrich J., Loeschcke I., Richter К., Lütgen P. Sekundäre Reaktionen plasmabehandelter Polyethylenterephthalat-proben mit luftstickstoff// Z. Chem.-1990.-B. 30, № 5.- S. 177-178.

160. Yasuda T., Okuno T., Yoshida K. A study of surface dynamics of polymers II. Investigations by plasma surface implantation of fluorine-containing moieties// J. Polym. Sci.:Part B: Polym.Phys.-1988.-V.26, № 8,- P. 1781-1794.

161. Yasuda H. Plasma for modification of polymer//J. Macromol. Sei.: Chem.-1976.-V. 10, №3.- P. 383-420.

162. Jahagirdar C.J., Venkatarrishnan S. Antisoiling of polyester (PET) by a novel method of plasma treatments and its evaluation by color measurement// J. Appl. Polym. Sci.-1990.-V. 41, № 1-2,- P. 117-128.

163. Wakida T., Takeda K., Tanaka J., Takagishi T. Free Radicals in cellulose fibers treated with low temperature plasma// Text. Res. J.-1989.-V. 59, № l.-P. 49-53.

164. Wakida T., Takeda K., Kawamura H., Tanaka J., Takagishi T. ESR spectra of fibers treated with low temperature plasma// Chem. Express.-1987.-V. 2, № 1 l.-P.711-714.

165. Poll H.-U., Kleemann R., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberflächen II. Entstehung freier radikale durch einwirkung einer Glimmentladung// Acta Polym.-1981.-V. 32, № 3.-S. 139-143.

166. Митченко Ю.И., Фенин B.A., Чеголя A.C. Образование активных центров при модифицировании волокон газовым разрядом// Химические волокна.-1989.- № 1.-С. 35.

167. Egitto F.G., Emmi F., Horwath R.S., Vucanovic V. Plasma etching of organic materials. I. Polyimide in 02-CF4// J. Vac. Sei. Technol.- 1985,- V.B3, №3,- P.893-904.

168. Kogoma M., Turban G. Mechanism of etching and surface modification of polyimide in RF and LF SF6-02 discharges// Plasma Chem. and Plasma Proc.- 1986.-V.6, №4,- P.349-380.

169. Mukkavilli S., Pasco R.W., Faroog M.S., Griffin M.J. Plasmathprocesses for thin film surface treatment// 40 Electron. Compon. And Technol. Conf., Las Vegas, May 20-23, 1990,- N.-Y.- 1990,- P.737-745.

170. Golub M.A., Wydeven Т., Cormia R.D. ESCA study of Kapton exposed to atomic oxygen in Low Earth Orbit or downstream from a radio-freaquency oxygen plasma// Polym. Commun.- 1988,- V.29, №10.- P.285-288.

171. Гильман А.Б., Драчев А.И., Кузнецов A.A., Лопухова Г.В., Павлов С.А., Потапов В.К. Влияние зарядовых состояний на смачиваемость полиимидных пленок, модифицированных в плазме тлеющего НЧ-разряда // Химия высоких энергий.- 1996.- Т.30, №5,- С.373-376.

172. Гильман А.Б., Шифрина P.P., Потапов В.К., Тузов Л.С., Ветерская А.Э., Григорьева Г.А. Изменение свойств и структуры поверхности полиимида под воздействием тлеющего разряда // Химия высоких энергий,- 1993,- Т.27, №2.- С.79-83.

173. Гриневич В.И., Максимов А.И. Исследования действия низкотемпературной плазмы на поверхность полиэтилена // Химия высоких энергий.- 1982,- Т. 16, №6.-С.547-550.

174. Денисов Е.Т. Окисление и деструкция карбоцепных полимеров.- Л.: Химия, 1990.-288 С.

175. Рэнби Б., Рабек Я. Фотодеструкция, фотоокисление, фотостабилизация полимеров. М.: Мир, 1978.- 675 С.

176. Hollander A., Klemberg-Sapieha J.E., Wertheimer M.R. The influence of vacuum-ultraviolet radiation on poly(ethylene terephthalate) // J. Polym.Sci.-1996.- V.34.-P.1511-1516.

177. Momose Y., Ikanowa K., Sato Т., Okazaki S. XPS and ESR studies of the photodegradation of polyamidoimide and polyimide in 02, 02+N2, N2 and vacuum atmosphere // J. Appl. Polym. Sci. 1987.- V.33, №8.- P.2715-1729.

178. Шляпников Ю.А., Кирюшкин С.Г., Марьин А.П. Антиокислительная стабилизация полимеров.- М.: Химия.- 1986.- 256 С.

179. Дорофеев Ю.И., Скурат В.Е. Фотохимические процессы под действием вакуумного ультрафиолетового излучения. Итоги науки и техники. Серия радиационная химия. Фотохимия .- М.: ВИНИТИ.- 1983.- Т.З.- 178 С.

180. Day М., Wiles D.M. Photochemical decomposition mechanism of poly(ethyleneterephthalate)// J. Polym. Sci.- 1971,- V. 9B, № 9.- P. 665-669.

181. Marcotte F.B., Campbell D., Cleaveland J.A., Turner D.T. Photolysis of poly(ethyleneterephthalate)// J. Polym. Sci.- 1967.- Part A 1, V. 5, № 3. p. 481-501.

182. Stephenson С.V., Moses B.C., Wilcox W.S. Ultraviolet irradiation of plastics. I. Degradation of physical properties// J. Polym. Sci.-1961.-V.55,- P. 451-464.

183. Stephenson C.V., Wilcox W.S. Ultraviolet irradiation of plastics. IV. Further studies of environmental effects on film and fibers// J. Polym. Sci.-1963.- V. 1A.- P. 2741-2752.

184. Hollander A., Behnish J. Vacuum-ultraviolet photolysis of polymers// Surface and Coatings Tech. 1998,- V.98.- P.855-858.

185. Osborn K.R. The photolysis of polyethyleneterephthalate// J. Polym. Sci.-1959.-V. 38, №8,-P. 357-367.

186. Савчук T.M., Неверов A.H. Влияние ориентации и кристалличности полиэтилентерефталата на его устойчивость к фотоокислению// Высокомолекулярные соединения.- 1982,- 24, № 5.- С. 1009.

187. Stephenson C.V., Wilcox W.S. Ultraviolet irradiation of plastics. III. Decomposition products and mechanisms// J. Polym. Sci.-1961.- V. 55.- P. 477-488.

188. Iliskovic N. Fotorazgranja poly(etilenetereflalata)// Plast i guma.- 1989,- V. 9, № 4.- S. 174.

189. Pacifici J.G., Straley J.M. Photolysis of terephthalate polyesters: hydroxylation of the aromatic nuclei// J. Polym. Sci.- 1969.- V. 7B, № i. p. 7.9.

190. Stephenson C.V., Moses B.C., Burks.E., J.R., Coburn W.C., J.R., Wilcox W.S. Ultraviolet irradiation of plastics. II. Crosslinking and scission// J. Polym. Sci.-1961,- V. 55,-P. 465-475.

191. Петухов Б.В. Полиэфирные волокна. M.: Химия, 1976.

192. Бриксон Б.Р., Фрейманис Я.Ф. О причинах окраски ароматических полиимидов// ВМС,- 1970,- Т.А12, №1.- С.69-72.

193. Каган Г.И., Кособуцкий В.А., Беляев В.К., Тараканов О.Г. Квантовохимнческое исследование олигомерных гетероароматических соединений//Химия гетероцикл. соед,- 1972,- №8.- С.1043-1056.

194. Котов Б.В., Гордина Т.А., Воищев B.C. Ароматические полиимиды как комплексы с переносом заряда// ВМС.- 1977.- Т.А19, №3.- С.614-618.

195. George М.А., Ramakrishna B.L., Glaunsinger W.S. Paramagnetic resonance investigation of free radicals in polyimide films// J. Phys. Chem.- 1990.- V.94, №12.-P.5159-5164.

196. Рот Г.-К., Келлер Ф., Шнайдер X. Радиоспектроскопия полимеров.-M.: МирД987.-380 С.

197. Окабе X. Фотохимия малых молекул. -М.: Мир, 1981. -500 С.

198. Валиев К.А., Беликов J1.B., Дорофеев Ю.А. Кинетика и механизм фототравления полиметилметакрилата в вакууме и в присутствии кислорода под действием вакуумного ультрафиолетового излучения// Поверхность. Физика, химия, механика.- 1985.- №6. С.86-95.

199. Editto F.D. Plasma etching and modification of organic polymers// Pure and Appl. Chem.-1990.-V.62, № 9.-P. 1699-1708.

200. MacCallum J.R., Rankin C.T. Reaction of excited oxygen species with polymer films// Macromol.Chem.- 1974,- V.175.- P.2477-2482.

201. Иванов Ю.А., Полак JI.C. Энергетическое распределение электронов в низкотемпературной плазме/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат.-1975.-В.2.- С.161-198.

202. Виноградов Г.К., Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А. О контактных методах диагностики низкотемпературной плазмы/ Плазмохимические реакции и процессы. Под ред. Л.С.Полака. М.: Наука.-1977.-С.108-134.

203. Шотт Л. Методы диагностики плазмы/ М.: Мир.- 1971.- 552 С.

204. Branner G.R., Friar Е.М., Medicus G. Automatic plotting device for the second derivative of Langmuir probe curve// Rev.Sci.Instr.- 1963.- V.34,№3.-P.231-237.

205. Amemiya H., Shimizu K. Comparison of the methods for measuring the energy distribution function in plasma// Japan J. Appl. Rhys.- 1974.- V.13, № 6,- P.1035-1036.

206. Wiesemann К. On the influence of fluctuations on the measurement of the electron distribution function in plasma by Langmuir probes// Phys.Lett.- 1967.-V.25A, №9.- P.701-702.

207. Благоев А.Б., Каган Ю.М., Колоколов Н.Б., Лягущенко Р.И. Влияние конечной амплитуды дифференцирующего сигнала на измерение функции распределения электронов методом модуляции зондового тока// Журнал техн.физики.- 1975.- Т.45, В.З.- С.579-585.

208. Amemiya Н. A method for obtaining true energy distribution function in a gas plasma// Japan J.Appl.Phys.- 1976,- V.15, № 9,- P.1767-1771.

209. Luijendijk S.C., Eck J. Comparison of three devices for measuring the second derivative of a Langmuir probe curve// Physika.- 1967.- V.36,№1.- P.49-60.

210. Berger E., Heisen A. The determination of electron energy distributions in discharges with secondary plasma parts// J.Appl.Phys.- 1975,- V.8,№6.- P.629-639.

211. Луковников A.M., Новгородов М.З. Об искажении функции распределения электронов по энергиям, измеряемой цилиндрическим зондом// Краткие сообщения по физики ФИАН СССР.- 1971,- №1.- С.27-34.

212. Иванов Ю.А., Карабашев И.Н., Полак Л.С. Пространственная релаксация энергетического распределения электронов в положительном столбе тлеющего разряда в азоте/ Сб.статей под ред Л.С.Полака. М.: Ин-т нефтехимического синтеза АН СССР.- 1974,- С.434.

213. Довженко В.А., Ершов А.П., Солнцев Г.С. О влиянии ионного тока на измерения функции распределения электронов по энергиям методом второй производной// Журнал техн. физики.- 1974.- Т.44, № 4.- С.851-854.

214. Карашева Т.Т. Допплеровское уширение спектральных линий и распределение возбужденных молекул по скоростям в неравновесной плазме/ Электронно-возбужденные молекулы в неравновесной плазме. Труды ФИАН СССР.М.: Наука,- 1985.- С.124-186.

215. Герцберг Г. Спектры и строение двухатомных молекул/ М.: Иностр.лит-ра.-1949.- 404С.

216. Русанов В.Д., Фридман А.А. Физика химически активной плазмы/ М.: Наука,- 1984,- С.78.

217. Noxon J.F. Optical emission from 0(!D) and O^b'Zg) in ultra violet photolysis of 02 and C02// J.Chem.Phys.- 1970.- V.52, №4,- P. 1852-1873.

218. Gilpin R., Schiff H.J., Welge K.H. Photodissociation of 03 in the Hartley band. Reaction of O^D) and 02(b1Eg+) with 03 and 02 // J.Chem.Phys.- 1971.- V.55, № 3,-P.1087-1093.

219. Slanger T.G. Vibrational excitation of 02(b1Sg4) // Can.J.Phys.-1986.-V.64, №12,-P.1657-1663.

220. Burch D.E., Gryvnak D.A.Strengths, wigths and shapes of the oxygen lines near 13000 cm1 (7620 A0) // Appl.Optics.- 1979.- V.8, № 7.- P. 1493-1499.

221. Максимов А.И., Сергиенко А.Ф., Словецкий Д.И. Измерение температуры газа в тлеющем разряде термопарным методом // Физика плазмы.- 1978.- Т.4, В.2.-С.347-351.

222. Варгафтик Н.Б. Справочник по теплофизическим свойствам газов и жидкостей/ М.: Физматгиз.- 1963.- 708 С.

223. Poll H.U., Meitchsuer J. Partial cross-sections for dissociative ionization of fluorinated compounds by electron impact // Contrib.Plasma Phys.- 1987.- V.27, № 5.-P.359-372.

224. Stephan K., Deutsch H., Mark T.D. Absolute partial and total electron impact ionization cross-section for CF4 from threshold up to 180 eV // J.Chem.Phys.- 1985.-V.83,№ 11.- P.5712-5720.

225. Deutsch H., Scheier P., Mark T.D. Calculation of electron impact ionization cross-sections. The fluorine anomaly // Int.J.Mass.Spectr.Ion Proc.- 1985.- V.74, № 1.- P.81-95.

226. Тихонов A.H., Самарский A.A. Уравнения математической физики/ М.: Издательство технико-теоретической лит-ры.- 1953.- 680 С.

227. Pfau S., Rutsher A., Wojaczek К. Das Ahnlichkeitsgesetz fur quasineutrale anisotherme Entladungassaule // Beitr. Plasma Phys.- 1969.- Bd.9, H 4.- S.333-358.

228. Гордиец Б., Жданок С. Аналитическое описание колебательной кинетики ангармонических осцилляторов/ Неравновесная колебательная кинетики. Под ред. М.Капителли. М.: Мир.-1989,- С.61-103.

229. Физические величины. Справочник/ Под ред. И.С.Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Атомиздат.- 1991.- С.1232.

230. Елецкий A.B., Палкина JI.A., Смирнов Б.М. Явления переноса в слабоионизованной плазме/М.:Атомиздат.- 1975.- С. 119.

231. Мак-Даниэль И., Мэзон Э. Подвижность и диффузия ионов в газах/ М.: Мир,1976. -422 С.

232. Современные численные методы решения обыкновенных дифференциальных уравнений/ Под ред. Дж.Холла и Дж. Уайта.- М.: Мир.- 1979.312 С.

233. Полак JI.C., Гольденберг М.Я., Левицкий A.A. Вычислительные методы в химической кинетике / М.: Наука.- 1984.- С.280.

234. Калиткин H.H. Численные методы/ М.: Наука.- 1978.- 512 С.

235. Rapp D., Briglia D. Total cross sections for ionization and attachment in gases by electron impact.I Positive ionization // J.Chem.Phys.- 1965.- V.43, №5.- P.1464-1479.

236. Itikawa Y., Ichimura A., Onda К., Sakimoto К., Takayanagi К. Cross sections for collisions of electrons and photons with oxygen molecules // J.Phys.Chem.Ref.Data.-1989.- Y.18, №1.- P.23-42.

237. Фриш С.Э., Бочкова О.П. Методы определения вероятностей переходов и заселенностей уровней по реабсорбции излучения // Вестник ЛГУ.- 1961.-№16.-С.40-58.

238. Касабов Г.А., Елисеев В.В. Спектроскопические таблицы для низкотемпературной плазмы.-М.: Атомиздат, 1973.- 361 С.

239. Inn E.C.Y., Tanaka Y. Absorption coefficient of ozone in the ultraviolet // J.Opt.Soc.America.- 1953,- V.43, №4.- P.329-330.

240. Хаксли Л., Кромптон P. Диффузия и дрейф электронов в газах / М.: Мир,1977.-672 С.

241. Gallagher J.W., Beaty E.C., Dutton J. An annotated compilation and appraisal of electron swarm data in electronegative gases // J.Phys.Chem.Ref.Data.-1983,- V.12,№1.- P. 109-152.

242. Chanin L.M., Phelps A.V., Biondi M.A. Measurement of the attachment of slow electrons in oxygen // Phys.Rev.Lett.- 1959,- V.2, №8,- P. 344-346.

243. Prasad A.N., Graggs J.D. Electron attachment in oxygen // Int.J.Electron.- 1965,-V.19, №l.-P.69-74.

244. Price D.A., Lucas J., Moruzzi J.L. Current grouth in oxygen // J.Appl.Phys.- 1973.-V.6, №12.-P.1514-1524.

245. Wagner K.H. Ionization, electron attachment-detachment and charge-transfer in oxygen and air // Z.Physik.- 1971.- V.241, №3,- P.258-270.

246. Sukhum N., Prasad A.N., Graggs J.D. Electron attachment and detachment in oxygen // J.Appl.Phys.- 1967.- V.18, №6.-P.785-792.

247. Price D.A., Moruzzi J.L. Ionization in mixtures of oxygen and carbon monoxide // J.Appl.Phys.-1973 .-V.6, №2,- P. 17-19.

248. Corbin R.J., Fromhold L. Electron avalancies in oxygen and in mixtures of 02 and H2. Determination of the first Townsend coefficient a // Phys.Rev.A.-1974.- V.10, №6.-P.2273-2279.

249. Tachibana K., Phelps A.Y. Excitation of the 02(a1Ag) state by low energy electrons // J.Chem.Phys.-1981.- V.75, №7.- P.3315-3320.

250. Shimamura I. Cross-sections for collisions of electrons with atoms and molecules // Sci.Papers.I.P.C.R.- 1988,- V.82.- P.l-51.

251. Trajmar S., Cartwright D.C., Williams W. Differential and integral cross sections for the electron-impact excitation of a'A„ and b'S+g states of 02 // Phys.Rev.A.- 1971.-V.4,№4.-P. 1482-1492.

252. Garret B.C., Redmon L.T., McCurdy C.W., Redmon W.J. Electronic excitation and dissociation of 02 and S2 by electron impact // Phys Rev.- 1985.-V.32, №6.-P.3366-3375.

253. Mark T.D. Cross sections for single and double ionization of N2 and 02 molecules by electron impact from threshold up to 170 eV // J.Chem.Phys.- 1975.-V.63, №9.-P.3731-3737.

254. Tate J.I., Smith R.T. The efficiences of ionization and ionization potentials of various gases under electron impact // Phys.Rev.-1932.-V.39, №1.-P.270-277.

255. Laher R.R., Gilmore F.R. Update excitation and ionization cross sections for electron impact on atomic oxygen // J.Phys.Chem.Ref.Data.-1990.-V.19, №1.- P.277-304.

256. Зеленов B.B., Кукуй A.C., Додонов А.Ф., Тальрозе B.JI. Масс-спектрометрическое исследование элементарных газоразрядных реакций в системе Н+02+03. Образование синглетного кислорода // Химическая физика.- 1989.-Т.8, №3.-С.383-394.

257. Hall R.I., Trajmar S. Scattering of 4.5 eV electrons by ground (X3XTg) state and metastable (a^g) oxygen molecules // J.Phys.B: Atom and Mol.Phys.-1975.-V.8, №12.-P.293-296.

258. Кузнецова Jl.А., Кузьменко H.E., Кузяков Ю.Я., Пластинин Ю.А. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул/ М.: Наука.- 1980.-320 С.

259. Гершензон Ю.М., Розенштейн В.Б., Уманский С.Я. Гетерогенная релаксация колебательной энергии молекул/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат.-1977.- В.4.- С.61-97.

260. Хьюбер К.П., Герцберг Г. Константы двухатомных молекул / М.: Мир.-1984,- 366 С.

261. Wack М.Е. Frank-Condon factor for the ionization of CO, NO, and 02 // J.Chem.Phys.- 1964,- V.41, №4,- P.930-936.

262. Rapp D., Englander-Golden P., Briglia D. Cross sections for dissociative ionization of molecules by electron impact // J.Chem.Phys.- 1965.- V.42, №12.- P.4081.

263. Burch D.C., Geballe R. Clustering of negative ions in oxygen // Phys.Rev.- 1957.-V.106, №2.- P.188-190.

264. Ferguson E.E., Fehsenfeld F.C., Schmeltekopf A.L. Ion-molecule reaction rates measured in discharge afterglow // Adv.Chem.- Series(80)-Am.Chem.Soc.-Washington: DC.- 1969,- P.83-91.

265. Вирин Л.И., Джагаспанян P.B., Караченцев Г.В., Потапов В.К., Тальрозе В.Л. Ионно-молекулярные реакции в газах// М.: Наука.- 1979.- 548 С.

266. Stockdale J .A., Nelson D.K., Davis F.J., Compton R.N. Studies of electron impact excitation, negative ion formation and ion-molecules reactions // J.Chem.Phys.- 1972.- V.56, №7.- P.3336-3341.

267. Fehsenfeld F.C., Ferguson E.E., Bohme D.C. Additional flowing afterglow measurements of negative-ion reactions of D-region interest // Planet.Space Sci.- 1969.-V.17.- P.1759-1762.

268. Schofield K. An evalution of kinetic rate data for reactions of neutrals of atmospheric interest // Planet.Space Sci.- 1967.- V.15.- P.643-649.

269. Niles F.E. Airlike discharge with C02, NO, N02 and N20 as impurities // J.Chem.Phys.- 1970.- V.52, №1,- 408-424.

270. Fehsenfeld F.C., Ferguson E.E., Schmeltekopf A.L. Thermal energy associative detachment reactions of negative ions // J.Chem.Phys. 1966.- V.45, №5,- P. 1844-1845.

271. Moruzzi J.L., Ekin J., Phelps A.V. Electron product by associative detachment of O" ions with NO, CO and H2 // J.Chem.Phys.- 1968.- V.48, №7,- P.3070-3076.

272. Tisone G.L., Branscomb L.M. Detachment of electrons from H" and O" negative ions by electron impact // Phys.Rev. -1968.- V.170, №1,- P.169-183.

273. Bell A.T. Concentrations of atoms and negative ions of oxygen in drift tubes and high-frequency electric discharges // Ind.& Eng.Chem.Found.- 1971,- V.10.- P.373-379.

274. Phelps A.V. Laboratory studies of electron attachment and detachment processes of aeronomic interest // Canad.J.Chem.- 1969.- V.47, №10,- P.1783-1793.

275. Olson R.E., Peterson J.R. Ion-ion recombination cross sections atomic species // J.Chem.Phys.- 1970,- V.53, №9.- P.3351-3397.

276. Olson R.E. Absorbing-sphere model for calculating ion-ion recombination total cross-sections // J.Chem.Phys.- 1972,- V.56.- P.2979.

277. Aberth W.H., Peterson J.R. Ion-ion mutial neutralization cross sections measured by superimposed beam technique // Phys.Rev.- I960.- V.l, №1,- P.158-165.

278. McGovan S. Ion-ion recombination coefficient. II Measurements in oxygen-nitrogen mixtures // Canad.J.Phys.- 1967,- V.45, №2,- P.439-448.

279. Dunkin D.B., , Fehsenfeld F.C., Schmeltekopf A.L., Ferguson E.E. Ion-molecule reactions studies from 300 to 600 °K in temperature-controlled flowing afterglow system //J.Chem.Phys. 1968.- V.49, №3,- P. 1365-1371.

280. Zinn J., Sutherland C.D., Stone S.N., Dunkan L.M. Ionospheric effects of rocket exhaust products-NEAO-C,Skylab // J.Atmosph.Terr.Phys.- 1982,- V.44, №12.-P.1143-1171.

281. Stebbings R.F., Smith A.C., Gilbody H.B. Charge transfer between some atmospheric ions and atomic oxygen // J.Chem.Phys.- 1963.- V.38, №9.- P.2280-2284.

282. Cermak V., Herman Z. Reakce ionitis molekulai N2,02,C0,S02,C02,C0S a CS2 // Jaderna Energie.- I960.- V.6.- P.347.

283. Good A., Durden D.A., Kebarle P. Mechanism and rate constants of ion-molecule reactions leading to formation of H+(H20)n in moist oxygen and air // J.Chem.Phys.-1970.- V.52, №1.- P.222-233.

284. Durden D.A., Kebarle P., Good A. Thermal ion-molecule reaction rate constant at pressure up to 10 Torr with pulsed masspectrometer. Reactions in methane, krypton, and oxygen // J.Chem.Phys.- 1969,- V.50, №2,- P.805-813.

285. Козлов В.И., Власов B.A., Смирнова H.B. Специализированная агрономическая модель для исследований искусственной модификации средней атмосферы и нижней ионосферы // Космич.исслед.- 1988.- Т.26, №5.- С.738-745.

286. Кочетов И.В. Расчет физических процессов в электроразрядных лазерах на окиси углерода: Дис.работа на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук,-Москва, МФТИ, 1977.- 156 С.

287. Запесочный И.П., Фельцан П.В. О сечениях возбуждения 2р-уровней аргона, криптона и ксенона // Оптика и спектроскопия.- 1966.- В.З, №20.- С.521-522.

288. Becher К.Н., Groth W., Schurath U. Reaction of O^Ag) with ozone // Chem.Phys.Lett.- 1972.- V.14, №4,- P.489-492.

289. Slanger T.G., Black G. The product channels in the quenching of O('S) by 02(a1Ag) // J.Chem.Phys.- 1981,- V.75, №5,- P.2247-2251.

290. Kenner R.D., Ogryzlo E.A. Deactivation of 02(A3Zu+) by 02, О and Ar // Intern. J.Chem. Kinet.-1980.- V.12, №7.- P.502-508.

291. Arnold J., Comes F.J. Photolysis of ozone in ultraviolet region: Reactions of 0(JD), O^Ag) and 02* // J.Chem.Phys.- 1980,- V.47, №1,- P.125-130.

292. Slanger T.G., Black G. OC'S) quenching by 0(3P) // J.Chem.Phys.- 1976.- V.64, №9,- P.3763-3766.

293. Бровикова И.Н., Галиаскаров Э.Г., Рыбкин B.B., Бессараб А.Б. Кинетические характеристики образования и гибели атомов водорода в положительном столбе тлеющего разряда в Н2 // Теплофизика высоких температур.- 1998,- Т.36, №5.-С.706-711.

294. Бровикова И.Н., Галиаскаров Э.Г., Рыбкин В.В., Бессараб А.Б. Кинетические характеристики образования и гибели атомов водорода в положительном столбе тлеющего разряда в плазме H2-N2 // Теплофизика высоких температур,- 1998.- Т.36, №6.- С.865-869.

295. Энциклопедия полимеров. М.:Советская энциклопедия.-1977.-С.107.

296. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Параметры атомов и атомных ионов. Справочник М.: Энергоатомиздат, 1986,- 344 с.

297. Greaves J.C., Linnet J.W. The kinetics of the recombination of oxygen atoms at a glass surface//Trans.Faraday Soc. 1958.- V.54,№9.- P.1323-1330.

298. Greaves J.C., Linnet J.W. The recombination of oxygen atoms at solt and oxide surfaces// Trans.Faraday Soc. 1958,- V.55,№8.- P. 1346-1364.

299. Wertheimer M.R., Fozza A.C., Hollander A. Industrial processing of polymers by low-pressure plasmas: the role od VUV radiation// Nuclear Instr. and Methods in Phys.Res.B.-1999.-V. 151 .-P.65-67.

300. Friedrich J., Loeschcke I., Frommelt H. Ageing and degradation of poly(ethylene terephthalate) in an oxygen plasma// Polym. Degr. And Stab.- 1991.-V.31,№1.- P.97-114.

301. Данилин B.C., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов.- М.: Атомиздат, 1974.- 455 С.

302. Claydon C.R., Segal G.A., Taylor H.S. Theoretical interpretation of the optical and electron scattering spectra of H20// J. Chem. Phys. 1971.- V.54.- P.3799-3816.