Физические и технологические основы разработки акустооптических приборов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, доктор технических наук Мазур, Михаил Михайлович

• Мазур, Михаил Михайлович
• доктор технических наук
• 2007

Оглавление диссертации доктор технических наук Мазур, Михаил Михайлович

Глава 1. Введение.

Глава 2. Исследование особенностей акустооптического взаимодействия в

2.1. Исследование особенностей коллинеарного взаимодействия в 8102.

Разработка АОФ из кристаллического кварца.

2.1.1. Исследование распространения ультразвуковых пучков в кварце Х-среза.

2.1.2. Разработка коллинеарных АОФ из БЮг. Исследование их характеристик.

2.1.3. Разработка квазиколлинеарных АОФ из БЮг. Исследование их характеристик.

2.2. Исследование особенностей коллинеарного взаимодействия в СаМоОф Разработка АОФ из молибдата кальция.

2.2.1. Исследование возможностей управления аппаратной функцией АОФ из молибдата кальция.

2.3. Разработка неколлинеарных АОФ из парателлурита. Исследование их характеристик.

2.4. Разработка коллинеарных АОФ на кристалле ШВ^МоО^. Исследование их характеристик.

2.5. Изучение возможности создания АОЯ на решетках поглощения.

2.6. Технологические проблемы изготовления АО ячеек для двойных АО монохроматоров.

Глава 3. Разработка АО спектрометров. Исследование их характеристик.

3.1. Акустооптические спектрометры.

3.1.1. Проблемы создания акустооптических спектрометров.

3.1.2. Двойные монохроматоры для акустооптических спектрометров.

3.1.3. Разработанные акустооптические спектрометры и УФ, видимого и ИК кристаллах. Разработка АО фильтров. диапазонов.

3.2. Акустооптический рамановский спектрометр. 3.2.1. Описание спектрометра.

3.2.1.1. Монохроматор.

3.2.1.2. Фотоприемный блок.

3.2.2. Перестроечная характеристика спектрометра.

3.2.3. Программное обеспечение спектрометра.

3.3. Лазерный акустооптический спектрофлюориметр «ФЛЮОЛ».

3.3.1. Описание спектрометра «АОС-МП».

3.3.2. Градуировка спектрометра «АОС-МП».

3.3.3. Испытания спектрофлюориметра.

3.4. Видеоспектрометры на основе акустооптических фильтров.

3.4.1. Видеоспектрометр видимого диапазона основе двойного

АО монохроматора.

3.4.2. Видеоспектрометр ультрафиолетового диапазона на основе

АО монохроматора.

3.4.3. Результаты испытаний и исследований видеоспектрометра видимого диапазона.

3.4.3.1. Исследование акустооптических ячеек и монохроматора.

3.4.3.2. Исследование передачи спектральных изображений.

3.4.4. Технические характеристики.

3.4.5. Основные результаты разработки АО видеоспектрометров.

3.5. Выводы.

Глава 4. Разработка газоанализаторов на основе АО спектрометров. ^ ^ ^

4.1. Постановка проблемы.

4.2. Требования к спектрометру для задач газоанализа.

4.3. Алгоритм измерения газовых примесей акустооптическим газоанализатором.

4.4. Газоанализатор для контроля выбросов из газоходов.

4.4.1. Газоанализатор для непрерывного контроля выбросов.

4.4.2. Кюветный вариант газоанализатора.

4.5. Трассовые газоанализаторы.

4.5.1. Устройство и работа оптического блока газоанализатора «САГА-ММС».

4.5.2. Устройство и работа АО монохроматора газоанализатора «САГА-ММС».

4.5.3. Устройство и работа фотоприемного блока газоанализатора 130 «САГА-ТЮО».

4.6. Устройство и работа спектрометра АО газоанализатора.

4.6.1. Реализуемые функции.

4.6.2. Программный интерфейс газоанализатора.

4.7. Испытания АО газоанализаторов.

4.8. Выводы.

Глава 5. Разработка АО фильтров для внутрирезонаторного управления излучением перестраиваемых лазеров.

5.1. Введение.

5.2. Исследование характеристик лазера на красителях с АОФ «Фотон» в резонаторе.

5.3. Исследование характеристик лазера на красителях с АОФ «Пентапризма» в резонаторе.

5.3.1. Оптическая схема излучателя.

5.3.2. Устройство и работа дисперсионного блока.

5.3.3. Устройство и работа блока управления.

5.3.4. Исследование режимов работы перестраиваемого лазера.

5.3.4.1. Исследование энергетических и спектральных характеристик лазера при работе на растворе родамин 6в.

5.3.4.2. Исследование лазера при работе в сине-зеленой области спектра.

5.3.4.3. Исследование двухчастотной генерации лазера с АОФ.

5.4. Исследование работы лазера с комбинированным дисперсионным блоком, содержащим АОФ и интерферометр Фабри-Перо.

5.5. Исследование характеристик лазера с АОФ из СаМо04 в резонаторе. 162 5.5.1. Функциональное управление спектром излучения лазера с АОФ из

СаМо04 в резонаторе.

5.6 Выводы.

Глава 6. Метрологическое обеспечение АО спектрометров и приборов на их основе.

6.1. Разработка аппаратуры для градуировки АО спектрометров в единицах спектральной плотности энергетической яркости.

6.1.1. Сравнительный анализ классических средств градуировки спектрометров.

6.1.2. Передача единицы спектральной плотности энергетической яркости при помощи АО спектрометра-компаратора.

6.1.3. Спектрометр-компаратор на основе двойного АО монохроматора из СаМо04.

6.1.3.1. Устройство и работа блока обработки АО спектрометра-компаратора.

6.1.3.2. Исследование параметров АО спектрометра-компаратора.

6.1.3.3. Результаты метрологической аттестации АО спектрометра-компаратора.

6.1.4. Широкоапертурные рабочие эталоны СПЭЯ. 189 6.2. Разработка методов и аппаратуры для градуировки АО газоанализаторов.

6.2.1. Проблема градуировки АО газоанализаторов.

6.2.2. Устройство и работа рабочего эталона для градуировки

АО газоанализаторов.

6.2.3. Эталонные оптические газовые кюветы. 198 6.3 Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физические и технологические основы разработки акустооптических приборов»

Устройства, использующие дифракцию света на акустических волнах в кристаллах, нашли широкое применение в науке и технике [1-10]. Они используются для модуляции [11,12] и отклонения световых пучков [13,14], для спектральпой фильтрации оптического излучения [15,16], для спектрального анализа [17,18] и для обработки радиосигналов [19,20]. Все эти устройства используют эффект селективного рассеяния (дифракции) световых волн на периодических неодпородностях показателя преломления кристалла, создаваемых акустической волной вследствие упругооптического эффекта [21]. Основным элементом всех этих устройств является акустооптическая ячейка (АОЯ), представляющая собой кристалл, к которому прикреплен акустический излучатель и в котором происходит взаимодействие световых и акустических волн. Каждый функциональный акустооптический (АО) элемент имеет специфическое строение, соответствующее модуляторы, своему назначению. имеют Например, вход акустооптические и выход и фильтры, дефлекторы оптический управляющий высокочастотный (ВЧ) вход, тогда как в устройствах обработки радиосигналов именно на ВЧ вход (входы) подается сигнал, а оптическое излучение используется для его обработки. Соответственно, во всех этих устройствах различна конструкция АОЯ (кристаллическая симметрия среды, углы распространения волн относительно кристаллических осей, способы введения волн в кристалл и в область взаимодействия). И даже для однотипных устройств конструкция АО ячеек может принципиально различаться. Например, акустооптические фильтры (АОФ) для фильтрации естественного (расходящегося) и коллимированного излучения принципиально отличаются по требованиям к их параметрам, и в последнем случае выбор геометрии взаимодействия (углов распространения волн) существенно шире. Также значительно различаются по своим характеристикам и конструкции АО фильтры с коллинеарной [15] и неколлинеарной [22] геометрией дифракции. В основе работы АО устройств лежит эффект дифракции света на акустических волнах в кристаллах, который был открыт Бриллюэном в 1921 году и в дальнейшем подробно исследован Дебаем, Сирсом, Мандельштамом, Раманом. Суть эффекта заключается в том, что распространяюшаяся в кристалле акустическая волна создает упругие напряжения среды и, тем самым, вызывает изменения ее тензора диэлектрической проницаемости. Для световых волн такая структура с периодически меняющимся показателем преломления играет роль объемной фазовой дифракционной решетки, так что конфигурации. Таким образом, создание АО фильтра с заданным перечнем характеристик, удовлетворяющего набору требований (например, по эффективности, потребляемой мощности, стабильности, условиям и режимам работы и т.п.) является отдельпой сложной задачей. При этом даже заранее не всегда очевидно, что заданным требованиям можно удовлетворить. Например, заданный спектральный диапазон иногда сильно ограничивает выбор используемого кристаллического материала, а это, в свою очередь, ограничивает типы возможных геометрий дифракции. Этот и другие примеры демонстрируют тот факт, что для каждой конкретной физической или технической задачи при разработке подходящего АО фильтра необходимо учитывать множество факторов и ограничений, и поэтому такая разработка представляет собой творческую задачу, в которой не существует однозначного алгоритма нахождения решения и которая часто требует оригинального (принципиально нового) решения. Такие однажды найденные технические решения могут быть использованы в дальнейшем при проектировании других АО фильтров, а потому так важен обобщенный анализ каждого оригинального технического решения. Особенно эффективен этот подход, основанный на использовании уже известных решений, при создании фильтров с характеристиками, незначительно отличающимися от существующего прототипа. В этом случае задача сводится к оптимизации параметров этого уже известного типа фильтра для достижения заданных характеристик. Ниже приведены примеры проблем, которые требовали более эффективного решения, чем могли обеспечить существовавшее к тому времени АО фильтры. Например, для задач, требующих высокого спектрального разрешения используются коллинеарные АО фильтры на кристаллах кварца [30] с разрешением до 0,1 нм в синей области спектра. Повышение их разрешения достигается увеличением длины L взаимодействия: AX\/L. Однако этот ресурс оказывается исчерпанным при достижении длины взаимодействия порядка 20 см [31], что связано с эффектом расходимости звука в кварце (нодробнее, см. п.2.1.1). Поэтому для создания более высокоразрешающих АО фильтров пришлось искать новый (для АО применений) кристалл (подходящим оказался NaBi(MoO4)2) и решать сопутствующие проблемы расчета оптимальных направлений взаимодействия, срезов граней и др. Другая проблема, касающаяся вышеупомянутого фильтра на кварце [30], состоит в присутствии в АО ячейке акустических резонансов. Эти резонансы не позволяли эффективно иснользовать этот фильтр для селекции излучения в перестраиваемых лазерах на красителях. Только разработка специальной «безрезонансной» схемы построения этого АО фильтра (гл.5) позволила осуществить стабильную внутрирезонаторную селекцию излучения и построить быстроперестраиваемые лазеры на красителях, в том числе с возможностью многочастотной генерации. Важной задачей, решаемой при создании любого АО фильтра, является эффективное возбуждение и поглощение акустических волн. Одной из основных трудностей является согласование пьезопреобразователя со светозвукопроводом. Для решения этой задачи разработаны разнообразные технологии, включающие в том числе секционирование преобразователей. Наибольшие трудности в парателлурите вызывает согласование сдвиговых волн, т.к. в этом случае акустический импеданс АО ячейки очень сильно (примерно в 6 раз) отличается от импедапса пьезопреобразователя из LiNbO3 и приходится напылять дополнительный согласующий слой, что является сложной технологической задачей, особенно для низких частот (менее 30 МГц). Именно поэтому разработанный автором метод генерации сдвиговых волн (п.2.3), основанный на возбуждения возбуждении продольной волны и последующей эффективной конверсией ее в сдвиговую волну, имеет важное практическое значение. Этот альтернативный метод генерации волн значительно облегчает согласование за счет использования более толстых и более узких преобразователей. Серьезную проблему для использования АО фильтров представляет наличие паразитных окон и заметная величина излучения вне полосы пропускания (боковые максимумы), обусловленная формой аппаратной функции (sinx х). Одним из способов подавления боковых максимумов является использование двойных монохроматоров. При этом, однако, возникают проблема управления двумя АО фильтрами. Если АО фильтры имеют естественные технологические различия, то при подаче на них сигнала одной и той же частоты положение линий пропускания фильтров будет различаться, так что пара таких фильтров будет обладать низким пропусканием. Использование разных генераторов не решает проблемы, а только усложняет ситуацию, поскольку необходим специальная перестроечная характеристика для каждого генератора, причем нестабильность или долговременный уход характеристик каждого из них приведет к резкому и неоднородному изменению коэффициента передачи системы. Именно поэтому для задач рутинного применения высококонтрастных АО спектрометров пришлось разрабатывать специальную технологию создания идентичных АО ячеек или ячеек с идентичной перестроечной характеристикой (п.2.6).в ходе решения этих задач синтеза АО фильтров с заданными свойствами необходимо было найти ответы на ряд частных вопросов. Например: За счет чего можно достигать высокого разрешения? За счет каких приемов можно обеспечить высокое подавление излучения вне полосы пропускания? Как при этом сохранить (обеспечить) технологичность изготовления АО фильтров? Особый класс задач связан с использованием АО дифракции в таких условиях, в которых АО взаимодействие ранее не рассматривалась. Например, в вышеупомянутой задаче использования АО фильтра в резонаторе лазера спектр излучения изменяется за счет неоднородного но спектру усиления и многократной фильтрации. Детали поведения этой сложной системы удается выяснить только экспериментально. Выявленные закономерности эволюции спектра излучения позволили детализировать требования к спектральной характеристике АО фильтра. Другой пример, связан с возможностью использования для АО фильтрации сильно поглощающих веществ, например, пьезополупроводников. Детальное рассмотрение задачи дифракции света на звуке с учетом сильного акустоэлектронного взаимодействия позволило обнаружить нетривиальный эффект аномального просветления среды и предложить новый класс материалов для акустооптики. Этот эффект предоставляет основу для создания АО фильтров в длинноволновой части спектра, где дифракция на фазовых акустических решетках, вызываемых упругооптическим эффектом, неэффективна, в частности в дальнем ИК диапазоне. При проектировании снектрометрических приборов и систем возникают дополнительные требования на габаритно-весовые параметры, энергопотребление, скорость и характер управления АО фильтром, устойчивость к внешним воздействиям. В частности, изменение температуры светозвукопровода, который содержит тепловыделяющие элементы (пьезопреобразователь и поглотитель ультразвука), может заметным образом влиять на ноказатели преломления кристалла, что нриводит к смещению полосы пропускания АО фильтра. Таким образом, контроль температуры кристалла и адекватный учет ее влияния является важнейшей задачей при создании АО спектрометров (гл.З). Вопросы метрологического обеспечепия измерений еще более усложняются при разработке на основе АО спектрометров приборов для прикладных измерений. Например, для применения спектральпо-оптические газоанализаторы на основе АОФ необходимо обеспечить их калибровку и сертификацию (гл.4). При этом необходимо решить задачи передачи единицы измеряемой физической величины (концентрации веществ) от эталона к прибору (гл.6). Без решения всех этих проблем широкое применение АО фильтров вряд ли было бы возможно. Описанное множество проблем, с которыми пришлось столкнуться в ходе разработке АО фильтров и спектрометрических устройств, определило содержание и структуру диссертационной работу, приведенную ниже. В главе 2 рассмотрены вопросы исследования особенностей акустооптического взаимодействия в кристаллах и разработки АО фильтров. В частности, исследованы особенности АО взаимодействия в основных кристаллах, применяемых в акустооптике: SiO2, СаМоО4, ТеОг, исследованы их характеристики и на этой основе предложены оригинальные конструкции АО фильтров для различных практических применений. При разработке и конструировании фильтров из кварца принимался во внимание детально исследованный эффект неоднородной расходимости ультразвуковых пучков в кристаллах X среза. Это позволило разработать асимметричные конструкции излучателя для коллинеарных АО фильтров на кварце и тем самым обеспечило возможность достичь спектрального разрешения АО фильтра определяемого длинной светозвукопровода. Другая проблема, исследованная в

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Мазур, Михаил Михайлович

Заключение

В результате выполнения диссертационной работы проведены научные исследования и разработки приборов, позволившие создать принципиально новые АО ячейки и усовершенствовать ранее предложенные конструкции. Разработаны технологи создания АО ячеек. Созданы различные АО спектрометры и измерительные комплексы на их основе, а также разработано метрологическое обеспечение, необходимое для работы с приборами.

Выполнены следующие исследования, позволившие создать новые конструкции АО фильтров из различных материалов, имеющие важное практическое значение и существенные преимущества по сравнению с раннее разработанными.

1. Исследование коллинеарных АОФ из кварца позволило выявить, что одним из ограничений разрешающей способности и эффективности АОФ является анизотропная расходимость УЗП вдоль кристаллографического направления X среза кварца. Создан «безрезонансный» коллинеарный АОФ из кварца. Исследованы температурные зависимости перестроечных характеристик квазиколлинеарных АОФ.

2. Создан коллинеарный АОФ из СаМо04, не имеющий «паразитного» окна пропускания аппаратной функции. Исследованы температурные зависимости перестроечных характеристик этих фильтров и выведена аналитическая формула температурной коррекции перестроечной характеристики. Впервые разработаны и практически реализованы АО фильтры из Те02, в которых применяется ультразвуковой преобразователь продольных волн с последующим преобразованием в АОЯ продольной волны в сдвиговую. Такие ячейки имеют ряд технологических преимуществ перед традиционной конструкцией. Разработана простая технология нанесения эффективных металлических поглотителей ультразвука на кристаллы СаМо04 и Те02.

3. Впервые разработан коллинеарный АОФ из №В1(Мо04)2, имеющий рекордное спектральное разрешение в ближнем ИК диапазоне.

4. Впервые предложен способ эффективной АО дифракции в дальнем ИК диапазоне на решетках поглощения в полупроводниковом кристалле.

5. Впервые разработана технология изготовления «идентичных» АОЯ из ТеО?, СаМо04 и кварца для двойных АО монохроматоров.

Разработаны и выпускаются АО спектрометры различного назначения, работающие в УФ, видимом и ИК диапазонах. В том числе следующие.

1. Спектрометры комбинационного рассеяния с двойным АО монохроматором из СаМо04.

2. Сиектрофлюориметры с двойным АО монохроматором из ТеОг.

3. Видеоспектрометр УФ диапазона на квазиколлинеарной АО ячейке из кварца.

4. Видеоспектрометр видимого и ближнего ИК диапазонов на двойном АО монохроматоре из Те02 ячеек.

5. Семейство газоанализаторов «САГА» в том числе: трубный газоанализатор для контроля выбросов; мобильный газоанализатор «САГА-К» для контроля выбросов; трассовые газоанализаторы «САГА-ММС» и «САГА-ТЮО» для контроля газовых примесей на уровне ПДК жилой зоны.

Разработаны АО фильтры и дисперсионные блоки для управления перестраиваемыми лазерами. Исследованы различные режимы управления излучением перестраиваемых лазеров: управление шириной полосы генерируемого излучения и одновременная генерация нескольких длин волн. Получены рекордные ширины излучения перестраиваемых лазеров с АОФ в резонаторе. Впервые получена генерация до четырех независимых длин волн.

Созданы рабочие эталоны СПЭЯ для градуировки АО аппаратуры. Выявлены методические погрешности передачи единицы СПЭЯ и предложен способ устранения этой погрешности. Создан рабочий эталон массовой концентрации газовых компонент. Разработана локальная поверочная схема для градуировки и поверки спектрально-оптических газоанализаторов.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Мазур, Михаил Михайлович, 2007 год

1. 1.C.Chang. Opt. engineering, 1977, v. 16, No.5, p.455-460. TAOF: an overview.

2. В.И.Балакший, В.Н.Парыгин, Л.Е.Чирков. Физические основы акустооптики. М.: Радио и связь, 1985.280 с/

3. В.Э.Пожар, В.И.Пустовойт. Коллинеарная дифракция: возможности и перспективы. В кн. «Акустооптические и акустоэлектронные устройства радиоэлектронных систем», Л.: Наука, 1985; с.36-47.

4. А.Ярив, П.Юх. Оптические волны в кристаллах. М.: Мир, 1987. Г л. 9. Акустооптика.

5. Копылов С.М., Лысой Б.Г., Михайлов Л.К., Серегин С.Л., Соловьев А.А., Спицын Е.М., Чередниченко О.Б. Скоростные акустооптические спектрометры и их применение. Электронная промышленность, 1987,5,52.

6. L.Magdich, V.Molchanov. Acousto-optic Devices and Their Applications, Gordon & Breach Science Publ., New York, 1989.

7. C.D.Tran. Anal. Chem., 1992, v.64, No.20, p.971A-881 A. AO devices. Optical elements for spectroscopy.

8. I.C.Chang. Handbook of optics, ed. M.Bass. McGrow-Hill, 1995. Chap. 12. AO devices and applications.

9. M.S.Gottlieb. Design and fabrication of acousto-optic devices, eds. A.P.Goutzoulis, D.R.Pape, Marcel Dekker, N.Y. 1995. Chap.4, p. 197-283. Acousto-optic tunable filters.

10. В.Н.Жогун, В.Э.Пожар. Акустооптическая спектрометрия во ВНИИФТРИ. В кн.: «Акустооптические, акустические и рентгеноспектральные методы и средства измерений в науке и технике», ВНИИФТРИ, 2005, с.5-15.

11. Sh.Yin, O.Leonov, F.T.S.Yu, V.V.Molotok, V.V.Kludzin. Design and fabrication of a 24-channel acousto-optic spatial light modulator. // Applied Optics, 1998, vol. 37, No. 32, p.7482-7489

12. S.V.Kulakov, V.V.Kludzin, V.V.Molotok. Spatial and angular multiplexing by an acousto-optic deflector device for a holographic memory system. // Proc. SPIE, 1998, v.3470, pp.193-198.

13. S.E.Harris, R.W.Wallace. J. Opt. Soc. Amer., 1969, v.59, p.744-47. Acousto-optic tunable filter.

14. Design and Fabrication of Acousto-Optic Devices // Edited by Akis P.Goutzoulis, Dennis R.Pape and Sergei V.Kularkov. Marcel Dekker, Inc., 1994,497 p. New York, Basel, HongKong.

15. I.C.Chang. Appl. Phys. Letts., 1974, v.25, p.370-372. Noncollinear acousto-optic tunable filters with large angular aperture.

16. M.G.Cohen, E.I.Gordon. The Bell System Teen. Journ, 1965, v.44, No.4, p.693-721. Acoustic beam probing using optical techniques.

17. J.Kusters, D.A.Wilson, D.L.Hammond. J. Opt. Soc. Amer., 1974, v.64, No.4, p.434-440. Optimum crystal orientation for acoustically tuned optical filter.

18. R.B.Wattson, S.A.Rappaport, E.E.Frederick. Icarus, 1976, v.27, p.417-423. Imaging spectrometer study of Jupiter and Saturn.

19. I.C.Chang. Proc. SPIE, 1976, v.90, p. 12-22. TAOF: an overview.

20. Shipp W.S., Biggins I., Wade C.W. // Rev. Sci. Instruments/ 1976, v.47, N5, p.565.

21. Ф.Л.Визен, Ю.К.Калинников, Р.С.Микаэлян. Тез. коорд. совещ. по акустооптике. М., ВНИИФТРИ: 1975. АО перестраиваемый фильтр на кристалле кварца.

22. Ф.Л.Визен, В.М.Захаров, Ю.К.Калинников и др. Приборы и техника эксперимента, 1979, N6, с. 170. Акустооптический фильтр "Фотон".1. Литература к главе 2

23. J.F.Kasters, D.A.Wilson, and D.L;Hammond // J. of the Optic Society of Amerika.-V.64.- N4-pp.434-440,1974

24. I.C.Chang. Tunable acousto-optic filter utilizing acoustic beam walkoff in crystal quartz. Appl. Phys. Lett. V.25, N6, pp 323-324,1974

25. Визен Ф.Л., Захаров B.H., Калинников Ю.К. и др. Коллинеарный акустооптический фильтр. Труды ВНИИФТРИ, в.38, с. 31-34,1978

26. Акустические кристаллы. Справочник, под ред. М.П. Шасткольской. М., Наука. 1982

27. М.М. Мазур, В.Н.Шорин Сб. научных трудов ВНИИФТРИ-М.,1985, с.35

28. А.Ю.Абрамов, М.М.Мазур, В.И.Пустовойт Письма ЖТФ, т.9, N5, с.264-267, 1983г.

29. М.М.Мазур, В.Н.Шорин. Измерения параметров акустооптических фильтров. Методы и средства прецизионной спектрометрии. Сб. научных трудов ВНИИФТРИ М., 1987. с.66

30. Магомедов З.А., Воробьев., Пальцев Л.Л., Мазур Л.И., Широкополосные акустооптические фильтры. Сб. научных трудов ВНИИФТРИ М, 2005, с138-139

31. Harris S. Е„ Nich S. Т. К., Fiegelson R. S. Appl. Phys. Lett., 1970, v. 17, N 5, p.223-225.

32. А.А.Блистанов, Т.Г.Вискун, М.М.Мазур и др. Особенности коллинеарного взаимодействия в молибдате кальция ЖТФ, 1988, т.58, в.1, с.189-192

33. Taylor D. /., Harris S. Е., Nich S. Т. К., Hansch Т. W. Appl. Phys. Lett., 1971, v. 19, N8, p. 269—271.

34. Авакянц Л. П., Антипов В. В., Киселев Д. Ф. и др. ФТП, 1982, т. 24, № 10, с.3171.

35. Bod W. L. J. Appl. Phys., 1965, v. 36, N 5, p. 1674-1677.

36. Пальцев Л.Л., Магомедов 3.A., Чечуй С.А., Визен Ф.Л., Пустовойт В.И., Мазур Л.И., Ивлиев Н.Н. А.С. №1719335 «Способ соединения элементов акустооптических фильтров»

37. Отчет ВНИИФТРИ по НИР 07.03.15.09. Разработка быстроперестраиваемого лазера с акустооптическим фильтром. № гос. per. 01.84.0013628, Москва -1986 г.

38. Л.Н.Магдич. Оптика и спектроскопия, т.49, вып.2, с.387,1980.

39. I.C.Chang. Appl. Phys. Lett., 25,370,(1974)

40. В.М.Епихин, Ф.Л.Визен, Н.В.Никитин, Ю.К.Калинников Неколлинеарный акустооптический фильтр с оптимальными угловыми характеристиками. ЖТФ, т.52, в. 12, с.2405-2410,1982

41. В.М.Епихин, ФЛ.Визен, В.В.Галь, Ю.К.Калинников Угловая апертура акустооптического фильтра ЖТФ, т.54, в.12, 1982

42. В.М.Епихин, Ю.К.Калинников Компенсация спектрального дрейфа угла дифракции в неколлинеарном акустооптическом фильтре ЖТФ, т.59, в.2, 1989

43. Sitting Е.К., Warner A.W., Cook H.D. Ultrasonics, 1969, v.7, p.108.

44. АС N1584601 Неколлинеарный акустооптический фильтр М.М.Мазур, Т.Г.Вискун, Заявка N4374858. Приоритет от 8 февраля 1988 г.

45. Э.Дьелисан, Д.Руайе. Упругие волны в твердых телах, Москва, Наука, 1982г.

46. Авокянц Л. П., Антипов В. В., Киселев Д. Ф, и др. // ФТТ. 1986. Т. 28. Вып. 2. С.170.

47. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965.

48. М.М.Мазур, Х.М.Махмудов, С.Е.Хмылева, Л.И.Мазур. Коллинеарный акустооптический фильтр на кристалле NaBi(Mo04)2. ЖТФ, т.60, в.9, с.148-150,1990.

49. П. Эвальд. УФН, 80,287,1966.

50. A.Vinogradov, B.Y.Zeldovich. Appl. Optics, 16,90,1977.

51. G. Borman. Phys. Zeit, 42,157,194L; 127,297,1950.

52. B.N. Butcher, N.R.Ogg. Brit. J. Appl. Phys. (J. Phys. D), 2,2,333,1969.

53. B.M. Левин, В.И. Пустовойт. Труды IX Всесоюзной акустической конференции. М.,1977.

54. В.М.Левин, М.М.Мазур, В.И.Пустовойт. Акустооптический аналог эффекта Бормана в полупроводниках. Письма ЖЭТФ, т.32, в.5, с.348-352,1980.

55. М.М. Мазур Критерий одинаковости АО ячеек для двойных монохроматоров. Сб. научных трудов ВНИИФТРИ М, 2005, с.48-52

56. М.М. Мазур, В.Э. Пожар, В.И.Пустовойт, В.Н.Шорин. Двойные акустооптические монохроматоры. Успехи современной радиоэлектроники. №10, с 19-30, 2006.

57. М.М.Мазур, В.Н.Шорин, В.Н.Жогун и др. Акустооптический Рамановский спектрометр.// Труды ВНИИФТРИ Акустооптические, акустические и рентгено-спектральиые методы и средства измерений в науке и технике В.-48(140).-2005.-С. 16-26

58. Мазур М.М., Шорин В.Н., Чижиков С.И., Леонов С.Н. // Оптика и спектроскопия.- Т. 67.- В.7.- С. 736.

59. Мазур М.М., Шорин В.Н., Абрамов А.Ю., Магомедов З.А., Мазур Л.И. // Оптика и спектроскопия.- 1996.- Т. 81.- №3.- С. 521 523.

60. Медицинский комплекс экспресс диагностики микроорганизмов «Флюол» на базе специализированного спектрометра «АОС-МП». Руководство по эксплуатации СЕАН.201 159.003 РЭ, Технические условия ТУ 9443-001-35258752-2006.

61. Лазерный флюориметр LIMES фирмы LNB. (http://www.ltb-berlinde/limes.html)

62. Специализированный спектрометр LIBS2000+ (www.oceanoptics.com/Prodacts/LlB.asp)

63. Комплекс медицинской экспресс диагностики микроорганизмов «ФЛЮОЛ» на базе специализированного спектрометра «АОС-МП». Регистрационное удостоверение №ФС 02012006/5578-06 от 28.12.2006.

64. P.J.Treado, H.R.Moris. Infrared and Raman spectroscopic imaging.//Appl. Spectroscopy Reviews/-1994.-v.29.-No. 1.-P1-38

65. R.M.Levenson, C.C.Hoyt. Spectral imaging microscopy //American Laboratory.-2000,-Novem. P.26-33

66. Калинников Ю.К., Стаценко Л.Я. Использование акустооптических фильтров для фильтрации изображений // ЖТФ.-1989.-т.59.-№9.-С.153-156

67. R.Morris, C.C.Hoyt, P.J.Treado. Imaging spectrometers for fluorescence and Raman microscopy: acousto-optic liquid crystal tunable filters // Appl. Spectroscopy.-1994.-V.48.-N.7.-P.857-865

68. L.H.Taylor, D.R.Suhre, S.W.Wutzke et al. Infrared spectroradiometer design based on acousto-optic filter// Sensors.- April.-1995.-P.34-36.

69. V.E.Pozhar, V.I.Pustovoit. Main features of image transmission through acousto-optical filter // Photonics and optoelectronics.-1997.-V.4.-No.2.-P.67-77

70. Епихин И.М., Рокос И.А. Двойной акустооптический монохроматор для ультрафиолетовой области спектра на монокристалле дигидрофосфата калия с улучшенными оптическими характеристиками // Оптика и спектроскопия .- 2004.В.З.-С.515-519

71. R.B/Watson, S.A.Rappaport, E.E.Frederick // Imaging spectrometer study of Jupiter and Saturn.-Icarus.-1976.-V.27.-P.417-423

72. Gupta, R.Dahmani. // Multispectral and hyperspectral imaging with AOTF for object recognition. Proc. SPIE. V.3584.- P.128-135.

73. Edner Н., Ragnarson P., Spannare S., Svanberg S.// Appl. Optics. 1993, v.32, N3, p.327.

74. Haus R., Schaffer K., Bautzer W. et. al // Appl. Optics. 1994, v.33, N24, p.5682.

75. Епихин B.M., Каллиников Ю.К., Рокос И.А. Двойные акустооптические монохроматоры ультрафиолетового излучения на монокристаллах кварца и дигидрофосфата калия с улучшенными оптическими параметрами. Труды ВНИИФТРИ, в. 48 (140), с.127-137, Москва,2005.

76. Мазур М.М., Пожар В.Э., Шорин В.Н.// Законодательная и прикладная метрология. 1995, №3, с34.

77. Мазур М.М., Пожар В.Э., Шорин В.Н Спектрально оптические газоанализаторы на основе акустооптических фильтров. Журнал аналитической химии, 1998, т. 53, №9,с.996-998.

78. M.M.Mazur, V.N.Shorin, S.A.Leonov. A pass acoustoopic spectrophotometer for gas analysis (TAOS). 1st Int. conf. "International and national aspects of ecological monitoring" (1997, May 25-28, St.Peterburg) Proc., p. 134

79. З.А.Магомедов, М.М.Мазур, В.Э.Пожар В.Н.Шорин. Передвижная лаборатория экологического мониторинга «Сага». В кн. «Наука и техника городу», ред. Ю.М.Прохороцкий.М.,1998.,с. 102-105.

80. Патент № 2095788 на изобретение «Газоанализатор» Мазур М.М., Шорин В.Н., Пожар В.Э., Магомедов З.А. Приоритет от 9 января 1996 г.

81. Свидетельство № 4380 на полезную модель «Установка контроля газовых примесей». Мазур М.М., Шорин В.Н., Пожар В.Э., Магомедов З.А. ,Жогун В.Н., Газаров Х.В., Визен Ф.Л., и Леонов С.А. Приоритет полезной модели 17 июля 1996 г.

82. А.Ю.Абрамов, М.М.Мазур, В.И.Пустовойт. Сб. материалы XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике, Саратов, 1983, чЛ, с.355

83. Отчет ВНИИФТРИ по НИР 07.03.15.09. «Разработка быстроперестраиваемого лазера с акустооптическим фильтром» № Гос.рег.01.84. 0013628.

84. А.Ю.Абрамов, М.М.Мазур, В.И.Пустовойт. Исследование двухчастотной генерации лазера на красителе с акустооптической перестройкой. Методы точных измерений лазерного излучения: сб. научных трудов ВНИИФТРИ-М., 1985, с.70-73.

85. А.Ю.Абрамов, М.М.Мазур, В.И.Пустовойт. Узкополосный лазер на красителе с комбинированным дисперсионным резонатором на основе акустооптического фильтра. ЖТФ, т.57, в. 12,1987, с.2420-2422.

86. Лазерный контроль атмосферы/ Под ред. Хинкли Э. Д. М.: Мир, 1979.

87. М.Ф. Стельмах, В.Г. Дмитриев, Л.К. Михайлов, С.Л. Серегин, E.H. Синицин, О.Б. Чередниченко. ЖПС, 40,181, (1984)

88. Абрамов А. Ю., Мазур М. М., Палавандишвили Л. С. Авт. свид. 1290459 (СССР). Перестраиваемый лазер. — Опубл. в Б. И., 1987, № 6.

89. М.М.Мазур, Х.М. Махмудов, В.И.Пустовойт. Перестраиваемый лазер на красителе с акустооптическим фильтром из СаМо04 Квантовая электроника, т. 15, N4, с.711-713,1988г.

90. DJ. Taylor, S.E. Haris, S.T.K. Nieh, T.W. Hanch. Appl. Phys. Letts.19, 269, (1971)

91. Т.Г.Вискун, М.М.Мазур, Л.Л.Пальцев, В.И.Пустовойт, С.И.Чижиков, В.Н.Шорин Тезисы доклада XIII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике. 4.1, Киев, 1986, с.232

92. М.Х.Ашуров, Т.Т.Басиев, Л.И.Мазур, М.М.Мазур, Х.М.Махмудов, С.Б.Миров, В.Г.Пак, В.В.Федоров Лазер на кристалле LiF с Р2 -центрами окраски, перестраиваемый коллинеарным акустооптическим фильтром. ЖПС, т.55, № 3, С.501-502, 1991,

93. А.Ю.Абрамов, М.М.Мазур, Х.М.Махмудов, В.И.Пустовойт, С.И.Чижиков Функциональное акустооптическое управление спектром излучения лазером на красителях. Журнал Прикладной спектроскопии, N5, т.52, с.842-845,1990г.

94. Магдич Л.Н. Оптика и спектроскопия. 1980. т.49, №2, с387-390.

95. Мазур М.М., Шорин В.Н. Измерение параметров акустооптических фильтров. Методы и средства прецизионной спектроскопии: Сборник науч. тр. «ВНИИФТРИ» -М.,1987.-с.66.

96. Мазур М.М., Махмудов Х.М., Ашуров М.Х. Исследование перестраиваемого лазера с АОФ из СаМо04.- Измерение параметров преобразователей и материалов акустооптической и оптоэлектронной аппаратуры: Сборник науч. тр. «ВНИИФТРИ» -М.,1988.-с.80

97. АС N1524761 Акустооптический фильтр для перестраиваемого лазера. В.М.Дякин, М.М.Мазур. Заявка N4216749. Приоритет 30 марта 1987 г.1. Литература к главе 6

98. Селиванов A.C., Тучин Ю.Н. Исследование Земли из космоса. 1981, N5 , с.28-39.

99. Аванесов Г.А., Глазков В.Д., Зиман Я.Л. и др. Исследование Земли из космоса. 1981, Д 5, с.45-55.

100. М.М.Мазур, В.Н.Шорин. О методических погрешностях градуировки оптических приборов дистанционного зондирования. Измерительная техника, № 11, с.48-49,1990 г.

101. Аванесов Г.А., Зиман Я.Л., Сычев А.Т., Тарнопольский. Исследование Земли из космоса. 1981, 5, с.65-77.

102. Богданов A.A. и др. Труды ГосНИЦИПР, 1988г., 32, с.141-150.

103. Анохов С.П., Марусий Т.Я., Соскин М.С. Перестраиваемые лазеры,- М.: Радио и связь, 1982.

104. Яворский Б.М., Детлаф A.A. Справочник по физике. М.Наука, 1977г.

105. Шорин В.Н., Мазур М.М., Беговатов А.П., Белоусов C.B. Измерение параметров преобразователей и материалов для акустооптической и оптоэлектронной аппаратуры. Сборник науч. тр. ВНИИФТРИ-М., 1988г., с.63 .

106. Отчет по НИР «Разработка и создание макета акустооптического спектрометра-компаратора для передачи единицы спектральной плотности энергетической яркости» 07.03.15.31 ВНИИФТРИ, 1990 г.

107. Реестр ВНИИФТРИ. Рабочий эталон поверочный стенд «Гелиос». №610-11-02.

108. Н.А.Аскеров, М.М.Мазур Разработка устройств калибровки оптических спектрометров. Методы и средства прецизионной спектроскопии. Сборник научных трудов ВНИИФТРИ М., 1987, с.56.

109. МИ 2001-89. Государственная поверочная схема для средств измерения содержания компонентов в газовых средах.

110. M.M.Mazur, V.E.Pozar. Installation for gas-filled test-tubes verification. 1st Int. conf. "International and national aspects of ecological monitoring" (1997, May 25-28, St.Peterburg) Proc., p. 133.

111. Реестр ВНИИФТРИ. Рабочий эталон единицы массовой концентрации газов. Свидетельство №001-11-08/1.

112. ЗАО фирма «СИГМА-ОПТИК ЛТД»

113. ИНН 7735004572, КПП 773501001, ОКПО 35258752, т . ,Q95. д1 71

114. Р/с 40702810038150100832 в ОСБ № 7954/01454 Зеленоградское г. Москва Sigma-Optic(g)vniiftri.ru

115. Сбербанк России г. Москва БИК 044525225 к/с 301018104000000002251. СПРАВКА

116. Дана Мазуру М.М. для представления в диссертационный совет по месту защиты диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук.

117. ЗАО фирма «Сигма-Оптик ЛТД» в течение 2000-2006 г.г. поставила ОАО «Арзамасский приборостроительный завод» более 700 АО монохроматоров с данными АО ячейками.

118. Генеральный директор , З.А.Магомедов-Uta-r

119. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ПО СТАНДАРТИЗАЦИИ И МЕТРОЛОГИИ (ГОССТАНДАРТ РОССИИ)1. CITоб утверждений типа средств измерений

120. PATTERN APPROVAL CERTIFICATE OF MEASURING INSTRUMENTS1. RU.C.31.027.A №.H?53

121. Действителен до „ 01 „ января 2008

122. Описание типа средства измерений приведено в приложении к настоящему сертификату.1. В.Н.Крутиков

123. Заместитель Председателя Госстандарта России

124. Заместитель Председателя Госстандарта Россиик/, ■/ /А, f / //J уi!L". 200 2U-.1. Продлен до '.". 200 г.200 г.130753

125. ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИоб утверждении типа средств измерений

126. PATTERN APPROVAL CERTIFICATE OF MEASURING INSTRUMENTS1. RU.C.31.002.A 24430/3 №1. Действителен до01 „ июля 2011 .г.

127. Настоящий сертификат удостоверяет, что на основании положительныхспектрометров специализированных "АОС-МГГрезультатов испытании утвержден тип .наименование средства измерений '

128. ФГУП "ВНИИФТРИ", п. Менделееве, Московская обл.наименование предприятия-изготовителякоторый зарегистрирован в Государственном реестре средств измерений под32098-06 и допущен к применению в Российской Федерации.

129. Описание типа средства измерений приведено в приложении к настоящему сертификату.1. Заместитель /X^V4

130. Руководителя ^ ■ t В.Н.Крутиков1. Що ^ * ^11 ^ ^ .^.т^г 2оо1. П ^ * ^ J <« < fh О- -S /1. W V / ^ О Г/, ^ . Продлен догэ "." . Г.1. Заместитель1. Руководителяи в1. Швашр IШщШ1. ЩЩшшш1. Л Ж,

131. ФГЛКРЛЛЬМАЯ СЛУ/№ЛП0 11\Д30РУ В С Ф ЕР Ё ЗДРАВ () о X ра 11 Р. и и я \ :■ / и (.()Пил,'1Ы)()го илпштя

132. РЕГИСТРАЦИОННОЕ. УД ОСТОВЕРЕНМЕль- <1>с 02012006/5578-06от 28, дйсабр» 2006 годя

133. Дейсиппедьно до 28 декабря 2011 года

134. ЙЗДЕЛЛЕ МЕДИЦИНСКОЙ ГТ.ХМИКИ1. К"о.( ОКП 94 4320

135. Комплекс м^ициис-кнй экеррес^^^микроорган-измов ".ФЛК'ЮЛ" на базе е пей чал из ирован ного с п е кт р о м е тр а ." А О С МП".нормативный документ1. ТУ 9443-001-35258752-2006114 ДШ'ИЯТЩ ПРОИТВ(>ДИТЕль

136. ЗАО фирма ''Сигма-Оптик ЛТД."', л.МендедееЙо, Московская область, 0^10 35258752 ./' ; т

137. ЗАРЕГИСТРИРОВАНО ВТОССЙИСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

138. ВНЕСЕНО В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РЕКСТР ИЗ ДЕЛИ Й м ЕДИТ 1.-йПС КОГ О НА 3 Н АЧ.ЕН И Я И МЕДИ П.И! С КО Й ТЕХНИК И

139. Госуларс :угнпая рсг^сл надзор ?ли ■ не тях'^¿с(йч#1«;бсз(ИгаЙ|Ьсги» кач'сет!п, асфс^^сСи';. ■ "\'->/;."\ зарсгистр;ир01ти«ых изделий медицинского назначения \\1 ' У : .' Шу, .