Физико-химические процессы в неравновесной плазме воздуха и закономерности травления материалов на основе полиэтилентерефталата тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 02.00.04, кандидат химических наук Смирнов, Сергей Александрович

• Смирнов, Сергей Александрович
• кандидат химических наук
• 1997

Оглавление диссертации кандидат химических наук Смирнов, Сергей Александрович

Оглавление

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1. Обзор литературы

1.1 Физико-химические и технологические эффекты воздействия неравновесной плазмы на полимеры. Подходы к анализу процессов взаимодействия плазмы с полимерами

1.2 Кинетические закономерности травления полимерных материалов в неравновесной плазме

1.2.1 Кинетика суммарного процесса травления

1.2.2 Тепловые эффекты и температурные зависимости скорости процесса

1.2.3 Газообразные продукты травления

1.2.4 Изменение химического состава поверхностного слоя полимера

1.2.5 Активные частицы плазмы, каналы процесса

/

1.3 Физико-химические свойства кислородной плазмы пониженного давления

1.3.1 Функция распределения электронов по энергиям

1.3.2 Состав нейтральных компонентов плазмы кислорода и основные процессы,его определяющие

1.4 Физико-химические свойства азотной плазмы пониженного давления

1.4.1 Функция распределения электронов по энергиям

1.4.2 Состав нейтральных компонентов плазмы азота и основные процессы.,

его определяющие

1.5 Физико-химические свойства плазмы пониженного давления в воздухе..:

Выводы. Постановка задачи

Глава 2. Основные методики измерений

2.1 Экспериментальная установка

2.2 Измерения напряженности продольного электрического поля и потока положительных ионов на стенку реактора

2.3 Методика измерений интенсивностей линий и полос

2.4 Определение температуры газа

2.5 Методики масс-спектральных измерений

2.5.1 Определение парциальных давлений (мольных долей) стабильных компонентов газовой смеси

2.5.2 Определение скоростей образования газообразных продуктов при плазменном воздействии

Глава 3. Основные методы расчетов

3.1. Уравнение Больцмана и метод его решения

3.2. Уравнения, описывающие кинетические закономерности образования и гибели колебательных уровней основного состояния молекул азота ЩХ'Е/ЛО и кислорода 02(Х31§",У)

Глава 4. Результаты измерений параметров плазмы положительного столба

разряда в воздухе

4.1 Напряженность продольного электрического поля. Температура газа

4.2 Данные спектральных измерений

4.3. Заселенность нижних колебательных уровней основного состояния молекулы азота

4.4. Концентрация атомарного кислорода в основном состоянии

4.5. Концентрация оксида азота N0

Глава 5. Процессы образования и гибели нейтральных частиц плазмы воздуха

Глава 6. Закономерности травления полимеров в плазме воздуха

6.1 Травление в послесвечении плазмы

6.2 Травление ткани и пленки в положительном столбе разряда

Основные результаты и выводы

Список использованных источников

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические процессы в неравновесной плазме воздуха и закономерности травления материалов на основе полиэтилентерефталата»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность проблемы. Низкотемпературная плазма находит широкое применение как для решения ряда технологических задач, так и в практике научных исследований. Среди различных видов неравновесных плазменных систем особое место занимает "холодная" плазма низкого давления, которая характеризуется высокой энергией электронов и большой концентрацией химически активных частиц при низкой газовой температуре.

В настоящее время в области технологического использования "холодной" плазмы сложилась ситуация, когда инженерные решения и практическая реализация опережают фундаментальные исследования, посвященные пониманию физико-химических закономерностей плазмохимических процессов. Сегодня уже созданы образцы промышленного оборудования и реализованы отдельные технологии модифицирования полимерных пленочных и текстильных материалов в неравновесной плазме воздуха. Внешние параметры таких процессов выбираются^ в основном, эмпирически. Это связано, во-первых, со сложностью анализа реакций, протекающих в неравновесных условиях, а во-вторых, с тем, что плазма является самосогласованной системой, физические характеристики которой, определяющие ее химическую активность, сами зависят от инициированных плазмой химических превращений. В то же время, очевидно, что без понимания механизмов активации газа, роли различных активных частиц в реакциях с обрабатываемым материалом и без учета влияния химических превращений в плазме на ее свойства эффективная оптимизация плазменных технологий невозможна.

В связи с этим выяснение механизмов процессов, определяющих состав активных компонентов плазмы воздуха, а таюокё выявление закономерностей ее воздействия на полимерные материалы является актуальной задачей.

Работа выполнялась в рамках научно-технической программы "Университеты России", 1995-1997 г.г., а также пользовалась поддержкой гранта Министерства общего и профессионального образования по направлению "Химические технологии", 1997 г.

Целью работы являлось:

1) установление механизмов процессов, определяющих состав основных компонентов плазмы воздуха;

2) анализ влияния химических превращений в плазме на ее физические параметры, в частности - на вид функции распределения электронов по энергиям и коэффициенты

скоростей процессов с участием электронов;

/

3) выявление кинетических закономерностей травления полимера и образования газообразных продуктов реакций при воздействии плазмы воздуха на пленки и ткани из полиэтилентерефталата; определение основных активных частиц, реагирующих с полимером.

Научная новизна.

1. Проанализированы механизмы заселения и дезактивации излучающих состояний атомарного кислорода и молекулярного азота в плазме воздуха. ■ Обоснован метод определения концентрации атомов кислорода в основном состоянии по отношению интенсивностеи излучения линии атомарного кислорода 01 (Зр3Р^Зз38) и полосы молекулярного азота N2 (СЗпи,У=0->- В^П^, У=2).

2. Проанализированы процессы с участием электронов, влияющие на формирование функции распределения электронов по энергиям. Показано, что таковыми являются столкновения электронов с молекулами 1Ч2, 02, включая

ионизацию, диссоциацию и возбуждение электронно-колебательных состояний, а также сверхупругие столкновения электронов с колебательно-возбужденными молекулами азота в основном электронном состоянии. Другие компоненты плазмы: молекулы N0, атомы азота и кислорода, возбужденные состояния молекул ]М"2, 02, - не влияют на формирование ФРЭЭ из-за малости их концентраций.

3. Разработана кинетическая модель процессов образования и гибели основных нейтральных компонентов плазмы воздуха, включая электронно- и колебательно-возбужденные молекулы азота и кислорода, атомы N и О в основном и возбужденных состояниях, а так же озон и оксиды азота. Результаты расчета по модели находятся в хорошем согласии с экспериментально измеренными концентрациями молекул N0 и атомарного кислорода в основном состоянии, заселенностями нижних колебательных уровней молекулы К2(Х11^+) в исследованном диапазоне давления (30-300 Па) и тока разряда (20-110 мА).

4. Получены систематические данные о кинетике травления полимеров на основе полиэтилентерефталата в плазме воздуха:

а) измерены скорости убыли массы полимеров и их температурные зависимости;

б) впервые определены скорости образования газообразных продуктов и расходования кислорода при обработке полимеров в плазме и ее потоковом послесвечении. На основе этих данных установлено, что основным травящим агентом является кислород, наиболее вероятно^в виде атомов.

5. Найдено, что взаимодействие полимера с плазмой приводит к изменениям ее параметров и, как следствие, к изменениям скоростей взаимодействия (эффект загрузки), т.е. плазма и полимер представляют собой единую самосогласованную систему. Предложено качественное объяснение этого эффекта.

Практическая ценность. Результаты и выводы, полученные в работе, могут использоваться при выборе оптимальных условий модифицирования поверхности полимерных материалов в плазме воздуха, а таже для расчетов параметров плазмы и кинетики протекающих в ней реакций при моделировании режимов работы плазмохимических реакторов.

Публикации и апробация работы. По результатам работы опубликованы 3 статьи и тезисы восьми докладов. Основные положения, результаты и выводы докладывались и обсуждались на II международном симпозиуме по теоретической и прикладной плазмохимии - "ISTAPC-95" (Иваново, 1995), на 9 международной конференции молодых ученых по химии и химической технологии (Москва, РХТУ, 1995 г.г.), на постоянно действующем семинаре по получению, исследованию и применению неравновесной плазмы (Москва, ИНХС им. А.В.Топчева РАН, 1995), на II конгрессе химиков-текстильщиков колористов (Иваново, 1996) на 1 региональной межвузовской конференции "Актуальные проблемы химии, химической технологии и химического образования "Химия-96" (Иваново, 22-26 апреля 1996, ИГХТА) и на ежегодных научно-технических конференциях преподавателей и сотрудников ИГХТА 1994,1995.

Структура и объем диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, 6 глав, выводов и библиографии. Общий объем диссертации составляет 138 страниц, включая 6 таблиц и 32 рисунка. Список литературы содержит 171 наименование.

Заключение диссертации по теме «Физическая химия», Смирнов, Сергей Александрович

Основные результаты и выводы

1. Исследованы физико-химические характеристики плазмы положительного столба тлеющего разряда в воздухе в диапазоне давлений 30-300 Па и токов разряда 20-110 мА. Измерены: напряженность электрического поля, 'концентрации молекул N0, потоки положительных ионов на стенку, интенсивности излучения линий атомарного кислорода и полос 2+ системы молекул азота. На основе этих данных показано, что колебательные уровни (У=0-4) состояния ^(С^Пц) заселяются электронным ударом из колебательных уровней основного состояния молекул азота, а дезактивируются излучательно, что позволило определить: а) эффективную колебательную температуру (заселенности нижних колебательных уровней) молекул ^(Х'Ео-1"); б) температуру газа; в) концентрацию атомов 0( Р) по отношению интенсивностей излучения линии 01 (Зр3Р->Зз38) и полосы ЩС3Пи,У=0 -^В3П„,У=2).

2. Проанализированы процессы, влияющие на формирование функции распределения электронов по энергиям. Показано, что таковыми являются столкновения электронов с молекулами N2 и О2 в основном электронно-колебательном состоянии, приводящих к ионизации, диссоциации и возбуждению электронно-колебательных состояний, а также сверхупругие столкновения электронов с колебательно-возбужденными молекулами азота в основном электронном состоянии. Соударения электронов с другими компонентами плазмы, такими ,как молекулы N0, атомы азота и кислорода, электронно-возбужденные состояния молекул N2 и 02,не влияют на формирование ФРЭЭ ввиду малости их концентраций.

3. Проанализированы механизмы формирования неравновесных распределений молекул М2(Х1Е8+) и 02(Х3Е8") по колебательным уровням в плазме воздуха. Найдено, что заселение колебательных уровней молекул азота происходит преимущественно прямым электронным ударом и в реакции N0 + >Т(48) —>■ 1М2(Х,У=5,6) + 0(3Р) с последующим перераспределением колебательных квантов в процессах У-У обмена. В отличие от плазмы азота, дезактивация колебательных уровней обусловлена^ основном ,У-Т релаксацией на атомах 0(3Р), а не на молекулах N2. Образование молекул N0 за счет реакций КВМ N2 с атомами 0(3Р) слабо влияет на распределение молекул по колебательным уровням. Формирование колебательных распределений молекул кислорода определяется^в основном, накачкой их электронным ударом при дезактивации в процессах У-Т релаксации на атомах кислорода.

4. Предложена кинетическая модель, которая при заданных значениях газовой температуры и величины ЕЛЧ позволяет рассчитать стационарные концентрации нейтральных компонентов плазмы воздуха в согласии с опытами, а так же скорости их образования и гибели.

5. Получены систематические данные о кинетике травления полимеров на основе полиэтилентерефталата: а) измерены скорости убыли массы полимеров и их температурные зависимости; б) определен состав и скорости образования газообразных продуктов и расходования кислорода при обработке полимеров в плазме воздуха и ее потоковом послесвечении. На основе этих данных установлено, что основным травящим агентом является кислород, наиболее вероятно в виде атомов.

6. Показано, что появление продуктов травления полимера в газовой фазе приводит к изменениям физико-химических характеристик плазмы. Существует обратная отрицательная связь между скоростью травления и скоростями генерации активных компонентов плазмы. Предложено качественное объяснение этому эффекту.

Список литературы диссертационного исследования кандидат химических наук Смирнов, Сергей Александрович, 1997 год

Список использованных источников

1. Технологическое применение низкотемпературной плазмы /Р.Оулет. М. Барбье, П. Черемиссинофф. Пер. с англ. - М. : Энергоиздат, 1983. - 144 с.

2. Максимов А.И. Физико-химические основы технологических процессов в неравновесной плазме // В кн.: Неравновесная плазма. Т4. Плазмохимическая технология: Сборник под ред. д.т.н., проф. В.Д. Пархоменко и акад. Ю.Д. Третьякова,-Новосибирск: Наука, Сиб. отд., 1991 г.- С.77-91.

3. Прогресс текстильной химии / Под ред. проф. Б.Н.Мельникова. -М.: Легпромбытиздат, 1989.-240 с.

4. Мельников Б.Н., Блиничева И.Б., Максимов А.И. Перспективы применения плазменной технологии в текстильной промышленности. Обзорная информация. М.: ЦНИИЛегпром, 1985.-47 с.

5. Горберг Б.Д., Максимов А.И., Мельников Б.Н. Место плазмохимической обработки в технологических процессах отделки текстильных материалов // В кн.: Новая техника и технология отделочного производства,-Иваново, 1984,- С.20-23.

6. Wertheimer M.R., Thomas H.R., Perri M.J., Klembtrg-Sapieha J.E., Martinu L. Plasmas and polymers: From laboratory to large scale commercialization // Pure and Appl. Chem.- 1995.-V.68, № 5.- P.1047-1054.

7. Гильман A.B., Потапов B.K. Плазмохимическая модификация поверхности полимерных материалов // Прикладная физика.-1995.-Вып.З-4.-С.14-21

8. Максимов А.И., Горберг Б.Л., Титов В.А. Возможности и проблемы плазменной обработки тканей и полимерных материалов // Текстильная химия. - 1992. - №1,- С. 101-117.

9. Rybkin V.V., Maximov A.I., Gorberg B.L., Titov V.A. Plasma technology and equipment for the modification of textiles and polymer films // Proc. of the 8th International Techtextil Simposium for Technical Textiles and Textile-Reinforced Materials "TECHTEXTIL-

SYMPOSIUM'97".12-14 May, 1997, Frankfurt am Main, Germany. Blok 5.1: Plasma Finishing. Possibilities and Processes Today.-P.10-17.

10. Максимов А.И. Задачи исследований плазменной обработки тканей и пленок // Всесоюзный семинар «Теория и практика плазмохимической обработки тканей и полимерных пленок», Иваново,20-22 ноября 1991 г.: Тезисы докл.-Иваново,1991.-С.4-6.

11. Maximov A.I., Menagarishvili V.M., Mitjukhin A. The influence of the gas discharge system external parameters on chemical reacting plasma transition to the stationary state // 2-ой Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (ISTAPS-95), Иваново, 20-22 ноября 1991 г.: Материалы симпозиума,- Иваново, 1995,- С. 114-116.

12. Maximov A.I., Menagarishvili V.M., Tikhomirova N. V. Transition to the stationary state of non-equilibrium reacting plasma // 2-ой Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии (ISTAPS-95), Иваново, 20-22 ноября 1991 г.: Материалы симпозиума,- Иваново, 1995,- С. 117-119.

13. Cross J.H., LeMay M.W., McCluce D.J. Texturing of poly(ethylene terephthalate) film surfaces by sputter etching // J.Vac. Sei. Technol. 1985.-V. A3, №3.- P.495-498.

14. Friedrich I., Cähde I. Untersuchungen zur Plasmaätzung von Polymeren. Teil II: Einfluß der Plasmaparametr auf die Albougeschwindigkeit und die Freileguno übermolekularer Polymerstrukturen // Acta Polymerica.- 1980,- Bd.31, №1,- S.52-58.

15. Hansen R.H., Pascole J.V., De Benedictis Т., Rentzepis P.M. Effect of Atomic Oxygen on Polymers// J. Polymer Sei: Part A.- 1965.-V.3.-P.2205-2214.

16. Lawton F.L. Oxidation of polymers by radiofrequency plasma // J. Polym. Sei.Part AI -1972.-V.10, № 5,- P.1857-1859.

17. Poll H.-U., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymeroberlächen. I. Plasma -Polymer - Wechselwirkung // Acta Polymerica.-1980.-B.31, No 12,- S.757-766.

18. Шарнина JI.В. Разработка эффективных методов плазменной активации текстильных материалов: диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук,- Иваново, Ивановский химико-технологический институт, 1990,- 191 с.

19. Yasuda H. Plasma for modification of polymers // J. Macromol. Sei. Chem.- 1976.- V.A10, №3,- P.383-420.

20. Friedrich I., Kühn G., Cähde I. Untersuchungen zur Plasmaätzung von Polymeren. Teil I: Strukturänderungen von Polymeren nach Plasmaätzung // Acta Polymerica, 1979, Bd.30, №8, s.470-477.

21. Безрук Л.Е., Лебедев E.B. Влияние природы рабочего газа и концентрации электронов плазмы безэлектродного высокочастотного разряда в методике травления полимеров.-Высокомолекулярные соединения, 1973, T.A15, №7, с.1674-1678.

22. Влияние степени кристалличности полимеров на скорость их деструкции в плазме высокочатотного разряда./ Ю.С. Липатов, Л.Е. Безрук, Е.В. Лебедев, Ю.П. Гомза // Высокомолекулярные соединения, 1974, т.Б16, №5, с.328-329.

23. Semionescu C.I., Macoveanu M.M., Olaru N. Wirkung electricher HochfrequenzEntladungen auf Cellulose-, Polyester- und Polypropylenfasen// Acta Polymerica, 1979,Bd.30,№5,s.241 -245.

24. Кувалдина E.B., Рыбкин B.B., Терехина E.A., Титов В.А. Кинетические закономерности травления полиэтилентерефталата в плазме кислорода // Химия высоких энергий. -1994,- Т.28, №5,- С. 422-425.

25. Бердичевский М.Г., Марусин В.В. Нанесение покрытий, травление и модифицирование полимеров с использованием низкоэнтальпийной неравновесной плазмы: Обзор / Новосибирск: Ин-т теплофизики Сиб. Отделения РАН, 1993.- 107 с.

26. Исследование травления поверхности полимеров активированным кислородом / Багиров М.А., Осклонов В.А., Волченков Е.Я., Малин В.П., Абрамов Р.Х.// Третий Всесоюзный симпозиум по плазмохимии «Плазмохимия-79»: Тезисы докладов.- М.: Наука, 1979,- Т.1.- С.252-255.

27. Кувалдина Е.В., Рыбкин В.В., Терехина Е.А., Титов В.А. Вероятность и константа скорости химического взаимодействия атомарного кислорода с пленкой полиэтилентерефталата// Химия высоких энергий. -1994,- Т.28, №4,- С.359-360.

28. Рыбкин В.В., Титов В.А., Кувалдина Е.В., Терехина Е.А., Серова Н.Ю. Кинетические закономерности травления ткани на основе полиэтилентерефталата в активном кислороде. II. Послесвечение плазмы кислорода// Химия высоких энергий.-1995.-Т.29,№3.-С.219-222.

29. Гриневич В.П., Максимов А.И. Травление полимеров в низкотемпературной плазме //

t

Применение низкотемпературной плазмы в химии. Под ред. Л.С.Полака. - М.: Наука, 1981. - С.135 - 169.

30. Рыбкин В.В., Титов В.А., Кувалдина Е.В., Терехина Е.А. Кинетические закономерности травления ткани на основе полиэтилентерефталата в активном кислороде. I. Воздействие плазмы кислорода // Химия высоких энергий.- 1995,- Т.29, №2,- С.133-136.

31. Максимов А.И., Титов В.А. Некоторые вопросы теории плазмохимических реакторов для обработки тканей и полимерных пленок//Текстильная химия.-1993.-№2(4).- С.36-45.

32. Максимов А.И. Введение в физическую химию плазмолиза полимеров // Физика и механика композиционных материалов на основе полимеров. Тезисы докладов 19 научно-технической конференции молодых ученых и специалистов. Гомель, 14-18 мая 1990 г.-Гомель: ИММС АН БССР, 1990,-С. 11-28.

33. В.М.Менагаришвили, С.Д.Менагаришвили, А.И.Максимов, В.И.Светцов Кинетика деструкции полимеров в низкотемпературной кислородной плазме // Низкотемпературная плазма: Межвуз. сборник,- Казань: КАИ, 1983,- С.75-80.

34. Менагаришвили В.М. Кинетика и механизм взаимодействия активного кислорода с пленками полимеров: Диссертация на соискание ученой степени канд. хим. наук,-Иваново, Ивановский хим.-технол. институт, 1990.- 186 с.

35. Рыбкин В.В., Менагаришвили С.Д., Максимов А.И., Менагаришвили В.М. Тепловые эффекты при действии активированного кислорода на поверхность полиэтилентерефталата/ЛГеплофизика высоких температур,-1994.-Т.32, №6,- С,955-957.

36. Менагаришвили С.Д., Бровикова И.Н., Рыбкин В.В. Вероятности гетерогенной гибели и тепловые эффекты при взаимодействии атомов кислорода с пленками ПВХ

// Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохимии. Рига, 2427 сентября 1991 г. Тезисы докладов,- Рига,- 1991.-с.285-287.

37. Магунов А.Н. Калориметрия гетерогенных плазмохимических процессов // Труды ИМ РАН,- Ярославль: ИМ РАН, 1992,- с.142-149.

38. Lamontagne В., Wrobel А.М., Jalbert G., Wertheimer M.R. Large-area microwave plasma etching of polyimide // J. Phys. D.: Appl. Phys.- 1987,- V.20, №7,- P.844-850.

39. Lin Т.Н., Belser M., Tzeng Y. Pulsed micro wave plasma etching of polymers in oxygen and nitrogen for microelectronic applications // IEEE Transactions on Plasma Science.- 1988.-V.16, №6,- P.631-637.

40. Рыбкин В.В., Кувалдина Е.В., Любимов В.К. Сравнительный анализ травления полиимидной пленки в плазме О? и смеси O2-CF4 // Химия высоких энергий.- 1993.-Т.27, №1.- С.83-87.

41. Кувалдина Е.В., Любимов В.К., Рыбкин В.В. Константа скорости и вероятность взаимодействия атомарного кислорода с полиимидной пленкой // Химия высоких энергий. -1992.- Т.26, №5,- С. 475-478.

42. Кувалдина Е.В., Любимов В.К., Максимов А.И., Рыбкин В.В. Исследование температурных зависимостей скоростей травления полиимидной пленки в плазме кислорода//Химия высоких энергий.-1990.- Т.24,№5.- С.471-474.

43. Магунов А.Н., Мудров Е.В. Тепловая неустойчивость плазмохимического травления //Труды ИМАН СССР. Материалы докладов ежегодной общеинститутской конференции «Современные проблемы микроэлектроники». Ярославль.: ИМАН СССР, 1991.-С.75-81.

44. Менагаришвили С.Д., Рыбкин В.В. Кинетические закономерности травления пластифицированного поливинилхлорида в плазме кислорода и ее потоковом послесвечении // Химия высоких энергий,- 1994,- Т.28, №2,- С. 187-188.

45. Александрова С.Н., Гриневич В.И., Ильин И.Ю., Чеснокова Т.А. - Воздействие кислородной плазмой на поверхность полиамидимидной пленки // Химия высоких энергий,- 1991,- Т.25, №2,- С.171-175.

46. Александрова С.FI., Гриневич В.И., Чеснокова Т.А. Основные закономерности разложения полимеров в низкотемпературной кислородной плазме// Химия высоких энергий,- 1996,- Т.ЗО, №4,- С.304-308.

47. Day М., Wiles D.M. Photochemical decomposition mechanism of poly(ethylene

terephthalate) // J. Polym Sei.: Polym. Letters.- 1971.-V.9, №9,- P.665-669.

f

48. Stephenson C.V., Lacey J.C., Wilcox W.S. Ultraviolet irradiation of plastics.III. Decomposition products and mechanisms // J. Polym Sei.- 1961.-V.55,- P.477-488.

49. Wakida T, Takeda K., Tanaka I., Takagishi T. Free rdicals in cellulose fibers treated with low temperature plasma // Tex. Res. J.- 1989,- V.59, №1,- P.49-53.

50. Wakida T, Takeda K., Kawamura H., Tanaka I., Takagishi T. ESR spectra of fibers treated with low temperature plasma// Chem. Express.- 1987.- V.2, №11.- P.711-714.

51. Poll H.-U., Kleemann R., Meichsner J. Plasmamodifizierung von Polymtroberflächen.II. Entstehund freier Radikale durch Einwirkung einer Glimmentladung // Acta Polym.- 1981.-Bd.32,H3.-S.139-143.

52. Митченко Ю.И., Фенин B.A., Чеголя A.C. Образование активных центров при

/

модифицировании волокон газовым разрядом // Хим. волокна,- 1989.-№1,- С.35.

53. Friederich J., Loeschcke J., Frommelt H., Reiner Н., Zimmermann H., Lütgen P. Aging and degradation of poly(ethylene terephthalate) in an oxygen plasma // Polym. Degrad. and Stab.-1991.- V.31, №1,- P.97-117.

54. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии: Пер. с англ. Под ред. Д.Бриггса и М.П.Сиха,- М.: Мир, 1987.- 600 с.

55. Yasuda Н., Marsh H.S., Brandt S., Reitley C.N. ESCA study of polymer surfaces treated by plasma//! Polym. Sei.: Polym. Chem.- 1977,-V.15.-P. 991-1019.

56. Hirotsu T. Incorporating nitrogen onto the surface of polymer fabrics by N2 and air plasma // Text. Res. J. - 1985,- V.55, №5,- P.323-324.

57. Гриневич В.И., Максимов А.И., Рыбкин B.B. Исследование действия низкотемпературной плазмы на поверхность полиэтилена // Химия высоких энергий.-1982.-Т.16, №6.- С.547-549.

58. Гриневич В.И., Максимов А.И. Воздействие низкотемпературной кислородной плазмы на докозан // Химия высоких энергий,- 1982.-Т.16, №1,- С.76-79.

59. Self-consistent analysis of low temperature oxygen plasma and processes of its interaktion with some polymer materials / V.V.Rybkin, A.B.Bessarab, E.V.Kuvaldina, A.I.Maximov, V.A.Titov // Pure and Appl. Chem.-1996.-Y.68, №5.-P.1041-1045.

60. Пономарев A.H., Максимов А.И., Василец B.H., Менагаришвили В.М. О фотоокислительной деструкции ПЭ и ПВХ при одновременном действии ВУФ-излучения и активного кислорода// Химия высоких энергий.-1989.-Т.23, №3.-С.286-287.

61. Максимов А.И., Рыбкин В.В., Кувалдина Е.В. Влияние химически реагирующих поверхностей на окислительную деструкцию полиимида в неравновесной плазме // Химия высоких энергий.-1995.-Т.29, №1.-С.60-62.

62. Моро У. Микролитография: В 2-х ч. Ч.2: Пер. с англ.- М.: Мир, 1990,- 632 с.

63. Иванов Ю.А., Лебедев Ю.А., Полак Л.С. Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии//М.: Наука. 1981.-143 С.

64. Mazek К., Ruzicka Т., Laska L. Electron collisions rates in oxygen glow discharge// Czech.J.Phys.-1978.-B28;№4.-P.1321-1334.

65. Lawton S.A., Phelps A.V. Excitation of the b'Z+g state of 02 by low electrons// J.Chem.Phys.-1978.-V.69, №3.-P. 1055-1068.

66. Исламов Р.Ш., Кочетов И.В., Певгов В.Г. Анализ процессов взаимодействия электронов с молекулой кислорода// Препринт №169.-М.:ФИАН СССР.-1977.-27 С.

67. Kajita S., Ushiroda S., Kondo V. Influence of the dissociation process of oxygen on the electron swarm parameters in oxygen// J.Appl.Phys.-1990.-V.67, №9,- P.4015-4023.

68. Максимов А.И., Менагаришвили B.M., Рыбкин В.В. Анализ функций распределения электронов по энергиям, сечений и коэффициентов скоростей процессов с участием электронов в плазме кислорода// Физика плазмы,- 1981,- Т.7, В.2,- С.289-295.

69. Бровикова И.Н., Рыбкин В.В., Бессараб А.Б., Шукуров А.Л. Кинетические характеристики диссоциации молекул кислорода в положительном столбе разряда постоянного тока// Химия высоких энергий.-1997.-Т.31,№2.-С. 146-148.

70. Gousset G., Ferreira C.M., Pinheiro M., Sa P.A., Touzeau M., Vialle M., Loureiro J. Electron and heavy-particle kinetics in low pressure oxygen positive column// J.Appl.Phys.- 1991.-V.21,№3.-P.290-300.

71.Бессараб А.Б., Рыбкин В.В., Максимов А.А. Кинетическая модель процессов образования и гибели атомов 0(JP) и молекул (^(а'Д g) в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Химия высоких энергий,- 1994,- Т.28,№1.-С.73-76.

72. Рыбкин В.В., Бессараб А.Б., Максимов А.И. Численное моделирование положительного столба тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур,- 1995,- Т.ЗЗ, №2,- С.185-190.

73. Рыбкин В.В., Бессараб А.Б., Максимов А.И. Анализ источников нагрева газа в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Теплофизика высоких температур.- 1996,- Т.34, №2.-С.181-186.

74. Gousset G., Panafieu P., Touzeau M., Vialle M. Experimental study of DC oxygen glow discharge by V.U.V. absorption spectroscopy// Plasma Chem.Plasma Proc.-1987.-V.7, №4,-P.409-427.

75. Бровикова И.Н., Рыбкин В.В. Температурная зависимость вероятности .'..-. гетерогенной рекомбинации атомов 0(3Р) на поверхности кварцевого стекла// Химия высоких энергий,- 1993.-Т.27, №4.-С.89-92.

76. FeiTeira С.М., Gousset G., Pinheiro M.J. Kinetic modeling, of low-pressure microwave discharges in flowing oxygen: comparison with surface wave discharge experiments// Proc. Int. Workshop Microwave Plasma and its Applications. 5-8 Sept. 1994.- Zvenigorod.-Moscow Rhys.Soc.-1995.-P. 153-171.

77. Максимов А.И., Рыбкин В.В. Реакции образования и гибели метастабильного состояния 02( b'lTJ в положительном столбе тлеющего разряда в кислороде// Журн.прикл.спектроскопии.-1982.-Т.37, В. 1.-С.33-38.

78. Хворостовская Л.Э., Янковский В.Я. Экспериментальное исследование процессов с участием метастаб ильных атомов и молекул в тлеющем разряде в кислороде// Химическая физика.- 1984,-Т.З, №11.- С.1561-1571.

79. Клоповский К.С., Ковалев К.С., Лопаев Д.В., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В. О роли колебательно-возбужденного озона в образовании синглетного кислорода в кислородной плазме// Физика плазмы,- 1992,-Т. 18, В.2,-С. 1606-1616.

80. Touzeau М., Ricardi A., Pagnon D., Baravian G., Amorine J. Production of active species in glow discharge and application to atomic sources and metal surface treatment// Book of invited papers of 10 Symp. on elementary proc.5-10 Sept. 1994.-Stara Lesna. High Tatras.-P. 184-207.

81. Cacciatore M., Capitelli M., Dilonardo M. Non equilibrium vibrational population and dissociation rates of oxygen electrical discharge// Beitr.Plasmaphys.- 1978.- Bd.18, H.5.-S.279-299.

82. Lopaev D.V. Vibrationally excited ozone in oxygen dc discharge, its influence on the disharge kinetics// 2-й Международный симпозиум по теоретич. и прикл. плазмохимии. Материалы симпозиума. Иваново.-1995.- С.83-84.

83. Морозов И.И., Темчин С.М. Кинетика реакций синглетного кислорода в газовой фазе/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Энергоатомиздат,- 1990.- В.16.-С.39-66.

84. Александров Н.Л., Сон Э.Е. Энергетическое распределение и кинетические коэффициенты электронов в газах в электрическом поле/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат,- 1980.- В.7.-С.35-75.

85. Александров Н.Л., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. I. Невозбужденные молекулы// Физика плазмы.- 1978,- Т.4, №1,- С.169-175.

86. Александров Н.Л., Кончаков A.M., Сон Э.Е. Функция распределения электронов и кинетические коэффициенты азотной плазмы. II. Колебательно-возбужденные молекулы// Физика плазмы.- 1978,- Т.4, №5,- С.1182-1186.

87. Кочетов • И.В., Певгов В.Г., Полак Л.С., Словецкий Д.И. Скорости процессов, инициируемых электронным ударом. Азот и углекислый газ./ Плазмохимические процессы. Под ред. Л.С.Полака. М.: Ин-т нефтехимического синтеза АН СССР.-1979.-С.4-28.

88. Д.И. Словецкий. Влияние электронного удара и электронно-возбужденных состояний на реакции распада молекул/ Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме.Под ред. JI.C. Полака. М.:Наука.-1974,- С.3-47.

89. Иванов Ю.А., Полак J1.C. Энергетическое распределение электронов в низкотемпературной плазме/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат.-1975.- В.2,- С.161-198.

90. Ferreira С.M., Loureiro J. Electron excitation rates and transport parameters in high-frequency N2 discharges// J.Appl.Phys.-1989.- V.22.- P.76-82.

91. Loureiro J. Nitrogen dissociation rate and N(4S) densities in N2 glow discharge// Chem.Phys.-1991.- V.157, №1-2,- P.157-168.

92. Полак JI.C., Словецкий Д.И., Урбас А.Д., Федосеева T.B. Релаксационные измерения и механизмы возбуждения электронно-колебательных уровней молекул в тлеющем разряде в азоте/ Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. М.: Атомиздат,- 1978.- В.5.-С.242-279.

93. Словецкий Д.И. Механизмы химических реакций в неравновесной плазме/ М.: Наука,-1980,- 310 С.

94. Очкин В.Н. Савинов С.Ю., Соболев Н.Н. Механизмы формирования распределений электронно-возбужденных молекул по колебательно-вращательным уровням в газовом разряде//Труды ФИАН СССР,- М.: Наука.- 1985,- Т.158.-С.6-85.

95. Неравновесная колебательная кинетика./ Под ред. М.Капителли. М.: Мир.-1989.-392 с.

96. Словецкий Д.И., Тодесайте Р.Д. Исследование механизма разложения молекул азота в тлеющем разряде. I. Экспериментальное исследование разложения азота в тлеющем разряде// Химия высоких энергий.- 1973.-Т.7,№4.- С.291-296.

97. Батанов Г.М., Грицинин С.И., Коссый И.А. СВЧ-разряды высокого давления// Труды ФИАН СССР,- 1985.-Т.160,- С.174-203.

98. Русанов В.Д., Фридман А.А. Физика химически активной плазмы/ М.: Наука.-1984,-415 С.

99. Борисов Н.Д., Гуревич А.В., Милих Г.М. Искусственная ионизированная область в атмосфере/ ИЗМИР АН СССР.-1985,- 184 С.

100. Физика и химия газовых разрядов в пучках СВЧ-волн/ Труды ИОФАН РАН. Под ред.акад.А.М.Прохорова.-1994.-Т.47,- 144 С.

101. Александров H.JL, Высикайло Ф.И., Исламов Р.Ш. Функция распределения электронов в смеси N2-02=4:l// Теплофизика высоких температур.- 1981,- Т.19,№1,-С.22-27.

102. Masek К. Electron gas in discharge plasma in air// Czech.J.Phys.-1984.-B34,№7.-P.655-664.

103. Золотарев В.О., Кудряшова И.В.Исследования колебательной релаксации смеси азота и кислорода с учетом ангармонизма молекул// Химическая физика.- 1990,- Т.9, №2.-С.278-279.

104. Гордиец Б.Ф., Мамедов Ш.С., Осипов А.И., Шелепин А.А. О распределении колебательной энергии в газовых смесях // Теоретическая и экспериментальная химия.-1973.- Т.9, В.4,- С.460-479.

105. Мнацаканян А.Х., Найдис Г.В. Баланс колебательной энергии в разряде в воздухе// Теплофизика высоких температур,- 1985.- Т.23,№4,- С.640-646.

106. Gordiets В., Ricard A. Production of N, О and NO in N2-02 flowing discharges//Plasma Sources Sci. and Technol.- 1993.-V.2, №3,- P. 158-163.

107. Gordiets В., Ferreira C.M. Surface and volume kinetics in N2/02 low pressure glow discharge// 12th International Symposium on Plasma Chemistry. Proceedings. August 21-25. University of Minnesota. USA.-1995.-V.1-P.445-450.

108. Guerra V., Loureiro J. Self-consistent kinetic model for a N2-02 //12th International Symposium on Plasma Chemistry. Proceedings. August 21-25. University of Minnesota. USA.-1995.-V.1-P.451-456.

109. Gordiets В., Ferreira C.M., Nahorny J., Pagnon D., Touzeau M., Vialle M. Surface kinetics of N and О atoms in N2-02 discharges// J.Appl.Phys.-1996.-V.29.- P.1021-1031.

110. Куликов В.Н., Мицук В.Е. Скорость диссоциации молекул кислорода в импульсном СВЧ разряде в воздухе// Письма в ЖТФ.-1988.-Т.14, B.3.-C.233-235.

111. Александров H.JL, Кончаков A.M. Диссоциация молекул кислорода в СВЧ разряде в воздухе// Письма в ЖТФ.-1990.-Т.16, В.6.- С.4-7.

112.Huber К.Р., Herzberg G. Molecular spectra and molecular structure. IV.Constants of Diatomic Molecules. N.Y.: Litton Educational Publishing, Inc. 1979.

ПЗ.Радциг A.A., Смирнов Б.М. Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980. 240 с.

114.Е.Е. Никитин, И.А. Осипов, С.Я. Уманский. Химия плазмы. Вып.15. Под ред. Смирнова Б.М. М.: Атомиздат, 1989. С.З.

115. Kiefer J.H. Effect of V-V transfer on the rate of diatomic dissociation// J. Chem. Phys. 1972. V.57. №5. P.1938-1956.

116. Гершензон Ю.М., Никитин E.E., Розенштейн В.Б., Уманский С.Я. Взаимодействие колебательно-возбужденных молекул с химически активными атомами// Химия плазмы:

Под ред. Б.М.Смирнова., Вып.5. М.: Атомиздат, 1978. С.З—65.

/

117. Бухарин Е.В., Лобанов А.Н. Сечения колебательной релаксации молекул (X'Sg+,V) при столкновениях с атомом 0(JP). Расчет методом Монте-Карло// Тез: докл. IV Всесоюз. симпозиума по плазмохимии. Часть I. Днепропетровск: Днепропетровский химико-технологический ин-т, 1984. С.52-53.

118. Полак Л.С., Гольдберг М.Я., Левицкий А.А. Вычислительные методы в химической кинетике. М.: Наука, 1984. 280 с.

119. Таблицы физических величин. Справочник / Под ред. И.К.Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. С.290.

120. Webster Н., Bair E.J. Ozone ultraviolet photolysis. IV.02'+0(:'P) vibrational energy transfer// J. Chem. Phys.- 1972,- V.56, №12,- P.6104-6108.

121. Schulz G.J. Resonances in electron impact on diatomic molecules// Rev. Mod. Phys. 1973.-V.45, №3. -P.423-484.

122. Скубенич В.В., Повч М.М., Запесочный И.П. Возбуждение двух атомных молекул при столкновениях с моноэнергетическими электронами III.Азот и окись азота (колебательные уровни и электронные состояния)// Химия высоких энергий. 1977,-Т.11, №2.- С.116.

123. Гершензон Ю.М., Розенштейн В.Б., Уманский С.Я. Гетерогенная релаксация колебательной энергии молекул// Химия плазмы. Под ред. Б.М.Смирнова. Вып.4. М.: Атомиздат, 1977. Вып.4. С.61-97.

124. Pfau S., Rutsher A., Wojaczek К. Das Ahnlichkeitsgesetz fur gunsineutrale anisotherme Entladungassaulen// Beitr. Plasma Phys. 1969. Bd.9. H.4. S.333-358.

125. Дмитриева И.К., Зеневич B.A. Влияние колебательного возбуждения азота на константу скорости реакции N, (V)+0—>NO+N Теоретико-информационное приближение// Химическая физика. -1984. Т.З. №8. С.1075-1080.

126. Смирнов Б.М. Ионы и возбужденные атомы в плазме. М.: Атомиздат,- 1974,- 456 С.

127. Itikawa Y., Ichimura A., Onda К., Sakimoto К., Takayanagi К. Cross sections for collisions of electrons and photons with oxygen molecules.// J.Phys.Chem.Ref.Data.-1989.- V.18, №1,-P.23-42.

128. Inn E.C.Y., Tanaka Y. Absorption coefficient of ozone in the ultraviolet // J. Opt. Soc. America.- 1953,- V.43, №4,- P.329-330.

129. Новгородов M.3., Очкин В.H., Соболев H.H. Измерения колебательных температур в ОКГ на С02// Журн. техн. физики. 1970. Т.40. В.6. С.1268-1275.

130. Nichols R.W. Transition probabilities of aeronomically important spectra// Annales de Geophysique. 1964. V.20. №2. P.144-181.

131. Кузнецова JI.А., Кузьменко H.E., Кузяков Ю.Я., Пластинин Ю.А. Вероятности оптических переходов двухатомных молекул. М.: Наука, 1980. 320 с.

132. Кузьменко Н.Е., Кузнецова Л.А., Кузяков Ю.Я. Факторы Франка-Кондона двухатомных молекул. М.: МГУ, 1984. 344 с.

ПЗ.Хьюбер К.П., Герцберг Г. Константы двухатомных молекул. М.: Мир, 1984. 4.2. 386 с.

134. Словецкий Д.И.// Моделирование и методы расчета физико-химических процессов в низкотемпературной плазме/ Под ред. Л.С.Полака. М.: Наука, 1974. С. 14. ;

135. Оторбаев Д.К. Оптическая актинометрия плазмы// Плазмохимия-87. 4.2. М.: ИНХС АН СССР, 1987. С.50-57.

136. Буланьков Н.И., Кувалдина Е.В., Любимов В.К., Рыбкин В.В. Анализ применимости метода малых добавок аргона для оптической диагностики плазмы кислорода, содержащей примеси СО, , СО и Н2// Журн. прикл. спектроскопии. 1991. Т.54. №5. С.851-854.

137. Александров Н.Л., Высикайло Ф.И., Исламов Р.Ш. и др. Расчетная модель разряда в смеси N2:02 = 4:1 // Теплофизика высоких температур. 1981. Т. 19, № 3. С. 485-489.

138. Drunet Н., Rocca-Serra J. Model for a glow discharge in flowing nitrogen // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57, №5. P. 74-1581.

139. Мнацаканян A.X., Найдис Г.В. Процессы образования и гибели заряженных частиц в азот-кислородной плазме//Химия плазмы. М,: Энергоатомиздат, 1987.Вып.14.С.227-255.

140. Смирнов Б.М. Комплексные ионы. М.: Наука, 1983.150 с.

141. Смит К., Томсон Р. Численное моделирование газовых лазеров. М.: Мир, 1981.515 с.

142. Полак Л.С., Сергеев П.А., Словецкий Д.И. Образование комплексных и атомарных ионов в тлеющем разряде //Плазмохимические реакции и процессы. М.: Наука, 1977. С, 81-107.

143. Козлов С.И., Власков В.А., Смирнова Н.В. Специализированная аэрономическая модель для исследований искусственной модификации средней атмосферы и нижней ионосферы. 1. Требования к модели и основные принципы ее построения // Космич. исслед. 1988. Т. 26, №5. С. 738-745.

144. Александров Н.Л. Трехчастичное прилипание электрона к молекуле // УФН. 1988. Т. 154, №2. С. 177-206.

145. Смирнов Б.М. Отрицательные ионы. М.: Атомиздат, 1978. 176 с.

146. Александров Н.Л. Отлипание электронов от ионов О" и О2" возбужденных молекулах в газо ■ разрядной воздушной плазме //ЖТФ. 1978, Т. 48, №7. С. 1428-1431.

147. Мак-Ивен М., Филлипс JI. Химия атмосферы. М.: Мир, 1978. 375 с.

148. Кривоносова О.Е., Лосев С.А., Наливайко В.П. и др. Рекомендуемые данные о константах химических реакций между молекулами, состоящими из атомов N и О // Химия плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1987. Вып. 14. С. 3-31.

149. Русанов В.Д., Фридман А.А. Физика химически активной плазмы. М.: Наука. 1984. 415 с.

150. Jannuzzi М.Р., Jeffries J.B., Kaufman F. Product channels of the N2(A3Iu+)+02 interaction// Chem. Phys. Lett. 1982. Vol. 87, № 6. P. 570-574.

151. Piper L.G. The excitation of O('S) in the reaction between N2(A3SU+) and 0(3P) // J. Chem. Phys. 1982. Vol. 77, № 5. P. 2373-2377.

152. Taylor G.W., Setser D.W. A comparison of the reactivities of the lowest excited states of nitrogen (A3ZU+) and of carbon monoxide (а3П) // J. Amer. Chem. Soc. 1971. Vol. 93, № 19. P. 4930-4932.

153. Голубовский Ю.Б., Тележко B.M., Стоянов Д.Г. О возбуждении излучающих

л _____

состояний С^П,, и cJn„ молекулы азота при парных столкновениях метаетабилей ЩА3!^) // Оптика и спектороскопия. 1990. Т. 69, №2. С. 322-327.

154. Clark W.G.. Setser D.W. Energy transfer reactions of N2(A3ZU+) // J. Phys. Chem. 1080. Vol. 84, № 18. P.2225-2233.

155. Dreyer J.W., Perner D. The deactivation of N2(B3ng), u=0-2 and N^a'1!^"), u=0 by nitrogen // Chem. Phys. Lett. 1972. Vol. 16, № 1. P. 169-173.

156. Piper L.G. Quenching rate coefficients for N2(a''Eu") // J. Chem. Phys. 1987. Vol. 87, № 3. P. 1625-1629.

157. Arnold J., Comes F.J. Photolysis of ozone in the ultraviolet region: Reactions of O('D), 02('Ag) and 02* // Chem. Phys. 1980. Vol. 47, № 1. P. 125-130.

158. O'Keefe A., Mauclaire G., Parent D., Bowers M.T. Product energy disposal in the reaction N+(3P) with 02(X3Z) // J. Chem. Phys. 1986. Vol. 84, № 1. P. 215-219.

159. Дворянкин А.Н., Ибрагимов Л.Б., Кулагин Ю.А., Шелепин Л.А. Механизмы электронной релаксации в атомно-молекулярных средах // Химия плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1987. Вып. 14. С. 102-127.

160. Yaron М., Von Engel A., Vidaud Р.Н. The collisional quenching of 02*(lAg) by NO and C02 // Chem. Phys. Lett. 1976. Vol. 37, № 1. P. 159-161.

161.Дидюков А.И., Кулагин Ю.А., Шелепин Л.А., Ярыгина В.Н. Анализ скоростей процессов с участием молекул синглетного кислорода // Квантовая электрон. 1989. Т. 16, №5. С. 892-904.

162. O'Brien R.J., Myers G.H. Direct flow measurement of 02(b1Zg+) quenching rates // J. Chem. Phys. 1970. Vol. 53, № 10. P. 3832-3835.

163. Kenner R.D., Ogryzlo E.A. Deactivation of 02(A3Zu+) by 02, О and Ar // Intern. J. Chem. Kinet. 1980. Vol. 12, P. 502-508.

164. Смирнов Б.М. Возбужденные атомы. M.: Энергоатомиздат, 1982. 232 с.

165. Baulch D.L., Сох R.A., Crutzen P.J. et al. Evaluated kinetic and photochemical data for atmospheric chemistry: Supplement 1//J. Phys. Chem. Ref. Data. 1982.Vol. 11,№ 2. P.327-496.

166. Бессараб А.Б. Самосбгласованный анализ физико-химических процессов в плазме кислорода: диссертация, на соискание степ. канд.хим.наук.- Иваново, Ивановская государственная химико-технологическая академия, 1996.- 177 с.

167. Derwent R.G., Thrush В.А. Measurement on 02 ('Ag) and 02 ('£/) in discharge flow system.- Trans. Faraday Soc., 1971, №7, p.2036-2043.

168. Izod T.P.J., Wayne R.P. The reaction and deactivation of 02 ('Х^).- Proc. Roy. Soc., 1968, A308, p.81-94.

169. Arnold S.J., Cubo M., Ogruzlo E.A. Chemical reactions in electrical discharge. - In: Adv. Chem. Series (77)/ Am. Chem. Soc.- Washington: D.C., 1968, p.133-147.

170. Физические величины: Справочник/ Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. - VI.: Энергоатомиздат, 1991. - 1232 с.

171. Piper L.G., Caledonia G.E., Kennelaly J.P. Rate constants for deactivation of N2 (A3ZU+,V'=0,1) by О // J. Chem. Phys., 1981. Vol.75, №6. P.2847-2853.