Физико-технологические основы формирования гибридных наносистем "наностержни оксида цинка - коллоидные квантовые точки" тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.06, кандидат наук Рябко Андрей Андреевич

• Рябко Андрей Андреевич
• кандидат наук
• 2022

Оглавление диссертации кандидат наук Рябко Андрей Андреевич

Введение

Глава 1 Гибридные системы на основе наностержней оксида цинка и коллоидных квантовых точек

1.1 Свойства и применение наностержней оксида цинка

1.2 Прозрачные электроды на основе оксида цинка

1.3 Применение гибридных систем на основе наностержней оксида цинка и коллоидных квантовых точек

1.3.1 Фотовольтаические структуры на основе коллоидных квантовых точек

1.3.2 Адсорбционные резистивные газовые сенсоры

1.3.3 Фотокатализаторы

1.4 Формирование покрытий из наностержней оксида цинка низкотемпературным гидротермальным методом

1.4.1 Низкотемпературный гидротермальный синтез

1.4.2 Методы формирования затравочных слоев оксида цинка

1.5 Выводы

Глава 2 Атомно-молекулярный дизайн наноструктур оксида цинка

2.1 Выводы

Глава 3 Исследование и модификация покрытий из наностержней оксида цинка

3.1 Исследование покрытий из наностержней 7пО методом индикатрис светорассеяния

3.2 Исследование кристаллической структуры наностержней 7пО

3.3 Модификация наностержней тонкими диэлектрическими слоями

оксида алюминия

3.3.1 Ультрафиолетовая и ренгеновская фотоэлектронная спектроскопия покрытий 7пО/А12О3. Эффект интерфейсного легирования 7пО/А12О3

3.4 Формирование гибридной наносистемы на основе наностержней 7пО и

коллоидных квантовых точек

3.5 Выводы

Глава 4 Создание и исследование газовых сенсоров и фотокатализаторов на основе наностержней оксида цинка

4.1 Фотокатализатор на основе наностержней оксида цинка

4.2 Исследование газочувствительности покрытий на основе наностержней оксида цинка

4.3 Выводы

Заключение

Благодарности

Список публикаций автора

Список литературы

Перечень условных обозначений

ALD - atomic layer deposition (атомно-слоевое осаждение);

ASP - aerosol spray pyrolysis (спрей - пиролиз аэрозолей);

AZO - aluminium-doped zinc oxide (оксид цинка, легированный алюминием);

CVD - chemical vapor deposition (химическое осаждение из газовой фазы);

Eg - ширина запрещенной зоны;

FTO - fluorine doped tin oxide (оксид олова, легированный фтором); ITO - Indium tin oxide (оксид индия-олова);

MBE - molecular-beam epitaxy (молекулярно-пучковая эпитаксия);

MOCVD - metalloorganic chemical vapor deposition (металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы);

MOVPE - metalorganic vapour phase epitaxy (эпитаксия из паровой фазы металлоорганических соединений);

PVD - physical vapor deposition (физическое осаждение из паровой фазы);

PLD - pulsed laser deposition (импульсное лазерное осаждение);

SILAR - successive ionic layer adsorption and reaction (последовательное ионное наслаивание);

VBM - valence band maximum (максимум валентной зоны);

VLS - vapor-liquid-solid (пар-жидкость-кристалл);

АСМ - атомно-силовая микроскопия;

ГМТА - гексаметилентетрамин;

ККТ - коллоидные квантовые точки;

КПД - коэффициент полезного действия;

НС - наностержни;

ПФА - перфторалкоксид;

ПЭИ - полиэтиленимин; ПЭТ - полиэтилентерефталат;

РФЭС - рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия;

РЭМ - растровая электронная микроскопия;

ПЭМ - просвечивающая электронная микроскопия;

СОЗ - стойкие органические загрязнения;

УФЭС - ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия;

УФ - ультрафиолет;

ФЗ - фактор заполнения;

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-технологические основы формирования гибридных наносистем "наностержни оксида цинка - коллоидные квантовые точки"»

Введение

Актуальность темы исследований. В современном материаловедении актуальными направлениями являются вопросы разработки атомно-молекулярного дизайна и архитектоники новых функциональных приборов. В качестве перспективных конструкций рассматриваются иерархические структуры пористых гибридных материалов, сочетающие элементы 0D, Ш, 2D и 3D размерности [1-3]. Особый интерес представляют структуры на основе ограненных наностержней в сочетании с коллоидными квантовыми точками, а также структур, состоящих из сборки элементов 2D размерности (Ван-дер-Ваальсовы гетероструктуры). Такие объекты недостаточно изучены в теоретическом плане, но существуют большая востребованность в реализации различных практических применений (целевая доставка лекарств, катализ, сенсоры).

Среди наноструктурированных материалов для создания гибридных структур с коллоидными квантовыми точками для практических применений чрезвычайно перспективны наноструктуры оксида цинка, сформированные низкотемпературным гидротермальным методом.

Оксид цинка - прямозонный полупроводник п-типа проводимости с шириной запрещенной зоны около 3.3 эВ, обладающий пьезо- и пироэлектрическими свойствами, который в наноструктурированном виде широко исследуется для применения в светодиодах и фотоприемниках ультрафиолетового диапазона, полевых эмиттерах электронов, пьезоэлектрических наногенераторах и фотовольтаических структурах, газовых сенсорах и фотокатализаторах.

Низкотемпературный гидротермальный синтез позволяет формировать оксид цинка в виде Ш, 2Э объектов, а также 3Э иерархических структур, состоящих из объектов Ш и 2Э размерности, типа «ежи» и «наноцветы» для различных применений. При этом простота оборудования и низкие температуры синтеза позволяют масштабировать лабораторные технологии в массовое производство. Таким образом, создание материаловедческой базы

наноструктурированных объектов на основе оксида цинка с атомно-молекулярной архитектоникой представляет большой научный и практический интерес.

Гибридные системы на основе наностержней оксида цинка и коллоидных квантовых точек исследуются для создания фотовольтаических элементов, таких как солнечные элементы на основе коллоидных квантовых точек и ячейки Гретцеля, а также для использования в качестве адсорбционных газовых сенсорах и фотокатализаторов с оптической активацией в видимой области спектра. В солнечных элементах на основе коллоидных квантовых точек (ККТ) использование наностержней оксида цинка обеспечивает увеличение эффективной площади гетерограницы между ZnO и слоем из ККТ и, соответственно, увеличение КПД устройства. Оптическая активация газочувствительности адсорбционных газовых сенсоров позволяет понизить рабочие температуры, что делает возможным их применение в портативных устройствах. Активация фотокаталитических реакций на поверхности наноструктурированного оксида цинка в видимой области спектра предопределяет возможность более эффективного использования солнечного излучения для устройств очистки окружающей среды (питьевой воды и воздушной атмосферы в помещениях) от стойких органических соединений, бактерий и вирусов.

Актуальной задачей, особенно для солнечной энергетики и гибкой электроники, является изучение закономерностей снижения сопротивления наноструктурированных покрытий оксида цинка для прозрачных электродов.

Целью работы являлось создание гибридных систем на основе наностержней оксида цинка и коллоидных нанокристаллов для исследования возможности фотоактивации процессов газочувствительности и фотокатализа в видимой области спектра.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи:

> Изучение закономерностей атомно-молекулярного дизайна структур на основе наноразмерных элементов из оксида цинка и

формирование иерархических систем для различных функциональных применений.

> Разработка масштабируемой методики формирования покрытий из наностержней оксида цинка с использованием низкотемпературного гидротермального синтеза.

> Интеграция наностержней оксида цинка с коллоидными квантовыми точками AgInS2 для сенсибилизации к видимому облучению.

> Изучение закономерностей изменения электропроводности наностержней оксида цинка при модификации наностержней атомно-слоевым осаждением оксида алюминия

> Создание фотокатализатора на основе наностержней оксида цинка и исследование его фотокаталитической активности при облучении в ультрафиолетовом и видимом диапазонах.

> Создание измерительного стенда газочувствительности с термической и оптической активацией.

> Формирование газочувствительных структур на основе наностержней оксида цинка и исследование их газочувствительности при термическом и оптическом воздействии

> Исследование фотокаталитической активности и газочувствительности гибридных наносистем на основе наностержней оксида цинка и коллоидных квантовых точек при облучении в видимой области спектра

Практическая значимость диссертационной работы заключается в следующем:

Разработана двухэтапная методика формирования покрытий из наностержней оксида цинка с использованием ультразвукового спрей-пиролиза и низкотемпературного гидротермального метода с подавлением зародышеобразования в объеме раствора, пригодных для применения в фотовольтаических структурах на основе коллоидных квантовых точек.

Продемонстрирована возможность использования метода индикатрис светорассеяния для экспресс-контроля геометрических параметров синтезируемых покрытий из наностержней оксида цинка. (Устройство для исследования материалов методом индикатрис светорассеяния защищено патентом на полезную модель РФ № 167044)

Разработана методика формирования наноструктур из 2D нанообъектов, между которыми существуют пространственные зазоры (наноархитектоника и дизайн перспективных наноструктур для нанореакторов и пористых электродов.)

Предложен и реализован макет устройства для фотокатализа на основе наностержней оксида цинка с использованием носителя из стеклянных шариков (с диаметром ~ 1 мм), позволяющий проводить экологическую очистку состава воды от органических загрязнений без этапа фильтрации воды от порошка-фотокатализатора.

Модернизирован измерительный стенд для исследования газочувствительности материалов с термическим и оптическим воздействиями при изменении амплитуд постоянного, переменного и смешанного режимов прикладываемой разности потенциалов.

Усовершенствована методика формирования сенсорных слоев на основе наностержней оксида цинка с использованием ультразвукового спрей-пиролиза и низкотемпературного гидротермального метода, обладающих высокой газочувствительностью к парам изопропилового спирта.

Продемонстрирована возможность комбинированного воздействия нагрева и ультрафиолетового излучения для реализации адсорбционных газовых сенсоров на основе наностержней оксида цинка, работающих при пониженных температурах с повышенной стабильностью и энергоэффективностью.

В результате выполнения научно-исследовательской работы были сформулированы следующие научные положения:

1. Разработанная технология, состоящая из формирования затравочного слоя оксида цинка с управляемым количеством зародышевых центров методом спрей-пиролиза и низкотемпературного гидротермального разращивания нанообъектов, обеспечивает масштабируемую технологию с управляемыми параметрами: по однородности распределения нанообъектов с заданными формой и размерами.

2. Предложенный комбинированный способ, состоящий из низкотемпературного гидротермального синтеза ограненных стержней оксида цинка с последующей операцией покрытия их тонким (5-6 нм) слоем оксида алюминия методом атомно-слоевого осаждения, обеспечивает снижение сопротивления покрытия из оксида цинка в 104 - 105 раз. При этом несмотря на сложную форму наностержней покрытие из оксида алюминия является сплошным.

3. Способ формирования наноструктурированных покрытий на основе атомно-молекулярной архитектоники из элементов нанокристаллических стержней оксида цинка, состоящий из этапа ультразвукового спрей-пиролиза и последующего низкотемпературного гидротермального синтеза, обеспечивает повышение аналитического отклика газочувствительности (отношение сопротивления в воздушной атмосфере к сопротивлению в атмосфере паров изопропилового спирта) до значений 28 при стандартных температурах = 250 °С, 1000 ррт паров изопропилового спирта) при принципиальной масштабируемости технологии.

4. Наноструктурированные газочувствительные сенсоры на основе встречно-штыревых электродов с чувствительным слоем из кристаллических наностержней оксида цинка, полученных по разработанной методике, обладают способностью анализировать восстанавливающие газы при рабочих комнатных температурах с использованием ультрафиолетового светодиода 365 нм с существенным уменьшением скважности (мощности) облучения вплоть до 0.1 (при периоде Т = 2 мс).

5. Показана принципиальная возможность использования комбинированного воздействия температуры и ультрафиолетового излучения для реализации адсорбционных газовых сенсоров нового поколения, работающих при пониженных температурах с повышенной стабильностью. Научной новизне отвечают все сформулированные научные положения.

Достоверность полученных научных результатов подтверждается:

- согласием с результатами измерений независимыми методами и сравнением с литературными данными, в случаях, когда сопоставление таких данных возможно.

- апробацией основных научных результатов на научно-технических конференциях, школах и семинарах различного, в том числе международного, уровня.

- экспертизой опубликованных статей, содержащих результаты работы, в научных реферируемых журналах.

Результаты работы использованы при выполнении проекта, поддержанного российским научным фондом № 17-79-20239, 07.2017 -06.2020. А также при выполнении проекта, поддержанного российским фондом фундаментальных исследований № 19-38-90088, 01.10.201930.09.2021.

Результаты работы внедрены в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете «ЛЭТИ» при проведении лабораторных работ в R@D магистерской программе, используются при чтении лекций и отражены в изданных учебных пособиях и монографиях.

Результаты диссертационной работы, посвященные развитию физико-технологических представлений по получению новых гибридных наноматериалов на основе оксида цинка, внедрены в практику Пензенского государственного университета и используется при выполнении грантов, направленных на создание сенсоров нового поколения, в том числе использующих синергетические эффекты, возникающие при контакте

коллоидных квантовых точек и полупроводниковых наностержней оксида цинка.

Объект и предмет исследования. Объектом исследования являются гибридные наносистемы на основе наностержней оксида цинка и коллоидных квантовых точек. Предмет исследования: атомно-молекулярная архитектоника наноструктур на основе оксида цинка и создание фотокаталитических и газочувствительных сенсорных слоев.

Методами анализа морфологии наноструктур оксида цинка, оптической ширины запрещенной зоны, кристаллической структуры и особенностей электронных состояний поверхности являлись: растровая электронная микроскопия, спектрофотометрия, спектроскопия комбинационного рассеяния, а также рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия и ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия. Для исследования тонких затравочных слоев оксида цинка использовалась атомно-силовая микроскопия. Чувствительность сенсорных покрытий исследовалась на специально созданном измерительном стенде для исследования газочувствительности при нагреве и оптическом облучении. Эффективность фотокатализа исследовалась на созданной лабораторной экспериментальной установке.

Апробация результатов работы. Результаты, полученные в настоящей работе, докладывались и обсуждались на следующих конференциях, семинарах и школах:

Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов» (Москва, 11-22 апреля, 2022. Работа отмечена грамотой); Школа-конференция с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Нанобиоструктурам «Saint Petersburg OPEN 2021» (Санкт-Петербург, 25-28 мая 2021), IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (ElConRus) (Санкт-Петербург, 26-29 января 2021); Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика» (Москва, 29-30

апреля 2021), Всероссийская молодежная конференция по физике полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике (Санкт-Петербург, 27 ноября - 01 декабря 2017, 23-27 ноября 2020); Научно-практическая конференция с международным участием «Наука настоящего и будущего» для студентов, аспирантов и молодых ученых (Санкт-Петербург, 12-13 марта 2015, 24-25 марта 2016, 17-18 марта 2017, 16-18 мая 2019, 14-16 мая 2020, 13-15 мая 2021); Российская конференция «Физико-химические проблемы возобновляемой энергетики» (Санкт-Петербург, 16-19 мая 2017, 18-20 ноября 2019); Всероссийская научная конференция и школа для молодых ученых (с международным участием) «Системы обеспечения техносферной безопасности» (Таганрог, 4-5 октября 2019); Всероссийская научная конференция «Наноструктурированные материалы и преобразовательные устройства для солнечной энергетики» (Чебоксары, 27-28 октября); Международная научно-техническая конференция «ШТЕКМАТ1С-2017» (Москва, 20-24 ноября 2017); Всероссийская научно-техническая конференция, посвященная Дню радио. (Санкт-Петербург, 20-28 апреля 2016); Международная научная конференция "Химическая термодинамика и кинетика" (Великий Новгород, 25-29 мая 2015).

Личный вклад автора. Автором выполнены все эксперименты по синтезу наноструктур оксида цинка низкотемпературным гидротермальным методом, получению тонких затравочных слоев и модификации покрытий из наностержней коллоидными квантовыми точками.

Создан автоматизированный измерительный стенд

газочувствительности с возможностью оптического и термического воздействия для активации газочувствительности, возможностью управления концентрацией паров анализируемых жидкостей, температурой нагрева и интенсивностью облучения сенсорных слоев.

Проведены измерения спектрофотометрии, фотопроводимости, газочувствительности и фотокаталитической активности, проведен анализ

данных атомно-силовой и растровой электронной микроскопии, рамановской и фотоэлектронной спектроскопии.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 22 работы, среди которых 7 — публикации в ведущих рецензируемых изданиях, рекомендованных в перечне ВАК, 18 — публикации в изданиях, входящих в базы Web of Science и Scopus, 1 патент РФ на полезную модель и 2 главы в 2 монографиях.

Структура и объем научной-квалификационной работы.

Диссертация изложена на 160 страницах машинописного текста, состоит из введения, 4 глав с выводами, заключения и списка литературы, включающего 210 наименований. Работа содержит 100 рисунков и 2 таблицы.

Глава 1. Гибридные системы на основе наностержней оксида цинка и

коллоидных квантовых точек 1.1 Свойства и применение наностержней оксида цинка

Оксид цинка является прямозонным полупроводниковым соединением с шириной запрещенной зоны Ед « 3,34 эВ при 300 К, п - типа проводимости. Природу остаточного п - типа проводимости в нелегированных пленках оксида цинка объясняют остаточным фоном собственных дефектов (кислородные вакансии VI) и междоузельные атомы цинка Zni). Для легирования оксида цинка в качестве примеси п-типа проводимости используют А1, Оа, Бп, 1п, Мп [4,5]. Использование Оа и А1 на уровне 1-2 % обеспечивает использование ZnO в качестве прозрачных электродов [5,6].

Оксид цинка кристаллизуются в двух близких между собой алмазоподобных структурах: сфалерита и вюрцита (рис. 1.1). Каждый атом одного вида окружен четырьмя атомами другого вида. Подобная

3 "

тетраэдрическая координация характера для Бр3 ковалентной связи, однако такие материалы имеют также существенный ионный характер связи [7]. Оксид цинка со структурой сфалерита является метастабильной фазой. Структура цинковой обманки (сфалерита) состоит из двух взаимопроникающих гранецентрированных кубических подрешеток, сдвинутых по диагонали на одну четверть. Под действием относительно высокого гидростатического давления структура вюрцита преобразуется в структуру каменной соли (рис. 1.1).

Каменная соль Сфалерит Вмрцит

а 6 в

Рисунок 1.1. - Кристаллическая структура ZnO: а - каменная соль, б - сфалерит, в - вюрцит [8]

Структура вюрцита при нормальных условиях является термодинамически стабильной фазой и имеет гексагональную ячейку с параметрами а и с (рис.

1.2), соотношение которых с/а = ^8/3 = 1,633. Она состоит из двух взаимопроникающих плотноупакованных гексагональных подрешеток, каждая из которых содержит атомы одного вида, которые смещены друг относительно друга вдоль оси с на расстояние и = 3/8 = 0,375. Каждая подрешетка включает в себя четыре атома в элементарной ячейке, а каждый атом Zn окружен четырьмя атомами O и наоборот [8].

Рисунок 1.2. - Схематическое изображение кристаллической структуры оксида цинка

В структуре вюрцита нет центра симметрии. Это обуславливает наличие кристаллографической полярности вдоль оси с. На рисунке 1.2 показано чередование слоев атомов кислорода и цинка вдоль направления оси с. Такое расположение приводит к возникновению положительного и отрицательного заряда на поверхности плоскостей (0001) и (000-1) [9].

Оптические свойства оксида цинка, в частности фотолюминесценция (ФЛ), непосредственным образом связаны с совершенством кристаллической структуры и собственными и примесными дефектами. В спектрах ФЛ 7пО при комнатной температуре обычно наряду с краевой ультрафиолетовой (УФ) эмиссией присутствуют одна или несколько полос излучения в видимой области, происхождение которых связано с дефектами [10]. Радиус Бора экситона в 7пО составляет 2,34 нм, поэтому ограничительные квантовые эффекты могут проявляться лишь в очень малых наноструктурах, например в наностержнях с радиусом 1,1 нм [11].

Большое значение ширины запрещенной зоны и энергии связи экситонов (60 мэВ) оксида цинка, позволяет наблюдать стимулированное экситонное излучение в ближней УФ области при температурах выше комнтатной (до 550 К) [12]. Что делает оксид цинка перспективным материалом для создания полупроводниковых лазеров и светодиодов в ультрафиолетовой области. Данное применение оксида цинка требует высокого кристаллического совершенства, поэтому использование одномерных нанокристаллов 7пО, которые являются бесдислокационными монокристаллами, вызывает значительный интерес [13].

Последнее время одномерные материалы находят широкое применение в автоэмиссионных катодах. К основным достоинствам автоэлектронной эмиссии можно отнести: отсутствие накала, высокую плотность тока, устойчивость к колебаниям температуры в широком диапазоне, безынерционность отклика тока на изменение напряжения. Наибольшее количество публикаций по использованию одномерных нанообъектов для автоэмиссионных катодов посвящено углеродным нановолокнам и нанотрубкам. Однако, большой интерес проявляется также к использованию нитевидных нанокристаллов оксида цинка [14]. Одномерные нанокристаллы оксида цинка интересны из-за высокой стабильности в кислородной среде по сравнению с углеродными нанотрубками и простоте технологии синтеза. Также использование УФ-подсветки позволяет увеличивать полевую эмиссию наностержней ZnO и уменьшает электрическое поле включения [15].

Оксид цинка в виде наноструктур применяется также в фотокатализе, в резистивных газовых сенсорах, в фотовольтаических структурах [16]. Для данных применений актуальным является использование гибридных систем на основе наностержней оксида цинка и коллоидных квантовых точек. Поэтому эти применения будут рассмотрена далее более подробно.

Кроме уникальных полупроводниковых свойств оксид цинка обладает пьезоэлектрическими (и пироэлектрическими) свойствами. В окружающей среде и промышленных процессах большое количество видов энергий, таких как оптическая, тепловая, энергия механических вибраций и химических

реакций теряется. Среди них механическая энергия окружает нас повсюду, энергия механических вибраций, потоков воздуха или жидкости, каплей дождя. Эта энергия может быть собрана и преобразована в электрическую с помощью пьезоэлектрического эффекта. Устройства на основе пьезоэлектрических наноматериалов, преобразующие энергию вибраций и механических колебаний, называются пьезоэлектрическими наногенераторами [17]. Необходимость в подобных наногенераторах обусловлена развитием портативных и беспроводных микро- и наноустройств, которые широко используются в экологическом мониторинге окружающей среды, медицинских имплантах, персонализированной электронике.

1.2. Прозрачные электроды на основе оксида цинка

Для формирования прозрачных электродов в качестве легирующей примеси в оксид цинка чаще всего используют А1, и реже Оа [18,19]. Легирующая примесь занимает позиции в подрешетке Zn и выступая донором одного электрона [19,20]. Концентрация легирующей примеси обычно варьируется в диапазоне 1-2 ат. %. Для обозначения оксид цинка, легированного алюминием ^пО:А1), используется аббревиатура AZO, по аналогии с оксидом олова, легированного фтором (БТО) или оксида индия олова (1ТО). AZO в виде наноструктурированных пленок получают с помощью золь-гель технологии [21,22], методом пиролиза и спрей-пиролиза [23,24]. Основным методом нанесения прозрачных электродов AZO является магнетронное распыление [18,20,25,26,], отличные результаты также показывает импульсное лазерное распыление [19,27,28], ведутся исследования по нанесению AZO методом атомно-слоевого осаждения (АСО, АЪБ) [29-32]. В качестве подложек используются не только твердотельные подложки, но и гибкие полимерные подложки [26,28]. Так в работе [26] методом магнетронного распыления на подложке из полиэтилентерефталата (ПЭТ) были получены пленки AZO с удельным сопротивлением 4.5 10-4 Омсм и коэффициентом пропускания 80 % при толщине пленки 1100 нм. В работе [ 28] на ПЭТ-подложке методом импульсного лазерного осаждения были получены

пленки Л70 с оптимальной толщиной ~ 100 нм, демонстрирующие удельное сопротивление ~6,6-10-4 Омсм и коэффициент пропускания ~ 90 %.

Пленки Л/О демонстрируют зависимость удельного сопротивления от толщины пленки, (рис. 1.3) [18,25,26,28].

Е

о

О. >

щ ее

10"

10"

А

■ А— ---— • -

■ V -

■ - -

/ ■

• /

/ а ■

а МоЬ|1Ку

-А- Сатег сопсш^пйал

20

155

10

9x10е'

8x1020 Е

7x10 .9

13

6x10 53

0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 ТЫскпезз (пт)

а)

4x10

3x10

О

б)

Рисунок 1.3. - а) Удельное электрическое сопротивление (р), концентрация носителей (п) и холловская подвижность (ц) пленок Л20 в зависимости от толщины пленки для пленок, полученных методом импульсного лазерного распыления на ПЭТ-подложке [28]; б) Зависимость удельного сопротивления от толщины пленки AZO на стеклянной подложке, полученной методом магнетронного распыления. Значения сопротивления рассчитаны из спектроскопический эллипсометрии (SE), а также четырехзондовым

методом и измерениями Холла [25].

Структура поликристаллических пленок (в сечении) представляет собой текстуру, то есть состоит из вытянутых кристаллитов в направлении (0001), которые имеют преимущественную ориентацию (рис. 1.4.) [18,25,26,27,29] .

а)

б)

Рисунок 1.4. - РЭМ-изображения поликристаллических AZO-пленок в сечении: а) пленка получена магнетронным распылением на стеклянной подложке [25]; б) пленка получена магнетронным распылением на ПЭТ-подложке [26].

Уменьшение удельного сопротивления при увеличении толщины пленки часто обусловлено одновременным увеличением и подвижности, и концентрацией носителей заряда (рис. 1.3,а) [25,28]. Увеличение толщины пленки сопровождается увеличением размеров кристаллитов (зерен) [26,28], увеличивается отношение внутризеренной фракции к площади границ зерен [18]. В результате возрастания кристаллитов и уменьшения границ большая концентрация атомов встраивается в кристаллическую решетку, образуя донорную примесь A1zn, эффективность легирования и концентрация носителей заряда увеличивается. Другие механизмы, уменьшающие эффективность легирования и лимитирующие подвижность, будут рассмотрены ниже. Здесь же следует отметить, что при малых концентрациях легирующей (< 1%) примеси и меньших размерах кристаллитов подвижность носителей заряда обычно выше, чем в более легированных (> 1%) [26,20]. А в работе [26] подвижность уменьшается с увеличением размеров зерна. Таким образом, подвижность носителей заряда скорее лимитирована рассеивающими центрами внутри зерна. В работе [32] приводится оценка, также показывающая, что рассеяние на границах зерен в вырожденных пленках AZO незначительно. Очевидно, что при некоторых технологических условиях и при малых толщинах может наблюдаться большая шероховатость по отношению к толщине и пористость структуры. Такие особенности морфологии пленки могут объяснять увеличение подвижности с увеличением толщины пленки и увеличением размера зерна.

В работе [18] в результате рентгеноструктурного анализа определили четкую корреляцию между предпочтительной ориентацией зерен, которая наблюдается при увеличении толщины пленки, и уменьшением удельного сопротивления. Отмечается также, что анизотропия внутри кристаллита не может объяснить наблюдаемые изменения удельного сопротивления (при концентрации легирующей примеси 2 ат. %). Изменение предпочтительной ориентации кристаллитов в процессе роста отмечается и в работе [30], где AZO-пленку формировали методом атомно-слоевого осаждения. Скорее всего

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Рябко Андрей Андреевич, 2022 год

Список литературы

1. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы/ Под ред. Лучинина В. В., Таирова Ю. М. М.: Физматлит, 2006. - 552 с.

2. Наночастицы, наносистемы и их применение. формирование наносистем для сенсорики и медицины/ Под ред. Мошникова В.А., Максимова А.И. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2021. - 200 с.

3. Плуготаренко Н.К., Петров В.В., Милешко Л.П., Гапоненко Н.В. Поверхностные свойства пленок нанокомпозитных материалов.: учеб. пособие. Таганрог.: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2012. - 100 с.

4. Caglar Y., Caglar M., Ilican S. Microstructural, optical and electrical studies on sol gel derived ZnO and ZnO: Al films //Current Applied Physics. - 2012. - Т. 12. - №. 3. - С. 963-968.

5. Assuncao V. et al. Influence of the deposition pressure on the properties of transparent and conductive ZnO: Ga thin-film produced by rf sputtering at room temperature // Thin solid films. - 2003. - Т. 427. - №. 1-2. - С. 401-4.

6. Jin Z. C., Hamberg I., Granqvist C. G. Optical properties of sputter-deposited ZnO: Al thin films //Journal of applied physics. - 1988. - Т. 64. - №. 10. - С. 51175131.

7. A comprehensive review of ZnO materials and devices / Ozgur U., Alivov Ya. I., Liu C. et al. // J. Appl. Phys. - 2005. - Т. 98. - С. 1 - 103.

8. Вакалов Д. С. Исследование люминесцентных свойств широкозонных дисперсных материалов на основе соединений ZnO и SrTiO3:Pr3+,Al : дис. ... канд. физ. - мат. наук 01.04.07: защищена 12.01.14 / Вакалов Дмитрий Сергеевич; Северо - Кавказк. фед. ун-т. - Ставрополь, 2014. - 143 с.

9. Anionic and cationic substitution in ZnO / Wenckstern H., Schmidt H., Brandt M. et al. // Prog. Solid State Chem. - 2009. - Т.37. - С. 153-172.

10. Djurisic A.B., Leung Y.H. Optical Properties of ZnO Nanostructures // Small. 200. - Т. 2. - № 8. -9. - С. 944-961.

11. Influence of exciton-phonon coupling on the energy position of the nearband-edge photoluminescence of ZnO nanowires / Voss T., Bekeny C., Wischmeier L. et al. // Appl. Phys. Lett. - 2006. - Т. 89. - № 18. - С. 182107.

12. Упорядоченные массивы наностержней оксида цинка на кремниевых подложках / Редькин А. Н., Рыжова М. В., Якимов Е. Е. и др. // ФТП. 2013. -Т. 47. - Вып. 2. - С. 216 - 222.

13. Djurisic A.B., Wang M.C., Chen X.Y. Review. ZnO nanostructures for optoelectronics: Material properties and device applications // Prog. Quant. Electron. - 2010, - Т. 34. - С. 191-259.

14. Low-temperature growth and field emission of ZnO nanowire arrays / Cui J. B., Daghlian C. P., Gibson U. J. et al. // J. Appl. Phys. - 2005. - Т. 97. - С. 044315.

15. Chen C. H. Enhanced field emission of well-aligned ZnO nanowire arrays illuminated by UV //Chemical Physics Letters. - 2010. - Т. 490. - №. 4. - С. 176179.

16. Бобков А.А., Кононова И.Е., Мошников В.А Материаловедение микро-и наносистем. иерархические структуры - СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2017. - 204 с.

17. Семенова А. А. и др. Формирование пьезоэлектрических наностержней оксида цинка на зародышевых слоях, полученных методом SILAR //Вестник НовГУ им. Ярослава Мудрого. - 2017. - №. 5 (103). - С. 119-123.

18. Birkholz M. et al. Structure-function relationship between preferred orientation of crystallites and electrical resistivity in thin polycrystalline ZnO: Al films //Physical Review B. - 2003. - Т. 68. - №. 20. - С. 20541.

19. Look D. C. et al. Self-compensation in semiconductors: The Zn vacancy in Ga-doped ZnO //Physical Review B. - 2011. - Т. 84. - №. 11. - С. 115202.

20. T-Thienprasert J. et al. Compensation in Al-doped ZnO by Al-related acceptor complexes: synchrotron X-ray absorption spectroscopy and theory //Physical review letters. - 2013. - Т. 110. - №. 5. - С. 055502.

21. Caglar Y., Caglar M., Ilican S. Microstructural, optical and electrical studies on sol gel derived ZnO and ZnO: Al films //Current Applied Physics. - 2012. - T. 12. - №. 3. - C. 963-968.

22. Nasr B. et al. Electrical resistivity of nanocrystalline Al-doped zinc oxide films as a function of Al content and the degree of its segregation at the grain boundaries //Journal of Applied Physics. - 2010. - T. 108. - №. 10. - C. 103721.

23. Ignatieva I. O. et al. The optical and electrophysical properties of Al-ZnO thin films //Materials Today: Proceedings. - 2022. - T. 52. - C. 191-194.

24. Hung-Chun Lai H. et al. Dopant-induced bandgap shift in Al-doped ZnO thin films prepared by spray pyrolysis //Journal of Applied Physics. - 2012. - T. 112. -№. 8. - C. 083708.

25. Ehrmann N., Reineke-Koch R. Ellipsometric studies on ZnO: Al thin films: Refinement of dispersion theories //Thin Solid Films. - 2010. - T. 519. - №. 4. - C. 1475-1485.

26. Wang L. M. et al. Characteristics of low-resistivity aluminum-doped zinc oxide films deposited at room temperature by off-axis radio-frequency sputtering on flexible plastic substrates //Applied Physics A. - 2016. - T. 122. - №. 8. - C. 1-11.

27. Agura H. et al. Low resistivity transparent conducting Al-doped ZnO films prepared by pulsed laser deposition //Thin solid films. - 2003. - T. 445. - №. 2. -C. 263-267.

28. Wong L. M. et al. Highly conductive and transparent aluminum-doped zinc oxide thin films deposited on polyethylene terephthalate substrates by pulsed laser deposition //Thin solid films. - 2013. - T. 545. - C. 285-290.

29. Steglich M. et al. Atomic layer deposited ZnO: Al for nanostructured silicon heterojunction solar cells //Solar energy materials and solar cells. - 2012. - T. 103. - C. 62-68.

30. Zhao K. et al. Investigation on Transparent, Conductive ZnO: Al Films Deposited by Atomic Layer Deposition Process //Nanomaterials. - 2022. - T. 12. -№. 1. - C. 172.

31. Wu Y. et al. Electrical transport and Al doping efficiency in nanoscale ZnO films prepared by atomic layer deposition //Journal of Applied Physics. - 2013. - Т. 114. - №. 2. - С. 024308.

32. Moskova A. et al. Doping efficiency and electron transport in Al-doped ZnO films grown by atomic layer deposition //Journal of Applied Physics. - 2021. - Т. 130. - №. 3. - С. 035106.

33. Sernelius B. E. et al. Band-gap tailoring of ZnO by means of heavy Al doping //Physical Review B. - 1988. - Т. 37. - №. 17. - С. 10244.

34. Афанасьев В. П., Теруков Е. И., Шерченков А. А. Тонкопленочные солнечные элементы на основе кремния. 2-е изд. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2011. - 168 с.

35. Schaller R. D., Klimov V. I. Non-Poissonian exciton populations in semiconductor nanocrystals via carrier multiplication //Physical review letters. -2006. - Т. 96. - №. 9. - С. 097402.

36. Николенко Л.М., Разумов В.Ф. / Коллоидные квантовые точки в солнечных элементах // Успехи химии. - 2013. - 82 (5). - С. 429-448.

37. Semonin O. E. et al. Peak external photocurrent quantum efficiency exceeding 100% via MEG in a quantum dot solar cell //Science. - 2011. - Т. 334. -№. 6062. - С. 1530-1533.

38. Наноматериалы и методы их исследования/ Под ред. Гурова В.С., Вихрова С.П.: Учеб. пособие, Рязань.: Изд-во РГРТУ, 2010. - 240 с.

39. Матюшкин Л. Б., Мошников В. А. Фотолюминесценция нанокристаллов перовскитов CsPbX3 (X= Cl, Br, I) и твердых растворов на их основе //Физика и техника полупроводников. - 2017. - Т. 51. - №2. 10. - С. 13871392.

40. Wang Y., Plummer E. W., Kempa K. Foundations of plasmonics //Advances in Physics. - 2011. - Т. 60. - №. 5. - С. 799-898.

41. Наночастицы, наносистемы и их применение. Ч.1. Коллоидные квантовые точки/ О. А. Александрова и др.: под ред. В. А. Мошникова, О.А. Александровой. - Уфа: Аэтерна, 2015. - 236 с.

42. Матюшкин Л. Б. и др. Синтез наночастиц металлов и полупроводников в потоке несмешивающихся жидкостей //Физика и техника полупроводников. - 2016. - Т. 50. - №. 6. - С. 859.

43. Рыжов О.А. и др. Реактор для синтеза наноструктур // Патент на полезную модель RU 166323 U1, 20.11.2016.

44. Automated Synthesis of Photovoltaic-Quality Colloidal Quantum Dots Using Separate Nucleation and Growth Stages / J. Pan, A. O. El-Ballouli, L. Rollny, et al. // ACS Nano. - 2013. - Т. 7. - С. 10158-10166.

45. Tang J., Sargent E. H. Infrared colloidal quantum dots for photovoltaics: fundamentals and recent progress //Advanced materials. - 2011. - Т. 23. - №. 1. -С. 12-29.

46. Colloidal Quantum Dot Solar Cells /G. H. Carey, A. L. Abdelhady, Z. Ning, et al. // Chem. Rev. - 2015. - Т .115. - С. 12732.

47. Remacle, F. On Electronic Properties of Assemblies of Quantum Nanodots // J. Phys. Chem. A. - 2000. - Т. 104. - С. 4739-4747.

48. Hybrid Passivated Colloidal Quantum Dot Solids / A. H. Ip, S. M Thon, T. Hoogland, et al. // Nat. Nanotechnol. - 2012. - Т. 7. - С. 577-582.

49. Baumgardner W. J. Confined-but Connected Quantum Solids via Controlled Ligand Displacement // Nano Lett. - 2013. - Т. 13. - С. 3225-3231.

50. Record Charge Carrier Diffusion Length in Colloidal Quantum Dot Solids via Mutual Dot-to-Dot Surface Passivation / Carey G. H., Levina L., Comin W. et al. // Adv. Mater. - 2015. - Т. 27. - С. 3325-3330.

51. Milliron D. J. Quantum Dot Solar Cells: The Surface Plays a Core Role // Nat. Mater. - 2014. - Т. 13. - С. 772-773.

52. Solution-Processed PbS Quantum Dot Infrared Photodetectors and Photovoltaics / McDonald S. A., Konstantatos G., Zhang S. et al. // Nat. Mater. -2005. - Т. 4. - С. 138-142.

53. Solution-Processed Infrared Photovoltaic Devices with >10% Monochromatic Internal Quantum Efficiency/ Maria A., Cyr P. W., Klem E. J. et al. // Appl. Phys. Lett. - 2005. - Т. 87. - С. 213112.

54. Improving the Performance of PbS Quantum Dot Solar Cells by Optimizing ZnO Window Layer/ Xiaokun Y., Long H., Deng H. et al. // Nano-Micro Lett. - 2017. - Т. 9. - № 24. С. 1-10.

55. PbS quantum dot bulk heterojunction solar cells with solution-deposited Mg(OH)2 interlayer/ Zang Sh., Wang Y., Su W. et al. // Phys. Status Solidi RRL. -2016. - Т. 10. С. 745-748.

56. ZnO nanowires for solar cells: a comprehensive review / Consonni V., Briscoe J., Karber E., et al. // Nanotechnology, Institute of Physics. - 2019. - Т. 30. - №.36. - С.362001.

57. Эффективность преобразования перовскитных и сенсибилизированных красителем солнечных элементов при различных интенсивностях солнечного излучения/ Никольская А.Б., Козлов С.С., Вильданова М.Ф. и др. // ФТП. -2019. - Т. 53. - Вып. 4. - С. 550-554.

58. Passivation using molecular halides increases quantum dot solar cell performance/ Lan X., Voznyy O., Kiani A. et al. // Adv. Mater. 2016. - Т. 28. - № 2. - С. 299-304.

59. Improved performance and stability in quantum dot solar cells through band alignment engineering/ Chuang C.H., Brown P.R., Bulovic V. et al. // Nat. Mater. -2014. - Т. 13. - № 8. - С. 796-801.

60. High-efficiency colloidal quantum dot photovoltaics via robust self-assembled monolayers/ Kim G.H., Garcia de Arquer F.P., Yoon Y.J. et al.// Nano Lett. - 2015. - Т. 15. - № 11. - С. 7691-7696.

61. Colloidal quantum dot photovoltaics enhanced by perovskite shelling/ Yang Z., Janmohamed A., Lan X. et al. // Nano Lett. - 2015. - Т. 15. №. 11. - С. 75397543.

62. Doublesided junctions enable high-performance colloidal-quantum-dot photovoltaics/ Liu M., de Arquer F.P., Li Y. et al. // Adv. Mater. - 2016. - Т.28. -№ 21. - С. 4142-4148.

63. Improving Photovoltaic Performance of ZnO Nanowires Based Colloidal Quantum Dot Solar Cells via SnO2 Passivation Strategy/ Ozu Sh., Zhang Y., Yasuda H. et al. // Frontiers in Energy research. - 2019. - T. 7. - C.11.

64. Enhanced photovoltaic performance of inverted polymer solar cells through Atomic Layer Deposited Al2O3 passivation of ZnO-nanoparticles buffer layer/ Wei B., Tang Zh., Wang Sh. et al. // Nanotechnology. - 2018. - T. 29. - C. 395204.

65. Performance enhancement of ZnO nanowires/PbS quantum dot depleted bulk heterojunction solar cells with an ultrathin Al2O3 interlayer/ Zang Sh., Wang Y., Li M. et al. // Chin. Phys. B. - 2018. - T. 2. - №. 1. - C. 018503.

66. Nandanapalli K. R., Mudusu D. Surface Passivated Zinc Oxide (ZnO) Nanorods by Atomic Layer Deposition of Ultrathin ZnO Layers for Energy Device Applications // ACS Appl. Nano Mater. - 2018. - T. 1. - № 8. - C. 4083-4091.

67. The role of hierarchical morphologies in the superior gas sensing performance of CuO-based chemiresistors/ Volanti D.P., Felix A.A., Orlandi M.O. et al. // Adv. Funct. Mater. - 2013. - T. 23. -C. 1759-1766.

68. Thin-wall assembled SnO2 fibers functionalized by catalytic Pt nanoparticles and their superior exhaled-breath-sensing properties for the diagnosis of diabetes/ Shin J., Choi S.J., Lee I. et al. // Adv. Funct. Mater. - 2013. - T. 23. - C. 2357-2367.

69. Rapid growth of zinc oxide nanotube-nanowire hybrid architectures and their use in breast cancer-related volatile organics detection/ Katwal G., Paulose M., Rusakova I.A. et al. // Nano Lett. - 2016. - T. 16. - C. 3014-3021.

70. Mesoporous WO3 nanofibers with protein-templated nanoscale catalysts for detection of trace biomarkers in exhaled breath/ Kim S.J., Choi S.J., Jang J.S. et al. // ACS Nano. - 2016. - T. 10. - C. 5891-5899.

71. NO2 detection and real-time sensing with field-effect transistors/ Andringa A.M., Piliego C., Katsouras I. et al. // Chem. Mat. - 2014. -T. 26. - C. 773-785.

72. Catalytically doped semiconductors for chemical gas sensing: aerogel-like aluminum-containing zinc oxide materials prepared in the gas phase/ Hagedorn K., Li, W., Liang Q., Dilger S. et al. // Adv. Funct. Mater. - 2016. - T. 26. - C. 34243437.

73. UV activated hollow ZnO microspheres for selective ethanol sensors at low temperatures/ Chen Y., Li X., Li X., Wang J. et al. // Sens. Actuator B. - 2016. - Т. 232. - С. 158-164.

74. Comini E., Cristalli A., Faglia G., Sberveglieri G. Light enhanced gas sensing properties of indium oxide and tin dioxide sensors // Sens. Actuator B. - 2000. -Т. 65. - С. 260-263.

75. A highly sensitive gas sensor based on CuO nanoparticles synthetized via a sol-gel method/ Wang F., Li H., Yuan Z. et al. // RSC Adv. - 2016. - Т. 6. - С. 79343-79349.

76. Gas sensing properties of epitaxial LaBaCo2O5.5+delta thin films/ Liu M., Ren S.P., Zhang R.Y. et al. // Sci. Rep. - 2015. - Т. 5. - С. 10784.

77. Bobkov A. et al. Impedance Spectroscopy of Hierarchical Porous Nanomaterials Based on por-Si, por-Si Incorporated by Ni and Metal Oxides for Gas Sensors //Sensors. - 2022. - Т. 22. - №. 4. - С. 1530.

78. Кедрук Е.Ю. и др. Исследование свойств оксида цинка методом импедансной спектроскопии //Физика и химия стекла. - 2022. - T. 48. - № 2. - С. 170-179.

79. Мошников В. А., Налимова С. С., Селезнев Б. И. Газочувствительные слои на основе фрактально-перколяционных структур //Физика и техника полупроводников. - 2014. - Т. 48. - №. 11. - С. 1535.

80. Божинова А. С. и др. Изучение фотокаталитических и сенсорных свойств нанокомпозитных слоев ZnO/SiO2 //Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47. - №. 12. - С. 1662.

81. Грачева И. Е., Мошников В. А., Аньчков М. Г. Автоматизированная комбинированная установка для исследования газочувствительности полупроводниковых наноматериалов в постоянном и переменном электрических полях //Приборы и техника эксперимента. - 2013. - №. 2. - С. 93.

82. Bobkov A. et al. The multisensor array based on grown-on-chip zinc oxide nanorod network for selective discrimination of alcohol vapors at sub-ppm range //Sensors. - 2019. - Т. 19. - №. 19. - С. 4265.

83. Sysoev V. V. et al. A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements //Nano letters. - 2007. - Т. 7. - №2. 10. - С. 3182-3188.

84. Sysoev V. V. et al. Toward the nanoscopic "electronic nose": Hydrogen vs carbon monoxide discrimination with an array of individual metal oxide nano-and mesowire sensors //Nano letters. - 2006. - Т. 6. - №. 8. - С. 1584-1588.

85. Sysoev V. V. et al. Temperature gradient effect on gas discrimination power of a metal-oxide thin-film sensor microarray //Sensors. - 2004. - Т. 4. - №. 4. - С. 37-46.

86. Динамика отклика сенсора на основе наноструктурированного слоя диоксида олова при воздействии паров изопропанола / Клычков Н.А., Симаков В.В., Синёв И.В. и др. // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - 2021 -. № 13. - С. 708-716.

87. Enhanced NO2 gas sensing performance of bare and Pd-loaded SnO2 thick film sensors under UV-light irradiation at room temperature/ Saboor F.H., Ueda T., Kamada K. et al. // Sens. Actuator B. - 2016. - Т. 223. - С. 429-439.

88. Barsan N., Weimar U. Conduction model of metal oxide gas sensors // J. Electroceram. - 2001. - Т. 7. - С. 143-167.

89. Yamazoe N., Sakai G., Shimanoe K. Oxide semiconductor gas sensors // Catal. Surv. Asia. - 2003. - Т. 7. - С. 63-75.

90. Zhang J., Liu X., Neri G., Pinna N. Nanostructured materials for room-temperature gas sensors // Adv. Mater. - 2016. - Т. 28. - С. 795-831.

91. Quasi-one dimensional metal oxide semiconductors: Preparation, characterization and application as chemical sensors. / Comini E., Baratto C., Faglia G. et al. // Prog. Mater. Sci. - 2009. - Т. 54. - С. 1-67.

92. Lee J.-H. Gas sensors using hierarchical and hollow oxide nanostructures: Overview // Sens. Actuator B. - 2009. - Т. 140. - С. 319-336.

93. Tiemann M. Porous metal oxides as gas sensors // Chem. Eur. J. - 2007. - Т. 13. - С. 8376-8388.

94. Franke M.E., Koplin T.J., Simon U. Metal and metal oxide nanoparticles in chemiresistors: Does the nanoscale matter? // Small. - 2006. - Т. 2. - С. 36-50.

95. Miller D.R., Akbar S.A., Morris P.A. Nanoscale metal oxide-based heterojunctions for gas sensing: A review // Sens. Actuator B. - 2014. -Т. 204. - С. 250-272.

96. Крастева Л. К. и др. Синтез и характеризация наноструктурированных слоев оксида цинка для сенсорики //Физика и техника полупроводников. -2013. - Т. 47. - №. 4. - С. 564-569.

97. Карпова С. С. и др. Исследование влияния кислотно-основных свойств поверхности оксидов ZnO, Fe2O3 и ZnFe2O4 на их газочувствительность по отношению к парам этанола //Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47. - №. 8. - С. 1022.

98. Карпова С. С. и др. Функциональный состав поверхности и сенсорные свойства ZnO, Fe2O3 и ZnFe2O4 //Физика и техника полупроводников. - 2013. - Т. 47. - №. 3. - С. 369.

99. Пронин И. А. и др. Взаимосвязь фотокаталитических и фотолюминесцентных свойств оксида цинка, легированного медью и марганцем //Физика и техника полупроводников. - 2014. - Т. 48. - №. 7. - С. 868-874.

100. Способ получения газочувствительного материала на основе оксида цинка к парам ацетона / Мошников В.А., Мякин С.В., Грачева И.Е. и др. // Патент на изобретение RU 2509302 C1, 10.03.2014.

101. Налимова С. С., Мякин С. В., Мошников В. А. Управление функциональным составом поверхности и улучшение газочувствительных свойств металлооксидных сенсоров посредством электронно-лучевой обработки //Физика и химия стекла. - 2016. - Т. 42. - №. 6. - С. 773-780.

102. New approaches for improving selectivity and sensitivity of resistive gas sensors: A review/ Smulko J.M., Trawka M., Granqvist C.G. et al. // Sens. Rev. -2015. - Т. 35. - С. 340-347.

103. Advances in materials for room temperature hydrogen sensors/ Arya S.K., Krishnan S., Silva H. et al. // Analyst. - 2012. - T. 137. - C. 2743-2756.

104. Controllable synthesis of Co3O4/polyethyleneimine-carbon nanotubes nanocomposites for CO and NH3 gas sensing at room temperature/ Lin Y., Kan K., Song W. et al. // J. Alloy. Compd. - 2015. -T. 639. C. 187-196.

105. One-pot reflux method synthesis of cobalt hydroxide nanoflake-reduced graphene oxide hybrid and their NOx gas sensors at room temperature/ Liu S., Zhou L., Yao L. et al. // J. Alloy Compd. - 2014. - T. 612. - C. 126-133.

106. Zhang M. et al. Hydrothermally synthesized SnO2-graphene composites for H2 sensing at low operating temperature //Materials Science and Engineering: B. -2016. - T. 209. - C. 37-44.

107. Fan S.W., Srivastava A.K., Dravid V.P. UV-activated room-temperature gas sensing mechanism of polycrystalline ZnO // Appl. Phys. Lett. - 2009. - T. 95. - C. 142106.

108. Gas sensing property of ZnO under visible light irradiation at room temperature/ Geng Q., He Z., Chen X. et al. // Sens. Actuator B. - 2013. - T. 188. -C. 293-297.

109. de Lacy Costello B. P. J. et al. Highly sensitive room temperature sensors based on the UV-LED activation of zinc oxide nanoparticles //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2008. - T. 134. - №. 2. - C. 945-952.

110. Prades J. D. et al. Equivalence between thermal and room temperature UV light-modulated responses of gas sensors based on individual SnO2 nanowires //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2009. - T. 140. - №. 2. - C. 337-341.

111. Prades J. D. et al. Photoexcited individual nanowires: key elements in room temperature detection of oxidizing gases //AIP Conference Proceedings. - American Institute of Physics, 2009. - T. 1137. - №. 1. - C. 400-402.

112. Yang Z. et al. CdS/ZnO core/shell nanowire-built films for enhanced photodetecting and optoelectronic gas-sensing applications //Advanced Optical Materials. - 2014. - T. 2. - №. 8. - C. 738-745.

113. Chemoresistive properties of photo-activated thin and thick ZnO films / Fabbri B., Gaiardo A., Giberti A. et al. // Sens. Actuator B. - 2016. - Т. 222. - С. 1251-1256.

114. Parthasarathy S., Nandhini V., Jeyaprakash B. G. Improved sensing response of photo activated ZnO thin film for hydrogen peroxide detection //Journal of colloid and interface science. - 2016. - Т. 482. - С. 81-88.

115. Su X. et al. Structure and thickness-dependent gas sensing responses to NO2 under UV irradiation for the multilayered ZnO micro/nanostructured porous thin films //Journal of colloid and interface science. - 2017. - Т. 503. - С. 150-158.

116. Procek M., Pustelny T., Stolarczyk A. Influence of external gaseous environments on the electrical properties of ZnO nanostructures obtained by a hydrothermal method //Nanomaterials. - 2016. - Т. 6. - №. 12. - С. 227.

117. Yu C. C. et al. UV enhanced oxygen response resistance ratio of ZnO prepared by thermally oxidized Zn on sapphire substrate //Journal of Nanomaterials.

- 2013. - Т. 2013. - С. 1-6.

118. Клычков Н.А. и др. Динамика отклика сенсора на основе наноструктурированного слоя диоксида олова при воздействии паров изопропанола // Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов. - 2021. - № 13. - С. 708-716.

119. Kiasari N. M. et al. Environmental gas and light sensing using ZnO nanowires //IEEE Transactions on Nanotechnology. - 2014. - Т. 13. - №. 2. - С. 368-374.

120. Dhahri R. et al. CO sensing properties under UV radiation of Ga-doped ZnO nanopowders //Applied Surface Science. - 2015. - Т. 355. - С. 1321-1326.

121. Sturaro M. et al. Degenerately doped metal oxide nanocrystals as plasmonic and chemoresistive gas sensors //ACS Applied Materials & Interfaces. - 2016. - Т. 8. - №. 44. - С. 30440-30448.

122. Han L. et al. Visible-light-assisted HCHO gas sensing based on Fe-doped flowerlike ZnO at room temperature //The Journal of Physical Chemistry C. - 2011.

- Т. 115. - №. 46. - С. 22939-22944.

123. Deng Q. et al. Temperature & light modulation to enhance the selectivity of Pt-modified zinc oxide gas sensor //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2017. -T. 247. - C. 903-915.

124. Cui J. et al. Study on photoelectric gas-sensing property and photogenerated carrier behavior of Ag-ZnO at the room temperature //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2013. - T. 186. - C. 165-171.

125. Dhahri R. et al. Gas sensing properties of Al-doped ZnO for UV-activated CO detection //Journal of Physics D: Applied Physics. - 2016. - T. 49. - №. 13. -C.135502.

126. Wongrat E. et al. Low temperature ethanol response enhancement of ZnO nanostructures sensor decorated with gold nanoparticles exposed to UV illumination //Sensors and Actuators A: Physical. - 2016. - T. 251. - C. 188-197.

127. Lu G. et al. UV-enhanced room temperature NO2 sensor using ZnO nanorods modified with SnO2 nanoparticles //Sensors and Actuators B: Chemical.

- 2012. - T. 162. - №. 1. - C. 82-88.

128. Wu B. et al. Visible-light activated ZnO/CdSe heterostructure-based gas sensors with low operating temperature //Applied Surface Science. - 2016. - T. 360.

- C. 652-657.

129. Zhai J., Wang D., Peng L., Lin Y., Li X., Xie T. Visible-light-induced photoelectric gas sensing to formaldehyde based on CdS nanoparticles/ZnO heterostructures // Sens. Actuator B 2010, 147, 234-240.

130. Geng X., Zhang C., Debliquy M. Cadmium sulfide activated zinc oxide coatings deposited by liquid plasma spray for room temperature nitrogen dioxide detection under visible light illumination //Ceramics International. - 2016. - T. 42.

- №. 4. - C. 4845-4852.

131. Chizhov A. S. et al. Visible light activated room temperature gas sensors based on nanocrystalline ZnO sensitized with CdSe quantum dots //Sensors and Actuators B: Chemical. - 2014. - T. 205. - C. 305-312.

132. Chizhov A. S. et al. Visible light activation of room temperature NO2 gas sensors based on ZnO, SnO2 and In2O3 sensitized with CdSe quantum dots //Thin Solid Films. - 2016. - Т. 618. - С. 253-262.

133. Ong C. B., Ng L. Y., Mohammad A. W. A review of ZnO nanoparticles as solar photocatalysts: Synthesis, mechanisms and applications //Renewable and Sustainable Energy Reviews. - 2018. - Т. 81. - С. 536-551.

134. Nakano R. et al. Photocatalytic inactivation of influenza virus by titanium dioxide thin film //Photochemical & Photobiological Sciences. - 2012. - Т. 11. - №2. 8. - С. 1293-1298.

135. Liang S. et al. A novel ZnO nanoparticle blended polyvinylidene fluoride membrane for anti-irreversible fouling //Journal of membrane science. - 2012. - Т. 394. - С. 184-192.

136. Аверин И. А. и др. Анализ структурной эволюции порошков оксида цинка, полученных методом механического высокоэнергетического размола //Журнал технической физики. - 2019. - Т. 89. - №. 9. - С. 1406.

137. Сюлейман Ш. А. и др. Исследование процессов фотодеградации бриллиантового зеленого на механоактивированных порошках оксида цинка //Журнал технической физики. - 2017. - Т. 87. - №. 11. - С. 1707-1711.

138. Пронин И. А. и др. Исследование химической фиксации углекислого газа на порошках оксида цинка, полученных механическим размолом //Неорганические материалы. - 2021. - Т. 57. - №. 11. - С. 1207-1212.

139. Qiu R. et al. Photocatalytic activity of polymer-modified ZnO under visible light irradiation //Journal of hazardous materials. - 2008. - Т. 156. - №. 1-3. - С. 80-85.

140. Yogendra K. et al. A comparative study of photocatalytic activities of two different synthesized ZnO composites against Coralene Red F3BS dye in presence of natural solar light //International Journal of Environmental Sciences and Research. - 2011. - Т. 1. - №. 1. - С. 11-15.

141. Herrmann J. M. Heterogeneous photocatalysis: fundamentals and applications to the removal of various types of aqueous pollutants //Catalysis today.

- 1999. - T. 53. - №. 1. - C. 115-129.

142. Rajamanickam D., Shanthi M. Photocatalytic degradation of an organic pollutant by zinc oxide-solar process //Arabian Journal of Chemistry. - 2016. - T. 9. - C. S1858-S1868.

143. Rauf M. A., Ashraf S. S. Fundamental principles and application of heterogeneous photocatalytic degradation of dyes in solution //Chemical engineering journal. - 2009. - T. 151. - №. 1-3. - C. 10-18.

144. Zhang X. et al. Effect of aspect ratio and surface defects on the photocatalytic activity of ZnO nanorods //Scientific reports. - 2014. - T. 4. - №. 1.

- C. 1-8.

145. Yayapao O. et al. Sonochemical synthesis, photocatalysis and photonic properties of 3% Ce-doped ZnO nanoneedles //Ceramics International. - 2013. - T. 39. - C. S563-S568.

146. Yayapao O. et al. Ultrasonic-assisted synthesis of Nd-doped ZnO for photocatalysis //Materials Letters. - 2013. - T. 90. - C. 83-86.

147. Song D. M., Li J. C. First principles study of band gap of Cu doped ZnO single-wall nanotube modulated by impurity concentration and concentration gradient //Computational materials science. - 2012. - T. 65. - C. 175-181.

148. Preparation of highly efficient Al-doped ZnO photocatalyst by combustion synthesis / Ahmad M., Ahmed E., Zhang Y. et al. // Current Applied Physics. - 2013.

- T. 13. - №. 4. - C. 697-704.

149. Chiang Y. J., Lin C. C. Photocatalytic decolorization of methylene blue in aqueous solutions using coupled ZnO/SnO2 photocatalysts //Powder technology. -2013. - T. 246. - C. 137-143.

150. Yang G., Yan Z., Xiao T. Preparation and characterization of SnO2/ZnO/TiO2 composite semiconductor with enhanced photocatalytic activity //Applied surface science. - 2012. - T. 258. - №. 22. - C. 8704-8712.

151. Wang H. et al. High photocatalytic activity of silver-loaded ZnO-SnO2 coupled catalysts //Chemical Engineering Journal. - 2009. - T. 146. - №. 3. - C. 355-361.

152. Zhang M. et al. Preparation and photocatalytic properties of a nanometer ZnO-SnO2 coupled oxide //Applied Catalysis A: General. - 2004. - T. 260. - №№. 2.

- C. 215-222.

153. Moradi S. et al. The effect of different molar ratios of ZnO on characterization and photocatalytic activity of TiO2/ZnO nanocomposite //Journal of Saudi Chemical Society. - 2016. - T. 20. - №. 4. - C. 373-378.

154. Li C. et al. Preparation and characterization of regenerated cellulose/TiO2/ZnO nanocomposites and its photocatalytic activity //Materials Letters. - 2014. - T. 117. - C. 234-236.

155. Zhu H. et al. Effective photocatalytic decolorization of methyl orange utilizing TiO2/ZnO/chitosan nanocomposite films under simulated solar irradiation //Desalination. - 2012. - T. 286. - C. 41-48.

156. Yang Y. et al. Facile synthesis of ZnO/CuInS2 nanorod arrays for photocatalytic pollutants degradation //Journal of Hazardous Materials. - 2016. - T. 317. - C. 430-439.

157. Electrochemical synthesis of orientation-ordered ZnO nanorod / G.-R. Li, C.-R. Dawa, Q. Bu et al. // Electrochemistry Communications. - 2007. - T. 9. - C. 863-868.

158. Di Mauro A., Zimbone M., Fragalà M.E., Impellizzeri G. Synthesis of ZnO nanofibers by the electrospinning process // Materials Science in Semiconductor Processing. - 2016. - T. 42. - C. 98-101.

159. Yi G. C., Wang C., Park W. I. ZnO nanorods: synthesis, characterization and applications // Semiconductor Science and Technology. - 2005. - T. 20. - C. S22-S34.

160. Growth of ZnO nanowires catalyzed by size-dependent melting of Au nanoparticles/ Petersen E. W., Likovich E. M., Russell K. J. et al. // Nanotechnology.

- 2009. - T. 20. - № 40. - C. 405603.

161. ZnO based nanowires grown by chemical vapour deposition for selective hydrogenation of acetylene alcohols/ Protasova L. N., Rebrov E. V., Choy K. L. et al. // Catalysis Science and Technology. -2011. - Т. 1. - № 5. - С. 768-777.

162. MOCVD of vertically aligned ZnO nanowires using bidentate ether adducts of dimethylzinc/ Ashraf S., Jones A. C., Bacsa J., et al. // Chemical Vapor Deposition. 2011. - Т. 17. - № 1-3. - С. 45-53.

163. Wang L. et al. Synthesis of well-aligned ZnO nanowires by simple physical vapor deposition on c-oriented ZnO thin films without catalysts or additives //Applied Physics Letters. - 2005. - Т. 86. - №. 2. - С. 024108.

164. Wang J. S. et al. Catalyst-free highly vertically aligned ZnO nanoneedle arrays grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy //Applied Physics A. -2009. - Т. 97. - №. 3. - С. 553-557.

165. Tien L. C. et al. Synthesis and microstructure of vertically aligned ZnO nanowires grown by high-pressure-assisted pulsed-laser deposition //Journal of Materials Science. - 2008. - Т. 43. - №. 21. - С. 6925-6932.

166. Kitamura K. et al. Fabrication of vertically aligned ultrafine ZnO nanorods using metal-organic vapor phase epitaxy with a two-temperature growth method //Nanotechnology. - 2008. - Т. 19. - №. 17. - С. 175305.

167. Редькин, А. Н.Контролируемый газофазный синтез наноструктур для наноэлектроники, фотоники и микросистемной техники: автореф. дис. ... д -р. физ. - мат. наук (05.27.01) / Редькин Аркадий Николаевич; ИПТМ РАН. -Черноголовка, 2012. - 42 с.

168. Byrappa K. Handbook of hydrothermal technology/ 2nd ed.: Elsevier, 2013.

- 779 с.

169. B Djurisic A., Y Chen X., H Leung Y. Recent progress in hydrothermal synthesis of zinc oxide nanomaterials //Recent patents on nanotechnology. - 2012.

- Т. 6. - №. 2. - С. 124-134.

170. Innes B. et al. Nanotechnology and the cosmetic chemist //Cosmetics, aerosols and toiletries in Australia. - 2002. - Т. 15. - №. 5. - С. 10-24.

171. Barauh S., Dutta J. Hydrothermal growth of ZnO nanostructures // Sci. Technol. Adv. Mater. - 2009. - Т. 10. - С.013001.

172. Kolodziejczak-Radzimska A., Jesionowski T. Zinc Oxide—From Synthesis to Application: A Review // Materials. - 2014. - Т. 7. - С. 2833-2881

173. Vergés M. A., Mifsud A., Serna C. J. Formation of rod-like zinc oxide microcrystals in homogeneous solutions //Journal of the Chemical Society, Faraday Transactions. - 1990. - Т. 86. - №. 6. - С. 959-963.

174. Wang S. F. et al. Effects of preparation conditions on the growth of ZnO nanorod arrays using aqueous solution method //International Journal of Applied Ceramic Technology. - 2008. - Т. 5. - №. 5. - С. 419-429.

175. Мошников В. А. и др. Нанолитографическая самосборка коллоидных наночастиц //Письма в Журнал технической физики. - 2016. - Т. 42. - №. 18. -С. 81-87.

176. Бобков А. А. и др. Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке // Письма в ЖТФ. - 2018. - Т. 44. - №. 15. - С. 87.

177. Багамадова А. М., Зобов Е. М., Омаев А. К. Влияние состава газа-носителя на электрические и люминесцентные свойства пленок оксида цинка, полученных методом CVD //Журнал технической физики. - 2014. - Т. 84. - №. 5. - С. 78-81.

178. Пленки легированного галлием оксида цинка, нанесенные с использованием несбалансированной магнетронной распылительной системы / А. Н. Захаров, К. В. Оскомов, С. В. Работкин и др. // ЖТФ. - 2010. - Т. 80. -№ 5. - С. 127 - 131.

179. Основы золь - гель - технологии нанокомпозитов / Максимов А. И., Мошников В. А., Таиров Ю. М. и др. 2 изд-е.- СПб.: ООО « Техномедиа», Изд - во «Элмор», 2008. - 255 с.

180. Золь-гель технология микро- и нанокомпозитов / Мошников В.А., Таиров Ю.М., Хамова Т.В., Шилова О. А.: Учеб. пособие, СПб.: Изд-во «Лань», 2013. - 304 с.

181. Синтез и характеризация наноструктурированных слоев оксида цинка для сенсорики / Л. К. Крастева, Д. Ц. Димитров, К. И. Папазова и др. // ФТП. -2013. - Т. 47. - Вып. 4. - С. 570 - 575.

182. Получение гетероструктурных оксидных композиций для перспективных солнечных элементов нового поколения/ Бобков А. А., Лашкова Н.А., Максимов А.И. и др. // Физика и техника полупроводников. -2017. - Т. 51. - №. 1, С. 63 - 67

183. Characterization of ZnO thin film grown by SILAR method / A. Raidou, F. Benmalek, T. Sall et al. // OAlib. - 2014. - T. 1. - C. 1 - 9.

184. Lindroos S., Leskela M. Growth of zinc peroxide (ZnO2) and zinc oxide (ZnO) thin films by the successive ionic layer adsorption and reaction-SILAR-technique //International Journal of Inorganic Materials. - 2000. - Т. 2. - №. 2-3. -С. 197-201.

185. Карпанин О. В. и др. Получение наноструктурированных тонких пленок методом спрей пиролиза аэрозолей //Труды Международного симпозиума «Надежность и качество». - 2011. - Т. 2. - С. 165-166.

186. Рябко А. А., Максимов А. И., Мошников В. А. Гидротермальный синтез для управляемой самосборки иерархических покрытий на основе оксида цинка с воспроизводимой формой наностержней //Вестник Новгородского государственного университета им. Ярослава Мудрого. - 2017. - №. 6 (104). - С. 32-37.

187. Рябко А. А. и др. Двухэтапный синтез структурированных микросистем из наностержней оксида цинка с использованием ультразвукового спрей-пиролиза и низкотемпературного гидротермального метода //Физика и техника полупроводников. - 2020. - Т. 54. - №. 11. - С. 12511257.

188. Пат. RU 167044 Устройство для исследования материалов методом индикатрис светорассеяния / В.А. Мошников, А.И. Максимов, О.А. Александрова, Л.Б. Матюшкин, А.А. Рябко. Опубл. 14.06.2016. Бюл. № 35.

189. Клочко Н. П. и др. Электроосажденные массивы оксида цинка с эффектом глаза ночной бабочки //Физика и техника полупроводников. - 2014.

- Т. 48. - №. 4. - С. 549-555.

190. Cusco R. et al. Temperature dependence of Raman scattering in ZnO //Physical Review B. - 2007. - Т. 75. - №. 16. - С. 165202.

191. Al-Sabahi J. et al. Controlled defects of zinc oxide nanorods for efficient visible light photocatalytic degradation of phenol //Materials. - 2016. - Т. 9. - №.

4. - С. 238.

192. Налимова С. С. и др. Исследование формирования слоев станната цинка методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии //Журнал технической физики. - 2020. - Т. 90. - №. 7. - С. 1132.

193. Fang T. H., Kang S. H. Physical properties of ZnO: Al nanorods for piezoelectric nanogenerator application //Current Nanoscience. - 2010. - Т. 6. - №.

5. - С. 505-511.

194. Fang T. H., Kang S. H. Electromechanical characteristics of ZnO: Al nanorods //Journal of Nanoscience and Nanotechnology. - 2010. - Т. 10. - №. 1. -С. 405-412.

195. Duan L. et al. Fabrication of self-powered fast-response ultraviolet photodetectors based on graphene/ZnO: Al nanorod-array-film structure with stable Schottky barrier //ACS Applied Materials & Interfaces. - 2017. - Т. 9. - №. 9. - С. 8161-8168.

196. Ryabko A. A. et al. Formation of Surface Conductivity of Zinc Oxide Nanorods //2021 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (ElConRus). - IEEE, 2021. - С. 1176-1179.

197. Joo J. et al. Face-selective electrostatic control of hydrothermal zinc oxide nanowire synthesis //Nature materials. - 2011. - Т. 10. - №. 8. - С. 596-601.

198. Iaiche S., Djelloul A. ZnO/ZnAl2O4 nanocomposite films studied by X-ray diffraction, FTIR, and X-ray photoelectron spectroscopy //Journal of Spectroscopy.

- 2015. - Т. 2015. - С. 836859

199. Komolov A. et al. Characterization of conducting molecular films on silicon: Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, atomic force microscopy and surface photovoltage //Applied surface science. - 1999. - Т. 142. - №. 1-4. - С. 591-597.

200. Wu S. H. et al. A Design based on a charge-transfer bilayer as an electron transport layer for improving the performance and stability in planar perovskite solar cells //The Journal of Physical Chemistry C. - 2018. - Т. 122. - №. 1. - С. 236-244.

201. Yang J. et al. Characterization of plasma-enhanced atomic layer deposition of Al2O3 using dimethylaluminum isopropoxide //Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. - 2014. - Т. 32. - №. 2. - С. 021514.

202. Vesto R. E. et al. Investigation of optical properties of aluminum-doped zinc oxide films via flow-limited field-injection electrostatic spraying //AIP Advances. -2020. - Т. 10. - №. 9. - С. 095211.

203. Hong S. P. et al. Comparisons of the structural and optical properties of o-AgInS 2, t-AgInS 2, and c-AgIn 5 S 8 nanocrystals and their solid-solution nanocrystals with ZnS //Journal of Materials Chemistry. - 2012. - Т. 22. - №. 36. -С. 18939-18949.

204. Korepanov O. A. et al. The effect of lead and nickel cations on AgInS2/ZnS nanocrystals photoluminescence in aqueous solution //Journal of Physics: Conference Series. - IOP Publishing, 2019. - Т. 1410. - №. 1. - С. 012024.

205. Korepanov O. A. et al. Formation of AgInS2/ZnS colloidal nanocrystals and their photoluminescence properties //Physics of the Solid State. - 2019. - Т. 61. -№. 12. - С. 2325-2328.

206. Мазинг Д. С. и др. Исследование спектров фотолюминесценции нанокристаллов AgInS2/ZnS при воздействии у-излучения //Письма в ЖТФ. -2019. - Т. 45. - №. 21.

207. Peng S. et al. Synthesis of AgInS 2 nanocrystal ink and its photoelectrical application //Physical Chemistry Chemical Physics. - 2012. - Т. 14. - №. 24. - С. 8523-8529.

208. Yang Y. et al. Facile surface engineering of Ag-In-Zn-S quantum dot photocatalysts by mixed-ligand passivation with improved charge carrier lifetime //Catalysis Letters. - 2019. - Т. 149. - №. 7. - С. 1800-1812.

209. Рябко А. А. и др. Сенсибилизация наностержней ZnO коллоидными квантовыми точками AgInS2 для адсорбционных газовых сенсоров с фотоактивацией //Журнал технической физики. - 2022. - Т. 92. - №. 6. - С. 845-851.

210. Рябко А. А. и др. Газочувствительность наноструктурированных покрытий на основе наностержней оксида цинка при комбинированной активации //Журнал технической физики. - 2022. - Т. 92. - №. 5. - C. 758-764.