Формирование вакуумных и эмиссионных параметров электронных приборов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.02, доктор технических наук Зоркин, Александр Яковлевич

• Зоркин, Александр Яковлевич
• доктор технических наук
• 2006

Оглавление диссертации доктор технических наук Зоркин, Александр Яковлевич

ВВЕДЕНИЕ.:.

1. ТЕОРИЯ И ПРАКТИКА ОТКАЧКИ МОЩНЫХ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ И ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВ.

1.1. Процесс откачки - основа качества электронных приборов.

1.2. «Прибор- катод-средства откачки» как единая термодинамическая система.

1.3. Формирование эмиттерных структур и активировкя кятодок.

1.4. Методы исследования процессов откачки и эмиттеров электронов.

2. ОКСИДЫ И РАСТВОРЫ КИСЛОРОДА В ВАКУУМЕ.

2.1. Диаграммы состояния металл - кислород.

2.2. Активности и парциальные характеристики компонентов.

2.3. Давление паров оксидов.

2.4. Характерные активности компонентов.

2.5. Константы равновесия.

2.6. Состав газовой фазы оксидов с примесями.

2.7. Вакуумные факторы эмиссионной активности оксидов.

2.8. Определение области нестехиометрии оксидов по составу газовой фазы.

2.9. Определение области нестехиометрии и внутренней работы выхода оксидов квазихимическим методом.

2.10. Определение внутренней работы выхода оксидов статистическим методом.

2.11. Эмиссионные свойства сложных оксидов.

2.12. Испарение сложных оксидов.

2. J 3. Травление и рост зародышей ВаО.

3. ФОРМИРОВАНИЕ ЭМИТТЕРНЫХ СТРУКТУР ПРИ ОТКАЧКЕ И

ТРЕНИРОВКЕ ПРИБОРОВ.

3.1. Эмиссия из квантово-размерных структур.

3.2. Равновесная работа выхода оксидсодержащих катодов.

3.3. Поверхностный потенциал и работа выхода в переходе оксид-газовая фаза.

3.4. Образование поверхностного заряда кислородными вакансиями.

3.5. Адсорбционный механизм образования поверхностного заряда и работа выхода.

3.6. Работа выхода при токоотборе.

3.7. Обезгаживание и активировка ВТК-катода.

3.8. Термодинамика и кинетика активирования сплавных катодов при откачке и тренировке мощных амплитронов.

3.9. Фазовые равновесия в системе Pd-Ba-0-C.

3.10. Кинетика разложения включений интерметаллида в сплавных катодах и их долговечность.

3.11. Диффузионная кинетика кислорода по границам зерен в сплавных катодах.

3.12. Влияние коэффициента вторичной электронной эмиссии сплавных катодов на характеристики амплитронов.

4. СИСТЕМЫ С ВОДОРОДОМ.

4.1. Твердые растворы водорода и гидриды.

4.2. Наполнение водородом тиратрона с несколькими газопоглотителями, имеющими разную температуру.

4.3. Динамика распределения водорода в газонаполненных приборах252 5. ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ И ОТКАЧКА ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ В

КВАЗИРАВНОВЕСНОМ ПРИБЛИЖЕНИИ.

5.1. Контроль процессов откачки по составу газовой фазы.

5.2. Особенности технологии откачки мощных тиратронов.

5.3. Равновесное распределение примесей между электродами.

5.4. Влияние степени очистки водорода на остаточное содержание примесей в электродах.

5.5. Газовыделение кислорода при обработке приборов в водороде.

5.6. Совместное газовыделение кислорода и углерода в водороде.

5.7. Квазиравновесная модель откачки.

6. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ И ПРОМЫШЛЕННОЕ

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ РАБОТЫ.

6.1. Исследование причин брака мощных амплитронов со сплавными катодами.

6.2. Разработка технологии откачки мощных водородных тиратронов и исследование причин брака.

6.3. Разработка способа наполнения газоразрядных приборов рабочим газом

6.4. Исследование причин брака генераторных ламп.

6.5. Разработка технологии и оборудования для бесштенгельной откачки вакуумных дугогасительных камер.

6.6. Разработка технологии и оснастки для диффузионной сварки электродов вакуумных дугогасительных камер.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Формирование вакуумных и эмиссионных параметров электронных приборов»

Традиционные представления о процессах формирования вакуумных и эмиссионных характеристик электровакуумных и газоразрядных приборов связаны с процессами обработки изделий на откачных постах и основаны преимущественно на эмпирических зависимостях газовыделения от технологических параметров. Режимы откачки выбираются методом проб и ошибок, причины брака и отказов приборов определяются на основе опыта и интуиции ввиду отсутствия четких физических критериев. Основным критерием эффективности и степени завершенности процесса откачки считается остаточное давление газов в приборе. В работах Черепнина Н.В., Пипко А.И., Розанова JI.H., Саксаганско-го Г.Л. и др. рассматриваются отдельные вопросы теории и технологии откачки. Ведутся работы по созданию высокоэффективных эмиттеров электронов. В работах Добрецова JI.H., Никонова Б.П., Киселева А.Б., Мойжеса Б .Я. и др. в основном рассматриваются технологические аспекты изготовления катодов. Нет единых представлений о природе эмиссионных центров и механизмах работы эмиттеров. Проблема эффективного выявления причин брака, отказов, повышения процента выхода, долговечности, совершенствования конструкции и технологии приборов может быть решена только на основе рассмотрения системы прибор-катод-средства откачки как единой системы на всем жизненном цикле прибора, от изготовления до эксплуатации. Методы термодинамики, теории зародышеобразования и кинетики позволяют описать эту систему как единую многофазную многокомпонентную систему и определить влияние технологических и эксплуатационных параметров на состав фаз, в т. ч. газовой, направления фазовых реакций, работу выхода эмиттеров.

Подход, основанный на представлении о процессе откачки как о непрерывном процессе на всем жизненном цикле прибора, не рассматривался. Конструкторы приборов рассматривают в основном электромагнитные режимы работы приборов без учета всей совокупности физико-химических процессов, протекающих в процессе эксплуатации и изготовления приборов. Все недостатки конструкции проявляются в процессе освоения производства прибора. В процессе производства приборов технологов интересуют ответы на следующие вопросы: какие процессы и операции определяют различные виды брака в процессе изготовления, как выбрать оптимальный режим откачки, тренировки и испытаний при заданных исходных материалах и культуре производства и определить требования к материалам, какие критерии определяют завершенность отдельных операций, какие процессы определяют отклонения характеристик приборов от технических условий, их отказы и долговечность, какие критерии определяют возможность повторного использования узлов и деталей приборов при их реставрации и регенерации?

Общепринято считать, что целью откачки является получение достаточно низкого давления остаточных газов в полости прибора. Чем ниже остаточное давление, тем выше долговечность и лучше параметры прибора. Однако из ^того правила часто бывают исключения: приборы уходят в брак или отказывают даже при идеальном вакууме. Газовая фаза является лишь вторичным признаком, индикатором состояния твердых фаз, в частности, состояния эмиттерных структур. Именно работа этих структур определяет качество прибора. Поэтому целью откачки является формирование эмиттерных структур заданного состава и создание условий для их работы в процессе эксплуатации прибора. Зачастую неизвестно, какова должна быть структура эмиттера и как она себя ведет при эксплуатации. Как выбрать оптимальные режимы обработки и активировки катода в реальном времени (в т. ч. в зависимости от состава газовой фазы)? Какие факторы и процессы определяют работоспособность и долговечность эмиттерных структур в процессе эксплуатации приборов? Для ответа на эти вопросы необходимо рассмотрение всей системы «прибор-катод-средства откачки» как единого целого. В связи с этим развитие теории откачки электронных приборов и анализ на ее основе процессов формирования вакуумных и эмиссионных характеристик приборов является актуальным.

Целью работы является разработка принципов совершенствования технологии, конструкции и системного анализа причин брака и отказов приборов на основе квазиравновесного подхода к анализу физико-химических процессов формирования вакуумных и эмиссионных параметров электронных приборов.

Для достижения указанной цели необходимо решить следующие задачи.

1. Разработать модель совместного выделения газообразующих примесей кислорода, углерода и водорода с учетом процессов переноса между электродами в процессе откачки и тренировки приборов, рассматривая прибор, катод и средства откачки как единую многокомпонентную многофазную систему. Определить вакуумные критерии завершенности отдельных этапов процесса откачки. ) J

2. Исследовать процессы и разработать модели активирования и эмиссии оксидосодержащих термокатодов, в т. ч. вольфрамовых торированных карбиi дированных (ВТК), иттриевых, оксидных, алюминатных. Определить влияние температуры, состава газовой фазы и примесей на нестехиометрию и работу выхода оксидов в равновесном и неравновесном состояниях, выработать вакуумные критерии эмиссионной активности оксидов.

3. Исследовать процессы и разработать модели активирования и эмиссии сплавных вторично-эмиссионных катодов при откачке и тренировке приборов с учетом исходного состояния сплава, фазовых и структурных превращений, диффузии по границам зерен и состава газовой фазы, в т. ч. при обработке в очищенном водороде. Разработать конструкцию формоустойчивого металло-сплавного катода с оптимальным температурным режимом эксплуатации, оснастку и технологию его изготовления.

4. Разработать модель и конструкцию газовой системы, технологию откачки, наполнения водородом и испытания плазменно-пучковых приборов и мощных тиратронов, содержащих несколько газопоглотителей при разных температурах.

5. Провести анализ причин брака и отказов электровакуумных и газоразрядных приборов и разработать рекомендации по их устранению.

6. Разработать способы и устройства для откачки приборов, обеспечивающих повышение эффективности процесса, в т. ч. для откачки вакуумных дуго-гасительных камер (ВДК). Разработать технологию и оснастку для диффузионной сварки электродов ВДК из специальных материалов.

Научные положения, выносимые на защиту.

1. В сложных оксидах центрами эмиссии являются места выхода дислокаций, границы зерен и гетероструктур между нанокластерными выделениями оксида бария и матрицы, являющиеся местами сегрегации бария и образования квантовых ям, активирование оксидов обеспечивается снижением активности кислорода в приборе ниже активности на линии конгруэнтного состава оксида бария, а долговечность катодов определяется временем существования таких структур или увеличением активности кислорода выше активности на линии конгруэнтного состава.

2. Центрами эмиссии ВТК-катодов являются дефекты активированных включений оксида тория и границы гетероструктур оксид-карбид, являющиеся местами сегрегации тория, а долговечность таких катодов определяется скоростью реакции взаимодействия оксида тория с карбидом вольфрама с выделением СО, а также рекристаллизацией и охрупчиванием вольфрама.

3. Эмиссия сплавных катодов обеспечивается образованием и ростом зародышей ВаО на поверхности сплава при условии существования в сплаве ин-терметаллида PdsBa и отсутствия внутреннего окисления, причем источником кислорода является граница керна катода со сплавом. Содержание углерода в сплавных катодах с активностью более 0.3 способствует переходу оксида бария в интерметаллид и ухудшает соединение сплава с молибденовым керном вследствие образования хрупких карбидов. Оптимальный температурный режим работы и формоустойчивость сплавных катодов при эксплуатации обеспечиваются за счет крепления формоустойчивой втулки, плакированной эмиттерным материалом, по центральному выступу на керне катода и с центровкой по крайним выступам с регулируемой шириной (патент № 2231855).

4. Совмещение процесса термического обезгаживания прибора на откач-ном посту с процессом напуска рабочего газа и повышение точности количества напущенного газа обеспечивается, если перед наполнением прибора газом ь сечении напуска устанавливают стационарный поток газа Q = SCPC, где SC,PC-быстрота откачки и стационарное давление газа в сечении напуска, выдерживают в процессе откачки до стабилизации давления в сечении напуска газа на уровне Рс и герметизируют прибор, причем значение Рс и температуру поглотителей выбирают из условия установления двухфазного равновесия поглотитель - газ в приборе и откачной системе при заданных концентрациях газа в поглотителях или заданном количестве поглощенного в приборе газа (патент № 2195041).

5. Повышение процента выхода приборов со сплавными катодами достигается, если в процессе предварительной откачки прибор наполняют очищенным рабочим газом, дополнительную откачку на тренировочном стенде осуществляют при давлении рабочего газа и в электромагнитном режиме включения прибора, обеспечивающем температуру катода 0.7 - 1.1 от номинальной, а окончательную герметизацию проводят после повторной откачки на откачном посту, причем в качестве рабочего газа используют водород с примесью кислорода не более 10"7 ат. %, давление рабочего газа при дополнительной откачке на тренировочном стенде регулируют за счет изменения мощности дополнительного или встроенного геттерного насоса, температуру катода при дополнительной откачке на тренировочном стенде регулируют за счет изменения мощности газового разряда в промежутке анод - катод путем изменения анодного напряжения, а окончательную герметизацию прибора проводят после дополнительной откачки одновременно с удалением дополнительного насоса (патент №. 2185676).

6. Граничными условиями при газовыделении, газопоглощении и переносе примесей в процессе откачки являются условия термодинамического равновесия между газовой фазой и приповерхностными слоями электродов прибора, представляющего собой многокомпонентную многофазную систему, а условием свободного испарения оксидов является конгруэнтный состав приповерхностных слоев.

Научная новизна работы. На основе комплекса теоретических и экспериментальных исследований, внедрения результатов работы в производство решена важная народнохозяйственная проблема по разработке научной теории процессов откачки электронных приборов и получены следующие новые научные результаты:

1. Впервые прибор рассматривается как единая многокомпонентная многофазная система, что позволяет определить условия переноса примесей, роста фаз, критерии активирования катодов и обезгаживания материалов.

2. Определены термодинамические характеристики и состав газовой фазы, твердых растворов кислорода, водорода и углерода, а также их соединений с металлами на основе фундаментальных уравнений термодинамики в предположении, что мольная доля компонентов является степенной функцией активности, а коэффициенты пропорциональности и показатели степеней являются функциями температуры. Предложен метод самосогласованного расчета парциальных термодинамических свойств фаз переменного состава.

3. Определены состав (степень нестехиометрии), работа выхода и эмиссионные свойства оксидосодержащих катодов по известному составу и термодинамическому характеру химических форм в газовой фазе. Определена зависимость составляющих работы выхода оксидосодержащих катодов от активности кислорода в приборе и температуры. Определены вакуумные критерии эмиссионной активности оксидосодержащих катодов.

4. Разработаны модели эмиссии оксидосодержащих, сплавных и ВТК-катодов, определена природа эмиссионных центров, работа выхода и эмиссионные токи из дефектов и гетероструктур в равновесном и неравновесном (при наличии внешних напряжений) состояниях. Определены условия образования зародышей оксида бария, их роста и травления в сложных оксидах и сплавных катодах, в т. ч. при внутреннем окислении сплава, с учетом поверхностной, упругой энергии и энергии центров зарождения. Проведены исследования палладий-бариевых катодов методом сканирующей зондовой микроскопии.

5. Разработана модель процесса наполнения рабочим газом газоразрядных и плазменно-пучковых приборов с несколькими газопоглотителями, находящимися при разных температурах, а также равновесная и динамическая модели газовой системы плазменно-пучковых приборов.

Заключение диссертации по теме «Вакуумная и плазменная электроника», Зоркин, Александр Яковлевич

Основные выводы:

1. Процесс откачки в данной работе рассматривается как совокупность физико-химических процессов, протекающих при обработке приборов на откачном посту, а также при их тренировке, испытаниях и эксплуатации. Целью откачки является формирование эмиттерных структур и создание условий для работы катода. Начальное состояние системы определяется составом материалов и предварительными операциями обработки деталей. Процесс откачки на разных этапах определяется взаимодействием нескольких подсистем при частичном равновесии. Остальные процессы можно считать «замороженными». Особенностью рассмотрения прибора как термодинамической системы является то, что подсистемы находятся при разных температурах. При откачке систему прибор-катод-газовая фаза можно рассматривать как квазиравновесную. При этом по составу газовой фазы определяются составы твердых фаз, в т. ч. растворов и оксидов. Рассмотрение прибора, катода и средств откачки как единой системы позволяет более эффективно выбирать режимы обработки и анализировать причины брака и отказов электронных приборов.

2. При активировке и работе оксидсодержащих катодов состояние системы определяется взаимодействием подсистем катод-газопоглотитель. Работоспособность катода обеспечивается, если активность кислорода в приборе ниже активности кислорода на линии конгруэнтного состава оксида при рабочей температуре катода. Это положение подтверждается тем, что при рабочих температурах катодов, содержащих различные оксиды (ВаО, Y2O3, ТЮ2), активность компонентов одинакова. Центрами эмиссии оксидов являются места выхода дислокаций, границы зерен и гетероструктур. Измерять активность кислорода в системе и контролировать процесс обработки катода можно по равновесным отношениям парциальных давлений газов СО2/СО и Н2О/Н2. Достаточно низкая активность кислорода в приборе обеспечивается геттером, или, в случае использования танталового синтера, равновесием оксид - раствор кислорода в тантале. Поэтому долговечность оксидосодержащих катодов определяется временем повышения активности кислорода в приборе выше активности на линии конгруэнтного состава оксида в результате натекания или выделения кислорода с арматуры.

3. Активировка и работа сплавных катодов обеспечивается образованием и ростом на поверхности сплава зародышей оксида бария, имеющего высокий КВЭЭ. Анализ работы этого катода заключается в исследовании фазового равновесия в системе керн Мо(О) - матрица Pd(O) - включения PdsBa - пленка оксида бария - газовая фаза, процессов разложения включений PdfBa, диффузии кислорода и бария, а также образования оксида бария. При низких и высоких температурах скорость образования оксидной пленки меньше скорости ее травления, поэтому эмиссия и выходная мощность приборов низкие. Достаточно высокая активность кислорода для образования оксидной пленки обеспечивается раствором кислорода в молибденовом керне. Важным условием является исключение процессов внутреннего окисления сплава. Внутреннее окисление сплава возможно при высокой активности кислорода в процессе изготовления катода. Определены условия исправления этого брака. Содержание углерода в сплавных катодах с активностью более 0.3 способствует переходу оксида бария в интерметаллид и ухудшает соединение сплава с молибденовым керном вследствие образования хрупких карбидов.

4. При изготовлении газонаполненных приборов (мощных водородных тиратронов, плазменно-пучковых ЛБВ) необходимо обеспечить заданное давление рабочего газа в приборах в течение всего срока службы. Это обеспечивается трехфазным равновесием в системе газопоглотитель - газ. Разработана модель наполнения рабочим газом приборов, содержащих несколько поглотителей, имеющих разную температуру. При увеличении содержания кислорода в титане растворимость водорода падает, что является основной причиной нестабильности давления рабочего газа и брака, а также отказа приборов.

5.Разработанная теория откачки позволила создать новые технологические процессы и устройства для изготовления узлов, в т. ч. катодов, и откачки приборов, провести более эффективный анализ причин брака и отказов. Результаты работы используются в серийном производстве.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Большинство технологических операций в производстве электровакуумных и газоразрядных приборов, в т. ч. операции откачки и тренировки, направлены на обеспечение условий работы катодов при эксплуатации приборов. В настоящее время в приборах используют в основном эмиттеры на основе оксидов щелочноземельных и редкоземельных металлов, образующих самые термостойкие в природе оксиды. Устойчивая работа этих эмиттеров и высокая воспроизводимость технологических операций основаны на способности оксидов сохранять свою структуру при достаточно высоких для термоэмиссии температурах. При условии поддержания в приборе достаточно низкой активности кислорода, когда в структуре оксида преобладают при рабочей температуре кислородные вакансии (доноры), и отсутствия посторонних примесей срок службы оксидсодержащих катодов практически не ограничен и определяется временем полного испарения, распыления или разложения оксидов. Основным недостатком оксидсодержащих катодов являются высокие рабочие температуры (1000 . 2000 К). В настоящее время разрабатываются новые «холодные» эмиттеры с низкой работой выхода на основе гетероструктур и сверхрешеток, принцип действия которых основан на разогреве электронов внутренним полем, а также автоэмиссионные острийные катоды, в т. ч. из углеродных алмазоподоб-ных материалов. Однако долговечность таких катодов в мощных приборах пока недостаточна для практического использования. Дальнейший прогресс в области разработки высокоэффективных эмиттеров связан с созданием нанострукту-рированных оксидов, имеющих большую протяженность межзеренных границ. Нанотехнологии в различных областях техники в настоящее время интенсивно развиваются [216].

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Зоркин, Александр Яковлевич, 2006 год

1. Остаточные газы в электронных лампах /Под ред. Г.Д. Глебова. М.: Энергия, 1967,-250 с.

2. Цейтлин Н.Б., Фурсаев М.А., Бецкий О.В. Сверхвысокочастотные усилители со скрещенными полями / Н.Б. Цейтлин, М.А. Фурсаев, О.В. Бецкий. М.: Сов. радио, 1978.-280 с.

3. Фурсаев М.А. Численное моделирование динамических характеристик стаби-лотрона /М.А. Фурсаев, А.А. Терентьев, А.С. Зяблов. //Моделирование процессов в радиофизических и оптических устройствах. Саратов: Научная книга, 2006.-360 с.

4. Сушков А.Д. Вакуумная электроника: физико-технические основы./А.Д. Сушков. С-Пб, Лань, 2004. 464 с.

5. Байбурин В.Б., Терентьев А.А., Пластун С.В. Многопериодная численная модель магнетронного генератора на основе метода крупных частиц / В.Б Байбурин, А.А. Терентьев, С.В. Пластун. //Радиотехника и электроника. 1996. Т.41, №2. С. 236-240.

6. Шеин А.Г. Тенденции теоретических исследований электронных приборов со скрещенными полями./ А.Г. Шейн. Радиотехника, 2003, №2.-С. 42-50.

7. Эспе В. Технология электровакуумных материалов./В. Эспе. Под ред. Р.А. Нилендера и А.А. Кютмера, Т. 1. М.-Л.: Госэнергоиздат, 1962.-632 с.о

8. Блискунов Н.А., Каменецкий И.Я. Технология производства электровакуумных приборов,/Н.А. Блискунов Н.А Каменцкий. М.: Госэнергоиздат, 1961. Лебединский М.А. Технология электровакуумного производства./М.А Лебединский/ М.: Госэнергоиздат, 1961.

9. Свойства и применение металлов и сплавов для электровакуумных прибо-ров./Подред. Р.А. Нилендера. М.: Энергия, 1973.-336 с.

10. Черепнин Н.В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике. М.: Советское радио, 1967.-350 с.и. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике /Н.В. Черепнин. М.: Советское радио, 1973.-384 с.

11. Антонов В.А. Технология электронных приборов /В.А. Антонов. М.: Высшая школа, 1981.-357 с.

12. Фогельсон Т.Б., Бреусова Л.Н., Вагин Л.Н. Импульсные водородные тиратроны / Т.Б. Фогельсон, Л.Н. Бреусова, Л.Н.Вагин. М.: Советское радио, 1974. -212 с.и. Теория хемосорбции/Под ред. A.M. Бродского.-М.: Мир, 1983.-336 с.

13. Энергетические спектры электронов, отраженных от многослойных мишеней. Послойный анализ./В.П. Афанасьев, А.А. Барат, В.Ю. Белицкий и др. Поверхность, 2005, № 3. -С. 24-27.

14. Сагсаганский Г.Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах /Г.Л. Сагсанский. М.: Атомиздат, 1980.-216 с.17

15. Розанов JI.H. Вакуумная техника / JI.H. Розанов. М.: Высшая школа, 1982.207 с.

16. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем / А.И Пипко, В.Я Плисковский , Е.А Пенчко М.: Энергия, 1970. -505 с.

17. Вакуумная техника. Справочник /Е.С. Фролов, В.Е. Минайчев, А.Т. Александрова и др. М.: Машиностроение, 1985.-360 с.

18. Розанов JI.H. Вакуумные машины и установки / JI.H. Розанов JL: Машиностроение, 1975.-336 с.21

19. Сливков И.Н. Процессы при высоких напряжениях в вакууме / И.Н. Сливков1. М.: Энергия, 1986.-326 с.22

20. Латам Р. Вакуумная изоляция установок высокого напряжения / Р. Латам. М.: Энергия, 1985,- 192 с.23

21. Конюшков Г.В. Диффузионная сварка в электронике / Г.Н. Конюшков, Ю.Н. Копылов. М.: Энергия, 1974. -168с.1А

22. Румер Ю.Б. Термодинамика, статистическая физика и кинетика / Ю.Б. Ру-мер. М., Наука, 1977. 452 с.1. О ^

23. Физическая химия. /Годнев И.Н. и др. М.: Высшая школа, 1982.-687 с.

24. Свойства неорганических соединений. Справочник/Ефимов А.И. и др. Л.: Химия, 1983.-393 с.

25. Смитлз К. Дж. Металлы / К.Дж. Смитлз. М.:Металлургия, 1980. 447 с.ло

26. Кристиан Дж. Теория превращений в металлах и сплавах. Ч. 1. Термодинамика и общая кинетическая теория / Дж. Кристиан. М., Мир, 1978,- 807 с.лл

27. Хансен М., Андерко К. Структура двойных сплавов / М. Хансен, К. Андрей-ко. М.: Металлургиздат, 1962. 563с.

28. Левинский Ю.В. Диаграммы состояния двойных металлических систем /Ю.В. Левинский. М.: Металлургия, 1990. -400с.1. Л I

29. Фромм Е., Гебхард Е. Газы и углерод в металлах / Е. Фромм, Е. Гебхард. М., Металлургия, 1980. -712 с.. Сторонкин А.В. Термодинамика гетерогенных систем / А.В. Сторонкин. Л.: ЛГУ, 1969,- 189 с.

30. Неформальные математические модели в химической термодинамике. Новосибирск, Наука, 1991.-176 с.

31. Термодинамика процессов восстановления окислов металлов. М, Металлургия, 1970.-400 с.

32. Третьяков Ю.Д. Твердофазные реакции / Ю.Д. Третьяков. М.: Химия, 1978,-359 с.

33. Крегер Ф. Химия несовершенных кристаллов / Ф. Крегер. -М.: Мир, 1969. -655 с.

34. Поликристаллические полупроводники. М.: Мир, 1989. - 344 с.

35. Хауфе И. Реакции в твердых телах и на их поверхности / И. Хауфе. Мир, 1962, т. 1.-415 с.

36. Арсенид галлия в микроэлектронике. М.: Мир, 1988. 555 с.

37. Водород в металлах. М.: Мир, 1981.

38. Вагенер Г. Оксидный катод / Г. Вагенер. M.-JL: Госэнергоиэдат, 1949.

39. Добрецов Л.Н., Гомоюнова М.В. Эмиссионная электроника / J1.H. Добрецов, М.В. Гомоюнова. М.: Наука, 1966. 564 с.

40. Мойжес Б.Я. Физические процессы в оксидном катоде / Б.Я. Мойжес. М.:Наука, 1968.-480 с.

41. Никонов Б.М. Оксидный катод / Б.М. Никонов. М.: Энергия, 1979,- 240 с.1.с л

42. Лемменс Х.Дж., Залм 11. Оксидные катоды для получения тока плотностью от 1 до 2 А/см2 //Эффективные термокатоды / X. Дж. Лемменс, П. Залм. М.-Л., Энергия. 1964. вып. 4, с. 147-153.

43. Кудинцева Г.А. и др. Термоэлектронные катоды / Г.А. Кудинцева и др. М. -Л., Энергия, 1966.-367 с.

44. Киселев А.Б. Металлооксидные катоды электронных приборов / А.Б. Киселёв М.: МФТИ, 2002.- 240 с.48

45. Кирсанова Т.С., Тумарева Т.А. Влияние толщины пленки окиси бария на кинетику десорбции//.Поверхность. Физика, химия, механика / Т.С. Кирсанова, Т.А. Тумарева. 1986. -№ 5. - С. 39-46.

46. Смирнов В.А. Исследование испарения компонентов оксидного катода во время его длительной работы / В.А. Смирнов //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. 1987. - Вып. 1(395). - С. 36-40.

47. М). Исследование "краевого эффекта" испарения оксидного катода / В.П. Васильев, И.М. Луценко и др.//Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. -1966. Вып. 3. - С. 186-190

48. Структура и электрофизические свойства карбонатов и оксидов щелочноземельных металлов с примесью никеля / Е.М. Александров, Г.П. Козловская, Г.Д. Кротова и др.//Изв. АН СССР. Сер. неорг. матер. 1990. - Т. 26. № 8. -С. 1687-1691.

49. Влияние режима термовакуумной обработки оксидных катодов на их состав и эмиссионные свойства / В.Ф. Шнюков, Б.И. Михайловский, О.А. Минтусова и др.//Электронная техника. Сер. 4, Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1989.-№4.-С. 50-54.

50. Городецкий Д.А., Мельник Ю.П , Скляр В.К. Взаимодействие окиси бария с вольфрамом (100) / Д.А. Городецкий, Ю.П. Мельник, В.К. Скляр. //Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1988. - Т. 52, №8. - С. 1496- 1499.1. СП

51. Лясников В.Н., Украинский B.C., Филимонов С.А. Плазменное напыление тройных карбонатов щелочноземельных металлов в производстве мощных ЗВП//Электронная промышленность. 1988. - № 3. - С. 54-57.

52. Князев А.Я., Лифанцев Е.Н. Оценка времени готовности оксидного катода / А.Я. Князев, Е.Н. Лифанцев. //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. -1988. йып. 2(406). - С. 47-49.

53. Астраханцева Н.Ф., Лисс В.В. Влияние режима тренировки сверхдолговечных ЛБВ с оксидным катодом на стабильность их эмиссионных параметров / Н.Ф. Астраханцева. В.В. Лисс. //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. 1988. - Вып. 9(413). - С. 63-65.

54. Ашкинази Л.А. Оптимизация и предельные параметры оксидного катода с двухслойным покрытием и(или) низкоомной структурой / Л.А. Ашкинази. //Поверхность. Физика, химия, механика. 1963. -№6. - С. 56-58.

55. Соколов A.M. Долговечность оксидного покрытия на узких ленточных кернах / A.M. Соколов. //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. 1985.1. Вып. 2(374).-С. 39-41.62

56. Красиньков М.В., Мойжес Б.Я. О работе выхода оксидного катодам / М.В. Красиньков, Б.Я. Мойжес. / Поверхность. Физика, химия, механика. -1985. № 10.-С. 98-104.

57. Ашкинази Л.А., Марков В.Т. Поле в покрытии оксидного катода и энергия эмиттированных электронов / Л.А. Ашкинази, В.Т. Марков, //Электронная техника. Сер. 6, Материалы. 1986. - № 3. - С. 11-15.

58. Формирование, рост и электронные спектры микрокристаллов окиси бария / Н.В. Васильева, В.А. Иванов и др.// ФТТ. -1990. Т. 32, №2. - С. 368-372.

59. Князев А. Я. Связь работы выхода оксидного катода с ее температурным коэффициентом / А.Я. Князев. //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. -1988.-Вып.6(410).-С. 29-31.

60. Капустин В.И. Расчет температурной зависимости работы выхода ВаО / В.И. Капустин //Изв. АН. Сер. Физическая. Т.55, № 12,1991. с. 2455 - 2458.

61. Култашев O.K., Куранова Е.Д., Макаров А.П. Механизм старения металло-сплавных катодов / O.K. Култашев. //Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1988 . -Т. 52,№8.-С. 1619-1622.1. SQ

62. Вареха Л.М., Дмитриева В.Н., Резухина Т.К. Термодинамический подход к оценке долговечности металлосплавных катодов / Л.М. Вареха, В.Н. Дмитриева, Т.К. Резухина. //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. 1989. -Вып. 8(422).-С. 39-43.

63. Ашкинази Л.А. Модель процессов на поверхности пленочного катода / Л.А. Ашкинази. //Электронная техника. Сер. 6, Материалы. -1988. № I. - С. 36-39.70 v

64. Влияние имплантации ионов бария и кислорода на эмиссионные свойства поликристаллов Pt, Мо и сплавов Pd-Ba, Pt-Ba / М.Т. Нормурадов, Г.И. Сергеев, Э.Унаров и др.//Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. 1988. -Вып. 2(406). - С. 43-47.71

65. Лещинский И.Ш., Лукашев А.А., Чистяков П.Н. Послеразрядная и вторичная электронная эмиссия из холодного платинового эмиттерам / И.Ш. Лещинский, А.А. Лукашев, П.Н. Чистяков. //Электронная техника. Сер. I, Электроника СВЧ. 1986. - Вып. 6(390). - С. 3-5.

66. Материалы для катодов с низкими значениями первого критического потенциала: Обзоры по электронной технике. Сер. 6, Материалы / А.П. Коржавый, К.П. Редега. М.: ЦНИИ "Электроника". - 1987. - № 2.75

67. Бронштейн И.М. Вторично электронная эмиссия / И.М. Бронштейн, Б.С. Фрайман. М.: Наука, 1969. - 408 с.па

68. Электрические и эмиссионные свойства сплавов. /Под ред. Савицкого Е.М. М., Наука, 1978.-269 с.

69. Прилуцкий B.C. Вольфрамовый торированный карбидированный катод. М.: Изд. Дом «Руда и металлы», 2001.-152 с.

70. Капустин В.И. Кинетика взаимодействия высокочистого вольфрама с окисью иттрия / В.И. Капустин, В.П. Марин, В.П. Шестов. //Высокочистые вещества. -1988,-№5.-С. 47-50.

71. Эпштейн М.С. Расчет эмиссионного ресурса вольфрамовых торированных карбидированных катодов / М.С. Эпштейн. //Электронная техника. Сер. 4, Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1990. -№2. - С. 19-22.

72. Технология изготовления вольфрамового карбидно-ториового катода: Обзоры по электронной технике. Сер. 4, Электровакуумные и газоразрядные приборы / Г.П. Гоголев. Ю.К. Лесиш, Л.А. Радченко. -М.: ЦНИИ "Электроника". -1987.-№3.84

73. Влияние способа введения кислорода на эмиссионные свойства ниобия / ь.Б. Шишкин, И.С. Омельчук, С.Н. Воронков и др.//Физика и химия обработки материалов. -1987. №5. - С. 76-81.

74. Парлапански М. Влияние микрогеометрии поверхности на эмиссионные параметры металлических эмиттеров / М. Парлапански. //Радиотехника и электроника. 1988. - Т. 33, №2. - С. -371-379.8 С

75. Коржавый А.П. Особенности формирования эмиссионной поверхности холодного катода для обеспечения его долговременной работы в квантовом приборе / А.П. Коржавый, В.И. Кристя. //Электронная техника. Сер. 6, материалы. -1991. -№ 6. -С. 48-49.по

76. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. О влиянии шероховатости эмитирующей поверхности холодного катода на его долговечность / А.П. Коржавый, В.И. Кристя, В.В. Прасицкий. //Электронная техника. Сер. 6, Материалы. -1990. №3. - С. 15-19.

77. Коржавый А.П., Кристя В.И., Прасицкий В.В. О влиянии шероховатости эмитирующей поверхности холодного катода на его долговечность / А.П. Коржавый, В.И. Кристя, В.В. Прасицкий. //Электронная техника. Сер. 6, Материалы. -1990. №3. - С. 15-19.

78. Танака С., Охара И. Прямонакальный вольфрамовый катод переменного сечения с большим сроком службы / С. Танака, И. Охара. //ПНИ. -1984. №10. -С. 102-109.

79. Бульга А.В., Солонович В.К. Работа выхода электронов монокристаллов вольфрама и гексаборида лантана / А.В. Бульга, В.К. Солонович. // Высокочистые вещества. 1990. - №3. - С. 74-79.

80. Фогельсон Т.Б. Импульсные водородные тиратроны / Т.Б. Фогельсон, Л.Н. Бреусова, Л.Н. Вагин. М.: Советское радио, 1974.-212 с.

81. Крейндель Ю.Е. Плазменные источники электронов /Ю.Е.Крейндель. М.: Атомиздат, 1977.- 141 с.

82. Степанов Ю.Д. О предельных токах в приборах М типа с катодом в пространстве взаимодействия / Ю.Д. Степанов. //Электронная техника. Сер. 1, Электроника СВЧ. - 1966. -№1, - С. 104-112.

83. Исследование режимов обезгаживания ЭОС и активирование катодов в процессе вакуумной обработки / Т.П. Дементиевская, Ю.В. Мохов и др.//Электронная техника. Сер. 4, Электровакуумные и газоразрядные приборы. 1988.-№1,-С. 69-71.

84. Исследование вольт-амперных характеристик вакуумных диодов с помощью асимптотических методов / И.А. Жвания, А.11. Кашин и др.//Радиотехника и электроника. -1991. Т. 36, №1. - С. 169-172.97

85. Азизов Э.Э., Бабаев В.Г., Маштакова В.А. Анализ вольт-амперных характеристик плоско-симметричного диода в области задерживающих потенциалов / Э.Э. Азизов, В.Г. Бабаев, В.А. Маштакова. //Изв. вузов. Сер. Радиофизика. -1986. -Т. 31,.№1. С. 103-109.98

86. Бочаров Г.С., Елецкий А.В. Влияние экранировки на эмиссионные характеристики холодных полевых катодов на основе углеродных нанотрубок / Г. С. Бочаров, А.В. Елецкий. //Ж. техн. физ. 2005. 75, № 7. С. 126-130.

87. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В.Л. Миронов. М.: Техносфера, 2004.-144 с.t t о

88. Киреев В.А. Методв практических расчетов в термодинамике химических реакций / В.А. Киреев. М., Химия, 1975. 536 с.

89. Казенас Е.К. Давление и состав пара над оксидами / Е.К. Казенас. М., Металлургия, 1976. 457с.

90. Зоркин А.Я. Контроль процессов откачки электровакуумных приборов по составу газовой фазы / А.Я. Зоркин, Г.В. Конюшков, С.В. Семенов. // Вакуумная наука и техника: матер, межд. науч.-техн. конф. /М.: МИЭМ, 2003.- с. 205209.

91. Зоркин А.Я. Активность бария и эмиссионные свойства сложных оксидов / А.Я. Зоркин, О.А. Зоркина, А.А. Лемякин // Актуальные проблемы электронного приборостроения: труды межд. науч.-техн. конф. / СГТУ,- Саратов, 2006,- С. 394-400.127

92. Зоркин А.Я. Влияние состава на эмиссионные свойства сложных оксидов /А.Я. Зоркин, О.А. Зоркина, А.А. Дворников // Вакуумная наука и техника: матер. межд. науч.-техн. конф. М.: МИЭМ, 2006,- С. 48-52.1 ло

93. Зоркин А.Я. Кинетика испарения сложных оксидов в вакууме /А.Я. Зоркин, О.А. Зоркина, А.А. Дворников // Вакуумная наука и техника: матер, межд. науч.-техн. конф. М.: МИЭМ, 2006,- С. 52-56.

94. Зоркин А.Я. Испарение сложных оксидов в вакууме и долговечность катодов / А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалев, Г.В. Конюшков // Актуальные проблемы электронного приборостроения: труды межд. науч.-техн. конф. / СГТУ,- Саратов, 2006,- С. 389-394.

95. Zorkin A.Ya. Metal-oxide-gas structure outlet operation due to equilibrium compound of oxide vapours / A.Ya.Zorkin, S.V.Semenov // Proceeding of the Fourth International Vacuum Electron Sources Conference.- Saratov, Russia, July 15-19,2002,- P. 358-361.

96. Зоркин А.Я. Определение работы выхода оксидного катода по равновесному состоянию оксида и газовой фазы. / А.Я. Зоркин. // Электронные приборы и устройства нового поколения, Саратов, Сарат. гос. ун.-т., 2002. С. 35 40.1 ло

97. Зоркин А.Я. Влияние активности кислорода на термоэмиссию оксидного катода / А.Я. Зоркин. //Актуальные проблемы электронного приборостроения: Материалы международной научно-технической конференции / Сарат. гос. техн. ун.-т. Саратов, 2000. С. 407-410.

98. Зоркин А.Я. Адсорбционный механизм образования поверхностного заряда и работа выхода оксидного катода / А.Я. Зоркин. //Перспективные направления развития электронного приборостроения, Саратов, Сарат. гос. ун.-т., 2003. С. 108-113.

99. Зоркин А.Я. Равновесие оксид газ, состояние поверхности и работа выхода оксидного катода / А.Я. Зоркин. // Вакуумная наука и техника: Материалы 10ой международной научно-технической конференции /М.: МИЭМ, 2003. С. 69 -74.

100. Харрисон У. Электронная структура и свойства твердых тел / У. Харрисон. М.: Мир, т. 1,2. 1983.-381 с.

101. Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции / Ф.Ф. Волькенштейн. М, Наука, 1987,432 с.147

102. Бонч-Бруевич В.П. и др. Сборник задач по физике полупроводников / В.П. Бонч-Бруевич. М, Наука, 1978, 144 с.1 ло

103. Зоркин А.Я., Семенов С.В. Условия активирования вторично-эмиссионных палладий-бариевых катодов // Вакуумная наука и техника: Материалы 4-ой международной научно-технической конференции /М.: МГИЭМ, 2000. С. 40 45.

104. Зоркин А.Я Фазовые превращения при формировании эмиттерной структуры в системе Pd-Ba-O-C в процессе откачки и тренировки ЭВП. / А.Я. Зоркин // Электронные приборы и устройства нового поколения, Саратов, Сарат. гос. ун.-т., 2002. С. 63-69.

105. Зоркин А. Я., Семенов С. В. Условия активирования вторично-эмиссионных палладий-бариевых катодов. / А.Я. Зоркин, С.В. Семенов. //Вакуумная наука и техника. М.: МГИЭМ. 2000,- с. 40-45.

106. Любов Б.Я. Диффузионные процессы в неоднородных твердых средах. М.: Наука, 1981.-295 с.171

107. Зоркин А.Я. Диффузионная кинетика кислорода по границам зерен в сплавных катодах / А.Я. Зоркин, И.П. Попков // Актуальные проблемы электронного приборостроения: матер, межд. науч.-техн. конф. / Сарат. гос. техн. ун.-т.- Саратов, 2004.-С.507-513.1 пл

108. Каур И., Густ В. Диффузия по границам зерен и фаз / И. Каур, В. Густ. М.: Машиностроение, 1991.-448 с.

109. Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках / В.М Иевлев, Л.И. Трусов, В.А. Холмянский. М.: Металлургия, 1988.-326 с.

110. Зоркин А.Я. Фазовый состав системы титан-водород при наполнении водородных тиратронов рабочим газом / А.Я. Зоркин // Электронные приборы и устройства нового поколения: матер, науч.-техн. конф. / СГУ,- Саратов, 2002.-с. 118-123.

111. Зоркин А.Я. Динамика газовой системы плазменно-пучковых ЛБВ / А.Я. Зоркин, Г.В. Конюшков, Д.А. Атясов // Вакуумная наука и техника: матер.межд. науч.-техн. конф. /М.: МГИЭМ, 2001,- с. 218-220.180

112. Зоркин А.Я. Равновесная модель откачки и тренировки электровакуумных приборов / Г.В. Конюшков, А.С. Семенов // Электронные приборы и устройства нового поколения: матер, науч.-техн. конф. / СГУ,- Саратов, 2002,- с. 69-75.

113. Хотин В.М. и др. Раздельный способ откачки МГЛЮлектронная техника, сер. 4, №10,1973 г.

114. Патент 2195041 РФ. МКИ Н 01J 9/38. Способ откачки и наполнения приборов газом / А.Я. Зоркин, А.С. Семенов, Г.В. Конюшков,- 4 с.

115. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии / Ф. Розбери. М., Энергия, 1972.-600 с.

116. А. с. 686102 СССР. МКИ Н 01J 9/38. Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалёв, В.П. Шумарин,- 5 с.

117. А. с. № 875987 СССР. МКИ Н 01J 9/38. Устройство для герметизации электровакуумных приборов с помощью заглушки / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалёв, В.П. Шумарин,- 5 с.

118. А. с. 919835 СССР. МКИ В 23К 20/26. Устройство для диффузионной сварки / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалёв, В.В. Маркелов,- 4 с.

119. А. с. 975289 СССР. МКИ В 23К 20/26. Устройство для диффузионной сварки / А.И. Коблов., Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалёв

120. А. с. 1100065 СССР. МКИ В 23К 20/16. Способ диффузионной сварки разнородных материалов через промежуточную пористую прокладку / А.И. Коблов, Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин,- 4 с.

121. А. с. 1106616 СССР. МКИ В 23К 20/26. Установка для диффузионной сварки / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, B.C. Украинский, А.П. Пиденко, И.А. Бело-хвостов, В.А Патрашев,- 4 с.

122. А. с. 1508465 СССР. МКИ В 23К 20/26. Устройство для сдавливания деталей при диффузионной сварке / А.И. Коблов, Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, Ю.В. Мазанов, Ю.А. Люкшин,- 4 с.

123. А. с. 1508462 СССР. МКИ В 23К 19/00. Способ диффузионной сварки / А.И. Коблов, Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, С.П. Кочармин,- 4 с.

124. А. с. 1750897 СССР. МКИ В 23К 19/00. Способ диффузионной сварки пористых материалов через металлическую прослойку / А.И. Коблов, Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин,- 3 с.

125. А. с. 1683251 СССР. МКИ В 23К 19/00. Устройство для диффузионной сварки / А.И. Коблов, Г.В Конюшков, А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалев,- 3 с.

126. Зоркин А.Я. Вакансионная активация поверхности при облучении и диффузионной сварке / Г.В. Конюшков., А.Я. Зоркин., В.И. Иванов // Электронная техника. Электровакуумные и газоразрядные приборы.- 1989,- вып. 4,- с. 54-57.

127. Зоркин А.Я. Моделирование процесса диффузионной сварки электродов вакуумных дугогасительных камер и их герметизация / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, А.П. Перекрестов, С.В. Семенов // Сварочное производство.- 2000,- №10.-с. 14-18.

128. Зоркин А.Я. Герметизация вакуумных дугогасительных камер при бесштен-гельной откачке / А.Я. Зоркин, С.В. Семенов, А.В. Гаранин, А.П. Перекрестов //Электронная промышленность,- 1999,- №4.- с. 52-53.

129. Зоркин А.Я. Модель процесса диффузионной сварки в вакууме за счет разницы TKJ1P материалов / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин., А.П. Перекрестов // Вакуумная наука и техника: матер, межд. науч.-техн. конф. /М.: МГИЭМ, 2000,- с. 35-40.

130. Зоркин А.Я. Термодинамические критерии растворения оксидных пленок при диффузионной сварке / Г.В. Конюшков, А.Я. Зоркин, С.В. Семенов //Сварка и смежные технологии: матер, межд. науч.-техн. конф. / М.: МЭИ(ТУ), 2000,-с. 120-124.9Л0 ~ . . .

131. Термодинамическая модель растворения оксидных пленок в вакууме / Г.В. Конюшков, А.С. Семенов, А.Я. Зоркин, О.Ю. Жевалев // Перспективные направления развития электронного приборостроения: матер, науч.-техн. конф. / СГУ,- Саратов, 2003,- с. 94-100.

132. Розенберг В.Н. Ползучесть металлов. / В.Н. Розенберг. М.: Металлургия, 1967. - 276^с.

133. Чадек Й. Ползучесть металлических материалов/ Пер. с чешского. / Й. Чадек. М.: Мир, 1987. - 304 с.

134. Спиридонов О.П. Фундаментальные физические постоянные: Учеб. пособие для вузов / О.П. Спиридонов. М.: Высш. шк., 1991 - 238 с.

135. Пул мл. Ч., Оуэне Ф. Нанотехнологии / Ч. Пул-мл. Ф. Оуэне. М.: Техносфера, 2006. -336 с.1. ГГРТЛ ТТПМ/-РТ-1Т/ГСх хх i x*s iv^yivui xx xj

136. ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ПРОМЫШЛЕННОСТИ

137. Саратовское ордена «Знак Почёта» Федеральное государственное унитарное предприятие «Научно-производственное предприятие «КОНТАКТ»

138. Система менеджмента качества сертифицирована по требованиям ИСО 90011. ЪЧ18.я Дачная, ул. им. Спицына Б.В., д. 1, Саратов, 410033тел. [phone], факс [phone] E-mail: [e-mail]

139. ОКПО 07619636 ОГРН 1026403060970 ИНН/КПП 6453022596/644750001

140. УТВЕРЖДАЮ Главный ирз^ен р ФГУП1. АКТо внедрении (использовании) результатов докторской диссертационной работы Зоркина Александра Яковлевича

141. Результаты работы использованы в виде:

142. Технических заданий и планов ОТМ по разработке технологии, оснастки и оборудования для изготовления электронных приборов.2372.

143. Технологий и оборудования для изготовления узлов и откачки изделий в серийном производстве.

144. Экспериментальных данных по исследованию режимов технологических процессов откачки, испытаний приборов и диффузионной сварки сплавных катодов и контактов ВДК.

145. Методик расчета и моделирования процессов откачки и сварки.

146. Конструкторской и технологической документации для изготовления тиратронов, плазменно-пучковых ЛБВ, откачного оборудования.

147. Рекомендаций по ликвидации брака при изготовлении тиратронов, амплитронов, повышению процента выхода годных изделий.

148. По результатам совместных разработок получено восемь патентов и авторских свидетельств на изобретения: а. с. №№ 686102, 875987, 1106616, 1292640, 1508465, патентов РФ №№2185676, 2195041,2231855.

149. Использование результатов диссертации позволило повысить процент выхода годных при серийном производстве: тиратронов с 85 до 95 %, амплитронов с 65 до 75 %; повысить производительность труда за счет уменьшения длительности откачки приборов в 3 . 5 раз.

150. При проведении работ на предприятии использованы следующие результаты диссертации:

151. Конструкцию формоустойчивого металлосплавного катода с оптимальным температурным режимом эксплуатации, оснастку и технологию для его изготовления.

152. Модель и конструкцию газовой системы, технологию откачки, наполнения водородом и испытания плазменно-пучковых приборов и мощных тиратронов, содержащих несколько газопоглотителей при разных температурах.

153. Методику анализа причин брака и отказов электровакуумных и газоразрядных приборов и рекомендации по их устранению.

154. Способы и устройства для откачки приборов, обеспечивающие повышение эффективности процесса, в т. ч. для откачки вакуумных дугогасительных камер (ВДК). Технологию и оснастку для диффузионной сварки электродов ВДК из специальных материалов.

155. Зоркин А.Я. принимал непосредственное участие в работах в качестве главного конструктора ряда НИР и ОКР.

156. Экономический эффект от использования результатов диссертационной работы Зоркина А.Я. составил 3.4 млн. руб.

157. Председатель комиссии А.П. Дворцов1. Члены комиссии1. В.И. Ширшин

158. О.В. Печенкин А.А. Смирнов И.В. Волков1. В.В. Гарин Ю.А. Люкшин1. Г.П. Найденовутверж;1. Главны»акттехнико-экономической эффективности внедрения технологии диффузионной сварки за счёт разницы TKJIP материалов узлов вакуумных дугогасительных камер

159. Руководитель разработки Засл. деят. науки РФ, д.т.н., проф.1. Дворцов AIL1. Волков И. В.ков Г.В.