Исследование физических процессов в кремниевых многослойных структурах, разработка математических моделей и пакета программ для автоматизации проектирования силовых тиристоров тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат технических наук Юрков, Сергей Николаевич

  • Юрков, Сергей Николаевич
  • кандидат технических науккандидат технических наук
  • 1981, Москва
  • Специальность ВАК РФ00.00.00
  • Количество страниц 215
Юрков, Сергей Николаевич. Исследование физических процессов в кремниевых многослойных структурах, разработка математических моделей и пакета программ для автоматизации проектирования силовых тиристоров: дис. кандидат технических наук: 00.00.00 - Другие cпециальности. Москва. 1981. 215 с.

Оглавление диссертации кандидат технических наук Юрков, Сергей Николаевич

Введение

ГЛАЗА ПЕРВАЯ. Обзор литературы.

1.1. Вопросы моделирования характеристик СПП

1.2. Напряжение лавинного пробоя диффузионного р-п перехода.

1.3. Напряжение переключения

1.4. Обратный ток (ток утечки).

1.5. Вольтамперная характеристика тиристора во включенном состоянии.

1.6. Ударный ток. Ток аварийной перегрузки

1.7. Критическая скорость нарастания анодного тока

1.8. Переходный процесс включения.

1.9. Критическая скорость нарастания ацрдного напряжения

1.10. Время выключения.

1.11. Постановка задачи

ГЛАВА ВТОРАЯ. Исследование напряжения переключения и максимального напряжения р-п-р-п структур . ¿

2.1. Расчет напряжения лавинного пробоя диффузионных . р-п переходов с распределением примеси по закону

Гаусса

2.2. Расчет максимального напряжения р-п-р-п структур

2.3. Расчет напряжения переключения.

2.4. Экспериментальная проверка.

2.5. Выводы.

ГЛАВА ТРЕТЬЯ. Исследование переходных тепловых процессов в р-п-р-п стрзгктзфах

3.1. Расчет температуры нагрева кремниевой структуры силового прибора от воздействия импульса тока перегрузки большой длительности

3.1.1. Постановка задачи

3.1.2. Метод решения уравнения теплопроводности

3.1.3. Обсуждение результатов расчета температуры

3.2. Расчет неодномерных электрических и тепловых процессов при включении р-п-р-п структур с большой скоростью нарастания анодного тока.

3.2.1. Анализ переходных процессов включения р-п-р-п структур при высоких плотностях тока с учетом расширения токопроводящего канала

3.2.2. Расчет температуры р-п-р-п структуры при включении с большой скоростью нарастания анодного тока

3.2.3. 0 методике расчета предельной скорости нарастания анодного тока (cJl/dt) ^ . ПО

3.2.4. Расчет периметра управляющего электрода . . Ц

3.3. Выводы.

ГЛАВА ЧЕТВЕРТАЯ. Пакет прикладных программ для автоматизированного проектирования силовых тиристоров "ПРОТГ.

4.1. Назначение и возможности пакета прикладных программ "ПРОТЕГ.

4.2. Состав ППП "ПРОТИ"

4.2.1.Модуль расчета параметров п-базы { nbase. )

4.2.2. Модуль расчета тока утечки С ОВТОК )

4.2.3. Модуль расчета времени жизни;-дырок в п-базе (ТАУР).136:

4.2.4. Модуль расчета напряжения пробоя диффузионного р-п перехода и коэффициентов умножения

4.2.5. Модуль расчета прямого падения напряжения (ВАЛ)

4.2.6. Модуль расчета тока аварийной перегрузки А РТОК )

4.2.7. Модуль расчета ударного тока ( В R EA К ) Г

4.2.8. Модуль расчета критического заряда включения ( QKR1T ).

4.2.9. Модуль расчета времени выключения ( TBVK )

4.2.10. Модуль расчета активной площади прибора и диаметра выпрямительного элемента ( AREA )

4.3. Логическая процедура проектирования

4.4. Подготовка исходных данных для ПШ "ПРОТИ"

4.5. Использование пакета "ПРОТИ" для проектирования силовых тиристоров различного назначения

4.5.1. Низкочастотные тиристоры общепромышленного назначения.

4.5.2. Высоковольтные тиристоры для линий электропередач

4.5.3. Особенности расчета малоамперных низкочастотных тиристоров.

4.5.4. Частотные и быстродействующие тиристоры

4.5.5. Импульсные тиристоры

4.6. Выводы.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Другие cпециальности», 00.00.00 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование физических процессов в кремниевых многослойных структурах, разработка математических моделей и пакета программ для автоматизации проектирования силовых тиристоров»

Прогресс многих отраслей народного хозяйства зависит от уровня развития преобразовательной техники, основу которой составляют сшгавые полупроводниковые приборы (СПП). В последние годы силовое полупроводниковое приборостроение интенсивно развивалось. Значительно возрос объем цроизводства СПП (особенно тиристоров), непрерывно улучшаются параметры цриборов и расширяется область их применения. Основной тенденцией развития СПП является увеличение коммутируемой мощности при высоком быстродействии, В настоящее время проводится большая работа по созданию нового поколения СПП, в том числе тиристоров различного назначения - мощных высоковольтных для линий электропередач, импульсных, быстродействующих тиристоров и др.

Вместе с тем, существовавшие к началу данной работы методы проектирования СПП устарели и не отвечали современным требованиям. До недавнего времени цроектирование СПП осуществлялось по приближении! инженерным формулам. Качество разрабатываемых цриборов при этом зависело от опыта и интуиции разработчика, а недостатки расчета компенсировались многочисленными экспериментами. Отчасти это было оцравдано низкой воспроизводимостью технологических процессов, что приводило к большим разбросам параметров приборов. Существенное повышение качества кремния и точности технологических процессов привело к уменьшению неконтролируемого разброса параметров СПП, стимулировало разработку более точных математических моделей и применение современных методов проектирования приборов с использованием ЭВМ. Большой опыт машинного проектирования, накопленный в таких областях техники, как слаботочная электроника и микроэлектроника, машиностроение, авиастроение, показывает, что наибольший эффект дает не цроведение на ЭВМ отдельных расчетов, а комплексная автоматизация процесса проектирования с помощью систем автоматизированного цроектирования (САПР). Использование таких систем позволяет повысить точность расчетов, унифицировать методы расчетов, находить оптимальные сочетания параметров прибора, добиться со1фащения сроков и стоимости разработки путем уменьшения объема экспериментальных исследований.

Система автоматизированного проектирования силовых полупроводниковых приборов (СМР СПП) включает в себя комплекс математических и технических средств, позволяющих автоматизировать процесс расчета, оптимального синтеза приборов и моделирования их работы в различных режимах эксплуатации. Основным элементом САПР СПП, отражающим ее связь с объектом проектирования, является подсистема специального программного обеспечения (СПО), представляющая собой программную реализацию математической модели силового црибора. Эффективность САПР во многом определяется точностью используемых математических моделей СПП (в данном случае силовых тиристоров) и тем, насколько адекватно они отражают физические процессы в реальных приборах,

В литературе описаны результаты большого количества теоретических и экспериментальных исследований характеристик силовых тиристоров. Однако, многие из них до настоящего времени изучены недостаточно. Сюда следует отнести неодномерный переходный процесс включения, нестационарные неодномерные тешшвые процессы в кремниевой структуре при включении с большой скоростью нарастания анодного тока (эффект а1/ Л ), нестационарные тепловые н процессы в приборе при воздействии импульса тока перегрузки и др. Поэтому создание математической модели силового тиристора требует проведения дополнительных физических исследований. Отметим, что разработка математических моделей и их программирование на ЭВМ позволяет решать лишь отдельные задачи проектирования. На основе разработанных моделей отдельных характеристик прибора (модулей) создаются пакеты прикладных программ (ППП), в которых модули связаны алгоритмом проектирования. До начала данной работы отсутствовала методика и программы автоматизированного проектирования силовых тиристоров.

Диссертация посвящена исследованию физических процессов в силовых тиристорах с целью установления взаимосвязи характеристик и параметров приборов со свойствами многослойной структуры, разработке математических моделей и пакета прикладных программ для проектирования силовых тиристоров различного назначения.

Основные положения диссертационной работы, которые автор ставит на защиту, можно сформулировать следующим образом:

1. Установлена взаимосвязь напряжения и тока переключения и максимального напряжения тиристоров с параметрами р-п-р-п структуры. Анализ проведен с учетом таких физических явлений, как влияние встроенного поля в р-базе, наличие тянущего электрического поля и модуляция толщины п-базы, зависимость коэффициента инжекции п+-эмиттера от плотности тока.

2. Разработана методика расчета температуры перегрева многослойной кремниевой структуры силовых приборов различных конструкций при воздействии импульсов тока перегрузки.

3. Развита теория переходного цроцееса включения тиристоров при больших плотностях тока и высоких напряжениях с учетом расширения токоцроводящего канала.

4. Исследованы неста/ционарные неодномерные теплофизические процессы, имеющие место при включении тиристоров.

5. Разработаны математические модели и щюграммы для расчета напряжения цробоя диффузионных р-п переходов, максимального напряжения и напряжения переключения, температуры кремниевой структуры тиристора при воздействии токов аварийной перегрузки и при включении с большой скоростью нфастания анодного тока.

6. Разработан алгоритм проектирования и пакет прикладных црограш для автоматизации цроектированяя силовых тиристоров.

Похожие диссертационные работы по специальности «Другие cпециальности», 00.00.00 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Другие cпециальности», Юрков, Сергей Николаевич

4.6. Выводы

1. На основе оригинальных математических моделей, а также моделей, описанных в литературе, разработан пакет прикладных программ, предназначенный для автоматизации процесса проектирования силовых тиристоров различного назначения.

2. Предложена логическая процедура проектирования, позволяющая определять основные геометрические и электрофизические параметры р-п-р-п структуры по заданным требованиям к выходным характеристикам прибора.

3. Разработанные математические модели и пакет прикладных программ были использованы при проектировании высоковольтных мощных тиристоров для линий электропередач, быстродействующих тиристоров Единой унифицированной серии таблеточной конструкции, Единой унифицированной серии малоамперных тиристоров на токи до 80 А, а также при проектировании приборов специального назначения.

Опыт эксплуатации пакета программ "ПРОТИ", сравнение расчетных характеристик с параметрами разработанных приборов подтвердили • адекватность используемых моделей и справедливость принятой процедуры проектирования.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Проведенные исследования в области физики и моделирования характеристик тиристоров позволили разработать математические модели и программы догя проектирования силовых тиристоров. В ходе этой работы были получены следующие основные научные результаты.

1. Проведен расчет напряжения пробоя диффузионного р-п перехода с распределением примеси по закону Гаусса. Установлено, что ошибка при расчете 17Пр диффузионного перехода, связанная с использованием эффективных коэффициентов ударной ионизации, не превышает 1-2% для высоковольтных переходов (N¿"10^+10*® см~^).

2. Проведен численный расчет коэффициентов умножения электронов и дырок в диффузионном р-п переходе и получены соответствующие аппроксимационные формулы.

3. Разработана одномерная модель для расчета таких параметров статической ВАХ тиристора в непроводящем состоянии, как напряжение переключения, ток переключения, максимальное напряжение ("напряжение загиба" ВАХ). Анализ проведен с учетом модуляции толщины базовых слоев, влияния встроенного поля в р-базе, зависимости коэффициента инжекции п+-эмиттера от плотности тока, обусловленной влиянием технологической щунтировки. Кроме того учтено существенное отличие коэффициентов умножения дырок и электронов для высоковольтных р-п переходов, а также влияние тянущего поля в п-базе. Анализ влияния тянущего поля на параметры статической ВАХ показал, что оно приводит к существенному снижению тока переключения и незначительному (в области температур 20-125 °С) уменьшению максимального напряжения и напряжения переключения. Эффект усиливается при увеличении температуры.

4. Развита одномерная тепловая модель для расчета температуры структуры силового прибора при воздействии импульса тока перегрузки длительностью 5-50 мс. Система нелинейных уравнений теплопроводности решалась численно с использованием явного сеточного метода. Исследовалось влияние на температуру нагрева ряда нелинейный эффектов, в частности, температурной зависимости -коэффициента теплопроводности кремния и динамического сопротивления прибора. Показано, что влияние зависимости X (т) существенно только в области больших температур (300-500°С). Увеличение^ при нагреве может приводать к увеличению максимальной температуры на 30-50%. Обнаружено существенное влияние на температуру нагрева прижимного контакта со стороны катода, которое прежде не учитывалось при расчете температуры. Показано, что прижимной контакт существенно ограничивает тепловые потоки через катодную поверхность . В,зависимости от величины контактного теплового сопротивления /?/с нагрев кремниевой структуры может меняться в несколько раз. На контакте наблюдается перепад температур, который может достигать несколько сотен градусов.

5. Проведен анализ переходных процессов включения р-п-р-п структур при высоких плотностях тока и больших напряжениях с учетом расширения то ко про во дящ его канала. Показано, что на этапе регенеративного роста тока расширение канала ускоряет переходный процесс. Эффект тем заметнее, чем меньше размер области первоначального включения. Влияние расширения канала на вид переходного процесса наиболее существенно при включении прибора на активную нагрузку при малых значениях & . Рассмотрены особенности переходного процесса включения при дискретном включении областей вдоль периметра управляющего электрода. Показано, что такой характер включения приводит к неравномерному распределению тока мезду областями, которое сохраняется до окончания процесса формирования области первоначального включения вдоль периметра управляющего электрода.

6. Разработана теория нестационарных неодномерных тепловых процессов в р-п-р-п структуре при включении с учетом расширения токопроводящего канала. Рассмотрен случаи радиального расширения включенной области с постоянной скоростью и случай дискретного включения областей вдоль периметра управляющего электрода. Предложена математическая модель для расчета двумерных температурных полей в р-п-р-п структуре при произвольной конфигурации управляющего электрода, справедливая при' длительности импульсов от единиц до сотен микросекунд. В модели используется теоретический расчет переходных электрических процессов. Это позволяет во-первых, использовать ее при проектировании тиристоров, а во-вторых, корректно учесть распределение плотности тепловых источников в р-п-р-п структуре. Предусмотрена так^е возможность использовать экспериментальные значения тока и напряжения при переходном процессе включения для расчета температуры. Показано, что для импульсов длительностью 20-50 мкс максимальная температура нагрева может быть рассчитана в адиабатическом приближении. Указана ошибка, связанная с использованием адиабатического приближения.

7. Описана методика теоретического расчета критической скорости нарастания тока, основанная на разработанной модели переходных электрических и тепловых процессов в р-п-р-п структуре, применительно к стандартной схеме (по ГОСТ) для измерения .параметра сИ/сИ)Кр . Установлено, что метод испытания тиристоров на стойкость к эффекту Л/сИ по ГОСТ (в режиме одиночных импульсов) не годится для приборов, имеющих большие значения (сИ/сИ) ( ^ 500-1000 А/мкс).

Предложена приближенная методика расчета длины периметра разветвленного управляющего электрода по заданным требованиям к динамическим параметрам прибора.

8. Предложена логическая процедура проектирования, позволяющая определять основные геометрические и электрофизические параметры р-п-р-п структуры по заданным требованиям к выходным характеристикам прибора.

9. На основе оригинальных математических моделей и моделей, описанных в литературе, а также на основе предложенной процедуры проектирования впервые разработан пакет прикладных программ, предназначенный для автоматизированного проектирования силовых тиристоров различного назначения ("ПРОТЙ"). При разработке пакета "ПРОТИ" проведено уточнение ряда моделей применительно к особенностям технологии и конструкции различных типов тиристоров. Опыт эксплуатации пакета программ "ПРОТЙ", сравнение расчетных характеристик с параметрами разработанных приборов подтвердили адекватность используемых моделей и справедливость принятой процедуры про ектиро вания.

Разработанные математические модели и пакет прикладных программ были использованы при проектировании высоковольтных мощных тиристоров для линий электропередач, быстродействующих тиристоров Цдиной Унифицированной серии таблеточной конструкции, малоамперных тиристоров на токи до 80А серии "Интерэлектро". Основные положения и результаты диссертационной работы докладывались на УШ Всесоюзной научно-технической конференции по проблемам автоматизированного электропривода, силовых полупроводниковых приборов и преобразователей на их основе (г.Ташкент, 16-19 октября 1979г.), на Всесоюзном научно-техническом семинаре "Повышение параметров силовых полупроводниковых приборов на основе новых конструкторских решений и методов изготовления" (г.Запорожье, 30 июня - 4 июля 1981г.), неоднощэатно докладывались на конференциях молодых ученых и специалистов ВЭИ им.В.И.Ленина, а также содержатся в следующих работах:

1. Расчет температуры перегрева полупроводниковой структуры силового прибора от воздействия импульса тока перегрузки. --Электротехническая промышленность. Преобразовательная техника,

1979, вып.3(110), с.3-6 (в соавторстве с Кузьминым Б.А. и Мамоновым В.И.).

2. Расчет допустимых токов аварийной перегрузки мощных тиристоров. - Электротехническая промышленность, Преобразовательная техника, 1979, вып. 4(111), с.3-6 (в соавторстве с Кузьминым В.А., Локтаевым Ю.М., Мамоновым В.Й., Чесноковым Ю.А.).

3. Расчет напряжения переключения и максимальною напряжения в высоковольтных р-п-р-п структурах. - Радиотехника и электроника,

1980, т.25, Ш 6, с. 1264-1268 (в соавторстве с Кузьминым В.А.).

4. Пакет прикладных программ для автоматизированного проектирования силовых тиристоров. - Силовое полупроводниковое приборостроение. Труды ВЭИ, 1980, вып.90, с.36-48 ( в соавторстве с Кузьминым В.А. и Павликом В.Я).

5. Влияние расширения токопроводящего канала на переходные процессы включения многослойных р-п-р-п структур при высоких плотностях тока. - ЖТФ, 1981, & II, с.1398 (в соавторстве с Кузьминым В.А. и Павликом В.Я.).

6. Юрков С.Н. Исследование напряжения переключения и "напряжения загиба" ВАХ силовых тиристоров. - Тезисы докладов УШ Всесоюзной научно-технической конференции по проблемам автоматизированного электропривода, силовых полупроводниковых приборов и преобразователей на их основе (г.Ташкент, 16-19 октября 1979г.), М.: Информэлектро, 1979.

В заключение автор хотел бы выразить глубокую благодарность научному руководителю работы доктору фи з.-мат.наук профессору В.А.Кузьмину за неоценимую помощь и всестороннюю поддержку, ведущему инженеру В.И.Мамонову и старшему научному сотруднику В.Я.Павлину за многочисленные полезные советы и помощь в выполнении работы, а также всем сотрудникам лаборатории физических исследований за обсуждение работы и полезные замечания.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Юрков, Сергей Николаевич, 1981 год

1. Носов Ю.Р., Петросянц К.О., Шилин В.А. Математические модели элементов интегральной схемотехники. М.: Советское радио, 1976, 304с.

2. Кузьмин В.А. Тиристоры малой и средней мощности. М,: Советское радио, 1971, 184с.

3. Челноков В.Е., Евсеев 10.А. Физические основы работы силовых полупроводниковых приборов. М.: Энергия, 1973, 280с.

4. Управляемые полупроводниковые вентили/ Ф.Джентри, Ф.Тутцвил-лер, Н.Голоньяк и др. М.: Мир, 1967, 456с.

5. Кузьмин В.А. Математическое моделирование силовых полупроводниковых приборов (CII1I). Электротехническая промышленность. Преобразовательная техника, 1979, вып. 10(117), с.3-6.

6. Ionization 2ates of holes and efecH&ns In ^¿'cvrj /СЛЛее

7. S-tale Г fei? оы es , /97-0, К JS) -60?.9. 0 коэффициентах ударной ионизавди электронов и дырок в кремнии/ .В.А.Кузьмин, Н.Н.Крюкова, А.С.Кюрегян, Т.Т.Мнацаканов, В.Б.Шуман. ФТП, 1975, й 4, с.735-739.

8. Шотов А.П. Об ударной ионизации в германиевых р-п переходах. ЖТФ, 1958, & 3, с.437-440.

9. Кюрегян A.C. Исследование ударной ио низа щи и лавинного пробоя в высоковольтных р-п переходах: Дис. на степень канд.

10. Ve/n (Pvevs/vae^eft flti)I>e Мя* tf. МеяS^/iewe*/ of ¿¿e ¡oitza/teti ъсг/es ¿yt diffused S^/t^tf P-fo сftb/ts.,—физ.-мат. наук/ ВЭИ им.В.И.Ленина. М.: 1975.

11. И ¡/fe? S.Á., Pvtffa/iche 2 с/с? us*? /и , —

12. PAp.ßetJ, , ^ у, 99, /о. /Л34 ¿24J.

13. Wv/fö р, J. Theezij o-j e/ect?*» ■ave/ ^еъ/пял/ию , — P/?^s. Peí/, ; /в-SJ/, К14. &. fi, Z>¡sthánteon ■j-tsvcfi'wS /отё&Рс?" ?afes -fo? ho-é é>fe chatis sem/co&c/ücfo'zs . -p/j^s* Pew^ /362., Y. 123, p.2$07.

14. Hoff } Van ¿foevstweíen Cf?av^e nt и /,'гал s/.Pc¿>rr jHyycitOPfZ „ — Séa¿e- fPee/? o*?/es. f663, AÍ2 . p,16. kok&sa ß. Р. ; 2><ЯЫ<'е£ /Ргг&РйъсАе /'геа/fponj^; c/i"jjusec/ ^hcí/ohs. — Р/ес/ъо* beute es, /$66, v. ED-/5t *¿2, p.

15. Кузьмин В.Л. Исследование некоторых взаимосвязей параметров кремниевых структур большой площади и создание на их основе физической и математической модели силового диода: Дис. на степень канд.техн. наук/ВЭИ им.В.И.Ленина, М.: 1974.

16. Helfet Р. SoPcZ-S-fafe /36^, Y. Z, MS} р. 65S- 6/2.

17. Seth С.Т., А/о усе ß. M. f Shoc/f/e^ W. <?£>??/e?crsií/ •?ec<£>máirtfiPc>r> ih p-n ^junct/oftS сгяс/ ^o-/? Juncí/ohcha^cüPst/cs ¿05?, ув} p. ¿22B-¿243.

18. Mues, Я.Р. , G-ofc/Ae?^ C, T££t Tws. 0*9 Drokes t /$63, К EE> -¿О,

19. Pfe/i/cf) 2, W, / pcPoHj'ak p Tuso 4 s^ne/

20. X Pf/*f. p/?^. , /3&3, M¿¿ , f>JB/9-/S24.

21. В. . 1 У&и^я -глЗ, /V, С, -//¡е 2/с? л<я ¿/егл'се ¿¿>//6- , К ¿О, р. 64/.

22. Расчет оптимальных статических параметров высоковольтных мощных тиристоров/ В.М.Волле, И.В.Грехов, А.И.Лизин и др. Радиотехника и электроника, 19 ЯЗ, № 9, с. 1933-1939.

23. Расчет силовых полупроводниковых приборов, /П.Г.Дерменжи,

24. В.А.Кузьмин, Н.Н.Крюкова и др. Под ред. В.А.Кузьмина. М.:1. Энергия, 1980, 184с.

25. Дерменжи П.Г., Думаневич А.Н. Эффективность технологической шунтировки эмиттерного п+-р перехода в тиристоре. Радиотехника и электроника, 1973, т.18, № 4, с. 844-850.

26. Гренке КЬЪг£<гЬРи<'/¿е? и**/те/ипл В^етеъз Ро-г^сЬ ипо! Ёъ-¿-¿Л?<,394, р.¿34-24?.

27. Кузьмин В.А. Вольтамперная характеристика полупроводниковых приборов со структурой р-п-р-п во включенном состоянии. Радиотехника и электроника, 1963, т. 8, II, с. 171-177.

28. Авак"янц Г.М., Лазарев Е.В. Изв. АН Арм. ССР. Физика, 1969, т.4, № I, с. 83.

29. С^гъи vX , /И. A/uwe^ccyf /s?uest^atihr? oj -¿A*-éh^/si-ot ch#? a c/p ?<sс „ TTb^xs .d *

30. SSre/ъо» 2)eu/ces , //, £-£>-13, * 8,3ZS-93J.

31. Кузьмин В.А., Мнацаканов Т.Т. Вольтамперная характеристика полупроводниковых структур с диффузионными р-п переходами при большой плотности тока. Радиотехника и электроника, 1981, т. 26, J& 5, с. I082-I09I.

32. Кузьмин В.А., Мнацаканов Т.Т., Шуман В.Б. 0 влиянии электронно--дырочного рассеяния на вольт-амперную характеристику кремниевых многослойных структур при большой плотности тока. Письма в Ж№, 1980, т. 6, № II, с. 689.

33. Jцп ha'use г Е № alhan^i^ic^li deъ1. £i¿<2¿ütr) v¿>¿7 ¿/е? Jcou^esré?'?-?'*?'? ¿/es

34. Sic Je FSeclw'rs, ¿372, Vt IST, р. /39?.

35. ГОСТ 14069-72. Вентили силовые полупроводниковые кремниевые и управляемые тиристоры, 1973.

36. Чесноков Ю.А. Исследование предельно допустимых импульсных режимов работы тиристоров и разработка конструктивных мероприятий по повышению стойкости приборов к токам перегрузки: Дис. на степень канд. техн. наук/ВЗИ им.В.И.Ленина. М.: 1969.

37. Перегрузка тиристора однократным импульсом тока большой амплитуды / Э.Ф.Бурцев, И.В .Грехов, Н.Н.Крюкова и др. В кн.: Физика электронно-дырочных переходов и полупроводниковых ' приборов. Я.: Наука, 1969,с. 309.

38. Грехов И.В. Физические процессы в мощных кремниевых приборахЛс р-п переходами: Дне. на степень докт. физ.-гмат. наук / ФТИ им.А.Ф.Иоффе АН СССР. Л.: 1974.

39. Бурцев Э.Ф., Грехов И.В., Крюкова H.H. Локализация тока в кремниевых диодах при большой плотности прямого тока. ФТП, 1970, № 10, с. 1955-1962.

40. Чесноков Ю.А. Влияние толщины кремниевой пластины тиристоровна их работоспособность в режиме короткого замыкания. Электротехническая:., промышленность. Преобразовательная техника, 1973, вып. 3(38), с. 5-9.

41. Остренко B.C. Исследование устойчивости кремниевых вентилей и тиристоров к токам короткого замыкания: Дис. на степень канд.техн.наук / Одесский политехнический институт. Одесса: 1974.

42. СТ СЭВ 1656-7Э. Приборы по лу про водш ко вы е силовы. Общие методы измерений. 1979.50. 5", / ТЬис/я , 7~/>е /эи/зе гя^''^ г¿с?2$ , — ± ЕЁЕ Эеииев,1/970, К #9, р. ¿30.51. -Зо/чоз Т. У*«^? те&к'ч^'^/

43. В кн.: Тезисы докладов на Всемирном электротехническом конгрессе (г. Москва, 21-25 июня, 1977г.). М., 1977, доклад § 50.

44. Динамика тепловых процессов при включении тиристорной р-п-р-п структуры / И.В.Грехов, А.Н.Еолчин, Э.В.Палко и др. Дей.1.2221-70. Л., 1970.

45. Исследование причин отказов тиристоров при работе в импульсном режиме / Ш.Д.Бурханов, А.М.Бапшров, В.В.Гаршенин и др. В кн.: Полупроводниковые приборы в технике электросвязи. М.,1970, выл. 6, с. 145.

46. Синегуб Г.А. и др. 0 возможных причинах отказов импульсных тиристоров. В кн.: Полупроводниковые приборы и их применение. Вып. 27. М.: Сов. Радио, 1973, с. 117-131.

47. Кордингли В. Акустический метод изучения процесса включения тиристоров ж сИ/с/+ стойкости. - ТИИЭР, 1970, т. 58, № 2, с. 87.

48. Заес^^с? А/,; Такс,ко М&зцс/с* /<. 7~Ае ъаУ/л^-/-А^-г^/сгв , — /г/ее, Сот/г? с/ю. Ао-б. у /96?,у, 2& ,р, 45-5?.58. Хкес/* 77 ¿//с//- /96?, V, 55~} р. /3&/-/305.

49. Зотав 2, / Р(ссс?/?*> 2), ¿//?б/ег7С?///О*5> . Ргос. , /96"?-, к р /ЗОб60. "ААе т^ъю с?*? рэ&^&ъ^ыяясе ¿>/ Ь^Я —рэакэе? АА^/в/^г „ — ^ с?*?с/ ~75>с/>}в?!, у.ЗЯ,

50. АА? ■ехрес'ба'гсу АА^и'з^оъ ¿Аие Ас? сН/с/! фя^ьъе мос/ез . /072,7 ** . ЛгеАгУу 2/7в} р. 469-473,

51. Ашкинази Г.А. Зяектро и тешюфизические процессы в силовых высокочастотных, быстродействующих и импульсных полупроводниковых приборах и их разработка: Дис. на степень доктора техн. наук / НИИ ТЭЗ им.М.й.Калинина. Таллин: 1976.

52. Лебедев А. А. ,Уваров А.И»,Челноков В»Е» Влияние электрического поля на переходные процессы в р-п-р-п структурах.-Радиотехника и электроника,1967,18,с»1461-1468»

53. Лебедев А»А. .Уваров А»И» К теории процесса включения р-п-р-п структур.- Физика и техника полупроводников,1967,т.1,^2,с.211— 216»

54. Тогатов В.В. Расчет процесса включения в квазилинейной модели р-п-р-п структуры. Радиотехника и электроника, 1977,т. 22, 1 5, с. 1030-1037.

55. Кузьмин В.А. Теория эффекта dU/dt в тиристорах. В кн.: Физика электронно-дырочных переходов и полупроводниковых приборов. I., Наука, 1969, с. I06-II2.

56. Дерме нжи П.Г., Евсеев Ю.А., Конюхов A.B. Эффект du/dt в реальных р-п-р-п структурах. Радиотехника и электроника, 1972, № II, с. 2374-2378.

57. Воронин К.Д. Исследование переходных процессов в р-п-р-п структурах большой площади и разработка инверторных тиристоров: Дис. на степень кандидата физ.-мат. наук / ВЭИ им.1. В.И.Ленина. Москва: 1974.

58. Воронин К.Д., Дерменжи П.Г. Зависимость времени выключения р-п-р-п структур от их параметров и режимов измерения. Радиотехника и электроника , 1973, т. 18, }Ь II, с. 2364-2373.

59. Кузьмин В.А. 0 времени выключения приборов со структурой р-п-р-п. Радиотехника и электроника, 1964, т. 9, № 8, с. I4I0-I4I3.

60. Z\ Scottch/'*^ cha?acie4,s~f~ic of SI '/ZCOM /эомж?о о ¿¿ее/ . — T^o^s, C'c*s*7S*fW.f/ed^/cs , /964, v.ZS, A/ZS, p,2>61 -Я?/,

61. Лебедев A.A., Уваров А.И. Постоянная времени рассасывания заряда в р-п-р-п структуре при выключении ее под действием обратного анодного напряжения. Радиотехника и электроника, 1967, т. 12, № 4, с. 686-692.

62. Лебедев A.A. Исследование физических процессов полупроводниковых структур типа р-п-р-п: Дис. на степень кандидата физ.-мат. наук / ФТИ им. А.Ф. Иоффе АН СССР. Ленинград: 1967.

63. Тогатов B.B. Исследование процесса восстановления р-п-р-п структуры. Радиотехника и электроника, 1972, т.17, J8 3, с. 587-591.

64. Тогатов В.В. К теории процесса выключения р-п-р-п структуры. Радиотехника и электроника, 1973, т. 18, Ш I, с. 166-170.

65. Тогатов В.В. К нелинейной теории переходных процессов в диодах и тиристорах. £fv^-fac/?*t'ckp &/=>/<>. ßv^/sAf97.4, м 7. 4SS-43V.

66. Лабунцов В.А., Тугов H.A. Динамические режимы эксплуатации мощных тиристоров. М.: Энергия, 1977.

67. Бурцев Э.Ф., Евсеев Ю.А., Челноков В.Е. Отрицательное сопротивление на неизотермической вольт-амперной характеристике кремниевых структур. Электротехническая промышленность. Преобразовательная техника, 1972, вып. 4(28), с. 7-10.

68. Саульев В.К. Интегрирование уравнений параболического типа методом сеток. М.: ГИФ-МЛ, i960, 324с.

69. Dso/ces , f. £D~22, м2, р. rfS-gS,

70. Sitae к U. E* peil те ot?№ Untezsuchuncj c/es Eingusses c/et Muzz -schiu^etnIttel oh'me/i&iotfteiuncj aerf das ¿¿¿ле/иег/тяНе* коп ThgzktäTefy

71. S/еюе/is Fo^ch und Sfttw/c^i/^ t /976, bd.5, vi t S.

72. Ковров А., Руша К., Рухамкин В. Динамика образования начальной области включения в мощных тиристорах. Изв. АН ЭССР.

73. Физика и математика, 1981, т. 30, гё I, с. 47-52.

74. Панютин Е.А., Чашников И.Г. 0 раснределении плотности тока по области первоначального включения тиристоров в режиме с высоким быстродействием. Радиотехника и электроника, 1978, т. 23, Л 4, с. 883-886.

75. Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964.96. 3EDEC S-tandaRS-39?, Jâ72.

76. Kokas* R, The p&te^ ¿>f о c/eui'ce //?¿96?, л/3, /*.J3S9-S4'ûO.

77. Кузьмин В.A., Парменов 10.A. Анализ вольтамиерной характеристики тиристора в открытом состоянии. В кн.: Полупроводниковые приборы и их применение. Вып. 24. М.: Сов.радио., 1970, с. III-I25.

78. Дерменжи П.Г. Зависимость коэффициента переноса широкой п-базы р-п-р-п структур от плотности тока. Электротехническая промышленность. Преобразовательная техника, 1976, вып. 4(75).

79. Глориозов ЕЛ., Ссорин В.Г., Сыпчук П.П. Введение в автомати

80. Шщю схемотехнического проектирования. М.: Советское радио, 1976. 223с.

81. Рабкин П.Б., Тогатов В.В. Квазилинейная квазиодномерная модель процесса включения р-п-р-п структур на этапе установления стационарного состояния. Радиотехника и электроника, 1981, т. 26, № 7, с. 1498-1509.

82. Евсеев 10.А. Полупроводниковые приборы для мощных высоковольтных преобразовательных устройств. М., Энергия, 1978.

83. Отблеск А.Е. Исследование физических процессов в диодных и тиристорных структурах при высокой плотности неравновесных носителей: Дис. на степень канд. физ.-мат. наук / ФТИ им. А.Ф.Иоффе АН СССР. Л.: 19ТО.

84. S/ASe? Д / /И. 77?e?/r>of е^есАз опch#vccfevrs&'cs of Si'A'co/i c//oc/es cr¿ f>¡</¿se1. SoM'SA^ e&ctwcs,

85. Дермеяжи П.Г., Лебедева M.ÍO., Пономарева H. Особенности процесса включения тиристора с разветвленным электродом управления. Электротехническая промышленность. Преобразовательная техника, 1979, вып. 4(111), с. 1-3.

86. Дерменжи П.Г. Статические токи управления тиристоров с регенеративным управляющим электродом. Силовое полупроводниковое приборостроение. Труды ВЭИ, 1980, вып. 90, с. 57-66.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.