Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.13, кандидат технических наук Андренюк, Вадим Анатольевич

• Андренюк, Вадим Анатольевич
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Андренюк, Вадим Анатольевич

Введение.

Глава 1. Состояние вопроса и постановка задач исследования.

1.1. Научно-технические проблемы и особенности производства полупроводниковых структур.

1.2. Обзор работ по теме исследования.

1.2.1. Транспортирование пластин при помощи СМИФ-контейнеров

1.2.2. Туннельно-трековые системы транспортирования.

1.2.3. Транспортирование пластин при помощи пассиковых конвейеров (сверхлегкие ленточные конвейеры).

1.2.4. Автоматические тележки.

1.3. Выбор рационального межоперационного транспортирующего средства для перемещения изделий ЭТ. Формирование требований к транспортирующему средству, предназначенному для работы на современных предприятиях микроэлектроники.

1.4. Объект исследования.

1.5. Цели и задачи исследования.

Глава 2. Исследование геометрических и кинематических параметров транспортирующего агрегата.

2.1. Общие замечания.

2.2. Выбор геометрических параметров криволинейных участков направляющей в горизонтальной плоскости.

2.3. Параметры криволинейного участка направляющей в вертикальной плоскости, определяемые габаритными размерами носителя.

2.4. Зависимости между геометрическими и кинематическими параметрами системы "колесный носитель - направляющая".

2.5. Выбор геометрических параметров криволинейных участков в вертикальной плоскости, определяющих оптимальный контакт ведущего звена с направляющей.

2.6. Итоги и выводы.

Глава 3. Исследование силового взаимодействия колесного носителя с пространственной направляющей.

3.1. Общие замечания.

3.2. Определение усилий при взаимодействии носителя с направляющей без учета податливостей обрезиненных колес.

3.3. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес.

3.4. Определение усилий при конечных значениях податливостей обрезиненных колес и зазора между опорными колесами и элементами направляющей при действии веса бокса с переменной массой.

3.5. Анализ влияния величин податливостей и зазора на параметры силового взаимодействия.

3.6. Анализ влияния жесткости пружины на параметры силового взаимодействия.

3.7. Определение суммарных сил сопротивления передвижению носителя

3.8. Выбор мощности двигателя для колесного носителя.

3.9. Итоги и выводы.

Глава 4. Исследование элементов динамики привода колесного носителя.

Экспериментальное исследование параметров транспортирующего агрегата.

4.1. Приведение массовых и силовых параметров.

4.2. Составление уравнения движения колесного носителя.

4.3. Решение дифференциальных уравнений движения носителя.

4.4. Экспериментальное исследование параметров транспортирующего агрегата.

4.4.1. Описание экспериментального макета транспортирующего агрегата.

4.4.2. Определение реакций в опорах колес и усилия в пружине для трех случаев положений носителя относительно направляющей. Определение величин жесткости обрезиненных ободов колес носителя и анализ влияния реакции на переменность жесткости.

4.4.3. Определение приведенных коэффициентов трения для опорных колес и ведущего звена носителя.

4.4.4. Определение сопротивлений передвижению носителю на участках направляющей.

4.5. Итоги и выводы.

Глава 5. Разработка методики и технических норм для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе.

5.1. Расчет интенсивности выброса загрязнений элементами транспортирующего агрегата с колесными носителями.

5.2. Методика и технические нормы для выбора рациональных параметров транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе.

5.3. Итоги и выводы.

Результаты исследования и общие выводы по работе.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники»

Актуальность проблемы. Интенсивное развитие микроэлектроники, обусловленное возрастающим спросом на полупроводниковые (п/п) приборы во всех сферах жизнедеятельности человека требует создания новых производственных площадей. При появлении нового поколения ИС уменьшаются размеры топологических элементов, увеличиваются площадь пластины и число технологических операций. В результате увеличиваются производственные площади, ужесточаются требования к чистоте окружающей среды на важнейших технологических участках.

Отличительной чертой интенсификации процесса п/п производства является внедрение гибких производственных систем (ГПС), в которых важнейшим компонентом является автоматизированная межоперационная транспортно-накопительная система.

При необходимости транспортировки изделий между технологическими участками расчлененными в пространстве, что особенно характерно для п/п производства, либо расположенными на разных уровнях, а тем более на разных этажах производственного здания, применение большей части известных транспортных средств становится нецелесообразным, либо конструктивно усложняется.

Анализ имеющихся транспортирующих агрегатов, применяемых как в общем машино- и приборостроении, так и в производстве электронной техники (ЭТ) показал, что наиболее универсальным и эффективным для организации межоперационного транспортирования в процессе п/п производства, учитывая его специфические особенности, являются транспортирующие агрегаты с колесными носителями с геометро-силовым замыканием, движущимися по пространственной трассе с одновременной организацией автоматической системы адресования, учета и хранения изделий.

Основным достоинством геометро-силового замыкания для колесных носителей является то, что оно позволяет осуществить перемещение носителей с изделиями по пространственной трассе под любым углом к горизонту.

К преимуществам межоперационных транспортных систем с пространственной формой перемещения можно отнести возможность создания гибкого транспортного потока, организованного в свободном пространстве производственных помещений и подведение носителей непосредственно на позицию обработки, реализуя одновременно заданную ориентацию партий изделий, без использования дополнительных перегрузочных и подъемно-транспортных устройств.

Использование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями при геометро-силовом замыкании с пространственной направляющей на современных предприятиях микроэлектроники ограничивает отсутствие широких исследований таких сложных технических систем, а также необходимых для их проектирования и эксплуатации научно-обоснованных технических норм и методик, основанных не только на традиционных критериях работоспособности, но и учитывающих критерий минимальной привносимой дефектности.

Цель и задачи работы. Целью диссертационной работы является разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями с геометро-силовым замыканием на пространственной трассе для процесса производства ЭТ.

В соответствии с поставленной целью в работе решаются следующие задачи:

- анализ транспортного оборудования, применяемого в общем машино- и приборостроении и в процессе производства ЭТ с целью выбора рационального межоперационного транспортирующего агрегата;

- исследование геометрических и кинематических параметров колесного носителя с геометро-силовым замыканием и геометрии пространственной направляющей транспортирующего агрегата;

- исследование силовых параметров взаимодействия колесного носителя при геометро-силовом замыкании с пространственной направляющей транспортирующего агрегата;

- разработка технических норм и методик для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями с геометро-силовым замыканием на пространственной трассе на основе проведенных исследований с учетом критерия привносимой дефектности.

Научная новизна работы:

1. Уточнены основные положения общей теории монорельсового транспорта по вопросам геометрии, кинематики и силового взаимодействия колесного носителя с геометро-силовым замыканием с пространственной направляющей при движении по круговой траектории в вертикальной плоскости для специфических условий эксплуатации в чистых производственных помещениях.

2. Разработаны технические нормы и методика для проектирования и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе с учетом влияния работы агрегатов на чистоту производственного процесса.

Практическая значимость. Разработанная расчетная методика, технические нормы, программы расчета и конструктивные разработки приводного механизма и замыкающего устройства носителей могут быть использованы при проектировании и эксплуатации транспортирующих агрегатов с колесными носителями на предприятиях по производству электронной техники, а также на предприятиях общего приборостроения.

Достоверность результатов. Достоверность полученных в ходе исследования теоретических положений и выводов подтверждается согласием их с экспериментальными результатами.

Внедрение результатов работы. Результаты работы в виде расчетной методики, технических норм, программ расчета и конструктивных разработок приводного механизма и замыкающего устройства носителей внедрены в конструкторскую практику предприятия "ОАО "НИИТМ".

Апробация работы. Результаты диссертационной работы докладывались и обсуждались на всероссийских межвузовских научно-технических конференциях студентов и аспирантов "Микроэлектроника и информатика - 99", 8

Микроэлектроника и информатика - 2000" и "Микроэлектроника и информатика - 2001" (Москва, 1999 - 2001).

Публикации. Основные результаты диссертационной работы опубликованы в 12 печатных работах в научно-технических журналах, сборниках научных трудов и тезисов докладов.

Структура и объем работы. Диссертационная работа состоит из введения, пяти глав, общих выводов, списка литературы из 97 наименований и приложения. Общий объем работы составляет 212 страниц, в том числе 148 страниц основного текста, 61 рисунков, 8 таблиц и 7 страниц приложения.

Заключение диссертации по теме «Машины, агрегаты и процессы (по отраслям)», Андренюк, Вадим Анатольевич

Результаты исследования и общие выводы по работе

1. Для организации межоперационного транспортирования в процессе производства ЭТ, в наибольшей степени удовлетворяют транспортирующие агрегаты с колесными носителями с геометро-силовым замыканием, движущихся по пространственной трассе с одновременной организацией автоматической системы адресования, учета и хранения изделий.

2. Сформулированы требования к межоперационному транспортирующему агрегату с пространственной формой перемещения изделий, предназначенному для использования на современных предприятиях микроэлектроники.

3. Установлено, что повышенное выделение загрязнений в парах "обрезиненные колеса - направляющая" при движении носителя по криволинейным участкам трассы в горизонтальной плоскости вызвано нерациональной установкой оси ведущего катка относительно осей симметрии носителя и жестким закреплением осей опорных колес. Даны рекомендации по установке колес носителя, способствующие минимуму выбросов загрязнений.

4. Установлено, что начальная кривая зубчатой направляющей на переходных криволинейных участках в вертикальной плоскости существенно отличается от принятой в имеющихся конструкциях транспортирующих агрегатов кривой сопряжения прямой с окружностью, что нарушает правильность зацепления в паре "ведущее зубчатое колесо - направляющая". Показано, что для таких участков требуется переменное значение коэффициента смещения зубчатого зацепления, подчиняющегося определенной зависимости; такая закономерность в диссертации установлена.

5. Изучено влияние податливостей колес носителя и зазора между опорными колесами и полками направляющей на силовые параметры взаимодействия. Показано, что при расчете усилий в контактах колес носителя с направляющей необходимо учитывать упругие деформации колес, а при расчете суммарных сил сопротивления перемещению носителя, влиянием деформаций колес можно пренебречь.

6. Установлено, что коэффициент жесткости к обрезиненных колес носителя в функции от нагрузки является нелинейной величиной, особенно в области малых нагружений. Показано, что при практическом расчете, для достижения более точного результата, целесообразно использовать, полученные опытным путем зависимости k = f (R) для фрикционного катка и опорных колес носителя.

7. Экспериментальное исследование сопротивлений передвижению носителю показало, что переход носителя с фрикционного на зубчатое зацепление сопровождается ударными нагрузками, а выполненные начальные кривые зубчатой направляющей в виде сопряжения прямой с окружностью, создают неправильное зубчатое зацепление. При использовании комбинированного зацепления ведущего звена, необходимо применять безударные стабилизирующие устройства на переходных участках, и исполнять кривую зубчатой направляющей по уравнениям, полученным в диссертации.

8. Показано, что для силового замыкания колесного носителя более рациональным следует признать использование плоских пружин. Применение плоских пружин позволяет снизить пылегенерацию, за счет устранения подвижных соединений в зацепах винтовой пружины и конструктивно упрощает изменение жесткости и возможности регулирования усилия пружины.

9. Получены зависимости, позволяющие определять интенсивность пылегенерации загрязняющих частиц для открытой пары "ведущее звено носителя - направляющая" при двух вариантах зацепления - фрикционного и зубчатого, необходимые для оценки пригодности транспортирующих агрегатов для эксплуатации в чистых производственных помещениях.

10. Обоснованы технические нормы и разработана методика для поэтапного расчета рациональных параметров транспортирующих агрегатов с колесными носителями изделий. Методика позволяет на этапе проектирования производить расчет конструктивных параметров транспортирующих агрегатов, расчет интенсивности пылегенерации кинематических пар и подбирать параметры взаимодействия колесного носителя и направляющей, а также материалы элементов конструкции, отвечающие минимуму выброса загрязнений.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Андренюк, Вадим Анатольевич, 2003 год

1. Баранов Ю.Л. Автоматизация производства полупроводниковых приборов. Обзоры по электронной технике. Серия 2. Полупроводниковые приборы. М.: ЦНИИ Электроника, 1990. Вып. 4 (1556). 48 с.

2. Назаров Г.В., Сатаров Г.Х. Транспортные и загрузочные системы микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1991. 67 с.

3. Стасова О.М., Гузенкова Н.Д., Симонова A.M. и др. Основные этапы создания свободного от загрязнений полупроводникового производства. Зарубежная электронная техника, 1997. №1. С. 15-39.

4. Основные направления совершенствования контроля за загрязнениями. Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, 2000. №11. С. 1-3.

5. Большаков Н.А., Литвинов Ю.М., Раскин А.А. и др. Новое в технологии обработке пластин кремния большого диаметра для изготовления СБИС. Зарубежная электронная техника, 2000. №4. С. 17-20.

6. Ясунага К. Чистые комнаты по производству полупроводниковых пластин. Денси дзайре, 1987. т. 26. №8. С. 49-61 (Яп).

7. Мацумото Г. Чистые системы транспортирования. Денси дзайре, 1987. т. 26. №8. С. 62-68 (Яп).

8. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства. М.: Машиностроение, 1986. 264 с.

9. Блинов И.Г., Кожевников А.П. Основы комплексной механизации и автоматизации производственных процессов микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1977.

10. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные системы электронной техники. М.: Высшая школа, 1989.

11. Егоров В.А. Транспортно-накопительные системы для ГПС. Л.: Машиностроение, 1989.-293 с.

12. Сотников М.И. Выбор типа транспортно-накопительной системы ГПС для обработки корпусных деталей по безлюдной технологии. Дисс. . к-та техн. наук. М.: 1991.

13. Иванов А.А. ГПС в приборостроении. М.: Машиностроение, 1988.

14. Гибкая производственно-транспортная система на предприятии электронной промышленности. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2001. №4. С. 11.

15. Мазеин П.Г., Сайфутдинов С.Р. Автоматизированные транспортно-накопительные системы машиностроительных производств: Текст лекций. В 2-частях. Часть 1. Челябинск: ЧГТУ, 1996. -54 с.

16. Мазеин П.Г., Сайфутдинов С.Р. Автоматизированные транспортно-накопительные системы машиностроительных производств: Текст лекций. В 2-частях. Часть 1. Челябинск: ЧГТУ, 1998. -74 с.

17. Сухихаре С. Классификация и выбор элементов м/о транспортировки и складирования. Отомэсён, 1985. т. 30. №8. С. 137-148 (Яп).

18. Nuberg S., Schardi W. Transport in flexiblen Fertigungssystemen. Werkstattstechnik, 1985. 75, №8. P. 473-476.

19. Кожевников А.П. Устройства автоматизации технологического оборудования микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1985.

20. Пертен Ю.А., Богуславский И.Н. Зарубежные конструкции напольных тележечных конвейеров. М., 1969. 38 с.

21. Левинсон В.И. Транспортные устройства непрерывного действия. М.: Машгиз, 1960.

22. Бондаренко Г.К. Разработка и исследование автоматизированных транспортно-конвейерных систем. Дисс. . к-та техн. наук. Львов, 1984.

23. Power & Free-Systeme. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. №11. P. 793-794 (Нем).

24. Спиваковский A.O., Бржезовский С.И., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. Атлас конструкций. М.: Машиностроение, 1969. 115 с.

25. Подвесной конвейер с тремя рельсами. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2002. №5. С. 8.

26. Разработка и исследование конвейерно-адресного комплекса и системы разгрузочно-погрузочных устройств и роботов-манипуляторов для АПЛ эпитаксии. Технический отчет по теме "Оборудование-7". Руководитель Лобиков Л.В. М., 1977. 41 с.

27. Гребенкин В.З., Громов В.В., Осипова С.Д. и др. Транспортирующие устройства для межоперационного перемещения полупроводниковых пластин при производстве СБИС. Электронная промышленность, 1988. №10. С. 24-26.

28. Зиновьев Б.К., Ивацевич А.П., Ржанов В.Г. и др. Автоматический транспортный робот. Электронная промышленность, 1981. №10. С. 102-103.

29. Kobayashi Т. AGV system in FMS. Pobotto, Robot, 1984. №44. P. 43-47.

30. Козьмин П.С. Элеваторы, транспортеры и конвейеры. 4.1. Транспортные устройства с тяговым органом. Л. М.: ГНТИ по машиностроению, металлообработке и черной металлургии, 1932. - 428 с.

31. Сперанский Б.А. Индустриальные конструкции транспортерных эстакад. Дисс. . к-татехн. наук. Свердловск, 1952.

32. Никонов И.Я. Анализ средств механизации транспорта, трудоемких и тяжелых работ в текстильной промышленности. Дисс. . к-та техн. наук. М.: 1953.

33. Багдасарян P.M., Никонов И.Я. О монорельсовом транспорте. Известия вузов. Машиностроение, 1976. №10. С. 103-109.

34. Багдасарян P.M. Исследование механизма передвижения пространственной монорельсовой дороги. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1982.

35. Лейкехмахер Б.Я. Зарубежные конструкции монорельсовых дорог с закрытым профилем. М.: НИИинформтяжмаш, 1975. 34 с.

36. Новые функции электрических подвесных дорог. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2002. №9. С. 15.

37. Hangebahntradition mit Zukunft. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. №11. P. 784-785 (Нем).

38. Богачек A.3., Глухи Н.И. Однорельсовая подвесная дорога с автоматическим адресованием. Механизация и автоматизация производства, 1985. №8. С. 8-9.

39. Автоматизация транспортных систем с монорельсовыми подвесными трассами. Реферат. Исп. Моторный П.И. М.: МИЭТ, 1986. 33 с.

40. Elektrohangebahnen. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. №11. P. 786-789 (Нем).

41. Подвесная монорельсовая дорога на предприятии электронной промышленности. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2001. №7. С. 17.

42. Подвесная электрическая дорога с вертикальными участками трассы. Реферативный журнал "Промышленный транспорт" (сводный том), 2001. №3.

43. Гольцова М.В. Пути сокращения затрат на освоение производства новых поколений ИС. Зарубежная электронная техника, 1995. № 2-3. С. 63-80.

44. Harada Н., Suzuki Y. SMIF system perfomance at 0.22 цш particle size. Solid State Technology, 1986. т. 29. №12. P. 61-65.

45. Панфилов Ю.В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь, 1988. 320 с.

46. Макушин М.В. Заводы по обработке пластин диаметром 300 миллиметров: переход от опытного к массовому производству. Зарубежная электронная техника, 2000. №4. С. 3-16.

47. Булынко Б.И., Лобиков Л.В., Ращинский В.П. и др. Автоматизированная транспортная система. Электронная промышленность, 1981. №10. С. 41-43.

48. Иванов В.И., Лобиков Л.В., Савин А.И. и др. Автоматическая поточная линия диффузии. Электронная промышленность, 1981. №10. С. 39-40.

49. Разработка, изготовление, монтаж, наладка и производственные испытания транспортной системы применительно к условиям ЛПК. Технический отчет по теме "БОЛТ-ТЛ-О". Руководитель Булынко Б.И. М„ 1982.-40 с.

50. Исследование транспортирующего устройства АПЛ с дискретным носителем изделий на пространственной трассе. Отчет о НИР "67-ТМ". Руководитель Гребенкин В.З.; отв. исп. Редин В.М. № Гос. per. 01820092634. М: МИЭТ, 1985. -76 с.

51. Пронин Б.А., Ревков Г.А. Бесступенчатые клиноременные и фрикционные передачи (вариаторы). М.: Машиностроение, 1980. 320 с.

52. Решетов Д.Н. Исследование и расчет деталей станков на основе контактных условий. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1946.

53. Михайлова В.А. Исследование фрикционных вариаторов. Исследование потерь на трение на площадке контакта тел качения вариатора; исследование шаровых вариаторов; установление типажа вариаторов для станкостроения. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1955.

54. Щетников В.А. Динамическая точность фрикционных механизмов. Дисс. . к-татехн. наук. М.: 1953.

55. Решетов JI.H. Самоустанавливающиеся механизмы: Справочник. М.: Машиностроение, 1979. 334 с.

56. Баранов Г.Г. Курс теории механизмов и машин. М.: Машиностроение, 1967. 508 с.

57. Теория механизмов и машин. Под ред. Фролова К.В. М.: Высшая школа, 1987.-496 с.

58. Машины непрерывного транспорта. Под ред. Плавинского В.И. М.: Машиностроение, 1969. 719 с.

59. Александров М.П. Подъемно-транспортные машины. М: Высшая школа, 1972.-504 с.

60. Гребенкин В.З., Андренюк В.А. Параметры силового взаимодействия колес носителя с пространственной направляющей. Межотраслевой научно-технический сборник "Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России". 2001. №2. С. 3-7.

61. Бать М.И., Джанелидзе Г.Ю., Кельзон А.С. Теоретическая механика в примерах и задачах: Учебное пособие для втузов. Том 2. М.: Наука, 1975.

62. Потемкин В.Г. Введение в MATLAB. М.: Диалог-МИФИ, 2000.

63. Дьяконов В.П. MATLAB: Современное средство мат. моделирования процессов. Учебный курс. СПб. и др.: Питер, 2001. 553 с.

64. Дьяконов В.П. MATLAB 6: Универсальная интегрированная система компьютерной математики. Учебный курс. СПб. и др.: Питер, 2001. 592 с.

65. Артоболевский И.И. Теория механизмов. М.: Наука, 1967. 719 с.

66. Комаров М.С. Динамика грузоподъемных машин. М.: Машгиз, 1962. 267с.

67. Зиновьев В.А., Бессонов А.П. Основы динамики машинных агрегатов. М.: Машиностроение, 1964. 239 с.

68. Микроэлектродвигатели для систем автоматики: Справочник. — М.: Энергия, 1969.-272 с.

69. Расчет и конструирование точных механизмов. Лабораторные работы. Под ред. Середы В.Т. Киев Донецк, изд. объединение "Вища школа", 1978. - 248 с.

70. Василенко Н.В., Ивашов Е.Н., Ковалев Л.К. и др. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства электронной техники. В 2-х томах. Том 2. Красноярск: Кн. изд-во Сиб. аэрокосм, акад, 1996. 416 с.

71. Методика определения параметров пылегенерации подвижными соединениями транспортных систем ТАЛ микроэлектроники. М.: МИЭТ, рукопись для ведомственного пользования, 1988.-39с.

72. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. 526 с.

73. Демкин Н.В. Фактическая площадь касания твердых поверхностей. М.: АН СССР, 1962.- 111 с.

74. Крагельский И.В., Непомнящий Е.Ф., Харач Г.М. Усталостный механизм и краткая методика аналитической оценки величины износа поверхностей трения при скольжении (исходя из свойств материалов и условий их работы). М.: АН СССР, 1967.-19с.

75. Прочность. Устойчивость. Колебания. Справочник в 3-х томах. Том 2. Под ред. Биргера И.А. и ПановкоЯ.Г. М.: Машиностроение, 1968. 465 с.

76. Дмитриев В.А. Детали машин. Л.: Судостроение, 1970. 792 с.

77. Спиваковский А.О., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. М.: Машиностроение, 1968.-503 с.

78. Спиваковский А.О., Дьячков В.К. Транспортирующие машины. Справочник проектировщика. М.: Машиностроение, 1983. 487 с.

79. Промышленный транспорт. Под ред. Гельман А.С., Чубарова С.Д. М.: Стройиздат, 1984. 415 с.205

80. Черпаков Б.И. Загрузочные и транспортные устройства в автоматизированном производстве. М.: Высшая школа, 1977. 55 с.

81. Элементы приборных устройств. Курсовое проектирование в 2-х частях. 4.2. Под ред. Тищенко О.Ф. М.: Высшая школа, 1978. 232 с.

82. Нестеренко А.Д., Орнатский ПЛ. Детали и узлы приборов. Киев, 1963. -428 с.

83. Дубина В.В., Чикунов Н.П. Аккумуляторные батареи: устройство, обслуживание, ремонт. Учебное пособие. Саранск: Изд-во Мордов. ун-та, 2001. -188 с.

84. Бирюков Ю. Секреты правильного питания. Stereo&Video, 2001. №12. С. 122-126.

85. Норох А.А., Андренюк В.А. Оптические средства контроля и управления транспортной системой кристального производства микроэлектроники. М.: МИЭТ-ТУ. Известия вузов. Электроника, 2000. №2. С. 45-52.

86. Тимошенко С.П. Сопротивление материалов. В 2-х томах. Том 1. М.: Наука, 1965. 364 с.

87. Борисов С.И., Комаров В.Ф., Токарев B.JI. Теория механизмов и детали точных приборов. М.: Машиностроение, 1966. -408 с.

88. Добровольский В.А. и др. Детали машин. Учебник для машиностроительных вузов. Издание 7-е. М.: Машиностроение, 1972. 503 с.

89. Пронин Б.А. Клиноременные и фрикционные передачи и вариаторы. М.: Машгиз, 1960. 334 с.206