Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат наук Облов Константин Юрьевич

• Облов Константин Юрьевич
• кандидат наук
• 2022

Оглавление диссертации кандидат наук Облов Константин Юрьевич

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ

1.1. Аналитический обзор газовых сенсоров с мембранной конструкцией нагревательного элемента

1.1. Аналитический обзор конструктивных и технологических особенностей существующих керамических микронагревателей

1.2. Технологии микрообработки керамических материалов

1.3. Выводы

ГЛАВА 2. ВЫБОР КОНФИГУРАЦИИ, ИЗГОТОВЛЕНИЕ И КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ МИКРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ

2.1. Выбор конструкции чипа газового датчика

2.2. Методика тестирования мощности микронагревателей

2.3. Компьютерное моделирование зависимости потребляемой нагревателем мощности от геометрических размеров нагревателя

2.4. Компьютерное моделирование зависимости потребляемой микронагревателем мощности от толщины металлизации

2.5. Формирование электродов на поверхности тонких керамических подложек

2.6. Процесс изготовления чипов микронагревателей и БМО корпусов для металлооксидных газовых сенсоров

2.7. Выводы

ГЛАВА 3. ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ЛАЗЕРНОЙ МИКРОФРЕЗЕРОВКИ

3.1. Обоснование актуальности разработки программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки для производства газовых сенсоров

3.2. Технологические особенности процесса лазерной микрофрезеровки

3.3. Программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки

3.4. Программное обеспечение программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки

3.5. Выводы

ГЛАВА 4. ИЗГОТОВЛЕНИЕ И ТЕСТИРОВАНИЕ СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫХ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ

4.1. Изготовление специализированных металлооксидных газовых сенсоров

4.2. Тестирование специализированных металлооксидных газовых сенсоров

4.3. Выводы

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы

Приложение А. Копии патентов РФ

Приложение Б. Копии актов о внедрении результатов диссертации

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. В настоящее время современное состояние

электронных компонентов ориентировано на концепцию Интернета вещей

Особая практическая проблема внедрения Интернета вещей

заключается в том, что необходимо обеспечить максимальную

автономность и низкую стоимость средств измерений - датчиков различных

физических параметров. Одним из интересующих параметров для

измерения с помощью инструментов Интернета вещей является

концентрация опасных газов: взрывоопасных и токсичных. Развитие и

усложнение производственных процессов в различных отраслях экономики

нуждается в усовершенствовании систем безопасности на предприятиях и в

быту, в частности, требуется улучшение систем газового мониторинга,

способных на ранних стадиях детектировать утечки взрывоопасных и

токсичных газов, тем самым предотвращая техногенные и экологические

аварии и катастрофы.

Микромощные и высокоселективные газовые сенсоры позволяют

увеличивать эксплуатационные характеристики портативных приборов

обнаружения токсичных и взрывоопасных газов, что приводит к

уменьшению времени срабатывания приборов, миниатюризации их

габаритов, позволяя улучшить контроль за газовой средой на потенциально

опасных объектах.

В области измерения концентрации газов широкое распространение

получили металлооксидные газовые сенсоры, благодаря совместимости

технологии их производства с микроэлектронной технологией, которая в

основном используется для производства микроэлектромеханических

(МЭМС) нагревателей. Общая конструкция металлооксидного датчика

представляет собой комбинацию нагревательного и газочувствительного

электродов, расположенных на диэлектрическом основании, и

чувствительного к газу слоя, покрывающего газочувствительный

3

электрод. Микронагреватель определяет значение потребляемой мощности газового сенсора и обеспечивает нагрев газочувствительного слоя до рабочей температуры, при которой происходит адсорбция содержащегося в воздухе газообразного контролируемого вещества на поверхности чувствительного слоя сенсора, что приводит к изменению его электропроводности.

Разработки в области газочувствительных металлооксидных сенсоров в последние десятилетия сосредоточены на миниатюризации габаритных размеров, минимизации потребляемой сенсорами мощности и развитии технологий производства, которые позволяют получить недорогой продукт для широкого спектра областей применения. Использование металлооксидных сенсоров в форм-факторе в качестве устройств поверхностного монтажа (SMD корпус) дает преимущество в виде легкой интеграции сенсоров в различные потребительские устройства, смартфоны, планшеты, промышленные вентиляционные устройства и другие приложения.

Решения для SMD корпусирования представлены ведущими производителями металлооксидных сенсоров (SGX, AMS, Bosch, Sensirion, Figaro и др.). Большинство металлооксидных сенсоров в форм-факторе SMD состоят из кремниевого МЭМС микронагревателя и SMD-корпуса из различных материалов, таких как пластик, металлопластик или металлокерамика. Однако существующие технологические решения имеют несколько недостатков:

• нет возможности заменить в технологическом цикле производства газовых сенсоров кремний, используемый в качестве диэлектрического основания микронагревателя, на другой материал, например Zrü2 или A12ü3 керамику, имеющую более низкую теплопроводность и электропроводность, особенно при высоких температурах;

• невозможно использовать на кремниевом чипе газочувствительные материалы, требующие высокотемпературного отжига при температурах выше 600-700 градусов;

• дороговизна производственного оборудования для кремниевой технологии, долгий срок окупаемости, сложность технологических циклов и их перенастройки, что приводит к необходимости выпуска больших серий газовых сенсоров с одинаковой конфигурацией и не подходит для выпуска специализированных изделий.

В данной работе описывается создание усовершенствованных металлооксидных газовых сенсоров на основе А1203 и 7г02 керамических материалов с предельно низким энергопотреблением с использованием разработанного программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки, позволяющего производить лазерную фрезеровку широкого перечня материалов: кремния, керамики и различных металлов. Технология лазерной микрофрезеровки экономически более эффективна в процессе производства газовых сенсоров, чем кремниевая микроэлектронная технология, в отношении одного образца к общим затратам на производство. Технология лазерной микрофрезеровки применима для обработки широкого перечня материалов, подходит для многономенклатурного производства и позволяет изготавливать чипы микронагревателей и БМО корпуса для специализированных металлооксидных газовых датчиков в одном производственном цикле, сокращая время и уменьшая затраты на производство.

Целью диссертационной работы является создание усовершенствованных специализированных металлооксидных сенсоров для детектирования токсичных и горючих газов в БМО корпусе

типоразмера SOT-23 с предельно низким энергопотреблением на основе Al2Oз и ZrO2 керамических материалов.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1) разработать технологичную и надежную конструкцию металлооксидного газового сенсора на основе ^^з и ZrO2 керамических материалов для работы в среде агрессивных газов, превосходящую по энергоэффективности и миниатюризации аналоги, представленные на рынке;

2) исследовать с использованием методов компьютерного моделирования мощностные параметры микронагревателей на основе Al2O3 и ZrO2 керамических материалов для их оптимизации, направленной на уменьшение потребляемой мощности и миниатюризацию габаритных размеров микронагревателей;

3) разработать программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки, позволяющий изготавливать в одном производственном цикле чипы микронагревателей и SMD корпуса для специализированных металлооксидных газовых сенсоров методом лазерной микрофрезеровки керамических Al2O3 и ZrO2 материалов.

4) провести оптимизацию технологии магнетронного напыления платины для уменьшения количества производственного брака и увеличения гибкости технологии формирования металлизированных электродов на поверхности керамических Al2O3 и ZrO2 материалов, включающую технологические решения по улучшению адгезии платиновой металлизации к керамическим материалам и использованию лазерной микрофрезеровки для формирования топологических рисунков на металлизации;

5) отработать технологию изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров, произведя оптимизацию технологических процессов;

6) проверить изготовленные специализированные металлооксидные газовые сенсоры на селективность к испытуемым газам.

Объектами и методами реализации указанных исследований являются металлооксидные газовые сенсоры в SMD корпусе типоразмера SOT-23, изготовленные на основе керамических Al2O3 и ZrO2 материалов методом лазерной микрофрезеровки c использованием разработанного программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки. Программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки разработан на базе иттербиевого импульсного волоконного лазера мощностью 20 Вт производства IPG-Photonics с длиной волны 1,064 мкм и регулируемой длительностью импульса от 4 до 200 нс. Компьютерное моделирование физических процессов производилось с использованием программного продукта COMSOL Multiphysics. Изготовление чертежей и 3D моделирование конструкции составных частей газового сенсора осуществлялось с использованием программного продукта Autodesk Inventor. Для изготовления газовых сенсоров использовался разработанный автором программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки. Исследования газовой чувствительности и быстродействия изготовленных сенсоров проводились на экспериментальных стендах с использованием сертифицированных генераторов-разбавителей и аттестованных источников

микроконцентраций и поверочных газовых смесей в Университете Кореи (Korea University, Сеул, Республика Корея).

Научная новизна диссертации заключается в создании усовершенствованных металлооксидных сенсоров для детектирования токсичных и горючих газов в форм-факторе SMD-корпуса с предельно

низким энергопотреблением для газовых сенсоров на основе Al2O3 и ZrO2 керамических материалов посредствам технологии лазерной микрофрезеровки. При этом получены следующие научные результаты:

1) разработана высокотехнологичная конструкция металлооксидного газового сенсора в SMD корпусе типоразмера SOT-23 на основе Al2O3 и ZrO2 керамических материалов, позволяющая более чем в 2 раза снизить энергопотребление по сравнению с аналогичными металлооксидными сенсорами на основе Al2O3 и ZrO2 керамических материалов, полученными с использованием LTCC технологии (99±7 мВт, против 260 мВт при рабочей температуре 450 0С);

2) разработан программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки, позволяющий производить гибкую настройку процесса лазерной микрофрезеровки, включая впервые реализованные функции: 4-х координатную лазерную микрофрезеровку массива изделий, автоматический подбор режимов лазерной микрофрезеровки и возможность изготовления в одном производственном цикле чипов микронагревателей и SMD корпусов для специализированных металлооксидных газовых сенсоров;

3) предложена и обоснована результатами проведенных исследований новая методика формирования топологических рисунков из платины на керамических материалах за счет лазерной абляции сплошного слоя металлизации. Данная методика ускоряет процесс подбора оптимальной конфигурации электродов для чипов микронагревателей газовых сенсоров с двухсторонним расположением электродов и полностью заменяет процесс формирования электродов магнетронным напылением через маску при одностороннем расположении электродов на Al2O3 и ZrO2 керамических материалах. Новая методика формирования топологических рисунков платиновой металлизации позволяет уменьшить производственный брак до 1% (брак

при магнетронном напылении через маску увеличивается при повторном ее использовании и может превосходить 50%) и увеличить гибкость процесса формирования электродов на поверхности Al20з и 7Ю2 керамических материалов за счет возможности быстрого изменения их топологии.

На защиту выносятся следующие научные результаты и положения:

1) конструкция металлооксидного газового сенсора в SMD корпусе типоразмера S0T-23;

2) методика тестирования потребляемой микронагревателями мощности;

3) компьютерное моделирование мощностных параметров микронагревателей на основе A1203 и 7г02 керамических материалов, оптимизация конфигурации чипа микронагревателя;

4) методика формирования топологических рисунков из платины на поверхности A1203 и 7г02 керамических материалов с использованием технологии лазерной микрофрезеровки;

5) функциональные возможности разработанного программно-аппаратного комплекса лазерной микрофрезеровки;

6) технологический маршрут изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров в SMD корпусе типоразмера S0T-23;

7) тестирование изготовленных специализированных металлооксидных газовых сенсоров на селективность к испытуемым газам.

Практическая значимость работы определяется следующими результатами:

1) изготовлены методом лазерной микрофрезеровки специализированные металлооксидные газовые сенсоры для работы в среде агрессивных газов в SMD корпусе типоразмера S0T-23 на основе

А1203 и 7г02 керамических материалов, превосходящие по энергопотреблению аналоги из ЬТСС керамики (99 ± 7 мВт, против 260 мВт при рабочей температуре 450 0С). Изготовленные газовые сенсоры обладают высокой селективностью в сочетании с различными

материалами газочувствительных слоев к оксиду азота N0^

триметиламину (СН3)3 N и ксилолу (СН3)2 С6 Н4;

2) отработана методика компьютерного моделирования потребляемой микронагревателем мощности, заменяющая итерационный эмпирический процесс оптимизации топологии электродов и конфигурации чипа микронагревателя, позволившая снизить потребляемую микронагревателем мощность на 26,7% за счет изменения конфигурации чипа, без изменения его внешних габаритных размеров;

3) разработан программно-аппаратный комплекс лазерной микрофрезеровки, позволяющий изготавливать в одном технологическом цикле до 1500 многономенклатурных керамических МЭМС структур и SMD корпусов для них в месяц;

4) разработана методика формирования топологических рисунков из платины на керамических мембранах за счет лазерной абляции материала металлизации. Данная методика ускоряет процесс подбора оптимальной конфигурации электродов для чипов микронагревателей газовых сенсоров с двухсторонним расположением электродов и полностью заменяет процесс формирования электродов магнетронным напылением через маску при одностороннем расположении электродов на А1203 и 7г02 керамических материалах. Новая методика формирования топологических рисунков позволила уменьшить производственный брак до 1% (брак при магнетронном напылении через маску увеличивается при ее повторном использовании и может превосходить 50%) и увеличить гибкость процесса формирования

электродов на поверхности Al2O3 и ZrO2 керамических материалов за счет возможности быстрого изменения топологии металлизации.

Личный вклад автора. В основу данной работы легли результаты исследований металлооксидных газовых сенсоров и различных технологий их изготовления, проведенные лично автором в период с 2010 по 2020 гг. в составе международной НИЛ "Инжиниринг наноэлектромеханических систем и сенсоров" НИЯУ МИФИ. Сенсоры были изготовлены автором в технологической лаборатории кафедры Микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ. Оптимизация режимов магнетронного напыления платины проводилась на кафедре Физики плазмы НИЯУ МИФИ.

Эксперименты по нанесению газочувствительных металлооксидных слоев выполнялись автором на кафедре материаловедения и инжиниринга в Университете Кореи (Korea University, Сеул, Республика Корея).

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на: научной сессии НИЯУ МИФИ (г. Москва, 2012, 2013, 2014, 2015); 28-й и 29-й международной конференции EUROSENSORS (Германия, г. Фрайбург, 2014, Италия, г. Брешиа, 2015); International Siberian Conference on Control and Communications (SIBCON) (г. Омск, 2015); XK Международной телекоммуникационной конференции студентов и молодых ученых "Молодежь и наука" (г. Москва, 2015); V Международной конференции «Лазерные, плазменные исследования и технологии» (г. Москва, 2019); 1-й, 2-й и 3-й международной телекоммуникационной конференции «Современные микро- и наноэлектронные системы и технологии» (Москва, 2015, 2017; 2019); 1-й и 2-й Международной конференции по процессам и производству металлических материалов ICMMPM (Южная Корея, Джей-Джу 2018, 2019); The 8-th GOSPEL Workshop. Gas Sensors Based on Semiconducting Metal Oxides: Basic Understanding & Application Fields (Italy, Ferrara, 2019).

Публикации. По материалам диссертационной работы опубликовано 41 печатная работа, в том числе 5 статей в журналах из перечня ВАК, 3 статьи в журналах, индексируемых в международных базах данных Web of Science и Scopus. Получено 6 патентов Российской Федерации: 5 патентов на полезные модели и 1 патент на программу для электронных вычислительных машин.

Публикации в изданиях, рекомендованных ВАК:

1. Самотаев Н.Н., Подлепецкий Б.И., Васильев А.А., Писляков А.В., Соловьев С.А., Облов К.Ю., Сушко Д.В. Формирование селективных откликов полупроводникового датчика метан, водород и монооксид углерода в воздухе. // Датчики и системы. 2012, №11(162), с.26-30.

2. Самотаев Н.Н., Иванова А.В., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Каменев С.А., Санков Н.С. Мультисенсорная система с беспроводным каналом связи для мониторинга газового состава среды. // Датчики и системы. 2015, № 1 (188), с. 38-41.

3. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Иванова А.В., Андреев А.О., Васильев А.А., Соколов А.В., Писляков А.В. Технология изготовления нагревательных элементов для газочувствительных датчиков методом лазерной микрообработки. // Датчики и системы. 2015, № 11 (197), с. 5255.

4. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Иванова А.В., Васильев А.А., Соколов А.В., Ким В.П., Ткачев С.В., Губин С.П., Потапов Г.Н., Кохтина Ю.В., Низан А.В. Экономичная технология формирования металлических слоев на керамических пленках для газочувствительных датчиков. // Датчики и системы. 2016, № 4 (202), с. 36-40.

5. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Иванова А.В., Горшкова А.В., Этрекова М.О. Лазерная микрофрезеровка в мелкосерийном производстве металлооксидных датчиков на основе керамических мембранных

структур по МЭМС-технологиям. // Датчики и системы. 2019, №5 (236), с. 54-58.

Статьи, индексируемые в системах баз данных Scopus и Web of Science:

1. Vasiliev A.A., Pisliakov A.V., Sokolov A.V., Samotaev N.N., Soloviev S.A., Oblov, K., Guarnieri V., Lorenzelli L., Brunelli J., Maglione A., Lipilin A.S., Mozalev A., Legin A.V. Non-silicon MEMS platforms for gas sensors. // Sensors and Actuators, B: Chemical Volume 224, 1 March 2016, Pages 700-713. Published by Elsevier Ltd. DOI: 10.1016/j.snb.2015.10.066.

2. Oblov K. Yu., Samotaev N.N., Etrekova M.O., Gorskova A.V. Laser Micromilling Technology as a Key for Rapid Ceramic MEMS Devices. // Physics of Atomic Nuclei, 2019, Vol. 82, No. 11. Pages 1508-1512. DOI: 10.1134/S1063778819110152.

3. Samotaev N., Litvinov A., Etrekova M., Oblov K., Filipchuk D., Mikhailov A. Prototype of nitro compound vapor and trace detector based on a capacitive MIS sensor. // Sensors (Switzerland), 2020, Vol. 20 No. 5, № 1514. DOI: 10.3390/s20051514.

Статьи и материалы конференций:

1. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А. Исследования газовых сенсоров на основе керамических МЭМС структур. // В книге: НАУЧНАЯ СЕССИЯ НИЯУ МИФИ-2012 аннотации докладов: в 3 томах. 2012. с. 131. Москва, Россия, 1-4 февраля 2012.

2. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А., Кушнерук А.В. Тестирование газовых сенсоров на основе керамических МЭМС структур на механическую надежность конструкции. // В книге: Научная сессия НИЯУ МИФИ-2013 Аннотации докладов: в 3 томах. 2013. с. 139. Москва, Россия, 1-6 февраля 2013.

3. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А., Кушнерук А.В. Микроэлектромеханические системы на основе свободных мембранных конструкций из оксида кремния. // В книге: Научная сессия НИЯУ МИФИ-2013 Аннотации докладов: в 3 томах. 2013. с. 138a. Москва, Россия, 1-6 февраля 2013.

4. Кушнерук А.В., Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А. Исследования газовых сенсоров на основе диоксида олова, выполненных по технологии трафаретной печати. // В книге: Научная сессия НИЯУ МИФИ-2013 Аннотации докладов: в 3 томах. 2013. с. 138. Москва, Россия, 1-6 февраля 2013.

5. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А., Кушнерук А.В., Казаков В.В., Румянцев Е.К. Исследование механических свойств пленки оксида кремния и платиновой металлизации на ней после лазерной микрообработки. // В книге: Научная сессия НИЯУ МИФИ-2014 Аннотации докладов: в 3-х томах. О.Н. Голотюк (ответственный редактор). 2014. с. 68. Москва, Россия, 30 июня - 4 июля 2014.

6. Облов К.Ю., Казаков В.В., Румянцев Е.К., Самотаев Н.Н., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А., Кушнерук А.В. Моделирование кантилевероподобных структур на основе оксида кремния для использования в качестве микронагревателя. // В книге: Научная сессия НИЯУ МИФИ-2014 Аннотации докладов: в 3-х томах. О.Н. Голотюк (ответственный редактор). 2014. с. 67a. Москва, Россия, 30 июня - 4 июля 2014.

7. Самотаев Н.Н., Кушнерук А.В., Облов К.Ю., Соловьев С.А. Мелкосерийная технология производства чипов для полупроводниковых газовых сенсоров на основе лазерной микрообработки оксида кремния. // В книге: Научная сессия НИЯУ МИФИ-2014 Аннотации докладов: в 3-х

томах. О.Н. Голотюк (ответственный редактор). 2014. с. 67. Москва, Россия, 30 июня - 4 июля 2014.

8. Samotaev N., Ivanova A., Oblov K., Soloviev S., Vasiliev A. Wi-Fi wireless digital sensor matrix for environmental gas monitoring. // Procedia Engineering Volume 87, 2014, Pages 1294-1297. Published by Elsevier Ltd. DOI: 10.1016/j.proeng.2014.11.684.

9. Самотаев Н.Н., Соловьев А.Ю., Иванова А.В., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Сушко Д.В., Васильев А.А. Совместное моделирование тепловых и электрических характеристик микронагревателя. // В книге: НАУЧНАЯ СЕССИЯ НИЯУ МИФИ-2015 Аннотации докладов: в 3-х томах. Ответственный редактор О.Н. Голотюк. 2015. с. 115. Москва, Россия, 16-20 февраля 2015.

10. Самотаев Н.Н., Иванова А.В., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Азарова А.В., Сушко Д.В., Васильев А.А. Получение микронагревателей на основе лазерной микрообработки оксида циркония. // В книге: НАУЧНАЯ СЕССИЯ НИЯУ МИФИ-2015 Аннотации докладов: в 3-х томах. Ответственный редактор О.Н. Голотюк. 2015. с. 114a. Москва, Россия, 16-20 февраля 2015.

11. Самотаев Н.Н., Иванова А.В., Облов К.Ю., Соловьев С.А., Азарова А.В., Сушко Д.В. Технология нанесения металлизации методом лазерного спекания микропорошков. // В книге: НАУЧНАЯ СЕССИЯ НИЯУ МИФИ-2015 Аннотации докладов: в 3-х томах. Ответственный редактор О.Н. Голотюк. 2015. с. 114. Москва, Россия, 16-20 февраля 2015.

12. Облов К.Ю. Разработка и изготовление тестовых маломощных микронагревателей методом лазерной микрообработки керамических материалов. // В книге: XK Международная телекоммуникационная конференция студентов и молодых ученых "Молодежь и наука" Тезисы докладов. О.Н. Голотюк (ответственный редактор). 2015. С. 158-159. Москва, Россия, 1 октября -10 декабря 2015.

13. Vasiliev A. A., Sokolov A. V., Legin A. V., Samotaev N. N., Oblov K. Yu., Kim V. P., Tkachev S. V., Gubin S. P., Potapov G. N., Kokhtina Yu., Nisan A. V. Additive technologies for ceramic MEMS sensors. // Procedia Engineering Volume 120, 2015, Pages 1087-1090. Published by Elsevier Ltd. DOI: 10.1016/j.proeng.2015.08.775.

14. Oblov K., Ivanova A., Soloviev S., Samotaev N., Pisliakov A., Sokolov A., Vasiliev A. Fabrication of metallization by laser sintering of micro powders. // Physics Procedia Volume 72, 2015, Pages 470-474. Published by Elsevier B.V. DOI: 10.1016/j.phpro.2015.09.011.

15. Oblov K., Ivanova A., Soloviev S., Samotaev N., Vasiliev A., Sokolov A., Pisliakov A. Fabrication of microhater by selective laser sintering of ruthenium dioxide micropowder. // Physics Procedia Volume 72, 2015, Pages 480-484. Published by Elsevier B.V. DOI: 10.1016/j.phpro.2015.09.014.

16. Oblov K., Ivanova A., Soloviev S., Samotaev N., Lipilin A., Vasiliev A., Sokolov A. Fabrication of microhotplates based on laser micromachining of zirconium oxide. // Physics Procedia Volume 72, 2015, Pages 485-489. Published by Elsevier B.V. DOI: 10.1016/j.phpro.2015.09.057.

17. Oblov K., Ivanova A., Soloviev S., Samotaev N., Vasiliev A., Sokolov A., Pisliakov A. Fabrication of microhotplate by selective laser sintering of micropowder for thermal conductivity measuring sensors. // Procedia Engineering Volume 120, 2015, Pages 736-739. Published by Elsevier Ltd. DOI: 10.1016/j.proeng.2015.08.787.

18. Oblov K., Ivanova A., Soloviev S., Samotaev N., Vasiliev A., Sokolov A. Technology for fast fabrication of glass microhotplates based on the laser processing. // Physics Procedia Volume 72, 2015, Pages 465-469. Published by Elsevier B.V. DOI: 10.1016/j.phpro.2015.09.094.

19. Oblov K., Ivanova A., Soloviev S., Samotaev N., Vasiliev A., Sokolov A. Fabrication of MEMS platform for sensors applications by laser

micro engraving. // Physics Procedia Volume 72, 2015, Pages 475-479. Published by Elsevier B.V. DOI: 10.1016/j.phpro.2015.09.013.

20. Samotaev N. N., Ivanova A. V., Oblov K. Yu., Laguzov P. V., Sokolov A. V. Digital intellectual sensors for gas analysis system. // 2015 International Siberian Conference on Control and Communications, SIBCON 2015 - Proceedings. Publisher: IEEE. DOI: 10.1109/SIBC0N.2015.7147209.

21. Samotaev N. N., Ivanova A. V., Oblov K. Yu., Vasiliev A. A. Wireless digital platform for environmental gas monitoring. // 2015 International Siberian Conference on Control and Communications, SIBCON 2015 - Proceedings. Publisher: IEEE. DOI: 10.1109/SIBCON.2015.7147208.

22. Ivanova A.V., Oblov K.Y., Soloviev S.A., Samotaev N.N., Gurkovskiy B.V., Mironov V.D. Fabrication MEMS platform for sensors applications by laser micro engraving. // IFMBE Proceedings Volume 55, 2016, Pages 285-288. DOI: 10.1007/978-981-287-736-9_69.

23. Samotaev N., Ivanova A., Oblov K., Laguzov P., Sokolov A. Towards generic intelligent WSN platform for hazardous gases detection. // Lecture Notes of the Institute for Computer Sciences, Social-Informatics and Telecommunications Engineering, LNICST Volume 170, 2016, Pages 250259. DOI: 10.1007/978-3-319-47075-7_29.

24. Oblov K. Yu., Ivanova A. V., Soloviev S. A., Zhdanov S. V., Voronov Yu. A., Florentsev V. V. Carbon dioxide gas sensor based on optical control of color in liquid indicator. // IOP Conference Series-Materials Science and Engineering 151 (2016) 01203. IOP Publishing. DOI: 10.1088/1757-899X/151/1/012031.

25. Vasiliev A. A., Sokolov A. V., Pisliakov A. V., Oblov K. Yu., Samotaev N. N., Kim V. P., Tkachev S. V., Gubin S. P., Potapov G. N., Kokhtina Yu., Nisan A. V. Automotive MEMS sensors based on additive technologies. // IOP Conference Series-Materials Science and Engineering 151 (2016) 012024. IOP Publishing. DOI: 10.1088/1757-899X/151/1/012024.

26. Samotaev N., Oblov K., Ivanova A. Laser micromilling technology as a key for rapid prototyping SMD ceramic MEMS devices. // MATEC Web of Conferences 207, 04003 (2018). Published by EDP Sciences. DOI: 10.1051/matecconf/201820704003.

27. Самотаев Н.Н., Облов К.Ю., Горшкова А.В. Технология лазерной микрофрезеровки как ключ к быстрому прототипированию керамических МЭМС-устройств. // Сборник трудов конференции V Международная конференция Лазерные, плазменные исследования и технологии ЛаПлаз 2019, Москва, Россия, 12-15 февраля 2019.

28. Samotaev N., Oblov K., Gorshkova A., Fritsch M., Mosch S., Vinnichenko M., Trofimenko N., Kusnezoff M., Fuchs F., Wissmeier L. Ceramic microhotplates for low power metal oxide gas sensors. // Materials Today: Proceedings (2019), Vol. 30, pp. 448-451. DOI: 10.1016/j.matpr.2019.12.394

29. Samotaev N.N., Oblov K. Yu., Ivanova A. V. Perspective technology for low-scale production of SMD MOX gas sensors. // IOP Conference Series-Materials Science and Engineering 498 (2019) 012034. IOP Publishing. DOI: 10.1088/1757-899X/498/1/012034.

30. Samotaev N., Oblov K., Ivanova A., Gorshkova A., Podlepetsky B. Rapid prototyping of mox gas sensors in form-factor of smd packages. // 2019 IEEE 31st International Conference on Microelectronics, MIEL 2019 -Proceedings 8889576, с. 157-160 DOI: 10.1109/MIEL.2019.8889576.

31. Samotaev N., Oblov K., Etrekova M., Ivanova A., Veselov D., Gorshkova A. Thin Platinum Films Topology Formation on Ceramic Membranes. // Materials Science Forum, 2020, Vol. 977, pp 272-276. DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.272

32. Samotaev N., Oblov K., Veselov D., Podlepetsky B., Etrekova M., Volkov N., Zibilyuk N. Technology of SMD MOX Gas Sensors Rapid

Prototyping. // Materials Science Forum, 2020, Vol. 977, pp 231-237. DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.231

33. Samotaev N., Oblov K., Etrekova M., Veselov D., Gorshkova A., Parameter studies of ceramic MEMS microhotplates fabricated by laser micromilling technology. // Materials Science Forum, 2020, Vol. 977, pp. 238243. DOI: 10.4028/www.scientific.net/MSF.977.238

Патенты РФ:

1. Самотаев Николай Николаевич (RU), Облов Константин Юрьевич (RU), Иванова Анастасия Владимировна (RU), Соловьев Сергей Александрович (RU). Программа газового мониторинга. Номер регистрации (свидетельства): RU 2016661253 (20.11.2016) ПрЭВМ.

2. Облов Константин Юрьевич (RU), Самотаев Николай Николаевич (RU), Этрекова Майя Оразгельдыевна (RU), Онищенко Евгений Михайлович (RU). Патент на полезную модель №192819 Газовый сенсор от 02.10.2019 (RU 192819 U1). Заявка №: 2019118497.

3. Облов Константин Юрьевич (RU), Самотаев Николай Николаевич (RU), Этрекова Майя Оразгельдыевна (RU), Онищенко Евгений Михайлович (RU). Патент на полезную модель № 192938 Газовый сенсор от 08.10.2019 (RU 192938 U1). Заявка №: 2019120319.

4. Облов Константин Юрьевич (RU), Самотаев Николай Николаевич (RU), Этрекова Майя Оразгельдыевна (RU), Онищенко Евгений Михайлович (RU), Филипчук Дмитрий Валерьевич (RU). Патент на полезную модель №196983 (RU 196 983 U1) Газовый сенсор от 23.03.2020. Заявка №: 2019135813.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Облов Константин Юрьевич, 2022 год

Список литературы

1. Barsony I., Furjes P., et al. Thermal response of microfilament heaters in gas sensing // Proceedings Eurosensors XVII, Guimaraes, Portugal, 2003. pp. 510 .

2. https://www.figaro.co.jp/ [дата обращения: 18.04.2019] .

3. https://ams.com/ [дата обращения: 18.04.2019] .

4. http://www.fisinc.co.jp/ [дата обращения: 18.04.2019] .

5. https://winsen-sensor.com/ [дата обращения: 18.04.2019] .

6. Solzbacher F., Imawan C., Steffes H., Obermeier E., Moller H. A modular system of SiC-based microhotplates for the application in metal oxide gas sensors // Sensors & Actuators, 2000. V. 64, pp. 95-101 .

7. http://www.figarosens.com/ [дата обращения: 03.05.2019] .

8. http://www.appliedsensors.com/ [дата обращения: 03.05.2019] .

9. http://www.sgxsensortech.com/ [дата обращения: 03.05.2019] .

10. Grossmann K., Weimar U., Barsan N. Semiconducting metal oxides based gas sensors // Semiconductors and Semimetals, 2013. V. 88, pp. 261-282

11. Mattana G., Briand D. Printed sensors and sensing systems // Organic and Printed Electronics: Fundamentals and Applications, 2016, pp. 355-395 .

12. Briand D., Courbat J. Micromachined semiconductor gas sensors // Semiconductor Gas Sensors, 2013, pp. 220-260 .

13. Gardner J., Guha P., Udrea F., Covington J. CMOS Interfacing for Integrated Gas Sensors: A Review // IEEE Sensors Journal, 2010. V. 10, pp. 1833-1848 .

14. Samotaev N., Podlepetsky B., Vasiliev A., Pisliakov A., Sokolov A. Metal-oxide gas sensor high-selective to ammonia // Automation and Remote Control, 2013. V. 74, pp. 308-312 .

15. Guarnieri V., Pedrotti S., Tomasoni M., et al. MEMS system for fire detection in the forest // The 14th International Meeting on Chemical Sensors, Nürnberg, 2012, pp. 1173 - 1176 .

16. Kim J.H., Sung J.S., Son Y.M., Vasiliev A.A., et al. Propane/butane semiconductor gas sensor with low power consumption // Sensors and Actuators, B: Chemical, 1997. V. 44, pp. 452-457 .

17. Andio M.A., Browning P.N., Morris P.A., Akbar Sh.A. Comparison of gas sensor performance of SnO2 nano-structures on microhotplate platforms // Sensors and Actuators, B: Chemical, 2012. V. 165, pp. 13- 18 .

18. http://www.kebaili.com/files/MHP-100-RevA.pdf [дата обращения:03.05.2019] .

19. Mele L., Santagata F., Iervolino E., Mihailovic M., Rossi T., Tran A.T., Schellevis H., Creemer J.F., Sarro P.M. A molybdenum MEMS microhotplate for high-temperature operation // Sensors and Actuators A, 2012. V. 188, pp. 173-180 .

20. http://www.microsens.ch/ [дата обращения: 03.05.2019] .

21. Yamazoe N., Shimanoe K. New perspectives of gas sensor technology // Sensors and Actuators, B: Chemical, 2009. V. 138, pp. 100-107 .

22. Benammar M., Maskell W.C. Temperature control of thick-film printed heaters // Journal of Physics E Scientific Instruments,1989. V. 22, pp. 933-936 .

23. Takahashi H., Sakairi M., Kikuchi T. Micro-and Nano-Technologies Based on Anodizing of Aluminum-Combination of Laser Irradiation with Electrochemical Process // Electrochemistry, 2009. V. 77, pp. 30-43 .

24. Patent PCT/RU96/002291, 10.10.1996. Hybrid integrated scheme of gas sensor // Iovdalski V.A., Olikhov I.M., Bleivas I.M., Ippolitov V.M .

25. Moldovan C., Sosin S., Nedelcu O., et al. Chemoresistive gas sensor manufacturing using mixed technologies // Proceedings of the International Semiconductor Conference, 2005. CAS, 1, art. no. 1558747, pp. 201-204 .

26. Moldovan C., Nedelcu O., Johander P., et al. Ceramic micro heater technology for gas sensors // Proceedings of the International Semiconductor Conference, 2007. CAS, 1, art. no. 4063194, pp. 197-200 .

27. Xue Y., Tang Z. Study of the gas sensor array based on micro-machined ceramic hotplate // Advanced Materials Research, 2013. V. 631-632, pp. 1117-1122 .

28. Kita J., Brandenburg A., Moos R. Application of cylindrical pipe-type LTCC substrates as a platform for multi-array gas sensors // 9th IMAPS/ACerS International Conference and Exhibition on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies, 2013, pp. 288-292.

29. Patel C., Jadhav A., Lone S., Rane V., Chaware V., Giramkar V., Phatak G. Miniaturization of LTCC based hot plates for gas sensors application // Physics and Technology of Sensors (ISPTS), 1st International Symposium on Physics and Technology of Sensors, 2012. Art. no. 6260886, pp. 83-86.

30. Kita J., Dziedzic A., Golonka L.J., Bochenek A. Properties of laser cut LTCC heaters // Microelectronics Reliability, 1999. V. 40, pp. 1005-1010 .

31. Brandenburg A., Kita J., Groß A., Moos R. Novel tube-type LTCC transducers with buried heaters and inner interdigitated electrodes as a platform for gas sensing at various high temperatures // Sensors and Actuators, B: Chemical, 2013. V. 189, pp. 80-88 .

32. Pisarkiewicz T., Sutor A., Potempa P., Maziarz W., Thust H., Thelemann T. Microsensor based on low temperature cofired ceramics and gassensitive thin film // Thin Solid Films, 2003. V. 436, pp. 84-89 .

33. Rydosz A., Maziarz W., Pisarkiewicz T., Gruszczynski S., Wincza K. The gas micropreconcentrators in LTCC and MEMS technologies for breath acetone analysis // 2012 IEEE Electrical Design of Advanced Packaging and Systems Symposium, EDAPS 2012. Art. no. 6469380, pp. 231-234.

34. http://www.keko-equipment.com/Casting.php [дата обращения: 03.05.2019] .

35. Carpenter F.H., Goviadinov A., et al. Nanoporous anodic alumina as novel platform for chemical sensing // Proceedings of 9th Int. meet. on chem. sensors, Boston, 2002, pp. 273 .

36. Grigorishin I.L., Polevskaya L.G., Kudanovich O.N. Sensor of hydrogen based on thermoelectric transducer // Russian journal "Sensor", 2002. N. 3, p. 47 .

37. Karpov E.E., Karpov E.F., Suchkov A., Mironov S., Baranov A., Sleptsov V., Calliari L. Energy efficient planar catalytic sensor for methane measurement // Sensors and Actuators, A: Physical, 2013. V. 194, pp. 176-180

38. Patent RU 2447426, 14.07.2010. Method and apparatus detecting below LEL methane concentrations in the air // Knots A.A., Polevskaya L.G., Manyushin A.I., Cartwright M.E., Karpov E.E., Karpov E.F., Mironov S.M. .

39. Ferraris E., Reynaerts D., Lauwers B. Micro-EDM process investigation and comparison performance of Al3O2 and ZrO2 based ceramic composites // CIRP Annals, 2011. V. 60/1, pp. 235-238 .

40. Liu K., Ferraris E., Peirs J., Lauwers B., Reynaerts D. Micro-EDM process investigation of Si3N4-TiN ceramic composites for the development of micro fuel-based power units // International Journal of Manufacturing Research, 2008. V. 3/1, pp. 27-47 .

41. Ferraris E., Vleugels J., Galbiati M., Lauwers B., Reynaerts D. Investigation of micro Electro Discharge Machining (EDM) performance of TiB2 // Proceeding of the Int. Symp. On Electromachining (ISEM), 2010, pp. 555-560 .

42. Bowman K.J., Pfefferkorn F.E., Shin Y.C. Recrystallization Textures during Laser-Assisted Machining of Zirconia Ceramics // Materials Science Forum, 2002. V. 408-412, pp. 1669-1674 .

43. Ferraris E., Mestrom T., Bian R., Reynaerts D., Lauwers B. Machinability investigation on high speed hard turning of ZrO2 with PCD

tools // Procedia of the 5th CIRP IntConf on High Perform Cutting (HPC), 2012. V. 1, pp. 517-522 .

44. Fledrich G., Palinkas I., Keresztes R., Zsidai L., Petroczki K. Turning specialties of ZrO2 ceramics // Sustainable Construction and Design, 2011. V. 2(1), pp. 59-65 .

45. Bian R., Ferraris E., He N., Reynaerts D. First study on mesoscale hard milling of ZrO2 by diamond coated tools // Precision Engineering, 2014. V. 38/1, pp. 82-91 .

46. Bian R., Ferraris E., Qian J., Reynaerts D., Li L., He N. Micromilling of fully sintered ZrO2 ceramics with diamond coated end mills // Conf on PrecEng - Key Eng Mater, 2012. V. 523(524), pp. 87-92 .

47. Romanus H., Ferraris E., Bouquet J., Reynaerts D., Lauwers B. Micromilling of sintered ZrO2 ceramic via cBN and diamond coated tools // 6th CIRP International Conference on High Performance Cutting, HPC2014. Procedia CIRP 14, pp. 371 - 376 .

48. Bissacco G., Hansen H., Slunsky J. Modelling the cutting edge radius size effect for force prediction in micro milling // CIRP Annals -Manufacturing Technology, 2008. V. 57/1, pp. 113-116 .

49. Berger J., Grosse Holthaus M., Nicola P., Rezwan K., Lasagni A.F. Ultraviolet laser interference patterning of hydroxyapatite surfaces // Applied Surface Science, 2011. V. 257, pp. 3081-3087 .

50. Adams D.P., Vasile M.J., Krishnan A.S.M. Microgrooving and microthreading tools for fabricating curvilinear features // Precision Engineering, 2000. V. 24, pp. 347-356 .

51. Вакс Е.Д., Миленький М.Н., Сапрыкин Л.Г. Практика прецизионной лазерной обработки. М.: Техносфера, 2013, c. 696 .

52. Tseng S.F., Hsiao W.T., Huang K.C., Chiang D. Electrode patterning on PEDOT:PSS thin films by pulsed ultraviolet laser for touch panel screens // Applied Physics A, 2013. V.112/1, pp. 41-47 .

53. Tseng S.F., Hsiao W.T., Huang K.C., Chiang D. The effect of laser patterning parameters on fluorine-doped tin oxide films deposited on glass substrates // Applied Surface Science, 2011. V. 257, pp. 8813-8819 .

54. Burck P., Wiegel K. Laser machining of Si3N4 ceramics // Optical and Quantum Electronics, 1995. V. 27(12), pp. 1349-1358 .

55. Pedra J., Lahoz R., Carda J., et al. Laser Engraving of Ceramic Tiles // International Journal of Applied Ceramic Technology, 2011. V.8 (5), pp. 1208-1217.

56. Perrie W., Rushton A., Gill M., et al. Femtosecond laser micro-structuring of alumina ceramic // Applied Surface Science, 2005. V. 248, pp. 213-217 .

57. Wang C., Zeng X. Study of laser carving three-dimensional structures on ceramics: quality controlling and mechanisms // Optics & Laser Technology, 2007. V. 39, pp. 1400-1405 .

58. Pham D.T., Dimov S.S., Petkov P.V. Laser milling of ceramic components // International Journal of Machine Tools and Manufacture, 2007. V. 47, pp. 618-626 .

59. Kuar A.S., Doloi B., Bhattacharyya B. Modelling and analysis of pulsed Nd:YAG laser machining characteristics during micro-drilling of zirconia (ZrO2) // International Journal of Machine Tools and Manufacture, 2005. V. 46, pp. 1301-1310 .

60. Kuar A.S., Acherjee B., Ganguly D., Mitra S. Optimization of Nd:YAG laser parameters for microdrilling of alumina with multiquality characteristics via grey-taguchi method // Materials and Manufacturing Processes, 2012. V. 27, pp. 329-336 .

61. Knowles M., Rutterford G., Karnakis D., Ferguson A. Micro-machining of metals, ceramics and polymers using nanosecond lasers // International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2007. V. 33, pp. 95-102 .

62. Dhupal D., Doloi B., Bhattacharyya B. Parametric analysis and optimization of Nd:YAG laser micro-grooving of aluminum titanate (Al2TiO5) ceramics // International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2008. V. 36, pp. 883-893 .

63. Kibria G., Doloi B., Bhattacharyya B. Experimental investigation and multiobjective optimization of Nd:YAG laser micro-turning process of alumina ceramic using orthogonal array and grey relational analysis // Optics & Laser Technology, 2013. V. 48, pp. 16-27.

64. Preusch F., Adelmann B., Hellmann R. Micromachining of AlN and Al2O3 using fiber laser // Micromachines, 2014. V. 5, pp. 1051-1060 .

65. Mishra S., Yadava V. Laser Beam MicroMachining (LBMM) // Optics and Lasers in Engineering, 2015. V. 73, pp. 89-122 .

66. Umer U., Mohammeda M.K., Al-Ahmari A. Multi-response optimization of machining parameters in micro milling of alumina ceramics using Nd:YAG laser // Measurement, 2017. V. 95, pp. 181-192 .

67. Teixidor D., Grzenda M., Bustillo A., Ciurana J. Modeling pulsed laser micromachining of micro geometries using machine-learning techniques // Journal of Intelligent Manufacturing , 2015. V. 26, pp. 801-814 .

68. Tunnermann, A., Nolte S., Limpert J. Femtosecond vs. picosecond laser material processing challenges in ultrafast precision laser micromachining of metals at high repetition rates // LTJ, 2010. No. 1, pp. 34-38 .

69. Бессмельцев В. П., Булушев Е. Д., Голошевский Н. В. Экспертная система для оптимизации режима лазерной микрообработки // Известия высших учебных заведений Приборостроение, 2011. Том 54, выпуск 2, с. 17-21 .

70. https://www.eos.info/pa-2200-2201-da42d3327dfc8bf2 [дата обращения 18.04.2019] .

71. https://asenergi.com/catalog/rashodnye-materialy/pripoy-pos-60.html [дата обращения 18.02.2019] .

Приложение А. Копии патентов РФ

Приложение Б. Копии актов о внедрении результатов

диссертации

Группа компаний «Южполиметалл-Холдинг»

Россия, г. Москва. I 17638, Варшавское ш., 56, стр.2 [phone] analizaior.ru

Южл оли металл Холдинг

"УТВЕРЖДАЮ

>альн})Ш директор С.А- Буянов %жтября 2019 г.

АКТ о внедрении ООО «Южполиметалл-Холдинг» результатов диссертационной работы К.Ю. Облова

Настоящий акт составлен в том, что следующий результат диссертационной работы Облова Константина Юрьевича, посвященной разработкам на основе технологии лазерной микрофрезеровки, был внедрен в изделиях, выпускаемых ООО «Южполиметалл-Холдинг»:

Источник ионизации в виде дискретного керамического МЭМС изделия, изготовленный с использованием программно-аппаратного комплекса для четырех координатной адаптивной лазерной микрофрезеровки, применяется в серийно выпускаемых приборах для обнаружения и идентификации паров и следов взрывчатых, наркотических и отравляющих веществ в сверхмалых концентрациях - в портативном ИДД «Кербер» и встраиваемом детекторе «Кербер-СТ».

Председатель Совета директоров Группы компаний «Южполиметалл-Холдинг» Кандидат технических наук, старший научный сотрудник, лауреат Премии Правительства РФ в области науки и техники

-7

/О

. 20 /3 г.,

/ Сазонов А.Г, /

А

Общество с ограниченной ответственностью «ДЕЛЬТА-С»

Адрес: 124489 г. Москва, Зеленоград, корп. 602, Зэт, оф.31 1-316 Тел./факс: [phone]

ИНН 7735505579, КПП 773501001, ОГРН 1047796512499, ОКПО 1047796512499 Производство газоанализаторов, производство газовых пожарных увещателей, поставка газочувствительных сенсоров и генераторов газа. Проектирование, монтаж и обслуживание систем газового контроля. Ремонт газоанализаторов.

ООО «ДЕЛЬТА-С»

УТВЕРЖДАЮ .Генеральный директор ■ftUniWJ A.B. Соколов «_8_»_октября_2019 г.

АКТ

О внедрении результатов кандидатской диссертации Облова Константина Юрьевича в ООО «Делъта-С»

Настоящий акт составлен о том, что следующий результат диссертационной работы Облова К.Ю «Методы и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки» - металлооксидный чувствительные элемент в керамическом 8МГО корпусе типоразмера 80Т23 на основе оксида вольфрама WOз, изготовленный с использованием программно-аппаратного комплекса для четырех координатной адаптивной лазерной микрофрезеровки, был использован для создания системы непрерывного контроля Озона на базе газоанализатора серии «Сенсис 500» выпускаемого ООО «Дельта-С». Система контроля Озона была поставлена на Нововоронежскую АЭС для нужд контроля состава атмосферы хранилища отработанного ядерного топлива.

Облов К.К)., помимо разработки сенсора, так же принял непосредственное участие в проектировании специализированной замкнутой системы проботбора атмосферного воздуха из технологических магистралей хранилища отработанного ядерного топлива.

Технический директор ООО «Дельта-С»

С.П. Кобзев

и

С] Е НС 011

интеллектуальный газоьые анализатора

ООО «НИИИТ» [phone]

123592, г. Москва, ул. Кулакова, д. 20, стр. 1Г, [e-mail]

пом. XIV, эт. 3, ком. 10, 11, 52-57 www.senson.ru

ИНН 7731481013, КПП 773101001, ОГРН 5147746189014, ОКПО 17182181

ЕРЖДАЮ директор , Завялец я 2019 г.

АКТ ВНЕДРЕНИЯ

Настоящий акт составлен в том, что следующие результаты диссертационого исследования Облова Константина Юрьевича, посвященные методам и средства изготовления специализированных металлооксидных газовых сенсоров на основе технологии лазерной микрофрезеровки, представляют практический интерес для задач непрерывно контроля воздух на предмет опасных компонентов в атмосфере промышленных предприятий.

Металлооксидный сенсор в миниатюрном керамическом корпусе типоразмера 80Т-23 изготовленный с использованием программно-аппаратного комплекса для четырех координатной адаптивной лазерной микрофрезеровки и использующий газочувствительного

наноструктурированный оксида вольфрама для детектирования N02, внедрен в производство продукции ООО «НИИИТ» - стационарные газоанализаторы марки «СЕНСОН».

Технический директор ООО "НИИТ"

Л

П.Г. Агафонов

А, В.Соколов [phone] [phone]