Методы создания СВЧ модулей систем космической связи тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.12.07, доктор технических наук Ефимов, Андрей Геннадьевич

  • Ефимов, Андрей Геннадьевич
  • доктор технических наукдоктор технических наук
  • 2009, МоскваМосква
  • Специальность ВАК РФ05.12.07
  • Количество страниц 213
Ефимов, Андрей Геннадьевич. Методы создания СВЧ модулей систем космической связи: дис. доктор технических наук: 05.12.07 - Антенны, СВЧ устройства и их технологии. Москва. 2009. 213 с.

Оглавление диссертации доктор технических наук Ефимов, Андрей Геннадьевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ СВЧ МОДУЛЕЙ СИСТЕМ КОСМИЧЕСКОЙ СВЯЗИ.

ГЛАВА II. ПРОЕКТИРОВАНИЕ СВЧ МОДУЛЕЙ НА ОСНОВЕ АРСЕНИД-ГАЛЛИЕВЫХ СХЕМ.

2.1 Анализ работы арсенид-галлиевого ПТШ в ключевом режиме.

2.2 Реализация СВЧ фазовращателей в виде арсенид-галлиевых ИС.

2.3 Особенности проектирования интегральных схем усилителей мощности.

2.4 Эффективность использования арсенид-галлиевых интегральных схем в СВЧ аппаратуре.

ГЛАВА III. ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ФАКТОРОВ НА ПАРАМЕТРЫ АРСЕНИД-ГАЛЛИЕВЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И СВЧ МОДУЛЕЙ НА ИХ ОСНОВЕ.

3.1 Базовая технология изготовления арсенид-галлиевых интегральных схем для аппаратуры систем связи.

3.2 Технология изготовления бескорпусных и герметичных модулей на основе арсенид-галлиевых интегральных схем.

3.3 Оценка надежности СВЧ модулей на основе арсенид-галлиевых интегральных схем.

ГЛАВА IV. ПОСТРОЕНИЕ СВЧ МОДУЛЕЙ НА ОСНОВЕ ДИСКРЕТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ.

4.1 Проектирование приемных конверторов СВЧ диапазона на зарубежной элементной базе.

4.2 Использование в приемных модулях полосно-пропускающих фильтров на диэлектрических резонаторах.

4.3 Построение приемных трактов с распределенной фильтрацией.

4.4 Принципы построения многоканальных приемных модулей многолучевых АФАР.

4.5 Оптимизация конструкции СВЧ модулей для серийного производства.

ГЛАВА V. ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ В СВЧ МОДУЛЯХ.

5.1 Анализ работы микроэлектромеханического переключателя в СВЧ диапазоне.

5.2 Построение СВЧ фазовращателей на основе микроэлектромеханических переключателей.

5.3 Элементы МЭМС СВЧ диапазона для систем связи и радиолокации.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Антенны, СВЧ устройства и их технологии», 05.12.07 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы создания СВЧ модулей систем космической связи»

Повышение степени интеграции СВЧ модулей радиоэлектронной аппаратуры имеет особое значение для бортовой аппаратуры космической связи и носимой, перевозимой и стационарной наземной аппаратуры. Под модулем СВЧ понимается радиоэлектронное изделие СВЧ диапазона, имеющее законченное схемное и конструктивное исполнение, состоящее из одного или нескольких функциональных узлов, неремонтопригодное в условиях эксплуатации, взаимозаменяемое. Функциональный узел СВЧ -сборочная единица или деталь, выполняющая одну или несколько радиотехнических функций и предназначенная для работы в СВЧ диапазоне в составе модуля СВЧ [1].

По конструктивно-технологическому исполнению СВЧ модули разделяются на коаксиально-волноводные, интегральные и комбинированные. Другим признаком разделения модулей является выполняемая обобщенная радиотехническая функция. Так различают модули генераторные, усилительные, преобразовательные и комбинированные. На более низком уровне разделяют изделия, отличающиеся выполняемой конкретной радиотехнической функцией: автогенераторы, малошумящие усилители, усилители мощности и др. По количеству выполняемых функций модули подразделяются на однофункциональные и многофункциональные. Используемый в модуле активный комплектующий элемент или функциональный узел на его основе дает наименование модулю в целом [2].

Модули СВЧ характеризуются большим числом электрических параметров, важнейшими из которых являются рабочий диапазон частот, полоса рабочих частот, коэффициент передачи, выходная мощность, коэффициент шума и коэффициент стоячей волны по напряжению (КСВН) по входу и выходу. К модулям, используемым в системах космической связи, предъявляются дополнительные технические требования, обусловленные размещением модулей в составе бортовой аппаратуры космического аппарата. Надежность модулей определяет срок активного существования

САС) • бортового радиотехнического комплекса (БРТК) и характеризуется временем безотказной работы. Требования по радиационной стойкости модулей определяются условиями эксплуатации в открытом космическом пространстве без дополнительной радиационной защиты. При совместной, работе приемной и передающей аппаратуры близких частотных диапазонов в условиях ограниченного пространственного разноса антенных систем необходимо решать проблему помехозащищенности'приемных трактов, т. е. решать задачу электромагнитной совместимости (ЭМС). Устойчивость к воздействию климатических и механических факторов при минимальных массогабаритных характеристиках модулей является важнейшим требованием бортовой аппаратуры. Используемые технические решения и технология изготовления модулей должны, обеспечить повторяемость параметров модулей в условиях промышленного серийного производства при оптимальных стоимостных характеристиках. Для наземной аппаратуры . систем космической связи в меньшей степени важны вопросы радиационной стойкости, зато более актуальны вопросы снижения стоимости изготовления в условиях серийного производства.

Федеральная целевая Программа «Национальная технологическая база на 2007 - 2011 г.г.» предусматривает разработку базовых технологий и базовых конструкций электронных компонентов и приборов для-сверхвысокочастотной электроники на основе последних достижений микроэлектроники. /

При помощи сложных • радиоэлектронных систем решаются вопросы обеспечения жизнедеятельности и безопасности современных высокоразвитых государств, поэтому "Основы политики Российской Федерации в области развития электронной компонентной базы на период до 2010 года и дальнейшую перспективу», утвержденные Президентом Российской Федерации 11 апреля 2002 года, предусматривают концентрацию усилий и ресурсов на критических направлениях развития электронной компонентной базы, к числу которых отнесено и создание сложных функциональных блоков, в том числе СВЧ диапазона.

Вопросам актуальности микроминиатюризации аппаратуры связи и радиолокации посвящены многочисленные работы Гуськова Г .Я., Блинова Г.А., Коледова Л.А., Панасенко П.В., Реброва С.И., Сестрорецкого Б.В., Чистякова Н.И. и других.

На момент выполнения данной работы отсутствовал промышленный выпуск арсенид-галлиевых интегральных схем СВЧ диапазона, удовлетворяющих требованиям, предъявляемым к бортовой аппаратуре связи нового поколения. Не существовало комплексного подхода к проектированию арсенид-галлиевых интегральных схем, позволяющего реализовать всю номенклатуру функциональных схем, требуемых для построения АФАР, на основе полупроводниковых структур арсенида галлия промышленного изготовления. Задача построения сложных многофункциональных модулей для серийного производства, способных работать в сложной электромагнитной обстановке, в том числе приемных модулей для многолучевых АФАР, не ставилась до начала 80-х годов по причине отсутствия в разработке подобных систем, Решению научно-технической проблемы создания СВЧ модулей для систем космической связи нового поколения и посвящена данная работа.

Диссертация состоит из введения, пяти глав и заключения. В первой главе рассмотрены принципы построения СВЧ модулей в зависимости от назначения и условий эксплуатации. Показана зависимость параметров модуля от характеристик и типа применяемых активных элементов.

Похожие диссертационные работы по специальности «Антенны, СВЧ устройства и их технологии», 05.12.07 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Антенны, СВЧ устройства и их технологии», Ефимов, Андрей Геннадьевич

Основные результаты работы:

1. Реализован комплексный подход к проектированию арсенид-галлиевых ИС различного функционального назначения в СВЧ диапазоне для использования в приемных и передающих модулях космических систем связи 17Р53, В-200, 17Р78РП, В-400М.

2. Определены и сформулированы общие и частные конструктивно-технологические требования при проектировании активных элементов арсенид-галлиевых ИС. Получены зависимости характеристик переключателя на основе арсенид-галлиевого ПТШ в пассивном включении от ширины транзистора, способа включения в СВЧ тракт и рабочей частоты для получения требуемых прямых потерь и запирания. Показана возможность достижения требуемых характеристик при использовании промышленных эпитаксиальных структур арсенида галлия.

3. Проведена оценка радиационной стойкости арсенид-галлиевых ИС и их надежностные характеристики для построения на их основе аппаратуры для космических аппаратов со сроком активного существования более 10 лет. Предложена методика оценки времени потери работоспособности СВЧ арснид-галлиевых ИС во время импульсного воздействия факторов ядерного взрыва.

4. Подтверждена целесообразность проектирования топологии кристаллов усилителей мощности на основе непосредственного измерения параметров ПТШ на большом уровне сигнале методом тестовых плат. Данный подход сокращает число итераций при проектировании и обеспечивает высокое совпадение параметров, заданных и полученных экспериментально.

5. Показана эффективность сквозных металлизированных отверстий для заземления элементов СВЧ интегральной схемы в произвольном месте кристалла и обеспечении отвода тепла от активной зоны транзистора. Проведен сравнительный анализ влияния на параметры арсенид-галлиевых ИС проволочных выводов и плоских проводников. Показано, что на частотах выше 10 ГГц плоские проводники имеют меньшее влияние на параметры интегральных усилителей.

6. Показана возможность построения функциональных узлов СВЧ диапазона и сложных многофункциональных устройств, таких как регулятор комплексных амплитуд, на основе однокаскадных усилителей в монолитном исполнении для повышения унификации аппаратуры.

7. Предложена схема унифицированного переключательного кристалла, позволяющая реализовать на его основе многоразрядный фазовращатель, фазовый модулятор, согласованный ключ и плавный аттенюатор в диапазоне частот до 5 ГГц.

8. Разработана схема построения многоканальных приемных модулей многолучевых АФАР на основе синфазной двухуровневой разводки, позволяющая получать в полосе частот минимальный фазовый разброс каналов без взаимного влияния каналов. Построение модулей с использованием данной концепции позволило реализовать бортовую приемную АФАР изделия 14Р512 с высокими техническими и массогабаритными характеристиками.

9. Предложен и апробирован метод проектирования приемных трактов АФАР с распределенной фильтрацией. Использование распределенной фильтрации в приемных трактах АФАР обеспечивает помехозащищенность и способность функционирования в сложной электромагнитной обстановке при минимальных шумовых характеристиках.

10. Обосновано и практически подтверждено использование полосно-пропускающих фильтров на диэлектрических резонаторах в конструкции СВЧ модулей с технологией поверхностного монтажа элементов, что позволило спроектировать ряд блоков для носимых станций космической связи ИПС-АП, ППС2Г1 и ППС2Г1.01. Блоки имеют высокую технологичность, малую трудоемкость сборки и регулировки. Использование технологии поверхностного монтажа позволило в короткие сроки спроектировать, изготовить и испытать приемные конверторы Ки- и Хдиапазонов для станций приема информации с космических аппаратов дистанционного зондирования Земли 11Ф664 №2 и «Метеор-ЗМ», соответственно.

11. Промоделированы и спроектированы микромеханические переключатели, что позволило получить СВЧ характеристики первых отечественных МЭМ переключателей на основе алмазоподобных пленок, как основы перспективных многофункциональных схем. По результатам испытаний определены основные направления схемотехнических и технологических работ для улучшения функциональных свойств МЭМ переключателей для использования в СВЧ диапазоне.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Анализ тенденций повышения степени интеграции СВЧ аппаратуры при одновременном улучшении ее функциональных и эксплутационных характеристик показал, что эффективность решения этого вопроса определяется повышением степени интеграции элементной базы, применением новых принципов проектирования, схемотехнических подходов и использованием элементов, полученных с использованием принципиально новых технологий.

Показано, что актуальным и перспективным является использование арсенид-галлиевых интегральных схем в СВЧ аппаратуре космических систем связи. Наиболее оптимальным решением в этом направлении является разработка схем средней степени интеграции, что позволяет реализовать на их основе узлы различного функционального назначения.

Разработанные арсенид-галлиевые ИС и модули на их основе в ряде изделий использовались более десяти лет до полного прекращения эксплуатации. Полученные в работе зависимости и выводы могут быть востребованы и в наши дни принципиально на новом уровне. Так, например, измерения параметров на большом сигнале уже возможно проводить с помощью автоматизированных анализаторов цепей. Возможно создание библиотек активных и пассивных элементов интегральных схем и использование услуг зарубежных фабрик для изготовления СВЧ интегральных схем.

Предложенные конструктивные решения могут быть использованы при проектировании модулей аналогичного назначения с учетом особенностей частотного диапазона.

Апробированные схемотехнические решения возможно использовать для новых полупроводниковых материалов с учетом индивидуальных особенностей активных элементов и новых технологий их изготовления.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Ефимов, Андрей Геннадьевич, 2009 год

1. ГОСТ 23221-78. Модули СВЧ, блоки СВЧ. Термины и определения, буквенные обозначения.

2. Модули СВЧ/ Л.М. Арутюнов, И.П. Блудов, В.Д. Давыдов и др. М.: Радио и связь, 1984. - 72 с.

3. Kilby J. S. Invention of the integrated circuit. IEEE Trans. 1976. vol. ED-23. №7. p. 648-654.

4. McQuiddy D. N., Wassel J. W., Lagrange J. B. Monolithic microwave Integrated circuits: An Historical perspective.

5. EE Trans. 1984. vol. MTT-32, №9, p.997-1006.

6. Смит К. Коммерческие английские приборы из GaAs. Электроника, 1985, №5, с.36-39.

7. Гуськов Г.Я., Контарев В.Я., Панасенко П.В., Ахмадеев Р.Г., Панин В.Ф. Монолитный усилитель на основе арсенида галлия. Спецэлектроника. Сер. 10 Микроэлектронные устройства, 1982, Вып.1, с.20.

8. Разработка технологии изготовления монолитных ИС СВЧ малошумящего усилителя на арсениде галлия. Научно-технический отчет по НИР «Стриж»./Ефимов А.Г. исполнитель, НИИМП, Москва, 1982. Гос. Регистр. №У82937.

9. Pucel R. A. Design consideration for monolithic microwave circuits. IEEE Trans. 1981. vol. MTT-29, №6, p. 513-534.

10. Cronin G.R., Haisty R.W. The preparation of semiinsulating gallium arsenide tychromium doping. J. Electrochem. Soc. Vol. Ill, July 1964, p. 674-877.

11. Kodowaki Y. et al. Effect of Gamma Ray Irradiation on GaAs MMICs. GsAs 1С Symposium Digest (New Orleans LA) 1982.

12. Петров Г.В. Радиационная стойкость приборов с барьером Шоттки. Зарубежная электронная техника, 1976, №9, с.3-37.

13. Pengelly R. S., Turner J.A. Monolithic broad band GaAs FET Amplifier. Electron Lett., vol. 12, May 1976, p. 251-252.

14. Экспресс-информация. Вып.23 от 1 февраля 1985 г.

15. Chen D.R. DBS High Volume Market for GaAs MMICs. Microwave J., vol.26, №2, 1983, p.l 16-160.

16. Мэнгин Ч.-Г., Макклелланд С. Технология поверхностного монтажа: Пер. с англ. М.; Мир, 1990 - 276 с.

17. Джуринский К., Кищинский А. Взгляд специалистов в области СВЧ — техники. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. №4, 2002, с.74-75.

18. Доровских С. Применение технологии поверхностного монтажа в производстве гибридно интегральных модулей. Компоненты и технологии, №7, 2006, с.66-67.

19. Лучинин В.В., Мальцев П.П. О термине «Микросистемная техника» в русском и английском языках./«Нано- и микросистемная техника», №2, 2006. с.39-41.21. MST News №5, 2001

20. Гудинаф Ф. Интегральный датчик ускорения для автомобильных подушек безопасности // Электроника 1991, №16, с. 7-14.

21. Горнев Е.С., Зайцев H.A., Равилов М.Ф., Романов И.М. Моделирование элементов микромеханики. «Микросистемная техника» №10, 2002.

22. Перспективы применения МЭМС -компонентов в сотовых телефонах нового поколения. Новости СВЧ техники, 2006, №12, с.1-3.

23. Гостюхин B.JI., Гринева К.И., Тусов В.Н. Вопросы проектирования активных ФАР с использованием ЭВМ. М. Радио и связью 1983.

24. Tayrani R., Bartle D.C., Barett N.J. GaAs surface oriented microwave PIN diodes. GaAs 1С Symposium Digest. 1984, p.85-88.

25. Walker J.L.B., McDermott M.G., Niholas J.M.C., Hyghes A.G. Monolithic mixers and phase shifters for X-band.

26. Electronic Engineering, June 1985, p. 179-186.

27. Wilson K., Niholas J.M.C., McDermott M.G., Burns J.W. Novel MMIC X-band phase shifter. IEEE Trans. 1985. vol. MTT-33, №12, p. 1572-1578.

28. Ulriksson B. Continues varactor diode phase shifter with optimized frequency response. IEEE Trans. 1979, vol. MTT-27, №7, p.650.

29. Mains R.K., Haddad G.I., Peterson D.F. Investigation of broad-band linear phase shifter using optimum varactor diode doping profiles.

30. EE Trans. 1981, vol. MTT-29, № 11, p. 1158-1164.

31. Dawson D.E., Conti A.L., Lee S.H. et al. An analog X-band phase shifter. IEEE Monolithic circuits Symposiums Digest 1984, p.610.

32. Mondai J.P., Menes A.G., Oakes J.G., Shing-Kuo Wana Phase shifts an single-and dual gate GaAs MESFETs for 2-4 GHz quadrature phase shifter.

33. EE Trans. 1984, vol. MTT-32, №10, p. 1280-1287.

34. Tsironics C., Harrop P. Dual gate GaAs MESFET phase shifter with gain at 12 GHz. Electronics Lett., vol. 16, 1980, №14, p.553-554.

35. Bears S.V. New GaAs FET applications weighed as material processing matures. Microwave J., 1981, №2, p.24.

36. Lamb F.D., Kiss S., Krueger Т.К. Phase shifting amplifier. Патент США 34398191 от 9 августа 1983 г.

37. Mitchell В. UK scientist describe GaAs FET applications. Microwaves&RF, March 1983, p.39.

38. Kumar M., Menna R.J., Ho-Chung Huang Broad-band active phase shifter using dual gate MESFET. IEEE Trans. 1981, vol. MTT-29, №10, p. 1098-1101.

39. Vorhause J.L., Pucel R.A., Tajima Y. Monolithic dual gate GaAs FET digital phase shifter. IEEE Trans. 1982, vol. ED-29, №7, p. 1078-1087.

40. Naster R.J. MMIC technology for microwave radar and communication systems. Microwave J., vol.24, №2, 1983, p. 109-113.

41. Ayasli Y. Microwave switching with GaAs FETs. Microwave J., vol.25, №11, 1982, p.61-74.

42. Fukui H. Determination of the basic devices parameters of the GaAs MESFET. Bell Syst. Tech. J. 1979, vol.58, №3, p.771-797.

43. Хелзайн Дж. Пассивные и активные цепи СВЧ. М. Радио и связь, 1981.

44. Suckling C.W., Pengelly R.S., Cockrile J.R. S-band phase shifter using monolithic GaAs circuits.1982 IEEE International Solid State Circuits Conferens, p. 134-135.

45. Pengelly R.S. Integrated T/R-modules employ ICs. Microwaves&RF, Dec. 1985, №2, p.77-84. ' ,

46. Ayasli Y., Miller S.W., Mozzi R., Hanes L.K. Wide-band monolithic phase shifter. IEEE Trans. 1984, vol. MTT-32, №12, p.1710-1714.

47. Ayasli Y., Miller S.W., Mozzi R., Hanes L.K. Wide-band monolithic phase shifter. IEEE Trans. 1984, vol. MTT-32, №12, p.1710-1714.

48. Andricos C., Bahe I. C-band 6 bit GaAs monolithic phase shifter. IEEE 1985 Microwave and millimeter wave monolithic circuits symposium, p. 8-10.

49. Буянов H.H., Пашинцев Ю.И. Модель полевого транзистора с затвором Шоттки для машинного проектирования сверхбыстродействующих ИС на арсениде галлия. Микроэлектроника, 1984, т.10, Вып.4, с.321-326.

50. Буянов Н.Н., Пашинцев Ю.И. Математическая модель полевого транзистора на основе арсенида галлия, учитывающая накопление носителей в канале. Микроэлектроника, 1982, т.11, Вып.5, с.457-460.

51. Буянов Н.Н., Пашинцев Ю.И. Анализ работы базового элемента на нормально открытых полевых транзисторах с затвором Шоттки. Электронная техника, Сер.З, Микроэлектроника, 1984, Вып.4.

52. Буянов Н.Н., Ефимов А.Г., Мартынова В.П., Панасенко П.В. СВЧ ключ на арсенид-галлиевом полевом транзисторе.

53. Электронная техника. Сер.10 Микроэлектронные устройства Вып.2(56) 1986. с.31-35.

54. Буянов Н.Н., Ефимов А.Г., Мартынов В.П., Панасенко П.В. Машинный анализ работы коммутационного ключа на основе арсенид-галлиевого транзистора с затвором Шоттки.

55. Электронная техника Сер.10 Микроэлектронные устройства Вып.2(56) 1986, с.28-32.

56. Хижа Г.С., Вендик И.Б., Серебрякова Е.А. СВЧ фазовращатели и переключатели. М., Радио и связь, 1984, 184 с.

57. СВЧ устройства на полупроводниковых диодах. Проектирование и расчет/ Под ред. И.В. Мальского и Б.В. Сестрорецкого. М., Сов. Радио, 1969.

58. Уайт Д. СВЧ полупроводниковые фазовращатели. ТИИЭР, №11, 1968, с.184-192.

59. Бова Н.Т., Ефремов Ю.Г., Конин В.В. и др. Микроэлектронные устройства СВЧ. К., Техника, 1984, 184 с.

60. Бова Н.Т., Стукало П.А., Храмов В.А. Управляющие устройства СВЧ. К., Техника, 1973, 164 с.

61. Антенны и устройства СВЧ/ Под ред. Д.И. Воскресенского. М., Радио и связь, 1981, 432 с.

62. СВЧ полупроводниковые приборы и их применение. Пер. с англ. /Под ред. B.C. Эткина. М., Мир, 1972.

63. Atwater Н.А. Circuit design of load-line phase shifter. IEEE Trans. 1985, vol. MTT-33, №7, p.626-634.

64. Atwater H.A. Reflection coefficient transformation for phase shift circuit. IEEE Trans. 1980, vol. MTT-28, №6, p.563-568.

65. Bharj S.S. Cal aided Lange coupler synthesis. Microwave J., 1983,vol. 26, №1, p.122-123.

66. Mitchell B. Hybrids spotlighted at IEEE meeting on MICs.

67. Microwaves&RF, Dec. 1983, p.38.

68. Lange J. Interdigitated stripline quadrature hybrid. IEEE Trans. 1969, vol. MTT-17,№ 12, p.l 150-1151.

69. Waterman R.C., Fabian W., Pucel R.A. et al GaAs monolithic Lange and Wilkinson couplers. IEEE Trans. 1981, vol. ED-28, №2, p.121-216.

70. Справочник по элементам полосковой техники. Под ред.

71. A.Л. Фельдштейна. М., Связь, 1979.

72. Ержанов Р.Ж., Ефимов А.Г., Панасенко П.В., Панин В.Ф. Монолитная схема плавного фазовращателя сантиметрового диапазона.

73. Спец. Электроника. Сер.10. Микроэлектронные устройства Вып.1(189) ч.1. 1983. с.40.

74. Гуськов Г.Я., Панасенко П.В., Мартынов В.П., Панин В.Ф., Ержанов Р.Ж., Ефимов А.Г. Опыт создания МИП на GaAs и аппаратуры на их основе. Спец. Электроника. Сер.1. Устройства СВЧ. Вып.2. 1987.

75. D. М. Krafcsik S. A. Tmhoff, D. Е. Dawson, and A. L. Conti «А dual-varactor analog phase shifter operating 6 to 18 GHz » IEEE 1988 Microwave and Millimeter-Wave Monolithic Circuits Symposium. pp. 83-86.

76. Ayasli Y., Platzker A., Vorhaus J., Reynolds L.D. A monolithic single-chip X-band four-bit phase shifter. IEEE Trans. 1982, vol. MTT-30, №12, p.2201-2205.

77. McLevige W.V., Sokolov V. Resonated GaAs FET device for microwave switching. IEEE Trans. 1981, vol.ED-28, p.198-203.

78. Ахмадеев Р.Г., ЕфимовА.Г., Кочлашвили Г.И., Панасенко П.В., Панин

79. B.Ф. Трехсантиметровый усилитель мощности.

80. Спец. Электроника. Сер.10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(189) ч.1. 1983. с.41.

81. Ержанов Р.Ж., Ефимов А.Г., Панасенко П.В. и др. Резистор арсенид-галлиевой интегральной схемы.

82. Авт. Св-во по заявке №3638169/24-25 кл.Н01/06 от 2.09.83г.

83. Исследование возможности создания СВЧ фазовращателя на монолитной арсенид-галлиевой ИС. Научно-технический отчет по НИР

84. Спираль»./Ефимов А.Г. — отв. исполнитель, НИИМП, Москва, 1985. Гос. Регистр.№Ф22431.

85. Адоньева З.П., Буянов H.H., Ефимов А.Г. и др. Трехразрядный фазовращатель Х- диапазона на арсенид-галлиевых монолитных ИС. Спец. Электроника. Сер. 10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(230) 1986. с.12

86. Ефимов А.Г., Мартынов В.П., Мартынова В.П., Панасенко П.В., Панин В.Ф. Арсенид-галлиевые ИС СВЧ фазовращателей.

87. Спец. Электроника. Сер. 10 Микроэлектронные устройства. Вып. 1(21) 1987. с. 17-19.

88. MAMF-00002 DIE00 www.macom.com.

89. Гюнтер В.Я., Гусев А.Н., Руссков Д.А. МИС фазовращателей L и S диапазона в приемниках АФАР. Вопросы радиоэлектроники, Сер. PJ1T, Вып.З, 2008, с. 63-68.

90. Ефимов А.Г. СВЧ фазовращатели сантиметрового диапазона на основе арсенид-галлиевых интегральных схем; Автореф. дисс. канд. техн. наук; 05.27.01. Защищена 29.01.88; Утв. 20.07.88 ТН №111235. -М., 1988.

91. Мартынова В.П. Управляющие устройства СВЧ для многофункционального использования в системах радиолокации и спутниковой связи. Диссертация доктора технических наук, М., 1998.

92. Орлов О.С. Микроминиатюризация и качество твердотельных устройств СВЧ. Электронная техника. Сер.1 Электроника СВЧ. Вып. 10(104) 1987, с.29-34.

93. Орлов О.С., Чижов А.И., Фефелов А.Г., Прудовский В.И. Выключатели СВЧ на полевых транзисторах с барьером Шоттки. Сер.1 Электроника СВЧ. Вып. 3(387) 1987, с.50-54.

94. Шварц Н.З. Линейные транзисторные усилители СВЧ. М., Сов. Радио, 1980.

95. Шварц Н.З. Усилители СВЧ на полевых транзисторах. М., Радио и связь, 1987.

96. Данилин В.Н., Кушниренко А.И., Петров Г.В. Аналоговые полупроводниковые интегральные схемы СВЧ. М., Радио и связь, 1985.

97. Гупта К., Гардж Р., Чадха Р. Машинное проектирование СВЧ устройств; пер. с англ./Под ред. В.Г. Шейнкмана. М., Радио и связь, 1987.

98. Шеерман Ф.И., Бабак Л.И., Баров A.A., Вьюшков В.А. Проектирование монолитного усилителя мощности диапазона 8-12 ГГц с помощью программы автоматизированного синтеза. Тезисы докладов конференции «Электронные средства и системы управления», Томск, 2005.

99. Вай Кайчэнь Теория и проектирование широкополосных согласующих цепей; пер с англ. /Под ред. Ю.Л. Хотунцева. М., Связь, 1979.

100. Богачев В.М. Предельные широкополосные согласования произвольных импедансов. Радиотехника и электроника, 1984, т.29, №9, с. 1772-1784.

101. Богачев В.М. Синтез цепей связи для широкополосных усилителей. М.,МЭИ, 1980.

102. Романов И.А. Модифицированный метод синтеза согласующих цепей усилителей мощности с помощью ЭВМ.

103. В кн. Широкополосные радиотехнические цепи и устройства СВЧ и ВЧ. Новосибирск, 1987, с.91-98.

104. Петров Б.Е., Романов И.А. Синтез широкополосных согласующих цепей транзисторных усилителей СВЧ с помощью ЭВМ.

105. Радиотехника, 1989, №1, т.29, с.77-80.

106. Глазков Г.Н., Шауро Г.С. Измерение импедансов транзисторов КТ-919 в диапазоне 1-2 ГГц методом тест-плат.

107. Электронная техника, 1978, Сер.1, Вып.7, с.93-99.95. Ефимов А.Г., Романов И.А.

108. Синтез с помощью ЭВМ согласующих цепей усилителей мощности на основе полупроводниковых интегральных схем. Семинар «Современная технология производства СВЧ схем». Минск. 1989.

109. Ефимов А.Г., Панасенко П.В., Панин В.Ф., Романов И.А. Усилитель средней мощности десятисантиметрового диапазона на арсенид-галлиевой ИС. Спец. Электроника. Сер. 10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(270) 1988. С.83-84.

110. Разработка базовой конструкции усилителей средней мощности на основе арсенид-галлиевых ИС. Научно-технический отчет по НИР «Сюжет»./Ефимов А.Г. научный руководитель, НИИМП, Москва, 1994.

111. Каталог фирмы Agilent Technologies. 2006.

112. Разработка технологии изготовления СВЧ усилителей средней мощности на монолитной арсенид-галлиевой ИС. Научно-технический отчет по НИР «Струг-1» ./ Ефимов А.Г. отв. исполнитель, НИИМП, Москва, 1986. Гос. Регистр. № Ml5394.

113. Ефимов А.Г. Мартынов В.П., Панасенко П.В., Панин В.Ф.

114. Модуль усилителя средней мощности трехсантиметрового диапазона на арсенид-галлиевых ИС. Спец. Электроника. Сер.10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(270) 1988. С.82-83.

115. Мякишев Ю., Гуляев В., Журавлев К. Квазимонолитные интегральные СВЧ-схемы: технология и приборы. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. №6, 2006, с.84-86.

116. Разработка бескорпусной микросборки СВЧ малошумящего усилителя на монолитной арсенид-галлиевой ИС. Научно-технический отчет по ОКР «Стриж-1 »./Ефимов А.Г. исполнитель, НИИМП, Москва, 1984. Гос. Регистр.№У93 873.

117. Гуськов Г.Я., Ефимов А.Г., Мартынов В.П., Панасенко П.В., Панин В.Ф., Поздняков А.Г. Малопгумящий усилитель на основе монолитной арсенид-галлиевой ИС. Спец. Электроника. Сер.10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(21) 1987. С. 19-23.

118. Novel passive FET mixers provide superior dynamic range. www.minicircuits.com

119. Протопопов А.П., Черепухин В.И. Генератор СВЧ на полевом транзисторе трехсантиметрового диапазона, стабилизируемый диэлектрическим резонатором. -Изв. Вузов MB и ССО СССР. Радиоэлектроника, 1984, т.27, №12, с. 26-30.

120. Gerber E.A., Lukaszek Т., Ballato A. Advances in microwave acoustic frequency sources. IEEE Trans. 1986, vol. MTT-34, №10, p. 1002-1016.

121. Разработка и исследование многоканальных радиометрических бортовых приемных комплексов КВЧ. Научно-технический отчет по НИР «Радиометр»./ Ефимов А.Г. исполнитель, НИИМП, Москва, 1989.

122. Ефимов А.Г., Панин В.Ф., Панцов В.Ю., Черный И.В. Многоканальный радиометр-спектрометр миллиметрового диапазона/2-я Крымская конференция «СВЧ -техника и спутниковый прием». Материалы конференции. Севастополь, 1992, с.417-422.

123. Панасенко П.В. СВЧ монолитные схемы на арсениде галлия и модули на их основе, Диссертация доктора технических наук, М., 1988.

124. Ефимов А.Г., Романов И.А. Арсенид-галлиевые ИС усилителей мощности СВЧ диапазона /2-я Крымская конференция «СВЧ -техника и спутниковый прием». Материалы конференции. Севастополь, 1992, с.267-272.

125. Панасенко П.В., Нарнов Б.А., Ионов Б.В., Ефимов А.Г.

126. Технология изготовления МПТШ на GaAs с улучшенным теплоотводом и безындуктивным выводом. Спец. Электроника. Сер.10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(230) 1986. С.14

127. Разработка лабораторной технологии формирования металлизированных сквозных отверстий в подложках арсенид-галлиевых НС. Научно-технический отчет по НИР «Скань»/ Ефимов А.Г. исполнитель, НИИМП, Москва, 1987. Гос. регистр.№1153.

128. Мякишев Ю.Б., Барладян К.Д., Ожерельева Л.Ю. Интегральная схема СВЧ Авт. Св-во по заявке 4394522/25 от 28.12.1987 г.

129. Петрова Т.С., Григорьева Л.В., Гроо Е.П. Уменьшение индуктивности истокового вывода в ПТШ на GaAs и интегральных схем на их основе. Материалы Всероссийской Научно-технической конференции ТУ СУР, 2005, Томск.

130. Исследование и разработка технологических процессов для создания базовой технологии изготовления СВЧ монолитных интегральных приборов на арсениде галлия.; Научно-технический отчет по НИР «База-ЭЛАС»./Ефимов А.Г. исполнитель, НИИМП, Москва, 1997.

131. Полевые транзисторы на арсениде галлия. Принципы работы и технология изготовления: Пер. с англ./Под ред. Д.В. Ди Лоренцо, Д.Д. Канделуола. М.: Радио и связь, 1988. - 496 с.

132. Ефимов А.Г., Панасенко П.В., Поздняков А.Г.

133. Оценка надежности ИС МШУ на GaAs по результатам ускоренного термовоздействия. Спец. Электроника СерЛО. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(21) 1987. С.23-27.

134. Ефимов А.Г., Иванов Ю.Н., Макаревич А.Л. и др.

135. Особенности реакции арсенид-галлиевой ИС малошумящего усилителя на воздействие ионизирующих излучений.

136. Специальные вопросы науки и техники. Сер. Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. Вып.З 1986. С.70-74.

137. Петухов В.М. Полупроводниковые приборы. Транзисторы. Справочник. М.; Рикел. Радио и связь, 1994.- 232 с.

138. Безбородов Ю.М., Гассанов Л.Г., Липатов А.А., Нарытник Т.Н., Федоров В.Б. Диэлектрические резонаторы в микроэлектронике СВЧ (обзор). Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. Вып. 4(768).

139. М., ЦНИИ Электроника. 1981.

140. Безбородов Ю.М., Нарытник Т.Н., Федоров В.Б. Фильтры СВЧ на диэлектрических резонаторах. К.: Техника, 1989.-184 с.

141. Ильченко М.И., Кудинов Е.В. Ферритовые и диэлектрические резонаторы СВЧ. Издательство Киевского университета, 1973.-175 с.

142. Ненашева Е.А. Состояние дел в области разработок и производства микроволновых керамических материалов и элементов СВЧ техники. Материалы конференции «Обмен опытом в области создания сверхширокополосных радиоэлектронных систем. Омск, 2006, с. 189-195.

143. Nenasheva Ye.A., Kartenko N.F. High dielectric constant microwave ceramics Journal of the European Ceramics Society,v.21, 2001, p. 2647-2701.

144. Панасенко П.В., Нагурский С.Б., Ефимов А.Г., Панин В.Ф. Селективный усилитель для формирователя частоты.

145. Спец. Электроника сер. 10. Микроэлектронные устройства. Вып. 1(71) 1985.

146. Панин В.Ф. Селективный малошумящий усилитель на основе монолитных интегральных схем на арсениде галлия, Автореф. дисс. канд. техн. наук; М. 1987.

147. Варфоломеев И.Н., Дмитриев С.Д., Панин В.Ф. Вопросы микроминиатюризации диэлектрических фильтров. Электронная техника, Сер. 10, Микроэлектронные устройства, 1977, Вып.5.

148. ОСТ11 0309-86 Материалы керамические для изделий электронной техники. Технические условия.

149. Гассанов Л.Г., Ротенберг Б.А., Нарытник Т.Н. и др. Термостабильные высокодобротные диэлектрические резонаторы для СВЧ-микроэлектроники Электронная техника, сер. Электроника СВЧ, 1981, вып. 6(330), с. 21-25.

150. Войтенко А.Г., Гассанов Л.Г., Зелявский В.Б., Нарытник Т.Н. Многоканальные СВЧ частотные разделители на диэлектрических резонаторах Радиоэлектроника, 1984, т.27, вып. 12, с. 62-65.

151. Ефимов А.Г., Панин В.Ф., Петров В.Г. Использование в приемных модулях полосно-пропускающих фильтров на диэлектрических резонаторах. Вопросы радиоэлектроники, Сер. ЭВТ, Вып.5, 2008,1. С. 160-164.

152. Ефимов А.Г., Панин В.Ф. Полосно-пропускающие фильтры на диэлектрических резонаторах с высокой проницаемостью,

153. Изв. Вузов. Электроника, 2008, №6, С.79-80.

154. Максимов М.В., Бобнев М.П., Кривицкий Б.Х. и др. Защита от радиопомех. /Под ред. Максимова M.B. М., Сов. Радио, 1976, 496 с.

155. Алексеев О.В., Головков A.A., Полевой В.В., Соловьев A.A. Широкополосные радиопередающие устройства./ Под ред. О.В. Алексеева. М., Связь, 1978.

156. Дэвис Дж., Kapp Дж. Карманный справочник радиоинженера/ Пер. с англ. — М.; Издательский дом «Додэка-ХХГ», 2002. 544с.

157. Хансен P.C. Сканирующие антенные системы СВЧ: Пер. с англ. / Под ред. Г.Т. Маркова и А.Ф. Чаплина. -М., Сов. Радио, 1971. -т.З.- 464 с.

158. Ефимов А.Г., Олесов С.И. Приемная многолучевая активная фазированная антенная решетка.

159. Заявка № 2007135144/09(038427) от 24.09.2007г. Решение о выдаче патента РФ от 29.09.2008 г.

160. Ефимов А.Г. Построение приемного тракта многолучевой АФАР с распределенной фильтрацией. Вопросы радиоэлектроники, Сер. PJIT, Вып. 1, 2008, с. 41-45.

161. Ефимов А.Г. Конструкция многоканального приемного модуля многолучевой АФАР. Вопросы радиоэлектроники, Сер. PJIT, Вып. 1, 2008, с. 38-41.

162. Белов JI. Переключатели сверхвысокочастотных сигналов Электроника: Наука, Технология, Бизнес 1/2006 с.20-25.

163. Нестеров В. Высокочастотные реле компании OMRON. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. №5, 2006, с.60-62.

164. De Los Santos H.J. «MEMS A Wireless Vision» 2001 International MEMS Work-Shop, Singopure, July 4-6, 2001.

165. Richards R.J., De Los Santos H.J. MEMS for RF/Wireless Application: The Next Wave. Microwave J/, March 2001.

166. Ричарде P., Де JIoc Сантос Г. MEMS-устройства для СВЧ приложений: новая волна Chip news №1, 2007 с. 1-9.

167. Варадан В., Виной К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение Москва: Техносфера, 2004.-528 с.

168. Белов JL, Житникова М. Микромеханические компоненты радиочастотного диапазона. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. №8, 2006, с. 18-25.

169. Гридчин А. Микроэлектромеханические реле: технология ближайшего будущего. // Электронные компоненты, 2003, №7, с.38-40.

170. Асеев A.JI. Наноматериалы и нанотехнологии для современной полупроводниковой технологии.

171. Российские нанотехнолоогии, 2006, т.1, №1-2, с.97-110.

172. Разработка технологии получения нанокарбидных материалов, ' интегрированных в технологию изготовления устройств бесконтактной радиочастотной идентификации. Научно-технический отчет по НИР' «Радиометка»./ Ефимов А.Г. исполнитель, НИИФП, Москва, 2006

173. G.M. Rebeir. "RF MEMS Theory, Design and Technology". Wiley 2003.

174. Горячев A.B., Власенко В.А., Беляев C.H., Ефимов А.Г., Ильичев Э.А. и др. MEMS переключатели для RF систем на основе алмазоподобных углеродных пленок /Материалы конференции «Нанотехнологии производству 2007». Фрязино, 2007.

175. Патент США US6714169 ВА от 30.03.2004.

176. Peroulis D., Pacheco S.P., Sarabandi К., Katehi L.P.B. Electromehanical considerations in developing low-voltage RF MEMS switches.

177. EE Tran. 2003, vol.51, №1, p.259-269.

178. Banhan P., Butter C., Sokolov V., Contolatis A. 30 GHz multi bit monolithic phase shifters.

179. EE 1985 Microwave and millimeter wave monolithic circuits symposium, p.4-7.

180. Карпов B.M., Малышев B.A., Перевощиков И.В. Широкополосные устройства СВЧ на элементах с сосредоточенными параметрами -М.: Радио и связь, 1984. .-с. 57-61.

181. Испытание МЭМС -переключателей на надежность. Новости СВЧ техники, 2006, №12, с. 18-22.

182. Предварительные результаты исследования надежности МЭМС СВЧ -приборов. Новости СВЧ техники, 2003, №11, с. 17-18.

183. Guan Leng Tan, Mihailovich R.E., Hacker J.B. et al Low-loss 2- and 4-bit TTD MEMS phase shifters based on SP4T switches.

184. EE Tran. 2003, vol.51, №1, p.297-304.

185. Hacker J.B., Mihailovich R.E., Kim M., DeNatale J.F. A Ka-band 3-bit RF MEMS true-time-delay network. IEEE Tran. 2003, vol.51, №1, p.305-308.

186. Lee J., Je C.H., Kang S. A low-loss single-pole six-throw switch based on compact RF MEMS switches, IEEE Tran. 2005, vol.53, №11, p.3335-3343.

187. Johnson J., Adams G.G., McGruer N.E. Determination of intermodulation distortion in a contact-type MEMS microswitch.

188. EE Tran. 2005, vol.53, №11, p.3615-3622.

189. Lu Y., Katehi L.P.B., Peroulis D. High-power MEMS Varactors and Impedans Tuners for Millimeter-Wave Applications

190. EE Tran. 2005, vol.53, №11, p.3672-3678.

191. Смеситель диапазона 94 ГГц с кольцевым МЭМС -делителем мощности Новости СВЧ техники, 2006, №11, с. 14-18.

192. Eun-Chul Park, Yun-Seok Choi, Jun-Bo Yoon, Hong C., Yoon E. Fully Integrated Low Noise VCOs with On-chip MEMS Inductor

193. EE Tran. 2003, vol.51, №1, p.289-295.

194. МЭМС генератор новый конкурент кварцевому генератору Новости СВЧ техники, 2003, №11, с. 12-14.

195. Лебедев А., Сбруев С. SiC электроника. Прошлое, настоящее, будущее. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. №5, 2006, с.28-41.

196. Патент США US 6909346В1 от 21.06.2005 г.

197. Chang WookBack, Song S., Lee S., Jung-Mu Kim A V-Band Micromachined 2-D Beam-Steering Antenna Driven by Magnetic Force With polimer-based Hings

198. EE Tran. 2003, vol.51, №1, p.325-331.

199. Cetiner B.F., Qian J.Y., Chang H.P. Bachman P. Monolithic Interation of MEMS Switches with a Diversity Antenna on PCB Substrate IEEE Tran. 2003, vol.51, №1, p.332-335.208

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.