Методы создания устройств интегральной оптики тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.03, доктор физико-математических наук Аксенов, Евгений Тимофеевич

  • Аксенов, Евгений Тимофеевич
  • доктор физико-математических наукдоктор физико-математических наук
  • 2005, Санкт-Петербург
  • Специальность ВАК РФ01.04.03
  • Количество страниц 268
Аксенов, Евгений Тимофеевич. Методы создания устройств интегральной оптики: дис. доктор физико-математических наук: 01.04.03 - Радиофизика. Санкт-Петербург. 2005. 268 с.

Оглавление диссертации доктор физико-математических наук Аксенов, Евгений Тимофеевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. ИНТЕГРАЛЬНЫЙ АКУСТООПТИЧЕСКИЙ

СПЕКТРОАНАЛИЗАТОР.

1.1. ВВЕДЕНИЕ.

1.2. ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ИНТЕГРАЛЬНОГО АКУСТООПТИЧЕСКОГО СПЕКТРОАНАЛИЗАТОРА.

1.2.1. Материалы для интегральной акустооптики.

1.2.2. Волноводные лиизы.

1.2.2.1. Расчет параметров геодезической линзы с учетом ее аберраций.

1.2.2.2. Компенсация аберраций геодезических линз.

1.2.2.3. Изготовление асферических геодезических линз.

1.2.2.4. Исследование характеристик асферических геодезических линз.

1.2.3. Оптимальные конструкции преобразователей для широкополосного возбуждения поверхностных акустических волн.

1.2.3.1. Устройства возбуждения поверхностных акустических волн.

1.2.3.2. Эквидистантные и дисперсионные встречно-штыревые преобразователи

1.2.3.3. Экспериментальное исследование характеристик брэгговских ячеек с эквидистантными и дисперсионными преобразователями.

1.2.4. Интеграция элементов гибридного акустооптического спектроанализатора.

1.2.4.1. Стыковка оптического волновода с полупроводниковым лазером. Эффективность торцевого возбуждения оптических волноводов.

1.2.4.2. Экспериментальное исследование торцевой стыковки полупроводникового лазера с планарным оптическим волноводом.

1.2.4.3. Крепление полупроводникового лазера к торцу подложки.

1.2.5. Стыковка оптического волновода с линейкой фотоприемников.

1.2.5.1. Разработка градиентного волноводного элемента связи.

1.2.5.2. Крепление линейки фотоприемников к торцу подложки.

1.3. РАЗРАБОТКА ГИБРИДНОГО ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКОГО СПЕКТРОАНАЛИЗАТОРА.

1.3.1. Частотное разрешение интегрального акустооптического спектроанализатора

1.3.2. Оценка динамического диапазона интегрального акустооптического спектроанализатора.

1.3.3. Экспериментальное исследование прототипа интегрального акустооптического спектроанализатора.

1.4. ИНТЕГРАЛЬНЫЕ АКУСТООПТИЧЕСКИЕ СПЕКТРОАНАЛИЗАТОРЫ С

УЛУЧШЕННЫМИ ХАРАКТЕРИСТИКАМИ.

1.4.1. Исследование возможности увеличения скорости вывода данных из интегрального акустооптического спектроанализатора.

1.4.2. Интегральный акустооптический спектроапализатор с матричным фотоприемииком. Метод открытой строки.

1.4.3. Методы увеличения частотного разрешения интегрального спектроанализатора.

1.4.4. Перспективные области применения интегральных акустооптических устройств.

1.4.5. Исследование оптического вей влет-процессора.

1.4.5.1. Вейвлет-иреобразование.

1.4.5.2. Разработка и экспериментальное исследование акустооптоэлектроппого вейвлет-процессора.

1.4.5.2.1. Математическая модель оптического вейвлет-процессора.

1.4.5.2.2. Экспериментальное исследование.

1.4.5.3. Перспективы развития оптических вейвлет-процессоров.

1.4.5.3.1. Пути улучшения характеристик оптических вейвлет-процессоров за счет использования ПЗС-фотоприемпиков.

1.4.5.3.2. Возможности построения оптического вейвлет-процессора на основе коррелятора с интегрированием по времени.

1.4.5.4. О возможности создания интегрально-оптического вейвлет-процессора116 ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.

ГЛАВА 2. ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКИЕ УСТРОЙСТВА

2.1. ОСОБЕННОСТИ ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ В ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДАХ.

2.2. ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКИЕ МОДУЛЯТОРЫ, ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛИ И УСТРОЙСТВА НА ИХ ОСНОВЕ.

2.2.1. Модуляторы на основе полного внутреннего отражения.

2.2.2. Сравнение методик расчета параметров модуляторов ПВО.

2.2.3. Расчет параметров многоэлектродных модуляторов ПВО.

2.2.4. Экспериментальное исследование макета модулятора ПВО на основе плаиарпого волновода.

2.2.5. Экспериментальное исследование модуляторов ПВО на основе пересекающихся полосковых волноводов.

2.2.6. Исследование возможностей создания ретранслятора для BOJIC па основе гибридного бистабильного элемента.

2.3. МОДУЛЯТОРЫ НА ОСНОВЕ ОДНОМОДОВЫХ ПОЛОСКОВЫХ ВОЛНОВОДОВ.

2.3.1. Модулятор типа интерферометра Маха-Цендера.

2.3.2. Экспериментальное исследование макета интерферометрического модулятора.

2.3.3. Исследование макета фазометра радиосигналов и схемы совпадения видеоимпульсов.

2.3.4. Модулятор па основе связанных полосковых волноводов.

2.4. ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРООПТИЧЕСКИЙ ДЕФЛЕКТОР.

2.5. ПЕРЕДАЮЩИЕ УСТРОЙСТВА ДЛЯ ВОЛС НА ОСНОВЕ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ МОДУЛЯТОРОВ.

2.5.1. Стыковка полупроводниковых лазеров и оптических волокон с интегрально-оптическим модулятором.

2.5.2. Исследование макета передающего модуля для миогомодовых ВОЛС.

2.5.3. Исследование макета передающего модуля для одномодовых ВОЛС.

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.

ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ И УСТРОЙСТВ НА ОСНОВЕ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР.

3.1. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЛНОВОДНЫХ УСТРОЙСТВ ОПТИЧЕСКОЙ ПАМЯТИ

3.1.1. Исследование устройства оптической памяти на основе фазовой периодической структуры в пленке AS2S3.

3.1.2. Исследование устройства оптической памяти па основе фазовой периодической структуры в пленке фоторезиста.

3.2. КОЛЛИНЕАРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ВВОДА-ВЫВОДА ИЗЛУЧЕНИЯ ИЗ ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДА.

3.3. ИССЛЕДОВАНИЕ МАКЕТА ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКОГО РАСШИРИТЕЛЯ ПУЧКА.

3.4. ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ СПЕКТРАЛЬНЫЙ РАЗУПЛОТНИТЕЛЬ НА ОСНОВЕ ДИФФУЗИОННЫХ СТРУКТУР.

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.

ГЛАВА 4. РАЗРАБОТКА МЕТОДИК ИЗГОТОВЛЕНИЯ И

ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ.

4.1. РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ НА ОСНОВЕ НИОБАТА ЛИТИЯ.

4.1.1. Изготовление оптических волноводов методом обратной диффузии

4.1.2. Изготовление оптических волноводов диффузией металла.

4.1.3. Исследование полосковых волноводов.

4.1.4. Исследование влияния фоторефрактивного эффекта.

4.2. РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИССЛЕДОВАНИЯ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ В СТЕКЛЕ.

4.3. ИССЛЕДОВАНИЕ БУФЕРНЫХ СЛОЕВ.

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Радиофизика», 01.04.03 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Методы создания устройств интегральной оптики»

Диссертация обобщает результаты теоретико-экспериментальных исследований и методов создания интегрально-оптических функциональных устройств для оптоэлек-тропных систем обработки информации.

Актуальность темы диссертации определяется тем, что развитие современных информационных технологий в связи со стремительным ростом объемов обрабатываемой информации требует создания и развития новых средств и алгоритмов обработки информации. Несмотря на значительные достижения современной цифровой микроэлектроники существуют задачи, которые не могут быть решены, особенно в режиме реального времени, только средствами цифровой электроники. Так обстоит дело, например, в отношении систем, реализующих те или иные виды интегральных преобразований в реальном времени. В этой области роль аналоговых процессоров сохраняется и сохранится, по всей видимости, в обозримом будущем. Таким образом, сбалансированное сочетание методов и средств цифровой и аналоговой обработки информации - путь развития современных и перспективных информационных систем.

В значительной мере такой тенденции развития информационных систем отвечают оптоэлектронные системы передачи, обработки и хранения информации. Оптоэлектрои-пые процессоры сочетают возможность оптики, электроники и цифровой техники.

Наиболее перспективными направлениями оптоэлектроники, с точки зрения проблем обработки, передачи и хранения информации, являются средства оптической вычислительной техники и волоконно-оптические системы связи (ВОСС). Успехи, достигнутые в области создания устройств и систем оптоэлектронной обработки информации, настолько заметны, что перспективность этого направления уже не может оспариваться. Основные преимущества оптических методов обработки информации: высокая степень параллелизма вычислений, малое время выполнения операций над двухмерными массивами информации, возможность выполнения за один такт работы оптического процессора таких интегральных преобразований, как преобразование Фурье, Френеля, Лапласа, Гильберта, корреляции, свертки. Однако, оптические процессоры - аналоговые устройства с относительно ограниченными функциональными возможностями. В связи с этим, сочетание оптических и цифровых электронных вычислительных средств при решении тех или иных задач может дать и дает результаты, недостижимые каждым из этих средств отдельно.

Не менее значимыми проблемами информационных технологий являются задачи передачи (и сбора) больших объемов информации, в том числе, передачи широкополосных и сверхширокополосных сигналов. С момента появления в 80-х годах прошлого века оптического волокна (ОВ) с требуемыми характеристиками стали бурно развиваться волоконно-оптические системы связи (ВОСС) - магистральные, локальные; волоконно-оптические системы сбора информации - волоконно-оптические датчики.

В настоящее время ВОСС со спектральным уплотнением каналов могут осуществлять передачу информации со скоростью около 5 Тбит/с, а длина регенерационпой секции достигает 600-700 км [253].

Возможности оптоэлектронных систем обработки и передачи информации могут быть реализованы только при наличии соответствующей элементной базы. В этой связи важнейшее значение имеют исследования и разработки в области специальной элементной базы, обеспечивающей преобразование электрических сигналов в оптические (и наоборот) и возможность обработки информации на оптическом уровне. В связи с этим большой научный и практический интерес представляют функциональные элементы и устройства интегральной оптики.

Интегральная оптика - новая область радиофизики и квантовой электроники, изучающая плоские оптические волноводы и волповодные функциональные устройства на их основе с целью создания нового поколения оптоэлектронных функциональных устройств и элементов аналогичных объемным устройствам или принципиально новых, не имеющих аналогов ни в оптике, ни в оптоэлектропикс [255]. Результаты исследований в области интегральной оптики, имеющиеся в настоящее время, настолько многообещающи, что даже на существующем уровне их практической реализации открываются новые возможности для решения задач обработки сигналов и техники связи. В настоящее время, например, достаточно широко применяются в ВОСС широкополосные и сверхширокополосные (2.5-40 ГГц) интегральные электрооптические модуляторы света, ведутся разработки устройств с полосой до 100 ГГц [254].

Существующий большой практический интерес к разработке интегрально-оптических функциональных устройств и элементов связан с рядом их преимуществ: большой полосой рабочих частот, малым весом и габаритами (примерно на один-два порядка меньше объемных аналогов), малым энергопотреблением, повышенной надежностью, сравнительной простотой стыковки интегрально-оптических схем с оптическим волокном.

Современный этап развития средств интегральной оптики характеризуется созданием реальных промышленных функциональных устройств. Однако решение этой задачи оказывается сложным и неоднозначным прежде всего из-за большого разнообразия как функций, выполняемых интегрально-оптическими устройствами, так и возможных конструктивных решений, используемых материалов и применяемых методов изготовления. Определение областей применения и методов создания интегрально-оптических компонентов требует выполнения комплекса работ по выявлению физических свойств и технологических возможностей изготовления базовых волноводных элементов и узлов интегральной оптики. При этом принципиальными оказываются вопросы наибольшей простоты и наименьшей стоимости технологических процессов, обеспечивающих высокую повторяемость характеристик устройств и возможность их массового производства. К настоящему времени имеются заметные результаты, связанные с решением рассматриваемых проблем, однако многие вопросы в этой области еще требуют дальнейшей проработки.

Целью диссертационной работы является развитие нового перспективного направления, связанного с созданием физических основ технологии и методов создания функциональных элементов и устройств интегральной оптики для систем оптоэлектронной обработки, передачи и хранения информации и в рамках этого направления:

- определение концептуальной модели гибридного интегрального акустооптоэлек-тронного спектроанализатора радиосигналов, теоретический анализ его параметров, определение путей оптимизации параметров элементов, входящих в его структуру и разработка методов интеграции их в единое устройство. Проверка адекватности расчетных методик физическому эксперименту;

- на основе теоретического анализа волноводиого электрооптического взаимодействия в ииобате лития разработка методов создания ряда функциональных электрооптических элементов и устройств для модуляции, коммутации световых потоков в ВОСС, а также некоторых электрооптических устройств обработки информации. Практическая реализация и экспериментальное исследование этих устройств;

- теоретическое и экспериментальное исследование интегральпо-оптичсских устройств и элементов с периодическими структурами с целью совершенствования методов изготовления периодических структур в оптических волноводах, выявления особенностей каналироваиия света в таких волноводах и создания лабораторных макетов ряда устройств на их основе;

- разработка новых и совершенствование известных методов создания планарных и полосковых волноводов в подложках из кристалла пиобата лития и стекла, разработка расчетных и экспериментальных методик оценки параметров таких волноводов и выявление их физических свойств.

Научная новизна диссертационной работы определяется следующими основными новыми результатами, полученными при решении поставленной задачи:

1. В результате проведенных теоретических и экспериментальных исследований создан прототип гибридного интегрального акустооптического спектроанализатора (ИАОС) (защищен авторским свидетельством).

Разработана методика расчета ИАОС и функциональных элементов, входящих в его структуру, в том числе геодезических линз, свободных от аберраций. Получены соотношения, определяющие эффективность торцевого ввода светового излучения в оптический волновод. Впервые создан и исследован градиентный волиоводпый элемент связи, позволяющий формировать заданную диаграмму направленности светового излучения, выводимого из оптического волновода.

Теоретически и экспериментально определены пути улучшения характеристик ИАОС, в том числе: показана возможность увеличения скорости вывода данных из ИАОС, рассмотрены методы увеличения разрешающей способности по частоте созданного прототипа ИАОС.

2. Теоретически и экспериментально обоснована возможность построения принципиально нового типа оптоэлектронных процессоров, базирующихся на новом математическом методе вейвлет-анализа, оптических (акустооптических) вейвлет-процессоров, позволяющих проводить локальный спектральный анализ сигналов, в том числе определять локальные неоднородности сигналов. Создана и исследована лабораторная модель акустоонтоэлектронного вейвлет-процессора на основе объемного акустооптического модулятора. Рассмотрен возможный метод построения интегрального акустооптоэлектронного вейвлет-спектроанализатора.

3. Выполнены теоретические и экспериментальные исследования по определению и физическому обоснованию возможности и особенностей применения интегральных электрооптических устройств для модуляции и коммутации в ВОСС и в системах оптической обработки информации. При этом:

Проведен теоретический анализ волноводного электрооптического взаимодействия, получены удобные для проведения численных расчетов соотношения. Теоретически обоснована и экспериментально исследована модель электрооптического модулятора полного внутреннего отражения (ПВО). Разработан и исследован макет гибридного бистабильпого устройства па основе этого модулятора, экспериментально продемонстрированы различные режимы его работы: оптической памяти, оптического транзистора. Разработана оригинальная модель оптического ретранслятора на основе модулятора ПВО (защищена авторским свидетельством).

Разработана методика изготовления волноводного интерферометрического модулятора типа Маха-Цендера, выявлены особенности изготовления, дана их физическая интерпретация. С точки зрения практических применений такого модулятора большее внимание уделено макетам устройств, которые могут найти применение в системах оптической обработки информации: был изготовлен и исследован макет фазометра радиосигналов, схема совпадения видеоимпульсов.

Изготовлен и исследован электрооптический модулятор на основе связанных полос-ковых оптических волноводов.

Изготовлены и исследованы макеты призменных электрооптических дефлекторов для применения в качестве многопозициопных переключателей в ВОСС. Теоретически и экспериментально обоснованы методики, позволяющие увеличить динамический диапазон дефлектора и оптимизировать его аберрационные характеристики. Разработаны и исследованы макеты передающих модулей для BOJIC па одномодо-вых и многомодовых волокнах.

Разработаны и исследованы интегрально-оптические элементы с периодическими структурами.

Выполнен расчет и экспериментальное исследование дифракции каналируемого излучения на периодических структурах, сформированных в различных средах. Разработана и реализована методика формирования голографическим способом дифракционных структур и разработана методика динамического контроля их параметров в процессе экспонирования и проявления.

Изготовлены и исследованы лабораторные макеты интегрально-оптических устройств: оптической памяти, разуплотнителя спектральных каналов для BOJIC; элементов ввода-вывода светового излучения в оптический волновод с аподизацией фронта световой волны; компактного дифракционного интегрально-оптического коллиматора излучения полупроводникового лазера, обеспечивающего распределения интенсивности света по апертуре сколимированного пучка близкие к гауссов-скому, равномерному и экспоненциальному.

Разработаны физические модели процессов, проведены расчеты, предложены и реализованы методики формирования оптических волноводов, отвечающих требованиям интегральной оптики. При этом:

Разработаны новые простые и экономичные методики формирования планарных и полосковых волноводов, образованных диффузией ионов из расплава нитрата калия, из расплавов смесей различных нитратов и диффузией ионов из расплава нитрата калия с последующим отжигом в стекле К8.

Модифицированы и упрощены методы формирования оптических волноводов в пио-бате лития за счет обратной диффузии окиси лития и прямой диффузии из пленки металлического титана в потоке атмосферного воздуха (защищено авторским свидетельством). Исследованы профили распределения титана в планарных диффузионных волноводах, сформированных в Y— и Z-срезах ниобата лития и определены коэффициенты диффузии в этих направлениях. Измерены коэффициенты боковой диффузии титана в подложках из ниобата лития Y- и Z-срезов. Исследованы методики формирования буферных (подэлектродпых) диэлектрических слоев.

Научная значимость диссертационной работы определяется тем, что в рамках проведенного цикла теоретических и экспериментальных исследований и разработок заложены и развиты основы нового научного направления - методов создания оптоэлек-тронных устройств интегральной оптики. На основе единых методов формирования, диагностики и расчета волноводпых структур разработаны новые типы оптоэлектроппых процессоров и функциональных устройств для аналоговой обработки сигналов и управления параметрами светового излучения в ВОСС. Выявленные особенности создания функциональных устройств и процессоров носят общий характер и могут быть применены при создании разнообразных устройств интегральной оптики. Полученные в работе результаты будут стимулировать дальнейшее развитие методов и средств оптоэлек-тронных информационных технологий.

Практическая ценность диссертационной работы состоит в том, что ее результаты могут быть непосредственно использованы при разработке интегрально-оптических функциональных устройств для систем оптической обработки информации, волоконно-оптических систем связи и подсистем контроля параметров ВОСС, а также волоконно-оптических датчиков различной конфигурации (локальных или распределенных) и назначения.

Значительная часть результатов, полученных в диссертационной работе, непосредственно использована при выполнении 10 научно-исследовательских работ, проводившихся на кафедре квантовой электроники СПбГПУ совместно с учреждениями РАН (АН СССР) - ФТИ им. А.Ф. Иоффе, ряда отраслевых институтов и предприятий: п/я А3390 (г. Москва), в/ч 33872 (г. Воронеж), п/я Г-4173 (г. Ленинград), п/я Г-4816 (г. Ленинград), п/я Г-7438 (г. Ленинград) и некоторых других. Автор являлся научным руководителем этих работ.

Публикации. Полный список печатных работ автора 137 наименований. Материалы диссертационной работы опубликованы в 86 печатных трудах, в том числе 5 авторских свидетельствах на изобретение.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались на научных семинарах СПбГПУ, НПО «Оптика» (г.Москва), в/ч 33872 (г.Воронеж), п/я А3390 (г.Москва), а также докладывались па следующих конференциях:

- III Всесоюзной школе по оптической обработке информации. Рига. - 1980.

- Международной школе по когерентной оптике и голографии. Прага. - 1980.

- 1 -ой Всесоюзной конференции по радиооптике. Фрунзе. - 1981.

- Ill, IV, V, VI региональных семинарах «Оптические и оптоэлектронные устройства обработки информации и управление технологическими процессами». Краснодар. -1981,1982, 1983, 1984.

- Всесоюзной конференции по прикладной физике. Использование современных физических методов в перазрушающих исследованиях и контроле. Хабаровск. - 1981.

- III Всесоюзной конференции «Оптика лазеров». Ленинград. - 1982.

- Всесоюзной конференции по голографии и оптической обработке информации. Ереван.-1982.

- IX школе-семинаре «ПАВ в твердых телах». Новосибирск. - 1982.

- Всесоюзном научно-техническом совещании «Измерительные устройства на диэлектрических волноводах оптического диапазона». Могилев. - 1983.

- XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике. Саратов. - 1983.

- IV Всесоюзной конференции «Оптика лазеров». Ленинград. - 1984.

- Республиканском совещании «Функциональные оптико-электронные элементы и устройства для аппаратуры средств связи». Минск. - 1984.

- V Всесоюзной школе по оптической обработке информации. Киев. - 1984.

- XVII Всесоюзной конференции «Радиоастрономическая аппаратура». Ереван. - 1985.

- VI Всесоюзной школе-семинаре по оптической обработке сигналов. Фрунзе. - 1986.

- V Всесоюзной конференции «Оптика лазеров». Ленинград. - 1987.

- 1-ой Всесоюзной конференции по оптической обработке информации. Ленинград. -1988.

- Всесоюзной НТК «Проектирование радиоэлектронных устройств па диэлектрических волноводах и резонаторах». Тбилиси. - 1988.

- НТК «Акустооптика в физике и технике». Ленинград. - 1989.

- School-Seminar «Acoustooptics Researches and Developments». Leningrad. - 1990.

- First International Fiber Optical Conference. Leningrad. - 1991.

- VIII региональном семинаре-совещании «Оптические и оптоэлектронные методы обработки информации и управление техническими объектами». Краснодар. - 1990.

- IV Всероссийской научно-методической конференции «Фундаментальные исследования в технических университетах». Санкт-Петербург. - 2000.

- 12-й межвузовской НТК «Военная радиоэлектроника: опыт использования и проблемы подготовки специалистов». Петродворец. -2001.

- Конференции «Лазеры, измерения, информация». Санкт-Петербург. - 2001.

Структура диссертации. Диссертационная работа состоит из введения, четырех

Похожие диссертационные работы по специальности «Радиофизика», 01.04.03 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Радиофизика», Аксенов, Евгений Тимофеевич

ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ

В результате проведенных исследований по формированию оптических волноводов в ниобате лития и стекле:

1. Разработаны новые простые и дающие лучшие результаты по сравнению с известными на момент выполнения работы, способы формирования планарных и полоско-вых оптических волноводов в стекле. Исследованы характеристики волноводов, образованных диффузией ионов из расплава нитрата калия, из расплавов смесей различных нитратов и диффузией ионов из расплава нитрата калия с последующим отжигом.

2. Модифицированы и упрощены методы формирования оптических волноводов в ниобате лития за счет реализации обратной диффузии окиси лития и прямой диффузии из пленки металлического титана в потоке атмосферного воздуха. Проведено исследование изготовленных такими методами оптических волноводов.

3. Методами вторичной масс-спектроскопии исследованы профили распределения титана в планарных диффузионных волноводах, сформированных в Y— и Z-срезах ниобата лития. Из профилей распределения титана определены коэффициенты диффузии в этих направлениях ниобата лития.

4. Показана возможность применения дифракционной методики определения глубины диффузии примесей, изменяющих показатель преломления, и коэффициента боковой диффузии в канальных волноводах. Измерены коэффициенты боковой диффузии титана в подложках из ниобата лития Y- и Z-срезов и калия в подложках из стекла К8.

5. Исследованы различные методы подавления образования нежелательных волноводов за счет обратной диффузии L12O. Показано, что проведение диффузии титана в среде увлажненного аргона или атмосферного воздуха является эффективным методом подавления таких волноводов.

6. Исследованы методики формирования буферных диэлектрических слоев. Показано, что наилучшие результаты дает применение пленки двуокиси кремния, наносимой методом плазмохимического осаждения. Предложена методика дополнительной обработки пленки за счет отжига в потоке воздуха, устраняющая шунтирующее действие подслоя на низких частотах управляющего сигнала.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Приведенные в диссертационной работе материалы являются обобщением результатов, полученных автором и под руководством автора в процессе разработки методов создания и исследования интегрально-оптических процессоров радиосигналов и функциональных устройств управления параметрами каналируемого света для систем оптической обработки, хранения и передачи информации.

В процессе выполнения исследований получены следующие основные результаты:

1. Разработана, обоснована и реализована концепция создания гибридного интегрального акустооптического спектроанализатора радиосигналов. Создан прототип интегрального акустооптического спектроанализатора.

2. На основе анализа характеристик функциональных элементов, входящих в структуру спектроанализатора: геодезических линз; элементов ввода-вывода светового излучения в оптический волновод; оптического волновода; широкополосных встречно-штыревых преобразователей - определены и экспериментально подтверждены методы оптимизации их характеристик. Разработаны и реализованы методы интеграции этих элементов в единое устройство - интегральный акустооптический спектроапа-лизатор с заданными характеристиками.

3. Теоретически и экспериментально обоснована возможность создания принципиально нового типа оптоэлектронного процессора, базирующегося на новом математическом методе вейвлет-апализа — оптического вейвлет-процессора, позволяющего проводить локальный спектральный анализ сложных сигналов, в том числе, определять наличие локальных неодпородностей таких сигналов. Создана и исследована лабораторная модель акустооптоэлектронного вейвлет-процессора па основе объемного акустооптического модулятора. Рассмотрен возможный метод создания интегрального акустооптоэлектронного вейвлет-процессора.

4. Проведены теоретические и экспериментальные исследования по определению и физическому обоснованию ряда новых возможностей и особенностей применения интегральных электрооптических устройств в волоконно-оптических системах связи и оптической обработки информации. Теоретически обоснованы методы создания и экспериментально исследованы лабораторные модели интегральных электрооптических: модуляторов на основе нарушенного полного внутреннего отражения, типа Маха-Цендера, на связанных полосковых волноводах; гибридного бистабильного устройства; оптического ретранслятора; призменного дефлектора с оптимизированными аберрационными характеристиками; передающих модулей для волоконно-оптических линий связи на основе одномодовых и многомодовых волокон. Разработаны и исследованы лабораторные модели интегральных электрооптических фазометра радиосигналов и схемы определения временного совпадения видеоимпульсов.

5. Выполнен комплекс теоретических и экспериментальных исследований методов создания интегрально-оптических элементов и устройств с периодическими структурами. Разработана и реализована голографическая методика формирования периодических структур в оптических волноводах различной структуры, разработана методика динамического контроля параметров таких структур в процессе формирования. Изготовлены и исследованы лабораторные макеты интегрально-оптических устройств: оптической памяти; разуплотнителя спектральных каналов для BOJIC; элементов ввода-вывода светового излучения с меняющимися по заданному закону коэффициентами связи; компактного дифракционного коллиматора оптического излучения.

6. Проведен комплекс теоретических исследований и экспериментальной проверки новых методов создания оптических волноводов в подложках из кристалла ниобата лития и стекол. Разработаны новые простые и экономичные методики формирования планарных и полосковых волноводов. В стеклах (в основном стекле марки К8) путем диффузии ионов из расплава нитрата калия, из расплава смесей различных нитратов и диффузией ионов из расплава нитрата калия с последующим отжигом. Модифицированы и упрощены методы формирования оптических волноводов в ниобате лития за счет обратной диффузии окиси лития и прямой диффузии из пленки металлического титана в потоке атмосферного воздуха. Исследованы профили распределения титана в планарных диффузионных волноводах и определены коэффициенты диффузии. Измерены коэффициенты боковой диффузии титана в ниобате лития. Разработаны и исследованы методики формирования буферных диэлектрических слоев.

Полученные в диссертационной работе результаты могут быть использованы при разработке широкого класса интегрально-оптических устройств для применения в системах оптической передачи, обработки и хранения информации, в динамических голо-графических системах, для развития методов создания оптических бистабильных устройств и др. Некоторые результаты работы использованы в поисковых разработках в ряде организаций.

Заканчивая эту работу, хочу поблагодарить профессора Петрунькина В.Ю. за многолетнее сотрудничество, особо благодарю профессора Водоватова И.А. за постоянный конструктивный интерес к этой работе и помощь в решении различных проблем, возникавших в ходе ее выполнения. Благодарю всех сотрудников, особо руководство кафедры квантовой электроники за доброжелательное отношение и помощь в работе. Искренне благодарен друзьям-коллегам Липовскому А.А., Павленко А.В., Кухареву А.В., Липов-ской М.Ю., Старикову Г.А. за неоценимую помощь, оказанную в ходе выполнения работы.

Список литературы диссертационного исследования доктор физико-математических наук Аксенов, Евгений Тимофеевич, 2005 год

1. А.с. №1415938 от 08.04.1988 с приоритетом от 28.06.1985 «Интегрально-оптический анализатор спектра радиосигналов». Волков В.А., Аксенов Е.Т., Вы-релкин В.П. и др.

2. Аксенов Е.Т., Есепкина Н.А., Липовекий А.А., Павленко А.В. Исследование геодезических линз, сформированных в диффузионных оптических волноводах. Письма в ЖТФ, 1979, т. 5, вып. 20, с. 1265-1267.

3. Аксенов Е.Т., Есепкина Н.А., Липовекий А.А. и др. Исследование аберраций интегральных геодезических линз. Тезисы докладов III Всесоюзной школы по оптической обработке информации, Рига, 1980 г., стр. 311-312.

4. Липовекий А.А. Исследование элементов интегральных акустооптических устройств обработки информации.: Дисс. канд. техн. наук. Л, 1981. - 241 с.

5. Янг Э.Х., Яо Ш. Расчет акустооптических устройств. ТИИЭР, 1981, т. 69, № 1, стр. 62-74.

6. Aksyonov Е.Т., Kukharev A.V., Lipovskii А.А. "Integrated acousto-optic spectrum analyzer" School-Seminar Acoustooptics: Researches and Developments. Abstracts. -Leningrad, 1990. Pp. 18-19.

7. Аксенов E.T., Есепкина H.A., Липовекий А.А. и др. Исследование макета интегрального спектроанализатора, Письма в ЖТФ, 1980, т. 6, вып. 19, с. 1211-1214.

8. Аксенов Е.Т., Кухарев А.В., Липовекий А.А., Павленко А.В. Акустооптический конвольвер на основе интегрально-оптических элементов, Письма в ЖТФ, 1981, т. 7, вып. 19, с. 1200-1203.

9. Кухарев А.В. Интегральные акустооптические спектроапализаторы.: Дисс. канд. техн. наук. Л, 1986. - 180 с.

10. Отчет о НИР №907701, Л, ЛПИ им. Калинина, 1988,77 с.

11. Щербак В.И., Водянин И.И. Приемные устройства радиоэлектронной борьбы, Зарубежная радиоэлектроника, 1987, № 5, стр. 50-60.

12. А.с. №155181 приоритет от 31.03.1980 Акиньшина Г.Н., Белошицкий А.П., Катков Б.Г., Аксенов Е.Т.

13. А.с. №221196 приоритет от 02.01.1984 Аксенов Е.Т., Белошицкий А.П., Катков Б.Г., Синегубов Н.Н.

14. А.с. положительное решение Р-6064 от 24.03.89 по заявке №3197349/40-22 приоритет от 12.04.88 г. Катков Б.Г., Синегубов Н.Н., Аксенов Е.Т., Кухарев А.В.

15. Стариков Г.А., Аксенов Е.Т. «Вейвлет-преобразование в системах оптической обработки информации», XXIX неделя науки СПбГТУ: материалы межвузовской научной конференции, часть VI, С-Пб., изд. СПбГТУ, 2000 г., стр. 37-38.

16. Петруиькин В.Ю., Аксенов Е.Т., Стариков Г.А. «Возможности и перспективы применения вейвлет-преобразования в оптических процессорах» в тезисах докладов конференции «Лазеры, измерения, информация», С-Пб.: изд. БГТУ, 2001, с. 53-54.

17. Petrunkin V. Yu., Aksyonov Е.Т., George A. Starikov, "Wavelet Transform in Optical Processors: Potentials and Perspectives", Proc. of the SPIE vol. 4680.

18. В.Ю. Петруиькин, Е.Т. Аксенов, Г.А. Стариков. «Оптический вейвлет-процессор для обработки сложных сигналов», Письма в ЖТФ, 2001, т. 27, вып. 22, с. 24-29.

19. Стариков Г.А. Исследование оптического вейвлет-процессора.: Дисс. канд. физмат. наук. С-Пб, 2002. - 147 с.

20. Астафьева Н.М. Вейвлет-анализ: основы теории и примеры применения. УФН 1996, т. 166, № 11, с. 1145-1170.

21. DeCusatis С., Коау J., Litynsky D.M., Das P., "The Wavelet Transform: Fundamentals, Applications, & Implementation using Acousto-optic Correlators" Proc. SPIE Vol. 2643. pp. 17-37.

22. Yunlong Sheng, Danny Roberge, Harold H. Szu "Optical Wavelet Transform" Optical Engineering 1992. Vol. 31 (9). P. 1840-1845.

23. Yao Li, Harold H. Szu, Yunlong Sheng, John Caulfield "Wavelet Processing and Optics" Proceedings of the IEEE, Vol. 84(5), pp. 720-732 (May 1996).

24. IEEE Transaction on Information Theory /Special Issue on Wavelet Transform/ Vol. 38(2) (March 1992).

25. Hamilton M.C., Wille D.A., Micely W.J. An integrated optical RF analyzer. Opt. Eng., 1977, v. 16, No 5, pp. 475-478.

26. Anderson D.B., Boyd J.T., Hamilton M.C. An integrated optical approach to Fourier transform. IEEE J. Of Quantum Electron., 1977, v. QE-13, No 4, pp. 268-275.

27. Аксенов E.T., Кухарев А.В., Липовский A.A., Павленко А.В. Интегральный акусто-оптический спектроанализатор. Тезисы докладов XII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике, Саратов, 1983, т. 1, стр. 351-352.

28. Hamilton M.C. Acoustooptic spectrum analysis for electronic warfare applications. -Ultrason. Symp. Proc., Chicago, 1981, v. 4, pp. 714-720.

29. Barnosky M.K., Chen B.U., Joseph T.R. Integrated optic spectrum analyzer. IEEE Trans, on circuits and systems, 1979, CAS-26, No 12, pp. 1113-1124.

30. Mergerian D., Malarkey E.C. Integrated-optic spectrum analyzer: current status. Technical Digest, 3-rd Intern. Conf. on integrated optic and optical fiber communication, San Francisco, 1981, WH2-1.

31. Ranganath T.R. Integrated optic spectrum analyser, a first demonstration. Technical Digest, 3-rd Intern. Conf. on integrated optic and optical fiber communication, San Francisco, 1981, WH3.

32. Хансперджер P. Интегральная оптика: теория и технология. Пер. с. англ. М: Мир, 1985.-384 с.

33. Walker R.G., Goodfellow R.C. Attenuation measurements on MOCVD Grown GaAs/GaAlAs optical waveguides. Electron Lett., 1983, v. 19, pp. 590-595.

34. Поверхностные акустические волны. /Под ред. А. Олинера. М: Мир, 1981. - 390 с.

35. Акустические кристаллы. Справочник /Под ред. М.П. Шаскольской. М: Наука, 1982.-632 с.

36. Burns W.K., Klein Р.Е., West R.J., Plew L.E. Diffusion in Ti:LiNb03 planar and channel optical waveguides. J. Appl. Phys., 1979, v. 50, No 10, pp. 6175-6182.

37. Mueller C.T., Garmire E. Photorefractive effect in lithium niobate directional couplers. -Proc. of SPIE, 1984, v. 460, pp. 109-112.

38. Аникин В.И., Шокол C.B. Фокусирующие элементы интегральной оптики. Зарубежная радиоэлектроника, 1984, № 5, стр. 67-77.

39. Hatacoshi С., Inoue Н., Naito К. Optical waveguide lenses. Optica Acta, 1979, v. 26, No 8, pp. 961-968.

40. Борн M., Вольф Ф.Э. Основы оптики. M: Наука, 1973. - 720 с.

41. Mergerian D., Malarkey Е.С., Pautienus R.P. Hihg dynamic range integrated optical RF spectrum analyzer. Technical Digest, 4-th Intern. Conf. on integrated optical fiber communication, Tokyo, 1983, pp. 256-257.

42. A.c. № 1102289 от 07.03.1984 г. Способ изготовления интегральных световодов. Аксенов Е.Т., Кухарев А.В., Липовский А.А., Павленко А.В.

43. Аксенов Е.Т., Козлов К.В., Кухарев А.В., Липовский А.А., Павленко А.В. Исследование интегральной акустооптической ячейки с тонкопленочной призмой для ПАВ. — Микроэлектроника, 1982, т. 11, вып. 2, стр. 177-179.

44. Betts G.E., Bradley J.C., Marx G.E. Axially symmetric geodesic lenses. Appl. Opt., 1978, v. 17, No 15, pp. 2346-2351.

45. Chen В., Ramer O.G. Diffraction-limited geodesic lens for integrated-optic circuit. -IEEE J. of Quant. Electron., 1979, QE-15, No 9, pp. 853-860.

46. Sottini S., Russo V., Righini G.C. Geodesic optics: new components. J. of Opt. Soc. Amer., 1980, v. 70, No 10, pp. 1233-1234.

47. Kassai D., Chen В., Marom E., Ramer O.G. Aberration corrected geodesic lens for integrated optics circuits. Topical Meeting on Integr. and guided wave optics, Salt Lake City, 1978, MA2-1.

48. Toraldo di Francia G. Un problema sullegeodetiche delle superfici di rotazione che si presenta nella technica delle microonde. — Atti Fondas, Ronchi, 1957, No 12, pp. 151172.

49. Sottini S., Russo V., Righini G.C. General solution of the problem of perfect geodesic lenses for integrated optics. J. of Opt. Soc. Amer., 1979, v. 69, pp. 1248-1254.

50. Chen B.U., Marom E., Lee A. Geodesic lenses in single-mode LiNbCb waveguides. — Appl. Phys. Lett., 1977, v. 31, No 4, pp. 263-265.

51. Doughty G.F., De la Rue R.M., Singh J., Smith J.F. Fabrication techniques for geodesic lenses in lithium niobate. — IEEE Trans, on components, hybrids and manufacturing technology, 1982, v.CHMT-5, No 2, pp. 205-209.

52. Аксенов E.T., Козлов K.B., Кухарев А.В., Лнповский А.А., Павленко А.В. Исследование оптических волноводов, формируемых в стеклах диффузией из расплавов нитратов. -ЖТФ, 1982, т. 52, вып. 12 стр. 2389-2393.

53. Фильтры на поверхностных акустических волнах (расчет, техническое применение): Пер. с англ. /Под ред. Т. Мэттьюза. М: Радио и связь, 1981.-472 с.

54. Stewart С., Stewart W., Scrivener G. 500-MHz bandwidth guided wave L-band Bragg cell. Electron. Lett., 1981, v. 17, No 25, pp. 971-973.

55. Колосовский E.A., Петров Д.В., Царев А.В. Частотная зависимость эффективности акустооптического взаимодействия ТЕ-мод в диффузионном оптическом волноводе. Квантовая электроника, 1979, т. 6, № 9, стр. 1896-1902.

56. Цзай Ц.С., Альхайдер М.А., Нгуен Л.Т. Широкополосная оптическая брегговская дифракция канализированных волн и устройства на скрещивающихся поверхностных акустических пучках. ТИИЭР, 1976, т. 64, № 5, стр. 295-307.

57. Tsai C.S. Guided-wave acoustooptic Bragg modulators for wideband integrated optic communications and signal processing. IEEE Trans, on circuits and systems, 1979, v. 26,No 12, pp. 1072-1096.

58. Lee C.C., Liao K.Y., Chang C.L., Tsai C.S. Wideband guided-wave acoustooptic Bragg deflector using a tilted-finger chirp transducer. — IEEE J. of Quant. Electron., 1979, v. QE-15,No 10, pp. 1166-1170.

59. Hansperger R.G., Yariv A., Lee A. Parallel end-butt coupling for optical integrated circuits. -Appl. Opt., 1977, v. 17, No 4, pp. 1026-1032.

60. Hammer J.M.,Botez D., Neil C.C. High-efficiency high power butt coupling of single mode diode lasers to indiffused LiNb03 optical waveguides. Appl. Phys. Lett., 1981, v. 39, No 12, pp. 943-945.

61. Аксенов E.T., Кухарев A.B., Липовский A.A., Павленко А.В., Петрунькин В.Ю. К вопросу о торцевом возбуждении оптических волноводов. ЖТФ, 1983, т. 53, вып. 7, стр. 1343-1347.

62. Вайнштейн Л.А. Электромагнитные волны. — М: Сов. Радио, 1957. 581 с.

63. Петрунькин В.Ю., Есепкина Н.А. Расчет антенн с плоским отражателем. Радиотехника и электроника, 1965, т. 10, стр. 2236-2240.

64. Hall D.G., Spear-Zino H.G., Koenig H.G. Edge coupling of a GaAlAs DH laser diod to a planar Ti:LiNb03 waveguide. Appl. Opt., 1980, v. 19, No 11, pp. 1847-1852.

65. Mueller C.T., Sullivan C.T., Chang W.S.C. An analysis of the coupling of an injection laser diode to a planar LiNb03 waveguide. IEEE J. of Quant. Electron., 1980, v. QE-16, No 3, pp. 363-372.

66. Hammer J.M., Neil C.C. Observations and theory of high -power butt coupling to LiNb03-type waveguides. IEEE Trans, on MTT v. MTT-30, No 10, pp. 1739-1746.

67. Аксенов E.T., Кухарев A.B., Липовский A.A., Павленко А.В., Петрунькин В.Ю. Исследование возможности стыковки полупроводникового лазера с планарным оптическим волноводом. Письма в ЖТФ, 1982, т. 8, вып. 13, стр. 828-831.

68. Кухарев А.В., Липовский А.А., Аксенов Е.Т., Павленко А.В. Исследование инте-гральнооптических элементов связи на основе двумерного градиента показателя преломления. Оптика и спектроскопия, 1985, т. 59, вып. 6, стр. 1281-1285.

69. Burns W.K., Milton А.Р., Lee А.В. Optical waveguide parabolic coupling horns. Appl. Phys. Lett., 1977, v. 30, No 1, pp. 28-30.

70. Аксенов E.T., Кухарев A.B., Липовский A.A., Павленко А.В., Петрунькин В.Ю. Интегральный акустооптический спектроанализатор. Тезисы докладов XVII Всесоюзной конференции «Радиоастрономическая аппаратура», Ереван, 1985, стр. 79.

71. Аксенов Е.Т., Кухарев А.В., Липовский А.А., Павленко А.В. Исследование вывода излучения из «скошенного» края диффузионного световода. — Письма в ЖТФ, 1984, т. 10, вып. 8, стр. 508-510.

72. Boyd J.T., Anderson D.B. Effect of waveguide optical scattering on the integrated optical spectrum analyzer dynamic range. IEEE J. of Quant. Electron., 1978, v. QE-14, No 6, pp. 437-443.

73. Lee С.С., Tsai C.S. An acoustooptic readout scheme for integrated optic RF spectrum analyzer. -Ultrason. Symp. Proc., Cherry Hill, 1978, pp. 79-81.

74. Аксенов E.T., Грушев И.Б., Кухарев A.B., Петрунькин В.Ю. Интегральный акустооптический процессор с высокой скоростью вывода данных. Акустооптические устройства и их применение //Под ред. Ю.В. Егорова, С.В. Кулакова. Орджоникидзе, 1999, стр. 10-14.

75. Золотое Е.М., Пелехатый В.М., Прохоров A.M. Излучение из сужающегося края оптического волновода. Квантовая электроника, 1976, т. 3, № 7, стр. 1478-1482.

76. А.с. положительное решение №4021659 от 11.02.86 г. Акустооптический спектроа-нализатор. Болашенков А.И., Бухарин Н.А., Водоватор И.А. и др.

77. Кораблев Е.М. и др. Письма в ЖТФ, 1981, т. 7, № 23, стр. 1440-1444.

78. Родес У.Т. ТИИЭР, 1981, т. 69, № 1, стр. 74-91.

79. Liao K.Y., Lee С.С., Tsai C.S. Integrated and Guided Wave Optics. 1982, Jan. 6-8, Pacific Groove, CA.

80. Борсак Д.М. ТИИЭР, 1981, т. 69, № 1,стр. 117-137.

81. Папулис А. Теория систем и преобразований в оптике. М.: Мир, 1971. - 496 с.

82. Victor С. Chen, "Radar ambiguity function, time-varying matched filter, and optimum wavelet correlator", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 337-345,1994.

83. Mohan Sanghadasa, Peter. S. Erbach, C.C. Sung and Don A. Gregory, "Application of Wavelet Transform to Synthetic Aperture Radar and its Optical Implementation", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 346-355, 1994.

84. Steven E. Noel, Harold H. Szu, and Yogesh J. Gohel, "Doppler frequency estimation with wavelets and neural networks", Proc. of the SPIE, vol. 3391, pp. 581-589, 1998.

85. Michael Medley, Gary Saulnier and P. Das, "Applications of the wavelet transform in spread spectrum communication systems", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 54-68, 1994.

86. Shubha Kadambe, Pramila Srinivasan, "Text Independent Speaker Identification Based on Adaptive Wavelets", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 669-677, 1994.

87. Beng T. Tan et al, "Applying wavelet analysis to speech segmentation and classification", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 750-761,1994.

88. Chang-Gyoon Lim and Jatinder S. Bedi, "Evolutionary programming for adaptive wavelets applied to speaker verification", Proc. of the SPIE, vol. 3078, pp. 581-589, 1997.

89. B.L. Shoop, A.H. Sayles, G.P. Dudevoir, D.A. Hall, D.M. Litynski, and P.K. Das, "Smart pixel-based wavelet transformation for wideband radar and sonar signal processing", Proc. of the SPIE, vol. 3078, pp. 415-423,1997.

90. W.B. Dress and S.W. Kercel, "Wavelet-based acoustic recognition of aircraft", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 778-791, 1994.

91. A.H. Tewfik and S. Hosur, "Recent progress in the application of wavelets in surveillance systems", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 302-313, 1994.

92. T.C. Pooh and K.C. Ho, "Real-time optical implementation of Difference-of-Gaussians Wavelets", Proc. of the SPIE, vol. 2242, pp. 592-603, 1994.

93. Katsuhisa Hirokawa, Kazuoshi Itoh, and Yoshiki Ichioka, "Optical wavelet processor by holographic bipolar encoding and joint-transform correlator" Applied Optics 1997. Vol. 36. No. 5. pp. 1023-1026.

94. Boon Yi Soon, Mohammad S. Alam, and Mohammad A. Karim, "Improved feature extraction by use of a joint wavelet transform correlator" Applied Optics 1998. Vol. 37. No. 5. pp. 821-827.

95. Wang R.L., Hua T.J., Wang J., Fan Y.J., "Combination of FT and WT for fingerprint recognition" Proc. of the SPIE Vol. 2242. pp. 260-270, 1994.

96. Peter G. Block, Steven K. Rogers, and Dennis W. Ruck, "Optical wavelet transform from computer-generated holography", Applied Optics, vol. 33(23), pp. 5275-5278, Aug. 10, 1994.

97. P. Das, C. DeCusatis, B. Shoop, D.M. Litynsky, "Acousto-Photorefractive Holographic Interferometric Correlator for Progressive Pattern Recognition using Wavelet Transform" Proc. of the SPIE Vol. 3470. pp. 214-225, 1998.

98. Розов C.B. Быстродействующие акустооптоэлектронные анализаторы спектра.: Дисс. канд. техн. наук. С-Пб.: изд. СПбГТУ, 2000.

99. Лавров А.П. Оптоэлектроиные процессоры радиосигналов с использованием сканирующих ПЗС-фотоприемников.: Дисс. докт. физ.-мат. наук. С-Пб.: изд. СПбГТУ, 1999.

100. Дианов Е.М. На пороге тера эры. - Квантовая электроника, 2000, т. 30, № 8, стр. 659-663.

101. Павленко А.В. Исследование интегральных электрооптических устройств для ВОЛС и систем оптической обработки информации.: Дисс. канд. физ.-мат. наук. -Л, 1984.-265 с.

102. А.с. №243445 Аксенов Е.Т., Павленко А.В., Смирнов Л.И.

103. Aksyonov E.T., Pavlenko A.V., Marachonov V.M. et al. Fiber Optic Communication Line Based on AlGaAs/GaAs Optoelectronic Integrated Circuits. First Soviet International Fiber Optic Conference, Leningrad, 1984, pp. 71-73.

104. Аксенов E.T., Павленко A.B. Быстродействующая оптико-волоконная линия связи на основе AlGaAs/GaAs. Оптические и оптоэлектронные методы обработки информации и управления техническими объектами //VIII региональный семинар-совещание-Краснодар, 1990.

105. Аксенов Е.Т., Закгейм А.Л., Павленко А.В. и др. Волоконный канал связи для локальных сетей. Оптические и оптоэлектронные методы и устройства обработки информации /ГУШ. региональный семинар-совещание - Краснодар, 1990, стр. 51.

106. S. Tarucha, М. Minakata, J. Noda. IEEE J. of Quant. Electron., 1981, QE-17, p. 321.

107. Аксенов E.T., Кухарев А.В., Липовский А.А., Павленко A.B. Интегральный электрооптический модулятор-переключатель на основе индуцированного диэлектрического канала. Письма в ЖТФ, т. 8, № 10, стр. 536-539.

108. Золотов Е.М., Казанский П.Г., Черных Б.А. Тонкопленочпый электрооптический модулятор на принципе полного внутреннего отражения. — Письма в ЖТФ, 1982, т. 8, вып. 23, стр. 1413-1416.

109. Sheem S.K. Total internal reflection integrated-optics switch: a theoretical evaluation. -Applied Optics, 1978, v. 17, No 22, pp. 3679-3687.

110. Sheem S.K., Tsai C.S. Light beam switching and modulation using a built-in dielectric channel in LiNb03 planar waveguide. Applied Optics, 1978, v. 17, No 6, pp. 892-894.

111. Василенко П.Г., Дубровская И.М., Лазарев И.В. и др. Переключение света на электрооптическом зеркале в пересекающихся канальных волноводах. — Письма в ЖТФ, 1983, т. 9, № 12, стр. 726-730.

112. Becker R.A., Chang W.S.C. Electrooptical switching in thin film waveguides for computer communication bus. Applied Optics, 1979, v. 1, No 19, pp. 3296-3300.

113. Naitoh H., Noda S., Muto K. et al. Mirror-type optical switch array. Applied Optics, 1978, v. 17, No 24, pp. 3975-3978.

114. Naitoh H., Muto K. Nakayama T. Mirror-type optical branch and switch. Applied Optics, 1978, v. 17, No 1, pp. 101-104.

115. Savatinova I., Tonchev S. Electrooptic waveguide switch using total internal reflection. -Applied Physics, 1983, v. 31, No 4, pp. 187-190.

116. Ландау Л.Д., Лифшиц E.M. Теоретическая физика, т. 3. М: Наука, 1974. - 752 с.

117. Аксенов Е.Т., Кухарев А.В., Липовский А.А., Павленко А.В. Гибридное оптическое бистабильное устройство на основе интегрального модулятора с индуцированным диэлектрическим каналом. ЖТФ, 1983, т. 53, № 2, стр. 301-305.

118. Божевольный С.И., Золотов Е.М., Прохоров A.M., Щербаков Б.А. Исследование интерферометрического модулятора на основе канальных волноводов в LiNbC>3. -Квантовая электроника, 1981, т. 8, № 8, стр. 1746-1753.

119. Heibei J., Voges Е. Strip waveguides in LiNbC>3 fabricated by combined metal diffusion and ion implantation. IEEE, 1982, v. QE-18, No 5, pp. 820-825.

120. Ranganath T.R., Wang S. Ti-diffused LiNb03 branched waveguide modulators: performance and design. IEEE, 1977, v. QE-13, No 4, pp. 290-295.

121. Webster J.C. Push-pull thin-film optical modulator. Appl. Phys. Lett., 1975, v. 26, No 8, pp. 465-467.

122. Webster J.C., Zernice F.A. A sputtered optical waveguide amplitude modulator on LiNb03 substrate. Ferroelectrics, 1976, v. 10, pp. 249-251.

123. Ramaswamy V., Divino M.D., Standley R.D. Balanced bridge modulator switch using Ti-diffused LiNbC>3 strip waveguides. Appl. Phys. Lett., 1978, v. 32, No 10, pp. 644646.

124. Rediker R.H., Leonberger F.J. Analysis of integrated optics near 3 dB coupler and Mach-Zender interferometric modulator using four-port scattering matrix. IEEE, 1982, v. QE-18,No 10, pp. 1813-1816.

125. Аксенов E.T., Кухарев A.B., Липовский A.A., Павленко А.В. Исследование макета интегрального электрооптического фазометра. — Тезисы докладов IV Всесоюзной конференции «Оптика лазеров», Л, 1984, с. 214.

126. Войтенко И.Г., Редько В.П. Логическая схема сравнения на основе интегрально-оптического интерферометра. ЖТФ, 1982, т. 52, № 4, стр. 775-777.

127. Божевольный С.И., Бурицкий К.С., Золотов Е.М. и др. Исследование электрооптического модулятора на связанных канальных диффузных волноводах. Квантовая электроника, 1982, т. 9, № 9, стр. 1809-1816.

128. Somekh S., Garmie Е., Yariv A. et al. Channel optical waveguide directional coupler. -Appl. Phys. Lett., 1973, v. 22, No 2, pp. 46-47.

129. Langmann U., Hoffman D. Fonctionent a 200 ps d'un interrupteur optique integre par de Ap. Conf. Eur. Commun. Opt., Cannes, 1982, pp. 234-237.

130. Alferness R.C. Optical directional couplers with weighted coupling. Appl. Opt., 1979, v. 35, No 3, pp. 260-262.

131. Alferness R.C. Polarization-independent optical directional coupler switch using weighted coupling. Appl. Phys. Lett., 1978, v. 35, No 10, pp. 748-750.

132. Ramer O.G. Characteristics of a polarization independent switch using a Gaussian taper function. Top. Meet. Integrated and Guided Wave Optics, Pacific Groove, 1982, pp. ThD3/l-ThD3/4.

133. Ramer O.G., Mohr C., Pikulski J. Polarization-independent optical switch with multiple sections of Др-reversal and Gaussian taper function. IEEE, 1982, v. QE-18, No 10, pp. 1772-1778.

134. Kondo M., Ohta Y., Fujiwara M. Integrated optical switch matrix for single-mode fiber networks. IEEE, 1982, v. QE-18, No 10, pp. 1759-1765.

135. Burns. W.K., Milton A.F. Mode conversion in planar dielectric separating waveguides. -IEEE, 1975, v. QE-11, No l,pp. 32-39.

136. Alferness R.C., Schmidt R.V., Turner E.H. Characteristics of Ti-diffused lithium niobate optical directional couplers. Appl. Opt., 1979, v. 18, No 23, pp. 4012-4016.

137. Kaminov I.P., Stuls L.W. A planar optoelectronic prism switch. IEEE, 1975, v. QE-11, No 3, pp. 633-635.

138. Tsai C.S., Saunier P. Ultrafast dioded-light beam deflection/switching and modulation using electrooptic prism structure in LiNb03 waveguides. Appl. Phys. Lett., 1975, v. 27, No 4, pp. 248-250.

139. Ninomiya Y. Ultrahign resolving electrooptic prism array light deflector. IEEE, 1973, v. QE-19, No 8, pp. 791-795.

140. Божевольный С.И., Золотов E.M., Прохоров A.M. Исследование тонкопленочных электрооптических дефлекторов призменного типа. Квантовая электроника, 1980, т. 7, №8, стр. 1778-1784.

141. Bulmer С.Н., Burns W.K., Giallerensi Т.С. Performance criteria and limitation of electrooptic waveguide array deflectors. Appl. Opt., 1979, v. 18, No 19, pp. 3282-3285.

142. Аксенов E.T., Липовский А.А., Павленко А.В. К вопросу об оптимизации параметров интегральных акустооптических дефлекторов. Тезисы докладов III Всесоюзной конференции «Оптика лазеров», Л., 1981, стр. 305-306.

143. Аксенов Е.Т., Липовский А.А., Павленко А.В. К вопросу об оптимизации параметров интегральных электрооптических дефлекторов. Известия АН СССР, серия физическая, 1982, т. 46, № 10, стр. 2041-2044.

144. Аксенов Е.Т., Липовский А.А., Павленко А.В. Исследование аберрационных характеристик интегральных электрооптических дефлекторов. Известия ВУЗов, сер. «Электромеханика», 1982, № 2, стр. 252.

145. Оптическая связь /Пер. с японского под ред. И.И. Теушина. М.: Радио и связь, 1984.-384 с.

146. Суэмацу Я. Волоконно-оптическая связь в длинноволновом диапазоне. ТИИЭР, 1983, т. 71, №6, стр. 5-39.

147. Goodfellow R.C., Carter A.D., Griffith I. et al. GalnAsP/InP fast, high radiance, 1.05-1.3 цш wavelength LED's with efficient lens coupling to small numerical aperture silica optical fibers. IEEE, 1979, v. ED-26, No 8, pp. 1215-1220.

148. Grothe H., Proebster W., Harth W. Mg-doped InGaAsP/InP LED's for high-bit-rate optical-communication system. Electronics Letters, 1979, v. 15, No 22, pp. 702-703.

149. Ikegami Т., Suematsu Y. Carrier lifetime measurement of a junction laser using direct modulation.-IEEE, 1968, v. QE-4, No 4, pp. 148-151.

150. Fukuma M., Noda J. Optical properties of titanium-diffused LiNb03 waveguides and their coupling-to-fiber characteristics. Applied Optics, 1980, v. 19, No 4, pp. 591-597.

151. Burns W.K., Hocker G.B. End fire coupling between optical fibers and diffused channel waveguides. Applied Optics, 1977, v. 16, No 8, pp. 2048-2050.

152. Золотов E.M., Казанский П.Г., Прохоров A.M. Исследование стыковки канального волновода в LiNb03 с одномодовым волокном. Квантовая электроника, 1982, т. 9, № 1, стр. 165-168.

153. Баблумян А.С., Морозов В.Н., Путилин А.Н., Шермергор Т.Д. //Труды Физического института АН СССР, 1987, т. 185, стр. 164-190.

154. Волноводная оптоэлектроника. //Под ред. Т. Тамир. М: Мир, 1991 575 с.

155. Ctiels C.R. Lightwave Applications of Fiber Bragg Gratings. Journal of Lightwave Technology, 1997, v. 15, No 8, pp. 1391-1404.

156. Аксенов E.T., Леонов В.И., Липовская М.Ю. Письма в ЖТФ, 1985, т. 11, в. 9, стр. 546-549.

157. Липовская М.Ю. Исследование интегрально-оптических элементов с периодическими структурами.: Дисс. канд. физ.-мат. наук. Л, 1985. - 273 с.

158. Аксенов Е.Т., Липовская М.Ю. Исследование процессов формирования фоторези-стивных периодических структур. Известия ВУЗов. Приборостроение, 1985, т. 28, № 9, стр. 70-74.

159. Аксенов Е.Т., Липовская М.Ю. Исследование формы гофра фоторезистивных периодических структур для приборов интегральной оптики Известия ВУЗов. Приборостроение, 1985, т. 28, № 10, стр. 73-77.

160. Аксенов Е.Т., Липовская М.Ю., Мотков В.А., Липовский А.А. Исследование макета интегрально-оптического спектрального разуплотнителя на основе диффузионных структур. Письма в ЖТФ, 1985, т. 11, в. 9, стр. 546-549.

161. Stoll Н.М. Distributed Bragg deflector: a multifunctional integrated optical device. -Appl. Opt., 1978, v. 17, No 16, pp. 2562-2569.

162. Yariv A., Nakamura M. Periodic structures in integrated optics. IEEE J. of Quant. Electron., 1977, v. QE-13, No 4, pp. 233-253.

163. Dalgoutte D.G. A high efficiency thin grating coupler for integrated optics. Opt. Comm., 1973, v. 8, No 2, pp. 124-127.

164. Ogawa K., Chang M.S.C. Analysis of holographic thin film grating coupler. Appl. Opt., 1973, v. 12, No 9, pp. 2167-2171.

165. Peuzin J.C., Challeton D., Oliver M. Single beam grating coupler with a large grating periodicity. Opt. Comm., 1977, v. 20, No 2, pp. 246-249.

166. Flanders D.C., Kogelnik H., Schmidt R.V., Shank S.V. Grating filters for thin-film optical waveguides. Appl. Phys. Lett., 1974, v. 24, No 4, pp. 194-196.

167. Kim S.H., Fonsted C.G. Tunable narrow-band thin-film grating filters. IEEE J. of Quant. Electron., 1979, v. QE-15, No 12, pp. 1405-1408.

168. R. Vmidt R.V., Flanders D.C., Shank C.V., Standley R.D. Narrow-band grating filters for thin-film optical waveguides. Appl. Phys. Lett., 1974, v. 25, No 11, pp. 651-652.

169. Введение в интегральную оптику. //Под ред М. Барноски, М: Мир, 1977. 368 с.

170. Интегральная оптика. //Под ред. Т. Тамир. М: Мир, 1978 344 с.

171. Pun E.Y.B., Ji-Yan A. Fabrication of periodic waveguides by ion-exchange. Appl. Phys. Lett., 1981, v. 38, No 9, pp. 673-674.

172. Аксенов E.T., Липовская М.Ю., Липовский А.А. О возможности создания интегрально-оптического устройства голографической памяти. Тезисы докладов IV Всесоюзной конференции «Оптика лазеров», Л, 1983, с. 232.

173. Аксенов Е.Т., Лнповская М.Ю., Петрунькнн В.Ю. Исследование фоторезистивпого интегрально-оптического устройства памяти. Тезисы докладов V Всесоюзной школы по оптической обработке информации, Киев, 1984, стр. 230-231.

174. Аксенов Е.Т., Есепкина Н.А., Липовекий А.А. Исследование планарных оптических волноводов в стекле, образованных диффузией ионов К+. Письма в ЖТФ, 1978, т. 4, вып. 2, стр. 1389-1392.

175. Андриеш A.M., Кульчин Ю.Н., Пономарь В.В., Смирнова А.С. Запись и считывание голограмм в планарном волноводе. Оптика и спектроскопия, 1983, т. 55, вып. 2, стр. 331-333.

176. Божевольный С.И., Золотов Е.М., Киселев В.А. и др. Фокусирующие дифракционные решетки для интегральной оптики. Письма в ЖТФ, 1977, т. 3, вып. 15, стр. 746-750.

177. Katzer A., Livanos А.С., Yariv A. Chirped-grating output couplers in dielectric waveguides. Appl. Phys. Lett., 1977, v. 30, No 5, pp. 225-226.

178. Miler M. Chirped grating coupler: a holographic approach/ Optical and Quantum Electronics, 1979, v. 11, No 6, pp. 359-366.

179. Tien P.K., Capik R.J. Use of concentric-arc grating as a thin-film spectrograph for guided waves. Appl. Phys. Lett., 1980, v. 37, No 6, pp. 524-526.

180. Гуляев Ю.В., Дикаев Ю.М., Копылов Ю.Л. и др. Гофрированная решетка в LiNb03 для возбуждения поверхностных воли в оптическом диффузионном волноводе. -Письма в ЖТФ, 1981, т. 7, вып. 22, стр. 1171-1174.

181. Гуляев Ю.В., Дикаев Ю.М., Копылов Ю.Л. и др. Фокусирующие гофрированные решетки для ввода-вывода излучения в диффузионных волноводах на LiNb03. -Квантовая электроника, 1983, т. 10, № 4, стр. 838-842.

182. Kurmer J.R., Tang C.L. Ion implanted grating couplers for optical waveguide. Appl. Phys. Lett., 1983, v. 42, No 2, pp. 146-148.

183. Регистрирующие среды для голографии. //Под ред. Н.И. Кириллова, Е.А. Барачев-ского, Л: Наука, 1975. 166 с.

184. Suhara Т., Nichihava Н„ Koyama J. Waveguide holograms: a new approach to hologram integration. Opt. Comm., 1976, v. 19, No 3, pp. 353-358.

185. Wuthrich A., Lukosz W. Holography with guided optical waves. Appl. Phys., 1980, v. 21, No 1, pp. 55-64.

186. Гуревич С.Б., Ильяшенко Н.Н., Коломиец Б.Г. и др. К вопросу о реверсивности халькогенидных материалов при голографической записи. ЖТФ, 1974, т. 44, вып. 1, стр.232-234.

187. Гуревич С.Б., Ильяшенко Н.Н., Коломиец Б.Г. и др. Реверсивная запись голограмм на пленках халькогенидных стекол. — ЖТФ, 1974, т. 43, вып. 1, стр. 217-219.

188. Zembutsu S., Noda J., Iwasaki H. Light deflector using a chalcogenide amorphous loaded LiNb03 waveguide. Appl. Opt., 1980, v. 19, No 6, pp. 937-943.

189. Андриеш A.M., Быковский Ю.А., Смирнов B.A. и др. Интегрально-оптический смеситель в тонкопленочном волноводе на основе фазовых дифракционных решеток для многоканальных оптических линий связи. Квантовая электроника, 1978, т. 5, № 3, стр. 508-514.

190. Zambutsu S., Fukumishi S. Waveguiding properties of (Se, S)-based chalcogenide glass films and some applications to optical waveguide devices. Appl. Opt., 1979, v. 18, No 3, pp. 393-399.

191. Dalgoutte. D.G., Wilkinson C.D.W. Thin grating couplers for integrated optics: an experimental and theoretical study. Appl. Opt., 1975, v. 14, No 12, pp. 2983-2998.

192. Kogelnic H. Coupled wave theory for thick hologram grating. — Bell System Techn. Journal, 1969, v. 48, No 9, pp. 2909-2947.

193. Kurita S., Seto Y.,Yaji T. Amorphous AS2S3 thin film waveguide with grating coupler. -Optical and Quantum Electronics, 1980, v. 12, No 3, pp. 179-181.

194. Uetsugu Y., Zembutsu S. Relief type diffraction grating by amorphous chalcogenide films. Appl. Phys. Lett., 1975, v. 27, No 9, pp. 508-509.

195. Ильяшенко H.H. Исследование голографических регистрирующих сред на основе пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников. Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук, JI: изд. ЛПИ, 1983. - 20 с.

196. Shank C.V., Schmidt R.V. Optical technique for producing mkm surface structures. -Appl. Phys. Lett., 1973, v. 23, No 3, pp. 154-155.

197. Alferness R.C., Ramaswami V.R., Korotky S.K. et al. Efficient single-mode fiber to titanium niobate waveguide coupling for 1.32 ц. IEEE Trans, on Microwave Theory and Techn., 1982, v. MTT-30, No 10, pp. 1795-1802.

198. Bulmer C.H., Sheem S.K., Moeller R.P., Burns W.K. High efficiency flip-chip coupling between single mode fibers and LiNb03 channel waveguides. Appl. Phys. Lett., 1980, v. 37, No 4, pp. 351-353.

199. Стригалев В.Е., Удоев Ю.П. Высокоэффективный интегрально-оптический элемент связи на рельефной решетке с большим периодом. — ЖТФ, 1981, т. 51, вып. 5, стр. 1048-1051.

200. Липовская М.Ю., Стригалев В.Е., Удоев Ю.П., Фомичев В.И. Дифракционные структуры для интегрально-оптических компонентов ВОЛС. — тезисы докладов 111 Всесоюзной конференции ВОЛС-3, М, 1981, стр. 7/475-7/476. ДСП.

201. Степанов С.С., Сычугов В.А., Туйлакова Т.В. О методике получения фоторези-стивных решетчатых масок. Квантовая электроника, 1980, т. 7, № 4, стр. 849-854.

202. Упгер Х.Г. Планарные и волоконные оптические волноводы. М: Мир, 1980. - 656 с.

203. Miyanaga S., Asakura Т.A. Intensity profiles of outgoing beams from tapered grating couplers. Radio Sci., 1982, v. 17, No 1, pp. 135-143.

204. Спихальский A.A., Сычугов B.A., Тищенко А.В. Простой метод расчета коэффициента затухания света в гофрированном волноводе. Квантовая электроника, 1983, т. 10, №5, стр. 944-948.

205. Липовская М.Ю., Липовский А.А. Исследование интегрально-оптического решеточного элемента связи с переменной глубиной гофра. ЖТФ, 1983, т. 53, вып. 4, стр. 790-792.

206. Дремов С.С., Стригалев В.Е., Удоев Ю.П. Брэгговская дифракция в многомодовых оптических волноводах с гофрированной границей. ЖТФ, 1980, т. 50, вып. 5, стр. 215-218.

207. Березин Г.Н., Никитин А.В., Сурис Р.А. Оптические основы контактной фотолитографии. Электроника, вып. 33, М: Радио и связь, 1982. -103 с.

208. Аксенов Е.Т., Липовский А.А. Диффузионные оптические волноводы в ниобате лития. — Труды ЛПИ. Квантовая электроника, 1979, в. 366, стр. 50-54.

209. Аксенов Е.Т., Есепкина Н.А., Липовский А.А. Диффузионные волноводы в ниобате лития и их применение в устройствах обработки сигналов. Письма в ЖТФ, 1978, т. 4, вып. 21, стр. 1318-1321.

210. Аксенов Е.Т., Липовский А.А. К вопросу о расчете профилей показателя преломления градиентных оптических волноводов. ЖТФ, 1980, т. 50, в. 4, стр. 842-844.

211. Аксенов Е.Т., Кухарев А.В., Липовская М.Ю., Липовский А.А. Исследование особенностей диффузии титана при формировании оптических волноводов в подложках из ниобата лития. ЖТФ, 1987, т. 57, в. 1,стр. 146-151.

212. Аксенов Е.Т., Бондаренко B.C., Есепкина Н.А. и др. Диффузионные оптические волноводы. Вопросы радиоэлектроники. Сер. ОТ, 1980, в. 12, с. 178-182.

213. Аксенов Е.Т., Есепкина Н.А., Липовский А.А. и др. Исследование пассивных элементов в планарных оптических волноводах. //Международная школа по когерентной оптике и голографии, Прага, 1980, с. 76-77.

214. Аксенов Е.Т., Липовский А.А., Павленко А.В., Сотникова Г.Ю. Исследование оптических волноводов, сформированных диффузией из расплавов смесей нитратов. ЖТФ, 1981, т. 51, в. 4, стр. 874-876.

215. Аксенов Е.Т., Липовский А.А., Павленко А.В. Формирование маломодовых оптических волноводов увеличенной толщины в стекле. ЖТФ, 1981, т. 51, в. 1, стр. 222-224.

216. Бекин A.M., Свидзинский К.К. Релаксационные процессы в структуре брэгговского модулятора на ниобате лития. Квантовая электроника, 1981, т. 8, №2, с. 433-435.

217. Hartman N.F., Kenan R.P., Sievert P.R. Characteristics of effused waveguiding layers in LiNb03. Digest Techn. Papers Top. Meet. Integrated Optics, New Orlean, Jan. 21-24,1976, New York, 1976, pp. Th A4-1- Th A4-4.

218. Kaminov I.P., Carrathera J.R. Optical waveguiding layers in LiNb03. Appl. Phys. Lett., 1973, v. 22, No 7, pp. 326-328.

219. Baues P. Diffusion profile of titanium in optical LiNb03 waveguides. NTG Fachber.,1977, v. 53, No 3, pp. 179-187.

220. Chen В., Tangonan G.L., Lee A. Horn structures and thin film optical switch. IEEE J. of Quant. Electron., 1977, v. QE-13, No 9, pp. 80-82.

221. Hang C.S., Yariv A., Chen B. Electrooptic Scanning of Light from Corrugated LiNb03 Waveguide. Appl. Phys. Lett., 1978, v. 32, No 10, pp. 668-670.

222. Зилинг К.К., Покровский Л.Д., Шашкин В.В. и др. Связь профилей показателя преломления с кинетикой диффузии титана в планарных волноводах на LiNb03. Автометрия, 1978, №1, стр. 103-108.

223. Papuchon М. J. Non-Crystalline Solids, 1982, v. 47, N 2, p. 175-178.

224. Stewart G. J. Non-Crystalline Solids, 1982, v. 47, N 2, p. 191-200.

225. Jackel J. P., Ramaswami Y., Lyman S. R. Appl. Phys. Lett., 1981, v. 38, N 7, p. 509-511.

226. Колоеовекий E.A., Петров Д.В., Царев А.В. Численный метод восстановления профиля показателя преломления диффузных волноводов. Квант. Электр., 1981, т. 8, № 12, стр. 2557-2568.

227. Chartier G.H.,Jaussaud Р.С. J. Appl. Phys., 1978, v. 49, N 2, pp. 917-917.

228. Betts R.A., Pitt C.W., Riddle K.R., Walpita L.M. Appl. Phys.: A, 1983, v. 31, N 1, pp. 29-35.

229. H. Yajima. IEEE J. Quantum El., 1979, v. QE-15, p. 482.

230. K. Sasaki, T. Sasado. Appl. Phys. Lett., 1978, v. 33, p. 516.

231. S. Campbell. Appl. Optics, 1979, v. 18, p. 900.

232. F. Auraeher, R. Kersten, H. H. Witte. Optik, 1979, v. 53, p. 339.

233. Т.О. Giallorenzi, E. J. West, R. Kirk et al. Appl. Optics, 1973, v. 12, p. 1240.

234. A. Gedeon. Appl. Phys., 1975, v. 6, p. 2223.

235. M. Haflsh, D. Chen, J. Huber. Appl. Phys. Lett., 1978, v. 33, p. 997.

236. G. Stewart, P. J. R. Laybourn. IEEE J. Quant. El., 1978, v. QE-14, p. 930.

237. B.E. Хоменко, A.A. Липовский, II.A. Александров. Приборы и техника эксперимента, 1981, №3, с. 224.

238. Божевольпый С.И., Золотов Е.М., Казанский П.Г. и др. Фотогальванический механизм поворота плоскости поляризации света в оптических Ti:LiNb03 волноводах. -Письма в ЖТФ, 1983, т. 9, вып. 11, стр. 690-692.

239. Н.Н. Слепов. Современные технологии цифровых оптоволоконных сетей связи. -М: Радио и Связь, 2000. 468 с.

240. E.L. Wooten, К.М. Kissa, A. Yi-Yan et al. A Review of Lithium Niobate Modulators for Fiber-Optic Communication Systems. IEEE J. of Selected Topics in Quantum Electronics, 2000, v. 6, No 1, pp. 69-81.

241. E. Т. Аксенов. Интегральная оптика для систем обработки информации. СПб.: Изд. Политехи, ун-та, 2005. - 82 с.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.