Модификация и эксплуатационные свойства поверхностей деталей машин и инструментов при ионной имплантации азота тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.03.01, кандидат технических наук Витальский, Дмитрий Валерьевич

• Витальский, Дмитрий Валерьевич
• кандидат технических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат технических наук Витальский, Дмитрий Валерьевич

ВВЕДЕНИЕ

I. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1 Азотирование и карбонитрирование

1.2 Ионная имплантация азота

1.3 Оценка пробега и пространственного распределения имплантированных ионов

1.4 Потенциалы межатомного, межмолекулярного взаимодействия в задачах об ионной имплантации. Выбор и обоснование вида модельных потенциалов

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Модификация и эксплуатационные свойства поверхностей деталей машин и инструментов при ионной имплантации азота»

Одной из ключевых проблем научно-технического прогресса является улучшение качества материалов, как инструментального, так и машиностроительного производства. Ее актуальность вытекает из необходимости увеличения надежности инструментов, машин и механизмов. Важное место в решении данной проблемы принадлежит поверхностным слоям твердых тел, которые отвечают за износостойкость, коррозионную и усталостную прочность.

В настоящее время для модификации поверхностных слоев открылись новые возможности с использованием азота в качестве активного вещества в процессе обработай поверхностей материалов. В первую очередь к таким методам следует отнести низкотемпературные способы химико-термической обработки (ХТО), как различные варианты азотирования и ионную имплантацию. Процессы перестройки структуры материалов происходят в условиях далеких от термодинамически равновесных и позволяют получать поверхностные слои с уникальным комплексом физико-механических свойств. Насыщение поверхностного слоя в докритической области температур исключает фазовые превращения при нагреве и охлаждении и обуславливает благоприятное распределение внутренних макро - и микро напряжений, создание эффективной субструктуры за счет специфических дислокационных построений, а также дисперсной гетерогенной структуры.

Одним из перспективных направлений поверхностной модификации деталей машин и инструментов является ионная имплантация, тоесть внедрение ускоренных ионов в твердые тела. Под модификацией поверхностей методом ионной имплантации азота подразумеваются процессы распыления поверхностного слоя и его насыщения имплантируемыми ионами азота.

Важнейшими особенностями ионной имплантации, в отличие от других методов ионно-вакуумной обработки, являются минимальное изменение геометрических размеров изделия и возможность обработки при низкой (до 100 °С) температуре, что обеспечивает исключение коробления изделия. Перечисленные характеристики особенно важны для решения задачи поверхностного упрочнения маложестких деталей и мелкоразмерного инструмента. В качестве результата ионной имплантации отмечено значительное повышение эксплуатационных характеристик изделий, таких как механические свойства, износостойкость, коррозионная стойкость, циклическая прочность и т.д. Использование азота в качестве обрабатывающего вещества позволяет значительно воздействовать на эксплуатационные характеристики деталей, в том числе инструментов различного назначения. Однако трудность применения метода ионной имплантации для поверхностной модификации связана с недостаточной изученностью процесса связи энергии имплантируемых ионов с пробегом и их концентрации в твердом теле, а также с отсутствием методик выбора технологических режимов обработки. Решение данных проблем позволит в плотную подойти к вопросу управляемости процесса формирования профиля имплантируемых ионов. Анализ литературных источников и результаты предварительных исследований показали, что для формирования повышенных физико-механических и эксплуатационных свойств поверхностей деталей машин и инструментов, с использованием процесса внедрения ускоренных атомов или молекулярных соединений в виде ионизованных частиц в твердое тело, должно обеспечиваться (для соответствующих материалов) определенное значение концентрации внедренных ионов и их глубины проникновения, что в свою очередь определяется режимами обработки.

В настоящее время отсутствует единый подход к вопросу назначения режимов обработки металлов с использованием процесса ионного легирования. Это объясняется отсутствием определенной теоретической оценки изменения прочности поверхностного слоя обрабатываемых материалов, что и привело к необходимости разработки компьютерной динамической модели.

Несмотря на некоторые особенности в выборе материалов с различными физико-механическими свойствами, предлагаемая модель оценки концентрации внедренных ионов и глубины их проникновения дает возможность получить детерминированную зависимость, которая может быть распространена и на другие классы материалов.

На основании вышеизложенного, целью данной работы является определение и обоснование выбора рациональных условий проведения модификации поверхностного слоя и эксплуатационных свойств деталей машин и инструментов при ионной имплантации азота в металлы. Для чего необходимо решить следующие задачи:

1. Моделирование физического процесса ионной имплантации азота и рассеивания материала матрицы путем разработки компьютерной динамической модели процесса, применимой к различным материалам.

2. Теоретическая оценка проникновения азота в различные материалы.

3. Экспериментальные исследования процесса ионной модификации эксплуатационных свойств (износостойкость, микротвердость) поверхностей образцов из материалов различных групп.

4. Модернизация установки для комбинированного применения метода ионной имплантации азота с ионно-плазменным нанесением покрытий, а также системы электропитания для обеспечения стабильных параметров проведения процесса.

5. Разработка рекомендаций по осуществлению процесса ионной имплантации азота в различные материалы деталей машин и инструмента для обеспечения требуемых эксплуатационных свойств.

6. Опытная апробация метода ионной имплантации азота.

1. СОСТОЯНИЕ ВОПРОСА И ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ

ИССЛЕДОВАНИЯ

Одной из ключевых проблем научно-технического прогресса является улучшение качества материалов, как инструментального, так и машиностроительного производства. Ее актуальность вытекает из необходимости увеличения надежности инструментов, машин и механизмов. Важное место в решении данной проблемы принадлежит поверхностным слоям твердых тел, которые отвечают за износостойкость, коррозионную и усталостную прочность.

В настоящее время для модификации поверхностных слоев открылись новые возможности с использованием азота в качестве активного вещества в процессе обработай поверхностей материалов [2,6,15,30,34,50,94,96,102, 104,105]. В первую очередь, следует отметить метод низкотемпературной химико-термической обработки (ХТО) с различными его вариантами азотирования (в газовых, жидких и порошковых средах) [9,45,67,79,86,101,114]. При низкотемпературном азотировании независимо от того, в какой среде проводится обработка, происходит преимущественное насыщение металлов азотом. Процессы перестройки структуры материалов происходят в условиях далеких от термодинамически равновесных и позволяют получать поверхностные слои с уникальным комплексом физико-механических свойств.

Насыщение поверхностного слоя в докритической области температур исключает фазовые превращения при нагреве и охлаждении и обуславливает: благоприятное распределение внутренних макро - и микро напряжений, создание эффективной субструктуры за счет специфических дислокационных построений, а также дисперсной гетерогенной структуры.

Заключение диссертации по теме «Технологии и оборудование механической и физико-технической обработки», Витальский, Дмитрий Валерьевич

ОБЩИЕ ВЫВОДЫ

1. Анализ современного состояния вопроса об использовании азота как активного вещества в процессе обработки поверхностей материалов, для модификации поверхностей деталей машин и инструментов и, в частности, ионной имплантации показал, что ее развитие и широкое внедрение в производство в настоящее время сдерживается отсутствием научно обоснованных рекомендаций по выбору режимов и условий, базирующихся на учете различных процессов, сопровождающих ионную имплантацию азота (внедрение и рассеивание частиц в материалы).

2. Разработана компьютерная динамическая модель процесса внедрения атомов азота в металлы, которая позволяет оценить удаление части начального объема материала обрабатываемой заготовки вследствие рассеивания атомов материала, бомбардируемых пучком ионов, а также спрогнозировать распределение имплантированных атомов азота по глубине.

3. В результате исследований процесса ионной имплантации азота в А1, Cr, Fe, Mo, W, установлено, что количество рассеянных атомов заготовки может достигать 1 - 48%, в пределах слоя, подвергнутого имплантации. При этом наибольший процент относится к рассеиванию на локальных выступах. Глубина обработанного слоя для названых материалов, при облучении заготовки ионами азота, изменяется прямо пропорционально ускоряющему напряжению в диапазоне 1-10 кэВ и составляет около 0,03 - 1,12 мкм.

4. По результатам компьютерного моделирования построена функция распределения концентрации имплантированных ионов азота, которая показывает, что при увеличении ускоряющего напряжения в диапазоне 1-10 кэВ концентрация ионов азота в А1 - 0,2-Ю19 .1,61019 1/см3; Сг - 0,31019 .2,6-Ю19 1/см3; Fe - 0,35-1019 .2,8-Ю19 1/см3; Мо - 0,51019 .4,4-Ю19 1/см3; W 0,8-Ю19 .10-Ю191/см3. Изменение концентрации ионов азота от глубины их проникновения приближенно описывается экспоненциальным законом. При заданной дозе облучения 10 1/см2 увеличение ускоряющего

Ф напряжения приводит к более равномерному распределению ионов азота по глубине.

5. Анализ результатов экспериментальных исследований показал, что: повышение износостойкости зафиксировано для всех имплантированных азотом образцов и составляет: для стали Р6М5 от 13% до 72% от исходной, для 40Х - 41%, износостойкость сплава АМг-2 повысилась более чем в 3,5 раза. Повышение износостойкости образцов (в диапазоне циклов изнашивания 7500 - 10000), после комбинированной обработки составляет: для стали Р6М5 при комбинации ИИА + ИПУ - 36% и 7% при If, комбинации ИПУ + ИИА, для сплава АМг-2 - в 5 и 2 раза соответственно;

- прирост относительный микротвердости, в зависимости от ускоряющего напряжения и времени имплантации, носит практически линейный характер (в рассматриваемых диапазонах варьирования режимов обработки) и составляет: для стали Р6М5 - от 32% до 75%, для стали 40Х -45%, для стали 12Х18Н9Т - от 13% до 2 раз, для стали 40 - от 25% до 27%., для чугуна ВЧ65-48-1 - от 18 до 23%;

- установлено, что ионная имплантация азота в поверхности малолегированных материалов (сталь 40, ВЧ65-48-1) является нецелесообразной в связи с малозначительным повышением их

Щ' трибологических свойств;

- при экспериментальном исследовании глубина проникновения ионов азота для Р6М5, а теоретический прогноз для Fe, находится в допустимых пределах и совпадает по порядку величин. Расхождение толщины имплантированного ионами азота слоя связано с разницей в химическом составе сравниваемых материалов, с шероховатостью образцов, с наличием оксидной пленки на поверхности образцов.

6. Проведена модернизация системы электропитания обеспечившая стабильность протекания процесса ионной имплантации азота. Установленный дополнительный катодный узел, предназначенный для # получения металлической плазмы, разработанная схема коммутации позволили реализовать комбинированный процесс «ионная имплантации азота - ионно-плазменное упрочнение».

7. Разработан алгоритм выбора условий обработки, учитывающий тип материала основы, размеры и геометрическую конфигурацию обрабатываемой детали, кинематику перемещения объекта в камере, что позволяет существенно сократить количество экспериментальных исследований.

8. Проведена апробация разработанной методики выбора условий проведения процесса ионной имплантации азота на дисковых фрезах из стали Р6М5 и на деталях из 40Х, АМг-2. Установлено повышение износостойкости до 75%.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Витальский, Дмитрий Валерьевич, 2007 год

1. Абрамович М., Стиган И. (ред.). Справочник по специальным функциям, с формулами, графиками и математическими таблицами. М.: Наука, 1979.

2. Азотирование и карбонитрирование. Чатгерджи Фишер Р., Эйзелл Ф.

3. B. и др. Пер. с нем. / Под ред.Супова А.В. М.: Металлургия, 1990,280 с.

4. Алберг Дж., Нил сон Э., Уолш Дж. Теория сплайнов и ее приложения. М.: Мир, 1972.

5. Анималу А. Квантовая теория кристаллических твердых тел. М.: Мир, щ 1981.-570 с.

6. Анищенко Л.М., Дружинин А.В., Углов А.А. Ионное легирование полупроводников и его применение// Физикаи химия обработки материалов. 1982. -№4. - С. 3 -19.

7. Бабушка И., Витасек Э., ПрагерМ. Численные процессы решения ^ дифференциальных уравнений. М.: Мир, 1969.

8. Банных О.А., Зинченко В.М., Прусаков Б.А., Сыропятов В.Я. Развитие азотирования в России. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 1998. - 68 с.

9. Башнин Ю.А., Ушаков Б.К., Секей А.Г. Технология термической обработки. М.: Металлургия, 1986. -285 с.

10. Ф 13. Белоцерковский О.М., Давыдов Ю.М. Метод крупных частиц в газовой динамике. Вычислительный эксперимент. —М.: Наука, 1982.

11. Белый А.В., Симонов Л.В., Ших С.К. Применение ионного легирования для повышения эксплуатационных характеристик деталей машин и оборудования. Минск: БЕЛНИИТИ, 1985. 44с.

12. Бельский Е.И., Ситкевич М.В., Понкратин Е.И., Стефанович В.А. Химико-термическая обработка инструментальных материалов.-Мн.: Наука и техника, 1986.-247 с.

13. Бернштейн М.Л., Займовский В.А. Структура и механические свойства II металлов. М.: Металлургия, 1970.- 472 с.

14. Бетчер X. Принципы динамической теории решетки. М.: Мир, 1986. -392 с.

15. Блейкмор Дж. Физика твердого тела. М.: Мир, 1988. 608 с.

16. Бойко В.И., Валяев А.Н., Погребняк А.Д. Модификация металлических материалов импульсными мощными пучками частиц. // УФН. 1999. Т. 169. №11. С.1243.

17. Бокштейн С.Э. Диффузия и структура металлов. Серия "Успехи современного металловедения". М.: Металлургия, 1991.- 320 с.

18. Бори М., Хуан Кунь Динамическая теория кристаллических решеток. М.: ^ Мир

19. Бусленко Н.П., Голенко Д.И., Соболь И.М., Срагович В.И., Шрейдер Ю.А. Метод статистических испытаний (метод Монте-Карло). М.: Наука, 1962. -332 с.

20. Бутенко О.А., Крымский Ю.Н., Лахтин Ю.М. Использование тлеющего разряда для химико-термической обработки. МИТОМ, № 3,1967. с.7.

21. Ван Кампен Н.Г. Стохастические процессы в физике и химии.- М.: Высшая школа, 1990.

22. Васильева Е.В. Влияние имплантации ионов азота и углерода на стойкость подшипниковой стали/ «Физика и химия обработки1. Ш материалов», N1, 1989.

23. Васильева Е.В. Влияние имплантации ионов азота и углерода на стойкость подшипниковой стали/ «Физика и химия обработки материалов», N1,1989.

24. Верещака, А.С. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями/ Третьяков, И.П. М.: машиностроение, 1986. - 192 е., ил.

25. Витальский Д.В. Исследование износостойкости ионно-модифицированных поверхностей алюминиевых сплавов. // Упрочняющие технологии и покрытия №12 2006. с. 50-53.

26. Власов В.М., Илюшечкин Е.В. Технологические возможности процесса антикоррозионного газового азотирования сталей/ / Изв. ТулГУ. Сер. "Автомобильный транспорт". Вып. 4. Тула: ТулГУ, 2004. - с.57 - 60.

27. Габович М.Д., Буденная Л.Ф., Порицкий В Л., Проценко И.М. В кн.: Взаимодействие атомных частиц с твердым теплом. — Киев: Hay ков а думка, 1974, т. 2, с. 136.

28. Гардинер К.В. Стохастические методы в естественных науках.- М.: Мир, 1986.

29. Гиршфельдер Дж., Кертис Ч., Берд Р. Молекулярная теория газов и жид костей. М.: Изд-во Иностранной литературы, 1961. 930 с.

30. Григорьев B.C., Солодкин Г.А., Шевчук С.А. Кинетика ионной нитроцементации конструкционных сталей с непосредственной закалкой // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1991. № 7. - С. 31-33.

31. Дедков Г.В. Межатомные потенциалы взаимодействия в радиационной физике. // УФН. 1995. Т.165. №8. С.919.

32. Демидович Б.П., Марон И.А., Шувалова Э.З. Численные методы анализа. -М.: Наука, 1967.

33. Джордж А., Лю Дж. Численное решение больших разреженных систем уравнений. М.: Мир, 1984.

34. Жаблон К., Симон Ж.-К. Применение ЭВМ для численного моделирования в физике. М.: Наука, 1983.

35. Жирифалько JI. Статистическая физика твердого тела. М.: Мир, 1975. -382 с.

36. Илюшечкин Е.В. Влияние технологической наследственности на характер совместимости трущихся поверхностей / / Изв. ТулГУ. Сер. "Автомобильный транспорт". Вып. 4. Тула: ТулГУ, 2000. - с.57 - 60.

37. Илюшечкин Е.В., Власов В.М. Основные аспекты вопроса повышения эксплуатационных свойств деталей автомобилей с использовнием ресурсосберегающих технологий и экологически чистого производства/ /

38. Изв. ТулГУ. Сер. "Автомобильный транспорт". Вып. 4. Тула: ТулГУ, 2005. - с.57 - 60.

39. Инзарцев Ю.В. Повышение эксплуатационных характеристик инструмента методом ионной имплантации азота. Дисс. на соиск. Уч. степ. канд. техн. наук. Тула, ТулГУ, 2001. - 127 с.

40. Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы. Сборник статей: Пер с ант. /Под ред. В. С. Вавилова. М.: Издательство "Мир", 1980.-332 с.

41. Калачев М.И. Деформационное упрочнение металлов. Мн., Наука и техника, 1980,256с.

42. Каплан И.Г. Введение в теорию межмолекулярных взаимодействий. М.: Наука, 1982.-312 с.

43. Карацюба А.П. Новая область применения ионной имплантации в твердотельной электронике// Зарубежная электронная техника. 1978. -№19.-С. 3-46.

44. Карацюба А.П. Ионная имплантация в технологии кремниевых приборов и интегральных схем// Зарубежная электронная техника. 1978. - №19. -С. 47-80.

45. Коробейников В.П. . Принципы математического моделирования. — М.: Дальнаука, 1996.

46. Костерин К.В. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой: адатомные механизмы и возможная роль фононов.// Физика и химия обработки материалов № 3 1995. с. 43-48.

47. Кочергин А.С., Ридош Б.М. Химико-термическая обработка шестерен трансмиссии и переднего привода автомобилей ВАЗ // Металловед, и термич. обраб. металлов. 1996. -№ 10. - С. 15-17.

48. Краснощекое П.С., Петров А.А. Принципы построения моделей. М.: Изд-воМГУ, 1983.

49. Криштал М.М. Механизм диффузии в железных сплавах. М.: Металлургия, 1972. -187 с.

50. Кумахов М.А., Комаров Ф.Ф. Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах. Мн.: Изд-во БГУ, 1979 -320с.

51. Лахтин Ю.М. //МиТОМ. 1993. № 7 -с. 6-11.

52. Лахтин Ю.М. Диффузионные основы процесса азотирования // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1995. № 7. - С. 14-17.

53. Лахтин Ю.М. Регулирование фазового состава и содержания азота в нитридном слое при азотировании стали 38Х2МЮА // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1996. -№ 1. С. 6-11.

54. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Азотирование в тлеющем разряде // Технология и механизация термической обработки металлов. М.: НИИИнформтяжмаш, 13 -74 - 8,1976. 36 с.

55. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Азотирование стали. М.: Машиностроение, 1976.-256 с.

56. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д. Регулирование процесса азотирования //Металловедение и термическая обработка металлов. 1979, №8. с.59 64.

57. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Солодкин Г.А., Глиберман Л.А. Прогнозирование распределения твердости в азотированном слое сталей // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1986. № 1. - С. 14-18.

58. Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Шпис Г.И., Бемер З.М. Теория и технология азотирования. М.: Металлургия. 1991. 319 с.

59. Лейбфрид Г. Микроскопическая теория механических и тепловых свойств кристаллов. М., Л.: ФизМатЛит, 1963. 312 с.

60. Лоусон У., Хенсон Р. Численное решение задач метода наименьших квадратов. М.: Наука, 1986.

61. Любимов В.В., Витальский Д.В., Иванов А.В., Протопопов А.А. Повышение качества поверхности инструментов ионно-вакуумными методами.// Упрочняющие технологии и покрытия №7 2006. с. 36 - 39.

62. Любимов В.В., Иванов А.В., Витальский Д.В. Разработка методики выбора условий процесса ионной имплантации азота в стали и сплавы.// Известия Тульского государственного университета. Серия:

63. Электрофизикохимические воздействия на материалы Тула: ТулГУ, 2006.

64. Ляхович Л.С., Ворошнин Л.Г. , Карпенко Д.П. Повышение стойкости пггампового инструмента методами химико-термической обработки. М.: БелНИИНТИ, 1971. - 62 с.

65. Маделунг О. Теория твердого тела. М.: Наука, 1980. -416 с.

66. Маделунг О. Физика твердого тела. Локализованные состояния. М: Мир, 1985.- 184 с.

67. Матюхин С.И. Ионная имплантация: новые возможности известного метода. Известия ОрелГТУ. Серия "Естественные науки". 2003. №1-2. С.59-62.

68. Мацевитый, В.М. Покрытия для режущих инструментов. X.: Вшца шк. Изд-во при Харьк. ун-те, 1987.- 128 с.

69. Мейер Дж.7 Эриксон Л., Дэвис Дж. Ионное легирование полупроводников.- М.: Мир, 1970.

70. Металловедение. Под ред. канд. техн. наук Е.В. Эхиной. М.: Металлургия, 1990.-416 с.

71. Минкевич А.Н. Химико-термическая обработка металлов и сплавов. М.: Машиностроение, 1965. - 492 с.

72. Модификация твердых тел с применением лазерных, ионных и электронных пучков/ Под. Ред. Дж. М. Поута, Ж. Фоти, Э.С. Якобсона. М.: Машиностроение, 1987.424с.

73. Мэтъюз Дж., Финк К. Численные методы. Использование MATLAB. М.: Издательский дом "Вильяме", 2001. 720 с.

74. Никитин А.А., Травина Н.Г. Ионная имплантация металлов и сплавов. // Бюллетень ЦНИИЧ. 1986. - № 23.

75. Оборудование ионной имплантации/ В.В. Симонов, JI.A. Корнилов, А.В. Шашелев, Е.В. Шокин. М.: Радио и связь, 1988. - 184 с. (25)

76. Поверхностные свойства твердых тел. М.: Мир, 1972. -432 с.

77. Принявичюс Л., Дудонис Ю. Модификация свойств твердых тел ионными пучками. Вильнюс: Мокелас, 1980. -180 с.

78. Радциг А.А., Смирнов Б.М. Справочник по атомной и молекулярной физике. М.: Атомиздат, 1980. 240.

79. Резников А.Н. Теплофизика процессов механической обработки материалов. М.: Машиностроение, 1981. - 279 с.

80. Риссел X., Руге И. Ионная имплантация/Пер. с англ. Под ред. М.И. Гусевой М.: Наука, 1983. - 360 с.

81. Рыжов Н.М., Смирнов А.Е., Кириллов К.И., Семенов М.Ю. Комплексная система управления процессом ионной нитроцементации // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1996. -№ 1. С. 11-15.

82. Самарский А.А., Михайлов А.П. Математическое моделирование. — М.: Физматлит, 1997.

83. Смирнов А.А. Молекулярно-кинетическая теория металлов. М.: Мир, 1966.-488 с.

84. Тациковски Я., Санаторски Я., Панасюк В. Метод комплексной химико-термической обработки деталей машин и инструмента // Металловед, и термич. обраб. металлов. -1995. № 2. - С. 9-10.

85. Теория и технология азотирования / Лахтин Ю.М., Коган Я. Д., Шпис Г.И., Бемер 3. М.: Металлургия, 1991.- 320 с.

86. Теория и технология азотирования/ Лахтин Ю.М., Коган Я.Д., Шпис Г.-И., Бемер 3. -М.: Металлургия, 1991,320с.

87. Теория термической обработки. Учебник для вузов. Блантер М.Е. М.: Металлургия, 1984,328с.

88. Технология термической обработки стали. Учебник для вузов. Башнин Ю.А., Ушаков Б.К., Секей А.Г. М.: Металлургия, 1986.424 с.

89. Тихонов А.К., Богданова Н.В. Кратковременное газовое азотирование деталей автомобилей ВАЗ // Металловед, и термич. обраб. металлов.-1996.-№10.-С. 11-15.

90. X. Риссел, И.Руге. Ионная имплантация: Пер с нем. В.В. Кулимова, В.Н. Пальянова. /Под ред. М. И. Гусевой. М.: Наука. Главная редакция физико-математической литературы, 1983. - 360 с.

91. Хокни Р., Иствуд Дж. Численное моделирование методом частиц. М.: Мир, 1987.

92. Черняева Т.П. Радиационные дефекты и распухание металлов. -Киев: Наукова думка, 1988. 296 с.

93. Юргенсон А.А. Азотирование деталей в жидких средах//Технология и механизация термической обработки металлов. М.: НИИИнфортяжмаш, 13-71-6,1971,34 с.

94. Baumvol I.Y. R., Sautos С.A. In. Ion Implantation Equipment and Techniques. Berlin. 1983. P 347.

95. Bohmer S., Schroter W., Lerche W., Lachtin Ju.M., Kogan Ja.D.// Neue Hutte 24 (1979) 10.S. 384 390.

96. Hartley N.E. W. В кн.: Proc. Int. Conf. on Applications of Ion Beams to Materials (University of Warwick, UK, 1975), eds. Carter G., Colligon J.S.,

97. Grant W.A., Institute of Physics, London, Conf. Ser. 28, 1976., p.323 Kanaya K., Koga K., Toki K., Journ. Phys. (London), E5, 541 (1972).

98. The book of abstracts. 10-th Congress of the International Federation for Heat Treatment and Surface Engineering, Sept. 1996, Brighton, UK. 220 c.

99. Tuheux D., Fauenlly S. Modifications super filme lies par implantation d'ions application a la tribologie // Vide coueches minees. 1987. - V. 42. - # 328.-p. 415-418.

100. Tuheux D., Fauenlly S. Modifications super filme lies par implantation d'ions application a la tribologie // Vide coueches minees. 1987. - V. 42. - # 328.-p. 415-418.

101. Youming Liu, Liuhe Li, Ming Xu, Qiulong Chen, Yawei Hu, Xun Cai, Paul K. Chu. The effect of N+ implanted aluminium substrate on the mechanical properties of TiN films / Surface & Coatings Technology 200, 2006, p. 2672-2678