Наноразмерное структурирование меди, кремния и поликарбоната при локализованных деформационных воздействиях тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Тимаков, Дмитрий Игоревич

• Тимаков, Дмитрий Игоревич
• кандидат физико-математических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Тимаков, Дмитрий Игоревич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. НАНОРАЗМЕРНЫЕ ИЗМЕНЕНИЯ ПРИ КОНЦЕНТРИРОВАННЫХ ВОЗДЕЙСТВИЯХ.

1.1 Виды концентрированных воздействий.

1.2 Выбор объектов исследования.

1.3 Самоорганизация в процессе концентрированных воздействий.

1.4 Синтезирование нанопорошков.

Выводы к главе 1.

ГЛАВА 2 МЕТОДЫ И МЕТОДИКИ ИССЛЕДОВАНИЙ.

2.1 Деформационные воздействия на образцы.

2.2 Атомно-силовая микроскопия.

2.3 Рамановская спектроскопия.

2.4 Конфокальная и электронная микроскопии.

2.5 Анализ фрактальных образований при концентрированных воздействиях.

Выводы к главе 2.

ГЛАВА 3. НАНОРАЗМЕРНЫЙ АНАЛИЗ ДЕФОРМАЦИОННЫХ ВОЗДЕЙСТВИЙ.

3.1 Топология упругих локализованных напряжений в кремнии.

3.2 Термохимические изменения в области концентрированных пластических деформаций.

3.3 Наноструктурные исследования упругих и пластических деформаций поликарбоната.

Выводы к главе 3.

4. ПОВЕРХНОСТНОЕ ДЕФОРМАЦИОННОЕ СТРУКТУРИРОВАНИЕ МЕДИ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО РАЗРЯДА.

4.1 Схема и исходные данные для исследований электрических воздействий на тонких медных фольгах.

4.2 Наноструктурирование поверхностей катода при ударных электроразрядных процессах.

4.3 Электроконвективный теплообменник с наноструктурированными электродами и способ управления процессом электроконвекции.

Выводы к главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Наноразмерное структурирование меди, кремния и поликарбоната при локализованных деформационных воздействиях»

Актуальность исследования

Переход к исследованиям в науке и разработкам в технике элементов и устройств наноразмерного уровня, сопоставимых или меньшего длин волн электромагнитного излучения, выдвинул в категорию приоритетных задач вопросы, связанные с поведением и особенностями структурных перестроек в материалах, используемых при до- и критических локализованных воздействиях электронной, упругой и тепловой природы. В этой ситуации традиционные методы диагностирования, в основе которых лежит электромагнитное излучение, не позволяют получить достаточно полную информацию о происходящих структурных изменениях в материалах, что особенно важно применительно к анизотропным материалам.

Все это актуализирует изучение механизмов, сопровождающих внешние концентрированные воздействия. Результаты таких исследований должны обеспечить установление закономерностей, особенностей, зависимостей от интенсивности и режимов воздействия, выработать практически значимые рекомендации и предложения по совершенствованию структуры и элементного состава применяемых материалов, т.е. получить решение, полностью отвечающее за установление взаимосвязей и решение материаловедческой триады: «состав - структура - свойства».

Цель диссертационной работы Исследование закономерностей и механизмов наноразмерных структурных изменений при локализованных деформационных воздействиях в материалах с различной твердостью и разными типами электропроводности. Задачи исследования

1. Создать программно-аппаратный комплекс, устанавливаемый непосредственно на сканатор атомно-силового микроскопа и обеспечивающий деформирование образцов, регистрацию, расчёт и анализ структурных изменений; экспериментальную установку для исследования размерных эффектов и наноструктур, формируемых на тонких медных пленках при узколокализо-ванных деформационных воздействиях, вызванных низковольтными электрическими разрядами.

2. Разработать методики неразрушающего контроля трибологических характеристик материалов по данным наноразмерных структурных изменений в поверхностных слоях.

3. Проанализировать особенности и установить причины изменения элементного состава поверхностных слоев меди в области воздействия пластической деформации.

4. Разработать способ определения модуля упругости твердых тел по относительным изменениям положений предварительно нанесенных нанолито-графических реперных линий при деформировании, измеряемых с разрешением атомно-силового микроскопа.

5. Исследовать наноразмерные явления и структурные изменения, вызываемые локализованными ударными воздействиями при электрических разрядах на тонких медных пленках. Описать механизмы формообразования на поверхности меди в разрядной области концентрических окружностей, фрактальных образований и упорядоченных скоплений наночастиц.

Объект исследования

Поверхностные слои меди, кремния и поликарбоната.

Предмет исследования

Поверхностные процессы наноструктурования при локализованных деформационных воздействиях.

Положения, выносимые на защиту

1. Закономерности знакопеременных сдвигов основного пика комбинационного рассеяния (518 см"1) в монокристаллическом кремнии, а также топологии распределений упругих напряжений при локализованных деформациях до 4ГПа по данным наноразмерных микроспектральных исследований.

2. Термоупругий механизм наноразмерных структурных изменений концентрационного содержания меди, углерода и кислорода на поверхности ме5 ди в области локализованной пластической деформации.

3. Методика и результаты определения модуля упругости, основанные на наноразмерных измерениях деформации тел на атомно-силовом микроскопе с модифицированным сканатором, по относительным изменениям положений реперных линий на поверхности образцов.

4. Термоупругий механизм формирования на поверхности меди микроструктурных концентрических окружностей, наночастиц и их упорядоченных скоплений при локализованных электрических воздействиях.

Научная новизна результатов исследования

1. Экспериментально доказана возможность построения трехмерных карт распределения внутренних напряжений при разных уровнях деформирования вплоть до необратимых изменений и хрупкого разрушения исследуемых образцов.

2. Установлена взаимосвязь упругих узколокализованных воздействий с теплофизическими процессами в поверхностных слоях меди (в следе микро-индентора), при которых инициируются окислительно-восстановительные процессы.

3. Обоснована возможность применения атомно-силовой микроскопии для определения упруго-прочностных параметров покрытий или образцах, имеющих малые размеры.

4. Обнаружено формирование на медных пленках в разрядной области упорядоченных скоплений наночастиц и предложен механизм их формообразования.

Практическая и теоретическая значимость работы

Методика, основанная на результатах, полученных в ходе выполнения работы, в том числе при разных упругих воздействиях и температурах, позволит оценивать такие физические характеристики, как модуль упругости, фотоупругости для разных материалов с наномасштабным разрешением. Результаты, показанные в работе, открывают дополнительные возможности для исследования процессов при концентрированных деформационных воздей6 ствиях и позволяют разрабатывать новые методы неразрушающей диагностики механических свойств различных материалов. Предложенный способ получения наночастиц и их агломератов заданной конфигурации методом низковольтного электрического разряда может найти применение при получении медных нанодисперсных порошков и формировании искростойких покрытий. Полученные результаты обладают патенто-способностыо, получено авторское свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2012617288 от 14 июня 2012 г, подана заявка на патент № 2011127604 от 05 июля 2011.

Результаты исследований будут востребованы в области нанотехноло-гий, физики конденсированных сред, материаловедения, физической химии, электротехники, найдут свое практическое применение в строительной, машиностроительной, химической и других отраслях промышленности, в деятельности хозяйствующих субъектов, будут отражены в программах обучения, методических указаниях к лабораторным работам, учебных пособиях, использованы в курсовом проектировании по направлению подготовки 210600.62 - «Нанотехнология».

Личный вклад автора

В постановке и проведении исследований, анализе и подготовке работы личный вклад автора является определяющим. Все результаты, содержащиеся в данной работе, были получены либо самим автором, либо при его непосредственном участии. В опубликованных в соавторстве работах его участие было определяющим в той части полученных результатов, которые нашли отражение в диссертации.

Достоверность экспериментальных исследований подтверждается использованием поверенной измерительной техники, оценкой погрешности измерений; совпадением данных нескольких независимых экспериментов. Результаты исследований, приведенные в диссертационной работе, хорошо согласуются между собой и не противоречат известным научным представлениям и результатам.

Соответствие диссертации паспорту научной специальности. В соот7 ветствии с областью исследования специальности 01.04.07 «Физика конденсированного состояния» диссертация включает в себя теоретическое и экспериментальное исследование свойств меди, поликарбонатов и кремния при различных концентрированных воздействиях. Полученные научные результаты соответствуют пунктам 1 и 3 паспорта специальности в части, касающейся теоретического и экспериментального изучения физической природы свойств металлов, неорганических соединений и диэлектриков, как в твердом, так и в аморфном состоянии в зависимости от их температуры и давления, а также изучения экспериментального состояния конденсированных веществ при сильном сжатии и ударных воздействиях, а также фазовых переходов в них. Апробация результатов работы Основные результаты работы были представлены на научных и научно-технических конференциях:

1. Всероссийская конференция с элементами научной школы для молодежи «Проведение научных исследований в области индустрии наносистем и материалов» (Белгород, 2009).

2. Международный инновационный форум «Инновационная Россия. Опыт регионального развития» (Курск, 2009)

3. II Международная молодежная научная конференция «Молодежь и XXI век» (Курск, 2010).

4. Региональный семинар «Инновационные научно-технические разработки и направления их реализации» (Курск, 2010).

5. XVII Российская научно-техническая конференция с международным участием(Курск, 2010).

6. IX региональная научная конференция «Физика: фундаментальные и прикладные исследования, образование» (Хабаровск, 2010).

7. VIII Международная научно-техническая конференция «Современные инструментальные системы, информационные технологии и инновации» (Курск, 2011).

8. Всероссийский инновационный конвент (Москва, 2011).

9. VII Международная конференция «Перспективные технологии, оборудование и аналитические системы для материаловедения и наноматери-алов» (Алма-Аты, 2011).

10. XII Всероссийская выставка наукчно-технического творчества молодежи «НТТМ» (Москва, 2011).

11. IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Крем-ний-2012» (Санкт-Петербург, 2012).

12. Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии -2012» (Таганрог, 2012).

13. Международная конференция по актуальным проблемам физики поверхности и наноструктур «ICMPSN 2012» (Ярославль, 2012).

Работа по тематике исследований поддерживалась Федеральными целевыми программами «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы (гранты П288 «Механизмы термоупругих воздействий в наномасштабных поверхностных слоях», П547 «Механизмы самоорганизации в наномасштабных системах по структурным и химическим данным», П913 «Наноструктурирование на границе раздела сред», П391 «Римановское рассеяние на наномасштабных объектах в гетерофазных материалах и средах с магнитным и сегнетоэлектрическим упорядочением», П947 «Комбинационное рассеяние и фотоактивационные процессы в тонких пластинах монокристаллов со структурой силленита», «Механизмы самоорганизации в наномасштабных системах по структурным и химическим данным»).

Публикации

Основные результаты, представленные в диссертации, опубликованы в 25 научных работах, из них 5 - в рецензируемых научных журналах и изданиях и 1 авторское свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ.

Структура диссертации

Работа состоит из введения, 4 глав, заключения, списка использованных источников из 120 наименований, 1 приложения; изложена на 128 страницах машинописного текста, содержит 52 рисунка, 4 таблицы.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Тимаков, Дмитрий Игоревич

Выводы к главе 4

1. По результатам микроскопических исследований наноразмерных структур, формируемых при электрическом разряде, с учетом измеренных средних размеров наночастиц —30 нм и их сферической формы, доказано, что наночастицы меди диспергируют в жидкой фазе, начиная с температуры 900 К.

2. Экспериментально доказано по данным микроскопических исследований на атомно-силовом микроскопе, что доминирующим механизмом для

107 самоорганизации наноразмерных структур, формируемых в центральной об

12 ласти разряда со скоростью изменения температуры до 10 К/с, является термоупругий процесс наноструктурирования.

3. Показано, что распределение по размерам наночастиц, формируемых в области разряда на обеих поверхностях катода, обусловлено агломерацией, на величину которой сильное влияние оказывают термоупругий и термокапиллярный механизмы, чем объясняется значительное различие в средних размерах наночастиц и их упорядоченных скоплений: для верхней плоскости катода —30 и 660 нм, для нижней —180 и 540 нм.

4. Предложена модель, объясняющая возникновение микроскопических регулярных концентрических окружностей (с периодом ~ 20 мкм), основанная на механизме возбуждения ударными волнами при сильно локализовано ^ ном разряде (с плотностью тока j ~ 3-10 А/см и напряженностью поля - Е ~ о

4-10 В/см) в тонких пленках (не более 50 мкм) термокапиллярных волн.

БЛАГОДАРНОСТИ

Автор считает своим долгом выразить огромную признательность научному руководителю доктору физико-математических наук, профессору А. П. Кузьменко за профессиональную помощь, которая была оказана при подготовке диссертационного исследования. Так же с собой благодарностью автор отмечает помощь в проведении исследований сотрудников Центра коллективного пользования научным оборудованием БелГУ «Диагностика структуры и свойств наноматериалов» (г. Белгород), а частности О. Н. Иванова.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Тимаков, Дмитрий Игоревич, 2012 год

1. Головин Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках (Обзор). / Ю.И. Головин // Физика твердого тела. 2008. - Т.50. - Вып. 12. -С. 2113-2142.

2. Гусев, А.И. Эффекты нанокристаллического состояния в компактных металлах и соединениях / А.И. Гусев // УФН— 1998. -Т. 168. -№1. -С. 55-83.

3. Rempel, A.A. Iron nanoparticlees in severe-plastic-deformed copper / A.A. Rempel, S.Z. Nazarova, A.I Gusev // Nanoparticle research. 1999. - V.l. № 4.-P. 485-490.

4. Малыгин, Г. А. Влияние размера зерен на устойчивость микро- и нанокристаллических металлов к локализации пластической деформации в виде шейки/ Г. А. Малыгин // Физика твердого тела. 2011. - Т. 53. -Вып. 2.-С. 341-345.

5. Лексовский, A.M. Некоторые аспекты зарождения и развития трещин микро- и мезомасштаба и квазихрупкого разрушения однородных материалов / A.M. Лексовский, Б.Л. Баскин // Физика твердого тела. 2011. -Т. 53.-Вып. 6.-С. 1157-1168.

6. Hartwell, Peter G. Rethinking MEMS sensor design for the masses/ P.G. Hartwell // Electronic Engineering Times Europe. — 2010.

7. Williamson, D.L. Microstructure of amorphous and microcrystalline Si and SiGe alloys using X-rays and neutrons/ D.L. Williamson // Solar Energy Materials & Solar Cells 2003. - Vol. 78. - P. 41-84.

8. Skatkov, L. The Influence of Space Environment on Substructure of Light-Absorbing Thermoregulating / L. Skatkov, P. Cheremskoy, V. Gomozov, B. Bayrachny, G. Tulskiy, S. Deribo // Coatings. 2011. -№ 1. - P. 108-116.

9. Шпейзман, В. В. Многоуровневый характер деформации полимеров / В.

10. B. Шпейзман, Н. Н. Песчанская // Физика твердого тела. 2011. - Т. 53. -Вып. 6.-С. 1169-1174.

11. Александров, И.А. Особенности поведения нано- и микрокомпозитов на основе полистирола в условиях быстрого сжатия / И. А. Александров, О. Т. Гриценко, Е. В. Гетманова и др.//Журнал технической физики. -2011.-Т. 81.-Вып. 4.-С. 62-66.

12. Слуцкер, А.И. Возможные проявления квантового эффекта (туннелиро-вания) в элементарных актах кинетики разрушения полимеров/ А.И. Слуцкер, B.JL Гиляров, Ю.И. Поликарпов, Д.Д. Каров // Физика твердого тела. 2010. - Т.52. - Вып.8. -С. 1524-1530

13. Глухова, О. Е. Эмперическое моделирование продольного растяжения и сжатия графеновых наночастиц и нанолент / О. Е. Глухова, А.

14. C. Колесникова//Физика твердого тела. 2011. - Т. 53. - Вып. 9. - С. 1855-1860.

15. Федоров, А.С. Подвижность вакансий при деформации и их влияние на упругие свойства графена/ А.С. Федоров, Д.А. Федоров, З.И. Попов и др. // ЖЭТФ. 2011. - Т. 139. - В. 5. - С. 929-942.

16. Андриевский Р.А., Глезер A.M. / Прочность наноструктур // УФН. 2009. Т.179. №4. С. 337-358.

17. Кузьменко, А.П. Наноструктурные особенности материалов при механических и электрофизических воздействиях / А.П. Кузьменко, Д.И. Ти111маков // Современные инструментальные системы, информационные технологии и инновации. Курск, 2011. — 4.2. — С. 249-256.

18. Малыгин, Г.А. Моделирование деформационного рельефа поверхности пластически деформируемого кристалла / Г.А. Малыгин // Физика твердого тела. 2007. - Т.49. - Вып. 8. - С.1392-1397.

19. Панин, A.B. Влияние наноструктурирования подложки Си на разрушение теплозащитных покрытий Si-Al-N при одноосном растяжении / A.B. Панин, А.Р. Шугуров, М.С. Казаченок, В.П. Сергеев // Журнал технической физики. 2012. - Т. 82, - Вып. 6. - С. 44-52.

20. Шушков, А. А. Разработка программно-аппаратного комплекса для определения упругих характеристик нано- и микрочастиц / А. А. Шушков // Автореферат. Ижевск, 2007.

21. Головин, Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках (Обзор) / Ю.И. Головин // Физика твердого тела, 2008, Т.50. Вып. 12. С. 2113 -2442

22. Ландау, Л. Д. Теоретическая физика / Л. Д. Ландау, Е. М. Лифшиц // Издание 5-е, стереотипное — 2007. Т. VII. Теория упругости. — 264 с.

23. Гусев, А.И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии / А.И. Гусев // М.: Физматлит. 2007. — 416 с.

24. Валиев, Р. 3. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией / Р. 3. Валиев, И. В. Александров // М.: Логос. 2000. - 272 с.

25. Хокинг, М. Металлические и керамические покрытия / М. Хокинг, В. Васантасри, П. М. Скидки // Мир. 2000. - 516 е.

26. Поута, Д.М. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под ред. Дж. М. Поута, Г.Фоти, Д.К. Джекобсона // Машиностроение. 1991. - Т. 1. -432 с.

27. Gavaleiro, A. Nanostructured Coating / A. Gavaleiro, J.T. De Hosson // Berlin: Springer-Verlag. 2006. - 648 p.

28. Левашов, E.A. Многофункциональные наноструктурные пленки (Обзор) / E.A. Левашов, Д.В. Штанский // Успехи химии. 2007. - Т. 76. - № 5. -С. 501-509.

29. Решетняк, E.H. Синтез наноструктурных пленок: достижения и перспективы / E.H. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Харьковская нано-технологическая ассамблея. Т. 1. Наноструктурные материалы. Харьков, 2007.-С. 6-16.

30. Башков, В.М. Нанотехнологическая база микросистемной техники / В.М.Башков и др.; Под ред. О.С.Нарайкина и В.Д.Шашурина. // М.: Изд-во МГТУ им.Н.Э.Баумана. 2007. - 52 с.

31. Броудай, И. Физические основы микротехнологии / И. Броудай, Дж. Мерей // Пер. с англ. М.: Мир. 1985. - 523 с.

32. Кузьменко А.П. Механизмы термоупругого формирования нанокерами-ческих слоев при лазерной абляции диоксида циркония / А.П. Кузьмен113ко, М.А. Пугачевский, Н.А. Кузьменко, Д.И. Тимаков// Материалы и упрочняющие технологии. 2010. - С. 227-233.

33. Кузьменко А. П. Поверхностное наноструктурирование для контактных пар / А. П. Кузьменко, Д. И. Тимаков, С. А. Пячин // Тезисы докладов VII Международной научно-практической конференции "Нанотехнологии производству - 2010". -2010. - С. 74-75.

34. Олянич, Д.А. Адсорбция Со на реконструированные поверхности кремния: Si(100)-c(4x 12)-А1 и Si(lll)-5.55x 5.55-Cu / Д.А. Олянич, Д.Н. Чу-бенко, Д.В. Грузнев, А.В. Зотов, А.А. Саранин //Письма в ЖТФ. 2007. -Т. 33.-С.31.

35. Yeshchenko, О.А. Optical properties of nanoparticles embedded in silica matrix / Yeshchenko O.A., Dmitruk I. M., Dmitruk A. M., Alexeenko A. A. // Materials Science and Engineering: B. 2007. - V. 137, - Is. 1-3. - P. 247254.

36. Saito, M. Copper nanoparticles fabricated by laser ablation in polysiloxane / M. Saito, K. Yasukawa, T. Umeda, Aoi Y. // Optical Materials. 2008. - V. 30,-1. 7. —P. 1201-1204.

37. Асиновский, Э.И. Эрозия медного катода в отрицательном коронном разряде / Э.И. Асиновский, А.А. Петров, И.С. Самоойлов // Журнал технической физики. 2008. - Т. 78. - В.2. - С. 137.

38. Li, W.L. Fabrication of a gradient nano-micro-structured surface layer on bulk copper by means of a surface mechanical grinding treatment / W.L. Li, N.R. Tao, K. Lu // Scripta Materialia. 2008. - V. 59. - Is 5. - P. 546-549.

39. Таиров, IO. M. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. / IO. М. Таиров, В. Ф. Цветков // Учебник для вузов. 3 изд. Изд-во «Лань». СПб, 2003.

40. Крапухин, В. В. Технология материалов электронной техники / В. В. Крапухин, И. А. Соколов, Г. Д. Кузнецов // МИСИС. М., 1995.

41. Корицкого, Ю. В. Справочник по электротехническим материалам: В 3 т. Т. 3 / Под ред. Ю. В. Корицкого, В. В. Пасынкова, Б. М. Тареева // Л.: Энергоатомиздат, 1988.

42. Асиновский, Э.И. Эрозия медного катода в отрицательном коронном разряде / Э.И. Асиновский, A.A. Петров, И.С. Самойлов // Журнал технической физики. 2008. -Т. 78. - Вып. 2. - С. 137-139.

43. Смирнов, Б.М. Генерация кластерных пучков / Б.М. Смирнов // Успехи физических наук. 2003. - Т. 173. - No 6. - С. 609.

44. Жарков, С.М. Кристаллизация пленок железо-углерод, инициированная электронным пучком / С.М. Жарков, Л.И. Квеглис // Физика твердого тела. -2004. -Т. 46. -Вып. 5. -С. 938-944.

45. Gleiter, H. Introduction to nanocrystalline solidsh. / H. Gleiter. // Prog. Mater. Sei.-1989. V. 33,P.223.

46. Фролов, Г.И. Структура и магнитные свойства нанокристаллических пленок железа / Г.И. Фролов, B.C. Жигалов, Л.И. Квеглис, С.М. Жарков, O.A. Баюков, А.Л. Басько // Физика Металлов и Металловедение. 1999. - Т.88, - №2.

47. Жигалов, B.C. Влияние температуры на структурные превращения в нанокристаллических пленках кобальта / B.C. Жигалов, Г.И. Фролов, Л.И. Квеглис // Физика твердого тела 1998. Т.40. - Вып. 11, с.326.

48. Шкловский, В.А. Взрывная кристаллизация аморфных веществ / В.А. Шкловский, В.М. Кузьменко // Успехи физических наук. 1989. Т. 157. -Вып. 2, с. 311.

49. Уманский, Я. С. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия / Я. С. Уманский, Ю. А. Скаков, А. Н. Иванов, Л. Н. Расторгуев // М.: Металлургия. 1982. 632 с.

50. Синдо, Д. Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия / Д. Синдо. Т. М. Оикава // Техносфера. 2006. - 256 с.115

51. Николис, Г. Самоорганизация в неравновесных системах / Г. Николис, И. Пригожин // Мир, М. -1979. 512 с.

52. Кузьменко, А.П. Механизмы термоупругого формирования нанокерами-ческих слоев при лазерной абляции диоксида циркония / А.П. Кузьменко, М.А. Пугачевский, Н.А. Кузьменко, Д.И. Тимаков // Материалы и упрочняющие технологии 2010. - С. 227-233.

53. Малыгин, Г.А. Влияние дисперсии распределения зерен по размерам на прочность и пластичность нанокристаллических металлов / Г.А. Малыгин // Физика твердого тела. 2008. - Т.50. - Вып. 6. - С. 1013-1017.

54. Smirnov, V.K. Nuclear Instrumens and Methods in Physics / V.K. Smirnov, D.S. Kibalov, S.A. Krivelevich et al. // Research. B. 1999. - V. 147. - P. 310-315.

55. Setzu, S. Photo-lithography for 2d optical microstructures in porous silicon, application to nucleation of macropores / S. Setzu, P. Ferrand, G. Lerondel, R. Romestain // Appl. Surface Science. 2002. - V. 186. - P. 588-593.

56. Uglov, V.V. Composite vapor deposited coatings and process and the mechanical properties / V.V. Uglov, V.M. Anishchik, V.V. Astashynski et al. // Surface and Coatings Technology. 2004. - V. 180-181. - P. 633-636.

57. Кожевин, B.M. Стабилизация процесса электрогидродинамического диспергирования металлов с электронно-лучевым нагревом / В.М. Кожевин, М.В. Горохов, Д.А. Явсин, П.А. Дементьев, С.А. Гуревич // Письма в ЖТФ. -2010. -Т. 36. -Вып. 7. С. 96-102

58. Сарычев, В.Д. Образование наноразмерных структур в металлах при воздействии импульсных плазменных струй электрического взрыва /

59. B.Д. Сарычев, Е.С. Ващук, Е.А. Будовских, В.Е. Громов // Письма в ЖТФ. -2010. Т. 36, Вып. 14. -С. 41-48.

60. Миргород, 10. А. Получение и характеризация наночастиц золота из скрапа / Ю. А. Миргород, Н. А. Борщ, В. Г. Бородина, Г. Ю. Юрков, Д. И. Тимаков // XI международная научная конференция «химия твердого тела: наноматериалы, нанотехнологии»-2012.

61. Ingrid, D. W. Micro-Raman spectroscopy to study local mechanical stress in silicon integrated circuits / D. W. Ingrid // Semicond. Sci. Technol. 1996. -V.ll.-P. 139- 154.

62. Gundel, P. Micro-spectroscopy on silicon wafers and solar cells / P. Gundel, С. M. Schubert, D. H. Friedemann, W. Robert, J. Benick, J.A. Giesecke, D. Suwito, W. Warta//Nanoscale Research Letters. -2011. -V. 6:197. 8 pp.

63. Himcinschi, C. Compressive uniaxially strained silicon on insulator by pre-strained wafer bonding and layer transfer/ C. Himcinschi, M. Reiche, R. Scholz, S.H. Christiansen, U. Gosele // Applied Physics Letters. 2007. - V. 90.-P. 231909-1-231909-3.

64. Dubey, R.S. Synthesis and Characterization of Nanociystalline Porous Silicon Layer for Solar Cells Applications / R.S. Dubey, D.K. Gautam // Journal of Optoelectronic and Biomedical Materials. 2009. - Vol. 1. - Num. 1. - P . 8-14.

65. Maher, S. Induced stresses and structural changes in silicon wafers as a result of laser micro-machining / S. Amera, L. Dosserb, S. LeClairc, J. F. Maguire // Applied Surface Science. 2002. - Vol. 187. - P. 291-296.

66. Dmitriev, S.V. Effect of elastic deformation on phonon spectrum and characteristics of gap discrete breathers in crystal with NaCl-type structure / S.V. Dmitriev, Yu.A. Baimova // Technical Physics Letters. 2011, - Vol. 37, -Is. 5,-P. 451-454.

67. Douketis, C. Fractal character of cold-deposited silver films determined by low-temperature scanning tunneling microscopy / C. Douketis, Z. Wang, T. L. Haslett, M. Moskovits // Physical Review B. 1995. - Vol. 51. - Number 16.

68. Zahn, W. The dependance of fractal dimension on measuring conditions of scanning probe microscopy / W. Zahn, A. Zosch // Fresenius J Analen Chem. 1999.-V. 365. -P. 168-172.

69. Put, A. V. Quantitative characerization of individual particle sutfaces by fractal analysis of scanning electron microscope images / A. V. Put, A. Vertes, D. Wegrzynek, B. Treiger, R. Van Grieken // Fresenius J Analen Chem. 1994. -Vol. 350.-P. 440-447.

70. Zahn, W. Characterization of thin film surfaces by fractal geometry / W. Zahn, A. Zosch // Fresenius J Anal Chem. -1997. -Vol. 358. P. 119-121.

71. Kuzmenko, A. P. Stress fields within the cantilever console according to raman scattering / A. P. Kuzmenko, D. I. Timakov, P. V. Abakumov, M. B. Dobromyslov // Modern problems in physics of surfaces and nanostructures. -2012.-P. 108-109.

72. Kuzmenko, A.P. Domain wall structure of weak ferromagnets according to Raman / A.P. Kuzmenko, P.V. Abakumov, M.B. Dobromyslov // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. 2012. - Vol. 324. - P. 1262-1264.

73. Кузьменко, А. П. Топология напряжений в кремниевой монокристаллической балке кантилевера / А. П. Кузьменко, Д. И. Тимаков, П. В. Абакумов и др. // Известия Юго-Западного государственного университета. -Курск, 2012. -№1(40). -Ч. 2. С. 71-77.

74. Ingrid D. W. Micro-Raman spectroscopy to study local mechanical stress in silicon integrated circuits / D. W. Ingrid // Semicond. Sci. Technol. -1996. -V.ll.-P. 139-154.

75. Dmitriev, S.V. Effect of elastic deformation on phonon spectrum and characteristics of gap discrete breathers in crystal with NaCl-type structure / S.V. Dmitriev, Yu.A. Baimova // Technical Physics Letters. 2011. - Vol. 37. -Is. 5.-P. 451-454.

76. Malygin, G.A. Influence of the transverse size of samples with micro- and nano-grained structures on the yield and flow stresses / G.A. Malygin // Physics of the Solid State. -2012. Vol. 54. -№ 3. - P. 559-567.

77. Omel'chenko, S. Reversible changes in the structure of zinc sulfide crystals during elastic deformation / S. Omel'chenko, M. Bulanyi // Physics of the Solid State. 1997. - Vol, 39. - № 7. - P. 1091-1093.

78. Малыгин Г. А. Влияние размера зерен на устойчвость микро- и нано-кристаллических металлов к локализации пластической деформации в виде шейки / Г. А. Малыгин // Физика твердого тела. 2011. - Т. 53. -Вып. 2.-С. 341-345.

79. Балагурова, Д.Б. Теория сканирующей емкостной микроскопии / Д.Б, Балагуров, А.В. Ключник, Ю. Е. Лозовик // Физика твердого тела. -2000. Т.42. - Вып. 2. -С.361-366

80. Girard, P. Electrostatic force microscopy: principles and some applications to semiconductors / P. Girard // Nanotechnology. 2001. - V. 12. - Num. 4. -P. 485

81. Chhowalla, M. Influence of energy and substrate temperature on the optical and electronic properties of tetrahedral amorphous carbon (ta-C) films / M. Chhowalla//J. Appl. Phys. 1997. - Vol. 81 (1). -P. 139-145.

82. Головин Ю.И. Наноиндентирование и механические свойства твердых тел в субмикрообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках (Обзор) / Ю.И. Головин // Физика твердого тела. 2008. - Т.50. - Вып.12. -С. 2113-2142.

83. Шпейзман, В.В. Многоуровневый характер деформации полимеров / В.В. Шпейзман, H.H. Песчанская // Физика твердого тела. 2011. — Т.53. - Вып. 6. - С. 1169 - 1174.

84. Кузьменко, А.П. Нанодеформирование материала CD-диска / А.П. Кузьменко, Д.И. Тимаков // Научные ведомости Белгородского государственного университета. Серия Математика. Физика. Белгород, 2011. -№11(106).-Вып. 23.-С. 108-112.

85. Кузьменко, А.П. Наноструктурирование медных пленок в электрическом разряде / А.П. Кузьменко, Д.И. Тимаков // Международная научно-техническая конференция «Нанотехнологии-2012 25-29 июня 2012 г.» Тезисы докладов. Таганрог, 2012. - С. 94-95.

86. Gavaleiro, A. Nanostructured Coating / A. Gavaleiro, J.T. De Hosson // Berlin: Springer-Verlag. 2006. - 648 p.120

87. Voevodin A.A. Nanosructured Thin Films and Nanodispersion Strengherred Coatings / Ed. by A.A. Voevodin, D.V. Shtansky, E.A. Levashov, J.J. Moore // Dordrecht: Kluger Academic. 2004. - 322 p.

88. Левашов, E.A. Многофункциональные наноструктурированные пленки / E.A. Левашов, Д.В. Штанский // Успехи химии. 2007. - Т. 76. - № 5. -С. 501-509.

89. Решетняк, E.H. Синтез упрочняющих наноструктурных покрытий / E.H. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Вопр. атом, науки и техн. 2008. - № 2.

90. Седой, В. С. Получение высокодисперсных металлических порошков методом электрического взрыва в азоте пониженного давления / В. С. Седой, В. В. Валевич // Письма ЖТФ. 1999. - Т. 25. - Вып. 14. -С. 8184.

91. Пячин, С.А. Структурно-фазовые превращения медной фольги под воздействием искрового разряда/ С.А. Пячин, В.Г. Заводинский, М.А. Пугачевский // ФММ. 2006. - Т. 101. - С. 171.

92. Пячин С.А. Поверхностное структурирование меди под действием электрического разряда / С.А. Пячин, В.Г. Заводинский, А.П. Кузьменко, М.А. Пугачевский, A.A. Бурков, Д.И. Тимаков // Письма ЖТФ. 2010. -Т.36. - Вып.14. - С.34-40.

93. Месяц Г.А. Эктон— лавина электронов из металла // УФН. 1995. - Т. 165.-С. 601-626

94. Климов, A.B. О нелинейном капиллярно-флуктуационном периодическом волновом движении в тонкой пленке жидкости на твердой подложке / A.B. Климов, А.И. Григорьев // Журнал технической физики. 2009. -Т.79. -Вып. 10.-С. 14-21.

95. Зуев, A.JI. Особенности концентрационного-капиллярной конвекции / А.Л. Зуев, А.Г. Костарев // Успехи физических наук. 2008. - Т. 178. Вып. 10.-С. 1065- 1085.

96. Пикуз, С.А. Интерпретация экспериментальных данных по электрическому взрыву тонких проволочек в воздухе / С.А. Пикуз, Д.А. Ткаченко, Д.А. Баришпольцев и др. // Письма в ЖТФ. 2007. - Т. 33. - С. 47.

97. Магомедов, М. Н. Теплота плавления для наночастицы / М. Н. Магомедов // Журнал технической физики. 2011. - Т. 81. - Вып. 9. - С. 57-62.

98. Османов О.М. Наглядное моделирование фрактальных структур / О.М. Османов //Успехи физических наук. 1995. - Т. 165. - №9. - С. 10951097.

99. Суздалев И. П. Дискретность наноструктур и критические размеры на-нокластеров / И. П. Суздалев, П. И. Суздалев // Успехи химии 2006. -Т. 75. В. 8.-С. 715-752

100. Кузьменко, А.П. Явление самосборки в наномасштабных системах по данным атомно-силовой микроскопии / / А.П. Кузьменко, Д.И. Тимаков, П. В. Абакумов, В. Г. Бородина // Материалы и упрочняющие технологии.-2010. С. 263-269.

101. Кузьменко, А. П. Поверхностное наноструктурирование для контактных пар / А. П. Кузьменко, Д. И. Тимаков, С. А. Пячин // VII Международная научно-практической конференция "Нанотехнологии производству -2010":Тезисы докладов.- 2010. - С. 74-75.

102. Абакумов, П.В. Структурирование на межфазных границах в процессе электроконвекции / Д.И. Тимаков, П.В. Абакумов, А.И. Жакин и др. // Известия Юго-Западного государственного университета. Курск, 2011. -№1 (34).-С. 38-44.

103. Шкляр, B.C. Теплообменник // Патент СССР № 1686298. Опубл. 23.10 1991.

104. Сажин, Ф.М. Способ регулирования теплопередачи между жидким и газообразным теплоносителями и устройство для его осуществления / Ф.М. Сажин, М.К. Болога, И.А. Кожухарь, A.B. Малахов // Патент СССР № 1703940 Опубл. 07.01 1992.

105. Белецкий, М.Д. Усиление электрического поля в холодных полевых катодах на основе углеродных нанотрубок / М.Д. Белецкий, Г.С. Бочаров, A.B. Елецкий // Журнал технической физики. 2010. - Т.80, вып.2. - С. 130-137.

106. Бочаров, Г.С. Оптимизация параметров холодного катода на основе углеродных нанотрубок / Г.С. Бочаров, A.B. Елецкий, Sommerer T.J. // Журнал технической физики. 2011. - Т. 81, № 4. - С. 111-116.