Нерегулярные микрополосковые резонаторы и СВЧ устройства на их основе тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.12.21, кандидат технических наук Шихов, Юрий Германович

• Шихов, Юрий Германович
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шихов, Юрий Германович

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ.

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I

НЕРЕГУЛЯРНЫЕ МИКРОПОЛОСКОВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ.

1.1 Нерегулярные микрополосковые резонаторы со ступенчатым изменением волнового сопротивления.

1.2 Нерегулярные микрополосковые резонаторы с плавным изменением ширины полоскового проводника.

1.3 Использование адгезионного подслоя хрома для подавления добротности резонансов высших мод колебаний МПР.

ГЛАВА II

МНОГОМОДОВЫЕ МИКРОПОЛОСКОВЫЕ РЕЗОНАТОРЫ.

2.1 Двухмодовый полуволновой микрополосковый резонатор.

2.2 Двухмодовый четвертьволновой микрополосковый резонатор.

2.3 Многомодовый микрополосковый резонатор.

2.4 Многомодовый микрополосковый резонатор с квазисосредоточенными элементами.

ГЛАВА III

МИКРОПОЛОСКОВЫЕ ПОЛОСОВЫЕ ФИЛЬТРЫ НА ОСНОВЕ НЕРЕГУЛЯРНЫХ МПР.

3.1 Методы расчета микрополосковых устройств.

3.2 Связь микрополоскового резонатора с внешним СВЧ трактом. Влияние связи на избирательность полосового фильтра.

3.3 Использование нерегулярных МПР в полосно-пропускающих фильтрах.

3.4 Фильтр гармоник на основе нерегулярных МПР с выступами адгезионного подслоя.

3.5 Микрополосковые фильтры на основе многомодовых нерегулярных МПР.

3.5.1 Микрополосковый фильтр на двухмодовом МПР типа "квадрат.

3.5.2 Микрополосковые фильтры на многомодовом МПР.

ГЛАВА IV

МУЛЬТИПЛЕКСЕРЫ НА ОСНОВЕ НЕРЕГУЛЯРНЫХ МНОГОМОДОВЫХ МИКРОПОЛОСКОВЫХ РЕЗОНАТОРОВ.

4.1 Диплексер на двухмодовом полуволновом микрополосковом резонаторе.

4.2 Диплексер на двухмодовом четвертьволновом МПР.

4.3 Диплексер на основе многомодового резонатора.

ГЛАВА V

ДАТЧИКИ НА ОСНОВЕ НЕРЕГУЛЯРНЫХ МПР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАГНИТНЫХ И ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МАТЕРИАЛОВ.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Нерегулярные микрополосковые резонаторы и СВЧ устройства на их основе»

Актуальность проблемы. Прогресс в развитии радиолокации, систем связи, средств контроля и диагностики материалов в СВЧ диапазоне, обусловлен прежде всего совершенствованием всех компонентов радиоаппаратуры, и в том числе устройств, использующих резонансы электромагнитных колебаний. В частности большое внимание уделяется совершенствованию конструкций частотно-селективных устройств (ЧСУ), различных датчиков на основе резонаторов, генераторов СВЧ сигналов и др.

Возрастающие требования к габаритам, надежности, а также к себестоимости изделия, приводят к необходимости создания устройств с оптимальными электрическими характеристиками в сочетании с повышенной степенью интеграции СВЧ компонентов. Это заставляет разработчиков аппаратуры с одной стороны, широко использовать новейшие достижения науки в области электродинамики, СВЧ электроники, материаловедения, а с другой стороны - искать новые подходы к конструированию устройств и оптимизации их параметров.

Как известно, самыми миниатюрными из "электродинамических" резонаторов являются микрополосковые резонаторы (МПР) [1], поэтому в метровом и дециметровом диапазонах длин волн наиболее широкое распространение получили СВЧ устройства на их основе. Однако проблема миниатюризации остается довольно актуальной даже в конструкциях устройств на МПР, и она может решаться несколькими путями. Например, использование в качестве материала подложек МПР высокочастотных керамик с большим значением диэлектрической проницаемости (в » 10) приводит не только к существенному уменьшению размеров резонаторов, но и к увеличению их добротности [2].

Особое внимание в последнее время исследователи уделяют развитию нетрадиционных подходов к построению миниатюрных микрополосковых СВЧ устройств. Среди таких подходов особо выделяются два. Первый - основан на использовании так называемых нерегулярных микрополосковых резонаторов, составленных из отрезков регулярных микрополосковых линий с различным волновым сопротивлением. Нерегулярные микрополосковые резонаторы обладают рядом положительных особенностей по сравнению с регулярными МПР. К таким особенностям относятся: миниатюрность, управляемая неэквидистантность спектра собственных колебаний [3], возможность удаления второго паразитного резонанса почти на две октавы, повышенная собственная добротность первого рабочего резонанса [4]. В результате устройство на нерегулярных резонаторах выигрывает не только в размерах, но и может иметь более качественную амплитудно- и фазо-частотную характеристику. Поэтому актуальны исследования направленные на изучение свойств нерегулярных микрополосковых резонаторов и получение оптимизированных конструкций ЧСУ на их основе.

Второй подход основан на использовании в СВЧ устройствах так называемых многомодовых резонаторов. Многомодовые резонаторы появились благодаря стремлению конструкторов более эффективно использовать полезный объем, занимаемый устройством. Конструктивные особенности таких резонаторов позволяют существенно сблизить в них собственные частоты двух или более типов колебаний. В результате каждый многомодовый резонатор имеет сразу несколько рабочих резонансов. Однако микрополосковые многомодовые резонаторы в настоящее время применяются крайне редко, по сравнению с другими типами многомодовых электродинамических резонаторов (волноводных, диэлектрических и т.д. [5-6]). Поэтому вполне актуальны исследования направленные на изучение многомодовых МПР и построение широкого класса устройств на их основе.

Цель настоящей работы. Теоретическое и экспериментальное исследование нерегулярных и многомодовых микрополосковых резонаторов, разработка и создание на их основе оптимизированных конструкций микрополосковых фильтров, мультиплексоров, датчиков для изучения диэлектрических и магнитных свойств материалов на СВЧ.

Научная новизна работы. Новые научные результаты, полученные в работе, состоят в следующем.

1. Исследовано влияние различных типов связи входного и выходного резонаторов с внешними линиями передачи на электрические характеристики микрополосковых фильтров. Показано, что комбинированная связь увеличивает избирательность полосно-пропускающего фильтра.

2. Исследовано влияние нерегулярностей резонаторов на крутизну склонов АЧХ микрополосковых фильтров. Показано, что варьирование конструктивных параметров нерегулярных МПР позволяет эффективно управлять асимметрией склонов АЧХ фильтра.

3. Исследован эффект селективного подавления добротности высших резонансов МПР адгезионным подслоем. Показано, что на основе этого эффекта возможно создание фильтра гармоник с широкой полосой заграждения паразитного СВЧ сигнала.

4. Исследованы закономерности поведения спектров собственных колебаний ряда многомодовых микрополосковых резонаторов при изменении их конструктивных параметров. Разработаны принципы эффективного управления резонансными частотами многомодовых МПР. Показана возможность сближения резонансов от двух до четырех первых мод колебаний МПР и их практического использования при построении ЧСУ.

На защиту выносится.

1. Результаты исследований электрических характеристик микрополосковых фильтров на основе нерегулярных МПР.

2. Оригинальные конструкции микрополосковых диплексеров на двух-модовых нерегулярных резонаторах.

3. Оригинальные конструкции многомодовых микрополосковых резонаторов, позволяющие реализовать ЧСУ с относительной полосой пропускания от 2 до 100%.

4. Оптимизированные конструкции микрополосковых датчиков для измерения магнитных и диэлектрических свойств материалов.

Практическая ценность работы. Предложен ряд оригинальных конструкций микрополосковых фильтров, защищенных авторским свидетельством и патентами России. Результаты исследований крутизны склонов АЧХ фильтров на нерегулярных резонаторах от конструктивных параметров МПР используются для создания устройств с требуемой избирательностью. На основе многомодовых нерегулярных МПР реализованы миниатюрные конструкции полосно-пропускающих фильтров и мультиплексеров со смежными полосами пропускания. Получены оптимизированные конструкции миниатюрных высокочувствительных микрополосковых датчиков для измерения магнитных и диэлектрических свойств материалов.

Внедрение результатов работы. Проведенные исследования позволили разработать и внедрить оптимизированные конструкции микрополосковых фильтров и мультиплексеров на ряде предприятий России. Результаты проведенных исследований по микрополосковым датчикам и сами датчики внедрены в учебный процесс в Томском государственном университете. Все внедрения подтверждены соответствующими актами. Оригинальные конструкции фильтров и микрополоскового датчика защищены авторским свидетельством СССР и тремя патентами России.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на Всесоюзной научно-технической конференции Интегральная электроника СВЧ (Красноярск, 1988), на ХУ-й Всероссийской школе-семинаре Новые магнитные материалы микроэлектроники (Москва, 1996), на международной научно-технической конференции Спутниковые системы связи и навигации (Красноярск, 1997), на 1У международной научно-технической конференции

Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЕП-98 (Новосибирск, 1998), на Ш Международном симпозиуме Сибконверс-99 (Томск, 1999), на 9 Международной Крымской конференции СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии (Севастополь, 1999).

Публикации. По теме диссертационной работы опубликовано 16 работ, в том числе в центральных научно-технических журналах 3, а также в описании 1 авторского свидетельства и 3 патентов на изобретение.

Структура диссертации. Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка цитированной литературы и приложений. Общий объем диссертации - 125 страниц, включая 66 рисунков, одной таблицы, 7 страниц приложений. Библиографический список содержит 59 наименований.

Заключение диссертации по теме «Радиотехнические системы специального назначения, включая технику СВЧ и технологию их производства», Шихов, Юрий Германович

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В заключении перечислим основные результаты работы, которые заключаются в следующем:

1 Исследовано влияние различных типов связи микрополосковых резонаторов с внешним СВЧ трактом на характеристики пол ос н о-п рон ус каю щи х фильтров. Показано, что комбинированные виды связи и, в частности кондук-тивно-индуктивная, существенно увеличивают избирательность полосового фильтра.

2 Исследовано влияние нерегулярности микрополоскового резонатора на крутизну склонов АЧХ некоторых типов микрополосковых фильтров. Показано, что изменение конструктивных параметров нерегулярностей позволяет эффективно управлять асимметрией склонов АЧХ фильтра при неизменной ширине полосы пропускания.

3 Исс ледован эффект селективного подавления добротности высших резонансов микрополоскового резонатора адгезионым подслоем. Применение этого эффекта на нерегулярном микрополосковом резонаторе оригинальной конструкции позволяет создать полосовой фильтр с полосой заграждения до нескольких октав.

4 Исследовано пять типов многомодовых резонаторов и частотно-селективных устройств на их основе. Показана возможность создания фильтра с полосой пропускания от 2% до 100% на одном многомодовом резонаторе. При этом в формировании полосы пропускания могут использоваться до четырех рабочих колебаний резонатора. Мультиплексеры созданные на основе многомодовых МБР могут иметь смежные каналы пропускания. Все устройства отличаются рекордно малыми габаритами и высокими электрическими характеристиками.

5 На нерегулярных микрополосковых резонаторах созданы оптимизированные конструкции СВЧ датчиков для измерения диэлектрических и магнитных свойств материалов. Датчики имеют высокую чувствительность при небольших габаритах и позволяют работать с малым количеством исследуемого материала.

Автор выражает глубокую благодарность научному руководителю Б.А. Беляеву за предложенную тему, руководству данными исследованиями и постоянное внимание к работе. Автор выражает признательность всем сотрудникам лаборатории за помощь в работе и обсуждении результатов.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шихов, Юрий Германович, 2000 год

1. Справочник по элементам полосковой техники./ под ред. А.Л. Фельдпл ена. - М.: Связь, 1979, 336 с.

2. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Елисеев А.К. и др. Исследование микрополоско-вых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть I Препринт ЛЬ 415 Ф, Институт физики, Красноярск, 1987, 55 с.

3. Конструирование и расчет полосковых устройств / В.И. Голубев, И.С. Ковалев, Е.Г. Кузнецов и др.; Под ред. И.С. Ковалева. М.: Сов. Радио, 1974. -296 е., с.86.

4. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Васильев В.А. и др. Исследование микрополос-ков ых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть II Препринт М> 448 Ф, Институт физики, Красноярск, 1987, 44 с.

5. S. J. Fiedziuszko. "Practical aspects and limitations of dual mode dielectric resonator filters" in IEEE MTT-S Int. Microwave Syrnp. Dig. (St. Louis), June 1985, pp. 353-356

6. Капилевич Б.Ю., Требухин E.P. Волноводно-диэлектрические фильтрующие структуры: Справочник M.: Радио и связь 1990. 272 с.

7. Веселов Г.И., Егоров E.H., Атехин Ю.Н. и др. Микроэлектронные устройства СВЧ. Учеб. пособие для вузов. М.: Высш. шк., 1988. - 280 с.

8. Stiglitz M.R. Dielectric Resonators: Past, Present, and Future // Microwave ,/.-1981, vol. 24, No. 7, PP. 19-36.

9. Гассанов Л.Г., Ротенберг Б.А., Нарытник Т.Н. и др. Термостабилъные высокодобротные диэлектрические резонаторы для СВЧ электроники. // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ- 1981, вып. 6 (330), с. 2125.

10. Ю.Заикин В А., Смыслов Г.М. Выбор диэлектрической проницаемости подложки при миниатюризации полосно-пропускающих фильтров дециметрового диапазона. // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ- 1989, вып. 9 (423), с. 9-11.

11. Авт. Свид. СССР № 596557. Керамический материал. /Л.И. Мудролюбова, Б.А. Ротенберг, А.Н. Борщ и др.-1978, Бюл. № 9.

12. Безбородое Ю.М., Гассанов Л.Г., Липатов А.А. и др. Диэлектрические резонаторы в микроэлектронике СВЧ. // Обзоры по электронной технике. Сер. Электроника СВЧ.- 1981, вып. 4 (768), 82 с.

13. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Двухзвенный микрополосковый СВЧ фильтр. Часть I-Препринт № 652 Ф, Институт физики, Красноярск, 1990, 60 с.

14. Тюрнев В.В., Беляев Б.А. Взаимодействие параллельных микрополоско-вых резонаторов. // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ- 1990, вып. 4 (428), с, 25-30.

15. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Исследование частотных зависимостей коэффициентов связи микрополосковых резонаторов. Препринт № 695 Ф, Институт физики, Красноярск, 1991, 43 с.

16. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Частотно- зависимые коэффициенты связи микрополосковых резонаторов. // Электронная техника. Сер. СВЧ техника-1992, вып. 4 (448), с. 23-28.

17. Makimoto М.,. Yamashita S. Compact Bandpass Filters Using Stepped Impedance Resonators. IEEE Trans. On Microwave Theory and Techniques. 1979, vol. MTT-67, No 1, p. 16-19.

18. Makimoto M.,. Yamashita S. Bandpass Filters Using Parallel Coupled Strip line Stepped Impedance Resonators. IEEE Trans. On Microwave Theory and Techniques. 1980, vol. MTT-28, No 12, p. 1413-1417.

19. Беляев Б.А., Лексиков А.А., Шихов Ю.Г, Алексеева Н А., Сергиенко П.Н. Исследование микрополосковых резонаторов с плавным изменением ширины проводника: Препринт № 784 Ф, Красноярск: Институт физики, 1998,31с.

20. Kirschning М., Jansen R.H. //Electronics Letters, 1982, v. 1, No. 6, p. 272.

21. Гупта К., Гардж P., Чадха P. Машинное проектирование СВЧ устройств. М.: Радио и связь, 1987, 432 с.

22. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый полосно-пропуекающий фильтр: Патент 2078393 РФ, Б.И. № 12, 1997.

23. Konno M., Tomikawa Y., An electromechanical filter consisting of a flexural vibrator with double resonances, pp. 157-166 of Modern Crystal and Mechanical Filters, ED. by D. F. Sheahan and R. A. Johnson, New York, IEEE Press, 1977.

24. K. Zaki, C. Chen, and A.E. Atia, "Canonical and lonqitudinal dual-mode dielectric resonator filters without iris", IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol MTT-35. pp. 1130-1135, Dec. 1987.

25. W.C. Tang, "An 8-pole quasi-elliptic function filter realized in 3 dielectric resonator cavities", in IEEE MTT-S Int. Microwave Simp. Dig. (Baltimore), June 1986, pp. 349-351.

26. R.R. Bonetti and A.E, Williams, "Application of dual TM modes to triple- and quadruple-mode filters", IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol MTT-35, pp. 1143-1149, Dec, 1987.

27. R.R. Bonetti and A.E. Williams, "А ТЕ triple- mode filters", in IEEE MTT-S Int. Microwave Simp. Dig. (New York), May 1988, pp. 511-514.

28. A.E. Williams and R.R. Bonetti, "A mixed dual-qwuadraple mode 10-pole filter in Proc. 18th European Microwave Conf. (Stockholm), Sept. 1988, pp. 966-968.

29. Машковцев Б.М., Цибизов K.H., Емелин Т.Ф. Теория волноводов. М.: Наука, 1966,- 351 с.

30. Кулеватов М.В. Настройка миниатюрного полосового фильтра на линии передачи с диэлектриком ограниченной ширины: Труды VIII межд. Крымской конф. СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии, Севастополь, 1998, Т. 2 с, 559-560.

31. Беляев Б.А., Лапин В.Б., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Простой СВЧ дип-лексер на нерегулярных микрополосковых резонаторах: Препринт № 667 Ф, Красноярск: Институт физики, 1991 30 с.

32. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый диплексер на двухмодовых резонаторах: // Электронная техника. Сер. СВЧ-техника, 1997, вып. 2(470) с.20-24.

33. Беляев Б.А., Лексиков А.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополосковый полосно-пропускающий фильтр: Патент 2065333 РФ, Б.И. № 22, 1996.

34. Устройства СВЧ: Учеб. Пособие./Под ред. Д.М. Сазонова,- М.: Высш. школа, 1981.- 295 с.

35. Справочник по расчету и конструированию СВЧ полосковых устройств. /С.И. Бахарев, В.И. Вольман, Ю.Н. Либ и др.; Под ред. В.И. Вольмана. -М.: Радио и связь, 1982, 328 с.

36. Monaco V.A., Tiberio P. Computer-Aided Analysis of Microwave Circuits. -IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1974. Vol. MTT-22, No. 3. p. 249-263.

37. Гвоздев В.И., Нефедов Е.И. Объемные интегральные схемы СВЧ. М.: Наука, 1985. 256 с.

38. Bryant T.G., Weiss J.A. Parameters of Microstrip Transmission Lines and Coupled Pairs of Microstrip Lines./ IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1968, vol. M l !-16, No. 4, p.251-256.

39. Yamashita E., Mittra R. Variational Method for the Analysis of Microstrip Lines./ IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques. 1968, vol. MTT-16, No. 12, p.1021-1027.

40. Тюрнев В.В. Квазистатическая теория связанных микрополосковых линий.

41. Препринт № 557 Ф, Институт физики, Красноярск, 1989, 19 с.

42. Ховратович B.C. Параметры многопроводных передающих линий. Радиотехника и электроника. 1975, т.20, вып. 3, с. 468-473.

43. Силин Р.А., Гипсман А.И., Самохин Г.С. Полосковые линии и современные методы их расчета. ¡Обзоры по электронной технике. Сер. Электроника СВЧ.- 1989, вып. 6 (1449), 52 с,

44. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Двухзвенный микрополосковый СВЧ фильтр. Часть II: Препринт М> 703 Ф, Красноярск: Институт физики, 1991,48 с.

45. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г., Гимадеев А.Н. Микрополосковый решетчатый фильтр: А. с. 1681343 СССР, Б.И. № 36, 1991.

46. Шихов Ю.Г., Бабицкий А.Н. Исследование избирательности микрополосковых фильтров на резонаторах со скачком волнового сопротивления: Труды межд. научно-техн. конф. Спутниковые системы связи и навигации, Красноярск, 1997, Т.1, с. 266-270.

47. Беляев Б.А., Лексиков А.А., Трусов В.В., Тюрнев В.В., Шепов В.Н., Шихов Ю.Г. Миниатюризованные микрополосковые СВЧ фильтры: Препринт Nq 730 Ф, Красноярск: Институт физики, 1993, 64 с.

48. Беляев Б.А., Тюрнев В.В., Елисеев А.К., Шихов Ю.Г"., Рагзин Г.М. Исследование микрополосковых резонаторов и устройств СВЧ на их основе. Часть III: Препринт № 468 Ф, Красноярск: Институт физики, 1988, 61с.

49. Беляев Б.А., Шихов Ю.Г., Сергиенко ГШ. Спектр собственных колебаний нерегулярного микрополоскового резонатора. Труды IV межд. научно-техн. конф. Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЕП-98, Новосибирск, 1998, Т.1, с. 105-106.

50. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. СВЧ диплексер на четвертьволновых микрополосковых резонаторах: Препринт № 774 Ф, Красноярск: Институт физики, 1997, 30 с.

51. Беляев Б.А., Журавлев В.А., Кириченко В.И., Сусляев В.И., Тюрнев В.В. Исследование диэлектрических свойств солевых растворов на СВЧ с помощью нерегулярного микрополоскового резонатора: Препринт № 547 Ф, Красноярск, 1989, 55с.

52. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Сергиенко П.Н., Шихов Ю.Г. Датчик для измерения диэлектрических характеристик жидкостей. Патент 2124425 РФ, Б.И. № 22, 1999.

53. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Способ измерения диэлектрической проницаемости подложки: A.c. 1800335 СССР, Б.И. № 9, 1993.

54. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополоско-вый датчик для исследования диэлектрической проницаемости материалов на сверхвысоких частотах П7'Э, 1997, № 3, с. 112-115.

55. Беляев Б.А., Тюрнев В.В. Датчик магнитного поля: A.c. 1810855, СССР Б.И. № 9, 1993.

56. Беляев Б.А., Лексиков A.A., Тюрнев В.В., Шихов Ю.Г. Микрополоско-вый датчик магнитного поля: Труды XV Всероссийской школы-семинара'. Новые магнитные материалы микроэлектроники, Москва, 1996, с. 218-219.

57. О ДЕЯТЕЛЬНОСТИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУКв 1998 ГОДУ1. Новосибирск19991. М-- ПЛ-УК!/} 19

58. Рис. 1.19. Ступени линейного импульсного трансформатора тока (LTD).1. УТВЕРЖДАЮ :1. Директор НПФ "Электрон"1. УТВЕРЖДАЮ :

59. Директор Института физики СО РАН, академик РАН1. Л "января 1998 г.1. Владимиров В.М.ь/^^^Александров К.С.1. АКТо внедрении микрополосковых устройств, разработанных Институтом физрши им.Л.В.Киренского СО РАН

60. Директор Института физики ;;:тРАН, академик РАНександров К.С.января 1998 г.1. АКТо внедрении микропоЛесковых фильтров, разработанных Институтом физики им.Л.В.Киренского СО РАНг. Красноярск г. Красноярск

61. Начальник КБ Красноярского1. УТВЕРЖДАЮ :

62. Директор Института физики -I, академик РАН-^^Ггександров К.С.января 1998 г.1. АКТо внедрении микрополосковых фильтров, разработанных Институтом физики им. Л.В. Киренского СО РАН

63. Заместитель директора Института физики СО Р д.ф.-м.н., профессор,1. П.• ^С.Г.Овчоктября 1999 г?г. Красноярск1. УТВЕРЖДАЮ:

64. Проректор Томского государственного ггатета, профессор1. А.С.Ревушкин бря 1999 г.г. Томск1. АКТоб использовании в учебном процессе и научных исследованиях микрополосковых датчиков, чувствительных к диэлектрическойпроницаемости материалов

65. Зав. лаб., д.т.н., Б.А.Беляев,л А у ст.н.с., к. ф.-м. н.1. А.А.Лексиковнаучн.сотрудн. Ю.Г.Шихов1. От ТГУ:1. Зав. каф., профессор1. A.Е.Мудровдоцент, к. ф.-м. н.1. B.А.Журавлевоцент, к. ф.-м. н.1. C.С.Новиков