Пирометрические зонды на основе карбида кремния тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат технических наук Карачинов, Дмитрий Владимирович

• Карачинов, Дмитрий Владимирович
• кандидат технических наук
• 2006

Оглавление диссертации кандидат технических наук Карачинов, Дмитрий Владимирович

Введение.

ГЛАВА 1. Методы измерения температур нагретых газовых потоков.

1.1. Физико-химические основы процессов горения.

1.1.1. Сущность процесса горения.

1.1.2. Ламинарное горение.

1.1.3. Турбулентное горение.

1.1.4. Диффузионное горение.

1.1.5. Структура газового пламени.

1.2. Особенности излучения и поглощения газов.

1.3. Классификация методов измерения температур газов.

1.4. Оптические методы измерения температуры.

1.4.1. Теневые методы.

1.4.2. Интерференционные методы.

1.4.3. Спектроскопические методы.

1.4.4. Методы оптической пирометрии.

1.5. Зондовые методы измерения температур газов.

1.5.1. Электрические зонды.

1.5.2. Термоэлектрические зонды.

Выводы по главе 1 и постановка задач исследований.

ГЛАВА 2. Метод регулярных оптических меток.

2.1. Зондовая телевизионная пирометрия нагретых газовых потоков.

2.2. Разработка конструкции пирометрических зондов.

2.2.1. Выбор определяющих критериев.

2.2.2. Выбор материалов для изготовления пирометрических зондов.

2.2.3. Классификация и описание основных типов пирометрических зондов.

2.2.3.1. Классификация зондов.

2.2.3.2. Одиночные зонды.

2.2.3.3. Многоэлементные зонды.

2.2.3.4. Специальные зонды.

2.2.4. Исследование технологических особенностей изготовления пирометрических зондов.

2.2.4.1. Общая схема технологического процесса.

2.2.4.2. Получение профилей SiC - пирометрических зондов электроэрозионным методом.

2.3. Анализ погрешностей при измерении температур нагретых газовых потоков с помощью пирометрических зондов.

2.3.1. Классификация погрешностей.

2.3.2. Анализ методических погрешностей.

2.3.2.1. Методическая погрешность, обусловленная лучистым теплообменом.

2.3.2.2. Методическая погрешность, обусловленная наличием кондуктивных связей пирометрического зонда.

2.3.2.3. Особенности измерения температуры газовых потоков большой скорости.

Выводы по главе 2.

ГЛАВА 3. Моделирование тепловых режимов и механических характеристик пирометрических зондов.

3.1. Тепловые режимы одиночных зондов с плоской излучающей площадкой.

3.1.1. Форма излучающей площадки - круг.

3.1.2. Зонды с прямоугольной излучающей площадкой.

3.1.3. Зонды с искусственной шероховатостью.

3.1.4. Многоэлементные зонды.

3.1.5. Зонды на основе дисилицида молибдена.

3.2. Моделирование и расчет механических характеристик пирометрических зондов.

3.2.1. Анализ условий эксплуатации.

3.2.2. Расчет и построение эпюр нагрузок (Q) и изгибающих моментов (М) для продольной ориентации зонда.

3.2.3. Расчет и построение эпюр нагрузок (Q) и изгибающих моментов (М) для поперечной ориентации зонда.

3.2 4. Расчет критической нагрузки на зонд.

Выводы по главе 3.

ГЛАВА 4. Экспериментальные исследования характеристик пирометрических зондов и тепловой структуры газового пламени.

4.1. Разработка методики проведения экспериментальных исследований

4.1.1. Лабораторный стенд для экспериментальных исследований.

4.1.2. Программное обеспечение " Парус - К ".

4.2. Исследование излучательной способности пирометрических зондов

4.2.1. Исследование влияния температуры на излучательную способность пирометрических зондов.

4.2.2. Исследование излучательной способности пирометрических зондов с искусственной шероховатостью.

4.3. Исследование температурных полей пирометрических зондов.

4.3.1. Одиночные зонды с плоской поверхностью.

4.3.2. Зонды с искусственной шероховатостью.

4.4. Применение пирометрических зондов для исследования тепловой структуры газового пламени.

4.4.1. Исследование погрешности измерения температуры пламени.

4.4.2. Исследование температурных профилей пламени.

Выводы по главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Пирометрические зонды на основе карбида кремния»

Применение новых широкозонных полупроводниковых материалов в твердотельной электронике позволяет создавать приборы, компоненты, сенсоры, надежно работающие в экстремальных условиях эксплуатации. Карбиды, силициды и нитриды ряда металлов и полупроводников представляют традиционный интерес для решения задач, связанных с измерением температур раскаленных газовых потоков, при проведении исследований в области газовой динамики, а также при диагностике различных технических систем.

Среди известных тугоплавких соединений особую актуальность для пирометрии приобретает карбид кремния, который в силу своих уникальных физико - химических свойств нашел в настоящее время широкое применение в оптоэлектронике, приборах и устройствах высокотемпературной электроники. В рамках современной телевизионной пирометрии с использованием специальных SiC - зондов, выполняющих роль регулярных оптических меток, возможно создание метода измерения распределения температур в выделенных сечениях газового потока. Для решения поставленной задачи требуется проведение целого комплекса исследований.

Поток раскаленного газа оказывает всестороннее воздействие на пирометрический зонд, которое в условиях высоких температур, значительных механических нагрузок, протекания химических реакций способствует ранней деградации и даже его разрушению. Поэтому важным этапом исследований является оценка тепловой, механической прочности зондов с учетом условий эксплуатации, особенностей конструкции и выбранных материалов.

Точность измерения температуры газового потока с помощью пирометрического зонда зависит не только от предела основной и дополнительной погрешностей телевизионного пирометра, а в равной мере и от условий измерения. В связи с этим возникает задача определения методической погрешности, обусловленной процессами теплообмена.

Экспериментальные исследования излучательных и тепловых характеристик зондов представляют научный и практический интерес, который связан прежде всего с апробацией метода измерения температуры, а также с новыми знаниями о температурных полях сложнопрофильных, малоразмерных изделий на основе широкозонных полупроводниковых материалов в экстремальных условиях эксплуатации. Результаты таких исследований являются базой не только для оптимизации конструкций пирометрических зондов, но и других SiC- приборов высокотемпературной электроники.

Целью данной диссертационной работы является разработка метода измерения температуры нагретых газовых потоков, построенного на использовании пирометрических зондов.

Научная новизна:

1. В рамках телевизионной пирометрии разработан и экспериментально апробирован метод визуализации тепловой структуры и измерения температуры нагретых газовых потоков, реализующий принцип регулярных оптических меток.

2. С использованием широкозонных полупроводниковых материалов разработан и исследован новый класс зондов - пирометрические зонды. Предложены критерии выбора исходного материала, варианты конструкций зондов, адаптированных к условиям эксплуатации и особенностям измерений температуры.

3. Предложена тепловая модель пирометрического зонда, позволяющая оценивать методическую погрешность измерения температуры газового потока с учетом особенностей теплообмена в широком диапазоне скоростей.

4. Для типичных вариантов конструкций пирометрических зондов на основе карбида кремния и дисилицида молибдена построены модели и выполнено компьютерное моделирование температурных полей результаты которых позволяют оценивать влияние геометрических размеров зондов, режимов газового потока на степень изотермичности излучающей площадки.

5. Рассчитаны механические характеристики пирометрических зондов, позволившие оценить критические значения скорости набегающего газового потока, вызывающего механическое разрушение (слом) зонда как при продольном, так и поперечном обтекании.

6. Исследована излучательная способность SiC - пирометрических зондов в диапазоне температур Т = 900 1300 °С. Экспериментально установлено, что создание искусственной шероховатости в виде полости на излучающей площадке вызывает уменьшение монохроматического коэффициента излучательности SiC - пирометрического зонда.

7. Впервые телевизионным методом получен яркостный контраст как одиночных сложнопрофильных малоразмерных изделий , так и кондуктивно связанных систем на основе широкозонных полупроводниковых материалов в экстремальных условиях эксплуатации.

8. Экспериментально получены численные значения относительной погрешности при измерении температуры газового пламени с помощью SiC - и MoSi2 - зондов. Выполнено ранжирование факторов, влияющих на яркостную температуру пирометрического зонда, построена статистическая модель и получено уравнение регрессии.

9. Экспериментальным методом с использованием многоэлементных SiC -зондов в рамках телевизионной пирометрии получены мгновенные распределения температуры , корелирующие с яркостным контрастом в характерных зонах газового пламени.

Практическая ценность:

1. Разработана методика измерения температуры нагретого газового потока с использованием одно- и многоэлементных пирометрических зондов.

2. Предложены варианты конструкций и методы изготовления профилей SiC -и MoSi2 -пирометрических зондов.

3. Разработана методика использования высокотемпературного клеящего цемента в технологии сборки пирометрических зондов. А

4. Разработано аппаратное и программное обеспечение , позволяющее реализовывать метод регулярных оптических меток

Реализация в науке и технике: Результаты диссертационной работы апробированы и внедрены в ФГУП НИИ ПТ "РАСТР", в НовГУ имЛрослава Мудрого в лекционных курсах "Сенсоры и сенсорные устройства", "Технология и конструирование микроэлектронных устройств" для студентов специальности "Микроэлектроника и твердотельная электроника".

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Метод регулярных оптических меток, основанный на регистрации яркостного контраста тепловых микроизлучателей, позволяющий осуществлять визуализацию тепловой структуры и измерение распределения температур в выделенном сечении нагретого газового потока (пламени ).

2. Класс пирометрических зондов в виде тепловых микроизлучателей, адаптированных к условиям исследуемого газового потока и технологии пирометрических измерений.

3. Локальная излучательная способность монокристаллов карбида кремния с искусственной шероховатостью в спектре на длине волны X = 0.65 мкм определяется его толщиной.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы докладывались: на трех Всероссийских конференциях ("Современное телевидение", Москва, 2004,2005,2006 г. г.), на одном Международном семинаре "Карбид кремния и родственные материалы", Новгород 2004 г., одной Научно-практической конференции профессорско-преподавательского состава НовГУ им.Я.Мудрого, Новгород 2005 г.

Публикации. По теме диссертации опубликованы 16 научных работ, из них 6 статей, тезисы к 10 докладам на международных и российских научно-технических конференциях. Принята в печать монография.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы, включающего 152 наименования, и трех приложений.

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Карачинов, Дмитрий Владимирович

Выводы по главе 4

1. Разработан изготовлен лабораторный стенд для проведения экспериментальных исследований .Испытания показали, что макет телевизионного пирометра позволяет проводить измерение температуры с приведенной погрешностью менее 0.5%.

2. Разработан алгоритм и программное обеспечение "Парус-К", позволяющее управлять работой телевизионного пирометра с целью осуществлять как визуализацию яркостного контраста пирометрических зондов, так и измерение их яркостной температуры.

3. Экспериментальные исследования излучательной способности пирометрических SiC- зондов в диапазоне температур Т = 900 + 1300 °С показали, что наблюдается слабая зависимость монохроматического коэффициента излучательности от температуры.

4. Экспериментально установлено, что создание искусственной шероховатости в виде полости на излучающей площадке вызывает уменьшение монохроматического коэффициента излучательности SiCпирометрического зонда.

Исследованы температурные поля пирометрических зондов.Экспериментально показано, что для зондов с плоской излучающей площадкой наблюдается хорошее соответствие характера распределения температуры по сравнению с расчетными значениями.

Экспериментально получены численные значения относительной погрешности при измерении температуры газового пламени с помощью SiC- и MoSi2 - зондов, которые не превышают 6%.

На основании результатов экспериментальных исследований и методов математической статистики выполнено ранжирование факторов соответственно: ориентация зонда, скорость газового потока и температура, влияющих на яркостную температуру пирометрического зонда и построена статистическая модель. Получено уравнение регрессии. Экспериментальным методом с использованием многоэлементных SiC -зондов в рамках телевизионной пирометрии получены мгновенные распределения температуры в характерных зонах газового пламени. Наблюдается хорошее соответствие яркостного контраста и абсолютных значений температуры.

Заключение

Зондовый метод телевизионной пирометрии, разработанный и исследованный в настоящей работе, позволил решить задачу измерения мгновенного распределения температуры в выделенном сечении раскаленного газового потока.

В итоге проделанной работы были получены следующие основные результаты:

1. В рамках телевизионной пирометрии разработан новый метод визуализации тепловой структуры и измерения температуры нагретых газовых потоков, реализующий принцип регулярных оптических меток.

2. С использованием широкозонных полупроводниковых материалов разработан новый класс зондов - пирометрические зонды. Предложены критерии выбора исходного материала, варианты конструкций и методы изготовления профилей SiC - и MoSi2 -пирометрических зондов.

3. Предложена тепловая модель пирометрического зонда, позволяющая оценивать методическую погрешность измерения температуры газового потока с учетом особенностей теплообмена в широком диапазоне скоростей. Результаты расчетов показали, что величина методической погрешности может превышать 10%.

4. Для различных типов одиночных и многоэлементных пирометрических зондов на основе карбида кремния и дисилицида молибдена разработаны тепловые модели, позволяющие моделировать температурные поля в условиях изотермичности и неизотермичности газового потока, а также при продольном и поперечном обдуве в широком диапазоне скоростей и температур.

5. Анализ температурных полей конструкций пирометрических зондов, разработанных в данной работе, показал, что излучающие площадки зондов обладают высокой степенью изотермичности; наблюдается слабая зависимость характера распределения температуры в области излучающей площадки зонда от скорости набегающего потока; существует влияние ориентации зонда относительно газового потока на распределение температур, а также особенностей конструкции.

6. На основании расчетов механических характеристик одиночных пирометрических зондов при продольном и поперечном обдуве в широком диапазоне скоростей и температур газового потока получены критические значения скорости газового потока, при которых происходит механическое разрушение зонда (слом). Численное значение минимальной критической скорости для SiC - зонда составило 260 м/с (поперечный обдув,Т = 1600 °С).

7. Для осуществления визуализации яркостного контраста пирометрических зондов и измерения их яркостной температуры разработаны алгоритм и программное обеспечение "Парус-К".

8. Экспериментальные исследования излучательной способности пирометрических SiC- зондов в диапазоне температур Т = 900 + 1300 °С показали, что наблюдается слабая зависимость монохроматического коэффициента излучательности от температуры. Экспериментально установлено, что создание искусственной шероховатости в виде полости на излучающей площадке вызывает уменьшение монохроматического коэффициента излучательности SiC - пирометрического зонда.

9. Исследованы температурные поля пирометрических зондов. Экспериментально показано, что для зондов с плоской излучающей площадкой наблюдается хорошее соответствие характера распределения температуры по сравнению с расчетными значениями.

10. Экспериментально получены численные значения относительной погрешности при измерении температуры газового пламени с помощью SiC- и MoSi2 - зондов, которые не превышают 6%.

11. На основании результатов экспериментальных исследований и методов математической статистики выполнено ранжирование факторов соответственно: ориентация зонда, скорость газового потока и температура, влияющих на яркостную температуру пирометрического зонда и построена статистическая модель. Получено уравнение регрессии.

12. Экспериментальным методом с использованием многоэлементных SiC -зондов в рамках телевизионной пирометрии получены мгновенные распределения температуры в характерных зонах газового пламени. Наблюдается хорошее соответствие яркостного контраста и абсолютных значений температуры. Основные результаты диссертационного исследования опубликованы в следующих научных работах: Список научных трудов

1. Karachinov D.V. Research of acoustic issue sources under electrofield erosion of silicon carbide crystals // V Intern. Seminar on Silicon Carbide and Related Materials: Abstracts. - Velikiy Novgorod. 2004. - P. 105-106.

2. Карачинов B.A., Ильин C.B., Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Система "Пиротел" в высокотемпературной технологии получения монокристаллов карбида кремния // Научно-техн.конф. "Современное телевидение": Труды. - Москва. 2004. - С.52-53.

3. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Метод виртуальной сетки в задаче измерения температурного поля конвективных потоков // Научно-техн.конф. "Современное телевидение": Труды. -Москва. 2004.-С.52-53.

4. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Лазерно-телевизионная система мгновенного контурного анализа объектов// Научно-техн.конф. "Современное телевидение": Труды. - Москва. 2004. -С.52-53.

5. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В.Телевизионные методы диагностики форсунок. // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Техн. науки. 2004, №24. - С. 155-160.

6. Карачинов В.А, Ильин С.В., Карачинов Д.В. Телевизионная пирометрия нагретых газовых потоков // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Естеств. и техн. науки. 2004, №28. - С.136 -137.

7. Карачинов В.А., Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Эффект самосопряженной Н^ перфорации аморфных слоев карбида кремния// ЖТФ. 2004. Т.74. Вып. 12.

С.96-97.

8. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Зондовые методы телевизионной пирометрии нагретых газовых потоков.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. - Москва. 2005. - С.68-69.

9. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Лазерно -телевизионный томограф для диагностики форсунок.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. - Москва. 2005. - С.70-71.

10. Карачинов В.А., Ильин С.В., Карачинов Д.В. Пирометрические зонды на основе карбида кремния// Письма в ЖТФ.- 2005. Т.31.Вып.11. - С.1-4.

11. Карачинов Д.В. Анализ теплового режима многоэлементного пирометрического зонда на основе карбида кремния // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Естеств. и техн. науки. 2005, №34 - С. 122 .

12. Карачинов Д.В. Исследование температурных полей нагретых газовых X потоков телевизионным методом.// 12-я Научно-техн. конф. преподавателей, аспирантов и студентов: Труды. - НовГУ, Великий Новгород, 4-9 апреля 2005. - С.141-142.

13. Карачинов В.А., Ильин С.В., Карачинов Д.В.Телевизионные методы ^ исследования структуры пламени.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. - Москва. 2006. - С.41.

14. Селезнев Б.И., Карачинов Д.В., Торицин К.С. Термомеханические характеристики пирометрических зондов на основе карбида кремния.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. - Москва. 2006. -С.37-38.

15. Селезнев Б.И., Карачинов Д.В.,.Джеренов И.Г. Анализ погрешностей при измерении температур нагретых газовых потоков методом регулярных ф оптических меток.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение":

Труды. - Москва. 2006. - С.39- 40. I

-г

16. Селезнев Б.И., Карачинов Д.В., Карачинов В.А., Торицин С.Б."Метод регулярных оптических меток в пирометрии нагретых газовых потоков".// Оптический журнал. 2006, Т73. №5 - С.69 - 70.

Работа была поддержана Российским Федеральным агентством по образованию, грант А 04 - 3.20 - 536.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Карачинов, Дмитрий Владимирович, 2006 год

1. Гиль В.В. Оптические методы исследования процессов горения. М.: Наука, 1984.- 169 с.

2. Льюис Б., Эльбе Г. Горение, пламя и взрывы в газах. М.: Мир, 1968. 186 с.

3. Вильяме Ф.А. Теория горения. М.: Наука, 1976.- 176 с.

4. Франк-Каменецкий Д.А. Диффузия и теплопередача в химической кинетике. М.: Наука, 1987. 217 с.

5. Зельдович Я.Б., Барнеблатт Г.И., Либрович В.Б. и др. Математическая теория горения и взрыва. М.: Наука, 1980.- 282 с.

6. Лейпунский О.И., Фролов Ю.В. Теория горения порохов и взрывчатых веществ. М.: Наука, 1982.-230 с.

7. Лавров Н.В. Физико химические основы процесса горения топлива. М.: Наука, 1980.- 169 с.

8. Григорьев В.А., Зорин В.М. Теоретические основы теплотехники. Теплотехнический эксперимент: Справочник. Т.2. М.: Энергоатомиздат, 1988.-560 с.

9. Горение и течение в агрегатах энергоустановок./Под ред.В.Е.Алемасова -М.: Янус, 1997.-304 с.

10. Похил П.Ф., Мальцев В.М., Зайцев С.М. Методы исследования процессов горения и детонации.- М.: Наука, 1969.- 156 с.

11. Никифоров Н.И. Справочник газосварщика и газорезчика. М.: Высшая школа, 2002.- 239 с.

12. Кумагаи С. Горение. М.: Химия, 1979.- 255с.

13. Варнатц Ю. Горение. Физические и химические аспекты, эксперименты, образование загрязняющего вещества. М.: Наука, 2003.- 304 с.

14. Никифоров Н.И. Справочник газосварщика и газорезчика. М.: Высшая школа, 2002.- 239 с.

15. Зигель Р.,Хауэлл Дж.Теплообмен излучением. М.: Мир, 1975.- 186 с.

16. Эстеркин Р.И., Иссерлин А.С., Певзнер М.И. Теплотехнические измерения при сжигании газового и жидкого топлива. Л.: Недра, 1981. - 200 с.

17. Михеев М.А., Михеева И. М. Основы теплопередачи. М.: Энергия, 1973. -320 с.

18. Кондратьев В.Н., Никитин Е.Е. Кинетика и механизм гетерофазных реакций. М.: Наука, 1974.-240 с.

19. Преображенский В.П. Теплотехнические измерения и приборы М.: Энергия, 1978.-704 с.

20. Хауф.В., Григуль У. Оптические методы в теплопередаче.- М.: Мир, 1973.240 с.

21. Кремлевский П.П. Расходомеры и счетчики количества: Справочник. JL: Машиностроение, 1989.-701 с.

22. Преображенский В.П.,Бувин Н.П. Измерения температур пульсирующего газового потока.//Энергомашиностроение, 1974,№7, С.38-41.

23. Васильев JI.A. Теневые методы. М.: Наука, 1968. 400 с.

24. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б. Лазерно телевизионная система исследования конвективных потоков // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер.Техн.науки. Великий Новгород. 2003. № 23 - С. 86-91.

25. Karachinov V.A. Shadow pictures in Silicon Carbide crystals // IV Intern. Seminar on Silicon Carbide and Related Materials: Abstracts. Novgorod the Great. 2002. -P.76-77.

26. Карачинов B.A., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Метод виртуальной сетки в задаче измерения температурного поля конвективных потоков.//12-я Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. -Москва. 2004. С.55-56.

27. Карачинов В.А., Ильин С.В., Карачинов Д.В.Телевизионные методы исследования структуры пламени.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2006. - С.41.

28. Свидетельство 2005611975 РФ. Программа визуализации и расчета распределения температур конвекционных потоков (Termo Vision 0.5) / Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов В.А. // " Программы для ЭВМ, базы данных, топологии ИМС" О.Б. 2005 - №4 ( 53 ).

29. Гордов А.Н. Основы пирометрии. М.: Металлургия, 1971. -378 с.

30. Свет Д.Я.Оптические методы измерения истинных температур. М.: Наука, 1982.- 296 с.

31. Линевиг Ф. Измерение температур в технике: Справочник / Пер. с нем. М.: Металлургия, 1980. 234 с.

32. Жуков Л.Ф.,Богдан А.В. Исследование и разработка методов многоцветовой оптической термометрии // Инженерно физический журнал.-2002.Т.75. №5.- С. 165-169.

33. Асланян Э.В.,Новиков В.Н.,Парфенов Т.Б.Снижение влияния сажистых частиц в пирометре спектрального отношения газового потока //Методы и средства машинной диагностики газотурбинных двигателей и их элементов.- Харьков, 1980, т.2,- С.219 -223.

34. Поскачей А.А.,Чубаров Е.П. Оптико-электронные системы измерения температуры М.: Энергоатомиздат, 1988. 248 с.

35. Пореев В.А.,Пореев Г.В.Экспериментальное определение температурного диапазона телевизионного пирометра // Оптический журнал.-2004.Т.71. №1.- С.70.

36. Никулин В.Б.,Лукичев А.Ю. Бесконтактный измеритель температуры поверхности. -ПТЭ, 1980,№3, с.252

37. Самсонов Г.В., Виницкий И.М. Тугоплавкие соединения.- М.: Металлургия, 1976. 560 с.

38. Карачинов В.А. Получение монокристаллов карбида кремния методами сублимации и электрической эрозии: Дис.докт. техн. Наук. В.Новгород, 2005.-305 с.

39. Старченко А.Н. Контактно дистанционный метод контроля температуры расплава/ Оптический журнал.-Т.69, №2.-2002.- С.60-64.

40. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Зондовые методы телевизионной пирометрии нагретых газовых потоков.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2005. - С.68-69.

41. Карачинов В.А., Ильин С.В.,., Карачинов Д.В. Пирометрические зонды на основе карбида кремния// Письма в ЖТФ.- 2005. Т.31 .Вып. 11. С. 1 -4.

42. Селезнев Б.И., Карачинов Д.В., Карачинов В.А., Торицин С.Б."Метод регулярных оптических меток в пирометрии нагретых газовых потоков".//Оптический журнал. 2006, Т73 №5 С.69 -70.

43. Карачинов В.А, Ильин С.В., Карачинов Д.В. Телевизионная пирометрия нагретых газовых потоков // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Естеств. и техн. науки. 2004, №28. С.136 -137.

44. Троилин В.И. Оптико электронная система измерения температуры с визуализацией теплового изображения. // Изв.вузов. Приборостроение. 1990. Т.ЗЗ. № 5.- С.83-85.

45. Горелик C.JI. Телевизионные измерительные системы. М.: Наука, 1980.169 с.

46. Карачинов В.А., Ильин С.В., Карачинов Д.В., Торицин К.С. Телевизионные методы исследования структуры пламени.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2006. - С.41.

47. Бодров В.Н., Рассел М., Обидин Г.И. Результаты экспериментальных исследований телевизионного метода быстрого определения температуры.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. -Москва. 2006. С.55-58.

48. Поскачей А.А.,Чубаров Е.П. Оптико-электронные системы измерения температуры М.: Энергоатомиздат, 1988. 248 с.

49. Лавров Н.В. Физико-химические основы процесса горения топлива. М.: Наука, 1981.-256 с.

50. Шейндлин А.Е. Излучающие свойства твердых материалов. М.: Энергия,1. V 1974.-472 с.

51. Трефилов В.Н., Мильман Ю.В., Фирстов С.А. Физические основы прочности тугоплавких металлов. Киев: Наук.думка, 1975. - 316 с.

52. Вальковская М.И., Пушкаш Б.М., Марончук Э.М. Пластичность и хрупкость полупроводниковых материалов при испытаниях на микротвердость. Кишинев: Штиинца, 1984. - 107 с.

53. Карачинов В.А. Способ эрозионного копирования карбидокремниевых структур // Патент на изобретение. Москва. 2002. №2189664.

54. Карачинов В.А. Микропрофилирование кристаллов карбида кремния // Наука производству. 2000. №8. С.12-13.

55. Справочник по лазерной технике: Пер. с нем.- М.: Энергоатомиздат, 1991.- 544 с.

56. Лучинин В.В. Структуре- и формообразование микро- и наносистем на основе широкозонных материалов, обладающих полиморфизмом: Автореф. дис.докт.техн.наук. С.-Петербург, 1999. 32 с.

57. Карачинов В.А., Торицин С.Б., Филиппов В.Н. Карбид кремния в телевизионных системах промышленной безопасности // VI Междунар.конф. "Кристаллы: рост, свойства, реальная структура, применение": Материалы Александров: ВНИИСИМС. 2003. - С.163-165.

58. Лебедев А.А. SiC электроника в новом веке. // III Международный семинар "Карбид кремния и родственные материалы": Сборник докладов. НовГУ им.Я.Мудрого: Великий Новгород. 2000. - С.7-12.

59. Верхотуров А.Д., Подчерняева И.А., Прядко Л.Ф., Егоров Ф.Ф. Электродные материалы для электроискрового легирования. М.: Наука, 1988.-224 с.

60. Карачинов В.А. Датчики расхода жидкости и газа на основе профилированных кристаллов карбида кремния // III Междунар. конф. "Кристаллы: рост, свойства, реальная структура, применение": Труды. -Александров: ВНИИСИМС. 1997. Т.2. - С.240-245.

61. Корляков А.В., Лучинин В.В., Субботин О.В., Сазанов А.П., Казарин И.Г., Костромин С.В., Серкова М.Н., Глазина В.Ф., Белых С.В., Первышев А.А.

62. Лучинин В.В. Влияние карбида кремния на современные конструкторско-технологические решения // II Междунар. семинар "Полупроводниковый карбид кремния и родственные материалы": Тезисы докл. НовГУ им.Я.Мудрого: Великий Новгород. 1997. - С.45-47.

63. Баженов О.Г., Карачинов В.А. Эрозионная репликация структур на основе карбида кремния // Письма в ЖТФ. 1996. Т.22. Вып.21. С.26-29.

64. Маслов В.П., Данилов В.Г., Волосов К.А. Математическое моделирование процессов тепломассопереноса .-М.:Наука, 1987.- 352с.

65. Пореев В.А., Пореев Г.В.Экспериментальное определение температурного диапазона телевизионного пирометра // Оптический журнал.-2004.Т.71. №1.- С.70.

66. Сакин И.Л. Инженерная оптика. "Машиностроение", Л., 1976. 288 с.

67. Кругер М.Я., Панов В.А. и др. Справочник конструктора оптико-механических приборов. Л., "Машиностроение", 1967. 760 с.А

68. Гуревич С.Б. Теория и расчёт невещательных систем телевидения "Энергия", Л., 1970.-236 с.

69. Плотников B.C., Варфоломеев Д.И., Пустовалов В.Е. Расчёт и конструирование оптико-механических приборов. М., "Машиностроение", 1972.- 256 с.

70. Бегунов Б.Н., Заказнов Н.П. Теория оптических систем. М., "Машиностроение", 1973.-488 с.

71. Оптические приборы в машиностроении. Справочник. М., "Машиностроение", 1974.-238 с.

72. Волосов Д.С., Фотографическая оптика. (Теория, Основы проектирования, Оптич. характеристики)Учеб.Пособие для киновузов.-2-е изд.-М.,Искусство, 1978.- 543 с.

73. Ландсберг Г.С. Оптика.Учеб. Пособие: Для вузов.-6-е изд.,стереот.-М.:ФИЗМАТЛИТ, 2003.- 848 е.- ISBN 5- 9221-0314-8.

74. Вишневский Г.И, Выдревич М.Г., Косов В.Г., Четвергов М.В. Фоточувствительные приборы с зарядовой связью(ПЗС) для систем дистанционного зондирования земли.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2006. - С.32-33.

75. Лаухе Ю.; Таиров Ю.М.; Цветков В.Ф.; Щепански Ф. Исследование кинетики окисления монокристаллов SiC // Изв.АН СССР. Неорганич.материалы, 1981.Том 17. №2.- С.254-257.

76. Suzuki A., Matsuami Н., Tanaka.N Auger Electron Spectroscopy Analysis of Thermal Oxide Layers of Silicon Carbide. J. Electrochemical Sociery. 1978, v.125,№1 1, p. 1896-1897.

77. Излучательные свойства твердых материалов. Справочник. / Под ред. А.И. Шейндлина.-М.:Энергия, 1974.-671 с.

78. Петрова А.П. Термостойкие клеи. М.: Химия, 1977.-200 с.

79. Рост полупроводниковых кристаллов и пленок. 4.2/ Под ред. Ф.А. Кузнецова. СО Наука, Новосибирск, 1984.-152 с.

80. Лазаренко Б.Р., Лазаренко Н.И. Способ обработки металлов, сплавов и других токопроводящих материалов // Авторское свидетельство. 1943. №70010.

81. Лившиц А.Л., Кравец А.Т., Рогачев И.С., Сосенко А.Б. Электроимпульсная обработка металлов. М.: Машиностроение, 1967. - 295 с.

82. Золотых Б.Н. Основные вопросы теории электрической эрозии в импульсном разряде в жидкой диэлектрической среде: Автореф. дис.докт.техн.наук. М., 1968.-32 с.

83. Фотеев Н.К. Технология электроэрозионной обработки. М.: Машиностроение, 1980. - 184 с.

84. Мицкевич Н.К., Некрашевич И.Г. Электроэрозионная обработка металлов. М.: Наука и техника, 1988.-216 с.

85. Окунев А.О. Рентгенотопографический анализ дефектов структуры монокристаллического карбида кремния: Автореф.дис.канд.ф.-мат. наук. Новгород, 1999.-21 с.

86. Епифанов В.И., Песина А.Я., Зыков Л.В. Технология обработки алмазов в бриллианты.- М.: Высшая школа, 1976.-319 с.

87. Патент 2247338 РФ. МПК7 G01J 5/00. Способ измерения яркостной температуры объекта / Торицин С.Б., Карачинов В.А. // Б.И.- 2005 №6.

88. Селезнев Б.И., Карачинов Д.В.,.Джеренов И.Г. Анализ погрешностей при измерении температур нагретых газовых потоков методом регулярных оптических меток.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2006. - С.39-40.

89. Киренков И.И. Метрологические основы оптической пирометрии. М.: Издательство стандартов, 1976. 176 с.

90. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В.Телевизионные методы диагностики форсунок. // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Техн. науки. 2004, №24. С. 155-160.

91. Зенкевич О. Метод конечных элементов в технике. М.: Мир, 1975. -544 с.

92. Карлслоу Г; Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1969. -362 с.

93. Чернов А.А., Гиваргизов Е.Н., Багдасаров Х.С. и др. Современная кристаллография. Образование кристаллов. М.: Наука, 1980. - 407 с.

94. Мильвидский Н.Г., Освенский В.Б. Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников. М.: Металлургия, 1984. - 256 с.

95. Карачинов В.А. Моделирование и анализ тепловых полей и термоупругих напряжений в кристаллах SiC // Рукопись деп. В ВИНИТИ 4.12.87. №8516-В87. 6 с.

96. Карачинов Д.В. Исследование температурных полей нагретых газовых потоков телевизионным методом.// 12-я Научно-техн. конф. преподавателей, аспирантов и студентов: Труды. НовГУ, Великий Новгород, 4-9 апреля 2005. - С.141-142.

97. Burgemeister Е.А., Von Muench W., Pattenpaul E. Thermal Conductivity and Electrical properties of 6H silicon carbide. «J.Appl. Phis», 1979,50, №9, c.5790-5794.

98. ЕЬСиТ.Научно-производственный кооператив «Тор». СПб. 2004

99. Карачинов Д.В. Анализ теплового режима многоэлементного пирометрического зонда на основе карбида кремния // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Естеств. и техн. науки. 2005, №34 С. 122 .

100. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Лазерно -телевизионный томограф для диагностики форсунок.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2005. - С.70-71.

101. Горение и течение в агрегатах энергоустановок./Под ред.В.Е.Алемасова -М.: Янус, 1997.-304 с.

102. Щетинков Е.С. Физико горения газов. М.: Наука, 1965. 340 с.

103. Шлихтинг Г. Теория пограничного слоя.- М.: Наука, 1974. 712 с.

104. Кутателадзе С.С., Леонтьев А.И. Тепломассообмен и трение в турбулентном пограничном слое. М.: Энергия, 1972. - 342 с.

105. Селезнев Б.И., Карачинов Д.В., Торицин К.С. Термомеханические характеристики пирометрических зондов на основе карбида кремния.// Научно-техн. конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2006. -С.37-38.

106. Осецкий Б.М. Прикладная механика. М.: Высш.школа, 1983 169 с.

107. Жилин В.Г.Волоконно оптические измерительные преобразователи скорости и давления. - М.: Энергоатомиздат, 1987. - 112 с.

108. Финкель В.М. Физика разрушения М.: Металлургия, 1970. - 376 с.

109. Кашарский Б.Д., Безновская Т.Х., Бек В.А. Автоматические приборы, регуляторы и управляющие машины. JL: Машиностроение, 1976.-485 с.

110. Нуждин А.С., Ужанский B.C. Измерения в холодильной технике. М.: Агропромиздат, 1986. - 368 с.

111. Гордов А.Н. Измерения температур газовых потоков. -М.: Машгиз, 1962. -284 с.

112. Карачинов В.А., Ильин С.В.,Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Система "Пиротел" в высокотемпературной технологии получения монокристаллов карбида кремния // Научно-техн.конф. "Современное телевидение": Труды. Москва. 2004. - С.52-53.

113. Гайдукевич Ю.Ч. Тепловизионная пирометрическая система // Электронная промышленность. 1987.ЖЗ.- С.59-62.

114. Гущин Г.П. Методы, приборы и результаты измерения спектральной прозрачности атмосферы. JL: Гидрометеоиздат. 1988.-196 с.

115. Патент 2099674 РФ.в 01J5/52. Способ измерения яркостной температуры объекта/ Коротких В.М., Гуляев П.Ю., Гумиров М.А., Еськов А.А., Евстигнеев В.В.//Б.И.-1997-№35.

116. Авторское свидетельство 991182 СССР .G 01J5/14. Устройство для измерения температуры объекта/ Домаренок Н.И., Достанко А.П.//Б.И.-1983-№3.

117. Патент 2247338 РФ. МПК7 G01J 5/00. Способ измерения яркостной температуры объекта / Торицин С.Б., Карачинов В.А. // Б.И.- 2005 №6.

118. ГОСТ 14008-82 Лампы температурные образцовые. Типы и основные параметры. Общие технические требования.

119. Сафьянников Н.М., Шкульков А.В. Способ измерения температуры расплава и устройство для его осуществления / Патент Российской Федерации №2150091 кл. О 0115/00. Опубл. 27.05.2000, Бюл.№15.

120. Свет Д.Я. Формирование полости чёрного излучения с помощью вращающегося тигля с расплавленным металлом / Авт. свидетельство СССР №3338 от 14.04.52.

121. Yeaple F. Laser Set hot pyrometrr corrects for emissivity. Desidn news/12-2-85/89,1985, Vol/41,No.23,p.94-95.

122. Babelot J.-F.Microsecond and sub-microsecond multi-wavelenght pyrometry for pulsed heating technique diagnostics. Temperature, Vol .5, 1982, p.439-446/

123. Свет ДЛ. Способ пирометрических измерений. Патент Российской Федерации №2151382 кл О ОИ 5/60. Опубл. 20.06.2000. Бюл. №17.

124. Жуков Л.Ф., Богдан А.В. Исследование и разработка методов многоцветовой оптической термометрии/ Инженерно-физический журнал. Т.75., №5. - 2002 . -с. 165 -169.

125. Лисиенко В.Г. и др. Способ бесконтактного измерения температуры отражающей поверхности металла. Патент Российской Федерации №2107268 кл О 01) 5/00. Опубл. 20.03.98. Бюл. №8.

126. Корляков А.В., Костромин С.В., Косырева М.М., Лучинин В.В., Мезенов А.В., Никитин И.В., Сазанов А.П., Сак А.В. Инфракрасный микроизлучатель на основе пленочных структур "SiC на диэлектрике"// Оптический журнал. 2001. Т.68. №12. С.109-114.

127. Криксунов Л.З. Справочник по основам инфракрасной техники. М.: Советское Радио, 1978.-400 с.

128. Оптические свойства полупроводников/ Под ред. Р. Уилларда и А. Бира.- . М.: Мир, 1970. С.47-50.

129. Воронкова Е.М.; Гречушников Б.Н.; Дистлер Г.И.; Петров И.П. Оптические материалы для инфракрасной техники. М.: Наука, 1965. -325 с.

130. Патент 2182607 РФ. МКИ4 СЗОВ 23/00, 29/36, 29/66. Способ получения трубчатого кристалла карбида кремния / Карачинов В.А. // Б.И. 2002 -№14.

131. Селезнев Б.И. Люминисцентные, оптические и фотоэлектрические свойства карбида кремния, легированного различными примесями: Автореф. дис.канд.ф-м.наук. Ленинград, 1973. 14 с.

132. Селезнев Б.И., Таиров Ю.М. Примесная фотопроводимость карбида кремния// ФТП. 1974. Т.8. №5. С.2248-2250.

133. Селезнев Б.И., Таиров Ю.М. Оптическое поглощение в n SiC (4Н ) // ФТП. 1974. Т.7. №11.- С.996-997.

134. Карачинов В.А. Эрозионное размерное профилирование кристаллов карбида кремния // Третья Междунар. конф. "Кристаллы: рост, свойства, реальная структура, применение": Труды. Александров: ВНИИСИМС. -1997. Т.2. - С.154-164.

135. Карачинов В.А. Морфология эрозионных следов в кристаллах карбида кремния // Кристаллография. 1998. Т.63. №6. С.1097-1100.

136. Karachinov V.A. Defective structure of the broken layers erosive nature in silicon carbide crystals // V Intern. Seminar on Silicon Carbide and Related Materials: Abstracts. Velikiy Novgorod. 2004. - P.74-75.

137. Карачинов В.А. Микроострийная шероховатость нарушенных слоев эрозионной природы в кристаллах карбида кремния // Кристаллография. 2004. Т.49. №5. С.899-904.

138. Карачинов В.А., Торицин С.Б., Карачинов Д.В. Эффект самосопряженной перфорации аморфных слоев карбида кремния// ЖТФ. 2004. Т.74. Вып. 12.-С.96-97.

139. Васильев А.А., Корляков А.В., Никитин И.В. Тепловые микросистемы на основе карбида кремния // Петербургский журнал электроники. 2001. №34. С.92-101

140. Корляков А.В., Лучинин В.В., Никитин И.В. Применение SiC микронагревательных систем в микросистемной технике // Микросистемная техника. 2000. №2. С.27-31.

141. Карачинов В.А. Термоанемометр на основе карбида кремния // Междунар. сем. "Полупроводниковый карбид кремния и приборы на его основе": Тезисы докл. НовГУ им.Я.Мудрого: Новгород. 1995. С.72-73.

142. Карачинов В.А., Туркин А.В. Тепловой режим термоанемометра на основе карбида кремния // Вестник НовГУ им.Я.Мудрого. Сер. Естеств. и техн. науки. Новгород. 1997. №5. С.6-8.

143. Korlyakov A.V., Luchinin V.V., Nikitin I.V. SiC Sensors/Actuators using Heat release and heat Absorptoin Effects // III Intern. Seminar on Silicon Carbide and Related Materials: Abstracts. Novgorod the Great. 2000. - P. 139-140.

144. Karachinov V.A. The heat-loss anemometer probes with burn on the basis of silicon carbide crystals // V Intern. Seminar on Silicon Carbide and Related Materials: Abstracts. Velikiy Novgorod. 2004. - P. 105-106.

145. Лучинин B.B., Таиров Ю.М. Карбид кремния перспективный материал электроники //Изв.ВУЗов. Электроника. 1997. №1. - С. 10.

146. Мохов Е.Н. Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига: Дис.докт. ф.-мат. Наук. С.-Петербург. 1998. 47 с.

147. Лыков А.В. Тепломассообмен. М.: Энергия. 1978. - 480 с.

148. Дульнев Г.Н., Парфенов В.Г., Сигалов А.В. Методы расчета теплового режима приборов. М.: Радио и связь. 1990. - 312 с.

149. Андронов A.M., Копылов Е.А., Гринглаз Л.Я. Теория вероятностей и математическая статистика. СПб.: Питер.2004.- 461с.