Плазмонная оптометрия тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, доктор технических наук Никитин, Алексей Константинович

  • Никитин, Алексей Константинович
  • доктор технических наукдоктор технических наук
  • 2002, Москва
  • Специальность ВАК РФ01.04.01
  • Количество страниц 269
Никитин, Алексей Константинович. Плазмонная оптометрия: дис. доктор технических наук: 01.04.01 - Приборы и методы экспериментальной физики. Москва. 2002. 269 с.

Оглавление диссертации доктор технических наук Никитин, Алексей Константинович

Введение.

Глава I. Анализ условий существования, характеристик и особенностей фотонного возбуждения поверхностных плазмонов.

§1.1. ПЭВ на гладкой границе раздела двух сред и их основные характеристики.

§ 1.2. ПЭВ в многослойных структурах. а) трёслойные структуры. б) многослойные структуры.

§1.3. Анализ и приближённые решения дисперсионного уравнения

ПЭВ для Д-М-Д структуры.

§1.4. Фотонное возбуждение ПП и влияние его эффективности на характеристики отражённого излучения. а) методы фотонного возбуждения ПП. б) влияние эффективности возбуждения 1111 методом HUB О на характеристики отражённого излучения.

§1.5. Оценка влияния внешних воздействий на характеристики зондирующего излучения, возбуждающего ПП.

Основные результаты, полученные в Главе 1.

Глава 2. Эллипсометрия и поляриметрия в условиях возбуждения поверхностных плазмонов.

§2.1. Возбуждение и детектирование ПП в эллипсометрических измерениях.

§2.2. Чувствительность и точность метода эллипсометрии в условиях возбуждения излучением ПП. а) чувствительность метода эллипсометрии в условиях 111 IP. б) точность метода эллипсометрии в условиях ППР.

§2.3. Эллипсометрия в линейно поляризованном свете.

§2.4. Исследование переходных слоев методом эллипсометрии с возбуждением ПГТ.

§2.5. Поляриметрия проводящей поверхности. а) обоснование поляриметрического метода детектирования фотонного возбуждения ПП. б) численное моделирование. в) экспериментальные исследования.

Основные результаты, полученные в Главе 2.

Глава 3. Оптическая микроскопия с плазмонной подсветкой поверхности образца.

§3.1. Амплитудная ПП-микроскопия прозрачных образцов.

§3.2. Плазмонная микроскопия с большой глубиной резкости.

§3.3. Амплитудная ПП-микроскопия непрозрачных образцов.

§3.4. Фазовая ПП-микроскопия.

§3.5. Томографическая микроскопия проводящей поверхности в условиях плазмонного резонанса.

§3.6. Эллипсометрическая микроскопия проводящей поверхности.

§3.7. Поляризационная микроскопия проводящей поверхности.

§3.8. Ближнепольная ПП-микроскопия.

Основные результаты, полученные в Главе 3.

Глава 4. Спектроскопия проводящей поверхности посредстовом

ПЭВ и ПП.

§4.1. Принципы и развитие ПП и ПЭВ-спектроскопии. а) плазмонная спектроскопия. б) ПЭВ-спектроскопия.

§4.2. Быстродействующие ПП-спектрометры. а) широкополосные ПП-спектрометры рефлекторного типа. б) интерференционный спектрометр длиннопробежных ПЭВ.

§4.3. Исследование адсорбции газов методом амплитудной рефлектометрической ПП-спектроскопии.

§4.4. ПЭВ-спектрометр пятимикронной области спектра. а) блок-схема спектрометра и принцип его работы. б) апробация спектрометра.

§4.5. Поляризационная спектроскопия проводящей поверхности. а) численное моделирование. б) оценка возможности применения поляризационной методики в ИК диапазоне. в) быстродействующий поляризационный ПП-спектрометр. г) экспериментальные исследования.

Основные результаты, полученные в Главе 4.

Глава 5. Плазмонная рефрактометрия и сенсорные устройства.

§5.1. Классификация, хронология разработок и области применения

ПП-датчиков. а) об основных характеристиках ПП-датчиков. б) возможности ПП-датчиков различного исполнения. в) области применения ПП-датчиков.

§5.2. Плазмонная рефрактометрия. а) проводящих образцов. б) окружающей среды.

§5.3. ПП-датчики оптического излучения.

§5.4. Измерение оптической активности вещества.

§5.5. Плазмонные контрольно-измерительные устройства. а) акселекрометр и уклономер. б) определение профиля мениска жидкости. в) определение концентрации ионов в жидкостях.

Основные результаты, полученные в Главе 5.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Приборы и методы экспериментальной физики», 01.04.01 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Плазмонная оптометрия»

Развитие науки и техники сопровождается и во многом определяется развитием средств контроля, наблюдения и измерения. Это утверждение особенно справедливо для нанотехнологий, применяемых в микроэлектронике, интегральной оптике, лазерной технике, поверхностном катализе, биологии и медицине. Большую научную и практическую ценность для развития и применения нанотехнологий имеют знания о свойствах поверхности твёрдого тела и её переходного слоя. Классическим направлением технической физики, применяемым для контроля поверхности является оптомет-рия, включающая в себя такие широко известные методы как микроскопия, спектроскопия, интерферометрия, эллипсометрия, рефрактометрия и др. Кроме того, разрабатываются всё новые методы анализа поверхности, такие как электронная микроскопия и спектроскопия, спектрометрия ионного рассеяния, флуоресцентный и рентгено-эмиссионный анализ [1]. Однако неоптические методы являются, как правило, разрушающими и предполагают размещение объекта в вакууме. Эти недостатки особенно существенны при исследовании биообъектов (не переносящих вакуума и сильных внешних воздействий), при необходимости обеспечения контроля большого количества изделий и изучении быстропротекающих процессов (например, каталитических реакций). Поэтому возникла необходимость совершенствования оптометрии, как неразрушающего и бесконтактного метода контроля поверхности, путём повышения точности и чувствительности измерений.

В этой связи, использование поверхностных плазмонов (ПП), как посредника между зондирующим излучением и объектом исследований, -одно из наиболее актуальных и перспективных направлений по решению задачи повышения точности и чувствительности оптометрии. Основными аргументами в пользу такого утверждения являются следующие факты: 1) фотонное возбуждение ПП сопровождается усилением напряжённости поля зондирующего излучения в приповерхностной области на 2-3 порядка, 6 что повышает эффективность его взаимодействия с переходным слоем исследуемой поверхности; 2) характеристики ПП определяются, главным образом, свойствами поверхности и её переходного слоя; 3) параметры отражённого излучения (его интенсивность, фаза, поляризация) резонансным образом связаны с эффективностью возбуждения ПП падающим излучением.

Термин «поверхностные плазмоны» был введён американским физиком Р. Ритчи в 1957 году [2]. Однако первые работы, касающиеся применения ПП в оптических измерениях появились только в конце 1960-х годов [3,4]. В начале 1970-х годов были выполнены первые эксперименты по возбуждению ПП в инфракрасном (ИК) диапазоне, где их называют поверхностными электромагнитными волнами (ПЭВ) [5, 6]. С тех пор количество работ, касающихся природы ПП и их применений для контрольно-измерительных целей, неуклонно нарастает и в настоящее время, согласно базе данных Science Citation Index, превышает 500 наименований в год, причём более половины из них посвящено применению ПП в медико-биологических и экологических исследованиях.

В нашей стране к началу 1980-х годов сложились две крупные научно-исследовательские школы, разрабатывающие проблему 1111 и их применений: Ленинградская (на основе Физико-технического института им. А.Ф. Иоффе АН СССР и Государственного оптического института им. С.И. Вавилова) и Московская (включающая такие исследовательские центры как Институт спектроскопии АН СССР, Институт общей физики АН СССР, Физический институт им. П.Н. Лебедева АН СССР, Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова и др.). Основные усилия обеих школ были направлены на развитие спектрометрии ПП и ПЭВ, а также на применение ПП в полупроводниковых фотоприёмных устройствах, на исследование роли ПП в процессе взаимодействия лазерного излучения с веществом и некоторые другие прикладные задачи. Систематического же изучения возможностей различных оптических методов контроля поверх7 ности и её переходного слоя в условиях возбуждения зондирующим излучением ПП ни в России, ни за рубежом не производилось.

Цель работы - теоретические и экспериментальные исследования возможностей оптических методов контроля проводящей поверхности при возбуждении зондирующим излучением поверхностных плазмонов (ПП) или поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ), а также разработка способов и устройств, позволяющих выполнять измерения этими методами в условиях поверхностного плазмонного резонанса (ILLLP).

Основные задачи диссертации, определяемые поставленной целью, состоят в следующем:

1. Провести анализ возможностей основных методов оптометрии (микроскопии, спектроскопии, эллипсометрии, поляриметрии, интерферометрии и рефрактометрии) при возбуждении зондирующим излучением ПП, с целью определения условий, при которых чувствительность и точность измерений существенно возрастают;

2. Разработать новые способы выполнения измерений названными методами оптометрии в условиях плазмонного резонанса, а также предложить конструкции и создать действующие макеты устройств, реализующих эти способы;

3. Провести комплекс экспериментов по изучению функционирования макетов разработанных устройств с целью их апробации и подтверждения теоретических выводов об улучшении характеристик оптических методов измерений при возбуждении зондирующим излучением ПП.

Научная новизна работы состоит в том, что впервые исследованы возможности таких оптических контрольно-измерительных методов как микроскопия, спектроскопия, эллипсометрия, поляриметрия, интерферометрия и рефрактометрия при возбуждении зондирующим излучением ПП (или ПЭВ). В результате выполненных исследований обнаружен эффект поворо8 та плоскости поляризации зондирующего излучения в процессе фотонного возбуждения ПП (при условии компенсации фазового сдвига, возникающего между р- и л'-составляющими поля излучения при отражении), определены условия существования неизлучающих 1 ill-мод и отсечки длиннопро-бежной моды в Д-М-Д структуре, оценены точность и чувствительность измерений оптическими методами при возбуждении зондирующим излучением ПП. Предложены и апробированы: 1) поляриметрический способ детектирования фотонного возбуждения ПП, 2) способ определения оптических параметров проводящих образцов, 3) способ выполнения поляризационной спектроскопии, 4) иммерсионные метод возбуждения ПП и способ выполнения ПП-микроскопия поверхности непрозрачных проводящих образцов, 5) ряд способов регулирования контраста и глубины резкости изображения объекта при выполнении ПП-микроскопии. Разработаны и защищены авторскими свидетельствами СССР и патентами России: метод фазовой ПП-микроскопии, методы низкотемпературной, поляризационной, иммерсионной и многолучевой ПП-микроскопии, а также пять устройств для контроля изменений показателя преломления окружающей среды, селективное фотоприёмное устройство, два устройства для ввода (вывода) излучения в (из) планарный оптический волновод, два 1111-спектрометра, способ определения концентрации ионов в жидкостях, акселерометр и оптический уровень, способ определения профиля мениска жидкости, способ мгновенной эллипсометрической микроскопии, способ пассивной ПП-микроскопии, способ определения оптической активности вещества, способ и два устройства для определения оптических параметров проводящих образцов. Предложена схема интерференционного лазерного ПП-спектро-метра, выполненного на основе Д-М-Д структуры и предназначенного для исследования быстропротекающих процессов, а также способ выполнения голографической интерферометрии переходного слоя в условиях плазмон-ного резонанса. Кроме того, разработан и создан первый действующий ма9 кет лазерного ПЭВ-спектрометра пятимикронной области спектра, а также макет ПП-спектрометра рефлекторного типа для исследования адсорбционных процессов.

Практическая ценность работы состоит в том, что её результаты представляют интерес для научных исследователей, использующих оптические методы контроля поверхностей твёрдых тел и происходящих на них процессов, для разработчиков оптических датчиков и контрольно-измерительных устройств, предназначенных для физико-химических и медико-биологических исследований, для контроля технологических процессов в оптической и микроэлектронной промышленности, для экологического мониторинга окружающей среды и пищевых продуктов. Это утверждение основано на том, что выполненные исследования подтвердили предположение о расширении возможностей оптической микроскопии, спектроскопии, эллипсометрии, поляриметрии и интерферометрии при возбуждении зондирующим излучением ПП или ПЭВ и позволили разработать ряд оригинальных конструкций ПП-датчиков внешних воздействий.

Практическую ценность работы подтверждает также тот факт, что основные её результаты получены в ходе выполнения соискателем, в составе группы исследователей кафедры общей физики РУДН под руководством ныне покойного профессора д.ф.-м.н. Тищенко Анатолия Алексеевича. следующих госбюджетных и хоздоговорных НИР:

1. "Разработка методов очистки и контроля чистоты оптических поверхностей", номер гос. регистрации №81021825, 1981-1985 г.;

2. "Разработка методов прецизионных измерений оптических постоянных высокоотражающих поверхностей на основе ПЭВ и эллипсометрии", номер гос. регистрации № 01.86.00294474, 1986 - 1987 г.;

3. "Исследование возможностей применения волноводной и волоконной оптики для построения датчиков медико-биологической информации", номер гос. регистрации № 0.188.0021072, 1988 г.;

10

4. "Разработка и создание спектрометров ПЭВ видимого и среднего ИК диапазонов", № 207001 (в рамках НТП Госкомвуза РФ "Университеты России", раздел "Лазерные системы"), 1991 - 1995 г.;

5. "Разработка оптического микроскопа сверхвысокого разрешения для исследования микрообъектов в экологии, медицине и высоких технологиях", № 207003 (в рамках НТП Госкомвуза РФ "Конверсия и высокие технологии"), 1994 - 1995 г.;

6. "Разработка оптического микроскопа сверхвысокого разрешения для медико-биологических исследований", (в рамках НТП Госкомвуза РФ "Университеты России", раздел "Лазерные системы"), 1996 - 2000 г.;

7. "Поляриметрия проводящей поверхности", госбюджетная НИР РУДН №210022, 2000 г.

Результаты исследований внедрены в Институте общей физики РАН и на кафедре общей физики Российского университета дружбы народов, кроме того, использованы при выполнении курсовых, дипломных и аспирантских работ в РУДН, МГУ, МГТУ, МФТИ, СГУ и других вузах России и СНГ.

На защиту выносятся следующие научные положения:

1. Поверхностные плазмоны (1111) могут быть эффективно использованы в оптических методах контроля поверхности, повышая их разрешающую способность, чувствительность и точность измерений. Достигаемый эффект объясняется резонансным характером фотонного возбуждения ПП и усилением напряжённости поля зондирующего излучения в приповерхностной области, а также сильной зависимостью характеристик ПП и отражённого излучения от состояния поверхности образца;

2. Способы выполнения оптической микроскопии, спектроскопии, эллип-сометрии, поляриметрии, рефрактометрии и интерферометрии в условиях возбуждения ПП зондирующим излучением, а также принципиальные схемы и макеты устройств, реализующих эти способы;

11

3. Высокочувствительные устройства, содержащие направляющие 1111 структуры, для измерения таких физических величин как изменение показателя преломления окружающей среды, оптические параметры проводящих образцов, интенсивность и степень поляризации монохроматического излучения, линейное ускорение, концентрация ионов в жидких растворах, профиль краевого угла смачивания, оптическая активность вещества, угол уклона плоской поверхности и другие.

Сделанные заключения и совокупность полученных результатов свидетельствуют о разработке нового научного направления - оптометрии поверхностных плазмонов, предполагающего возбуждение зондирующим излучением ПП на контролируемой поверхности с целью повышения чувствительности и точности измерений традиционными методами оптометрии.

Апробация работы и публикации. Основные результаты диссертации опубликованы в 70 работах, в том числе в 30 статьях в центральных научно-технических периодических изданиях и сборниках научных трудов, в описаниях 25 патентов на изобретения, а также в 15 тезисах докладов международных и отечественных научных конференций. Ниже приведён список публикаций по теме диссертации, выполненных с участием соискателя:

1. Гульянова С.Г., Никитин А.К., Тищенко А.А., Черняй А.И. Исследование влияния внешней среды на резонансные свойства тонкоплёночных волноводов // Тезисы докл. 1-й Всесоюзной конф. по радиооптике, 12-14 мая 1981 г. - г. Фрунзе. - 1981. - с.280-281.

2. Гульянова С.Г., Никитин А.К., Тищенко А.А. Исследование возможностей применения поверхностных плазменных волн для изучения адсорбционных процессов // Тезисы докл. 3-й Всесоюзной конф. "Оптика лазеров", 4-8 января 1982 г. - г. Ленинград. - 1982. - с.436-437.

12

3. Ведерников В.И., Гульянова С.Г., Никитин А.К., Тищенко А.А. Применение оптических поверхностных волн для исследования адсорбции этанола на медных поверхностях // Тезисы докл. 11-й Всесоюзной конф. по когерентной и нелинейной оптике, 22-25 ноября 1982 г. - г. Ереван. - 1982.- с.637 - 638.

4. Никитин А.К., Тищенко А.А. Поверхностные электромагнитные волны и их применения // Зарубежная радиоэлектроника. — 1983.- №3.-с.38-56.

5. Тищенко А.А., Никитин А.К. О применении поверхностных плазменных волн для изучения адсорбционных процессов // Оптика и спектроскопия. - 1983. - т.55. - Вып.2. - с.395-397.

6. Акшёров Ю.В., Букреев В.В., Ведерников В.И., Гульянова С.Г., Никитин А.К., Осадчев Л.А., Тищенко А.А. Способ определения фактической площади контакта поверхностей сопрягаемых тел // Автор, св. СССР. -№1114922. - Бюл. Изобр. №35 от 23.09.1984 г.

7. Букреев В.В., Литвинов И.П., Никитин А.К., Осадчев Л.А., Тищенко А.А., Терлецкий А .Я. Поверхностные электромагнитные волны и их применение для контроля изделий в оптическом производстве // М.: ЦНИИИ и ТЭИ. - 1985. - Обзорная информация. - Обзор №3698. - 51 с.

8. Житков П.М., Никитин А.К., Черняй А.И. Применение поверхностных плазменных волн для определения оптических постоянных металлов // Сб. науч. тр. "Физика и химия оптических поверхностей". - М., УДН. -1986. - с.74-79.

9. Никитин А.К. Об эллипсометрии поверхностных электромагнитных волн // Сб. науч. тр. "Физика и химия оптических поверхностей". - М., УДН. - 1986. - с.80-91.

10. Никитин А.К., Тищенко А.А. О точности и чувствительности метода эллипсометрии с возбуждением ПЭВ // Поверхность (физ., хим., мех.). - 1987. - №9. - с.84-88.

13

11. Никитин А.К., Тищенко А.А. Исследование адсорбционных и окисных слоев методом эллипсометрии с возбуждением ПЭВ // Поверхность (физ., хим., мех.). - 1987. - №12. - с.45-49.

12. Тищенко А.А., Никитин А.К. Исследование адсорбции некоторых спиртов на оптических подложках методом эллипсометрии с возбуждением ПЭВ // Сб. науч. тр. "Эллипсометрия в науке и технике". - г. Новосибирск, Ин-т физики полупроводников СО АН СССР. - 1987. - с.165-167.

13. Никитин А.К., Теричев В.Ф., Тищенко А.А., Черняй А.И. Устройство для измерения изменений показателя преломления окружающей среды И Автор, св. СССР. - №1385775 от 01.12.1987 г.

14. Басак С., Кассандров В.В., Никитин А.К., Тищенко А.А., Черняй А.И. Поверхностные электромагнитные волны в тонких плёнках // Зарубежная радиоэлектроника. - 1988. - №5. - с.76-84.

15. Никитин А.К., Тищенко А.А., Черняй А.И. Оценка точности и чувствительности волноводнош метода и метода ПЭВ при исследовании тонких плёнок // Сб. науч. тр. "Физика и химия поверхности". - М., УДН. -1988. - с.76 - 77.

16. Никитин А.К., Теричев В.Ф., Тищенко А.А., Черняй А.И. Фотоприёмник II Автор, св. СССР. -№1526524 от 01.08.1989 г.

17. Тищенко А.А., Колбин И.И., Никитин А.К., Черняй А.И. Устройство для вывода излучения из планарного оптического волновода // Автор, св. СССР. - №1531047. - Бюл. Изобр. №47 от 23.12.1989 г.

18. Никитин А.К., Тищенко А.А. Датчики физических величин на основе планарных волноведущих структур // Всесоюз. науч. конф. "Проблемы теории чувствительности измерительных датчиков, электронных и электромеханических систем". - г. Владимир, 31.10-г2.11.1989г. - М., 1989, Тезисы докл., ч.2, с. 191.

19. Никитин А.К., Теричев В.Ф., Тищенко А.А., Черняй А.И. Устройство для измерения изменений показателя преломления вещества // Автор, св. СССР. - №1575679 от 2.03.1990 г.

14

20. Никитин А.К., Бессалов Б.П. Устройство для ввода или вывода излучения II Автор, св. СССР. - №1588161 от 22.04.1990 г.

21. Большаков М.М., Кассандров В.В., Никитин А.К., Тищенко А.А. Эл-липсометрическое детектирование электромагнитных мод в тонких металлических плёнках // Сб. науч. трудов "Эллипсометрия в науке и технике". - г. Новосибирск, ИПФ СО АН СССР. - 1990. - с. 161-167.

22. Никитин А.К., Тищенко А.А., Черняй А.И. Датчики физических величин на основе планарных волноведущих структур оптического диапазона // Зарубежная радиоэлектроника. - 1990. - №10. - с. 14-30.

23. Большаков М.М., Никитин А.К. Применение ПЭВ в измерительных устройствах // Сб. науч. тр. "ПЭВ в физико-химических исследованиях". - М., УДН. - 1990. - с.4-24.

24. Никитин А.К., Тищенко А.А. Фазовая ПЭВ-микроскопия // Письма в ЖТФ. - 1991. - т. 17. - Вып. 11. - с.76-79.

25. Большаков М.М., Никитин А.К., Тищенко А.А., Самодуров Ю.И. Устройство для определения коэффициента поглощения ПЭВ металлическими плёнками // Автор, св. СССР. - №1684634 от 15.06.1991 г.

26. Никитин А.К., Тищенко А.А. Фотоприёмное устройство // Автор. се. СССР.-№1688751 от 1.07.1991 г.

27. Бальчитис Г.А., Марчук А.Н., Никитин А.К., Силин В.И., Тищенко А.А. Исследование адсорбции белков из водных растворов на полистироле по затуханию мод планарного оптического волновода // Письма в ЖТФ. - 1991. - т.17. - Вып. 22. - с.62-66.

28. Никитин А.К., Тищенко А.А. Способ исследования поверхностей твёрдых тел II Автор, св. СССР. - №1749785 от 22.03.1992 г.

29. Кассандров В.В., Никитин А.К., Сумита Б., Тищенко А.А. Анализ и приближённые решения дисперсионного уравнения ПЭВ в Д-М-Д структурах // Поверхность (физ., хим., мех.). - 1992. - №5. - с.90-97.

15

30. Никитин А.К., Тищенко А.А. ПЭВ-микроскопия среднего ИК диапазона Н Письма в ЖТФ. - 1992. - т. 18. - Вып. 17. - с.25-28.

31. Никитин А.К., Тищенко А.А. Устройство для измерения изменений показателя преломления окружающей среды // Автор, св. СССР. -№1829612 от 13.10.1992 г.

32. Тищенко А.А., Никитин А.К. ПЭВ в оптической микроскопии // Вестник РУДН (сер.физ.). - 1993. - №1. - с. 114-121.

33. Тищенко А.А., Никитин А.К. О преодолении дифракционного предела Аббе в оптической микроскопии // Всероссийская конф. "Оптические сотовые и спутниковые системы связи". - г. Суздаль, 6-10 сент. 1993 г. -М. - 1993 г. - Тезисы докладов. - с.93.

34. Логинов А.П., Марчук А.Н., Никитин А.К., Тищенко А.А. О роли ПЭВ в поглощении света оптическими элементами лазеров непрерывного действия // Вестник РУДН (сер.физ.). - 1994. - №2. - с. 137-144.

35. Тищенко А.А., Никитин А.К. Оптическая ПЭВ-микроскопия // V международ. н.-т. конф. "Лазеры в науке, технике, медицине", 20-22 сент.

1994 г. - г. Суздаль. - М. - 1994 г. - Тезисы докладов. - с.20.

36. Тищенко А.А., Кассандров В.В., Логинов А.П., Никитин А.К. Спектрометр ПЭВ среднего ИК диапазона // Известия вузов (Физика). -1995. - № 8. - с.122-124.

37. Горобец А.П., Логинов А.П., Никитин А.К., Тищенко А.А. Иммерсионная оптическая микроскопия сверхвысокого разрешения // VI международ. н.-т. конф. "Лазеры в науке, технике, медицине", 19-21 сент.

1995 г. - г. Суздаль. - М. - 1995 г. - Тезисы докладов. - с.61-63.

38. Gorobets А.Р., Loginov А.Р., Nikitin А.К., Tishchenko А.А. Surface electromagnetic waves microscopy of opaque samples // Proc. SPIE {International Society for Optical Engineering). - 1996. - v.2799. - p.449-457.

16

39. Никитин А.К., Рыжова Т.А. Регулирование контраста изображения и глубины резкости в ПЭВ-микроскопии // Письма в ЖТФ. - 1996. - т.22. -Вып. 9.-с. 14-17.

40. Горобец А.П., Никитин А.К. Определение профиля краевого угла смачивания методом ПЭВ-микроскопии // VII международ, н.-m. конф. "Лазеры в науке, технике и медицине", 26-30 сент. 1996 г. - г. Сергиев Посад. - М. - 1996 г. - Тезисы докладов. - с. 116-121.

41. Никитин А.К., Логинов А.П., Рыжова Т.А. Иммерсионно-оптический датчик линейного ускорения // VII международ, н.-т. конф. "Лазеры в науке, технике, медицине", 26-30 сент. 1996 г. - г. Сергиев Посад. - М. -1996 г. - Тезисы докладов. - с. 121-124.

42. Никитин А.К. Спектрометр поверхностных электромагнитных волн // Патент РФ на изобретение. - RU 2091733. - Бюл. №27 от 27.09.1997 г.

43. Кассандров В.В., Никитин А.К. Устройство для измерения изменений показателя преломления газа // Патент РФ на изобретение. - RU 2096762. - Бюл. №32 от 20.11.1997 г.

44. Никитин А.К. Способ исследования поверхностей твёрдых тел // Патент РФ на изобретение. - RU 2097744. - Бюл. №33 от 27.11.1997 г.

45. Никитин А.К. Способ исследования поверхности полупрозрачного образца методом ПЭВ-микроскопии // Патент РФ на изобретение. - RU 2097747. - Бюл. №33 от 27.11.1997 г.

46. Никитин А.К., Головцов Н.И., Кассандров В.В. Интерференционный ПЭВ-спектрометр для изучения адсорбционных процессов // Известия вузов (Физика). - 1997. - № 8. - с.126-127.

47. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. О вращении плоскости поляризации света, возбуждающего поверхностные электромагнитные волны I/Вестник РУДН(сер. физ.). - 1997. - №5. - с.48-54.

48. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. Широколучевая эллипсо-метрия в линейно-поляризованном свете // VIII международ, н.-т. конф.

17

Лазеры в науке, технике, медицине", 9-12 сент. 1997г. - г. Пушкинские Горы (Псковской обл.). - М. - 1997 г. - Тезисы докладов. - с.157-158.

49. Никитин А.К. Способ определения концентрации ионов в жидкостях // Патент РФ на изобретение. - RU 2101696. - Бюл. №1 от 10.01.1998 г.

50. Никитин А.К. Жидкостный оптический уровень // Патент РФ на изобретение. - RU 2107896. - Бюл. №9 от 27.03.1998 г.

51. Никитин А.К. Способ определения профиля мениска жидкости // Патент РФ на изобретение. - RU 2108563. - Бюл. №10 от 10.04.1998 г.

52. Nikitin А.К., Loginov А.Р. Acceleration detection using surface-plasmon microscopy // Technical Digest of XVI International Conference on Conhe-rent and Nonlinear Optics (ICONO'98). - Moscow (June 29 - July 3, 1998). -p.l58 (WN13).

53. Никитин А.К. Способ повышения чувствительности поляриметрических измерений // IX международ, н.-т. конф. "Лазеры в науке, технике, медицине". - г. Геленджик, 28 сент. - 1 окт. 1998 г. - М,- 1998 г. -Тезисы докладов. - с.70-71.

54. Никитин А.К. Эллипсометрическая микроскопия в условиях поверхностного плазмонного резонанса // Оптический журнал. - 1998. - №11. -с.99-100.

55. Никитин А.К. Способ эллипсометрического исследования тонких плёнок на плоских подложках // Патент РФ на изобретение. - RU 2133956. -Бюл. №21 от27.07.1999 г.

56. Никитин А.К. Способ исследования поверхности твёрдого тела // Патент РФ на изобретение. - RU 2142621. - Бюл. №34 от 10.12.1999 г.

57. Nikitin А.К., Loginov А.Р. Acceleration detection using surface-plasmon microscopy // Proc. SPIE {International Society for Optical Engineering). -1999. - v.3736. - p.351-356.

58. Никитин A.K., Логинов А.П., Головцов Н.И. Поляриметрический контроль проводящей поверхности// Xмеждународ, н.-т. конф. "Лазеры

18 в науке, технике, медицине", 22-24 сент. 1999 г. - г. Сочи. - М. - 1999 г. -Тезисы докладов. - с.140.

59. Никитин А.К. Способ определения оптической активности вещества // Патент РФ на изобретение. - RU 2147741. - Бюл.№11 от 20.04.2000 г.

60. Никитин А.К. Способ и устройство для определения показателя преломления окружающей среды // Патент РФ на изобретение. - RU 2148250. - Бюл. №12 от 27.04.2000 г.

61. Никитин А.К. Способ и устройство для определения оптических параметров проводящих образцов // Патент РФ на изобретение. - RU 2148814. - Бюл. №13 от 10.05.2000 г.

62. Никитин А.К. Поляриметрическое детектирование фотонного возбуждения поверхностных плазмонов // Квантовая электроника. - 2000. -т.ЗО. - № 1. - с.73-77.

63. Никитин А.К. О возможности голографии переходного слоя проводящей поверхности // XI международ, н.-т. конф. "Лазеры в науке, технике, медицине", 24-28.09 2000г. - г.Сочи. - М. - 2000г. - Тезисы докладов. - с.75.

64. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. Интерферометрия поверхностных плазмонов // Вестник РУДН (Физика). - 2000. -№8. - с.96-101.

65. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. Поляризационная спектроскопия проводящей поверхности // Оптика и спектроскопия. -2001. - т. 90. - № 6. - с.964-969.

66. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. Определение оптических параметров проводящих образцов методом поляриметрии // Оптический журнал. - 2001. -т.68. - № 10. - с.27-31.

67. Nikitin А.К., Loginov А.Р., Golovtsov N.I. Holographic interferometry of a conducting surface using surface-plasmons // Technical Digest of XVII International Conference on Conherent and Nonlinear Optics (ICONO'2001). - Minsk

19

June 24-30, 2001).-p. WV1.

68. Никитин A.K. Способ исследования проводящей поверхности // Заявка на изобретение, №99110697/28 (0107721) от 13.05.1999 г. (Положительное решение от 29.08.2000 г.)

69. Никитин А.К. Способ выполнения спектроскопии переходного слоя проводящей поверхности // Патент РФ на изобретение. - RU 2170913. - Бюл. №20 от 20.07.2001 г.

70. Никитин А.К. Широкополосный спектрометр поверхностных электромагнитных волн // Патент РФ на изобретение RU 2173837 (MKH7G 01 J 3/42). - Бюл. №26 от 20.09.2001 г.

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, 5 глав и заключения. Основная часть диссертации содержит 270 страниц машинописного текста, в том числе 87 рисунков, 5 таблиц и список литературы из 325 наименований.

Похожие диссертационные работы по специальности «Приборы и методы экспериментальной физики», 01.04.01 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Никитин, Алексей Константинович

Основные результаты, полученные в Главе 5:

1. Приведён обзор работ по плазмонным датчикам, выполнена их классификация по назначению, исполнению и контролируемой характеристике ПП. Подчёркнуто, что наибольшее признание ПП-датчики получили в области микробиологии, медицине и экологии окружающей среды. Ключевым элементом биологических и химических ПП-датчиков является специальный чувствительный слой, наносимый на направляющую ПП поверхность и изменяющий свои оптические характеристики под воздействием детектируемого реагента. Отмечается, что плазмонные биодатчики выведены на коммерческий уровень и производятся рядом европейских и американских приборостроительных фирм.

2. Освоен плазмонный метод рефрактометрии проводящих материалов. Предложена и апробирована поляриметрическая методика определения

234 оптимальных условий фотонного возбуждения ПП, позволяющая повысить на порядок точность определения оптических параметров образцов по сравнению с амплитудным методом регистрации возбуждения 1111.

3. Разработан способ определения показателя преломления окружающей среды и пять схем ПП-рефрактометров, точность измерения наиболее совершенного из которых достигает 10"8.

4. Предложены две конструкции селективных фотоприёмников, выполненных на основе многослойных металло-диэлектрических структур, позволяющих определять угол прихода, частоту и степень поляризации детектируемого излучения.

5. Предложен способ определения оптической активности вещества, повышающий на порядок чувствительность и точность поляриметрических измерений. Разработана конструкция устройства, реализующего способ, которую можно использовать не только в сахариметрии, но и для исследования оптического эффекта Фарадея.

6. Разработаны конструкции иммерсионных ПП-акселерометра и уклономера, имеющих точность измерения не хуже 10"6 м/с2 и 10"9 радиан, соответственно.

7. Предложены способы:

- определения профиля мениска жидкости, особенно эффективный при исследовании края мениска в непосредственной близости от линии раздела твёрдого тела и свободной поверхности жидкости;

- определения концентрации ионов в жидкостях, использующих метод ПП-микроскопии и позволяющих определять концентрацию ионов с точностью до 5-10"9 моль/л;

-определения фактической площади контакта сопрягаемых тел [325], также использующий метод ПП-микроскопии в сколлиминированном монохроматическом излучении.

235

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В результате проведённых исследований разработаны и апробированы методики выполнения контроля проводящей поверхности и её переходного слоя такими оптическими методами как микроскопия, спектроскопия, эл-липсометрия, поляриметрия, рефрактометрия и интерферометрия в условиях плазмонного резонанса, инициируемого зондирующим излучением. Предложенные методики и способы выполнения оптометрических измерений открывают новые возможности в изучении свойств поверхности твёрдого тела, приповерхностных слоев и тонких плёнок на поверхностях металлов и полупроводников.

Проведенные исследования показали, что возбуждение зондирующим излучением поверхностных плазмонов (ПП) и электромагнитных волн (ПЭВ) позволяет повысить не менее чем на порядок чувствительность и точность традиционных методов оптометрии поверхности. Разработанные контрольно-измерительные способы и устройства обеспечивают реализацию этих преимуществ при изучении свойств проводящей поверхности и детектировании внешних воздействий физического, химического и биологического характера. Таким образом, цель, поставленная во введении, достигнута, при этом получены следующие результаты:

1. В теории ПЭВ. Выполнен математический анализ дисперсионного уравнения ПЭВ для 3-х слойной волноведущей структуры. Получены приближённые формулы для расчёта волновых чисел нерадиационных ПЭВ-мод (длиннопробежной и короткопробежной). Определены области существования этих мод и условия возрастания чувствительности их характеристик к внешним воздействиям.

2. В поляриметрии. Обнаружен эффект поворота плоскости поляризации линейно поляризованного излучения, возбуждающего ПП или ПЭВ. Установлена высокая чувствительность угла этого поворота к эффективности возбуж

236 дения ПП, что позволяет повысить чувствительность и точность поляриметрических измерений проводящей поверхности. Эффект применён в поляризационной спектроскопии и рефрактометрии металлических зеркал.

3. В эллипсометрии. Исследованы возможности метода в условиях поверхностного плазмонного резонанса (111IP). Установлено, что, вследствие сильной зависимости амплитуды и фазы ^-составляющей зондирующего излучения от эффективности возбуждения ПП, точность и чувствительность эллипсометрических измерений повышаются на 1-2 порядка. Метод эллипсометрии с возбуждением ПП применён для контроля процесса окисления медной поверхности и адсорбции на ней спиртов. Предложен способ выполнения мгновенной эллипсометрической микроскопии плоской проводящей поверхности.

4. В микроскопии. Предложены методы фазовой, иммерсионной, пассивной и поляризационной ПП-микроскопии, а также ряд способов регулирования контраста и глубины резкости в различных вариантах ПП-микроскопии. Разработаны схемы устройств, реализующих эти методы.

5. В спектрометрии. Разработан ряд схем быстродействующих ПП-спектрометров. Изготовлен макет ПП-спектрометра рефлекторного типа, который применён для исследования процессов адсорбции аргона, монооксида углерода и кислорода на серебро, а также паров этанола на медные плёнки. Изготовлен макет двухпризменного лазерного ПЭВ-спектрометра, функционирующий в 5-микронной области спектра (1^=1656-^1864 см"1) и применённый для исследования адсорбции некоторых белков на поверхность меди. Предложен и апробирован метод поляризационной спектроскопии проводящей поверхности, повышающий точность и чувствительность измерений рефлекторной ПП-спектроскопии.

237

6. В рефрактометрии. Освоен метод рефрактометрии проводящих материалов в условиях ППР. Предложена и апробирована поляриметрическая методика определения оптимальных условий фотонного возбуждения 1111, позволяющая повысить на порядок точность определения оптических параметров образцов по сравнению с амплитудным методом регистрации возбуждения ПП. Разработан способ определения показателя преломления окружающей среды и пять схем ПП-рефрактометров, точность измерения наиболее совершенного из которых достигает 10"8.

7. В интерферометрии. Предложен способ выполнения эллипсометри-ческих измерений в условиях ППР с использованием интерференционной методики определения величины сдвига фазы зондирующего излучения, что упрощает процедуры измерений и расчётов. Разработана конструкция плазмонного спектроанализатора типа эшелона Майкельсона, позволяющего контролировать быстропротекающие процессы на проводящей поверхности. Предложено осуществлять контроль переходного слоя проводящей поверхности методом голографической интерферометрии (ГИ) в условиях ППР, объединяя, таким образом, в одном методе высокую точность измерений, присущую ГИ, и высокую чувствительность, характерную для ПП-микроскопии.

8. В контрольно-измерительной технике. Предложены способы определения оптической активности вещества, определения концентрации ионов в жидкости, определения фактической площади контакта сопрягаемых тел, а также способ определения профиля мениска жидкости, отличающиеся от аналогов высокой чувствительностью и точностью измерений. Разработаны конструкции плазмонных ФПУ, селективных по углу падения, частоте и поляризации излучения, датчика линейного ускорения и уклона поверхности, балометрическое устройство для мгновенного измерения коэффициента поглощения ПЭВ.

238

В заключение выражаю глубокую признательность моим научным консультантам - безвременно ушедшему профессору РУДН Тищенко Анатолию Алексеевичу за привлечение меня к разработке темы поверхностных плаз-монов в оптических методах контроля проводящей поверхности, за постоянную поддержку и веру в успех исследований, а также профессору Научно-технологического центра уникального приборостроения РАН Жижину Герману Николаевичу за консультации в области ПЭВ-спектроскопии и дискуссии о природе ПП и возможностях применения ПП в оптометрии.

Выражаю благодарность сотрудникам и аспирантам кафедры общей физики РУДН Кассандрову В.В., Черняю А.И., Горовому А.В., Житкову П.М., профессору Гордееву А.Н., Логинову А.П., Головцову Н.И. и Орловой С.С., внёсшим большой вклад в решение поставленных задач, за удовольствие работать с ними.

Благодарю также сотрудников Института спектроскопии РАН профессора Виноградова Е.А., профессора Лозовика Ю.Е., профессора Яковлева В.А., к.ф.-м.н. Москалёву М.А., к.ф.-м.н. Шомину Е.В., к.ф.-м.н. Силина В.И. за оказание идеологической и материальной поддержки в освоении выбранной темы, а также за обсуждение полученных результатов на семинаре отдела спектроскопии твёрдого тела Института.

Моя глубокая благодарность способствовавшим успешному решению задач данной работы сотрудникам ИОФАН профессору Сычугову В.А. и заведующему лабораторией к.ф.-м.н. Никитину П.И., профессору Саратовского государственного университета Названову В.Ф., а также научному сотруднику НПО "Орион" Семёнову Е.В.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Никитин, Алексей Константинович, 2002 год

1. Методы анализа поверхностей / Под ред. А. Зандерны. - М.: Мир, 1979,- 570 с.

2. Ritchie R.H. Plasma loses by fast electrons in thin films // Physical Review.- 1957. v.106. -No.5. -p. 874-878.

3. Williams M.W., Arakawa E.T. and Emerson L.C. Photon excitation of surface plasmons: analysis of data for A1 // Surface Science. 1967. - v.6. -No.l. -p.127-131.

4. Otto A. Excitation of nonradiative surface plasma waves in silver by the method of frustrated total reflection // Zeitschrift fur Physic. 1968. -Bd.216. - s.398-410.

5. Брыксин B.B., Гербштейн Ю.М., Мирлин Д.Н. Инфракрасное поглощение на поверхностных колебаниях в пластине ионного кристалла // ФТТ.- 1971. т.13. - №7. - с.2125-2127.

6. Shoenwald J., Burstein Е., Elson J.M. Propagation of surface polaritons over macroscopic distances at optical frequencies // Solid State Communications. -1973. v.12. -p.125-129.

7. Zenneck J. Uber die Fortpflanzung einer electromagnetischer Wellen langs einer ebenen Leiterflache und ihre Beziehung zur drahtlosen Telegraphie // Ann. Physik. 1907. -Bd.23. -N. 5. - s.846-866.

8. Sommerfeld A. Ausbreitung der Wellen in der drahtlosen Telegraphie // Ann. Physik. 1909. -Bd.28. -N. 4. - s.665-736.

9. Fano U. The theory of anomalous diffraction gratings and a quasi-stationary waves on metallic surfaces (Sommerfeld's waves) // J. Opt. Soc. Am. 1941.v.31. -No.3. p.213-222.

10. Electromagnetic surface modes / Ed. By A.D. Boardman. John Willy and Sons Ltd., 1982.-611 p.240

11. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича и Д.Л. Миллса. -М.: Наука, 1985.-525 с.

12. Дмитрук H.JL, Литовченко В.Г., Стрижевский В.Л. Поверхностные поляритоны в полупроводниках и диэлектриках // Киев: Наук, думка, 1989. -376 с.

13. Никитин А.К., Тищенко А.А. Поверхностные электромагнитные волны и их применения // Зарубежная радиоэлектроника. 1983. -№3.-с.38-56.

14. Либенсон М.Н., Макин B.C., Пудков С.Д. Поверхностные электромагнитные волны в оптике // Л.: О-во «Знание», 1990. 24 с.

15. Яковлев В.А. Спектры поверхностных поляритонов и влияние на них тонких металлических и диэлектрических покрытий // Дисс. к.ф.-м.н. -М., Институт спектроскопии АН СССР, 1976. 186 с.

16. Шомина Е.В. ПЭВ ИК диапазона и их применения для спектроскопии сверхтонких плёнок на поверхности металлов // Дисс. к.ф.-м.н. Троицк, Институт спектроскопии АН СССР, 1980. - 169 с.

17. Силин В.И. Дифракция и интерференция ПЭВ ИК диапазона в задачах спектроскопии поверхности // Дисс. к.ф.-м.н. Троицк, Институт спектроскопии АН СССР, 1985. - 186 с.

18. Черняй А.И. Исследование влияния внешних воздействий на характеристики планарных оптических волноведущих структур // Дисс. к.ф.-м.н. М, УДН, 1988. - 176 с.

19. Суров С.П. Элементы оптики ПЭВ среднего ИК диапазона // Дисс. к.ф.-м.н. М., Институт общей физики АН СССР, 1988. - 169 с.

20. Яковлев В.А. Спектроскопия поверхности и переходных слоёв с использованием поверхностных электромагнитных волн и поляритонов // Дисс. д.ф.-м.н.-Троицк, Институт спектроскопии СССР, 1989. 368 с.241

21. Иванов А.А. Исследование аминокислот и сывороточного альбумина человека с помощью спектроскопических методов // Дисс. к.ф.-м.н. -Минск, Ин-т физики им. Б.И.Степанова АН Беларуси, 1993. 131 с.

22. Трубаев В.В. Исследование поверхностных и прижатых электромагнитных волн среднего РЖ диапазона, распространяющихся на металлических поверхностях // Дисс. к.ф.-м.н. СПб., ГОИ, 1994. -125 с.

23. Кузик JI.A. ИК спектроскопия проводящих слоистых структур // Дисс. к.ф.-м.н. Троицк, Институт спектроскопии РАН, 1994. - 169 с.

24. Долгина А.Н. Резонансные аномалии в отражении ограниченных световых сигналов от металлической поверхности при возбуждении ПЭВ // Дисс. к.ф.-м.н. -М., Всеросс. НИИ оптико-физ. измерений, 1994.-112 с.

25. Коваленко Д.И. Исследование отражения поляризованного излучения от слоистых структур в условиях возбуждения поверхностных плазмо-нов // Дисс. к.ф.-м.н. Саратов, СГУ, 1997. - 123 с.

26. Белоглазов А.А. Физические принципы сенсоров на основе поверхностных электромагнитных волн в структурах металл-полупроводник // Автореферат дисс. к.ф.-м.н. М., ИОФ РАН, 1998. - 22 с.

27. Raether Н. Surface plasma oscillations and their applications // Physics of Thin Films. 1977. - v.9. - p. 145-261.

28. Мирлин Д.Н. Поверхностные фонон-поляритоны в диэлектриках и полупроводниках // Глава 1 в монографии 11.- с.11-53.

29. Агранович В.М. Кристаллооптика поверхностных поляритонов и свойства поверхности // УФН. 1975. - т.115. - Вып.2. - с.199-237.

30. Otto A. Experimental investigation of surface polaritons on plane interfaces // Festkorperprobleme. 1974. - Bd.14. - s.1-37.

31. Гинзбург B.J1. и Мотулевич Г.П. Оптические свойства металлов // УФН. 1955. - т.55. - вып.4. - с.469-535.

32. Соколов А.В. Оптические свойства металлов // М., 1961. 464 с.

33. Nagel S.R. and Schnatterly S.F. Frequency dependence of the Drude relaxation in metal films // Phys. Rev. B. 1974. - v.9. - No.4. - p.1299-1303.

34. Hansen W.N. Electric fields produced by the propagation of plane coherent electromagnetic radiation in a stratified medium // J. Optical Society of America. 1968. - v.58. - No.3. - p.380-390.

35. Raether H. Surface plasmons on smooth and rough surfaces and on gratings // Springer Tracts in Modern Physics. 1988. - v. 111. - 130 p.

36. Burke J.J., Stegeman G.I. and Tamir T. Surface-polariton-like waves guided by thin, lossy metal films // Phys. Rev. В -1986. -v.33. -No.8. p.5186-5201.

37. Yang F., Sambles J.R. and Bradberry G.W. Long-range surface modes supported by thin films // Phys. Rev. В 1991. - v.44. - No. 11. - p.5855-5872.

38. Басак С., Кассандров B.B., Никитин А.К., Тищенко А.А., Черняй А.И. Поверхностные электромагнитные волны в тонких плёнках // Зарубежная радиоэлектроника. 1988. - №5. - с.76-84.

39. Fukui М., So V.C.Y. and Normandin R. Lifetimes of surface plasmons in thin silver films // Phys. Stat. Sol. (B). 1979. - v.91. - p.K61-K64.

40. Sarid D. Long-range surface-plasma waves on very thin films // Phys. Rev. Lett. 1981. - v.47. - No.26. - p. 1927-1930.

41. Lenac Z. and Tomas M.S. Damping properties of surface polaritons in a thin crystal slab // J. Phys. C: Solid State Physics. 1983. - v.16. - No.21. -p.4273 - 4283.

42. Wendler L., Haupt R. Long-range surface plasmon-polaritons in asymmetric layer structures // J. Applied Physics. -1986. -v.59. -No.9. -p.3289-3291.

43. Sarid D., Deck R.T., Craig A.E. et al. Optical field enhancement by long-range surface-plasma waves // Applied Optics. 1982. - v.21. - No.22. -p.3993 - 3995.243

44. Pockrand I. Surface plasma oscillations at silver surfaces with transparent and absorbing coatings // Surface Science. -1978. -v.72. -No.3. -p.577-588.

45. Ward C.A., Bhasin K., Bell R.J., Alexander R.W. and Tyler I. Multimedia dispersion relation for surface electromagnetic waves // J. Chemical Physics. 1975. - v.62. - No.5. - p. 1674-1676.

46. Kou F.Y. and Tamir T. Range extension of surface plasmons by dielectric layers // Optics Letters. 1987. - v.12. - No.5. - p.367-369.

47. Тищенко A.A., Колбин И.И., Никитин A.K., Черняй А.И. Устройство для вывода излучения из планарного оптического волновода // Автор, св. СССР. №1531047 (МКИ4 G 02 В 6/10). - Бюл. №47 от 23.12.1989 г.

48. Никитин А.К., Бессалов Б.П. Устройство для ввода или вывода излучения// Автор, св. СССР. -№1588161(MKH4G 02 В 6/10) от 22.04.1990 г.

49. Lenac Z. and Tomas M.S. Attenuation of long-range surface polaritons in a thin metallic slab with a dielectric coating // Surface Science. 1985. -v.154. -No.2. -p.639-657.

50. Кассандров B.B., Никитин A.K., Сумита Б., Тищенко А.А. Анализ и приближённые решения дисперсионного уравнения ПЭВ в Д-М-Д структурах // Поверхность (физ., хим., мех.). 1992. - №5. - с.90-97.

51. Kretschmann Е. Die Bestimmung optischer Konstanten von Metallen durch Anregung von Oberflachenplasmaschwingugen. Zeitschrift fur Physic. -1971. -Bd.241. -No.4. - s.313-324.

52. Жеваго H.K., Глебов В.И. Роль локальных плазменных резонансов при взаимодействии электронов с шероховатой поверхностью металлов // Физика твёрдого тела. 1987. - т.29. - Вып.12. - с.3540-3548.

53. Кочетков Е.Д., Лускинович П.Н., Сагитов С.И. и др. Влияние состава диэлектрического слоя на свечение туннельной структуры металл-диэлектрик металл // Поверхность (физ., хим., мех.). - 1987. - №5. - с.91-97.

54. Гербштейн Ю.М., Меркулов И.А., Мирлин Д.Н. Передача энергии центров люминесценции поверхностным плазмонам // Письма в ЖЭТФ.2441975. т.22. - Вып.2. - с.80-82.

55. Демкович П.А., Мухин Ю.В., Пилипецкий Н.Ф. и др. Двухквантовая люминесценция с участием ПЭВ // Оптика и спектроскопия. 1988. -т.65. - Вып.З. - с.595-600.

56. Lenac Z. and Tomas M.S. Enhanced molecular fluorescence mediated by long-range surface polaritons // Surface Science. 1989. - v.215. - No.1/2. -p.299-318.

57. Zhizhin G.N., Vinogradov E.A., Moskalova M.A. and Yakovlev V.A. Applications of surface polaritons for vibrational spectroscopic studies of thin and very thin films //Applied Spectroscopy Reviews. -1982/83. -No.2. -p. 171-263.

58. Виноградов E.A., Жижин Г.Н., Юдсон В.И. Термостимулированное излучение поверхностных поляритонов // Гл.4 в книге 11 . с.105-131.

59. Болтарь К.О., Сурис Р.А., Федирко В.А. Возбуждение ПЭВ с помощью дифракционной решётки // Письма в ЖТФ. 1981. - т.7. -№1. - с.14-19.

60. Шевченко В.В. Плавные переходы в открытых волноводах // М.: Наука, 1969.- 180 с.

61. Жижин Г.Н., Паркер С.Ф., Честерс М.А., Яковлев В.А. Эффективность апертурного возбуждения в спектроскопии ПЭВ // Оптика и спектроскопия. 1988. - т.65. - Вып.2. - с.371-375.

62. Никитин А.К., Тищенко А.А. Исследование адсорбционных и окисных слоёв методом эллипсометрии с возбуждением ПЭВ // Поверхность (физ., хим., мех.). 1987. - №12. - с.45-49.

63. Simon J.M., Presa V.A. Behaviour of the phases in the observation of surface electromagnetic waves // J. Modern Optics. -1989. v.36. - No.5.- p.649-657.

64. Chen W.P., Chen J.M. Use of surface plasma waves for determination of the thickness and optical constants of thin metallic films // JOS A. 1981. - v.71. -No.2. -p.189-191.

65. Bruns R. and Raether H. Plasma resonance radiation from non radiative plasmons // Zeitschrift fur Physic. 1970. - Bd.237. - s.98-106.245

66. Endriz J.G. and Spicer W.E. Surface-plasmon one-electron decay and its observation in photoemission // Physical Review Letters. - 1970. - v.24. -No.2. -p.64-68.

67. Tsang Т., Srinivasan T. and Fischer J. Surface-plasmon enhanced multi-photon photoelectronic emission from thin silver films // Optics Letters. -1990. v. 15. - No. 15. -p.866-868.

68. Innes R.A. and Sambles J.R. Simple thermal detection of surface plasmon-polaritons // Solid State Communications. 1985. -v.56. -No.6. - p.493-496.

69. Yuan-Lin X., Yue-Liang Z., Guo-Zhen Y. and Shi-Jie G. Bolometric measurement of resonant surface-plasmon excitation at a silver surface // Chinese Phys. Letters. 1987. - v.4. - No. 10. - p.433-436.

70. Yuan-Lin X., Hua Li, Yue-Liang Z. et al. Bolometric observation of nonra-diative decay of surface-plasmons in silver // Applied Physics (A). 1989. -v.48. -No.5. -p.497-500.

71. Большаков M.M., Никитин A.K., Тищенко A.A. Устройство для определения коэффициента поглощения ПЭВ металлическими плёнками // Автор. св. СССР.-№1684634(МКИ4 G 01N 21/59).-Бюл. №38 от 15.10.1991 г.

72. Daboo С., Baird M.J. and Hughes H.P. Surface-plasmon enhanced photo-detection in planar Au-GaAs Schottky junctions // Thin Solid Films. 1990. -v 189. -No.l. -p.27-38.

73. Никитин A.K., Теричев В.Ф., Тищенко A.A., Черняй А.И. Фотоприёмник // Автор, св. СССР. №1526524 (МКИ4 Н 01 L 32/02) от 01.08.1989 г.

74. Беляков Л.В., Сресели О.М. Поверхностные электромагнитные волны и фотоприёмники // Физика и техника полупроводников. 1991. - т.25. -Вып.8. - с. 1282-1296.

75. Никитин А.К. Способ исследования проводящей поверхности // Заявка на изобретение №99110697/28 (0107721) от 13.05.1999 г. (Положительное решение от 29.08.2000 г.)246

76. Никитин А.К. Поляриметрическое детектирование фотонного возбуждения поверхностных плазмонов // Квантовая электроника. 2000. -т.30. - № 1. - с.73-77.

77. Weber W.H. Modulated surface-plasmon resonance for in situ metal-film surface studies // Physical Review Letters. -1977. -v.39. -No.3. -p.153-156.

78. Azzam R.M.A., Bashara V.M. Ellipsometry and polarized light / North-Holland, Amsterdam, 1977. 580 p. (Перевод на русский язык: Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / М., 1981. - 583 с.)

79. Ржанов А.В., Свиташёв К.К., Семененко А.И. и др. Основы эллипсо-метрии / Новосибирск, 1979. 422 с.

80. Wernet H.W. and Garten R.P.H. A comparative study of methods for thin-film and surface analysis// Reports on Progr. Physics, -1984.-v.47. -p.221-344.

81. Большаков M.M., Кассандров B.B., Никитин A.K., Тищенко А.А. Эл-липсометрическое детектирование электромагнитных мод в тонких металлических плёнках // Сб. науч. трудов "Эллипсометрия в науке и технике". Новосибирск, ИПФ СО АН СССР. - 1990. - с.161-167.

82. Abeles F., Lopez-Rios T. and Tadjeddine A. Investigation of the metal-electrolyte interface using surface plasma waves with ellipsometric detection // Solid State Communications. 1975. - v. 16. -No.7. - p.843-847.

83. Rivory J. Caracterisation optique des couches minces // Le Vide. 1978. -No. 191. - p.77-84.

84. Никитин А.К. Об эллипсометрии поверхностных электромагнитных волн // Сб. науч. тр. "Физика и химия оптических поверхностей". М., УДН.- 1986. - с.80-91.247

85. Burshta I.I., Venger E.F. and Zavadskii S.N. Ellipsometry of guided wave polaritons at solid surfaces // Surface Science. 1994. - v.301. - No. 1-3. -p.399-404.

86. Sipe J.E. Surface-plasmon enhanced absorption of light by adsorbed molecules // Solid State Communications. - 1980. - v.33. -No.l. - p.7-9.

87. Никитин A.K., Тищенко А.А. О точности и чувствительности метода эллипсометрии с возбуждением ПЭВ // Поверхность (физ., хим., мех.). -1987. №9. - с.84-88.

88. Schildkraut J.S. Limitations to the determination of the optical properties of a thin film by combined ellipsometric and surface plasmon resonance measurements // Applied Optics. 1988. - v.21. - No.16. - p.3329-3333.

89. Буршта И.И., Венгер Е.Ф., Завадский C.H. Чувствительность метода эллипсометрии в условиях возбуждения поверхностных поляритонов // ЖТФ. 1994. -т.64. - Вып. 10. - с. 191-194.

90. Bortchagovsky E.G. Possibilities of ellipsometry with surface plasmon excitation in the investigation of thin films in comparison to separated ellipsometry and surface plasmon spectroscopy // Proc. SPIE. -1997. -v.3094. -p.239-249.

91. Свиташёв K.K., Семененко А.И., Семененко JI.B. и др. О точности и чувствительности метода эллипсометрии // Оптика и спектроскопия. -1977. т.42. - Вып.6. - с. 1142-1147.

92. Агекян Т.А. Основы теории ошибок для астрономов и физиков // М.: Наука, 1972. 172 с.

93. Никитин А.К. Способ эллипсометрического исследования тонких плёнок на плоских подложках // Патент РФ на изобретение RU 2133956 (МКИ6 G 01 N 21/21). Бюл. №21 от 27.07.1999 г.

94. Никитин А.К. Эллипсометрическая микроскопия в условиях поверхностного плазмонного резонанса // Оптический журнал. 1998. - №11. -с.99-100.

95. Золотарёв В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических сред // Л.: Химия, 1984. 215 с.

96. Шишаков Н.А., Андреев В.В., Андрущенко Н.К. Строение и механизм образования окисных плёнок на металлах // М.: Ин-т физ. химии АН СССР, 1959.-192с.

97. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. О вращении плоскости поляризации света, возбуждающего поверхностные электромагнитные волны // Вестник РУДН (сер. физ.). 1997. - №5. - с.48-54.

98. Названов В.Ф., Коваленко Д.И. О поведении амплитуды и фазы отражённого излучения в многослойных структурах с поверхностными плазмонами // Письма в ЖТФ. 1995. - т.21. -Вып. 14. - с.60-63.

99. Волкова Е.А. Поляризационные измерения// М.: Стандарты, 1974.-214с.

100. Yeatman Е.М., Ash Е.А. Surface plasmon microscopy // Electronics Letters. 1987. - v.23. -No.20. - p. 1091-1092.

101. Yeatman E.M., Ash E.A. Surface plasmon scanning microscopy // Proc. SPIE. 1988. - v.897. -p.100-107.

102. Rothenhausler В., Knoll W. Surface-plasmon microscopy // Nature. 1988.- v.332. No.6165. - p.615-617.

103. Hickel W., Rothenhausler В., Knoll W. Surface-plasmon microscopic characterization of external surfaces // J. Applied Physics. 1989. - v.66. -No. 10. -p.4832-4836.

104. Hickel W. and Knoll W. Surface-plasmon microscopy of lipid layers // Thin Solid Films. 1990. - v. 187. - No.2. - p.349-356.

105. Aust E.F., Sawodny M., Ito S. and Knoll W. Surface-plasmon and guided optical-wave microscopies // Scanning. 1994. -v. 16. - No.6. - p.353-361.

106. Nemetz A. and Knoll W. Raman-spectroscopy and microscopy with plasmon surface-polaritons // J. of Raman Spectroscopy. 1996. - v.27. No.8. -587-592.

107. Green R.J., Frazier R.A., Shakesheff K.M. et al. Surface-plasmon resonance analysis of dynamic biological interactions with biomaterials // Biomaterials.- 2000. v.21. - No. 18. - p.l823-1835.

108. Berger C.H., Kooyman R.P.H. and Greve J. Resolution in surface plasmon microscopy // Reviews of Scientific Instruments. 1994. - v.65. - No.9. -p.2829-2836.

109. De Bruijn H.E., Kooyman R.P.H. and Greve J. Surface plasmon resonance microscopy: improvement of the resolution by rotation of the object // Applied Optics. 1993. - v.32. -No.13. -p.2426-2430.

110. Либенсон M.H., Диденко И.А. Оптическая микроскопия сверхвысокого разрешения // Оптический Вестник. 1992. - №5-6. -с. 1-2.250

111. Никитин А.К., Рыжова Т.А. Регулирование контраста изображения и глубины резкости в ПЭВ-микроскопии // Письма в ЖТФ. 1996. - т.22. -Вып. 9.-с. 14-17.

112. Hickel W. and Knoll W. Surface-plasmon microscopic imaging of ultrathin metal coatings // Acta Metallurgies 1989. - v.37. - No.8. - p.2141-2144.

113. Никитин A.K. Способ исследования поверхности проводящего образца методом ПЭВ-микроскопии // Патент РФ на изобретение RU 2097747 (МКИ G 01 N 21/88) от 27.11.1997 г. Бюл. №33.

114. Никитин А.К. Способ исследования поверхности твёрдого тела // Патент РФ на изобретение RU 2142621 (МКИ G 01 N 21/88) от 10.12. 1999 г.-Бюл. №34.

115. Виноградов Е.А., Жижин Г.Н. Термостимулированное излучение поверхностными колебаниями атомов кристаллической решётки селени-да цинка // Письма в ЖЭТФ. 1976. - т.24. - Вып.2. - с.84-86.

116. Виноградов Е.А., Жижин Г.Н., Малынуков А.Г. Термостимулированное излучение поверхностных поляритонов // ЖЭТФ. 1977. - т.73. -Вып.4(10). - с.1480-1484.

117. Тищенко А.А., Одинец З.К., Козмина Э.Я. и др. Полировальное химическое травление // Обзорная информация ЦНИИИиТЭИ. 1988. -Обзор №4688.-81 с.

118. Никитин А.К., Тищенко А.А. ПЭВ-микроскопия среднего ИК диапазона // Письма в ЖТФ. 1992. - т. 18. - Вып. 17. - с.25-28.

119. Никитин А.К., Тищенко А.А. Способ исследования поверхностей твёрдых тел // Автор, св. СССР. №1749785 (МКИ G 01 N 21/41) от 22.03.1992 г. - Бюл. №27 от 23.07.1992 г.

120. Никитин А.К. Способ исследования поверхностей твёрдых тел // Патент РФ на изобретение RU 2097744 (МКИ G 01 N 21/41). Бюл. №33 от 27.11.1997 г.251

121. Roeseler A., Goltz M., Trutschel U., Abraham M. Prismless excitation of surface plasmons in the infrared spectral region by ATR // Optics Communications. 1989. - v.70. -No.l. -p.8 - 11.

122. Gorobets A.P., Loginov A.P., Nikitin A.K., Tishchenko A.A. Surface electromagnetic waves microscopy of opaque samples // Proc. SPIE (Intern. Society for Optical Engineering). 1996. - v.2799. - p.449-457.

123. Органические соединения (Справочник) // M.: Химия, 1984. 876 с.

124. Никитин А.К., Тищенко А.А. Фазовая ПЭВ-микроскопия // Письма в ЖТФ. 1991. - т. 17. - Вып. 11.- с.76-79.

125. Денисюк Ю.Н. Принципы голографии // Л., 1978. 230 с.

126. Островский Ю.И., Бутусов М.М., Островская Г.В. Голографическая интерферометрия // М., 1977. 336 с.

127. Bryngdahl О. Holography with evanescent waves // JOSA. 1969. - v.59. -No.12. - p. 1645-1650.

128. Cowan J.J. Holography with standing surface plasma waves // Optics Communications. 1974. - v. 12. - No.4. - p. 373-378.

129. Cowan J.J. Surface plasmon holography // American Institute of Physics (AIP) Conference Proceedings. 1980. - No.65. - p.515-518.

130. Maruo S., Nakamura O., Kawata S. Evanescent-wave holography by use of surface-plasmon resonance // Applied Optics. 1997. - v.36. - No.l 1. -p. 2343-2347.

131. Никитин A.K. О возможности голографии переходного слоя проводящей поверхности // XI международ, н.-т. конф. "Лазеры в науке, технике, медицине", 24-28.09 2000г. г.Сочи. - М. - 2000г. - Тезисы докладов. - с.78.

132. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. Интерферометрия поверхностных плазмонов // Вестник РУДН (Физика). 2000. - №8(1). -с.96-101.

133. Nikitin А.К. Holographic interferometry of a transition layer using surface-plasmon resonance // Proc. SPIE (International Society for Optical Engineering). 2001/2002. - (Принято в печать).

134. Концевой Ю.А., Резвый P.P., Гололобов B.M. Применение лазерного эллипсометрического микроскопа для контроля полупроводниковых структур // Заводская лаборатория. 1971. - т.37. -№2. - с. 184-186.

135. Концевой Ю.А., Жарковский Е.М., Шутов Д.Г., Резвый P.P. Контраст и разрешающая способность метода эллипсометрической микроскопии // Заводская лаборатория. 1993. - т.59. -№9. - с.26-29.

136. Резвый P.P. Элипсометрия в микроэлектронике (Гл. 7, Метод эллипсометрической микроскопии) // М., 1983. 230 с.

137. Миколс В., Катц Дж.Е., Маэстре М.Ф., Бустаманте С. Дифференциальный поляризационный микроскоп с электронной регистрацией изображения // Приборы для науч. исследований. 1985. -№12. - с.35-44.

138. Запасский B.C. Методы высокочувствительных поляриметрических измерений//ЖПС. 1982. - т.37. -Вып.2. - с. 181-196.

139. Никитин А.К. Способ исследования проводящей поверхности //Заявка на изобретение №99110697/28 (0107721) от 13.05.1999 г. (Положительное решение от 29.08.2000 г.).

140. Heinzelmann Н., Pohl D.W. Scanning near-field optical microscopy // Applied Physics (A). 1994. - v.59. -No.2. -p.89-101.

141. Воронин Ю.М. Принципиальные схемы и основные элементы ближ-непольных растровых оптических микроскопов // Оптический журнал. 1995. - т.62. - №6. - с.4-13.

142. Fischer U.C. and Pohl D.W. Observation of single-particle plasmons by near-field optical microscopy// Physical Review Letters. 1989. - v.62. -No.4. -p.458-461.

143. Moller R., Albrecht U., Boneberg J. et al. Detection of surface plasmons by scanning tunneling microscopy // J. Vacuum Science Technology (B). -1991. v.9. -No.2. -p.506-509.

144. Specht M., Pedarnig J.D., Heckl W.M. and Hansch T.W. Scanning plasmon near-field microscope // Physical Review Letters. — 1992. v.68. -No.4. - p.476-479.

145. Pedarnig J.D., Specht M., Heckl W.M. and Hansch T.W. Scanning plasmon near-field microscopy on dye clusters // Applied Physics (A). 1992. -v.55. -No.5. -p.476-477.

146. Marti O., Bielefeldt H., Hecht B. Et al. Near-field measurement of surface plasmon field // Optics Communic. 1993. - v.96. - No.4-6. - p.225-228.

147. Dawson P., Fornel F. and Goudonnet J.-P. Imaging of surface plasmon propagation and edge interaction using a photon scanning tunneling microscope // Physical Review Letters. 1994. - v.72. - No. 18. - p.2927-2930.

148. Keller O., Bozhevolnyi S. and Xiao M. On the resolution limit of near-field optical microscopy. In book "Near-Field Optics" ed. by Pohl D.W. and Courjon D. // NATO ASI Series (Ser. E). 1993. - v.242. - p. 229-238.

149. Smolyaninov I.I. Scanning probe microscopy of surface-plasmons // Intern. J. Modern Physics. 1997.-v.ll. - No.21. - p.2465-2510.

150. Pascual M.F., Zierau W., Leskova T.A., Maradudin A.A. Surface electromagnetic waves in near-field optical scanning microscopy // Optics Communications. 1998. - v. 155. - No.4-6. -p.351-360.

151. Konopsky V.N. Operation of scanning plasmon near-field microscope with gold and silver tips in tapping mode: demonstration of subtip resolution // Optics Communications. 2000. - v.185. -No.l. - p.83-93.254

152. Физика поверхности: колебательная спектроскопия адсорбатов. Под ред. Уиллиса P.M. // М.: Мир, 1984. 246 с.

153. Chabal Y.J. Surface infrared spectroscopy // Surface Science Reports. -1988.-v.8.-p.211-357.

154. Otto A. Spectroscopy of surface polaritons by attenuated total reflection // In book "Optical properties of solids, new developments". Amsterdam. -1976. -p.677-729.

155. Weber W.H. Modulated surface-plasmon resonance for in situ metal-film surface studies // Phys. Rev. Lett. 1977. - v.39. -No.3. - p. 153-156.

156. Pockrand I. Surface enhanced Raman vibrational studies at solid/gas interfaces // Springer Tracts in Modern Physics. 1984. - v.l04. - 159 p.

157. Moskovits M. Surface-enhanced spectroscopy // Reviews of Modern Physics. 1985. - v.57. - No.3. - p.783-826.

158. Сударкин A.H., Ушаков K.H. Вынужденное комбинационное рассеяние ПЭВ // ЖЭТФ. 1989. -т.96. -Вып.2(8). - с.561-573.

159. Жижин Г.Н., Москалёва М.А., Сигарёв А.А., Яковлев В.А. Применение Фурье-спектроскопии для изучения тонких плёнок с помощью ПЭВ // Оптика и спектроскопия. 1982. - т.52. - №3. - с.395-398.

160. Орлов С.Н., Поливанов Ю.Н., Саяхов Р.Ш., Чуянов В.В. Широкополосная частотно-угловая регистрация спектров излучения поверхностных плазмонных поляритонов // Краткие сообщения по физике. 1990. - №6. - с.18-20.

161. Валянский С.И., Виноградов С.В., Савранский В.В. Частотно-угловая спектроскопия поверхностных плазмонных поляритонов, возбуждаемых в тонких плёнках // Письма в ЖТФ. 1992. -т. 18. -Вып.5.-с.70-73.

162. Schoenwald J., Burstein Е. and Elson J.M. Propagation of surface polaritons over macroscopic distances at optical frequencies // Solid State Communications. 1973. - v.l2. - No.3. - p. 185-189.255

163. Жижин Г.Н., Москалёва М.А., Шомина Е.В., Яковлев В.А. Селективное поглощение ПЭВ, распространяющейся по металлу в присутствии тонкой диэлектрической плёнки // Письма в ЖЭТФ. 1976. - т.24. -Вып.4.-с.221-225.

164. Жижин Г.Н., Теричев В.Ф., Тищенко А.А., Черняй А.И., Яковлев В.А. Распространение ПЭВ пятимикронной области спектра // Письма в ЖТФ. 1987. - т. 13. - Вып. 15. -с.944-948.

165. Nakao Y. and Yamada Н. Enhanced infrared ATR spectra of surface layers using metal films // J. Electron Spectroscopy and Related Phenomena. -1987. v.45. -p.189-196.

166. Suzuki Y., Osawa M., Hatta A. and Suetaka W. Mechanism of absorption enhancement in infrared ATR spectra observed in the Kretschmann configuration // Applied Surface Science. 1988. - v.33/34. - p.875-881.

167. Ishino Y. and Ishida H. Fourier transform infrared surface electromagnetic wave spectroscopy of polymer thin films on metallic substrate // Analytical Chemistry. 1986. - v.58. -No.12. -p.2448-2453.

168. Zhizhin G.N. Some applications of FT-IR spectroscopy for solid state physics problems // Mikrochimica Acta. 1987. - v.3. - p.297-307.

169. Воронов С.А., Жижин Г.Н., Киселёв С.А., Кузик JI.А., Яковлев В.А. Фазовая спектроскопия поверхностных электромагнитных волн // Компьютерная оптика. 1989. - №4. - с.66-71.

170. Zhizhin G.N. and Yakovlev V.A. Broad-band spectroscopy of surface electromagnetic waves// Physics Reports.-1990.-v.l94.-No.5/6.-p.281-289.

171. Hatta A., Suzuki S., Suetaka W. Polarization-modulation electronic absorption study of copper phthalocyanine lilms on silver by surface-plasmon resonance spectroscopy//Applied Surface Science. -1989. -v.40. -No.1/2. p.9-18.

172. Hatta A. and Inoue T. Electronic absorption enhancement for TCNQ films on silver by excitation of surface plasmon-polaritons // Applied Surface Science. -1991. -v.51. -No.1/2. p. 193-200.256

173. Никитин А.К. Спектрометр поверхностных электромагнитных волн // Патент РФ на изобретение RU 2091733 (МКИ6 G 01 J 3/42). Бюл. №27 от 27.09.1997 г.

174. Mahmood M.Y. and Azizan A.R. Refractive index of solutions at high concentrations // Applied Optics. 1988. - v.27. - No. 16. - p.3341-3343.

175. Никитин А.К. Широкополосный спектрометр поверхностных электромагнитных волн // Патент РФ наизобретение RU 2173837 (МКИ' G 01 J 3/42). Бюл. №26 от 20.09.2001 г.

176. Тищенко А.А., Кассандров В.В., Логинов А.П., Никитин А.К. Спектрометр ПЭВ среднего ИК диапазона // Известия вузов (Физика). -1995.-№8.-с.122-124.

177. Борн М., Вольф Э. Основы оптики // М.: Мир, 1983. 683 с.

178. Дерюгин Л.Н., Чекан А.В. Общая волноводная теория оптических анализаторов спектра типа многолучевых интерферометров // Оптика и спектроскопия. 1969. - т.26. - Вып.5. - с.817-825.

179. Головцов Н.И., Кассандров В.В., Никитин А.К. Интерференционный ПЭВ-спектрометр для исследования адсорбционных процессов // Известия вузов (Физика). 1997. - № 8. - с. 126-127.

180. Никитин А.К., Теричев В.Ф., Тищенко А.А., Черняй А.И. Устройство для измерения изменений показателя преломления окружающей среды // Автор, св. СССР.-№1385775 (МКИ4 G 01N 21/43) от 01.12.1987 г.

181. Тищенко А.А., Никитин А.К. О применении поверхностных плазменных волн для изучения адсорбционных процессов // Оптика и спектроскопия. 1983. - т.55. - Вып.2. - с.395-397.257

182. Жижин Г.Н., Москалёва M.A., Шомина E.B., Яковлев В.А. Поиски оптимальных условий призменного преобразования ПЭВ ИК диапазона // Оптика и спектроскопия. 1980. - т.49. - Вып.6. - с.1086-1093.

183. Воронов С.А., Тищенко А.А., Черняй А.И. Исследование окисления медных плёнок методом спектроскопии ПЭВ // Сб. науч. тр. "Физика и химия поверхности". М.: УДН, 1988. - с.75-78.

184. Жижин Т.Н., Силин В.И., Тищенко А.А., Черняй А.И., Яковлев В.А. Спектроскопия ПЭВ в пятимикронной области спектра // Сб. докладов XX Всесоюзного съезда по спектроскопии. Киев, 1988. - с. 194-195.

185. Bryan D.A., Begley D.L., Bhasin К., Alexander R.W., Bell R.J., Gerson R. Propagation distance of surface electromagnetic waves on two metal oxide - air system // Surface Science. - 1976. - v.57. - No.l. - p.53-62.

186. Infrared and Raman spectroscopy / Ed. by E.G. Brame and J.G. Grasselii. -N.Y. and Basel. 1977. - p.717-1039.258

187. Kruchinin A.A., Vlasov Yu.G. Surface plasmon resonance monitoring by means of polarization state measurement in reflected light as the basis of a DNA-probe biosensor // Sensors and Actuators (B). -1996. -v.30. -p.77-80.

188. Никитин A.K., Логинов А.П., Головцов Н.И. Поляризационная спектроскопия проводящей поверхности // Оптика и спектроскопия. -2001. т.90. - №6. - с.965-970.

189. Никитин А.К. Способ выполнения спектроскопии переходного слоя проводящей поверхности // Патент РФ на изобретение RU 2170913 (МКИ G 01 J 3/42). Бюл. №20 от 20.07.2001 г.

190. Homola J., Yee S.S., Gauglitz G. Surface plasmon resonance sensors: review // Sensors and Actuators (B). 1999. - v.54. - No. 1-2. - p.3-15.

191. Kooyman R.P.H., Kolkman H., Van Gent J., Greve J. Surface-plasmon resonance immunosensors: sensitivity conciderations // Analytica Chimica Acta. 1988. - v.213. -No.l. -p.35-45.

192. De Bruijn H.E., Altenburg B.S.F., Kooyman R.P.H., Greve J. Choice of metal and wavelength for surface-plasmon resonance sensors: some considerations // Applied Optics. 1992. - v.31. - No.4. - p.440-442.

193. Yeatman E.M. Resolution and sensitivity in surface plasmon microscopy // Biosensors and Bioelectronics. 1996. - v.l 1. - No.6-7. - p.635-649.

194. Homola J. On the sensitivity of surface-plasmon resonance sensors with spectral interrogation// Sensors & Actuators(B).-1997.-v.41.-No.l-3.-p.207-211.

195. Homola J., Koudela I., Yee S.S. Surface-plasmon resonance sensors based on diffraction gratings and prism couplers: sensitivity comparison // Sensors & Actuators (B). 1999. - v.54. - No. 1-2. - p. 16-24.

196. Kolomenskii A.A., Gershon P.D., Schuessler H.A. Sensitivity and detection limit of concentration and adsorption measurements by laser-induced surface-plasmon resonance// Applied Optics.-1997.-v.36. -No.25.-p.6539-6547.259

197. Chinowsky Т., Jung L.S., Yee S.S. Optimal linear data analysis for sur-face-plasmon resonance biosensors // Sensors and Actuators (B). 1999. -v.54. - No.1-2. -p.89-97.

198. Nylander C., Liedberg В., Lind T. Gas detection by means of surface-plasmon resonance// Sensors & Actuators. -1982. -v.3. -No.1-2. -p.79-88.

199. Liedberg В., Nylander C., Lundstrom I. Surface plasmon resonance for gas detection and biosensing// Sensors & Actuators.-1983.-v.4.-No.2.-p.299-304.

200. Matsubara K., Kawata S., Minami S. Optical chemical sensor based on surface plasmon measurement // Applied Optics. 1988. - v.27. - No.6. -p.1160-1163.

201. Liedberg В., Lundstrom I., Stenberg E. Principles of biosensing with an extended coupling matrix and surface plasmon resonance // Sensors & Actuators (B).-1993 .-v. 11 .-No. 1 -p.63-72.

202. Zhang L.M., Uttamchandani D. Optical chemical sensing employing surface plasmon resonance // Electronic Letters. 1988. - v.23. - p.1469-1470.

203. Pheifer P., Aldinger U., Schwotzer G. et al. Real time sensing of specific molecular binding using surface plasmon resonance spectroscopy // Sensors and Actuators (B). 1999. - v.54. - No. 1-2. - p. 166-175.

204. Berger C.E.H., Baumer T.A.M., Kooyman R.P.H., Greeve J. Surface plasmon resonance multisensing//Analytic. Chemistry -1998.-v.70.-p.703-706.

205. Foster M.W., Ferrel D.J., Lieberman R.A. Surface plasmon resonance biosensor miniaturization // Proc. SPIE. 1994. - v.2293. - p. 122-131.

206. Johnston K.S., Chinavsky T.M., Yee S.S. Planar substrate surface plasmon resonance probe // Proc. SPIE. 1996. - v.2836. - p.178-185.260

207. Cullen D.C., Brown R.G., Lowe C.R. Detection of immunocomplex formation via surface plasmon resonance on gold-coated diffraction gratings // Biosensors. 1987. - v.3. -p.211-225.

208. Jory M.J., Vukusic P.S., Sambles J.R. Development of a prototype gas sensor using surface plasmon resonance on gratings // Sensors and Actuators (B). 1994. - v.l7. - No.3. - p.203-209.

209. Jory M.J., Bradberry G.W., Cann P.S., Sambles J.R. A surface-plasmon-based optical sensor using acousto-optics // Measurement Science & Technology. 1995. - v.6. -No.8. - p. 1193-1200.

210. Nikitin P.I., Beloglazov A.A. A multi-purpose sensor based on surface plasmon polariton resonance in a Schottky structure // Sensors and Actuators (A). 1994. - v.41-42. - No.3. -p.547-552.

211. Lyndin N.M., Salakhutdinov I.F., Sychugov V.A. et al. Long-range surface plasmons in asymmetric layered metal-dielectric structures // Sensors and Actuators (B). 1999. - v.54. - No. 1-2. - p.37-42.

212. Золотов E.M., Киселёв B.A., Сычугов B.A. Оптические явления в тонкоплёночных волноводах // УФН. 1974. - т.112. - Вып.2. - с.231-273.

213. Rashleigh S.C. Four-layer metal-clad thin film optical waveguides // Optical and Quantum Electronics. 1976. - v.8. - No.l. - p. 49-60.

214. Ctyroky J., Homola J., Lambeck P.V. et al. Theory and modelling of optical waveguide sensors utilising surface plasmon resonance // Sensors and Actuators (B). 1999. - v.54. - No. 1-2. - p.66-73.

215. Jorgenson R.C., Yee S.S. A fiber-optic chemical sensor based on surface plasmon resonance // Sensors and Actuators (B). 1993. - v. 12. - No.l-2. -p.213-220.

216. Ronot-Trioli C., Trouillet A., Veillas C., Gagnaire H. Monochromatic excitation of surface plasmon resonance in an optical-fibre refractive-index sensor // Sensors and Actuators (A). 1996. - v.54. - No.3. - p.589-593.

217. Slavik R., Homola J., Ctyroky J. Single-mode optical fiber surface plasmon resonance sensor// Sensors & Actuators (B).-1999.-v.54.-No.l-2.-p.74-79.

218. Lafait J., Abeles F., Theye M.L., Vuye G. Determination of the infrared optical constants of highly reflecting materials by means of surface plasmon excitation application to Pd 11 J. Physics (F): Metal Physics. - 1978. - v.8. -No.7. - p. 1597-1606.

219. Kitajima H., Hieda K., Suematsu Y. Use of a total absorption ATR method to measure complex refractive indexes of metal foils // J. Optical Society of America.- 1980. v.70.-No.12.-p.1507-1513.

220. Owner-Petersen M., Zhu B.-S., Dalsgaard E. Extreme attenuation of total internal reflection used for determination of optical properties of metals // J. Optical Society of America (A). 1987. - v.4. -No.9. - p. 1741 -1747.

221. Мошкунов С.И., Петрушин A.H., Хомич В.Ю. О точности определения параметров тонких плёнок методом возбуждения поверхностных плаз-монов // Известия РАН (сер. Физическая). -1992. -т.56. -№4. -с.212-215.

222. Никитин А.К., Логинов А.П., Головцов Н.И. Определение оптических параметров проводящих материалов методом поляриметрии // Оптический журнал. 2001. - т.68. - №10. - с.27-31.

223. Margheri G., Mannoni A., Quercioli F. A new high-resolution displacement sensor based on surface plasmon resonance // Proc. SPIE. 1996. -v.2783.-p.211-220.

224. Schilling A., Yavas O., Bischof J. et al. Absolute pressure measurements on a nanosecond time-scale using surface-plasmons // Applied Physics Letters // 1996. v.69. - No.27. - p.4159-4161.

225. Weiss M.N., Srvantava R., Groger H. Experimental investigation of a surface plasmon-based integrated-optic humidity sensor // Electronics Letters. 1996. - v.32. - No.9. - p.842-843.

226. Chadwick В., Gal M. An optical temperature sensor using surface-plasmons// Japanese J. Applied Physics. -1993.-v.32.-No.6A.-p.2716-2717.262

227. Moslehi В., Foster M.W., Harvey P. Optical magnetic and electric-field sensors based on surface-plasmon polariton resonant coupling // Electronics Letters. 1991. - v.27. -No.l 1. -p.951-953.

228. Nikitin P.I., Beloglazov A.A. A multipurpose sensor based on surface-plasmon polariton resonance in a Schottky structure // Sensors and Actuators (A). 1994. - v.42. -No.1-3. -p.547-552.

229. Tamm I.R., Dawson P., Sellai A. et al. Analysis of surface-plasmon polariton enhancement in photodetection by Al-GaAs Schottky diodes // Solid State Electronics. 1993. - v.36. - No. 10. -p.1417-1427.

230. Salakhutdinov I.F., Sychugov V.A., Tishchenko A.V. et al. Anomalous light reflection at the surface of a corrugated thin metal film // IEEE J. Quantum Electronics. 1998. - v.34. - No.6. - p.l054-1059.

231. Loisel B. and Arakawa E.T. Diffusion of Al into Au thin films studied by the ATR method//Applied Optics. 1980. - v. 19. - No. 12. - p.l959-1962.

232. Podgorsek R.P., Franke H., Woods J., Morrill S. Monitoring the diffusion of vapor molecules in polymer films using SP-leaky-mode spectroscopy // Sensors and Actuators (B). 1998. - v.51. - No.1-3. - p.l46-151.

233. Owner-Petersen M., Zhu B.-S. and Licht T. Accelerometer design based on attenuated total reflection//Proc. SPIE. 1989. - v.1012.-p.l 13-118.

234. Алиева E.B., Жижин Г.Н., Москалёва M.A., Яковлев В.А. Способ индикации конденсата на зеркальных металлических поверхностях // Авторское св. СССР №1267331 (МКИ4 G 01 W 1/11). Бюл. №40 от 30.10.1986 г.

235. Mayo C.S., Hallock R.B. Apparatus for the study of macromolecular adsorption // Review of Scientific Instruments.-1989.-v.60.-No.4.-p.739-745.263

236. Bradberry G.W., Vukusic P.S., Sambles J.R. A study of the adsorption of alkanes on a thin metal film // J. Chem. Physics. 1993. - v.98. -No.l. -p.651-654.

237. Advincula R., Aust E., Meyer E., Knoll W. In-situ investigations of polymer self-assembly solution adsorption by surface-plasmon spectroscopy // Lang-muir. 1996. - v.12.-No. 15.-p.3536-3540.

238. Васильев А.Ф., Гушанская Н.Ю., Жижин Г.Н., Яковлев В.А. Применение спектроскопии ПЭВ для изучения и контроля качества поверхности заготовок микросхем// Оптика и спектроскопия. -1987.- т.63.- №3.- с.682-684.

239. Zhang F.S., Wang R.H., Macleod Н.А. et al. Surface plasmon detection of surface contamination of metallic film surfaces // Proc. SPIE. 1987. -v.777. - p. 162-170.

240. Kessler M.A., Hall E.A.H. Kinetics of silver tarnishing by NOx A time-dependent surface-plasmon resonance study // J. Colloid and Interface Science. - 1995. - v.l69. -No.2. - p.422-427.

241. Fontana E. Analysis of optical surfaces by means of surface-plasmon spectroscopy // IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement. -1996. v.45. - No.2. - p.399-405.

242. Nylander C., Liedberg В., Lind T. Gas detection by means of surface-plasmon resonance // Sensors & Actuators. 1982/83. - v.3. - No.l. - p.79-83.

243. Matsubara K., Kawata S., Minami S. Optical chemical sensor based on surface-plasmon mesurement//Applied Optics.-1988.-v.27.-No.6.-p.l 160-1163.

244. Ideta K., Arakawa T. Surface-plasmon resonance study for the detection of some chemical species // Sensors & Actuators (B). 1993. - v. 13. - No.1-3. - p.384-386.

245. Zhang L.-M., Uttamchandani D. Optical chemical sensing employing surface-plasmon resonance //Electron. Letters. -1988.-v.24.-No.23.-p.l469-1470.

246. Webb B.C., Daniels P.B. Chemical sensor // European Patent EP 0257955 (МКИ4 G 01N 21/84). Bulletin 88/09, issued on 02.03. 1988.

247. Nikitin P.I., Beloglazov A.A., Valeiko M.V. et al. Silicon-based plasmon resonance chemical sensors // Sensors & Actuators (B). 1997. - v.38-39. -No.l. - p.53-57.

248. Lavers C.R., Harris R.D., Hao S. et al. Electrochemically controlled waveguide-coupled surface-plasmon sensing // J. Electroanalytical Chemistry. -1995. v.387. - No. 1 -2. - p. 11 -22.

249. Katerkamp A., Bolsmann P., Niggemann M. et al. Microchemical sensors based on fiberoptic excitation of surface-plasmons // Mikrochimica Acta. -1995. v.l 19. - No. 1-2. - p.63-72.

250. Nikitin P.I., Beloglazov A.A., Kochergin V.E., Valeiko M.V., Ksenevich T.I. Surface plasmon resonance interferometry for biological and chemical sensing // Sensors & Actuators (B). 1999. - v.54. - No.l. - p.43-50.

251. Kabashin A.V., Kochergin V.E., Nikitin P.I. Surface plasmon resonance bio- and chemical sensors with phase-polarisation contrast // Sensors & Actuators (B). 1999. - v.54. - No.l. - p.51-56.

252. Liedberg В., Nylander C., Lundstrom I. Biosensing with surface plasmon resonance How it all started // Biosensors & Bioelectronics. - 1995. -v.10. -No.8. -p.Rl-R9.

253. Grigorenko A.N., Nikitin P.I., Kabashin A.V. Phase jumps and inter-ferometric surface plasmon resonance imaging // Applied Physics Letters. -1999. v.75. -No.25. -p.3917-3919.

254. Szabo A., Stolz L., Granzow R. Surface plasmon resonance and its use in biomolecular interaction analysis // Current Opinion in Structural Biology. 1995. - v.5. - No.5. - p.699-705.265

255. Интернет-сайт http://www.biacore.com/

256. Ashwell G.J., Roberts M.P.S. Highly selective surface plasmon resonance sensor for N02 //Electronics Letters. 1996. - v.32. - No.22.- p.2089-2091.

257. Vangent J., Lambeck P.V., Bakker RJ. et al. Design and realization of a surface-plasmon resonance based chemo-optical sensor // Sensors & Actuators (A). 1991. - v.26. - No. 1-3. - p.449-452.

258. Brecht A., Gauglitz G. Label free optical immunoprobes for pesticide detection // Analytica Chimica Acta. 1997. - v.347. - No. 1-2. - p.219-233.

259. Алимов О.А., Валянский С.И., Виноградов C.B. и др. Сенсоры на ртуть и водород, работающие на основе поверхностного плазмон-по-ляритонного резонанса // Письма в ЖТФ.-1994.-т.20.-Вып.1 l.-c. 11-15.

260. Casalini R., Wilde J.N., Nagel J. et al. Organic vapor sensing using thin films of a coordination polymer // Sensors & Actuators (B). 1999. - v.57. - No.1-3. - p.28-34.

261. Nikitin P.I., Beloglazov A.A., Valeiko M.V. et al. Silicon-based surface-plasmon resonance combined with surface enhanced Raman scattering for chemical sensing // Review of Scientific Instruments. 1997. - v.68. -No.6. - p.2554-2557.

262. Manuel M., Vidal В., Lopez R. et al. Determination of probable alcohol yield in musts by means of an SPR optical sensor // Sensors & Actuators (B).- 1993.-v.l 1. No.1-3. -p.455-459.

263. Mitsushio M., Kamata S. Alcohol analysis using a gold-coated unclad fiber sensor system // Bunseki Kagaku. -1999. -v.48. No.8. - p.757-762.

264. Schipper E.F., Kooyman R.P.H., Heideman R.G. et al. Feasibility of optical wave-guide immunosensor for pesticide detection // Sensors & Actuators (B). 1995. - v.24. - No.1-3. - p.90-93.

265. Kaufman B.M., Clower M. Immunoassay of pestisides // J. of AO AC Inte-national. 1995. - v.78. -No.4. - p. 1079-1090.266

266. Rasooly L., Rasooly A. Real-time biosensor analysis of staphylococcal-exterotoxin-A in food // Intern. J. of Food Microbiology. 1999. - v.49. -No.3. -p.119-127.

267. Sternesjo A., Mellgren C., Bjorck L. Analysis of sulfamethazine in milk by an immunosensor assay based on surface-plasmon resonance // ACS Symposium Series. 1996. - v.621. -p.463-470.

268. Gaudin V., Pavy M.L. Determination of sulfamethazine in milk by biosensor immunoassay // J. of AO AC Intenational. 1999. - v.82. - No.6. -p.1316-1320.

269. Deshpande S.S., Rocco R.M. Biosensors and their potential use in food quality control // Food Technology. 1994. - v.48. - No.6. - p.146-150.

270. Minunni M., Mascini M. Detection of pesticide in drinking water using real-time biospecific interaction analysis // Analytical Letters. 1993. -v.26. -No.7. - p. 1441-1460.

271. Mouvet C., Harris R.D., Maciag C. et al. Determination of simazine in water samples by wave-guide surface-plasmon resonance // Analytica Chimica Acta. 1997. - v.338. -No.1-2. -p.109-117.

272. Wright J.D., Oliver J.V., Nolte R.J.M., Holder S J., Sommerdijk N.A.J.M., Nikitin P.I. The detection of phenols in water using surface-plasmon resonance system with specific receptors // Sensors & Actuators (B). 1998. -v.51. - No.1-3. - p.305-310.

273. Esteban O., Cruznavarrete M., Gonzalezcano A., Bernabeu E. Measurement of the degree of salinity of water with a fiberoptic sensor // Applied Optics. 1999. - v.38. - No.25. - p.5267-5271.

274. Ruiz E.G., Garcez I., Aldea C. et al. Industrial process sensor based on surface-plasmon resonance (SPR): distillation process monitoring // Sensors & Actuators (A). 1993. - v.37-38. - No.2. - p.221-225.267

275. Dougherty G. A compact optoelectronic instrument with a disposable sensor based on surface-plasmon resonance // Measurement Science and Technology. 1993. - v.4. - No.6. - p.697-699.

276. Интернет-сайт http://www.ti.com/spr/

277. Интернет-сайт http://www.biosensor.com/

278. Интернет-сайт http://www.biotul.com/

279. Robinson G. The commercial development of planar optical biosensors // Sensors & Actuators (B). 1995. - v.29. - No. 1-3. - p.31-36.

280. Melendez J., Carr R., Bartholomew D. et al. A commercial solution for surface plasmon sensing // Sensors & Actuators (B). 1996. - v.35-36. -No.1-3. - p.212-216.

281. Melendez J., Carr R., Bartholomew D. et al. Development of a surface-plasmon resonance sensor for commercial applications // Sensors & Actuators (B). 1997. - v.39. - No. 1-3. - p.375-379.

282. Stemmler I., Brecht A., Gauglitz G. Compact surface-plasmon resonance-transducers with spectral readout for biosensor applications // Sensors & Actuators (B). 1999. - v.54. - No.l. - p.98-105.

283. Житков П.М., Никитин A.K., Черняй А.И. Применение поверхностных плазменных волн для определения оптических постоянных металлов // Сб. науч. тр. "Физика и химия оптических поверхностей". М., УДН. - 1986. - с.74-79.

284. Кабашин А.В., Никитин П.И. Интерферометр с использованием поверхностного плазмонного резонанса для сенсорных применений // Квантовая электроника. 1997. - т.24. - №7. - с.671-672.

285. Никитин А.К. Способ и устройство для определения оптических параметров проводящих образцов // Патент на изобретение RU 2148814 (МКИ7 G 01N 21/43). Бюл. №13 от 10.05.2000 г.268

286. Никитин А.К., Тищенко А.А. Применение ПЭВ для определения концентрации веществ в жидких растворах // Тезисы XXVII науч. конф. физмата УДН (12-15 мая 1991 г.). М.: УДН, 1991. - с.51.

287. Lavers C.R., Wilkinson J.S. A wave-guide coupled surface-plasmon sensor for an aqueous environment // Sensors & Actuators (B). 1994. - v.22.- No.l. p.75-81.

288. Капо H., Kawata S. Grating-coupled surface-plasmon for measuring the refractive index of liquid samples // Japanese J. of Applied Physics. 1995.- v.34. -No.l. -p.331-335.

289. Harming A., Roeraade J. A spectroscopic refractometer for temperature-independent refractive-index detection // Analytical Chemistry. 1997. -v.69. -No.8. -p.1496-1503.

290. Grassi J.H., Georgiadis R.M. Temperature-dependent refractive-index determination from critical angle measurements: implications for quantitative SPR sensing // Analytical Chemistry. -1999. -v.71. -No.l9. -p.4392-4396.

291. Homola J., Ctyroky J., Skalsky M. et al. A surface-plasmon resonance based integrated optical sensor // Sensors & Actuators (B). 1997. - v.39. -No. 1-3. - p.286-290.

292. Nelson S.G., Johnston K.S., Yee S.S. High-sensitivity surface-plasmon resonance sensor based on phase detection // Sensors & Actuators (B). -1996. v.35. - No. 1 -3. - p. 187-191.

293. Tao N.J., Boussaad S., Huang W.L. et al. High-resolution surface-plasmon resonance spectroscopy // Review of Scientific Instruments. 1999. - v.70. -No.12. -p.4656-4660.

294. Никитин A.K., Теричев В.Ф., Тищенко A.A., Черняй А.И. Устройство для измерения изменений показателя преломления вещества // Автор, св. СССР. №1575679 (МКИ4 G 01 N 21/43) от 2.03.1990 г.270

295. Никитин А.К. Способ определения профиля мениска жидкости // Патент РФ на изобретение RU 2108563 (МКИ6 G 01 N 13/02). Бюл. №10 от 10.04.1998 г.

296. Сумм Б.Д., Горюнов Ю.В. Физико-химические основы смачивания и растекания // М.: Химия, 1976. 231 с.

297. Никитин А.К. Способ определения концентрации ионов в жидкостях // Патент РФ на изобретение RU 2101696 (МКИ6 G 01 N 27/42). Бюл. №1 от 10.01.1998 г.

298. Никольский Б.П., Матёрова Е.А., Грекович A.JI. Современное состояние метода ионометрии и проблемы ионоселективных электродов // Журнал Аналитической Химии. 1975. - т.30. - Вып. 11.- с.2223-2240.

299. Химия. Справочное руководство (перевод с немецкого) //Л.: Химия, 1975.-657 с.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.