Получение и свойства графитных пленок нанометровой толщины тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Тюрнина, Анастасия Васильевна

• Тюрнина, Анастасия Васильевна
• кандидат физико-математических наук
• 2010

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Тюрнина, Анастасия Васильевна

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА 1. РАЗНОВИДНОСТИ УГЛЕРОДНЫХ СТРУКТУР. ПОЛУЧЕНИЕ И СВОЙСТВА ГРАФИТА И ГРАФЕНА (ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР).

1.1 Типы гибридизации атомных связей в углеродных материалах.

1.2 Разновидности углеродного материала.

1.2.1 Полиморфные модификации алмаза, графита и карбина.

1.2.2 Наиоразмерпые алмазо- и графитоподобные структуры.

1.3 графен.

1.4 Особенности КРС спектроскопии углеродных материалов.

1.4.1 КРС в алмазе.

1.4.2 КРС в графите.

1.4.3 КРС в нанокристаплическом алмазе.

1.4.3.1 Модель пространственного ограничения фононов.

1.4.4 КРС - спектр ультрадисперсных алмазных порошков.

1.4.5 КРС в нанотрубках и фуллеренах.

1.4.6 КРС аморфного углерода.

1.5 Графен- двухмерный кристаллический углерод.

1.5.1 История открытия. Атомная структура графена.

1.5.2 Особенности зонной структуры и электронные свойства графена и графита

1.5.3 Особенности электрон-фононного взаимодействия и спектроскопия КРС в графене и графите.

1.5.4 Механические, оптические и химические свойства графена и тонких плёнок, состоящих из нескольких атомных слоев графита.

1.5.5 Методы получения графена и плёнок графита, состоящих из нескольких атомных слоев графена.

1.5.5.1 Микромеханическое расщепление.

1.5.5.2 Эпитаксиальные методики.

1.5.5.3 Химические методы.

ГЛАВА 2. ПОЛУЧЕНИЕ, ИССЛЕДОВАНИЕ И КЛАССИФИКАЦИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК.

2.1 Получение образцов углеродных пленок методом плазмохимического осаждения.

2.2 КРС - спектрометр и принцип его работы.

2.3 Электронная, атомно-силовая и зондовая микроскопия.

2.4 Методики отделения графитных плёнок от подложек и переноса на другие поверхности.

2.5 Методики оценки толщины графитных плёнок нанометровой толщины.

2.6 Изготовление полевых транзисторов и измерение их электрических характеристик.

2.7 КРС спектры типичных углеродных материалов.

ГЛАВА 3. СТРУКТУРНО-МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ГРАФИТНЫХ ПЛЕНОК.

3.1. Влияние параметров процесса осаждения на структурные характеристики графитных пленок.

3.2. Механизм образования графита из алмаза.

3.3 Топологические особенности графитных пленок нанометровой толщины.

3.3.1 Механизм образования системы складок на поверхности нанографитных плёнок.

3.3.2 АСМ исследования системы складок на поверхности нанографитных плёнок.

3.3.3 Спонтанное расщепление графитных плёнок нанометровой толщины.

3.3.4 Способы оценки толщины нанографитных плёнок.

3.3.5 Волнообразные периодические структуры на поверхности графитных плёнок нанометровой толщины.

3.3.6 Квазимонокристаллические графитные плёнки микронной толщины.

ГЛАВА 4. ОПТИЧЕСКИЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГРАФИТНЫХ ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ

ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ.

4.1 Двойной резонанс в КР спектрах исследуемых графитных пленок.

4.2 Эффект поля в графитных пленках нанометровой толщины.

4.2.1 Прототип полевого транзистора на основе графитной плёнки на полимере.

4.2.2 Прототип полевого транзистора на основе графитной плёнки на кремнии.

4.2.3 Измерение удельного сопротивления графитных плёнок.

4.2.4 Уменьшение толщины исследуемых графитных плёнок методом реактивно -ионного травления в кислородной плазме.

4.2.5 Исследование электрофизических свойств графитных плёнок при низких температурах.

4.3 Сравнительное исследование свойств разных графеновых материалов.

4.3.1 Получение графена из графитных плёнок нанометровой толщины на основе метода плазмохимического осаждения.

4.3.2 Сравнительная КРС — спектроскопия исследуемых чешуек графена.

4.3.3 Электрофизические характеристики полевых нанотранзисторов на основе исследуемых графитных плёнок нанометровой толщины.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Получение и свойства графитных пленок нанометровой толщины»

Углерод, один из наиболее интересных элементов в Периодической таблице Менделеева, играет уникальную роль в природе. Способность его атомов образовывать сложные цепи является фундаментальной для органической химии и основой для известных на Земле форм жизни. Даже атомарный углерод демонстрирует необычайно сложное поведение, которое выражается в образовании ряда весьма различных по свойствам структур.

Из всех существующих элементов периодической таблицы Менделеева, углерод можно назвать одним из самых привлекательных по многим причинам. Одной из которых может быть тот факт, что именно между атомами углерода могут образовываться самые прочные в природе химические связи. Атомы углерода способны образовывать сетку из шестиугольников, в плоскости которой между ближайшими атомами и действуют эти силы. Интерес ученых к этому элементу и область его применения в производстве в наше время с каждым днём становятся всё сильнее и шире. Причина этого кроется не только в уникальной прочности связей, но, главным образом, в химическом строении атома, которое позволяет всего из одного элемента, как из универсального конструктора, строить самые разнообразные структуры, так непохожие друг на друга. С давних времён было известно всего две аллотропные формы углерода, уже сильно отличающиеся по физическим характеристикам: алмаз и графит. Позже были открыты углеродные объекты, привлёкшие к себе внимание со стороны многих учёных в основном из-за их нанометровых размеров: фуллерен и нанотрубка. А также их многообразные модификации, как по отдельности, когда просто по принципу матрёшки образуются похожие, но многослойные структуры; так и более сложные конструкции, например, в форме стручка из нанотрубки, заполненного фуллеренами, как бобами. Стоит упомянуть и базисную строительную единицу всех графитоподобных материалов — это один атомный слой графита, представляющий собой ту самую сетку из атомов углерода, названную графеном.

С каждым годом интерес исследователей к этому новому углеродному материалу увеличивается, что подтверждается хотя бы быстро растущим год от года числом публикаций на тему графена. Такое усиление внимания исследователей объясняется обнаружением возможности получения образцов свободных кусков графена и проведения реальных исследований их физических свойств. Само существование двумерных (моноатомных) кристаллов до недавнего времени считалось невозможным, поскольку значительная величина поверхностной энергии 5 такого образования должна приводить к его неустойчивости. Однако, в случае графита моноатомные монокристаллические слои удается получать, используя относительно простые экспериментальные методы.

Моноатомные слои или графитные пленки, состоящие из нескольких (до 5-6) графеновых слоев обладают рядом необычных свойств, представляющих значительный интерес с фундаментальной научной точки зрения, а также для создания на их основе разнообразных приборов и устройств. Одним из уникальных свойств графена является баллистический транспорт электронов вдоль слоя атомов, приводящий к возможности наблюдения целого ряда квантово-механических эффектов. Однако с практической точки зрения использование этого и других уникальных свойств графена затруднено отсутствием методов его получения, обеспечивающих необходимый уровень повторяемости характеристик, достаточно больших размеров и т.п. требований. Одним из возможных путей решения данной проблемы является разработка методов получения тонких пленок графита, толщина которых при необходимости может быть уменьшена для достижения требуемых характеристик.

Указанные соображения послужили основной мотивацией при формулировке цели данной работы:

Разработка научных основ технологии получения монокристаллических графитных плёнок нанометровой толщины, состоящих из нескольких (вплоть до одного) слоев графена, на основе метода плазмохимического осаждения, проведение исследования свойств полученных пленочных углеродных материалов и демонстрация возможных областей практического применения полученных графитных пленок.

В соответствии с поставленной целью были сформулированы следующие задачи исследований: установление корреляционных связей между параметрами плазмохимического процесса и свойствами получаемых с его помощью углеродных пленок; определение условий, требуемых для получения графитных пленок; изготовление необходимого количества образцов графитных пленок; изучение их структурных, морфологических характеристик и состава, в том числе и путем сравнительного анализа различных графитных материалов; разработка методов получения свободных (без подложек) графитных плёнок и переосаждение их на подложки с определенными свойствами; разработка и изучение приборных структур на основе изготовленных нанографитных пленок. Научная новизна результатов:

- показана возможность получения квазимонокристаллических графитных плёнок нанометровой толщины, обладающих высокой степенью кристаллографического совершенства и свойствами, обусловленными наноразмерностыо данного материала;

- обнаружен ряд специфических топологических особенностей графитных пленок нанометровой толщины; предложены механизмы, объясняющие их формирование; обнаружено явление спонтанного расщепления графитной плёнки на фрагменты, содержащие один или несколько атомных слоев графена;

- разработана новая методика получения нанографитных плёнок в свободном состоянии и методика переноса тонких графитных пленок на подложки с требуемыми характеристиками;

- впервые проведено систематическое исследование КРС в наноструктурированных графитных пленках, полученных осаждением из газовой фазы; показано, что экспериментально наблюдаемые закономерности поведения спектров комбинационного рассеяния (КР) в этих материалах соответствуют модели двойного резонанса;

- обнаружен эффект поля в тонких графитных плёнках, полученных методом плазмохимического осаждения; на основе таких плёнок создан и исследован экспериментальный прототип полевого транзистора;

- Показано, что методом микромеханического расщепления исследуемых нанографитных плёнок, можно изготовить полевой нанотранзистор, который демонстрирует возможность наблюдения сильного амбиполярного эффекта поля.

Актуальность работы определяется направленностью представленных исследований на решение ряда фундаментальных научных и прикладных вопросов, активно исследуемых в настоящее время и не нашедших своего объяснения к моменту постановки задач данного исследования.

Практическая ценность работы. Полученные данные о закономерностях процесса плазмохимического осаждения могут использоваться для разработки практических методов получения углеродных пленок с различными структурными характеристиками и физическими свойствами, в том числе квазимонокристаллических графитных пленок нанометровой толщины. Разработанные в работе практические методы получения графитных пленок нанометровой толщины с площадью в несколько квадратных сантиметров, а также методы отделения пленок от подложек и переноса на подложки с требуемыми параметрами, позволяют использовать их как в научных исследовательских целях, так и для изготовления различных приборов и устройств.

Показано, что полученные графитные пленки имеют свойства, позволяющие создание на их основе ряда электронных и оптоэлектронных приборов с уникальными характеристиками.

Положения, выносимые на защиту:

- разработан метод получения графитных пленок нанометровой толщины с помощью плазмохимического осаждения из газовой смеси водорода и метана, активированной разрядом постоянного тока;

- предложены физические модели, объясняющие механизмы формирования графитных пленок нанометровой толщины и их топологических особенностей;

- показано, что КРС в графитных кристаллитах и пленках нанометровой толщины подчиняется закономерностям, соответствующим механизму двойного резонанса; показано, что при изменении длины волны возбуждающего излучения эффективность КР второго порядка в высокоупорядоченных графитных пленках возрастает с ростом плотности соответствующих фононных состояний;

- разработаны методики отделения графитных плёнок от подложек, на которых они были получены, а также методики переноса графитных пленок на другие подложки с заданными характеристиками;

- показано, что в графитных пленках нанометровой толщины проявляется эффект поля; экспериментально продемонстрирована возможность использования графитных пленок нанометровой толщины для изготовления полевых нанотранзисторов.

Представленные в диссертации результаты прошли апробацию в ходе выступлений на различных научных конференциях и семинарах, в том числе: 4й международной конференции «Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология», 2005, 2009 - Москва; Int. Conf. on Modern Materials and Technologies CIMTEC 2006 - Acireale (Italy); IX Optics Days KUOPIO TECHNOPOLIS 2008 - Kuopio (Finland); International Workshop "Nanocarbon Photonics and Optoelectronics", 2008 -Polvijarvi (Finland); MPA-2008: 2nd International Meeting on Developments in Materials, Processes and Applications of Nanotechnology; 2008 - University of Cambridge (UK); Конференция молодых ученых "Физикохимия нано- и супрамолекулярных систем,

2008 - Москва; Baden-Wtirttemberg-Days in Moscow, Science Forum on Nanotechnology,

2009 - Moscow; 2009 - Moscow; 20th Anniversary Symposium MRS-J in Yokohama, Japan 2009.

По материалам исследований, представленных в диссертации, опубликовано 8 статей в реферируемых научных журналах и сборниках. Список статей приводится в 8 конце диссертации.

Достоверность полученных и представленных в диссертации результатов обеспечивается использованием современных, апробированных и стандартизованных методов исследований, теоретических представлений, тщательностью проведенных измерений, качественным совпадением результатов работы с результатами, полученными в других работах другими экспериментальными методами.

Личный вклад. Результаты, изложенные в диссертации, получены лично соискателем или при его непосредственном участии. Постановка задач исследований, определение методов их решения и интерпретация результатов выполнены совместно соавторами опубликованных работ при непосредственном участии соискателя.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Тюрнина, Анастасия Васильевна

Основные результаты работы

1. Разработаны методы получения нано-кристаллических углеродных пленок, состоящих из материалов преимущественно графитного или алмазного типа, а также из их смеси в различной пропорции. Проведен сравнительный анализ полученных нано-углеродных пленочных материалов различными методами. Установлена взаимосвязь между параметрами процесса осаждения и характеристиками пленок.

2. Разработан метод получения графитных плёнок нанометровой толщины с помощью плазмохимического осаждения. Показано, что пленки синтезированные этим методом на никеле имеют высокую степень структурного упорядочения, соответствующего квазимонокристаллическому графиту, с базовой кристаллографической плоскостью (0001), ориентированной вдоль поверхности подложки.

3. Обнаружены топологические особенности нано-графитных пленок в виде системы складок и пузырей на атомарно гладкой поверхности. Предложены механизмы, объясняющие формирование этих особенностей.

4. Впервые проведено систематическое исследование комбинационного рассеяния света (КРС) в нано-структурированных графитных пленках, полученных осаждением из газовой фазы. Показано, что экспериментально наблюдаемые закономерности поведения КРС в этих материалах соответствуют модели двойного резонанса. Также показана возможность использования методики КРС для диагностики особенностей электронной и фононной подсистем нано-графитных материалов.

5. Разработаны методы получения свободных нанографитных пленок, и методы переноса графитных пленок на различные подложки.

6. Проведено комплексное сравнительное исследования структурного совершенства и электрофизических характеристик графеновых плёнок, полученных микромеханическим расщеплением различных графитных материалов (нанографитные плёнки, синтезированные методом плазмохимического осаждения; HOPG, киш — графит и натуральный графит). Показана возможность наблюдения эффекта поля в тонких нанографитных плёнках и создания полевых транзисторов на основе полученных графитных плёнок нанометровой толщины. Определены электрофизические характеристики изготовленных полевых транзисторов.

В заключение хочу выразить глубокую признательность моему научному руководителю профессору А.Н. Образцову за общее руководство и неоценимую поддержку в работе, многочисленные и полезные обсуждения.

Я благодарна к.ф.-м.н. А.П. Волкову за помощь в проведении экспериментальных исследований. Я также признательна А.В. Гаршеву и A.J1 Чувилину за проведение исследований наноуглеродных образцов с помощью растровой и просвечивающей электронной микроскопий; С.Н. Чвалуну за помощь в разработке методики получения свободных нанографитных плёнок. Я также благодарю коллег из Национального Института Наук о Материалах Цукубы (Япония) доктора К. Цукагоши и доктора X. Хиуру за помощь по созданию нанотранзисторов, проведению исследований их характеристик и интерпретации полученных результатов.

Список публикаций по результатам, представленным в настоящей работе

А1.Тюрнина А.В., Золотухин А.А., Образцов А.Н. Влияние материала подложки на осаждение углеродных плёнок из газовой фазы / Письма в ЖТФ. - 2006. - Т. 32. - № 17.-С. 1-5.

А2.0бразцов А.Н., Образцова Е.А., Золотухин А.А., Тюрнина А.В. Эффект двойного резонанса при комбинационном рассеянии света в нанографитных пленках / ЖЭТФ. - 2008. - Т. 133. - № 3. - С. 654-662. A3.0braztsov A.N., Obraztsova Е.А., Tyurnina A.V., Zolotukhin A.A. Chemical vapor deposition of thin graphite films of nanometer thickness / Carbon. - 2007. - V. 45. - № 10.-P. 2017-2021.

A4.0braztsov A.N., Tyurnina A.V., Obraztsova E.A., Zolotukhin A.A., Liu В., Chin K.-C., Wee A.T.S. Raman scattering characterization of CVD graphite films / Carbon. — 2008. -V. 46. - № 6. - P. 963-968. А5.Няпшаев И.А., Титков A.H., Тюрнина A.B., Образцов А.Н. Структурные особенности углеродных пленок нанометровой толщины, получаемых осаждением из газовой фазы на Ni / ФТТ. - 2009. - Т. 51. - № 5. - С. 997-1002. Аб.Аполонская И.А., Тюрнина А.В., Копылов П.Г., Образцов А.Н. Термическое окисление детонационного наноалмаза / Вестник Московского Университета. Серия 3. Физика. Астрономия. - 2009. - № 4. - С. 72-75. А7.Тюрнина А.В., Серов Д.В., Образцов А.Н. Топология графитных плёнок нанометровой толщины / Физикохимия поверхности и защита материалов. —2009. -Т. 45. - № 5. - С. 505-508.

А8.Тюрнина А.В., Аполонская И.А., Кулакова И.И., Копылов П.Г., Образцов А.Н. Термическая очистка детонационного наноалмаза / Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования технической физики. — 2010. - № 1. — С. 1 -7.

Доклады и сообщения, сделанные на международных научных конференциях и семинарах

1. Тюрнина А.В., Волоков А.П., Золотухин А.А., Образцов А.Н., Изучение процесса газофазного осаждения углеродных плёнок методом комбинационного рассеяния света; 4-я международная конференция Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология; Москва, 26-28 октября 2005, с. 201.

2. Obraztsov A.N., Volkov А.Р., Zolotukhin А.А., Tyurnina A.V., Mogarova A.E., Plasma Assisted CVD of Nano-carbon Film Materials; Int. Conf. on Modern Materials and technologies C1MTEC 2006, Acireale. Italy, June 4-9 2006, p. 159.

3. Сафонов О.Г., Ширяев А.А., Тюрнина А.В., Рамановская спектроскопия хлоридно-карбонатно-силикатных расплавов, закаленных при 5 Гпа; Ежегодный семинар по экспериментальной минералогии, петрологии и геохимии (ЕСЭМПГ-07), Москва, 1922 апреля, с. 69-70

4. Zolotukhin A.A., Obraztsov A.N., Obraztsova Е.А., Tyurnina A.V., Liu В., Chin К.-С., Wee A.T.S., Effect of Double Resonance Raman Scattering in Nano-Graphite CVD Films; Summer School "Synthesis and Characterization of Carbon Nanotubes and Nanofibers", Helsinki, Finland, 11-12л August, 2008; p. 8.

5. Tyurnina A.V., Obraztsova E.A., Zolotukhin A.A., Raman scattering characterization of CVD graphite films;. International Workshop "Nanocarbon Photonics and Optoelectronics", Holiday Centre «Huhmari», Polvijarvi, Finland, 3-9 August, 2008, p. 33.

6. Obraztsov A.N., Zolotukhin A.A., Tyurnina A.V., Kopylov P.G., Nanographite Film Growth and Characterization; MPA-2008: 2nd International Meeting on Developments in Materials, Processes and Applications of Nanotechnology; University of Cambridge - UK, robinson College; 6-8 January, 2008; p. 127.

7. Тюрнина А.В., Хестанова Е.А., Образцов А.Н., Топологические особенности графитных плёнок нанометровой толщины; Конференция молодых ученых "Физикохимия нано- и супрамолекулярных систем - 2008", Институт физической химии и электрохимии им. А.Н.Фрумкина РАН, Москва, 11-12 ноября 2008, с. 15.

8. Obraztsov A.N., Tyurnina A.V., Kopylov P.G., Ismagilov R.R., Production and Properties of Graphite of Nanometer Thickness; 8th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology, Vancouver, British Columbia, Canada, May 31 - June 5, 2009, p. 52.

9. Tyurnina A.V., Obraztsov A.N., Production and Properties of Graphene Films; Baden-Wurttemberg-Days in Moscow, Science Forum on Nano techno logy, House of the Moscow City Government. Moscow, May 27, 2009, p. 52.

10. Тюрнина A.B., Образцов A.H. Получение и применение графитных плёнок нанометровой толщины;, 6-я международная конференция Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология; 28-30 октября 2009, с. 182.

11. Tyurnina A.V., Obraztsov A.N., Hiura Н., Tsukagoshu К., Characterization of CVD graphene, 20th Anniversary Symposium MRS-J in Yokohama, Japan, December 6, 2009, p. 38.

Заключение

В настоящей работе представлены результаты исследований, направленных на изучение процессов получения наноуглеродных пленок, изучения их физических характеристик и разработку научных основ их применения. В ходе работ была определена зависимость состава, структурных характеристик и физических свойств углеродных пленочных материалов от параметров процесса плазмохимического осаждения. Были определены условия, обеспечивающие формирование графитных пленок, состоящих из пластинчатых кристаллитов нанометровой толщины с преимущественной ориентацией их базовых плоскостей перпендикулярно поверхности подложки и квазимонокристаллических слоев графита с базовыми плоскостями параллельными подложке. Предложены физические модели, позволяющие объяснить механизм формирования наноуглеродных материалов, наблюдаемые структурные особенности и их взаимосвязь друг с другом. Разработаны методы перенесения графитных пленок нанометровой толщины на диэлектрические подложки. Продемонстрирована возможность создания полевых транзисторов на основе полученных нанографитных пленок.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Тюрнина, Анастасия Васильевна, 2010 год

1. Верма А., Кришна П. Полиморфизм и политипизм в кристаллах пер. с англ., М., 1969.-244 с.

2. Ткаченко В.И., Квасков В.Б. Электронные приборы на основе алмаза. Сб. ст. "Алмаз в электронной технике". Под ред. В. Б. Кваскова. — М.: Энергоатомиздат,1990. С. 22-33.

3. Новиков Н.В. Гонтарь А.Г. Применение синтетических алмазов в электронике. Сб. ст. "Алмаз в электронной технике". Под ред. В. Б. Кваскова. — М.: Энергоатомиздат, 1990. С. 57-73.

4. Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский A.M. и др. Физические величины: Справочник под ред. Григорьева И. С., Мейлихова Е. 3. — М.: Энергоатомиздат,1991.-1232 с.

5. Шулепов С.В. Физика углеграфитовых материалов, М.:Металлургия, 1972. 254 с.

6. Уббелоде А.Р., Льюис Ф.А. Графит и его кристаллические соединения, М.: Мир, 1965.-256 с.

7. Полиморфные модификации углерода и нитрида бора: Справочник. Под ред. Курдюмова А.В., Малоговеца В.Г., Новикова Н.В., Пилянкевича А.Н., Шульман Л.А. М.: Металлургия, 1994. 318 с.

8. Physical Properties of Carbon Nanotubes. Ed. by Saito R., Dresselhaus G., Dresselhaus M.S. London, Imperial College Press, 1998. - 259 p.

9. Несмеянов A.H. Начала органической химии: Книга первая. М.: «Химия», 1969.- 664 с.

10. Верещагин А. Л., Юрьев Г.С. Структура детонационных наноалмазов / Неорганические материалы. 2003. —Т. 39. -№ 3. - С. 312-318.

11. Дементьев А.П., Маслаков К.И. Химическое состояние атомов углерода на поверхности наноалмазных частиц / ФТТ. 2004. — Т. 46. — № 4. - С. 662-664.

12. Даниленко В.В. Из истории открытия синтеза наноалмазов / ФТТ. — 2004. Т. 46.4. — С. 581-584.

13. Obraztsov A.N., Timofeev М.А., Guseva M.V. et al. Comparative study of microcrystalline diamond / Diamond & Related Materials. 1995 - V. 4. - P. 968971.

14. Кулакова И.И. Химия поверхности наноалмаза / ФТТ. 2004. - Т. 46. -№ 4. - С. 621-628.15.