Разработка и исследование методов и средств метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.15, кандидат технических наук Голубев, Сергей Сергеевич

• Голубев, Сергей Сергеевич
• кандидат технических наук
• 2008

Оглавление диссертации кандидат технических наук Голубев, Сергей Сергеевич

Список сокращений

Введение

Глава 1. Сканирующие зондовые микроскопы. Переход от средств визуализации к средствам измерения.

1.1. История сканирующей зондовой микроскопии

1.2. Классификация СЗМ

1.3. Метрологическое обеспечение сканирующей зондовой микроскопии

Глава 2. Формализованное описание СЗМ как средства измерения.

2.1. Принципы построения модели СЗМ

2.2. Реализация системы координат СЗМ при помощи трубчатого пьезоэлектрического манипулятора

2.3. Алгоритм сканирования в режиме постоянной силы

2.4. Взаимодействие зонда и образца

2.5. Разрешающая способность СЗМ. Ее соотношение с межатомными расстояниями и влияние на погрешность измерения

Глава 3. Принципы проверки математической модели СЗМ и экспериментальная реализация такой проверки.

3.1. Принципы экспериментальной проверки адекватности математической модели СЗМ

3.2. Сравнительные измерения мер при помощи СЗМ и некоторых других средств измерения нанометрового диапазона

Глава 4. Погрешность измерений при помощи СЗМ и ее составляющие.

4.1. Нелинейность пьезокерамики

4.2. Гистерезис пьезокерамики

4.3. Запаздывание прохождения сигнала - крип пьезокерамики

4.4. Температурный дрейф пьезокерамики

4.5. Старение пьезокерамики

4.6. Формализация понятия поверхности твердого тела для случая взаимодействия зонда и образца

4.7. Неидеальность геометрической формы зонда и эффект кажущегося уширения образца

4.8. Влияние вибраций на СЗМ

4.9. Шумы электроники

4.10. Погрешность, связанная с дискретизацией АЦП

4.11. Погрешность, связанная с фотодетектором

4.12. Деформация поверхности образца под действием сканирующего зонда

Глава 5. Средства метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов.

5.1. Модель идеальной меры для метрологического обслуживания СЗМ

5.2. Использование существующих рельефных мер нанометрового диапазона для метрологического обслуживания СЗМ

5.3. Динамическая мера. Теоретическое и экспериментальное исследование возможности ее применения для метрологического обслуживания СЗМ

5.4. Динамическая мера как оптимальное средство измерения разрешающей способности СЗМ

Глава 6. Метрологическое обеспечение перехода СЗМ из средств визуализации в средства измерения.

6.1. Обоснование выбора параметров СЗМ, требующих метрологического контроля

6.2. Разработка методов проведения калибровки и поверки СЗМ

6.3. Практическая реализация калибровки и поверки СЗМ 93 Выводы 94 Список литературы 95 Приложение 1. Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан. Методика поверки. 104 Благодарности

Список сокращений

ACM Атомный силовой микроскоп

АЦП Аналого-цифровой преобразователь

ВНИИМС Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы

МБМВ Международное бюро мер и весов

МСМ Магнитно-силовой микроскоп

НИЦПВ Научно-исследовательский центр по исследованию свойств поверхности и вакуума

РТВ Брауншвейгский физико-технический институт

СЗМ Сканирующий зондовый микроскоп

СИ Средство измерения

СРМ Сканирующий резистивный микроскоп

СТерМ Сканирующий термальный микроскоп

СТМ Сканирующий туннельный микроскоп

ЦАП Цифро-аналоговый преобразователь

ЭСМ Электрический силовой микроскоп

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование методов и средств метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов»

В настоящее время большое внимание уделяется нанотехнологиям. Это связано в первую очередь с переходом в последние десятилетия радиоэлектронной промышленности, компьютерных технологий, биомедицины и биоинформатики на качественно новый меньший уровень масштабов.

В последние 15 лет появилась возможность проводить измерения геометрических параметров объектов нанометрового диапазона (микроэлектронные компоненты, носители информации, биосенсоры, нанотрубки и т.д.). Это связано с прогрессом одного из основных инструментов работы с такими объектами - сканирующего зондового микроскопа (СЗМ1). В последние годы идет процесс создания новых средств измерения (СИ) на базе существующих СЗМ. Востребованность в таких средствах очень высока, так как все перечисленные выше технологические направления, связанные с нанотехнологией, остро нуждаются в СИ. При этом развитие данных технологических направлений является приоритетной задачей для ключевых секторов экономики.

Количество экземпляров СЗМ в нашей стране на сегодняшний день составляет приблизительно 25 ООО. Различных типов СЗМ отечественного производства насчитывается более 100. Однако сейчас лишь 3 из них являются средствами измерения геометрических параметров. Объяснение такому несоответствию состоит в том, что подавляющее большинство СЗМ являются на сегодняшний день лишь средствами визуализации поверхности, но не имеют метрологического обеспечения, превращающего их в средства измерения.

Очевидно, что для обеспечения стандартов качества в производстве объектов наноразмера необходимо сначала обеспечить единство измерений в соответствующих диапазонах. Одним из основных приборов для измерения

1 Название «сканирующий зондовый микроскоп» в работе используется только применительно к приборам с материальным зондом. Иногда зондами называют пучки электронов, лучи света и др. Приборы такого типа в диссертации не рассматриваются. геометрических параметров объектов наномерового диапазона является именно СЗМ. Однако визуализация поверхности, о которой говорилось выше, - не метрологическая задача, вопрос же о метрологическом обслуживании этих приборов возникает тогда, когда их функция средства визуализации перестает удовлетворять потребностям и появляется задача разработки на их базе именно СИ.

В связи с происходящим сегодня выходом нанотехнологий на уровень промышленности приходится пересматривать принятые взгляды на роль СЗМ в науке и технике и встает задача создания на основе лабораторных научно-исследовательских приборов серийно выпускаемых СИ.

На сегодняшний день как в РФ, так и во всем мире нет единой универсальной концепции, которая могла бы лечь в основу будущей поверочной схемы для средств измерения в нанометровом диапазоне (СЗМ).

Разработкой метрологического обеспечения для сканирующей зондовой микроскопии в разное время занимались такие известные отечественные ученые, как В.Я. Бараш, В.А. Быков, Л.Ф. Витушкин, Ч.П. Волк, К.В. Гоголинский, В.В. Календин, Ю.А. Кудеяров, Ю.А. Новиков, А.В. Раков, П.А. Тодуа, И.В. Яминский и др.

Однако в связи с непрерывным развитием сканирующей зондовой микроскопии вопрос о метрологическом обеспечении измерении геометрических параметров поверхности при помощи СЗМ еще не решен. Отсутствуют методики испытаний, поверки и калибровки отечественных СЗМ. В связи с этим целью настоящей диссертационной работы является разработка и исследование методов и средств метрологического обслуживания сканирующих зондовых микроскопов.

Данная работа представляет собой исследование, направленное на создание принципов, позволяющих реализовать единство измерений геометрических параметров, проводимых при помощи СЗМ. Для этого необходимо связать результаты измерений в нанометровом диапазоне со стандартной единицей длины - метром. В практическом плане это предполагает разработку принципов проведения метрологического обслуживания СЗМ, что на современном состоянии проблемы невозможно без теоретического анализа и обоснования тех принципиальных подходов, которые позволяют решить указанную задачу.

Вначале описывается разработанная модель СЗМ, состоящая из трех частей. Первая часть модели является математическим описанием перемещений пьезокерамической трубки. Для нее нами написано уравнение измерений. Точнее, это система уравнений, связывающих фактическое перемещение зонда и образца в трехмерном пространстве с электрическими напряжениями, прикладываемыми к системе шести электродов на поверхности пьезокерамической трубки. Вторая часть модели - это математическое описание силового взаимодействия зонда и образца, полученное в предположении упругого взаимодействия между ними. Третья часть модели описывает алгоритм, реализующий сканирование поверхности при помощи СЗМ.

Таким образом, модель отображает тот факт, что СЗМ как средство измерения состоит из трех частей:

- Механизм, реализующий относительные перемещения зонда и образца (механическая реализация декартовой системы координат прибора).

- Зонд - игольчатый щуп, реализующий взаимодействие СИ с исследуемой поверхностью.

- Программный алгоритм, управляющий процессом сканирования.

Также исследуется вопрос о разрешающей способности СЗМ как одной из его основных метрологических характеристик. Анализируется реально достижимое значение этой характеристики.

Затем производится проверка разработанной модели на основе проведенных нами экспериментальных исследований набора материальных мер, состоящего из периодической дифракционной решетки, ступенчатой меры и меры с шахматным рельефом. Найден способ экспериментальной проверки предлагаемой математической модели. Реализация такой проверки показала хорошее соответствие разработанной модели СЗМ реальным приборам. Проведены сравнительные измерения различных мер нанометрового диапазона при помощи нескольких типов СЗМ а также некоторых других СИ (профилометр, фазовый оптический микроскоп).

Результаты этих измерений позволили нам обоснованно выбрать меры из числа реально существующих для комплектования набора средств для метрологического обслуживания СЗМ.

В работе проводится анализ составляющих погрешности СЗМ. Выделяется три группы составляющих в соответствии с тремя частями модели СИ. Погрешность механической системы рассматривается как сумма составляющих, связанных с отклонением поведения реального пьезокерамического манипулятора от системы уравнений, описывающих его в рамках нашей модели. Выделяется пять таких составляющих, производится их количественная оценка. Устанавливаются другие факторы, вносящие погрешность в измерения при помощи СЗМ. Определяются их количественные характеристики на основании теоретических и экспериментальных методов.

Рассматривается вопрос о мерах, применимых для метрологического обслуживания. Проводится анализ модели идеальной меры для метрологического обслуживания СЗМ как координатного средства измерения. Такой мерой является кубическая периодическая решетка с известным ребром. Доказывается, что реальные меры, применимые для метрологического обслуживания СЗМ, являются физическими моделями, которые могут лишь частично соответствовать идеальной мере. В результате проведенных исследований показано, что для метрологического обслуживания СЗМ целесообразно использовать набор именно из трех мер. Такой набор должен включать периодическую решетку, ступень и ячеистую шахматную меры.

В работе предлагается использовать принципиально новое средство для метрологического обслуживания СЗМ, названное нами динамической мерой. Она позволяет создавать виртуальные ступени для той части диапазона, для которой в настоящее время не существует материальных мер (то есть мер в виде решеток, ступеней и т.п.). Такая мера является наиболее эффективным средством для прямого измерения разрешающей способности СЗМ. Это связано с тем, что в виртуальной форме динамическая мера позволяет реализовать произвольные значения геометрических расстояний. Приводятся экспериментальные данные по использованию такой меры при проведении испытаний микроскопа ФемтоСкан с целью утверждения типа средства измерения.

В результате проводимого в работе анализа определяется перечень метрологических характеристик, которые являются основными для СЗМ. Их определение является обязательным при проведении метрологического обслуживания - испытаний с целью утверждения типа, нормативно обязательной поверки и факультативно проводимой калибровки.

Для основных метрологических характеристик указывается средство их определения. Это одна из мер предлагаемого нами набора, о котором шла речь выше.

Непосредственным практическим результатом проделанной работы явилось утверждение двух моделей СЗМ отечественного производства в качестве типов СИ, включенных в единый государственный реестр и допущенных к эксплуатации на территории РФ. Это микроскоп ФемтоСкан, разработанный в МГУ под руководством профессора И.В. Яминского и микроскоп СмартСПМ-1000, разработанный компанией «АИСТ-НТ» (Зеленоград) под руководством С.А. Саунина. Помимо этих двух моделей СЗМ в РФ еще только одна модель СЗМ официально утверждена в качестве типа СИ. Методики поверки этих СЗМ в значительной степени повторяют друг друга, поэтому в диссертации приводится только одна из них в качестве приложения.

Заключение диссертации по теме «Метрология и метрологическое обеспечение», Голубев, Сергей Сергеевич

Выводы

Проведенные в настоящей работе исследования позволяют сделать следующие выводы:

- Разработанные в данной работе теоретические основы принципов измерения геометрических параметров с использованием СЗМ были проверены на адекватность и дали хорошо согласующиеся с экспериментом результаты.

- Экспериментально доказано, что предложенная методика калибровки СЗМ при помощи различных дифракционных решеток и геометрических мер позволяет определять основные метрологические характеристики прибора.

- Предложен принцип аттестации программного обеспечения СЗМ.

- Проведенный анализ погрешностей позволил сделать вывод о значимости каждого вклада в той или иной ситуации. Полученные количественные оценки используются для анализа результатов измерения при помощи СЗМ.

- Предложенный метод испытания и поверки СЗМ с использованием динамической меры позволяет калибровать СЗМ для измерений в диапазоне от 20 нм до 10 ООО нм, обеспечивая погрешность измерений не выше 5% во всем диапазоне.

- Разработанные принципы метрологического обслуживания СЗМ позволили создать реальную методику испытания и калибровки для СЗМ FemtoScan.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Голубев, Сергей Сергеевич, 2008 год

1. Binnig G., Rohrer H. Scanning tunneling microscopy // Helvetica Physica Acta 55 (1982), 726

2. Куейт Ф. Вакуумное туннелирование: новая методика в микроскопии / Физика за рубежом. Сер. А. Москва: Мир (1988), 93-111

3. Шермергор Т., Неволин В. Новые профессии туннельного микроскопа // Наука и жизнь (1990), №11, 54-57

4. Binnig G., Quate С. F., Gerber Ch. Atomic force microscopy // Phys. Rev. Lett. 56 (9) (1986), 930-933

5. Суслов А. А., Чижик С. А. Сканирующие зондовые микроскопы (обзор) // Материалы, Технологии, Инструменты Т.2 (1997), №3, С. 78-89

6. Sarid D. Scanning Force Microscopy With Application to Electric, Magnetic and Atomic Forces. New York: Oxford University Press (1991)

7. Howland R., Benatar L. A practical guide to scanning probe microscopy. Park Scientific Instruments (1996)

8. Heubrger M., Dietler G., Schlapbach L. Mapping the local Yong's modulus, by analysis of the elastic deformations occurring in atomic force microscopy // Nanotechnology, 5 (1994), 12-23

9. Salmeron M. B. Use of the atomic force microscope to study mechanical properties of lubricant layers // MRS Bulletin (1993), May, 20-25

10. Гоглинский К. В., Кудрявцева В. И., Новиков С. В., Решетов В. Н. Применение атомно-силовой микроскопии для исследования микроструктуры твердых сплавов на основе карбида вольфрама. Препринт/002-96. Москва: МИФИ (1996)

11. Campbell A. N., Cole Е. I. Jr., Dodd В. A., Anderson R. Е. Magnetic force microscopy/Current contrast imaging: A new technique for internal current probing of ICs // Microelectronic Engineering 24 (1994), 11-22

12. Labardi M., Allegrini M., Salerno M., Fredriani C., Ascoli C. Dynamical friction coefficient map using a scanning force and friction force microscope // Appl. Phys. A59 (1994), 3-10

13. Grafstrom S., Kowalski J., Neumann R. Design and detailed analysis of a scanning tunneling microscope//Meas. Sci. Technol. 1 (1990), 139-146

14. Weisendanger R. Scanning Probe Microscopy and Spectroscopy. Cambridge: Cambridge University Press (1994)

15. Meyer E. Atomic Force Microscopy // Progress in Surface Science, 41/1 (1992), 3-49

16. Burnham N. A., Colton R. J. Force Microscopy / Scanning Tunneling Microscopy and Spectroscopy. Chapter 7. New York (1994), 191-249

17. Spatz J. P., Sheiko S., Moller M., Winkler R. G., Reineker P., Marti O. Forces affecting the substrate in resonant tapping force microscopy // Nanotechnology, 6 (1995), 40-44

18. Luthi R., Meyer E., Howald L., Haefke H., Anselmetti D., Dreier M., Ruetschi M., Bonner Т., Overney R. M., Frommer J., Guntherodt H.- J. Progress in noncontact dynamic force microscopy // J. Vac. Sci. Technol. 3 (1994) В12,1673-1676.

19. Hartmann U. Theory of Noncontact Force Microscopy/Scanning Tunneling I Microscopy III; Theory of STM and Related Scanning Techniques / Eds. R. Wiensendanger and J.-H. Guntherodt. Berlin: Springer (1985)

20. Burnham N. A., Colton R. J., Pollock H. M. Interpretation of force curves in force microscopy // Nanotechnology, 4 (1993) 64-80

21. Weisenhorn A. L., Hansma P. K., Albrecht T. R., Quate C. F. Forces in Atomic Force Microscopy in Air and Water // Appl. Phys. Lett. 54 (26), (1989), 2651-2653

22. Моисеев Ю. H., Мостепаненко В. M., Панов В. И., Соколов И. Ю. Экспериментальное и теоретическое исследование сил и пространственного разрешения в атомно-силовом микроскопе. ЖТФ, 60 (1990), №1, 141-148.

23. Burnham N. A., Colton R. J. Measuring the nanomechanical properties and surface forces of materials using an atomic force microscope // J. Vac. Sci. Technol. A.7, 4 (1989), 2906-2913

24. Landman U., Luedtke W. D. Nanomechanics and dynamics of tip-substrate interactions // J. Vac. Sci. Technol. №2 (1991), B9, p.414-423

25. ГОСТ P 8.628-2007 Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Методика поверки. Москва, Стндартинформ, 2007.

26. ГОСТ Р 8.629-2007 Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки. Москва, Стндартинформ, 2007.

27. ГОСТ Р 8.630-2007 Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки. Москва, Стндартинформ, 2007

28. ГОСТ Р 8.631-2007. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки. Москва, Стндартинформ, 2007

29. Ляпунов A.M., Новиков Ю.А., Раков А.В., Тодуа П.А. Метрология линейных измерений наноматериалов, нанообъектов и наносистем // Интеграл. 2005. № 1(21). С. 14-16.

30. Волк Ч.П., Новиков Ю.А., Раков А.В. Калибровка РЭМ с помощью периодической линейной меры микрометрового и субмикрометрового диапазонов // Измерительная техника. 2000. № 4. С. 48-52.

31. Новиков Ю.А., Озерин Ю.В., Плотников Ю.И., Раков А.В., Тодуа П.А., Нанометрология линейных измерений в атомно-силовой микроскопии // Труды института общей физики им. A.M. Прохорова 2006 т. 62. С. 121-144.

32. V.A. Bykov, D.A. Evplov, V.K. Ivanov. Metrological properties of PZT-26 ceramics SPM scanners in XY-plane and comparison between PZT-26 and PZT-19. http://www.ntmdt.rU/data/media/files/publications/2002/01.0 lv.a.bykovd.a.evpl oenglish.pdf

33. В.Я. Бараш, А.Л. Резников. Применение образцовых вибраторов для метрологической аттестации контактных средств измерений шероховатости поверхности. // Измерительная техника. 1983 №8. С. 43-45.

34. Арутюнов П.А., Толстихина A.JI. Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть 1 // Микроэлектроника. 1999.Т. 28, № 6. С. 405-414

35. Арутюнов П.А., Толстихина A.JL, Атомно-силовой микроскоп — универсальное средство измерения физических величин в мезоскопическом диапазоне длин. // Датчики и системы, №4 (2000).

36. Dziomba, Т.; Hafiler-Grohne, W.; Bosse, H.; Danzebrink, H.-U.; Koenders, L.; Wilkening, G.: Influence of nanostandard properties on calibration procedures of SPMs, In: Scanning Probe Microscopy 2003: Proceedings, March 2-5, 2003, p. 77-80

37. Koenders, L.; Wilkening, G.: Supplementary comparison in the field of nanometrology: Step height (NANO 2), In: XI. International Colloquium on Surfaces: Proceedings. Part 2. Aachen, 2004, p. 139 145,

38. Koenders, L.; Meli, F.: Height and pitch at nanoscale how traceable is nanometrology ?, In: Nanoscale calibration standards and methods : dimensional and related measurements in the micro- and nanometer range, 2005, p. 205 - 219

39. Dziomba, Т.; Koenders, L.; Wilkening, G.: Standardization in dimensional nanometrology: development of a calibration guideline for Scanning Probe Microscopy // SPIE, 2005 (Proceedings of SPIE: 5965), p. 59650C-1 59650C-12,

40. Dai, G.; Pohlenz, F.; Xu, M.; Koenders, L.; Danzebrink, H.-U.; Wilkening, G.: Accurate and traceable measurement of nano- and microstructures, In: Measurement Science and Technology 17 (2006), № 3, p. 545 552

41. V. Ukraintsev; M. Tsai; Tom Lii; R. Jackson. Transition from precise to accurate critical dimension metrology. //SPIE, 2007 (Proceedings of SPIE: 6518)

42. V. Ukraintsev. A comprehensive test of optical scatterometry readiness for 65-nm technology production//SPIE, 2006 (Proceedings of SPIE: 6152)

43. М.О. Галлямов, И.В, Яминский. Сканирующая зондовая микроскопия: основные принципы, анализ искажающих эффектов. http://www.spm.genebee.msu.su/members/gallyamov/galyam/galyaml.html

44. И.В. Яминский. Сканирующая зондовая микроскопия биополимеров. // М., Научный мир, 1997. 88 с.

45. Uvarov V.Yu., Ivanov Y.D., Romanov A.N., Gallyamov M.O., Kiselyova O.I., Yaminsky I.V., Scanning tunneling microscopy study of cytochrome P450 2B4 incorporated in proteoliposomes // Biochimie, 78, N 8/9, p. 780-784 (1996)

46. О.И. Киселева, JI.C. Ягужинский, И.В. Яминский, М.Ф. Янюшин, Атомно-силовая микроскопия протеолипосом, содержащих АТФ-синтазный комплекс // Поверхность, № 7, 109-112 (1999)

47. А. Филонов, И. Яминский. Обработка и анализ данных в сканирующей зондовой микроскопии: алгоритмы и методы // Наноиндустрия. №2, 32-34 (2007).

48. Кудеяров Ю.А. Аттестация программного обеспечения средств измерений. Учебное пособие. М.: ФГУП "ВНИИМС", 2006.

49. Гоголинский К.В., Косаковская З.Я., Усеинов А.С., Чабан И.А. Измерении упругих модулей плотных слоев ориентированных углеродных нанотрубок с помощью сканирующего силового микроскопа // Акустический журнал-2004-т. 50, № 6-с. 770-775

50. V.Blank, M.Popov, G. Pivovarov, N.Lvova, S.Terentev, Mechanical properties of different types of diamonds, Diamond and Related Materials 8 (1999), pp. 1531-1535.

51. К.В.Гоголинский, В.Н.Решетов. Применение сканирующих зондовых микроскопов для анализа с субмикронным и нанометровым разрешением структуры и механических свойств материалов (обзор). Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 1998, №6, Т.64, с.30-43.

52. В.Ф. Кулибаба, Н.А. Львова, А.И. Сошников Определение трещиностойкости хрупких сверхтвердых материалов на наноуровне // Нанотехника, 2006 №2.

53. V.Blank, M.Popov, G.Pivovarov, N.Lvova, K.Gogolinsky, V.Reshetov, Ultrahard and superhard phases of fullerite C60: Comparison with diamond on hardness and wear., Diamond and Related Materials 7 (2-5) (1998), pp. 427-431.

54. V.Blank, M.Popov, N.Lvova, K.Gogolinsky, V.Reshetov, Nano-sclerometry measurements of superhard materials and diamond hardness using scanning force microscope with the ultrahard fullerite C60 tip, J. Mater. Res., 12 (1997), 3109.

55. Л.Д. Ландау, E.M. Лифшиц. Теоретическая физика. Теория Упругости //Т. УП. Москва, 1987. 247 с.

56. В.Г. Левич. Курс теоретической физики. //Т. 1. Москва, 1962. 695 С.

57. С.Г. Калашников. Электричество. // Москва, 2004. 624 С.

58. А.Н. Матвеев. Курс Физики // т. 3. Москва, 1983. 287 с.

59. V. Koutsos, Е. Manias, G. ten Brinke, and G. Hadziioannou, Atomic force microscopy and real atomic resolution. Simple computer simulations // Europhys. Lett., -1994, v. 26, - No 3, - pp. 103-107

60. S. Banerjee, M. K. Sanyal, and A. Datta, A simulation study of multi-atom tips and estimation of resolution in atomic force microscopy // Applied surface science, -1996, v. 99, - No 3, - pp. 255-260.

61. В.Л. Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. // М.: Техносфера, 2004. 144 С.

62. Chao-Chang A. Chen; Jr-Rung Chen; Huay-Chung Liou; Yen-Liang Chen. Size effects on stylus tip reconstruction for micro and nano roughness measurement (Conference Proceedings Paper) // SPIE, 2005 (Proceeding in: SPIE, 5879),

63. Плетнев П. M., Ланин В. А. О моделях и механизмах старения пьезокерамики//Материаловедение. 2006, №5. С. 3-10.

64. К. L. Westra and D. J. Thomson, Atomic force microscopy tip radius needed for accurate imaging of thin film surfaces // J. Vac. Sci. Technol. B, -1994, v. 12, -№6,-p. 3176-3181

65. А. А. Бухараев, Д. В. Овчинников, А. А. Бухараева, Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии // Заводская лаборатория, -1997, № 5, - сс. 10-27.

66. V. J. Garcia, L. Martinez, J. М. Briceno-Valero, and С. H. Schilling, Dimensional metrology of nanometric spherical particles using AFM: II, application of model tapping mode // Probe Microscopy, 1998, v. 1, № 2, p. 117125.

67. K. L. Westra, A. W. Mitchell, and D.J. Thomson, Tip artifact in atomic-force microscope imaging of thin film surfaces // J. Appl. Phys., 1993, v. 74, № 5, p. 3608-3610.

68. Патент «Калибровочный эталон для профилометров и сканирующих зондовых микроскопов». Яминский И.В. Яминский Д.И. Заявка №2007111324/28 (012299) от 28.03.2007. ФГУ ФИПС.

69. В.Г. Лысенко. Разработка и исследование системы обеспечения единства координатных измерений геометрических параметров обработанных поверхностей. // Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук. Москва, 2005. 411 с.