Разработка и исследование системы управления лазерным технологическим комплексом с несамостоятельным тлеющим разрядом тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.06, кандидат технических наук Шемякин, Андрей Николаевич

• Шемякин, Андрей Николаевич
• кандидат технических наук
• 2012

Оглавление диссертации кандидат технических наук Шемякин, Андрей Николаевич

ВВЕДЕНИЕ.

ГЛАВА I. Сравнительный анализ лазерных технологических комплексов.

§1.1. Назначение и особенности конструкции универсальных ЛТК.

§1.1.1. Преимущества двухкоординатных ЛТК с перемещением оптики и требования к ним.

§1.1.2. Сфера применения двухкоординатных ЛТК с перемещением детали и их основные ограничения.

§1.1.3. Анализ комбинированной конструкции гибридных двухкоординатных

§ 1.2. Сопоставление основных схем организации несамостоятельного тлеющего разряда.

§1.3. Сравнение приемников лазерного излучения.

§1.4. Рассмотрение методов повышения надежности систем управления.

Выводы.

ГЛАВА II. Система управления ЛТК с НТР.

§2.1. Исследование ЛТК с НТР как объекта управления.

§2.2. Система управления координатным столом и подсистема ввода файлов лазерной резки.

§2.3. Микропроцессорное устройство управления технологическим лазером с

§2.4. Система управления ЛТК с НТР с повышенной надежностью и расширенными диагностическими возможностями.

Выводы.

ГЛАВА III. Управление мощностью излучения ЛТК с НТР.

§3.1. Способы управления мощностью излучения ЛТК с НТР.

§3.2. Измерение мощности излучения ЛТК с НТР.

§3.2.1. Экспериментальное исследование.

§3.2.2. Обработка результатов эксперимента.

§3.3. Исследование временных характеристик мощности излучения JITK с НТР

§3.3.1. Схема измерительного эксперимента.

§3.3.2. Результаты эксперимента и их обработка.

§3.3.3. Влияние амплитудного изменения мощности лазерного излучения на технологические возможности JITK с НТР.

§3.4. Исследование особенностей управления мощностью лазерного излучения

JITK с НТР при работе на новой газовой смеси.

§3.4.1. Схема измерительного эксперимента.

§3.4.2. Результаты эксперимента и их обработка.

§3.4.3. Алгоритмы работы системы управления при включении JITK с НТР и при полной замене газовой смеси.

§3.5. Исследование автоматической системы управления мощностью излучения

ЛТК с НТР.

§3.5.1. Экспериментальное получение переходной характеристики, построение модели, оценка переходного процесса и определение передаточной функции объекта управления.

§3.5.2. Определение параметров регулятора и экспериментальная проверка полученных результатов.

Выводы.

ГЛАВА IV. Методика и средства повышения надежности и расширения диагностических возможностей системы управления ЛТК с НТР.

§4.1. Блок диагностирования аварийных ситуаций системы управления ЛТК с НТР.

§4.2. Исследование влияния натекания воздуха в газовый контур лазера на мощность излучения ЛТК с НТР.

§4.2.1. Схема измерительного эксперимента.

§4.2.2. Предварительная обработка результатов эксперимента.

§4.2.3. Влияния натекания воздуха на параметры лазерного излучения.

§4.2.4. Влияния натекания воздуха на эмпирическое среднее значение мощности лазерного излучения при оптимальной частоте импульсов ионизации.

§4.2.5. Метод диагностики натекания воздуха в газовый контур ЛТК с НТР

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование системы управления лазерным технологическим комплексом с несамостоятельным тлеющим разрядом»

История создания лазера насчитывает около пятидесяти лет, но за это время ученые и инженеры прошли большой путь от фундаментальных научных исследований до разработки разнообразного лазерного оборудования, которое широко применяется в современном мире в различных областях человеческой деятельности: машиностроении, металлообработке, приборостроении, электронике, телекоммуникациях, медицине и науке. По данным ежегодного обзора лазерного рынка журнала Laser Focus World объем продаж мирового рынка лазеров в 2011 году достиг 7,46 млрд. долларов [1].

Данная работа посвящена системе управления лазерным технологическим комплексом (ЛТК), который оснащен мощным газовым лазером на углекислом газе (С02-лазером). Комплекс предназначен для резки, сварки и модификации поверхности различных материалов.

Обработка материалов в промышленности является одной из важнейших областей применения лазеров. Так, например, объем продаж лазеров для обработки материалов составил 26% общего объема продаж всех лазеров, выпущенных в 2011 году [1]. На долю С02-лазеров приходится 68% лазеров, применяемых для обработки материалов [2]. В промышленности широко применяются два типа С02-лазеров: лазеры с диффузионным охлаждением газовой смеси и лазеры с быстрой прокачкой газовой смеси в процессе работы. По данным [3] объем продаж лазеров с быстрой прокачкой составил 90,9%, а диффузионных лазеров - 9,1% от общего объема продаж С02-лазеров (5500 С02-лазеров с быстрой прокачкой и 19050 диффузионных лазеров). Необходимо отметить, что основную долю рынка диффузионных лазеров занимают маломощные лазеры, которые используются в комплексах для маркировки и гравировки материалов.

Приведенные цифры свидетельствуют о том, что по объему продаж ЛТК на базе С02-лазеров с быстрой прокачкой занимают лидирующее положение в сфере лазерной обработки материалов.

В качестве объекта управления ЛТК представляет собой сложную техническую систему, состоящую из таких разнородных подсистем как вакуумный газовый контур с устройством прокачки и системой газообмена, высоковольтные источники питания основного разряда и ионизации, разрядная камера с оптическим резонатором, системы водяного охлаждения, электроавтоматики и электроники. Поэтому система управления должна обладать повышенной надежностью для обеспечения безаварийной и безопасной работы ЛТК и расширенными диагностическими возможностями для своевременного выявления неисправностей в работе его подсистем. Однако известные системы управления, например, SINUMERIK 840D SL фирмы Siemens, которая управляет ЛТК фирмы Trumpf, в случае отказа или сбоя в работе обеспечивают только аварийную блокировку и перевод управляющих выходов в безопасное состояния

4].

Поэтому необходимым условием для использования ЛТК на производстве является их автоматизация на базе систем управления с повышенной надежностью и расширенными диагностическими возможностями.

Лазерный комплекс, рассматриваемый в работе, состоит из С02-лазера с несамостоятельным тлеющим разрядом (НТР) и координатного стола. Основной отличительной особенностью этого комплекса является использование лазера с НТР.

В основе лазера с НТР лежит оригинальный способ организации тлеющего разряда в камере большого объема - несамостоятельный тлеющий разряд с импульсной емкостной ионизацией [5]. Такой способ организации разряда позволяет легко управлять мощностью лазерного излучения, обеспечивает высокую оптическую однородность и стабильность разряда, а, следовательно, и высокое качество излучения.

Целью исследования является повышение надежности и расширение диагностических возможностей системы управления и технологических возможностей ЛТК с НТР, заключающееся в увеличении ряда обрабатываемых материалов, их толщин и скорости лазерной обработки.

Для достижения поставленной цели решены следующие задачи:

1. Разработка системы управления ЛТК с НТР со средствами повышения надежности и расширенными диагностическими возможностями.

2. Разработка методики повышения надежности системы управления ЛТК с НТР, позволяющей выявить отказ или сбой в ее работе.

3. Разработка методики диагностики натекания воздуха в газовый контур ЛТК с НТР.

4. Исследование и реализация в автоматическом режиме способа управления мощностью излучения ЛТК с НТР путем изменения частоты импульсов ионизации.

5. Определение влияния выбранного способа управления мощностью излучения путем изменения частоты импульсов ионизации на технологические возможности ЛТК с НТР.

6. Экспериментальная проверка достоверности полученных результатов и их статистический анализ.

Диссертация состоит из введения, четырех глав и заключения.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)», Шемякин, Андрей Николаевич

Основные результаты работы

1. Разработана и реализована методика диагностирования аварийных ситуаций, которая позволяет своевременно выявить сбой или отказ в системе управления и аварийно выключить ЛТК с НТР при отказе системы управления, а в случае сбоя в ее работе - автоматически восстановить управление лазерным комплексом.

2. Для расширения диагностических возможностей системы управления исследовано влияние натекания воздуха в газовый контур на мощность излучения ЛТК с НТР. Определено, что из всех параметров лазерного излучения натекание воздуха в газовый контур явно влияет только на среднее значение мощности , приводя к его снижению. Выяснено, что наиболее равномерное и сильное уменьшение мощности происходит при частоте импульсов ионизации составляющей 1540 Гц во время начального натекания при парциальном давлении-воздуха до 0,1 мм рт. ст. На основании проведенных исследований предложен метод диагностики натекания воздуха в газовый контур лазера с НТР. По сравнению с существующим методом время диагностики сокращается на порядок.

3. Исследован и реализован в автоматическом режиме способ управления мощностью излучения ЛТК с НТР путем изменения частоты импульсов ионизации, что расширяет его технологические возможности, позволяя организовать работу комплекса, как в непрерывном, так и в импульсно-периодическом режиме с регулируемой скважностью и длительностью импульсов и обеспечивает возможность перехода из одного режима в другой.

4. В результате исследования системы управления мощностью излучения ЛТК с НТР экспериментально получена переходная характеристика, построена модель, проведена оценка переходного процесса и определена передаточная функция объекта управления. Для достижения заданной точности установки мощности лазерного излучения применен пропорциональный регулятор, рассчитан его коэффициент усиления и проведено экспериментальное исследование системы управления мощностью лазерного излучения с пропорциональным регулятором. В результате удалось достичь заданной точности (<2%) и практически в 2 раза уменьшить перерегулирование <т.

5. Исследованы амплитудные изменения мощности лазерного излучения, определяемые способом управления мощностью излучения путем изменения частоты импульсов ионизации. Определено, что наличие амплитудного изменения мощности лазерного излучения с частотой импульсов ионизации, наряду с высоким качеством излучения, расширяет технологические возможности ЛТК с НТР, позволяя увеличить скорость резки материалов с высоким коэффициентом отражения. При лазерной резке алюминиевого сплава Д16АТ толщиной 1-1,5 мм достигнуто 30-50% увеличение скорости резки.

6. Исследованы особенности управления мощностью лазерного излучения при работе на новой газовой смеси. Определено, что пиковая мощность излучения на новой смеси газов примерно в 3,17 раза превышает мощность излучения в рабочем режиме при одной и той же частоте импульсов ионизации, что связано с протеканием плазмохимических реакций в тлеющем разряде. Выбрана оптимальная с точки зрения значения пиковой мощности лазерного излучения частота импульсов ионизации и определено время, необходимое для окончания плазмохимических реакций и установления химического равновесия в газовом контуре лазера. Определено, что для перехода лазера в рабочий режим при работе на новой газовой смеси необходимо подавать импульсы ионизации частотой 740 Гц в течение 50 с. Модернизированы алгоритмы работы системы управления при включении лазера и при полной замене газовой смеси. Время, отводимое системой управления для достижения химического равновесия в новой газовой смеси, сокращено в 2 раза.

7. Проведено метрологическое исследование измерения мощности лазерного излучения и обосновано применение быстродействующего (~10"5 с) термоэлектрического зеркала-приемника лазерного излучения с анизотропией термоЭДС, которое позволяет непосредственно измерять мощность

•у широкоапертурного (20-50 мм) высокоинтенсивного (до 1 кВт/см ) лазерного излучения. Проведенные исследования показали, что зеркало-приемник обладает линейной характеристикой в диапазоне мощности от 0 до 3 кВт и может быть использовано в качестве датчика мощности в системе управления ЛТК с НТР.

Результаты выполненной работы нашли широкое практическое применение в промышленности. Технологический лазер «Лантан-3» с разработанной системой управления, входящий в состав ЛТК с НТР, серийно выпущен на НПО «РОТОР», г. Черкассы и на Ижевском механическом заводе, г. Ижевск. ЛТК с НТР были установлены на МКБ «Факел», г. Химки, НПО им. С. А. Лавочкина, г. Химки, й авиационном ремонтном заводе, г. Старая Русса, НИАТе, г. Москва, ИПМех РАН, г. Москва.

В настоящее время Ижевский механический завод готовит к выпуску модернизированный вариант разработанного лазера с НТР «Лантан-3».

Три ЛТК с НТР успешно работают на фирме «ЛАНТАН ЛАЗЕР», г. Москва. Один комплекс используется для резки конструкционной и нержавеющей стали, латуни и алюминиевых сплавов. Два комплекса применяются для резки фанерных заготовок штанцевых форм.

Многолетнее практическое применение системы управления ЛТК с НТР показало ее высокую надежность, широкие диагностические возможности и удобство эксплуатации в промышленных условиях.

Автор благодарен покойному члену-корреспонденту РАН H.A. Генералову за внимание к работе, д.ф.-м.н. Н.Г. Соловьеву за многочисленные полезные обсуждения основных аспектов автоматизации лазерного комплекса и активное участие в проведении экспериментов, д.ф.-м.н. М.Ю. Якимову за непосредственное участие в проведении эксперимента по измерению характеристик термоэлектрического зеркала-приемника с анизотропией термоЭДС, к.ф.-м.н. А.Ю. Кедрову за полезные обсуждения и советы по электронике, покойному ведущему инженеру В.М. Верину за практическое участие в автоматизации лазера «Лантан-3» на различных этапах работы, О.М. Бойцову за создание программного обеспечения микропроцессорного устройства управления, главному конструктору B.C. Москалеву за разработку конструкции пульта управления, начальнику производства ООО «ЛАНТАН ЛАЗЕР» М.В. Прокопову за техническое сопровождение и помощь в проведении экспериментов на лазере «Лантан-3», а также всем сотрудникам лаборатории лазерных разрядов за помощь и поддержку работы на разных этапах ее выполнения.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Шемякин, Андрей Николаевич, 2012 год

1. ANNUAL REVIEW AND FORECAST: Economic aftershocks keep laser markets unsettled / G. Overton, T. Hausken, D.A. Belforte etc. // Laser Focus World. -2012. V. 48. - № 1.

2. Belforte D.A. 2010 Annual Economic Review and Forecast // Industrial Laser Solutions. 2011. - V. 46. -№ 1.

3. Kincade K., Anderson St.G. LASER MARKETPLACE 2008: Innovation opens the door for next wave of success // Laser Focus World. 2008. - V. 44. - № 1.

4. SINUMERIK 840D. Версия программного обеспечения 4. Проектирование NCU 571-573. Руководство. АО SIEMENS AG, 1997.

5. Метод существенного повышения предела стабильности разряда в быстропроточных лазерах большого объема / Н.А. Генералов, В.П. Зимаков, В.Д. Косынкин и др. // Письма в ЖТФ. 1975. - Т. 1. - В. 9. - С. 431-435.

6. Технологические лазеры. Справочник. В 2 т. / под общ. ред. Г.А. Абильситова. М.: Машиностроение, 1991. - Т. 2. - 544 с.

7. New Products. Laser Cell // Industrial Laser Solutions. 2002. - № 8.

8. SCHULER PRESSES, Laser Notchmaster for flexible production of rotor and stator laminations. SCHULER PRESSEN GMBH & CO. KG.

9. News story from: Emag Lasertec, Laser cell assembles and welds automotive parts // Manufacturingtalk. 2004. - № 9.

10. Rofin Laser Macro Group, C02 SLAB LASERS // PHOTONICS SPECTRA. 2004. - № 2.

11. Product Showcase: Laserpowder fusion welder // Aerospace Engineering. -2000. № 6.

12. Lacent lands airbag technology contract I I CANADA FOCUS. 2003. - Vol. 11. - № 18.

13. The reality of remote laser welding // Industrial Laser Solutions. 2004 - №2.

14. On a clear day you can see the Alps // Industrial Laser Solutions. 2004 - №6.

15. Интервью // ГАРТ GRAPHIC ARTS NEWS. 2004. - № 6. - C. 16-18.

16. News story from: Schuler Presses UK, Laser welding to make aircraft structures lighter. // Manufacturingtalk. 2004. - № 11.

17. Rotzer I. Laser-beam welding makes aircraft lighter // Fraunhofer magazine. -2005.-№ 1.

18. New Products. Cutting systems // Industrial Laser Solutions. 2005. - № 4.

19. Bailey M. Software drives the laser // Industrial Laser Solutions. 2004. - №5.

20. Новая продукция: TRUMPF TLC CUT 5: Простая ЗБ-обработка // TRUMPF EXPRESS. 2004. - № 5.

21. New Products. Five-axis welding // Industrial Laser Solutions. 2005. - № 6.

22. David A. B. Entering a new manufacturing age // Industrial Laser Solutions. -2002. № 8.

23. New C02-Laser Robot with Increased Power // Robotics Online. 2004. - №1.

24. New Products. High-power laser/robot // Industrial Laser Solutions. 2004.10.

25. David A.B. Celebrating in distant locales // Industrial Laser Solutions. 2004. -№ 12.

26. TRUMPF hits milestone // Industrial Laser Solutions. 2004 -№11.

27. TruLaser серии 3000. Электронный ресурс. URL: http://www.ru.trumpf.com (дата обращения: 25.10.2011).

28. TruLaser серии 5000. Электронный ресурс. URL: http://www.ru.trumpf.com (дата обращения: 25.10.2011).

29. TRUMATIC L 3050 with TLF 6000 Laser: Rapid positioning, rapid cutting // TRUMPF EXPRESS. 2004 - № 10.

30. TLF versus TCF: Where is the trend heading in the field of laser cutting // TRUMPF EXPRESS. 2004. - № 10.

31. Engel M. The backbone of production // Industrial Laser Solutions. 2005.5.

32. News Release from: Bystronic Laser AG, Highspeed laser cutting of large sheets // Manufacturingtalk. 2005. - № 1.

33. News Release from: LVD (UK), Laser profiling machine can be fully automated // Engineeringtalk. 2001. - № 10.

34. Laser Carves More Profit for Job Shop // Forming & Fabricating. 2002. -Vol. 9. - №. 2.

35. News Release from: Prima Industrie UK, CNC profiling speeds, accelerations doubled // Manufacturingtalk. 2002. - № 5.

36. News Release from: Prima Industrie UK, Flat bed laser doubles up on cutting speed // Manufacturingtalk. 2005. - № 7.

37. Laser Cutting in XXL // TRUMPF EXPRESS. 2005. - № 4.

38. Мурашов П. Прогресс двигают творцы // Шатурский вестник. -07.06.2005.

39. Грязев А.Н. Качество оборудования определяет эффективность сервисного обслуживания // Эксперт Оборудование: рынок, предложение, цены. -2002.-№ 12.

40. Выставка «МЕТАЛЛООБРАБОТКА-2004» // Комплект: ИТО. 2004.

41. News Release from: LVD (UK), Latest sheet metal working tools go on show // Manufacturingtalk. 2005. - № 6.

42. Herzfeld R. Quick QC // Industrial Laser Solutions. 2003. - № 7.

43. New Products. Mazak Adds High-Speed Laser // MetalCenter News. 2004. -№ 12.

44. Голубев B.C., Лебедев Ф.В. Физические основы технологических лазеров. М.: Высшая школа, 1987. - 190 с.

45. Электроионизационный СОг-лазер замкнутого цикла непрерывного действия / Н.Г. Басов, И.К. Бабаев, В.А. Данилычев и др. // Квантовая электроника. 1979. - Т. 6. -№ 4. - С. 772-781.

46. Мощный быстропроточный СС>2-лазер непрерывного действия с накачкой комбинированным разрядом / А.П. Беляев, P.A. Дмитерко, В.А. Епишов и др. // Письма в ЖТФ. 1979. - Т. 5. - В. 6. - С. 325-328.

47. Генералов H.A. Исследование неравновесных состояний газовой среды, возникающих под действием ударных волн, тлеющего разряда и мощных световых импульсов: дис. . докт. физ.-мат. наук. М., 1981. - 298 с.

48. Справочник по лазерам. В 2 т. / под ред. акад. A.M. Прохорова. М.: Советское радио, 1978. - Т. 2. - 400 с.

49. Соловьев Н.Г. Экспериментальное исследование несамостоятельного тлеющего разряда в скоростном потоке газа и создание технологического СО2-лазера на замкнутом цикле: дис. . канд. физ.-мат. наук. М., 1986. - 169 с.

50. Кременчугский Л.С. Современные тепловые приемники излучения // ПТЭ. 1970. -№ 3. - С. 12-33.

51. Новые термоэлементы и болометры / А.Ш. Берман, Л.П. Буйко, И.М. Весельницкий и др. // В кн.: Фотометрические измерения и их метрологическое обеспечение. Ротапринт ВНИИОФИ, 1974. - С. 19-20.

52. Кременчугский Л.С., Шульга А.Я. Лазерные пироэлектрические приемные устройства Киев: Институт физики АН УССР, 1979. - Препринт. - 29 с.

53. Преобразователь мощности лазерного излучения ТИ-5А. Техническое описание и инструкция по эксплуатации КРПГ.433648.001 ТО. Фрязино Московской обл.: ГНПП «ИСТОК», 1993. - 12 с.

54. Андреев В.И., Грановский А.Б., Яковлев В.А. Малоинерционный неохлаждаемый приемник импульсного лазерного излучения // Квантовая электроника. 1985. - Т. 12. - № 6. - С. 1295-1296.

55. Пархоменко П.П., Согомонян Е.С. Основы технической диагностики. -М.: Энергоиздат, 1981. 320 с.

56. Боллард Д.Р. Проектирование сверхнадежных микропроцессорных, систем // Электроника. 1979. - Т. 52. - № 1. - С. 73-80.

57. Уильяме Г.Б. Отладка микропроцессорных систем. М.: Энергоатомиздат, 1988.-253 с.

58. Контроль и исправление ошибок в многоразрядных устройствах памяти // Электроника. 1982. - Т. 55. - № 11. - С. 52-74.

59. Балакин В.Н., Барашенков В.В., Усачев Ю.Е. Проектирование системы самодиагностирования управляющей микропроцессорной системы // Управляющие системы и машины. 1984. -№ 2. - С. 39-43.

60. Гладштейн М.А., Комаров В.М., Шубин Н.А. Простой метод повышения надежности функционирования микропроцессорных систем управления // Приборы и системы управления. 1987. - № 4. - С. 5-6.

61. Горюнов Г.В. Микроконтроллеры NEC с повышенными требованиями к надежности // Электронные компоненты. 2005. - №7. - С. 67-70.

62. Стационарный несамостоятельный разряд с ионизацией безэлектродными импульсами в лазере на замкнутом цикле. I. Конструкция и эксперимент / H.A. Генералов, В.П. Зимаков, В.Д. Косынкин и др. // Физика плазмы. 1977. - Т. 3. - В. 3. - С. 626-633.

63. Стационарный несамостоятельный разряд с ионизацией безэлектродными импульсами в лазере на замкнутом цикле. II. Теория емкостного разряда / H.A. Генералов, В.П. Зимаков, В.Д. Косынкин и др. // Физика плазмы. -1977. Т. 3. - В. 3. - С. 634-643.

64. Исследование несамостоятельного тлеющего разряда и генерации в быстропроточных лазерных устройствах. Итоговый отчет / H.A. Генералов, В.П. Зимаков, В.Д. Косынкин и др. М.: ИПМ АН СССР, 1980. - № 78055483. - 148 с.

65. А. С. 615795 СССР, МКИ3 HOIS 3/22. Способ получения непрерывного тлеющего разряда / H.A. Генералов, В.П. Зимаков, В.Д. Косынкин и др.. Опубл. 21.03.1978.

66. Бойцов O.M., Верин B.M., Генералов H.A., Зимаков В.П., Зотов В.П., Москалев B.C., Поденок С.Е., Соловьев Н.Г., Шемякин А.Н., Якимов М.Ю. Технологический лазер Лантан-3 М.: ИПМ АН СССР, 1989. - Препринт № 407. -38 с.

67. Соловьев Н.Г. Разработка физических основ и создание мощных технологических С02-лазеров с высококачественным быстро управляемым излучением: дис. докт. физ.-мат. наук. М., 2004. - 244 с.

68. Основные принципы построения микропроцессорных систем управления технологическими лазерами и лазерными технологическими комплексами / Г.А. Абильситов, B.C. Голубев, В.Г. Гонтарь и др. Троицк: НИЦТЛАН СССР, 1984. - Препринт № 6. - 22 с. , , |11 I

69. Хвощ С.Т., Варлинский H.H., Попов Е.А. Микропроцессоры и микроЭВМ в системах автоматического управления: Справочник. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1987. - 640 с.

70. Диденко К.И., Гозен Ю.В. Микро-ДАТ. Принципы построения. Основные параметры и характеристики // Приборы и системы управления. 1985. -№ 1.-С. 5-8.

71. Шереметьевский H.H., Долкарт В.М. Магистрально-модульные микросредства управляющей вычислительной техники // Микропроцессорные средства и системы. 1984. - № 2. - С. 24-27.

72. Хоровиц П., Хилл У. Искусство схемотехники: в 2 т. М.: Мир, 1984. -Т. 2. - 590 с.

73. Шемякин А.Н., Рачков М.Ю. Выбор способа управления мощностью излучения лазерного технологического комплекса с несамостоятельным тлеющим разрядом // Известия МГИУ. 2009. - № 3 (16). - С. 25-31.

74. Лазерная техника и технология. В 7 кн. Кн. 7. Лазерная резка металлов: Учеб. пособие для вузов / под ред. А.Г. Григорьянца. М.: Высш. шк., 1988. - 127 с.

75. Термоэлектрическое зеркало-приемник лазерного излучения / В.Н. Глебов, В.М. Мананков, A.M. Малютин и др. // Известия РАН. Серия физическая. 1993. - Т. 57. - № 12. - С. 167-169.

76. Пат 2031377 РФ, МІЖ G01J5/12. Термоэлектрический приемник излучения / В.Н. Глебов, A.M. Малютин. Опубл. 20.03.1995.

77. Хальд А. Математическая статистика с техническими приложениями. -ИЛ, 1956.-664 с.

78. Румшинский Л.З. Математическая обработка результатов эксперимента. -М.: Наука, 1971.-192 с.

79. ГОСТ Р ИСО 11554 2008. Методы испытаний лазеров и измерений мощности, энергии и временных характеристик лазерного пучка. - М.: Стандартинформ, 2008. - 13 с.

80. Дьяконов В.П. Mathcad 11/12/13 в математике. Справочник. М.: Горячая линия - Телеком, 2007. - 958 с.

81. Schwarzenbach A.P., Hunziker U.W. Industrial CO2 laser with high overall efficiency // High power CO2 Laser Systems and Applications: Proc. SPIE, 1988. V. 1020.-P. 43-48.

82. ГОСТ 4784-97. Алюминий и сплавы алюминиевые деформируемые. Марки. М.: ИПК Издательство стандартов, 1999. - 11 с.

83. Лазерная резка. Источники лазерного излучения. Электронный ресурс.1. URL:http://www.bystronic.m/cuШngandbendmg/ru/ru/products/laser/bylaser/index.php (дата обращения: 21.12.2010).

84. Cut Calculator. Электронный ресурс. URL: http://www.prclaser.com/calculator.shtml (дата обращения: 21.12.2010).

85. International standard ISO/DIS 11146. Optics and optical instruments, Lasers and laser related equipment, test methods for laser beam parameters: Beam widths, divergence angle and beam propagation factor. 1995.

86. Получение и применение высококачественных негауссовых пучков мощных технологических СОг-лазеров / Н.А. Генералов, М.И. Горбуленко, В.П. Зимаков и др. // Известия РАН. Серия физическая. 1997. - Т. 61. - № 8. - С. 1554-1559.

87. Клоповский К.С., Лопанцева Г.Б., Старостин А.Н. Химические процессы в плазме несамостоятельного разряда С02-лазера // Химия высоких энергий. 1978. -Т. 12.-№5.-С. 448-455.

88. Якимов М.Ю. Экспериментальное исследование физико-химических процессов в лазерных разрядах в потоке молекулярных газов: дис. . канд. физ.-мат. наук. М., 1990. - 247 с.

89. Шемякин А.Н., Рачков М.Ю., Соловьев Н.Г. Исследование влияния деградации рабочей смеси газов на мощность излучения лазерного технологического комплекса с несамостоятельным тлеющим разрядом // Известия МГИУ. 2010. - № 3 (20). - С. 28-31.

90. Трэвис Дж., Кринг Дж. Lab VIEW для всех. М.: ДМК Пресс, 2008.800 с.

91. Суранов А.Я. LabVIEW 8.20: Справочник по функциям. М.: ДМК Пресс, 2007. - 536 с.

92. Лазер газовый технологический комбинированного действия ЛГТ-2.02 УХЛ4.2. Техническое описание и инструкция по эксплуатации ИЕГВ 433713.001 ТО. Ленинград: ВНИИЭСО, 1988. - Ч. 1. - 125 с.

93. Оришич A.M., Фомин В.М. Актуальные проблемы физики лазерной резки металлов: Монография. Новосибирск: Новосиб. гос. ун-т., 2011. - 192 с.

94. Востриков A.C., Французова Г. А. Теория автоматического регулирования: Учеб. пособие для вузов. М.: Высш. шк., 2004. - 365 с.

95. Бесекерский В.А., Попов Е.П. Теория систем автоматического регулирования. 3-е изд., испр. - М.: Наука, 1975. - 768 с.

96. Математические основы теории автоматического регулирования. / под ред. Б.К. Чемоданова. 2-е изд., доп. -М.: Высшая школа, 1977. - Т. 2. - 455 с.

97. TruFlow lasers with up to 10000 Watts. Technical data. Электронный ресурс. URL: http://www.trumpf-laser.com/en/products/co2-lasers/axial-flow-lasers/truflow-10000-w.html (дата обращения: 20.06.2012).

98. Пат. 75791 Россия, МПК H01S 3/00. Система управления лазером / А.Н. Шемякин, М. Ю. Рачков. Опубл. 20.08.2008.

99. Шемякин А.Н., Рачков М.Ю. Повышение надежности работы лазерного технологического комплекса с несамостоятельным тлеющим разрядом // Машиностроение и инженерное образование. 2008. - № 2 (15). С. 27-35. (из перечня изданий, рекомендованных ВАК)

100. Рачков М.Ю., Шемякин А.Н. Развитие методов диагностирования систем управления лазерами // Сб. Межд. конф. по искусственному интеллекту. -Кацивели: Украина, 2008. С. 195-199.

101. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. 3-е изд., перераб. и доп. -Долгопрудный: Издательский Дом «Интеллект», 2009. - 736 с.

102. Дьяконов В.П. Mathcad 11/12/13 в математике. Справочник. М.: Горячая линия - Телеком, 2007. - 958 с.