Разработка методов и аппаратуры лазерного интерференционного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.07, кандидат технических наук Денисов, Дмитрий Геннадьевич

  • Денисов, Дмитрий Геннадьевич
  • кандидат технических науккандидат технических наук
  • 2010, Москва
  • Специальность ВАК РФ05.11.07
  • Количество страниц 184
Денисов, Дмитрий Геннадьевич. Разработка методов и аппаратуры лазерного интерференционного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования: дис. кандидат технических наук: 05.11.07 - Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы. Москва. 2010. 184 с.

Оглавление диссертации кандидат технических наук Денисов, Дмитрий Геннадьевич

Введение.

ГЛАВА 1. ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ НА СТАДИЯХ ШЛИФОВАНИЯ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫМ МЕТОДОМ.

1.1. Анализ существующих схем построения интерференционных систем контроля формы крупногабаритных оптических деталей.

1.1.1. Обоснование выбора рабочей длины волны излучения в лазерном интерферометре для контроля оптических деталей на стадиях шлифования.

1.2. Исследование характеристик оптических шероховатых поверхностей.

1.3.Статистический анализ профилей оптических шероховатых поверхностей.

1.4. Анализ процесса рассеяния монохроматической волны шероховатой оптической поверхностью.

1.5. Исследование процесса интерференции при контроле оптических шероховатых поверхностей в неравноплечем интерферометре Тваймана - Грина.

ГЛАВА 2. АНАЛИЗ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ СПЕКЛ -СТРУКТУРЫ И ЕЁ ВЛИЯНИЕ НА КАЧЕСТВО ИЗОБРАЖЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ КАРТИНЫ, ФОРМИРУЕМОЙ ЛАЗЕРНЫМ ИНТЕРФЕРОМЕТРОМ.

2.1. Анализ процесса формирования спекл — структуры в изображении интерференционной картины.

2.2. Анализ статистических характеристик спекл - структуры в изображении интерференционной картины.

2.3. Исследование влияния временной когерентности лазерного излучения на контраст спекл - структуры интерференционной картины.

2.4. Исследование возможности повышения качества изображения интерференционных картин за счёт подавления спекл - шума.

ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ОПЫТНОГО ОБРАЗЦА ЛАЗЕРНОГО РЖ-ИНТЕРФЕРОМЕТРА И АНАЛИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ ЕГО ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ.

3.1. Разработка компоновочной схемы и технического облика макетного образца лазерного интерферометра для контроля формы и качества оптических шлифованных поверхностей.

3.2. Разработка оптической схемы макетного образца неравноплечего лазерного ИК - интерферометра Тваймана - Грина.

3.3. Анализ результатов измерений форм шлифованных оптических поверхностей при помощи макетного образца лазерного

ИК - интерферометра.

3.4. Методика измерений параметров микронеровностей контролируемых шлифованных оптических поверхностей при помощи макетного образца лазерного ИК — интерферометра.

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», 05.11.07 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка методов и аппаратуры лазерного интерференционного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования»

В настоящее время во многих странах мира идёт интенсивное создание и строительство астрономических телескопов наземного и космического базирования, которые предназначены для принципиально новых астрофизических исследований. Главными оптическими компонентами таких телескопов являются крупногабаритные вогнутые зеркала со сферическими и асферическими рабочими поверхностями.

Изготовление таких зеркал связано с серьёзными технологическими трудностями, так как при размерах рабочей поверхности несколько десятков квадратных метров допустима погрешность формы зеркала, не превышающая нескольких сотых длины волны света.

Решение этой задачи достигается в процессе оперативного контроля изготавливаемой поверхности, на всех стадиях обработки, причём финишный контроль осуществляется на стадиях полирования высокоточными интерференционными методами.

При наличии местных ошибок полированную поверхность приходится целиком перешлифовывать, а затем снова подвергать полированию и интерференционному контролю. Понятно, что такой итерационный технологический процесс требует большого времени обработки, существенных трудозатрат и является неэкономичным.

В последнее время были предприняты попытки использования лазерных интерференционных методов контроля формы поверхности изготавливаемых зеркал на стадиях шлифования.

Следует отметить, что в этом случае не удаётся использовать существующие интерферометры, работающие в видимой области спектра, из — за сильного рассеяния излучения на шероховатых поверхностях, вызывающего разрушение пространственной когерентности излучения и, как следствие, низкое качество интерференционной картины. В результате появились сообщения о создании лазерных РЖ — интерферометров, у которых длина волны рабочего излучения существенно превышает величину микронеровностей шлифованной оптической поверхности. При этом удаётся получить качественную интерференционную картину.

Работы в указанном направлении ведутся и в нашей стране, и за рубежом. Среди отечественных организаций следует отметить ОАО «ЛЗОС», ФГУП «НПО Оптика», МГТУ им. Н.Э. Баумана, ФГУП «НПК «ГОИ им. С.И. Вавилова», а среди зарубежных фирм - «Precision - Optical Engineering», «Zygo», «Fisba Optik».

Ряд вопросов, связанных с контролем формы зеркал ИК — интерферометрами, рассматривался в работах отечественных специалистов — М.А. Аб-дулкадырова, А.В. Подобрянского, В.А. Горшкова и зарубежных - О. Квона, М. Латта, К. Синха, К. Верма.

Вместе с тем в указанных работах отмечалось, что качество зарегистрированных интерференционных картин во многих случаях было недостаточно высоким, в первую очередь, из — за низкого контраста, малого разрешения и сильного влияния спекл - структуры, формирующейся при отражении лазерного излучения от шероховатой поверхности. Кроме того отсутствие научно обоснованных требований к качеству интерференционной картины, обусловленных принятым алгоритмом обработки и расшифровки интер-ферограмм, затрудняло выработку исходных данных на проектирование лазерных ИК - интерферометров.

Другая важная задача связана с необходимостью оперативного контроля лазерным ИК - интерферометром не только формы, но и качества (степени шероховатости) обрабатываемой шлифованной оптической поверхности. Решение этой задачи позволит автоматизировать процесс своевременного перехода со стадии грубого шлифования на последующие стадии среднего и тонкого шлифований обрабатываемых поверхностей, а также существенно сократить время технологического процесса обработки контролируемых поверхностей крупногабаритных оптических деталей за счёт устранения операции измерения шероховатости контактными профилометрами.

В этой связи тема диссертационной работы, посвящённой разработке методов и аппаратуры лазерного интерференционного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования, является важной и актуальной.

Для достижения указанной цели в диссертационной работе необходимо решить следующие основные научно - технические задачи:

1) Обоснование метода лазерной интерферометрии и модифицированной функциональной схемы ИК - интерферометра Тваймана - Грина для контроля формы и качества оптических поверхностей на стадиях шлифования.

2) Исследование статистических характеристик оптического поля, рассеянного шероховатой поверхностью, в плоскости анализа и определение среднего значения интенсивности в интерференционных кольцах (полосах).

3) Разработка метода измерений степени шероховатости шлифованных поверхностей на основе зависимости контраста интерференционных картин от параметров микронеровностей.

4) Анализ процесса формирования спекл — структуры в интерференционной картине и разработка метода повышения качества изображения интерференционной картины за счёт подавления спекл - структуры.

5) Исследование влияния временной когерентности лазерного источника излучения на контраст изображения и уровень спекл — шума регистрируемой интерференционной картины.

6) Создание макетного образца неравноплечего лазерного ИК - интерферометра Тваймана — Грина для контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал астрономических телескопов на, стадиях шлифования и проведение экспериментальных исследований.

В соответствии с вышеизложенными задачами диссертационная работа состоит из введения, трех глав, выводов и списка используемых источников литературы.

Похожие диссертационные работы по специальности «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», 05.11.07 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы», Денисов, Дмитрий Геннадьевич

Основные результаты диссертационной работы представлены на 5-й Международной конференции "Оптика - 2007" (СПбГУ ИТМО, Санкт - Петербург, 2007 г.), 16-йи 17-й Международных научно - технических конференциях "Современное телевидение" (Москва 2008, 2009), на XX международной юбилейной научно - технической конференции "Лазеры в науке, технике, медицине" (Адлер 2009).

По результатам диссертационной работы опубликованы три статьи в журналах, входящих в Перечень ВАК ("Измерительная техника", "Метрология", "Оптический журнал"), 4 работы в трудах международных научно -технических конференциях, 3 тезиса докладов на международных конференциях.

Материалы работы изложены также в трёх научно - технических отчётах по НИР.

ВЫВОДЫ И ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В диссертационной работе решена важная научно - техническая задача, связанная с разработкой методов и аппаратуры лазерного интерференционного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования.

Достигнутые результаты позволяют сформулировать следующие выводы:

1. Обоснована принципиальная возможность использования метода лазерной интерферометрии в длинноволновом ИК — диапазоне для контроля форм оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования, обеспечивающего измерения СКО форм контролируемых поверхностей от ближайшей сферы сравнения с погрешностью не выше 0,03 Я.

2. Разработана модифицированная функциональная схема неравноплечего лазерного интерферометра Тваймана — Грина, содержащая дополнительный реперный лазер и спектральный светоделитель, реализующая контроль шлифованных поверхностей сферических и асферических зеркал с радиусами кривизн до 20 м при использовании единственного эталонного зеркала.

3. Разработана методика экспериментального измерения основных статистических характеристик: СКО высот микронеровностей, высотных и шаговых параметров, радиусов корреляции с использованием профилометра - профи-лографа. Проведены экспериментальные исследования шероховатых оптических поверхностей, обработанных с помощью абразивных микропорошков с различным средним размером зерна и для каждой из них определены параметры шероховатости.

4. Исследованы статистические характеристики поля лазерного излучения, рассеянного оптической шероховатой поверхностью, применительно к лазерному интерферометру, определена аналитическая зависимость контраста интерференционной картины от СКО высот микронеровностей контролируемой поверхности и на её основе предложен метод измерения степени шероховатости шлифованной оптической поверхности.

5. Проведён анализ процесса формирования спекл - структуры и её влияния на качество изображения регистрируемой интерференционной картины. Установлено, что с уменьшением характерного отношения сгЛ/Я при переходе от стадии грубого к стадии среднего шлифования, контраст спекл - структуры уменьшается, а качество интерференционной картины увеличивается (контраст интерферограммы повышается от 0,2 до 0,8).

6. Разработан метод повышения качества изображения интерферограмм, основанный на подавлении спекл — шума в изображении и реализующий 4-х этапный алгоритм цифровой обработки изображений: формирование спектра изображения, его пространственно - частотная фильтрация, восстановление отфильтрованного изображения, усреднение по ансамблю сечений, проходящих через энергетический центр тяжести отфильтрованного изображения. Применение предложенного метода для обработки интерферограмм, полученных при контроле оптических поверхностей на стадии грубого шлифования, позволило повысить контраст интерференционной картины с 0,3 до 0,5.

7. На основе модели амплитудно — фазового экрана исследовано влияние временной когерентности излучения лазерного источника на контраст интерференционной картины при контроле зеркал с радиусом кривизны более 20 м. Сформулированы требования к спектральной ширине лазерного излучения (1-106Гц <Д|/<3-106Гц), при выполнении которых даже при значительном уровне спекл — шума контраст интерференционной картины превышает предельно допустимую величину К=0,3. Рекомендовано использовать в качестве источника излучения непрерывный волноводный С02 - лазер с спектральной шириной линии излучения A v = 2 • 106 Гц.

8. Впервые в отечественной практике создан и испытан в цеховых условиях лазерный ИК - интерферометр, предназначенный для одновременного контроля формы и качества оптических поверхностей крупногабаритных зеркал на стадиях шлифования. Результаты испытаний подтвердили правильность основных теоретических положений и расчётных соотношений, полученных в работе, а так же достижение требуемой точности измерений.

Результаты теоретических и экспериментальных исследований диссертационной работы использованы в НИР "Икар" и внедрены на ОАО ЛЗОС при разработке неравноплечего лазерного ИК интерферометра для контроля крупногабаритных оптических деталей на стадиях шлифования, что подтверждается соответствующим актом.

Материалы диссертационной работы используются при чтении курса лекций "Оптические материалы и технологии" на кафедре "Лазерные и оптико-электронные приборы и системы" в МГТУ им. Н. Э.Баумана.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Денисов, Дмитрий Геннадьевич, 2010 год

1. Малакара Д. Оптический производственный контроль. М.: Машиностроение, 1985.400 с.

2. Витриченко Э.А. Методы исследования астрономической оптики. М.: Наука, 1980. 152 с.

3. Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976. 262 с.

4. Оптические измерения / Г.В. Креопалова и др. М.: Машиностроение, 1987. 264 с.

5. Афанасьев В.А. Оптические измерения. М.: Высшая школа, 1981. 229 с.

6. Захарьевский А.Н. Интерферометры. М.: Оборонгиз, 1952. 291 с.

7. Справочник технолога оптика / М.А. Окатов и др. Л.: Политехника, 2004. 679 с.

8. Non traditional technologies to fabricate lightweighted astronomical mirrors with high satiability of surface shape / M.A. Abdulkadyrov et all. // Proceedings ofSPIE. 1998. V. 3786. P. 468-473.

9. Computer controlled of large - size ground and space - based optics from glass ceramic Sitall CO - 115M / A.P. Semenov et all. // Proceeding of SPIE. 1999. V. 3786. P. 474-479.

10. Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST / M.A. Abdulkadyrov et all. // Proceedings of SPIE. 2001. V. 4451. P. 131-137.

11. Manufacturing of primary mirrors from Sitall CO-115M for European projects TTL, NOA and VST / A.P. Semenov et all. // Proceedings of SPIE. 2001. V.4451. P. 138-144.

12. Ml and M2 mirrors manufacturing for VISTA telescope / M.A. Abdulkadyrov et. all. // Proceedings of SPIE. 2004. V. 5494. P. 374 381.

13. Рябова Н.В., Захаренко В.Ф. Активная и адаптивная оптика в крупногабаритных телескопах//Оптический журнал. 1992. Т. 59, № 12. С. 5-32.

14. Зеркала оптических телескопов / М.М. Мирошников и др. // Оптико-механическая промышленность. 1990. Т. 57, № 9. С. 3-18.

15. Максутов Д.Д. Изготовление и исследование астрономической оптики. М.: Наука, 1984. 272 с.

16. Автоматизированные методы контроля оптических поверхностей

17. В.А. Горшков и др. // Оптико-механическая промышленность. 1980. Т. 47, №2. С. 37-43.

18. Копылов И.М., Коровяковский Ю.П. Результаты цеховых испытаний шестиметрового зеркала большого азимутального телескопа

19. Оптико-механическая промышленность. 1977. Т. 44, № 10. С. 3—5.

20. Математические основы гартмановского теста главного зеркала БТА /В.А. Зверев и др. // Оптико-механическая промышленность. 1977. Т. 44, №2. С. 18-22.

21. Автоматизированное производство крупногабаритной астрономической и космической оптики / М.А. Абдулкадыров и др. // Оптический журнал. 1999. Т. 66, № 1.С. 80-84.

22. New contra old wavefront measurement concepts for interferometric optical testing / R. Jozwicki et all. // Optical Engineering. 1992. V. 31, № 3. P. 422-433.

23. Борн M., Вольф Э. Основы оптики. M.: Наука, 1970. 856 с.

24. Нагибина И.М. Интерференция и дифракция света. Л.: Машиностроение, 1985.332 с.

25. Пуряев Д.Т., Лазарева Н.Л. Оптические системы двухлучевых интерферометров. М.: МГТУ, 2005. 35 с.

26. Абдулкадыров М.А. Автоматизированная система формообразования асферических крупногабаритных оптических деталей: Дис. . канд. техн. наук. МГТУ им. Н. Э. Баумана. 2008. 182 с.

27. Кучин А.А., Обрадович К.А. Оптические приборы для измерения шероховатости. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд ие, 1981. 197 с.

28. Beckmann P. and Spizzichino A. The Scattering of Electromagnetic Waves from Rough Surface. Norwood: Pergamon Press, ARTECH HOUSE, 1987. 497 P.

29. Новые технологические волноводные C02- лазеры киловаттного уровня мощности с высоким качеством излучения / В. О. Александров и др.

30. Оптический журнал. 2009. Т.76, № 5. С. 8 12.

31. Пахомов И.И., Рожков О.В., Рождествин В.Н. Оптико электронные квантовые приборы. М.: Радио и связь, 1982. 456 с.

32. Дунин Барковский И.В., Карташов А.Н. Измерение и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности. М: Машиностроение , 1978. 232 с.

33. ГОСТ 2789-73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. М.: ВНИИМС, 1975. 13 с.

34. Хусу А.П., Виттенберг Ю.Р, Пальмов В.А. Шероховатость поверхностей (теоретико вероятностный подход). М.: Наука, 1975. 344 с.

35. Вентцель Е.С. Теория вероятностей. М.: Наука, 1969. 576 с.

36. Корн Г., Корн Т. Справочник по математике. М.: Наука, 1974. 832 с.

37. Pedersen Н.М. Second order statistics of light diffracted from Gaussian, rough surfaces with applications to the roughness dependence of speckles // Optica Acta. 1975. V.22, №6. P. 523 - 535.

38. Goodman J.W. Some fundamental properties of speckle// J. Opt. Am. 1976. V.66, №11. P. 1145- 1150.

39. Ахманов C.A., Дьяков Ю.Е., Чиркин A.C. Введение в статистическую радиофизику и оптику. М.: Наука, 1981. 640 с.

40. Гудмен Дж. Статистическая оптика. М.: Мир, 1988. 528 с.

41. Басс Ф.Г., Фукс И.М. Рассеяние волн на статически неровной поверхности. М.: Наука, 1972. 424 с.

42. Рытов С.М. Введение в статистическую радиофизику. Случайные поля М.: Наука, 1966. Часть II. 404 с.

43. Шмелёв Б. Рассеяние волн статистически неровными поверхностями // УФН. 1972. Т. 106, №3. С. 459-480.

44. Тамойкин В.В., Фрайман А.А. О статистических свойствах поля рассеянного шероховатой поверхностью // Изв. ВУЗов. Радиофизика. 1968. Т.21, №1. С. 56-65.

45. Шостко С.Н., Травин Г.А. Особенности рассеяния когерентных оптических волн на кривой шероховатой поверхности // Оптика и спектроскопия.1967. Т.25, №7. С. 151-153.

46. Топорец А.С. Оптика шероховатой поверхности. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ие, 1988. 191 с.

47. Козел С.М., Локшин Г.Р. К вопросу о рассеянии волн на статистически неровной поверхности // Оптика и спектроскопия. 1971. Т.31, №3. С. 476 -481.

48. Рис У.Г. Основы дистанционного зондирования. М.: Техносфера, 2006. 346 с.

49. Исакович М.А. Рассеяние волн от статистически шероховатой поверхности // ЖЭТФ. 1952. Т. 23, № 3. С. 305 314.

50. Якушин И.Г. Флуктуации интенсивности поля плоской волны за хаотическим фазовым экраном // Изв. ВУЗов. Радиофизика. 1974. Т.27, № 9. С. 1350 1355.

51. О статистических свойствах флуктуаций интенсивности волны за хаотическим фазовым экраном / Я.И. Альбер и др. // Изв. ВУЗов. Радиофизика.1968. Т.11, № 9. С. 1371 1376.

52. Петрухин Е.А., Савранский С.А. Исследование индикатрис рассеяния лазерных зеркал // Оптика и спектроскопия. 1982. Т.53, № 6. С. 1071 1075.

53. Beckmann P. Scattering by Composite Rough Surfaces // Proceeding of IEEE. 1965. V. 53, № 17. P. 1012- 1015.

54. Beckmann P. Scattering by Non Gaussian Surfaces // Proceeding of IEEE. 1973. V.21,№2.P. 169- 175.

55. Бакут П.А., Мандросов В.И. Статистические и когерентные свойства рассеянных световых полей при различных геометрических параметрах шероховатых поверхностей // Квантовая электроника. 2006. Т.36, №3. С. 239 — 246.

56. Ахманов С.А., Никитин С.Ю. Физическая оптика. М.: Издательство Московского университета, 1998. 656 с.

57. Мосягин Г.М., Немтинов В.Б., Лебедев Е.Н. Теория оптико электронных систем. М.: Машиностроение, 1990. 432 с.

58. Goodman J.W. Speckle phenomena in optics: theory and applications. Colorado: Roberts and Company, 2006. 387 P.

59. Франсон M. Оптика спеклов. M.: МИР, 1980. 173 с.

60. Pedersen Н.М. Theory of speckle dependence on surface roughness // Journal of Optical Society of America. 1976. V. 66. P. 1204 1210.

61. Goodman J.W. Speckle with a fine number of steps // APPLIED OPTICS. 2008. V.47, № 10. P.A111 A118.

62. Магурин В.Г., Тарлыков B.A. Когерентная оптика. Учебное пособие по курсу «Когерентная и нелинейная оптика». Л.: СПбГУИТМО, 2006. 122 с.

63. Клименко И.С. Голография сфокусированных изображений и спекл интерферометрия. М.: Наука, 1985. 224 с.

64. Джоунс Р., Уайкс К. Голографическая и спекл — интерферометрия. М.: Мир, 1986. 328 с.

65. Бакут П.А., Мандросов И.Н., Матвеев И.Н. Теория когерентных изображений. М.: Изд во радио и связь, 1987. 264 с.

66. Денисов Д.Г., Карасик В.Е., Орлов В.М. Измерение параметров микронеровностей крупногабаритных шлифованных поверхностей оптических деталей при помощи лазерной интерферометрии // Метрология. 2009. №3. С. 15 — 24.

67. Неравноплечий ИК интерферометр Тваймана - Грина для контроля формы и качества поверхностей крупногабаритных оптических деталей на стадии шлифования / М.А. Абдулкадыров и др. // Оптический журнал. 2010. №10. С. 6-18.

68. Денисов Д.Г., Карасик В.Е. Экспериментальная оценка качества лазерного пучка // Измерительная техника. 2009. №3. С. 27 — 30.

69. Васильев В.Н. Гуров И.П. Компьютерная обработка сигналов в приложениях к интерферометрическим системам. Л.: БХВ, 1998. 240 с.

70. Takeda M., Ina H., Kobayashi S. Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry // Journal of Optical Society of America. 1982. V.3, № 72. P. 156-160.

71. Гуров И.П., Джабиев A.H. Интерферометрические системы дистанционного контроля объектов. JL: СПбГИТМО, 2000. 190 с.

72. Разработка методов и программных средств подавления шумов в интерферограммах на этапе их предварительной обработки Электронный ресурс. Режим доступа:http://www.computeroptics.smr.ru/KQ/PDF/K028/K028226.pdf Загл. с экрана. -Яз. рус.

73. Сойфер В.А. Методы компьютерной обработки изображения. М.: Физмат-лит, 2001. 784 с.

74. Malacara D., Servin М., Malacara Z. Interferogram analysis for optical testing. New York: Marcel Dekker Inc., 1998. 247 P.

75. Гонсалес P., Вудс P. Цифровая обработка изображений. M.: Техносфера, 2005. 1072 с.

76. Ллойд Дж. Системы тепловидения. М.: МИР, 1978. 416 с.

77. Восстановление линий экстремумов сложных картин интерференционных полос Электронный ресурс. Режим доступа: http://www.ict.edu.ru/ft/001784 //sbornik6444l.pdf Загл. с экрана. - Яз. рус.

78. Денисенко М.Ю. Сглаживание спекл структуры когерентных пятенных изображений // Оптический журнал. 1997. Т.64, №12. С. 60 - 63.

79. Справочник конструктора оптико — механических приборов / В.А. Панов и др. Л.: Машиностроение, Ленингр. отд ие, 1980. 742 с.

80. Вычислительная оптика: Справочник / М.М. Русинов и др. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ие, 1984. 423 с.

81. Заказнов Н.П. Прикладная геометрическая оптика. М.: Машиностроение, 1984. 184 с.

82. ОАО «Лыткаринский завод, оптического стекла»1. М.А. Абдулкадыров1. Члены комиссии:

83. Зам. главного оптика ОАО «Лыткаринский завод1. Ю.А. Шаровоптического стекла»1. Начальникконструкторско технологического.1. В. Е. Патрикеевбюро №3 НПК 95

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.