Разработка твердых износостойких наноструктурных покрытий в системах Ti-Si-N, Ti-B-N, Cr-B-N, Ti-Cr-B-N тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.06, кандидат технических наук Кирюханцев-Корнеев, Филипп Владимирович

• Кирюханцев-Корнеев, Филипп Владимирович
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Кирюханцев-Корнеев, Филипп Владимирович

Введение.

Глава 1 Аналитический обзор литературы.

1.1 Твёрдые износостойкие покрытия - основные направления развития.

1.2 Пути улучшения эксплуатационных свойств покрытий Т1М, за счёт легирования третьим и четвёртым компонентом.

1.3 Критерии оценки физико-механических и трибологических свойств покрытий.

1.4 Механизмы локализованной деформации наноструктурных покрытий.

1.5 Современные методы получения твёрдых износостойких покрытий на основе тугоплавких соединений переходных металлов.

1.6 Перспективы использования метода СВС для изготовления мишеней.

Глава 2 Методика эксперимента.

2.1 Силовое СВС-компактирование.

2.2 Магнетронное распыление композиционных СВС-мишеней.

2.3 Методы исследования структуры и состава покрытий.

2.4 Методы исследования физико-механических и трибологических свойств покрытий.

2.5 Методика исследования локализованной деформации многокомпонентных наноструктурных покрытий.

Глава 3 Закономерности формирования твёрдых наноструктурных покрытий в системе ТЬ-БьИ, осаждённых с использованием СВС-мишеней Т^гз+Т^М и Т15813+Т1.

3.1 Химический состав покрытий.

3.2 Параметрическое исследование. Закономерности формирования двухфазных состояний.

3.3 Морфология и топография поверхности покрытий.

3.4 Исследование взаимосвязи между химическим и фазовым составом покрытий и их физико-механическими свойствами.

3.5 Сравнительный анализ трибологических свойств покрытий в системе

И-БьЫ и покрытий "ПИ.

Глава 4 Основные закономерности влияния структуры на физико-механические и трибологические свойства покрытий И-В-И, Сг-В-Ы, Тл-О-В-И.

4.1 Влияние технологических параметров процесса магнетронного распыления на фазовый состав.

4.2 Влияние легирования хромом на рельеф поверхности и размер зерна кристаллической фазы покрытий ТЬВ-Ы.

4.3 Физико-механические свойства и адгезионная прочность покрытий.

• • Сверхтвёрдые материалы в системе ТьСг-В-К.

4.4 Сравнительный анализ трибологических свойств покрытий в системах

ТьВ-Ы, Сг-В-Ы, ТьСг-В-М. Влияние химического состава на поведение покрытий в условиях трения.

Глава 5 Локализованная деформация многокомпонентных наноструктурных покрытий.

5.1 Особенности структуры и морфология многокомпонентных наноструктурных покрытий.

5.2 Механизмы локализованной деформации.

5.3 Особенности физико-механических свойств наноструктурных покрытий.

Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка твердых износостойких наноструктурных покрытий в системах Ti-Si-N, Ti-B-N, Cr-B-N, Ti-Cr-B-N»

Покрытия из нитрида титана (ТОМ), которые широко используются в качестве защитных покрытий на поверхности металлообрабатывающего инструмента, не могут удовлетворить жёстким требованиям, предъявляемым к физическим, химическим и механическим свойствам многофункциональных тонкоплёночных материалов. Введение в состав дополнительных элементов позволяет модифицировать его структуру и, как следствие, способствует повышению механических и трибологических свойств покрытий. Кроме того, научно-обоснованное легирование ТПЧ позволяет повысить термическую стабильность, жаростойкость и коррозионную стойкость, что особенно важно для инструмента, работающего в экстремальных условиях. Анализ литературных данных показал, что кремний, бор и хром являются одними из наиболее перспективных легирующих элементов. Введение в состав ТШ кремния или бора приводит к значительному уменьшение размера зерна. кристаллической фазы и формированию наноструктур, обладающих комплексом уникальных характеристик. Большое внимание к наноструктурным покрытиям в системах ТьБ^Ы и ТьВ-Ы вызвано в первую очередь возможностью получения высокой твёрдости, износостойкости, термической стабильности и стойкости к окислению при повышенных температурах. Покрытия ТьВ-И имеют также высокую устойчивость к ударным воздействиям. Хром, как легирующий элемент, представляет интерес благодаря своей способности увеличивать износостойкость нитрида титана, в том числе при повышенных температурах, а также увеличивать его стойкость к высокотемпературному окислению.

Помимо поиска перспективных составов покрытий также большое внимание уделяется разработкам новых методов нанесения функциональных покрытий. Одним из наиболее перспективных методов нанесения покрытий является магнетронное распыление. Этот метод за счёт изменения технологических параметров: температуры подложки, напряжения смещения и парциального давления реакционного газа, позволяет достаточно легко управлять составом и структурой покрытий. В последние годы возможности метода магнетронного распыления существенно расширились за счёт применения нового класса композиционных мишеней, получаемых методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС). СВС-компактирование даёт широкий спектр различных мишеней на; основе керамики; металлокерамики и интерметаллидов. Для успешного применения технологии магнетронного распыления, необходимы разработка новых перспективных составов композиционных СВС-мишеней, а также установление взаимосвязи между параметрами осаждения, структурой и свойствами покрытий.

Анализ структуры наноматериалов является довольно сложной задачей, так как существует большое число факторов, затрудняющих проведение структурных исследований: малый размер кристаллических частиц, наличие текстуры, присутствие аморфной фазы, наличие нескольких нанокристаллических фаз и т.д. Для преодоления этих проблем в данной работе был применён комплексный подход с использованием методов рентгенофазового анализа, просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии, оже-электронной и фотоэлектронной спектроскопии, сканирующей силовой микроскопии.

Многокомпонентные наноструктурные покрытия обладают сочетанием уникальных свойств, присущих наномасштабу. Для определения и количественного измерения этих свойств необходимо использовать самое современное оборудование, предназначенное для анализа наноструктурных тонкоплёночных материалов. В настоящей работе с помощью комплексных методов оценки свойств материалов — наноиндентирования, скратч-тестирования, трибологических испытаниий, были определены такие свойства < покрытий, как твёрдость, модуль упругость, упругое восстановление, адгезия, коэффициент трения и износостойкость. Особое внимание в работе было уделено изучению механизма деформации многокомпонентных наноструктурных покрытий. Известно, что их деформация может носить как гомогенный, так и негомогенный характер с образованием полос сдвига, однако исчерпывающее объяснение этому явлению отсутствует. Не разработаны чёткие критерии оценки поведения наноструктурных покрытий при деформации.

В рамках вышеперечисленных проблем данная работа по изучению износостойких многокомпонентных покрытий с использованием новейших методов исследования представляется весьма актуальной.

Работа выполнена в Научно-учебном центре СВС МИСиС - ИСМАН в соответствии с тематическими планами НИР 2001 - 2004 г.г., в т.ч.:

- программа «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники». Проекты: «Разработка ионно-плазменных технологий нанесения сверхтвёрдых наноструктурных покрытий с использованием композитных СВС-катодов», «Разработка передовых технологий нанесения сверхтвёрдых многофункциональных покрытий методами ЭИЛ, ТРЭУ и магнетронного напыления с использованием композитных и функционально-градиентных СВС-мишеней и электродов»;

- особо важные народнохозяйственные программы и проекты Минпромнауки. Тема «Разработка и применение ионно-плазменных технологий нанесения сверхтвёрдых износостойких наноструктурных покрытий»

- проект №1852 Международного научно-технического центра «Новые композиционные многофункциональные покрытия, полученные с использованием СВС-электродных материалов»

Целью работы является: 1. Разработка твёрдых наноструктурных покрытий в системах ТьБ^Ы, Т1-В-1Ч, Сг-В-1Ч, Ть Сг-В-Ы с высоким уровнем физико-механических и трибологических характеристик.

2. Проведение параметрических исследований с целью установления взаимосвязи между технологическими параметрами процесса магнетронного распыления композиционных СВС-мишеней, структурой покрытий и их физико-механическими и трибологическими свойствами. Для этого был выполнен комплексный анализ структуры покрытий, включающий определение химического и фазового состава, размера зёрен, текстуры, морфологии, топографии поверхности и шероховатости, а также детальное изучение характеристик покрытий, включающее определение твёрдости, модуля упругости, упругого восстановления, адгезии, коэффициента трения, износостойкости.

3. Изучение механизмов локализованной деформации многокомпонентных, наноструктурных покрытий. Установление связи между структурой, физико-механическими свойствами и механизмами деформации.

Научная новизна работы заключается в следующем:

1. Разработаны научные основы технологии нанесения твёрдых износостойких покрытий в системах "П-БнЫ, ТьВ-Ы, Сг-В-Ы и Л-Сг-В-Ы путём магнетронного распыления композиционных СВС-мишеней. Установлена взаимосвязь между параметрами осаждения и структурой покрытий. Показано, что технологические параметры процесса, напряжение смещения и парциальное давление азота, оказывают существенное влияние на размер частиц кристаллической фазы и объёмную долю аморфной фазы в покрытиях. Установлены закономерности влияния легирующих компонентов, кремния, бора и хрома, на структуру и свойства покрытий.

2. Выполнен сравнительный анализ структуры и свойств покрытий ТьБьМ, полученных магнетронным распылением композиционных мишеней '[^¡з+ТО*! и Т1581з+Т1 в среде Аг и газовой смеси АгЯЧг. Показано, что структура и свойства покрытий принципиально не зависят от метода введения азота в состав покрытий. Определены оптимальные режимы нанесения покрытий, обеспечивающие высокий комплекс физико-механических свойств. Показано, что максимальный уровень твёрдости достигается при концентрации кремния 5 ат. %.

3. Выполнен сравнительный; анализ структуры, физических, механических и трибологических характеристик покрытий в системах ТьВ-1Ч, "П-Сг-В-М. Показано, что оптимальными, с точки зрения механических и трибологических свойств являются наноструктурные композиции ИЖ-ТШг, ТШ+'ПВг+ВМ и ТПМ^х+СгВг, в которых одна или несколько структурных составляющих находится в аморфном состоянии.

4. Выполнен сравнительный анализ механизмов локализованной деформации покрытий "П-В-14, ТьСг-В-1Ч, ТьБьМ и Сг-В при индентировании. Показано, что для прогнозирования склонности материала к образованию полос сдвига при деформации может использоваться параметр Н3/Е2, описывающий сопротивление материала; пластической деформации. Установлено, что гомогенная и негомогенная деформация с образованием полос сдвига осуществляются путем скольжения столбчатых элементов структуры параллельно приложенной нагрузке.

5. Получен новый класс твёрдых тонкоплёночных материалов, обладающих различным сочетанием упругих и пластических характеристик. Практическая ценность работы состоит в том, что:

1. Получены покрытия, обладающие высокой твёрдостью 30-45 ГОа, хорошей адгезией к подложке (критическая нагрузка до 50 Н), низким коэффициентом трения в диапазоне 0,4-0,6 и скоростью износа (3,4-14,2)* 10"7 мм^'м"1), превосходящие по своей износостойкости в 2-7 раз покрытия ТО^.

2. Выработаны практические рекомендации и разработаны технологические схемы нанесения многокомпонентных наноструктурных покрытий трибологического

•е назначения на различный г металлообрабатывающий инструмент. Результаты промышленных испытаний покрытий на свёрлах показали, что покрытия в системе Ть Сг-В-К по износостойкости превосходят покрытия нитрида титана в 7 раз и обеспечивают увеличение производительности процесса резания в 3 раза, за счёт уменьшения времени сверления.

3. Разработана технологическая инструкция на процесс ионно-плазменного осаждения сверхтвердых многокомпонентных наноструктурных покрытий на металлические и неметаллические подложки. Зарегистрировано «ноу-хау» на технологические режимы ионно-плазменного осаждения сверхтвердых наноструктурных многокомпонентных покрытий.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Научные принципы и различные технологические схемы получения твёрдых износостойких наноструктурных покрытий в системах ТьБьМ, "П-В-И, Сг-В-Ы и ТьСг-В-Ы путём магнетронного распыления композиционных СВС-мишеней. Оптимизация процесса осаждения покрытий заданного состава.

2. Закономерности влияния легирования кремнием, бором и хромом на структуру, физикомеханические и трибологические свойства покрытий.

3. Сравнительный анализ механизмов локализованной деформации многокомпонентных наноструктурных покрытий при индентировании. Научно-обоснованный подход к прогнозированию механизма деформации.

Заключение диссертации по теме «Порошковая металлургия и композиционные материалы», Кирюханцев-Корнеев, Филипп Владимирович

Выводы

1. Разработаны научные и технологические основы процесса получения твёрдых износостойких наностуктурных покрытий ТьВ-К, Сг-В-Ы, "П-О-В-И путём магнетронного распыленияг композиционных СВС-мишеней. Установлены закономерности влияния параметров осаждения на структуру и свойства покрытий. Обнаружено, что оптимальный комплекс свойств покрытий достигается при температуре подложки 200-250°С и напряжении смещения -250 В. Показано, что технологические параметры процесса, напряжение смещения и парциальное давление азота, оказывают существенное влияние на размер частиц кристаллической фазы и объёмную долю аморфной фазы в покрытиях. Установлены закономерности V формирования структуры и повышения эксплуатационных свойств покрытий ТПЧ при легировании кремнием, бором и хромом. Научно-обоснованный подход к выбору составов покрытий позволил получить сверхтвёрдые тонкоплёночные материалы с различным сочетанием упругих и пластических характеристик.

2. Выполнен сравнительный анализ структуры и свойств покрытий "П-ЗьИ, полученных магнетронным распылением композиционных мишеней "П^з+ТО^ и "П581з+'П в среде V Аг и газовой смеси Аг+Ыг. Показано, что структура и свойства покрытий принципиально не зависят от метода введения азота в состав покрытий. Установлены оптимальные режимы нанесения покрытий для каждой мишени. Максимальные значения твердости были достигнуты при содержании кремния в покрытии на уровне 5 ат. %. Нанесённые по оптимальным режимам покрытия, имели твёрдость 30-35 ГПа, ^ модуль упругости 220-250 ГПа, упругое восстановление 67-73 %, коэффициент трения 0,52-0,62 и скорость износа (1,32-1,42)*10"6 мм^'м"1, что в 2 раза ниже, чем у покрытий ТОЧ.

Выполнен сравнительный анализ структуры, физических, механических и трибологических характеристик покрытий ТьВ-Ы", Сг-В-Ы и ТьСг-В-1Ч. Показано, что оптимальными, с точки зрения механических и трибологических свойств являются У наноструктурные композиции ПК+ТШг, Т1К+Т1В2+ВК и П^.х+СгВг, в которых одна или несколько структурных составляющих находится в аморфном состоянии. Показано, что легирование хромом приводит к изменению характера износа покрытий Тл-В-К Плёнки П-В-Ы" и ТьСг-В-Ы", осаждённые по оптимальным режимам имели адгезию до 50 Н, твёрдость 31-47 ГПа, упругое восстановление 59-70 %, коэффициент

7 3 11 трения 0,45-0,60, скорость износа (3,4-6,8) *10" мм 1Г м" . По своей износостойкости покрытия Т1-В-Ы и Т1-Сг-В-Ы превосходили покрытия ТЙЧ и ТЮК в 1,5-7 раз.

Выполнен сравнительный анализ механизмов локализованной деформации * наноструктурных покрытий Л-В-Ы, ТьСг-В-М, ТьБиИ и Сг-В при индентировании. Показано, что локализованная деформация этих покрытий может протекать как гомогенно, так и негомогенно с образованием полос сдвига. Для прогнозирования склонности материала к образованию полос сдвига при деформации может использоваться параметр Н3/Е2, описывающий сопротивление материала пластической деформации. Оба механизма* деформации осуществляются путём скольжения V столбчатых элементов структуры (отдельных зёрен или мультизёренных объёмов материала) параллельно приложенной нагрузке. В случае слабой химической связи отдельные столбчатые элементы структуры могут выталкиваться наружу в результате релаксации упругих напряжений при снятии нагрузки.

Разработана технологическая инструкция ТИ 19-11301236-2003 «Процесс ионно- ^ плазменного осаждения сверхтвёрдых многокомпонентных наноструктурных покрытий на металлические и неметаллические подложки» и зарегистрировано «ноу-хау» № 9-164-2003 «Технологические режимы ионно-плазменного осаждения сверхтвёрдых наноструктурных многокомпонентных покрытий». Покрытия П-Сг-В-М были апробированы на Ремонтном предприятии ОАО «Азот» на свёрлах из быстрорежущей стали и показали превосходную по сравнению с промышленно используемым покрытием нитрида титана износостойкость и производительность: износостойкость возросла в 7 раз, производительность повысилась в 3 раза. -г- -ч

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Кирюханцев-Корнеев, Филипп Владимирович, 2004 год

1. Podgornik В., Vizintin J., Wanstrand О. e. a. Tribological properties of plasma nitrided and hard coated AISI4140 steel // Wear. 2001. - V. 249. - P. 254-259

2. Волосова M.A. Повышение стойкости быстрорежущего инструмента за счёт вакуумно-плазменной поверхностной обработки. Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук. — М.: Изд. центр МГТУ «Станкин», 2003.

3. Bergmann Е., Kaufmann Н., Schmid R. е. a. Ion-plated titanium carbonitride films // Surf. Coat. Technol. 1990. - V. 42. -№ 3. - P. 237-251.

4. Кипарисов C.C., Левинский Ю.В., Петров А.П. Карбид титана: получение свойства, применение. — М.: Металлургия, 1987.

5. Царьков С.М. Износостойкие покрытия на твёрдых сплавах // Материаловедение. -1997.-№8-9.-С. 53-54.

6. Chen Y.-H., Lee K.W., Chiou W.-A. e. a. Synthesis and structure of smooth, superhard TiN/SiNx multilayer coatings with an equiaxed microstructure // Surf. Coat. Techn. 2001. -V. 146-147.-P. 209-214.

7. Chen Y.-H., Polonsky I. A., Chung Y.-W. e. a. Tribological properties and rolling-contact-fatigue lives of TiN/SiNx multilayer coatings // Surf. Coat. Techn. 2002. - V. 154. - P. 152-161.

8. Chen Y.-H., Guruz M., Chung Y.-W. e. a. Thermal stability of hard TiN/SiNx multilayer coatings with an equiaxed microstructure // Surf. Coat. Techn. 2002. - V. 154. - P. 162166.

9. Junhua X., Geyang L., Mingyuan G. The microstructure and mechanical properties of TaN/TiN and TaWNЯiN superlattice films // Thin Solid Films. 2000. - V. 370. - P. 4549.

10. Thomas G.J., Siegel R.W., Eastman J. A. Grain boundaries in nanophase palladium: High resolution electron microscopy and image simulation // Scripta met. mater. 1990. -V. 24.-P. 201-206.

11. Shtansky D.V., Tsuda O., Ikuhara Y. e. a. Crystallography and Structural Evolution of Cubic Boron Nitride Films During Bias Sputter Deposition // Acta mater. 2000. - V. 48. -P. 3745-3759.

12. Штанский Д.В., Левашов E.A., Шевейко A.H. и др. Состав, структура и свойства Ti-Al-B-N-покрытий, полученных вакуумным реактивным распылением СВС-мишеней //Цветные Металлы. 2000. - Т.4. - С. 116-120.

13. Морохов И.Д., Трусов Л.Д., Лаповок В.И. Физические явления в ультрадисперсных ')» средах. М.: Наука, 1984.

14. Gleiter Н. Materials with ultrafine microstructures: Retrospectives and perspectives H Nanostruct Mater. 1992. - V. 1. - № 1. - P. 1-19.

15. Siegel R.W. What do we really know about the atomic-scale structures of nanophase materials? // Journal of Physics and Chemistry of Solids. 1994. - V. 55. - № 10. - P. 1097.

16. Валиев P.3., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. — М.: Логос, 2000.

17. Lijima S. Helical Microtubules of Graphitic Carbon // Nature. 1991. - V. 354.

18. Андриевский Р. А. Наноматериалы: концепция и современные проблемы // Рос. Хим. Ж. 2002. - Т. XLVI. - № 5. - С. 50-56.

19. Veprec S.J. The search for novel, superhard materials // Vac. Sci. Technol. 1999. -V. 5.-P. 2401-2418.

20. Veprek S., Argon A.S. Towards the understanding of the mechanical properties of super-and ultrahard nanocomposites // J. Vac. Sci. Technol. B. 2002. - V. 20. - № 2. - P. 650664.

21. Veprek S., Nesladek P., Niederhofer A. e. a. Recent progress in the superhard nanocrystalline composites: towards their industrialization and understanding of the origin of the superhardness // Surf. Coat. Techn. 1998. - V. 108-109. - P. 138-143.

22. Andrievski R.A., Kalinnikov G.V. Physical-mechanical and physical-chemical properties of thin nanostructured boride/nitride films // Surf. Coat. Techn. 2001. - V. 142-144. - P. 573-578.

23. Musil J., Kunc F., Zeman H. e. a. Relationships between hardness, Young's modulus and elastic recovery in hard nanocomposite coatings// Surf Coat. Technol. 2002. - V. 154. -P. 304-313.

24. Третьяков В.И. Основы металловедения и технологии производства спечённых твёрдых сплавов. — М.: «Металлургия», 1976.

25. Karlsson L., Hultman L., Johansson M.P. e. a. Growth, microstructure, and mechanical properties of arc evaporated TiCxNi-x (0<x<l) films // Surf. Coat. Techn. 2000. - V. 126.-P. 1-14.

26. Vancoille E., Celis J.P., Roos J.R. Tribological and structural characterization of a physical vapour deposited TiC/Ti(C,N)/TiN multilayer // Tribology Int. 1993. - V. 26. - № 2.

27. Mitterer C., Holler F., Reitberger D. e. a. Industrial applications of PACVD hard coatings // Surf. Coat. Techn. 2003. - V. 163-164. - P. 716-722.

28. Shew B.-Y., Huang J.-L., Lii D.-F. Effects of r.f. bias and nitrogen flow rates on the reactive sputtering of TiAIN films // Thin Solid Films. 1997. - V. 293. - P. 212-219.

29. Musil J., Hruby H. Superhard nanocomposite Tii-XA1XN films prepared by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2000. - V. 365. - P. 104-109.

30. Jallad K.N.,Ben-Amotz D. Raman chemical imaging of tribological nitride coated (TiN, TiAIN) surfaces // Wear. 2002. -V. 252. - P. 956-969.

31. Kim C.W., Kim H.K. Anti-oxidation properties of TiAIN film prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition and roles of A1 // Thin Solid Films. 1997. - V. 307. - P. 113119.

32. Souto R.M., Alanyali H. Electrochemical characteristics of steel coated with TiN and TiAIN coatings // Corrosion Science. 2000. - V. 42. - P. 2201-2211.

33. Polonsky I.A., Chang T.P., Keer L.M. e. a. An analysis of the effect of hard coatings on near-surface rolling contact fatigue initiation induced by surface roughness // Wear.1997.-V. 208.-P. 204-219.

34. Diserens M., Patscheider J., Levy F. Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surf. Coat. Technol. 1998. - V. 108-109. - P. 241-246.

35. Hu X., Han Z., Li G. e. a. Microstructure and properties of Ti-Si-N nanocomposite films // J. Vac. Sci. Technol. A. 2002. - V. 20. - № 6. - P. 1921-1926.

36. Watanable H., Sato Y., Nie C. e. a. The mechanical properties and microstructure of Ti-Si-N nanocomposite films by ion plating // Surf. Coat. Technol. 2003. - V. 169-170. - P. 452-455.

37. Veprek S., Haussmann M., Reiprich S. e. a. Novel thermodynamically stable and oxidation resistant superhard coating materials// Surf. Coat. Techn. 1996. - V. 86-87. - P. 394401.

38. Blank V., Popov M., Lvova N. e. a. Nano-sclerometry measurements of superhard materials and diamond hardness using scanning force microscope with the ultrahard fullerite C60 tip // J. Mater. Res. 1997. - V. 12. - № 11. - P. 3109-3114.

39. Vaz F., Rebouta L., Ramos S. e. a. Physical, structural and mechanical characterization of Tii-xSixNy films // Surf. Coat. Techn. 1998. - V. 108-109. - P. 236-240.

40. Martin P.J., Bendavid A. Properties of Tii-xSixNy films deposited by concurrent cathodic arc evaporation and magnetron sputtering // Surf. Coat. Techn. 2003. - V. 163-164. - P. 245-250.

41. Kuo D.H., Liao W.C. Ti-N, Ti-C-N, Ti-Si-N coatings obtained by APCVD at 650-800 °C // Applied Surface Science. 2002. - V. 199. - P. 278-286.

42. Veprek S., Reiprich S., Shizhi L. Superhard Nanocrystalline Composit Materials: The c-TiN/a-Si3N4 System // Appl. Phys. Lett. 1995. - V. 66. - № 20.

43. Sun X., Reid J.S., Kolawa E. e. a. Reactively sputtered Ti-Si-N films I. Physical properties //J. Appl. Phys. 1997,-V. 81,-№2. - P. 656-663.

44. Tsuji Y., Gasser S.M., Kolawa E. e. a. Texture of copper films on Ta35SiigN47 and Ti33Si23N44 underlayers // Thin Solid Films. 1999. - V. 350. - P. 1-4.

45. Patscheider J., Zehnder T., Diserens M. Structure-performance relations in nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2001. - V. 146-147. - P. 201-208.

46. Niederhofer A., Bolom T., Nesladek P. e. a. The role of percolation threshold for the control of the hardness and thermal stability of super- and ultrahard nanocomposites // Surf. Coat. Techn. -2001. V. 146-147.-P. 183-188.

47. Brizoual L.L., Guilet S., Lemperiere G. e. a. Analysis of Ti-Si-N diffusion barrier films obtained by r.f. magnetron sputtering // Microelectronic Engineering. 2000. — V. 50. - P. 509-513.

48. Blanquet E., Dutron A.M., Ghetta V. e. a. Evaluation of LPCVD Me-Si-N (Me=Ta, Ti, W, Re) diffusion barriers for Cu metallizations// Microelectronic Engineering. 1997. — V. 37/38.-P. 189-195.

49. Shimada S., Tsukurimichi K. Preparation of SiNx and composite SiNx-TiN films from alkoxide solutions by liquid injection plasma CVD // Thin solid films. 2002. — V. 419. -P. 54-59.

50. Kurooka S., Ikeda T., Kohama K. e. a. Formation and characterization of BN films with Ti added // Surf. Coat. Techn. 2003. - V. 166. - P. 111-116.

51. Stoiber M., Mitterer C., Schoeberi T. e. a. Nanocomposite coatings within the system Ti-B-N deposited by plasma assisted chemical vapor deposition // J. Vac. Sci. Technol. B. -2003.-V. 21.-№3,-P. 1084-1091.

52. Losbichler P., Mitterer C., Gibson P. e. a. Co-sputtered films within the quasi-binary system TiN-TiB2 // Surf. Coat. Techn. 1997. - V. 94-95. - P. 297-302.

53. Karvankova P., Veprek-Heijman M.G.J., Zindulka O. e. a. Superhard nc-TiN/a-BN and nc-TiN/a-TiBx/a-BN coatings prepared by plasma CVD and PVD: a comparative study of their properties // Surf. Coat. Techn. 2003. - V. 163-164. - P. 149-156.

54. Штанский Д.В., Левашов E.A., Хавский H.H., Мур Дж.Дж. Перспективы создания композитных износостойких плёнок, получаемых с использованием СВС-катодов. // Изв. вузов. Цветная металлургия. 1996. - № 1. - с. 59-68.

55. Andrievski R.A. Review. Films of interstitial phases: synthesis and properties // Journal of materials science. 1997. - V. 32 - P. 4463-4484.

56. Heau C., Terrat J.P. Ultrahard Ti-B-N coatings obtained by reactive magnetron sputtering ofaTi-B target//Surf. Coat. Techn. 1998. -V. 108-109. - P. 332-339.

57. Андриевский P.А., Калинников Г.В., Облезов E.A. и др. Эволюция наноструктурных ансамблей в боридонитридных пленках // Докл. АН. 2002. - Т. 384. - № 1. — С. 3638

58. Rebholz С., Ziegele Н., Leyland А. е. a. Structure, mechanical and tribological properties of Ti-B-N and Ti-Al-B-N multiphase thin films produced by electron-beam evaporation // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. - V. 16. - № 5. p. 2851-2857.

59. Tamura M., Kubo H. Ti-B-N coatings deposited by magnetron arc evaporation // Surf, Coat. Techn. 1992. -V. 54-55. - P. 255-260,

60. Pierson J.F., Chapusot V., Billard A. e. a. Characterisation of reactively sputtered Ti-B-N and Ti-B-0 coatings // Surf. Coat. Techn. 2002. - V. 151-152. - P. 526-530.

61. Pierson J.F7, Tomasella E., Bauer P. Reactively sputtered Ti-B-N nanocomposite films: correlation between structure and optical properties // Thin Solid Films. 2002. - V. 408. -P. 26-32.

62. Shtansky D.V., Levashov E.A., Sheveiko A.N. e. a. Comparative Investigation of Different Multicomponent Films Deposited Using SHS-Composite Targets // International Journal of SHS. 1998. - V. 7. - № 2. - P. 249-262.

63. Новые материалы / B.H. Анциферов, Ф.Ф. Бездудный, JI.H. Белянчиков и др. М: «МИСИС», 2002.

64. Hsieh J.H., Zhang W.H., Li С. е. a. Characterization of (Tix Cr0.6-x)No.4 coatings and their tribological behaviors against an epoxy molding compound // Surf. Coat. Techn. 2001. -V. 146-147.-P. 331-337.

65. Lee K.H., Park C.H., Yoon Y.S. e. a. Structure and properties of (Tii.xCrx)N coatings produced by the ion-plating method // Thin Solid Films. 2001. - V. 385. - P. 167-173.

66. Nainaparampil J.J., Zabinski J.S., Korenyi-Both A. Formation and characterization of multiphase film properties of (Ti-Cr)N formed by cathodic arc deposition // Thin Solid Films. 1998. - V. 333. - P. 88-94.

67. Su Y.L., Yao S.H., Wu C.T. e. a. Comparison of tribological behavior of three films—TiN, TiCN and CrN—grown by physical vapor deposition // Wear. 1997. - V. 213. - P. 165174.

68. Zeng X.T., Zhang S., Sun C.Q. e. a. Nanometric-layered CrN/TiN thin films: mechanical strength and thermal stability // Thin Solid Films. 2003. - V. 424. -P. 99-102.

69. Tii.xCrx)N // J. Mater. Sci. Lett. 2002. - V. 21. - P. 423-425.

70. Ibrahim M.A.M., Korablov S.F., Yoshimura M. Corrosion of stainless steel coated with TiN, (TiAl)N and CrN in aqueous environments // Corrosion Science. 2002. - V. 44. - P. 815-828.

71. Wang H.W., Stack M.M. The slurry erosive wear of physically vapour deposited TiN and CrN coatings under controlled corrosion // Tribology Letters. 1999. -V. 6. - № 1. - P. 23-36

72. Dahm K.L., Jordan L.R., Haasee J. e. a. Magnetron sputter deposition of chromium diboride coatings// Surf. Coat. Techn. 1998. - V. 108-109. -P. 413-418.

73. Zhou M., Makino Y., Nogi K. e. a. New Cr-B hard coatings by r.f.-plasma assistedmagnetron sputtering method // Thin Solid Films. 1999. - V. 343-344. - P. 234-237.

74. Штанский Д.В., Левашов Е.А., Шевейко А.Н. и др. Состав, структура и свойства Ti-Si-C-N-покрытий, осаждённых при распылении СВС-мишеней // Изв. Вузов. Цветная металлургия. 1999. - №3. - С. 49-57.

75. Shtansky D.V., Levashov Е.А., Sheveiko A.N. e, a. Synthesis and Characterization of Ti4*

76. Si-C-N Films // Metallurgical and materials transactions A. 1999. - V. 30A. - № 9. - P. 2439-2447

77. Штанский Д.В., Левашов E.A., Шевейко A.H. и др. Оптимизация параметров вакуумного реакционного осаждения сверхтвёрдых Ti-Si-B-N-покрытий // Изв. Вузов. Цветная металлургия. 1999. -№1 - С. 67-72.

78. Zhong D., Sutter Е., Moore J.J. e. a. Mechanical properties of Ti-B-C-N coatings deposited by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2001. - V. 398-399. - P. 320-325.

79. Zhong D., Moore J.J., Mishra B.M. e. a. Composition and oxidation resistance of Ti-B-C and Ti-B-C-N coatings deposited by magnetron sputtering // Surf. Coat. Techn. 2003. -V. 163-164. -P. 50-56.

80. Lahres M., Doerfel O.Z. Applicability of different hard coatings in dry machining metallic alloys//Z. Metallkd. 1999. -V. 90. - P. 814-819.

81. Головин Ю.И., Иволгин В.И., Коренков B.B. и др. Определение комплекса механических свойств материалов в нанообъёмах методами наноиндентирования // Конденсированные среды и межфазные границы. 2001. — Т. 3. - № 2. - С.122-135.

82. Blank V., Popov M., Pivovarov G. e. a. Mechanical properties of different types ofdiamond // Diamond and Related Materials. 1999. - V. 8. - P. 1531-1535.

83. Крагельский И.В. Фрикционное взаимодействие твёрдых тел // Трение и износ. -1980.-Т. 1. -№ 1. С. 7-29.

84. Tonn W. Beitrag zur Kenntis des Verschleibvorganges beim Kurzversuch // Ztsch. F. Metellkunde. 1937. - Bd. 29. - № 6. - S.196-198.

85. Holm R. Electrical Contacts. Stockholm. H. Gerbers, 1946.

86. Крагельский И.В., Добычин M.H., Комбалов B.C. Основы расчёта на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977.

87. Leyland A., Matthews A. On the significance of the H/E ratio in wear control: a nanocomposite coating approach to optimised tribological behaviour // Wear. 2000. - V. 246,-P. 1-11.

88. Горячева И.Г., Солдатенков И.А. Теоретическое исследование приработки и установившегося режима изнашивания твёрдых смазочных покрытий // Трение и износ. 1983. - Т. 4. - № 3. - С. 420-431.

89. Johnson K.L. Contact Mechanics. Cambridge: Cambridge University Press, 1985.

90. Musil J., Zeman H., Kunk F. e. a. Measurement of hardness of superhard films by microindentation // Materials Science and Engineering A. 2003. - V. 340. - P. 281-285.

91. Masil J. Hard and superhard nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2000. - V. 125. - P.322-330,

92. Андриевский P. А., Калинников Г.В., Штанский Д.В. Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных боридонитридных пленок// Физика твёрдого тела. 2000. - т. 42. - С. 741-746.

93. Veprec S., Reiprich S. A concept for the design of novel superhard coatings // Thin Solid Films. 1995. -V. 268. - P. 64-71.

94. Andrievski R.A The state-of-the-art of nanostructured high melting point compound-based materials // Nanostructured Materials: Science&Technology. Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, 1998. - P. 263-282

95. Andrievski R.A., Kalinnikov G.V., Jauberteau J. e. a. Some peculiarities of fracture of nanocrystalline nitride and boride films // Journal of Materials Science. 2000. — V. 35. -P. 2799-2806.

96. Мовчан В.А., Демчишин A.B. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окиси алюминия и двуокиси циркония // Физика металлов и металловедение. 1969. - Т. 28. - № 4. - С. 653-660.

97. Thornton J. A. Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings // J. Vac. Sci. Technol. 1974. - V. 11. - № 4 -P. 666-670.

98. Gilmer G.H., Huang H., Roland C. Thin film deposition: fundamentals and modeling // Computational Materials Science. 1998. - № 12. - P. 354-380.

99. Mayrhofer P.H., Kunc F., Musil J. e. a. A comparative study on reactive and non-reactive unbalanced magnetron sputter deposition of TiN coatings // Thin Solid Films. 2002. — V. 415.-P. 151-159.

100. Vaz F., Machado P., Rebouta L. e. a. Physical and morphological characterization of reactively magnetron sputtered TiN films // Thin Solid Films. 2002. - V. 420-421. - P. 421-428.

101. Андриевский P.А. Синтез и свойства плёнок фаз внедрения // Успехи химии. -1997,- Т. 66. -№1.-С. 57-77.

102. Manaila R., Biro D., Barna P.B. e. a. Ti nitride phases in thin films deposited by DC magnetron sputtering // Applied Surface Science. 1995. - V. 91. - P. 295-302.

103. Choy K.L. Chemical vapour deposition of coatings // Progress in Materials Science. -2003.-V. 48.-P. 57-170.

104. Schintlmeister W., Packer O., Raine T. Wear characteristics of hard material coatings produced by chemical vapour deposition with particular reference to machining // Wear. -1978.-V. 48.-P. 251-266.

105. Schintlmeister W., Wallgram W., Kanz J. e. a. Cutting tool materials coated by chemical vapour deposition // Wear. 1984. - V. 100. - P. 153-169.

106. Csorbai H., Kovats A., Katai S. e. a. In situ diagnosis of chemical species for the growth of carbon nanotubes in microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition // Diamond and Related Materials. 2002. - V. 11. - P. 519-522.

107. Wang W.L., Liao K.J., Wang S.X. e. a. Microstructure and semiconducting properties of cBN films using r.f. plasma CVD thermally assisted by a tungsten filament // Thin Solid Films. 2000. - V. 368. - P. 283-286.

108. Kuhr M., Reinke SKulisch W. Nucleation of cubic boron nitride (c-BN) with ion-induced plasma-enhanced CVD //Diamond and Related Materials. 1995. - V. 4. - P. 375-380.

109. Lee E.-A., Kim K.H. Deposition and mechanical properties of Ti-Si-N coated layer on WC-Co by RF inductively coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition// Thin solid films. 2002. - V. 420. - P. 371-376.

110. Veprek S., Jilek M. Super- and ultrahard nanacomposite coatings: generic concept for their preparation, properties and industrial applications // Vacuum. 2002. - V. 67. - P. 443449.

111. Rebholz C., Leyland A., Matthews A. Deposition and characterisation of TiAlBN coatings produced by direct electron-beam evaporation of Ti and Ti-Al-B-N material from a twin crucible source // Thin Solid Films. 1999. - V. 343-344. - P. 242-245.

112. Bunshah R.F., Nimmagadda R, Dunford W. e. a. Structure and properties of refractory compounds deposited by electron beam evaporation // Thin Solid Films. 1978. - V. 54. -P. 85-106.

113. Suda Y., Nakazono T., Ebihara K. e. a. Effects of r.f. bias on cubic BN film synthesis by pulsed Nd:YAG laser deposition // Thin Solid Films. 1996. -V. 281-282. - P. 324-326.

114. Riviere J.R. Formation of hard coatings for tribological and corrosion protection by dynamic ion mixing // Surf. Coat. Techn. 1998. - V. 108-109. - P. 276-283.

115. Matsumuro A., Muramatsu M., Takahashi Y. e. a. Synthesis of Ti-N thin films prepared by dynamic ion mixing technique and their mechanical properties // Thin Solid Films. 1999. - V. 349.-P. 199-204.

116. Liu C., Bi Q., Ziegele H. e. a. Structure and corrosion properties of PVD Cr-N coatings // J. Vac. Sci. Technol. A. 2002. - V. 20. - № 3. - P. 772-780.

117. Wang D.-Y., Chiu М.-С. Characterization of TiN coatings post-treated by metal-plasma ion implantation process // Surf. Coat. Techn. 2002. - V. 156. - P. 201-207.

118. Кудинов B.B., Бобров Г.В. Нанесение покрытий напылением. Теория технология и оборудование. М.; Металлургия, 1987.

119. Sikola Т., Spousta J., Ceska R. e. a. Deposition of metal nitrides by IB AD // Surf. Coat. Techn. 1998.-V. 108-109.-P. 284-291.

120. Aouadi S.M., Chladek J.A., Namavar F. e. a. Characterization of Ti-based nanocrystalline ternary nitride films // J. Vac. Sci. Technol. В. V. 20. - № 5. - P. 1967-1973.

121. Richthofen A.V., Cremer R., Domnick R. e. a. Preparation of polycrystalline Ti-Al-0 films by magnetron sputtering ion plating: constitution, structure and morphology // Journal of Analytical Chemistry. 1997. - V. 358. - P. 308-311.

122. Kadlec S., Musil J., Munz W.-D. e. a. Reactive deposition of TiN films using an unbalanced magnetron // Surf. Coat. Techn. 1989. - V. 39-40. - P. 487-497.

123. Данилин Б.С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1992.

124. Jiang N., Shen Y. G., Mai Y.-W. e. a. Nanocomposite Ti-Si-N films deposited by reactive unbalanced magnetron sputtering at room temperature // Materials Science and Engineering B. -2004. -V. 106. P. 163-171.

125. Kim K.H., Choi S., Yoon S. Superhard Ti-Si-N coatings by hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques // Surf. Coat. Techn. 2002. - V. 298. - P. 243-248.

126. Martin P.J., Bendavid A. Properties of Tii-xSixNy films deposited by concurrent cathodic arc evaporation and magnetron sputtering // Surf. Coat. Techn. 2003. - V. 163-164. - P. 245-250.

127. Hovsepian P.Eh., Munz W.-D. Recent progress in large-scale production of nanoscale multilayer/superlattice hard coatings // Vacuum. 2003. - V. 69. - P. 27-36.

128. Matossian J., Wei R., Vajo J. e. a. Plasma-enhanced, magnetron-sputtered deposition (PMD) of materials // Surf. Coat. Techn. 1998. - V. 108-109. - P. 496-504.

129. Vaz F., Carvalho S., Rebouta L. e. a. Young's modulus of (Ti,Si)N films by surface acoustic waves and indentation techniques // Thin Solid Films. 2002. - V. 408. - P. 160168.

130. Nose M., Deguchi Y., Mae T. Influence of sputtering conditions on the structure and properties of Ti-Si-N thin films prepared by r.f.-reactive sputtering // Surf. Coat. Techn. -2003.-V. 174-175.-P. 261-265.

131. Mollart T.P., Haupt J., Gilmore R. e. a. Tribological behaviour of homogeneous Ti-B-N, Ti-B-N-C and TiN/h-BN/TiB2 multilayer coatings // Surf. Coat. Techn. 1996. -V. SÖST.-P. 231-236.

132. Sun X., Kolawa E., Im S. e. a. Effect of Si in reactively sputtered Ti-Si-N films on structure and diffusion barrier performance // Appl. Phys. A. 1997. - № 65. - P. 43-45.

133. Luo Q., Rainforth W.M. and Münz W.-D. ТЕМ studies of the wear of TiAlN/CrN superlattice coatings // Scripta Materialia. 2001. - V. 45. - P. 399-404.

134. Baker M.A., Steiner A., Haupt J. e. a. Auger electron spectroscopy/X-ray photoelectron spectroscopy study of Ti-B-N thin films // J. Vac. Sei. Technol. A. 1995. - V. 13. -№3.-P. 1633-1638.

135. PalDey S., Deevi S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti,Al)N: a review // Materials Science and Engineering A. 2003. - V. 342. - P. 58-79.

136. Ширяев С.А. Атаманов M.B., Гусева М.И. и др. Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой // Журнал технической физики. 2002. — Т. 72. — № 2. - С. 99-104.

137. Левашов Е.А., Ларихин Д.В., Штанский Д.В. и др. Влияние технологических параметров СВС-компактирования на состав, структуру и свойства функционально-градиентных мишеней на основе TiB2 и TiN // Цветные металлы. — 2002. № 5. — С. 49-55

138. Левашов Е.А., Курбаткина В.В., Колесниченко К.В. Закономерности влияния предварительного механического активирования на реакционную способность СВС-смесей на основе титана // Изв. вузов. Цветная Металлургия. 2000. - № 6. - С. 6167.

139. Moore J.J., Torres R., Reimanis I. a. e. Self-Propagting High-Temperature Synthesis of Dense Ceramic Composites // Int. Journal of SHS. 1997. - V.6. - №3. - P. 277-294.

140. Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза / Е.А. Левашов, А.С. Рогачёв, И.П. Юхвид и др. М.: Изд-во «БИНОМ», 1999.

141. Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Кобеле в Н.П. и др. Структура и физико-механические свойства наноструктурных боридонитридных пленок // ФТТ. Т. 39. -№ 10.-С. 1859-1864.

142. Химия синтеза сжиганием / Под ред. М. Коидзуми. Пер. с япон. М., 1998. — 247 с.

143. Левашов Е.А. Разработка технологических процессов получения новых керамических и керамико-металлических материалов методом СВС: Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук. М.: МИСиС, 1995.

144. Nanostructured Thin Films and Nanodispersion Strengthened Coatings / A.A. Voevodin, D. V. Shtansky, E. A. Levashov e. a. Kluwer Acad. Publ., 2004.

145. Егорычев K.H., Курбаткина B.B., Нестерова Е.Ю. и др. Исследование взаимодействия в системе титан-кремний при использовании механоактивации исходных компонентов // Изв. вузов. Цветная металлургия. — 1996. № 2. - С. 49-52.

146. Anselmi-Tamburini U., Maglia F., Spinolo G. e. a. Self-Propagating Reactions in the Ti-Si System: A SHS-MASHS Comparative Study // Journal of Materials Synthesis and Processing. 2000. - V. 8. - № 5-6. - P. 377-383.

147. Григорович B.K. Твёрдость и микротвёрдость металлов. М.: Наука, 1976.

148. Pharr G.M. Measurement of mechanical properties by ultra-low load indentation // Mater. Science and Engineering A. 1998. -V. 253. - P. 151-159.

149. Pharr G.M., Oliver W.C., Brotzen F.R. On the generality of the relationship among contact stiffness, contact area, and elastic modulus during indentation // J. Mater. Res. 1992. - V. 3.-P. 613-616.

150. Li X., Bhushan B. A review of nanoindentation continuous stiffness measurement technique and its applications // Materials Characterization. 2002. - V. 48. - P. 11-36.

151. Ahn J.-H., Kwon D. Micromechanical estimation of composite hardness using nanoindentation technique for thin-film coated system // Materials Science and Engineering A. 2000. - V. 285. - P. 172-179.

152. Kim S.H., Kim J.K., Kim K.H. Influence of deposition conditions on the microstructure and mechanical properties of Ti-Si-N films by DC reactive magnetron sputtering // Thin solid films. 2002. - V. 420-421. - P. 360-365.

153. Нефедов В.И. Рентгено-электронная спектроскопия химических соединений: Справочник. -М.: Химия, 1984.

154. Meng W.J., Zhang X.D., Shi В. e. a. Structure and mechanical properties of Ti-Si-N ceramic nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2003. - V. 163-164. - P. 251-259.

155. Osterle W., Griepentrog M., Klaffke D. Microstructural characterization of wear particles formed during tribological stressing of TiC and Ti(C,N) coatings // Tribology Letters. -2002. V. 12. - № 4. - P. 229-234.

156. Musil J., Vlcek J. Magnetron sputtering of hard nanocomposite coatings and their properties // Surf. Coat. Techn. 2001. - V, 142-144. - P. 557-566.

157. Park O.-N, Park J.H., Yoon S.-Y. e. a. Tribological behavior of Ti-Si-N coating layers prepared by hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques // Surf. Coat. Techn. 2004. - V. 179. - P. 83-88.

158. Houmid-Bennani H., Mairey D., Takadoum J. The wear characteristics of silicon nitride // Journal of the European Ceramic Society. 1998. - № 18. - P. 553-556.

159. Wilson S., Alpas A.T. Tribo-layer formation during sliding wear of TiN coatings // Wear. -2000. V. 245. - P. 223-229.

160. Wiedemann R;, Weihnacht V., Oettel H. Structure and mechanical properties of amorphous Ti-B-N coatings // Surf. Coat. Technol. 1999. - V. 116-119. - P. 302-309.

161. Gupper A., Fernandez A., Fernandez-Ramos C. e. a. Characterization of Nanocomposite Coatings in the System Ti-B-N by Analytical Electron Microscopy and X-Ray Photoelectron Spectroscopy // Monatshefte fur Chemie. 2002. - V. 133. - P. 837-848.

162. Aouadi S.M., Namavar F., Gorishnyy T.Z. e. a. Characterization of TiBN films grown by ion beam assisted deposition // Surf. Coat. Techn. 2002. -V. 160. - P. 145-151.

163. Гусев А.И. Фазовые равновесия в тройных системах М-Х-Х1 и М-А1-Х (М-переходный металл, X, X1 В, С, N, Si) и кристаллохимия тройных соединений // Успехи химии. - 1996. - Т. 65. - № 5. - С. 407-451

164. Sakamaoto Y., Nose M., Mae T. e. a. Structure and properties of Cr-B, Cr-B-N and multilayer Cr-B/Cr-B-N thin films prepared by r.f.-sputtering // Surf. Coat. Techn. -2003.-V. 174.-P. 444-449.

165. Aouadi S.M., Namavar F., Tobin E. e. a. Characterization of CrBN films deposited by ion beam assisted deposition // J. Appl. Phys. 2002. - V. 91. -№ 3. - P. 1040-1045.

166. Cunha L., Andritschky M., Pischow K. e. a. Microstructure of CrN coatings produced by PVD techniques // Thin Solid Films. 1999. - V. 355-356. - P. 465-471.

167. Андриевский P.A., Калинников Г.В., Hellgren N. и др. Наноиндентирование и деформационные характеристики наноструктурных боридонитридных пленок // Физика твёрдого тела. 2000. - Т. 42 - № 9. - С. 1624-1627.

168. Schneider D., Schwarz Th., Buchkremer H.-P. e. a. Non-destructive characterization of plasma-sprayed Zr02 coatings by ultrasonic surface waves// Thin Solid Films. 1993. -V. 224.-P. 177-183.

169. Saha R., Nix W.D. Effects of the substrate on the determination of thin film mechanical properties by nanoindentation // Acta Mater. 2002. - V. 50. -P. 23-38.

170. Veprek S., Mukherjee S., Karvankova P. e. a. Possible Artefacts in Measurement of Hardness and Elastic Modulus on Superhard Coatings and the Verification of the Correctness of the Data // MRS Symp. Proc. 2002. - V. 750. - Y1.3.

171. Shtansky D.V., Levashov E.A., Glushankova N.A. e. a. Structure and properties of CaO-and Zr02-doped TiCxNy coatings for biomedical applications // Surf. Coat. Techn. -2004.-V. 182.-P. 101-111.

172. Андриевский P.А., Спивак И.И. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе, Справочник. Челябинск.: Металлургия, 1989.

173. Gissler W. Structure and properties of Ti-B-N coatings // Surf. Coat. Tech. 1994. - V. 68-69.-P. 556-563.

174. Holleck H., Schier V. Multilayer PVD coatings for wear protection // Surf. Coat. Techn. -1995. V. 76-77. - P. 328-336.

175. Kullmer R., Lugmair C., Figueras A. e. a. Microstructure, mechanical and tribological properties of PACVD Ti(B,N) and TiB2 coatings // Surf. Coat. Techn. 2003. -V. 174-175.-P. 1229-1233.

176. He J.L., Miyake S., Setsuhara Y. e. a. Improved anti-wear performance of nanostructured titanium boron nitride coatings // Wear. 2001. - V. 249. - P. 498-502.

177. Tsui T.Y., Pharr G.M., Oliver W.C. e. a. Nanoindentation and nanoscratching of hard carbon coatings for magnetic disks // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1995. - V. 383. - P.