Резонансная нейтронная рефлектометрия планарных многослойных наноструктур тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Никова Екатерина Сергеевна

• Никова Екатерина Сергеевна
• кандидат наук
• 2026

Оглавление диссертации кандидат наук Никова Екатерина Сергеевна

ВВЕДЕНИЕ

1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

1.1 Магнитные металлические наноструктуры

1.1.1 Магнитные металлические сверхрешетки с гигантским магнитосопротивлением

1.1.2 Металлические спиновые клапаны

1.1.3 Наноструктуры с туннельным магнитосопротивлением

1.2 Синтез металлических многослойных наногетероструктур методом магнетронного распыления

1.3 Рентгеновская рефлектометрия как метод исследования структурных параметров

1.4 Исследование магнитных свойств с помощью нейтронной рефлектометрии

1.4.1 Общая теория нейтронной рефлектометрии

1.4.2 Отражение от однородной немагнитной среды

1.4.3 Матричный формализм расчёта интенсивности отражения

1.4.4 Рефлектометрия поляризованных нейтронов

1.4.5 Расчёт интенсивности отражения поляризованных нейтронов от магнитных структур

1.5 Математические методы анализа результатов нейтронной рефлектометрии

1.5.1 Модельно-зависимые методы

1.5.2 Модельно-независимые методы

1.6 Способы решения фазовой проблемы в рефлектометрии

1.6.1 Математический метод решения фазовой проблемы

1.6.2 Экспериментальные методы решения фазовой проблемы в немагнитных системах

1.7 Заключение по литературному обзору и постановка задачи

2 МЕТОД ОПОРНОГО СЛОЯ ДЛЯ МАГНИТНЫХ ПЛАНАРНЫХ НАНОГЕТЕРОСТРУКТУР

2.1 Гадолиний как материал для опорного слоя

2.2 Методика определения амплитуды отражения при проведении трех рефлектометрических измерений

2.3 Методика определения амплитуды отражения на широком q - диапазоне

2.4 Методика определения амплитуды отражения при проведении двух рефлектометрических измерений

2.5 Апробация метода опорного слоя гадолиния на модельных численных расчётах

2.5.1 Определение оптимальной толщины опорного слоя

2.5.2 Модельные численные расчёты для простой металлической системы

2.5.3 Модельные численные расчёты для металлических систем с ферромагнитными слоями

2.5.4 Восстановление потенциала взаимодействия на разных диапазонах изменения волнового вектора

2.5.5 Модельные численные расчёты для случая определения амплитуды отражения на широком q - диапазоне

2.5.6 Модельные численные расчёты для случая двух рефлектометрических экспериментов

2.6 Заключение по второй главе

3 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ АПРОБАЦИЯ МЕТОДА ОПОРНОГО СЛОЯ ГАДОЛИНИЯ В РЕФЛЕКТОМЕТРИИ ПОЛЯРИЗОВАННЫХ НЕЙТРОНОВ

3.1 Исследуемые металлические наноструктуры

3.2 Описание экспериментальных установок

3.2.1 РЕФЛЕКС

3.2.2 РЕМУР

3.2.3 Многоцелевой рефлектометр MR

3.3 Определение характеристик рассеяния нейтронов опорным слоем, содержащим гадолиний

3.4 Экспериментальные результаты, полученные на простых системах

3.5 Экспериментальные результаты, полученные на простых магнитных системах

3.6 Экспериментальные результаты, полученные на сверхрешетках

3.6.1 Сверхрешётка Si//Cr(100 Â)//[Fe(80 Â)/Cr(10.5 Â)]g/Cr(20 Â)/Gd(100 Â)/V(50 Â)

3.6.2 Сверхрешётка AhO3//Cr(100 Â)/[Fe(90 Â)/Cr(11 Â)]12/Gd(50 Â)/Cr(50 Â)

3.7 Апробация метода опорного слоя Оё на широком q - диапазоне

3.8 Апробация метода опорного слоя Оё в случае двух рефлектометрических экспериментов

3.9 Перспективы дальнейшего развития метода опорного слоя Gd

3.10 Заключение по третьей главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ АВТОРА ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

БЛАГОДАРНОСТИ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Резонансная нейтронная рефлектометрия планарных многослойных наноструктур»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования и степень ее разработанности

Современный научно-технический прогресс, несомненно, определяется развитием электроники, в основе которой лежат достижения в различных областях физики. Также он обусловлен развитием тонкопленочных технологий и разработкой элементов наноэлектроники, используемых при создании устройств магнитной записи и хранения информации, в сенсорах давления, температуры, магнитного поля, датчиках ионизирующего излучения и т.д. В свою очередь, бурное внедрение нанотехнологий и создание новых материалов способствуют разработке и совершенствованию современных методов исследования и анализа свойств пленок.

В течение двадцатого века, в целях развития радиоэлектроники и смежных дисциплин активно исследовались свойства полупроводниковых материалов, в том числе гетероструктур на их основе. Но в 80-х и 90-х годах, с появлением современных высоковакуумных технологий, стало возможным получать и металлические гетероструктуры со слоями манометровой толщины. Они вызвали большой интерес исследователей своими необычными свойствами. Особенно большое внимание уделено структурам, состоящим из слоев магнитного металла в сочетании со слоями немагнитных металлов, полупроводников или изоляторов. Информация об атомной и магнитной структурах таких систем может быть получена с использованием рефлектомет-рии поляризованных нейтронов (РПН). РПН также успешно применяется для определения магнитных моментов отдельных слоев в тонких пленках, коллинеарного и неколлинеарного магнитного упорядочения, поляризационных эффектов, профилей намагниченности и др.

Уникальные возможности РПН весьма востребованы при изучении магнитных свойств и характеристик слоев многослойных металлических наногетероструктур, толщина отдельных слоёв в которых составляет единицы и десятки нанометров. Однако, как и в рентгеновской ре-флектометрии, в РПН существует фазовая проблема. В эксперименте измеряют интенсивность отражения, которая является квадратом модуля комплексной функции, называемой амплитудой отражения. Информация об аргументе этой функции, который имеет физический смысл величины изменения фазы волны при отражении, теряется. Стоит отметить, что фаза - это характеристика объекта, обусловленная его квантовомеханической природой, и отсутствие информации о ней препятствует однозначной интерпретации рефлектометрического эксперимента. А совместно с модулем амплитуды отражения фаза позволяет получить полную информацию об исследуемых системах.

Для решения фазовой проблемы уже предпринимались некоторые попытки. Например, было предложено использовать логарифмическое дисперсионное соотношение, чтобы рассчитать фазу, зная только интенсивность отражения. Хотя метод логарифмического дисперсионного соотношения даёт неплохие результаты для простых систем (например, однослойных), с ростом числа слоёв и межслойных границ возникает задача поиска нулей амплитуды отражения в верхней комплексной полуплоскости. Эта задача сложна и требует много вычислительных ресурсов. Пренебрежение влиянием нулей приводит к низкой точности определения амплитуды отражения описанным методом.

Другим возможным подходом является использование особых постановок эксперимента или проведение цикла экспериментов с различными условиями. Одним из экспериментальных способов определения амплитуды отражения является развитый в 1990-х годах метод опорного слоя, использующий возможность контролируемого изменения длины рассеяния ферромагнитного опорного слоя в различных ориентациях внешнего магнитного поля.

Опорный слой наносится на поверхность исследуемой немагнитной слоистой структуры, либо располагается между структурой и подложкой. Проводятся три рефлектометрических эксперимента при различных ориентациях магнитного поля, из этих данных рассчитывается амплитуда отражения. Метод был успешно апробирован для исследования слоистых немагнитных структур.

Однако, к исследованию характеристик магнитных многослойных металлических нано-гетероструктур и определению их амплитуды отражения, данный метод неприменим. Поэтому разработка альтернативного метода опорного слоя, который бы не требовал приложения магнитного поля, является весьма актуальной задачей.

Цели и задачи диссертационной работы

Основной целью работы являлась разработка и экспериментальная апробация метода резонансной рефлектометрии поляризованных нейтронов, адаптированного к исследованию планарных магнитных наногетероструктур.

Для достижения указанной цели в работе ставились и решались следующие задачи:

1) Разработка метода резонансной рефлектометрии на основе подхода с опорным слоем гадолиния в случаях измерения трёх и двух рефлектометрических кривых при различных параметрах опорного слоя.

2) Оценка эффективности метода и установление пределов его применимости с использованием численного моделирования.

3) Подготовка набора образцов металлических наноструктур с опорным слоем гадолиния.

4) Экспериментальное определение плотности длины рассеяния для материала опорного слоя исследуемого образца.

5) Экспериментальная апробация метода на немагнитных и магнитных системах с малым количеством слоёв, а также на магнитных металлических сверхрешетках, в том числе с не-коллинеарным магнитным упорядочением.

Научная новизна

Научную новизну диссертационной работы определяют следующие результаты, полученные лично соискателем:

1) Разработан экспериментальный метод, обеспечивающий возможность решения обратной задачи рассеяния для определения амплитуды отражения поляризованных нейтронов от магнитных многослойных наногетероструктур, и путем математического моделирования и проведения исследований реальных объектов впервые доказана его практическая реализуемость.

2) Показана возможность экспериментального уточнения зависимости плотности длины рассеяния нейтронов гадолинием от длины волны по спектру поглощения тепловых нейтронов непосредственно в условиях конкретных рефлектометрических экспериментов на конкретных образцах.

3) Показана возможность экспериментального определения структурных и магнитных характеристик (толщины слоев, величины и ориентации магнитных моментов) по известным амплитудам отражения поляризованных нейтронов в различных каналах рассеяния.

4) Впервые экспериментально получена информация об ориентации магнитных моментов в сверхрешетке [Ре(90А)/Сг(ПА)]12 в магнитном поле 24 Э.

Научная и практическая значимость работы

1) Предлагаемый в работе метод позволяет экспериментальным образом определить модуль и фазу (аргумент) амплитуды отражения поляризованных нейтронов от планарных магнитных наногетероструктур. В простых рефлектометрических измерениях фаза не может быть определена.

2) Известная амплитуда отражения позволяет применить модельно-независимые методы восстановления потенциала взаимодействия (уравнение Гельфанда-Левитана-Марченко), что позволяет уменьшить влияние неточности выбора начального приближения. При уточнении параметров структуры методом спуска возможно учесть информацию о величине изменения фазы нейтронной волны в момент отражения, что также повышает однозначность и объективность результата.

3) Предлагаемый подход уточнения характеристик рассеяния нейтронов опорным слоем, содержащим гадолиний, позволяет оперативно осуществить эту процедуру непосредственно перед рефлектометрическим экспериментом. Данный подход может иметь самостоятельное значение и для других видов экспериментов, помимо рассмотренных в диссертации.

4) Полученные в рамках диссертационной работы результаты могут быть использованы в качестве лекционных курсов или практических работ, в частности, по исследованию многослойных магнитных наноструктур методом рефлектометрии поляризованных нейтронов.

Методология и методы исследования

В настоящей диссертационной работе в качестве метода исследования многослойных магнитных наногетероструктур используется рефлектометрия поляризованных нейтронов. Для решения фазовой проблемы и перехода к модельно-независимым алгоритмам анализа данных предлагается и используется альтернативный вариант метода опорного слоя, отличающийся от развивавшегося ранее другими авторами тем, что вместо приложения магнитного поля к опорному слою изменяются условия резонансного взаимодействия ядер атомов опорного слоя с тепловыми нейтронами, когда их энергии близки к расстояниям между энергетическими уровнями спектра ядер атомов опорного слоя. Т.е. предлагаемый метод основан на другом типе взаимодействия нейтронов с веществом.

Данный подход требует проведения трёх рефлектометрических экспериментов, при разных настройках измерительных установок, но позволяет определить амплитуду отражения. Для сверхрешётки с неколлинеарным магнитным упорядочением слоёв полученные результаты сравниваются с данными прямого уточнения параметров системы по коэффициенту отражения. Для аттестации качества образцов применялся также метод рентгеновской рефлектометрии.

Положения, выносимые на защиту.

1. Развитие метода опорного слоя, основанного на явлении резонансного взаимодействия тепловых нейтронов с изотопами 155Gd и 157Gd, для планарных наногетероструктур, содержащих слои из ферромагнитных материалов.

2. Способ экспериментального уточнения длины рассеяния гадолиния, основанный на анализе спектра поглощения, который позволяет использовать реальное значение величины длины рассеяния соответствующего опорного слоя.

3. Демонстрация работоспособности метода опорного слоя на примерах экспериментального определения из амплитуды отражения структурных и магнитных характеристик (толщины слоёв, плотности, величины шероховатостей на границах и поверхности, ориентации магнитных моментов) специальных слоистых структур.

4. Уточнение магнитной структуры слоистой сверхрешётки типа Fe/Cr в слабом магнитном поле методом резонансной рефлектометрии поляризованных нейтронов. Наблюдение нарушения антиферромагнитного упорядочения с одновременным возрастанием диффузного рассеяния нейтронов в канале с переворотом спина, что является косвенным свидетельством возникновения магнитных доменов в плоскости плёнки.

Степень достоверности результатов.

Достоверность результатов, полученных в диссертационной работе, обеспечивается строгостью математических методов, использованных при разработке алгоритмов обработки экспериментальных данных нейтронной рефлектометрии, апробацией этих алгоритмов в модельных численных расчётах, соответствующих условиям реальных экспериментов, а в случае применимости для исследования объекта других методов (например, рентгеновского) совпадением результатов обеих методик.

Предлагаемый в работе алгоритм определения амплитуды отражения является модельно-независимым (т.е. не требует задания начального приближения и дальнейшего уточнения его параметров), что повышает объективность получаемых результатов.

Нейтронные рефлектометрические измерения с высоким разрешением по длине волны проводились на специализированных рефлектометрах поляризованных нейтронов РЕФЛЕКС и РЕМУР, установленных на нейтроноводах импульсного реактора ИБР-2 (Объединенный институт ядерных исследований, г. Дубна, Московская область), и на многоцелевом рефлектометре MR импульсного источника нейтронов China Spallation Neutron Source (CSNS) (Институт физики высоких энергий Китайской академии наук, район Далан, город Дунгуань, Китай). Полученные данные обрабатывались различными алгоритмами, результаты согласуются между собой.

Публикации.

Материалы диссертации опубликованы в 10 статьях в научных рецензируемых журналах, входящих в Перечень ВАК РФ и индексируемых в базах данных Scopus, Web of Science и РИНЦ [А1-А10], и в 17 тезисах докладов на российских и международных конференциях.

Апробация результатов работы.

Материалы диссертационного исследования были доложены на следующих конференциях:

- Конференция по использованию рассеяния нейтронов в конденсированных средах РНИКС, г. Петергоф, сентябрь 2018 г., г. Екатеринбург, сентябрь-октябрь 2021 г., Екатеринбург, сентябрь 2023 г., г. Томск, сентябрь-октябрь 2025 г.

- Курчатовский форум «Исследования с применением синхротронного излучения, нейтронов и электронов» (Курчатов ФСНЭ 2025), г. Москва, октябрь 2025 г.

- Международная конференция «Исследования конденсированных сред на реакторе ИБР-2».

г. Дубна, октябрь 2017 г., октябрь 2020 г., апрель 2022 г.

- «European Conference on Neutron Scattering (ECNS 2019)», г. Санкт-Петербург, июнь-июль 2019 г.

- Euro-Asian Symposium «Trends in MAGnetism»: EASTMAG-2019, г. Екатеринбург, сентябрь 2019 г.

- Конференция по малоугловому рассеянию и рефлектометрии «МУРомец», г. Гатчина, сентябрь 2017, июнь 2023 г.

- Всероссийская научно-практическая конференция «Задачи и методы нейтронных исследований конденсированных сред», г. Дубна, ноябрь 2022 г., г. Екатеринбург, сентябрь 2023 г., г. Дубна, ноябрь 2025 г.

- Школа по физике поляризованных нейтронов ФПН. г. Гатчина, декабрь 2018 г., декабрь 2022 г.

- Всероссийская школа-семинар по проблемам физики конденсированного состояния вещества, Екатеринбург, ноябрь 2016 г., ноябрь 2017 г.

Личный вклад автора

Постановка задач и обсуждение полученных результатов проводились Никовой Е.С. совместно с научным руководителем к. ф.-м. н. Саламатовым Ю.А. и заведующим лабораторией

д.ф-м.н. Кравцовым Е.А. Синтез исследуемых образцов проводился автором совместно с Про-глядо В.В. Данные рентгеновской рефлектометрии обрабатывались автором совместно с Макаровой М.В. Эксперименты по нейтронной рефлектометрии проводились автором совместно с Са-диловым В.В. и Жакетовым В.Д. Публикации по теме диссертационной работы были подготовлены автором совместно с научным руководителем и соавторами.

Личный вклад автора заключается в проведении модельных численных расчетов, а также в обработке экспериментальных данных и интерпретации результатов, подтверждающих практическую применимость рассматриваемого метода. При этом использовался оригинальный пакет программ для ЭВМ, созданных лично автором диссертации. Результаты исследований неоднократно докладывались лично автором на всероссийских и международных конференциях.

Соответствие диссертации паспорту специальности.

Содержание диссертации соответствует п. 6. «Разработка экспериментальных методов изучения физических свойств и создание физических основ промышленной технологии получения материалов с определенными свойствами» в части разработки экспериментальных методов изучения физических свойств паспорта специальности 1.3.8. Физика конденсированного состояния».

Структура и объем диссертации.

Диссертация состоит из оглавления, введения, 3 глав, заключения, списка литературы и списка публикаций автора по теме диссертации. Общий объем диссертации составляет 117 страницу, 66 рисунков, 14 таблиц. Список литературы содержит 99 наименований на 9 страницах.

Работа выполнена в рамках следующих программ и грантов.

Работа выполнялась в лаборатории нейтронно-синхротронных исследований наноструктур ИФМ УрО РАН в соответствии с планом научно-исследовательских работ Государственного задания Минобрнауки РФ для ИФМ УрО РАН (тема «Спин», Г.р. № 122021000036-3) при финансовой поддержке проектов РФФИ № 18-32-00197, №19-02-00674, № 20-42-660024 и проектов Минобрнауки № 075-10-2021-115, № 075-15-2021-1358.

1 ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР

В настоящей главе кратко представлены основные литературные данные по таким темам, как: магнитные металлические наногетероструктуры, рефлектометрия поляризованных нейтронов, фазовая проблема нейтронной рефлектометрии.

Рассмотрены способы синтеза и различные методы исследования структурных параметров и магнитных свойств металлических наногетероструктур. Подробно рассмотрена теория нейтронной рефлектометрии, а именно методы расчета интенсивности отражения поляризованных нейтронов, математические методы анализа экспериментальных данных по нейтронной рефлектометрии. Особое внимание уделено фазовой проблеме и возможным способам ее решения.

1.1 Магнитные металлические наноструктуры

За последние десятилетия в физике магнетизма был получен большой объем новых знаний, разработаны новые методы исследований, синтезированы новые магнитные материалы и наноструктуры. Развиваемый в данной работе метод нацелен на изучение специфических объектов - магнитных металлических наноструктур. Следует отметить, что существующий в мире уже достаточно давно (см., например, [1]) интерес к магнетизму в слоистых системах не случаен, а обусловлен возможностями их важных практических применений. Далее будет показано, что внести существенный вклад в определение особенностей их строения на данный момент способна нейтронная рефлектометрия.

Металлические многослойные наногетероструктуры представляют собой искусственно созданные плёнки из чередующихся слоёв различных металлов, причём каждый слой имеет толщину от нескольких ангстрем до нескольких десятков нанометров. Они интересны не только, как объекты фундаментальных исследований, но и имеют практическое применение, например, в сенсорных элементах. Первыми металлическими наноструктурами, демонстрирующими антиферромагнитное упорядочение ферромагнитных слоев железа через проводящую прослойку хрома, стали сверхрешетки Fe/Cr. Они были получены П. Грюнбергом в 1986 г. методом молеку-лярно-лучевой эпитаксии [2]. А уже в 1988 г. А. Фертом в таких структурах было обнаружено новое явление - гигантское магнитосопротивление (ГМС), которое состоит в значительном уменьшении электросопротивления металлической наноструктуры во внешнем магнитном поле [3] Причиной ГМС в этих работах [2, 3] указывается сильная зависимость спинового транспорта электронов проводимости от взаимной ориентации намагниченностей слоев, изменяющейся под действием магнитного поля.

На данный момент различают три типа металлических наногетероструктур с большим изменением электросопротивления в магнитном поле, каждый из которых обладает своей спецификой [4]:

1) Магнитные металлические сверхрешетки с ГМС;

2) Наноструктуры типа «спиновый клапан»;

3) Спин-туннельные наноструктуры с диэлектрическим слоем, обладающие туннельным магнитосопротивлением.

1.1.1 Магнитные металлические сверхрешетки с гигантским магнитосопротивлением

Сверхрешетки - это многослойные наноструктуры, в которых последовательность слоев периодически повторяется в направлении, перпендикулярном плоскости наноструктуры. Обнаружение ГМС в сверхрешётках Fe/Cr дало толчок к исследованию других многослойных наноструктур: Co/Cu, CoFe/Cu, FeNi/Cu, NiFeCo/Cu и др. [5-8]. Благодаря этим исследованиям были определены условия существования эффекта ГМС в сверхрешетках. Во-первых, это наличие антипараллельного или неколлинеарного упорядочения намагниченностей соседних ферромагнитных слоев в нулевом магнитном поле. Во-вторых, должна быть большой величина асимметрии спин-транспортных характеристик электропроводимости (т.е. отношение ^-/р+ ^ 1, где р-, р+

- удельное электросопротивление ферромагнетика для каналов электронов с направлением спинов «вниз» и «вверх» относительно намагниченности). И, в-третьих, период сверхрешетки должен быть меньше длины свободного пробега электронов проводимости [4].

При исследовании структур с различной толщиной немагнитной прослойки были обнаружены и детально изучены осцилляции межслойного обменного взаимодействия в сверхрешетках с ГМС. Полученные результаты представлены в теоретических [5, 6, 9-17] и экспериментальных работах [18]. Было показано, что изменения величины поля магнитного насыщения и величины магнитосопротивления носят осциллирующий характер в зависимости от толщины немагнитной прослойки: чем толще прослойка, тем обменное взаимодействие ниже. При этом эффект ГМС обладает немонотонной зависимостью от толщины ферромагнитного слоя [19, 20].

Следует отметить, что сверхрешетки с ГМС обладают высокой температурной стабильностью и широким рабочим диапазоном магнитных характеристик [4]. Поэтому они активно применяются в магнитных сенсорах. Технология их изготовления достаточно хорошо отработана. Также следует отметить, что практический интерес представляет получение максимального магнитного сопротивления при малых полях насыщения и слабом гистерезисе [21-24].

1.1.2 Металлические спиновые клапаны

Наряду с многослойными периодическими наноструктурами, магниточувствительными материалами являются спиновые клапаны. Впервые спиновые клапаны были предложены Б. Дини [25] и оказались весьма перспективными объектами для фундаментальных исследований и практического применения.

Простейший спиновый клапан состоит из разделенных немагнитной прослойкой двух ферромагнитных слоев и слоя антиферромагнетика [4]. Направление намагниченности первого слоя ферромагнетика «закреплено» посредством обменного взаимодействия с антиферромагнетиком, а вектор намагниченности второго слоя ферромагнетика находится в свободном состоянии. Немагнитная прослойка должна сохранять слабое взаимодействие между ферромагнитными слоями. Тогда, меняя внешнее магнитное поле можно изменять направление магнитного момента свободного ферромагнитного слоя относительно магнитного момента ферромагнитного слоя, связанного с антиферромагнитным слоем.

Отличительной особенностью спиновых клапанов является резкое изменение электросопротивления в области слабых магнитных полей. Также спиновые клапаны обладают высокой чувствительностью к магнитному полю и меньшей величиной магнитосопротивления по сравнению со сверхрешетками. Поэтому они чаще применяются для изготовления устройств порогового срабатывания, считывающих головок жестких дисков, датчиков тока, сенсоров магнитного поля.

1.1.3 Наноструктуры с туннельным магнитосопротивлением

В таких структурах в качестве немагнитной прослойки между слоями ферромагнетика используется диэлектрик, через который происходит спин-зависимое туннелирование электронов. Как и в обычных спиновых клапанах, в наноструктурах с туннельным магнитосопротивлением наибольшее сопротивление наблюдается при антипараллельном упорядочении магнитных моментов разделенных ферромагнитных слоев. В настоящий момент хорошо изучены наноструктуры, в которых в качестве диэлектрической прослойки используется Al2Oз и MgO [26-28]. Более детальное описание спиновых транспортных явлений в твердотельных телах, а также связь с оптическими, электрическими и магнитными свойствами проводников приведены в [29, 30].

1.2 Синтез металлических многослойных наногетероструктур методом магне-

тронного распыления

Метод магнетронного распыления - это технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда. Суть метода заключается в том, что тяжелый ион инертного газа, например, аргона, разогнавшись в электрическом поле, выбивает атом (реже - ион или молекулу) материала из мишени (Рисунок 1.1). Эти атомы осаждаются на поверхности подложки, формируя пленку, а также частично рассеиваются на молекулах остаточных газов или осаждаются на стенках рабочей вакуумной камеры установки. Среднее число выбитых атомов на один падающий ион аргона называют эффективностью процесса, которая зависит от угла падения, энергии и массы иона, массы испаряемого материала и энергии связи атома в материале. Скорость распыления, и, следовательно, скорость роста пленки можно увеличивать с помощью вторичных электронов, которые вместе с выбитыми ионами формируют самоподдерживающуюся плазму вблизи поверхности мишени, либо с помощью магнетрона - специальной конфигурации магнитов, которые образуют магнитную ловушку, удерживающую электроны вблизи поверхности мишени.

Рисунок 1.1 - Процесс распыления атомов с поверхности мишени. Заимствован из [31].

К плюсам данного метода относится высокая скорость роста структур, а также формирование сравнительно резких межслойных границ. Однако, при такой скорости роста сложнее получить эпитаксиальные квазимонокристалльные плёнки по сравнению с методом молекулярно-лучевой эпитаксии.

1.3 Рентгеновская рефлектометрия как метод исследования структурных параметров

Рентгеновская рефлектометрия достаточно широко используется для определения таких параметров тонких пленок и многослойных наноструктур, как толщина слоев, шероховатость поверхностей и межслойных границ, а также позволяет получить информацию как о средней плотности вещества, так и о плотности каждого слоя исследуемой структуры. Данный метод основан

на анализе осцилляций интенсивности, возникающих при интерференции волн, отражённых от различных границ раздела в плёнке. Рефлектометрические кривые измеряют при очень малых углах падения в = 0.1 - 5о. Проведение измерений возможно благодаря такой геометрии, которая позволяет отсечь или отвести интенсивный первичный пучок от значительно более слабого отраженного.

Для проведения рефлектометрических измерений иногда служат установки, созданные на базе дифрактометров. Они состоят из следующих основных элементов:

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Никова Екатерина Сергеевна, 2026 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Вонсовский, С. В. Магнетизм / С. В. Вонсовский. - Москва : Наука, 1971. - С.1032. — Текст: непосредственный.

2. Layered magnetic structures: evidence for antiferromagnetic coupling of Fe layers across Cr in-terlayers / P. Grunberg, R. Schreiber, Y. Pang, M. B. Brodsky, H. Sowers. — Текст: непосредственный // PhysRev Lett. - 1986. - Vol. 57, №19 - Р. 2442.

3. Giant Magnetoresistance of (001)Fe/(001)Cr Magnetic Superlattices / M. N. Baibich, J. M. Broto, A. Fert, F. Nguyen Van Dau, F. Petroff, P. Etienne, G. Creuzet, A. Friederich, J. Chazelas. — Текст: непосредственный // Phys Rev Lett. - 1988. - Vol. 61, № 21. - Р. 2472-2475.

4. Устинов, В. В. Глава1. Спинтроника магнитных металлических наноструктур / В. В. Устинов, М. А. Миляев // Физика магнитных материалов и наноструктур // В. В. Устинов, М. А. Ми-ляев. - Екатеринбург: Институт физики металлов имени М.Н.Михеева УрО РАН, 2020. - С. 664.

— Текст: непосредственный.

5. Oscillations in exchange coupling and magnetoresistance in metallic superlattice structures: Co/Ru, Co/Cr, and Fe/Cr / S. S. P. Perkin, N. More, K. P. Roche — Текст: непосредственный // Phys Rev Lett. - 1990. - Vol. 64, № 19. - P. 2304.

6. Systematic variation of the strength and oscillation period of indirect magnetic exchange coupling through the 3d, 4d, and 5d transition metals / S. S. P. Parkin — Текст: непосредственный // Phys.Rev.Lett. - 1991. - Vol. 67, № 25. - С. 3598.

7. Seeded epitaxy of Co%Fe10/Cu multilayers on Mg0(001): Influence of Fe seed layer thickness / W. Kuch, A. C. Marley, S. S. P. Parkin — Текст: непосредственный // JAppl Phys. - 1998. - Vol. 83, № 9. - P. 4709-4713.

8. Parkin, S. S. P. Magnetism in metals / S. S. P. Parkin. - A symposium in memory of Allan Mackintosh, Copenhagen, 1996. - P. 113. — Текст: непосредственный.

9. Oscillatory interlayer exchange and magnetoresistance in Fe/Cu multilayers / F. Petroff, A. Barthélemy, D. H. Mosca, D. K. Lottis, A. Fert, P. A. Schroeder, W. P. Pratt, Jr., R. Loloee, S. Lequien.

— Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1991. - Vol. 44, № 10. - P. 5355-5357.

10. Oscillatory interlayer coupling and giant magnetoresistance in Co/Cu multilayers / D. H. Mosca, F. Petroff, A. Fert, P.A. Schroeder, W.P. Pratt Jr., R. Laloee. — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 1991. - Vol. 94, № 1-2. - P. L1-L5.

11. Oscillatory interlayer exchange coupling of Co/Ru multilayers investigated by Brillouin light scattering / J. Fassbender, F. Nortemann, R. L. Stamps, R. E. Camley, B. Hillebrands, G. Guntherodt.

— Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1992. - Vol. 46, № 9. - P. 5810-5813.

12. Perpendicular anisotropy and antiferromagnetic coupling in Co/Ru strained superlattices / K. Ounadjela, D. Muller, A. Dinia, A. Arbaoui, P. Panissod, G. Suran. — Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1992. - Vol. 45, № 14. - P. 7768-7771.

13. Huai , Y. Oscillatory magnetic coupling and magnetoresistance in Co/Re superlattices / Y. Huai, R. W. Cochrane — Текст: непосредственный // J Appl Phys. - 1992. - Vol. 72, № 6. - P. 2523-2525.

14. Zhang, S. Conductivity and magnetoresistance of magnetic multilayered structures / S. Zhang, P. M. Levy, A. Fert. — Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1992. - Vol. 45, № 15. - P. 86898702.

15. Bloeman, P. J. H. Interlayer coupling in Co/Os multilayers / P. J. H. Bloeman, W. J. M. de Jonge, R. Coehoorn — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 1993. - Vol. 121, № 1-3. -P. 306-308.

16. Coehoorn, R. Composition dependence of the magnetoresistance and the oscillatory exchange interaction in Fe-Co-Ni/Cu (fcc,100) multilayers / R. Coehoorn, J. P. W. B. Duchateau — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 1993. - Vol. 126, № 1-3. - P. 390-393.

17. Unguris, J. Determination of the Exchange Coupling Strengths for Fe/Au/Fe / J. Unguris, R. J. Celotta, D. T. Pierce. — Текст: непосредственный // Phys Rev Lett. - 1997. - Vol.79, №.14 - P. 2734.

18. Edwards, D. M. Handbook of magnetism and advanced magnetic materials. Fundamentals and theory / D. M. Edwards, A. Umerski. - New York, 2007. - Vol. 1, № Part 7— Текст: непосредственный.

19. Tsymbal, E. Y. Perspectives of giant magnetoresistance / E. Y. Tsymbal, D. G. Pettifor. — Текст: непосредственный // Solid State Phys. - 2001. - Vol. 56 - P. 113-237.

20. Dieny, B. Giant magnetoresistance in spin-valve multilayers / B. Dieny. — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 1994. - Vol. 136, № 3. - P. 335-359.

21. Composition dependence of giant magnetoresistance effect in NiFeCoCu multilayers / K. Me-guro, S. Hirano, M.Jimbo, S. Tsunashima, S. Uchiyama. — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 1995. - Vol. 140 - P. 601-602.

22. Low-field giant magnetoresistance in Co/Cu, CoFe/Cu and CoNiFe/Cu multilayer systems / M. R. Parker, S. Hossain, D. Seale, J.A. Barnard; M. Tan; H. Fujiwara. — Текст: непосредственный // IEEE Trans Magn. - 1994. -Vol. 30, № 2. - P. 358-363.

23. Hysteresis reduction in NiFeCo/Cu multilayers exhibiting large low-field giant magnetoresistance / S. Hossain, D. Seale, G. Qiu, J. Jarratt, J. A. Barnard, H. Fujiwara, M. R. Parker. — Текст: непосредственный // J Appl Phys. - 1994. - Vol.75, № 10. - P. 7067-7069.

24. Magnetic layer composition effect on giant magnetoresistance in (NiFeCo/Cu) multilayers / D. M. Mtalsi, M. E. Harfaoui, A. Qachaou, M. Faris, J.B. Youssef, H. Le Gall. — Текст: непосредственный // Phys Stat Sol A. - 2001. - Vol. 187, № 2. - P. 633-640.

25. Giant magnetoresistive in soft ferromagnetic multilayers / B. Dieny, V. S. Speriosu, S. S. P. Parkin, B. A. Gurney, D. R. Wilhoit, D. Mauri. — Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1991.

- Vol. 43, № 1. - P. 1297-1300.

26. Giant room-temperature magnetoresistance in single-crystal Fe/MgO/Fe magnetic tunnel junctions / S. Yuasa, T. Nagahama, A. Fukushima, Y. Suzuki, K. Ando. — Текст: непосредственный // Nat. Mater. - 2004. - Vol.3, № 12. - P. 868-871.

27. Giant tunnelling magnetoresistance at room temperature with MgO (100) tunnel barriers / S. S. P. Parkin, C. Kaiser, A. Panchula, P.M. Rice, B. Hughes, M. Samant, S.H.Yang. — Текст: непосредственный // Nat. Mater. - 2004. - Vol. 3, № 12. - P. 862-867.

28. Effect of electrode composition on the tunnel magnetoresistance of pseudo-spin-valve magnetic tunnel junction with a MgO tunnel barrier / Y. M. Lee, J. Hayakawa, S. Ikeda, F. Matsukura, H. Ohno.

— Текст: непосредственный // Appl. Phys. Lett. - 2007. - Vol. 90, № 21.

29. Maekawa, S. Spin Current / S. Maekawa, S.O. Valenzuela, E. Saitoh, T. Kimura. - Oxford University Press, 2017. - Р.541. — Текст: непосредственный.

30. Dyakonov, M. I. Spin physics in semiconductors. Т. 1 / M. I. Dyakonov, A. V. Khaetskii. - Berlin: Springer, 2017.- Vol.1. — Текст: непосредственный.

31. Blixt, A.-M. Growth and magnetic properties of Fe-and FeNi-based thin films and multilayers: Doctoral dissertation / A.-M. Blixt; Acta Universitatis Upsaliensis. - Sweden, 2004. - Р.145. — Текст: непосредственный.

32. Химич, М. Введение в рентгеноструктурный анализ: учебное пособие / М. Химич. - Издательство Томского государственного университета, 2022. - С.88. — Текст: непосредственный.

33. Русаков, В. С. Физические основы и методы рентгеновской дифрактометрии / В. С. Русаков. - Спецкурс Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносов-е изд. - Москва, 2021. — Текст: непосредственный.

34. Определение параметров многослойных наноструктур с помощью двухволновой рентгеновской рефлектометрии / Н. Л. Попов, Ю. А. Успенский, А. Г. Турьянский, И.В. Пиршин, А.В. Виноградов, Ю.Я. Платонов. — Текст: непосредственный // Физика И Техника Полупроводников. - 2003. - Т. 37, № 6. - С. 700-705.

35. Parratt, L. G. Surface studies of solids by total reflection of X-rays / L. G. Parratt — Текст: непосредственный // Phys. Rev. - 1954. - Vol. 95, № 2. - P. 359.

36. Abeles F. Recherches sur la propagation des ondes électromagnétiques sinusoïdales dans les milieux stratifiés-Application aux couches minces / Abeles F. — Текст: непосредственный // Annales de physique. EDP Sciences. - 1950. - Vol. 12, № 5. - P. 596-640.

37. Нейтронная рефлектометрия в России: текущее состояние и перспективы / В. И. Боднар-чук, А. П. Булкин, Е. А. Кравцов, Н.К. Плешанов, В.Г. Сыромятников, В.А. Ульянов. — Текст: непосредственный // Кристаллография. - 2022. - Т. 67, № 1. - С. 57-71.

38. Аксенов, В. Л. Исследование поверхностей и тонких пленок с помощью нейтронов / В. Л. Аксенов // Лекция на 9-й международной школе по физике конденсированных сред тенденции развития физики и технологии тонких пленок в будущем. - 1996. - Т. 28, № 11. — Текст: непосредственный.

39. Fermon, C. Neutron Reflectometry / C. Fermon, F. Ott, A. Menelle. X-ray and Neutron Reflectivity: Principles and Applications. - Berlin Heidelberg Springer, 2009. - Р. 183-234. — Текст: непосредственный.

40. Lekner, J. Theory of Reflection of Electromagnetic and Particle Waves / J. Lekner. -: Springer Science+Bisiness Media Dordrecht, 1987. - P. 221-240. — Текст: непосредственный.

41. Бабиков, В. В. Метод фазовых функций в квантовой механике / В. В. Бабиков— Текст: непосредственный // Успехи Физических Наук. - 1967. - Т. 92, № 5. - С. 3-26.

42. Calogero, F. Variable Phase Approach to Potential Scattering by F Calogero / F. Calogero. -Elsevier, 1967. - Р.257. — Текст: непосредственный.

43. Игнатович, В. К. Новый метод решения одномерного уравнения Шредингера / В. К. Игнатович — Текст: непосредственный // Theor. Math Phys. - 1991. - Т. 88, № 3. - С. 1010-1012.

44. Zimmerman, K. M. Advanced Analysis Techniques for X-Ray Reflectivities: Theory and Application: Dissertation / K. M. Zimmerman; Universitat Dortmund. - Karlsruhe, 2005. - P.185. — Текст: непосредственный.

45. Белушкин, А. В. Введение в методику рассеяния нейтронов (курс лекций) / А. В. Белуш-кин. - Москва : МГУ ти. М.В. Ломоносова, 2000. - С.161 — Текст: непосредственный..

46. Аксенов, В. Л. Нейтронная поляризационная рефлектометрия на импульсном реакторе ИБР-2 / В. Л. Аксенов, Ю. В. Никитенко — Текст: непосредственный // Кристаллография. - Т. 52, № 3. - С. 564-572.

47. Ankner, J. F. Polarized-neutron reflectometry / J. F. Ankner, G. P. Felcher — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 1999. - Vol. 200, № 1-3. - P. 741-754.

48. Zabel, H. Spin polarized neutron reflectivity of magnetic films and superlattices / H. Zabel — Текст: непосредственный // Phys. B Condens. Matter. - 1994. - Vol. 198, № 1-3. - P. 156-162.

49. Саламатов, Ю. А. Применение метода фазово-амплитудных функций в рентгеновской и нейтронной рефлектометрии / Ю. А. Саламатов, Е. А. Кравцов — Текст: непосредственный // Поверхность Рентгеновские Синхротронные И Нейтронные Исследования. - 2021. - № 5. - С. 312.

50. Метод фазово-амплитудных функций в рефлектометрии поляризованных нейтронов / Ю. А. Саламатов, Е. А. Кравцов, В. В. Садилов, А.В. Нагорный, В.В. Проглядо, М.А. Миляев. — Текст: непосредственный // Поверхность Рентгеновские Синхротронные И Нейтронные Исследования. - 2022. - № 12. - С. 15-20.

51. Levenberg, K. A method for the solution of certain non-linear problems in least squares / K. Levenberg — Текст: непосредственный // Q. Appl. Math. - 1944. - Vol. 2, № 2. - P. 164-168.

52. Marquardt, D. W. An Algorithm for Least-Squares Estimation of Nonlinear Parameters / D. W. Marquardt — Текст: непосредственный // J. Soc. Ind. Appl. Math. - 1963. - Vol. 11, № 2. - P. 431441.

53. Bushuev, V. A. Reconstruction of the surface layer density profile by the X-ray reflectometry method / V. A. Bushuev, A. A. Lomov, A. G. Sutyrin — Текст: непосредственный // Crystallogr. Rep.

- 2002. - Vol. 47, № 4. - P. 683-690.

54. Agranovich, Z. S. The Inverse Problem Of Scattering Theory / Z. S. Agranovich, V. A. Marchenko. - Brooklyn, New York : Gordon and breach, 1963. - Р.309. — Текст: непосредственный.

55. Chadan, K. Inverse Problems in Quantum Scattering Theory / K. Chadan, P. C. Sabatier. - 2th ed. - Springer Science & Business Media, 1989. - Р.526. — Текст: непосредственный.

56. Kay, I. The inverse scattering problem when the reflection coefficient is a rational function / I. Kay — Текст: непосредственный // Comm Pure Appl. Math. - 1960. - Vol. 13, №3.- P.371-393.

57. Inversion in neutron specular reflection / R. Lipperheide, H. Fiedeldey, H. Leeb, G. Reiss, S.A. Sofianos. — Текст: непосредственный // Physica B: Condensed Matter. - 1995. - Vol. 213. - P. 914916.

58. Galerkin, B. G. Rods and plates. Series occurring in various questions concerning the elastic equilibrium of rods and plates / B. G. Galerkin — Текст: непосредственный // Eng. Bull. Vestn. In-zhenerov. - 1915. - Vol. 19. - P.897 - 908.

59. The phase problem for X-ray specular reflectivity from thin films: A new approach / Yu. Baba-nov, Yu Salamatov, V. Vasin, V. Ustinov. — Текст: непосредственный // Superlattices Microstruct. -2015. - Vol. 82 - P. 612-622.

60. Babanov, Yu. A new interpretation of X-ray reflectivity in real space for low contrast multilayer systems I. Mathematical algorithm and numerical simulations / Yu. Babanov, Yu. Salamatov, V. Ustinov

— Текст: непосредственный // Superlattices Microstruct. - 2014. - Vol. 74 - P. 100-113.

61. Fourier Reconstruction of Density Profiles of Thin Films Using Anomalous X-Ray Reflectivity / M. K. Sanyal, S. K. Sinha, A. Gibaud, K. G. Huang, B. L. Carvalho, M. Rafailovich, J. Sokolov, X. Zhao, W. Zhao. — Текст: непосредственный // Europhys. Lett. - 1993. - Vol. 21, № 6. - P. 691.

62. Bedzyk, M. J. X-ray standing waves at a reflecting mirror surface / M. J. Bedzyk, G. M. Bom-marito, J. S. Schildkraut — Текст: непосредственный // Phys. Rev. Lett. - 1989. - Vol. 62, № 12. -P.1376-1379.

63. X-ray reflectivity analysis of thin complex Langmuir-Blodgett films / P. Poloucek, U. Pietsch, T. Geue, Ch. Symietz, G. Brezesinski. — Текст: непосредственный // J Phys Appl Phys. - 2001. -Vol. 34, № 4. - P. 450.

64. Determination of small fluctuations in electron density profiles of thin films: Layer formation in a polystyrene film / M. K. Sanyal, J. K. Basu, A. Datta, S. Banerjee — Текст: непосредственный // Europhys. Lett. EPL. - 1996. - Vol. 36, № 4. - P. 265-270.

65. Klibanov, M. V. Phaseless inverse scattering and the phase problem in optics / M. V. Klibanov, P. E. Sacks — Текст: непосредственный // J. Math. Phys. - 1992. - Vol. 33, № 11. - P. 3813 - 3821.

66. Diagnostics of the atomic structure of multilayer metallic nanoheterostructures from reflectometry data: A new approach to low-contrast systems / Yu. A. Babanov, Yu. A. Salamatov, V. V. Ustinov,

E. Kh. Mukhamedzhanov — Текст: непосредственный // Phys. Solid State. - 2014. - Vol. 56, № 9. -P.1904-1915.

67. Саламатов, Ю. А. Концентрационный профиль металлических многослойных магнитных гетероструктур по данным рентгеновской рефлектометрии / Ю. А. Саламатов, Ю. А. Бабанов — Текст: непосредственный // Известия Российской Академии Наук Серия Физическая. - 2014. -Т. 78, № 1. - С. 128-130.

68. Nikulin, A. Y. Model-independent determination of the strain distribution for a Si 0.9 Ge 0.1/Si superlattice using x-ray diffractometry data / A. Y. Nikulin, A. W. Stevenson, H. Hashizume — Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1996. - Vol. 53, № 13. - P. 8277.

69. Majkrzak, C. F. Exact determination of the phase in neutron reflectometry / C. F. Majkrzak, N.

F. Berk — Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1995. - Vol. 52, № 15. - P. 10827.

70. Retrieval of phase information in neutron reflectometry / V. O. D. Haan, A. A. V. Well, S. Aden-walla, G. P. Felcher — Текст: непосредственный // Phys. Rev. B. - 1995. - Vol. 52, № 15. - P. 10831.

71. Experimental demonstration of phase determination in neutron reflectometry by variation of the surrounding media / C. F. Majkrzak, N. F. Berk, V. Silin, C. W. Meuse — Текст: непосредственный // Phys. B Condens. Matter. - 2000. - Vol. 283, № 1-3. - P. 248-252.

72. Phase-sensitive specular neutron reflectometry for imaging the nanometer scale composition depth profile of thin-film materials / B. J. Kirby, P. A. Kienzle, B. B. Maranville N.F. Berk, J. Krycka,

F. Heinrich, C.F. Majkrzak. — Текст: непосредственный // Curr. Opin. Colloid Interface Sci. - 2012.

— Vol. 17, № 1. - P. 44-53.

73. When beauty is only skin deep; optimizing the sensitivity of specular neutron reflectivity for probing structure beneath the surface of thin films / C. F. Majkrzak, E. Carpenter, F. Heinrich, N. F. Berk — Текст: непосредственный // J. Appl. Phys. - 2011. - Vol. 110, № 10. - P. 102212.

74. Sacks, P. E. Inversion of Reflectivity Data for Nondecaying Potentials / P. E. Sacks, T. Aktosun

— Текст: непосредственный // SIAM J. Appl. Math. - 2000. - Vol. 60, № 4. - P.1340 - 1356.

75. Majkrzak, C. F. Phase-Sensitive Neutron Reflectometry / C. F. Majkrzak, N. F. Berk, U.A. Perez-Salas — Текст: непосредственный // Langmuir. - 2003. - Vol. 19, № 19. - P. 7796-7810.

76. Aksenov, V. L. Time-of-flight four-beam neutron reflectometer REFLEX at the high-flux pulsed reactor IBR-2: some polarized neutron reflectometry applications / V. L. Aksenov, D. A. Korneev, L. P. Chernenko — Текст: непосредственный // Neutron optical devices and applications. - SPIE, 1992. -Vol. 1738. - P. 335-345.

77. Toward the solution of the inverse problem in neutron reflectometry / V. O. de Haan, A. A. van Well, P. E. Sacks, S. Adenwalla, G.P. Felcher. — Текст: непосредственный // Phys. B Condens. Matter. - 1996. - Vol. 221, № 1-4. - P. 524-532.

78. Peterson, S. W. Coherent Bragg Scattering of Resonant Nuclides / S. W. Peterson, H. G. Smith

— Текст: непосредственный // J Phys Soc Jpn. - 1962. - Vol. 17, № Suppl B.

79. Mughabghab, S. F. Neutron resonance parameters and thermal cross sections / S. F. Mugha-bghab, M. Divadeenam, N. E. Holden. - Academic Press, 1981. - Р.862. — Текст: непосредственный.

80. Lynn, J. E. Resonance effects in neutron scattering lengths of rare-earth nuclides / J. E. Lynn, P. A. Seeger — Текст: непосредственный // At. Data Nucl. Data Tables. - 1990. - Vol. 44, № 2. - P. 191207.

81. Программа для расчёта потенциала рассеяния по экспериментальным данным нейтронной рефлектометрии «GLM_Neutron». Программа для ЭВМ GLM_Neutron / Е.С. Никова, Ю.А. Саламатов, Е.А. Кравцов, В.В. Устинов. - Екатеринбург. - ИФМ УрО РАН. - 2016.

83. Salamatov, Yu. A. Use of gadolinium as a reference layer for neutron reflectometry / Yu. A. Salamatov, E. A. Kravtsov — Текст: непосредственный // J. Surf. Investig. X-Ray Synchrotron Neutron Tech. - 2016. - Vol. 10, № 6. - P. 1169-1172.

84. Импульсный реактор ИБР-2: [сайт]. - Дубна, 2025. - URL: https://flnp.jinr.int/ru/glav-naya/ustanovki/ibr-2 (дата обращения: 16.06.2023). - Текст. Изображение: электронные.

85. Design and construction of the China Spallation Neutron Source / H. Chen, Y. Chen, S. Fu, L. Ma, S. Wang, F. Chen, Y. Chen, H. Dong, L. Dong, G. Feng, J. Gu, L. He, K. He, W. He, C. Hu, J.

Huang, Q. Ji, X. Jia, D. Jin, L. Kang, J. Zhuang. — Текст: непосредственный // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. Accel. Spectrometers Detect. Assoc. Equip. - 2025. - Vol. 1078 - P. 170431.

86. РЕФЛЕКС: [сайт]. - Дубна, 2025. - URL: https://flnp.jinr.int/ru/glavnaya/ustanovki/ibr-2/re-fleks (дата обращения: 16.06.2023). - Текст. Изображение: электронные.

87. The Polarized neutron spectrometer REMUR at the pulsed reactor IBR-2 / V. L. Aksenov, K. N. Jernenkov, S. V. Kozhevnikov, Yu. V.Nikitenko, A.V. Petrenko, H.J. Lauter, V. Lauter-Pasyuk. — Текст: непосредственный // JINR Commun D13-2004-47. - 2004. - Vol. 1.

88. Measurement of Magnetic Field Penetration Depth in Niobium Polycrystalline Films by the Polarized Neutron Reflection Method / L. P. Chernenko, D. A. Korneev, A. V. Petrenko, N. I. Balalykin, A. V. Skripnik. — Текст: непосредственный // Springer Berlin Heidelberg. - 1992. - Vol. 61. -P. 209-211.

89. Спектрометр нейтронов в скользящей геометрии с регистрацией нейтронов и заряженных частиц / В. Д. Жакетов, А. В. Петренко, С. Н. Вдовичев, В.В. Травкин, А. Чик, Ю.Н. Копач, Ю.М. Гледенов, Э. Сансабаяр, Н.А. Гундорин, Ю.В. Никитенко, В.Л. Аксенов. — Текст: непосредственный // Поверхность Рентгеновские Синхротронные И Нейтронные Исследования. - 2019. -№ 6. - С. 20-30.

90. РЕМУР: [сайт]. - Дубна, 2025. - URL: https://flnp.jinr.int/ru/glavnaya/ustanovki/ibr-2/remur (дата обращения: 16.06.2023). - Текст. Изображение: электронные.

91. BL02: Multi-Purpose Reflectometer: [сайт]. - Dalang, 2025. - URL: https://eng-lish.ihep.cas.cn/csns/fa/in/202109/t20210915_283257.html (дата обращения: 16.09.2025). - Текст. Изображение: электронные.

92. Physical design of target station and neutron instruments for China Spallation Neutron Source / F. Wang, T. Liang, W. Yin, Q. Yu, L. He, J. Tao, T. Zhu, X. Jia, S. Zhang. — Текст: непосредственный // Sci. China Phys. Mech. Astron. - 2013. - Vol. 56, № 12. - P. 2410-2424.

93. On the coherent scattering length of natural gadolinium / A. I. Frank, V. I. Bondarchuk, G. V. Kulin, O. V. Kulina. - Dubna: Joint Inst. Nucl. Res., 2002. — № JINR-R--3-2002-288. — Текст: непосредственный.

94. Multiple spin-flip transitions and stairs-like GMR in Fe/Cr superlattices with uniaxial in-plane anisotropy / V. V. Ustinov, M. A. Milayev, L. N. Romashev, T.P. Krinitsina, A.M. Burkhanov, V.V. Lauter-Pasyuk, H.J. Lauter. — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 2006. - Vol. 300, № 1. - P. e281-e283.

95. Interface formation and magnetic ordering in Fe/Cr hybrid nanostructures / E. Kravtsov, V. Lauter-Pasyuk, H. J. Lauter. B. Toperverg, O. Nikonov, A. Petrenko, M. Milyaev, L. Romashev, V. Ustinov. — Текст: непосредственный // Phys. B Condens. Matter. - 2001. - Vol. 297, № 1-4. - P. 118-121.

96. Исследование рассеяния электронов проводимости в сверхрешетках Fe/Cr методом ИК-магнитоотражения / И. Д. Лобов, М. М. Кириллова, Л. Н. Ромашев, М.А. Миляев, В.В. Устинов. — Текст: непосредственный // Физика Металлов И Металловедение. - 2012. - Т. 113, № 12. -С. 1221.

97. Ustinov, V.V. Spin-flop transition scenario in finite layered antiferromagnets / Ustinov V.V. — Текст: непосредственный // J. Magn. Magn. Mater. - 2007. - Vol. 310, № 2. - P. 2219-2221.

98. Transverse and lateral structure of the Spin-flop phase in Fe/Cr antiferromagnetic superlattices / V. Lauter-Pasyuk, H. J. Lauter, B. P. Toperverg, L. Romashev, V. Ustinov. — Текст: непосредственный // Phys. Rev. Lett. - 2002. - Vol. 86, № 16. - С. 167203.

99. Неколлинеарный межслойный обмен в магнитных структурах Fe/Cr/Fe с различной шероховатостью границ раздела слоев / Н. М. Крейнес, Д. И. Холин, С. О. Демокритов, М. Рикарт — Текст: непосредственный // Письма В ЖЭТФ. - 2003. - Т. 78, № 10. - С. 1121-1125.