Структурные изменения с ростом толщины пленок Pd,Pd-Cu и гетероструктуры Mo-Cu тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.07, кандидат физико-математических наук Максименко, Александр Александрович

• Максименко, Александр Александрович
• кандидат физико-математических наук
• 2007

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Максименко, Александр Александрович

Введение

Глава 1. Литературный обзор

1.1 Газопроницаемость мембран на основе Pd, структура, механические свойства и методы получения

1.1.1 Механические свойства мембранных сплавов

1.1.2 Проникновение водорода через металлические мембраны

1.1.3. Структура и механические свойства упорядоченного сплава медь—палладий

1.2 Структура и прочность вакуумных конденсатов

1.2.1. Влияние условий конденсации на структуру вакуумных конденсатов

1.2.2. Эффект толщины при формировании зерен в гетерофазных конденсатах

Глава 2. Материалы, способы получения вакуумных конденсатов

Pd, Pd-Cu и пленочных гетероструктур Мо-Cu, методы их исследования

2.1 Материалы и оборудование

2.2 Нанесение плёнок

2.2.1 Нанесение плёнок Pd методом электронно-лучевого испарения

2.2.2 Нанесение плёнок Pd, Си и твёрдого раствора Pd-Cu методом магнетронного распыления

2.3 Получение многослойных плёнок Мо-Cu

2.4 Препарирование образцов

2.4.1 ДляПЭМИЭГ

2.4.2 Для механических испытаний и измерения газопроницаемости

2.4.2.1 Приготовление образцов Мо-Cu для испытаний на микротвёрдость

2.4.2.2 Приготовление образцов Pd, Pd-Cu и Mo-Cu для испытаний на растяжение 53 2.4.2.3 Приготовление образцов Pd и Pd-Cu для измерения газопроницаемости

2.5 Методика исследования фазового состава, ориентации и субструктуры плёнок

2.6 Методика исследования механических свойств и газопроницаемости 55 2.6.1 Методика испытаний на растяжение 55 2.6.2Методика исследования микротвёрдости покрытий системы Мо-Си 55 2.6.3 Исследование газопроницаемости

Глава 3. Структура, рельеф поверхности, газопроницаемость и механические свойства вакуумных конденсатов Pd и Pd-Cu

3.1. Структура, ориентация и рельеф поверхности вакуумных конденсатов Pd

3.2. Фазовый состав, субструктура и ориентация вакуумных конденсатов Pd-Cu

3.3 Прочность вакуумных конденсатов Pd

3.4 Газопроницаемость вакуумных конденсатов Pd

Глава 4. Структура и механические свойства металлической гетероструктуры Mo-Cu

4.1 Структура, ориентация и морфология поверхности металлической гетероструктуры Mo-Cu

4.2 Исследование микротвёрдости покрытий

4.3 Измерение прочности 131 Основные результаты и выводы 138 Список литературы

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Структурные изменения с ростом толщины пленок Pd,Pd-Cu и гетероструктуры Mo-Cu»

Актуальность темы. Фольги из палладия и сплавов на его основе имеют практическое значение как эффективные материалы для создания селективных водородных мембран. Одним из перспективных с точки зрения водородной проницаемости, является сплав Pd-Cu, атомное упорядочение которого для интервала 30-55 ат.% Pd может приводить к превращению ГЦК решетки неупорядоченного твёрдого раствора (а-фаза) в ОЦК решетку (0-фаза, решетка типа CsCl).

Основной способ формирования фольг для создания мембран - прокатка. В то же время известно, что гибкость вакуумных технологий позволяет как получать конденсированные плёнки практически любой заданной толщины, так и в широких пределах изменять их микроструктуру.

К настоящему времени механизм роста и закономерности морфологических, ориентационных и субструктурных превращений для тонких плёнок Pd хорошо изучены. Это связано с доступностью и широкой распространенностью исследований структуры тонких плёнок методами просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ), дающей наиболее полное представление о структуре и субструктуре.

В то же время исследования субструктуры толстых конденсатов Pd не проводились, нет данных о влиянии неоднородности структуры на механические свойства.

С учётом этого обстоятельства и того, что систематические исследования закономерностей роста плёнок твёрдого раствора Pd-Cu не проводились и в связи с практической целесообразностью, актуальны исследования структуры плёнок Pd и Pd-Cu толщиной до нескольких микрометров, её влияние на механические свойства и проницаемость водорода.

Эффективным методом управления субструктурой конденсатов и их свойствами является создание многослойных композитов поочерёдной конденсацией компонентов. Поэтому представляют практический интерес данные о взаимосвязи субструктурной организации компонентов с их механическими свойствами.

Диссертация выполнена в региональной научно исследовательской лаборатории электронной микроскопии и электронографии Воронежского государственного технического университета и поддержана грантом № 05-03-9413 рцчра и грантом Президента РФ «Поддержка ведущих научных школ» НШ-7098.2006.3.

Цель работы - установление закономерностей структурных превращений с увеличением толщины плёнок Pd, Pd-Cu и многослойной гетероструктуры Мо-Cu; связи свойств с неоднородностью структуры.

Для этого решались следующие задачи:

1. Выращивание пленок Pd методом электронно-лучевого испарения (ЭЛИ) и магнетронного распыления (MP) на ориентирующих и неориентирую-щих подложках при различных температурах.

2. Получение вакуумных конденсатов твёрдого раствора Pd-Cu методом MP на поверхности окисленного кремния (SiCb) и кристаллов фторфлогопита (Ф) при различных температурах подложек.

3. Формирование многослойных плёночных гетероструктур Мо-Cu методом электронно-лучевого испарения и послойной конденсации в вакууме.

4. Исследования структурных, субструктурных и ориентационных изменений с увеличением толщины пленок Pd, твёрдого раствора Pd-Cu и многослойных плёночных гетероструктур Мо-Cu.

5. Исследования прочности и микротвёрдости гетероструктур Мо-Cu; прочности и водородной проницаемости вакуумных конденсатов Pd.

Научная новизна

1. Исследована эволюция структуры с толщиной и механические свойства вакуумных конденсатов Pd толщиной до 10 мкм.

2. Исследована водородопроницаемость селективных водородных мембран вакуумных конденсатов Pd, обнаружено, что проницаемость эпитаксиаль-ных плёнок полученных методом ЭЛИ, в несколько раз превышает проницаемость фольг, полученных прокаткой.

3. Впервые проведены систематические исследования структуры вакуумных конденсатов твёрдого раствора 47%Pd-Cu.

4. В условиях ионно-плазменного распыления при формировании плёнок Pd-Cu впервые обнаружены ориентационные соотношения:

001), [110] а || (001), [010] Ф и (001), [110] р || (001), [010], [310], [з 10] Ф

Основные положения и результаты, выносимые на защиту:

1. Рост плёнок Pd и PdCu при Тп =300+800 К сопровождается формированием градиентной структуры и уменьшением дисперсности к свободной поверхности.

2. Шероховатость свободной поверхности эпитаксиальных плёнок Pd, полученных методом ЭЛИ не изменяется с увеличением толщины, шероховатость плёнок Pd, сконденсированных на неориентирующих подложках увеличивается пропорционально толщине плёнки.

3. В условиях ионно-плазменного распыления тормозится избирательный рост зёрен, снижается температура формирования эпитаксиальных плёнок Pd.

4. Взаимная ориентация аир фаз эпитаксиальных двухфазных пленок твердого раствора Pd-Cu отвечает соотношениям Нишиямы и Вассермана, Курдюмо-ва и Закса.

5. При ионно-плазменном распылении могут релиазоваться ориентационные соотношения, не свойственные ГЦК и ОЦК металлам:

001),[110]а|| (001), [010]Ф и (001), [110] р || (001), [010], [310], [з 10] Ф

6. Водородная проницаемость плёночных селективных мембран на основе

Pd, увеличивается с ростом размеров зёрен и максимальна у одноориентацион-ных эпитаксиальных крупноблочных структур.

7. Максимальная прочность вакуумных конденсатов Pd соответствует градиентной структуре, полученной на не подогреваемой подложке; максимальная прочность многослойных плёночных гетероструктур Мо-Cu наблюдается при минимальной толщине слоёв, обеспечивающих сплошность покрытия, микротвёрдость таких образцов не изменяется в результате отжига.

Практическая значимость работы. Полученные результаты могут быть использованы при разработках технологических процессов создания функциональных элементов на основе плёночных многослойных композитов Мо-Cu и Pd-мембран для сверхвысокой очистки водорода.

Апробация работы. Основные результаты диссертационной работы были представлены на: V школе-семинаре «Актуальные проблемы современной неорганической химии и материаловедения» (Звенигород, 2005); IV Международной научной конференции «Кинетика и механизм кристаллизации. Нанокри-сталлизация. Биокристаллизация» (Иваново, 2006); VI Международной конференции «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении» (Астрахань, 2006); III Всероссийской конференции «Физико-химические процессы в конденсированном состоянии и на межфазных границах» (Воронеж, 2006); II Всероссийской конференции по наноматериалам «НАНО 2007» (Новосибирск, 2007).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 8 научных работ, в том числе 2 - в изданиях, рекомендованных ВАК РФ. В работах, опубликованных в соавторстве и приведённых в конце диссертации, лично соискателю принадлежит: в [1] реализация методик синтеза тонких и толстых плёнок Pd; в [2-7] реализация методик синтеза тонких и толстых плёнок Pd-Cu; в [8] получение многослойных композиций Мо-Cu; в [1, 8] проведение механических испытаний; в [1-8] проведение структурных исследований.

Структура и объём работы. Диссертация состоит из введения, четырех глав, выводов, списка литературы из 112 наименований. Основной текст изложен на 149 страницах, содержит 82 рисунка и 11 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Физика конденсированного состояния», Максименко, Александр Александрович

Основные результаты и выводы

1. При Тп = 300 4- 800 К поликристаллические плёнки Pd имеют градиентную структуру с толщиной слоя и аксиальную текстуру <111> у свободной поверхности; в интервале 800+1150 К плёнки характеризуются аксиальной текстурой <111>; при 1150+1200 К на фторфлогопите формируются эпитаксиаль-ные крупноблочные плёнки; температурный интервал формирования монокристаллических плёнок 1200+1250 К.

2. Средний размер зерна и шероховатость свободной поверхности поликристаллических (сконденсированных на БЮг при 1200+1250 К) плёнок Pd увеличиваются пропорционально толщине сконденсированного слоя, шероховатость поверхности эпитаксиальных плёнок не изменяется с ростом толщины.

3. В условиях ионно-плазменного распыления тормозится избирательный рост зёрен, снижается температура формирования эпитаксиальных плёнок Pd.

4. Рост плёнок Pd и PdCu в условиях ионно-плазменного распыления при Тп =300+800 К сопровождается формированием градиентной структуры и уменьшением дисперсности к свободной поверхности.

5. Водородопроницаемость плёночных селективных мембран на основе Pd, увеличивается с ростом размеров зёрен и максимальна у одноориентацион-ных эпитаксиальных крупноблочных структур.

6. Взаимная ориентация кристаллитов аир фаз эпитаксиальных двухфазных пленок твердого раствора Pd-Cu отвечает соотношениям Нишиямы и Вас-сермана, Курдюмова и Закса.

7. Выявлен эффект плазмы в смене преимущественной ориентации пленок упорядоченного твердого раствора Pd-Cu в температурно-концентрационной области р<->а фазового превращения; реализуются ориентационные соотношения, не свойственные эпитаксиальным плёнкам металлов на фторфлогопите.

8. При формировании (при Тп=570 К) многослойных гетероструктур Mo-Cu с толщиной составляющих слоёв свыше 15 нм, размер зёрен меди увеличивается с увеличением толщины слоя, при толщине менее 15 нм, слои Мо и Си не являются сплошными и размер зёрен Си составляет 0,5 мкм размер зёрен Мо не изменяется и составляет ~ 30+50 нм.

9. Максимальная прочность вакуумных конденсатов Pd соответствует градиентной структуре, полученной на не подогреваемой подложке; максимальная прочность многослойных плёночных гетероструктур Мо-Cu наблюдается при минимальной толщине слоёв, обеспечивающих сплошность покрытия, микротвёрдость таких образцов не изменяется в результате отжига.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Максименко, Александр Александрович, 2007 год

1. Синтез и субструктура пленок упорядоченного твердого раствора палладий медь / В. М. Иевлев, Е. К. Белоногов, А.А. Максименко, Г.С. Бурханов,

2. H.Р. Рошан, В.В. Шкатов // Вестник ВГТУ. Сер. Материаловедение. 2005. Вып.117. С. 9-18.

3. Субструктура и прочность конденсированных плёнок палладия / В.М. Иевлев, Е.К. Белоногов, А.А. Максименко, Б.Л. Агапов, В.В. Шкатов // Деформация и разрушение материалов. М.: Изд-во МГИУ, 2006. Т.1. С. 468-471.

4. Ориентированная кристаллизация тонких плёнок твёрдого раствора медь-палладий / В. М. Иевлев, Е. К. Белоногов, А.А. Максименко, Г.С. Бурханов, Н.Р. Рошан, В.В. Шкатов // Горный информационно-аналитический бюллетень. М., 2005. С.132-139.

5. Иевлев В.М. Белоногов Е.К. Максименко А.А. Структура, микротвёрдость, прочность и характер разрушения многослойных плёночных композитов Мо-Cu // «НАНО 2007»: тез. докл. II всерос. конф. по наноматериалам. Новосибирск, 2007. С. 153.

6. Металлические диффузионные мембраны и процессы фильтрации изотопов водорода/В.В.Латышев // Атомная энергия. 1990. вып.1,с 38-44.

7. Разделение изотопов водорода на металлических мембранах / В. В. Латышев, В. А. Гольцов, С. А Федоров // Атомная энергия. 1982. - вып. 2, с. 135- 136.

8. Водород в металлах / В.А. Гольцов — В кн.: Вопросы атомной науки и техники, Сер. атомно-водородная энергетика и технология. — М.: Атомнздат.- 1978.-вып. 1, с. 193-230.

9. Сплавы палладии рутении как мембранные катализаторы / В. М. Грязнов, А. П. Мищенко, В. П. Полякова и др.- ДАН СССР. - 1973. - № 3, с. 624-627,

10. Мембранный аппарат для диффузионного выделения и получения изотопов водорода особой чистоты / В. М. Быстрицкий, В. Г. Гурьянов, И.А. Ионесян и др. — Препринт Объединенного института ядерных исследований -Дубна: 1989.-80 с.

11. Гельд П. В., Рябов Р. А. Водород в металлах и сплавах / П. В. Гельд, Р. А. Рябов. — М.: Металлургия, 1974. - 272 с.

12. Водород в металлах. Под ред. Г. Алефельда, и М. Фелькля. М.: Мир.- 1981.-475 с.

13. Диффузия и растворимость водорода в металлах и упорядочивающихся сплавах / В.А. Гольцов, В.В. Латышев, Л.И. Смирнов. — Взаимодействие водорода с металлами. Под ред. А. П. Захарова. М.: Наука. - 1987. с. 105-143.

14. Латышев В.В., Тимофеев Н.И. Оптимизация состава сплава Pd Ag -In - Y для диффузионных фильтров водорода // Цветная металлургия, - 1983. с. 133—134.

15. Свойства мембранных сплавов / В.В. Латышев, В. Г. Гурьянов, С. А. Федоров. Препринт ДонФТИ: - 1988. - 43 с.

16. Анализ влияния размеров образца на растворимость водорода в металлах / В. Б. Выходец, А. Я. Фишман, А. Н. Мень. — АН СССР: Металлы, -1983. с. 34—35.

17. Dates W. A., Flanagan Т. В. The solubility of hydrogen in transition metals and their alloys. — Progr. Solid state chem., 1981,13, p. 193—283.

18. Wise H., Farr I. P. G., Harris I. R. Studies of the missibility gaps of sone palladiym solid solution hydrogen systems.—J. Less-Common Metals, 1975, p. 115—125.

19. Латышев B.B., Кошель В.И. Сорбция протия и дейтерия палладие-вым сплавом В-1 //Химическая физика, 1982. - № 12. с. 1696—1700.

20. Кошель В.И., Латышев В.В., Гольцов В. А. Термоконцентрационная дилатация мембранного сплава В-2 в атмосфере водорода // Физнко-хим. механика материалов.— 1984. № 16. с. 52—54.

21. Тимофеев Н.И., Громов В.И., Берсенева Ф.Н. Влияние растворенного водорода на механические свойства палладия // ФММ. 1980.- вып. 4. с. 874— 879.

22. Гольцов В. А., Мачикина И.Ю., Тимофеев Н.И. Гидридная пластичность водородофазонаклепанных металлов и сплавов // ФММ. 1980, - вып. 6, с. 1299—1303.

23. Н.И. Тимофеев Производство полуфабрикатов и изделий из благородных металлов и сплавов // Производство и эксплуатация изделий из благородных металлов и сплавов (Сб. статей). Свердловск: УНЦ АН СССР, - 1983. с. 3-14.

24. Мачикина И.Ю., Баранникова Г.А., Гольцов В.А. Механические и диффузионные характеристики фазоупрочняемых сплавов типа В-3 на основе палладия для диффузионных фильтров водорода // Физико-хим. механика материалов. 1985. - № 1. с. 98-100.

25. Зеткин А.С., Каган Г.Е., Левин Е.С. Влияние структурных превращений на диффузионные характеристики дейтерия в сплавах палладий медь // ФММ. - 1987. - вып. 5. с. 971—974.

26. Wicke Е., Gibmeier Н. Kathodische und Anodische H/D Trennfaktoren an Pd/Ag Folichelektroden. - Zeitschrift fur Physikalische Chemie Neue Folcre -1964, S. 112—114.

27. Перевезенцев A.H., Андреев Б. M., Капышев В. К. Гидриды интерметаллических соединений и сплавов, их свойства и применение в атомной технике // Физика элементарных частиц и атомного ядра. 1988. вып. 6. с. 1386— 1439.

28. Тимофеев Н.И., Каган Г.Е., Гольцов В. А. Проницаемость, диффузия и растворимость водорода и дейтерия в сплаве В-1 // Физические свойства металлов и сплавов. Свердловск. - 1974. - № 231. с. 137 -139.

29. Быстрицкий В.М., Джелепов В.П., Дороничева Н.Н. Установка для получения сверхчистого газообразного водорода при давлении до 50 атмосфер // Препринт Объединенный институт ядерных исследований. — Дубна: 1971. с. 8.

30. Разделение изотопов водорода диффузией через металлические мембраны / В.В.Латышев, С.А. Федоров, В.В. Румянцев и др. Препринт ДонФТИ. -1989.- 18 с.

31. Федоров С. А., Латышев В. В., Капышев В. К. Разделение изотопной Н—D—Т смеси при диффузии через металлические мембраны // Методы определения и исследования газов в металлах. Тезисы докладов V Всесоюзнойконференции. М.: - 1988. с. 165.

32. Принципы разработки и проектирования диффузионных фильтров изотопов водорода / В.В. Латышев, С.А. Федоров, В.Г. Гурьянов — Препринт ДонФТИ.- 1989.-41 с.

33. Компанеец Т.Н., Курдюмов А.А. Применение метода проницаемости для исследования кинетики взаимодействия водорода с металлами // Физ. химия. 1980. - № 11. с. 2791—2797.

34. Байчток Ю. К., Соколинский Ю. А., Айзенбуд М. Б. О лимитирующей стадии проницаемости водорода через мембраны из палладиевых сплавов // Физ. химия, 1976, № 6, с. 1543—1546. ,

35. Лифшиц А.И., Самарцев А.А. Достижение предельных значений коэффициента прилипания и вероятности проникновения в системе водород -палладиевая перегородка // Журнал техническая физика. 1979. - вып. 11. с. 2433.

36. Габис Т.Е., Курдюмов А.А., Лясников В.Н.Анализ изотерм водородопроницаемости плоских металлических мембран // Физико-хим. механика материалов 1985. - № 5. с. 120—121.

37. Влияние поверхностных процессов на водородопроницаемость металлической мембраны / В.В. Латышев, В.Г. Гурьянов, Н.А. Мартынова и др. -Донецкий медицинский институт. 1986. г- 9 с.

38. Гольцов В. А., Мачикина И.Ю., Тимофеев Н.И. Рекристаллизация во-дородофазонаклепанного палладия // ДАН СССР. 1979. - № 1, с. 94—98.

39. Изучение микроструктуры диффузионных элементов из сплава В-1, подвергнутых различным видам водородного воздействия / В.Г. Гурьянов, С.М.

40. Белова, Н.Г. Шулика и др. — Донецкий медицинский институт. 1987. - 10 с.

41. Особенности изменений микроструктуры водорододиффузионных мембран из палладия и сплава В-1, подвергнутых специальным термоконцентрационным нагружениям / В.Г. Гурьянов, С.М. Белова, Н.Г. Шулика и др. -Донецкий медицинский институт. 1988 .- 15 с.

42. Шашков О.Д., Сюткина В. И., Суханов В. Д. Исследование процессов распада и упорядочения в сплаве медь—палладий—серебро. — ФММ, 1975, 39, вып 6, с.1275-1283.

43. Абдулов Р. 3., Сюткина В. И., Шашков О. Д. Выделение фазы на доменных границах упорядоченного сплава CuAu с добавками никеля и серебра. — ФММ, 1978. 45, вып. 1, с. 118—124.

44. Марцинковский М. Дж. Теория и прямое наблюдение антифазных границ дислокаций в сверхструктурах. — В кн.: Электронная микроскопия и прочность кристаллов. М.: Металлургия, 1968, с. 215—320.

45. Хансен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов. М.: ГНТИЛЧЦМ, 1962. 2, с. 655-658.

46. Iohansson С. Н., Linde I. О. Litterstruktur und elektrisches Leitvermogen der Mishkristallreihen Au—Cu, Pd—Cu und Pt—Cu. — Ann. Physik, 1927, 82, p. 449—478.

47. Санадзе B.B., Джибути M.B. Изучение процессов разупорядочения в сплаве Pd—Си. Изв. вузов. Физика, 1973, № 7, с. 51—56.

48. Варлимонт X., Дилей Л. Мартенситные превращения в сплавах на ос-новемеди, серебра и золота. М.: Наука, 1980, с. 52.

49. Eliss F.V., Mohanty L. P. Strain induced transformation in Cu0,6Pdo,4 alloy. Scripta Met., 1970,4, p. 929—930.

50. Белецкий Ю.И., Дзигращвили Т. А., Кокорин В. В. и др. Особенности физических свойств и упорядочение в сплавах Си—Pd. — ФММ. 1978, 45, вып. 6, с. 1200- 1204.

51. Телегин А. Б., Сюткин Н. Н., Шашков О. Д. Структура и механические свойства упорядоченного сплава медь—палладий

52. Моррисон В.Б., Миллер P. J1. Пластичность сплавов со сверхмелким зерном. В кн.: Сверхмелкое зерно в металлах. М.: Металлургия, 1973, с. 181—205.

53. Попов JL Е. Конева Н. А., Терешко И. В. Деформационное упрочнение упорядоченных сплавов. М.: Металлургия, 1979, с. 67—185.

54. Хирт Дж. Лоте И. Теория дислокаций. М.: Атомиздат, 1972, с. 505—513.

55. Гибсон Р.К., Брофи Дж. X. Железохромоникелевые сплавы со структурой микродуплекс. В кн. Сверхмелкое зерно в металлах. М.: Металлургия, 1973, с. 347-363.

56. Христосенко B.C. и др. Применение метода изгиба для определения модуля Юнга тонких плёнок. В кн. Физика магнитных плёнок Вып. 4. 1971г. Иркутск.

57. Колмогоров А.Н. К вопросу о "геометрическом отборе" кристалли-тов//ДАН СССР. 1949. Т. 65. № 5. с. 681-684.

58. Л. Палатник Л.С., Папиров И.И. Ориентированная кристаллизация.-М.: Металлургия, 1964. 408 с.

59. Л. С. Палатник и др., ДАН СССР, 140,567, 1297(1961).

60. Палатник Л.С., Фукс М.Я., Косевич В.М. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок.-М.: Наука, 1972. -320с.

61. В.М. Косевич и др., ДАН СССР, 158, 1314(1964).

62. Л. С. Палатник, Б. Т. Бойко, ДАН СССР, 120, 1015 (1958)/

63. Л. С. Палатник, В. М. Косевич, ДАН СССР, 121, 97 (1958).

64. Л. С. Палатник, А. Г. Равлик, ФММ, 18, 632 (1964).

65. Л. С. Палатник, В. М. Косевич, А. В. Тырина, ФММ, 11,292 (1961).

66. Л. С. Палатник и др., ФММ, 11,236 (1961).

67. Л. С. Палатник, В. В. Левитин, ДАН СССР, 95,975 (1954).

68. Л. С. Палатник, А. И. Ильинский, ФТТ, 3, 2813 (1961).

69. Л. С. Палатник, Г. В. Федоров, ДАН СССР, 166, 5 (1966).

70. Л. С. Палатник, Ю. Ф. Комник, ДАН СССР, 126,74 (1959).

71. Л. С. Палатник, Г. В. Федоров, П.Н. Богатое, ДАН СССР, 158, 586 (1964).

72. Л.С.Палатник, Н.Т.Гладких, Л.В.Герловская, ФЛШ, 20, 396 (1965).Трусов Л.И., Холмянский -В .А. Островковые металлические пленки. М.: Металлургия, 1979. - 320 с.

73. Физика тонких плёнок. Т. 3. М.: Мир, 1968.

74. Круковер П.И., Буравихин В.А. Механические свойства тонких металлических плёнок. Вып.1, Иркутск, 1967г.

75. Физические свойства плёночных материалов: Учеб. пособие / В.М. Иевлев; ВПИ. Воронеж, 1988. 89 с.

76. Гофман Р.У. Механические свойства тонких конденсированных плёнок // Физика тонких плёнок, т.З.-М.: Мир, 1968.

77. Физика тонких плёнок. Т. 6. М.: Мир, 1973.

78. D'Antonio С., Hirschorn J., Tarshis L., Trans. AIME, 227.1346 (1963)

79. Пинес Б.Я., Нгуен Суан Тянь. ФММ,13,225,1966.

80. Рост и субструктура конденсированных плёнок: Учеб. пособие / В.М. Иевлев, А.В. Бугаков, В.И. Трофимов; ВГТУ. Воронеж, 2000. 386 с.

81. Louat N.P. On the theory of normal grain growth //Acta Met. 1974. Vol. 22. N6. P. 721 -724.

82. Структура межкристаллитных и межфазных границ /В.М. Косевич, В.М. Иевлев, Л.С. Палатник, А.И. Федоренко М.: Металлургия, 1980.-256 с.

83. Трофимов В.И., Осадченко В.А. // Рост и морфология тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1993. - 272 с.

84. Точицкий Э.И. Кристаллизация и термообработка тонких пленок. -Минск: Наука и техника, 1976. 314с.

85. Иевлев В.М., Трусов Л.И., Холмянский В.А. Структурные превращения в тонких пленках. 2 изд. М.: Металлургия, 1988. - 320 с.

86. Монокристаллические пленки. /Под ред. З.Г. Пинскера М.: Мир, 1966.-400 с.

87. Иевлев В.М.,Трусов Л.И, Рост пленок: Уч. пособие. Воронеж, 1980.96с.

88. Иевлев В.М. Структура пленок: Учеб.пособие. Воронеж, 1983. 87с.

89. Золотухин .И.В. Внутреннее трение и структура вакуумных металлических конденсатов: Автореф.дис.докт.техн.наук, Воронеж, 1974. 34 с,

90. Золотухин И.В., Иевлев В.М., Постников B.C., Скоробогатов В.С, Внутреннее трение и микроструктура вакуумных конденсатов меди//Физика и химия обработки материалов. 1972. № 2. С.45-50.

91. Гиваргизов Е.И. Искусственная эпитаксия перспективная технология элементной базы микроэлектроники. - М.: Наука, 1988.-175с.

92. Н. Гладких, R. Nidermayer, Kurznachricht. Acad. Wiessensch. (Guttten-gen), 16,69(1965).

93. H. Гладких, R. Nidermayer, K. Spiegel, Phys. Stat. Solidi, 15,181 (1966).

94. Langmuir, Phys. Rev., 11, 329 (1913).

95. Д. Хирс, Г. Паунд, Испарение и конденсация, изд-во «Металлургия», М., 1966.

96. D. W. Pashley etal., Phil. Mag., 10, 127 (1964).

97. Разрушение твёрдых тел. Пер. с англ. З.Г. Фридмана. М.: Металлургия. 1967.

98. Ильинский А. И., Подтележников А. А., Шмыгарев Ю.М. , Соболь О.В. О связи между структурой и прочностью многослойных композиций медь-хром//ФММ. 1987. Т. 63. №4. С. 816-819.

99. Шмыгарев Ю.М., Пашко Т.Д., Подгорная О.А., Пальчук И.М. Распределение зёрен по размерам в конденсатах Си-Мо//ВАНТ. Сер. : ЯФИ.1990. Вып. 2(10). 1-118. С. 67-70.

100. Ильинский А. И., Шмыгарев Ю.М. Эффект толщины при формировании зёрен в гетерофазных конденсатах//ВАНТ. Сер. : ЯФИ.1990. Вып. 2(10). 1-118. С. 65-67.

101. Рекристаллизация металлических материалов / Под ред. Ф. Хесснера. М. Металлургия, 1982.

102. Ильинский А. И. Структура и прочность слоистых и дисперсно-упрочненных пленок. М.: Металлургия, 1986.

103. Ильинский А. И., Зубков А. И., Палатник JI. С. и др. Механизм осаждения конденсатов из двухкомпонентной (Си , Мо) гомогенной паровой фазы и структура полученных композитов: Препринт ХФТИ АН УССР, Харьков: ХФТИ86-9. 1986.

104. Ильинский А.И., Зубков А.И., Лях Г.Е. и др. О стабильности структуры и свойств микрокристаллических пленок системы Си-Мо//ВАНТ. Сер. :ФРП и РМ.1985. Вып. 4(37). С. 39-42.

105. Кукушкин С.А., Слезов В.В. Дисперсные системы на поверхности твердых тел: механизмы образования тонких пленок (эволюционный подход). -СПб.: Наука, 1996. 309 с.

106. Биокерамика на основе фосфатов кальция / С.М. Баринов, В. С. Ком-лев; Институт физико-химических проблем керамических материалов. М. : Наука, 2005. - 204 с.

107. Г. Гримшер, У. Боллмаш, Д. Уоррингтон /Решетки совпадающих узлов и полные решетки наложений в кубических кристаллах// Атомная структура межзеренных границ. Под ред. А.П. Орлова, изд. «Мир», М., 1978, с. 25 54.