Высококонтрастные перестраиваемые фотонные структуры на основе материалов с фазовой памятью Ge2Sb2Te5 тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Соломонов Александр Иванович

• Соломонов Александр Иванович
• кандидат наук
• 2024

Оглавление диссертации кандидат наук Соломонов Александр Иванович

Оглавление

Стр.

Реферат

Synopsis

Введение

Глава 1. Перестраиваемые фотонные структуры

1.1 Механизмы перестройки оптического отклика

1.1.1 Геометрические изменения

1.1.2 Изменение материала окружающей среды

1.1.3 Активные материалы

Глава 2. Оптические свойства 2.5D фотонных структур

2.1 Прямоугольная решетка

2.2 Шахматный порядок

2.3 Заключение

Глава 3. Фильтрация излучения в оптическом диапазоне при

помощи перестраиваемых метаповерхностей

3.1 Заключение

Глава 4. Перестройка топологического заряда оптических

вихрей при помощи перестраиваемых метаповерхностей127

4.1 Заключение

Заключение

Список иллюстративного материала

Список литературы

Стр.

Благодарности

Приложение А. Основные публикации автора по теме

диссертации

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Высококонтрастные перестраиваемые фотонные структуры на основе материалов с фазовой памятью Ge2Sb2Te5»

Реферат

Общая характеристика диссертации

На текущий момент количество информации, которую необходимо обработать, растет экспоненциально, что требует увеличения числа транзисторов в электронных интегральных схемах и уменьшения технологического процесса (закон Мура) [1]. Однако, существует глобальное ограничение на размер транзисторов: в субнанометровом диапазоне на их работу начинают существенно влиять внешние условия, такие как флуктуации температуры и электромагнитные помехи, что негативно сказывается на надежности и производительности. Подбор оптимальных условий для более сложных систем также становится труднее из-за множества факторов, влияющих на производительность.

Проблемы, возникающие при проектировании электроники, решаются с помощью систем искусственного интеллекта (ИИ), которые значительно ускоряют процесс разработки и оптимизации. ИИ использует методы машинного обучения и глубокого обучения для анализа больших объемов данных и предсказания характеристик новых материалов и компонентов, что позволяет находить оптимальные решения без значительных затрат времени на вычисления.

Однако, чтобы переити от электронной компонентной базы к фотонной, необходимо определить параметры компонентов, выполняющие функции транзистора, волновода и источника света. Это требует глубокого понимания фотонных и электронных свойств материалов. В настоящее время активно изучаются искусственные материалы, такие как фотонные кристаллы, метама-териалы и метаповерхности. Фотонные кристаллы, имеющие период решетки, соразмерный длине волны, находят применение в лазерах, сенсорах и фильтрации излучения [2 7].

Основная проблема с фотонными структура заключена в их неидеальном изготовлении, что может ослабить требуемый оптический отклик системы. Необходимость контроля за дефектами требует дорогостоящего оборудования. Поэтому важно иметь возможность настройки характеристик фотонного кристалла после его изготовления, чтобы избежать необходимости в полном повторном производстве. Одним из решений является использование материалов с фазовой памятью, которые могут изменять свойства, такие как показатель преломления и коэффициент экстинкции. Это снижает требования к изготовлению и позволяет более гибко управлять световыми потоками, что подчеркивает актуальность данной работы.

Целью исследования является создание и экспериментальное изучение перестраиваемых фотонных компонентов оптических устройств, в которых резонансные и нерезонансные структурные элементы выполнены из высокоиндексных материалов с фазовой памятью.

Научные задачи, которые необходимо решить для достижения цели:

1. Исследовать возможность расширенной настройки перестраиваемого оптического отклика метаповерхностей на основе высокоиндексных материалов с фазовой памятью за счет внесения дополнительной степени свободы в систему.

2. Определить дизайн простых метаповерхностей для модуляции оптического отклика, возникающего благодаря резонансным структурным элементам, сделанных из материалов с фазовой памятью.

3. Изучить генерацию оптических вихрей с разными топологическими зарядами при помощи перезаписываемых голограмм на основе тонких пленок материалов с фазовой памятью.

Методы исследования. Исследования откликов с угловым разрешением в рамках диссертационной работы проводилось методом связанных Фурье-мод. Исследование отклика от периодических структур было оценено за счет рассеяния в приближении Борна реализованного с помощью языка Python. Численное моделирование проводилось методом конечных элементов, реализованного в коммерческом пакете COMSOL, и методом частной разности во временной области, реализованного в коммерческом пакете CST Microwave Studio.

Основные положения, выносимые на защиту:

1. Двух с половиной мерные метаповерхности с резонансными элементами на основе GeSbTe позволяют согласовать частоты решеточного резонанса и резонанса отдельных частиц GeSbTe в одной из фаз, в результате чего возникает эффект аналогичный электромагнитно индуцированной прозрачности структуры; при этом изменение фазы GeSbTe приводит к рассогласованию резонансов, и соответственно, исчезновению режима прозрачности.

2. В метаповерхностях на основе решетки параллельных полос, сделанных из GeSbTe и поддерживающих магнито-дипольные резонансы Ми, при переключении фазы материала с фазовой памятью возникает модуляция оптического отклика в инфракрасном диапазоне на полосах телекоммуникационных длин волн за счет смещения спектрального положения резонанса Ми.

3. Оптические голограммы, нанесенные на пленках GeSbTe толщиной 50 им методом прямой лазерной записи, позволяют формировать оптические вихри, при этом топологический заряд пучков может быть изменен при помощи перезаписи голограммы.

Научная новизна.

1. Впервые исследованы метаповерхности на основе веБЬТе, которые позволяют согласовать и рассогласовывать решеточные резонансы и резонансных частиц при изменении фазы веБЬТе, за счет дополнительной степени свободы;

2. Впервые показана модуляция оптического отклика в полосах телекоммуникационных частот инфракрасного диапазона в метаповерхностях на основе решетки параллельных полос веБЬТе, поддерживающих маг-нито-дипольные резонансы Ми;

3. Впервые разработаны перестраиваемые голограммы на основе тонких пленок веБЬТе для генерации оптических вихрей и продемонстрирована перестройка топологического заряда вихря посредством оптической перезаписи пленки.

Теоретическая значимость состоит в исследовании фундаментальных эффектов взаимодействия резонансов, приводящих к модуляции оптического отклика, при изменении фазы СеБЬТе.

Практическая значимость заключена в создании класса структур для управления электромагнитным полем и световыми потоками, который имеет применение в оптическом и инфракрасном диапазоне.

Достоверность обусловлена различными теоретическим и аналитическими методами, хорошо совпадающими друг с другом. Также, полученные экспериментальные результаты имеют хорошее совпадение с теоретическими расчетами и имеют полную воспроизводимость. Результаты не противоречат результатам, полученным другими авторами.

Аппробация работы. Результаты работы докладывались и обсуждались на международных конференциях: 1. Международная конференция Metanano 2021

и

(Тбилиси, Грузия, 2021г.); 2. Международной конференции PhysicA.SPb/2021 (Санкт-Петербург, Россия, 2021г.); 3. Международная конференция "Дни Дифракции" (Санкт-Петербург, Россия, 2023г.) 4. Русско-Китайский форум аспирантов (Харбин, КНР, 2023г.) 5. Зимняя школа ФТИ (Зеленогорск, Россия, 2024г.) 6. Международный воркшоп "Nanophotonics: fundamentals, materials, designs, and applications" (Циндао, КНР, 2024г.) 7. Международная конференция PIERS2024 (Чэнду, КНР, 2024г.) 8. Международная конференция "The third Sino-Russian Advanced Photonics and Optics Seminar" (Харбин, КНР, 2024г.) Также результаты исследований обсуждались на научных семинарах Университета ИТМО, Северо-Осетинского государственного университета имени К. Л. Хетагурова (Владикавказ, Россия), Южно-Уральского государственного университета (Челябинск, Россия), Инновационного центра "Сколково" (Москва, Россия) и Харбинского Политехнического Университета (Харбин, КНР).

Личный вклад автора заключается в теоретическом исследовании; проведении численного и аналитического моделирования; участия по экспериментальному исследованию оптического отклика перестраиваемых структур; обработки и анализе полученных данных; написании статей и тезисов к конференциям и их представлении.

Объём и структура работы. Диссертация состоит из введения, 4 глав, заключения и 1 приложения. Полный объём диссертации составляет 206 страниц, включая 56 рисунков. Список литературы содержит 220 наименований.

Заключение диссертации по теме «Другие cпециальности», Соломонов Александр Иванович

Заключение

В диссертационной работе числено и аналитически демонстрируются возможности управления оптическим откликом за счет структур на основе материалов с фазовой памятью. Основные результаты работы:

1. Использование двух с половиной мерных метаповерхностей с резонансными элементами на основе веБЬТе создает возможность согласования частот решеточного и отдельных резонансов частиц веБЬТе в одной из фаз, что приводит к эффекту, аналогичному электромагнитно индуцированной прозрачности. Тем не менее, изменение фазы веБЬТе вызывает рассогласование резонансов, что, в свою очередь, приводит к исчезновению режима прозрачности.

2. Метаповерхности, основанные на решетке параллельных полос из ОеЗЬТе. которые поддерживают магнито-дипольные резонансы Ми, демонстрируют эффект модуляции оптического отклика в инфракрасном диапазоне на телекоммуникационных длинных волнах при переключении фазы материала с фазовой памятью. Это связано со смещением спектрального положения резонанса Ми.

3. Тонкие пленки СеБЬТе толщиной 50 нм обеспечивают возможность создания перезаписываемых оптическими методами голограмм. Эти голограммы, записанные на пленках веБЬТе, способны генерировать оптические вихри с различными топологическими зарядами, причем топологический заряд пучков может изменяться через процесс перезаписи голограммы.

Список иллюстративного материала

1 (а) Схематический вид 2.5D структуры, составленной из двух слоев высокоиндексных наношапок из GST, поддерживаемых низкоиндескными полимерными столбиками, (б) СЭМ изображение изготовленной 2.5D структуры. На вставке показан вид сверху на единичную наношапку. (в) Этапы изготовления 2.5D структуры ... 14

2 Сечение рассеяния единичной наношапки в кристаллической (а) и

аморфной фазе GST (б). Действительная части Еу (в) and Hz (г) распределения собственной моды для для единичной частицы на длине волны 1419 нм. Действительная часть Еу распределение собственной моды в элементарной ячейке для периодической структуры на длине волны 1446 нм. Поля были нормированы на максимумы................................. 15

3 (а) Численно рассчитанный дифракционный узор решетки, (б) Спектральная зависимость структурного фактора S(q) от межплоскостного расстояния h......................

4 Интегральный спектр рассеяния для кристаллической фазы (а) и

для аморфной фазы (б).......................... 17

5 Экспериментальные спектры рассеяния от 2.5D метаповерхностей

для конфигурации темного поля. Образцы имеют различные межплоскостные расстояния: (а) нет, (б) 1 мкм and (в) 2 мкм. Синие кривые соответствуют аморфной фазе GST и оранжевые

кристаллической фазе GST........................ 19

6 Экспериментальные спектры отражения для аморфной (синей) и кристаллической (оранжевой) фаз GST при угле падения 6 = 15°. Вверху указаны телекоммуникационные диапазоны.......... 21

7 Смоделированные спектры отражения метаповерхности для

аморфной (а) и кристаллической (б) фаз GST. (в) Эволюция

°

различными фракциями кристаллизации GST. Синие и оранжевые кружки обозначают аномалии Рэлея, соответствующие волнам, дифрагированным в воздух и подложку, соответственно. Зеленые квадраты указывают на магнитный дипольный резонанс. Все спектры сдвинуты в вертикальном направлении для облегчения сравнения.................................. 21

8 Распределение электрического (а) и магнитного (б) полей

°

экспериментальная дисперсия аномалии Рэлея и магнитной диполыюй моды для аморфной (в) и кристаллической (г) фаз GST. Синими и оранжевыми кружками обозначены аномалии Рэлея, соответствующие волнам, дифрагированным в воздухе и подложке, соответственно. Зеленые квадраты указывают магнитные дипольные резонансы. Маркеры "открыто" и "закрыто" показывают на экспериментальные и теоретические данные соответственно. Линии представляют точное решение для аномалий Рэлея.................................... 22

9 (а) Схематическое изображение генерации оптических вихрей, (б) Экспериментальная схема генерации и детектирования оптических вихрей [29] ................................. 24

10 Численное моделирование генерации оптических вихрей. Профиль интенсивности излучения на плоскости наблюдения (верхний ряд) для различных углов поворота голограммы с топологическим зарядом 1 — 1 и периодом 3 мкм. Нижний ряд соответствуют профилю интенсивности после астигматического преобразования, выполненного цилиндрической линзой.................. 24

11 Экспериментально измеренные профили интенсивности светового пучка (верхний ряд) для различных углов поворота структуры с топологическим зарядом 1 и периодом 3 мкм. Нижний ряд профиль интенсивности после введения цилиндрической линзы в выходной канал пучка. Число топологического заряда находится по

количеству светлых/темных полос на профилях............ 25

6°

12°

соответственно) с и без цилиндрической линзы, помещенной в

канал сбора................................. 26

13 (a) Schematic view of the 2.5D structure composed of two layers of high-index GST nanocaps supported by low-index polymer pillars, (b) SEM image of the fabricated 2.5D structure. The inset shows a top

view of a single nanocap. (c) Stages of manufacturing a 2.5D structure . 37

14 Scattering cross section of a single nanocap in the crystalline (a) and amorphous phase of GST (b). Real parts Ey (c) and Hz (d) of the eigenmode distribution for a single particle at a wavelength of 1419 nm.

The fields were normalized to maxima................... 38

15 (a) Numerically calculated diffraction pattern of the grating, (b) Spectral dependence of the structure factor S(q) on the interplanar

h

16 Integrated scattering spectrum for the crystalline phase (a) and for the amorphous phase (b)............................ 40

17 Experimental scattering spectra from 2.5D metasurfaces for a dark field configuration. The samples have different interplanar spacings: (a) none, (b) 1 mkm and (c) 2 mkm. Blue curves correspond to the amorphous phase of GST, and orange curves correspond to the crystalline phase of GST.......................... 41

18 Experimental reflectance spectra for the amorphous (blue) and crystalline (orange) phases of GST at an incidence angle of 6 = 15°. Telecommunications bands are indicated at the top............ 43

19 Simulated metasurface reflectance spectra for (a) amorphous and (b)

crystalline phases of GST. (c) Evolution of the reflectance spectrum at

°

crystallization fractions. Blue and orange circles indicate Rayleigh anomalies corresponding to waves diffracted in air and substrate, respectively. Green squares indicate magnetic dipole mode. All spectra are shifted in the vertical direction to facilitate comparison ....... 44

20 Distribution of electric (a) and magnetic (b) fields of the magnetic

°

experimental dispersion of Rayleigh anomaly and magnetic dipole mode for amorphous (c) and crystalline (d) phases of GST. Blue and orange circles indicate Rayleigh anomalies corresponding to waves diffracted in the air and the substrate, respectively. Green squares indicate magnetic dipole mode. The "Open"and "Closed"markers indicate experimental and theoretical data, respectively. The lines represent the exact solution

for the Rayleigh anomalies......................... 45

21 (a) Schematic representation of optical vortex generation, (b) Experimental scheme for the generation and detection of optical vortices [29]................................. 46

22 Numerical modeling of optical vortex generation. Radiation intensity profile on the observation plane (top row) for various rotation angles of a hologram with topological charge 1 — 1 and period 3 mkm. The bottom row corresponds to the intensity profile after astigmatic transformation performed by a cylindrical lens.............. 47

23 Experimentally measured light beam intensity profiles (top row) for various rotation angles of a structure with topological charge 1 and period 3 mkm. Bottom row: intensity profile after inserting a cylindrical lens into the beam output channel. The number of topological charge is found by the number of light/dark stripes on the profiles......... 47

24 Intensity profiles for two hologram rotation angles (6° and 12° are the first n — 1 and second n — 2 diffraction orders, respectively) with and without a cylindrical lens placed in the collection channel........ 48

1.1 Устройства на основе кристаллов, разработанные с использованием методов обратного проектирования [32]. (а) Изгиб фотонного кристалла в форме Ъ, который демонстрирует выдающуюся передачу света. Панели расположены в зигзагообразном порядке: схема оптимизации, смоделированное распространение волн, СЭМ-изображение изготовленного %-изгиба и сравнение потерь на изгибе между оптимизированными (толстая серая/красная линии для измерений/моделирования) и неоптимизированными (тонкая черная линия) структурами [62]. (Ь) Двухканальный делитель длины волны. Слева изображение СЭМ, в центре смоделированные распределения поля для длин волн 1300 нм (синий) и 1550 нм (красный), наложенные друг на друга и цветоподобно закодированные для наглядности. Справа измеренные спектры пропускания [44; 65]. (с) Нанофотонный делитель поляризации с преобразованием мод. В верхней части микрофотография с помощью СЭМ (левая панель) и сравнение измеренной (сплошные линии) и смоделированной (пунктирные линии) передачи устройства. В нижней части показаны смоделированные распределения интенсивности поля для мод ТЕ и ТМ на длине волны 1550 нм [66]. (с1) Моделирование распределения магнитного поля в оптическом диоде при возбуждении слева (левая панель) и справа (правая панель) [33]. (е) СЭМ-изображение фотонного отражателя, являющегося частью резонатора Фабри-Перо на кристалле [67] ...................... 63

1.2 Обратное проектирование метаиоверхностей с использованием оптимизации топологии [32]. (а) Пятиволновой светоделитель с изображением СЭМ (слева) и экспериментальной (в центре) и теоретической (справа) дифракционной эффективностью. Вставка: взаимосвязь между длинами волн падения и углами отклонения [70]. (Ь) Конструкция многослойной фокусирующей металинзы с коррекцией аберрации. Прямоугольники черного цвета обозначают кремниевые резонаторы, а серый фон оксид алюминия [74]. (с) Профили интенсивности в дальней зоне для структуры в (Ь) при четырех углах падения. Интенсивности нормализованы до единицы для сравнения [74]............. 67

1.3 Эти две структуры являются моделями структуры алмаза, но различаются процессом изготовления. Слева: Яблоновит [86], полученный путем сверления отверстий в однородном диэлектрическом материале, первым продемонстрировал фотонную запрещенную зону на частоте 15 ГГц. Справа: структура типа поленница [89], полученная путем штабелирования стержней, показала фотонную запрещенную зону до 500 ГГц. В этом случае диаметр кремниевых стержней составляет всего 50 мкм ....... 70

1.4 Сравнение дисперсионных диаграмм для электронного (слева) и фотонного кристалла (справа) [94]. (а) Сплошными показаны дисперсии свободных электронов и (Ь) электромагнитной волны, (с) Схема одномерного периодического потенциала V(ж) и (с1) схема периодически меняющейся диэлектрической проницаемости материала е(ж). (е) Зонная структура в первой зоне Бриллюэна для электрона и (^ для электромагнитных волн для периодических потенциалов. Электронная зонная структура кристалла AgAs.

(^ Фотонная зонная структура для Яблоновита [92].......... 72

1.5 Примеры Ш, 2Б и ЗБ фотонных кристаллов [95]. Цветами обозначены различные показатели преломления материала...... 73

1.6 (а) Схематическое представление Брэгговского зеркала и направления распространения излучения для случая пь > Щ. Спектр отражения для полимерного Брегговского зеркала для 15 слоев с показателями преломления пь = 1.69 и п/ = 1.46 [ ].....

1.7 Механическая настройка оптических характеристик многослойных волокон, (а) Оптические фотографии полностью эластичного волокна, показывающие изменение цвета при механической деформации, вызванной удлинением вдоль оси волокна. Масштабная линейка 50 мкм. (Ь) Соответствующее изменение спектра отражения, (с) Изменение максимальной длины волны

в зависимости от приложенного напряжения £ [ ].......

1.8 Схема метаповерхности включает чувствительные к водороду наночастицы Mg, расположенные между защитными слоями ТЧ/Рс1 и адгезионным слоем Тг Наночастицы организованы в решетку с периодом н • с1 на площади 10 мкм. При взаимодействии с водородом происходит фазовый переход от Mg к MgH2, изменяющий цвета метаповерхности. Эти цвета могут быть восстановлены при контакте с кислородом. В (Ь) представлена цветовая палитра, полученная при изменении параметров н и с1. В (с1) показаны экспериментальные (черный) и рассчитанные (синий) спектры отражения цветных квадратов, выбранных из палитры. Цвета аналогичные в (Ь). Красная пунктирная линия указывает на смещение пика отражения. В (е) представлено изменение цвета квадратов при воздействии водорода во времени с серыми пунктирными линиями, обозначающими время исчезновения цвета.

[5] ...................................... 81

1.9 (Слева) Иллюстрация структурного изменения фазы для УС^ и халькогенидных Материалов с фазовой памятью. (По центру) Характерные дисперсии показателя преломления УС^ и Се2ЗЬ2Те5 в двух фазовых состояниях. Красные линии соответствуют состояниям с более высокими оптическими потерями (металлическая фаза для У02 и кристаллический для Се2ЗЬ2Те5), а черные линии - более оптически прозрачной диэлетрической фазе У02 и аморфному Се2ЗЬ2Те5. (Справа) Иллюстрация типов внешних воздействий, используемых для индуцирования фазового перехода [129]................................ 83

1.10 Классификация устройств на основе материалов с фазовой памятью на основе типов интеграции [132]. (а) Плазмонная решетка

225

рассеянным излучением в телекоммуникационном диапазоне длин волн в зависимости от степени кристалличности [137]. Линза с переменной дистанцией фокальной плоскости на основе Се^Ь^е^е! [ ]. (с) Перестраиваемая Ми-резонансная структура

225

дисках [139]. (с1) Перестраиваемый линейный поляризатор

2

оптической перестройкой в инфракрасной и терагерцовой

областях [144]. (а) Схематическое изображение матрицы цилиндров 2

образца. Образцы различаются по состоянию: 1-й (без покрытия) и

2

Измеренные спектры изменения оптической плотности для образцов 1-й и 1-е, а также спектры поглощения для образца 1-е при накачке длиной волны 1580 им. (с) Зависимость плотности потока

ДБ для образца 1-е на 1700 нм и спектры переходных процессов

2

Оптическое изображение терагерцового полностью оптического

2

Спектры пропускания метаповерхности при различных температурах с учетом резонансов. (^ Спектры пропускания метаповерхности при облучении терагерцовым лазером с различной мощностью и кратковременные измерения терагерцовым зондом на

частотах 0.41 ТГц и 0.8 ТГц. Схематическое изображение

2

полученное с помощью микроскопии [143]. (Ь) Спектры

2

Относительное пропускание с временным разрешением для пленки 2

1.12 Электрические перестраиваемые структуры [144]. (а) Схема волновода из Се^Ь^е5 на кремнии, который переключается электрически с помощью кремниево диода. Различные материалы отражены различными цветами. (Ь) Усиление электрического поля для фундаментальных ТЕ- и ТМ- мод на длине волны 1550 им для кристаллической (сверху) и аморфной фазы (снизу) Се^БЬгТе^ (с) Зависимость повторяемости отражения при смене показателя преломления Се^Ь^е5 [ ]. (с1) Схематическое изображение устройства для усиление плазменного резонанса с применением материала с фазовой памятью, (е) Распределение электрического поля в зазоре в аморфной (сверху) и кристаллической фазе Се^Ь^е5. (^ Временная зависимость пропускания для структуры для длины волны 1570 им во время циклической смены фазы Се^Ь^е5 [ ]■ (ё) Схематическое изображение перестраиваемой структуры па основе Се^Ь^е5 (Ь). Обратимое переключение спектров пропускания во время процессов изменения фазы Се^Ь^е5. Спектры пропускания нормализованы к спектру открытого волновода. (1) График цикличности изменения пропускания структуры при 1500 переключениях [150] ........ 91

1.13 Основные свойства материалов халькогенидов с фазовым переходом, (а) Тройная фазовая диаграмма Се-БЬ-Те с несколькими исследованными псевдобинарными линиями связи и представительными сплавами с фазовым переходом. В частности, наиболее широко используемые соединения (СеТе)ж-(8Ь2Тез)!-ж, включая Се2ЗЬ2Те5 и СезЗЬ2Теб, выделены красным цветом. (Ь)

225

различных фазовых переходов. Тд и Тт представляют собой температуру стеклования и плавления соответственно, (с) Диэлектрические функции е! (сплошные липии) и t2 (пунктирные)

2 2 5 2 2 5

225

225

зоны Ед, ниже которой межзонные переходы не могут быть возбуждены, что приводит к области с низкими потерями (синяя заштрихованная область). Для высоких частот существует спектральная область (серая заштрихованная область), гдее! < 0 для кристаллического Се2ЗЬ2Те5, показывающая плазмонные характеристики [158]........................... 95

1.14 Пионерские экспериментальные исследования халькогенидов с

фазовым переходом для динамических метаповерхностей [158]. (а) Схема первой метаповерхности с фазовым переходом, работающей на оптических частотах [160]. (Ь) Реконфигурируемый метапереключатель, разработанный на основе конструкции (а), в которой Ge^b^e5 используется вместо GLS в качестве материала с фазовой памятью. Правая панель показывает контрасты пропускания (зеленый) и отражения (фиолетовый) метаповерхности между аморфным и кристаллическим состояниями [161]. (с) Резонансная настройка плазменных антенн в среднем инфракрасном диапазоне с использованием Ge^Sb^ee [162]. (d) Реконфигурируемая структура из (с), в которой оптические импульсы используются для индуцирования фазового перехода в GeSbTe [163]. (е) Первый метаматериал с фазовым переходом с активно настраиваемой хиральностыо. Правая панель показывает красное смещение сигнала кругового дихроизма (CD) из-за изменения фазы в Ge^b^e6 [ ]. (f) Массив золотых дисков поверх слоя Ge^b^e5, который позволяет осуществлять пошаговую настройку резонанса с помощью промежуточных фаз Ge^b^e5. Правая панель показывает связь между кристалличностью Ge^b^e5 и временем нагрева [ ]........

2.1 (а) Схематический вид 2.5D структуры, составленной из двух слоев высокоиндексных наношапок из GST, поддерживаемых низкоиндескными полимерными столбиками, (б) СЭМ изображение изготовленной 2.5D структуры. На вставке показан вид сверхну на единичную наношапку. (в) Этапы изготовление 2.5D структуры . . . 102

2.2 Сечение рассеяния единичной наношапки в кристаллической (а) и аморфной фазе GST (б). Действительная части Еу (в) and Hz (г) распределения собственной моды для для единичной частицы на длине волны 1419 нм. Поля были нормированы на максимумы .... 104

2.3 (а) Численно рассчитанная дифракционная картина структуры, (б) Эволюция дифракционной картины в верхнем полушарии, (в) Спектральная зависимость структурного фактора S(q) от межплоскостного расстояния h......................

2.4 (а) Численно рассчитанный дифракционный узор решетки, (б) Эволюция дифракционного узора в верхнем полушарии, (в) Спектральная зависимость структурного фактора S(q) от

h

2.5 (а) Численно рассчитанная дифракционная картина структуры, (б) Эволюция дифракционной картины в верхнем полушарии, (в) Спектральная зависимость структурного фактора S(q) от

h

2.6 Интегральный спектр рассеяния для кристаллической фазы (а, в) и

для аморфной фазы (б, г).........................111

2.7 Экспериментальные спектры рассеяния от 2.5D метаповерхностей для конфигурации темного поля. Образцы имеют различные межплоскостные расстояния: (а) нет, (b) 1 |м and (с) 2 |м. Синие кривые соответствуют аморфной фазе GST, и оранжевые кривые соответствуют кристаллической фазе GST...............113

3.1 (а) Схематический вид метаповерхности GST. Полосы GST (серые) расположены на кремнеземной подложке (голубые), (б) СЭМ-изображение изготовленной структуры и плоскости падения с волновыми векторами падающей и отраженной волн. На вставке показан вид сбоку образца метаповерхности. (с)

Экспериментальная установка для измерения отражения.......116

3.2 Экспериментальные спектры рассеяния от структуры в аморфной (а) и кристаллической фазе GST(b). Синие и оранжевые круги показывают положения аномалий Релея с учетом дифракции в воздух и подложку соответственно. Зеленые квадраты показывают спектральное положение магнитного диполя. Все кривые были двинуты по вертикали для сравнения..................118

3.3 Экспериментальные спектры отражения для аморфной (синей) и кристаллической (оранжевой) фаз GST при угле падения 6 = 15°. Вверху указаны телекоммуникационные полосы............119

3.4 Смоделированные спектры отражения метаповерхности для

аморфной (а) и кристаллической (б) фаз GST. (с) Эволюция

°

различными фракциями кристаллизации GST. Синие и оранжевые кружки обозначают аномалии Рэлея, соответствующие волнам, дифрагированным в воздухе и подложке, соответственно. Зеленые квадраты указывают на режим магнитного диполя. Все спектры сдвинуты в вертикальном направлении для облегчения сравнения . . 119

3.5 Распределение электрического (а) и магнитного (б) полей магнитной дипольпой моды для угла падения 10°. Теоретическая и экспериментальная дисперсия аномалии Рэлея и магнитной дипольной моды для аморфной (ь) и кристаллической (г) фаз GST. Синими и оранжевыми кружками обозначены аномалии Рэлея, соответствующие волнам, дифрагированным в воздухе и подложке, соответственно. Зеленые квадраты указывают режим магнитного диполя. Маркеры "открыто-и "закрыто-указывают экспериментальные и теоретические данные соответственно. Линии представляют точное решение для аномалий Рэлея..........121

3.6 Спектр отражения для метаповерхности в кристаллической фазе GST для различных показателей преломления щ и фиксированном показателе преломления подложки (rid = 1.5) при угле падения 25°. Синяя линия соответствует аномалии Рэлея для дифрагированного луча в подложку и зеленая - для дифрагированного в среду щ . . .

3.7 Спектры отражения с угловым разрешением для структуры, полученные в эксперименте (слева) и за счет численного моделирования (справа). Для облегчения сравнения, все спектры сдвинуты по вертикали. Нижние кривые соответствуют углу падения 10°, верхние кривые - 70°, шаг по вертикали - 5°......

4.1 (а) Схематическое изображение генерации оптических вихрей. (Ь) Экспериментальная схема генерации и детектирования оптических вихрей [29] .................................129

4.2 Численное моделирование генерации оптических вихрей. Профиль интенсивности излучения на плоскости наблюдения (верхний ряд) для различных углов поворота голограммы с топологическим зарядом 1 — 1 и периодом 3 мкм. Нижний ряд соответствуют профилю интенсивности после астигматического преобразования, выполненного цилиндрической линзой..................129

4.3 Экспериментально измеренные профили интенсивности светового пучка (верхний ряд) для различных углов поворота структуры с топологическим зарядом 1 и периодом 3 цтп. Нижний ряд — профиль интенсивности после введения цилиндрической линзы в выходной канал пучка. Число топологического заряда находится по количеству светлых/темных полос на профилях............131

4.4 Профили интенсивности для двух углов поворота голограммы (6° и 12° являются первым п = 1и вторым п = 2 порядком дифракции соответственно) с и без цилиндрической линзы, помещенной в

канал сбора ................................132

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Соломонов Александр Иванович, 2024 год

Список литературы

1. Shalf J. The future of computing beyond Moore's Law // Philosophical Transactions of the Royal Society A. — 2020. — Март. — T. 378, вып. 2166.

2. Deep-blue DBR laser at room temperature from single-crystalline perovskite thin film / C. Tian [и др.] // Optical Materials. — 2020. — Септ. — T. 107. — С. 110130.

3. A Modularized and Switchable Component for Flexible Passive Device: Terahertz Photonic Crystals with Fine-Tuning / J. Gao [и др.] // Advanced Optical Materials. — 2018. — Окт. — T. 6, вып. 19.

4. Ge J., Yin Y. Responsive Photonic Crystals // Angewandte Chemie International Edition. — 2011. — Февр. — T. 50, вып. 7. — С. 1492 1522.

5. Du,a,n X, Kamin S., Liu N. Dynamic plasmonic colour display // Nature Communications. — 2017. — Февр. — T. 8.

6. Maigyte L., Staliunas K. Spatial filtering with photonic crystals // Applied Physics Reviews. — 2015. — Март. — T. 2, вып. 1. — С. 011102.

7. Bazian M. Photonic crystal add-drop filter: a review on principles and applications // Photonic Network Communications. — 2021. — Февр. — T. 41, вып. 1. — С. 57^77.

8. Wafer-scale self-assembled 2.5D metasurface for efficient near-field and far-field electromagnetic manipulation / Y. Huang [и др.] // Applied Surface Science. - 2022. - Нояб. - T. 601. - С. 154244.

9. Broadband circular polarizer for randomly polarized light in few-layer metasurface / S.-E. Mun |n др.] // Scientific Reports. — 2019. — Февр. — T. 9, вып. 1. - С. 2543.

10. Flexible 2.5D Metamaterial with High Mechanical Bearing Capacity for Electromagnetic Interference Filters at Microwave Frequency / X. Fu [и др.] // Advanced Engineering Materials. — 2020. — Март. — Т. 22, вып. 3. - С. 1901126.

11. Farsari М.. Chichkov В. N. Two-photon fabrication // Nature Photonics. — 2009. - Авг. - Т. 3, вып. 8. - С. 450-452.

12. Optical properties of 2D photonic structures fabricated by direct laser writing / A. Sinelnik [и др.] // SN Applied Sciences. — 2019. — Окт. — Т. 1, вып. 10. - С. 1213.

13. Unconventional light scattering from glassy photonic films and metasurfaces / A. D. Sinelnik |n др.] // Physical Review B. — 2019. — Май. — Т. 99, вып. 17. - С. 174204.

14. Nanostructured Ge2Sb2Te5 chalcogenide films produced by laser electrodispersion / D. A. Yavsin [и др.] // Semiconductors. — 2014. — Дек. - Т. 48, вып. 12. - С. 1567-1570.

15. Quasiguided modes of opaline photonic crystals covered by Ge2Sb2Te5 / S. A. Dyakov |n др.] // Physical Review B. — 2017. — Июль. — Т. 96, вып. 4. — С. 045426.

16. Optical theorem and multipole scattering of light by arbitrarily shaped nanoparticles / A. B. Evlyukhin [и др.] // Physical Review B. — 2016. — Нояб. - Т. 94, вып. 20. - С. 205434.

17. Dimensionality effects on the optical diffraction from opal-based photonic structures / M. V. Rybin |n др.] // Physical Review B. — 2013. — Март. — Т. 87, вып. 12. - С. 125131.

18. Rybin Л/.. Samusev К., Limonov М. High Miller-index photonic bands in synthetic opals // Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications. - 2007. - Окт. - Т. 5, вып. 2/3. - С. 119-124.

19. Fano resonances in photonics / M. F. Limonov [и др.] // Nature Photonics. — 2017. - Сент. - Т. И, вып. 9. - С. 543-554.

20. Reversible switching of electromagnetically induced transparency in phase change metasurfaces / L. Мао [и др.] // Advanced Photonics. — 2020. — Септ. — Т. 2, вып. 5.

21. Active tuning of electromagnetically induced transparency from chalcogenide-only metasurface / K. Liu [и др.] // Light: Advanced Manufacturing. — 2021. - T. 2. - С. 1.

22. Multi-cycle reconfigurable THz extraordinary optical transmission using chalcogenide metamaterials / Т. Cao [и др.] // Opto-Electronic Science. — 2021. - Т. 1, вып. 1. - С. 210010-210010.

23. Size effect of the Ge2Sb2Te5 cell atop the silicon nitride O-ring resonator on the attenuation coefficient / P. Lazarenko [и др.] // APL Materials. — 2021. - Дек. - Т. 9, вып. 12.

24. Quasiguided modes and optical properties of photonic crystal slabs / S. G. Tikhodeev |n др.] // Physical Review B. — 2002. — Июль. — Т. 66, вып. 4. — С. 045102.

25. Formulation for stable and efficient implementation of the rigorous coupled-wave analysis of binary gratings / M. G. Moharam [и др.] // Journal of the Optical Society of America A. — 1995. — Май. — Т. 12, вып. 5. — С. 1068.

26. All-Dielectric Active Terahertz Photonics Driven by Bound States in the Continuum / S. Han |n др.] // Advanced Materials. — 2019. — Септ. — Т. 31, вып. 37. - С. 1901921.

27. Active dielectric metasurface based on phase-change medium / С. H. Chu |n др.] // Laser & Photonics Reviews. — 2016. — Ноя6. — Т. 10, вып. 6. — С. 986-994.

28. The production of multiringed Laguerre-Gaussian modes by computergenerated holograms // Journal of Modern Optics. — 1998. — Июнь. — Т. 45, вып. 6. - С. 1231—1237.

29. Switching topological charge of optical vortex by two-dimensional structures / A. I. Solomonov [и др.] // Applied Materials Today. — 2024. — Аир. — T. 37. - C. 102135.

30. Determination of topological charges of polychromatic optical vortices / V. Denisenko [и др.] // Optics Express. — 2009. — Дек. — Т. 17, вып. 26. — С. 23374.

31. Krizhevsky A., Sutskever /., Hinton G. E. Imagenet classification with deep convolutional neural networks // Advances in neural information processing systems. - 2012. - T. 25.

32. Yao K., Unni R., Zheng Y. Intelligent nanophotonics: Merging photonics and artificial intelligence at the nanoscale // Nanophotonics. — 2019. — Март. — Т. 8, вып. 3. — С. 339^366.

33. Inverse design of an ultra-compact broadband optical diode based on asymmetric spatial mode conversion / F. Callewaert [и др.] // Scientific Reports 2016 6:1. - 2016. - Септ. - Т. 6, вып. 1. - С. 1-10.

34. Novotny L., Hecht В. Principles of nano-optics // Principles of и no-Optics. - 2009. - Янв. - Т. 9781107005464. - С. 1 564.

35. Benson О. Assembly of hybrid photonic architectures from nanophotonic constituents // Nature 2011 480:7376. - 2011. - Дек. - Т. 480, вып. 7376. -С. 193—199.

36. Koenderink A. F., Alii A., Polman A. Nanophotonics: Shrinking light-based technology // Science. — 2015. — Май. — Т. 348, вып. 6234. — С. 516 521.

37. Meade R. D., Johnson S. G., Winn J. N. Photonic Crystals. — Princeton University Press, 12.2008.

38. Zayats A. V., Smolyaninov I. /., Maradudin A. A. Nano-optics of surface plasmon polaritons // Physics Reports. — 2005. — Март. — Т. 408, вып. 3/ 4. - С. 131—314.

39. Kildishev А. V., Boltasseva A., Shalaev V. М. Planar Photonics with Metasurfaces // Science. — 2013. — Март. — Т. 339, вып. 6125. — С. 12320091-12320096.

40. Yu N., Capasso F. Flat optics with designer metasurfaces // Nature Materials 2014 13:2. - 2014. - Япв. - Т. 13, вып. 2. - С. 139-150.

41. Сол W., Shalaev V. Optical Metamaterials. — Springer New York, 2010.

42. Yao Liu Y. Plasmonic metamaterials // Nanotechnology Reviews. —

2014. - An}). - T. 3, вып. 2. - С. 177-210.

43. Shelby R. A., Smith D. R., Schultz S. Experimental Verification of a Negative Index of Refraction // Science. — 2001. — Аир. — T. 292, вып. 5514. — С. 77— 79.

44. Inverse design in nanophotonics / S. Molesky [и др.] // Nature Photonics 2018 12:11. - 2018. - Окт. - Т. 12, вып. И. - С. 659-670.

45. Deep neural networks for acoustic modeling in speech recognition: The shared views of four research groups / G. Hinton [и др.] // IEEE Signal Processing Magazine. - 2012. - T. 29, вып. 6. - С. 82-97.

46. Mastering the game of Go with deep neural networks and tree search / D. Silver |n др.] // Nature 2016 529:7587. - 2016. - Япв. - Т. 529, вып. 7587. -С. 484-489.

47. Lecun Y., Bengio Y., Hinton G. Deep learning // Nature 2015 521:7553. —

2015. - Май. - Т. 521, вып. 7553. - С. 436-444.

48. Carrasquilla J., Melko R. G. Machine learning phases of matter // Nature Physics. - 2017. - Май. - Т. 13, вып. 5. - С. 431-434.

49. Zunger A. Inverse design in search of materials with target functionalities // Nature Reviews Chemistry 2018 2:4. — 2018. — Март. — Т. 2, вып. 4. — С. 1-16.

50. Gawehn Е., Hiss J. A., Schneider G. Deep Learning in Drug Discovery // Molecular Informatics. — 2016. — Янв. — Т. 35, вып. 1. С. 3 14.

51. Generative Model for the Inverse Design of Metasurfaces / Z. Liu [и др.] // Nano Letters. - 2018. - Окт. - Т. 18, вып. 10. - С. 6570 6576.

52. Ma W., Cheng F., Liu Y. Deep-Learning-Enabled On-Demand Design of Chiral Metamaterials // ACS Nano. — 2018. — Июнь. — Т. 12, вып. 6. — С. 6326 6334.

53. Plasmonic nanostructure design and characterization via Deep Learning / I. Malkiel [и др.] // Light: Science & Applications 2018 7:1. — 2018. — Септ. — Т. 7, вып. 1. — С. 1—8.

54. Deep learning with coherent nanophotonic circuits / Y. Shen [и др.] // Nature Photonics 2017 11:7. - 2017. - Июнь. - Т. И, вып. 7. - С. 441 446.

55. Goldberg D. Е., Holland J. H. Genetic algorithms and Machine Learning // Machine Learning. — 1988. — Окт. — Т. 3, вып. 2 3. С. 95 99.

56. Robinson J., Rahmat-Samii Y. Particle swarm optimization in electromagnetics // IEEE Transactions on Antennas and Propagation. — 2004. - Февр. - Т. 52, вып. 2. - С. 397-407.

57. Kennedy J. Particle Swarm Optimization // Encyclopedia of Machine Learning. - 2011. - C. 760-766.

58. A very short planar silica spot-size converter using a nonperiodic segmented waveguide / M. Spuhler [и др.] // Journal of Lightwave Technology. — 1998. — T. 16, вып. 9. - С. 1680-1685.

59. Cox S. J., Dobson D. C. Maximizing Band Gaps in Two-Dimensional Photonic Crystals // https://doi.org/10.1137/S0036139998338455. - 2006. -Июль. - Т. 59, вып. 6. - С. 2108-2120.

60. Bends0e М. P., Kikuchi N. Generating optimal topologies in structural design using a homogenization method // Computer Methods in Applied Mechanics and Engineering. — 1988. — Ноя6. — Т. 71, вып. 2. — С. 197—224.

61. Jensen J. S., Sigmund 0. Topology optimization for nano-photonics // Laser & Photonics Reviews. — 2011. — Март. — Т. 5, вып. 2. — С. 308—321.

62. Integrated optical devices design by genetic algorithm / L. Sanchis [и др.] // Applied Physics Letters. - 2004. - Май. - Т. 84, вып. 22. - С. 4460-4462.

63. Imprinted silicon-based nanophotonics / P. I. Borel [и др.] // Optics Express, Vol. 15, Issue 3, pp. 1261-1266. - 2007. - Февр. - Т. 15, вып. 3. - С. 1261— 1266.

64. Time domain topology optimization of 3D nanophotonic devices / Y. Elesin [и др.] // Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications. — 2014. - Февр. - Т. 12, вып. 1. - С. 23-33.

65. Inverse design and demonstration of a compact and broadband on-chip wavelength demultiplexer / A. Y. Piggott [и др.] // Nature Photonics 2015 9:6. - 2015. - Май. - Т. 9, вып. 6. - С. 374-377.

66. An integrated-nanophotonics polarization beamsplitter with 2.4x2.4 mum2 footprint / B. Shen [и др.] // Nature Photonics 2015 9:6. — 2015. — Май. — Т. 9, вып. 6. - С. 378-382.

67. Yu Сил #., Sun X. Genetically optimized on-chip wideband ultracompact reflectors and Fabry Perot cavities // Photonics Research, Vol. 5, Issue 6, pp. B15-B19. - 2017. - Дек. - Т. 5, вып. 6. - B15-B19.

68. Lu J., Vuckovi'c J. V. Nanophotonic computational design // Optics Express, Vol. 21, Issue 11, pp. 13351-13367. — 2013. — Июнь. — Т. 21, вып. И. - С. 13351—13367.

69. Visible Light Metasurfaces Based on Single-Crystal Silicon / D. Sell [и др.] // ACS Photonics. - 2016. - Окт. - Т. 3, вып. 10. - С. 1919-1925.

70. Periodic Dielectric Metasurfaces with High-Efficiency, Multiwavelength Functionalities / D. Sell [и др.] // Advanced Optical Materials. — 2017. — Дек. - Т. 5, вып. 23. - С. 1700645.

71. Large-Angle, Multifunctional Metagratings Based on Freeform Multimode Geometries / D. Sell |n др.] // Nano Letters. — 2017. — Июнь. — Т. 17, вып. g _ q 3752—3757.

72. Adjoint shape optimization applied to electromagnetic design / С. M. Lalau-Keraly |n др.] // Optics Express. — 2013. — Сент. — Т. 21, вып. 18. — С. 21693.

73. Aberrations of flat lenses and aplanatic metasurfaces / F. Aieta [и др.] // Optics Express, Vol. 21, Issue 25, pp. 31530-31539. - 2013. - Дек. - Т. 21, вып. 25. - С. 31530-31539.

74. Topology-Optimized Multilayered Metaoptics / Z. Lin [и др.] // Physical Review Applied. — 2018. — Аир. — T. 9, вып. 4. — С. 044030.

75. Michelson A. LXI. On metallic colouring in birds and insects // The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science. — 1911. - Аир. - T. 21, вып. 124. - С. 554-567.

76. Onslow H. The Iridescent Colours of Insects // Nature. — 1920. — Септ. — Т. 106, вып. 2657. - С. 149-152.

77. Rayleigh L. VII. On the optical character of some brilliant animal colours // The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science. - 1919. - T. 37, вып. 217. - С. 98-111.

78. Feather Microstructure of the Black-Billed Magpie (Pica pica sericea) and Jungle Crow (Corvus macrorhynchos) / E. Lee [и др.] // Journal of Veterinary Medical Science. - 2010. - T. 72, вып. 8. - С. 1047-1050.

79. Evolution of single gyroid photonic crystals in bird feathers / V. Saranathan [и др.] // Proceedings of the National Academy of Sciences. — 2021. — Июнь. — Т. 118, вып. 23.

80. Study of laser actions by bird's feathers with photonic crystals / S.-W. Chen [и др.] // Scientific Reports. — 2021. — Япв. — Т. 11, вып. 1. — С. 2430.

81. Welch V., Vigneron J., Parker A. The cause of colouration in the ctenophore Вегоё cucumis // Current Biology. — 2005. — Дек. — Т. 15, вып. 24. — R985-R986.

82. The Sea Mouse and the Photonic Crystal / R. C. McPhedran [и др.] // Australian Journal of Chemistry. — 2001. — T. 54, вып. 4. — С. 241.

83. Structural colors of pearls / R. Ozaki [и др.] // Scientific Reports. — 2021. — Июль. — Т. 11, вып. 1. — С. 15224.

84. Choi S. #., Byun К. М.. Kim Y. L. Lasing Interactions Disclose Hidden Modes of Necklace States in the Anderson Localized Regime // ACS Photonics. - 2018. - Март. - Т. 5, вып. 3. - С. 881-889.

85. Aguirre С. /., Reguera Е., Stein A. Tunable Colors in Opals and Inverse Opal Photonic Crystals // Advanced Functional Materials. — 2010. — Авг. — Т. 20, вып. 16. — С. 2565—2578.

86. Yablonovitch Е. Photonic Crystals // Journal of Modern Optics. — 1994. — Февр. — Т. 41, вып. 2. — С. 173—194.

87. Rayleigh L. XXV. On copying diffraction-gratings, and on some phenomena connected therewith // The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science. — 1881. — Март. — Т. 11, вып. 67. — С. 196-205.

88. Rayleigh L. XXVI. On the remarkable phenomenon of crystalline reflexion described by Prof. Stokes // The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science. — 1888. — Сент. — Т. 26, вып. 160. - С. 256-265.

89. Double-etch geometry for millimeter-wave photonic band-gap crystals / E. Ozbay [и др.] // Applied Physics Letters. — 1994. — Септ. — Т. 65, вып. 13. - С. 1617-1619.

90. Yablonovitch Е. Inhibited spontaneous emission in solid-state physics and electronics // Physical Review Letters. — 1987. — Май. — Т. 58, вып. 20. — С. 2059-2062.

91. Low loss hybrid plasmonic photonic crystal waveguide for optical communication applications / H. M. I. Hassan [и др.] // Optical and Quantum Electronics. — 2022. — Июль. — Т. 54, вып. 7. — С. 1 18.

92. Yablonovitch Е., Gmitter Т., Leung К. Photonic band structure: The face-centered-cubic case employing nonspherical atoms // Physical Review Letters. - 1991. - Окт. - Т. 67, вып. 17. - С. 2295-2298.

93. Control over Light Emission in Low-Refractive-Index Artificial Materials Inspired by Reciprocal Design / L. Maiwald [и др.] // Advanced Optical Materials. - 2022. - Янв. - Т. 10, вып. 1. - С. 2100785.

94. Tailoring and characterization of photonic crystals / V. Mizeikis [и др.] // Journal of Photochemistry and Photobiology C: Photochemistry Reviews. — 2001. - Июль. - Т. 2, вып. 1. - С. 35-69.

95. Photonic Crystals: Molding the Flow of Light - Second Edition / J. D. Joannopoulos [и др.]. — Princeton University Press, 2011.

96. Nanoparticle One-Dimensional Photonic-Crystal Dye Laser / F. Scotognella |n др.] // Small. - 2009. - Септ. - Т. 5, вып. 18. - С. 2048-2052.

97. Lova P., Manfredi G.7 Comoretto D. Advances in Functional Solution Processed Planar ID Photonic Crystals // Advanced Optical Materials. — 2018. - Дек. - Т. 6, вып. 24.

98. Topological photonic crystal nanocavity laser / Y. Ota [и др.] // Communications Physics. — 2018. — Нояб. — Т. 1, вып. 1. — С. 86.

99. One-dimensional photonic crystal nanobeam lasers on a flexible substrate / T.-W. Lu [и др.] // Applied Physics Letters. — 2011. — Авг. — Т. 99, вып. 7.

100. Baker J. P., Srirarn P., Miller B. L. Two-dimensional photonic crystals for sensitive microscale chemical and biochemical sensing // Lab on a Chip. — 2015. - T. 15, вып. 4. - С. 971-990.

101. A three-dimensional photonic crystal operating at infrared wavelengths / S. Y. Lin |n др.] // Nature. — 1998. — Июль. — Т. 394, вып. 6690. — С. 251—253.

102. Soukoulis С. М. Photonic band gap materials: the "semiconductors"of the future? // Physica Scripta. - 1996. - Япв. - Т. 1996, T66. - С. 146.

103. Highly dispersive photonic band-gap prism / V. M. Hietala [и др.] // Optics Letters, Vol. 21, Issue 21, pp. 1771-1773. - 1996. - Нояб. - Т. 21, вып. 21. -С. 1771-1773.

104. Notomi М. Theory of light propagation in strongly modulated photonic crystals: Refractionlike behavior in the vicinity of the photonic band gap // Physical Review B. - 2000. - Окт. - Т. 62, вып. 16. - С. 10696.

105. Improving thin-film crystalline silicon solar cell efficiencies with photonic crystals / C. Luo |n др.] // Optics Express, Vol. 15, Issue 25, pp. 16986-17000. - 2007. - Дек. - Т. 15, вып. 25. - С. 16986-17000.

106. Yeh P., Yariv A., Hong C.-S. Electromagnetic propagation in periodic stratified media I General theory* // Journal of the Optical Society of America. — 1977. — Аир. — T. 67, вып. 4. — С. 423.

107. Fleming J. G., El-Kady /., Lin S. Y. Highly efficient light emission at Л = 1.5 ц.т by a three-dimensional tungsten photonic crystal // Optics Letters, Vol. 28, Issue 18, pp. 1683-1685. - 2003. - Сент. - Т. 28, вып. 18. - С. 16831685.

108. Lin S.-Y., Fleming J. G., El-Kady I. Experimental observation of photonic-crystal emission near a photonic band edge // Applied Physics Letters. — 2003. - Июль. - Т. 83, вып. 4. - С. 593-595.

109. Nonreciprocal electromagnetic devices in gyromagnetic photonic crystals / Z. Y. Li [и др.] // International Journal of Modern Physics B. — 2014. — Япв. — Т. 28, вып. 2.

110. All-organic active matrix flexible display / L. Zhou [и др.] // Applied Physics Letters. — 2006. — Февр. — Т. 88, вып. 8.

111. Energy Harvesters for Wearable and Stretchable Electronics: From Flexibility to Stretchability / H. Wu |n др.] // Advanced Materials. — 2016. — Дек. — Т. 28, вып. 45. - С. 9881-9919.

112. Fabrication of fully transparent nanowire transistors for transparent and flexible electronics / S. Ju [и др.] // Nature Nanotechnology. — 2007. — Июнь. — Т. 2, вып. 6. — С. 378—384.

113. Liquid, Transparent, and Antideformable Thermochromic Photonic Crystals for Displays / Y. Ни |n др.] // Advanced Optical Materials. — 2022. — Септ. — Т. 10, вып. 17.

114. Flexible Electronics: The Next Ubiquitous Platform / A. Nathan [и др.] // Proceedings of the IEEE. — 2012. — Май. — Т. 100, Special Centennial Issue. - C. 1486-1517.

115. Yue Y., Gong J. P. Tunable one-dimensional photonic crystals from soft materials // Journal of Photochemistry and Photobiology C: Photochemistry Reviews. - 2015. - Июнь. - Т. 23. - С. 45-67.

116. Ее Н. S.7 Agarwal R. Tunable Metasurface and Flat Optical Zoom Lens on a Stretchable Substrate // Nano Letters. — 2016. — Лир. — Т. 16, вып. 4. — С. 2818-2823.

117. Bio-Inspired Band-Gap Tunable Elastic Optical Multilayer Fibers / M. Kolle [и др.] // Advanced Materials. — 2013. — Аир. — T. 25, вып. 15. — С. 2239 2245.

118. Mechanochromic Photonic Gels / E. P. Chan [и др.] // Advanced Materials. — 2013. - Авг. - Т. 25, вып. 29. - С. 3934-3947.

119. Block Copolymer Photonic Gel for Mechanochromic Sensing / E. P. Chan |n др.] // Advanced Materials. — 2011. — Окт. — Т. 23, вып. 40. — С. 4702 4706.

120. Rapid and Reversible Tuning of Structural Color of a Hydrogel over the Entire Visible Spectrum by Mechanical Stimulation / M. A. Haque [и др.] // Chemistry of Materials. - 2011. - Дек. - Т. 23, вып. 23. - С. 5200-5207.

121. Mechano-actuated ultrafast full-colour switching in layered photonic hydrogels / Y. Yue [и др.] // Nature Communications. — 2014. — Авг. — Т. 5, вып. 1. — С. 4659.

122. Furumi S., К о,пол Т., Sawada Т. Widely Tunable Lasing in a Colloidal Crystal Gel Film Permanently Stabilized by an Ionic Liquid // Advanced Materials. - 2011. - Септ. - Т. 23, вып. 33. - С. 3815-3820.

123. Co-extruded mechanically tunable multilayer elastomer laser / G. Мао [и др.] // Optical Materials Express. — 2011. — Май. — Т. 1, вып. 1. — С. 108.

124. Tuning of Magnetic Optical Response in a Dielectric Nanoparticle by Ultrafast Photoexcitation of Dense Electron-Hole Plasma / S. Makarov [и др.] // Nano Letters. - 2015. - Септ. - Т. 15, вып. 9. - С. 6187-6192.

125. Gate-Tunable Conducting Oxide Metasurfaces / Y.-W. Huang [и др.] // Nano Letters. — 2016. — Септ. — Т. 16, вып. 9. — С. 5319—5325.

126. Wuttig M.. Bhaskaran Я., Taubner Т. Phase-change materials for non-volatile photonic applications // Nature Photonics 2017 11:8. — 2017. — Авг. — Т. 11, вып. 8. — С. 465—476.

127. Optical Metasurfaces: Evolving from Passive to Adaptive / C. U. Hail [и др.] // Advanced Optical Materials. — 2019. — Июль. — Т. 7, вып. 14. — С. 1801786.

128. Dynamic Hybrid Metasurfaces / S. Abdollahramezani [и др.] // Nano Letters. - 2021. - Февр. - Т. 21, вып. 3. - С. 1238-1245.

129. Multifunctional and Transformative Metaphotonics with Emerging Materials / P. Tonkaev [и др.] // Chemical Reviews. — 2022. — Окт. — Т. 122, вып. 19. - С. 15414-15449.

130. Wegkamp D., Stabler J. Ultrafast dynamics during the photoinduced phase transition in V02 // Progress in Surface Science. — 2015. — Дек. — Т. 90, вып. 4. — С. 464—502.

131. Tracking the insulator-to-metal phase transition in V02 with few-femtosecond extreme UV transient absorption spectroscopy / M. F. Jager [и др.] // Proceedings of the National Academy of Sciences of the United States of America. — 2017. — Септ. — Т. 114, вып. 36. — С. 9558—9563.

132. Active Optical Metasurfaces Based on Defect-Engineered Phase-Transition Materials / J. Rensberg |n др.] // Nano Letters. — 2016. — Февр. — Т. 16, вып. 2. — С. 1050—1055.

133. Electronically-Controlled Beam-Steering through Vanadium Dioxide Metasurfaces / M. R. M. Hashemi [и др.] // Scientific Reports 2016 6:1. — 2016. — Окт. — Т. 6, вып. 1. — С. 1—8.

134. Optically Tunable Mie Resonance V02Nanoantennas for Metasurfaces in the Visible / P. Kepi с [и др.] // ACS Photonics. — 2021. — Аир. — Т. 8, вып. 4. - С. 1048-1057.

135. Tunable Mie-Resonant Dielectric Metasurfaces Based on V02Phase-Transition Materials / A. Tripathi [и др.] // ACS Photonics. — 2021. — Аир. — T. 8, вып. 4. - С. 1206-1213.

136. Optical Limiting Based on Huygens' Metasurfaces / A. Howes [и др.] // Nano Letters. - 2020. - Июнь. - Т. 20, вып. 6. - С. 4638-4644.

137. Nonvolatile Reconfigurable Phase-Change Metadevices for Beam Steering in the Near Infrared / C. R. de Galarreta [и др.] // Advanced Functional Materials. - 2018. - Март. - Т. 28, вып. 10. - С. 1-9.

138. Reconfigurable all-dielectric metalens with diffraction-limited performance / M. Y. Shalaginov [и др.] // Nature Communications 2021 12:1. — 2021. — Февр. — Т. 12, вып. 1. — С. 1—8.

139. All-Dielectric Programmable Huygens' Metasurfaces / A. Leitis [и др.] // Advanced Functional Materials. — 2020. — Май. — Т. 30, вып. 19. — С. 1910259.

140. Reconfigurable dielectric metasurface for active wavefront modulation based on a phase-change material metamolecule design / C. Zhou [и др.] // Optics Express, Vol. 28, Issue 25, pp. 38241-38251. - 2020. - Дек. - Т. 28, вып. 25. - С. 38241-38251.

141. Conformal Coating of a Phase Change Material on Ordered Plasmonic Nanorod Arrays for Broadband All-Optical Switching / P. Guo [и др.] // ACS Nano. - 2017. - Япв. - Т. И, вып. 1. - С. 693-701.

142. Terahertz-field-induced insulator-to-metal transition in vanadium dioxide metamaterial / M. Liu |n др.] // Nature 2012 487:7407. - 2012. - Июль. -Т. 487, вып. 7407. - С. 345-348.

143. Nanopattern enabled terahertz all-optical switching on vanadium dioxide thin film / S. B. Choi [и др.] // Applied Physics Letters. — 2011. — Февр. — Т. 98, вып. 7.

144. Reconfîgurable Micro/Nano-Optical Devices Based on Phase Transitions: From Materials, Mechanisms to Applications / С. Li [и др.] // Advanced Science. - 2024. - Май. - T. И, вып. 20. - С. 2306344.

145. Structural transformations of Ge2Sb2Te5 films studied by electrical resistance measurements / I. Friedrich [и др.] // Journal of Applied Physics. — 2000. — Май. - T. 87, вып. 9. - С. 4130-4134.

146. Memory metamaterials / T. Driscoll [и др.] // Science. — 2009. — Септ. — T. 325, вып. 5947. - С. 1518-1521.

147. Optically reconfigurable metasurfaces and photonic devices based on phase change materials / Q. Wang [и др.] // Nature Photonics 2015 10:1. — 2015. — Дек. — T. 10, вып. 1. — С. 60—65.

148. Nonvolatile Electrically Reconfigurable Integrated Photonic Switch Enabled by a Silicon PIN Diode Heater / J. Zheng [и др.] // Advanced Materials. — 2020. - Авг. - T. 32, вып. 31. - С. 2001218.

149. Plasmonic nanogap enhanced phase-change devices with dual electrical-optical functionality / N. Farmakidis [и др.] // Science Advances. — 2019. — Ноя6. T. 5. вып. 11.

150. Ultra-low-energy programmable non-volatile silicon photonics based on phase-change materials with graphene heaters / Z. Fang [и др.] // Nature Nanotechnology 2022 17:8. - 2022. - Июль. - T. 17, вып. 8. - С. 842-848.

151. Optically resonant dielectric nanostructures / A. I. Kuznetsov [и др.] // Science. — 2016. — Ноя6. — T. 354, вып. 6314.

152. Active control of anapole states by structuring the phase-change alloy Ge2Sb2Te5 / J. Tian [и др.] // Nature Communications 2019 10:1. - 2019. -Янв. — T. 10, вып. 1. — С. 1—9.

153. Reconfigurable multilevel control of hybrid all-dielectric phase-change metasurfaces / C. R. de Galarreta [и др.] // Optica. — 2020. — Май. — T. 7, вып. 5. — С. 476.

154. Optically Reconfigurable Spherical Ge-Sb-Te Nanoparticles with Reversible Switching / M. V. Rybin [и др.] // Laser & Photonics Reviews. — 2022. — Февр. - T. 16, вып. 2. - С. 2100253.

155. In3SbTe2 as a programmable nanophotonics material platform for the infrared / A. HeBler [и др.] // Nature Communications 2021 12:1. — 2021. — Февр. — T. 12, вып. 1. — С. 1—10.

156. Wuttig M., Yamada N. Phase-change materials for rewriteable data storage // Nature Materials. - 2007. - Нояб. - T. 6, вып. 11. - С. 824-832.

157. Low-field amorphous state resistance and threshold voltage drift in chalcogenide materials / A. Pirovano [и др.] // IEEE Transactions on Electron Devices. — 2004. — Май. — T. 51, вып. 5. — С. 714—719.

158. Ding F., Yang F., Bozhevolnyi S. I. Dynamic Metasurfaces Using Phase-Change Chalcogenides // Advanced Optical Materials. — 2019. — Июль. — T. 7, вып. 14. - С. 1801709.

159. Zheludev N. /., Kivshar Y. S. From metamaterials to metadevices // Nature Materials. - 2012. - Нояб. - T. И, вып. 11. - С. 917-924.

160. Metamaterial electro-optic switch of nanoscale thickness / Z. L. Samson [и др.] // Applied Physics Letters. — 2010. — Аир. — T. 96, вып. 14.

161. An All-Optical, Non-volatile, Bidirectional, Phase-Change Meta-Switch / B. Gholipour |n др.] // Advanced Materials. — 2013. — Июнь. — T. 25, вып. 22. - С. 3050-3054.

162. Using low-loss phase-change materials for mid-infrared antenna resonance tuning / A. K. U. Michel |n др.] // Nano Letters. — 2013. — Авг. — T. 13, вып. 8. - С. 3470-3475.

163. Reversible Optical Switching of Infrared Antenna Resonances with Ultrathin Phase-Change Layers Using Femtosecond Laser Pulses / A. K. U. Michel [и др.] // ACS Photonics. - 2014. - Септ. - Т. 1, вып. 9. - С. 833-839.

164. Active Chiral Plasmonics / X. Yin [и др.] // Nano Letters. — 2015. — Июль. — Т. 15, вып. 7. - С. 4255-4260.

165. Hybrid phase-change plasmonic crystals for active tuning of lattice resonances / Y. G. Chen [и др.] // Optics Express, Vol. 21, Issue 11, pp. 13691-13698. - 2013. - Июнь. - Т. 21, вып. И. - С. 13691-13698.

166. Cao Т., Simpson R. Е., Cryan М. J. Study of tunable negative index metamaterials based on phase-change materials // JOSA B, Vol. 30, Issue 2, pp. 439-444. - 2013. - Февр. - Т. 30, вып. 2. - С. 439-444.

167. Mid-infrared tunable polarization-independent perfect absorber using a phase-change metamaterial / Т. Cao [и др.] // JOSA В, Vol. 30, Issue 6, pp. 1580-1585. - 2013. - Июнь. - Т. 30, вып. 6. - С. 1580-1585.

168. Strongly tunable circular dichroism in gammadion chiral phase-change metamaterials / Т. Cao [и др.] // Optics Express, Vol. 21, Issue 23, pp. 27841-27851. - 2013. - Нояб. - Т. 21, вып. 23. - С. 27841-27851.

169. Optical cloaking with metamaterials / W. Cai [и др.] // Nature Photonics 2007 1:4. - 2007. - Аир. - Т. 1, вып. 4. - С. 224-227.

170. Tunable multiband terahertz metamaterials using a reconfigurable electric split-ring resonator array / F. Ma [и др.] // Light: Science & Applications 2014 3:5. - 2014. - Май. - Т. 3, вып. 5. - el71 el71.

171. Alu A., Engheta N. Plasmonic and metamaterial cloaking: physical mechanisms and potentials // Journal of Optics A: Pure and Applied Optics. - 2008. - Авг. - Т. 10, вып. 9. - С. 093002.

172. Metamaterial Superlenses Operating at Visible Wavelength for Imaging Applications / S. Haxha [и др.] // Scientific Reports 2018 8:1. — 2018. — Окт. — Т. 8, вып. 1. — С. 1—15.

173. Veselago lensing with Weyl metamaterials // Optica, Vol. 8, Issue 2, pp. 249-254. - 2021. - Февр. - Т. 8, вып. 2. - С. 249-254.

174. Multifunctional Light Sword Metasurface Lens / Z. Zhang [и др.] // ACS Photonics. - 2018. - Май. - Т. 5, вып. 5. - С. 1794-1799.

175. Metasurface-integrated vertical cavity surface-emitting lasers for programmable directional lasing emissions / Y.-Y. Xie [и др.] // Nature Nanotechnology. — 2020. — Февр. — Т. 15, вып. 2. — С. 125—130.

176. Metasurface-Driven Optically Variable Devices / C. Jung [и др.] // Chemical Reviews. - 2021. - Нояб. - Т. 121, вып. 21. - С. 13013-13050.

177. Overvig A., Alii A. Wavefront-selective Fano resonant metasurfaces // Advanced Photonics. - 2021. - Март. — Т. 3, вып. 02. - С. 26002.

178. Planar nonlinear metasurface optics and their applications / T. Huang [и др.] // Reports on Progress in Physics. — 2020. — Дек. — Т. 83, вып. 12. — С. 126101.

179. Metasurface Integrated Monolayer Exciton Polariton / Y. Chen [и др.] // Nano Letters. - 2020. - Июль. - Т. 20, вып. 7. - С. 5292-5300.

180. Multifunctional 2.5D metastructures enabled by adjoint optimization / M. Mansouree |n др.] // Optica. — 2020. — Япв. — Т. 7, вып. 1. — С. 77.

181. Reconfigurable multilevel control of hybrid all-dielectric phase-change metasurfaces / C. R. de Galarreta |n др.] // Optica. — 2020. — Май. — Т. 7, вып. 5. — С. 476.

182. Solomonov А. /., Sinelnik A. D., Rybin M. V. Controlling magnetic dipole resonances with a 2.5D metasurface. — 2023. — Июнь.

183. Light-Induced Tuning and Reconfiguration of Nanophotonic Structures / S. V. Makarov [и др.] // Laser & Photonics Reviews. — 2017. — Сент. — Т. 11, вып. 5. - С. 1700108.

184. Raoux S. Phase Change Materials // Annual Review of Materials Research. — 2009. - Авг. - Т. 39, вып. 1. - С. 25-48.

185. Phase change memory materials and their applications / S. A. Kozyukhin [и др.] // Russian Chemical Reviews. — 2022. — Септ. — Т. 91, вып. 9. — RCR5033.

186. Phase-change-driven dielectric-plasmonic transitions in chalcogenide metasurfaces / B. Gholipour [и др.] // NPG Asia Materials. — 2018. — Июнь. - Т. 10, вып. 6. - С. 533-539.

187. Tuning and switching effects of quasi-BIC states combining phase change materials with all-dielectric metasurfaces / A. Barreda [и др.] // Optical Materials Express. — 2022. — Авг. — Т. 12, вып. 8. — С. 3132.

188. Ultracompact Electro-Optical Modulator-Based Ge 2 Sb 2 Те 5 on Silicon / Z. Yu [и др.] // IEEE Photonics Technology Letters. — 2018. — Февр. — Т. 30, вып. 3. - С. 250-253.

189. Singh Л/.. Raghuwanshi S. К., Srinivas Т. Nanophotonic on-chip hybrid plasmonic electro-optic modulator with phase change materials // Physics Letters A. - 2019. - Септ. - Т. 383, вып. 25. - С. 3196-3199.

190. Alamgir /., St-Hilaire F., Rochette M. All-fiber nonlinear optical wavelength conversion system from the C-band to the mid-infrared // Optics Letters. — 2020. — Февр. — Т. 45, вып. 4. — С. 857.

191. Dynamically tunable third-harmonic generation with all-dielectric metasurfaces incorporating phase-change chalcogenides / M. Zhu [и др.] // Optics Letters. - 2021. - Нояб. - Т. 46, вып. 21. - С. 5296.

192. Multipole and multimode engineering in Mie resonance-based metastructures / T. Liu [и др.] // Nanophotonics. — 2020. — Май. — Т. 9, вып. 5. — С. 1115— 1137.

193. Zhang С., Wu Zn Wang Q. Tunable and efficient near-infrared plasmonic interconnect circuit based on an index matching layer and a metal reflector // Optical Materials Express. — 2022. — Июль. — Т. 12, вып. 7. — С. 2824.

194. Orbital angular momentum of light and the transformation of Laguerre-Gaussian laser modes / L. Allen [и др.] // Physical Review A. — 1992. — Июнь. — Т. 45, вып. 11. — С. 8185.

195. The Angular Momentum of Light / под ред. D. L. Andrews, M. Babiker. — Cambridge University Press, 11.2012.

196. Franke-Arnold S., Allen L., Padgett M. Advances in optical angular momentum // Laser & Photonics Reviews. — 2008. — Авг. — Т. 2, вып. 4. - С. 299-313.

197. Terabit free-space data transmission employing orbital angular momentum multiplexing / J. Wang [и др.] // Nature Photonics 2012 6:7. — 2012. — Июнь. — Т. 6, вып. 7. — С. 488—496.

198. Torres J. P., Tomer L. Twisted Photons: Applications of Light with Orbital Angular Momentum // Twisted Photons: Applications of Light with Orbital Angular Momentum. — 2011. — Март.

199. Influence of Finite Apertures on Orthogonality and Completeness of Laguerre-Gaussian Beams / X. Zhong |n др.] // IEEE Access. — 2018. — Февр. — Т. 6. - С. 8742-8754.

200. Propagation and self-healing properties of Bessel-Gaussian beam carrying orbital angular momentum in an underwater environment / S. Zhao [и др.] // Scientific Reports 2019 9:1. - 2019. - Февр. - Т. 9, вып. 1. - С. 1-8.

201. Berry M. V. Optical vortices evolving from helicoidal integer and fractional phase steps // Journal of Optics A: Pure and Applied Optics. — 2004. — Янв. — Т. 6, вып. 2. — С. 259.

202. Berry М. V. Quantal phase factors accompanying adiabatic changes // Proceedings of the Royal Society of London. A. Mathematical and Physical Sciences. - 1984. - Март. - Т. 392, вып. 1802. - С. 45-57.

203. Molina-Terriza G., Torres J. P., Tomer L. Twisted photons // Nature Physics 2007 3:5. - 2007. - Т. 3, вып. 5. - С. 305-310.

204. Knyazev В. A., Serbo V. G. Beams of photons with nonzero projections of orbital angular momenta: new results // Physics-Uspekhi. — 2018. — Май. — Т. 61, вып. 5. - С. 449-479.

205. Wolf Е. Progress in optics. Т. 47. — Elsevier, 2005.

206. Allen L., Padgett M. J., Babiker M. IV The Orbital Angular Momentum of Light // Progress in Optics. — 1999. — Янв. — Т. 39, вып. С. — С. 291—372.

207. Terabit-scale orbital angular momentum mode division multiplexing in fibers / N. Bozinovic |n др.] // Science. — 2013. — Июнь. — Т. 340, вып. 6140. - С. 1545-1548.

208. Entanglement of the orbital angular momentum states of photons / A. Mair |n др.] // Nature 2001 412:6844. - 2001. - Июль. - Т. 412, вып. 6844. -С. 313-316.

209. What spatial light modulators can do for optical microscopy / C. Maurer |n др.] // Laser & Photonics Reviews. — 2011. — Янв. — Т. 5, вып. 1. — С. 81-101.

210. Polarization and Orbital Angular Momentum of Light in Biomedical Applications: feature issue introduction / I. Meglinski [и др.] // Biomedical Optics Express, Vol. 12, Issue 10, pp. 6255-6258. - 2021. - Окт. - Т. 12, вып. 10. — С. 6255—6258.

211. Conservation of orbital angular momentum and polarization through biological waveguides / N. Perez [и др.] // Scientific Reports 2022 12:1. —

2022. - Авг. - Т. 12, вып. 1. - С. 1-9.

212. Q-plate enabled spectrally diverse orbital-angular-momentum conversion for stimulated emission depletion microscopy / L. Yan [и др.] // Optica. — 2015. - Окт. - Т. 2, вып. 10. - С. 900.

213. Schemmel P., Pisano G., Maffei B. A modular spiral phase plate design for orbital angular momentum generation at millimetre wavelengths // Optics Express. — 2014. — Июнь. — Т. 22, вып. 12. — С. 14712.

214. Fast photothermal spatial light modulation for quantitative phase imaging at the nanoscale / H. M. Robert [и др.] // Nature Communications 2021 12:1. — 2021. - Май. - Т. 12, вып. 1. - С. 1-10.

215. Complex-amplitude metasurface-based orbital angular momentum holography in momentum space / H. Ren [и др.] // Nature Nanotechnology 2020 15:11. - 2020. - Септ. - Т. 15, вып. И. - С. 948-955.

216. All Optically Switchable Active Photonics Based on the Halide Perovskite GST Platform / О. M. Kushchenko [и др.] // Laser & Photonics Reviews. —

2023. - Авг. - Т. 17, вып. 8. - С. 2200836.

217. Fabrication of Ge2Sb2Te5 metasurfaces by direct laser writing technique / D. V. Bochek [и др.] // Optics & Laser Technology. — 2021. — Септ. — Т. 141. - С. 107124.

218. Optical properties of honeycomb photonic structures / A. D. Sinelnik [и др.] // Physical Review A. — 2017. — Июнь. — Т. 95, вып. 6. — С. 063837.

219. Product of Two Laguerre-Gaussian Beams / V. V. Kotlyar [и др.] // Photonics. — 2022. — Июль. — Т. 9, вып. 7. — С. 496.

220. Abramochkin E.7 Razueva E.7 Volostnikov V. General astigmatic transform of Hermite-Laguerre-Gaussian beams // Journal of the Optical Society of America A. - 2010. - Нояб. - Т. 27, вып. И. - С. 2506.