Формирование ленгмюровских монослоев и исследование возможности их применения тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.27.01, кандидат физико-математических наук Глуховской, Евгений Геннадьевич

  • Глуховской, Евгений Геннадьевич
  • кандидат физико-математических науккандидат физико-математических наук
  • 2004, Саратов
  • Специальность ВАК РФ05.27.01
  • Количество страниц 202
Глуховской, Евгений Геннадьевич. Формирование ленгмюровских монослоев и исследование возможности их применения: дис. кандидат физико-математических наук: 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах. Саратов. 2004. 202 с.

Оглавление диссертации кандидат физико-математических наук Глуховской, Евгений Геннадьевич

СПИСОК ОСНОВНЫХ СОКРАЩЕНИЙ

ВВЕДЕНИЕ

Глава 1.ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ЛЕНГМЮРА-БЛОДЖЕТТ В МИКРО- И

НАНОЭЛЕКТРОНИКЕ (ОБЗОР)

1.1. Технология Ленгмюра-Блоджетт

1.1.1. Формирование и исследование монослоев на поверхности воды

1.1.2. Методы (техника) исследования монослоев и технология их нанесения на твердые подложки

1.2. Некоторые возможности использования пленок Ленгмюра-Блоджетт в гетероструктурах органическая пленка на неорганической подложке (ГСОН)

1.2.1 Эффект просветления гетероструктур пленками Ленгмюра-Блоджетт. (Особенности пропускания электромагнитного излучения в ближнем инфракрасном диапазоне структурами, содержащими пленки Ленгмюра-Блоджетт).

1.2.2. Хемосенсоры на основе структур, содержащих пленки

Ленгмюра-Блоджетт

1.3. Выводы

Глава 2. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ КИСЛОТНОСТИ СУБФАЗЫ И ТЕМПЕРАТУРЫ НА ФОРМИРОВАНИЕ МОНОСЛОЕВ

2.1. Условия проведения экспериментов и методика обработки результатов

2.2. Вещества, реактивы, рабочие растворы

2.3. Параметры монослоев полимеров и жирных кислот

2.4. Влияние кислотности и ионного состава субфазы на вид изотерм сжатия монослоев жирных кислот

2.5. Влияние температуры субфазы на вид изотерм сжатия монослоев жирных кислот

2.6. Исследование возможности получения монослоев веществ, растворимых в субфазе при комнатной температуре

2.7. Стабильность монослоев

2.8. Визуализация структуры пленок Ленгмюра-Блоджетт в жидкокристаллических ячейках

2.9. Выводы

Глава 3. ПРИКЛАДНЫЕ АСПЕКТЫ ПЛЕНОК ЛЕНГМЮРА

БЛОДЖЕТТ

3.1. Описание образцов и метода исследования

3.2. Влияние природы молекул на пропускание инфракрасного излучения структурами кремний - пленка Ленгмюра-Блоджетт

3.3. Использование элементов ленгмюровской технологии при получении тонких металлических слоев

3.4. Использование пленок Ленгмюра-Блоджетт на основе жирных кислот в сенсорах резистивного типа

3.5. Макет потенциометрического датчика на основе полевого транзистора. Исследование сорбционных свойств монослоев

3.6. Выводы

Рекомендованный список диссертаций по специальности «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», 05.27.01 шифр ВАК

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Формирование ленгмюровских монослоев и исследование возможности их применения»

К настоящему времени существует несколько обзоров, в которых рассматриваются вопросы «молекулярного зодчества» [1—7]. Этот термин, введенный JI. М. Блиновым [4], наряду с термином «молекулярная архитектура» также используется, когда речь идет о создании молекулярных ансамблей с заданными свойствами - структурными и функциональными. Очень близкий к нему термин «молекулярная электроника», также давно вошел и в лексикон специалистов, и даже в учебные пособия для студентов вузов [8, 9]. Он относится к тому разделу электроники, в котором в качестве функциональных элементов выступают отдельные молекулы, группы молекул или такие крупные «макросборки», как моно- и мультислойные образования.

В то время, когда проявился первый интерес к органическим материалам как новым материалам электроники, чаще всего речь шла о массивных ♦ образцах. Идея работы с отдельными молекулами привлекала исследователей в начале лишь как гипотетическая [2]. Постепенно микроэлектроника органических веществ (органическая микроэлектроника) становилась «молекулярной микроэлектроникой» в полном смысле этого слова.

На данный момент в перечисленных научно-технических областях одними из наиболее актуальных остаются следующие проблемы: сборка" молекул с заданным строением, функциональными свойствами, расположением на подложке (проблема архитектурно-технологическая); взаимодействие с соседними молекулами (ближайшим молекулярным окружением), функциональные связи (проблема информационного обмена между ними); адресный доступ к молекуле или ее отдельной части (управление свойствами объектов "наномира" средствами "макромира").

Одним из возможных путей решения поставленных проблем является развитие технологии Ленгмюра-Блоджетт (ЛБ), которая позволяет ft работать» с отдельными монослоями (МС) молекул.

При всей несомненной важности и актуальности каждой из перечисленных проблем на данном этапе становления молекулярной электроники наиболее готовой к решению, по нашему мнению, является первая, отдельным аспектам которой и посвящена данная работа.

Уверенность в возможности решения «архитектурно-технологической» проблемы обусловлена многими объективными причинами, в том числе успехами в развитии химической науки и техники точных измерений. Вместе с этим очень важную роль сыграла разработка методов и инструментов для манипулирования микро- и наноразмерными объектами (световые пинцеты, атомно-силовые микроскопы-манипуляторы). Более того, развитие физического и химического инструментария и методов позволит продвинуться в решении других проблем.

Актуальность темы

Развитие наноэлектроники возродило и интенсивно стимулирует интерес к технологии и пленкам Ленгмюра-Блоджетт (ПЛБ). Прежде всего привлекают возможности технологии ЛБ, которые могут обеспечить контролируемое поштучное нанесение мономолекулярных слоев (монослоев, МС), а также перспективы практического применения ПЛБ в элементах микро- и нано-электроники [1-3, 10].

Технология Ленгмюра-Блоджетт (ЛБ) основана на самоорганизации молекул поверхностно-активных веществ (ПАВ) на границе раздела вода-воздух в двумерно упорядоченный ленгмюровский монослой, который может быть перенесен на твердые подложки с сохранением своей структуры. По мнению авторов [4, 11, 12] технология ЛБ до настоящего времени является основной, и, по-видимому, единственной, с помощью которой на твердые подложки можно наносить сплошные ориентированные органические пленки известной и контролируемой толщины (до единиц ангстрем).

Вследствие особенностей строения молекул органических веществ, эти слои имеют большое многообразие свойств как с химической точки зрения химического строения, конформационного разнообразия), так и физической (разнообразие вариантов кристаллической структуры для одного и того же вещества, оптических и электрических свойств и т.д.) [2, 5, 13].

Классическими веществами, применяемыми в технологии ЛБ, являются жирные кислоты и их соли. Специфика строения молекул жирных кислот определяет их способность образовывать стабильные МС на водной поверхности и способность к самоорганизации [14].

Полиамидокислоты (ПАК) - класс полимеров, которые полимеризуются под действием температуры или химических реагентов. Это дает дополнительную возможность управления свойствами ПЛБ не только на твердой подложке, но и до переноса пленки на подложку, т.е. в процессе формирования МС на поверхности воды. В чистом виде полиамидокислоты не обладают поверхностно-активными свойствами. Для нанесения их на твердые подложки по технологии ЛБ они должны быть модифицированы поверхностно-активными веществами. Интерес к этому классу веществ обусловлен также механическими, и электрофизическими свойствами: высокой механической прочностью, эластичностью, электрической прочностью [15-21], что также привлекает исследователей и разработчиков новых электронных и квантовых приборов.

Актуальным и перспективным в плане расширения возможностей применения технологии ЛБ для электроники является поиск новых ПАВ, в том числе растворимых в водной субфазе при комнатной температуре. К ним относятся вещества из класса сульфокислот с длинной углеводородной цепью, растворимостью которых можно управлять, изменяя температуру или состав субфазы.

Для получения ПЛБ с заданными свойствами очень важно знать принципы управления катионным составом пленок, а также условия, при которых в МС протекают те или иные физические и химические реакции. Отдельные задачи такого типа входят в общую задачу по отработке элементов технологии ЛБ получения ПЛБ с заданными свойствами.

В связи с этим большое значение имеют исследования, связанные с формированием МС и определением их реологических параметров [22]. Многие проблемы, касающиеся реологических свойств МС, не решены до сих пор и остаются очень актуальными. Реология поверхностей связана со специфическими экспериментами, интерпретация которых сложна и до сих пор недостаточно разработана. Поэтому очень важным является расчет конкретных реологических параметров, по которым можно судить о состоянии МС, его технологичности и, в итоге, о возможности получения пленок с набором необходимых электрофизических свойств [23, 24].

Примером практического применения пленок ЛБ является создание электронных сенсоров различных газов [3, 24, 25]. Важнейшей задаей разработчиков сенсоров является повышение их чувствительности, селективности, долговечности при снижении энергопотребления и стоимости. Применение ПЛБ дает в этом плане определенные преимущества. Подбирая вещества, составляющие пленку, можно создавать такие условия на поверхности сорбента, при которых процессы десорбции газа будут протекать без термической стимуляции. Кроме того, принцип «ключ-замок» [14, 24, 25], характерный для некоторых органических веществ может выступать дополнительным фактором, повышающим селективность сенсоров на этапе сорбции определяемого компонента. Поэтому исследования электрофизических свойств пленок ЛБ при воздействии на них внешних факторов также являются актуальными.

Перспективным направлением практического применения пленок ЛБ является возможность использования их в оптических приборах инфракрасного (ИК) диапазона в качестве просветляющих покрытий [4, 11]. При этом существует дополнительная возможность управления оптическими свойствами пленок ЛБ уже в процессе эксплуатации таких просветляющих покрытий. Об использовании пленок ЛБ в таком качестве имеется очень мало сведений, поэтому такие исследования также представляют большой интерес.

В связи с этим целью работы являлось:

Выявление особенностей формирования монослоев полимеров, жирных и сульфокислот при различных температурах на поверхности субфаз различного состава, особенностей переноса монослоев на твердые подложки и возможности применения гетероструктур, содержащих пленки Ленгмюра-Блоджетт, в микро- и наноэлектронике.

Для достижения поставленной цели решались следующие задачи: экспериментальное определение реологических параметров монослоев, а также последовательности смены фаз при формировании мономолекулярных слоев соли полиамидокислоты, гидроксипропилцеллюло-зы, стеариновой, арахиновой, олеиновой кислот, а также гексадецилсульфата натрия на поверхности водной субфазы; выяснение влияния ионного состава, кислотности и температуры водной субфазы на реологические параметры, последовательность смены фаз при формировании монослоев солей жирных кислот и сульфокислоты; выяснение влияние материала и толщины пленок Ленгмюра-Блоджетт на пропускание излучения в ближнем инфракрасном диапазоне гетероструктурами органическая пленка Ленгмюра-Блоджетт на неорганической полупроводниковой подложке; выяснение влияния пленки Ленгмюра-Блоджетт на изменение проводимости и поверхностного заряда гетероструктур органическая пленка Ленгмюра-Блоджетт на неорганической подложке при действии на них паров йода, воды, спирта.

Научная новизна

Новизна исследований, проведенных в ходе выполнения диссертационной работы, состоит в следующем: методом ступенчатого сжатия исследованы монослои октадецилдиметиламмониевой соли полипирромеллитамида, гидроксипропилцеллюлозы, стеариновой, арахиновой, олеиновой кислот на поверхности водной субфазы без добавок и на поверхности водных субфаз, содержащих ионы магния, никеля и хрома; определены их основные реологические параметры, установлены конкретные диапазоны значения кислотности (рН), при которых происходит образование нормальных и основных солей жирных кислот (стеаратов и арахинатов никеля, магния, хрома, олеата магния); впервые показано, что растворимое при комнатной температуре вещество - гексадецилсульфат натрия - способно образовывать монослои на поверхности воды и переноситься по технологии щ Ленгмюра-Блоджетт на твердые подложки; установлено, что для достижения стабильности монослоя, достаточной для формирования и переноса на твердые подложки, температура водной субфазы не должна превышать 7 °С; установлено, что при формировании монослоя гексадецилсульфата натрия при температурах выше 12 °С изменение площади монослоя при постоянном давлении связано с уходом молекул с поверхности в объем водной субфазы, при температурах ниже 7 °С - с перестройкой молекул в монослое;

4/ обнаружено нетипичное смещение п — А зависимостей в сторону г больших давлений и удельных площадей при понижении температуры для монослоя стеариновой кислоты на поверхности субфазы, содержащей ионы эрбия; дано объяснение наблюдаемому смещению изотерм сжатия, основанное на изменении растворимости стеарата эрбия при изменении температуры; впервые обнаружено и исследовано влияние условий нанесения пленок ф Ленгмюра-Блоджетт на процессы изменения заряда поверхности подложки при сорбции и десорбции паров этанола на поверхность гетероструктуры пленка Ленгмюра-Блоджетт - металлическая подложка.

Достоверность полученных результатов

Достоверность методики и результатов исследования монослоев подтверждается совпадением результатов исследований монослоев жирных кислот, полученных автором, и результатов, полученных другими авторами U и опубликованных ранее в научной печати. Достоверность результатов исследований подтверждается воспроизведением их на оборудовании других лабораторий (фирма НТ-МДТ, г. Зеленоград, Московской обл.), а также признанием их с возможностью публикации в реферируемых журналах.

Практическая значимость

Практическая значимость полученных результатов заключается в следующем: определены реологические параметры монослоев полимеров октадецилдиметиламмониевой соли полипирромеллитамида и гидроксипропилцеллюлозы этерифицированной гексадекановой кислотой, что позволяет более полно судить о состоянии монослоев на водной поверхности, проводить количественную оценку их механических свойств и прогнозировать возможность их нанесения по технологии Ленгмюра-Блоджетт; знание чувствительных к фазовому состоянию монослоя сжимаемости и параметра 1/а, где а - угловой коэффициент уравнения прямой, аппроксимирующей участок изотермы сжатия, позволяют судить о достижении необходимого фазового состояния в монослое сформированном непосредственно перед нанесением; определены условия формирования монослоев гексадецилсульфата натрия и отработана технология получения пленок Ленгмюра-Блоджетт растворимого вещества - гексадецилсульфата натрия на твердых подложках, что расширяет возможности технологии Ленгмюра-Блоджетт; отработаны элементы технологии создания пленок, способствующих повышению пропускания излучения инфракрасного диапазона кремниевыми пластинами, получено положительное решение по заявке на получение патента на «Способ получения просветляющего покрытия» [26]; созданы и исследованы действующие макеты электронных датчиков паров спирта, йода, воды, у которых в качестве чувствительных элементов использовались пленки Ленгмюра-Блоджетт жирных кислот и смесей на их основе. Использование результатов работы

Результаты исследований по теме диссертации использованы при составлении отчетов хоздоговорных НИР «Парус» (1989 г.), «Парус-2» (1990 г.) [27], «Парус-3» (1991 г.) [28], «Плёс» (1996 г.) [29], региональной научно-технической программы «Перспективные подходы к решению проблем экологической безопасности Нижнего Поволжья в связи с разработкой и эксплуатацией нефтегазовых месторождений с высоким содержанием сероводорода» (1996 г.), НИР при поддержке грантами РФФИ и Минобразования РФ «Пленка-1» (2000 г.) [30], «ГСОН» (2002 г.) [31]. Апробация работы

Основные результаты диссертационной работы докладывались и были представлены на следующих научных семинарах, конференциях и выставках:

• Средневолжском семинаре «Физика поверхности и молекулярная электроника» (Ульяновск, 1991 г.);

• V-й Международной конференции по физике и технологии тонких пленок ФТТП-V (Ивано-Франковск, 1995 г.);

• Международной конференции «Датчик - 95», (Алушта, 1995 г.);

• Международной научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения» АПЭП-96 (Саратов, 1996 г.);

• Научно-технической конференции «Проблемы экологической безопасности Нижнего Поволжья в связи с разработкой и эксплуатацией нефтегазовых месторождений с высоким содержанием сероводорода» (Саратов, 1996 г.);

• Всероссийской межвузовской конференции «Современные проблемы электроники и радиофизики СВЧ» Минобразования РФ, Фонда фундаментальных исследований (Саратов, 1997 г.);

• Научно-техническом семинаре «Перспективные подходы к решению проблем экологической безопасности Нижнего Поволжья в связи с разработкой и эксплуатацией нефтегазовых месторождений с высоким содержанием сероводорода» (Астрахань, 1997 г.);

• Международной конференции «Оптика полупроводников» (Ульяновск, 1998 г.);

• Научно-технической конференции «Проблемы экологической безопасности» (Саратов, 1998 г.);

• XI Международной конференции «Физика диэлектриков» «Диэлектрики-2000» (Санкт-Петербург, 2000 г.);

• Конференции-выставке по программе Минобразования «Научные исследования высшей школы по приоритетным направлениям науки и техники», раздел 01 «Материалы для микро- и наноэлектроники», подпрограмма «Новые материалы» (Москва, 2001 г.);

• 110 Всероссийском семинаре «Ленгмюровские пленки и ансамбли амфифильных молекул» (Москва, 2002 г.);

• Перспективные направления развития электронного приборостроения. Научно-техническая конференция (Саратов, 2003);

• IV Национальной конференции по применению рентгеновского, синхротронного излучений, нейтронов и электронов для исследования материалов (РСНЭ 2003) (Москва, 2003).

• Научных семинарах кафедры физики полупроводников СГУ.

Объем диссертационной работы

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения, списка

Похожие диссертационные работы по специальности «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», 05.27.01 шифр ВАК

Заключение диссертации по теме «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника на квантовых эффектах», Глуховской, Евгений Геннадьевич

3.6. Выводы

На основе экспериментальных исследований установлено следующее:

1. Для структур с полимерными покрытиями (соль ПАК, ГГТ11) характерно повышение пропускания ИК излучения при увеличении числа слоев (экспериментально получены структуры с пропусканием 63 % для 90-слойной ПЛБ соли ПАК и 65 % для 40 слоев ГПЦ).

2. Нанесние ПЛБ жирных кислот (Arh и Str) дает увеличение пропускания до 55 % - для 40-слойных ПЛБ (Str и Arh) на кремнии.

3. Принципиального различия в пропускании структур, содержащих ПЛБ веществ, углеводородные цепи которых отличаются на два звена [-{СН2)2-], обнаружено не было.

4. Введение в состав молекул жирных кислот (Str, Arh, Ole) иона магния уменьшает пропускание структур кремний - ПЛБ. Для структур с ПЛБ 140 слоев стеарата магния пропускания уменьшилось до 7 % в диапазоне длин волн v > 1500 см"1.

5. Для структур с ПЛБ 40 слоев олеата магния уменьшение пропускания (относительно пропускания подложки) составило до 5 % в диапазоне длин волн v> 1500 см"1. Последий факт можно объяснить следствием несплошного нанесения монослоев олеата магния.

6. Нанесение ПЛБ соли ПАК на поверхность кремниевых пластин, прошедших шлифовку полиритом М10, приводит к повышению пропускания (для ПЛБ 30 слоев соли ПАК увеличение пропускания составило 7 %).

7. Отработана технология получения тонких металлических слоев. Показано, что эти слои обладают достаточной электропроводностью, прозрачностью для ускоренных электронов и механической прочностью, что позволяет использовать их в качестве несущих подслоев для исследуемых методом электронной дифракции пленок Ленгмюра-Блоджетт.

8. Получены и исследованы планарные структуры типа металл-диэлектрик-металл. Апробированы растворы Str, соли ПАК, а также их смеси с ТДСЫа, в различных соотношениях и концентрациях, для нанесения по технологии ЛБ. Подтверждена возможность применения пленок на основе стеариновой кислоты в сенсорах резистивного типа чувствительных к парам воды и йода.

9. Показано, что резистивные сенсоры, в которых в качестве чувствительных слоев используются пленки ЛБ из смеси Str:T^CNa (100:1) г обладают большей чувствительностью к парам воды и йода, чем резистивные сенсоры, в которых в качестве чувствительных слоев используются пленки ЛБ из Str без добавления XACNa.

10. Показано, что нанесение монослоя на никелевую подложку, включенную в цепь затвора полевого транзистора, позволяет создать на ее поверхности условия для адсорбции паров спирта, в результате чего изменяется поверхностный заряд никелевой подложки.

11. Показано, что характер сорбционных процессов на поверхности твердых подложек зависит от поверхностного давления при нанесении ПЛБ, что позволяет получать чувствительные элементы с различными свойствами: например, с быстрым нестимулированным процессом десорбции или обладающих долгосрочной химической памятью.

Полученные экспериментальные данные позволяют сделать вывод о возможности использования ПЛБ в качестве оптических покрытий для кремниевых структур, играющих роль просветляющих или отражающих, в зависимости от условий получения ПЛБ: выбора ПАВ, ионного состава водной субфазы, кислотности субфазы, количества переносимых монослоев.

Список литературы диссертационного исследования кандидат физико-математических наук Глуховской, Евгений Геннадьевич, 2004 год

1. Conducting organics and polymers for electronic and optical devices / R. S. Potember, R. C. Hoffman, H. S. Ни, J. E. Cocchiaro, C. A. Viands, R. A. Murphy, T. O. Poehler II Polymer. - 1987. - V. 28. - P. 574-580.

2. Молекулярная электронная база перспективных информационно- логических устройств / Н. Г. Рамбиди, В. М. Замалин, Ю. М. Сандлер, П. А. Тодуа, А. Холманский II Итоги науки и техники. Сер. Электроника. т -М.: ВИНИТИ. - 1987. - Т . 22. - 168 с.

3. Binks В. Insoluble monolayers of weakly ionising low molar mass materials and their deposition to form Langmuir-Blodgett multilayers // Advanced in Colloid and Interfaces Science. - 1991. - Vol. 34. - P. 343-432.

4. Блинов Л. М. Ленгмюровские пленки // УФЫ - 1988. - Т. 155. - Вып. 3. - 443-480.

5. Блинов Л. М. Физические свойства и применение ленгмюровских моно- ^ и мультимолекулярных структур / Успехи химии. - 1983. - Т. 52. - Вып. 8.-С. 1263-1300.

6. Carter F. L. Molecular Level Fabrication Techniques and molecular Electronic Devices // J. Vac. Sci. Tec. - 1983. - V. В1, № 4. - P. 959-968..

7. Sigmund E., Heine В., Schulmeyer P. Molecular electronics: the first steps towards a new technology // Int. J. Electronics. - 1990. - V. 69, № 1. - P. 145-152.

8. Молекулярная электроника и пленки Ленгмюра-Блоджетт / Под. ред. Б. Н Климова, Н. Штыкова II Саратов. - 2004. - (в печати).

9. Petty М. Possible applications for Langmuir-Blodgett films // Thin Solid Films.- 1992.-V. 210/211, №1-2.-P. 417-426..

10. Сривастава В. К. Ленгмюровские пленки и их применение // В сб. Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Под ред. Г. Хасса и Р. Э. Туна. - М.: Мир. -1977.-Т. 7.-С. 340-444.

11. Львов Ю. М., Фейгин Л. А. Ленгмюровские пленки - получение, структура, некоторые применения // Кристаллография. - 1987. - Т. 32, № 3 . - С . 800-815.

12. Reichert W. М., Bruckner J., Joseph J. Langmuir-Blodgett films and black lipid membranes in biospecific surface-selective sensors // Thin Solid Films. -1987.-V. 152.-P. 345-376.

13. Preparation of mono- and multilayer films of aromatic polyimides using 1.angmuir-Blodgett technique / M Kakimoto, M. Suzuki, T. Konishi, Y. Imai, Y. Iwamoto, T. Hino II Chem. Lett. - 1986. - P. 823-826.

14. Electrooptic bistability of a ferroelectric liquid crystal device prepared using polyimideLangmuir-Blodgett Orientation films / H. Ikeno, A. Oh-saki, M. m Ф - 1988. - V. 27, № 4. - P. L475-L476.

15. Fabrication of fine patterns by positiveworking resists using a polyimide 1.angmuir-Blodgett film system / M. Ivamoto, S. Kasahara, Y. Yoneda, K. Iriyama, Y. Nishikata, M. Kakimoto, Y. Imai II Thin Solid Films. - 1992. - V. 210/211.-P. 461-464..

16. Itoh E., Iwamoto M. Electronic density of state in metal/polyimide Langmuir- ^ Blodgett film interface and its temperature dependence // J. Appl. Phys. -1997. - V. 81, № 4. - P. 1790-1797.

17. Нисимура M. Способы изготовления сверхтонких полимерных мембран и их развитие // Хёмэн. - 1985. - Т. 23. - 8-16. (Пер. с яп. Киев, редакция Всесоюз. центра переводов (КР ВЦП) - № перевода КМ-88093).

18. А. Адамсон. Физическая химия поверхностей // Пер. с англ. под ред. 3. М. Зорина и В. М. Муллера. М: Мир. - 1979. - 568 с.

19. Плотников Г.С., Зайцев В.Б. Физические основы молекулярной электроники // М.: Физический факультет МГУ, 2000. - 164 с. щ 25. Биосенсоры: основы и приложения // Пер. с англ. под ред. Э. Тернер. М.: Мир.-1992.-С. 616.

Обратите внимание, представленные выше научные тексты размещены для ознакомления и получены посредством распознавания оригинальных текстов диссертаций (OCR). В связи с чем, в них могут содержаться ошибки, связанные с несовершенством алгоритмов распознавания. В PDF файлах диссертаций и авторефератов, которые мы доставляем, подобных ошибок нет.