Исследование и разработка физических методов проектирования высокоизбирательных акустоэлектронных приборов с малым вносимым затуханием тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат технических наук Синицына, Татьяна Викторовна

• Синицына, Татьяна Викторовна
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Синицына, Татьяна Викторовна

Общая характеристика работы

Введение

1. Разработка физических моделей однонаправленных структур и исследование акустоэлектронных приборов на их основе

1.1. Анализ встречно-штыревых преобразователей ПАВ методом связанных мод

1.2. Фильтры на основе продольно-связанных резонаторных структур

1.3. Однонаправленные структуры на основе

U-образного ответвите ля

1.4. Фильтры на основе реверсивного многополоскового ответвителя

1.5. Фильтры на основе преобразователей с внутренними отражателями

1.6. Фильтры на основе поперечно-связанных резонаторных структур

2. Исследование технологических особенностей разработки и производства акустоэлектронных приборов

2.1. Технология изготовления микроэлектронных структур

2.2 Исследование влияния геометрии электродной структуры и параметров напыляемой пленки на свойства ПАВ

2.3. Технология изготовления фильтров на ПАВ с малыми потерями

2.4. Термостабилизация акустоэлектронных приборов

2.5. Оценка надежности акустоэлектронных приборов

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка физических методов проектирования высокоизбирательных акустоэлектронных приборов с малым вносимым затуханием»

Актуальность темы: Исследования распространения и возбуждения поверхностных акустических волн (ПАВ) в произвольных пьезоэлектрических кристаллах и слоистых структурах, существенный вклад в которые внесли российские ученые И.А.Викторов, Ю.В.Гуляев, В.И.Пустовойт, положили начало новому направлению в электронике - акустоэлектроники. Основные преимущества и конкурентоспособность акустоэлектронных приборов по сравнению с другими классами аналогичных устройств заключаются в возможности значительного уменьшения габаритов и массы компонентов, технологичности изготовления, стабильности параметров и относительно невысокой стоимости.

Из всего многообразия акустоэлектронных приборов фильтры на ПАВ занимают важнейшее место. К началу настоящей работы применение этих фильтров было ограничено в основном фильтрами промежуточной частоты (ПЧ). Это связано с тем, что стандартные конструктивно-технологические решения обеспечивали уровень вносимого затухания порядка 15.30 дБ [1]. Тем не менее, такие устройства нашли широкое применение в технике средств связи благодаря возможности сложной частотно-селективной обработки сигналов. В частности, разработка телевизионных многостандартных фильтров для аналого-цифровых и цифровых телевизионных приемников [2,3], фильтров для спутниковой связи [4,5], режекторных фильтров для кабельных сетей [6], а также фильтров для профессиональной телевизионной аппаратуры [7-10], позволила существенно расширить границы и улучшить качество телевизионного вещания.

Несмотря на широкие перспективы использования устройств на ПАВ и значительный прогресс в разработке их моделей и конструкций, основным вопросом оставался уровень вносимого затухания. Уменьшение потерь в фильтре до 6-8 дБ увеличивает отношение сигнал/шум системы, позволяя использовать ПАВ-фильтр во входных цепях радиотракта, снижает уровень интермодуляционных искажений, уменьшает стоимость, габариты и потребление энергии систем за счет сокращения количества компенсирующих потери усилителей. В связи с этим становится актуальной задача разработки новых, более совершенных физических моделей структур, в которых минимизированы потери на двунаправленность излучения волны, и методов их расчета, учитывающих основные искажающие факторы, в том числе эффекты переотражения от электродной структуры.

Целью данной работы является исследование и разработка физических методов проектирования высокоизбирательных акустоэлектронных приборов с малым вносимым затуханием и конструктивно-технологических решений, обеспечивающих достижение предельных характеристик в условиях серийного производства.

Объектами исследований являлись различные ориентации : пьезоэлектрических кристаллов, а также акустоэлектронные элементы, 1 входящие в состав приборов на ПАВ: встречно-штыревые преобразователи

ВШП), различные отражательные структуры и многополосковые 1 ответвители (МПО).

Основные задачи работы:

• проведение теоретических и экспериментальных исследований однонаправленных структур различных типов и приборов на их основе;

• ! поиск но!вых конструкций отражательных элементов и многополосковых ответвителей;

• исследование коэффициентов отражения и скорости волны в регулярных электродных структурах;

• исследование и разработка новых технологических маршрутов изготовления фильтров на ПАВ;

• исследование методов термостабилизации и надежности акустоэлектронных приборов. Научная новизна и основные результаты работы Научная новизна и основные результаты работы состоят в следующих положениях, которые выносятся на защиту:

• учет дисперсии скорости волны и потерь на распространение при расчете преобразователя ПАВ с равномерной структурой увеличивает точность расчета вносимого затухания и характеристики акустоэлектронного прибора в переходной области на 10.20%;

• учет дисперсии коэффициента связи в зависимости от геометрии электродной решетки при расчете равномерной электродной структуры увеличивает точность расчета характеристики в полосе пропускания фильтра на 5. .10%;

• применение совокупности замкнутых и разомкнутых полос, смещенных друг относительно друга на 1/4 длины волны, увеличивает коэффициент отражения ПАВ и связанную с ним направленность излучения волны;

• нанесение на поверхность пьезоэлектрической подложки' из УХ1/+127,86°-среза ниобата лития аморфной пленки Si02 толщиной 0,001.0,01 длин волн ПАВ приводит к улучшению термостабильности более чем в 2 раза, увеличению коэффициента электромеханической связи и, как следствие, улучшению волноводных свойств структуры.

Практическая ценность работы Практическая ценность работы состоит в разработке и внедрении в промышленное производство:

• новых конструкций и методов расчета фильтров телевизионных канальных полосовых (ФТКП) для метрового и дециметрового диапазонов частот;

• новых конструкций и методов расчета высокоизбирательных ПАВ-фильтров для аппаратуры специального назначения;

• методики по определению допусков на основные технологические операции;

• новых технологических маршрутов процесса изготовления акустоэлектронных приборов в части режимов напыления, резки и сборки;

• в получении уточненных значений основных СОМ-параметров и температурного коэффициента частоты (ТКЧ) для ряда срезов;

• в определении характеристик надежности фильтров.

Разработанные фильтры на ПАВ изготовлены на основе отечественных пьезоматериалов, имеют электрические характеристики, аналогичные образцам известных зарубежных фирм, а в ряде случаев их превосходят.

Настоящая работа является обобщением многолетних систематических исследований, выполненных под руководством или при непосредственном участии автора.

Результаты работы внедрены на ряде промышленных предприятий, они используются в серийном производстве различных типов акустоэлектронных приборов в составе узлов и блоков радиоэлектронной аппаратуры, что подтверждается соответствующими актами о внедрении.

Апробация работы Основные результаты работы докладывались на:

- XIII Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и квантовой акустике, г. Киев, 1986 г.;

- XII Всесоюзной конференции по микроэлектронике, г.Тбилиси, 1987 г.;

- Школе-семинаре «Устройства акустоэлектроники», г.Москва, ВДНХ, 1988г.;

- III Всесоюзной конференции «Акустоэлектронные устройства обработки информации», г.Черкассы, 1988г.;

- II Международном симпозиуме по поверхностным волнам в твердом теле и слоистых структурах, г.Варна, 1989 г.;

- XIY Всесоюзной конференции по акустоэлектронике и физической акустике твердого тела, г.Кишенев, 1989 г.;

- Всесоюзной конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения», г. Новосибирск, 1990 г.;

- Всесоюзной конференции «Акустоэлектронные устройства обработки и информации на ПАВ», г.Черкассы, 1990 г.;

- Международной конференции по Акустоэлектронике, г.С.-Петербург, 1993 г.;

- Международной конференции «ISEFPMA-94», г.Москва, 1994 г.;

- Научно-технической конференции «Современные телевизионные технологии. Состояние и развитие», г.Москва, 2002 г.;

- Научно-технической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения », г.Саратов, 2003 г.

- Образцы фильтров ФТКП-6.31 демонстрировались на международных выставках «Телеком» г.Москва , 1996, 1998, г.Женева 1995

Публикация результатов исследований Основное содержание работы изложено в 47 научных трудах, в том числе 7 статьях, 2 патентах, 23 научно-технических отчетах и 15 тезисах докладов различных конференций и семинаров.

Экономический эффект и внедрение результатов работы Экономический эффект от внедрения результатов работ за период 1988.2003 г. превышает 1 млн. рублей.

Структура диссертации По своей структуре содержание диссертации делится на три раздела. Во Введении рассмотрены основные факторы, влияющие на уровень вносимого затухания. Проведен сравнительный анализ различных типов однонаправленных структур, определены границы их применяемости. Обоснована тема диссертации и сформулирована цель работы.

Первая глава посвящена теоретическим и экспериментальным исследованиям однонаправленных структур на основе внутренних отражений и фильтров с малым вносимым затуханием на их основе.

Во второй главе рассмотрены конструктивно-технологические особенности разработки акустоэлектронных приборов с малыми потерями, в том числе вопросы термостабилизации и надежности. На основе результатов расчета зависимостей коэффициента отражения волны и эффективной скорости ПАВ от параметров электродной структуры определены величины допусков на основные технологические операции.

Диссертация содержит 145 страниц машинописного текста, из них 56 рисунков, 6 таблиц, ссылки на 92 библиографических источника (на 9 листах).

Введение и •

Применение фильтров на ПАВ в составе приемо-передающих блоков РЭА ограничено уровнем вносимого затухания. Известные к началу настоящей работы конструкции фильтров обеспечивали уровень вносимого затухания более 15 дБ, что ограничивало область их применения трактами ПЧ. Это связано с тем, что уменьшение данного параметра за счет применения схем согласования (пассивных [11] - до 7-10 дБ или активных в виде частотно-избирательных микроблоков [12-14]) приводит к значительному ухудшению отношения сигнал/шум системы, увеличивает ее габариты и потребляемую мощность. Возникшая в последнее время необходимость использования ПАВ-фильтров во входных цепях радиочастотных трактов потребовало реализации фильтров с уровнем вносимого затухания 6.8 дБ без применения схем согласования, что важно для обеспечения хороших шумовых характеристик РЭА.

К наиболее важным факторам, влияющим на уровень вносимого затухания, следует отнести: потери на омическое сопротивление электродов и схем согласования; потери на распространение; потери из-за дифракции и отклонения акустического пучка; потери на аподизацию преобразователей; потери на двунаправленность излучения и потери на электрическое рассогласование. Из анализа каждой составляющей потерь ясно [15], что основной вклад в общее вносимое затухание дают два последних фактора. Влияние остальных факторов может быть уменьшено соответствующим выбором конструкции, материала подложки и способа изготовления приблизительно до 1.2 дБ. Таким образом, задача создания фильтров на ПАВ с минимальным уровнем вносимого затухания сводится к устранению потерь на двунаправленность излучения волны и электрическому согласованию по входу и выходу.

До середины 80-ых годов основными методами снижения уровня вносимого затухания были: применение конструкций из трех преобразователей; использование преобразователей со структурной асимметрией либо многофазных преобразователей. Из анализа данных типов t* конструкций [16] следует, что: • %

1. Применение конструкций, содержащих три преобразователя, позволяет исключить половину потерь на двунаправленность излучения волны при одновременном уменьшении эффектов отражения, что обеспечивает снижение уровня сигнала тройного прохождения (СТП). Однако, полное подавление СТП в такой конструкции возможно только при использовании неаподизованных преобразователей, взвешенных, к примеру, методом выборочного удаления или емкостным взвешиванием, да и то только на центральной частоте устройства. Реальный фильтр на основе такой конструкции обеспечивает вносимые потери порядка 3,5 дБ в полосе пропускания 3,5% и уровень режекции боковых лепестков около 30 дБ [17,18].

2. Примером однонаправленных преобразователей, в которых направленность излучения достигается за счет структурной асимметрии, могут служить преобразователи группового типа (ГТП). Простейший преобразователь такого типа представляет собой две идентичные секции, разнесенные в направлении распространения ПАВ на четверть длины волны. Шаг электродов в секциях равен А/2. Между секциями включена фазосдвигающая цепь, обеспечивающая сдвиг фазы на угол 90°. Реальная величина направленности в такой конструкции составляет 10.20 дБ. Основными недостатками простого ГТП являются узкая полоса пропускания; неуправляемый частотный отклик и большие боковые лепестки, обусловленные сильной зависимостью фазовых сдвигов от частоты. Естественным развитием ГТП является пространственное совмещение секций. В данном случае группы верхних и нижних электродов, имеющие шаг Х0, расположены со сдвигом XJ4- в направлении распространения ПАВ. Между электродами этих групп расположен меандровый электрод с периодически меняющейся шириной вертикальных участков. Следует отметить, что периодичность групп в преобразователе обуславливает многополосность частотного отклика

ГТП. При этом побочные полосы пропускания разнесены по частоте на величину fo/(l+Kr), где Кг - число электродов в группе. Более того, в пределах одноактавного частотного диапазона число побочных полос пропускания равно Кг. Взаимное подавление паразитных полос достигается соответствующим выбором числа групп и числа электродов в группе одновременно во входном и выходном преобразователях, хотя полностью скомпенсировать таким способом побочные полосы трудно. Использование аподизованных преобразователей позволяет существенно улучшить характеристику в части внеполосной режекции, обеспечивая при этом величину вносимого затухания порядка 5 дБ.

3. Рассмотренные выше однонаправленные преобразователи являются либо чисто двухфазными, либо их комбинацией. Симметрия, присущая этим преобразователям, искусственно устраняется определенными способами включения. Трехфазный преобразователь (ТФП) в принципе несимметричен и в силу этого обладает направленными свойствами. Он образован тремя группами электродов, при этом пространственный шаг соседних электродов составляет XJ3, а электроды одной фазы объединены электрическими шинами. Сигналы к этим шинам поступают от генератора через фазосдвигающую цепь, обеспечивающую относительные фазовые сдвиги 120°. В данном случае акустическая волна, распространяющаяся в прямом направлении, подпитывается синфазно, а в противоположном направлении синфазность нарушается. Использование в конструкции ПАВ-фильтра двух ТФП позволяет достигнуть уровня вносимых потерь 2,3 дБ при ширине полосы пропускания 1%. Существенным недостатком данного типа преобразователей является многослойный процесс изготовления, обусловленный наличием пересечений для связи групп электродов, что ограничивает частотный диапазон ТФП 500 МГц, а также наличие сложных внешних фазовращающих и согласующих цепей.

4. Обеспечение широкой полосы пропускания и вносимых потерь менее 2 дБ возможно путем использования однонаправленных преобразователей, содержащих четыре электрода .на период, управляемых четырьмя квадратурно-фазовыми сигналами. Для реализации 0°, 90°, 180°, 270° ; фазовых сдвигов применяются простые фазосдвигающие цепи, содержащие либо четыре индуктивности при |X|>R, либо две i i индуктивности и две емкости при |X|<R, где X и R -активная и реактивная составляющие полного входного импеданса, соответственно. i Следует отметить, что в широкой полосе импедансы каждого канала ! преобразователя и параметры фазосдвигающих цепей зависят от частоты,

I ! ' что приводит к искажению частотной характеристики ВШП. Основными недостатками данного типа преобразователей (аналогично ТФП) f являются наличие четырех фазирующих элементов и многослойный процесс изготовления. i,i . . i j 4

Большим шагом вперед с точки зрения совокупности параметров и технологичности явилось развитие однофазных однонаправленных преобразователей, работающих на основе внутренних отражений. Их

1 ; 1 ■: ; J 1 ■ ; I : принцип действия основан на частичном отражении ПАВ от неоднородностей на поверхности звукопровода, обусловленных наличием электродов и связанным с этим изменением акустического импеданса поверхности на пути распространения волны.

Данная работа посвящена исследованию структур такого класса, ■ j разработке методов их расчета и определению технологических особенностей каждой конструкции. Основная цель исследований заключается в практической реализации высокоизбирательных ELAB-.фильтров с уровнем вносимого затухания 1.6 дБ для широкого спектра полос пропускания (0,04. 12%) в условиях серийного производства.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Синицына, Татьяна Викторовна, 2003 год

1. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Заринск», Исследование путей создания фильтров на ПАВ для аппаратуры предприятия п/я., Москва, 1986, отв. исп. Синицына Т.В.

2. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Марис», Исследование путей построения фильтров на ПАВ для радиоканалов аналого-цифрового и цифрового телевизоров, Москва, 1988, отв. исп. Синицына Т.В.

3. Отчет НИИ «Фонон», ОКР «Маус», Разработка фильтров на ПАВ для телевизионных приемников с несущей частотой изображения 45,75 МГц, Москва, 1990, исп. Синицына Т.В.

4. Отчет НИИ «Фонон», ОКР «Майна-ТВЧ», Разработка полосового фильтра на ПАВ второй промежуточной частоты для спутникового телевидения, Москва, 1992, отв. исп. Синицына Т.В.

5. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мультичип», Исследование возможности ш создания перестраиваемых полосовых фильтров на ПАВ, Москва, 1992,исп. Синицына Т.В.

6. Кандыба П.Е., Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Rejective SAW-fllter for protect systems of commercial TV-channel, Proc. Intern. Symp., Russia, St.Petersburg, 1993, p.162-163

7. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мистерия», Исследование и разработка полосовых фильтров на ПАВ с высоким гарантированным затуханием и коэффициентом прямоугольное™, Москва, 1994, науч. рук. Синицына Т.В.

8. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мираж», Исследование возможности создания высокочастотных фильтров на ПАВ с предельно достижимой совокупностью параметров, Москва, 1994, науч. рук. Синицына Т.В.

9. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «RENTV», Разработка восьми типономиналов фильтров на ПАВ с полосой пропускания 8 МГц, Москва, 2002, исп. Синицына Т.В.

10. Кондратьев С.Н., Сингур Е.К., Машинин О.В., Синицына Т.В., Разработка и исследование ВЧ-входных фильтров на ПАВ, Электронная техника, сер. Радиодетали и радиокомпоненты, вып.3(68), 1987, с.33-35

11. Карпеев Д.В., Машинин О.В., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В., Согласующие усилители для акустоэлектронных устройств частотной селекции, Электронная техника, сер. Радиодетали и радиокомпоненты, вып. 1(66), 1987, с.51-55

12. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мигель», Исследование путей построения высокочастотного узкополосного частотно-избирательного микроблока, Москва, 1985, зам. науч. рук.Синицына Т.В.

13. Карпеев Д.В., Машинин О.В., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В., Частотно-избирательный микроблок с малым потреблением энергии, Электронная техника, сер. Радиодетали и радио компоненты, вып. 3(68), 1987, стр.58-61

14. Hikita М., Tubuchi Т., Low loss SAW filter for antenna duplexer, IEEE Ultrason.Symp., 1983, p.77-82

15. Синицына T.B., Фильтры на поверхностных акустических волнах с малыми потерями, вып.3(108), ЦНИИ Электроника, депонированная рукопись, М., 1990, 47 с.

16. Отчет НИИ «Фонон», ОКР «Мультиплексор», Комплекс исследований и разработка мультиплексора на поверхностных акустических волнах , Москва, 1984, исп.Синицына Т.В.

17. Кондратьев С.Н., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В., Пятиканальный частотноизбирательный микроблок, Тезисы докладов XII Всесоюзной конференции по микроэлектронике, Тбилиси, 1987, стр.96-97

18. Hartmann C.S., A fast accurate method for calculating the SAW and bulk wave radiation admittance of a SAW transducer, Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1988, p.39-46

19. Wright P.V., A new generalized modeling of SAW transducers and gratings, Proc. 43rd Annual Symp. Freq. Control, 1989, p.596-605

20. Abbott В., Hartmann C., Malocha D., Transduction magnitude and phase for COM modeling of SAW devices, IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Cont., vol.39, №1, 1992, p.54-60

21. Plessky V.P., A simple two parameter coupling-of-modes model for shear SAW propagating in periodic gratings, Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1993, p.63-67

22. Plessky V.P., A two parameter coupling-of-modes model for shear horizontal type SAW propagation in periodic gratings, Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1993, p.68-72

23. Plessky V.P., SAW impedance elements, Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1994, p.98-104

24. Mishima N., Yasuhara Y., Ichikawa S., Mitobe S., Mass productivity of wide band SAW resonator filter, Proc. Int. Symp. SAW Devices for Mobile Comm., 1992, p. 142-147

25. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «Салон-ПАВ-2000», Разработка и освоение в производстве фильтров на ПАВ в корпусах для поверхностного монтажа, Москва, 2002, отв. исп. Синицына Т.В.

26. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «Онега-ПАВ », Разработка и освоение в производстве комплекта фильтров на ПАВ, Москва, 2002, науч. рук. Синицына Т.В.

27. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «Саяны-ПАВ-2001», Разработка иV.освоение в производстве комплекта фильтров на ПАВ, Москва, 2003, науч. рук. Синицына Т.В.

28. Blotekjaer К., Ingebrigtsen К., Acoustic surface waves in piezoelectric materials with periodic metal strips on the surface, IEEE Trans, on electron devices, 1973, vol.ED-20, № 12, p. 1139-1146

29. Hikita M., Tabuchi Т., High performance SAW filters with several new technologies for cellular radio, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1984, p.82-92

30. Plessky V., Hartmann C., Characteristics of leaky SAWs on 36-1лТаОз in periodic structures of heavy electrodes, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1993, p.117-122

31. Морган Д., Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах, Радио и связь, Москва, 1990, 414 с.

32. Hikita М., Kojima Н., New low-loss broadband SAW ' filter using unidirectional IDTs with U-shaped MSCs, Elect. Lett., 1984, vol.20, №11, p.453-454

33. Кондратьев C.H., Кузнецов M.B., Петржик E.A., Синицына Т.В., Преобразователь ПАВ, Патент 1517710 от 23.06.93

34. Синицына Т.В. Конструктивные особенности резонаторных фильтров на ПАВ с малыми потерями, Тезисы конференции Актуальные проблемы электронного приборостроения, Саратов, 2003, с.27-29

35. Chamorro A., Low-loss SAW filter design using reflector multistrip coupler, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1991, p.129-132

36. Daniski E., Theory and applications of RMSC, IEEE Ultrason. Symp. Pros., 1992, p. 195-198

37. Daniski E., New configuration of SAW resonator, Electron. Lett. 1993, №29, p.1172-1173

38. Daniski E., A SAW resonator filter exploiting RMSCs, IEEE Intern. Freq. Control Symp., 1994, p.337-342

39. Blotekjaer К., Ingebrigsten К., Skeie H., A method for analyzing waves in structures consisting of metal strips on dispersive media, Ieee Trans. ED-20, 1978, p. 1133-1146

40. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «Салон-ПАВ-97 », Разработка и поставка фильтров на ПАВ для аппаратуры 50Э.08, Москва, 1998, отв. исп. Синицына Т.В.

41. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «Салон-ПАВ-2000», Разработка комплекта фильтров на ПАВ, Москва, 2001, отв. исп. Синицына Т.В.

42. Takeuchi М., Yamanouchi К., New types of SAW reflectors and resonators consisting of reflecting elements with positive and negative reflection coefficients, IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel. And Freq. Control, 1986, vol.33, №4, p.369-374

43. Wright P., Wilkus S., A phototype low-loss filter employing single-phase unidirectional transducers, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1983, p.72-76

44. Hartmann C., Wright P., Analysis of SAW IDTs with internal reflections and the application to the design of single-phase UDTs, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1982, p.40-45

45. Campbell C., Saw C., Analysis and design of low-loss SAW filters using single-phase unidirectional transducers, IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel. And Freq. Control, 1987, vol.34, №3, p.357-367

46. Wright P., The natural single-phase unidirectional transducer, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1985, p.58-63

47. Yamanouchi K., New fabrication technique for single-phase unidirectional SAW filter (EMUDT) in UHF range, Electron. Lett., 1985, 21, №18, p.795-796

48. Yamanouchi K., Low-loss SAW filter using internal reflection types of single-phase unidirectional transducer, Electron. Lett., 1984, 20, №20, p.819-821

49. Yamanouchi K., UHF-range single-phase unidirectional transducers using new fabrication techniques, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1985, p.74-77

50. Yamanouchi К., New types of SAW reflector and resonator with alternative (positive or negative) reflection coefficients, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1984, p.224-228

51. Yamanouchi K., New low-loss SAW filter using internal floating electrod reflection types of single-phase unidirectional transducer, Electron. Lett., 1984, 20, №24, p.989-990

52. Wright P., Modeling and experimental measurements of the reflection properties of SAW metallic gratings, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1984, p.54-63

53. Кондратьев C.H., Сингур E.K., Синицына Т.В., Разработка и исследование фильтров на ПАВ с малыми потерями, Тезисы докладов 111 конференции Акустоэлектронные устройства обработки информации, Черкассы, 1988, стр.91-92

54. Кандыба П.Е., Кондратьев С.Н., Прапорщиков В.В., Синицына Т.В. SAW Filters Using Transducers with Internal Reflectors, Proc. 11 Intern. Symp. on Surface Waves in Solids and Layered Structures, Bulgaria, 1989, p.407-409

55. Синицына Т.В., Шермагина Е.Ю., Low-loss SAW-filters with improved stopband rejection, Proc. Intern. Symp. ISEFPMA-94, Russia, Moscow, 1994, p.P03-29

56. Кондратьев C.H., Орлов B.C., Н.Ф.Науменко, Синицына Т.В., Однонаправленные преобразователи ПАВ, Патент 1620022 от 9.06.93

57. Tiersten Н., Guided acoustic-surfase-wave filters, Applied Phisics Lett., 1976, vol.28, №3, p. 111-113

58. Campbell c., Smith p., Edmonson P., Aspects of modeling the frequency response of a two-port waveguide-coupled SAW resonator-filter, Ieee Trans. UFFC 1992, vol.39,№6, p.768-773

59. Hartmann С. Chen D., Heighway J., Modeling of SAW transversely coupled resonator filters using coupling-of-codes modeling technique, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1992 p.39-43

60. Scholl G., Ruile W., Russer P., P-matrix modeling of transverse-mode coupled resonator filters, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1993, p.422-428

61. Biryukov S., Martin G., Polevoi V., The theory of SAW transversely coupled waveguide resonator filter, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1994 p.89-92

62. Biryukov S., Martin G., Polevoi V., Derivation of COM equations using the surfase impedance method, IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Control, 1995, vol.42, №4, p.606-611

63. Кандыба П.Е., Кондратьев C.H., Синицына Т.В., Фильтры на ПАВ, имеющие структуру волноводного канала, Тезисы докладов конференции Актуальные проблемы электронного приборостроения, Новосибирск, 1990, стр.130

64. Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Фильтры на поверхностных акустических волнах, имеющих структуру волноводного канала, Тезисы докладов Всесоюзной конференции Акустоэлектронные устройства обработки информации на ПАВ, Черкассы, 1990, с. 135-136

65. Кандыба П.Е., Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Research and design of small-aperture SAW pass-band filter, Proc. Intern. Symp., Russia, St. Petersburg, 1993, p.161-162

66. Синицына Т.В., Шермагина Е.Ю. SAW-filters using acoustic guides, Proc. Intern. Symp. ISEFPMA-94, Russia, Moscow, 1994, p.P03-28

67. Отчет НИИ «Фонон», ОКР «Малышка-88», Разработка фильтров на ПАВ с уменьшенным размером звукопровода для УПЧИ телевизионных приемников европейского и американского стандартов частот, Москва, 1990, исп. Синицына Т.В.

68. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Микроша», Исследование путей создания сверхминиатюрных пьезоэлементов ТВ-фильтров на ПАВ, Москва, 1990, отв. исп. Синицына Т.В.

69. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Марис», Разработка фильтров на ПАВ для радиоканалов аналого-цифрового и цифрового телевизоров, Москва, 1990, отв. исп. Синицына Т.В.

70. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Малышка-89», Разработка фильтров на ПАВ с квазипараллельным трактом звука для УПЧИ-телевизионных приемников с уменьшенным размером звукопровода, Москва, 1990, исп. Синицына Т.В.

71. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мармелад», Исследование путей улучшения параметров устройств с применением схем согласования, Москва, 1988, исп. Синицына Т.В.

72. Моро У., Микролитография, Москва, изд. "Мир", 1990, 606 с.

73. Готра З.Ю., Технология микроэлектронных устройств, Москва, Радио и связь, 1991, 528 с.

74. Hartmann С., Plessky V., Experimental measurement of propagation, attenuation, reflection and scattering of leaky waves in A1 electrode gratings on 41°, 52° and 64°-lLiNb03, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1994 p. 120-123

75. Mishima N., Yasuhara Y., Mass productivity of wide band SAW resonator filter, Proc. Int. Symp. SAW Devices for Mobile Comm., 1992, 142-147

76. Wright P., Modeling and experimental measurements of the reflection properties of SAW metallic gratings, IEEE Ultrason. Symp. Proc., 1984, p.54-63

77. Отчет ООО «БУТИС-М», ОКР «Туман», Разработка фильтра на ПАВ со специальной формой АЧХ, Москва, 2002, исп.Синицына Т.В.

78. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мантисса», Исследование путей построения чувствительных элементов на основе ПАВ-резонаторов для датчиков давления и температуры, Москва, 1983, исп.Синицына Т.В.

79. Кондратьев С.Н., Орлов М.М., Сингур Е.К., Синицына Т.В. Датчики давления на основе резонаторов поверхностных акустических волн, Электронная техника, сер. Управление качеством, стандартизация, метрология, испытания, вып.3(108), 1984, с.56-57

80. Parker Т., Wichansky Н. Material parameters of the temperature-stable Si02/yz-LiTa03 structure, IEEE Ultrason.Symp., 1975, p.503-507

81. Parker Т., Wichansky H. Temperature-compensated surface-acoustic-wave devices with Si02 film overlays, J. Appl. Phys., 1979, Vol.50(3), p. 1360-1369

82. Отчет НИИ «Фонон», НИР «Мулла», Исследование метода получения термостабильных фильтров на ПАВ путем нанесения пленки Si02 на ниобат лития, Москва, 1988, отв.исп.Синицына Т.В.

83. Герасимова Т.А., Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Термостабильные фильтры на ПАВ на слоистой структуре, Тезисы докладов семинара «Устройства акустоэлектроники», Москва, ВДНХ, 1988, с.27

84. Герасимова Т.А., Кондратьев С.Н., Синицына Т.В., Термостабильные ПАВ-фильтры на слоистой структуре, Эл.техника, сер.радиодеетали и радиокомпоненты, вып. 1(74), 1989, стр.61-63

85. Iamanouchi К., Hayama S. SAW properties of Si02/128°yx-LiNb03 structure fabricated by magnetron sputtering technique, IEEE Trans, on Sonics and Ultrason., 1984, Vol.31(1), p.51-57

86. Фильтры на поверхностных акустических волнах, под ред. Г.Меттьюза, М., 1981,472 с.

87. Надежность изделий электронной техники, Справочник, 1985