Повышение чувствительности элементов датчиков вибрации и быстропеременного давления на основе совершенствования конструкций и пьезотехнологий тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.14, кандидат технических наук Вусевкер, Виктор Юрьевич

• Вусевкер, Виктор Юрьевич
• кандидат технических наук
• 2009

Оглавление диссертации кандидат технических наук Вусевкер, Виктор Юрьевич

ВВЕДЕНИЕ.

1 АНАЛИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ ИССЛЕДОВАНИЙ ПО СОЗДАНИЮ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДЛЯ АКУСТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ, ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯ, ВИБРАЦИИ, БЫСТРОПЕРЕМЕННЫХ ДАВЛЕНИЙ.

1.1 Назначение, принцип действия и основные характеристики пьезоэлектрических датчиков.

1.2 Конструктивные особенности пьезоэлектрических датчиков.

1.3 Конструкции преобразователей.

1.4 Пьезокерамические материалы.

1.5 Выводы, постановка цели и задач исследований.

2 ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ДЕСТАБИЛИЗИРУЮЩИХ ФАКТОРОВ.

2.1 Пьезокерамические материалы на основе твердых растворов титаната-цирконата свинца (ЦТС) ЦТС-83Г и ПКП-1ст.

2.2 Высокотемпературные пьезокерамические материалы на основе титаната висмута со слоистой перовскитоподобной структурой.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение чувствительности элементов датчиков вибрации и быстропеременного давления на основе совершенствования конструкций и пьезотехнологий»

Актуальность темы. В настоящее время основную роль в системах контроля параметров энергетических установок, работающих в экстремальных условиях, например в ракетно-космической техники и атомной промышленности играет датчиковая аппаратура. Одними из основных средств измерения являются датчики вибрации и датчики быстропеременного давления с первичным преобразовательным элементом из пьезоэлектрической керамики. К таким элементам предъявляются достаточно жесткие требования по механической надежности и по стабильности метрологических характеристик в условиях эксплуатации и длительного хранения, сохранения работоспособности при воздействии внешних дестабилизирующих факторов.

Промышленный выпуск пьезоэлектрических преобразователей (ПП) осуществляют за рубежом десятки фирм, среди которых наибольшую известность имеют "Bruel & Kjear" (Дания), "Endevco" (США), "Kistler" (Швейцария), "Vibrometer" (Германия), "ONO Sokki" (Япония) и др. В России пьезопреобразователи выпускаются на предприятиях ОАО «Элпа» (г. Зеленоград) и ОАО «Аврора-Элма» (г. Волгоград) в интересах гидроакустики, акустоэлектроники, бытовой техники. Однако использование этих преобразователей для работы в экстремальных условиях весьма проблематично из-за специальных требований, обусловленных условиями эксплуатации датчиков (высокие и низкие температуры, высокая радиация и высокие давления, большие уровни вибрации). В НКТБ «Пьезоприбор» эта задача решена в научном плане путем создания многослойных монолитных конструкций преобразователей, защищенных от действия «паразитной» вибрации. В тоже время быстрорастущие требования к качеству и надежности таких преобразователей потребовали дополнительной постановки специальных программ, в которых планировалось найти решения по обеспечению стабильности работы изделий в экстремальных условиях эксплуатации.

Актуальной задачей являются исследования по разработке новых конструкций пьезоэлектрических преобразователей и новой технологии их изготовления, обеспечивающей получение более высоконадежных и высокоэффективных датчиков, представляющих достоверную измерительную информацию о состоянии и работоспособности сложных технических объектов. Целью работы является решение научной задачи по созданию пьезоэлектрических преобразователей для датчиков, эксплуатируемых в экстремальных условиях и обеспечивающих измерение вибрации и быстропеременного давления, а также исследование характеристик этих преобразователей.

Задачи диссертационной работы

Поставленная цель достигается решением следующих задач:

- проведение анализа и выбор пьезокерамических материалов, предназначенных для конструирования пьезоэлектрических преобразователей, способных работать в экстремальных условиях;

- разработка методом конечных элементов конструкций пьезоэлектрических преобразователей, обеспечивающих измерение и контроль параметров изделий в экстремальных условиях;

- разработка новых технологий изготовления пьезоэлектрических преобразователей, обеспечивающих измерение вибрации и быстропеременного давления в условиях воздействия внешних дестабилизирующих факторов;

Методы исследований. При решении перечисленных научных задач использованы основные положения физики твердого тела, теории упругости, сопротивление материалов и методы математического моделирования физических процессов в твердотельных сегнетоэлектрических структурах.

Экспериментальные исследования базировались на положениях теории измерений, планировании эксперимента и статистической обработке полученных результатов.

Предметом исследований являются высокотемпературные пьезокера-мические материалы и конструкции чувствительных элементов датчиков с высокими метрологическими характеристиками.

Научная новизна работы. В диссертационной работе впервые:

- разработаны высокоэффективные биморфные преобразователи и обоснован выбор конструкций чувствительных элементов и технологии их получения для датчиков вибрационного ускорения при работе в экстремальных условиях (патент РФ 2212736, МПК7 Н OIL 41/083, G 01Н11/08, Н 04R 17/00 Пьезоэлектрический изгибный преобразователь / Доля В.К., Вусевкер В.Ю., Панич А.Е.; заявитель и патентообладатель Научное конструкторско-технологическое бюро «Пьезоприбор» Ростовского государственного университета. - № 200030659; заявл. 12.11.2001; опубл.20.09.2003, Бюл. № 26, 4с);

- разработаны физико-технологические принципы построения преобразователей для трехкомпонентных датчиков контроля вибрации атомного энергетического оборудования (патент РФ230142, МПК7 G 01 Р 15/09 Пьезоэлектрический акселерометр /Вусевкер В.Ю., Панич А.Е., Филиппов Е.В., Це-ханский K.P., Войтенко В.Б.; заявитель и патентообладатель - Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования» Ростовский государственный университет".- №2005141270/28 за-явл.28.12.2005; опубл. 20.06 2007, Зс);

- сформулирована конечно-элементная модель пьезоэлектрического датчика пульсации давления, на основе математического моделирования которой получены конструкции чувствительных элементов для указанных датчиков;

- разработана конструкция виброзащищенного пьезоэлектрического преобразователя для датчиков быстропеременного давления (патент РФ 2215275

Бутов В.И., Вусевкер В.Ю., Мокров Е.А., Панич А.Е. Пьезоэлектрический датчик быстропеременного давления. Опубликован 27.10.2003, бюл. №30, 4с.).

На защиту выносятся результаты исследований пьезокерамических материалов для использования их в датчиках, работающих в экстремальных условиях, и методы повышения чувствительности пьезопреобразователей, в том числе:

1. Математическая модель, математическое моделирование и расчет конструкций многослойных монолитных ГШ методом конечных элементов для датчиков вибрации, быстропеременного и акустического давления.

2. Результаты исследований характеристик ПП изгибного типа, обладающих повышенной прочностью для возможности работы в экстремальных условиях эксплуатации.

3. Результаты разработки конструкции ПП для датчиков вибрации из различных пьезокерамических материалов, работоспособных в диапазонах температур минус 196-300 °С (ЦТС-83Г), минус 196-500 °С (НТВ-1) и обеспечивающим пьезоэлектрическую чувствительность: 2200 пКл/Н (ЦТС-83Г), 100 пКл/Н (НТВ-1);

4. Результаты разработки метода термокомпрессионной сварки, обеспечивающего необходимую жесткость и монолитность ПП, снижающего влияние механических напряжений на метрологические характеристики и расширяющего рабочий температурный диапазон пьезопреобразователей;

5. Результаты исследования и разработки конструкции трехсекцион-ного ПП, предназначенного для датчика измерения вибрации в трех взаимно-перпендикулярных направлениях.

6. Результаты исследования и разработки конструкции пьезоэлектрического преобразователя быстропеременного давления, защищенного от воздействия «паразитной» вибрации и обеспечивающего измерение давления сверхмалых уровней при воздействии высоких значений статического давления и температуры.

Практическая значимость результатов.

Работа обобщает теоретические и экспериментальные исследования, проведенные автором в НКТБ «Пьезоприбор» и способствует решению актуальной научно-технической задачи - созданию высоконадежных и высокоэффективных датчиков, работающих в экстремальных условиях эксплуатации. Практическая значимость полученных результатов состоит в следующем:

1. Достигнуто снижение трудоемкости в четыре раза за счет введения в технологический процесс операции термокомпрессионной сварки на серебре, которая позволяет исключить склейку многослойных пьезоэлектрических преобразователей, что увеличивает надежность и температурную стабильность чувствительных элементов датчиков вибрации и быстропере-менного давления.

2. Впервые решена задача измерения вибрации в трех взаимно перпендикулярных направлениях одним датчиком.

3. Создана конструкция пьезоэлектрического трехслойного преобразователя изгибного типа, обеспечивающего на 25% большую пьезоэлектрическую чувствительность при тех же массогабаритных характеристиках. Реализация и внедрение результатов работы

В результате теоретических и экспериментальных исследований повышена пьезоэлектрическая чувствительность пьезопреобразователей изгибного типа, на базе которых сконструированы датчики вибрации, серийно выпускаемые на предприятии ОАО «НПО ИТ» (г. Королев) (акт внедрения №5).

Предложенная конструкция 1111 с разнонаправленной поляризацией позволила создать датчик вибрации с одним инерционным грузом. Данная конструкция внедрена и применяется при серийном выпуске датчиков 2ПА-6Т, 2ПА-25 и 2ПА-6Т. Эти датчики используются при контроле вибрации тепловыделяющих элементов в атомных реакторах и для контроля вибрации трубных систем теплообменного оборудования. Датчики 2ПА-24 применяются для одновременного измерения двух составляющих вибрации деталей и узлов машин. На основе трехкомпонентных ПП выпускаются датчики ЗПА-40ТК и ЗПА-51, обеспечивающие одновременное измерение вибрации в трех направлениях. Указанные разработки внедрены на предприятии ФГУП ЦНИИТМАШ (г. Москва) (акт внедрения №6).

Разработанные 1111 для датчиков быстропеременного и акустического давления не чувствительных к вибрации имеют обратимые изменения коэффициента преобразования не выше 10% и обладают преимуществом по пьезоэлектрической чувствительности более чем в четыре раза по сравнению с аналогами ДХС-514 и JIX-511. На основе данной разработки начат серийный выпуск аппаратуры аварийной защиты для ракетно-космической техники на предприятии ОАО'НИИФИ (г. Пенза). Апробация результатов работы

Основные результаты работы обсуждались и были одобрены на следующих технических конференциях и симпозиума: IX международном симпозиуме «Динамические и технологические проблемы механики конструкций и сплошных сред» 2003г., г. Москва; VIII международном симпозиуме «Динамические и технологические проблемы механики конструкций и сплошных сред» 2002г., г. Москва; Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы пьезоэлектрического приборостроения», Пьезотехника-2003,2003г., г. Москва; Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы пьезоэлектрического приборостроения», Пьезотехника-2002, 2002г., г. Москва; Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы пьезоэлектрического приборостроения», Пьезотехника-2000, 2000г., г. Москва; XXI научно-технической конференции молодых специалистов

Наукоемкие проекты и высокие технологии XXI века», г. Пенза, НИИФИ, 2002г.; XXII научно-технической конференции молодых специалистов «Наукоемкие проекты и высокие технологии XXI века», г. Пенза, НИИФИ, 2003г.; XXIII научно-технической конференции молодых специалистов «Наукоемкие проекты и высокие технологии XXI века», г. Пенза, НИИФИ, 2004г.; VI научно-технической конференции «Инновационные процессы пьезоэлектрического приборостроения и нанотехнологий», г. Анапа, 2008.

Публикации.

По теме диссертации опубликовано 19 печатных работ, из них 2 в журнале входящим в перечень ВАК, получено 5 патентов России на изобретения.

Структура и объем работы.

Диссертационная работа состоит из введения, заключения и пяти основных глав. В работе приводится список литературы из .наименований. Работа содержи 145 стр. машинописного текста, включая .рис., . табл., приложения.

Заключение диссертации по теме «Технология приборостроения», Вусевкер, Виктор Юрьевич

4.8 Основные результаты:

1. Проведено компьютерное моделирование и расчет методом конечных элементов многослойных монолитных конструкций чувствительных элементов. Разработаны конструкции монолитных многослойных преобразователей ПМ-1 из пьезокерамического материала ЦТС-83Г, ПМ-1-01 и ПМ-1-02 из пьезокерамического материала НТВ-1, изготовленные методом термокомпрессионной сварки.

Предложенная конструкция преобразователей позволила получить предельно высокие значения пьезоэлектрической чувствительности, высокую стабильность и повторяемость параметров пьезопреобразователей, упростить сборку и монтаж датчиков, и в итоге повысить надежность акселерометров

2. Разработана конструкция преобразователя ПМ-2 для измерения вибрации в ограниченном пространстве в трех взаимно-перпендикулярных направлениях. Такой преобразователь представляет собой монолитный многослойный пакет пьезокерамических пластин, часть из которых представляет собой чувствительные элементы с разнонаправленной поляризацией. Это позволило разработать промышленные модели высокотемпературных двух- и трехкомпонентных датчиков вибрации атомного энергетического оборудования, отличающиеся достаточно высокой высокой чувствительностью и помехозащищенностью из-за дифференциального принципа работы пьезоэлектрического преобразователя. На данный преобразователь получен патент на изобретение /77/.

3. Методом конечных элементов рассчитана оптимальная конструкция пьезоэлектрического преобразователя с добавлением компенсационного элемента, представляющего трехслойный изгибный элемент, Рассмотрено два вида компрессионного элемента: с 5-ю и 6-ю слоями. Выбраны оптимальные соотношения геометрических размеров, позволяющие получить полную компенсацию «паразитного» вибросигнала.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Подводя общий итог диссертационной работы, можно сделать следующие выводы и заключения:

1. Проведен анализ и выбор пьезокерамических материалов, предназначенных для изготовления чувствительных элементов датчиков, работающих в экстремальных условиях эксплуатации.

2. Разработаны физико-технологические основы процесса изготовления многослойных монолитных пьезопреобразователей методом термокомпрессионной сварки. При этом снижена трудоемкость изготовления ПП в 4 раза, увеличена его температурная стабильность, увеличена пьезоэлектрическая чувствительность на 25%, при тех же массогабаритных характеристиках.

3. Установлено, что сварные конструкции преобразователей превосходят клеевые по стабильности резонансной частоты более чем 10 раз. Коэффициенты преобразования по напряжению увеличиваются в 2-5 раз, по заряду - в 1,5 раза.

4. Изучено влияние вибрационных и ударных ускорений на биморфные преобразователи и разработанные трехслойные преобразователи с наличием пассивного слоя. Показаны преимущества трехслойного преобразователя, позволившие получить максимальные значения чувствительности по заряду Кд=25,0 пКл/g при соотношении толщин активного и пассивного слоев 0,3/0,8.

5. Математическое моделирование монолитных преобразователей позволило:

- установить соотношение геометрических размеров конструкции чувствительного элемента датчика быстропеременного давления, при котором автоматически компенсируется «паразитные» вибрации, путем введения в конструкцию ПП компенсационного многослойного элемента с радиусом R2= 4.35 мм; разработать конструкцию многослойного монолитного чувствительного элемента (модуля) ПМ-1, изготовленного из пьезокерамического материала ЦТС-83Г и обладающего высокой стабильностью пьезоэлектрической чувствительности в температурном диапазоне от минус 196 до 300°С. На базе разработанной конструкции планируется создать унифицированный параметрический ряд чувствительных модулей с рабочими температурами от минус 196 до 500°С.

- создать многослойный трехсекционный преобразователь ПМ-2 из пьезокерамического материала НТВ-1 с диапазоном рабочих температур от -196 до 500°С для измерения вибрации в ограниченном пространстве в трех взаимно-перпендикулярных направлениях.

6. Проведены испытания разработанных конструкций преобразователей при высоких и криогенных температурах, сильных механических, вибрационных и ударных нагрузках, длительном хранении. Результаты испытаний показали высокую стабильность коэффициента преобразования по заряду во всем температурном диапазоне, а также при высоких статических нагрузках. Обратимые и необратимые изменения не превышают допустимых значений.

Таким образом, решена научная задача по исследованию характеристик и созданию пьезоэлектрических преобразователей для датчиков, эксплуатируемых в экстремальных условиях и обеспечивающих высокую эффективность и стабильность характеристик при измерении вибрации и быстропеременного давления.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Вусевкер, Виктор Юрьевич, 2009 год

1. Langevin P. Précédé et appareil d'émission et de reception des ondes élastiques sousmarin e'aide des propriétés piesoelectiques du quartz .Fr. pat., 1918, No 505703.

2. Mason W.P. Barium-titanate ceramic as an electromechanica ltransducer // Phys. Rev. 1948. 74. No. 9. P.l 134; Bell labor.Rec.1949. No. 27. P.285-289.

3. Ананьева A.A., Царев B.M. Разработка ненаправленного звукоприемника для ультразвуковых частот. Отчет Акустической лаборатории ФИАН 1951.

4. Вул Б.М., Гольдман И.М. Диэлектрическая проницаемость титаната бария в зависимости от напряжения в переменном поле.// ДАН СССР, 1945, 49. №3. С. 179-182.

5. Вул Б.М., Гольдман И.М. Диэлектрическая проницаемость титанатов металлов 2-ой группы // ДАН СССР. 1945. 46. № 4. С. 154-157.

6. Глозман И.А. Пьезокерамика. М.: Энергия, 1972. 288 с.

7. Джагупов Р.Г., Ерофеева А.А. Пьезоэлектронные устройства вычислительной техники, системы контроля и управления: Справочник. СПб.: Политехника .1994. 608 с.

8. Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Шарапова Е.В. Пьезоэлектрические датчики // Мир электроники / Под ред. В.М.Шарапова.- М.: Техносфера, 2006.-632 с. ISBN 5-94836-100-4.

9. Martini K.R. New range of high temperature courts pressure transducers.-«Kistler Instrumene AG.» Transducers 77 conferenc pressure measurement.1977. 20 p.

10. Пьезоэлектрические приборы для измерения давлений, усилий, ускорений. Проспект фирмы «Kistler Instrumene AG.» 1999. 12 с.

11. Каталог изданий ОАО «Аврора», Волгоград, 1990.

12. Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Шарапова Е.В. Пьезокерамические преобразователи физических величин / Под ред. В.М.Шарапова. Черкассы: ЧГТУ, 2005,. 631 с.

13. ЭЛПА. Изделия акустоэлектроники и пьезокерамики /под ред. Б.Г.Парфенова, М.: РИА «Деловой мир», 1992. 167 с.

14. Ляв А. Математическая теория упругости. М.: ОНТИ, 1935.

15. Йориш Ю.А. Виброметрия. М.: Гос. Научно-тех. изд-во машиностроительной литературы, 1963. С 563-569.

16. Гуль В.Е., Царский Л.Н. и др. Электропроводящие полимерные материалы. М.: Химия, 1968.

17. Гринченко В.Г., Улитко А.Ф., Шульга H.A. Механика связанных полей в элементах конструкции. Киев: Наукова думка, 1985, т.5: Электроупругость. С.36-38, 102-116.

18. Гуль В.Е. Шенфиль Л.З. Электропроводящие композиции. М.: Химия, 1984.

19. Баженов В.М. и др. Разработка и исследование пьезокварцевых датчиков для определения концентрации паров спиртов и ароматических углеводородов в газах //Автоматизация химических производств. М.: НИИ ТЭ ХИМ, 1983. Вып.1 С 37-41.

20. A.c. 935221 Способ создания неразъемного соединения / Котельников Д.И и др. (СССР). Опубл. 1982. Бюл. № 22.

21. A.c. 1308597 Способ изготовления пьезокерамики / Котельников Д.И и др. (СССР). Опубл. 1987. Бюл. № 17.

22. A.c. 893424 Способ пайки или сварки / Котельников Д.И.и др. (СССР). Опубл. 1981. Бюл. № 48.

23. Йориш Ю.И. Виброметрия . М.: Машиздат. 1961.

24. Пьезоэлектрические акселерометры и предусилители. Справочник по теории и эксплуатации. Дания, 1987.

25. Шарапов В.М., Минаев И.Г., Бондаренко Ю.Ю. и др. Пьезоэлектрические преобразователи (Справочное пособие) / Под ред. В.М.Шарапова.- Черкассы: ЧГТУ, 2004. 435 с.

26. Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Шарапова Е.В. Пьезокерамические преобразователи физических величин / Под ред. В.М.Шарапова. -Черкассы: ЧГТУ, 2005. 631 с."I

27. A.c. 361723, МКИ GO 1 Р15/08 Пьезоэлектрический акселерометр / Крамаров О.П. и др. (СССР). Опубл. 1975.29 .с 472587 , МКИ G01 Р15/08 Пьезоэлектрический акселерометр / Янчич В.В., Крамаров О.П. (СССР). Опубл. 1976.

28. Пат. 45703 Украина, MTIKG01P15/08 Пьезоэлектрический акселерометр /Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Роттэ C.B., Саенко Н.В.и др. Опубл.15.04.2002. Бюл. № 4 .

29. Пат. 45702 Украина, МПК G01 PI5/09 Пьезоэлектрический акселерометр /Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Саенко Н.В и др. -Опубл. 15.04.2002. Бюл. № 4 .

30. Пат. 46274 Украина, МПК G01 PI5/09 Пьезоэлектрический акселерометр/ Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Роттэ C.B., и др. -Опубл.15.05.2003. Бюл. № 5 .

31. Пат. 46298 Украина, МПК G01 PI5/09 Пьезоэлектрический акселерометр/ Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Роттэ C.B., и др. -Опубл.15.05.2002. Бюл. № 5 .

32. Shirane G., Suzuki К.//Phys.SocJapan. 1952. 7. № 3. Р.ЗЗЗ.

33. Дону, Азов 23-26 августа 2005 г.: Сборник трудов.- г.Ростов н/Д: Изд-во Ростовского государственного педагогического университета, 2005.С. 160 163. ISBN 5-8480-0449-8.

34. Жаффе Г., Берлинкур Д.А. // ТИИЭР. 1965. 3. №10. С. 1552-1556.

35. ОСТ 11 0444-87. МАТЕРИАЛЫ ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИЕ. Технические условия//Отраслевой стандарт.-Введ. 1988-01-01. 141с.

36. Electronic components catalog 1974-5m Matsushita Electric Industrial Co., LTD.- Kadoma Osaka, Japan, 1975.

37. Хаякава С. Электронно-техническая керамика: Симпозиум по электротехнической и электронной технике при выставке электронной техники.- М.:1975.

38. Ouchi H., Nichida M., Hajakawa H National Tecnikal Report.-1966. 2. No. 4.P.251.

39. Данцигер А.Я., Разумовская O.H., Резниченко Л.A., Гринева Л.Д., Девликанова Р.У., Дудкина С.И., Гавриляченко C.B., Дергунова Н.В., Клевцов А.Н. Высокоэффективные пьезокерамические материалы: Справочник. Ростов н/Д: Изд-во АО «Книга». 1994. 31с.

40. Каталог фирмы «EndevKO». 1999.

41. Кузьминов Ю.С. Ниобат и танталат лития материалы для нелинейной оптики //монография / Под ред. В.В.Осико. - М.: Изд-во «Наука» Главная редакция физико-математической литературы. 1975. 223с.

42. Смоленский Г.А., Боков В.А., Исупов В.А., Крайник H.H.,Пасынков P.E., Шур М.С Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики. /Отв.ред.Г.А.Смоленский; Акад.наук СССР Институт полупроводников. Л.: Изд-во «Наука», Ленингр.отд. 1971. 475с.

43. А.С.905220 МКИ С 04В 35/00 Пьезоэлектрический керамический материал /Джения Л.В. Файнридер Д.Э., Морданов Б.П., Вусевкер Ю.А. (СССР). № 2921978/29-33; заявл.05.05.80; опубл. 15.02,6 с.

44. Г.Кайно Акустические волны, устройства визуализации и аналоговая обработка сигналов. М.: Изд-во «Мир», 1990, Приложение Б.

45. Михайлов П.Г., Забродина С.Д., Бутов В.И., Кузин В.Н. Пьезодатчики для измерения акустических и быстропеременных давлений//Измерительная техника. 1994. № 6. С. 11-12.

46. Панич А.Е., Вусевкер Ю.А., Филиппов Е.В., Пашков C.B., Степанович Д.С Исследование электрофизических параметровпьезоэлементов из материалов ПКЛ-1, ПКЛ-2, ПКЛ-3 //Международная научно-практическая конференция

47. Дышко A.A., Панич А.Е. Многослойные, монолитные пьезокерамические преобразователи для сигнализаторов уровня жидких сред.//Датчики и Системы, № 9, 2003. С.17-18.

48. A.c. 497267, МКИ3 С04В 35/00 Керамический материал /Вусевкер Ю.А.,.Епремян Л.Г Крамаров О.П., Гурвич Ю.В., Морданов Б.П., Файнридер Д.Э.(СССР)- № 1988531/29-33 заявл 18.01.74; опубл.30.12.75, Бюл. № 48. 4 с.

49. A.c. 734116 МКИ3 С04В 35/00 Пьезоэлектрический керамический материал / ВусевкерЮ.А.,Ривкин В.И., Крамаров О.П., Файнридер Д.Э.(СССР).-№ 2546106/29-33 заявл 21.11.77; опубл. 15.05.80, Бюл. № 8. 4 с.

50. Пат. 2139840 Российская Федерация, МПК7 С 04В 35/00 Пьезоэлектрический керамический материал /.Вусевкер Ю.А,

51. Файнридер Д.Э, Панин А.Е., Гориш A.B., Злотников В.А.; заявительи патентообладатель Научное конструкторско-технологическоебюро «Пьезоприбор» Ростовского государственного университета.98102096; заявл.26.01.98; опубл.20.10.99, Бюл. № 29, 4с.

52. A.c.975672 МПК3 С04В 35/00 Пьезокерамический материал /.Крамаров О.П.,.Вусевкер Ю.А., Ю.А,.Джения JI.B., Морданов Б.П., Сокалло А.И. (СССР). №3286871/29-33; заявл. 04.05.81; опубл.28.12.84, Бюл.№12, 4с.

53. Донсков В.И., Янчич В.В., Лимарев А.И., Козлов В.В. Акселерометры для измерения вибрации при высоких температурах//Вибрационная техника. М.: ДНТП, 1978. С.146-161.

54. Цеханский K.P., Васильева Р.И. Датчики контроля динамических параметров современных энергетических установок // Виброметрия. М.: ДНТП, 1983. С.7-9.

55. Богуш М.В. Пьезоэлектрические датчики для экстремальных условий эксплуатации //Пьезоэлектрическое приборостроение том III / Под. ред. Панича А.Е. Ростов-на Дону: Изд-во СКНЦ ВШ, 2006. С 335. ISBN 5-87872-351-4.

56. Гориш A.B., Богуш М.В., Злобин А.И., Горбунов С.М. Пьезоэлектрические преобразователи с элементами компенсации вибрационной чувствительности //Экология, мониторинг и рациональное природоиспользование: Научн. тр. Вып.88(11).- М.: РКА, МГУЛ. 1997.

57. Гориш A.B., Вусевкер Ю.А., Шевченко Л.А., Старостин В.Н. Пьезоэлектрические датчики вибрации //Экология, мониторинг и рациональное природоиспользование: Научн. тр. Вып.88(11).-М.: РКА, МГУЛ. 1997.

58. Вусевкер В.Ю. Панич А.Е. Исследование пьезоэлектрических датчиков ускорения при экстремальных воздействиях //Датчики и Системы №9, 2003.С. 19-21.

59. Вусевкер В.Ю., Доля В.К., Панич А.Е. Модернизированные пьезочувствительные элементы в датчиках вибрации //Датчики и Системы», № 11, 2003. С.28-30.

60. Стренг Г., Фикс Дж. Теория метода конечных элементов.- М.: Мир, 1977.349с

61. Богуш М.В. Исследование неоднородных чувствительных элементов для пьезоэлектрических датчиков давлений, усилий, ускорений: дисс. канд. техн. наук, 1987.

62. Zienkiewics О.С. The finite element method from intuition to generality// Appl. Mech. Rev., 23, 1970. P. 249-256.

63. ATILA. Finite element for piezoelectric and magnetostrictive transduser and actuator modeling. V.5.1.1. Users manual// Lille cedex (France): ISEN, 1997.

64. Allik H., Hughes T.J. Finite element method for piezoelectric vibtation// Int. J. Number Meth. Eng. 1970, V.2, N 2, P. 151-157.

65. ANS YS Theory Ref. Reí. 5.4 Ed. P. Kothnke/ ANS YS INC. Houston, 1997.

66. Пат. 2301424 Российская Федерация МПК7 G 01 Р 15/09

67. Пат.2150117 Российская Федерация МПК7 G 01 Р 15/09

68. Пьезоэлектрический акселерометр/ Вусевкер Ю.А., Гориш A.B.,

69. Дунаевский В.П. Панин А.Е.; заявитель и патентообладатель Научное конструкторско-технологическое бюро «Пьезоприбор» Ростовского государственного университета. № 98122377; заявл.08.12.98; опубл.27.05.2000, Бюл. № 15, 4с.

70. Средства пьезоэлектрического приборостроения. Каталог-90. Ростов-на-Дону. ОКТБ «Пьезоприбор», РГУ, 1990, стр. 115.

71. Датчики и преобразующая аппаратура. Каталог НИИ Физических измерений, Пенза, 2001г.

72. Проектирование датчиков для измерения механических величин/ под ред. Осадчего Е.П., М.: Машиностроение, 1979.

73. Проспект фирмы «Виброметр», Швейцария, 2004.

74. Вусевкер В.Ю., Панич А.Е. Исследование по созданию виброзащищенных датчиков быстропеременного давления

75. Материалы IX Международного симпозиума «Динамические и технологические проблемы механики конструкций и сплошных сред» М.: 2003, С.190-201.