Физико-химические аспекты формирования мультисенсорных систем на основе оксидов переходных металлов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, доктор наук Федоров Федор Сергеевич

• Федоров Федор Сергеевич
• доктор наук
• 2026

Оглавление диссертации доктор наук Федоров Федор Сергеевич

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1 МАТЕРИАЛЫ И ДИЗАЙН ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ И МУЛЬТИСЕНСОРНЫХ СИСТЕМ (ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ)

1.1 Материалы для газовых сенсоров, синтез и методы нанесения материалов

1.1.1 Типы газовых сенсоров

1.1.2 Оценка аналитических характеристик сенсоров и мультисенсорных систем

1.1.3 Материалы химических сенсоров

1.1.4 Методы синтеза оксидов переходных металлов, применяемых в газовых сенсорах

1.1.5 Методы осаждения и печати для конструирования сенсорных элементов

1.1.6 Электрохимические методы получения оксидов и гидроксидов

1.1.6.1 Получение оксидов/гидроксидов за счет увеличения приэлектродного рН (катодное восстановление)

1.2 Мультисенсорные системы

1.2.1 Особенности механизма сенсорного отклика оксидов переходных металлов

1.2.1.1 Влияние адсорбции газа на электрические свойства полупроводниковых оксидов

1.2.1.2 Влияние микроструктуры оксида на процессы переноса заряда при адсорбции молекул газа на его поверхности

1.2.2 Дизайн систем искусственного обоняния

1.2.2.1 Типы мультисенсорых систем

1.2.2.1 Алгоритмы и методы анализа сигналов

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 2 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ

2.1 Основные экспериментальные параметры синтеза

2.1.1 Электрохимическое осаждение гидроксида/оксида кобальта, цинка, никеля и марганца

2.1.2 Методика электрохимического получения гидроксида/оксида олова

2.1.3 Методика получения массивов нанотрубок диоксида титана

2.1.4 Синтез А20 и приготовление дисперсий

2.1.5 Синтез оксидов с использованием гидролитические активных комплексов металлалкоксоацетилацетоната

2.1.6 Синтез оксидов с использованием различных методов «мокрой химии» для создания мультиоксидных библиотек

2.2 Характеризация полученных функциональных материалов

2.2.1 Характеризация электрохимически синтезированных наноструктур оксида кобальта аналитическими методами

2.2.2 Характеризация оксидов Zn, №, Mn

2.2.3 Методы исследования и характеризации гидроксида/оксида олова

2.2.4 Характеризация диоксида титана, полученного при анодировании ^ фольги

2.2.5 Методы исследования и характеризации ^ нитей, функционализированных нанотрубками диоксида титана

2.2.6 Аттестация AZO синтезированного методом программированного соосаждения и оксидов, полученных другими методами

2.3 Нанесение функциональных слоев

2.3.1 Нанесение функциональных слоев методом выкапывания

2.3.2 Нанесение функциональных слоев с помощью аэрозольной струйной печати

2.3.3 Нанесение функциональных слоев методом микроплоттерной печати

2.4 Исследование электрофизических и сенсорных свойств

2.4.1 Мультисенсорные чипы

2.4.2 Газосмесительные установки

2.5 Характеристики сенсора

2.6 Методы кластеризации, используемые для идентификации газа

2.6.1 Комбинаторное исследование (п. 4.3)

2.6.2 Анализ смесей, экстракция признаков (п. 5.1)

2.6.3 Идентификация аналитов без предварительного «обучения» (п. 5.2)

2.6.4 Протоколы селективного распознавания аналитов, при использовании сенсоров и сенсорных линеек на основе ^ нити функционализированной нанотрубками диоксида титана и декорированной Pt микросферами

2.7 Тестируемые аналиты и условия

ГЛАВА 3 ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ ГИДРОКСИДОВ И ОКСИДОВ МЕТАЛЛОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ГАЗОВЫХ СЕНСОРАХ И МУЛЬТИСЕНСОРНЫХ СИСТЕМАХ

3.1 Электрохимическое получение гидроксида кобальта и его свойства

3.1.1 ^тез и характеризация гидроксида/оксида кобальта

3.1.2 Газочувствительные свойства оксида кобальта

3.2 Электрохимическое получение мультиоксидных библиотек

3.2.1 Электрохимическое осаждение и физические свойства пленок оксидов металлов

3.2.2 Газочувствительные свойства мультиоксидных библиотек

3.3 Мультисенсорные системы на основе электрохимически осажденного слоя гидроксида/оксида олова

3.3.1 Особенности электрохимического получения гидроксида/оксида олова

3.3.2 Исследование электрохимического получения покрытий гидроксида/оксида олова

3.3.3 Исследование морфологии и структуры полученного гидроксида/оксида олова

3.3.4 Исследование электрофизических свойств покрытий гидроксида/оксида олова

3.4 Электрохимическое получение массивов нанотрубок диоксида титана для применения в мультисенсорных системах

3.4.1 Особенности получения массивов нанотрубок диоксида титана

3.4.2 Оптимизация процесса электрохимического получения массивов нанотрубок диоксида титана

3.4.3 Характеризация полученных массивов нанотрубок диоксида титана

3.4.4 Электрофизические свойства тонких пленок на основе массивов нанотрубок диоксида титана

3.5 Одноэлектродные сенсоры на основе анодированных Ti нитей

3.5.1 Особенности получения массивов нанотрубок диоксида титана при анодировании Ti нити

3.5.2 Результаты исследования анодирования титановой нити

3.5.3 Характеризация и исследование структуры нити Ti/нанотрубки TiO2

3.5.4 Характеристики газочувствительности одноэлектродного газового сенсора на основе нити Ti/нанотрубки TiO2

3.5.5 Результаты исследования декорирования анодированный нитей Ti, микрочастицами Pt

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 4 ИССЛЕДОВАНИЕ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ И МУЛЬТИСЕНСОРНЫХ СИСТЕМ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДАМИ АЭРОЗОЛЬНОЙ СТРУЙНОЙ И МИКРОПЛОТТЕРНОЙ

ПЕЧАТИ

4.1 Тестирование методов аэрозольной печати AZO, полученного методом программируемого соосаждения, для создания функциональных слоев газовых сенсоров на однокристальной платформе

4.1.1 Характеризация синтезированных материалов, приготовление функциональных чернил

4.1.2 Аэрозольная струйная печать функциональных слоев AZO

4.1.3 Сенсорные характеристики слоев AZO, напечатанных методом аэрозольной струйной печати

4.2 Исследование создания мультиоксидной библиотеке методом микроплоттерной печати с использованием гидролитические активных комплексов металлалкоксоацетилацетоната

4.2.1 Синтез и характеризация функциональных оксидных слоев, полученных с использованием гидролитические активных комплексов металлалкоксоацетилацетоната

4.2.2 Характеризация мультиоксидной комбинаторной библиотеки на чипе, исследование электрофизических свойств

4.3 Тестирование комбинаторного подхода к выбору сенсоров в мультисенсорной линейке

4.3.1 Синтез и микроплоттерная печать для создания комбинаторной библиотеки

4.3.2 Характеризация синтезированных материалов в составе комбинаторной библиотеки

4.3.3 Сенсорные характеристики комбинаторной библиотеки

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ГЛАВА 5 АНАЛИЗ ГАЗОВОЙ СРЕДЫ С ПОМОЩЬЮ МУЛЬТИСЕНСОРНЫХ СИСТЕМ: ОПРЕДЕЛЕНИЕ СОСТАВА СМЕСЕЙ И НЕИЗВЕСТНЫХ АНАЛИТОВ

5.1 Исследование смесей аналитов: качественный анализ состава с помощью экстракции признаков

5.1.1 Микроструктура и морфология использованного AZO

5.1.2 Электрофизические свойства чувствительного слоя AZO

5.1.3 Анализ данных, экстракция признаков, идентификация компонентов смеси

5.2 Тестирование мультисенсорных систем в задачах определения близких гомологов и изомеров без предварительного «обучения»

5.2.1 Характеризация используемого материала

5.2.2 Электрофизические свойства

5.2.3 Машинное обучение для прогнозирования неизвестных аналитов

5.3 Тестирование мультисенсорной линейки на основе AZO для задачи оценки запаха пластика

ВЫВОДЫ ПО ГЛАВЕ

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ:

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-химические аспекты формирования мультисенсорных систем на основе оксидов переходных металлов»

ВВЕДЕНИЕ

Рост требований к мониторингу окружающей среды, состояния человека, качества продуктов питания и промышленного сырья, особенно в развивающейся парадигме Интернета вещей, интенсифицирует разработку недорогих газоаналитических устройств с повышенной чувствительностью, селективностью и стабильностью при низком энергопотреблении. Кондуктометрические сенсоры на основе оксидов переходных металлов отвечают требованиям, предъявляемым к коммерческим газовым сенсорам, и обладают значительным потенциалом развития, особенно с применением нанотехнологий [1]. Однако, несмотря на успехи в повышении чувствительности [2], ключевой проблемой остается селективная идентификация индивидуальных газов и запахов.

В 1980-х годах впервые было предложено использовать линейки перекрестно-чувствительных сенсоров для определения типа газовой примеси в воздухе. Их совокупный сигнал обрабатывается с помощью алгоритмов распознавания образов, что имитирует работу биологической обонятельной системы. Такие устройства получили название «электронный нос» [3]. Они позволяют производить селективное определение веществ и запахов, не имея общего стандарта в многообразии летучих химических соединений. В настоящее время, с развитием технологий микроэлектроники, такие сенсорные линейки создаются путем сегментации или нанесения функционального материала на кристалл-подложку (чип) с копланарными электродами [1]. Это позволяет снизить энергопотребление и упростить интеграцию в микроэлектронные устройства. Однако существует ряд проблем требующих дальнейшего развития и более глубокого изучения [4]: (1) дискретность — расхождение сигналов в серии однотипных систем, при котором база данных, полученная при «обучении» одного устройства, должна быть совместима с аналогичными; (2) сложность определения компонентов смесей — возможно определить только «запах» как целое; (3) необходимость «обучения» устройств перед использованием, отсутствие безаприорного механизма детектирования.

Эти проблемы могут быть решены путем: 1) развития регрессионных моделей, 2) разработки методов автоматизированного сбора и анализа сигналов, 3) использования методов переноса баз знаний и создания унифицированных газоанализаторов типа «электронный нос», что включает 0 использование прецизионных методов синтеза наноматериалов и (п) совершенствование протоколов их нанесения, особенно в случае различных материалов, для увеличения ортогональности векторного сигнала. Очевидно, что необходимы методы, которые были бы экономичнее технологий литографии, учитывая масштабы мелкосерийного производства, размеры массивов и требований к условиям исполнения, но при этом обеспечивали

высокую точность и совместимость с протоколами фабрикации современной микроэлектроники

[1,4].

Поскольку ключевым элементом сенсора является чувствительный материал, одно из основных направлений исследований сосредоточено на развитии недорогих методов синтеза, совместимых с адресным нанесением функциональных слоев, позволяющих получить прецизионные по составу материалы [4].

Данная работа посвящена получению наноматериалов на основе оксидов переходных металлов методами локального синтеза, развитию протоколов таргетированного нанесения этих функциональных материалов на чип в рамках стратегий «снизу-вверх» или «сверху-вниз», и исследованию их электрофизических свойств для развития новых газовых сенсоров и газоаналитических систем. В работе развиваются методы электрохимического синтеза оксидов для применения в газоаналитических системах; исследуются свойства материалов, полученных методами золь-гель, химическим осаждением и гидротермальным синтезом, которые наносятся на чип методами аэрозольной или микроплоттерной печати.

Степень разработанности темы. Рассматриваемые в данной работе мультисенсорные системы представляют собой массив сенсоров с одинаковым принципом функционирования. Их совокупный сигнал, обработанный с помощью методов распознавания образов, позволяет проводить, главным образом, качественный анализ газового состава окружающей среды. Это дает возможность идентифицировать пары аналита, на котором проводилось «обучение», среди других аналитов. Эти системы, в отличие от других газоаналитических систем, обладают гибкостью: «обучение» новым аналитам расширяет базу данных и увеличивает количество селективно определяемых газовых смесей. Ведущие исследования мультисенсорных систем «первого порядка», систем на основе сенсоров с одинаковым принципом функционирования, представлены работами, развитыми в лабораториях Гошника, проф. Сысоева и Потурайло [5-7].

Электрохимическое получение оксидов и гидроксидов переходных металлов детально исследовано в работах научных групп под руководством Серезе и Камаса [8-10], Гупта и Швитцера [11-14], Граймса и Шмуки [15-18]. Однако преимущества электрохимических методов для создания мультисенсорных систем ранее не рассматривались; функциональный материал создавался «традиционными» физическими методами. Важно отметить работы проф. Комини по использованию анодных нанотрубок диоксида титана для газовых сенсоров, однако вопрос реализации сенсорных линеек в них не затрагивался [19,20].

Исследования по применению аддитивных технологий при создании мультисенсорных систем несколько ограничены из-за новизны этой области. Среди значимых работ можно выделить исследования Даи, Сонга, а также работы группы Симоненко по созданию чувствительных элементов сенсоров методами микроплоттерной, микроэкструзионной и

другими видами печати [21-24]. Малоизученной остается тема ортогональности сенсорных линеек и комбинаторного подхода к количеству сенсоров и выбору материалов для сенсорной линейки, и прослеживается в некоторых работах Потурайло [7,25,26], Семансика [27,28], и Вилмера [29].

Исследования алгоритмов анализа окружающей среды широко представлены в литературе, что, видимо, связано с бурным развитием методов искусственного интеллекта, где особенно выделяется группа Жанга [30]. Важным достижением стали недавние работы по «принципиальной карте запаха»: исследования Геркина и Вилтшко в сотрудничестве с Google (2022-2023 гг.), открывающие новые перспективы развития газоанализаторов, связывая химическое строение молекул с их «запахом» [31,32].

Прогресс в создании ортогональных сенсорных линеек, по-видимому, стоит связывать с последовательным сочетанием современных прецизионных методов локального синтеза, таргетированного нанесения наноматериалов и развитием подходов к анализу эффективности получаемых линеек.

Цель работы: разработка методов синтеза и нанесения наноматериалов на основе оксидов переходных металлов для создания мультисенсорных газоаналитических систем с высокой селективностью, воспроизводимостью и возможностью интеграции в современные микроэлектронные платформы.

Для достижения цели были решены следующие задачи:

1. Разработка методов электрохимического синтеза оксидов Co, Ni, Mn, Zn, Sn и Ti, позволяющих создавать газочувствительные покрытия с высокой воспроизводимостью и с возможностью таргетированного нанесения на мультиэлектродные чипы.

2. Исследование хеморезистивных характеристик оксидов Co, Ni, Mn, Zn, Sn и Ti, синтезированных электрохимическими методами для их применения в мультисенсорных системах.

3. Развитие метода формирования одноэлектродных сенсоров на основе анодированной титановой нити, в т.ч., декорированной наноструктурами платины, исследование сенсорного отклика и селективности мультисенсорных и мультивариантных систем на их основе.

4. Тестирование методов печати и нанесения функциональных слоев, включая аэрозольную печать и микроплоттерную печать, для формирования мультисенсорных массивов на чипе и обеспечения воспроизводимости сенсорных характеристик.

5. Исследование влияния состава и структуры наноматериалов на основе оксидов, таких как MnOx, TiO2, ZrO2, CeO2, &2O3, SnO2, ZnO, V2O5-WO3, NiO, CosO4, NiCo2O4, ImO3-SnO2, CeO2-Sm2O3, нанесенных методами микроплоттерной и аэрозольной печати, на их хеморезистивные характеристики.

6. Исследование мультисенсорных систем, включая комбинаторные библиотеки оксидных материалов на основе ZnO, в т.ч. легированного Al, Gd, Zr, и оксидов V2O5-WOз, NiO, С03О4, NiCo2O4, In2Oз-SnO2, CeO2-Sm2Oз, для оценки их эффективности в задачах качественного анализа газовых смесей.

7. Развитие алгоритмов обработки векторных сигналов мультисенсорных систем для повышения точности определения индивидуальных газов в смесях.

8. Апробация созданных сенсорных систем в прикладных задачах анализа запахов.

Научная новизна заключается в развитии общих принципов проектирования

мультисенсорных газоаналитических систем с использованием электрохимических методов и методов печати:

1. Разработаны методы электрохимического синтеза оксидных и гидроксидных наноструктур переходных металлов (Со, №, Мп, Zn, Sn) для газовых сенсоров, которые заключаются в генерации щелочной среды в приэлектродном пространстве при приложении потенциала к электродам сенсора (около -1,0 В отн. Ag/AgClнас.) или при циклировании потенциала. Эти методы позволили получить материалы с высокой чувствительностью к парам органических соединений: хеморезистивный отклик достигает 600% к 10ррт бутанола в воздухе при 300 °С (в случае сенсоров на основе оксида кобальта).

2. Созданы мультиоксидные библиотеки, обеспечивающие селективный сигнал к тестируемым газам-восстановителям. Синтезированные наноразмерные слои оксидов демонстрируют высокую чувствительность к парам органических соединений при концентрациях порядка единиц ррт. Установлено влияние структуры синтезированных оксидов Со, №, Мп, Zn на газочувствительные характеристики: увеличение плотности пленки снижает хеморезистивный отклик, а межфазные барьеры существенно влияют на чувствительность. Показано, что увеличение молекулярной массы гомологов приводит к увеличению хеморезистивного отклика.

3. Созданы одноэлектродные сенсоры на основе анодированной Т нити, включая мультивариантные селективные системы.

4. Впервые продемонстрирована высокая воспроизводимость и точность нанесения сенсорных слоев при применении аддитивных технологий печати (аэрозольной и микроплоттерной) для создания мультисенсорных массивов на чипе: стандартные отклонения хеморезистивных откликов напечатанного слоя ZnO, легированного 0,5% Al, составляют соответственно 3%, 5% и 7% для паров ацетона, этанола и бензола в смеси с воздухом.

5. Показано, что сочетание методов печати и синтеза с комбинаторным анализом позволяет целенаправленно проектировать библиотеку на чипе, обосновывая оптимальное сочетание чувствительных материалов и количества сенсоров для достижения максимальной

селективности к целевым аналитам. При решении задач классификации показано, что комбинация материалов существенна при малом количестве сенсоров, тогда как её значимость снижается с увеличением числа сенсоров. Большинство исследованных систем показывают высокий хеморезистивный отклик на пары органических соединений в воздушной смеси с пределом обнаружения ниже единиц ррЬ.

6. Развиты и протестированы методы обработки данных, позволяющие идентифицировать компоненты смеси летучих соединений и определять аналиты без предварительного обучения.

Теоретическая и практическая значимость работы. Результаты исследования позволяют развить направление, связанное с локальным синтезом и таргетированным нанесением наноразмерных материалов на чипы для создания газоаналитических систем.

Разработаны методы электрохимического локального осаждения материалов для мультисенсорных систем. Эти методы хорошо совместимы с современной микроэлектроникой и отличаются простотой, адресностью и широкими возможностями вариации состава и морфологии осаждаемых материалов. Исследованы состав и структура материалов, полученных электрохимическими методами (оксиды кобальта, марганца, никеля, цинка, олова, массивы нанотрубок диоксида титана) и изучены их электрофизические свойства. На основе этих данных созданы высокочувствительные и селективные мультисенсорные линейки.

Изучены электрофизические характеристики материалов, полученных методами аэрозольной печати и микроплоттерной печати. Установлена взаимосвязь между составом, структурой, особенностями печати и газочувствительными характеристиками напечатанных структур на основе 2п0, в т.ч. легированного А1, Gd, 2г, и систем V2O5-WOз, №0, С03О4, МС0204, In20з-Sn02, Ce02-Sm20з, а также оксидных структур на основе МпОх, ТЮ2, Zr02, Се02, СГ2О3, Sn02. На основе этих результатов показана возможность создания сенсорных элементов на чипе с аналогичными характеристиками и ортогональных мультиоксидных библиотек.

Полученные данные об оптимальном количестве сенсоров на чипе и возможности настройки «селективности» мультисенсорной линейки вносят существенный вклад в развитие газоанализаторов, позволяя прогнозировать их селективные характеристики.

Исследованы возможности определения компонентов смесей и неизвестных аналитов в тестируемом гомологическом ряду. Эти результаты могут стать основой для создания «принципиальной карты запахов» для безаприорного определения анализируемых веществ.

Практическое применение продемонстрировано на примере анализа запаха пластика с созданием моделей анализа на основе оценок экспертной панели. Это важный шаг в применении подобных устройств для объективной оценки потребительских качеств товаров. Разработанные системы перспективны для анализа газовой среды в медицине, парфюмерии, общественном

питании, пищевой промышленности и сфере безопасности.

Методология и методы исследования. В рамках диссертационного исследования рассмотрены модельные системы, полученные с использованием электрохимических методов синтеза и аддитивных технологий. Работа построена следующим образом: (1) тестировались электрохимические методы синтеза, исследовались физико-химические и электрофизические свойства полученных материалов, (2) исследовались свойства материалов, синтезированных классическими химическими методами и нанесенных с помощью методов печати на чип, (3) развиты методы, позволяющие определять неизвестный аналит или компоненты смеси с использованием мультисенсорных систем, что расширило рамки сложившейся парадигмы в части анализа данных, полученных с использованием таких систем.

(1) Электрохимическое потенциостатическое осаждение гидроксида кобальта основано на генерации щелочной среды вблизи электрода. Осаждение гидроксида было выбрано в качестве модельной системы, а полученные данные служили основой для создания мультиоксидных чипов.

Выбор оксида олова обусловлен его широким применением в газовых сенсорах и мультисенсорных системах. В отличие от получения оксидов кобальта, никеля, марганца, цинка, разработка электрохимического метода осаждения оксида олова связана с поиском путей стабилизации солей олова в водном растворе и снижения влияния соосаждения металлического олова.

Для получения массивов нанотрубок диоксида титана используется альтернативный метод — электрохимическое анодирование. В этом методе рост функционального слоя связан с анодным процессом окисления поверхности исходного материала, что позволяет проектировать сенсоры, в том числе, с использованием нитей металлического титана.

(2) Применение аддитивных технологий, таких как аэрозольная печать и микроплоттерная печать, в сравнении с локальным электрохимическим осаждением, направлено на создание сенсоров с низкой вариацией свойств (в комплексе с прецизионным методом программируемого соосаждения и другими методами синтеза, такими как золь-гель, химическое осаждение, гидротермальный метод и их сочетанием). Данный подход позволяет тестировать методы создания комбинаторных мультиоксидных библиотек для исследования свойств материалов и их комбинаций по отношению к различным аналитам.

(3) Исследование подходов к задачам анализа смесей и неизвестных аналитов, дает возможность развить и расширить области применения мультисенсорных газоаналитических устройств.

Электрохимическое получение оксидов и исследование электродных процессов выполнены методами хроноамперометрии и вольтамперометрии. Характеризация образцов

проводилась методами оптической эмиссионной спектроскопии индуктивно связанной плазмы, атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии, энергодисперсионного анализа, рентгенофазового анализа, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, просвечивающей электронной микроскопии, профилометрии и другими стандартными методами физико-химических исследований. Электрофизические измерения проведены на специальном стенде, включающем электроизмерительный комплекс и газосмесительную установку. Для идентификации типов аналитов применялись математические методы уменьшения размерности пространства и машинного обучения.

Положения, выносимые на защиту:

(1) Методы электрохимического осаждения оксидов переходных металлов (Со, №, Мп, Zn и Sn) на мультиэлектродных чипах обеспечивают адресное формирование функциональных слоев; полученные материалы обладают высоким хеморезистивным откликом по отношению к парам органических соединений в концентрациях в диапазоне 1-10 ррт в смеси с воздухом.

(2) Метод формирования мультисенсорных систем на основе анодного оксида титана, в том числе анодированной титановой нити, декорированной наноструктурами платины, и результаты исследования их электрофизических свойств с целью применения для качественного и количественного определения газов-восстановителей в воздухе.

(3) Морфология и состав функционального слоя значительно влияют на селективность и чувствительность сенсорной линейки: полученные электрохимическим методом мультиоксидные (оксиды Со, №, Мп, Zn) системы на чипе, показывают улучшенную селективность в сравнении с монооксидными; электрофизические свойства материалов связаны с модуляцией как собственной проводимости, так и межзеренных барьеров.

(4) Подход к созданию комбинаторных библиотек оксидных материалов, демонстрирующих возможность селективного детектирования газов за счет сочетания различных материалов: оксидных структур на основе МпОх, ТЮ2, Zr02, Се02, СГ2О3 и Sn02 в едином массиве.

(5) Использование методов микроплоттерной и аэрозольной печати позволяет формировать воспроизводимые газочувствительные элементы и их массивы на мультиэлектродных чипах.

(6) Результаты исследования электрофизических свойств синтезированных сенсорных слоев на основе Zn0, в т.ч. легированного А1, Gd, Zr, и систем V205-W0з, №0, С03О4, №Со204, 1т03^п02, Се02^т203, а также, демонстрирующие их эффективность в детектировании паров органических газов-восстановителей с пределом определения на уровне концентраций до десятков ррЬ в смеси с воздухом.

Степень достоверности результатов. Достоверность результатов подтверждается

соответствием результатов основным физико-химическим представлениям, метрологическим обеспечением измерительной аппаратуры, теоретической и практической согласованностью с результатами мирового уровня, согласованностью экспериментальных данных с данными, полученными на основании модельных представлений, применением комплекса современных взаимодополняющих методов исследований.

Личный вклад автора. Концепция диссертации, формулирование и постановка проблемы являются личным вкладом автора. Основные результаты работы по: получению оксидных структур электрохимическим методом, их характеризации, и частичной характеризации всех тестируемых материалов; анализу полученных данных; тестированию газочувствительных свойств исследуемых материалов (п. 3.5.5, 4.1, 4.3, глава 5), представленные в научной новизне и вынесенные на защиту, получены лично автором. Результаты исследования электрофизических свойств материалов, синтезированных электрохимическим методом, а также результаты, представленные в п. 4.2. получены группой проф. Сысоева. Результаты, изложенные в Главе 3 получены с активным участием д-ра Улеманн, д-ра Тоймил-Молярес. Синтез, печать и частичная характеризация материалов, представленных в главах 4-5 выполнены группой к.х.н. Симоненко.

Апробация результатов. Основные положения диссертационной работы представлены на международных и российских научно-технических конференциях, среди них:

Meta-Optics, from Science to Technology conference (MOST 2024) (Самарканд, Узбекистан, 2024), XXIV Ежегодная молодежная конференция c международным участием ИБХФ РАН-ВУЗы "БИОХИМИЧЕСКАЯ ФИЗИКА" (Москва, 2024), «Неразрушающий контроль при таможенной и товарной экспертизе» в рамках XI Международного промышленного форума «Территория NDT 2024. Неразрушающий контроль. Испытания. Диагностика» (Москва, 2024), XVI Российской конференции по физике полупроводников (XVI РКФП), (Санкт-Петербург, 2024), 33rd Anniversary World Congress on Biosensors "Biosensors 2023" (Бусан, Южная Корея, 2023), V Международная научно-практическая конференция "графен и родственные структуры: синтез, производство и применение (GRS-2023)", (Тамбов, 2023), 3rd Sino-Russian Forum of Science and Technology "High-end technologies: from research to implementation" (Харбин, Китай, 2023), 2nd Annual Russian Youth Conference "Methods and instruments for the analysis of biological samples "AnalitBioPribor-2023" (Санкт-Петербург, 2023), School on Biosensing (Санкт-Петербург, 2023) II Молодежная международная научная конференция «Современные тенденции развития функциональных материалов», (Федеральная территория «Сириус», 2022), XXVI Annual International Conference "Saratov Fall Meeting" (Саратов, 2022), 5th International Conference on Applied Surface Science (ICASS 2022) (Пальма, Испания, 2022), VI Белорусско-Российский семинар-конференция «Углеродные наноструктуры, тонкие пленки и композиты: синтез,

физико-химические свойства и применения» («БелРосНано-2022»), (Минск, Белоруссия, 2022), 2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) (Глазго, Великобритания, 2019), I virtual Bilateral Conference on Functional Materials (BiC-FM) (Москва, 2020), XI Международная научная конференция «Современные методы в теоретической и экспериментальной электрохимии» (Плес, 2020), XIII, XV Всероссийская конференция молодых ученых "Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика" (НННФ) (Саратов, 2018, 2020), 2018 MRS Fall Meeting & Exhibit (Boston, 2018), V Всероссийская конференция и школа для молодых ученых (с международным участием) "Системы обеспечения техносферной безопасности" (Таганрог, 2018), III, XIII International Workshop on Electromagnetic Properties of Novel Materials (Москва, 2018, 2024), IEEE Sensors 2015 (Бусан, Южная Корея, 2015); International Conference on Actual Problems of Electron Devices Engineering (APEDE) (Саратов, 2014, 2016, 2018); III Международная научно-практическая конференция «Теория и практика современных электрохимических производств» (Санкт-Петербург, 2014); 22nd International Symposium Nanostructures: Physics and Technology (Санкт-Петербург, 2014); IX и X Международные конференции 9th and 10th International Workshop on Electrodeposited Nanostructures (EDNANO-9, EDNAN0-10) (Порто, Португалия, 2012, Обервезель на Рейне, Германия, 2014); The 20th International Symposium on Metastable, Amorphous and Nanostructured Materials (ISMANAM 2013) (Турин, Италия, 2013); 13th Topical Meeting of ISE Advances in Electrochemical Materials Science and Manufacturing (Претория, Южная Африка, 2013); 11th International Symposium on Electrochemical/Chemical Reactivity of Metastable Materials (Краков, Польша, 2012).

Диссертационная работа выполнялась в рамках проектов Министерства образования и науки РФ, Российского фонда фундаментальных исследований, Российского научного фонда, Фонда содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере, Совета по грантам президента РФ, международных фондов и др., среди них проекты:

(1) Министерства образования и науки РФ и Германской службы академических обменов (DAAD): «Михаил Ломоносов II» и «Михаил Ломоносов III» в Институте изучения твердого состояния вещества и материалов сообщества Лейбница (г. Дрезден, Германия) 2010-2011 гг., 2016 г.; в Центре исследования тяжелых ионов им. Гельмгольца (г. Дармштадт, Германия), 2014 г.;

(2) Российского фонда фундаментальных исследований: программа «Мой первый грант», 2014 г.; Конкурс научных проектов, выполняемых молодыми учеными под руководством кандидатов и докторов наук в научных организациях Российской Федерации 2015 года, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова;

(3) Совета по грантам Президента РФ, стипендия Президента РФ молодым ученым и аспирантам (Конкурс СП-2016);

(4) Грант программы Фулбрайт (Fulbright), Visiting Scholar Program, Университет Небраски-Линкольна (г. Линкольн, США), 2021;

(5) Грант Финской академии наук, постдокторская стипендия, Университет Аальто (г. Аальто, Финляндия), 2020-21;

(6) Российского научного фонда, проекты 2015-2017 гг., 2019-2021 гг., 2021-2024 гг.

(7) Грант Президента Российской Федерации по государственной поддержке ведущих научных школ Российской Федерации НШ-1330.2022.1.3.

(8) Гранты Национального научного совета Казахстана, 2022-2024, 2023-2025 гг., Евразийский национальный университет имени Л.Н. Гумилева.

Благодарность. Автор выражает огромную благодарность за помощь в выполнении исследований, а также ценные и полезные обсуждения своим коллегам, сотрудникам Московского государственного университета им. Н.Э. Баумана, Института общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН, Саратовского государственного технического университета имени Гагарина Ю.А., Исследовательского Центра Карлсруэ (Германия), Института изучения твердых тел и материалов сообщества Лейбница г. Дрездена (Германия), Центра по изучению тяжёлых ионов имени Гельмгольца г. Дармштадта (Германия), Саарского университета (Германия), Университета науки и технологий МИСИС и Сколковского института науки и технологий: А.В. Ланцберг, Н.П. Симоненко, В.В. Сысоеву, А.В. Гороховскому, М.Ю. Василькову, А.С. Варежникову, А.В. Лашкову, М.А. Соломатину, М. Улеманн, М.Е. Тоймил-Молярес, Р. Хемпельманну, И.Н. Бурмистрову, В.Д. Зайцеву, Б.В. Гойхману.

Список литературы диссертационного исследования доктор наук Федоров Федор Сергеевич, 2026 год

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ

1. Korotchenkov G. Conductometric metal oxide gas sensors: principles of operation and technological approaches to fabrication. In Chemical sensors: comprehensive sensor technologies, Volume 4: Solid state devices. / G. Korotchenkov; ed. Korotchenkov G. - 1st ed. - New York: Momentum Press, LLC, 2011. - P. 53.

2. Гаськов А.М. Выбор материалов для твердотельных газовых сенсоров. / А.М. Гаськов, М.Н. Румянцева // Неорганические Материалы. - 2000. - T. 36. - C. 369.

3. Persaud K. Analysis of discrimination mechanisms in the mammalian olfactory system using a model nose. / K. Persaud, G. Dodd // Nature. - 1982. - Vol. 299. - № 5881. - P. 352.

4. Snow E.S. Chemical detection with a single-walled carbon nanotube capacitor. / E. S. Snow, F. K. Perkins, E. J. Houser, S. C. Badescu, T. L. Reinecke // Science. -2005. - Vol. 307. - № 5717.

- P. 1942.

5. Goschnick J. An electronic nose for intelligent consumer products based on a gas analytical gradient microarray. / J. Goschnick // Microelectronic Engineering. - 2001. - Vol. 57-58. - P. 693.

6. Sysoev V.V. A gradient microarray electronic nose based on percolating SnO2 nanowire sensing elements. / V.V. Sysoev, J. Goschnick, T. Schneider, E. Strelcov, A. Kolmakov // Nano Letters.

- 2007. - Vol. 7. - № 10. - P. 3182.

7. Potyrailo R.A. Combinatorial and high-throughput development of polymer sensor coatings for resonant and optical sensors. / R.A. Potyrailo // New Developments in Coatings Technology. -2007. - Vol. 962. - P. 240.

8. Dixit M. Electrosynthesis and stabilization of a-cobalt hydroxide in the presence of trivalent cations. / M. Dixit, P. V. Kamath // Journal of Power Sources. - 1995. - Vol. 56. - № 1. - P. 97.

9. Therese G.H.A. Cathodic reduction of different metal salt solutions Part I: Synthesis of metal hydroxides by electrogeneration of base. / G.H.A. Therese, P. V Kamath // Journal of Applied Electrochemistry. - 1998. - Vol. 28. - № 5. - P. 539.

10. Therese G.H.A. Electrochemical synthesis of metal oxides and hydroxides. / G.H.A. Therese, P.V Kamath // Chemistry of Materials. - 2000. - Vol. 12. - № 5. - P. 1195.

11. Gupta V. Potentiostatically deposited nanostructured a-Co(OH)2: A high performance electrode material for redox-capacitors. / V. Gupta, T. Kusahara, H. Toyama, S. Gupta, N. Miura // Electrochemistry Communications. - 2007. - Vol. 9. - № 9. - P. 2315.

12. Gupta V. Potentiostatically deposited nanostructured CoxNh-x layered double hydroxides as electrode materials for redox-supercapacitors. / V. Gupta, S. Gupta, N. Miura // Journal of Power Sources. - 2008. - Vol. 175. - № 1. - P. 680.

13. Switzer J.A. Electrochemical synthesis of ceramic films and powders. / J.A. Switzer // American Ceramic Society Bulletin. - 1987. - Vol. 66. - № 10. - P. 1521.

14. Koza J.A. Deposition of P-Co(OH)2 films by electrochemical reduction of tris(ethylenediamine)cobalt(iii) in alkaline solution. / J.A. Koza, C.M. Hull, Y.-C. Liu, J.A. Switzer // Chemistry of Materials. - 2013. - Vol. 25. - № 9. - P. 1922.

15. Varghese O.K. Long vertically aligned titania nanotubes on transparent conducting oxide for highly efficient solar cells. / O.K. Varghese, M. Paulose, C.A. Grimes // Nature Nanotechnology. -2009. - Vol. 4. - № 9. - P. 592.

16. Grimes C.A. TiO2 nanotube arrays: Synthesis, properties, and applications. / C.A. Grimes, G.K. Mor. - New York: Springer New York. - 2009. - 358 p.

17. Roy P. TiO2 Nanotubes: Synthesis and Applications. / P. Roy, S. Berger, P. Schmuki // Angewandte Chemie - International Edition. - 2011. - Vol. 50. - № 13. - P. 2904.

18. Lee K. One-Dimensional Titanium Dioxide Nanomaterials: Nanotubes. / K. Lee, A. Mazare, P. Schmuki // Chemical Reviews. -2014. - Vol. 114. - № 19. - P. 9385.

19. Comini E. Highly conductive titanium oxide nanotubes chemical sensors. / E. Comini, V. Galstyan, G. Faglia, E. Bontempi, G. Sberveglieri // Microporous and Mesoporous Materials. -2015. -Vol. 208. - P. 165.

20. Galstyan V. TiO2 nanotubes: recent advances in synthesis and gas sensing properties. / V. Galstyan, E. Comini, G. Faglia, G. Sberveglieri // Sensors. - 2013. - Vol. 13. - № 11. - P. 14813.

21. Dai J. Printed gas sensors. / J. Dai, O. Ogbeide, N. Macadam, Q. Sun, W. Yu, Y. Li, B.-L. Su, T. Hasan, X. Huang, W. Huang // Chemical Society Reviews. - 2020. - Vol. 49. - № 6. - P. 1756.

22. Su M. Printable smart materials and devices: Strategies and applications. / M. Su, Y. Song // Chemical Reviews. - 2022. - Vol. 122.- № 5. - P. 5144.

23. Mokrushin A.S. Pen plotter printing of ITO thin film as a highly CO sensitive component of a resistive gas sensor. / A.S. Mokrushin, N.A. Fisenko, P.Y. Gorobtsov, T.L. Simonenko, O.V Glumov, N.A. Melnikova, N.P. Simonenko, K.A. Bukunov, E.P. Simonenko, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov // Talanta. - 2021. - Vol. 221. - P. 121455.

24. Simonenko T.L. Microplotter printing of planar solid electrolytes in the CeO2-Y2O3 system. / T.L. Simonenko, N.P. Simonenko, P.Yu. Gorobtsov, I.S. Vlasov, V.R. Solovey, A.V Shelaev, E.P. Simonenko, O.V Glumov, N.A. Melnikova, M.G. Kozodaev, A.M. Markeev, A.A. Lizunova, I.A. Volkov, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov // Journal of Colloid and Interface Science. - 2021. - Vol. 588. - P. 209.

25. Potyrailo R.A. Combinatorial and high-throughput development of sensing materials: the first 10 years. / R.A. Potyrailo, V.M. Mirsky // Chemical reviews. - 2008. - Vol. 108. - № 2. - P. 770.

26. Potyrailo R. Combinatorial and high-throughput screening of materials libraries: review of state of the art. / R. Potyrailo, K. Rajan, K. Stoewe, I. Takeuchi, B. Chisholm, H. Lam // ACS Combinatorial Science. -2011. - Vol. 13. - № 6. - P. 579.

27. Cavicchi R.E. Featured Article: Use of microhotplates in the controlled growth and characterization of metal oxides for chemical sensing. / R.E. Cavicchi, S. Semancik, F. DiMeo, C.J. Taylor // Journal of Electroceramics. - 2002. - Vol. 9. - № 3. - P. 155.

28. Savage N.O. Thermolithographic patterning of sol-gel metal oxides on micro hot plate sensing arrays using organosilanes. / N.O. Savage, S. Roberson, G. Gillen, M.J. Tarlov, S. Semancik // Analytical Chemistry. -2003. - Vol. 75. - № 17. - P. 4360.

29. Gustafson J.A. Intelligent Selection of Metal-Organic Framework Arrays for Methane Sensing via Genetic Algorithms. / J.A. Gustafson, C.E. Wilmer // ACS Sensors. - American Chemical Society, 2019. - Vol. 4. - № 6. - P. 1586.

30. Zhang L. E-Nose algorithms and challenges. / L. Zhang, F. Tian, D. Zhang. - Singapore: Springer Singapore, 2018. - P. 11.

31. Keller A. Predicting human olfactory perception from chemical features of odor molecules. / A. Keller, R.C. Gerkin, Y. Guan, A. Dhurandhar, G. Turu, B. Szalai, J.D. Mainland, Y. Ihara, C.W. Yu, R. Wolfinger, C. Vens, L. Schietgat, K. De Grave, R. Norel, G. Stolovitzky, G.A. Cecchi, L B. Vosshall, P. Meyer // Science. - 2017. - Vol. 355. - № 6327. - P. 820.

32. Lee B.K. A principal odor map unifies diverse tasks in olfactory perception. / B.K. Lee, E.J. Mayhew, B. Sanchez-Lengeling, J.N. Wei, WW. Qian, K.A. Little, M. Andres, B.B. Nguyen, T. Moloy, J. Yasonik, J.K. Parker, R.C. Gerkin, J.D. Mainland, A.B. Wiltschko // Science. -2023. - Vol. 381. - № 6661. - P. 999.

33. Lewis A. Validate personal air-pollution sensors. / A. Lewis, P. Edwards // Nature. - 2016. - Vol. 535. - № 7610. - P. 29.

34. Potyrailo R.A. Multivariable sensors for ubiquitous monitoring of gases in the era of internet of things and industrial internet. / R.A. Potyrailo // Chemical Reviews. - 2016. - Vol. 116. - № 19. - P. 11877.

35. van den Broek J. Highly selective detection of methanol over ethanol by a handheld gas sensor. / J. van den Broek, S. Abegg, S.E. Pratsinis, A.T. Guntner // Nature Communications. - 2019. -Vol. 10. - № 1. - P. 4220.

36. Das S. Review—Non-invasive monitoring of human health by exhaled breath analysis: A comprehensive review. / S. Das, M. Pal // Journal of The Electrochemical Society. - 2020. - Vol. 167. -№ 3. - P. 37562.

37. Kalantar-Zadeh K. Considering the effects of microbiome and diet on SARS-CoV-2 infection: nanotechnology roles. / K. Kalantar-Zadeh, S.A. Ward, K. Kalantar-Zadeh, E.M. El-Omar // ACS Nano. - 2020. - Vol. 14. - № 5. - P. 5179.

38. Marder D. Trace detection of explosives with a unique large volume injection gas chromatography-mass spectrometry (LVI-GC-MS) method. / D. Marder, N. Tzanani, H. Prihed, S. Gura // Anal. Methods. - 2018. - Vol. 10. - № 23. - P. 2712.

39. Iravani B. The human olfactory bulb processes odor valence representation and cues motor avoidance behavior. / B. Iravani, M. Schaefer, D.A. Wilson, A. Arshamian, J.N. Lundstrom // Proceedings of the National Academy of Sciences. -2021. - Vol. 118. - № 42. - P. e2101209118.

40. Lanucara F. The power of ion mobility-mass spectrometry for structural characterization and the study of conformational dynamics. / F. Lanucara, S.W. Holman, C.J. Gray, C.E. Eyers // Nature Chemistry. - 2014. - Vol. 6. - № 4. - P. 281.

41. Liu S. Mass spectrometry for the assessment of the occurrence and biological consequences of DNA adducts. / S. Liu, Y. Wang // Chemical Society Reviews. - 2015. - Vol. 44. - № 21. - P. 7829.

42. Environmental applications of instrumental chemical analysis. / ed. Barbooti. - 1st ed. — New York: Apple Academic Press, 2015. - 604 p.

43. Turner A.P.F. Electronic noses and disease diagnostics. / A.P.F. Turner, N. Magan // Nature Reviews Microbiology. - 2004. - Vol. 2. - № 2. - P. 161.

44. Tai H. Evolution of breath analysis based on humidity and gas sensors: Potential and challenges. / H. Tai, S. Wang, Z. Duan, Y. Jiang // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2020. - Vol. 318. - P. 128104.

45. Li X. Gas sensing technology for meat quality assessment: A review. / X. Li, B. Wang, C. Yi, W. Gong // Journal of Food Process Engineering. - 2022. - Vol. 45. - № 8. - P. e14055.

46. Tan H. Public risk perceptions of shale gas development: A comprehensive review. / H. Tan, G. Wong-Parodi, S. Zhang, J. Xu // Energy Research & Social Science. - 2022. - Vol. 89. - P. 102548.

47. Lichtenstein A. Supersensitive fingerprinting of explosives by chemically modified nanosensors arrays. / A. Lichtenstein, E. Havivi, R. Shacham, E. Hahamy, R. Leibovich, A. Pevzner, V. Krivitsky, G. Davivi, I. Presman, R. Elnathan, Y. Engel, E. Flaxer, F. Patolsky // Nature communications.

- 2014. - Vol. 5. - № May. - P. 4195.

48. Zhang A. Nano-bioelectronics. / A. Zhang, C. M. Lieber // Chemical Reviews. - 2016. -Vol. 116. - № 1. - P. 215.

49. Thamri A. MHDA-functionalized multiwall carbon nanotubes for detecting non-aromatic VOCs. / A. Thamri, H. Baccar, C. Struzzi, C. Bittencourt, A. Abdelghani, E. Llobet // Scientific Reports.

- 2016. - Vol. 6. - P. 35130.

50. Hulanicki A. Chemical sensors: definitions and classification. / A. Hulanicki, S. Geab, F. Ingman // Pure and Applied Chemistry. - 1991. - Vol. 63. - № 9. - P. 1247.

51. Сысоев В .В. Полупроводниковые датчики газа резистивного типа на основе оксидов металлов. / В.В. Сысоев. - Саратов: Сарат. гос. техн. ун-т, 2007. - 63 с.

52. Власов Ю.Г. Химические сенсоры: история создания и тенденции развития. / Ю.Г. Власов // Журнал Аналитической Химии. - 1992. - Т. 47. - С. 114.

53. Janata J. Chemical Sensors. / J. Janata, M. Josowicz, D. M. DeVaney // Analytical Chemistry. - 1994. - Vol. 66. - № 12. - P. 207R.

54. Spichiger-Keller U.E. Chemical sensors and biosensors for medical and biologkal applications. / U.E. Spichiger-Keller U.E. - Weinheim: Wiley-VCH, 1998. - 413 p.

55. Мясоедов Б.Ф. Химические сенсоры: возможность и перспективы. / Б.Ф. Мясоедов, А.В. Давыдов // Журнал Aналитической Химии. - 1990. - Т. 45. - С. 1259.

56. Heiland G. Principles and properties of some solid state chemical sensors. In Chemosensory information processing. / G. Heiland; ed. Schild D. - Berlin: Springer- Verlag, 1990. -P. 109.

57. Grandke T. Introduction. In Sensors: a comprehensive survey. Vol. 1: Fundamentals and general aspects. / T. Grandke, J. Hesse; ed. Goepel W., Hesse J., Zemel J.N. - Weinheim: VCH, 1989. -P. 1.

58. Виглеб Г. Датчики. / Г. Виглеб. - М.: Мир, 1989. - 196 с.

59. Gardner J.W. Microsensors: principles and applications. / J.W. Gardner. - Chichester: Wiley, 1994. - 331 p.

60. Nishizawa K. Optical chemical sensors. In Chemical sensor technology. Vol. 1. / K. Nishizawa; ed. T Seiyama. - Amsterdam: Elsevier, 1988. - P. 237.

61. Eguchi K. Optical gas sensors. In Gas sensors: principles, operation and development. / K. Eguchi; ed. G. Sberveglieri. - Dordrecht: Kluwer, 1992. - P. 307.

62. Gorokhovskii A.V. Studying dispersions of ferroelectric nanopowders in dioctyl phthalate as dielectric media for capacitive electronic components. / A.V. Gorokhovskii, N.V. Gorshkov, I.N. Burmistrov, V.G. Goffman, E.V. Tret'yachenko, A.V. Sevryugin, F.S. Fedorov, N.N. Kovyneva // Technical Physics Letters. - 2016. - Vol. 42. - № 6. - P. 659.

63. Fedorov F.S. The gas multisensor chip fabricated by direct electrochemical deposition of tin oxide. / F.S. Fedorov, D.V. Podgainov, A.S. Varezhnikov, A.V. Lashkov, V.S. Dykin, M.E. Toimil-Molares, V.V. Sysoev // 2015 IEEE SENSORS, Busan, Korea (South), 2015. - P. 1.

64. Сысоев В.В. Газоаналитические приборы «электронный ноо>. / В.В. Сысоев, В.Ю. Мусатов. - Саратов: Сарат. гос. техн. ун-т, 2011. - 100 p.

65. Khatib M. Sensors for volatile organic compounds. / M. Khatib, H. Haick // ACS Nano. -2022. - Vol. 16. - № 5. - P. 7080.

66. Park J. Gas sensor array using a hybrid structure based on zeolite and oxide semiconductors for multiple bio-gas detection. / J. Park, H. Tabata // ACS Omega. - 2021. - Vol. 6. - № 33. - P. 21284.

67. Brenet S. Highly-selective optoelectronic nose based on surface plasmon resonance imaging for sensing volatile organic compounds. / S. Brenet, A. John-Herpin, F.-X. Gallat, B. Musnier, A. Buhot, C. Herrier, T. Rousselle, T. Livache, Y. Hou // Analytical Chemistry. - 2018. - Vol. 90. - № 16. - P. 9879.

68. Malnic B. Combinatorial receptor codes for odors. / B. Malnic, J. Hirono, T. Sato, L. B. Buck // Cell. - 1999. - Vol. 96. - № 5. - P. 713.

69. Schedin F. Detection of individual gas molecules adsorbed on graphene. / F. Schedin, A.K. Geim, S.V Morozov, E.W. Hill, P. Blake, M.I. Katsnelson, K.S. Novoselov // Nature Materials. - 2007.

- Vol. 6. - № 9. - P. 652.

70. Haddad R. A metric for odorant comparison. / R. Haddad, R. Khan, Y.K. Takahashi, K. Mori, D. Harel, N. Sobel // Nature Methods. - 2008. - Vol. 5. - № 5. - P. 425.

71. Laska M. Olfactory sensitivity for putrefaction-associated thiols and indols in three species of non-human primate. / M. Laska, R. M. R. Bautista, D. Hofelmann, V. Sterlemann, L. T. H. Salazar // Journal of Experimental Biology. - 2007. - Vol. 210. - № 23. - P. 4169.

72. Liu X. Two-dimensional nanostructured materials for gas sensing. / X. Liu, T. Ma, N. Pinna, J. Zhang // Advanced Functional Materials. - 2017. - Vol. 27. - № 37. - P. 1702168.

73. Fennell J.F. Nanowire chemical/biological sensors: Status and a roadmap for the future. / J.F. Fennell, S.F. Liu, J.M. Azzarelli, J.G. Weis, S. Rochat, K.A. Mirica, J.B. Ravnsb^k, T.M. Swager // Angewandte Chemie - International Edition. - 2016. - Vol. 55. - № 4. - P. 1266.

74. Currie L.A. Nomenclature in evaluation of analytical methods including detection and quantification capabilities 1: (IUPAC Recommendations 1995). / L.A. Currie // Analytica Chimica Acta.

- 1999. - Vol. 391. - № 2. - P. 105.

75. Wells D.L. Directional tracking in the domestic dog, Canis familiaris. D.L. Wells, P.G. Hepper / // Applied Animal Behaviour Science. - 2003. - Vol. 84. - № 4. - P. 297.

76. Tomberg T. Sub-parts-per-trillion level sensitivity in trace gas detection by cantilever-enhanced photo-acoustic spectroscopy. / T. Tomberg, M. Vainio, T. Hieta, L. Halonen // Scientific Reports. - 2018. - Vol. 8. - № 1. - P. 1848.

77. Salerno T.M.G. Gas chromatography—Fourier transform infrared spectroscopy for unambiguous determination of illicit drugs: A proof of concept. / T.M. G. Salerno, P. Donato, G. Frison, L. Zamengo, L. Mondello // Frontiers in Chemistry. - 2020. - Vol. 8. - 624.

78. Kanu A.B. Ion mobility-mass spectrometry. / A.B. Kanu, P. Dwivedi, M. Tam, L. Matz, H.H. Hill Jr. // Journal of Mass Spectrometry. - 2008. - Vol. 43. - № 1. - P. 1.

79. Eckberg M.N. Separation and identification of isomeric and structurally related synthetic cannabinoids using 2D liquid chromatography and high resolution mass spectrometry. / M.N. Eckberg, L.E. Arroyo-Mora, DR. Stoll, A.P. DeCaprio // Journal of Analytical Toxicology. - 2019. - Vol. 43. -№ 3. - P. 170.

80. McAfee K.B. Mobilities and reactions of ions in argon. / K.B. McAfee, D. Sipler, D. Edelson // Physical Review. - 1967. - Vol. 160. - № 1. - P. 130.

81. McKnight L.G. Low-field drift velocities and reactions of nitrogen ions in nitrogen. / L.G. McKnight, K B. McAfee, D P. Sipler // Physical Review. - 1967. - Vol. 164. - № 1. - P. 62.

82. Ono T. Inclusion crystals as vapochromic chemosensors: fabrication of a mini-sensor array for discrimination of small aromatic molecules based on side-chain engineering of naphthalenediimide derivatives. / T. Ono, Y. Tsukiyama, S. Hatanaka, Y. Sakatsume, T. Ogoshi, Y. Hisaeda // Journal of Materials Chemistry C. - 2019. - Vol. 7. - № 31. - P. 9726.

83. Sanchez J.-B. A selective gas detection micro-device for monitoring the volatile organic compounds pollution. / J.-B. Sanchez, F. Berger, M. Fromm, M.-H. Nadal // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2006. - Vol. 119. - № 1. - P. 227.

84. Andrés M.A. Methanol and humidity capacitive sensors based on thin films of MOF nanoparticles. / M.A. Andrés, M.T. Vijjapu, S.G. Surya, O. Shekhah, K.N. Salama, C. Serre, M. Eddaoudi, O. Roubeau, I. Gascón // ACS Applied Materials & Interfaces. - 2020. - Vol. 12. - № 3. - P. 4155.

85. Kumar S. Sensing molecules with metal-organic framework functionalized graphene transistors. / S. Kumar, Y. Pramudya, K. Müller, A. Chandresh, S. Dehm, S. Heidrich, A. Fediai, D. Parmar, D. Perera, M. Rommel, L. Heinke, W. Wenzel, C. Wöll, R. Krupke // Advanced Materials. -2021. - Vol. 33. - № 43. - P. 2103316.

86. Göpel W. Chemisorption and charge transfer at ionic semiconductor surfaces: Implications in designing gas sensors. / W. Göpel // Progress in Surface Science. - 1985. - Vol. 20. - № 1. - P. 9.

87. Sugiyasu K. Conducting-polymer-based chemical sensors: transduction mechanisms. / K. Sugiyasu, T. M. Swager // Bulletin of the Chemical Society of Japan. - 2007. - Vol. 80. - № 11. - P. 2074.

88. Kreno L.E. Metal-organic framework materials as chemical sensors. / L.E. Kreno, K. Leong, O.K. Farha, M. Allendorf, R.P. Van Duyne, J.T. Hupp // Chemical Reviews. - 2012. - Vol. 112. - № 2. - P. 1105.

89. Zhou H.C. Introduction to metal-organic frameworks. / H.C. Zhou, J.R. Long, O.M. Yaghi // Chemical Reviews. - 2012. - Vol. 112. - № 2. - P. 673.

90. Majhi S.M. Metal-organic frameworks for advanced transducer based gas sensors: review and perspectives. / S.M. Majhi, A. Ali, P. Rai, Y.E. Greish, A. Alzamly, S.G. Surya, N. Qamhieh, ST. Mahmoud // Nanoscale Advances. - 2022. - Vol. 4. - № 3. - P. 697.

91. Yuan H. Metal-organic framework based gas sensors. / H. Yuan, N. Li, W. Fan, H. Cai, D. Zhao, H. Yuan, W. Fan, D. Zhao, N. Li, H. Cai // Advanced Science. - 2022. - Vol. 9. - № 6. - P. 2104374.

92. Hejazi M.A. Carbon-based nanomaterials in gas sensing applications. / M.A. Hejazi, O. Eksik, g. Ta§delen-Yucedag, C. Unlu, L. Trabzon // Emergent Materials. - 2023. - Vol. 6. - № 1. - P. 45.

93. Zamansky K.K. A gas sensor based on free-standing SWCNT film for selective recognition of toxic and flammable gases under thermal cycling protocols. / K.K. Zamansky, F.S. Fedorov, S.D. Shandakov, M. Chetyrkina, A.G. Nasibulin // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2024. - Vol. 417. -P. 136116.

94. Bai H. Gas sensors based on conducting polymers. / H. Bai, G. Shi // Sensors. - 2007. -Vol. 7. - № 3. - P. 267.

95. Verma A. A review of composite conducting polymer-based sensors for detection of industrial waste gases. / A. Verma, R. Gupta, A.S. Verma, T. Kumar // Sensors and Actuators Reports. -2023. - Vol. 5. - P. 100143.

96. Mehdi Aghaei S. Experimental and theoretical advances in MXene-based gas sensors. / S. Mehdi Aghaei, A. Aasi, B. Panchapakesan // ACS Omega. - 2021. - Vol. 6. - № 4. - P. 2450.

97. Zhang H.F. Strategies and challenges for enhancing performance of MXene-based gas sensors: A review. / H.F. Zhang, J.Y. Xuan, Q. Zhang, M L. Sun, F.C. Jia, X.M. Wang, G.C. Yin, S.Y. Lu // Rare Metals. - 2022. - Vol. 41. - № 12. - P. 3976.

98. Yuan C. Modeling interfacial interaction between gas molecules and semiconductor metal oxides: a new view angle on gas sensing. / C. Yuan, J. Ma, Y. Zou, G. Li, H. Xu, V. V. Sysoev, X. Cheng, Y. Deng // Advanced Science. - 2022. - Vol. 9. - № 33. - P. 2203594.

99. Dhall S. A review on environmental gas sensors: Materials and technologies. / S. Dhall, B. R. Mehta, A. K. Tyagi, K. Sood // Sensors International. - 2021. - Vol. 2. - P. 100116.

100. Korotcenkov G. Current trends in nanomaterials for metal oxide-based conductometric gas sensors: Advantages and limitations. Part 1: 1D and 2D nanostructures. / G. Korotcenkov // Nanomaterials. - 2020. - Vol. 10. - № 7. - 1392.

101. Seiyama T. A New detector for gaseous components using semiconductive thin films. / T. Seiyama, A. Kato, K. Fujiishi, M. Nagatani // Analytical Chemistry. - 1962. - Vol. 34. - № 11. - P. 1502.

102. Gas detecting device: pat. 3,696,848 USA: G/01n 27/16 / N. Taguchi; applicant N. Taguchi. Ser. No. 26,228; filed 07.04.1970; publ. 03.10.1972.

103. Wang T. Type discrimination and concentration prediction towards ethanol using a machine learning-enhanced gas sensor array with different morphology-tuning characteristics. / T. Wang, H. Ma, W. Jiang, H. Zhang, M. Zeng, J. Yang, X. Wang, K. Liu, R. Huang, Z. Yang // Physical Chemistry Chemical Physics. - 2021. - Vol. 23. - № 41. - P. 23933.

104. Fedorov F.S. Quasi-2D Co3O4 nanoflakes as an efficient gas sensor versus alcohol VOCs. / F.S. Fedorov, M.A. Solomatin, M. Uhlemann, S. Oswald, D. A. Kolosov, A. Morozov, A.S. Varezhnikov, M.A. Ivanov, A.K. Grebenko, M. Sommer, O.E. Glukhova, A.G. Nasibulin, V. V. Sysoev // Journal of Materials Chemistry A. - 2020. - Vol. 8. - № 15. - P. 7214.

105. Comini E. Quasi-one dimensional metal oxide semiconductors: Preparation, characterization and application as chemical sensors. / E. Comini, C. Baratto, G. Faglia, M. Ferroni, A. Vomiero, G. Sberveglieri // Progress in Materials Science. - 2009. - Vol. 54. - № 1. - P. 1.

106. Yamazoe N. Chapter One - Fundamentals of semiconductor gas sensors. In Semiconductor Gas Sensors. / N. Yamazoe, K. Shimanoe; ed. R. Jaaniso, O.K. Tan. - 2nd ed. - Cambridge: Woodhead Publishing, 2020. - P. 3.

107. Degler D. Current understanding of the fundamental mechanisms of doped and loaded semiconducting metal-oxide-based gas sensing materials. / D. Degler, U. Weimar, N. Barsan // ACS Sensors. - 2019. - Vol. 4. - № 9. - P. 2228.

108. Yamazoe N. New approaches for improving semiconductor gas sensors. / N. Yamazoe // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1991. - Vol. 5. - № 1-4. - P. 7.

109. Barsan N. Conduction model of metal oxide gas sensors. / N. Barsan, U. Weimar // Journal of Electroceramics. - 2001. - Vol. 7. - № 3. - P. 143.

110. Tonezzer M. Electronic noses based on metal oxide nanowires: A review. / M. Tonezzer, D. Thi Thanh Le, L. Van Duy, N. D. Hoa, F. Gasperi, N. Van Duy, F. Biasioli // Nanotechnology Reviews. - 2022. - Vol. 11. - № 1. - P. 897.

111. Rothschild A. The effect of grain size on the sensitivity of nanocrystalline metal-oxide gas sensors. / A. Rothschild, Y. Komem // Journal of Applied Physics. - 2004. - Vol. 95. - № 11. - P. 6374.

112. Moon H.G. Self-activated ultrahigh chemosensitivity of oxide thin film nanostructures for transparent sensors. / H.G. Moon, Y.S. Shim, D.H. Kim, H.Y. Jeong, M. Jeong, J.Y. Jung, S.M. Han, J.K. Kim, J.S. Kim, H.H. Park, J.H. Lee, H.L. Tuller, S.J. Yoon, H.W. Jang // Scientific Reports. - 2012. -Vol. 2. - № 1. - P. 1.

113. Amann A. Analysis of exhaled breath for disease detection. / A. Amann, W. Miekisch, J. Schubert, B. Buszewski, T. Ligor, T. Jezierski, J. Pleil, T. Risby // Annual Review of Analytical Chemistry. - 2014. - Vol. 7. - P. 455.

114. Zappa D. "Metal oxide -based heterostructures for gas sensors"- A review. / D. Zappa, V. Galstyan, N. Kaur, H. M. M. M. Arachchige, O. Sisman, E. Comini // Analytica Chimica Acta. - 2018. - Vol. 1039. - P. 1.

115. Meng F. Synthesis of Au nanoparticle-modified spindle shaped a-Fe2O3 nanorods and their gas sensing properties to «-butanol. / F. Meng, W. Qin, B. Li, H. Zhang, S. Wang, Y. Chang, M. Li, Z. Yuan // IEEE Transactions on Nanotechnology. - 2019. - Vol. 18. - P. 911.

116. Xu J.M. The advances of Co3O4 as gas sensing materials: A review. / J. M. Xu, J. P. Cheng // Journal of Alloys and Compounds. - 2016. - Vol. 686. - P. 753.

117. Kim H.-J. Highly sensitive and selective gas sensors using p-type oxide semiconductors: Overview. / H.-J. Kim, J.-H. Lee // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2014. - Vol. 192. - P. 607.

118. Chang J.F. The effects of thickness and operation temperature on ZnO:Al thin film CO gas sensor. / J.F. Chang, H.H. Kuo, I.C. Leu, M.H. Hon // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2002. - Vol. 84. - № 2. - P. 258.

119. Navale S.C. Low temperature synthesis and NOx sensing properties of nanostructured Al-doped ZnO. / S.C. Navale, V. Ravi, I.S. Mulla, S.W. Gosavi, S.K. Kulkarni // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2007. - Vol. 126. - № 2. - P. 382.

120. Hjiri M. Al-doped ZnO for highly sensitive CO gas sensors. / M. Hjiri, L. El Mir, S.G. Leonardi, A. Pistone, L. Mavilia, G. Neri // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2014. - Vol. 196. - P. 413.

121. Kohl D. The role of noble metals in the chemistry of solid-state gas sensors. / D. Kohl // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1990. - Vol. 1. - № 1. - P. 158.

122. Sahay P.P. Al-doped ZnO thin films as methanol sensors. / P.P. Sahay, R.K. Nath // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2008. - Vol. 134. - № 2. - P. 654.

123. Zhao M. Synthesis and ethanol sensing properties of Al-doped ZnO nanofibers. / M. Zhao, X. Wang, J. Cheng, L. Zhang, J. Jia, X. Li // Current Applied Physics. - 2013. - Vol. 13. - № 2. - P. 403.

124. Yoo R. Sensing of acetone by Al-doped ZnO. / R. Yoo, A.T. Guntner, Y. Park, H.J. Rim, H.-S. Lee, W. Lee // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2019. - Vol. 283. - P. 107.

125. Chen J. Electronic structure and bonding properties of cobalt oxide in the spinel structure. / J. Chen, X. Wu, A. Selloni // Physical Review B. - 2011. - Vol. 83. - № 24. - P. 245204.

126. Kohl D. Surface processes in the detection of reducing gases with SnO2-based devices. / D. Kohl // Sensors and Actuators. - 1989. - Vol. 18. - № 1. - P. 71.

127. Lin T. Semiconductor metal oxides as chemoresistive sensors for detecting volatile organic compounds. / T. Lin, X. Lv, Z. Hu, A. Xu, C. Feng // Sensors. - 2019. - Vol. 19. - № 2. - P. 233.

128. Das S. SnO2: A comprehensive review on structures and gas sensors. / S. Das, V. Jayaraman // Progress in Materials Science. - 2014. - Vol. 66. - P. 112.

129. Barsan N. Metal oxide-based gas sensor research: How to? / N. Barsan, D. Koziej, U. Weimar // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2007. - Vol. 121. - № 1. - P. 18.

130. Sysoev V.V. Percolating SnO2 nanowire network as a stable gas sensor: Direct comparison of long-term performance versus SnO2 nanoparticle films. / V.V. Sysoev, T. Schneider, J. Goschnick, I. Kiselev, W. Habicht, H. Hahn, E. Strelcov, A. Kolmakov // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2009. - Vol. 139. - № 2. - P. 699.

131. Arafat M.M. Gas sensors based on one dimensional nanostructured metal-oxides: a review. / M.M. Arafat, B. Dinan, S.A. Akbar, A.S. M.A. Haseeb // Sensors. - 2012. - Vol. 12. - № 6. - P. 7207.

132. Zhao Z. Structure, synthesis, and applications of TiO2 nanobelts. / Z. Zhao, J. Tian, Y. Sang, A. Cabot, H. Liu // Advanced Materials. - 2015. - Vol. 27. - № 16. - P. 2557.

133. Sysoev V. V. Toward the nanoscopic "Electronic Nose": hydrogen vs carbon monoxide discrimination with an array of individual metal oxide nano- and mesowire sensors. / V.V. Sysoev, B.K. Button, K. Wepsiec, S. Dmitriev, A. Kolmakov // Nano Letters. - 2006. - Vol. 6. - № 8. - P. 1584.

134. Jeong S.-Y. Rational design of semiconductor-based chemiresistors and their libraries for next-generation artificial olfaction. / S.-Y. Jeong, J.-S. Kim, J.-H. Lee // Advanced Materials. - 2020. -Vol. 32. - P. 2002075.

135. Yang J. Formation of two-dimensional transition metal oxide nanosheets with nanoparticles as intermediates. / J. Yang, Z. Zeng, J. Kang, S. Betzler, C. Czarnik, X. Zhang, C. Ophus, C. Yu, K. Bustillo, M. Pan, J. Qiu, L.-W. Wang, H. Zheng // Nature Materials. - 2019. - Vol. 18. - № 9. - P. 970.

136. Llobet E. Single-crystalline metal oxide, resistive gas sensors advances and perspectives. / E. Llobet, E. Navarrete, F. E. Annanouch, M. Alvarado, E. González, J. L. Ramírez, A. Romero, X. Vilanova, M. Domínguez-Pumar, S. Vallejos, I. Grácia // 2018 IEEE SENSORS, New Delhi, India. -2018. - P. 1.

137. Zhou T. Insights into the gas sensor materials: Synthesis, performances and devices. / T. Zhou, T. Zhang // Sensors and Actuators B: Chemical. -2022. - Vol. 371. - P. 132565.

138. Fanget S. Gas sensors based on gravimetric detection—A review. / S. Fanget, S. Hentz, P. Puget, J. Arcamone, M. Matheron, E. Colinet, P. Andreucci, L. Duraffourg, Ed. Myers, M.L. Roukes // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2011. - Vol. 160. - № 1. - P. 804.

139. Miao X. High special surface area and "warm light" responsive ZnO: Synthesis mechanism, application and optimization. / X. Miao, F. Yu, K. Liu, Z. Lv, J. Deng, T. Wu, X. Cheng, W. Zhang, X. Cheng, X. Wang // Bioactive Materials. - 2022. - Vol. 7. - P. 181.

140. Sánchez O. Special Issue "1D, 2D, and 3D ZnO: Synthesis, characterization, and applications." / O. Sánchez, M. Hernández-Vélez // Coatings. - 2021. - Vol. 11. - № 6. - P. 696.

141. Choudhary S. Facile synthesis, morphological, structural, photocatalytic and optical properties of ZnFe2O4-ZnO hybrid nanostructures. / S. Choudhary, D. Hasina, M. Saini, M. Ranjan, S. Mohapatra // Journal of Alloys and Compounds. - 2022. - Vol. 895.- P. 162723.

142. Baharudin K.B. Synthesis of raspberry-like structure zinc oxide nanoparticles via glycol-solvothermal, low-temperature solvothermal and coprecipitation methods. / K.B. Baharudin, N. Abdullah, D. Derawi // Comptes Rendus. Chimie. - 2021. - Vol. 24. - № 1. - P. 33.

143. Muñoz-Fernandez L. Solvothermal synthesis of Ag/ZnO and Pt/ZnO nanocomposites and comparison of their photocatalytic behaviors on dyes degradation. / L. Muñoz-Fernandez, A. Sierra-Fernandez, O. Milosevic, M. E. Rabanal // Advanced Powder Technology. - 2016. - Vol. 27. - № 3. - P. 983.

144. Chandrasekhar K.R. Solvothermal synthesis of photoluminescent ZnO nanostructures and its photocatalytic application study. / K.R. Chandrasekhar, J.D. Ambekar, S.B. Rane, S.S. Arbuj // Journal of Nanoengineering and Nanomanufacturing. - 2015. - Vol. 5. - № 1. - P. 77.

145. Qin L. Economic friendly ZnO-based UV sensors using hydrothermal growth: A review. / L. Qin, F.J. Mawignon, M. Hussain, N.K. Ange, S. Lu, M. Hafezi, G. Dong // Materials. - 2021. - Vol. 14. - № 15. - P. 4083.

146. Yang Y. Hydrothermal synthesis of Co3O4/ZnO hybrid nanoparticles for triethylamine detection. / Y. Yang, X. Wang, G. Yi, H. Li, C. Shi, G. Sun, Z. Zhang // Nanomaterials. - 2019. - Vol. 9.

- № 11. - P. 1599.

147. Ruiz-Rojas C.A. Synthesis, characterization, and temperature-dependent electronic properties of ZnO nanorods using CBD techniques. / C.A. Ruiz-Rojas, M. Aguilar-Frutis, F. Ramos-Brito, I.A. Garduño-Wilches, J. Narro-Ríos, L. Lartundo-Rojas, G. Alarcón-Flores // Journal of Materials Science: Materials in Electronics. - 2021. - Vol. 32. - № 7. - P. 8944.

148. Liu Z. Fabrication of ZnO interface layer from a novel aqueous sol-gel precursor solution for organic solar cells. / Z. Liu, R. Hu, J. Yu, R. Wang, J. Cheng, M. Huo, T. Wu, L. Li // Synthetic Metals. - 2021. - Vol. 274. - P. 116737.

149. Mokrushin A.S. Chemoresistive gas-sensing properties of highly dispersed Nb2O5 obtained by programmable precipitation. / A.S. Mokrushin, T.L. Simonenko, N.P. Simonenko, P.Yu. Gorobtsov, N.C. Kadyrov, E.P. Simonenko, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov // Journal of Alloys and Compounds.

- 2021. - Vol. 868. - P. 159090.

150. Oosthuizen D.N. Gas sensors based on CeO2 nanoparticles prepared by chemical precipitation method and their temperature-dependent selectivity towards H2S and NO2 gases. / D.N. Oosthuizen, D.E. Motaung, H.C. Swart // Applied Surface Science. - 2020. - Vol. 505. - P. 144356.

151. Simonenko T.L. Synthesis of nanoscale Co3O4 spinel and its application to form miniature planar structures by microplotter printing. / T.L. Simonenko, N.P. Simonenko, Y.P. Topalova, P.Y.

Gorobtsov, E.P. Simonenko, N.T. Kuznetsov // Russian Journal of Inorganic Chemistry. - 2022. - Vol. 67. - № 12. - P. 1939.

152. Xu J.Q. Gas sensitive properties of nanometer materials 1тОз synthesized by chemical precipitation. / J.Q. Xu, Y.P. Chen, D.M. Zhu, J.N. Shen // Journal of Shanghai University. - 2006. - Vol. 10. - № 5. - P. 454.

153. Fedorov F.S. Study of programmed co-precipitation of aluminum doped zinc oxide for high precision design of gas analytical units. / F.S. Fedorov, N.P. Simonenko, P.V Arsenov, V. Zaytsev, T.L. Simonenko, B.V Goikhman, I.A. Volkov, E.P. Simonenko, A.G. Nasibulin // Applied Surface Science. -2022. - Vol. 606. - P. 154717.

154. Souissi R. Chemical VOC sensing mechanism of sol-gel ZnO pellets and linear discriminant analysis for instantaneous selectivity. / R. Souissi, B. Bouricha, N. Bouguila, L. El Mir, A. Labidi, M. Abderrabba // RSC Advances. - 2023. - Vol. 13. - № 30. - P. 20651.

155. Xie L. Sol-gel synthesis of TiO2 with p-type response to hydrogen gas at elevated temperature. / L. Xie, Z. Li, L. Sun, B. Dong, Q. Fatima, Z. Wang, Z. Yao, A. A. Haidry // Frontiers in Materials. - 2019. - Vol. 6. - P. 456307.

156. Gorobtsov P.Y. Microstructure and local electrophysical properties of sol-gel derived (In203-10%Sn02)/V205 films. / P.Y. Gorobtsov, N.A. Fisenko, V.R. Solovey, N.P. Simonenko, E.P. Simonenko, I.A. Volkov, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov // Colloid and Interface Science Communications. - 2021. - Vol. 43. - P. 100452.

157. Simonenko T.L. Hydrothermally synthesized hierarchical Ce1-xSmxO2-s oxides for additive manufacturing of planar solid electrolytes. / T.L. Simonenko, N.P. Simonenko, P.Y. Gorobtsov, A.L. Klyuev, O.Y. Grafov, T.M. Ivanova, E.P. Simonenko, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov // Ceramics International. - 2022. - Vol. 48. - № 15. - P. 22401.

158. Zhang X. Ultralow detection limit and ultrafast response/recovery of the H2 gas sensor based on Pd-doped rGO/ZnO-SnO2 from hydrothermal synthesis. / X. Zhang, J. Sun, K. Tang, H. Wang, T. Chen, K. Jiang, T. Zhou, H. Quan, R. Guo // Microsystems & Nanoengineering. - 2022. - Vol. 8. -№ 1. - P. 1.

159. Simonenko T.L. Synthesis of ((CeO2)0.s(Sm2O3)0.2)@NiO core-shell type nanostructures and microextrusion printing of a composite anode based on them. / T.L. Simonenko, N.P. Simonenko, P.Y. Gorobtsov, O.Y. Grafov, E.P. Simonenko, N.T. Kuznetsov // Materials. - 2022. - Vol. 15. - № 24. -P. 8918.

160. Mitsubayashi K. Gas-phase biosensors: A review. / K. Mitsubayashi, K. Toma, K. Iitani, T. Arakawa // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2022. - Vol. 367. - P. 132053.

161. Korotcenkov G. Metal oxides for solid-state gas sensors: What determines our choice? / G. Korotcenkov // Materials Science and Engineering: B. - 2007. - Vol. 139. - № 1. - P. 1.

162. Moumen A. P-type metal oxide semiconductor thin films: synthesis and chemical sensor applications. / A. Moumen, G.C.W. Kumarage, E. Comini // Sensors. - 2022. - Vol. 22. - № 4. - P. 1359.

163. Kang H. Multiarray nanopattern electronic nose (e-nose) by high-resolution top-down nanolithography. / H. Kang, S.-Y. Cho, J. Ryu, J. Choi, H. Ahn, H. Joo, H.-T. Jung // Advanced Functional Materials. - 2020. - Vol. 30. - № 27. - P. 2002486.

164. Macco B. Atomic layer deposition of conductive and semiconductive oxides. / B. Macco, W.M.M. (Erwin) Kessels // Applied Physics Reviews. - 2022. - Vol. 9. - № 4. - P. 041313.

165. Barth S. Synthesis and applications of one-dimensional semiconductors. / S. Barth, F. Hernandez-Ramirez, J.D. Holmes, A. Romano-Rodriguez // Progress in Materials Science. - 2010. -Vol. 55. - № 6. - P. 563.

166. Yang B. 1D metal oxide semiconductor materials for chemiresistive gas sensors: A review. / B. Yang, N.V. Myung, T.-T. Tran // Advanced Electronic Materials. - 2021. - Vol. 7. - № 9. - P. 2100271.

167. Izaki M. Review—solution electrochemical process for fabricating metal oxides and the thermodynamic design. / M. Izaki, P.L. Khoo, T. Shinagawa // Journal of The Electrochemical Society.

- 2021. - Vol. 168. - № 11. - P. 112510.

168. Myasoedova T.N. Sol-gel materials for electrochemical applications: Recent advances. / T.N. Myasoedova, R. Kalusulingam, T.S. Mikhailova // Coatings. - 2022. - Vol. 12. - № 11. - P. 1625.

169. Andre R.S. Hybrid layer-by-layer (LbL) films of polyaniline, graphene oxide and zinc oxide to detect ammonia. / R.S. Andre, F.M. Shimizu, C.M. Miyazaki, A. Riul, D. Manzani, S.J.L. Ribeiro, O.N. Oliveira, L.H.C. Mattoso, D.S. Correa // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2017. -Vol. 238. - P. 795.

170. Agbor N.E. An optical gas sensor based on polyaniline Langmuir-Blodgett films. / N.E. Agbor, J.P. Cresswell, M.C. Petty, A.P. Monkman // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1997. - Vol. 41. - № 1. - P. 137.

171. Richardson T.H. Development and optimization of porphyrin gas sensing LB films. / T.H. Richardson, C.M. Dooling, L.T. Jones, R.A. Brook // Advances in Colloid and Interface Science. - 2005.

- Vol. 116. - № 1. - P. 81.

172. Lipatov A. Intrinsic device-to-device variation in graphene field-effect transistors on a Si/SiO2 substrate as a platform for discriminative gas sensing. / A. Lipatov, A. Varezhnikov, M. Augustin, M. Bruns, M. Sommer, V. Sysoev, A. Kolmakov, A. Sinitskii // Applied Physics Letters. - 2014. - Vol. 104. - № 1. - P. 13114.

173. Hensleigh R. Charge-programmed three-dimensional printing for multi-material electronic devices. / R. Hensleigh, H. Cui, Z. Xu, J. Massman, D. Yao, J. Berrigan, X. Zheng // Nature Electronics.

- 2020. - Vol. 3. - № 4. - P. 216.

174. Yuk H. 3D printing of conducting polymers. / H. Yuk, B. Lu, S. Lin, K. Qu, J. Xu, J. Luo, X. Zhao // Nature Communications. - 2020. - Vol. 11. - № 1. - P. 1604.

175. Teo M.Y. Enabling free-standing 3D hydrogel microstructures with microreactive inkjet printing. / M.Y. Teo, S. Kee, N. RaviChandran, L. Stuart, K.C. Aw, J. Stringer // ACS Applied Materials & Interfaces. -2020. - Vol. 12. - № 1. - P. 1832.

176. Yee D.W. Additive manufacturing of 3D-architected multifunctional metal oxides. / D.W. Yee, ML. Lifson, B.W. Edwards, J.R. Greer // Advanced Materials. - 2019. - Vol. 31. - № 33. - P. 1901345.

177. Chen M. Parallel, multi-material electrohydrodynamic 3D nanoprinting. / M. Chen, H. Lee, J. Yang, Z. Xu, N. Huang, B.P. Chan, J.T. Kim // Small. - 2020. - Vol. 16. - № 13. - P. 1906402.

178. Skylar-Scott M.A. Voxelated soft matter via multimaterial multinozzle 3D printing. / M.A. Skylar-Scott, J. Mueller, C.W. Visser, J.A. Lewis // Nature. - 2019. - Vol. 575. - № 7782. - P. 330.

179. Yang D. Gas sensor by direct growth and functionalization of metal oxide/metal sulfide core-shell nanowires on flexible substrates. / D. Yang, I. Cho, D. Kim, M.A. Lim, Z. Li, J.G. Ok, M. Lee, I. Park // ACS Applied Materials & Interfaces. - 2019. - Vol. 11. - № 27. - P. 24298.

180. Su M. Printable smart materials and devices: Strategies and applications. / M. Su, Y. Song // Chemical Reviews. - 2022. - Vol. 122. - № 5. - P. 5144.

181. Fedorov F.S. Microplotter-printed on-chip combinatorial library of ink-derived multiple metal oxides as an "electronic olfaction" unit. / F.S. Fedorov, N.P. Simonenko, V. Trouillet, I.A. Volkov, I.A. Plugin, D.P. Rupasov, A.S. Mokrushin, I.A. Nagornov, T.L. Simonenko, I.S. Vlasov, E.P. Simonenko, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov, A.S. Varezhnikov, M. Sommer, I. Kiselev, A.G. Nasibulin, V.V. Sysoev// ACS Applied Materials & Interfaces. - 2020. - Vol. 12. - № 50. - P. 56135.

182. Shakeel A. Advanced polymeric/inorganic nanohybrids: An integrated platform for gas sensing applications. / A. Shakeel, K. Rizwan, U. Farooq, S. Iqbal, A.A. Altaf // Chemosphere. - 2022. - Vol. 294. - P. 133772.

183. Liu X. Conducting polymer-based nanostructures for gas sensors. / X. Liu, W. Zheng, R. Kumar, M. Kumar, J. Zhang // Coordination Chemistry Reviews. - 2022. - Vol. 462. - P. 214517.

184. Zhang Z. Label-free optical detection and quantification of pathogens for point-of-care applications. / Z. Zhang, Z. Lian, M. Su, Y. Song // Science Bulletin. - 2023. - Vol. 68. - № 8. - P. 791.

185. Wang H. A Coloration biochip for optical virus detection based on printed single nanoparticle array. / H. Wang, Z. Zhang, M. Su, Y. Sun, J.V. Mikhailova, Z. Cai, D. Wu, K. Wang, Q. Pan, B. Chen, D. Zuev, Y. Song // Advanced Materials Interfaces. - 2022. - Vol. 9. - № 10. - P. 2102164.

186. Levy D.H. Metal-oxide thin-film transistors patterned by printing. / D.H. Levy, C.R. Ellinger, S.F. Nelson // Applied Physics Letters. - 2013. - Vol. 103. - № 4. - P. 43505.

187. Hwang M. Inkjet-printing of indium tin oxide (ITO) films for transparent conducting electrodes. / M. Hwang, B. Jeong, J. Moon, S.-K. Chun, J. Kim // Materials Science and Engineering:

B. - 2011. - Vol. 176. - № 14. - P. 1128.

188. Travan C. NO2 and NH3 sensing characteristics of inkjet printing graphene gas sensors. /

C. Travan, A. Bergmann // Sensors. - 2019. - Vol. 19. - № 15. - P. 3379.

189. Shen W. The preparation of ZnO based gas-sensing thin films by ink-jet printing method. / W. Shen, Y. Zhao, C. Zhang // Thin Solid Films. - 2005. - Vol. 483. - № 1. - P. 382.

190. Volkov I.A. Platinum based nanoparticles produced by a pulsed spark discharge as a promising material for gas sensors. / I.A. Volkov, N.P. Simonenko, A.A. Efimov, T.L. Simonenko, I.S. Vlasov, V.I. Borisov, P.V. Arsenov, Y.Yu. Lebedinskii, A.M. Markeev, A.A. Lizunova, A.S. Mokrushin, E.P. Simonenko, V.A. Buslov, A.E. Varfolomeev, Z. Liu, A.A. Vasiliev, V.V Ivanov // Applied Sciences. - 2021. - Vol. 11. - № 2. - P. 526.

191. Garlapati S.K. Printed electronics based on inorganic semiconductors: from processes and materials to devices. / S.K. Garlapati, M. Divya, B. Breitung, R. Kruk, H. Hahn, S. Dasgupta // Advanced Materials. - 2018. - Vol. 30. - № 40. - P. 1707600.

192. Semancik S. Selected-area deposition of multiple active films for conductometric microsensor arrays. / S. Semancik, R.E. Cavicchi, K.G. Kreider, J.S. Suehle, P. Chaparala // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996. - Vol. 34. - № 1. - P. 209.

193. Fedorov F. Toward new gas-analytical multisensor chips based on titanium oxide nanotube array. / F. Fedorov, M. Vasilkov, A. Lashkov, A. Varezhnikov, D. Fuchs, C. Kübel, M. Bruns, M. Sommer, V. Sysoev // Scientific Reports. - 2017. - Vol. 7. - № 1. - P. 9732.

194. Simonenko N.P. Printing technologies as an emerging approach in gas sensors: survey of literature. / N.P. Simonenko, N.A. Fisenko, F.S. Fedorov, T.L. Simonenko, A.S. Mokrushin, E.P. Simonenko, G. Korotcenkov, V.V Sysoev, V.G. Sevastyanov, N.T. Kuznetsov // Sensors. - 2022. - Vol. 22. - № 9. - P. 3473.

195. Zhitomirsky I. Nanostructured ceramic and hybrid materials via electrodeposition. / I. Zhitomirsky, A. Petric, M. Niewczas // JOM. - 2002. - Vol. 54. - № 9. - P. 31.

196. Boccaccini A.R. Application of electrophoretic and electrolytic deposition techniques in ceramics processing. Part 1. / A. R. Boccaccini, I. Zhitomirsky // ChemInform. - 2005. - Vol. 54. - № 3. - P. 162.

197. Collinson M.M. Electrochemistry: An important tool to study and create new sol-gel-derived materials. / M.M. Collinson // Accounts of Chemical Research. - 2007. - Vol. 40. - № 9. - P. 777.

198. Schlesinger T.E. Electrodeposition of semiconductors. In Modern electroplating / T.E. Schlesinger, K. Rajeshwar, N. R. de Tacconi; eds. M. Schlesinger, M. Paunovic. - 5th ed. - 2011. - P. 383.

199. Matsumoto Y. A new preparation method of barium titanate perovskite film using electrochemical reduction. / Y. Matsumoto, T. Morikawa, H. Adachi, J. Hombo // Materials Research Bulletin. - 1992. - Vol. 27. - № 11. - P. 1319.

200. Mishra S. Kinetics of reduction of nitric acid by electrochemical method and validation of cell design for plant application. / S. Mishra, F. Lawrence, C. Mallika, N.K. Pandey, R. Srinivasan, U.K. Mudali, R. Natarajan // Electrochimica Acta. - 2015. - Vol. 160. - P. 219.

201. Dobos D. Electrochemical data: a handbook for electrochemists in industry and universities. / D. Dobos. - New York: Elsevier Scientific Publ. Co., 1975. - 340 p.

202. Jayashree R.S. Factors governing the electrochemical synthesis of a-nickel (II) hydroxide. / R.S. Jayashree, P.V. Kamath // Journal of Applied Electrochemistry. - 1999. - Vol. 29. - № 4. - P. 449.

203. Jayashree R.S. Electrochemical synthesis of a-cobalt hydroxide. / R.S. Jayashree, P.V. Kamath // Journal of Materials Chemistry. - 1999. - Vol. 9. - № 4. - P. 961.

204. Dixit M. An electrochemically impregnated sintered-nickel electrode. / M. Dixit, P.V. Kamath, V.G. Kumar, N. Munichandraiah, A.K. Shukla // Journal of Power Sources. - 1996. - Vol. 63. - № 2. - P. 167.

205. Kamath P. V. Stabilized a-Ni(OH)2 as electrode material for alkaline secondary cells. / P.V. Kamath, M. Dixit, L. Indira, A.K. Shukla, V.G. Kumar, N. Munichandraiah // Journal of the Electrochemical Society. - 1994. - Vol. 141. - № 11. - P. 2956.

206. Kamath P.V. On the existence of hydrotalcite-like phases in the absence of trivalent cations. / P.V. Kamath, G.H.A. Therese, J. Gopalakrishnan // Journal of Solid State Chemistry. - 1997. - Vol. 128. - № 1. - P. 38.

207. Zhou Y. Electrochemical synthesis and sintering of nanocrystalline cerium(IV) oxide powders. / Y. Zhou, R.J. Phillips, J.A. Switzer // Journal of the American Ceramic Society. - 1995. - Vol. 78. - № 4. - P. 981.

208. Li F.-B. In situ atomic force microscopy studies of electrodeposition mechanism of cerium oxide films: Nucleation and growth out of a gel mass precursor. / F.-B. Li, R.C. Newman, G.E. Thompson // Electrochimica Acta. - 1997. - Vol. 42. - № 16. - P. 2455.

209. Thanos J.C.G. Specific orientation of electrochemically deposited PbO2 crystals. / J.C.G. Thanos, D.W. Wabner // Journal of Electroanalytical Chemistry. - 1985. - Vol. 182. - № 1. - P. 25.

210. Gal-Or L. Electrolytic ZrO2 coatings I. Electrochemical aspects. / L. Gal-Or, I. Silberman, R. Chaim // Journal of the Electrochemical Society. - 1991. - Vol. 138. - № 7. - P. 1939.

211. Chaim R. Electrolytic ZrO2 coatings II. Microstructural aspects. / R. Chaim, I. Silberman, L. Gal-Or // Journal of the Electrochemical Society. - 1991. - Vol. 138. - № 7. - P. 1942.

212. Zhitomirsky I. Electrodeposition of ceramic films from non-aqueous and mixed solutions. / I. Zhitomirsky, L. Gal-Or, A. Kohn, H.W. Hennicke // Journal of Materials Science. - 1995. - Vol. 30.

- № 20. - P. 5307.

213. Nakajima K. Electrochemical synthesis and thermal decomposition of zirconia gels containing various metal ions. / K. Nakajima // Journal of Materials Chemistry. - 1996. - Vol. 6. - № 11. - P. 1795.

214. Chaim R. Electrochemical ZrO2 and AhO3 coatings on SiC substrates. / R. Chaim, G. Stark, L. Gal-Or, H. Bestgen // Journal of Materials Science. - 1994. - Vol. 29. - № 23. - P. 6241.

215. Bacsa R.R. Electrochemical synthesis of barium titanate thin films. / R.R. Bacsa, G. Rutsch, J.P. Dougherty // Journal of Materials Research. - 1996. - Vol. 11. - № 1. - P. 194.

216. Matsumoto Y. Preparation of LaFeO3 perovskite film using electrochemical reduction. / Y. Matsumoto, J. Hombo // Journal of Electroanalytical Chemistry. - 1993. - Vol. 348. - № 1-2. - P. 441.

217. Zhitomirsky I. Cathodic electrosynthesis of PZT films. / I. Zhitomirsky, A. Kohn, L. Gal-Or // Materials Letters. - 1995. - Vol. 25. - № 5-6. - P. 223.

218. Matsumoto Y. New preparation method for PZT films using electrochemical reduction. / Y. Matsumoto, H. Adachi, J. Hombo // Journal of the American Ceramic Society. - 1993. - Vol. 76. - № 3.

- P. 769.

219. Koinuma M. Preparation of PZT thin films on stainless steel using electrochemical reduction. / M. Koinuma, H. Ohmura, Y. Fujioka, Y. Matsumoto, S. Yamada // Journal of Solid State Chemistry. - 1998. - Vol. 136. - № 2. - P. 293.

220. Aries L. Preparation of electrolytic ceramic films on stainless steel conversion coatings. / L. Aries // Journal of Applied Electrochemistry. - 1994. - Vol. 24. - № 6. - P. 554.

221. Aries L. Electrochemically induced alumina coatings on stainless steel: Composition and behaviour at high temperature. / L. Aries, J. Roy, J. Sotoul, V. Pontet, P. Costeseque, T. Aigouy // Journal of Applied Electrochemistry. - 1996. - Vol. 26. - № 6. - P. 617.

222. Chaim R. Electrochemical chromium(III) oxide coatings on non-oxide ceramic substrates. / R. Chaim, S. Almaleh-Rockman, L. Gal-Or, H. Bestgen // Journal of the American Ceramic Society. -1994. - Vol. 77. - № 12. - P. 3202.

223. Monk P.M.S. The effect of doping electrochromic molybdenum oxide with other metal oxides: Correlation of optical and kinetic properties. / P.M.S. Monk, T. Ali, R.D. Partridge // Solid State Ionics. - 1995. - Vol. 80. - № 1-2. - P. 75.

224. Natarajan C. Cathodic electrodeposition of nanocrystalline titanium dioxide thin films. / C. Natarajan, G. Nogami // Journal of the Electrochemical Society. - 1996. - Vol. 143. - № 5. - P. 1547.

225. Janes R. Electrodeposition of thin-film rare-earth-metal oxocuprates. / R. Janes, P. M. S. Monk, R. D. Partridge // Journal of Materials Chemistry. - 1996. - Vol. 6. - № 2. - P. 183.

226. Izaki M. Electrolyte optimization for cathodic growth of zinc oxide films. / M. Izaki, T. Omi // Journal of the Electrochemical Society. - 1996. - Vol. 143. - № 3. - P. L53.

227. Izaki M. Characterization of transparent zinc oxide films prepared by electrochemical reaction. / M. Izaki, T. Omi // Journal of the Electrochemical Society. - 1997. - Vol. 144. - № 6. - P. 1949.

228. Peulon S. Cathodic electrodeposition from aqueous solution of dense or open-structured zinc oxide films. / S. Peulon, D. Lincot // Advanced Materials. - 1996. - Vol. 8. - № 2. - P. 166.

229. Therese G.H.A. Electrochemical synthesis of LmCrsO^^O (Ln = La, Pr, Nd). / G.H.A. Therese, P.V. Kamath // Materials Research Bulletin. - 1998. - Vol. 33. - № 1. - P. 1.

230. Therese G.H.A. Electrochemical synthesis of LaMnO3 coatings on conducting substrates. / G.H.A. Therese, P.V. Kamath // Chemistry of Materials. - 1998. - Vol. 10. - № 11. - P. 3364.

231. Streinz C.C. The effect of current and nickel nitrate concentration on the deposition of nickel hydroxide films. / C.C. Streinz, A.P. Hartman, S. Motupally, J.W. Weidner // Journal of the Electrochemical Society. - 1995. - Vol. 142. - № 4. - P. 1084.

232. Murthy M. A model for the galvanostatic deposition of nickel hydroxide. / M. Murthy, G. S. Nagarajan, J.W. Weidner, J.W. Van Zee // Journal of the Electrochemical Society. - 1996. - Vol. 143. - № 7. - P. 2319.

233. Therese G.H.A. Novel electrosynthetic route to calcium phosphate coatings. / G.H.A. Therese, P.V Kamath, G.N. Subbanna // Journal of Materials Chemistry. - 1998. - Vol. 8. - № 2. - P. 405.

234. Shirkhanzadeh M. Bioactive calcium phosphate coatings prepared by electrodeposition. / M. Shirkhanzadeh // Journal of Materials Science Letters. - 1991. - Vol. 10. - № 23. - P. 1415.

235. Yao J.N. Electrochromic behavior of electrodeposited tungsten oxide thin films. / J.N. Yao, P. Chen, A. Fujishima // Journal of Electroanalytical Chemistry. - 1996. - Vol. 406. - № 1-2. - P. 223.

236. Meulenkamp E.A. Mechanism of WO3 electrodeposition from peroxy-tungstate solution. / E.A. Meulenkamp // Journal of the Electrochemical Society. - 1997. - Vol. 144. - № 5. - P. 1664.

237. Chaim R. Electrochemical AhO3-ZrO2 composite coatings on non-oxide ceramic substrates. / R. Chaim, I. Zhitomirsky, L. Gal-Or, H. Bestgen // Journal of Materials Science. - 1997. -Vol. 32. - № 2. - P. 389.

238. Zhitomirsky I. Electrochemical AhO3-Cr2O3 alloy coatings on non-oxide ceramic substrates. / I. Zhitomirsky, R. Chaim, L. Gal-Or, H. Bestgen // Journal of Materials Science. - 1997. -Vol. 32. - № 19. - P. 5205.

239. Azad A.M. Solid-state gas sensors: A review. / A.M. Azad, S.A. Akbar, S.G. Mhaisalkar, L.D. Birkefeld, K.S. Goto // Journal of The Electrochemical Society. - 1992. - Vol. 139. - № 12. - P. 3690.

240. Schierbaum K.-D. Engineering of oxide surfaces and metal/oxide interfaces for chemical sensors: recent trends. / K.-D. Schierbaum // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 24. - № 1-3. - P. 239.

241. Capone S. Solid state gas sensors: State of the art and future activities. / S. Capone, A. Forleo, L. Francioso, R. Rella, P. Siciliano, J. Spadavecchia, D. S. Presicce, A. M. Taurino // Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. - 2003. - Vol. 5. - P. 1335.

242. Litzelman S.J. The electrical properties and stability of SrTb.65Fe0.35O3-5 thin films for automotive oxygen sensor applications. / S.J. Litzelman, A. Rothschild, H.L. Tuller // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2005. - Vol. 108. - № 1-2. - P. 231.

243. Jamnik J. Space charge influenced oxygen incorporation in oxides: in how far does it contribute to the drift of Taguchi sensors? / J. Jamnik, B. Kamp, R. Merkle, J. Maier // Solid State Ionics. - 2002. - Vol. 150. - № 1-2. - P. 157.

244. Fleischer M. Fast gas sensors based on metal oxides which are stable at high temperatures. / M. Fleischer, H. Meixner // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1997. - Vol. 43. - № 1-3. - P. 1.

245. Fleischer M. Selectivity in high-temperature operated semiconductor gas-sensors. / M. Fleischer, H. Meixner // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1998. - Vol. 52. - № 1-2. - P. 179.

246. Сысоев В.В. Мультисенсорные системы распознавания газов на основе металло-оксидных тонких пленок и наноструктур: дис. ... д-ра техн. наук: 29.10.01 / Сысоев Виктор Владимирович. - Саратов, 2009. - 369 с.

247. Lampe U. Comparison of transient response of exhaust-gas sensors based on thin films of selected metal oxides. / U. Lampe, J. Gerblinger, H. Meixner // Sensors and Actuators B: Chemical. -1992. - Vol. 7. - № 1-3. - P. 787.

248. Lampe U. Carbon-monoxide sensors based on thin films of BaSnO3. / U. Lampe, J. Gerblinger, H. Meixner // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 25. - № 1-3. - P. 657.

249. Lampe U. Nitrogen oxide sensors based on thin films of BaSnO3. / U. Lampe, J. Gerblinger, H. Meixner // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 26. - № 1-3. - P. 97.

250. Solis J.L. A study of gas-sensing properties of sputtered a-SnWO4 thin films. / J.L. Solis, V. Lantto // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 25. - № 1-3. - P. 591.

251. Dawson D.H. Description and characterization of a hydrogen sulfide gas sensor based on Cr2-yTiyO3+x. / D.H. Dawson, G.S. Henshaw, D.E. Williams // Sensors and Actuators B: Chemical. -1995. - Vol. 26. - № 1-3. - P. 76.

252. Deshmukh S. Application of electronic nose for industrial odors and gaseous emissions measurement and monitoring - An overview. / S. Deshmukh, R. Bandyopadhyay, N. Bhattacharyya, R.A. Pandey, A. Jana // Talanta. - 2015. - Vol. 144. - P. 329.

253. Li Y. Research progress of electronic nose technology in exhaled breath disease analysis. / Y. Li, X. Wei, Y. Zhou, J. Wang, R. You // Microsystems & Nanoengineering. - 2023. - Vol. 9. - № 1. -P. 129.

254. Weisz P.B. Effects of electronic charge transfer between adsorbate and solid on chemisorption and catalysis. / P.B. Weisz // The Journal of Chemical Physics. - 1953. - Vol. 21. - № 9. - P. 1531.

255. Madou M.J. Chemical sensing with solid state devices. / M.J. Madou, S.R. Morrison. -London: Academic Press, 1989. - 556 p.

256. Langmuir I. The adsorption of gases on plane surfaces of glass, mica and platinum. / I. Langmuir // Journal of the American Chemical Society. - 1918. - Vol. 40. - № 9. - P. 1361.

257. Geistlinger H. Chemisorption effects on the thin-film conductivity. / H. Geistlinger // Surface Science. - 1992. - Vol. 277. - № 3. - P. 429.

258. Geistlinger H. Device modeling of semiconductor gas sensors. / H. Geistlinger // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1993. - Vol. 14. - № 1-3. - P. 685.

259. Geistlinger H. Electron theory of thin-film gas sensors. / H. Geistlinger // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1993. - Vol. 17. - № 1. - P. 47.

260. Brattain W.H. Surface properties of germanium. / W.H. Brattain, J. Bardeen // Bell System Technical Journal. - 1953. - Vol. 32. - № 1. - P. 1.

261. Morrison S.R. Changes of surface conductivity of germanium with ambient. / S.R. Morrison // The Journal of Physical Chemistry. - 1953. - Vol. 57. - № 8. - P. 860.

262. Garrett C.G.B. Physical theory of semiconductor surfaces. / C.G.B. Garrett, W.H. Brattain // Physical Review. - 1955. - Vol. 99. - № 2. - P. 376.

263. D'Amico A. A contribution on some basic definitions of sensors properties. / A. D'Amico, C. Di Natale // IEEE Sensors Journal. - 2001. - Vol. 1. - № 3. - P. 183.

264. Watson J. A note on the electrical characterization of solid-state gas sensors. / J. Watson // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1992. - Vol. 8. - № 2. - P. 173.

265. Bielanski A. Oxygen in catalysis on transition metal oxides. / A. Bielanski, J. Haber // Catalysis Reviews. - 1979. - Vol. 19. - № 1. - P. 1.

266. Shelef M. Nitric oxide: Surface reactions and removal from auto exhaust. / M. Shelef // Catalysis Reviews. - 1975. - Vol. 11. - № 1. - P. 1.

267. Zemel J.N. Theoretical description of gas-film interaction on SnOx. / J.N. Zemel // Thin Solid Films. - 1988. - Vol. 163. - P. 189.

268. Windischmann H. A model for the operation of a thin-film SnOx conductance-modulation carbon monoxide sensor. / H. Windischmann, P. Mark // Journal of The Electrochemical Society. - 1979.

- Vol. 126. - № 4. - P. 627.

269. Reti F. Effect of coadsorption of reducing gases on the conductivity of ß-Ga2O3 thin films in the presence of O2. / F. Reti, M. Fleischer, H. Meixner, J. Giber // Sensors and Actuators B: Chemical.

- 1994. - Vol. 19. - № 1-3. - P. 573.

270. Andreev S.K. Modelling the gas-sensing behaviour of SnO2-gate FETs. / S.K. Andreev, L.I. Popova, V.K. Gueorguiev, N.D. Sotyanov // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1994. - Vol. 19.

- № 1-3. - P. 540.

271. Popova L.I. Voltage dependence of gas-sensing behaviour of SnO2-gate FETs. / L.I. Popova, S.K. Andreev, V.K. Gueorguiev, N.D. Stoyanov // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1994.

- Vol. 19. - № 1-3. - P. 543.

272. Kang W.P. Performance and detection mechanism of a new class of catalyst (Pd, Pt, or Ag)-adsorptive oxide (SnOx or ZnO)-insulator-semiconductor gas sensors. / W.P. Kang, C.K. Kim // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1994. - Vol. 22. - № 1. - P. 47.

273. Lazarova V. Quartz resonator with SnO2 thin film as acoustic gas sensor for NH3. / V. Lazarova, L. Spassov, V. Gueorguiev, S. Andreev, E. Manolov, L. Popova // Vacuum. - 1996. - Vol. 47.

- № 12. - P. 1423.

274. LeGore L.J. The optimization of a tungsten trioxide film for application in a surface acoustic wave gas sensor. / L.J. LeGore, K. Snow, J.D. Galipeau, J.F. Vetelino // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996. - Vol. 35. - № 1-3. - P. 164.

275. Martinelli G. A study of the conductance and capacitance of pure and Pd-dopped SnO2 thick films. / G. Martinelli, M.C. Carotta // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1994. - Vol. 19. - № 1-3. - P. 720.

276. Martinelli G. A study of the moisture effects on SnO2 thick films by sensitivity and permittivity measurements. / G. Martinelli, M.C. Carotta, L. Passari, L. Tracchi // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 26. - № 1-3. - P. 53.

277. Ishihara T. Sensitive detection of nitrogen oxides based upon capacitance changes in binary oxide mixture. / T. Ishihara, S. Sato, Y. Takita // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996. - Vol. 30.

- № 1. - P. 43.

278. Orlik D.R. Monoelectrode gas sensors based on SnO2 semiconductor ceramics. / D.R. Orlik, M.I. Ivanovskaya, G.A. Branitsky, P.A. Bogdanov // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1993.

- Vol. 14. - № 1. - P. 605.

279. Williams G. A study of tin-dioxide gas-sensor thermochemistry under conditions of varying oxygen partial pressure. / G. Williams, G.S.V. Coles // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. -Vol. 25. - № 1-3. - P. 573.

280. Williams G. The influence of deposition parameters on the performance of tin dioxide NO2 sensors prepared by radio-frequency magnetron sputtering. / G. Williams, G.S.V. Coles // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 25. - № 1-3. - P. 469.

281. Schweizer-Berberich M. The effect of Pt and Pd surface doping on the response of nanocrystalline tin dioxide gas sensors to CO. / M. Schweizer-Berberich, J.G. Zheng, U. Weimar, W. Göpel, N. Barsan, E. Pentia, A. Tomescu // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1996. - Vol. 31. - № 1-2. - P. 71.

282. Demarne V. Electrical transport properties of thin polycrystalline SnO2 film sensors. / V. Demarne, A. Grisel, R. Sanjines, D. Rosenfeld, F. Levy // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1992.

- Vol. 7. - № 1-3. - P. 704.

283. Петров В.В. Наноразмерные оксидные материалы для сенсоров газа. / В.В. Петров, А Н. Королев. - Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. - 153 p.

284. Wang X. Transition between neck-controlled and grain-boundary-controlled sensitivity of metal-oxide gas sensors. / X. Wang, S.S. Yee, W.P. Carey // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995.

- Vol. 25. - № 1-3. - P. 454.

285. Xu C. Grain size effects on gas sensitivity of porous SnO2-based elements. / C. Xu, J. Tamaki, N. Miura, N. Yamazoe // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1991. - Vol. 3. - № 2. - P. 147.

286. Kanamori M. Thickness dependence of sensitivity of SnO2 film gas sensors. / M. Kanamori, Y. Okamoto, Y. Ohya, Y. Takahashi // Journal of the Ceramic Society of Japan. - 1995. - Vol. 103. - № 1194. - P. 113.

287. Yoo D.J. Effects of thickness and calcination temperature on tin dioxide sol-derived thin-film sensor. / D.J. Yoo, J. Tamaki, S.J. Park, N. Miura, N. Yamazoe // Journal of The Electrochemical Society. - 1995. - Vol. 142. - № 7. - P. L105.

288. McAleer J.F. Tin dioxide gas sensors. Part 1. - Aspects of the surface chemistry revealed by electrical conductance variations. / J.F. McAleer, P.T. Moseley, J.O.W. Norris, D.E. Williams // J Journal of the Chemical Society, Faraday Transactions 1: Physical Chemistry in Condensed Phases. -1987. - Vol. 83. - № 4. - P. 1323.

289. Bruno L. Tin dioxide thin-film gas sensor prepared by chemical vapour deposition. / L. Bruno, C. Pijolat, R. Lalauze // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1994. - Vol. 18. - № 1. - P. 195.

290. Cha K.H. Effect of palladium doping and film thickness on the H2-gas sensing characteristics of SnO2. / K. H. Cha, H. C. Park, K. H. Kim // Sensors and Actuators B: Chemical. -1994. - Vol. 21. - № 2. - P. 91.

291. Scott M.S. Data analysis for electronic nose systems. / M.S. Scott, D. James, Z. Ali // Microchimica Acta. - 2006. - Vol. 156. - № 3. - P. 183.

292. Vessman J. Selectivity in analytical chemistry (IUPAC Recommendations 2001). / J. Vessman, R.I. Stefan, J.F. van Staden, K. Danzer, W. Lindner, D.T. Burns, A. Fajgelj, H. Müller // Pure and Applied Chemistry. - 2001. - Vol. 73. - № 8. - P. 1381.

293. Röck F. Electronic nose: Current status and future trends. / F. Röck, N. Barsan, U. Weimar // Chemical Reviews. - 2008. - Vol. 108. - № 2. - P. 705.

294. Hübschmann H.-J. Handbook of GC-MS: Fundamentals and applications / H.-J. Hübschmann. - 3rd ed. - Weinheim: John Wiley & Sons, Ltd, 2015. - 880 p.

295. Swager T.M. Introduction: Chemical Sensors. / T.M. Swager, K.A. Mirica // Chemical Reviews. - 2019. - Vol. 119. - № 1. - P. 1.

296. Dobson C.M. Chemical space and biology. / C.M. Dobson // Nature. - 2004. - Vol. 432. -№ 7019. - P. 824.

297. Buck L. A novel multigene family may encode odorant receptors: A molecular basis for odor recognition. / L. Buck, R. Axel // Cell. - 1991. - Vol. 65. - № 1. - P. 175.

298. McGann J.P. Poor human olfaction is a 19th-century myth. / J.P. McGann // Science. -2017. - Vol. 356. - № 6338. - P. eaam7263.

299. Beccherelli R. Design of a very large chemical sensor system for mimicking biological olfaction. / R. Beccherelli, E. Zampetti, S. Pantalei, M. Bernabei, K.C. Persaud // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2010. - Vol. 146. - № 2. - P. 446.

300. Erratum for the Report "Humans can discriminate more than 1 trillion olfactory stimuli" by C. Bushdid et al. Science. - 2024. - Vol. 383. - № 6685. - P. eado6457.

301. Manzini I. Principles of odor coding in vertebrates and artificial chemosensory systems. / I. Manzini, D. Schild, C. Di Natale // Physiological Reviews. - 2021. - Vol. 102. - № 1. - P. 61.

302. Sysoev V.V. Multisensor micro-arrays based on metal oxide nanowires for electronic nose applications. In Metal oxide nanomaterials for chemical sensors. / V.V. Sysoev, V.V. Strelcov, A. Kolmakov; ed. Carpenter M.A., Mathur S., Kolmakov A. - New York: Springer Science+Business Media, 2013. - P. 425.

303. Cooks R.G. Direct analysis of complex mixtures by mass spectrometry. / R.G. Cooks, A.K. Jarmusch, M. Wleklinski // International Journal of Mass Spectrometry. - 2015. - Vol. 377. - P. 709.

304. Di Natale C. Identification of schizophrenic patients by examination of body odor using gas chromatography - mass spectrometry and a cross-selective gas sensor array. / C. Di Natale, R. Paolesse, P. Comandini, G. Pennazza, E. Martinelli, S. Rullo, M. Roscioni, C. Roscioni, A. Finazzi-Agro // Medical Science Monitor. - 2005. - Vol. 11. - № 8. - P. CR366.

305. Cui S. Qualitative and quantitative analysis on aroma characteristics of ginseng at different ages using E-nose and GC-MS combined with chemometrics. / S. Cui, J. Wang, L. Yang, J. Wu, X. Wang // Journal of Pharmaceutical and Biomedical Analysis. - 2015. - Vol. 102. - P. 64.

306. Gaggiotti S. Headspace volatile evaluation of carrot samples—comparison of GC/MS and AuNPs-hpDNA-based e-nose. / S. Gaggiotti, M. Mascini, P. Pittia, F. Della Pelle, D. Compagnone // Foods. - 2019. - Vol. 8. - № 8. - P. 293.

307. Okur S. An Enantioselective e-nose: An array of nanoporous homochiral MOF films for stereospecific sensing of chiral odors. / S. Okur, P. Qin, A. Chandresh, C. Li, Z. Zhang, U. Lemmer, L. Heinke // Angewandte Chemie International Edition. - 2021. - Vol. 60. - № 7. - P. 3566.

308. Wilson C.D. A primacy code for odor identity. / C.D. Wilson, G.O. Serrano, A.A. Koulakov, D. Rinberg // Nature Communications 2017 8:1. - 2017. - Vol. 8. - № 1. - P. 1.

309. Lee B.K. A principal odor map unifies diverse tasks in olfactory perception. / B.K. Lee, E. J. Mayhew, B. Sanchez-Lengeling, J.N. Wei, W.W. Qian, K.A. Little, M. Andres, B.B. Nguyen, T. Moloy, J. Yasonik, J.K. Parker, R.C. Gerkin, J.D. Mainland, A.B. Wiltschko // Science. - 2023. - Vol. 381. - № 6661. - P. 999.

310. Lundström I. Artificial "olfactory" images from a chemical sensor using a light-pulse technique. / I. Lundström, R. Erlandsson, U. Frykman, E. Hedborg, A. Spetz, H. Sundgren, S. Welin, F. Winquist // Nature. - 1991. - Vol. 352. - № 6330. - P. 47.

311. Walt D R. Bead-based fiber-optic arrays. / D R. Walt // Science. - 2000. - Vol. 287. - № 5452. - P. 451.

312. Rakow N.A. A colorimetric sensor array for odour visualization. / N.A. Rakow, K.S. Suslick // Nature. - 2000. - Vol. 406. - № 6797. - P. 710.

313. Rose-Pehrsson S.L. Detection of hazardous vapors including mixtures using pattern recognition analysis of responses from surface acoustic wave devices. / S.L. Rose-Pehrsson, J. W. Grate, D.S. Ballantine, P.C. Jurs // Analytical Chemistry. - 1988. - Vol. 60. - № 24. - P. 2801.

314. Baller M.K. A cantilever array-based artificial nose. / M.K. Baller, H.P. Lang, J. Fritz, C. Gerber, J.K. Gimzewski, U. Drechsler, H. Rothuizen, M. Despont, P. Vettiger, F.M. Battiston, J.P. Ramseyer, P. Fornaro, E. Meyer, H.-J. Güntherodt // Ultramicroscopy. - 2000. - Vol. 82. - № 1. - P. 1.

315. Freund M.S. A chemically diverse conducting polymer-based "electronic nose". / M.S. Freund, N.S. Lewis // Proceedings of the National Academy of Sciences. - 1995. - Vol. 92. - № 7. - P. 2652.

316. Hagleitner C. Smart single-chip gas sensor microsystem. / C. Hagleitner, A. Hierlemann, D. Lange, A. Kummer, N. Kerness, O. Brand, H. Baltes // Nature. - 2001. - Vol. 414. - № 6861. - P. 293.

317. Shurmer H.V. Odour discrimination with an electronic nose. / H.V. Shurmer, J.W. Gardner // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1992. - Vol. 8. - № 1. - P. 1.

318. Horner G.M.R. Odour sensors for an electronic nose. Sensors and sensory systems for and electronic nose. / G.M.R. Horner, J.W. Gardner, P.N. Barlett. - Dordrecht: Kluwer Academic Publishers, 1992. - 327 p.

319. Jia C. Nanowire electronics: From nanoscale to macroscale. / C. Jia, Z. Lin, Y. Huang, X. Duan // Chemical Reviews. - 2019. - Vol. 119. - № 15. - P. 9074.

320. Zhang L. A rapid discreteness correction scheme for reproducibility enhancement among a batch of MOS gas sensors. / L. Zhang, F.-C. Tian, X.-W. Peng, X. Yin // Sensors and Actuators A: Physical. - 2014. - Vol. 205. - P. 170.

321. Gohel V.R. Multioxide combinatorial libraries: fusing synthetic approaches and additive technologies for highly orthogonal electronic noses. / V.R. Gohel, M. Chetyrkina, A. Gaev, N.P. Simonenko, T.L. Simonenko, P.Yu. Gorobtsov, N.A. Fisenko, D.A. Dudorova, V. Zaytsev, A. Lantsberg, E.P. Simonenko, A G. Nasibulin, F.S. Fedorov // Lab Chip. - 2024. - Vol. 24. - № 16. - P. 3810.

322. Chu J. Identification of gas mixtures via sensor array combining with neural networks. / J. Chu, W. Li, X. Yang, Y. Wu, D. Wang, A. Yang, H. Yuan, X. Wang, Y. Li, M. Rong // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2021. - Vol. 329. - P. 129090.

323. Szulczynski B. Determination of odor intensity of binary gas mixtures using perceptual models and an electronic nose combined with fuzzy logic. / B. Szulczynski, J. G^bicki // Sensors. -2019. - Vol. 19. - № 16. - P. 3473.

324. Szulczynski B. Determination of odour interactions in gaseous mixtures using electronic nose methods with artificial neural networks. / B. Szulczynski, K. Arminski, J. Namiesnik, J. G^bicki // Sensors. - 2018. - Vol. 18. - № 2. - P. 519.

325. Szulczynski B. Determination of odour interactions of three-component gas mixtures using an electronic nose. / B. Szulczynski, J. Namiesnik, J. G^bicki // Sensors. - 2017. - Vol. 17. - № 10. - P. 2380.

326. Kotliar-Shapirov A. Chemical space mapping for multicomponent gas mixtures. / A. Kotliar-Shapirov, F.S. Fedorov, H. Ouerdane, S. Evlashin, A.G. Nasibulin, K.J. Stevenson // Journal of Electroanalytical Chemistry. - 2021. - Vol. 895. - P. 115472.

327. Pearson K. LIII. On lines and planes of closest fit to systems of points in space. / K. Pearson // The London, Edinburgh, and Dublin Philosophical Magazine and Journal of Science. - 1901. - Vol. 2. - № 11. - P. 559.

328. Hierlemann A. Higher-order chemical sensing. / A. Hierlemann, R. Gutierrez-Osuna // Chemical reviews. - 2008. - Vol. 108. - № 2. - P. 563.

329. Fan Y.-H. Gas identification algorithm based on dynamic response analysis of metal oxide sensors under temperature modulation. / Y.-H. Fan, T.-I. Chou, S.-W. Chiu, K.-T. Tang // IEEE Access.

- 2024. - Vol. 12. - P. 87900.

330. Ghasemi-Varnamkhasti M. Selection of an optimized metal oxide semiconductor sensor (MOS) array for freshness characterization of strawberry in polymer packages using response surface method (RSM). / M. Ghasemi-Varnamkhasti, A. Mohammad-Razdari, S. H. Yoosefian, Z. Izadi, G. Rabiei // Postharvest Biology and Technology. - 2019. - Vol. 151. - P. 53.

331. Wongchoosuk C. Portable electronic nose based on carbon nanotube-SnO2 gas sensors and its application for detection of methanol contamination in whiskeys. / C. Wongchoosuk, A. Wisitsoraat, A. Tuantranont, T. Kerdcharoen // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2010. - Vol. 147. - № 2. - P. 392.

332. Jia P. Feature extraction of wound infection data for electronic nose based on a novel weighted KPCA. / P. Jia, F. Tian, Q. He, S. Fan, J. Liu, S. X. Yang // Sensors and Actuators B: Chemical.

- 2014. - Vol. 201. - P. 555.

333. Su P.-G. Recognition of binary mixture of NO2 and NO gases using a chemiresistive sensors array combined with principal component analysis. / P.-G. Su, M.-C. Li // Sensors and Actuators A: Physical. - 2021. - Vol. 331. - P. 112980.

334. Chen Y. A two-stage gas mixture concentration detection method for electronic nose. / Y. Chen, Z. Chen, T. Zhang, D. Chen, M. Wang, W. Zhao, Y. Shi // Sensors and Actuators A: Physical. -2024. - Vol. 377. - P. 115768.

335. Vergara A. Quantitative gas mixture analysis using temperature-modulated micro-hotplate gas sensors: Selection and validation of the optimal modulating frequencies. / A. Vergara, E. Llobet, J. Brezmes, P. Ivanov, C. Cane, I. Gracia, X. Vilanova, X. Correig // Sensors and Actuators B: Chemical.

- 2007. - Vol. 123. - № 2. - P. 1002.

336. Sysoev V. V. Temperature gradient effect on gas discrimination power of a metal-oxide thin-film sensor microarray. / V.V. Sysoev, I. Kiselev, M. Frietsch, J. Goschnick // Sensors. - 2004. -Vol. 4. - № 4. - P. 37.

337. Sysoev V.V. Enhancing the gas selectivity of single-crystal SnO2:Pt thin-film chemiresistor microarray by SiO2 membrane coating. / V.V. Sysoev, I. Kiselev, V. Trouillet, M. Bruns // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2013. - Vol. 185. - P. 59.

338. Sysoev V.V. The electrical characterization of a multi-electrode odor detection sensor array based on the single SnO2 nanowire. / V.V. Sysoev, E. Strelcov, S. Kar, A. Kolmakov // Thin Solid Films.

- 2011. - Vol. 520. - № 3. - P. 898.

339. Craven M.A. Electronic noses — development and future prospects. / M.A. Craven, J.W. Gardner, P.N. Bartlett // TrAC Trends in Analytical Chemistry. - 1996. - Vol. 15. - № 9. - P. 486.

340. Göpel W. Chemical imaging: I. Concepts and visions for electronic and bioelectronic noses. / W. Göpel // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1998. - Vol. 52. - № 1-2. - P. 125.

341. Fedorov F.S. Potassium polytitanate gas-sensor study by impedance spectroscopy. / F.S. Fedorov, A.S. Varezhnikov, I. Kiselev, V.V. Kolesnichenko, I.N. Burmistrov, M. Sommer, D. Fuchs, C. Kübel, A.V. Gorokhovsky, V.V. Sysoev // Analytica Chimica Acta. - 2015. - Vol. 897. - P. 81.

342. Fedorov F.S. Impedance spectroscopy study of a response of potassium polytitanate based gas sensor. / F.S. Fedorov, V.V. Kolesnichenko, I. Kiselev, A.S. Varezhnikov, I.N. Burmistrov, A.V. Gorokhovsky, V.V. Sysoev // 2014 International Conference on Actual Problems of Electron Devices Engineering (APEDE), Saratov, Russia, 2014. - Vol. 2. - P. 170.

343. Fedorov F.S. A new gas-analytical device concept via implementation of impedance spectroscopy. / F.S. Fedorov, A.S. Varezhnikov, V.V. Kolesnichenko, I.N. Burmistrov, A.V. Gorokhovsky, V.V. Sysoev // 015 International Siberian Conference on Control and Communications (SIBCON), Omsk, Russia, 2015. - P. 1.

344. Potyrailo R.A. RFID sensors based on ubiquitous passive 13.56-MHz RFID tags and complex impedance detection. / R.A. Potyrailo, W.G. Morris, T. Sivavec, H.W. Tomlinson, S. Klensmeden, K. Lindh // Wireless Communications and Mobile Computing. - 2009. - Vol. 9. - № 10. -P. 1318.

345. Li Y. Monolithic CMOS multi-transducer gas sensor microsystem for organic and inorganic analytes. / Y. Li, C. Vancura, D. Barrettino, M. Graf, C. Hagleitner, A. Kummer, M. Zimmermann, K-U. Kirstein, A. Hierlemann // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2007. - Vol. 126. - № 2. - P. 431.

346. Barsan N. Fundamental and practical aspects in the design of nanoscaled SnO2 gas sensors: a status report. / N. Barsan, M. Schweizer-Berberich, W. Göpel // Fresenius' Journal of Analytical Chemistry. - 1999. - Vol. 365. - № 4. - P. 287.

347. Bruns M. Surface analytical characterization of SiO2 gradient membrane coatings on gas sensor microarrays. / M. Bruns, M. Frietsch, E. Nold, V. Trouillet, H. Baumann, R. White, A. Wright // Journal of Vacuum Science & Technology A. - 2003. - Vol. 21. - № 4.

348. Althainz P. Reception tuning of gas-sensor microsystems by selective coatings. / P. Althainz, A. Dahlke, M. Frietsch-Klarhof, J. Goschnick, H. J. Ache // Sensors and Actuators B: Chemical. - 1995. - Vol. 25. - № 1-3. - P. 366.

349. Nagle H.T. The how and why of electronic noses. / H.T. Nagle, R. Gutierrez-Osuna, S.S. Schiffman // IEEE Spectrum. - 1998. - Vol. 35. - № 9. - P. 22.

350. Ryan M.A. Polymer-carbon black composite sensors in an electronic nose for air-quality monitoring. / M.A. Ryan, A.V. Shevade, H. Zhou, M L. Homer // MRS Bulletin. - 2004. - Vol. 29. - № 10. - P. 714.

351. Young R.C. Electronic nose for space program applications. / R.C. Young, W.J. Buttner, B.R. Linnell, R. Ramesham // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2003. - Vol. 93. - № 1-3. - P. 7.

352. Ampuero S. The electronic nose applied to dairy products: A review. / S. Ampuero, J.O. Bosset // Sensors and Actuators B: Chemical. - 2003. - Vol. 94. - № 1. - P. 1.

353. Wackermannova M. Olfactory sensitivity in mammalian species. / M. Wackermannova, L. Pinc, L. Jebavy // Physiological Research. - 2016. - Vol. 65. - P. 369.

354. Liu T. Review on algorithm design in electronic noses: Challenges, status, and trends. / T. Liu, L. Guo, M. Wang, C. Su, D. Wang, H. Dong, J. Chen, W. Wu // Intelligent Computing. - 2023. -Vol. 2. - P. 12.

355. Gardner J.W. Pattern recognition in gas sensing. In Techniques and mechanisms in gas sensing. / J.W. Gardner, P.N. Bartlett; ed. P.T. Moseley, J.O.W. Norris, D.E. Williams. - Bristol: Adam Hinger, 1991. - P. 347.

356. Li M. Quantitatively discriminating alcohol molecules by thermally modulating NiO-based sensor arrays. / M. Li, H. Liu, J. Chang, T. Dai, K. Nagashima, Z. Deng, T. Yanagida, X. Fang, G. Meng // Advanced Materials Technologies. - 2022. - Vol. 7. - № 3. - P. 2100762.

357. Kang M. High Accuracy real-time multi-gas identification by a batch-uniform gas sensor array and deep learning algorithm. / M. Kang, I. Cho, J. Park, J. Jeong, K. Lee, B. Lee, D. Del Orbe Henriquez, K. Yoon, I. Park // ACS Sensors. - 2022. - Vol. 7. - № 2. - P. 430.

358. Zhu Z. A CO concentration prediction method for electronic nose based on TrellisNet with gated recurrent unit and dilated convolution. / Z. Zhu, Q. Jiang, M. Wang, M. Xu, Y. Zhang, F. Shuang, P. Jia // Microchemical Journal. - 2024. - Vol. 199. - P. 110014.

359. Fang C. Smart electronic nose enabled by an all-feature olfactory algorithm. / C. Fang, H-Y. Li, L. Li, H.-Y. Su, J. Tang, X. Bai, H. Liu // Advanced Intelligent Systems. - 2022. - Vol. 4. - № 7.

- P. 2200074.

360. Yang X. Recognition algorithms in e-nose: A review. / X. Yang, M. Li, X. Ji, J. Chang, Z. Deng, G. Meng // IEEE Sensors Journal. - 2023. - Vol. 23. - № 18. - P. 20460.

361. Jeong T.-I. Multichannel hierarchical analysis of time-resolved hyperspectral data for advanced colorimetric e-nose. / T.-I. Jeong, T.M. Nguyen, E. Choi, A. Gliserin, T.M.T. Nguyen, S. Kim, S. Kim, H. Kim, G.-H. Bak, N.-Y. Kim, V. Devaraj, E. Choi, J.-W. Oh, S. Kim // ACS Sensors. - 2024.

- Vol. 9. - № 6. - P. 2869.

362. Tirindelli R. From pheromones to behavior. / R. Tirindelli, M. Dibattista, S. Pifferi, A. Menini // Physiological Reviews. - 2009. - Vol. 89. - № 3. - P. 921.

363. Cotton S. If It Smells - It's Chemistry. [Electronic resource] / S. Cotton // RSC Education in Chemistry. - 2009. - https://edu.rsc.org/feature/if-it-smells-its-chemistry/2020168.article (accessed 01.01.2023).

364. Fedorov F.S. Capacitance performance of cobalt hydroxide-based capacitors with utilization of near-neutral electrolytes. / F.S. Fedorov, J. Linnemann, K. Tschulik, L. Giebeler, M. Uhlemann, A. Gebert // Electrochimica Acta. - 2013. - Vol. 90. - P. 166.

365. Solomatin M.A. The UV effect on the chemiresistive response of ZnO nanostructures to isopropanol and benzene at ppm concentrations in mixture with dry and wet air. / M.A. Solomatin, O.E. Glukhova, F.S. Fedorov, M. Sommer, V.V Shunaev, A.S. Varezhnikov, A.G. Nasibulin, N.M. Ushakov, V.V. Sysoev // Chemosensors. - 2021. - Vol. 9. - № 7. - P. 181.

366. Solomatin M.A. Bottom-up designing nanostructured oxide libraries under a lab-on-chip paradigm towards a low-cost highly-selective E-nose. / M.A. Solomatin, F.S. Fedorov, D.A. Kirilenko, V. Trouillet, A.S. Varezhnikov, I.V Kiselev, U. Geckle, M. Sommer, A.M. Bainyashev, V. Artemov, N.M. Ushakov, V.G. Goffman, M.K. Rabchinskii, A.G. Nasibulin, V.V. Sysoev// Analytica Chimica Acta. -2025. - Vol. 1333. - P. 343387.

367. Fedorov F.S. The potentiodynamic bottom-up growth of the tin oxide nanostructured layer for gas-analytical multisensor array chips. / F.S. Fedorov, D. Podgainov, A. Varezhnikov, A. Lashkov, M. Gorshenkov, I. Burmistrov, M. Sommer, V. Sysoev // Sensors. - 2017. - Vol. 17. - № 8. - P. 1908.

368. Vasilkov M.Yu. Field electron emission from titanium dioxide nanotubes. / M.Yu. Vasilkov, F.S. Fedorov, N.M. Ushakov, S.Yu. Suzdaltsev // Technical Physics Letters. - 2015. - Vol. 41. - № 1. -P. 29.