Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, доктор наук Гололобов Геннадий Петрович

• Гололобов Геннадий Петрович
• доктор наук
• 2026

Оглавление диссертации доктор наук Гололобов Геннадий Петрович

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1 ОСОБЕННОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ СОВРЕМЕННЫХ И ПЕРСПЕКТИВНЫХ ПОКРЫТИЙ КОНТАКТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИ КОММУТАЦИИ СЛАБОТОЧНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЦЕПЕЙ И ПРОЦЕССЫ, ПРОТЕКАЮЩИЕ В ЗОНЕ КОНТАКТИРОВАНИЯ

1.1 Характеристики и структурно-чувствительные свойства контактных покрытий и методы их оценки

1.1.1 Микрорельеф поверхности

1.1.2 Электрическая проводимость

1.1.3 Коррозионная и эрозионная стойкость

1.1.4 Микротвердость и износостойкость

1.1.5 Адгезия к основе

1.1.6 Термическая стойкость и теплопроводность

1.2 Типы контактных гальванопокрытий и области их использования

1.2.1 Покрытия на основе серебра

1.2.2 Покрытия на основе золота

1.2.3 Покрытия на основе металлов платиновой группы

1.2.4 Покрытия на основе сплавов тугоплавких металлов

1.3 Основные механические, электрические и физико-химические процессы, протекающие в зоне контактирования при прохождении электрического тока

1.4 Выводы к главе 1. Постановка задачи

ГЛАВА 2 ВЛИЯНИЕ ДИФФУЗИОННО-БАРЬЕРНЫХ СЛОЕВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ И КОММУТАЦИОННЫЕ СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ КОНТАКТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

2.1 Введение

2.2 Условия получения экспериментальных образцов и методика проведения исследований

2.3 Исследование микрорельефа золото-рутениевых покрытий контактных элементов

2.4 Исследование физико-морфологических характеристик золото-рутениевых покрытий контактных элементов

2.4.1 Исследование пористости

2.4.2 Исследование шероховатости поверхности

2.4.3 Исследование микротвердости

2.5 Исследование электрического сопротивления контакта золото-рутениевых покрытий контактных элементов

2.6 Коммутационные испытания золото-рутениевых покрытий контактных элементов

2.7 Выводы к главе

ГЛАВА 3 ВЛИЯНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОКРЫТИЯ КОНТАКТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИЗМЕНЕНИЯ

ЭЛЕКТРОСОПРОТИВЛЕНИЯ КОММУТАЦИОННЫХ УСТРОЙСТВ

3.1 Введение

3.2 Исследование коммутационных свойств покрытий контактных элементов для миниатюрных коммутационных устройств

3.2.1 Методика эксперимента

3.2.2 Исследование динамики изменения электрического сопротивления контакта в ходе коммутаций

3.3 Выводы к главе

ГЛАВА 4 ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОГО СИНТЕЗА ПОКРЫТИЙ КОНТАКТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ

4.1 Введение

4.2 Электрохимический синтез покрытий на основе сплава М^

4.2.1 Состав электролита, условия и режимы осаждения

4.2.2 Методики измерений

4.2.3 Морфологические особенности гальванопокрытий на основе сплава М^ полученных в режиме стационарного электролиза из пирофосфатного электролита

4.2.4 Влияние условий электрохимического осаждения на выход по току и содержание вольфрама в покрытии

4.2.5 Влияние условий электрохимического осаждения на морфологию поверхности и микроструктуру покрытий

4.2.6 Исследование структуры покрытий

4.2.7 Исследование условий получения покрытия без трещин максимальной толщины

4.2.8 Электрохимический синтез градиентных покрытий на основе сплава

4.2.9 Численное моделирование термомеханических напряжений градиентных гальванопокрытий на основе сплава М^

4.3 Электрохимический синтез покрытий на основе сплава Со^

4.3.1 Условия и режимы осаждения, методики проведения исследований

4.3.2 Влияние условий электрохимического осаждения на морфологию и структуру поверхности покрытий

4.3.3 Исследование условий получения покрытия без трещин максимальной толщины

4.3.4 Влияние плотности тока осаждения на выход по току и содержание вольфрама в покрытии

4.3.5 Влияние содержания вольфрама в сплаве и толщины покрытия на его микротвердость

4.4 Электрохимический синтез покрытий на основе сплава М-Мо

4.4.1 Условия и режимы осаждения, методики проведения исследований

4.4.2 Влияние режимов электрохимического осаждения на морфологию и структуру поверхности покрытий

4.4.3 Влияние режимов электрохимического осаждения на шероховатость поверхности покрытия и содержание молибдена в сплаве

4.5 Электрохимический синтез покрытий на основе сплава Co-Mo

4.5.1 Условия и режимы осаждения, методики проведения исследований

4.5.2 Влияние условий электрохимического осаждения на морфологию и структуру поверхности покрытий

4.5.3 Влияние плотности тока осаждения на выход по току и содержание молибдена в покрытии

4.6 Выводы к главе

ГЛАВА 5 ИССЛЕДОВАНИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОКРЫТИЙ КОНТАКТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ

5.1 Введение

5.2 Исследование электрического сопротивления контакта гальванопокрытий

на основе сплавов Ni-W, Co-W, Ni-Mo и Co-Mo

5.2.1 Методика эксперимента

5.2.2 Исследование зависимости электрического сопротивления контакта покрытий от силы нажатия

5.3 Исследование коррозионной стойкости гальванопокрытий на основе сплавов Co-W, Co-Mo, Ni-W и Ni-Mo

5.3.1 Методика эксперимента

5.3.2 Реакции взаимодействия растворов кислот с покрытиями

5.3.3 Влияние коррозионных сред на морфологию поверхности гальванопокрытий на основе сплава Co-W

5.3.4 Влияние коррозионных сред на морфологию поверхности гальванопокрытий на основе сплава Co-Mo

5.3.5 Влияние коррозионных сред на морфологию поверхности гальванопокрытий на основе сплава Ni-W

5.3.6 Влияние коррозионных сред на морфологию поверхности гальванопокрытий на основе сплава Ni-Mo

5.3.7 Исследование скорости коррозии гальванопокрытий на основе сплавов Co-W, Co-Mo, Ni-W и Ni-Mo по методу потери веса

5.4 Исследование износостойкости гальванопокрытий на основе сплавов CoW, Co-Mo, Ni-W и Ni-Mo

5.5 Выводы к главе

ГЛАВА 6 ИССЛЕДОВАНИЕ КОММУТАЦИОННЫХ СВОЙСТВ ПОКРЫТИЙ КОНТАКТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ОСНОВЕ БИНАРНЫХ СПЛАВОВ ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ

6.1 Введение

6.2 Применение покрытий на основе сплавов тугоплавких металлов в контактных элементах электромагнитного реле

6.2.1 Методика эксперимента

6.2.2 Исследование электрического сопротивления контакта экспериментальных контактных групп в ходе коммутационных испытаний

6.2.3 Исследование микрорельефа контактирующих поверхностей контактных групп

6.2.4 Исследование элементного состава контактирующих поверхностей контактных групп

6.2.5 Анализ основных факторов определяющих электромеханическую эрозию контактирующих поверхностей в ходе коммутаций

6.3 Применение покрытия на основе сплава Ni-W в контактных элементах МЭМС-коммутаторов малой и средней мощности

6.3.1 Методика эксперимента

6.3.2 Исследование микрорельефа покрытий контактных элементов разработанных МЭМС-коммутаторов

6.3.3 Коммутационные испытания разработанных МЭМС-коммутаторов с

покрытием контактных элементов на основе сплава М^

6.4 Выводы к главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЕ

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы исследования. Роль слаботочных коммутационных устройств, работающих по принципу сухого контакта, в современном радиоэлектронном оборудовании сложно переоценить. В связи с тенденцией к миниатюризации, площади перекрытия контактных элементов, являющихся основным компонентом таких коммутационных устройств, сократились до микрометрового и нанометрового диапазона размеров, а количество функционально связанных между собой контактов в единице объема увеличилось на порядки. Поэтому требования к контактным элементам существенно возросли, а необходимость снижения переходного сопротивления контакта и, следовательно, тепловыделения стала очень актуальной. В этих условиях контактные элементы в значительной степени определяют надежность и работоспособность коммутационных устройств, и, соответственно радиоэлектронного оборудования в целом, а также стоимость в условиях серийного производства.

Для обеспечения основных функциональных характеристик слаботочных коммутационных устройств, стабильности их работы и увеличения эксплуатационного ресурса используют покрытия контактных элементов.

Процессы, протекающие в зоне соприкосновения контактных элементов при коммутации электрического тока, очень сложны и не изучены в достаточной степени. Это обусловлено одновременным действием совокупности механических, электрических, тепловых, физико-химических и других факторов. В связи с этим покрытия должны отвечать ряду требований: обладать хорошей электропроводностью, стойкостью к электрической эрозии, коррозии и механическому износу, термической стойкостью, иметь хорошую адгезию к подложке, оптимальную микротвердость, шероховатость и создавать благоприятный режим трения контактирующих поверхностей. Также следует отметить, что в зависимости от особенностей конструкции коммутационного устройства, таких как, тип заполняющего газа или его отсутствие, величина силы

нажатия контактных элементов, геометрия и размеры контактной площадки, а также коммутируемой мощности набор необходимых требований и свойств будет отличаться.

Существующие в природе материалы, не могут соответствовать одновременно всем требованиям, предъявляемым к материалу покрытия контактного элемента. В определенной степени эту проблему удается решить использованием многослойных покрытий, в том числе и покрытий сплавами. Но и в этих случаях, особенно при разработке коммутационных устройств открытого типа с малым сдавливающим механическим усилием контактных элементов (например, МЭМС-коммутаторы), обеспечить низкое значение переходного сопротивления контакта (Яс) на уровне десятых долей Ом при выполнении цикла в несколько миллионов коммутаций не всегда представляется возможным. Таким образом, тема настоящей работы, связанная с разработкой физико-технологических основ формирования гальванопокрытий контактных элементов основных типов слаботочных коммутационных устройств, работающих по принципу сухого контакта, таких как, МЭМС-коммутаторы, герметизированные магнитоуправляемые контакты (герконы), а также реле, кнопки и переключатели и др. является важной и актуальной.

Степень разработанности темы. В течение десятилетий было исследовано, разработано и внедрено в производство значительное количество и многообразие конструкций гальванопокрытий контактных элементов, содержащих различные материалы такие как: золото и серебро, их сплавы с рядом легирующих компонентов, металлы платиновой группы родий и рутений, тугоплавкие металлы вольфрам и молибден, а также сплавы на их основе и др.

Основные современные подходы к исследованию и разработке покрытий контактных элементов достаточно полно отражены в монографиях Н.К. Мышкина, В.В. Кончица, и М. Брауновича. Много исследований в области технологий нанесения гальванопокрытий металлами и сплавами проведено Ю.Д. Гамбургом. Современные представления о механизмах физических процессов,

протекающих в зоне соприкосновения контактных элементов при коммутации электрического тока, а также результаты последних исследований конструктивных особенностей гальванопокрытий контактных элементов и используемых материалов обсуждаются на ежегодной крупнейшей международной конференции по электрическим контактам «IEEE Holm Conference on Electrical Contacts».

Научные и практические аспекты технологии гальванопокрытий для контактных элементов электромеханических реле, кнопок, переключателей и др. были окончательно сформулированы в 60-70 годах прошлого века и не претерпевали существенных изменений.

Большой объем исследований и разработок конструкций и композиций контактных гальванопокрытий герконов различных типов проведен исследователями АО «Рязанский завод металлокерамических приборов» А.Н. Быковым, О.Г. Локштановой, Л. Шишкиной, И.А. Зельцером и др., а также специалистами компании Oki (Япония). Использование результатов исследований П.М. Вячеславова, Г.К. Буркат, Б.С. Красикова и Н.Т. Васько позволило внедрить в производство и оптимизировать технологии золочения, родирования, рутенирования, а также нанесения гальванопокрытий на основе сплавов тугоплавких металлов. Ведутся разработки многослойного золото-рутениевого контактного гальванопокрытия с барьерными, антидиффузионными подслоями на основе сплавов Co-W и Ni-Mo. Показана его перспективность при использовании в миниатюрных герконах. Однако детального исследования слоев на этапах формирования покрытия с привлечением комплекса современных исследовательских методик, позволяющих проводить количественную оценку физико-морфологических характеристик, не проводилось. Для понимания механизмов, способствующих улучшению коммутационных свойств, при введении барьерных подслоев, также необходимо исследование динамики изменения Rc в ходе коммутационных испытаний.

Наибольшее внимание в настоящее время уделяется разработке покрытий для контактных элементов МЭМС-коммутаторов. Исследования в этой области проводят лаборатории компаний Schneider Electric Industries (Франция), COTO Technology (США), Oki (Япония), а также центр перспективных технологий и материалов РГРТУ. Значимых результатов достигли C. Coutier, M. Vincent, Z. Yang, A. Peschot. Основными проблемами при создании покрытий контактных элементов МЭМС-коммутаторов, обусловленными конструктивными особенностями этих устройств, являются существенные ограничения по толщине, малая сила контактного нажатия, и влияние окружающей атмосферы. Отмеченные факторы в совокупности определяют высокие значения (более 1 Ом) и нестабильность Rc устройств. Поэтому задача снижения этого основного параметра МЭМС-коммутаторов очень актуальна.

В последнее десятилетие наблюдается постоянно возрастающий интерес к гальванопокрытиям на основе бинарных сплавов тугоплавких металлов -молибдена и вольфрама с металлами группы железа - никелем и кобальтом. Об этом свидетельствует большое число публикаций в ведущих мировых периодических изданиях. В данном направлении наиболее интенсивными исследованиями занимаются научные коллективы из Китая (F.Z. Yang, Y.F. Guo, L. Huang, S.M. Zhou), Ирана (H. Alimadadi, M. Ahmadi, M. Aliofkhazraei), Японии (I.Matsui, Y. Takigawa, K. Higashi) и др. Гальванопокрытия на основе сплавов Ni-W, Co-W, Ni-Mo, Co-Mo характеризуются высокой твердостью, износостойкостью, коррозионной и термостойкостью. Также можно отметить очень высокую стойкость этих сплавов к электротермической эрозии и электропроводность. Этот тип покрытий в ряде применений может рассматриваться в качестве альтернативы контактным покрытиям на основе благородных металлов. При электрохимическом синтезе покрытий на основе данных сплавов, усилия исследователей в основном направлены на увеличение содержания тугоплавкой компоненты при снижении уровня внутренних напряжений и увеличении адгезии к подложке.

На данный момент отсутствует глубокое понимание комплекса основных механических, тепловых, электрофизических, физико-химических и других процессов, протекающих в зоне соприкосновения контактных элементов во время коммутации электрического тока. Сложные процессы, происходящие на контактирующих поверхностях, инициируют различные коррозионные явления, образование плохопроводящих пленок, оплавлений и эрозионный перенос материала с одной контактирующей поверхности на другую и др. что существенно ограничивает ресурс коммутационных устройств и препятствует снижению значений Яс и его стабильности. Их интенсивность в каждом типе коммутационного устройства различна. Она находится во взаимосвязи со свойствами материала и структурой материала покрытия, а также с конструктивными особенностями и параметрами устройств. Последние достижения в области электрохимического осаждения металлов и сплавов, в частности, аппаратурного оформления процесса электрохимического синтеза, а также методов диагностики покрытий и морфологии поверхности, открыли новые возможности в поиске перспективных исследовательских подходов и разработке физико-технологических основ совершенствования функциональных характеристик покрытий контактных элементов, что и определяет актуальность представленной работы.

Целью диссертационной работы является разработка физико-технологических основ формирования гальванопокрытий контактных элементов с учетом особенностей их функционирования и процессов в зоне контакта для совершенствования характеристик основных типов слаботочных коммутационных устройств.

Основные задачи:

1. Анализ особенностей функционирования основных типов слаботочных коммутационных устройств, а также процессов, протекающих в зоне соприкосновения контактных элементов при коммутации электрического тока.

2. Обоснование и разработка исследовательских подходов и технологических решений по созданию и совершенствованию гальванопокрытий для контактных элементов основных типов слаботочных коммутационных устройств, таких как МЭМС-коммутаторы, герконы, а также электромеханические реле, кнопки, переключатели и др.

3. Разработка метрологического обеспечения, методик и оборудования для реализации комплексного исследования свойств и функциональных характеристик получаемых гальванопокрытий, а также испытаний экспериментальных коммутационных устройств.

4. Исследование влияния диффузионно-барьерных подслоев на характеристики гальванопокрытий контактных элементов и параметры коммутационных устройств.

5. Разработка макета миниатюрного коммутационного устройства с гальванопокрытием контактных элементов на основе благородных металлов и проведение исследований влияния толщины покрытия и шероховатости контактирующей поверхности на закономерности изменения Rc в ходе коммутационного цикла.

6. Исследование процессов электрохимического осаждения перспективных контактных покрытий на основе бинарных сплавов тугоплавких металлов - W и Mo с металлами группы железа - Ni и Co, обеспечивающих увеличение толщины, содержания тугоплавкой компоненты и снижение внутренних напряжений, а также управление структурой сплава и характеристиками микрорельефа поверхности.

7. Проведение сравнительных исследований основных функциональных характеристик разработанных гальванопокрытий на основе бинарных сплавов Ni-W, Co-W, Ni-Mo и Co-Mo, таких как Rc, коррозионная стойкость и износостойкость.

8. Испытания коммутационных устройств с разработанными гальванопокрытиями контактных элементов на основе сплавов Ni-W, Co-W, Ni-

Mo и Co-Mo; исследование факторов определяющих динамику изменения Rc и ресурс экспериментальных коммутационных устройств.

Научная новизна диссертационной работы состоит в следующем:

1. На основе анализа процессов деградации контактирующих поверхностей различных типов слаботочных коммутационных устройств, разработаны физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов, учитывающие особенности их функционирования и способствующие улучшению характеристик и увеличению эксплуатационного ресурса.

2. Предложено введение в структуру гальванопокрытия из благородных металлов, используемого в контактных элементах слаботочных коммутационных устройств, дополнительного диффузионно-барьерного подслоя на основе сплавов Co-W или Ni-Mo. Это способствует снижению интенсивности процессов образования очагов коррозии контактирующей поверхности, а также накопления плохопроводящих пленок, являющихся следствием диффузии материала подложки. Установлены факторы, влияющие на физико-механические, морфологические и барьерные свойства формируемого покрытия.

3. Установлено влияние шероховатости поверхности в интервале 30 - 60 нм и толщины в интервале 100 - 300 нм гальванопокрытия из благородных металлов на уровень Rc коммутационных устройств, что позволяет обеспечить его минимальное значение в установившемся коммутационном режиме.

4. Определена закономерность изменения Rc коммутационных устройств с гальванопокрытием на основе благородных металлов в ходе коммутационного цикла. Начальный спадающий участок зависимости Rc от числа коммутаций и участок стабилизации параметра определяются совокупностью физико-механических свойств материала покрытия и шероховатости контактирующей поверхности. Дальнейшее повышение Rc, до окончания коммутационного цикла, в основном связано с коррозионными процессами на контактирующей поверхности, а также возникновением плохопроводящих пленок.

5. Разработана методика электрохимического осаждения бинарного сплава Ni-W из пирофосфатного электролита в режиме импульсного тока, обеспечивающая возможность управления структурой, свойствами и морфологией поверхности формируемых слоев, что позволяет получать гальванопокрытия контактных элементов с высокой стойкостью к электроэрозии, термическим воздействиям, коррозионной и износостойкостью.

6. Разработан способ управления элементным составом гальванопокрытия

на основе сплава Ni-W, основанный на изменении катодной плотности тока в

2 2

процессе осаждения. При этом, в диапазоне плотности тока от 1 А/дм до 5 А/дм наблюдается линейная зависимость содержания W в сплаве от катодной плотности тока и формируется градиентное покрытие. Это позволяет увеличить адгезионную прочность покрытия и уменьшить внутренние напряжения.

7. Разработана методика электрохимического осаждения сплава Co-W, обеспечивающая возможность получения покрытий большой толщины (до 38 мкм) с высоким содержанием вольфрама, превышающим 21 ат.%. Покрытие характеризуется максимальными показателями микротвердости и высокими диффузионно-барьерными свойствами.

8. Разработана методика электрохимического осаждения покрытий на основе бинарного сплава Co-Mo из цитратно-пирофосфатного электролита с использованием режима импульсного электролиза, позволяющая в два раза снизить интенсивность процесса трещинообразования в сравнении с режимом стационарного электролиза.

9. Установлены основные механизмы, определяющие деградацию контактирующей поверхности и характер изменения Rc коммутационных устройств открытого и закрытого типов с гальванопокрытиями на основе благородных металлов и сплавов тугоплавких металлов, при коммутации тока до 1 А в условиях силы контактного нажатия до 10 Н. Определено влияние морфологии и параметров структуры поверхностного рельефа покрытий на степень эрозионного износа в ходе коммутационного цикла.

Теоретическая и практическая значимость работы:

В ходе исследований использован системный анализ теоретических и технологических проблем, связанных с разработкой физико-технологических основ формирования гальванопокрытий контактных элементов для основных типов слаботочных коммутационных устройств.

1. Определены и проанализированы основные процессы, протекающие в зоне соприкосновения контактных элементов коммутационных устройств, при коммутации электрического тока. Установлены факторы, способствующие деградации контактирующих поверхностей в различных условиях эксплуатации.

2. Обоснованы исследовательские подходы и технологические решения по созданию и совершенствованию функциональных характеристик гальванопокрытий контактных элементов для различных типов слаботочных коммутационных устройств.

3. Установлены закономерности изменения Яс слаботочных коммутационных устройств в ходе эксплуатационного цикла.

4. На основе анализа механизмов образования фактической площади контакта слаботочных коммутационных устройств и прохождения электрического тока через нее, теоретически обосновано и установлено, что снижению вероятности локализации тепловых, электрических и др. процессов в контактной зоне, а также уменьшению уровня Яс, способствует наибольшая плотность расположения пятен контакта, их стабильность и равномерность распределения в номинальной площади контакта.

5. Разработана методика, проведен численный расчет и сравнительная оценка термомеханических напряжений внутри структуры однородного и градиентного гальванопокрытий на основе сплава М^, а также межслоевых термомеханических напряжений на границе с подложкой. Сопоставление зависимостей термомеханических напряжений от толщины, для градиентной и однородной структур показало, что в случае однородного покрытия, на границе подложка-покрытие наблюдаются значительные термомеханические напряжения,

обусловленные разницей свойств материалов. Расчетным путем установлено, что градиентная структура покрытия с увеличением содержания тугоплавкой компоненты в гальваническом сплаве в интервале 0 - 10 ат.% от подложки к поверхности, в 5 раз снижает средний уровень термомеханических напряжений на границе с подложкой, обеспечивая большую стойкость покрытия к отслоению.

6. Установлены условия, режимы и способы электрохимического осаждения покрытий на основе бинарных сплавов Ni-W, Co-W, Ni-Mo, Co-Mo, позволяющие управлять составом сплава, структурой, свойствами, а также обеспечивать снижение внутренних напряжений.

7. При исследовании коррозионной стойкости гальванопокрытий на основе бинарных сплавов Ni-W, Co-W, Ni-Mo, Co-Mo выявлены особенности коррозионных преобразований и установлен преобладающий тип коррозии в каждом случае.

8. Экспериментально определено, что использование дополнительного диффузионно-барьерного подслоя на основе бинарных сплавов ^-W или Ni-Mo в конструкции золото-рутениевого гальванопокрытия контактных элементов геркона МКА-14 позволяет существенно (на 4 млн коммутаций) увеличить коммутационный ресурс устройства и минимизировать Rc на большей части коммутационного интервала.

9. Получены количественные данные о влиянии толщины и шероховатости рутениевого гальванопокрытия на уровень Rc миниатюрного МЭМС-коммутатора в установившемся коммутационном режиме.

10. Разработанная методика и условия электрохимического синтеза сплава Ni-W позволяют получить образцы контактного гальванопокрытия, которое по ряду функциональных характеристик, таких как коррозионная стойкость и контактное электросопротивление существенно превосходят известные результаты.

11. С использованием разработанных гальванопокрытий на основе сплавов с вольфрамом обеспечена возможность увеличения эксплуатационного ресурса

электромеханического реле с серебряными контактными элементами в режиме коммутации резистивной нагрузки при токе до 1 A и рабочем напряжении 12 В в 1,8 - 1,9 раза.

12. Экспериментально показано, что гальванопокрытие на основе бинарного сплава Ni-W может быть использовано для формирования контактных элементов в МЭМС-коммутаторе средней мощности.

Методология и методы исследования. Эксперименты по электрохимическому синтезу и исследованию образцов гальванопокрытий и экспериментальных коммутационных устройств проводились с использованием современного поверенного и калиброванного технологического и исследовательского оборудования.

Образцы многослойных контактных золото-рутениевых гальванопокрытий и экспериментальные миниатюрные герконы на их основе были получены в условиях близких к реальному технологическому процессу в лабораториях АО «Рязанский завод металлокерамических приборов». Все технологические этапы получения экспериментальных образцов гальванопокрытий на основе бинарных сплавов тугоплавких металлов были реализованы в лабораториях центра перспективных технологий и материалов РГРТУ с использованием комплекса специализированного оборудования пробоподготовки и электроосаждения, включающего химический реактор LR-2.ST (IKA, германия), магнитную мешалку с подогревом C-MAG HS7 (IKA, германия), потенциостаты IPC Pro 3A (ООО «НТФ «Вольта», Россия), стационарный рН-метр Edge HI 2020 (Hanna Instruments, США), аналитические весы XA 82/220/Y (RADWAG, Польша) и др. Для приготовления электролитов применялись химические реактивы квалификации не ниже «ч.д.а.».

Для исследования экспериментальных образцов использовались ресурсы и оборудование Регионального центра зондовой микроскопии коллективного пользования и Центра аналитических исследований РГРТУ, а также Регионального центра коллективного пользования аналитическим,

экспериментальным и технологическим оборудованием «Физика и технология микро- и наноструктур» института физики микроструктур РАН. Для исследования морфологии и структуры микрорельефа использовались металлографический цифровой видеомикроскоп МЕТ 5 (ООО «Альтами», Россия), растровый электронный микроскоп JSM-6610LV (JEOL, Япония) и сканирующий зондовый микроскоп «NTEGRA Spectra» (NT-MDT, Россия). Исследование структуры сплава проводилось с использованием рентгеновского дифрактометра D8 Discover (Bruker, Германия). Анализ элементного состава проводился рентгенофлуоресцентным энергодисперсионным детектором INCA X-MAX (Oxford Instruments, США). Микротвердость образцов измерялась по методу Виккерса микротвердомером ПМТ - 3М (ЛОМО, Россия).

Функциональные характеристики образцов гальванопокрытий, такие как контактное электрическое сопротивление, коррозионная стойкость и износостойкость исследовались с использованием стандартных методик на специально разработанных стендах и испытательных установках. Доверительные интервалы значений измеряемых величин были рассчитаны для доверительной вероятности 0,95.

Теоретические исследования выполнены с использованием численных методов вычислений в пакете программ конечно-элементного анализа COMSOL Multiphysics. Для проведения необходимых расчетов и обработки экспериментальных данных использован программный пакет MATLAB.

Научные положения, выносимые на защиту:

1. Обоснование принципов построения контактной системы слаботочных коммутационных устройств различных типов, в зависимости от условий их функционирования и процессов в зоне контакта на основе анализа явлений деградации контактирующих поверхностей в ходе эксплуатационного цикла.

2. Эффективным способом снижения диффузии материала подложки, способствующей образованию плохопроводящих пленок на поверхности гальванопокрытия контактных элементов при термовоздействии и

электрофизических процессах, сопровождающих коммутационный цикл, является использование в его структуре барьерных слоев из сплавов Со^ или М-Мо. Введение в структуру золото-рутениевого покрытия герметизированных магнитоуправляемых коммутационных устройств дополнительного подслоя из этих сплавов позволяет снизить значение сопротивления контакта во второй части коммутационного интервала и увеличить коммутационный ресурс устройств на 30 %.

3. Управление уровнем шероховатости поверхности покрытия контактных элементов, полученного методом электрохимического осаждения, позволяет увеличить фактическую площадь контакта и обеспечить минимизацию Яс в долговременном коммутационном режиме (порядка 3 106 циклов коммутации). Минимальное Яс миниатюрного коммутационного устройства на уровне 0,05 Ом достигается при значении начальной шероховатости рутениевого гальванопокрытия около 40 нм при толщине 200 нм.

4. Для получения покрытия контактных элементов с высокими показателями теплофизических констант, электроэрозионной, коррозионной и износостойкости, работающих в интервале силы контактного нажатия 10-1 - 10 Н и коммутируемой мощности 0,01 - 100 Вт, предложено использование бинарного сплава М^. Применение режима импульсного тока со скважностью 20% при электрохимическом синтезе сплава М^ с высоким содержанием тугоплавкой компоненты на уровне 18 ат.% из пирофосфатного электролита с уровнем рН 9,5 обеспечивает возможность получения однородного по структуре покрытия толщиной до 6,2 мкм без трещин.

5. Электроэрозионная, коррозионная и износостойкость гальванопокрытия на основе бинарного сплава М^ повышается за счет увеличения концентрации W в сплаве. Такая возможность, с одновременным снижением внутренних напряжений и термомеханических напряжений на границе пленка-подложка, обеспечивается градиентной структурой слоя, в которой содержание W возрастает от подложки к поверхности при изменении катодной плотности тока в процессе

осаждения. При электрохимическом синтезе сплава М^ из пирофосфатного

Л

электролита с pH 9,5 в интервале плотности тока от 5 до 1 А/дм наблюдается линейная зависимость содержания W в сплаве покрытия от катодной плотности тока.

Список литературы диссертационного исследования доктор наук Гололобов Геннадий Петрович, 2026 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Гнусин, Н.П. Шероховатость электроосажденных поверхностей / Н.П. Гнусин, Н.Я. Коварский. - Новосибирск: Наука, 1970. - 236 с.

2. Мышкин, Н.К. Электрические контакты / Н.К. Мышкин, В.В. Кончиц, М. Браунович. - Долгопрудный: Интеллект, 2008. - 560 с.

3. Антропов, Л.И. // Труды Новочеркасского политехнического института. -1954. - №1. - С. 25.

4. Iwamoto, A. Stable growth and kinetic rougheing and electroheming deposition / A. Iwamoto, T. Yoshinobu, H. Iwasaki // Phys. Lett. - 1994. - Vol. 72, № 25. - P. 4025-4028.

5. Yeh, W.K. Effect of surfase pretreatment of submicron contact hole on selective tungsten chemical vapor deposition / W.K. Yeh, M.Ch. Chen, M.Sh. Lin // J. Vac. Sci. Technol. - 1996. - Vol. 14, № 1. - P. 167-173.

6. Jorgensen, J.F. The scanning tunneling microscope and surface characterization / J.F. Jorgensen, K. Carnelro, L.L. Madsen // Nanotechnology. - 1998. - Vol. 4. - P. 152-158.

7. Schonenberger, C. Scaning tunneling microscope as a tool to study surfaсe roughness of sputtered thin films / C. Schonenberger, S.F. Alvarado, C. Ortiz // J. Appl. Phys. - 1989. - Vol. 66, № 9. - P. 4258-4261.

8. Hegde, R.I. Surface topography of doped polisilicon / R.I. Hegde, M. Wayne, M. Pauson, Th.J. Tobin // J. Vac. Sci. Technol. - 1995. - Vol. 13, № 4. - P. 1434-1441.

9. Артюнов, П.А. Феноменологическое описание характеристик поверхности, измеряемых методом атомно-силовой микроскопии / П.А. Артюнов, А.Л. Толстихина // Кристаллография. - 1998. - Т. 43, № 3. - С. 524-534.

10. Быков, В.А. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности / В.А. Быков, М.И. Лазарев, С.А. Саунин // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. - 1997. - № 5. - С. 7-14.

11. Реми, Г. Курс неорганической химии / Г. Реми. - М.: Мир, 1966. - 436 с.

12. Груев, И.Д. Гальваническое серебрение, золочение и паладирование в производстве радиоэлектронной аппаратуры / И.Д. Груев, Н.И. Матвеев, Н.Г. Сергеева. - М.: Радио и связь, 1981. - 144 с.

13. Груев, И.Д. Электрохимические покрытия изделий радиоэлектронной аппаратуры: Справочник / И.Д. Груев, Н.И. Матвеев, Н.Г. Сергеева. - М.: Радио и связь, 1988. - 304 с.

14. Справочное руководство по гальванотехнике / пер. с нем. Н.Б. Сциборовской; под ред. В.И. Лайнера. - М.: Металлургия, 1972. - 487 с.

15. Гамбург, Ю.Д. Электрохимическая кристаллизация металлов и сплавов / Ю.Д. Гамбург. - М.: Янус-К, 1997. - 384 с.

16. Гамбург, Ю.Д. Гальванические покрытия. Справочник по применению / Ю.Д. Гамбург. - М.: Техносфера, 2006. - 216 с.

17. Wu, Y. Influence of boric acid on the electrodepositing process and structures of Ni-W alloy coating / Y. Wu, D. Chang, D. Kim, S.C. Kwon // Surf. Coat. Technol. -2003. - Vol. 173. - P. 259-264.

18. Локштанова, О.Г. Технология электроосаждения и физико-химические свойства сплава золото-кобальт / О.Г. Локштанова, Н.П. Федотьев, П.М. Вячеславов // ЖПХ. - 1968. - № 2, Ч. 1. - С. 296.

19. Федотьев, Н.П. Технология электроосаждения и физико-химические свойства сплава золото-никель / Н.П. Федотьев, П.М. Вячеславов, О.Г. Локштанова // ЖПХ. - 1967. - № 10. - С. 2253.

20. Schmidbauer, S. Adhesion of metal coatings on ceramics deposited by different techniques / S. Schmidbauer, J. Hahn, F. Richter // Surf. Coat. Technol. - 1993. - Vol. 59. - P. 325-329.

21. Piekoszenwski, J. Brazing of alumina ceramics modified by pulsed plasma beams combined with arc PVD treatment / J. Piekoszenwski, A. Krajewski et. all. // Vacuum. - 2003. - Vol. 70. - P. 307-312.

22. Zhu, S. Joining of AlN ceramic to metals usings sputtered Al or Ti films / S. Zhu, W. Wlosinski // J. Mater. Proc. Technol. - 2001. - Vol. 109. - P. 277-282.

23. Pershin, V. Effect of substrate temperature on Adhesion Strength of plasma-sprayed nickel coatings / V. Pershin, M. Lufitha et. all. // Journal of Thermal Spray Technology. - 2003. - Vol. 12 (3). - P. 370-376.

24. Костиков, В.И. Свойства плазменных вольфрамовых покрытий / В.И. Костиков, Ю.А. Шестерин и др. // Физика и химия обработки материалов. - 1982. - № 6. - С. 47-51.

25. Liao, Yi-de. Evaluation for adhesion strength of coating and substrate by burying beforehand specimen / Y.-de. Liao, Z.-y. Li, G.-qun. Tang // Journal of Wuhan University of Technology. - 2003. - Vol. 18. - P. 31-35.

26. Marshall, D.B. Measurement of adherence of residually stressed thin films by indentation. I. Mechanics of interface delamination / D.B. Marshall, A.G. Evans // Appl. Phys. - 1984. - Vol. 56. - P. 2632-2638.

27. Rosenfeld, L.G. Use of the microindentation technique for determining interfacial fracture energy / L.G. Rosenfeld, J.E. Ritter, T.J. Lardner, M.R. Lin // J. Appl. Phys. - 1990. - Vol. 67. - P. 3291-3296.

28. Cordill, M.J. The effects of plasticity on adhesion of hard films on ductile interlayers / M.J. Cordill, N.R. Moody, D.F. Bahr // Acta Mater. - 2005. - Vol. 53. - P. 2555-2562.

29. De Boer, M.P. Microwedge indentation of the thin film fine line. P. II. Experiment / M.P. De Boer, W.W. Gerberich // Acta Mater. - 1996. - Vol. 44. - P. 31773187.

30. Begley, M.R. Analysis of a Wedge Impression Test for Measuring the Interface Toughness between Films-Coatings and Ductile Substrates / M.R. Begley, D.R. Mumm, A.G. Evans, W.W. Hutchinson // Acta Mater. - 2000. - Vol. 48. - P. 3211-3220.

31. Burnett, P. A measurement of film delamination energy / P. Burnett, D. Rickersby // Thin Solid Films. - 1987. - Vol. 154. - P. 403-409.

32. Tvergaard, V. A residual stress evaluation by nanoindentation technique / V. Tvergaard, J.W. Hutchinson // J. Mech. Phys. Solids. - 1996. - Vol. 44. - Р. 789-795.

33. Палатник, Л.С. Фазовые равновесия в многокомпонентных системах / Л.С. Палатник, А.И. Ландау. - Харьков: Изд-во Харьк. ун-та, 1961. - 406 с.

34. Sauer, H. Modern Relay Technology. 2nd Edition / H. Sauer. - Heidelberg: Huethig Verlag, 1986. - 357 p.

35. Johler, W. Switching contacts for low level applications / W. Johler // Proceedings of 21st International Conference on Electrical Contacts. Zurich, Switzerland. - 2002. - P. 87-100.

36. Вячеславов, П.М. Сравнительные характеристики физико-механических свойств электроосажденных сплавов серебра / П.М. Вячеславов, Г.К. Буркат, Н.А. Грекова, О.Г. Локштанова, А.И. Коваль // Вопросы радиоэлектроники. Серия электроника и вычислительная техника. - 1977. - Вып. 10. - С. 19.

37. Локштанова, О.Г. Фазовая структура и структуро-чувствительные свойства электролитических сплавов золота с металлами группы железа / О.Г. Локштанова, П.М. Вячеславов, Т.П. Смородина // ЖПХ. - 1972. - Т. 45, № 8. - С. 1755.

38. Локштанова, О.Г. Контактное покрытие золото-кобальт и методы его контроля / О.Г. Локштанова, Г.Д. Кадышева, Г.И. Елисеева // Электронная техника. - 1977. - Серия 4. - Вып. 3. - С. 130.

39. Локштанова, О.Г. Исследование контактирующих поверхностей герконов с помощью электронной Оже-спектроскопии / О.Г. Локштанова, О.Д. Протопопов, А.И. Руденко, Н.В. Евдокимова // Электронная техника. - 1977. -Серия 4. - Вып. 3. - С. 147.

40. Вячеславов, П.М. Гальванотехника благородных и редких металлов / П.М. Вячеславов, С.Я. Грилихес, Г.К. Буркат. - Л.: Машиностроение, 1970. - 248 с.

41. Paul, B. Electrodeposited Ruthenium as an Electrical Contact Material: A review of its properties and economic advantages / B. Paul, C. Hydes // Plat. Met. Rev.

- 1980. - Vol. 24. - P. 50.

42. Jones, T. Electroplating of ruthenium / T. Jones // Met. Finish. - 2001. - Vol. 6.

- P. 121-128.

43. Карабанов, С.М. Опыт использования рутениевого гальванопокрытия в производстве герконов / С.М. Карабанов, А.Н. Быков // Электронная промышленность. - 2003. - № 4. - С. 37.

44. Белецкий, В.М. Сравнительное изучение электрохимического восстановления комплекса рутения / В.М. Белецкий, Н.Е. Нечаева, Л.Б. Харькова, Г.Н. Сосновская // Журнал прикладной химии. - 1987. - Т. 60, № 4. - С. 760-765.

45. Васько, А.Т. Электрохимия молибдена и вольфрама / А.Т. Васько. - Киев: Наукова думка, 1977. - 171 с.

46. Sunwang, N. The effects of heat treatments on hardness and wear resistance in Ni-W alloy coatings / N. Sunwang, P. Wangyao, Y. Boonyongmaneerat // Surf. Coat. Technol. - 2011. - Vol. 206. - P. 1096-1101.

47. Lee, H.B. Synergy between corrosion and wear of electrodeposited Ni-W coating / H.B. Lee // Tribol. Lett. - 2013. - Vol. 50. - P. 407-419.

48. Udompanit, N. Wear response of composition-modulated multilayer Ni-W coatings / N. Udompanit, P. Wangyao, S. Henpraserttae, Y. Boonyongmaneerat // Adv. Mater. Res. - 2014. - Vol. 1025-1026. - P. 302-309.

49. Sriraman, K. Corrosion behaviour of electrodeposited nanocrystalline Ni-W and Ni-Fe-W alloys / K. Sriraman, S.G.S. Raman, S. Seshadri // Mater. Sci. Eng. A. -2007. - Vol. 460. - P. 39-45.

50. Tsyntsaru, N. Modern trends in tungsten alloys electrodeposition with iron group metals / N. Tsyntsaru, H. Cesiulis, M. Donten, J. Sort, E. Pellicer, E.J. Podlaha-Murphy // Surf. Eng. Appl. Electrochem. - 2012. - Vol. 48. - P. 491.

51. Capel, H. Sliding wear behaviour of electrodeposited cobalt-tungsten and cobalt-tungsten-iron alloys / H. Capel, P.H. Shipway, S.J. Harris // Wear. - 2003. -Vol. 255. - P. 917.

52. Su, F.-H. Microstructure and tribological property of nanocrystalline Co-W alloy coating produced by dual-pulse electrodeposition / F.-H. Su, P. Huang // Mater. Chem. Phys. - 2012. - Vol. 134. - P. 350.

53. Fathollahzade, N. A comparative study on the electrochemical behaviour of amorphous and nanocrystalline cobalt-tungsten electrodeposited coatings / N. Fathollahzade, K. Raeissi // Trans. IMF. - 2014. - Vol. 92. - P. 253-261.

54. Yapontseva, Y.S. Electrodeposition of Co-Mo alloys from a citrate-pyrophosphate electrolyte / Y.S. Yapontseva, V.A. Gromova, V.S. Kublanovsky, A.I. Dikusar // Ukr. Khim. Zhurn. - 2008. - Vol. 74. - P. 44-48.

55. Kublanovsky, V.S. Corrosion and magnetic properties of electrolytic Co-Mo alloys / V.S. Kublanovsky, Y.S. Yapontseva, Yu.N. Troshchenkov, V.A. Gromova // Rus. J. Appl. Chem. - 2010. - Vol. 83. - P. 440-444.

56. Masdek, N.R.N. Synthesis and characterization of Co-Mo alloy coating / N.R.N. Masdek, Z. Salleh, M.H. Koay, M.A. Ismail // J. Phys. Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. - 2018. - Vol. 380. - 012012.

57. Chassaing, E. Mechanism of nickel-molybdenum alloy electrodeposition in citrate electrolytes / E. Chassaing, K. Vu Quang, R. Wiart // J. Appl. Electrochem. -1989. - Vol. 19. - P. 839-844.

58. Crousier, J. Influence of substrate on the electrodeposition of nickel-molybdenum alloys / J. Crousier, M. Eyraud, J.-P. Crousier, J.-M. Roman // J. Appl. Electrochem. - 1992. - Vol. 22. - P. 749-755.

59. Beltowska-Lehman, E. Pulse electrodeposition of Ni-Cu-Mo alloys / E. Beltowska-Lehman, P. Ozga, E. Chassaing // Surf. Coat. Technol. - 1996. - Vol. 78. - P. 233-237.

60. Авт. свид. 396734 СССР, МПК H 01 Н 1/66 (2006.01). Контактная система электромагнитного реле / А.Т. Васько, Л.И. Рабкин, А.В. Городынский, И.Н. Евгенова, В.Н. Зайченко, Р.Г. Егорова. - № 1710709/24-7; заявл. 01.11.1971; опубл. 29.08.1973, Бюл. № 36.

61. Do, T.K. A reliability study of a new nanocrystalline nickel alloy barrier layer for electrical contacts / T.K. Do, A. Lund // 2010 Proceedings of the 56th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts. Charleston, USA. - 2010. - P. 1-9.

62. Демкин, Н.Б. Контактирование шероховатых поверхностей / Н.Б. Демкин. - М.: Наука, 1970. - 227 с.

63. Greenwood, J.A. Contact of nominally flat surfaces / J.A. Greenwood, J.B.R. Williamson // Proc. Roy. Soc. - 1966. - Vol. A295. - P. 300-319.

64. Holm, R. Electrical Contacts / R. Holm. - New York: Springer, 1979.

65. Timsit, R.S. Electrical conduction through small contact spots / R.S. Timsit // Proceedings of 50th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts. Montreal, Canada. -2004. - P. 184-190.

66. Greenwood, J.A. Constriction resistance and the real area of contact / J.A. Greenwood // Brit. J. Appl. Physics. - 1966. - Vol. 17. - P. 1621-1631.

67. Braunovic, M. Electrical contacts: fundamentals, applications and technology / M. Braunovic, N.K. Myshkin, V.V. Konchits. - New York: CRC Press, 2007. - 639 p.

68. Кончиц, В.В. Триботехника электрических контактов / В.В. Кончиц, В.В. Мешков, Н.К. Мышкин. - Минск: Наука и техника, 1986. - 255 с.

69. Свириденок, А.И. Механика дискретного фрикционного контакта / А.И. Свириденок, С.А. Чижик, М.И. Петроковец. - Минск: Наука и техника, 1990. - 272 с.

70. Трофимов, В.И. Рост и морфология тонких пленок / В.И. Трофимов, В.А. Осадченко. - М.: Энергоатомиздат, 1993. - 272 с.

71. Abbot, W.H. The role of electroplates in contact reliability / W.H. Abbot // In Proceedings of 49th IEEE Holm Conferece on Electrical Contacts. Washington, USA. -2003. - P. 150.

72. Поветкин, В.В. Структура электрохимических покрытий / В.В. Поветкин, И.М. Ковенский. - М.: Металлургия, 1989. - 136 с.

73. Карабанов, С.М. Исследование комплексного состава сульфаматных электролитов рутенирования / С.М. Карабанов, О.Г. Локштанова // Журнал прикладной химии. - 2008. - T. 81, Вып. 6. - С. 961.

74. Bernasconi, R. Ruthenium Electrodeposition from Deep Eutectic Solvents / R. Bernasconi, A. Lucotti, L. Nobili, L. Magagnin // J. Electrochem. Soc. - 2018. - Vol. 165. - P. 13.

75. William, D.S. Ruthenium Electrodeposition from Water-in-Salt Electrolytes and the Influence of Tetrabutylammonium / D.S. William, H. Qiang // J. Electrochem. Soc. - 2020. - Vol. 167. - P. 6.

76. Shishkina, L. Experience of Development and Application of the Electroplated Coatings Used in the Industrial Production of Magnetically Operated Contacts / L. Shishkina, S.M. Karabanov, O.G. Lokshtanova // Electroplat. Surf. Treat. - 2011. - Vol. 2. - P. 20-26.

77. Kondati-Natarajan, S. The role of Ru passivation and doping on the barrier and seed layer properties of Ru-modified TaN for copper interconnects / S. Kondati-Natarajan, C.-L. Nies, M. Nolan // J. Chem. Phys. - 2020. - Vol. 152. - 144701.

78. Li, Z. Recent Advances in Barrier Layer of Cu Interconnects / Z. Li, Y. Tian, C. Teng, H. Cao // Materials. - 2020. - Vol. 13. - P. 5049.

79. Popczyk, M. The Influence of Current Density of Electrodeposition on the Electrochemical Properties of Ni-Mo Alloy Coatings / M. Popczyk, B. Losiewicz // Solid St. Phen. - 2015. - Vol. 228. - P. 269-272.

80. Ma, L. Electrodeposition and Characterization of Co-W Alloy from Regenerated Tungsten Salt / L. Ma, X. Xi, Z. Nie, T. Dong, Y. Mao // Int. J. Electrochem. Sci. - 2017. - Vol. 12. - P. 1034-1051.

81. Allahyarzadeh, M.H. Ni-W electrodeposited coatings: Characterization, properties and applications / M.H. Allahyarzadeh, M. Aliofkhazraei, A.R. Rezvanian, V. Torabinejad, A.R. Sabour Rouhaghdam // Surf. Coat. Technol. - 2016. - Vol. 307. P. 978-1010.

82. Kublanovsky, V.S. Electrocatalytic Properties of Co-Mo Alloys Electrodeposited from a Citrate-Pyrophosphate Electrolyte / V.S. Kublanovsky, Yu.S. Yapontseva // Electrocatalysis. - 2014. - Vol. 5. - P. 372-378.

83. Tsyntsarua, N. Structural, magnetic, and mechanical properties of electrodeposited cobalt-tungsten alloys: intrinsic and extrinsic interdependencies / N. Tsyntsarua, H. Cesiulis, E. Pellicer, J-P. Celis, J. Sort // Electrochim. Acta. - 2013. -Vol. 104. - P. 94-103.

84. Пат. 2534246 Российская федерация, МПК G 01 N 21/00, B 82 B 3/00. Способ определения атомного состава активных нанопримесей в жидкостях / С.С. Волков, А.А. Аристархова, Н.Н. Бисярин, Г.П. Гололобов, Е.Ю. Дмитревский, Т.И. Китаева, Д.В. Суворов, А.В. Горечий, М.Ю. Тимашев; заявитель и патентообладатель ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет». - № 2012155134/05; заявл. 20.12.2012; опубл. 27.11.2014, Бюл. № 33.

85. Shishkina, L. Electroplated Coatings for Magnetically Operated Contacts (Reed Switches) / L. Shishkina, O.G. Lokshtanova, S.M. Karabanov // Coatings. - 2012. -Vol. 2. - P. 1-7.

86. Шишкина, Л. Электролитические покрытия для герконов / Л. Шишкина, О.Г. Локштанова // Известия СПбГТУ. - 2011. - № 11. - С. 124-127.

87. Карабанов, С.М. Исследование свойств контактных покрытий на основе наноразмерных пленок рутения для МЭМС-коммутаторов / С.М. Карабанов, Н.А. Верлов, Д.В. Суворов, Г.П. Гололобов, Е.В. Сливкин // Письма в ЖТФ. - 2015. - Т. 41, Вып. 14. - С. 56-63.

88. Гололобов, Г.П. Исследование структуры покрытия и морфологии контактирующей поверхности магнитоуправляемых контактов методом атомно-силовой микроскопии: Дис. ... канд. техн. наук: 05.27.02 / Г.П. Гололобов. -Рязань, 2006. - 147 с.

89. Gololobov, G.P. The study of contact electrical resistance of coatings on the basis of refractory metal alloys Co-W, Co-Mo, Ni-W, Ni-Mo / G.P. Gololobov, D.V. Suvorov, M.A. Serpova, A.S. Arefiev // J. Phys. Conf. Ser. - 2020. - Vol. 889(1). -012017.

90. Карабанов, С.М. Исследование комплексного состава сульфаматных электролитов рутенирования / С.М. Карабанов, О.Г. Локштанова // ЖПХ. - 2008. -Т. 81, № 6. - С. 961-964.

91. Пятин, Ю.М. Материалы в приборостроении и автоматике / Ю.М. Пятин. - М.: Машиностроение, 1982. - 582 с.

92. Neal Dean, R. Application of microelectromechanical systems in industrial processes and services / R. Neal Dean, A. Luque // IEEE Transaction on Industrial Electronics. - 2009. - Vol. 56, № 4. - P. 913-925.

93. Schiavone, G. Integrated Magnetic MEMS Relays: Status of the Technology / G. Schiavone, M. Desmulliez, A. Walton // Micromachines. - 2014. - Vol. 5. - P. 622653.

94. Vincent, M. Electrical contact reliability in magnetic MEMS switch / M. Vincent, L. Chiesi, J.C. Fourrier, A. Garnier, B. Grappe, C. Lapiere, C. Coutier, A. Samperio, S. Paineau // Proceedings of 54th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts. Orlando, USA. - 2008. - P. 145-150.

95. Coutier, C. A new magnetically actuated switch for precise position detection / C. Coutier, L. Chiesi, A. Garnier, J.C. Fourrier, M. Trouillon, B. Grappe, A. Samperio, S. Borel [et al.] // Proceedings of 15th International Conference Transducers. Denver, USA. - 2009. - P. 861-864.

96. Карабанов, С.М. Микромеханический коммутационный элемент, управляемый внешним магнитным полем / С.М. Карабанов, А.С. Карабанов, Д.В. Суворов, Б.Н. Сажин, А.А. Крутилин, Б. Граппе, К. Кутьер, Г. Сибьют // Электронная промышленность. - 2009. - № 4. - С. 51-58.

97. Cao, T. Research Status and Development Trend of MEMS Switches: A Review / T. Cao, T. Hu, Y. Zhao // Micromachines. - 2020. - Vol. 11. - P. 694.

98. Knick, C.R. High frequency, low power, electrically actuated shape memory alloy MEMS bimorph thermal actuators / C.R. Knick, D.J. Sharar, A.A. Wilson, G.L. Smith, C.J. Morris, H.A. Bruck // J. Micromech. Microeng. - 2019. - Vol. 29. - 075005.

99. Miao, X. Design, fabrication and characterization of a bistable electromagnetic microrelay with large displacement / X. Miao, X. Dai, P. Wang, G. Ding, X. Zhao / Microelectron. J. - 2011. - Vol. 42. - P. 992-998.

100. York, P. Millimeter-sized piezoelectric flextensional actuators with improved mechanical efficiency / P. York, N. Jafferis, R. Wood / Sens. Actuators A Phys. - 2020. - Vol. 311. - 112066.

101. Zolfaghari, P. A low loss and power efficient micro-electro-thermally actuated RF MEMS switch for low power and low loss applications / P. Zolfaghari, V. Arzhang, M. Zolfaghari // Microsyst. Technol. - 2018. - Vol. 24. - P. 3019-3032.

102. Peschot, A. Nanoelectromechanical Switches for Low-Power Digital Computing / A. Peschot, C. Qian, T. Liu // Micromachines. - 2015. - Vol. 6. - P. 10461065.

103. Karabanov, S.M. Magnetically controlled MEMS switches with nanoscale contact coatings / S.M. Karabanov, A.S. Karabanov, D.V. Suvorov, B. Grappe, C. Coutier, H. Sibuet, B.N. Sazhin // Proceedings of 26th International Conference on Electrical Contacts. Beijing, China. - 2012. - P. 359 - 361.

104. Афиногенов, И.А. Исследование влияния элементно-химического состава и морфологических особенностей поверхности контактных покрытий на электрическое сопротивление и ресурс работы МЭМС-коммутаторов / И.А. Афиногенов, И.А. Зельцер, Е.Б. Трунин // Вестник РГУ им. С.А. Есенина. - 2014. -№ 4. - С. 149-171.

105. Peschot, A. Contact degradation due to material transfer in MEM switches / A. Peschot, C. Poulain, F. Souchon, P.-L. Charvet, N. Bonifaci, O. Lesaint // Microelectronics Reliability. - 2012. - Vol. 52. - Р. 2261-2266.

106. Afinogenov, I.A. Characterization on Contacting Surfaces of MEMS Electrostatic Switches by SEM, EDXA, and XPS / I.A. Afinogenov, I.A. Zeltser, E.B. Trunin, A. Tolstoguzov // Adv. Mater. Sci. Eng. - 2015. - Vol. 2015. - 679313.

107. Czaplewski, D.A. Lifetime limitations of ohmic, contacting RF MEMS switches with Au, Pt and Ir contact materials due to accumulation of friction polymer on

the contacts / D.A. Czaplewski, C.D. Nordquist, C.W. Dyck, G.A. Patrizi, G.M. Kraus, W.D. Cowan // J. Phys. Conf. Ser.: J. Micromech. Microeng. - 2012. - Vol. 22. -105005.

108. Poulain, C. A Nano-Scale Investigation of Material Transfer Phenomena at Make in a MEMS Switch / C. Poulain, A. Peschot, M. Vincent, N. Bonifaci // Proceedings of 54th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts. Minneapolis, USA. - 2011.

109. Dickrell, D.J. Electrical contact resistance degradation of a hotswitched simulated metal MEMS contact / D.J. Dickrell, M.T. Dugger // IEEE Trans. Compon. Packag. Technol. - 2007. - Vol. 30 (1). - Р. 75-80.

110. Yang, Z. Resolution of the transfer direction of field-evaporated gold atoms for nanofabrication and microelectromechanical system applications / Z. Yang, S. Hoffmann, D.J. Lichtenwalner, J. Krim, A.I. Kingon // Appl. Phys. Lett. - 2011. - Vol. 98. - 044102.

111. Vincent, M. Field emission and material transfer in microswitches electrical contacts / M. Vincent, S.W. Rowe, C. Poulain, D. Mariolle, L. Chiesi, F. Houze, J. Delamare // Appl. Phys. Lett. - 2010. - Vol. 97. - 263503.281

112. Yang, Z. Contact reliability in ohmic microswitches / Z. Yang // Mater. Technol. - 2011. - Vol. 26, № 4. - P. 184-190.

113. Uvarov, I.V. Contact resistance and lifecycle of a single- and multiple-contact MEMS switch / I.V. Uvarov, N.V. Marukhin, V. Naumov // Microsyst. Technol. -2019. - Vol. 25. - P. 4135-4141

114. Вячеславов, П.М. Переходное электрическое сопротивление как «структурочувствительное» свойство при изучении электролитических сплавов / П.М. Вячеславов, Н.П. Федотьев, О.Г. Локштанова, Г.П. Круглова // ЖПХ. - 1971. - Т. 44, № 2. - С. 454.

115. Ямпольский, А.М. Электролитическое осаждение благородных и редких металлов / А.М. Ямпольский. - Ленинград: Машиностроение, 1977. - 96 с.

116. Буркат, Г.К. Покрытия драгоценными металлами / Г.К. Буркат. - М.: Электронстандарт, 1993. - 195 с.

117. Буркат, Г.К. Серебрение, золочение, палладирование и родирование / Г.К. Буркат. - Ленинград: Машиностроение, 1984. - 85 с.

118. Вячеславов, П.М. Исследование процесса электроосаждения золота в железосинеродистом электролите / П.М. Вячеславов, Е.Г. Круглова, О.Г. Локштанова, С.И. Щеголева // ЖПХ. - 1973. - Т. 46, № 6. - С. 1233.

119. Буркат, Г.К. Электроосаждение драгоценных металлов / Г.К. Буркат. -Санкт-Петербург: Политехника, 2009. - 188 с.

120. Евдокимова, Н.В. Электроосаждение и некоторые физико-химические свойства сплавов родий-никель и родий-индий / Н.В. Евдокимова, О.Г. Локштанова, П.М. Вячеславов // ЖПХ. - 1977. - Т. 50, № 12. - С. 2690.

121. Локштанова, О.Г. Технология электроосаждения и физико-химические свойства сплава золото-железо / О.Г. Локштанова, Н.П. Федотьев, П.М. Вячеславов // Защита металлов. - 1968. - № 5. - С. 4.

122. Локштанова, О.Г. Исследование процесса электроосаждения сплава золото-кобальт из лимоннокислого электролита / О.Г. Локштанова, П.М Вячеславов, Л.М. Серебрянская // ЖПХ. - 1973. - Т. 46, № 6. - С. 1233.

123. Городыский, А.В. Электроосаждение рутения из сульфаматных электролитов / А.В. Городыский, Н.Е. Нечаева, Л.Б. Харькова // Украинский химический журнал. - 1984. - Т. 50, № 1.

124. Крузенштерн, Л. Гальванотехника драгоценных металлов / Л. Крузенштерн. - М.: Металлургия, 1974. - 176 с.

125. Шишкина, Л.В. Электролитические покрытия контактных систем с применением барьерных слоев на основе сплавов медь-никель, кобальт-вольфрам и никель-молибден / Л.В. Шишкина, С.М. Карабанов, О.Г. Локштанова // Вестник РГРТУ. - 2009. - №3 (Выпуск 29). - С. 85-88.

126. Arganaraz, M.Q. Ni-W coatings electrodeposited on carbon steel: chemical composition, mechanical properties and corrosion resistance / M.Q. Arganaraz, S.

Ribotta, M. Folquer, L. Gassa, G. Benitez, M. Vela, R. Salvarezza // Electrochim. Acta. - 2011. - Vol. 56. - P. 5898-5903.

127. Indyka, P. Structure characterization of nanocrystalline Ni-W alloys obtained by electrodeposition / P. Indyka, E. Beltowska-Lehman, L. Tarkowski, A. Bigos, E. Garcia-Lecina // J. Alloys Compd. - 2014. - Vol. 590. - P. 75-79.

128. Nia, N.S. Influence of metallurgical parameters on the electrochemical behavior of electrodeposited Ni and Ni-W nanocrystalline alloys / N.S. Nia, J. Creus, X. Feaugas, C. Savall // Appl. Surf. Sci. - 2016. - Vol. 370. - P. 149-159.

129. Klimenkov, M. Structural investigations on nanocrystalline Ni-W alloy films by transmission electron microscopy / M. Klimenkov, A. Haseeb, K. Bade // Thin Solid Films. - 2009. - Vol. 517. - P. 6593-6598.

130. Lee, S. Mechanical properties of electrodeposited Ni-W Thin Films with alternate W-Rich and W-Poor multilayers / S. Lee, M. Choi, S. Park, H. Jung, B. Yoo // Electrochim. Acta. - 2015. - Vol. 153. - P. 225-231.

131. Tsyntsaru, N. Tribological behavior of electrodeposited cobalt-tungsten coatings: dependence on current parameters / N. Tsyntsaru, S. Belevsky, A. Dikusar, J.-P. Celis // Trans. Inst. Met. Finish. - 2008. - Vol. 86. - P. 301.

132. Su, F. Establishing relationships between electrodeposition techniques, microstructure and properties of nanocrystalline Co-W alloy coatings / F. Su, C. Liu, P. Huang // J. Alloys Compd. - 2013. - Vol. 557. - P. 228.

133. Tsyntsaru, N. The effect of electrodeposition conditions and post-annealing on nanostructure of Co-W coatings / N. Tsyntsaru, H. Cesiulis, A. Budreika, X. Ye, R. Juskenas, J.-P. Celis // Surf. Coat. Technol. - 2012. - Vol. 206. - P. 4262.

134. Mulukutla, M. Pulsed electrodeposition of Co-W amorphous and crystalline coatings / M. Mulukutla, V.K. Kommineni, S.P. Harimkar // Appl. Surf. Sci. - 2012. -Vol. 258. - P. 2886.

135. Su, F. Effect of complexing agents and pH on microstructure and tribological properties of Co-W coatings produced by double pulse electrodeposition / F. Su, C. Liu, P. Huang // Appl. Surf. Sci. - 2012. - Vol. 258. - P. 6550.

136. Beltowska-Lehman, E. Electrodeposition and characterisation of nanocrystalline Ni-Mo coatings / E. Beltowska-Lehman, A. Bigos, P. Indyka, M. Kot // Surf. Coat. Technol. - 2012. - Vol. 211. - P. 67.

137. Bigos, A. Studies on electrochemical deposition and physicochemical properties of nanocrystalline Ni-Mo alloys / A. Bigos, E. Beltowska-Lehman, M. Kot // Surf. Coat. Technol. - 2017. - Vol. 317. - P. 103-109.

138. Peter, L. Influence of the preparation conditions on the microstructure of electrodeposited nanocrystalline Ni-Mo alloys / L. Peter, E. Fekete, G. Kapoor, J. Gubicza // Electrochim. Acta. - 2021. - Vol. 382. - 138352.

139. Yuan, W. Structure engineering of electrodeposited NiMo films for highly efficient and durable seawater splitting / W. Yuan, Z. Cui, S. Zhu, Z. Li, S. Wu, Y. Liang // Electrochim. Acta. - 2021. - Vol. 365. - 137366.

140. To, D.T. Effects of NH4+/citrate complexing agent ratio on Ni-Mo and Ni-Mo-O electrodeposits from ammonium citrate baths / D.T. To, S.H. Park, M. Kim, H.-S. Cho, N.V. Myung // Front. Chem. - 2022. - Vol. 10. - 942423.

141. Gromova, V.A. Stripping analysis of electrolytic Co-Mo alloys deposited from a polyligand citrate-pyrophosphate electrolyte / V.A. Gromova, Y.S. Yapontseva, V.S. Kublanovsky // Metallofiz. Noveishie Technol. - 2008. - Vol. 30. - P. 467-476.

142. Gomez, E. Influence of the Bath Composition and the pH on the Induced Cobalt - Molybdenum Electrodeposition / E. Gomez, E. Pellicer, E. Valles // J. Electroanal. Chem. - 2003. - Vol. 556. - P. 137-145.

143. Gomez, E. Molybdenum Alloy Electrodeposits for Magnetic Actuation / E. Gomez, E. Pellicer, M. Duch, J. Esteve, E. Valles // Electrochim. Acta. - 2006. - Vol. 51. - P. 3214-3222.

144. Costovici, S. Investigation of Ni-Mo and Co-Mo alloys electrodeposition involving choline chloride based ionic liquids / S. Costovici, A. Manea, T. Visan, L. Anicai // Electrochim. Acta. - 2016. - Vol. 207. - P. 207-111.

145. Zhou, Q.F. Multifunctional Co-Mo films fabricated by electrochemical deposition / Q.F. Zhou, L.Y. Lu, L.N. Yu, X.G. Xu, Y. Jiang // Electrochim. Acta. -2013. - Vol. 106. - P. 258-263.

146. Shtefan, V.V. Electrolytic deposition of highly hard coatings of a cobalt-molybdenum alloy / V.V. Shtefan, A.S. Epifanova, A.A. Kovalova, B.I. Bairachnyi // Mater. Sci. - 2017. - Vol. 53 (1). - P. 47-54.

147. Вячеславов, П.М. О применении сплавов благородных металлов и их заменителей в производстве магнитоуправляемых контактов: сб. ст. Сплавы благородных металлов и их заменителей / П.М. Вячеславов, Т.К. Буркат, Н.В. Евдокимова, О.Г. Локштанова. - М.: Наука, 1977. - С. 218-220.

148. Стасов, А.А. Электроосаждение никель-молибденовых покрытий из пирофосфатного электролита / А.А. Стасов, С.Я. Пасечник // Химия и химическая технология. - 1973. - Т. 16, № 4. - С. 600-603.

149. Францевич-Заблудовская, Т.Ф. Электрохимическое получение сплавов никеля с молибденом и вольфрамом из водных аммиачных электролитов / Т.Ф. Францевич-Заблудовская, Н.И. Заяц // ЖПХ. - 1968. - Т. 31, № 2. - С. 234-239.

150. Mizushima, I. Residual stress in Ni-W electrodeposits / I. Mizushima, P.T. Tang, H.N. Hansen, M.A. Somers // Electrochim. Acta. - 2006. - Vol. 51. - P. 61286134.

151. Пуровская, О.Г. Электроосаждение сплава никель вольфрам из цитратных электролитов / О.Г. Пуровская, Л.И. Степанова, Л.С. Ивашкевич, В.В. Свиридов // Гальванотехника и обработка поверхности. - 1977. - № 1. - С. 24-31.

152. Степанова, Л.И. Электроосаждение сплавов никеля с вольфрамом и молибденом / Л.И. Степанова, О.Г. Пуровская, В.В. Свиридов // Материалы. Технологии. Инструменты. - 1998. - № 3. - С. 65-68.

153. Krishnan, R.M. Electrodeposition of Nickel-Tungsten Alloys / R.M. Krishnan, J.C. Kennedy, S. Jayakrishnan, S. Sriveeraraghavan, S.R. Natarajan // Met. Finish. -1995. - Vol. 93. - P. 33-39.

154. Красиков, А.В. Механизм электроосаждения сплава никель-вольфрам из пирофосфатного электролита / А.В. Красиков, В.Л. Красиков // Известия СПбГТИ (ТУ). - 2016. - № 36 (62). - С. 12-23.

155. Bratoeva, M. Effect of sulfamate-citrate electrolyte pH on the Ni-W alloy electrodeposition / M. Bratoeva, N. Atanasov // Russ. J. Electrochem. - 2000. - Vol. 36 (1). - P. 60-63.

156. Kumar, K.A. Pulse electrodeposition and characterization of nano Ni-W alloy deposits / K.A. Kumar, G.P. Kalaignan, V. Muralidharan // Appl. Surf. Sci. - 2012. -Vol. 259. - P. 231-237.

157. Hou, K.-H. Preparation and wear resistance of pulse electrodeposited Ni-W/Al2O3 composite coatings / K.-H. Hou, Y.-C. Chen // Appl. Surf. Sci. - 2011. - Vol. 257. - P. 6340-6346.

158. Beltowska-Lehman, E. Effect of current density on properties of Ni-W nanocomposite coatings reinforced with zirconia particles / E. Beltowska-Lehman, P. Indyka, A. Bigos, M. Szczerba, J. Guspiel, H. Koscielny, M. Kot // Mater. Chem. Phys.

- 2016. - P. 1-10.

159. Kumar, K.A. Direct and pulse current electrodeposition of Ni-W-TiO2 nanocomposite coatings / K.A. Kumar, G.P. Kalaignan, V. Muralidharan // Ceram. Int.

- 2013. - Vol. 39. - P. 2827-2834.

160. Landolt, D. Microstructure and composition of pulse-plated metals and alloys / D. Landolt, A. Marlot // Surf. Coat. Technol. - 2003. - Vol. 169. - P. 8-13.

161. Ibl, N. Electrocrystallization in pulse electrolysis / J. Puippe, H. Angerer // Surf. Technol. - 1978. - Vol. 6. - P. 287-300.

162. Chandrasekar, M. Pulse and pulse reverse plating—conceptual, advantages and applications / M. Chandrasekar, M. Pushpavanam // Electrochim. Acta. - 2008. - Vol. 53. - P. 3313-3322.

163. Zhu, L. STM/AFM studies of the evolution of morphology of electroplated Ni/W alloys / L. Zhu, O. Younes, N. Ashkenasy, Y. Shacham-Diamand, E. Gileadi // Appl. Surf. Sci. - 2002. - Vol. 200. - P. 1-14.

164. Yamasaki, T. High-strength nanocrystalline Ni-W alloys produced by electrodeposition / T. Yamasaki // Mater. Phys. Mesh. - 2000. - Vol. 1. - P. 127-132.

165. Eliaz, N. Synthesis and characterization of nickel tungsten alloys by electrodeposition / N. Eliaz, T.M. Sridhar, E. Gileadi // Electrochim. Acta. - 2005. -Vol. 50. - P. 2893-2904.

166. Лякишев, Н.П. Диаграммы состояния двойных металлических систем: Справочник / Под общ. ред. Н.П. Лякишева, Т. 1. — М.: Машиностроение, 1996.

— 992 с.

167. Красиков, А.В. Исследование технологических параметров осаждения сплава Ni-W из пирофосфатно-аммонийного электролита / А.В. Красиков // Вопросы материаловедения. - 2012. - № 1 (69). - С. 68-73.

168. Пуровская, О.Г. Электроосаждение сплава никель вольфрам из цитратных электролитов / О.Г. Пуровская, Л.И. Степанова, Л.С. Ивашкевич, В.В. Свиридов // Гальванотехника и обработка поверхности. - 1977. - № 1. - С. 24-31.

169. Sridhar, Т.М. Electroplating of NLjW / Т.М. Sridhar, N. Eliaz, E. Gileadi // Electrochem. Solid-State Let. - 2005. - Vol. 8. - P. 58-61.

170. Trelevvicz, J.R. Hot Nanoindentation of Nanocrystalline Ni-W Alloys / J.R. Trelevvicz, C.A. Schuh // Scripta Materialia. - 2009. - Vol. 61. - P. 1056-1059.

171. Kumar, K.S. Mechanical Behaviour of Nanocrystalline Metals and Alloys / K.S. Kumar, H. Van Swygenhoven, S. Suresh // Acta Materialia. - 2003. - Vol. 51. - P. 5743-5774.

172. Allahyarzadeh, M.H. Functionally graded nickel-tungsten coating: electrodeposition, corrosion and wear behavior / M.H. Allahyarzadeh, M. Aliofkhazraei, A.R. Sabour Rouhaghdam, V. Torabinejad // Canad. Met. Quart. - 2016. - Vol. 55 (3).

- P. 303-311.

173. Yamasaki, T. Formation of amorphous electrodeposited Ni-W alloys and their nanocrystallization / T. Yamasaki, P. Schlopmacher, K. Ehrlich, Y. Ogino // Nanostruct. Mater. - 1998. - Vol. 10. - P. 375-388.

174. Betteridge, W. Cobalt and its alloys / W. Betteridge. - New York: Halsted Press, 1982. - 159 p.

175. Podlaha, T.J. Induced Codeposition I: An Experimental Investigation of Ni-Mo Alloys / T.J. Podlaha, D. Landolt // J. Electrochem. Soc. - 1996. - Vol. 143. - P. 885892.

176. Podlaha, T.J. Induced Codeposition III: Molybdenum Alloys with Nickel, Cobalt and Iron / T.J. Podlaha, D. Landolt // J. Electrochem. Soc. - 1997. - Vol. 144. - P. 1672-1680.

177. Красиков, А.В. Механизм индуцированного соосаждения сплавов и некоторых тугоплавких металлов / А.В. Красиков, В.Л. Красиков // Известия СПбГТИ (ТУ). - 2016. - № 37. - С. 8-14.

178. Ibrahim, M.A.M. Electrodeposition of Noncrystalline Cobalt-Tungsten Alloys from Citrate Electrolyte / M.A.M. Ibrahim, S.S. Abd El Rehim, S.O. Moussa // J. Appl. Electrochem. - 2003. - Vol. 33. - P. 627-633.

179. Белевский, С.С. Роль ионного массопереноса в формировании состава и структуры CoW покрытий, электроосажденных из цитратных растворов / С.С. Белевский, Х. Цесиулис, Н.И. Цынцару, А.И. Дикусар // Электронная обработка материалов. - 2010. - № 6. - С. 42-52.

180. Belevskii, S.S. Electrodeposition of nanocrystalline Co-W coatings from citrate electrolytes under controlled hydrodynamic conditions: Part 2. The electrodeposition rate and composition of the coatings / S.S. Belevskii, N.I. Tsyntsaru, A.I. Dikusar // Surf. Eng. Appl. Electrochem. - 2010. - Vol. 46 (2). - P. 91-99.

181. Belevskii, S.S. The Role of Mass Transfer in the Formation of the Composition and Structure of CoW Coatings Electrodeposited from Citrate Solutions / S.S. Belevskii, H. Cesiulis, N.I. Tsyntsaru, A.I. Dikusar // Surf. Eng. Appl. Electrochem. -2010. - Vol. 46 (6). - P. 570-578.

182. Su, F. Friction and wear of nanocrystalline Co and Co-W alloy coatings produced by pulse reverse electrodeposition / F. Su, C. Liu, P. Huang // Wear. - 2013. -Vol. 300. - P. 114-125.

183. Wang, L. A comparative study on the tribological behavior of nanocrystalline nickel and cobalt coatings correlated with grain size and phase structure / L. Wang, Y. Gao, T. Xu, Q. Xue // Mater. Chem. Phys. - 2006. - Vol. 99. - P. 96-103.

184. Park, D.Y. Magnetic properties of nanocrystalline Co-W thin film alloys electrodeposited from citrate baths / D.Y. Park, J.M. Ko // J. Korean Electrochem. Soc. - 2003. - Vol. 6. - P. 236.

185. Силкин, С.А. Электроосаждение нанокристаллических Co-W покрытий из цитратных электролитов в контролируемых гидродинамических условиях. III. Микро и макрораспределение скоростей осаждения, состава и механических свойств / С.А. Силкин, С.С. Белевский, А.С. Градинарь, В.И. Петренко, И.В. Яковец, Н.И. Цынцару, А.И. Дикусар // Электронная обработка материалов. -2010. - № 3. - С. 9-18.

186. Kublanovsky, V. Pulse Electrodeposition of Cobalt-Tungsten Alloys from Citrate Electrolyte on Steel, its Corrosion Characteristics / V. Kublanovsky, O. Bersirova, Yu. Yapontseva, N. Tsyntsaru, S. Belevsky, A. Dikusar // Phys. Chem. Mech. Mater. - 2007. - Vol. 6. - P. 80-90.

187. Belevskii, S.S. Electrodeposition of Nanocrystalline Co-W Coatings from Citrate Electrolytes under Conditions of Controlled Hydrodynamics: Part 1. Co Electrodeposition / S.S. Belevskii, S.P. Yushchenko, A.I. Dikusar // Surf. Eng. Appl. Electrochem. - 2009. - Vol. 45 (6). - P. 446-454.

188. Huang, P.-C. Wear properties of Ni-Mo coatings produced by pulse electroforming / P.-C. Huang, K.-H. Hou, H.-H. Sheu, M.-D. Ger, G.-L. Wang // Surf. Coat. Technol. - 2014. - Vol. 258. - P. 639-645.

189. Nee, C.C. Pulsed Electrodeposition of Ni-Mo Alloys / C.C. Nee, W. Kim, R. Well // J. Electrochem. Soc.: Electrochemical Science and Technology. - 1988. - Vol. 135 (5). - P. 1100-1103.

190. Chassaing, E. Electrodeposition of Ni-Mo alloys with pulse reverse potentials / E. Chassaing, M.P. Roumegas, M.F. Trichet // J. Appl. Electrochem. - 1995. - Vol. 25. - P. 667-670.

191. Yancheshmeh, H.S. Characterization of pulse reverse Ni-Mo coatings on Cu substrate / H.S. Yancheshmeh, M. Ghorbani // Surf. Coat. Technol. - 2014. - Vol. 238. - P. 158-164.

192. To, D.T. Effect of solution pH, precursor ratio, agitation and temperature on Ni-Mo and Ni-Mo-O electrodeposits from ammonium citrate baths / D.T. To, S.H. Park, M. Kim, H.-S. Cho, N.V. Myung // Front. Chem. - 2022. - Vol. 10. - 1010325.

193. Karabanov, S.M. Electrodeposition of Ni-Mo Defect-Free Alloy from Ammonium-Citrate Electrolyte in Pulse Current Mode / S.M. Karabanov, Yu.M. Stryuchkova, D.V. Suvorov, G.P. Gololobov, D.Yu. Tarabrin, N.B. Rybin, E.V. Slivkin // MRS Advances. - 2017. - Vol. 2 (58). - P. 3585-3589.

194. Kuznetsov, V.V. Electrodeposition of a cobalt-molybdenum alloy from an ammonia-citrate electrolyte / V.V. Kuznetsov, Z.V. Bondarenko, T.V. Pshenichkina, N.V. Morozova // Russ. J. Electrochem. - 2007. - Vol. 43 (3). - P. 349-354.

195. Gomez, E. Developing plating baths for the production of cobalt-molybdenum films / E. Gomez, E. Pellicer, E. Valles // Surf. Coat. Technol. - 2007. - Vol. 197. - P. 238-246.

196. Subramania, A. Electrocatalytic cobalt-molybdenum alloy deposits / A. Subramania, A.R. Sathiya Priya, V.S. Muralidharan // Int. J. Hydrog. Energy. - 2007. -Vol. 32. - P. 2843-2847.

197. Messaoudi, Y. A study on electrodeposited Co-Mo alloys thin films / Y. Messaoudi, N. Fenineche, A. Guittoum, A. Azizi, G. Schmerber, A. Dinia // J. Mater. Sci.: Mater. Electron. - 2013. - Vol. 24. - P. 2962-2969.

198. Cesiulisa, H. Electrodeposition of CoMo and CoMoP Alloys from the Weakly Acidic Solutions / H. Cesiulisa, N. Tsyntsarub, A. Budreikaa, N. Skridailaa // Surf. Eng. Appl. Electrochem. - 2010. - Vol. 46 (5). - P. 406-415.

199. Сидельникова, С.П. Электрохимическое получение Co-Mo покрытий из цитратных растворов, содержащих ЭДТА: состав, структура, микромеханические свойства / С.П. Сидельникова, Г.Ф. Володина, Д.З. Грабко, А.И. Дикусар // Электронная обработка материалов. - 2007. - № 6. - С. 20-25.

200. Gololobov, G.P. Influence of pulse electrolysis modes on structure and properties of coatings based on Co-Mo alloy obtained from citrate pyrophosphate electrolyte / G.P. Gololobov, D.V. Suvorov, D.Yu. Tarabrin, E.V. Slivkin, M.A. Serpova, S.A. Avramenko, A.S. Arefyev // J. Phys. Conf. Ser. - 2019. - Vol. 1281 (1). -012021.

201. Ralston, K.D. Revealing the relationship between grain size and corrosion rate of metals / K.D. Ralston, N. Birbilis, C.H.J. Davies // Scr. Mater. - 2010. - Vol. 63. - P. 1201-1204.

202. Karabanov, S.M. Erosion-Resistant Electrode Coatings of Vacuum and GasDischarge Switching Devices / S.M. Karabanov, D.V. Suvorov, G.P. Gololobov, V.S. Gurov, E.V. Slivkin, D.Yu. Tarabrin // MRS Advances. - 2016. - Vol. 1 (17). - P. 11771182.

203. Basu, A. Hot switching damage mechanisms in MEMS contacts-evidence and understanding / A. Basu, R.P. Hennessy, G.G. Adams, N.E. McGruer // J. Micromech. Microeng. - 2014. - Vol. 24. - 105004.

204. Лившиц, Б.Г. Физические свойства металлов и сплавов / Б.Г. Лившиц, В.С. Крапошин, Я.Л. Линецкий. - М.: Металлургия, 1980. - 320 с.

205. Пат. 2509301 Российская федерация, МПК G 01 N 27/00, B 82 B 1/00. Способ определения кристаллической фазы в аморфных пленках наноразмерной толщины / С.С. Волков, А.А. Аристархова, Г.П. Гололобов, Т.И. Китаева, С.В. Николин, Д.В. Суворов, М.Ю. Тимашев; заявитель и патентообладатель ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет». - № 2012127172/28; заявл. 29.06.2012; опубл. 10.03.2014, Бюл. № 7.

206. Программа для визуализации фазных состояний: свидетельство о государственной регистрации ПрЭВМ № 2019667658 Российская федерация / В.С. Иванов, Е.В. Сливкин, Д.В. Суворов, Д.Ю. Тарабрин, Г.П. Гололобов; заявитель и правообладатель ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет имени В.Ф. Уткина». - № 2019666468; заявл. 09.12.2019; опубл. 26.12.2019, Бюл. № 1.

207. Перелыгин, Ю.П. Усовершенствование методов измерения переходного электросопротивления и толщины гальванических покрытий / Ю.П. Перелыгин // Гальванотехника и обработка поверхности. - 1993. - Т. 2, № 4. - C. 65-66.

208. Karabanov, S.M. Properties of contact coatings based on ruthenium nanofilms for MEMS switches / S.M. Karabanov, N.A. Verlov, D.V. Suvorov, G.P. Gololobov, E.V. Slivkin // Tech. Phys. Lett. - 2015. - Vol. 14. - P. 56-63.

209. Gololobov, G.P. The study of contact electrical resistance of coatings on the basis of refractory metal alloys Co-W, Co-Mo, Ni-W, Ni-Mo / G.P. Gololobov, D.V. Suvorov, M.A. Serpova, A.S. Arefiev // Mater. Sci. Eng. - 2020. - Vol. 889 (1). -012017.

210. Montemor, M.F. Functional and smart coatings for corrosion protection: A review of recent advances / M.F. Montemor // Surf. Coat. Technol. - 2014. - Vol. 258. -P. 17-37.

211. Sebastian, D. Mechanical durability of engineered superhydrophobic surfaces for anticorrosion / D. Sebastian, C.W. Yao, I. Lian // Coatings. - 2018. - Vol. 8. - P. 162.

212. Baiamonte, L. Thermal sprayed coatings for hot corrosion protection of exhaust valves in naval diesel engines / L. Baiamonte, F. Marra, S. Gazzola // Surf. Coat. Technol. - 2016. - Vol. 295. - P. 78-87.

213. Bodaghi, A. Corrosion Behavior of Electrodeposited Cobalt-Tungsten Alloy Coatings in NaCl Aqueous Solution / A. Bodaghi, J. Hosseini // Int. J. Electrochem. Sci. - 2012. - Vol. 7. - P. 2584-2595.

214. Panagopoulos, C.N. Corrosion of nanocrystalline Ni-W coated copper / C.N. Panagopoulos, G.D. Plainakis, M.G. Tsoutsouva // J. Surf. Eng. Mater. Adv. Technol. -2015. - Vol. 5. - P. 65-72.

215. Alimadadi, H. Corrosion properties of electrodeposited nanocrystalline and amorphous patterned Ni-W alloy / H. Alimadadi, M. Ahmadi, M. Aliofkhazraei // Mater. Des. - 2009. - Vol. 30. - P. 1356-1361.

216. Kublanovsky, V. Cobalt-Molybdenum-Phosphorus Alloys: Electroplating and Corrosion Properties / V. Kublanovsky, O. Bersirova, Yu. Yapontseva // Prot. Met. Phys. Chem. Surf. - 2009. - Vol. 45. - P. 588-594.

217. Kumar, A. Studies of Corrosion and Electrochemical Behavior of Some Metals and Brass Alloy under Different Media / A. Kumar, R. Shukla, A. Venkatachalam // Ras. J. Chem. - 2013. - Vol. 6. - P. 12-14.

218. Choudhary, G. Corrosive Behavior of Al, Cu and MS in Different Acidic Media / G. Choudhary, A. Sharma, A. Sharma // Int. J. Innovative Res. Sci. Eng. Technol. - 2013. - Vol. 2. - P. 5467-5479.

219. Lidin, R.A. Reactivity of Inorganic Substances / R.A. Lidin, V.A. Molochko, L.L. Andreeva. - New York: Begell House Publishers Inc., 1996. - 925 p.

220. Lassner, E. Tungsten: Properties, Chemistry, Technology of the Element, Alloys, and Chemical Compounds / E. Lassner, W.D. Schubert. - New York: Kluwer Academic Plenum Publishers, 1999. - 434 p.

221. Allahyarzadeh, M.H. Electrodeposition mechanism and corrosion behavior of multilayer nanocrystalline nickel-tungsten alloy / M.H. Allahyarzadeh, M. Aliofkhazraei, A. Sabour Rouhaghdam // Electrochim. Acta. - 2017. - Vol. 258. - P. 883-899.

222. Elias, L. Electrodeposition of laminar coatings of Ni-W alloy and their corrosion behavior / L. Elias, A.C. Hegde // Surf. Coat. Technol. - 2017. - Vol. 283. -P. 61-69.

223. Pourbaix, M. Atlas of electrochemical equilibria in aqueous solutions / M. Pourbaix. - Houston: National Association of Corrosion Engineers, 1974. - 648 p.

224. Ковенский, И.М. Испытания металлических покрытий деталей и конструкций нефтегазового оборудования. Часть I. Определение физико-механических, технологических и эксплуатационных свойств: учеб. пособие / И.М. Ковенский, В.В. Поветкин, Н.Л. Венедиктов, В.И. Плеханов, А.Н. Венедиктов / под ред. И.М. Ковенского. - Тюмень: ТюмГНГУ, 2014. - 80 с.

225. Виноградов, С.Н. Электроосаждение сплавов палладия / С.Н. Виноградов. - Саратов: Изд^ Саратовского ун-та, 1978. - 92 с.

226. Карабанов, С.М. Магнитоуправляемые герметизированные контакты (герконы) и изделия на их основе / С.М. Карабанов, Р.М. Майзельс, В.Н. Шоффа. -Долгопрудный: Интеллект, 2011. - 408 с.

227. Suvorov, D.V. Electrochemical Deposition of Ni-W Crack-Free Coatings / D.V. Suvorov, G.P. Gololobov, D.Yu. Tarabrin, E.V. Slivkin, S.M. Karabanov, A.B. Tolstoguzov // Coatings. - 2018. - Vol. 8. - P. 233.

228. Gololobov, G.P. Study on the surface morphology and corrosion rates of electroplated coatings based on binary alloys of refractory metals after accelerated acid tests / G.P. Gololobov, D.V. Suvorov, M.A. Serpova, D.Y. Tarabrin, A. Tolstoguzov // Trans. Inst. Met. Finish. - 2021. - Vol. 99. - P. 102-108.

229. Gololobov, G.P. An Effect of Co-W Barrier Sublayer on the Functional Characteristics of Au-Ru Contact Coatings / G.P. Gololobov, D.V. Suvorov, S.M. Karabanov, E.V. Slivkin, A. Tolstoguzov // Coatings. - 2022. - Vol. 12. - P. 161.

230. Гололобов, Г.П. Исследование многослойных золото-рутениевых контактных гальванопокрытий с барьерными антидиффузионными подслоями из сплавов ^-W и Ni-M / Г.П. Гололобов // Успехи прикладной физики. - 2024. -Т. 12, № 3. - С. 288-294.

231. Пат. на полез. модель 152659 Российская федерация, МПК H 01 J 49/00 (2006.01). Электронный спектрограф для анализа пленочных структур / Г.П. Гололобов, Д.В. Суворов, А.А. Трубицын, Е.В. Сливкин, Д.Ю. Тарабрин; заявитель и патентообладатель ФГБОУ ВПО «Рязанский государственный радиотехнический университет». - № 2014147874/07; заявл. 28.11.2014; опубл. 10.06.2015, Бюл. № 16.

232. Пат. на полез. модель 148282 Российская федерация, МПК H 01 J 49/00 (2006.01). Энергетический фильтр ионов / Г.П. Гололобов, Д.В. Суворов, А.А. Трубицын; заявитель и патентообладатель ФГБОУ ВПО «Рязанский

государственный радиотехнический университет». - № 2014128092/07; заявл. 10.07.2014; опубл. 27.11.2014, Бюл. № 33.

233. Гололобов, Г.П. Исследование поверхностей магнитоуправляемых контактов методом атомно-силовой микроскопии / Г.П. Гололобов, А.С. Арефьев,

B.Р. Трегулов, И.Г. Уточкин, О.В. Киреева // Вестник РГРТА. - 2003. - Вып. 13. -

C. 66-69.

234. Karabanov, S.M. Long time stability of electrical contact base on ruthenium nanoscale films at various coating roughness / S.M. Karabanov, D.V. Suvorov, G.P. Gololobov, V.S. Gurov, D.Yu. Tarabrin, E.V. Slivkin // Proceedings of the 1st IEEE International Forum on Research and Technologies for Society and Industry Leveraging a better tomorrow. Torino, Itay. - 2015. - P. 235-239.

235. Yang, Z. Contact degradation in hot/cold operation of direct contact micro switches / Z. Yang, D. Lichtenwalner, A. Morris, J. Krim, A.I. Kingon // J. Micromech. Microeng. - 2010. - Vol. 20. - 105028.

236. Basu, A. Reliability in hot switched ruthenium on ruthenium MEMS contacts / A. Basu, R.P. Hennessy, G.G. Adams, N.E. McGruer // Proceedings of the 59th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts. Newport, USA. - 2013. - P. 1-8.

237. Toler, B.F. A review of micro-contact physics for microelectromechanical systems (MEMS) metal contact switches / B.F. Toler, R.A.Jr. Coutu, J.W. McBride // J. Micromech. Microeng. - 2013. - Vol. 23. - 103001.

238. Гололобов, Г.П. Исследование электрической эрозии контактных покрытий на основе сплавов тугоплавких металлов / Г.П. Гололобов, С.А. Круглов, Д.В. Суворов, Е.В. Сливкин, В.В. Гудзев // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2024. - № 1 (146). - С. 19-37.

239. Маркова, Л.В. Экспериментальное изучение формирования металлических пятен контакта / Л.В. Маркова, В.В. Кончиц, Н.К. Мышкин // Трение и износ. - 1995. - Т. 16, № 2. - С. 267—274.

240. Лернер, Ю.Н. Оценка деформации микровыступов и разрушения поверхностных пленок при предварительном смещении на основе измерений

электрического контактного сопротивления / Ю.Н. Лернер // Трение и износ. -1980. - Т. 7, № 4. - С. 686-694.

241. Myshkin, N.K. Evaluation of the interface using the measurement of electric conductivity / N.K. Myshkin, V.V. Konchits // Wear. - 1994. - Vol. 172. - P. 29-40.

242. Blok, Н. Theoretical study of temperature rise at surfaces of actual contact under oilness lubricating conditions / Н. Blok // Proc. Inst. Mech. Eng. Lond. - 1937. -Vol. 2. - P. 222-235.

243. Анитов, Н.М. О возникновении микроразрядов в герконах / Н.М. Анитов, А.С. Арефьев, Г.П. Гололобов // Вестник РГРТУ. - 2009. - № 2, (Выпуск 28). - С. 87-90.

244. Гололобов, Г.П. Статистические характеристики газового разряда в магнитоуправляемых контактах при различных режимах коммутации / Г.П. Гололобов, А.С. Арефьев, Д.В. Суворов, М.С. Тыщенко // Вестник РГРТУ. - 2013.

- № 2, (Выпуск 44). - С. 76-82.

245. Арефьев, А.С. Длинная микродуга в герконе / А.С. Арефьев, Н.М. Анитов, Г.П. Гололобов // Фундаментальные и прикладные проблемы физики: материалы седьмой Международной научно-технической конференции. - Саранск, 2012. - С. 40.

246. Greenwood, J.A. Contact of nominally flat rough surfaces / J.A. Greenwood, J.B.P. Williamson // Proc. Roy. Soc. A. - 1966. - Vol. 295. - P. 300-319.

247. Гололобов, Г.П. Особенности электроэрозионных процессов контактных гальванопокрытий на основе бинарных сплавов с вольфрамом и молибденом / Г.П. Гололобов, С.А. Круглов, Д.В. Суворов, Е.В. Сливкин // Прикладная физика.

- 2024. - № 1. - С. 72-79.

248. Пат. 2661644 Российская федерация, МПК C 23 C 18/42. Пирофосфатно-аммонийный электролит контактного серебрения / Д.В. Суворов, Д.Ю. Тарабрин, Г.П. Гололобов, С.М. Карабанов, Е.В. Сливкин, А.Б. Толстогузов, П.М. Петров, О.В. Выставкин; заявитель и патентообладатель ФГБОУ ВО «Рязанский

государственный радиотехнический университет». - № 2017123427; заявл. 03.07.2017; опубл. 18.07.2018, Бюл. № 20.

ПРИЛОЖЕНИЕ

Акты внедрения и использования результатов диссертационной

работы

«УТВЕРЖДАЮ» Директор ООО НПП «Магнито-Контакт»

—"О.В. Выставкин » ¿О 2025 г.

о внедрении результатов диссертационной работы на соискание ученой степени доктора технических наук на тему «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах» Гололобова Геннадия Петровича

Настоящий акт подтверждает, что результаты диссертации Гололобова Г.П. «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах», выполненной в ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина», внедрены в ООО НПП «Магнито-Контакт» при создании магнитоуправляемых коммутационных устройств.

В научно-технической деятельности ООО НПП «Магнито-Контакт» нашли применение результаты экспериментальных исследований электрохимического синтеза эрозионностойких и износостойких покрытий контактных элементов на основе бинарных сплавов тугоплавких металлов вольфрама и молибдена.

В ходе прикладных научных исследований по теме «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)» в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы» (соглашение о

предоставлении субсидии № 14.574.21.0092) разработано гальванопокрытие на основе сплава никель-вольф рам для контактных площадок коммутационных устройств. При разработке покрытия использована технология электрохимического осаждения сплава никель-вольфрам из пирофосфатного электролита в режиме импульсного тока, позволяющая значительно снизить внутренние напряжения при одновременном увеличении содержания тугоплавкой компоненты до 20 ат.%. Это дало возможность получить покрытия толщиной до 6,2 мкм без трещин. Разработанная методика формирования линейного градиента содержания вольфрама в покрытии обеспечила увеличение адгезии к подложке.

Результаты диссертационной работы представляются важными для разработки всего спектра покрытий контактных элементов сплавами тугоплавких металлов и благородными металлами.

Главный специалист

П.В. Сидоров

«УТВЕРЖДАЮ» Проректор по научной работе и инновациям ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» Гусев

2025 г.

АКТ

о внедрении научных результатов диссер галопной "работы ГоЛолобова Геннадия Петровича «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочжж^сбммутационных

устройствах»

Теоретические и экспериментальные результаты диссертационной работы Гололобова Геннадия Петровича «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук, внедрены (использованы) в ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» при выполнении следующих научно-исследовательских работ:

1. НИР 42-11 (гос. контракт № 16.518.11.7082) «Разработка методики комплексной неразрушающей экспресс-диагностики морфологических, электрофизических, оптических и физико-механических характеристик субмикронных и наноразмерных пленок и покрытий с использованием УСУ «Многофункциональный комплекс для формирования и исследования параметров тонких пленок (МКФИП ТП)»;

2. НИР 31-12 (гос. контракт № 14.518.11.7026) «Разработка основ технологии формирования многослойных наноразмерных пленок и покрытий с заданными свойствами при использовании УСУ «Многофункциональный

комплекс для формирования и исследования параметров тонких пленок (МКФИП ТП)»;

3. НИР 21-14Г (соглашение о предоставлении субсидии № 14.574.21.0092) «Разработка методов проектирования и технологий создания интегрированных микроэлектромеханических систем (МЭМС)»;

4. НИР 26-14Г (гос. задание № 8.2469.2014/К) «Разработка физико-технических основ конструкции новых типов микроэлектромеханических магнитоуправляемых коммутаторов»;

5. НИР 28-14Г (гос. задание № 8.2157.2014/К) «Разработка технологии создания функциональных материалов и покрытий для целей вакуумной и плазменной электроники»;

6. НИР 1-17Г (гос. задание № 11.9686.2017/БЧ) «Электрохимический синтез функциональных покрытий и материалов».

При выполнении указанных выше научно-исследовательских работ получены следующие основные результаты:

- разработана методика комплексной неразрушающей экспресс-диагностики характеристик субмикронных и наноразмерных покрытий;

- разработана методика расчета и формирования многослойных наноразмерных и субмикронных покрытий с заданными механическими, электрофизическими и оптическими свойствами;

- разработано гальванопокрытие контактных элементов на основе сплава никель-вольфрам для интегрированных микроэлектромеханических коммутаторов нового класса;

- получены экспериментальные образцы гальванопокрытий контакт-деталей магнитоуправляемых МЭМС-коммутаторов средней мощности (с коммутируемым током до 200 мА при напряжении до 5 В);

- разработаны математические модели, получены и исследованы экспериментальные образцы многослойных эрозионно-стойких покрытий электродов '\\^-ТьСи и \V-Mo-Cu;

- разработана технология электрохимического синтеза покрытий на основе сплава никель-вольфрам из пирофосфатного электролита в режиме импульсного тока с высоким содержанием тугоплавкой компоненты до 20 ат.%, позволяющая значительно снизить внутренние напряжения;

гальванопокрытий на основе сплава обеспечивающие снижение

среднего уровня термомеханических напряжений на границе с подложкой в 3 - 4 раза;

- определены условия и режим электрохимического синтеза сплава Со-позволяющие получать покрытия большой толщины (до 38 мкм) с высоким содержанием XV, превышающим 21 ат.%.

Начальник управления организации научных исследований,

получены экспериментальные образцы градиентных

к.ф.-м.н.

Д.С. Кусакин

«УТВЕРЖДАЮ» И. о. заместителя

Э А. Егоров

2025 г.

АКТ

об использовании результатов диссертационной работы ГОЛОЛОБОВА Геннадия Петровича «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук.

Настоящим актом подтверждается, что результаты диссертации «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах», выполненной Гололобовым Г.П. в ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» использованы в АО «Рязанский завод металлокерамических приборов» при разработке гальванопокрытий контактных элементов ряда магнитоуправляемых герметизированных контактов (МКА-14103, МКС-14104, КЭМ-3).

Основные теоретические и экспериментальные результаты, полученные в диссертационной работе, реализованы в технологии золото-рутениевых гальванопокрытий с диффузионно-барьерными подслоями на основе сплавов тугоплавких металлов. Использование в структуре покрытия контактных элементов подслоев на основе электролитических сплавов Со^ и №-Мо обеспечило увеличение коммутационного ресурса герконов более чем в 2 раза, а также существенное расширение диапазона коммутируемых нагрузок и снижение себестоимости устройств.

Главный технолог -

начальник технического отдела

«УТВЕРЖДАЮ» Проректор по образовательной деятельности ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет

использования в учебном процессе материалов диссертационной работы Гололобова Геннадия Петровича «Физико-технологические основы

АКТ

«ж.

формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах», представленной на соискание ученой степени доктора технических наук

Настоящим актом подтверждается, что результаты диссертационной работы Гололобова Геннадия Петровича «Физико-технологические основы формирования гальванопокрытий контактных элементов в слаботочных коммутационных устройствах» внедрены в учебный процесс ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» по основным профессиональным образовательным программам:

- при подготовке магистров по направлению 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» направленность «Промышленная электроника» в курсе лекций, практических и лабораторных работ по дисциплине «Методы исследования структуры и состава поверхности» использованы разработанные методики исследования тонких пленок и покрытий;

- при подготовке бакалавров по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» направленность «Промышленная электроника» в курсе лекций и лабораторных работ по дисциплине «Тонкопленочные структуры в электронике» использованы материалы экспериментальных исследований электрохимического синтеза перспективных гальванопокрытий на основе

бинарных сплавов тугоплавких металлов - молибдена Мо и вольфрама XV, с металлами группы железа - никелем N1 и кобальтом Со;

- при подготовке бакалавров по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» направленность «Промышленная электроника» в курсе лекций и лабораторных работ по дисциплине «Современные технологии МЭМС-компонентов» использованы разработанные физико-технологические и физико-химические основы нанесения тонких гальванопокрытий контактных элементов МЭМС-коммутаторов, а также их диагностики.

Декан ФЭ

Е.В. Сливкин

Заведующий кафедрой Промышленной электроники, д.т.н.

С.А. Круглов