Исследование и разработка лазерной технологии формирования многофункциональных нано-структурированных покрытий для бытовой техники тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.13, кандидат технических наук Мацнев, Николай Петрович

• Мацнев, Николай Петрович
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Мацнев, Николай Петрович

Введение.

Глава I. Анализ условий функционирования узлов трения в бытовых машинах и приборах. Формулировка требований к защитным покрытиям. (Обзор литературы. Постановка задачи исследований.).

1.1. Анализ условий эксплуатации и причин выхода из строя узлов бытовых машин и технологического оборудования предприятий бытового обслуживания и коммунального хозяйства.

1.2. Механизм фрикционного разрушения рабочих поверхностей.

1.3. Оценка применимости технологических методов повышения срока службы деталей бытовых машин и оборудования коммунального хозяйства.

1. 4. Анализ современных и перспективных материалов для покрытий.

1.5. Прогнозный анализ оптимальной архитектуры слоистых и композитных покрытий на основе АПП и ДПМ-материалов.

Глава II. Методика импульсного лазерного осаждения наноструктурированных покрытий и методы их исследования.

2.1 .Установка для импульсного лазерного осаждения покрытий.

2.2.Технологические режимы импульсного лазерного осаждения покрытий.

2.3 Методы структурно-фазового анализа сформированных покрытий.

Глава III. Химические и структурно-фазовые характеристики лазерно-осажденных покрытий из дихалькогенидов переходных металлов и углерода.

3.1. Химический состав ДПМ покрытий при импульсном лазерном осаждении.

3.1.1. Зависимость стехиометрического состава покрытий от лазерного флюенса и давления буферного газа.

3.1.2. Исследование и измерение концентрации микропримесей в покрытиях.

3.1.3. Химическое состояние атомов в покрытиях

3.2. Структурно-фазовое состояние лазерно-осажденных покрытий из ДПМ материалов.

3.2.1. Микро- и нано-структурные особенности покрытий.

3.2.2. Текстура лазерно-осажденных покрытий.

3.3. Структурное состояние покрытий из углерода.

Глава IV. Структура и трибологические свойства слоистых и композитных покрытий на основе ДПМ материалов и углерода.

4.1. Лазерное осаждение слоистых ДПМ/а-С покрытий.

4.1.1.Морфология ДПМ-слоев и топография поверхности.

4.1.2. Химическое состояние элементов на границе МДП и а-С слоев.

4.1.3.Трибологические свойства двухслойных ДПМ/а-С покрытий.

4.1.4. Формирование многослойных ДПМ/а-С покрытий и исследование их трибологических свойств.

4.2. Лазерное осаждение нано-композитных покрытий.

4.2.1. Химическое и структурное состояние нано-композитных покрытий.

4.2.2. Трибологические свойства нано-композитных покрытий.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование и разработка лазерной технологии формирования многофункциональных нано-структурированных покрытий для бытовой техники»

Одной из основных задач в коммунальном хозяйстве и бытовом обслуживании на современном этапе наряду с обеспечением высокого качества оказания

• услуг является повышение качества и надежности машин и агрегатов, что может быть достигнуто при использовании высоких технологий на финишных операциях изготовления деталей бытовых машин и технологического оборудования предприятий сервиса.

Диссертация посвящена разработке лазерной технологии формирования мнонефункциональных нано-структурированных покрытий для бытовой техники.

Исследования и разработки, представленные в диссертации, выполнены на кафедре «Общая и прикладная физика» Московского государственного университета сервиса и в лаборатории «Модифицирование материалов лазерным и ионным излучением» Московского инженерно-физического института (государственного университета).

Актуальность проблемы.

В настоящее время высокие технологии все активнее внедряются в различные сферы жизнедеятельности человека, в том числе в производство бытовых машин и приборов. Это приводит к существенному усложнению конструкции отдельных узлов бытовой техники и повышению требований к технологии их изготовления и ремонта. Одним из перспективных способов повышения ресурса ответственных узлов является нанесение покрытий, существенно изменяющих свойства рабочих поверхности деталей. Среди наиболее известных и получивших широкое развитие методов формирования покрытий следует выделить газотермиче

• ское напыление в различных модификациях. Общие требования к поверхности обрабатываемого материала (детали, изделия), применяемым материалам и покрытиям устанавливаются по ГОСТ 28844-90. Эти методы разрабатываются уже более 10 лет и к настоящему времени достаточно хорошо исследованы с точки зрения особенностей структурообразования формируемых покрытий и их эксплуатационных свойств.

Интенсивное импульсное лазерное излучение обладает уникальными свойствами по испарению и ионизации самых различных материалов. Лазерно-инициированный плазменно-паровой поток (факел) распространяется с достаточно высокой скоростью от облучаемой мишени и может быть использован для формирования покрытий из самых различных материалов. Газодинамическое ускорение факела сопровождается кулоновским взаимодействием частиц, которое вызывает дополнительное ускорение ионной компоненты. В результате энергетический спектр осаждаемых частиц (ионов и атомов) распространяется в широком интервале от 0,1 до 100 эВ.

Использование лазерного излучения открывает возможности формирования принципиально новых нано-структурированных покрытий, которые сложно создать традиционными методами напыления. Лазерная технология представляет особый интерес для техники сервиса, так как отличается экологической чистотой и универсальностью. Однако к настоящему времени особенности лазерного напыления покрытий, существенно улучшающих эксплуатационные свойства деталей и представляющие интерес для техники сервиса, мало изучены. Поэтому исследования, проведенные в работе, являются актуальными.

Цель и задачи исследования. Целью диссертационной работы является исследование особенностей формирования покрытий при импульсном лазерном осаждении и изучение эксплуатационных свойств таких покрытий.

Для достижения цели в работе были поставлены и решены следующие задачи:

• проведен выбор и теоретическое обоснование структурно-фазового состава новых слоистых и композитных покрытий, перспективных для машин и оборудования сервиса,

• разработаны лазерные технологические процессы и экспериментальное оборудование для осаждения покрытий,

• экспериментально исследованы микро- и нано-структурные характеристики сформированных покрытий и установлены их зависимости от режимов лазерного осаждения,

• изучены трибологические свойства сформированных покрытий, экспериментально определены их оптимальные структурно-фазовые характеристики,

• разработаны рекомендации по применению лазерной технологии для формирования покрытий на рабочих поверхностях деталей бытовой техники.

Методы исследований. Поставленные задачи решались теоретическими и экспериментальными методами с учетом современных представлений о процессах взаимодействия материалов в зоне фрикционного контакта. Лабораторные испытания проводились на приборах, позволяющих с высокой точностью измерять и непрерывно записывать исследуемые параметры. Для получения всесторонней информации о структуре и свойствах покрытий в работе использовался широкий комплекс методик: сканирующая электронная микроскопия (СЭМ), рентгеновская дифрактометрия (РД), просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения и микродифракция (ПЭМ/МД), обратное резерфордовское рассеяние ионов гелия (ОРРИ), рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС), спектроскопия комбинационного рассеяния (КР).

Научная новизна диссертационной работы заключается в следующем:

- проведено научное обоснование оптимального структурного и фазового состава слоистых и композитных покрытий на основе различных модификаций углерода и дихалькогенидов переходных металлов (ДПМ),

- экспериментально установлены особенности формирования микро- и наноструктуры покрытий из твердого углерода и ДПМ-материалов при конденсации лазерной плазмы,

- экспериментально изучены особенности и разработана модель формирования химического состава ДПМ-покрытий при варьировании лазерного флюенса и давления буферного газа,

- изучены особенности трибо-индуцированных изменений в покрытиях на основе различных модификаций углерода и ДПМ-материалов.

Практическая ценность работы состоит в улучшении эксплуатационных характеристик деталей бытовых машин на основе проведения экспериментальных исследований по формированию покрытий нового типа с применением перепективной методики импульсного лазерного осаждения. Получены новые данные о трибологических свойствах покрытий на основе различных модификаций углерода и твердосмазочного компонента (ДПМ-материалов). Установлены зависимости эксплуатационных свойств покрытий от их структурно-фазового состава и технологических режимов лазерного осаждения. Определены оптимальные параметры композитных покрытий, обеспечивающие низкий коэффициент трения и высокую износостойкость. Проведена оценка перспектив применения лазерной технологии для модифицирования поверхности деталей в ответственных узлах бытовой техники.

Достоверность полученных результатов подтверждается применением основных положений фундаментальных научных направлений, использованием современных методов и контрольно-измерительной аппаратуры, приборов для исследования структуры и химического состава поверхностных слоев металлических деталей, практической реализацией разработанной лазерной технологии формирования многофункциональных нано-структурированных покрытий.

Апробация работы. Основные результаты работы докладывались на научных конференциях МИФИ в 2000 — 2004 гг., Международных конференциях «Наука — индустрии сервиса» (МГУС, 2001, 2002 гг.), Международных конференциях «Индустрия сервиса в XXI веке» (МГУС, 2001, 2002 гг.), V Межвузовской научно-практической конференции «Информационные технологии XXI века» (МГУС, 2004 г.).

Основные положения, выводы и рекомендации, которые выносятся на защиту:

1. Результаты экспериментальных исследований и теоретические модели формирования химического, структурного и фазового состава многослойных и композитных покрытий на основе твердого углерода и ДПМ-материалов при лазерном осаждении.

2. Результаты экспериментальных исследований эксплуатационных свойств (интенсивности изнашивания, коэффициента трения) многослойных и композитных покрытий на основе твердого углерода и ДПМ-материалов, сформированных импульсным лазерным осаждением при варьировании технологических режимов.

3. Результаты экспериментальных исследований и модели трибо-индуцированных изменений в слоистых и композитных покрытиях на основе твердого углерода и ДПМ-материалов, подвергнутых испытанию в жестких условиях - на воздухе при отсутствии смазочного материала.

4. Практические рекомендации по выбору архитектуры, структурно-фазового состава и режимов лазерного осаждения покрытий на основе твердого углерода и ДПМ-материалов, обеспечивающих наилучшие эксплуатационные свойства.

Основное содержание диссертации отражено в 3 статьях в научных журналах, 4 статьях в сборниках научных статей, 5 тезисах докладов научных конференций.

Объем и структура. Работа состоит из введения, четырех глав, основных выводов, списка литературы.

Заключение диссертации по теме «Машины, агрегаты и процессы (по отраслям)», Мацнев, Николай Петрович

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ:

1. Проведен анализ условий эксплуатации быстроизнашивающихся узлов и деталей бытовых машин, позволивший установить марки (химический состав) конструкционных материалов, используемых для их изготовления, диапазоны скоростей (0,1—40 м/с) и передаваемых усилий (0,2-10 кН).

2. Разработаны технологические процессы и лабораторное оборудование для импульсного лазерного осаждения слоистых и нано-композитных покрытий на основе твердосмазочных ДПМ-материалов и различных модификаций твердого углерода.

3. Экспериментальные исследования и компьютерное моделирование процессов лазерного осаждения показали, что химический состав ДПМ-покрытий зависит от совокупности факторов, включающих динамику разлета лазерного факела и его взаимодействие с газом и поверхностью покрытия. Выявлены режимы осаждения ДПМ-покрытий стехиометрического состава.

4. Экспериментально установлены структурно-фазовые, химические, морфологические и топографические характеристики ДПМ-покрытий, формируемых импульсным лазерным осаждением в различных технологических условиях. Изучена динамика их роста при увеличении толщины от нескольких нанометров до нескольких микрометров.

5. Установлено, что характер структурообразования ДПМ-слоев зависит от природы твердосмазочного материала. Мо8ех-покрытия проявляют повышенную склонность к формированию турбостратной структуры с оптимальной текстуроой. \У8ех- слои не обладают выраженной текстурой, а в объеме покрытия доминирует нано-кристаллическая структура.

6. На основе экспериментальных исследований установлена зависимость структурного состояния углеродных пленок и их механических свойств от режимов импульсного лазерного осаждения из графитовой мишени. Определены оптимальные условия осаждения углеродных покрытий с высокими эксплуатационными свойствами.

7. Установлены трибологические свойства слоистых покрытий на основе ДПМ-материалов и твердого углерода. Формирование подслоя из алмазоподобной модификации углерода существенно улучшает эксплуатационные характеристики ДПМ-покрытий. Выявлен механизм трибоиндуцированных изменений в двухслойных и многослойных покрытиях.

8. На основе экспериментальных исследований установлена зависимость трибологических свойств нано-композитных покрытий на основе ДПМ-материалов и твердого углерода от структурного состояния аморфной углеродной матрицы. Показано, что покрытия на основе алмазоподобной матрицы с нано-размерными ^/8ех- включениями по прочности и износостойкости превосходят чистые углеродные покрытия.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Мацнев, Николай Петрович, 2005 год

1. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. - 526 с.

2. Гаркунов Д.Н. Триботехника (износ и безызносность): Учебник. — 4-е изд., перераб. и доп. -М.: Издательство МСХА, 2001. 616 с.

3. Polzer G., Meissner F. Grundlagen zu Reibung und Verschleiss. Leipzig: VEB Deutsher Verlag fur Grundstoffindustrie, 1979. 323 p.

4. Чичинадзе A.B., Темиш O.C. Динамический метод испытания подшипниковых материалов при знакопеременном трении. В кн.: Методы испытания и оценки служебных свойств материалов для подшипников скольжения: Сборник научных статей. М., 1972. — с. 41-44.

5. Крагельский И.В., Гитис Н.В. Фрикционные автоколебания. — М.: Наука, 1987.-184 с.

6. Бакли Д. Поверхностные явления при адгезии и фрикционном взаимодействии. М.: Машиностроение, 1986. — 360 с.

7. Берштейн М.Л. Структура деформированных металлов. — М.: Металлургия, 1977.-431 с.

8. Польцер Г., Майсснер Ф. Основы трения и изнашивания. — М.: Машиностроение, 1984. 264 с.

9. Заславский Ю.С. Трибология смазочных материалов. — М.: Химия, 1991. —240 с.

10. Ю.Костецкий Б.И. Фундаментальные закономерности трения и износа. — Киев:1. Знание, 1981.-30 с.

11. Гаркунов Д.Н. Триботехника. М.: Машиностроение, 1989. - 328 с.

12. Елизаветин М.А. Повышение надежности машин. — М.: Машиностроение, 1973.-430 с.

13. Елизаветин М.А., Сатель Э.А. Технологические способы повышения долговечности деталей машин. М.: Машиностроение, 1969. - 398 с.

14. Надежность и долговечность машин/ Б.И. Костецкий, И.А. Носовский, Л.И. Бершадский, А.К Караулов. — Киев: Техника, 1975. — 405 с.

15. Поверхностная прочность материалов при трении. /Под ред. Б.П. Костецкого. Киев: Техника, 1976. - 292 с.

16. Повышение долговечности машин технологическими методами. /Под ред. Г.Э. Таурита. Киев: Техника, 1986. - 158 с.

17. Проблемы повышения трибологических свойств деталей машин путем термической и поверхностной обработки./Под ред. К.В. Фролова. Серия НТП в машиностроении, вып. 28. — М.: Машиностроение, 1991. — 54 с.

18. Рыжов Э.В. Технолошческие методы повышения износостойкости материалов и узлов трения. В кн.: Трение, изнашивание и смазка: Справочник в 2-х т., т.1. /Под ред. И.В. Крагельского и В.В. Алисина—М.: Машиностроение, 1978. — 400 с.

19. Сулима A.M., Шулов В.А., Ягодкин Ю.Д. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин. — М.: Машиностроение, 1988. — 115 с.

20. Суслов А.Г. Технологическое обеспечение параметров состояния поверхностного слоя деталей. -М.: Машиностроение, 1987. 208 с.

21. Рыжов Э.В. Технологические методы повышения износостойкости деталей машин. Киев: Наукова думка, 1984. - 271 с.

22. Рыжов Э.В., Суслов А.Г., Федоров В.П. Технологическое обеспечение эксплуатационных свойств деталей машин. — М.: Машиностроение, 1979.— 176 с.

23. Триботехнические свойства нанокомпозитных W-SE-C-покрытий на стали при испытании на воздухе / Р.И. Романов, В.Ю. Фоминский, Д.Е. Баскаков, Н.П. Мацнев, В. Шарф // Трение и износ, том XXV, № 1, 2004. с. 57-61.

24. G.A.Strahl,Ml97 Lubricant Evaluation Test, AD-B205195(November 1993).

25. R.L.Shubkin,Synthetic Lubricants and High Performance Functional Fluids (Dekker,New York, 1992).

26. R.E.Booser, CRC Handbook of Lubrication and Tribology, Vol .III, Monitoring, Materials, Synthetic Lubricants and Applications (CRC Press, Boca Raton, FL.,1994)

27. G.A.Strahl, M197 Gun Lubrication in Sand Environment, ARCCD-TR-91008 (1992)

28. G.A.Strahl, M230 Gun Lubrication Evaluation Test, ARCCD-TR-94004(1995)

29. A.T.Galbato. High Temperature Solid Lubricant Bearing Development,WRDC-TR-90-2085,

30. B.Bhushan and P.K.Gupta, Handbook of Tribology-Materials Coating and Surface Treatments

31. H.K.Trivedi and G.T.Gerardi, High Temperature Bearing Material and Lubricant Evaluation,

32. Final Report,WL-TR-96-2120 (August 1999).

33. M.G.S.Naylor, Development of Wear-Resistant Ceramic Coatings for Diesel Engine Components,Vol.l, Coating Development and Tribological Testing, ORNL/SOB/987-SA581/1 (June 1992)

34. R.Tom,L.Moore, W.D.Proul, and T.P.Chang, Surf. CoatTechnol.62(l993)423. 39.I.Ahmad, The Problem of Gun Barrel Erosion: An Overview, Gun Propulsion Tech.,ed. L Stiefel (1988) pp.311-355.

35. M.Rhoads, B.Shucktis and M.Johnson, Thin Dense Chrome Bearing Insertion Program, WL-TR-97-2053(March 1997).

36. FAG Rolling Bearings with Thin-Layer Chromium Plating, FAG Pub.,WL-43-1203(1994).

37. R.F.Hochman,A.Erdemir,F.J.Dolan and R.I.Thom, J.Vac.Sci.Technol.A3(6) (November/December 1995) 2348.

38. L.Rosado, V.K.Jain and H.K.Trivedi, Wear 212(1997) 1.

39. R.Wei,PJ.Wilbur,M.Liston and G.Lux,Wear 162-164(1993) 558.

40. M.Shin,L.Hultman, S.A.Barnett, J. Mater. Res.7 (1992)901

41. W.D.Sproul, J.Vac. Sci. Technol. A 12 (1994) 1595.

42. B.M.Clemens, H.Kung, S.A.Darnett, MRS Bull.2 (1999) 20.

43. S.Veprek, S.Reiprich, Thin Solid Films 268 (1995) 64.

44. S.Veprek, Thin Solid Films 268 (1995) 64.

45. J.S.Zabinski, M.S. Donley, VJ.Dyhouse, N.T.McDevitt, Thin Solid Films 214 (1992) 156.

46. J.S.Zabinski, M.S.Donley, N.T.McDevitt, Wear 165 (1993) 103.

47. J.Musil, Surf. Coat. Technol. 125 (2000) 322.

48. A.G.Dias, J.H. Van Breda, P. Moreto, J.Ordelman, Proc. 10th Euro.Conf. on Chemical Vapour Deposition, Venice, Italy, September 10, 1995, J. de Physique, IV (5), 1995, p.C5.831.

49. J.Musil,H.Polakova,V.Cibulka, Czech.J.Phys.49 (1999) 359.

50. S.Veprek, Surf. Coat. Technol. 97(1997) 15.

51. C.Mitterer, P.Losbichler, M. Besschliesser, et al., Vacuum 50 (1998) 313.

52. C.Mitterer,P.H.Mayrhofer, M.Beschliesser et al., Surf. Coat. Technol. 120-121(1999) 405.

53. M.Irie, H.Ohara, A.Nakayama, N.Kitagawa,T.Nomura, Nucl. Instrum. Methods

54. Phys.Res. B 121 (1997) 133.

55. J.Musil,P.Zeman,H.Hruby,P.H.Mayrhofer, Surf. Coat. Technol. 120-121 (1999)179.

56. J.Musil, J.Vlcek, Mater. Chem. Phys. 54 (1998) 116.

57. J.Musil et al. Thin Solid Films. 230( 2000) 24.

58. J.Musil et al. Surf. Coat. Technol. (in press).

59. M.Benda, J.Musil, Vaacuum 55 (1999) 171.

60. A.A.Voevodin, S.V.Prasad, J.S.Zabinski, J.Appl. Phys. 82 (1997) 855.

61. M.P.Deplancke-Ogletree, O.R.Monteiro, J.Vac. Sci. Technol.A 15(1997) 1943.

62. A.A.Voevodin, J.P. O'Neill, S.V.Prasad, J.S.Zabinski, J.Vac. Sci. Technol. A171999)986.

63. O.R.Monteiro, M.P.Delplancke-Ogletree,R.J.Lo,R.Winaand,I.Brown, Surf. Coat. » Technol. 94/95(1997)986.

64. H.Dimigen, C.-P.Klages,Surf. Coat. Technol.49(1991) 543.

65. K.Bewilogua, H.Dimigen, Surf. Coat. Technol.61(1993) 144.

66. J.E.Sundgren, B.-O.Johanson,S.-E.Karlsson,Thin Solid Films 105(1983) 353.

67. H.Holleck, J.Vac. Sci. Technol. A4(1986) 2661.• 73. O.Knotek, F.Loffler,G.Kramer,Surf. Coat. Technol.59(1993) 14.

68. S.Veprek,J.Vac. Sci. Technol.A 17(1999)2401.

69. G.E.Dieter, Mechanical Metallurgy, 2nd ed., McGraw-Hill,New York, 1976.

70. M.Marder, J.Finberg, Phys. Today 49(9)(1996)24.

71. S.T.Mileiko, Metal and Ceramic Based Composites, Elsevier,New York, 1997.

72. J.Karch,R.Birringer, H.Gleiter, Nature 330 (1987) 556.

73. O.D.Sherby, J.Wadswoth, Prog. Mater. Sci. 33 (1989) 169.

74. T.G.Nieh, J.Wadswoth,F.Wakai, Int. Mater. Rev. 36 (1991) 146.• 81. T.G.Langdon, Mater. Sci. Eng. A (1993) 67.

75. C.C.Koch, D.G.Morris, K.Lu, A.Inoue, MRS Bull.24(2)( 1999)54.

76. T.G.Langdon, Mater. Sci. Forum 189/190 (1995) 31• 85. O.D.Sherby, T.G.Nieh,J.Wadswoth,Mater. Sci. Forum 243 (1997) 11.

77. J.Schiotz, F.D.D. Tolla, K.W.Jacobson, Nature 391 (1998) 561.

78. A.A.Voevodin, M.S.Donley, M.S.Donley, J.E.Bultman, Surf. Coat. Technol. 771995)534.

79. A.A.Voevodin, M.A.Capano, A.J. Safriet, M.S.Donley, J.S.Zabinski, Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 188.

80. A.A.Voevodin, J.S.Zabinski,J. Mater. Sei. 33 (1998) 319.

81. A.A.Voevodin, M.A.Capano,S.J.P.Laube, M.S.Donley, J.S.Zabinski, Thin Solid1. Films 298 (1997) 107.

82. M.Yan, T.G.Langdon, Metal. Mater. Trans. A: Phys. Metal. Mater.Sci. 27(1996)873.

83. D.J.Schissler, A.H. Chokshi, T.G. Nieh, J.Wadswoth, Acta Metal, Mater. 39 (1991)3227.

84. A.A.Voevodin,J.S.Zabinski, Diam. Rel. Mater. 7 (1998) 463.

85. A.A.Voevodin, J.P.O'Neill,J.S.Zabinski,Thin Solid Films 342 (1999) 194.

86. A.A.Voevodin, A.W.Phelps, M.S.Donley, J.S.Zabinski, Diam. Rel. Mater. 5 (1996) 1264.

87. R.H.Savage, J. Appl. Phys. 19 (1948) 1.

88. M.N. Cardos, Proceedings of the First World Tribology Congress on New Directions in Tribology, September 8-12, 1997, London, Mechanical Engineering Publications, London, 1997, p.229.

89. H.Zaidi, T.L.Huu, D.Palmer, Diam. Rel. Mater. 3 (1994) 787.

90. RX.Fusaro, Lubr. Eng.3 (1995) 182.

91. P.D.Fleischauer, Proceedings of the First World Tribology Congress on New Directions in Tribology, September 8-12, 1997, London, Mechanical Engineering Publications, London, 1997, p.217

92. W.O.Winer, Wear 10 (1967) 422.

93. S.V. Prasad, J.S. Zabinski, N.T.McDevitt, Tribol. Traans. (1995) 38.

94. C.Pritchard, J.W.Midgley, Wear 113 (1969) 39.

95. S.Prasad,J.Zabinski, Nature 387 (1997) 761.

96. P.D.Fleischauer, ASLE Trans. 27 (1984) 82.

97. S.V.Prasad, J.S.Zabinski, J.Mater. Sei. Lett. 12 (1993) 1413.

98. M.R.Hilton, R.Bauer,P.D.Fleischauer,Thin Solid Films 188 (1990) 219.

99. J.Moser, F.Levy, J. Mater. Res. 8 (1993) 206. > 109.J.S.Zabinski, M.S. Donley, S. V.Prasad,N.T.McDevitt,J.Mater. Sci.29 (1994)4834.

100. A.A.Voevodin, J.P.Zabinski, J.P.O'Neill, J.S.Zabinski, Tribol. Lett. 6(1999)75.

101. K.L. Holmberg, H.Ronkainen, A.Matthews, Proc. 1st World Tribol. Cong, on New Directions in Tribology,September 8-12, 1997, Mechanical Engineering Publications, London, 1997, p.251.

102. F.G.Fisher, A .D.Cron, R.G.Muber, Publication Grease Institute 46, NLGI, 1982, p.190.• 115. А.М.Петлюк, Л.Н.Зентюрихина, O.B.Лазовская, Т.П.Юхно, Трение и износ,8 (1987) 740.

103. M.N.Gardos, Tribol. Trans. 31 (1988) 214.

104. Н.К.Мышкин, М.И.Петроковец, Трибология, ИММС НАНБ, Гомель, 2002.

105. Кошманов В.Е., Мацнев Н.П., Фоминский В.Ю. Особенности импульсного лазерного осаждения тонкопленочных структур в импульсных электрических полях/ Сб. трудов «Научная сессия МИФИ-2004». Т.4. С. 170171.

106. Мацнев Н.П., Смирнов A.JI. Компьютерный мониторинг пучковой технологии осаждения нано-структурированных покрытий/ IX научнопрактическая конф. «Наука-сервису». Материалы секции «Информационные системы». М.: МГУС, 2004. С.28-30.

107. Романов Р.И., Фоминский В.Ю., Баскаков Д.Е., Мацнев Н.П., Шарфф В. Триботехнические свойства нанокомпозитных W-Se-C покрытий на стали при испытании на воздухе // Трение и износ. 2004. Т.25. №1. С.57-62.

108. Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Смирнов А.Л., Мацнев Н.П. Структурообразование и трибологические свойства покрытий MoSex, формируемых импульсным лазерным осаждением// Перспективные материалы. 2004. №6. С.70-77.