Исследование источников ионов платино-палладиевой группы для электромагнитной сепарации изотопов тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.08, кандидат технических наук Соколов, Дмитрий Владимирович

• Соколов, Дмитрий Владимирович
• кандидат технических наук
• 2004

Оглавление диссертации кандидат технических наук Соколов, Дмитрий Владимирович

Введение.сгр.

Глава 1. Изотопы тугоплавких металлов, методы получения и основные ^ применения.

1.1. Применение стабильных изотопов тугоплавких металлов.

1.2. Основы электромагнитного метода сепарации изотопов.

1.3. Методы получения изотопов тугоплавких металлов.

Глава 2. Описание экспериментальных установок.

2.1. Основные узлы электромагнитной установки.

2.1.1. Магнит.

2.1.2. Вакуумная откачка.

2.1.3. Элешрооборудованис.

2.1.4. Приемник ионон.

2.1.5. Источник ионов.

2.2. Методика экспериментов.

Глава 3. Выбор типа ионного источника.

3.1. Методы получения ионов.

3.1.1. Поверхностная ионизация.

3.1.2. Термоионная эмиссия солей, минералов и искусственных смесей.

3.1.3. Ионизации электронным ударом.

3.2. Краткий обзор типов ионных источников.

3.2.1. Требования, предъявляемые к источникам ионов для электроматитной сепарации изотопов.

3.2.2. Обоснование выбора типа ионного источника.

Глава 4. Источники ионов тугоплавких металлов с накаленным катодом и ^ дуговым разрядом.

4.1. Теория источников с накаленным катодом.

4.2. Основные трудности при конструировании ионных источников тугоплавких металлов.

4.3. Краткий обзор ионных источников тугоплавких металлов, использующих дуговой разряд с накаленным катодом. Особенности и основные проблемы.

4.3.1. Низкотемпературные источники.

4.3.2. Нысокогемпературпые источники.

4.3.3. Источники ионов тугоплавких элементов на основе катодного распыления.

4.4. Выводы. Выбор типа ионного источника для разделения изотопов платано- ^ j палладиевой группы.

Глава 5. Разработка и экспериментальное исследование источников ионов ^ на основе катодного распыления.

5.1. Расчет основных параметров ионного источника на основе катодного ^ распыления.

5.2. Коэффициенты распыления.

5.3. Ионный источник на основе катодного распыления ^ «без изолированного электрода».

5.3.1. Конструкция ионного источника без изолированного электрода.

5.3.2. Профамма экспериментов.

5.3.3. Результаты эксперимеш-ов.

5.3.4. Анализ результатов экспериментов.

5.3.5. Выводы. Источник ионов платины «без изолированного» электрода.

5.4. Ионный источник на основе катодного распыления с изолированным электродом».

5.4.1. Конструкция источника ионов с «изолированным электродом».

5.4.2. Про1рамма экспериментов.

5.4.3. Результаты экспериментов.

5.4.4. Анализ результатов. Выводы.

5.5. Ионный источнике «изолированным электродом-2».

5.5.1. Конструкция источника ионов с «изолированным элекгродом-2».

5.5.2. Эксперименты, результаты, анализ, выводы.

5.6. Источники ионов на основе катодного распыления. Выводы.

Глава 6. Высокотемпературные источники ионов палладия.

6.1. Выбор источника ионов.

6.2. Постановка задачи и основные требования к источнику ионов палладия.

6.3. Краткий обзор высокотемпературных источников ионов палладия, ^ созданных в РНЦ «Курчатовский Институт».

6.4. Высокотемпературный источник ионов палладия 10g с нагревом ГРК излучением.

6.4.1. Конструкция источника ионов палладия с нагревом ГРК излучением.

6.4.2. Эксперименты, результаты, анализ.

6.4.3. Выводы.

6.5. Высокотемпературный источник ионов палладия с комбинированным j ^ нагревом ГРК.

6.5.1. Конструкция источник ионов палладия с комбинированным нагревом ГРК

6.5.2. Эксперименты, результаты, анализ.

6.5.3. Выводы.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование источников ионов платино-палладиевой группы для электромагнитной сепарации изотопов»

Диссертация посвящена разработке и экспериментальному исследованию источников ионов для электромагнитной сепарации изотопов элементов с низкой упругостью паров при доступных (до 1000 °С) температурах.

Большой интерес на рынке стабильных изотопов к изотопам многих тугоплавких металлов, особенно, платино-палладиевой группы определил необходимость решения важной научно-технической задачи — получения изотопов платины, палладия и др. в достаточном количестве и требуемого обогащения. Задача эффективного разделения изотопов другими известными методами разделения изотопов по разным причинам успешно не решена, а в рамках электромагнитного метода разделения изотопов требует создания работоспособных и эффективных источников ионов тугоплавких металлов.

Процесс электромагнитной сепарации изотопов предъявляет определенные требования к источникам ионов. С учетом этих требований, можно показать, что источники, использующие дуговой разряд с накаленным катодом, наиболее пригодны для процесса электромагнитной сепарации изотопов.

Важнейшей проблемой при разработке источников ионов тугоплавких элементов является создание каким-либо образом необходимого давления паров рабочего вещества в разрядной камере. С учетом этого, источники ионов с накаленным катодом и дуговым разрядом, предназначенные для электромагнитной сепарации изотопов, можно разделить на три группы. Это низкотемпературные ионные источники с легкоиспаряемым рабочим веществом, содержащим нужный тугоплавкий элемент, высокотемпературные и источники, основанные на других физических принципах подачи ионизуемого вещества в разряд, в том числе - на основе катодного распыления. В диссертации рассмотрены две последние группы ионных источников.

Были разработаны и исследованы источники ионов палладия и платины. При этом использовался избирательный подход при выборе типа ионного источника. Рабочая температура газоразрядного узла источника ионов палладия должна достигать 1450 °С, поэтому источник палладия был создан как высокотемпературный источник. Для высокотемпературного источника ионов платины температура стенок газоразрядной камеры потребовалась бы свыше 1850 °С. Равномерный нагрев газоразрядного узла ионного источника до такой температуры представляет серьезную проблему, поэтому источник ионов платины был выполнен как источник третьего типа — источник на основе катодного распыления. В диссертации рассмотрены также и перспективы высокотемпературного источника ионов платины.

При разработке источников ионов платины на основе катодного распыления были созданы три различных варианта. Каждый вариант источника ионов на основе катодного распыления, которые в работе получили названия: ионный источник «без изолированного электрода», источник с «изолированным электродом» и ионный источник с «изолированным электродом - 2» предусматривает совершенствование отдельных характеристик ионного источника (плотности ионного тока, коэффициента использования рабочего вещества, ресурса) и определение его эффективности с точки зрения накопленных миллиампер-часов (количества изотопа).

В диссертации представлены также два варианта высокотемпературных приборов. Это ионные источники палладия, которые получили следующие названия: «высокотемпературный источник ионов палладия с нагревом ГРК излучением» и «высокотемпературный источник ионов палладия с комбинированным нагревом ГРК». При рассмотрении второго варианта высокотемпературного источника обсуждается возможность применения его для разделения изотопов Pt и Gd, а также других технологических задач.

Для всех представленных источников ионов, как высокотемпературных, так и источников на основе катодного распыления предложена одна и та же последовательность изложения материалов, которая включает в себя: принцип работы источника ионов, конструкцию, программу экспериментов, результаты экспериментов и их анализ, а также выводы.

Работа проводилась в Институте ядерного синтеза (ИЯС) РНЦ «Курчатовский Институт», в Лаборатории электромагнитного разделения изотопов (ЛЭМРИ). Эксперименты проводились на двух электромагнитных сепараторах, которые получили в лаборатории названия С-2 и У-5.

Заключение диссертации по теме «Физика плазмы», Соколов, Дмитрий Владимирович

Основные выводы по результатам экспериментального исследования второго варианта источника ионов платины — источника «с изолированным электродом» таковы:

- источник обеспечивает получение меньшего тока ионов платины по сравнению с источником «без изолированного электрода» из-за низкой эффективности ионизации атомов платины в источнике и термостойкостью изолированного электрода (при увеличении тепловой нагрузки на электрод происходило его расплавление);

- источник обладает большим ресурсом работы. Ресурс источника ограничен только загрузкой рабочего вещества (массой изолированного электрода) и ресурсом работы отдельных элементов головки ионного источника.

- основным критерием эффективности ионного источника могут служить накопленные миллиампер часы всех изотопов платины. В этом смысле источник ионов «с изолированным электродом» следует признать более удачным вариантом.

Можно отметить, также, что ионный источник «с изолированным электродом» не обеспечивал достаточное значение коэффициента использования рабочего вещества. Это, в основном, связано с геометрией расположения изолированного электрода внутри ГРК.

В работе с источником «с изолированным электродом» была экспериментально показана невозможность перехода в режим «самораспыления» рабочего вещества и продемонстрирована неэффективность катодов из гексаборида лантана.

Основной задачей при разработке источника ионов платины «с изолированным электродом - 2» было повышение коэффициента использования рабочего вещества за счет применения специальной геометрии изолированного электрода, которая могла бы позволить переход в режим «самораспыления». Однако в процессе эксплуатации источника было обнаружено существенное уменьшение плотности ионного тока платины, обусловленное уменьшением плотности плазмы перед выходной щелью газоразрядной камеры. Показан механизм поджига «наружного» и «внутреннего» разрядов. Предложены пути улучшения характеристик ионного источника «с изолированным электродом - 2».

Эксперименты с тремя вариантами источников ионов на основе катодного распыления позволяют сделать следующие общие выводы: плотности тока «полезных» ионов недостаточны и требуют увеличения в два-три раза для того, чтобы использование таких источников было рентабельным. Перспективными являются схемы источников с использованием «изолированного электрода» и режимы работы, близкие к режимам «самораспыления». Эффективно, также, использование источников ионов с испаряемым веществом, находящимся непосредственно в газоразрядной камере источника.

Практическая ценность разработанных источников на основе катодного распыления заключается в том, что они обеспечивают возможность получения миллиграммовых количеств изотопов отдельных редких изотопов высокой чистоты, например, 190Pt или Более того, получение этих изотопов с обогащением около 10% в однократном разделении возможно пока только с помощью таких источников.

Разработаны и исследованы два варианта высокотемпературного источника ионов палладия: источник ионов палладия с нагревом ГРК только за счет излучения от графитового нагревателя и источник ионов палладия с комбинированным нагревом ГРК.

Первый вариант высокотемпературного источника ионов палладия (источник ионов палладия с нагревом ГРК излучением) оказался непригодным при его эксплуатации в режиме деления, поскольку не обеспечивал необходимых рабочих характеристик. Плотность тока ионов палладия составила около 10 мА/см2. Ресурс работы не превысил 5 часов, что связано с малым ресурсом нагревателя. При эксплуатации источника обнаружились и другие трудности, которые препятствовали его практическому использованию при разделении изотопов палладия. Выяснялось, что конструкция нагревателя, имеющего перемычку, осложняет поджиг и устойчивое горение дугового разряда вследствие влияния собственного магнитного поля нагревателя. Кроме того, из-за недостаточного нагрева ГРК требовалась подача вспомогательного газа (криптона), что ухудшало фокусировку ионных пучков в сепарационной камере.

Несмотря на то, что этот вариант источника оказался непригодным для практического разделения изотопов палладия, однако эксперименты с этим источником обозначили ряд проблем, которые требуют разрешения.

Второй вариант высокотемпературного источника палладия — источник ионов палладия с комбинированным нагревом ГРК оказался намного более удачным, чем предыдущий. Этот источник показал высокую работоспособность, эффективность и надежность. Были проведены серии экспериментальных разделений изотопов палладия с помощью такого источника, а также накопления заметных количеств изотопов палладия, которые были предметами международных договоров. Накоплены все изотопы палладия высокого качества (получены изотопные препараты высокого обогащения и требуемого изотопного состава). С помощью этого прибора было накоплено около 17000 мА-час всех изотопов палладия. Это стало возможно благодаря хорошим эксплуатационным характеристикам источника ионов: плотность ионного тока составила более 20 мА/см2, ресурс достигал 100 часов, коэффициент использования рабочего вещества превышал 27%.

В этом высокотемпературном источнике впервые был применен оригинальный метод нагрева графитовой газоразрядной камеры с помощью графитовых нагревателей сложной формы. В работе продемонстрирована эффективность комбинированного метода нагрева ГРК. Предложены пути по совершенствованию конструкции и характеристик такого высокотемпературного источника ионов палладия. Обсуждается возможность применения оригинального комбинированного метода нагрева газоразрядной камеры в сверхвысокотемпературном источнике ионов с температурой стенок ГРК до 1850 °С, пригодного для работы с платиной.

Хотя настоящая работа была посвящена источникам ионов для электромагнитной сепарации изотопов, ионные источники платины или палладия, использующие дуговой разряд с накаленным катодом могут представлять значительный интерес и для других областей науки и технологии. Источники, предназначенные для электромагнитной сепарации изотопов, могут стать конкурентоспособными по сравнению с другими типами ионных источников тугоплавких элементов, так как превосходят их по некоторым своим характеристикам. Так можно предложить области использования высокотемпературного источника ионов палладия для различных технологических целей. На наш взгляд такими целями могли бы быть: ионная имплантация [81], микроэлектроника [82], создание антикоррозионных покрытий [83], фотокатодов [84], катализаторов.

В заключении нельзя не отметить большую помощь, оказанную автору, коллективом ЛЭМРИ ИЯС и особенно ведущим инженером А.П.Белокуровым, старшим научным сотрудником канд. физ.-мат. наук Р.Н.Кузьминым, начальником лаборатории канд. физ.-мат. наук М.И.Мартыновым, профессором док. физ.-мат. наук Н.Н.Семашко, механиками ЛЭМРИ ИЯС и УСИП ИИТ Н.М.Козловым, В.И.Шепелевым, В.К.Назаровым в постановке отдельных задач, в проработке отдельных узлов ионных источников, а также док. физ.-мат. наук А.Н.Седовым при обсуждении полученных результатов.

На защиту выносятся следующие положения:

1. Проведен анализ возможных схем источников ионов элементов, имеющих низкую упругость паров при доступных (до 1000 °С) температурах, предназначенных для электромагнитной сепарации изотопов. Показана эффективность схем ионных источников тугоплавких элементов «без изолированного электрода» для получения максимальной плотности тока, а схем «с изолированным электродом» для получения максимальных ресурса и коэффициента использования рабочего вещества.

2. Разработаны и исследованы источники ионов элементов платино-палладиевой группы, пригодные для разделения изотопов с помощью электромагнитного метода. Показана возможность достижения следующих параметров источников ионов платины, основанных на принципах подачи рабочего вещества в разряд с помощью катодного распыления, плотность тока (jn) - 10 мА/см2 и ресурс - 1000 ч. Показано также, что повышение плотности ионного тока платины возможно за счет увеличения плотности плазмы и содержания в ней «платиновой» компоненты, при использовании схем ионных источников с ионизацией испаренных непосредственно в разрядной камере атомов платины и при использовании режимов работы близких к режимам «самораспыления». Доказано, что увеличение ресурса возможно за счет использования схем ионных источников «с изолированным электродом», улучшение коэффициента использования рабочего вещества - за счет повышения вероятности ионизации атомов платины, а также применения специальной геометрии разрядной камеры, препятствующей потерям «платинового пара».

3. Разработана новая схема высокотемпературного источника ионов с комбинированным нагревом газоразрядного узла. Показано, что предложенный комбинированный метод, предусматривающий использование графитовых нагревателей специальной формы является достаточным для поддержания и устойчивого горения разряда в парах металла без подачи балластного газа. Комбинация излучения и электронной эмиссии с графитовых нагревателей позволяет достигать температуры газоразрядной камеры до 1650 °С.

4. Разработан и исследован высокотемпературный источник ионов с комбинированным нагревом газоразрядного узла, пригодный для промышленного разделения изотопов палладия с помощью электромагнитного метода. Показана возможность достижения следующих параметров высокотемпературного источника ионов палладия: плотность ионного тока - более 20 мА/см2, ресурс - 100 ч., коэффициент использования рабочего вещества - 27%. Источник с такими характеристиками впервые создан и использован для получения изотопов палладия высокого качества.

Заключение

Целью этой работы было получение работоспособных и эффективных источников ионов, предназначенных для электромагнитного разделения изотопов элементов, имеющих малую упругость паров при доступных температурах.

Анализ литературных источников показал, что веем требованиям, которые накладывает процесс электромагнитной сепарации на характеристики и параметры ионного источника, удовлетворяют источники ионов с накаленным катодом и дуговым разрядом. Основной проблемой при разработке источников ионов тугоплавких металлов с накаленным катодом и дуговым разрядом было создание каким-либо образом необходимого давления паров рабочего вещества в разрядной камере. Наиболее перспективными оказались высокотемпературные источники ионов и источники на основе катодного распыления.

В диссертации рассмотрены, в основном, источники ионов платины и палладия. Для платины был выбран и разрабатывался источник ионов на основе катодного распыления, а для палладия - высокотемпературный источник.

Созданы различные варианты источников ионов палладия и платины. Исследованы их основные эксплуатационные характеристики: плотность ионного тока, ресурс работы, коэффициент использования рабочего вещества и другие.

Были разработаны и исследованы три типа источника ионов платины на основе катодного распыления: это источник ионов «без изолированного электрода)), источник с «изолированным электродом» и источник «с изолированным электродом-2».

К основным результатам экспериментов с первым вариантом источника ионов на основе катодного распыления (источник ионов «без изолированного электрода))), предложенным нами, можно отнести следующее:

- источник ионов платины без изолированного электрода был вполне работоспособным, простым по конструкции, в изготовлении и эксплуатации;

- работай ресурс достигал 10:20 часов;

- плотность ионного тока не превысила 10 мА/см2;

- коэффициент использования рабочего вещества оказался около 1%.

Проведен качественный анализ полученных результатов. Исследовано влияние давления атомов вспомогательного газа, плотности тока первичных электронов, разрядного напряжения, «распылительного» напряжения (энергии распылительных ионов) на полный ток ионов платины из источника.

Полученные экспериментальные зависимости ионного тока платины от многих параметров позволяют исследовать особенности разряда в источнике с поперечным извлечением ионов, находящимся в магнитном поле и вне его, оценить эффективность ионизации, эффективность использования вспомогательных веществ, сделать оценки коэффициента распыления.

Основным недостатком источника ионов платины «без изолированного электрода)) следует признать недостаточный ресурс прибора. Основной причиной, ограничивающей ресурс этого источника ионов, явилась интенсивная ионная бомбардировка крышки газоразрядной камеры, приводящая к изменению геометрии выходной щели. В результате этого ухудшалась фокусировка ионных пучков, что делало эксплуатацию такого ионного источника невозможной.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Соколов, Дмитрий Владимирович, 2004 год

1. В.Г.Игнатенко. "Стабильные изотопы. Основные применения (по материалам ГФСИ)", (1989), Москва-ЦНИИатоминформ, с.48-62

2. J.Gizon, Physics letters В, (1997), 410 95-102

3. Л. Ilcrmanne, М. Sonck, A. Fcnyvcsi, L. Daraban, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, (2000), 170, pp. 281-292

4. Ning Yuc, Zhe Chen, Richard Pcschcl, Adam P. Dickcr, Frank M. Waterman, Ravinder Nath, Int. J. Radiation Oncology Biol. Phys., (1999), v. 45, №. 4, pp. 1063-1072

5. Subir Nag, William Bicc, Keith Dcwyngaert, Bradley Prestidge, (2000), Int. J. Radiation Oncology Biol. Phys., v. 46, №. 1, pp. 221-230

6. Gregory S. Merick, Wayne M. Butler, Jonathan R Lief, Anthony T. Dorsey, (2000), Int. J. Radiation Oncology Biol. Phys., v. 47, №. 1, pp. 121-128

7. Дергачев B.A., Кащеев I LA. "Масс-спектрометрия и Электромагнитное разделение изотопов", (1988), Энергоатомиздат.

8. Справочник под.ред. ак.И. К. Кикоина, Таблицы физических величин. (1976) Атомиздат, с. 200

9. В.ИБочин, В.Е.Гаврилов, В.СЗолотарев. (1971) Isotopenpraxis, 7, Jahrgang.Heft, 6

10. W. Groth, "Gas Centrifuges", in Separation of Isotopes, (1961) ed. by R London (George Newness, I>ondon) p. 249

11. А. И. Руднев, А. А. Сазыкин, (1997), Материалы 2-ой Всероссийской конференции "Физико-химические процессы при селекции атомов и молекул", с. 312. "Изотопы", под редЛЗ.Ю.Баранова, (2000), издАТ, Москва гл.6, с. 167-215

12. Труды ФИЛИ им. ИН-Лебедева, "Лазерное разделение изотопов", (1979), т.114, "Наука"

13. Yamaguchi R.Sasao N., International symposium on advanced nuclear energy research, (1989), Oarai.Ibaraki (Japan), pp. 65-67

14. R. L. Ferrar, D. F. Smith, Union Carbide Corp., (1972), Nuclear Division, К-Ь3054, Rev. 1

15. A. JL Устинов. "Разделение изотопов в плазме методом ионно-циклотронного нагрева в электромагнитном поле, создаваемом спиральной антенной", (1991), Препринт, ИАЭ—5354/6

16. P. Louvet. "Separation phenomena in liquids and gasses", Sccond Workshop, Vesailes, (1989), v. 1

17. А. И. Карчевский, В. С. Лазько, Ю. А. Муромкин и др., "Экспериментальное исследование изотонически селективного нагрева ионной литиевой плазмы на частоте ионного циклотронного резонанса." (1988), Препринт ИАЭ № 70/4341

18. M.Krishnan, M.Geva, and J.L.Hirshfield, (1981), Physical Review Letters, v.46, № 1, pp. 36-38

19. Rahul R. Prasad and Mahadevan Krishnan. (1987), J.Appl.Phys, v. 61, №9, pp. 4464-4470

20. Белоусов A.B., Карчевский А.И., Муромкин Ю.А., (1979), Физика плазмы, т.5, вып.6, с, 1239

21. М.Д.Габонич, "Физика и техника плазменных источников ионов", (1972), Атомиздат, с.180-192

22. Золотарев B.C. и.др. В кн." Труды Второй международной конференции по мирному использованию атомной энергии. 1958, Женева ", (1959), Доклады советских ученых, т.б, Москва, Атомиздат, с. 87

23. В.МГусев. " Труды Всесоюзной научно-технической конференции по применению радиоактивных и стабильных изотопов", (1958), Изд. АН СССР, с. 68

24. Федосеев Е.П., Диссертация на соискание степени канд. физ.-мат. наук, (1970), ИАЭ, Москва

25. Абрамцумян Р.В., Летохов B.C., Рябов Е.А., Чекалин RB., (1974), Письма в ЖТЭФ, т.20, с. 597

26. Kirhner R., (1981), Nuclear instruments and Methods in Physics Research, 186, p. 279

27. А.Энгель. "Ионизованные газы", (1959), гос.издательство физ-матлигературы, Москва, с. 93

28. Г.Мссси, Е.Бархоп. "Электронные и ионные столкновения", (1958), Издательство Иностр. Лит. Москва, с. 93-160

29. B.RWoIf, ILcmig, D.MRuck, P.Spadtke, E.Oks, (1995), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 106, pp. 651-656

30. B. Cobic, D. Tosic, B. Perovic, (1963), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 24, pp.358-364

31. M. Eggert, R Paetz gen. Schieck, (2000), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 453, pp. 514-521

32. G. Voronin, D. Solnyshkov, M Svinin, A. Solnyshkov, (2000), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 161-163, pp. 1118-1122

33. W.Yokota, T.Nara, KArakawa, MIde, Y.Kaminura, (1996), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 122 pp. 141-143

34. Y. Sato, A. Kitagawa, T. Miyata, R Sakamoto, S. Yamada, (2000), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 450, pp. 231-234

35. N.V. Gavrilov, E.M Oks, (2000), Nuclear Instruments and Methods in Physics Rcscarch A 439 31, p. 44

36. I.N.Churkin, V.I.Volosov, A.G.Steshov, (1997), Proceedings of 7th International Conference on Ion Sourccs, Italy, pp. 34-36

37. A.A.Bizyukov, IjVByzyukov, K.N. Sereda, N.D.Sereda (1997), Proceedings of 7th International Conference on Ion Sources, Italy, pp. 54-55

38. P.Spradtke, (2001), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Л 464, pp. 388 -394

39. Freeman I.R Pros.Premiere confinternationale surles sources d'ions. INSTN, Saclay, France, pp. 369-382

40. Л.Г. Денисов, ЕЛ.Черняк, ЛА.Козлов, (1992), "Ионно-плазменные источники в технологии микроэлсктронпых тгриборов". Обзоры по электронной технике. Серия 7. «Технология, организация производства и оборудование». Выпуск 14 (893), с. 11-12

41. V.E.Ptitsin, S.I.Shevchenko, (1992), SurflSci., 266, p. 191

42. L.Laska et al, (1996), Rev. Sd. Instr. 67, pp. 950-952

43. L.Vcrmccren and other, (1997), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 126, pp. 81-84

44. V.N. Panteleev, A.E. Barzakh, D.V. Fedorov, F.V. Moroz, A.G. Polyakov.S.Yu. Orlov, MD. Seliverstov and Yu-M. Volkov, (2000), Hyperfine Interactions 127, pp. 421-424

45. A.E.Barzakh, V.P.Denkov, V.D.Fedorov, S.YnOrlov, MD.Siliverstov, (1997), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 126, pp. 85-87

46. M-Koisumi, A.Osa, T.Sekine, MKubota, (1997), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 126, pp. 100-104

47. L. BischofS J. Teichcrt, S. Ilausmann, T. Ganctsos, G.L.R. Mair, (2000), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 161-163, pp. 1128-1131

48. I.Newman, W.A.BeII, W.C.Davis, L.O.Love, W.K.Prater, ICA.Spainhour, J.G.Tracy, A.M.Veach, (1976), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research 139, pp. 87-93

49. Кащеев H.A., Тиунов В.Ф., Огородников С.Г., Мартынов В.В., Пеплов В.Е., Староверов Л.И., Кузьмин Р.Н., Патент (19) RU 2063088 (51)С1 6 Н 01 J 37/08,3/04 (21) 93054318/07 (22) 06.12.93

50. Морозов ILM и др. В кн. «Труды второй междушродной конференции по мирному использованию атомной энергии. Женева, 1958» Доклады советских ученых, (1959), т.6, Москва, Атомиздат, с. 111

51. Magnuson G.D., (1965), Rev.Sdent.Instrum., 36, p. 136

52. C.E.Normand, L.O.Lovc, W.A.Bcll, W.ICPrater, In proceedings of the Confercncc held in Cockcroft Ilall, Harwell, edited by ML.Smith, (1956) (Butter worth's scientific publications, London), pp. 1-9

53. A.Piotrowski, R.L.GUI, D.C.McDonald, (1987), Nuclear instruments and Methods in Physics Research, B26, pp. 249-252

54. Р.П.ЭЛИОТТ. "Структуры двойные сплавы", Справочник, (1970), Металлургиздат, с. 252

55. Y.C. Feng, S.P. Wong, (1999), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 149, pp. 195-200

56. Rautcnbach W.L., (1960), Nuclcar Instruments and Methods in Physics Research, 9, p. 199

57. Hill K.I., Nelson R.S., (1965), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, 38, p. 15

58. J. Druaux, R. Bernas, In proceedings of the Conference held in Cockcroft Hall, Harwell, edited by M.L.Smith, (1956), (Butter worth's scientific publications, London), pp. 30-36

59. А.П.Бслокуров, Р.ИКузьмин, М.И.Мартынов, Д.В.Соксшов, RRCcMamKO, В.МЧесноков, (2000), Материалы 5-ой всероссийской (международной) конференции г.Звенигород "Физико-химической процессы при селекции атомов и молекул", Сборник докладов, с. 134-138

60. Д.В.Соколов, (1998), Материалы VIII международного семинара "Диагностика поверхности пучками", Ужгород, с. 87

61. Соколов Д.В., Кузьмин P.R, Семашко RR(1998), Материалы XVII международной конференции по физике плазмы и УТС, г. Звенигород, Прикладная физика №6 (1999), с. 87-89

62. М.Д.Габович, КВ.Плсшивцсв, RI .Семашко. «Пучки ионов и атомов для управляемого термрядерного синтеза и технологических целей», (1986), Москва, Энергоатомиздат, с. 71-85

63. I.N. Churkin, V.I. Volosov, A.G. Steshov, (1997), Proceedings 7th International Conference on Ion Sources, Italy, p. 84

64. ИВ. Плешивцев, " Катодное распыление",(1968), Атомиздат, с. 68

65. А.В. Жаринов, (1959), Атомная энергия, 7, с. 215,

66. BJL Грановский, "Электрический ток в газе. Установившийся ток", Наука, 1971, с. 474-475

67. P.Sigmund, (1969), Phys.Rev., v. 184, № 2, pp. 383-416

68. J.Bohdansky, J.Roth, RL.Bay, (1980), J.Appl.Phys„ v.51, №5, pp.2861-2865; (1981), v.52, №3, p.1610

69. Арифов У.А. "Взаимодействие атомных пучков с поверхностью металла.", (1961), Изд. Ак.наук УзССР, с. 80-126

70. Р. Хаддлстоун, СЛсонард, Диагностика плазмы, Мир, 1967, с. 133-145

71. Kadomtsev В.В, NedospasovA.W., (1960), Nucl.Fus.Plasma Phys. 1, p. 230

72. Соколов ДВ.,(1999), "Ion sourccs of palladium and platinum for electromagnetic separation of isotopes" в кн. "Научные исследования в области ядерной энергетики в технических университетах России", Изд. МЭИ, Москва, с. 112-113

73. Соколов ДВ., отчет ИЯС РНЦ "КИ", инв.№40/6590 от 21.10.2002

74. A.P.Belokurov, RN. Kousmine, MI. Martynov, D.V. Sokolov, (2001), Proceedings of the 9th International Conference on Ion Sources, Oakland, USA, Rev.Sd.Instrum., v.73, №2,02.2002, part2, p. 748-751

75. J.MLafFcrty, (1951). J.appl.phys., v.22, № 3

76. ИФ.Баласп, А.ПБслокуров, Р.Н.Кузьмин, МИМартынов, Д.В.Сокшов, (1999), Материалы 4-ой всероссийской (международной) конференции ^Звенигород "Физико-химической процессы при селекции атомов и молекул", Сборник докладов, с. 132-137

77. В.Эспс." Технология электровакуумных материалов", (1962), Госэнсргоиздат, т.1,с. 434

78. G. Battaglin, R. Bertoncello, M Casarin, E. Cattaruzza, G. Mattei P. Mazzoldi, F. TrivilHn, M Urbani, (1999), Journal of Non-Crystalline Solids, 253, pp. 251-260

79. U.Tisch, B.IIoliander, Mllackc, St.Mesters, W.Michelsen, D.Guggj, S.Mantl, B.Kabius, (1997), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research В 127/128, pp. 324-327

80. Z. Werner, J. Pickoszcwski, A. Barcz, R. GrOtzschel, F. Prokert, J. Stanislawski, W. Szymczyk, (2001), Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B175-177, pp. 767-771,

81. T.Nosaka, MYoshitake, A.Okamoto, Y.Suzuki, S.Ogawa, ILMima, (1996), Thin Solid Films, 281-282, pp. 393-396

82. P.I ЬКузьмин, МИМартынов, Д.В.Сокслов, (2001), Материалы 6-ой всероссийской (международной) конференции пЗвепигорад "Физико-химической процессы при селекции атомов и молекул". Сборник докладов, с. 147-149

83. R.N. Kousmine, MI. Martynov, A.S. Prokhorov, D.V. Sokolov, (2003), Proceedings of the 10th International Confcrcncc on Ion Sourccs, Dubna, Russia, Rev.Sd.Instrum., in print

84. Р.НКузьлши, МИ.Мартынов, Д.В.Сошлов, (2003), Материалы 8-ой всероссийской (междунаредной) конферешдаи г.Звенигород "Фгаико-химичсской процессы при селекции атомов и молекул", Сборник докладов, in print