Повышение работоспособности стали 38Х2МЮА в условиях высокотемпературного импульсного воздействия путем ионно-плазменного модифицирования тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.09, кандидат наук Теплоухов, Андрей Анатольевич

• Теплоухов, Андрей Анатольевич
• кандидат наук
• 2013

Оглавление диссертации кандидат наук Теплоухов, Андрей Анатольевич

Оглавление

Введение

Глава I. Теоретические основы теплофизических процессов в поверхностном слое конструкционных материалов

1.1. Физическое моделирование и его применение к исследованию быстропротекающих тепловых процессов в бинарных системах

1.2. Теоретические аспекты ионной имплантации

1.3. Аналитический обзор и классификация методов получения покрытий

Глава II. Исследование теплонапряженного состояния поверхностного слоя бинарной системы в процессе эволюции теплового импульса

2.1. Модель эволюции кратковременного теплового импульса в однородной плоской пластине

2.2. Подбор материала покрытия

2.3. Влияние химических факторов

Глава III. Методы получения и исследования бинарных систем сталь-

покрытие

3.1. Описание установки ионной имплантации и вакуумного ионно-плазменного напыления

3.2. Режимы ионной имплантации и нанесения покрытий

3.3. Комбинированный метод ионно-плазменного модифицирования конструкционной стали

Глава IV. Исследование модифицированных поверхностей конструкционной стали 38Х2МЮА методами электронной и зондовой микроскопии

4.1. Методы электронной микроскопии

4.2. Методы сканирующей зондовой микроскопии

4.3. Проведение измерений и обработка полученных результатов

Выводы

Список литературы

Приложения

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Повышение работоспособности стали 38Х2МЮА в условиях высокотемпературного импульсного воздействия путем ионно-плазменного модифицирования»

Введение

Модифицирование конструкционных материалов с целью направленного изменения их физико-химических свойств является весьма востребованной и актуальной задачей современного материаловедения. Во многих отраслях машиностроения широко востребованы материалы с улучшенными эксплуатационными свойствами, такими как работоспособность, механическая прочность, износостойкость и т.д.

В процессе эксплуатации деталей, узлов и агрегатов технологического оборудования, а также изделий машиностроения, изготовленных из конструкционных сталей и сплавов, в условиях высокотемпературных импульсных воздействий происходит снижение их работоспособности с дальнейшим разрушением, например, в установке лазерной резки «ЬавегМа^ 4200».

Изготовление деталей из дефицитных и дорогостоящих материалов нерационально, а зачастую невозможно, что обусловливает актуальность фундаментальных и прикладных исследований, направленных на формирование покрытий, наносимых на различные конструкционные металлические материалы с целью повышения их работоспособности.

В тех случаях, когда изменениям, в том числе необратимым, подвергается поверхностный слой объемной детали, в качестве альтернативы ее полного восстановления с использованием дорогостоящих конструкционных материалов, применяются методы поверхностного модифицирования. Нанесение покрытий позволяет восстановить свойства изделий, утраченные в процессе эксплуатации, а также повысить их ресурс, поэтому чаще всего модифицируют поверхности исходных изделий, получаемых в процессе производства. Среди таких методов высокой эффективностью отличается ионно-плазменное модифицирование.

Таким образом, актуальность проблемы повышения работоспособности конструкционных сталей обусловлена их широким применением в механизмах машин и технологического оборудования, эксплуатируемых при

воздействии высоких импульсных температур. Одним из возможных способов разрешения этой проблемы является модифицирование поверхностей конструкционных сталей посредством применения ионно-плазменных методов.

Объект и методы исследования. Конструкционная сталь 38Х2МЮА, модифицированная молибденом и танталом комбинированным ионно-плазменным методом.

При выполнении работы были использованы апробированные экспериментальные методы исследования поверхности (зондовая и электронная микроскопия), а также структуры и химического состава (рентгенографическая дифрактометрия) поверхностных слоев.

Используемые методы модифицирования поверхности конструкционной стали 38Х2МЮА:

1. Ионная имплантация: частотно-импульсный ионный источник «ДИАНа», позволяет получать пучки ионов любых проводящих материалов с энергиями до 150 кэВ, при этом пробег ионов в мишени составляет до десятых долей микрона.

2. Магнетронное напыление: VSM-200 позволяет производить предварительную очистку мишени в плазме тлеющего разряда (в среде аргона), а также проводить поверхностное модифицирование с получением качественных однородных плотных покрытий.

Цель работы: разработка методических основ поверхностного модифицирования изделий из конструкционной стали 38Х2МЮА, обеспечивающего повышение их работоспособности.

В соответствии с поставленной целью были сформулированы основные задачи исследования:

1. Исследование процесса распространения кратковременного теплового импульса в бинарной системе «сталь - покрытие» и разработка физико-математической модели его эволюции.

2. Обоснование критериев выбора материала, обеспечивающего снижение высокотемпературного воздействия и вызванных им напряжений, для модифицирования поверхности стали 38Х2МЮА.

3. Разработка комбинированного метода ионно-плазменного модифицирования поверхности стали 38Х2МЮА, а также режима модифицирования, обеспечивающего повышение её работоспособности.

4. Установление взаимосвязи между характеристиками модифицированной стали (микротвердость, топография) и материалом модификатора, а также режимом его нанесения.

5. Установление взаимосвязи между структурными изменениями и химическим составом поверхностного слоя стали 38Х2МЮА и материалом модификатора.

Научная новизна результатов исследования:

1. Физико-математическая модель эволюции кратковременного (до 0,2 мс) теплового импульса в бинарной системе «сталь - покрытие», разработанная с использованием уравнений теплопроводности и упругой волны с соответствующими начальными и граничными условиями, позволяющая рассчитать возникающие температурные поля, нормальные и тангенциальные напряжения, обусловленные этими полями.

2. Экспериментальные зависимости изменения микротвердости и топографии поверхности конструкционной стали 38Х2МЮА, модифицированной молибденом и танталом, от параметров режима модифицирования.

3. Комбинированный ионно-плазменный метод модифицирования, включающий предварительную ионную имплантацию с целью улучшения адгезионных свойств поверхности и последующее ионно-плазменное напыление покрытий из молибдена и тантала, обеспечивающего повышение работоспособности стали 38Х2МЮА.

На защиту выносятся:

1. Модель эволюции теплового импульса, позволяющая рассчитать температурные поля, нормальные и тангенциальные напряжения, возникающие в бинарной системе «сталь - покрытие».

2. Установленные в рамках разработанной модели критерии выбора материала для модифицирования конструкционной стали 38Х2МЮА, обеспечивающего снижение высокотемпературного импульсного воздействия и вызванных этим воздействием напряжений.

3. Экспериментальные зависимости микротвердости модифицированных поверхностей от режима ионно-плазменной обработки, позволяющие выбрать оптимальные параметры процесса имплантации и напыления работоспособного покрытия.

4. Характеристики топографии модифицированных поверхностей, позволяющие выбрать материал для напыления работоспособного покрытия.

5. Комбинированный метод модифицирования поверхности конструкционной стали 38Х2МЮА, включающий ионную имплантацию с последующим ионно-плазменным напылением молибдена или тантала, в зависимости от условий эксплуатации.

Практическая значимость работы. Разработан метод поверхностного модифицирования стали, заключающийся в сочетании предварительной ионной имплантации (с целью повышения адгезионных свойств поверхности) с последующим ионно-плазменным вакуумным напылением выбранного материала (молибден, тантал), обеспечивающий повышение работоспособности конструкционной стали 38Х2МЮА.

Результаты, полученные в диссертационной работе, использованы для поверхностного модифицирования тарировочных пластин установки лазерной резки «ЬазегМа1-4200». Пластины, модифицированные комбинированным ионно-плазменным методом, прошли натурные испытания на данной установке на заводе мостовых металлоконструкций ООО НПО «Мостовик». Оценочные испытания показали значительное (не

менее чем в 2, а в отдельных случаях от 4 до 6 раз) увеличение межремонтных сроков эксплуатации, что дает значительный экономический эффект.

Личный вклад автора состоит в выборе основных направлений исследования, разработке физико-математической модели эволюции кратковременного теплового импульса, методики модифицирования конструкционной стали 38Х2МЮА комбинированным ионно-плазменным методом, в проведении экспериментов и расчетов, анализе экспериментальных и расчетных данных, в обобщении результатов исследования.

Степень достоверности результатов диссертации. Достоверность полученных результатов подтверждается высокой степенью корреляции между результатами, полученными различными методами (рентгеновский микроанализ, атомно-силовая и электронная микроскопия), а также согласием с результатами, полученными в данной области отечественными и зарубежными исследователями.

Апробация результатов исследования. Основные практические результаты и теоретические выводы диссертационной работы докладывались и обсуждались на конференциях и семинарах международного, федерального, регионального и вузовского уровней в Донецке (международная научно-практическая конференция «Машиностроение и техносфера XXI века», 2007 г.) [57], Омске (VI и VIII международная научно-практическая конференция «Динамика систем, механизмов и машин», 2007, 2011, 2012 гг.; V Всероссийская научно-техническая конференция «Россия молодая: передовые технологии - в промышленность!», 2013 г.) [49-50], [52], [54-55], [58-60] Киеве (международная научно-практическая конференция «Новые и нетрадиционные технологии в ресурсо- и энергосбережении», 2011 г.) [56], Санкт-Петербурге (международная научно-практическая конференция «Нанотехнологии функциональных материалов», 2012 г.) [51],

[61] и нашли своё отражение в научных публикациях, в том числе в статьях, рекомендованных ВАК [53], [62].

Публикации. Материалы диссертационной работы изложены в 14 работах, в том числе 2 работы в журналах, входящих в перечень ведущих рецензируемых изданий, рекомендованных ВАК для опубликования материалов диссертационных работ.

Структура и объем диссертации. Диссертация состоит из введения, четырех глав, выводов, списка литературы, содержащего 132 наименования и приложения. Основной текст изложен на 124 страницах, содержит 22 рисунка и 8 таблиц.

Глава I. Теоретические основы теплофизических процессов в поверхностном слое конструкционных материалов

Любое исследование начинается с установления общих подходов к описанию закономерностей рассматриваемого процесса. Метод моделирования позволяет сочетать эмпирический и теоретический уровни исследования различных физических объектов, что обусловливает возможность его применения к изучению процесса теплового воздействия на модифицированную поверхность конструкционных материалов. Исследование теплофизических процессов в поверхностном слое конструкционной стали проводится посредством построения физико-математической модели эволюции кратковременного теплового импульса в поверхностном слое стали до и после ее модифицирования, устанавливаются критерии выбора материала для модифицирования конструкционной стали 38Х2МЮА, обеспечивающего снижение высокотемпературного импульсного воздействия и вызванных этим воздействием напряжений.

В первой главе также рассматриваются общенаучные основы метода моделирования и его применение к построению физических моделей быстропротекающих тепловых процессов в отечественной и зарубежной литературе. Выделяются основные этапы построения модели кратковременного теплового воздействия на поверхность предварительно модифицированных конструкционных материалов, ее структурообразующие элементы, а также формулируются цели и задачи исследования. Проводится анализ теоретических и экспериментальных данных по проблеме снижения высокотемпературных кратковременных воздействий в процессе эксплуатации конструкционных сталей, в том числе посредством применения ионной имплантации.

1.1. Физическое моделирование и его применение к исследованию быстропротекающих тепловых процессов в бинарных системах

В процессе анализа литературы по проблеме моделирования было выявлено многообразие трактовок понятия модели в зарубежной (Л.

Апостель, Р. Шеннон) и отечественной (В.А. Веников, Н.М. Амосов и др.) литературе [2; 10; 37; 70], в том числе мнение, исключающее возможность построения ее единого определения [75]. Например, А.И. Уемов определяет модель, как систему, исследование которой служит средством для получения информации о другой системе [64].

Таблица 1

Классификация моделей по В.А. Штоффу

Мысленные модели

Материальные модели

Образные

Смешанные

Знаковые

Пространственно-подобные

Физически-подобные

Математически-подобные

3.

к „ К К Я"

ч о ЕС О

а> К И о <и ¡г к н <и н о с к

и

Й м К

<и

ч

К К

ч о

ч о

и О

я

ев

<и к

1-4

ч <и ч о

<и

к о

Он

с

в? к я <и ч со Й н о ч

<и

Он

с

я «

я я

Я

Й X Он ^а „

ев л я * ^

« 9 й Д Л & Й ° ~

^ <и ^ Я 3 н

в & Й

и « л

Н О

2 о

£3

(и «

о

И Й я

Он со ю о ° 2 я я й 03

о

иО

я я

<Ц

ч (и

ч

<и

сх,

я

о

а> н о я а о я н 0)

я

а

<и

н

я

я

я «

м о я о я

о

« <и

03 Я

4 (и Ч О

<и

я я

3

н «

й

Я Я

я

СО ь<< Н * О

я

Й ^

о о си я

я

Я !=*

я со

в 2

Й В,

5 «

Й ч ю о

я" ч

О)

ч о

«

я ю о ч о я

о

1-н

о «

о

<и

¡Г

я

п

я

-е*

2 о

я я

(-Н

я

Он

о

<и

я

л я

^ к

^ а

и ^

>-. О)

~ 3

со о

я о я

О & В

Д т=г ж

со о и о

я

с

я я

Я" >>

' и ^

я

ч

О)

ч о

Классификация моделей возможна различными способами, в зависимости от выбранного основания (табл. 1) [11]. Данная классификация отличается четкой и логической структурой и может быть использована в качестве основы для анализа функций моделей [27].

К основным типам моделей относятся статические и динамические, детерминистские и стохастические, дискретные и непрерывные, натурные (физические), аналоговые и символические модели [70]. В качестве оснований для классификации моделей также может быть рассмотрена их зависимость от направленности времени [4].

Моделирование является методологической основой современной науки. В широком смысле слова моделирование выражает некоторый

всеобщий аспект познавательного процесса. В узком смысле слова моделирование - это специфический способ познания, при котором одна система (объект исследования) воспроизводится в другой (модели), при этом модель является целью, средством и результатом моделирования [11; 12; 31; 64; 71]. Любое изучение количественных и качественных характеристик процесса высокотемпературного импульсного воздействия на поверхность конструкционных материалов является его моделированием, которое требует последовательного, доказательного установления структуры и параметрических характеристик исследуемого процесса.

В практике моделирования чаще всего не удается строго выдержать рекомендуемую последовательность действий, следовательно, выявление или уточнение неявных сторон процесса импульсного воздействия на модифицированную поверхность материалов должно решаться путем логического построения модели ее состояния (теплового, напряженного) и нахождения связей и отношений ее отдельных элементов.

Таким образом, физическая структурно-функциональная модель эволюции теплового импульса относится к материальным, смешанным (обладает подобием физических характеристик, описывается математически) моделям. По видовому признаку разработанная модель является реальной, по форме представления - логическая, по природе моделируемых явлений -физическая, по способу выражения - математическая.

Целью моделирования процесса высокотемпературного воздействия на поверхность бинарных систем является разработка методических основ поверхностного модифицирования изделий из конструкционной стали 38Х2МЮА, обеспечивающего повышение их работоспособности.

При этом реализуются следующие функции модели: эвристическая, нормативная и объясняющая. Ведущей, общей функцией модели является эвристическая (модель должна позволять получать новые знания об объекте посредством исследования его предмета); две остальные функции представляют виды получаемых новых знаний - нормативная (каковы

должны быть особенности процесса теплового воздействия) и объясняющая (почему они именно таковы). Эвристическая функция модели реализуется посредством получения новых знаний о процессе высокотемпературного теплового воздействия на поверхность бинарных систем: для нанесения покрытия наиболее целесообразным использовать тантал и молибден, так как они образуют в процессе модифицирования устойчивую оксидную пленку. Нормативная функция модели определяет оптимальные условия модифицирования, а также позволяет внедрить разработанный метод в единый технологический процесс. Объясняющая функция модели обосновывает критерии выбора материала для нанесения покрытий, а также соответствующих средств и способов модифицирования.

Физическое моделирование используется для воспроизведения в различных масштабах какого-либо технологического процесса, протекающего во времени и пространстве в изучаемой системе при переменных параметрах, фигурирующих в математических формулировках тех физических законов, которым подчиняется процесс [28]. В случае если имеется аналитическое описание рассматриваемого физического процесса в виде рабочего уравнения, содержащего пространственно-временные характеристики, то данное уравнение можно использовать для рассмотрения процесса в различных масштабах, при этом определяющее значение имеет режим протекания процесса [28]. Такое обобщение становится возможным при соблюдении определенных условий - условий подобия.

Теоретической базой построения и исследования физических моделей являются анализ размерностей и теория подобия. При этом теория подобия определяет условия возможного обобщения полученных на моделях данных, а анализ размерностей используется для формирования этих условий.

Методы анализа размерностей во многом основаны на работах Фурье, который сформулировал принцип однородности по размерности [17]. Он гласит, что любое уравнение корректно только в том случае, если все его компоненты имеют одинаковую размерность. Использование аппарата

анализа размерностей как для установления взаимосвязи параметров процесса, так и для сокращения числа исследуемых переменных предполагает выполнение трех условий:

- понимание исследуемого процесса;

- наличие формул размерностей исследуемых величин в принятой основной системе размерностей;

- знание методов обработки размерностей.

Таблица 2

Размерности тепловых величин

Величина Тепловая формула Динамическая формула

Количество тепла Н МЬ2Т~2

Удельная теплоемкость ЯМ-Ч"1

Теплопроводность НЬ^Т'Н-1 ьмт-Н'1

Коэффициент теплопередачи Н1-2Т-Н-1 МТ

Энтропия -1 2 -2 -1

Коэффициент теплового I-1

расширения

В качестве методов обработки размерностей используются методы Букингема, Релея, поэтапный метод Ипсена, метод линейных пропорциональностей Барра и др., которые позволяют получать размерности

физических величин, например, тепловых физических величин (табл. 2). Теория подобия и анализ размерностей являются методами частичного анализа. Каждый из них позволяет получить неполный ответ, и конечный результат применения того и другого представляет собой безразмерное функциональное уравнение, пригодное для разработки моделей. Однако, если анализ размерностей служит в первую очередь средством интерпретации экспериментальных данных на основе законов моделирования, полученных из уравнения связи безразмерных параметров, то теория подобия и анализ подобия предназначены главным образом для вывода законов моделирования, на основании которых можно получить безразмерное функциональное уравнение.

При выполнении правила Кирпичева-Гухмана [16], заключающегося в попарном численном равенстве всех критериев подобия, определяющих процесс в оригинале и в модели, а также тождественности безразмерных записей условий однозначности, моделирование является прямым и полным.

Возможно также приближенное моделирование и моделирование по аналогии. При приближенном моделировании в модели воспроизводится тот же физический процесс, что и в оригинале (либо наиболее существенная часть этого процесса), при частичном нарушении его несущественных свойств.

Инструменты анализа размерностей являются основой для построения физических масштабных моделей, подобных натурным техническим системам. Подобными являются такие технические системы, у которых подобны все характеризующие параметры, иначе говоря, системы, сохраняющие постоянство отношения одноименных физических величин в сходственных пространственно-временных точках [21].

При решении технических задач физическое подобие рассматривается как совокупность подобия частных характеристик явления.

Условиями подобия являются:

- принадлежность описания оригинала и модели к одному классу дифференциальных уравнений;

- подобие условий однозначности;

- равенство критериев подобия для оригинала и модели в сходственных точках исследуемого пространства.

Первое условие выполняется автоматически при использовании в модели и оригинале тех же физических эффектов. Под подобием условий однозначности понимается подобие начальных и граничных условий, геометрическое, кинематическое и динамическое подобие. Если для исследуемой системы характерны температурные и химические процессы, то в условия однозначности входят также температурное и химическое подобие. Температурное подобие и подобие тепловых потоков определяется соответственно геометрическим подобием температурных полей и пропорциональностью всех температур. Химическое подобие предполагает пропорциональность концентраций веществ в сходственных точках пространства.

Третье условие подобия проверяется контролем равенства значений критериев подобия для оригинала и модели в сходственных точках исследуемого пространства переменных. Критерии подобия отражают в безразмерном виде основные закономерности и явления, характерные для исследуемого объекта. Pix число и состав зависят от физической природы явлений [17]. Таким образом, применение физического моделирования для получения достоверных результатов исследования объекта возможно только на базе некоторой заранее выбранной математической модели. В частности, используемое в нашем исследовании уравнение теплопроводности Фурье параболического типа (т.е. описывает процессы с бесконечной скоростью распространения возмущения), основанное на гипотезе Био-Фурье, выступает в качестве основы математической модели процесса теплопроводности в неподвижной изотропной среде. Критериями подобия для данного модельного представления являются:

а) равенство усредненной плотности внутренних источников отношению величины тепловыделения к величине теплопроводности системы;

б) соотношение характерного времени протекания процесса к времени релаксации (критерий тепловой гомохронности), равное числу Фурье.

Релаксационный симплекс подобия £р, характеризующий конечность скорости распространения тепловых возмущений, при этом стремится к нулю:

= (1.1.1.)

При физическом моделировании важно обращать внимание на возможные искажения локальных эффектов при сохранении подобия процесса в целом. Важно также учитывать различия в абсолютных размерах оригинала и модели по отношению к некоторым внутренним масштабам системы, которые тоже могут привести к возникновению не заложенных в модель эффектов.

Математической моделью физического процесса является его описание в математических терминах, адекватное исходным представлениям и данным. Простейшая физико-математическая модель - перечень свойств среды и ее динамических параметров, взаимосвязь которых описывает изучаемый процесс в данном приближении к действительности [21].

Научной базой применения концептуальных, конструкторских, технологических и материаловедческих решений для всех этапов создания машин и конструкций являются принципы и методы физического и математического моделирования.

В области конструкционного материаловедения используют экспериментальное определение физико-механических свойств на лабораторных образцах как при стандартных испытаниях, так и при испытаниях в условиях, имитирующих эксплуатационные. При изготовлении высокоответственных деталей и узлов из новых материалов (высокопрочные, композиционные и др.) необходимо проводить специализированные

17

испытания по определению предельных состояний и критериев повреждения. Математическое моделирование используют для построения имитационных моделей механического поведения материалов в различных условиях. Имитационные модели используют при выполнении сложного математического анализа тепловых, диффузионных, электромагнитных и других явлений, сопутствующих новым технологиям.

Физическое и математическое моделирование в машиностроении базируется на общих подходах, развиваемых на основе фундаментальных наук, прежде всего математики, физики и химии. Физическое и математическое моделирование проводится в несколько стадий. На первом этапе моделирования осуществляется постановка и уточнение задачи. Рассматриваются физические особенности объекта исследования, определяется степень влияния различных факторов на моделируемые процессы. На этой основе строится физическая модель предмета исследования, далее, на ее базе, строится математическая модель. Математическая модель включает в себя математическое описание моделируемого процесса или механической системы в соответствии с закономерностями кинематики и динамики, поведения материалов, например, в условиях высокотемпературных воздействий. На следующей стадии выбирается вычислительный алгоритм решения задачи моделирования. Современные численные методы позволяют снять ограничения на степень сложности математических моделей.

Далее осуществляется программирование вычислительного алгоритма для ЭВМ. При этом создаются проблемно-ориентированные пакеты прикладных программ, позволяющие на их основе создавать сложные программы для комплексного описания процессов, машин и систем машин. На следующей стадии выполняются расчеты на ЭВМ по разработанным программам. Существенное значение при этом имеет рациональное представление конечных результатов. Завершающая стадия предусматривает анализ полученных результатов, сопоставление их с данными физических

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Теплоухов, Андрей Анатольевич, 2013 год

Список литературы

1. Аброян, И.Я. Физические основы электронной и ионной технологии [Текст] / И.Я. Аброян, А.Н. Андронов, А.И. Титов. - М.: Высшая школа, 1984.-320 с.

2. Амосов, Н.М. Моделирование сложных систем [Текст] / Н.М Амосов. - Киев: Наук, думка, 1968. - 88 с.

3. Астров, Е.И. Плакированные многослойные металлы [Текст] / Е.И. Астров. - М.: Наука, 1965. - 239 с.

4. Афанасьев, В.Г. Общество: системность, познание и управление [Текст] / В.Г. Афанасьев. - М.: Политиздат, 1981. - 432 с.

5. Барвинок, В. А. Управление напряженным состоянием и свойствами плазменных покрытий [Текст] / В. А. Барвинок. - М.: Машиностроение, 1990. - 384 с.

6. Барвинок, В.А. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления [Текст] / В.А. Барвинок, В.И. Богданович. - М.: Машиностроение, 1999. - 309 с.

7. Бахтизин, Р.З. Физические основы сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / Р.З. Бахтизин, P.P. Галлямов. - Уфа: РИО БашГУ, -2003,-82с.

8. Бобров, Г.В. Нанесение неорганических покрытий (теория, технология, оборудование): учеб. пособ. для студентов вузов [Текст] / Г.В. Бобров, A.A. Ильин. - М.: Интермет-Инжиниринг, 2004. - 624 с.

9. Быков, В. А. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности [Текст] / В.А. Быков, М.И. Лазарев // Электроника: наука, технология, бизнес. - 1997. - №5. - С. 7 - 14.

10. Веников, В.А. О моделировании [Текст] / В.А. Веников. - М.: Знание, 1974.-63 с.

11. Веников, В.А. Теория подобия и моделирования (применительно к задачам электроэнергетики): Учебник для вызов по спец. «Кибернетика

электрических систем» [Текст] / В.А. Веников, В.Г. Веников. - 3-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш. шк., 1984. - 439 с.

12. Глинский, Б. А. Моделирование как метод научного исследования: (гносеологический анализ) [Текст] / Б.А. Глинский, Б.С. Грязнов, Б.С. Дынин, Е.П. Никитин. -М.: Изд-во Моск. ун-та, 1965. - 248 с.

13. Горелик, С.С. Рентгенографический и электронно-оптический анализ [Текст]: учеб. пособ. для вузов / С.С. Горелик, Ю.А. Скаков, JI.H. Расторгуев. - 3 изд. доп. и перераб. - М.: МИСИС, 1994. - 328 с.

14. Гоулдстейн, Дж. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ [Текст] / Дж. Гоулдстейн. - в 2-х книгах. Книга 1. Пер. с англ. - М. Мир, 1984. - 303 с.

15. Гун, Г.С. Оптимизация процессов технологического и эксплуатационного деформирования изделий с покрытиями: Монография [Текст] / Г.С. Гун, М.В. Чукин. - Магнитогорск: ГОУ ВПО «МГТУ», 2006 -323 с.

16. Гухман, A.A. Введение в теорию подобия: учеб. пособие для втузов [Текст] / A.A. Гухман. - Изд. 2-е, доп. и переработан.. - М.: «Высшая школа», 1973. - 296 с.

17. Дьячков, Ю.А. Моделирование технических систем: учеб. пособ. [Текст] / Ю.А. Дьячков, И.П. Торопцев, М.А. Черемшанов. - Пенза, 2011. -239 с.

18. Каракозов, Э.С. О понятии энергии активации топохимической реакции между материалами в твердой фазе [Текст] / Э.С. Каракозов, С.С. Шоршоров // Физика и химия обработки материалов. - 1971. - Вып. № 4. - С. 94-100.

19. Кобаяси, Н. Введение в нанотехнологию [Текст] / Н. Кобаяси. -2-е изд, пер. с японск. - М. : Бином. Лаборатория знаний, 2008. - 134 с.

20. Кудинов, В.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование: учебник для вузов [Текст] / В.В. Кудинов, Г.В. Бобров. - М.: Металлургия, 1992. - 432 с.

21. Кутателадзе, С.С. Анализ подобия и физические модели [Текст] / С.С. Кутателадзе. - Новосибирск: Наука. - 1986. - 296 с.

22. Лариков, Л.Н. Тепловые свойства металлов и сплавов [Текст] / Л.Н. Лариков, Ю.Ф. Юрченко. - Киев: «Наукова Думка», 1985. - 437 с.

23. Мартыненко, С.И. Универсальная многосеточная технология для численного решения дифференциальных уравнений в частных производных на структурированных сетках [Текст] / С.И. Мартыненко // Вычислительные методы и программирование - 2000 - Т.1.- С. 83-87.

24. Миронов, В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В.Л. Миронов, - М.: Техносфера, 2004, - 143 с.

25. Миронов, В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии [Текст]: учеб. пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений / В.Л. Миронов. - Н. Новгород, 2004. - 114 с.

26. Морис, Ф. Микроанализ и растровая электронная микроскопия [Текст] / Под ред. Ф. Морис, Л. Мени, Р. Тиксье. - М.: Металлургия, 1985. -392 с.

27. Морозов, К.Е. Математическое моделирование в научном познании [Текст] / К.Е. Морозов. - М.: Мысль, 1969. - 212 с.

28. Мочернюк, Д.Ю. Физическое моделирование инженерных процессов [Текст] / Д.Ю. Мочернюк. - Львов: Вища шк. Изд-во при Львов, ун-те, 1987.- 160 с.

29. Мошников, В. А. Атомно-силовая микроскопия для нанотехнологии и диагностии: учеб. пособие [Текст] / В.А. Мошников, Ю.М. Спивак, - СПб.: СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2009. - 80 с.

30. Неволин, В.К. Зондовые нанотехнологии в электронике [Текст] / В.К. Неволин. - 2-е изд, перераб. и доп. - М. : Техносфера, 2006. - 160с.

31. Новик, И.Б. Моделирование сложных систем [Текст] / И.Б. Новик. - М.: Мысль, 1965. - 334 с.

32. Новый политехнический словарь [Текст] / Гл. ред. А.Ю. Ишлинский. - М.: Большая Российская энциклопедия, 2000. - 671 с.

33. Орлов, Б.В. Устройство и проектирование стволов артиллерийских орудий [Текст] / Б.В. Орлов, Э.К. Ларман, В.Г. Маликов. -М.: Машиностроение, 1976. - 432 с.

34. Палмер, Д. Успехи ионной имплантации [Текст] / Д. Палмер // Ионная имплантация и полупроводники и другие материалы. - М.: Мир, 1980.-С. 7-64.

35. Пасконов, В.М. Численное моделирование процессов тепло- и массообмена [Текст] / В.М. Пасконов, В.И. Полежанов, Л.А. Чудов. - М.: Наука, - 1984.

36. Пашенцев, В.Н. Характеристика плазмы магнетрона на больших расстояниях от катода [Текст] / В.Н. Пашенцев // Прикладная физика. - 2009. -№ 4. -С. 91-95.

37. Перегудов, Ф.И. Введение в системный анализ [Текст] / Ф.И. Перегудов, Ф.П. Тарасенко. - М.: Высшая школа, 1989. - 360 с.

38. Попов, В.Ф. Процессы и установки электронно-ионной технологии [Текст] / В.Ф. Попов, Ю.Н. Горин. - М.: Высш. Шк., - 1988.

39. Пул, Ч. Нанотехнологии [Текст] / Ч. Пул, Ф. Оуэне; пер. с англ. -М. : Техносфера, 2004. - 327 с.

40. Ратнер, М. Нанотехнология. Простое объяснение очередной гениальной идеи [Текст] / М. Ратнер; пер. с англ.- М. : Вильяме, 2004. - 240с.

41. Рид, С.Дж.Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии [Текст] / Рид, С.Дж.Б; пер.с англ. - М.: Техносфера, 2008. - 232 с.

42. Риссел, X. Ионная имплантация [Текст] / X. Риссел, И. Руге. - М.: наука, 1983.-360 с.

43. Семенов, А.П. Новая вакуумная ионно-плазменная технология изготовления подшипников скольжения [Текст] / А.П. Семенов // Методы упрочнения поверхностей деталей машин: Сб. научн. тр. - М.: Красанд, 2008. - С. 39—47.

44. Семенов, А.П. Перспективы повышения трибологических свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий легированием [Текст] / А.П. Семенов // Методы упрочнения поверхностей деталей машин: Сб. научн. тр. - М.: Красанд, 2008. - С. 49-65.

45. Семенов, А.П. Схватывание металлов [Текст] / А.П. Семенов -М.: Машгиз, 1958. - 280 с.

46. Современная трибология: Итоги и перспективы [Текст] / Под ред. К.В. Фролова - М.: Издательство ЖИ. - 2008.

47. Тарнавский, Г.А. Математическое моделирование: основные сегменты, их особенности и проблемы [Текст] / Г.А. Тарнавский, A.B. Алиев // Вычислительные методы и программирование. - 2007. - Т. 8. - С. 298-310.

48. Тепло- и массообмен: теплотехнический эксперимент [Текст] / Под ред. В.А. Григорьева, В.М. Зорина. - М.: Энергоиздат, - 1982.

49. Теплоухов, A.A. Ионно-плазменная обработка внутренних поверхностей длинномерных цилиндрических деталей [Текст] / А.И. Блесман, В.Г. Порохи, A.A. Теплоухов // Россия молодая: передовые технологии - в промышленность: матер. IV Всерос. молодеж. науч.-техн. конф.: - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2009. - Кн. 1. - С. 341 - 343.

50. Теплоухов, A.A. Ионно-плазменная обработка внутренних цилиндрических поверхностей [Текст] / А.И. Блесман, В.Г. Порохин, A.A. Теплоухов // Омский регион - месторождение возможностей: материалы II регион, молодеж. науч.-техн. конф.: - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2011. — С. 28-29.

51. Теплоухов, A.A. Исследование микрорельефа тонкопленочных ионно плазменных покрытий методом зондовой микроскопии [Текст] / А.И. Блесман, A.B. Мышлявцев, A.A. Теплоухов // Нанотехнологии функциональных материалов (НФМ'2012): матер, междунар. науч.-техн. конф. - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012. - с. 367-371.

52. Теплоухов, A.A. Исследование микротвердости стали 38Х2МЮА, модифицированной Та [Текст] / А.И. Блесман, Д.А. Полонянкин, A.A. Теплоухов // матер. V Всерос. науч.-техн. конф. с междунар. участием

«Россия молодая: передовые технологии - в промышленность!»: Омск: Изд-во ОмГТУ, 2013.-Кн. 2.-С. 114-115.

53. Теплоухов, A.A. Исследование поверхностей стальных образцов, модифицированных Мо и Cr [Текст] / А.И. Блесман, Е.А. Рогачев, М.А. Зверев, A.A. Теплоухов // Научное обозрение. № 5. - М.: «Наука и образование», 2012. - С. 231-234.

54. Теплоухов, A.A. Исследование тонких пленок методами электронной и зондовой микроскопии [Текст] / А.И. Блесман, М.А. Зверев, Е.А. Рогачев, A.A. Теплоухов // Динамика систем, механизмов и машин: матер. VIII междунар. науч.-техн. конф. - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2012. - с. 341-344.

55. Теплоухов, A.A. Исследование тонкопленочных покрытий молибдена и хрома на конструкционных сталях [Текст] / А.И. Блесман, М.А. Зверев, Е.А. Рогачев, A.A. Теплоухов // Динамика систем, механизмов и машин: матер. VIII междунар. науч.-техн. конф. - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2012.-с. 344-347.

56. Теплоухов, A.A. Комплексный метод нанесения тонких пленок с улучшенной адгезией [Текст] / А.П. Моргунов, А.И. Блесман, В.Г. Порохин, A.A. Теплоухов // Новые и нетрадиционные технологии в ресурсо- и энергосбережении: матер, науч.-техн. конф.: - Киев: ATM Украины, 2011. -С.131-133.

57. Теплоухов, A.A. Оптимизация триботехнических свойств материалов металлополимерных узлов трения [Текст] / А.И. Блесман, Д.В. Постников, В.И. Суриков, A.M. Ласица, A.A. Теплоухов // сб. тр. XIII междунар. науч.-техн. конф. Машиностроение и техносфера XXI века. -Донецк: ДонГТУ, 2009. - Т. 1. - С. 91 - 95.

58. Теплоухов, A.A. Получение тонкопленочных структур ионно-плазменными методами [Текст] / А.И. Блесман, A.A. Теплоухов. // Омский регион - месторождение возможностей: материалы II регион, молодеж. науч.-техн. конф.: - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2011. - С. 30-31.

59. Теплоухов, A.A. Применение метода атомной силовой микроскопии для анализа напряженного состояния в имплантированных слоях [Текст] / A.M. Ласица, А. И. Блесман, Д.В. Постников, В.Г. Чуранкин, A.A. Теплоухов // Динамика систем, механизмов и машин: матер. VI междунар. науч.-техн. конф., посвящ. 65-летию ОмГТУ. - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2007. - Кн. 2. - с. 343-347.

60. Теплоухов, A.A. Развитие технического творчества молодежи -необходимое условие подготовки специалистов для высокотехнологических производств [Текст] / А.И. Блесман, В.Г. Порохин, A.A. Теплоухов. // Ресурсосберегающие технологии - основа сотрудничества: матер. Всерос. молодеж. науч.-техн. конф.: - Омск: Изд-во ОмГТУ, 2011. - С. 34-36.

61. Теплоухов, A.A. Эволюция теплового импульса в тонкопленочном покрытии [Текст] / А.И. Блесман, Д.В. Постников, A.A. Теплоухов // Нанотехнологии функциональных материалов (НФМ'2012): матер, междунар. науч.-техн. конф. - СПб.: Изд-во Политехнического университета, 2012. - с. 48-53.

62. Теплоухов, A.A. Электронная и зондовая микроскопия тонких пленок У, Sc, Gd и Cr [Текст] / А.И. Блесман, Е.А. Рогачев, М.А. Зверев, A.A. Теплоухов // Научное обозрение. № 5. - М.: «Наука и образование», 2012. -С. 226-230.

63. Технология тонких пленок (справочник) [Текст] / Под ред. Л. Майселла, Р. Глэнга; пер. с англ. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. - Т. 1. - М.: «Сов. Радио», 1977 - 664 с.

64. Уемов, А.И. Логические основы метода моделирования [Текст] / А.И. Уемов. - М.: Мысль, 1971. - 310 с.

65. Уильяме, Л. Нанотехнологии без тайн [Текст] / Л. Уильяме, У. Адаме; пер. с англ. - М. : Эксмо, 2009. - 368 с.

66. Фарбер, В.М. Дифракционные методы анализа: учеб. пособ. [Текст] /В.М. Фарбер, A.A. Архангельская. - Екатеринбург: ГОУ ВПО УГТУ-УПИ, 2004,- 114 с.

67. Хирвонен, Дж.К. Ионная имплантация [Текст] / Дж.К. Хирвонен. - М.: Металлургия, 1985. - 392 с.

68. Цидулко, А.Г. Плазменные покрытия из плакированных порошков [Текст] / А.Г. Цидулко, В.В. Ващенко, О.Н. Голубев // Температуроустойчивые покрытия. - Л.: Наука, 1985. - С. 135-138.

69. Чиркин, B.C. Тепло-физические свойства материалов ядерной техники [Текст] / B.C. Чиркин. - М.: «Атомиздат», 1968. - 483 с.

70. Шеннон, Р. Имитационное моделирование систем - искусство и наука [Текст] / Р. Шеннон. - М.: Мир, 1978. - 418 с.

71. Штофф, В.А. Моделирование и философия [Текст] / В.А. Штофф -М.: Наука, 1966.-304 с.

72. Щеголев, Г.А. К вопросу схватывания разнородных металлов [Текст] / Г.А. Щеголев, В.Л. Колмогоров // Теория и практика производства метизов: Межвуз. сб. науч. тр. - Свердловск: Изд. УПИ, 1988. - С. 169-176.

73. Alami, J. Phase tailoring of Та thin films by highly ionized pulsed magnetron sputtering [Text] / J. Alami, P. Eklund, J.M. Andersson, M. Lattemann, E. Wallin, J. Bohlmark, P. Persson, U. Helmersson // Thin Solid Films. - 2007. -Vol. 515.-P. 3434-3438.

74. Almeida, J.B. Molybdenum coatings produced by magnetron sputtering [Text] / J.B. Almeida, Marta M.D. Ramos, M. Isabel, C. Ferreira, M.P. dos Santos, M. Daniela R. Cruz, A.L. Santos Gama // Vacuum. - 1989. - Vol. 39. -P. 735-738.

75. Apostel, L. Towards the formal study of models [Text] / L. Apostel // Science. - 1960. - Vol. 12. - P. 123-209.

76. Baglin, J.E.E. Ion beam nanoscale fabrication and lithography - A review [Text] / J.E.E. Baglin // Applied Surface Science. - 2012. - Vol. 258. - P. 4103-4111.

77. Bielawski, M. Development of unbalanced magnetron sputtered AlMo coatings for cadmium replacement [Text] / M. Bielawski // Surface and Coatings Technology. - 2004. - Vol. 179. - P. 10-17.

78. Boden, S.A. Focused helium ion beam milling and deposition [Text] / S.A. Boden, Z. Moktadir, D.M. Bagnall, H. Mizuta, H.N. Rutt // Microelectronic Engineering. - 2011. - Vol. 100. - P. 2452-2455.

79. Bugaev, S.P. Ion-assisted pulsed magnetron sputtering deposition of ta-C films [Text] / S.P Bugaev, V.G Podkovyrov, K.V Oskomov, S.V Smaykina, N.S Sochugov // Thin Solid Films. - 2001. - Vol. 389. - P. 16-26.

80. Chen, H. Electrical and material characterization of tantalum pentoxide (Ta205) charge trapping layer memory [Text] / A.X. Wei, Z.X. Ge, X.H. Zhao, J. Liu, Y. Zhao // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 509. - P. 7481-7485.

81. Cheng, J. Improvement of thermal stability in the solar selective absorbing Mo-A1203 coating [Text] / J. Cheng, C. Wang, W. Wang, X. Du, Y. Liu, Y. Xue, T. Wang, B. Chen // Solar Energy Materials & Solar Cells. - 2013. -Vol. 109.-P. 204-208.

82. Cristea, D. Development of tantalum oxynitride thin films produced by PVD: Study of structural stability [Text] / D. Cristea, A. Crisan, N.P. Barradas, E. Alves, C. Mouraa, F. Vaza, L. Cunha // Applied Surface Science. - 2013. - Vol. 285P.-P. 19-26.

83. Deng, Y. The fretting behaviour of a nitrided steel 38CrMoAl [Text] / Y. Deng, B. Zhang, W. Luo // Wear. - 1998. - Vol. 125. - P. 193-204.

84. Dorranian, D. Effects of low temperature on the characteristics of tantalum thin films [Text] / D. Dorranian, E. Solati, M. Hantezadeh, M. Ghoranneviss, A. Sari // Vacuum. - 2011. - Vol. 86. - P. 51-55.

85. El-Sebaii, A.A. Effect of selective coating on thermal performance of flat plate solar air heaters [Text] / A.A. El-Sebaii, H. Al-Snani// Energy. - 2010. -Vol. 35.-P. 1820-1828.

86. Ensinger, W. The influence of the ion flux density on the properties of molybdenum films deposited from the vapour phase under simultaneous argon ion irradiation [Text] / W. Ensinger // Thin Solid Films. - 1996. - Vol. 275. - P. 5457.

87. Feng, X. Chemical state and phase structure of (TaNbTiW)N films prepared by combined magnetron sputtering and PBII [Text] / X. Feng, G.Tang, M. Sunc, X. Ma, L. Wang // Applied Surface Science. - 2013. - Vol. 280. - P. 388 -393.

88. Fenker, M. Corrosion behaviour of MoSx-based coatings deposited onto high speed steel by magnetron sputtering [Text] / M. Fenker, M. Balzer, H. Kappl, A. Savan // Surface and Coatings Technology. - 2006. - Vol. 201. - P. 4099-4104.

89. Fredriksson, P. Finite element implementation and numerical issues of strain gradient plasticity with application to metal matrix composites [Text] / S.A. Pethen, E. Takahashi, A. Kaul, N.G. Dhere // International Journal of Solids and Structures. - 2012. - Vol. 46. - P. 3977-3987.

90. Fu, C. The thickness uniformity of films deposited by magnetron sputtering with rotation and revolution [Text] / C. Fu, C. Yang, L. Han, H. Chen // Surface and Coatings Technology. - 2006. - Vol. 200. - P. 3687-3689.

91. Gan, M. Mechanical properties of nitrogen implanted 38CrMoAl nitrided steel [Text] / M. Gan, W. Pu, L. Shen, P. Li, M. Gen, Y. Jang, F. Wang // Surface and Coatings Technology. - 1994. - Vol. 66. - P. 288-290.

92. Gangopadhyay, S. Effect of substrate bias voltage on structural and mechanical properties of pulsed DC magnetron sputtered TiN-MoSx composite coatings [Text] / S. Gangopadhyay, R. Acharya, A.K. Chattopadhyay, S. Paul // Vacuum. - 2010. - Vol. 84. - P. 843-850.

93. Hallmann, L. Effect of sputtering parameters and substrate composition on the structure of tantalum thin films [Text] / L. Hallmann, P. Ulmer // Applied Surface Science. - 2013. - Vol. 282. - P. 1 -6.

94. Hea, X. Effects of the post-annealing ambience on the microstructure and optical properties of tantalum oxide films prepared by pulsed laser deposition [Text] / X. Hea, J. Wu, X. Li., X. Gao, X. Gan, L. Zhao // Journal of Alloys and Compounds . - 2009. - Vol. 478. - P. 453-457.

95. Hilln, R. Advances in helium ion microscopy [Text] / R. Hilln, F.H.M. Faridur Rahman // Nuclear Instruments andMethods in Physics Research — 2011.— Vol. A645.-P. 96-101.

96. Hino, T. Surface roughness of Mo films prepared by magnetron sputtering [Text] / T. Hino, Y. Makabe, Y. Hirohata, T. Yamashina // Thin Solid Films. - 1993. - Vol. 229. - P. 201 -206.

97. Hirao, M. Improved machinability of nitriding steel (SACM 645) [Text] / M. Hirao, T. Fuse, K. Shirase, T. Yasui, T. Shiraga, N. Ishikawa // Journal of Materials Processing Technology. - 1996. - Vol. 62. - P. 370-373.

98. Hofera, A.M. Sputtered molybdenum films: Structure and property evolution with film thickness [Text] / A.M. Hofera, J. Schlacher, J. Keckes, J. Winkler, C. Mitterer // Vacuum. - 2014. - Vol. 99. - P. 149-152.

99. Horvath, W. Microhardness and microstructure of austenite and ferrite in nitrogen alloyed duplex steels between 20 and 500°C [Text] / W. Horvath, W. Prantl, H. StroiBnigg, E.A. Werner // Materials Science and Engineering. - 1988. -Vol. 256.-P. 227-236.

100. Jiang, H. Influences of film thickness on the electrical properties of TaNx thin films deposited by reactive DC magnetron sputtering [Text] / H. Jiang, C. Wang, W. Zhang, X. Si, Y. Li // Journal of Materials Science and Technology. - 2010. - Vol. 26(7). - P. 597-600.

101. Lin, Y.C. Effect of process conditions on the optoelectronic characteristics of ZnO: Mo thin films prepared by pulsed direct current magnetron sputtering [Text] / Y.C. Lin, B.L. Wang, W.T. Yen, C.T. Ha, Chris Peng // Thin Solid Films. - 2010. - Vol. 518. - P. 4928-4934.

102. Liu, Y.Z. First principles study the stability and mechanical properties of MC (M=Ti, V, Zr, Nb, Hf and Ta) compounds [Text] / Y.Z. Liu, Y.H. Jiang, R. Zhou, J. Feng // Journal of Alloys and Compounds. - 2014. - Vol. 582. - P. 500504.

103. Lu, J. Surface Nanocrystallization (SNC) of Materials and its Effect on Mechanical Behavior [Text] / J. Lu, K. Lu // Comprehensive Structural Integrity. - 2003. - Vol. 0. - P. 495-528.

104. Maeng, S. Corrosion behaviour of magnetron sputtered a- and |3-Ta coatings on AISI 4340 steel as a function of coating thickness [Text] / S. Maeng, L. Axe, T.A. Tyson, L. Gladczuk, M. Sosnowski // Corrosion Science. - 2006. -Vol. 48.-P. 2154-2171.

105. Maoujoud, M. C-growth of d.c.-sputtered Mo and W thin films [Text] / M. Maoujoud, P. Kons, M. Jardinier-Offergeld, F. Bouillon // Thin Solid Films. -1994.-Vol. 238.-P. 62-69.

106. Miola, E.J. Near-surface composition and microhardness profile of plasma nitrided H-12 tool steel [Text] / E.J. Miola, S.D. de Souza, M. Olzon-Dionysio, D. Spinelli, M.R.F Soares, M.A.Z. Vasconcellos, C.A. dos Santos // Materials Science and Engineering. - 1998. - Vol. 256. - P. 60-68.

107. Musil, J. A perspective of magnetron sputtering in surface engineering [Text] / J. Musil, J. Vlcek // Surface and Coatings Technology. - 1999. - Vol. 112. -P. 162-169.

108. Muto, Y. High-rate deposition of Ta-doped Sn02 films by reactive magnetron sputtering using a Sn-Ta metal-sintered target [Text] / Y. Muto, S. Nakatomi, N. Oka, Y. Iwabuchi, H. Kotsubo, Y. Shigesato // Thin Solid Films. -2012. - Vol. 520. - P. 3746-3750.

109. Nazari, A. Application of strain gradient plasticity theory to model Charpy impact energy of functionally graded steels [Text] / A. Nazari // Computational Materials Science. - 2011. - Vol. 50. - P. 3410-3416.

110. Nirupama, V. Effect of oxygen partial pressure on the structural and optical properties of dc reactive magnetron sputtered molybdenum oxide films [Text] / V. Nirupama, K.R. Gunasekhar, B. Sreedhar, S. Uthanna // Current Applied Physics. - 2010. - Vol. 10. - P. 272-278.

111. Pellizzari, M. Thermal fatigue resistance of gas and plasma nitrided 41CrAlMo7 steel [Text] / M. Pellizzari, A. Molinari, G. Straffelin // Materials Science and Engineering. - 2003. - Vol. 352. - P. 186-194.

112. Pemmasani, S.P. Characterization of multilayer nitride coatings by electron microscopy and modulus mapping [Text] / S.P. Pemmasani, K.V. Rajulapati, M. Ramakrishna, K. Valleti, R.C. Gundakaram, S.V. Joshi // Materials characterization. - 2013. - Vol. 81. - P. 7- 18.

113. Pethen, S.A. Effect of sputtering process parameters on film properties of molybdenum back contact [Text] / S.A. Pethen, E. Takahashi, A. Kaul, N.G. Dhere // Solar Energy Materials & Solar Cells. - 2012. - Vol. 100. - P. 1-5.

114. Polizzotto, C. Interfacial energy effects within the framework of strain gradient plasticity [Text] / C. Polizzotto // International Journal of Solids and Structures. - 2009. - Vol. 46. - P. 1685-1694.

115. Ramachandra, R. A model of secondary electron imaging in the helium ion scanning microscope [Text] / R. Ramachandra, B. Griffin, D. Joy // Ultramicroscopy. - 2009. - Vol. 109. - P. 748-757.

116. Spitz, S. Microstructure evolution of radio-frequency magnetron sputtered oxide thin films in the Cr-Zr-O system [Text] / S. Spitz, M. Stueber, H. Leiste, S. Ulrich, H.J Seifert // Thin Solid Films. - 2013. - Vol. 548. - P. 143-149.

117. Su, P.J. Amorphization of Ta-Al films using magnetron sputtering [Text] / P.J. Su, C.K. Chung // Surface and Coatings Technology. - 2005. - Vol. 200.-P. 1664-1668.

118. Suo, Z. Fracture in Thin Films [Text] / Z. Suo // Encyclopedia of Materials: Science and Technology. - 2001. - Vol. 0. - P. 3290-3296.

119. Tong, W.P. Gaseous nitriding of iron with a nanostructured surface layer treatment [Text] / W.P. Tong, C.Z. Liu, W. Wang, N.R. Tao, Z.B. Wang, L. Zuo, J.C. He // Scripta Materialia. - 2007. - Vol. 57. - P. 533-536.

120. Tong, W.P. Low-temperature nitriding of 38CrMoAl steel with a nanostructured surface layer induced by surface mechanical attrition treatment

[Text] / W.P. Tong, Z. Han, L.M. Wang, J. Lu, K. Lu // Surface and Coatings Technology. - 2008. - Vol. 202. - P. 4957-4963.

121. Tong, W.P. The tensile properties of titanium processed by surface mechanical attrition treatment [Text] / W.P. Tong, C.Z. Liu, W. Wang, N.R. Tao, Z.B. Wang, L. Zuo, J.C. He // Surface and Coatings Technology. - 2008. - Vol. 202.-P. 4728-4733.

122. Ulrich, S. Magnetron-sputtered superhard materials [Text] / S. Ulrich, T. Theel, J. Schwan, H. Ehrhardt // Surface and Coatings Technology. - 1997. -Vol. 97.-P. 45-59.

123. Wang, J. Central film thickness prediction for line contacts under pure impact [Text] / J. Wang, C.H. Venner, A.A. Lubrecht // Tribology International. -2013. - Vol. 66. - P. 203-207.

124. Wei, A.X. Electrical and optical properties of tantalum oxide thin films prepared by reactive magnetron sputtering [Text] / A.X. Wei, Z.X. Ge, X.H. Zhao, J. Liu, Y. Zhao // Journal of Alloys and Compounds. - 2011. - Vol. 509. -P. 9758-9763.

125. Yamaguchi, T. Development of a magnetron sputtering apparatus equipped with superconducting bulk magnets for the preparation of optical multilayer films [Text] / T. Yamaguchi, H. Ikuta, Y. Yanagi, Y. Itoh, T. Oka, U. Mizutani // Physica C: Superconductivity. - 2007. - Vol. 463-465. - P. 1342-1345.

126. Yan, H. Effect of oxygen concentration on the thermal stability of magnetron sputtered amorphous Ta-Ni thin films [Text] / H. Yan, R.N. Santoso a, Y. Jiang, M.H. Liang, Z. Chen // Thin Solid Films. - 2012. - Vol. 520. - P. 23562361.

127. Yan, H. Formation and characterization of magnetron sputtered Ta-Si-N-O thin films [Text] / H. Yan, L. Li, F.Y. Ho, M.H. Liang, J.S. Pan, S. Xu, Z. Chen//Thin Solid Films. - 2009. - Vol. 517.-P. 5207-5211.

128. Yan, M.F. Improving the mechanical properties of 17-4PH stainless steel by low temperature plasma surface treatment [Text] / M.F. Yan, R.L. Liu, D.L. Wu//Materials and Design. - 2010. - Vol. 31.-P. 2270-2273.

129. Yang, J.F. Characterization of Mo-Al-N nanocrystal line films synthesized by reactive magnetron sputtering [Text] / J.F. Yang, Z.G. Yuan, Q. Liub, X.P. Wang, Q.F. Fang // Materials Research Bulletin. - 2009. - Vol. 44. - P. 86-90.

130. Yang, J.F. Characterization of W-Ta-N hard films synthesized by direct current magnetron sputtering [Text] / J.F. Yang, Z.G. Yuan, X.P. Wang, Q.F. Fang // Surface & Coatings Technology. - 2013. - Vol. 231. - P. 19- 23.

131. Zhang, G. Effects of lanthanum oxide content on mechanical properties of mechanical alloying Mo-12Si-8.5B (at.%) alloys [Text] / G. Zhang, Y. Zha, B. Lib, W. He, J. Sun // International Journal of Refractory Metals and Hard Materials. - 2013. - Vol. 41. - P. 585-589.

132. Zhou, Y.M. Effects of deposition parameters on tantalum films deposited by direct current magnetron sputtering in Ar-02 mixture [Text] / Y.M. Zhou, Z. Xie, H.N. Xiao, P.F. Hu, J. He // Applied Surface Science. - 2011. - Vol. 258.-P. 1699-1703.