Вторично-эмиссионный металлокерамический импрегнированный катод для мощных импульсных амплитронов С-диапазона с повышенной долговечностью тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 00.00.00, кандидат наук Тищенко Артем Александрович

• Тищенко Артем Александрович
• кандидат наук
• 2023

Оглавление диссертации кандидат наук Тищенко Артем Александрович

Оглавление

Введение

1 Обзор существующих материалов и способов изготовления 15 вторично-эмиссионных катодов электровакуумных приборов СВЧ М-типа

1.1 Катоды электровакуумных приборов СВЧ М-типа

1.2 Способы изготовления и конструктивные особенности катодов для мощных импульсных электровакуумных приборов СВЧ

М-типа

1.3 Импрегнированные вторично-эмиссионные катоды

2 Исследование и разработка технологических процессов изготовления металлокерамических вторично-эмиссионных катодов с заданными эмиссионными характеристиками и устойчивых к термомеханическим нагрузкам

2.1 Выбор и обоснование материала керна катода

2.2 Разработка технологических процессов изготовления вольфрамовых матриц металлокерамических вторично -эмиссионных катодов устойчивых к термомеханическим

нагрузкам

2.3 Разработка технологии приготовления эмиссионно-активного материала

с заданными эмиссионными характеристиками

2.4 Изготовление эмиссионных втулок

2.5 Исследование зависимости качества вольфрамовых эмиссионных втулок от технологии изготовления 61 Выводы по второй главе

3 Исследования зависимости эмиссионных характеристик эмиссионно-активных материалов вторично-эмиссионных катодов

от технологии изготовления

Выводы по третьей главе

4 Разработка вторично-эмиссионного металлокерамического

импрегнированный катод для мощных импульсных амплитронов с повышенной долговечностью

4.1 Разработка конструкции вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного водоохлаждаемого

катода для амплитрона

4.2 Динамические испытания опытных амплитронов с разработанными вторично-эмиссионным металлокерамическими катодами 82 Выводы по четвертой главе 101 Заключение 102 Список использованных источников 104 Приложение 1. Акт внедрения 115 Приложение 2. Акт внедрения

Введение

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Вторично-эмиссионный металлокерамический импрегнированный катод для мощных импульсных амплитронов С-диапазона с повышенной долговечностью»

Актуальность работы.

Развитие технологий изготовления катодов и эмиссионных материалов для их изготовления шло параллельно с развитием СВЧ электроники, применяемой при создании военной и гражданской аппаратуры, требующей большой мощности в СВЧ диапазоне частот. В коммерческих спутниковых системах связи (наземного и космического базирования), телевещании, промышленном нагреве, радиолокационных станциях управления воздушным сообщением также в основном применяются электровакуумные усилители, особенно в тех случаях, когда необходимо обеспечить высокую надёжность при больших мощностях и высоком КПД. [1-9].

Одно из перспективных направлений решения задач создания ЭВП СВЧ, обеспечивающих возможность работы как при больших импульсных, так и при больших средних мощностях и расширения рабочего диапазона частот аппаратуры, является создание мощных комплексированных СВЧ устройств на базе ЭВП СВЧ магнетронного типа (М-типа), характеризующихся высоким КПД, относительно низким рабочим напряжением и низкой стоимостью приборов [10-18].

Основные сложности при создании таких устройств возникают при разработке и изготовлении выходных каскадов. Так как катодный узел в ЭВП СВЧ является элементом, определяющим его долговечность (долговечность анода и остальных элементов на порядок больше), основной проблемой при решении задачи создания выходных каскадов комплексированных СВЧ устройств является разработка катодного узла, способного рассеивать на рабочей поверхности высокий уровень средней мощности и иметь стойкость к высоким импульсным термомеханическим нагрузкам, вызванным обратной импульсной электронной и ионной бомбардировкой поверхности катода. С ростом импульсной мощности приборов повышались требования к эмиссионным характеристикам катодов, а с её дальнейшим увеличением появились требования стойкости к импульсному нагреву. Разработкой

перспективных катодов и технологий их изготовления для приборов М-типа занимались Есаулов Н.П., Марин В.П., Кудинцева Г.А., Котов В.Д., Дюбуа Б.Ч., Мясников А.С., Ли И.П. и другие ученые [19-29].

Задача увеличения импульсной мощности и отвода средней мощности

л

с поверхности катода - 150-200 Вт/см , что на порядок превышает допустимые значения для применяемых в настоящее время материалов и

конструкций катодных узлов (эмиттеры на основе сплавов PtBa и PdBa -

2 2 40-50 Вт/см , алюминатный катод — 20-30 Вт/см2) решалась применением

л

металлокерамических катодов способных отвести 50-100 Вт/см средней мощности и отвечающих требованиям высокой стойкости к обратной импульсной электронной и ионной бомбардировке. Данные эмиттеры, изготавливаются по существующим технологиям порошковой металлургии (прессование, спекание, втирание активного вещества в матрицу) и обладают низкой тепло- и электропроводностью. Для увеличения средней мощности импульсных приборов были созданы и внедрены металлосплавные катоды, отличающиеся высокой теплопроводностью, низким электрическим сопротивлением и технологичностью изготовления. Однако в мощных импульсных приборах применение данных катодов не обеспечивает долговечности более 1000-2000 часов. Данное ограничение связано с низкой стойкостью металлов платиновой группы к разрушающей способности импульсных температур.

При создании высокоэффективного катода для современных и перспективных ЭВП СВЧ необходимо сформулировать ряд требований,

которыми должен обладать вторично-эмиссионный катод: способность

2 1/2

выдерживать импульсные нагрузки порядка 1400-1600 Вт/см с , способность отвода средней мощности с поверхности катода

л

150-300 Вт/см, высокая долговечность (более 5000 часов), высокая термомеханическая стойкость, стойкость к импульсным термическим нагрузкам, вызванных обратной импульсной бомбардировкой, высокая тепло-и электропроводность, высокий коэффициент вторичной электронной

эмиссии, стабильный, на всем протяжении работы ЭВП СВЧ, формоустойчивость при высоких температурах и другие.

Для обеспечения предъявляемых требований к катоду перспективным направлением в создании мощных импульсных амплитронов при разработке катодного узла является применение вторично-эмиссионных металлокерамических импрегнированных катодов, эмиттер которых представляет собой пористую губку из вольфрама, пропитанного эмиссионно-активными материалами на основе тугоплавких металлов и оксидов, таких как алюминат бария-кальция (Ва-Са) 3ВаОА12О3СаО и алюминат иттрия (У) А1203 У203.

Актуальным является разработка вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного катода для мощных импульсных ЭВП СВЧ, технологии получения эмиссионно-активных материалов заданного химического состава с необходимыми физическими свойствами, а также изготовление на их основе катодов с требуемыми эмиссионными характеристиками, тепло- и электропроводностью, устойчивостью к импульсным термомеханическим и эрозионным нагрузкам.

Цель работы - разработка вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного катода устойчивого к термомеханическим нагрузкам с коэффициентом вторичной электронной эмиссии не ниже 2,6 в диапазоне энергий первичных электронов 500-700 эВ для мощных импульсных амплитронов С-диапазона частот с мгновенной готовностью и долговечностью не менее 6000 часов.

Для достижения поставленной цели необходимо решить следующие задачи:

1 Разработать технологию изготовления вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного катода со стабильным коэффициентом вторичной электронной эмиссии не ниже 2,6, мгновенной готовностью и устойчивой работой катода в амплитроне на всем сроке службы.

2 Разработать конструкцию катодного узла с высокой термомеханической устойчивостью, обеспечивающую долговечность работы не менее 6000 часов.

3 Разработать методику циклических термомеханических испытаний для определения устойчивости катодных узлов к циклическому нагреву.

4 Провести исследования вторично-эмиссионных характеристик эмиттеров катодов.

5 Изготовить и испытать опытные амплитроны с разработанными катодами, провести анализ технических и эксплуатационных характеристик приборов.

6 Разработать методику ускоренных испытаний оценки безотказности амплитрона.

Объект исследования — вторично-эмиссионный металлокерамический импрегнированный катод для мощных импульсных амплитронов С-диапазона частот, обладающий требуемым коэффициентом вторичной электронной эмиссии и стойкостью к термомеханическим и эрозионным нагрузкам.

Предмет исследования — конструктивные особенности, термические модели, физические и химические закономерности, технологические процессы и их режимы, позволяющие создать вторично-эмиссионный металлокерамический импрегнированный катод с заданными эмиссионными характеристиками отвечающий всем техническим требованиям, предъявляемым к катоду и прибору.

Достоверность, обоснованность результатов, полученных в ходе выполнения диссертационной работы, подтверждены получением воспроизводимых и повторяемых результатов с использованием различного метрологического оборудования и применением различных методов исследования, освоением амплитронов с разработанным катодом в серийном производстве, эксплуатацией изделий в аппаратуре, а так же публикацией основных результатов диссертации в ведущих Российских научных изданиях,

входящих в перечень, рекомендованных ВАК, а также получением патентов на полезную модель.

Методы и средства исследований.

Применялись методы численного моделирования термомеханических процессов, проходящих в катодном узле на этапе его изготовления и работы в амплитроне при помощи пакета программного обеспечения CST STUDIO SUITE. Исследование поверхностей элементов катодного узла проводилось методами панорамной микроскопии с помощью микроскопа OLYMPUS BX53M и анализатора фрагментов микроструктуры твердых тел SIAMS 800. Исследования эмиссионно-активного материала выполнялось методами растровой электронной микроскопии, рентгеноспектрального микроанализа и цветной катодолюминесценции.

Измерение коэффициента вторичной электронной эмиссии проводилось на установке контроля характеристик эмиссионных материалов электронно-лучевым методом. Оценка долговечности проводилась по разработанной методике ускоренных испытаний.

Использовалось современное оборудование для решения поставленных задач: векторный анализатор цепей Rohde & Schwarz ZVA 8, измеритель мощности Rohde & Schwarz NRP2, осциллограф АКИП-4115/3А, универсальный токарный станок LZ 250 SN, пирометр марки Keller серии CellaTemp PA, пирометр Термоконт-ТМ5П, водородная печь ПВД 1.140x200-2200, трубчатая печь С 2,8 1700 1Ф, установка лазерной сварки и наплавки МУЛ-1(В)-100-Б, установка термомеханических испытаний. Динамические испытания макетных образцов приборов с катодами, разработанными в ходе выполнения диссертационной работы, на специальном испытательном оборудовании.

Научные положения и результаты, выносимые на защиту:

1 Вторично-эмиссионный металлокерамический катод, с эмиттером, изготовленным путем пропитки вольфрамовой матрицы пористостью 25-28% эмиссионно-активным материалом состава 3ВаОА12О3СаО от 7,5 до

8% по массе обеспечивает мгновенную готовность прибора и коэффициента вторичной электронной эмиссии не ниже 2,6 (Пат. на полезную модель RU 182187Ш).

2 Конструкция вторично-эмиссионного металлокерамического водоохлаждаемого катода позволяет установить температуру на поверхности эмиттера 800-830°С за счет регулировки термического сопротивления и для алюминатного барий-кальциевого катода обеспечивает в номинальном режиме работы амплитрона долговечность не менее 6000 часов, что подтверждается снижением рассеиваемой мощности на катоде и установлением баланса скорости распыления-испарения эмиссионно-активного материала и скорости восстановления рабочей поверхности за счет диффузии. (Пат. на полезную модель RU 211839 Ш, Пат. на полезную модель RU 176929 Ш)

3 Устойчивость катода к термомеханическим нагрузкам обеспечивается за счет конструкции катода и технологии изготовления вольфрамовых матриц, а также режимов пайки эмиттера и подтверждена циклическими термомеханическими испытаниями по разработанной методике, которая в отличие от других позволяет без установки в прибор смоделировать тепловые режимы работы катода и провести исследования прочностных свойств, примененных материалов, определить их устойчивость к циклическому нагреву и способность сохранять вакуумную плотность после циклических термических нагрузок, вызванных включением и выключение амплитрона.

4 Амплитрон с разработанным катодом, обеспечил технические требования, установленные техническим заданием, и подтвердил заданную долговечность при проведении испытаний по разработанной методике оценки безотказности амплитрона, которая в отличие от существующих методик устанавливает методы кратковременных испытаний на безотказность, за счет форсирования режима испытаний, учитывающего процесс разрушения теплонагруженного катода.

Научная новизна диссертационной работы заключается в следующем:

1 Моделирование тепловых процессов в катоде в сочетании с экспериментальным калориметрическим методом позволяет определить температуру эмиссионных втулок и обеспечить заданную долговечность катода. Для металлокерамического катода диаметром 18 мм с пропиткой вольфрамовой матрицы пористостью 25-28% эмиссионно-активным материалом состава 3ВаОА12О3СаО от 7,5 до 8% по массе при температуре

о

1750 С обеспечивает мгновенную готовность прибора, коэффициент вторичной электронной эмиссии не ниже 2,6 и долговечность не менее 6000 часов при рабочей температуре катода 800-830°С.

2 Применение водяного охлаждения позволяет регулировать температуру катода за счет изменения термического сопротивления. Отводимая мощность в этом случае ограничивается коэффициентом теплоотдачи между внутренней поверхностью катода и теплоносителем

4 2 °

(а<3 10 Вт/см К), а так же температурой внутренней поверхности 100 С. Предельная отводимая мощность для разрабатываемого катода составляет

Л

120 Вт/см . Предельная отводимая мощность без водяного охлаждения определяется теплоотводом по катодной ножке и ограничивается предельной температурой катода 1100°С. Долговечность катода при такой температуре не превышает 500 часов.

3 Пропитка матрицы алюминатом иттрия требует рабочих температур

о

катода более 1000 С, что ограничивает долговечность прибора не более 100 часов. Пропитка алюминатом иттрия с присадкой оксида магния (10-11% по массе) ограничивает долговечность прибора до 25 часов, вследствие интенсивного испарения оксида магния.

4. Разработана и применена методика оценки безотказности амплитрона, которая в отличие от существующих методик устанавливает методы ускоренной оценки безотказности при проведении кратковременных испытаний на безотказность, за счет форсирования режима испытаний

учитывающего процесс разрушения теплонагруженных электродов. Ввиду относительной простоты и приемлемой точности получаемых результатов данная методика может быть использована при разработке перспективных вторично-эмиссионных катодов для амплитронов.

Практическая значимость. Разработана конструкция вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного катода с водяным охлаждением, способная обеспечить требуемые параметры мощного импульсного амплитрона С-диапазона частот, такие как выходная мощность, длительность импульса, скважность, зона устойчивой работы по анодному току и т.д., увеличить срок службы прибора до 6000 часов и более за счет повышения устойчивости катода к интенсивной обратной импульсной электронной и ионной бомбардировке, микро разрядам и импульсным термомеханическим нагрузкам, а так же поддерживать рабочую температуру катода во всех режимах работы прибора.

Разработан технологический процесс получения высокоэффективных эмиссионно-активных материалов, позволяющий получить требуемые физические и эмиссионные характеристики вторично-эмиссионных катодов и обеспечить мгновенную готовность амплитрона.

Разработан технологический процесс изготовления вторично -эмиссионного металлокерамического узла с учетом особенностей всех применяемых в нём материалов.

Внедрение результатов работы. Вторично-эмиссионный металлокерамический катод, разработанный в ходе выполнения диссертационной работы, а так же разработанная технология получения эмиссионно-активного материала, технология изготовления и конструкция катодного узла внедрены в производство мощных импульсных амплитронов, являющихся выходными каскадами комплекированных СВЧ усилителей, изготавливаемых в Научно-Производственном центре мощной

высоковольтной СВЧ аппаратуры и её компонентов АО «Радиотехнического института имени академика А.Л. Минца» (АО «Концерн ВКО „Алмаз-Антей"») (Акт внедрения результатов диссертационной работы ведущего технолога отдела разработки мощной высоковольтной СВЧ аппаратуры и ее компонентов АО РТИ НПЦ-5).

Результаты кандидатской диссертации использованы при проведении учебного процесса по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» в Саратовском государственном техническом университете имени Гагарина Ю.А. (Акт об использовании результатов кандидатской диссертации Тищенко А.А. «Вторично-эмиссионный металлокерамический импрегнированный катод для мощных импульсных амплитронов С-диапазона с повышенной долговечностью» в учебном процессе).

Техническим результатом является. Разработка вторично-эмиссионного металлокерамического катода для мощного импульсного амплитрона, с высокостабильными эмиссионными характеристиками, повышенной устойчивостью к термомеханическим и эрозионным нагрузкам, со сроком службы не менее 6000 часов, технологического процесса получения эмиссионно-активного материала, а также конструкции катодного узла с водяным охлаждением и возможность регулирования рабочей температуры эмиттера.

Апробация работы. Материалы диссертационной работы докладывались на Международной научно-практической конференции «Инжиниринг Техно», 2015 г.; на Международной научно-практической конференции «Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП-2016». Научно-технический отчет по выполнению ОКР; Технический отчет «Разработка технологии изготовления танталовой фольги толщиной 2-4 мкм для комбинированного катодного узла СВЧ приборов

М-типа»; Технический отчет «Разработка технологии изготовления комбинированного катодного узла для СВЧ приборов с безнакальным включением».

Научная специальность, которой соответствует диссертация

5. Исследования и разработка технологии изготовления как приборов в целом, так и их основных узлов, специального оборудования, систем создания и поддержания вакуума, компонентов и материалов паспорта научной специальности 2.2.1. Вакуумная и плазменная электроника, разработанного экспертным советом ВАК Минобрнауки России по техническим наукам.

Публикации. По теме диссертации опубликовано 19 работ из них 2 статей в журналах, входящих в перечень ведущих рецензируемых изданий, рекомендованных ВАК Минобрнауки РФ, 1 работа в единой реферативной базе данных Scopus, 12 статей в научных сборниках и журналах, получено 4 патента на полезную модель.

Личный вклад автора:

1. Автором сформулированы цели и задачи исследований, направленные на разработку вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного катода для мощных импульсных амплитронов.

2. Автор является соисполнителем разработки катода для амплитрона и представленных экспериментальных исследований.

3. Автор принимал непосредственное участие в: разработке конструкции вторично-эмиссионного металлокерамического импрегнированного катода с водяным охлаждением; отработке технологических процессов изготовления вольфрамовых матриц, получении эмиссионно-активных материалов, пропитывания эмиссионно-активными

материалами матриц, пайки, активировки катода; разработке и изготовлении специального технологического оборудования для проведения экспериментальных исследований; разработке методик и проведении динамических испытаний амплитрона с разработанным вторично-эмиссионным металлокерамическим импрегнированным катодом; обсуждении полученных технических результатов исследований.

4. Автором сформулированы выводы по результатам проведенной диссертационной работы.

1 ОБЗОР СУЩЕСТВУЮЩИХ МАТЕРИАЛОВ И СПОСОБОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВТОРИЧНОЭМИССИОННЫХ КАТОДОВ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ СВЧ М-ТИПА

1.1 Катоды электровакуумных приборов СВЧ М-типа

Наиболее широкое применение в ЭВП СВЧ М-типа получили термоэмиссионные вторично-эмиссионные и катоды. Термоэмиссионные катоды разделяются на прямонакальные, нагрев эмиттера которых осуществляется за счет пропускания электрического тока и катоды косвенного накала, в которых нагрев эмиттера осуществляется установленным внутри подогревателем. Как правило эмиттер прямонакального катода (рисунок 1.1) представляет собой спираль из вольфрама, легированного торием [30].

12 3 4

Рисунок 1.1 - Схематическое изображение прямонакального катода: 1 - керн, 2 - экран, 3 - траверса, 4 - эмитирующая спираль

Наиболее распространенная конструкция катода косвенного накала представляет собой керн, на внешней поверхности которого располагается эмиссионно-активный материал, а в канале керна устанавливается подогреватель (рисунок 1.2).

12 3'I

Рисунок 1.2 - Схематическое изображение катода косвенного накала: 1 - керн, 2 - экран, 3 - эмиттер, 4 - подогревательная спираль

Данные катоды применяются при изготовлении оксидных пленочных катодов, импрегнированных алюминатных катодов, синтерированных катодов и других [30].

Термоэлектронные катоды во время работы в приборе подвергаются интенсивной обратной электронной бомбардировке, при воздействии которой происходит диссоциация оксидов бария, иттрия и других металлов или эмиссионно-активных материалов, что приводит ухудшению его эмиссионных характеристик, снижению срока службы прибора и долговечности прибора

В приборах с требованиями обеспечения мгновенной готовности без предварительного нагрева катода нашли применение комбинированные катоды, эмитирующая поверхность которых представляет собой чередующиеся авто- и вторично-эмиссионные шайбы рисунок 1.3. В качестве материала автоэмиссионного катода используется сверхтонкая (4 мкм) танталовая фольга [23].

б

Рисунок 1.3 - Комбинированный катод: а - схематическое изображение, б - внешний вид катода, 1 - керн, 2 - экран, 3 - вторично-эмиссионная шайба, 4 - автоэмиссионная шайба

Основными недостатками такого катода являются значительный разброс и низкий уровень тока автоэлектронной эмиссии, невоспроизводимость эксплуатационных параметров и сравнительно низким процентом выхода годных приборов. Данный катод применим только в маломощных приборах или входных каскадах комплексированных СВЧ устройств, вследствие своей конструкции, не способной выдержать термомеханические и эрозионные нагрузки, воздействующие на катод мощного ЭВП СВЧ.

Для обеспечения мгновенной готовности посредством безнакального запуска ЭВП СВЧ также разработаны вторично-эмиссионные «холодные» катоды, основные элементы и принципиальная схема которых представлена на рисунке 1.4

Рисунок 1.4 - Схематическое изображение вторично-эмиссионного катода:

1 - керн катода, 2 - эмиттер, 3 - экран

Во второй половине ХХ века были разработаны эмиссионные материалы на основе сложных металлооксидных и металлокерамических композиций, а также «холодных» катодов на их основе (рисунок 1.5).

а

б

Рисунок 1.5 - Вторично-эмиссионный металлокерамический катод: а - схематическое изображение, б - внешний вид катода, 1 - керн катода, 2 - эмиттерные шайбы, 3 - экран

Параллельно развивалась разработка катодов с металлосплавными эмиттерами из сплавов платина бария (Р1-Ва) и палладий бария (Рё-Ва). [30-34]. На рисунке 1.6 представлен вторично-эмиссионный катод с металлосплавным эмиттером, разделенным на две равные части, сдвинутые к экранам и материалом керна в середине. Указанные эмиттерные сплавы

18

обладают низкой стойкостью к электронной эрозии, и такая конструкция катода позволила защитить наиболее нагруженную центральную часть катода от разрушения в результате обратной импульсной электронной бомбардировки. Данная конструкция вторично-эмиссионного катода была выбрана за прототип.

/ 7 з

в

Рисунок 1.6 - Вторично-эмиссионный катод с металлосплавным эмиттером: а - схематическое изображение вторично-эмиссионного катода с

металлосплавным эмиттером, б - вторично-эмиссионный катод с металлосплавным эмиттером, в - катод, разрушенный вследствие электронной эрозии 1 - керн катода, 2 - разделенный эмиттер, 3 - экран

1.2 Способы изготовления и конструктивные особенности катодов для мощных импульсных электровакуумных приборов СВЧ М-типа

Развитие технологий изготовления эмиссионных материалов и конструкций катодных узлов шло параллельно с развитием ЭВП СВЧ. На смену оксидным катодам пришли металлопористые катоды, способные работать при увеличенной длительности импульса до 10-100 мкс и более.

Данные катоды изготавливаются несколькими способами:

- механическим обжимом керна на матрице. Катоды, изготовленные по такому технологическому процессу, имею малую стойкость к механическим и импульсным температурным нагрузкам при эксплуатации;

- пайкой матрицы и контактирующей с ней поверхностью керна катода, однако такой способ не обеспечивают необходимой механической прочности катода вследствие наличия в матрице алюмината, мешающего смачиванию соединяемых деталей жидким припоем.

- лазерной сваркой матрицы с керном катода. Недостатком данного способа являются нестабильность качества сварного соединения и запыление эмиттирующей поверхности материалом керна, приводящее к снижению эмиссионных характеристик катода.

- прессованием вольфрамовой матрицы из смеси порошков вольфрама и совместно осажденного скандата-алюмината бария-кальция с последующим спеканием. Недостатками такого способа изготовления являются усадка прессованных катодов и необходимость получения совместно осажденного скандата-алюмината бария-кальция.

- прессованием пористой вольфрамовой матрицы, с последующим спеканием, пропиткой матрицы эмиссионно-активным материалом. Недостатком указанного способа изготовления является неконтролируемое количество внесенного эмиссионно-активного материала в матрицу, испарение его во время спекания и, как следствие, значительное расхождение

катодов по эмиссионным характеристикам, что приводит к необходимости повышения рабочей температуры катодов и сокращению их срока службы.

- пропиткой пористой матрицы эмиссионно-активным материалом, алюминатами щелочноземельных металлов. Поверхность катода обрабатывают химическим травлением в соляной кислоте, что приводит к гидратации и к изменению необходимого состояния эмиссионно-активного материала в порах матрицы, а также к неконтролируемым загрязнениям катода посторонними веществами.

- изготовлением матрицы из тугоплавкого металла с порами, заполненными эмиссионно-активным материалом. Металлопористые катоды в процессе изготовления обрабатывают резцом для получения заданной формы, в результате чего происходит завальцовка поверхностных пор и разрушение структуры поверхности эмиттера. Существуют способы вскрытия завальцованных пор, такие как, химическое травление, электрохимическая полировка, перекристаллизационный отжиг, ионное травление, плазменная обработка, лазерная гравировка и т.д. Недостатками указанных способов является затруднение проведения контроля равномерности процесса обработки эмитирующей поверхности катода, и не гарантирует стабильной эмиссионной активности.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Тищенко Артем Александрович, 2023 год

Используемая литература

1. Астайкин, А.И., Вакуумная микроволновая электронирка. Физико-технические основы: Уч. пособие / А.И. Астайкин, Л. В. Воронина, А.Ф. Липатов, В.Б. Профе - Саров: ФГУП «РФЯЦ-ВНИИИЭФ», 2012, 377 с.

2. Гилмор, А.С. мл., Лампы с бегущей волной / А.С. Гилмор мл., М.: Технсфера, 2013. - 616 с.

3. Бычков, С.И., Вопросы теории и практического применения приборов магнетронного типа / С.И. Бычков, - М.: Советское радио, 1976 -216 с.

4. Каганов, В.И. Радиопередающие устройства: учебник для сред. проф. образования. - М.: ИРПО: Издательский центр « Академия», 2002. - 288с.

5. Горохов, А.Х. Основы радиолокации и элементы РЛС / А.Х. Горохов, Н.Л. Кашпур, Самара: СамГТУ, 2014. - 247 с.

6. Клэмпитт, Л. Мощные электровакуумные приборы СВЧ / Л. Клемпитт. - М.: Мир, 1974. - 134 с.

7. Канащенков, А. И. Электронные СВЧ-компоненты - база настоящих и будущих радиолокационных систем / А. И. Канащенков, В. В. Копылов, В. Я. Рогов // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. - 2003. - № 7. - С. 2629.

8. Белоус, А. И. СВЧ-электроника в системах радиолокации и связи /

A. И. Белоус // Техническая энциклопедия: в 2 кн. - Кн. 1. - М.: Техносфера, 2016. - 688 а

9. Быстров, Р. П. Функциональные устройства и элементная база радиолокационых систем / Р. П. Быстров // Радиоэлектроника. Наносистемы. Информационные технологии. - 2009. - Т. 1. - № 1-2. - С. 43-58.

10. Суходолец, Л.Г. Мощные вакуумные СВЧ приборы / Л.Г. Суходолец. - М.: ИКАР, 2014. - 272 с.

11. Янушкевич, В.Ф. Сверхвысокочастотные и квантовые приборы /

B.Ф. Янушкевич Новополоцк: ПолГУ, 2006. - 356 с.

12. Лебедев, И.В. Техника и приборы СВЧ. В 2т. М.: Высшая школа, 1972.-Т.2 -375 с.

13. Зеленский, А.А. Электронные и квантовые приборы СВЧ [Текст]: учеб. пособие / А.А. Зеленский. - Х.: Нац. аэрокосм. ун-т им. Н.Е. Жуковского «Харьк. авиац. ин-т», 2011. - Ч. I. -139 с.

14. Электронные приборы сверхвысоких частот. Учебник и пособие. Под ред. Шевчика В. Н., Григорьева М. А. - Саратов: Издательство Саратовского университета, 1980. - 416с.

15. Воскресенский, Д.И. Устройства СВЧ и антенны. Воскресенский Д.И., Гостюхин В.Л., и др. Учебное пособие. — М.: Радиотехника, 2006. -376с.

16. Власов, В. В. Физика и техника сверхвысокочастотного диапазона электромагнитных колебаний / Власов В. В. - Х. : ХНУ имени В. Н. Каразина, 2011. - 169 с.

17. Федоров, Н. Д. Электронные приборы СВЧ и квантовые приборы: Учебник для вузов.— Изд. 2-е, перераб. и доп. — М.: Атомиздат, 1979,— с.288.

18. Кукарин С.В. Электронные СВЧ приборы: Характеристики, применение, тенденции развития. - 2-е издание., перераб. и доп. - М.: Радио и связь, 1981. - 272 с., ил.

19. Термоэлектронные катоды [Текст] / Г. А. Кудинцева, А. И. Мельников, А. В. Морозов, Б. П. Никонов ; Под общ. ред. чл.-кор. АН СССР Н. Д. Девяткова. - Москва ; Ленинград : Энергия, 1966. - 366 с. : ил.; 20 см.

20. Ли, И.П., Поливникова О.В. Прессованный катод. - Электронная техника. Сер.1. СВЧ-техника, 2012, №1, с.21-24.

21. Ли, И.П., Бондаренко Г.Г. Использование водородно-вакуумной обработки порошков палладия для получения эффективных металлосплавных катодов безнакального магнетрона. - Перспективные материалы, 2012, №1, с.30-34.

22. Ли, И. П. Стратегия развития катодной техники в современных условиях на примере ОАО «Плутон» / И. П. Ли, С. В. Калушин, С. В. Комиссарчик // Вакуумная наука и техника: материалы XXI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов. - 2014. - С. 209-214.

23. Пат. на изобретение RU 2380784 С1, МПК Н01Ы 25/00. Магнетрон с безнакальным катодом / И.П. Ли, Б.Ч. Дюбуа, Н.В. Кашерина, С.В. Комиссарчик, Н.Д. Лифанов, М.Н. Зыбин; опубл. 27.01.2010.

24. Котов, Ю.А. Исследование характеристик металлокерамического катода / Ю.А. Котов, С.Ю. Соковнин, М.Е. Белезин. - ЖТФ, 2003, том73, вып.4. 124-128 с.

25. Дюбуа, Б. Ч. Влияние структуры поверхности металлопористых катодов на их эмиссионные свойства / Б. Ч. Дюбуа, А. Г. Михальченков, О. В. Поливникова и др. // Электронная техника. - Сер. 1. СВЧ-техника.- 2012. -Вып. 1(512). - С. 25-34.

26. Броди, И. Испарение бария из импрегнированного катода / И. Броди, Р. О. Дженкинс // Эффективные термокатоды: сб. переводов. - М.; Л.: Госэнергоиздат, 1960. - Вып. 2. - С. 261.

27. Есаулов, Н. П. Разработка сандвич-структур для катодов мощных ЭВП СВЧ / Н. П. Есаулов, В. П. Марин // Наукоемкие технологии. - 2001. -Т. 2. - № 4. - С. 20.

28. Марин, В. П. Совершенствование техники получения низкотемпературных катодов для СВЧ ЭВП / В. П. Марин, П. А. Мирошников, Н. В. Ярцев // Электроника и вакуумная техника: Приборы и устройства. Технология. Материалы: материалы науч.-техн. конф. - Саратов, 2009. - С. 65-68.

29. Мясников, А. С. Металлосплавные катоды для магнетронов миллиметрового диапазона с торцевой пушкой: дис. канд. техн. наук / А. С. Мясников; Сарат. гос. техн. ун-т. - Саратов, 2011.

30. Евстигнеев, С .И. Катоды и подогреватели электронных приборов /

С.И. Евстигнеев, А.А. Ткаченко М.: Высшая школа 1975 - 196 с.

31. Forman, R. Surface studies of barium and barium oxide on tungsten and its application to understanding the mechanism of impregnated tungsten cathode / R. Forman // J. of Appl. Phys. - 1976. - V. 48. - № 12. - Р. 5272-5279.

32. Forman, R. Use of auger spectroscopy in the evaluation of thermionic cathodes / R. Forman // IEEE Trans. Electron Devices. - 1977. - V. ED-24. - № 1. - Р. 56-61.

33. Масленников, О. Ю. Эффективные термокатоды (конструкции и технологии): учеб. пособие / О. Ю. Масленников, А. Б. Ушаков. - Ч. 2. - М.: Изд-во МФТИ, 2003. - 129 с.

34. Киселев, А. Б. Металлооксидные катоды электронных приборов / А. Б. Киселёв. - М.: Изд-во МФТИ, 2002. - 240 с.

35. Иванова, А. В. Катоды. Ч. IV. Подогреватели / А. В. Иванова и др. // Обзоры по электронной технике. - М.: ЦНИИ «Электроника», 1974. - Вып. 9 (254). - 38 с.

36. Шрофф, Л. М. Импрегнированные катоды / Л. М. Шрофф, П. Паллюэл // Revue technique Jhonison. - CSF: Франция. - 1982. - С. 583-655.

37. Gartner, G. Emission properties of top-layer scandate cathodes prepared by LAD / G. Gartner, P. Geintter, A. Rit // Appl. Surf. Sci. - 1997. - No 111. - P. 11-17.

38. Есаулов, Н. П. Разработка сандвич-структур для катодов мощных ЭВП СВЧ / Н. П. Есаулов, В. П. Марин // Наукоемкие технологии. - 2001. -Т. 2. - № 4. - С. 20.

39. Грицаенко, С. В. Многорезонаторные магнетроны с холодным вторично-эмиссионным катодом: достижения, проблемы, перспективы / С. В. Грицаенко, В. Д. Ерёмка, М. А. Копоть и др. // Радиофизика и электроника. - Харьков: Ин-т радиофизики и электрон. НАН Украины. -2005. - № 10. - Спец. вып. - С. 3-37.

40. Гагаринский, А. В. Технология катодных узлов СВЧ приборов магнетронного типа коротковолновой части сантиметрового диапазона /

А. В. Гагаринский, А. Я. Зоркин, С. В. Чесноков // Вакуумная наука и техника: материалы XVIII науч.-техн. конф. / под ред. Д.В. Быкова. - М.: МИЭМ, 2011. - С. 297-298.

41. Бейнар, K. C. Металлопористые катоды со слоистой структурой / K. C. Бейнар, Я. Л. Вирин, Б. Ч. Дюбуа // Электронная техника. - Сер. 1. СВЧ - техника. - 1980. - № 5. - С. 58-60.

42. Росновская, Л. А. Изготовление металлопористых катодов методом горячего прессования / Л. А. Росновская, С. К. Тареева, Г. А. Гаврилова // Электронная техника. - Сер. 7 Технология и организация производства и оборудование. - 1976. - Вып. 2. - С. 3-8.

43. Forman, R. A proposed physical model for the imregnated tungsten cathode based on auger surface studies of the Ba-O-W system / R. Forman // Appl. Surface Science. - 1979. - V. 2. - № 2. - Р. 258.

44. Longo, R. T. Long life, high current cathodes / R. T. Longo // Electron Devices Meet., Washington, D. C. - 1978. - Р. 152-155.

45. Schoenbeck, L. Investigation of reactions between barium compounds and tungsten in a simulated reservoir hollow cathode environment / L. Schoenbeck // Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree Master of Science in Materials Science and Engineering. - Georgia Institute of Technology. - February 2005. - 118 р.

46. Мельникова, А. И. Металлопористые катоды с повышенной плотностью тока / А. И. Мельникова, Т. М. Новикова, И. А. Носкова и др. // Вопросы радиоэлектроники. - Сер. 1. Электроника. - 1965. - № 5. - С. 183188.

47. Смирнов, В. А. Высокоэффективные металлопористые (импрегнированные) катоды для электровакуумных приборов / В. А. Смирнов // Вакуумная наука и техника: Х Юбилейная научно-техническая конференция. - Крым, 2003. - Т. 2.

48. Заявка №2017122701 Рос. Федерация: МПК H01J9/04. Металлопористый катод и способ его изготовления / Крачковская Т. М.,

Сахаджи Г. В., Сторублев А. В., Пономарев А. Н.; заявитель: АО «НПП «Алмаз»; приоритет 27.06.2017.

49. Сковрон, Д.Ф. Усилитель М-типа с распределенной эмиссией. В кн.: Мощные электровакуумные приборы СВЧ: Пер. с англ. /Под ред. Клемпитта Л. - М.: Мир, 1974,- С. 69-101.

50. Эспе, В. Технология электровакуумных материалов [Текст :] : Пер. с нем. / Под общ. ред. проф. Р. А. Нилендера и инж. А. А. Котляра. - Москва; Ленинград: Госэнергоиздат, 1962-1969. - 3 т.; 27 см. Т. 1: Металлы и материалы с металлической проводимостью. Т. 1. - 1962. - 631 с., 1 л. граф.: ил.

51. Кротова, Г.Д., Технология материалов и изделий электронной техники В.Ю. / Кротова Г.Д, Дубровин, В.А. Титов, Т.Г. Шикова, Иван. Гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново, 2007. - 156 с.

52. Нилендер, Р.А. Свойства и применение металлов и сплавов для электровакуумных приборов / под ред. Р.А. Нилендера. - М.: Энергия, 1973. -336 с.

53. Андреева Р.Т., Роза Тимофеевна, Ипатова С.И., Розинова Н.С. Свойства и применение металлов и сплавов для электровакуумных приборов: (Справ. пособие). - Москва : Энергия, 1973. - 350 с. : ил.

54. Паничкина, В. В. Методы контроля дисперсности и удельной поверхности металлических порошков / В. В. Паничкина, В. В. Уварова. -Киев: Наукова думка, 1973. - 168 с.

55. Козлов, В. И. Технология и свойства металлопористых катодов для СВЧ-приборов / В. И. Козлов // Обзоры по электронной технике. - Сер. 1. Электроника СВЧ. - М.: ЦНИИ «Электроника», 1980. - Вып. 6 (709). - 66 с.

56. Коржавый, А. П. Некоторые вопросы теории и разработки вторично-эмиссионных материалов: Обзоры по электронной технике. Сер. 6. Материалы / А. П. Коржавый, А. М. Рожков, А. Н. Прозоров и др. - М.: ЦНИИ «Электроника», 1985. - № 5.

57. Тищенко, О. Д. Исследования направленные на получение матриц импрегнированных катодов с упорядоченными размерами пор и равномерным распределением их по объему / О. Д. Тищенко, А. Я. Зоркин // Инжиниринг техно 2015: сб. тр. III Междунар. науч.-практ. конф.: в 2 т. -Саратов, 2015. - Т. 2. - С. 51-56.

58. Тищенко, О. Д. Технология изготовления импрегнированных катодов для усилителей прямой волны М-типа с пониженной входной мощностью / О. Д. Тищенко, А. Я. Зоркин, И. В. Родионов, А. А. Тищенко // Вопросы электротехнологии. - 2016. - № 1 (10). - С. 116-118.

59. Ирисова, К.Н. Носители катализаторов гидроочистки на основе активной окиси алюминия / К.Н. Ирисова, Т.С. Костромина, Б.К. Нефедов. М.: ЦНИИТЭнефтехим, 1983. 49 с.

60. Диаграммы состояния силикатных систем [Текст] : Справочник / Н. А. Торопов, В. П. Барзаковский, В. В. Лапин, Н. Н. Курцева ; АН СССР. Ин-т химии силикатов им. И. В. Гребенщикова. - 2-е изд., доп. - Ленинград : Наука. Ленингр. отд-ние, 1969-. - 22 см. Вып. 1: Двойные системы. - 1969. -822 с. : граф.

61. Зоркин, А. Я. Влияние состава на эмиссионные свойства сложных оксидов / А. Я. Зоркин, О. А. Зоркина, А. А. Дворников // Вакуумная наука и техника: материалы Междунар. науч.-техн. конф. - М.: МИЭМ, 2006. - С. 4852.

62. Зоркин, А. Я. Испарение сложных оксидов в вакууме и долговечность катодов / А. Я. Зоркин, О. Ю. Жевалев, Г. В. Конюшков // Актуальные проблемы электронного приборостроения: тр. Междунар. науч.-техн. конф. / СГТУ. - Саратов, 2006. - С. 389-394.

63. Коузов, П. А. Основы анализа дисперсного состава промышленных пылей и измельченных материалов / П. А. Коузов. - Л.: Химия, 1987. - 262 с.

64. Ирисова, К. Н. Носители катализаторов гидроочистки на основе активной окиси алюминия / К. Н. Ирисова, Т.С. Костромина, Б. К. Нефедов. -М.: ЦНИИТЭ нефтехим, 1983. - 49 с.

65. Sato, K. An improved dispenser cathode / K. Sato, T. Sakura, C. Kimura. - 1986. - Р. 59-64.

66. Пат. RU №2348641 C 07 F 7/02, C 07 F 7/44, B82B 3/00. Порошковый материал из оксида алюминия (варианты) и способы его получения / Бауэр Ральф; заявитель и патентообладатель: Сэнт-гобэн керамике энд пластикс, инк. - № 2007120885/15; заявл. 18.11.05; опубл. 08.06.06, Бюл. № 23 (II ч.). - 6 с.

67. Тищенко, О. Д. Исследования химического и фазового состава эмиссионно-активного вещества импрегнированного катода маломощного прибора магнетронного типа / О. Д. Тищенко, А. А. Тищенко, А. Я. Зоркин // Вопросы электротехнологии. - 2017. - № 4(17). - С. 76-80.

68. Пригожин, И. Современная термодинамика / И. Пригожин, Д. Кондепуди. - М.: Мир, 2002. - 461 с.

69. Конюшин, А.В. Лазерные технологии в производстве микрокомпонентов / А.В. Конюшин, Г.В. Сахаджи // РИТМ. - 2011. - № 3 (61). - С. 40-42.

70. Бронштейн, И.М. Вторичная электронная эмиссия / И.М Бронштейн, Б.С. Фрайман - М.: Наука, 1969. - 409 с.

71. Вирин, Я. Л. Эмиссионные свойства металлопористых катодов на основе осмия / Я. Л. Вирин, Б .Ч. Дюбуа // Известия АН СССР. Сер. Физическая. - 1979. - T. 43. - № 3. - С. 662.

72. Мельникова, И. П. Эмиссионные свойства металлопористых катодов / И. П. Мельникова, А. В. Лясникова, В.Н. Лясников // Физика волновых процессов и радиотехнические системы. - 2012. - Т. 15. - № 2. - С. 84-90.

73. Савицкий, Е.М. Электрические и эмиссионные свойства сплавов / под ред. Е.М. Савицкого. - М.: Наука, 1978. - 269 с.

74. Мельникова, И.П. Эмиссионные свойства металлопористых катодов / И. П. Мельникова, В. Н. Лясников, А. В. Лясникова // Физика волновых

процессов и радиотехнические системы. - Самара, 2012. - Т. 15. - № 2. - С. 84-90.

75. Гутцайт, Э.М., Усилители М-типа с катодом в пространстве взаимодействия / Гутцайт Э.М., Еремин В.П., Фурсаев М.А., - в 2 ч. - Ч. 1. -М.:МЭИ, 1976 - 87 с.

76. Гутцайт, Э.М., Усилители М-типа с катодом в пространстве взаимодействия / Гутцайт Э.М., Еремин В.П., Фурсаев М.А., - в 2 ч. - Ч. 2. -М.:МЭИ, 1976 - 111 с.

77. Пат. на полезную модель RU 176929, МПК H01J 9/12. Вторично-эмиссионный катод / А. А. Тищенко, А.С. Мясников, О. Д. Тищенко, А. Я. Зоркин; опубл. 02.02.2018 - Бюл. № 4. - 4 с.

78. Тищенко, А. А. Вторично-эмиссионный катод с водяным охлаждением / А. А. Тищенко, А. С. Мясников, О. Д. Тищенко, А. Я. Зоркин // Журнал радиоэлектроники. - 2018. - № 3 [Электронный ресурс]. - Режим доступа: http: //i re.cplire.ru/i re/marl 8/2/text. pdf

79. Спиридонов, О. П. Фундаментальные физические постоянные: учеб. пособие для вузов / О. П. Спиридонов. - М.: Высш. шк., 1991. - 238 с.

80. Фридрихов, С. А. Физические основы электронной техники. Учебник для вузов./ С. А. Фридрихов, С. М. Мовнин. - М.: Высш. шк., 1982.

- 608 с.

81. Антонов, В. А. Технология электронных приборов / В. А. Антонов.

- М.: Высш. шк., 1981. - 357 с.

82. Тищенко, А. А. Металлокерамические и металлосплавные катоды в мощных амплитронах / А. А. Тищенко, А. Я. Зоркин, А. С. Мясников, О. Д. Тищенко, М. А. Приходько // Актуальные проблемы электронного приборостроения АПЭП-2016: материалы 12-й Междунар. науч.-техн. конф., Саратов, 22-23 сент. 2016 г. = 2016 International Conference on Actual Problems of Electron Devices Engineering (APEDE' 2016): Conference Proceeding, Saratov, September 22-23, 2016 / СГТУ. - Саратов, 2016. - Т.2. - С. 576-580.

83. А.с. № 3318529/25-27 СССР, HOI j 1/88. Припой для пайки металлопористых термокатодов / А. В. Морозов, А. И. Мельникова, Е. Д. Илюшина; заявл. 28.09.1981.

84. Зоркин, А. Я. Парциальное газовыделение при откачке ЭВП / А. Я. Зоркин, Г. В. Сахаджи, А. С. Мясников, С. В. Семенов // Вакуумная техника и технология. - 2010. - Т. 20. - № 2. - С. 111-114.

85. Зоркин, А. Я. Теория и практика откачки мощных электровакуумных приборов / А. Я. Зоркин, Г. В. Конюшков, А. В. Гаранин // Электроника и вакуумная техника: приборы и устройства, технология, материалы: материалы науч.-техн. конф. / СГУ. - Саратов, 2004. - С. 90-92.

86. Дементиевская, Т. П. Исследование режимов обезгаживания ЭОС и активирование катодов в процессе вакуумной обработки / Т. П. Дементиевская, Ю. В. Мохов и др. // Электронная техника. - 1988. - Сер. 4. Электровакуумные и газоразрядные приборы. - № 1. - С. 69-71.

87. Фромм, Е. Газы и углерод в металлах / Е. Фромм, Е. Гебхард. -М.: Металлургия, 1980. - 712 с.

88. Розанов, Л. Н. Вакуумная техника / Л. Н. Розанов. - М.: Высш. шк., 1982. - 207 с.

89. Черепнин, Н. В. Основы очистки, обезгаживания и откачки в вакуумной технике / Н. В. Черепнин. - М.: Сов. радио, 1967. - 350 с.

90. Сушков, А. Д. Вакуумная электроника: физико-технические основы / А. Д. Сушков. - СПб.: Лань, 2004. - 464 с.

91. Сливков, И. Н. Процессы при высоких напряжениях в вакууме / И. Н. Сливков. - М.: Энергия, 1986. - 326 с.

92. Перевезенцев, В. Н. Единый подход к описанию диффузии в равновесных и неравновесных границах зерен / В. Н. Перевезенцев // ФММ.

- 2002. - Т. 93. - № 3. - С. 1-19.

93. Перевезенцев, В. Н. О механизмах самодиффузии в границах зерен с неупорядоченной атомной структурой / В. Н. Перевезенцев // ЖТФ. - 2001.

- Т. 71. - Вып. 11. - С. 136-138.

94. Колобов, Ю. Р. Зернограничная диффузия и свойства наноструктурных материалов / Ю. Р. Колобов, Р. З. Валиев. - Новосибирск: Наука, 2001. - 232 с.

95. Борисов, В. Т. О связи коэффициентов диффузии с энергией границ зерен / В. Т. Борисов, В. М. Голиков, Г. В. Щербединский // ФММ. -1964. - Т. 17. - № 6. - С. 881.

96. Перевезенцев, В. Н. Анализ влияния пластической деформации на диффузионные свойства границ зерен / В. Н. Перевезенцев, А. С. Пупынин, Ю. В. Свирина // ФММ. - 2005. - Т. 100. - № 1. - С. 17-23 с.

97. Коваленко, В.Ф. Теплофизические процессы и электровакуумные приборы / В.Ф. Коваленко, Ю - М.: Советское радио, 1975 - 215 с.

98. Вареха, Л. М. Термодинамический подход к оценке долговечности металлосплавных катодов / Л. М. Вареха, В. Н. Дмитриева, Т. Н. Резухина // Электронная техника. - Сер. 1. Электроника СВЧ. - 1989. - Вып. 8 (422). - С. 39.

99. Хмара, В. А. К вопросу о долговечности материалов анодов мощных импульсных электронных приборов / В. А. Хмара // Электронная техника. - Сер. 1. Электроника СВЧ. - 1971. - Вып. 1. - С. 77-82.

100. Коржавый, А. П. Особенности формирования эмиссионной поверхности холодного катода для обеспечения его долговременной работы в квантовом приборе / А. П. Коржавый, В. И. Кристя // Электронная техника. -1991

101. Редега, К. П. Изменение структуры поверхности катодов в процессе длительной эксплуатации / К. П. Редега, Д. И. Ширяева, Г. Ф. Лоренц // Электронная техника. - 1988. - Сер. 6. Материалы. - № 2. - С. 1922.

РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ

НМ1 НИ ЛКЛЛ» МИКА А I ми

АКиИоНкРНО» «И.1ЦИ ТПО

МНИМА

ИНСТИТУТ

V» 1«Цяц |П |Т|<| 1ГЧИ1 Г*.»*» -"|«'И|М' Фв.. • ♦¥»» *1 I «ИМ1 «».чШ

«ЮТ» НММИ.ОПЧ! МП1ИИМ1 ИИПК1М1 тгчмтым-^1 М|«Н

■КНОР/б&^У А. В. Волошкин

к / А' 1 " - —

* л/ 2018г,

ВЕРЖДАЮ

III1-5 АО РТИ

АК*Г ВНЕДРЕНИЯ

результатов диссертационной работы ведущего технолога отдела разработки мощной высоковольтной СВЧ аппаратуры и ее компонентов АО РТИ НПЦ-5 Тншенко Артема Александровича

Настоящим подтверждаем, что результаты исследований, полученные Тншенко А. А. при выполнении диссертационной работы, касающиеся влияния воздействия электромагнитного излучения СВЧ на эмиссионно-актнвные материалы, позволяющее формировать требуемые эмиссионные, физические и эксплуатационные характеристики вторично-эмиссионных катодов приборов М-типа. обладают актуальностью и представляю! практический интерес при разработке СВЧ ЭВП.

В процессе выполнения диссертационной работы была разработана конструкция и 1ехноло1ия изготовления вюрично-змиссионного катода, позволяющая значительно повысить долговечность прибора, что подтверждено теоретическими расчётами и динамическими испытаниями опытных образцов приборов.

Результаты, полученные в ходе выполнения диссертационной работы, внедрены в производство СВЧ ЭВП в НПЦ-5 ЛО РТИ.

Предполагается дальнейшее развитие и использование результатов диссертационной работы Тишенко A.A. в рамках будущих исследований, связанных с разработкой СВЧ ЭВП нового поколения, а также усовершенствования и модернизации существующих образцов вторнчно-эмисснонных катодов приборов М-тппа.

Начальник комплексного отдела разработки

СВЧ аппаратуры и ее компонентов К11Ц-5 АО РТИ . А'' Мясников A.C.

Начальник отдела разработки мощней