Темы диссертаций и авторефератов по специальности ВАК РФ 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Тема диссертации Автор Год
Получение, электрофизические и термочастотные свойства сегнетопьезоэлектрических твердых растворов многокомпонентных систем

Юрасов, Юрий Игоревич 2009
Разработка и исследование волоконно-оптических датчиков влажности газов

Дикевич, Алексей Александрович 2009
Разработка и исследование технологических основ создания углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола

Симунин, Михаил Максимович 2009
Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве

Овчинников, Вячеслав Алексеевич 2009
Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении

Бритков, Олег Михайлович 2009
Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники

Симакин, Сергей Борисович 2009
Разработка основ технологии новых металлоуглеродных нанокомпозитов и углеродного нанокристаллического материала под действием ИК нагрева полимеров

Козлов, Владимир Валентинович 2009
Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев GaN,InxGa1-xN и AlxGa1-xN методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений для светоизлучающих структур

Ермошин, Иван Геннадьевич 2009
Синтез, структура и свойства кристаллов ZrO2, частично стабилизированных Y2O3

Кулебякин, Алексей Владимирович 2009
Выращивание и исследование легированных монокристаллов ниобата бария-стронция

Лыков, Павел Андреевич 2008
Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния

Митченко, Иван Сергеевич 2008
Исследование импульсных разрядов атмосферного давления и разработка оборудования для создания бактерицидной защиты технологических сред и изделий РЭА

Трепов, Дмитрий Александрович 2008
Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции

Данилкин, Евгений Викторович 2008
Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС

Буздуган, Алексей Анатольевич 2008
Исследование процессов локально-селективной обработки материалов и элементов электронной техники наноразмерным ионным пучком

Савенко, Алексей Юрьевич 2008
Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование

Шаповалов, Виктор Иванович 2008
Получение и исследование эпитаксиальных структур "полупроводник-фианит"

Бузынин, Александр Николаевич 2008
Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы

Мьо Хейн Зо 2008
Разработка конструктивно-технологических методов производства кремниевых чувствительных элементов давления с повышенной стойкостью к перегрузкам

Ушков, Александр Викторович 2008
Разработка методов проектирования миниатюрных низковакуумных насосов для оборудования электронной техники

Ветров, Владимир Алексеевич 2008