Исследование методов формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона с использованием фоторезистов и фотополимерных композиций тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 01.04.01, кандидат технических наук Моисеев, Олег Юрьевич

• Моисеев, Олег Юрьевич
• кандидат технических наук
• 2000

Оглавление диссертации кандидат технических наук Моисеев, Олег Юрьевич

Введение.

Глава 1. Физические явления, используемые для формирования дифракционных оптических элементов (ДОЭ).

1.1. Теоретические основы формирования дифракционного микрорельефа оптических элементов.

1.2. Методы формообразования микроструктур дифракционной оптики.

1.2.1. Фотолитография.

1.2.2. Формообразование в жидких фотополимеризующихся композициях (ЖФПК).

Выводы.

Глава 2. Физико-технические основы обеспечения равномерности обработки поверхности при создании гетерофазных структур больших размеров.

2.1. Измерение степени чистоты поверхности подложек.

2.2. Очистка поверхности подложек.

2.3. Требования к технологическому оборудованию, используемому для очистки подложек при создании ДОЭ.

2.4. Обработка фоторезиста.

Выводы.

Глава 3. Исследование механизмов формирования микрорельефа для дифракционных оптических элементов (ДОЭ).

3.1. Исследование процесса массопереноса в жидких фотополимеризующихся композициях (ЖФПК).

3.2. Исследование механизмов взаимодействия слоев фоторезиста при их послойном наращивании.

3.3. Методики формирования микрорельефа ДОЭ.

3.3.1. Методики формирования микрорельефа ДОЭ на основе ЖФПК.

3.3.2. Методика формирования микрорельефа ДОЭ на основе послойного наращивания фоторезиста.

Выводы.

Глава 4. Исследование характеристик и применение ДОЭ.

4.1. Исследование параметров оптического фокусатора, изготовленного на основе фоторезиста.

4.2. Исследование параметров оптических элементов на основе ЖФПК.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Исследование методов формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона с использованием фоторезистов и фотополимерных композиций»

Широкая гамма технологических процессов современной промышленности носит термоактивационный характер. Это обработка материалов в машиностроении с целью получения нужных свойств, резка и раскрой листовых продуктов для создания деталей и элементов различной продукции, сварка самых разнообразных материалов, обработка полупроводников в микроэлектронике и т. д. и т. п.

С появлением оптических квантовых генераторов в руки технологов попал мощный инструмент для проведения уникальных технологических процессов локального энергетического воздействия с уровнями мощности, значительно превышающими традиционную термообработку. Обычно размеры сечения излучения технологических лазеров имеют достаточно большие размеры, порядка единиц сантиметров. Ясно, что для проведения процессов в большинстве случаев требуется фокусировать лазерный пучок. Традиционная оптика способна решать достаточно широкий круг задач, однако в случае мощных энергетических потоков линзы начинают уступать рефракционной оптике. Появление в последние десятилетия элементов компьютерной оптики, в частности фокусаторов лазерного излучения, предложенных и впервые исследованных в нашей стране (М.А.Голуб, С.В.Карпеев, А.М.Прохоров, И.Н.Сисакян, В.А.Сойфер, 1981 год [1]), способно решить эту проблему. Тем более, что с точки зрения коэффициента полезного действия тандема лазер - фокусирующая система, заметно более выгодно использовать последнюю в виде отражающих, а не преломляющих элементов. В этом случае исчезают довольно значительные потери на границах среда - преломляющая область и поглощение внутри линз. Трудами И.Н.Сисакяна, В.А.Сойфера, В.А.Данилова и ряда других отечественных исследователей в первой половине 80-х годов получены основные геометрооптические решения задачи фокусировки для различных фокальных областей и созданы разнообразные фокусирующие дифракционные оптические элементы (ДОЭ) [2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9]. В последующие годы к исследованиям в области фокусировки лазерного излучения с помощью ДОЭ присоединились многочисленные отечественные и зарубежные ученые [10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23, 24*, 25, 26*, 27, 28, 29, 30, 31, 32,33, 37,40*], (*- здесь и далее звездочкой отмечены ссылки на работы автора). Ключевой проблемой при создании фокусаторов является одновременное достижение высокой энергетической эффективности и требуемого распределения интенсивности в фокальной области. В частности, недостаточная дифракционная эффективность сдерживает применение фокусаторов в лазерных технологических установках. Следует отметить, что практически все работы по теоретической оценке эффективности оптических элементов сделаны в предположении идеальной, или почти идеальной точности изготовления микрорельефов. В реальном случае, безусловно, имеют место технологические погрешности изготовления как по размерам зон ДОЭ, так и по высоте микроструктур, что особенно характерно для широкоапертурных силовых фокусаторов.

Анализ вышеперечисленных работ показывает, что теоретические вопросы построения дифракционных элементов разработаны достаточно полно, чего нельзя сказать о технологической подготовке производства. Так, например, изготовление ДОЭ из традиционных материалов и традиционными методами не позволяет полностью реализовать потенциал дифракционной оптики, так как невозможно получать, без чрезмерных затрат, непрерывные, или почти непрерывные рельефы, необходимые для построения оптических элементов.

Попытка использования для этих целей светочувствительных систем на основе фоторезистов и жидких фотополимеризующихся композиций (ЖФПК) [34, 35*, 36*] показало принципиальную возможность использования их уникальных свойств для формирования ДОЭ. Однако, до сих пор, практически отсутствуют работы по исследованию влияния технологических параметров, в частности, чистоты исходных материалов, на параметры широкоапертурных ДОЭ, и, в результате, так и не созданы технологии, способные в полной мере удовлетворить разработчиков своими точностными и стоимостными характеристиками.

Цель и задачи работы.

Целью настоящей работы является исследование и разработка методов формирования дифракционных микрорельефов с использованием фоторезистов и фотополимерных композиций для снижения трудоемкости и повышения качества дифракционных оптических элементов, применяемых в устройствах обработки и передачи информации, в силовой и изобразительной оптике.

В соответствии с поставленной целью задачами исследований являются:

- разработка метода изготовления ДОЭ, основанного на процессах послойного наращивания фоторезиста с целью снижения трудоемкости и повышения качества формирования дифракционного микрорельефа широкоапертурных оптических элементов;

- исследование границ применимости метода жидких фотополимери-зующихся композиций для изготовления дифракционного микрорельефа;

- разработка метода контроля чистоты поверхности подложек с целью повышения точности изготовления широкоапертурных дифракционных оптических элементов;

- анализ параметров дифракционных оптических элементов, изготовленных методом жидких фотополимеризующихся композиций и послойного наращивания фоторезиста.

Научная новизна.

Впервые определены предельные возможности технологии рельефо-образования ДОЭ на основе эффекта массопереноса в жидких фото-полимеризующихся композициях.

Разработан новый метод изготовления ступенчатых ДОЭ путем послойного наращивания фоторезиста на основе диазосоединений.

Разработана физическая модель динамического отклика оптического сигнала от времени растекания капли ньютоновской жидкости по поверхности подложки в зависимости от степени очистки поверхности.

Разработан новый метод определения чистоты поверхности подложек на основе эффекта динамического отклика оптического сигнала.

Впервые проведен анализ ограничений количества слоев наращира-ния фоторезиста при изготовлении ступенчатых ДОЭ.

Практическая ценность работы: на основе экспериментальных данных исследования изготовления микрорельефов методом темнового роста в частично отвержденных жидких фотополимеризующихся композициях показано, что максимальный угол наклона в выращенном рельефе составляет около 30°; определены оптимальные размеры зондирующего устройства для измерения степени чистоты поверхности подложек (диаметр иглы 1-1,5 мм, высота падения капли 10 - 15мм); разработан и исследован метод создания гетерофазной структуры на основе послойного наращивания слоев фоторезиста, который позволяет существенно улучшить точностные параметры ДОЭ, повысить эффективность их работы, значительно уменьшить трудоемкость изготовления;

• определено максимальное количество слоев в методе послойного наращиваний фоторезиста (до 24-х);

• на основе метода послойного наращивания фоторезиста созданы, испытаны и внедрены фокусаторы средней мощности ИК-диапазона;

• запатентованы устройства и системы с применением ДОЭ, изготовленных методом послойного наращивания фоторезиста (приборы ночного видения, сканирующие осветители транспортных средств).

Основные положения диссертации, выносимые на защиту:

• оценки предельных характеристик рельефообразования ДОЭ, основанного на эффекте темнового роста в частично отвержденных жидких фо-тополимеризующихся композициях;

• метод формирования микрорельефа послойным наращиванием фоторезиста;

• метод контроля степени чистоты поверхности по динамическому отклику растекающейся капли жидкости;

• физические условия снижения неравномерности формообразующих процессов при послойном наращивании фоторезиста.

Апробация работы.

Отдельные разделы и вся работа докладывались на следующих конференциях и семинарах: конференция молодых ученых и специалистов (г. Самара, 1988 г.); пятый международный семинар по цифровой обработке изображений и компьютерной графике "Обработка изображений и компьютерная оптика" (г. Самара, 1994 г.); первая Поволжская региональная конференция "Научно-исследовательские разработки и высокие технологии двойного применения" (г. Самара, 1995 г.); научно-технических семинарах Института систем обработки изображений РАН.

Публикации.

По теме диссертации опубликовано 11 печатных работ, материалы диссертации вошли в 5 научно-технических отчетов, получено 2 патента и 1 положительное решение по заявке на патент.

Объем диссертации.

Диссертация состоит из введения, четырех глав, заключения и списка цитируемой литературы. Она изложена на 111 страницах машинописного текста и содержит 56 рисунков и 3 таблицы. В списке цитируемой литературы 118 наименований.

Заключение диссертации по теме «Приборы и методы экспериментальной физики», Моисеев, Олег Юрьевич

Выводы.

1. Применение метода послойного наращивания фоторезиста позволяет увеличить эффективность фокусатора на 8 - 10%. Мощность фокусируемого излучения может достигать 100 Вт при апертуре 12 мм.

2. Применение предыскажений фотошаблонов в методе жидких фотополимеризующихся композиций позволяет увеличить эффективность ДОЭ на 5-7%.

3. Разработаны и защищены патентами способ формирования диаграммы направленности осветительных устройств транспортных средств и прибор ночного видения с применением дифракционных оптических элементов.

Заключение.

Определены предельные возможности рельефообразования ДОЭ, основанного на эффекте массопереноса в жидких фотополимеризую-щихся композициях.

Разработан метод изготовления ДОЭ послойным наращиванием фоторезиста, обеспечивающий снижение трудоемкости и повышение качества формирования микрорельефа широкоапертурных оптических элементов.

Разработана методика определения чистоты поверхности подложек на основе эффекта динамического отклика оптического сигнала. Определены оптимальные соотношения размеров зондирующего устройства (диаметр иглы 1-1,5 мм, высота падения капли 10 - 15мм).

Разработан и апробирован опытный образец прибора экспресс-контроля степени чистоты поверхности, что позволило повысить линейные размеры подложек ДОЭ.

Проведен анализ ограничений и разработаны рекомендации по количеству слоев в процессе изготовления ступенчатых микрорельефов ДОЭ методом послойного наращивания фоторезиста.

Изготовлен (методом послойного наращивания фоторезиста), исследован и внедрен (в установке синтеза монокристаллических волокон ИОФАН) фокусатор инфракрасного диапазона, получены патенты на использование ДОЭ в ИК- тракте прибора ночного видения и в осветительных приборах транспортных средств.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Моисеев, Олег Юрьевич, 2000 год

1. Фокусировка когерентного излучения в заданную область пространства с помощью синтезированных на ЭВМ голограмм / Голуб М.А., Карпеев C.B., Прохоров A.M., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. // Письма в ЖТФ. - 1981. -Т.7, вып. 10. - С.618-623.

2. Машинный синтез оптических компенсаторов для получения асферических волновых фронтов / Голуб М.А., Прохоров A.M., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. // Препринт ФИАН СССР № 29. М.: 1981.

3. Машинный синтез фокусирующих элементов для С02-лазера / Голуб М.А., Дегтярева В.П., Климов А.Н., Попов В.В., Прохоров A.M., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. // Письма в ЖТФ. 1982. - Т.8, вып.13. - С.449-451.

4. Оптические элементы, фокусирующие когерентное излучение в произвольную фокальную линию / Данилов В.А., Попов В.В., Прохоров A.M., Сагателян Д.М., Сисакян Е.В., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. // Препринт № 69 ФИАН СССР. М.: ФИАН СССР. - 1983. - 41с.

5. Плоские фокусирующие элементы видимого диапазона / Гончарский A.B., Данилов В.А., Попов В.В., Сисакян И.Н., Сойфер В.А., Степанов В.В. // Квантовая электроника (Москва). 1986. - Т. 13, № 3. - С.660-662.

6. Решение обратной задачи фокусировки лазерного излучения в произвольную кривую / Гончарский A.B., Данилов В.А., Попов В.В., Прохоров A.M., Сисакян И.Н., Сойфер В.А., Степанов В.В. // Доклады АН СССР. 1983. - Т.273, № 3. - С.605-608.

7. Синтез оптических элементов, создающих фокальную линию произвольной формы / Данилов В.А., Попов В.В., Прохоров A.M., Сагателян Д.М., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. // Письма в ЖТФ. 1982. - Т.8, № 13. -С.810-815.

8. Синтез оптических элементов, создающих фокальную линию произвольной формы / Данилов В.А., Попов В.В., Прохоров A.M., Сагателян Д.М., Сисакян И.Н., Сойфер В.А. // Письма в ЖТФ. 1982. - Т.8, № 13. -С.810-815.

9. Березный А.Е., Сисакян И.Н. Лучевые преобразования энергии в пучке лазерного излучения // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1989. - Вып.5. - С.6-16.

10. Воронцов М.А., Матевеев А.Н., Сивоконь В.П. К расчету фокусаторов лазерного излучения в дифракционном приближении // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1987. - Вып.1. - С.74-79.

11. Воронцов М.А., Матевеев А.Н., Сивоконь В.П. Оптимальное управление волновым фронтом в задачах фокусировки излучения в произвольную область // Доклады АН СССР. 1986. - Т.270, № 6. - С. 13541358.

12. Киноформные оптические элементы с кольцевым импульсным откликом / Коронкевич В.П., Пальчикова И.Г., Полещук А.Г., Юрлов Ю.И. // Препринт № 265 ИАиЭ СО АН СССР. Новосибирск, 1985. - 23с.

13. Метод согласованных прямоугольников для расчета фокусаторов в плоскую область / Голуб М.А., Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сисакян И.Н., Сойфер В.А., Харитонов С.И. // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1992. - Вып.10-11. - С.100-110.

14. Нелинейное предыскажение фазы для фокусировки в систему фокальных линий / Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сойфер В.А., Харитонов С.И. // Научное приборостроение. 1993. - Т.З, № 1. - С.24-37.

15. Попов В.В. Материалы и методы для создания плоских фокусирующих элементов // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1987. - Вып.1. - С. 160163.

16. Расчет дифракционных оптических элементов для фокусировки во внеосевые радиальные фокальные области / Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Павельев В.С., Сойфер В.А. // Автометрия. 1995, № 1. - С.114-119.

17. Сойфер В.А. Введение в дифракционную микрооптику. Самара: СГАУ, 1996. - 95с.

18. Сойфер В.А. К расчету фокусатора в соосный отрезок // Оптическая запись и обработка информации. Куйбышев: КуАИ, 1988. - С.45-52.

19. Сравнительный анализ аналитических и итерационных методов решения задачи фокусировки в отрезок / Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сойфер В.А., Харитонов С.И. // Компьютерная оптика. М.: МЦНТИ, 1993. - Вып. 13. - С. 16-29.

20. Устройство для фокусировки монохроматического излучения / Голуб М.А., Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Сисакян И.Н., Сойфер В.А., Харитонов С.И. // Патент РФ № 2024897. Опубл. 15.12.94, бюл. № 23. Решение по заявке № 4927509/10(032674) от 17.04.91.

21. Фокусаторы лазерного излучения ближнего ИК-диапазона / Голуб М.А., Досколович Л.Л., Казанский Н.Л., Климов И.В., Сойфер В.А., Успленьев Г.В., Цветков В.Б., Щербаков И.А. // Письма в ЖТФ. 1992. -Т.18, вып. 15. - С.39-41.

22. B.C., Якуненкова Д.М. // Журнал технической физики. 1995. - Т.65, № 9.1. C. 181-185.

23. Kolodziejczyk A., Jaroszewicz Z., Bara S. Modulated circular zone plates: focusing in 2D curves // Journal of Modern Optics. 1991. - Vol.38, № 1. -P.81-88.

24. Modulated on-axis circular zone plates for a generation of three-dimensional focal curves / Bara S., Frere C., Jaroszewicz Z., Kolodziejczyk A., Leseberg D. // Journal of Modern Optics. 1990. - Vol.37, № 8. - P.1287-1295.

25. Roberts N.C. Multilevel computer-generated holograms with separable phase functions for beam shaping // Applied Optics. 1992. - Vol.31, № 17. -P.3198-3200.

26. Sisakyan I.N., Soifer V.A. Infrared focusators, new optical elements // Infrared Physics. -1991. Vol.32. - P.435-438.

27. Soifer V.A., Golub M.A. Diffractive micro-optical elements with nonpoint response // Proceedings SPIE. 1992. - Vol.1751. - P.140-154.

28. The light sword optical element a new diffraction structure with extended depth of focus / Kolodziejczyk A., Bara S., Jaroszewicz Z., Sypek M. // Journal of Modern Optics. - 1990. - Vol.37, №8. - P.1283-1286.102

29. The technology of fabricating focusators of infrared laser radiation / Golub M.A., Rybakov O.E., Usplenjev G.V., Volkov A.V., Volotovsky S.G. // Optics and Laser Technology. 1995. - Vol.27, № 4. - P.215-218.

30. Бобров C.T. Влияние ошибок изготовления дифракционных линз на качество формируемого изображения // Автометрия. 1987, № 5. - С.62-66.

31. Юу Ф.Т.С. Введение в теорию дифракции, обработку информации и голографию. М.: Советское радио, 1979. - 304с.

32. Солдатенков И.С., Соскин С.И. Однокомпонентный объектив с линейным многоуровневым корректором аберраций.103

33. Спектор Б.И. Об одном методе синтеза фазовой структуры киноформов. Автометрия , 1985. No. 6. с.34.

34. Бобров С.Т., Грейсух Г.И., Туркевич Ю.Г. Оптика дифракционных элементов и систем Л.: Машиностроение, 1986.-324с.

35. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Михальцова И.А., Пальчикова И.Г. и др. Киноформные оптические элементы: методы расчета, технология изготовления, практические применения// Автометрия 1985. No 6.-С.34

36. Корольков В.П. Коронкевич В.П. Михальцова И.А. Пальчикова И.Г. Полищук А.Г. и др. Киноформы: Технологии, новые элементы и оптические системы// Автометрия , 1989 No 3. - С.95, No 4.-С.47.

37. Гончарский A.B., Монаков В.М., Окороков В.Н., Якунин В.П. Способ изготовления дифракционных отражающих оптических элементов.// A.C. 1631492 СССР МКИ 02 В5/18 1991.

38. Микиртумов Ю.А. Литографические материалы и процессы в электронике// Журн. научн. и прикл. фотографии и кинематографии, 1986 -No 6.-С. 465.

39. Цукерман В.Г. Запись голограмм в халькогенидных материалах системы As-S Новые регистрирующие среды для голографии, с. 45-64.-Л.: Наука ,1983.-200с.: ил.

40. Кикинеши A.A., Семак Д.Г. Физические процессы оптической записи информации в слоях халькогенидных стекол //Новые регистрирующие среды для голографии, с.64-83. Л. Наука 1983.-200 е.: ил.

41. Гуляев С.Н., Алимов К.К., Бутусов М.М. Изготовление высокоэффективных малошумящих голограмм методом обработки фотоэмульсий УФ излучением// 10-я Всесоюзная школа по голографии, с. 85-95, февраль 1978 г.-Л.: ЛИЯФ, 1978. 202с.

42. Кабанов В.А., Кирш Ю.Э., Комарова О.П. Копировальный слой для предварительного очувствления формных пластин//А.С^о 547711 СССР, МКИ 03 С 1/52.

43. Бригинец В.П. и др. Способ изготовления пигментной бумаги// A.C. No 498599 СССР.

44. Шур B.C. и др. Способ изготовления фотополимерных форм глубокой печати//А.С. 673967 СССР.

45. Шахкельдян Б.Н., Загоринская Л.А. Полиграфические материалы. -М.:Книга, 1988.- 328 е.: ил.

46. Маслюк А.Ф. Храновский В.А., Сопина И.М., Керча С.Ф., Грищенко В.К. Особенности послойной полимеризации жидких фотополимеризующихся композиций. Журн. научн. и прикл. фотогр. и кинематогр., 1986 6.-С. 423.

47. Маслюк А.Ф., Руднева С.П. Фотополимеризующаяся композиция для изготовления фотополимерных печатных форм./А.С. 724540 СССР, МКИ G 03 С 1/68.

48. Gomaa L.R., Chartir G.H., Samra A.S. A novel technique for making grating demultiplexers in integrated optiks// Appl. phys.- V.23. No 10, 1990, p. 1298-1301.105

49. Yoshikasu Hon, Fumihiro Sagawa, Hiroyuki Asokure et.al. Fabrication of a focusing grating mirror by electron beam lithography// Appl. Opt.-No.6 1990, p 2522-2526.

50. Растопов С.Ф., Суходольский A.T. Применение лазерно индуцированного эффекта Марангони для записи дифракционных решеток. Квантовая электроника, 1987.-No.8C. 1709.

51. Анисимов В.Н., Козолуненко В.П., Себрант А.Ю. Формирование поверхностных периодических структур на пленочных покрытиях// Квантовая электроника, 1986.-С. 1289.

52. Magan I.D., Hogan М.Р., Blau W., Linney J.G., Woods J.G., Photoablative etching of a polyethylcyanoacrylate photoresist// Chemtronics 1989, v.4, No.2, p. 74-77.

53. Валиев К.А., Беликов Л.В., Кирилов А.Н. и др. Электронная литография с применением высококонтрастных трафаретных шаблонов// Тр. ИОФАН, т.8, с. 77-86.-М.: Наука, 1987.-152 с.:ил.

54. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА.- М.: В.шк., 1987.- 376с.

55. Solovjev V.S., Boiko Y.B., Sojfer V.A. Proceeding SPIE, V.2042 p. 248. 1993.

56. Краткий справочник по химии. / Гороновский И.Г., Назаренко Ю.П., Некряч Е.Ф. // Киев: Наукова думка. - 1987.

57. Boiko Y.B., Granchak V.M., Dilung I., Solovjev V.S., Sojfer V.A. Relief holograms recording on liquid photopolymerizabel layers // Proceeding SPIE, V.1238 p. 253-257. January 1990.

58. Богатырев A.E., Шушунова Л.И., Цыганов Г.М. Новые методы контроля чистоты и дефектности поверхности деталей. Обзоры по электронной технике. 1980. -N3 (707). -С. 19-27.

59. A.c. N1260752 СССР, МКИ G01 N13/02. Способ определения краевого угла смачивания. А.Н. Магунов. Заявка N 38833/24-25; заявлено 22.04.85; опубл. 30.09.86. Открытия. Изобретения. -1986.-N36.-C.17.

60. A.c. N531065 СССР, МКИ G01 N13/02. Способ определения краевого угла смачивания жидкостью твердых тел. В.А. Пастухов, Э.Л. Боксер, Б.В.

61. Царевский. Заявка N 3378/18-21; заявлено 15.04.75; опубл. 30.07.76. Открытия. Изобретения. -1976.-N37.-C.8.

62. Яворский Б.М., Детлаф A.A. Справочник по физике. Изд. 5-е, М.: Наука, 1971.-939 с

63. Полупроводниковый приемник. Под ред. Стафеева В.И. -М.: Радио и связь, 1984.-207 с.

64. Самарский A.A. Теория разностных схем. -М.: Наука, 1977. -252 с.107

65. Дунаевский С.М. Хемосорбция на переходных металлах и их сплавах. Поверхность. Физика, химия, механика. -1985.-NI 1. -С.7-13.

66. Ленкова Г.А. Киноформы. Синтез фазовой структуры и допустимые погрешности. Новосибирск, 1979. Препринт/АН СССР, Сиб. Отд. 98.

67. У.Моро. Микролитография принципы, методы, материалы. М., Мир, 1990, стр.340-344.

68. D. Angel. Semicond. Int. April 1983, p. 72.

69. Ануфриенко B.B., Неустроев E.M., Новикова Е.М. Влияние режимов центрифугирования на толщину и стабильность толщины пленок фоторезиста. Электронная техника. 1970. №1(33), стр. 42-45.

70. L.Whit. J. Electrochem. Soc. 130, 1543 (1983).

71. Казанский H.JI. Исследование дифракционных характеристик фокусатора в кольцо методом вычислительного эксперимента. Компьютерная оптика, выпуск 10- 11, 1992, стр. 128 144.

72. Очки ночного видения. ЕПВ. С02В23/12,27/00, з-ка N 0252200 Oip Optics (BE) з-ка N86870010, заявл. 08.07.86 г., опубл. 13.01.88 г.108

73. Стереоскопический прибор ночного видения. 02В23/12, з-ка N 0252200 Carl Zeiss-Stiftung з-ка N 3629458 (DE), конв. приор. 29.08.86 г., заявл. 24.07.87 г., опубл. 02.03.88 г.

74. Инфракрасный объектив. ЕПВ. С02В13/14, з-ка N 0171903, Pilkington Р.Е. LTD (GB) з-ка N 8417993, конв. приор. 17.01.84 г., заявл. 01.07.85 г., опубл. 19.02.86 г.

75. Прибор для дневного и ночного наблюдения с большим полем обзора. С02В23/12,23/08, з-ка N 0193236, Telecommunications Radioelectrique Et Telephoniques (NL) з-ка N 8502576, конв. приор. 22.02.85 г., заявл. 19.02.86 г., опубл. 03.09.86 г.

76. Оптический прибор для дневного и ночного наблюдения. ЕПВ. С02В23/12,23/08, з-ка N 0192309, Telecommunications Radioelectrique Et Telephoniques (NL), з-ка N 8502576, конв. приор. 22.02.85 г., заявл.1902.86 г., опубл. 27.08.86 г.

77. Великобритания. Устройство для оптического наблюдения. G02B23/12, з-ка N 2190761, Pilkington Pilimited заявл. 11.05.85 г., опубл.2511.87 г.

78. РСТ. Бинокулярный прибор с усилителем изображения. G02B23/12, з-ка N 87/00639. Afsenius (SE) з-ка N 8503533-5, конв. приор. 19.07.85 г., заявл. 11.07.86 г., опубл. 29.01.87 г.

79. Система из объектива, промежуточных линз и линз окуляра для очков ночного видения. G02B23/12,23/16,9/12, G02B25/00, з-ка N 86/05281. FJW Industries ins (US) з-ка N 723117, конв. приор. 15.04.85 г., заявл. 27.02.86 г., опубл. 12.09.86 г.

80. Инфракрасное оптическое устройство. N 92/16864 С 02 В 13/014, GEC FERRANTI DEFENCE SYSTEMS LTD N 9106163 заявл. 18.03.92 г.1.l

81. Скобелев B.M. Световые приборы автомобилей и тракторов. М.: Энергоатомиздат, 1981, С.28.

82. Патент США N5032964 кл. В 60Q 1/04.