Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.13.06, кандидат технических наук Гаценко, Александр Андреевич

• Гаценко, Александр Андреевич
• кандидат технических наук
• 2003

Оглавление диссертации кандидат технических наук Гаценко, Александр Андреевич

Введение.

1 Анализ требований современного автоматизированного оборудования электронной техники к парам сухого трения.

1.1 Анализ противоречий между требованиями, предъявляемыми к надежности функционирования и параметрической к надежности вакуумного привода.

1.1.1 Анализ требований к механизмам сухого трения, работающим в вакууме и контролируемых средах.

1.1.2 Анализ механизмов, использующих пары сухого трения.

1.1.3 Анализ противоречий между требованиями, предъявляемыми к вакуумному приводу.

1.2 Вопросы повышения производительности автоматизированного оборудования электронной техники.

1.2.1 Анализ влияния надежности на производительность технологического оборудования электронной техники.

1.2.2 Регулирование надежности функционирования.

1.2.3 Регулирование параметрической надежности.

1.3 Теоретические предпосылки регулирования долговечности и надежности приводов автоматизированного оборудования электронной техники.

1.4 Анализ существующей теории трения.

Выводы к Главе 1.

2 Теоретические аспекты сухого трения.

2.1 Физические основы теории сухого трения.

2.2 Анализ трения в различных диапазонах покрытия.

2.2.1 Вязкостная составляющая силы трения.

2.2.2 Капиллярная составляющая силы трения.

3 Стр.

2.2.3 Адгезионно-вязкостное трение.

2.2.4 Адгезионное трение.

2.2.5 Когезионное трение.

Выводы к Главе 2.

3 Экспериментальное исследование сухого трения.

3.1 Методика исследования.

3.2 Экспериментальное оборудование.

3.3 Экспериментальные исследования коэффициента трения покоя как функции давления.

3.3.1 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере воздуха.

3.3.2 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере азота

3.3.3 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере кислорода.

3.3.4 Исследования коэффициента трения покоя в атмосфере паров воды.

3.3.5 Зависимость коэффициента трения покоя от числа циклов скольжения.

3.3.6 Зависимость коэффициента трения покоя от температуры.

Выводы к Главе 3.

4 Практическое использование результатов работы.

4.1 Методика расчета коэффициента «сухого» трения при различных степенях вакуума.

4.2 Методика расчета потока внезапных отказов механизмов автоматизированного оборудования.

4.3 Фрикционный вакуумметр.

Выводы к Главе 4.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Обеспечение технологической надежности сверхвысоковакуумного автоматизированного оборудования посредством использования нанотрибологических характеристик»

Современное сверхвысоковакуумное (СВВ) технологическое оборудование, оборудование для структурного, физического и химического анализа материалов, космическое и ядерное оборудование невозможно представить без вакуумного привода.

Последние достижения в технологии электронных приборов, такие как переход на 90-нанометровую технологию изготовления чипов, микросхем памяти и микропроцессоров, разработка нового типа электронно-оптических преобразователей, создание микроэлектромеханических систем (МЭМС), включающих микродвигатели, микронасосы, микроредукторы, размеры которых не превышают 500 мкм, стали возможны благодаря применению новейших видов сверх-высоковакуумного оборудования, осуществляющего процессы ионной имплантации, электронно-лучевой и рентгеновской литографии, ионного и плазмохи-мического травления, сборки ФЭП методом переноса и т.д. в едином технологическом цикле в вакууме. При этом на несколько порядков возросли требования к вакууму и его парциальному составу (предельное давление Р < 10"'° Па,

8 9 рабочий вакуум Рраб = 10" -10" Па, отсутствие углеводородов).

Важнейшим требованием к параметрам указанного оборудования является не столько поддержания в нем сверхвысокого вакуума, сколько сохранение технологических поверхностей в ювенильном (чистом, лишенным сорбированного газа) состоянии. В тоже время ювенильная поверхность по своим свойствам резко отличается от просто очищенной (в традиционном понимании) поверхности. Как показывает опыт, ювенильные поверхности при контактировании склонны к схватыванию, что резко снижает надежность механизмов, работающих в сверхвысоком вакууме.

При создании автоматизированных вакуумных линий остро встает проблема надежности механического оборудования, как один из факторов повышения эффективности его эксплуатации. Проблема устранения аварийных отказов механизмов является актуальной в СВВ технологическом оборудовании, поскольку аварийные отказы ведут к длительным (до двух суток) простоям и к потере дорогостоящих полуфабрикатов.

Высокие значения коэффициента трения, нестабильность и непредсказуемость поведения коэффициента трения у механизмов, работающих в сверхвысоком вакууме, является одной из причин сдерживающих развитие автоматизированного сверхвысоковакуумного оборудования.

В космической технике, такой как орбитальные станции, космические корабли, научные спутники и спутники связи, самоходные станции для исследования других планет и др., требования, предъявляемые к надежности привода, особенно высоки, поскольку отказ привода может привести к отказу всего комплекса, стоимость которого исчисляется десятками и сотнями миллионов долларов.

Еще более актуальной является задача предотвращения отказов в вакуумных установках ядерного оборудования (Токамак, ИТЭР и др.) и экспериментальных физических установках, что связано обеспечением экологических требований и безопасностью.

Таким образом, одной из основных проблем при создании и эксплуатации механизмов автоматизированного сверхвысоковакуумного оборудования остается прогнозирование поведения коэффициента трения фрикционных пар этих механизмов в условиях изменяющегося остаточного давления, температуры, состава остаточной среды.

Целью данной работы является повышение производительности и надежности механизмов автоматизированного оборудования путем использования полученных теоретических и экспериментальных результатов по изменению сил и коэффициентов трения в условиях изменяющегося остаточного давления, температуры, состава остаточной среды.

Задачи, решаемые в работе:

1) создание методики регулирования потока внезапных отказов автоматизированного оборудования, использующего механизмы «сухого» трения;

2) разработка способов регулирования параметрической надежности автоматизированного оборудования, использующего механизмы «сухого» трения, в частности, разработка средств автоматического измерения параметра «степень вакуума»;

3) исследование зависимости коэффициента «сухого» трения от давления остаточных газов, влажности;

4) Исследование зависимости коэффициента «сухого» трения от температуры.

5) Исследование зависимости коэффициента «сухого» трения от состава окружающей газовой среды.

В соответствии с поставленной целью на защиту выносятся:

1) Методика расчета коэффициента «сухого» трения как функции коэффициента покрытия, определяемого энергетическими параметрами поверхности, температурой, характером окружающей среды.

2) Методика экспериментального определения коэффициентов трения-покоя и трения-скольжения в вакууме.

3) Методика регулирования потока внезапных отказов приводов автоматизированного оборудования при единичном пуске двигателя как функция фрикционных параметров механизма.

4) Экспериментальные зависимости коэффициента «сухого» трения от температуры, давления окружающей среды, парциального состава остаточных газов, времени нахождения в рабочем состоянии. 7

5) Конструкция фрикционного вакуумметра, предназначенного для автоматизации параметра «степень вакуума».

Результаты были использованы:

1) при разработке двух экспериментальных сверхвысоковакуумных стендов в Карловом Университете (Прага, Чехия);

2) при разработке конструкции фрикционного вакуумметра, предназначенного для автоматизации сверхвысоковакуумного оборудования;

3) при разработке методики расчета и регулирования потока внезапных отказов механизмов автоматизированного оборудования.

В заключении автору хотелось бы выразить признательность П. Репе, JI. Пексе, Т. Грониху, М. Новаковой (сотрудникам кафедры «Электроники и Вакуумной Физики» Карлова Университета, Прага, Чехия) за сотрудничество и весьма значительную помощь при подготовке экспериментов, а также студентам и аспирантам студенческого конструкторского бюро и коллективу кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. Н.Э. Баумана за рассмотрение работы и полезные замечания.

Заключение диссертации по теме «Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами (по отраслям)», Гаценко, Александр Андреевич

Общие выводы

1) Анализ известных работ по исследованию сухого трения показывает, что при рассмотрении коэффициента трения как функции давления рассмотренные работы базируются на разрозненных теоретических моделях; представляется целесообразным создание единой концептуальной модели сухого трения, использующего в качестве основного критерия коэффициент покрытия контактирующих поверхностей сорбатом.

2) Показано, что весь диапазон суммарного коэффициента покрытия контактирующих поверхностей можно разделить на 4 поддиапазона, в которых поочередно в зависимости от степени вакуума, температуры, энергии сорбции доминируют разные физические явления: капиллярность, вязкость, адгезия, когезия.

3) Показано, что в разработанной модели, все существующие критерии «степени вакуума» заменяются одним критерием - коэффициентом покрытия; определены границы существования различных степеней вакуума; показано, что сохраняется старое определение «сверхвысокого вакуума»; показана необходимость введения нового понятия (новой степени вакуума) - «ультравысокого вакуума».

4) Показано, что области существования различных степеней вакуума занимают диапазоны:

- Низкий вакуум: ©^ = 50. .4;

- Средний вакуум: ©^ = 4.2;

- Высокий вакуум: ©^ = 2. 1;

- Сверхвысокий вакуум: ©^ = 1. ©jxa;

- Ультравысокий вакуум: ©у < ©хс:а?

5) Показано, что для уточнения теоретической модели, особенно в диапазоне покрытий от ©Е = 1 до ©Е = 2, формируемых в диапазоне давлений от 101 до 10-2 Па, необходимо проведение экспериментальных исследований, уточняющих принятое распределение энергии связи «сорбат-твердое тело»; показано, что уравнение БЭТ дает существенную погрешность в определении коэффициента трения в диапазоне от 02 = 1 до ©2 = 2, что объясняется, на наш взгляд, ступенчатым изменением энергии связи «сорбат-твердое тело» принятом в этом уравнении.

6) Результаты экспериментальных исследований коэффициента трения показали:

- в диапазоне давлений воздуха от 105 до 10-8 Па зависимость коэффициента трения кремниевых образцов от давления имеет 3 максимума и 2 минимума, соответствующих границам различных степеней вакуума;

- в диапазоне давлений кислорода от 104 до 10"5 Па, коэффициент трения проходит через минимум при давлении 10 Па;

3 о

- в диапазоне давлений паров воды от 3x10 до 10 Па коэффициент трения убывает с уменьшением давления, не доходя до минимального значения;

- в диапазоне давлений азота от 5x104 до 5x10"' Па не происходит существенного изменения коэффициента трения при изменении давления;

- при увеличении температуры от плюс 30 до плюс 130 °С коэффициент трения увеличивается с 0,75 до 0,88, что соответствует изменению коэффициента покрытия от = 2 до ©х = 1; при дальнейшем увеличении температуры до плюс 190 °С коэффициент трения убывает с 0,88 до 0,35, что соответствует изменению коэффициента покрытия от ©^ = 1 Д°

- цикл обезгаживания контактирующих поверхностей (Т=190°С, о

Р = 2x10 Па, t = 168 часов) способствует уменьшению коэффициента трения кремниевых образцов с f = 0,75 (в начале) до f = 0,35 (в конце), что соответствует уменьшению коэффициента покрытия от ©^ =1 до i ©sca

7) Результаты экспериментов подтверждают положение принятой концепции, что все изменения коэффициента трения при различных давлениях, темпе

145 ратурах, влажности могут быть объяснены изменением количества сорбата между контактирующими поверхностями.

8) Экспериментально полученные статистические характеристики значений коэффициента трения позволяют производить вероятностную оценку поведения механизма, использующего пары сухого трения.

9) Анализ формул теории производительности позволяет связать показатели производительности оборудования r)i(xj)> К Тп, Эа, 9П с показателями надежности механизмов зависящими от трения.

10) Разработана методика расчета потока внезапных отказов, учитывающая полученные экспериментальные результаты.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Гаценко, Александр Андреевич, 2003 год

1. Александрова A.T. Оборудование электровакуумного производства. - М.: Энергия, 1974.-384 с.

2. Ашинов С.А., Блинов И.Г., Деулин Е.А. Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме // Обзоры по электронной технике. Сер.7. Технология, организация производства и оборудование. -М.: ЦНИИ «Электроника», 1978. 40 с.

3. Ахматов А.С. Молекулярная физика граничного трения. М.: Физматгиз, 1963.-472 с.

4. Бородин Ф.М., Онищенко Д.А. Фрактальная шероховатость в задачах контакта и трения (простейшие модели) // Трение и износ. 1993. - Т. 14, №3. - С. 452-459.

5. Боуден Ф.П., Тейбор Д. Трение и смазка твердых тел: Пер. с англ. / Под ред. д-ра техн. наук И.В. Крагельского. М.: Машиностроение, 1968. -544 с.

6. Блинов И.Г., Данилин Б.С., Пупко В.А. Вопросы эксплуатационной надежности установок вакуумного напыления // Электронная техника. Сер. 10. Технология и организация производства. 1970. - Вып.З. - 40 с.

7. Вакилов А.Н., Мамонова Н.В., Прудников В.В. Адгезия металлов и полупроводников в рамках диэлектрического формализма. // Физика твердого тела. 1977. - Т.39, №6. - С.964-967.

8. Волчкевич Л.И. Надежность автоматических линий. М.: Машиностроение, 1969. - 308 с.

9. Гаценко А.А. и др. Исследование силы сухого трения гладких поверхностей Si02 Si02 в зависимости от степени вакуума // Вакуумная наука и техника: Материалы 5-й научно-технической конференции. - Гурзуф, 1998. - С.42-43.

10. Глазов В.М, Ломов А.Л. Поверхностные явления и адсорбция в полупроводниках. -М.: МИЭТ, 1980. 72 с.

11. ГОСТ 27.002-83. Надежность в технике. Термины и определения. М.: Изд-во стандартов, 1983. - 30 с.

12. ГОСТ 27.503-81. СТ СЭВ 28336-81. Надежность в технике. Система сбора и обработки информации. Методы оценки показателей надежности. М.: Изд-во стандартов, 1982. - 55 с.

13. ГОСТ 21098-82. Цепи кинематические. Методы расчета точности. М.: Изд-во стандартов, 1984. -26 с.

14. Гриб В.В., Лазарев Г.Е. Лабораторные испытания материалов на трение и износ. -М.: Наука, 1968. 142 с.

15. Демкин Н.Б. Моделирование фрикционного контакта и его свойства // Трение, износ, смазка (электр. ресурс). 1999. -Т.1, №3. - 29 с.

16. Демкин Н.Б. Упругое контактирование шероховатых поверхностей // Известия высших учебных заведений. Машиностроение. 1959. - №6. - С.44-51.

17. Дерягин Б.В. Молекулярная теория трения и скольжения // Журнал физической химии. 1934. - Т.5, вып.9. - С.1165-1176.

18. Дерягин Б.В. Что такое трение? М.: Изд-во АН СССР, 1953.-230 с.

19. Дерягин Б.В., Лазарев В.П. Новый закон трения, его экспериментальная проверка и применение к трению минеральных дисперсиоидов // Коллоидный журнал. 1925. - Т.1, Вып.4. - 293-302 С.

20. Деулин Е.А., Ашинов С.А. Анализ развития оборудования для нанесения тонкопленочных элементов микросхем // Известия вузов. Машиностроение. 1978. - №1. - С.171-181.

21. Деулин Е.А. Медников С.И., Папко В.М, Расчет, конструирование и особенности эксплуатации механизмов для работы б вакууме. М.: Машиностроение, 1986. - 80 с.

22. Деулин Е.А., Вагин Н.С. Сверхвысоковакуумный волновой ввод вращения высокой надежности // Вакуумная техника и технологии. 1998. - Т.8, №2. - С.17-23.

23. Деулин Е.А., Гаценко А.А., Микитюк Э.А. Энергетический подход к расчету силы трения в сверхвысоком вакууме // Вакуумная наука и техника: Материалы 6-й научно-технической конференции. Гурзуф, 1999. - С.78-82.

24. Дроздов Ю.Н., Павлов В.Г., Пучков В.Н. Трение и износ в экстремальных условиях. М.: Машиностроение, 1986. - 224 с.

25. Дьяченко П.Е. Площадь фактического контакта сопряженных поверхностей. М.: Изд-во АН СССР, 1963. - 92 с.

26. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники: Пер. с англ. М.: Мир, 1964.-716 с.

27. Епифанов Г.И. О двучленном законе трения. Сб. Исследования по физике твердого тела. М.: Изд-во АН СССР, 1957. - 138 с.

28. Журавлев В.А. К вопросу о теоретическом обосновании закона Амонтона-Кулона для трения несмазанных поверхностей // Журнал технической физики. 1940. - Т. 10, Вып. 17. - С. 1447.

29. Синергетика и фракталы в материаловедении / B.C. Иванова, А.С. Балан-кин, И.Ж. Бунин, А.А. Оксогоев. -М.: Наука, 1994. 384 с.

30. Каталог фирмы «Edwards Vacuum Equipment». Crawly (England), 1978. -133 с.

31. Каталог фирмы «Leybold-Heraeus»: Schiebedurckfuhring. Kat.№882/29. -Hanay (Germany), 1986. 12 c.

32. Каталог фирмы «RIBER». 608.10j.595. RUEL Malmaison (France), 1988. -810c.

33. Каталог фирмы «RIBER» UHV Short Form 608.10C.22. Manipulation: Single Motion Feedtrough. RUEL Malmaison (France), 1988. - 38 c.

34. Каталог фирмы «VARIAN. Varian Vacuum Products». Italy, 1995/1996. -446 c.

35. Клементьев Н.М. Температурная зависимость внешнего трения металлов и неметаллов в газах и в вакууме. Воронеж: Центрально-черноземное книжное издательство, 1969. - 136 с.

36. Ковальченко М.С. Влияние температуры на характеристики трения некоторых сульфидов, селенидов, теллуридов, тугоплавких металлов // Трение и изнашивание при высоких температурах. М.: Наука, 1973. - С. 133-138.

37. Костецкий Б.И. Износостойкость деталей машин. М.: Машгиз, 1950. -168 с.

38. Коффин Л.Ф. Исследование металлов в различных средах // Машиностроение. 1957.-№ 11.-С.7-11.

39. Крагельский И.В. Трение и износ. М.: Машиностроение, 1968. - 480 с.

40. Крагельский И.В., Добычин М.Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. - 525 с.

41. Трение и износ в вакууме / И.В. Крагельский, И.М. Любарский, А.А. Гус-ляков и др. М.: Машиностроение, 1973. - 216 с.

42. Крагельский И.В., Щедров B.C. Развитие науки о трении. М.: Изд-во АН СССР, 1956.-235 с.

43. Куркин В.И. Основы расчета и конструирования оборудования электровакуумного производства. М.: Высшая школа, 1980. - 470 с.

44. Лазарев Г.Е. Методика испытаний фрикционных материалов на трение и износ: Дисс. .канд.техн.наук. М., 1963. - 142 с.

45. Лашко Н.Ф., Петренко Б.Ю., Слободнюк Г.Я. Пластическая деформация сжатием при высоких температурах // Журнал технической физики. 1936. -Вып.7. - С.24-28.

46. Мазель Е.З., Пресс Ф. П. Планарная технология кремниевых приборов. -М.: Энергия, 1974.-384 с.

47. Мармер Э.Н., Ферштер Л.Н. Расчет и проектирование вакуумных систем электропечей // Библиотека электротермиста. 1960. - Вып.31. - 39 с.

48. Механика и физика точных вакуумных механизмов: Моногр.; В 2 т. / А.Т. Александрова, Н.С. Вагин, Н.В. Василенко и др.; Под ред. Е.А. Де-улина. Владимир: Изд-во Владим. гос. ун-т, 2001. - Т. 1. - 176 с.

49. Методика оптимизации периодичности проведения замен технических устройств / ГКС СМ СССР. М.: Изд-во стандартов, 1975. - 31 с.

50. Морачевский А.Г., Сладков И.Б. Физико-химические свойства молекулярных соединений (экспериментальные данные и методы расчета): Справ.изд. СПб: Химия, 1996. - 312 с.

51. Неволин В.К., Фазылов Ф.Р., Шермегор Т.Д. Энергия адгезии металлов и полупроводников // Поверхность. 1983. - Вып. 1. - С.79-83.

52. Нестеров С.Б. Зилова О.С. Об уравнении изотерм сорбции гелия на криос-лоях азота и аргона. // Вакуумная наука и техника: Материалы 6-й научно-технической конференции. Гурзуф, 2000. - С. 136-141.

53. Носовский И.Г. Влияние газовой среды на износ металлов. Киев: Техника, 1968.- 180 с.

54. Первозванский А.А. Трение сила знакомая, но таинственная // Соросов-ский образовательный журнал. - 1998. - №2. - С. 129-134.

55. Пинегин С.В., Гудченко В.М. Экспериментальное исследование влияние вакуума на процесс контактного разрушения сталей // Машиноведение. -1965.-№1.-С.119-126.

56. Проников А.С. Надежность машин. М.: Машиностроение, 1978. - 308 с.

57. Проспект фирмы «Leisk». RM Series Rotary motions, 04.003.180. Hastings (England), 1981.-2 c.

58. Проспект фирмы «МЕСА»: Transfer RODS Preliminary broshure 4015. -Vernuvillet (France), 1990. 12 c.

59. Проспект фирмы «ULVAC», Rotary motion feedthrough, Model TDU-8, № E2302. Tokyo, 1977 - 20 c.

60. Проспект фирмы «Vacuum Generators. Vacuum Component Catalogue. Rotary Drives». Hastings (England), 1981. - 320 c.

61. Прудников В.В., Прудников П.В., Федоренко А.А. Мультикритическое поведение неупорядоченных систем с двумя параметрами порядка // Физика твердого тела. 2000. - Т.42, Вып.1. - С.158-162.

62. Раков В.И., Соколова Р.И. Исследование трения металлов в вакууме // Журнал технической физики. 1939. - Т.9, №9. - С.786-789.

63. Ребиндер П.А. Физико-химическая механика. М.: Советская наука, 1958. -380 с.

64. Решетов Д.Н. Детали машин. М.: Машиностроение, 1974. - 656 с.

65. Рот А. Вакуумные уплотнения: Пер. с англ. М.: Энергия, 1971. - 464 с.

66. Рябов В.Т. Вопросы обеспечения оптимального уровня надежности автоматизированных конвейерных линий электровакуумного производства на этапе эксплуатации // Труды МВТУ. 1980. - №334. - С.59-68.

67. Степаньянц Ю.Р. Морозов В.В. Методика оценки параметрической надежности технологического оборудования // Труды МВТУ. 1980. - №334. -С.46-58.

68. Технологическая инструкция сканирующего зондового микроскопа Solver-Р47Н. М.: ЗАО «НТ-МДТ», 2002. - 150 с.

69. Трение, изнашивание и смазка: Справ.; В 2 кн. / Под ред. И.В. Крагельско-го и В.В. Алисина. М.: Машиностроение, 1978. - Кн. 1. - 400 с.

70. Трение, изнашивание и смазка: Справ.; В 2 кн. / Под ред. И.В. Крагельско-го и В.В. Алисина. М.: Машиностроение, 1979. - Кн.2. - 358 с.

71. Физико-химические свойства окислов: Справочник / Под ред. Г.В. Самсо-нова М.: Металлургия, 1969.-456 с.

72. Заявка на патент №2003101192. Фрикционный вакуумметр. / Е.А. Деулин, А.А. Гаценко, Н.В. Рябов, Р.А. Невшупа (Россия). Заявлено 17.01.2003.

73. Хруничев Ю.А. Анализ производительности оборудования для производства электронных приборов // Электровакуумное машиностроение: Межвузовский сборник. -М.: МИРЭА. 1978. -Вып.2. - С.46-71.

74. Хруничев Ю.А. Техпроцесс основа проектирования оборудования полупроводникового и электровакуумного производства // Труды МВТУ. -1978. - Вып.267. - С.5-17.

75. Цветков Ю.Б. Прогнозирование совмещаемости топологических рисунков при фотлитографии // Труды МВТУ. 1980. - №334. С.36-45.

76. Шаумян Г.А. Комплексная автоматизация производственных процессов. -М.: Машиностроение, 1973. 639 с.

77. Ahmed S.I.-U., Scherge М., Schaefer J.A. Microtribological properties of self assembled monolayers II GfT Jahrestagung. 1999. - P. 1-8.

78. Archard J.F. Contact and rubbing of flat surfaces // J. Appl. Phys. 1953. -V.24, №8. - P.981-988.

79. Bluhm H., Inoue Т., Salmeron M. Friction of ice measured using lateral force microscopy // Phys. Rev. B. 2000. - V.61, №11. - P.7760-7765.

80. Bowden F.P., Greenwood J.H., Imai M. Lubrication at high temperature of refractory solids //Proc. Roy. Soc. London A. 1968. - V.304. - P. 157-169.

81. Bowden F.P., Hanwell A.E. Friction and wear of diamond in high vacuum // Nature. 1964. - V.201. -P.1279-1281.

82. Bowden F.P., Hughes T.P. The friction of clean metals and the influence absorbed gases//Proc. Roy. Soc. London A. 1939. - V.172. - P.263-269.

83. Bowden F.P., Tabor D. The area of contact between stationary and moving surfaces//Proc. Roy. Soc. 1957. - V.204, №5311. - P.667.

84. Brinker J. Mega benefits, microsystems // Sandia Technology. 1999. - V.l, №2. - P.2-6.

85. Brunauer S., Emmett P.H., Teller E. // Journ. Amer. Chem. Soc. 1938. -№.60. - P.309.

86. Buckley D.H. Friction, wear and lubrication in vacuum. Washington, USA: NASA Lewis Research Center, 1971. - 135 p.

87. Buckley D.H., Johnson R.L. Influence of crystal structure on friction characteristics of rare-earth and related metals in vacuum to 10"10 mm.Hg // ASLE Paper. №64, LC-26.

88. Chapmen J., Pascoe M., Tabor D. The friction and wear of fibres // J. Textile In-stit. 1955.-V.46, №l.-P.42-48.

89. Coffin L.F. A study of the sliding of metals with particular reference to atmosphere // J. Lub. Eng. 1956. - V. 12, №1. - P.50-58.

90. De Haas E. The harmonic drive as UHV rotary motion feedthrough // Nuclear Inst, and Methods. 1976. - №137. - P. 435-439.

91. Deulin E.A. Exchange of gases at friction in vacuum // ECASIA-97. Geteborg, 1997.-P.l 143-1146.

92. Deulin E.A., Gatsenko A. A. Friction force as a function of residual pressure in vacuum // 9th Nordic Symposium on Tribology «NORDRIB 2000». Espoo (Finland), 2000. - V.3. - P.849-854.

93. Deulin E.A., Gatsenko A.A. Friction force of smooth surfaces as a function of ultra high vacuum // International Tribology Conference: Synopses. Nagasaki (Japan), 2000.-P.225.

94. Deulin E.A., Gatsenko A.A., Loginov B.A. Friction force of Si02-Si02 as a function of residual pressure // Surface Science. 1999. - №433-435. - P.288-292.

95. Deulin E.A., Gatsenko A.A. Mikituk E.A. Friction force as a function of surface coverage variation // Abstract of papers of 2nd World Tribology Congress. Vienna (Austria), 2001. -P.36.

96. Deulin E.A., Nevshupa R.A. Deuterium into the bulk of a steel ball of a ball bearing due to its rotation in vacuum // Applied Surface Science. 1999. -№144-145.-P.283-286.

97. Deulin E.A., Vagin N.S., Wear and longevity of UHV harmonic rotary feed-through//ECASIA'97. Goteborg (Sweden), 1997. -P.l 175-1180.

98. Fujii Y., Ishimaru H. Desorption from ball bearings in ultrahigh vacuum // J.Vac.Sci.Technol. 1991. - A 9. - P.2017-2020.

99. Graf D., Grundner M., Schulz R. Reaction of water with hydrofluoric acid treated silicon (111) and (100) surfaces // J. Vac. Sci. Technol. A. 1989. - V.7, №3. - P.808-813.

100. Gunbel L., Reibung U. Schmierung im maschinenbau. Berlin, 1925. - 126 p.

101. Hayashi Y. Development of the harmonic drive rotary feedthrough // Vacuum. -1990. V.41. - P. 1948-1950.

102. Hisakado T. On the mechanism of contact between solid surfaces // Bull. JSME.- 1970. V.13, №55. - P.129-139.

103. Hruby J. New materials for microsystems // Sandia Technology. 2000. - V.2, №4. -P.7-8.

104. Israelachvili J.N. Intermolecular and surface force. London: Academic press limited, 1991.-452 p.

105. Lincoln B. Elastic deformation and the laws of friction // Nature. 1953. -V.172. - P.169.

106. Ling F.F. On asperity distributions of metallic surfaces // J. Appl. Phys. 1958.- V.29, №8. P. 1168-1174.

107. Miranda P.B., Shen L.X. and Salmeron M. Icelike Water Monolayer Adsorbed on Mica // Phys. Rev. Letters. 1998. - V.81, №26. - P.5876-5879.

108. Nevshupa R. A., Segovia J. L. Outgassing from stainless steel under impact in UHV // Vacuum. 2002. - V.64. - P.425-430.

109. Nevshupa R.A., Sherge M., S.I.-U. Ahmed. Transitional microfriction behavior of silicon induced by spontaneous water adsorption // Surface Science. 2002. -№517. - P.17-28.

110. Onious R.A., Archard J.F. The contact of surfaces having a random structure // J. Physics D. 1973. - V.6, №3. - P.289.

111. Opitz A. et al. Friction of thin films: a nanotribological study // Surface Science.- 2002. №504. - P. 199-207.

112. Peressadko A.G., Nevshupa R.A., Deulin E.A. Mechanically stimulated out-gassing from ball bearings in vacuum // Vacuum. 2002. - V.64. - P.451 -456.

113. Rodgers S., Sniegowski J. Building a better microsystem // Sandia Technology. -1999. V.l,№4.-P.8-9.

114. Salamon G. De Gee A.W., Zaat J.H. Mechanochemical factors in MoS2 film lubrication // Wear. 1964. - V.7. - P. 106-110.

115. Scherge M., Li X., Schaefer J.A. The effect of water on friction of MEMS // Tribology Letters. 1999. - №6. - P.215-220.

116. Shaw P.E., Leavey E.W. On the friction of dry solid in vacuo // Phyl. Mag. -1930.-V.10.-P.809.

117. Sherge M., Gorb S.N. Biological Micro- and Nanotribology. Berlin: Springer, 2001.-300p.

118. SMM-2000T. Users manual. Moscow: KPD Company Ltd., 1997. - 135 p.

119. Sullivan J., Friedmann T. Sandia creates world's first diamond micromachines // Sandia Technology. 2000. - V.2, №1. - P.9.

120. Tomlinson G.A. Molecular theory of friction // Phill Mag. 1929. - V.7, №46. - P.905-939.

121. Vitko J. At Sandia. Microsystem abound // Sandia Technology. 1999. - V.l, №2. - P.8-16.

122. Whitehouse D.J., Archard J.F. The properties of random surfaces of significance in their conact // Proc. Roy. Soc. A. 1970. - V.316, №1524. - P.97-121.

123. Wiegand H., Heinke G. Modellwerschleibuntersuchungen an metallichen werk-stoffpaarungen im valcuum bis zu Druken von 10"9 torr // Metalloberflache. -1969. -B.23, №2. -S.56-59.

124. Wilson R.R. A Vacuum tight sliding seal // Rev of Sci Instr. - 1941. - V.l2, №91. - P.91-93.