Разработка и исследование высокоточных лазерных гониометрических систем тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.11.16, доктор технических наук Павлов, Петр Алексеевич

• Павлов, Петр Алексеевич
• доктор технических наук
• 2008

Оглавление диссертации доктор технических наук Павлов, Петр Алексеевич

Условные обозначения и сокращения.

Введение.

1 Модель погрешности и метод повышения точности лазерной гониометрии.

1.1 Модель погрешности измерений в лазерной гониометрии.

1.2 Фазовый метод измерений угла в лазерной гониометрии.

1.2.1 Анализ погрешности фазового метода измерений.

1.2.2 Случайная погрешность измерений при естественных флуктуациях сигнала К Л.

1.3. Фазо-временной метод измерений в лазерной гониометрии.

1.3.1 Анализ погрешности фазо-временного метода.

1.3.2 Методика и результаты определения обобщенного сдвига нуля.

1.3.3 Методика компенсации обобщенного сдвига нуля.

1.3.4 Особенности обобщенного сдвига нуля.

1.4 Экспериментальный анализ источников случайной погрешности.

1.4.1 Метод анализа.

1.4.2 Результаты экспериментальных исследований.

1.5 Сравнительный анализ методов измерения.

1.5.1 Анализ методов для ЛГС без стабилизации скорости вращения К Л.

1.5.2 Анализ методов измерений для ЛГС со стабилизацией скорости вращения К Л.

1.6 Обобщенная методика измерений.

Выводы по главе.

2 Эталонные лазерные гониометрические системы.

2.1 Общий подход к построению эталонных лазерных гониометрических систем.

2.2 Синтез эталонной лазерной гониометрической системы.

2.2.1 Метод анализа систематической погрешности эталонной лазерной гониометрической системы.

2.2.2 Метод разделения случайных погрешностей.

2.3 Эталон единиц линейного ускорения и плоского угла при угловом перемещении твердого тела.

2.3.1 Состав эталона.

2.3.2 Оптический датчик угла ПКГ-105М. Результаты исследований.

2.3.3 Кольцевой лазер ГЛ-1. Результаты исследований.

2.3.4 Экспериментальные исследования эталона единицы плоского угла.

2.3.5 Результаты сличений ГЭТ 94-01 с Государственным первичным эталоном угла ГЭТ 22-80.

2.4 Измерительно-вычислительный комплекс для автоматизированного контроля высоко-разрядных цифровых преобразователей угла.

2.4.1 Функциональная схема и принцип работы ИВК.

2.4.2 Исследование метрологических характеристик ИВК.

Выводы по главе.

3 Лазерный динамический гониометр для поверки и калибровки датчиков угла.

3.1 ЛДГ для поверки и калибровки многогранных призм.

3.1.1 Основные источники погрешности ЛДГ.

3.1.2 Интерференционный нуль-индикатор в лазерных гониометрических системах

3.1.3 Метод уменьшения погрешности ЛДГ.

3.1.4 Экспериментальное исследование погрешности ЛДГ.

3.1.5 Результаты калибровки ЛДГ в Швейцарском метрологическом институте (METAS).

3.2 ЛДГ для поверки и калибровки оптических датчиков угла.

Выводы по главе.

4 Лазерный динамический гониометр для измерения показателя преломления.

4.1 Особенности измерения показателя преломления с использованием ИНИ.

4.2 Анализ метода угла произвольного отклонения.

4.2.1 Метод угла произвольного отклонения с эталонной призмой.

4.2.2 Экспериментальное исследование метода угла произвольного отклонения.

4.3 Анализ метода угла наименьшего отклонения.

4.3.1 Синтез лазерного динамического гониометра-спектрометра.

4.3.2 Результаты экспериментальных исследований гониометра-спектрометра.

4.4 Лазерный динамический гониометр-спектрометр в составе эталона единицы показателя преломления.

4.4.1 Состав эталонного комплекса.

4.4.2 Результаты исследований эталонного комплекса.

Выводы по главе.

5 Лазерные гониометрические системы измерения параметров переменного углового движения.

5.1 Лазерный динамический гониометр-автоколлиматор.

5.1.1 Анализ характеристик ЛДГА

5.1.2 Калибровка ЛДГА.

5.1.3 Применение ЛДГА для измерения переменного угла.

5.2 Лазерный инерциальный гониометр.

5.2.1 Концепция построения

5.2.2. Лазерный инерциальный гониометр.

5.2.3 Анализ погрешностей лазерного инерциального гониометра.

5.2.3 Экспериментальное исследование метрологических характеристик лазерного инерциального гониометра.

Выводы по главе.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка и исследование высокоточных лазерных гониометрических систем»

Угловые измерения относятся к древнейшим видам измерений и в настоящее время широко применяются во многих областях науки, промышленности, оборонной технике. До недавнего времени единство угловых измерений в России осуществлялось в соответствии с Государственной поверочной схемой [1], согласно которой с наивысшей точностью воспроизводится единица «постоянного» плоского угла (т.е. угла, заданного некоторой угловой мерой), а ее передача рабочим эталонам и средствам измерения происходит с использованием угловых мер в виде многогранных призм. В настоящее время широкое распространение получили датчики угла, работающие в динамическом режиме и обладающие высокой разрядностью, которые не включены в эту поверочную схему.

Новые требования промышленности ставят задачу прецизионного, высокоскоростного измерения параметров сложного углового движения самых разнообразных объектов, к числу которых можно отнести гиростабилизированные системы, многоосные испытательные стенды, различного рода оптические сканирующие зеркала, большие следящие антенные системы, и т.п. Однако до настоящего времени не существовало единой метрологической базы для их поверки и аттестации. Существующие эталоны единиц плоского угла [1], угловой скорости [2], углового ускорения [3] и их поверочные схемы обеспечивают единство измерений вышеуказанных величин отдельно друг от друга. Аналогичное положение в области угловых измерений наблюдается и в других странах мира.

Современное состояние эталонной базы угловых измерений ведущих метрологических институтов мира приведено в таблице. Анализ показывает, что национальные эталоны единицы плоского угла, как правило, состоят из поворотных столов и автоколлиматоров и обеспечивают воспроизведение и передачу единицы «постоянного» плоского угла.

Таблица

Страна Углоизмерительная система Автоколлиматор

Тип поворотного стола Угловая шкала/ разрешение" Тип Диапазон"/ разрешение"

Германия (РТВ) Угловой компаратор, Heidenhain, WMT-220 Интерференционная фазовая решетка/ 0,0012" Moller-Wedel, ELCOMAT HR, 2-yx координатный ±15070,005"

Швейцария (METAS) Углоизмерительный стол, Heidenhain, Moore 1440 RON 905/ 0,035 Moller-Wedel, ELCOMAT HR, 2-yx координатный ±15070,005"

В еликобритания (NPL) Moore 1440 - 28 (1440 зубцов); Moore 1440-38(2160 зубцов) /15'; 10' 2xH&WTA 9057, 1-координатный; H&W Microptic -фотоэлектрический 100"/0,01"; 600"/ 0,05"

Франция (LNE) Углоизмерительный стол BNM, LNE 2 х RON 905 /0,035" Moller-Wedel, ELCOMAT HR, 2-yx координатный ±15070,005"

Италия (IMGC) Углоизмерительные столы: Taboni, Moore 1440; SIP MU-214В / 15' Однокоор динатные: H&W ТА 3-4; H&W ТА 5-1 107"/ 0,1"; 10070,01"

Испания (СЕМ) Углоизмерительный стол - Tekniker RON 905 /0,035" RTH DA 80; RTHDA400 ±8070,1"; ±40070,1"

Словакия (SMU) Лазерный гониометр ГС-1Л, Арсенал, Киев Кольцевой лазер/ 0,01" Фотоэлектрический, F = 1000 мм Нуль-индикатор

Китай (NIM) CDFT 720А, Китай ОДУ/0,017" TA 80 Hilger Watts /0,029"

Япония (NMIJ) Угоизмерительный стол, Canon ОДУ, Canon/ 0,0086" Moller-Wedel /0,012"

США (NIST) Угоизмерительный стол, США /0,05" Moller-Wedel ±15070,005"

Поворотные столы, использующие угловую шкалу на основе оптических датчиков угла (ДУ), характеризуются дискретностью на уровне 0,01" и погрешностью несколько сотых угловой секунды. Автоколлиматоры фирм «Taylor Hobson» или «Moller-Wedal», имеют погрешность 0,01" и меньше.

Используемые при этом методы измерений: метод с одним автоколлиматором в сочетании с методом кросс калибровки, либо прямого сравнения с угломерной измерительной шкалой; метод с двумя автоколлиматора и поворотным столом для позиционирования, обеспечивают передачу единицы угла многогранным призмам (МП) с высокой степенью точности. Процесс калибровки МП происходит при последовательных разворотах стола и/или многогранных призм с последующей их остановкой и считывания результата. При этом процесс разворота может быть автоматизирован.

Опыт международных сличений показывает, что многогранные призмы являясь удобным эталоном сравнения, ограничивают точность сличений на уровне 0,1" [4]. Это обстоятельство побуждает разрабатывать новые средства и методы сличений. В этом направлении перспективным эталоном сравнения может стать высокоточный оптический ДУ или кольцевой лазер [5, 6]. Первый опыт сличений с использованием датчика угла RON-905 показал, что на этом пути достижима точность 0,01" и выше [4].

Для обеспечения единства угловых измерений на современном этапе, развития технического прогресса и обеспечения преемственности при передаче единицы плоского угла необходим переход на новую поверочную схему измерений, во главе которой находился бы эталон угла, воспроизводящий единицу постоянного и изменяющегося во времени плоского угла. В этой связи становится актуальной разработка и создание высокоточных средств измерения, реализующих эту новою поверочную схему измерений.

Решение поставленных задач возможно с использованием последних достижений науки и техники. Новые возможности в области угловых измерений открывает лазерная гониометрия, которая сформировалась в самостоятельное научное направление [7] и позволила разработать технику прецизионных угловых измерений. Первый лазерный динамический гониометр (ЛДГ) был реализован в 70-ые годы во ВНИИМ им. Д.И.Менделеева для передачи в динамике размера единицы плоского угла от образцовой многогранной призмы магнитному преобразователю угла [8]. Первый промышленный образец ЛДГ «ГС-1Л» [9] был выпущен заводом «Арсенал» (г. Киев) в начале 80-ых годов серией в нескольких десятков экземпляров. Высокие точностные характеристики ЛДГ и реальные перспективы их дальнейшего повышения позволили уже в начале 80-ых годов поставить вопрос о возможности создания эталонных средств измерения угла на основе ЛДГ [5].

Широкое использование в средствах измерения, системах управления, испытательном оборудовании датчиков угла, работающих в динамическом режиме, а также необходимость преемственности при передаче единицы плоского угла с использованием многогранных призм, ставит задачу перехода на новые метрологические средства измерений и создание новой поверочной схемы для средств измерений плоского угла.

Цель и основные задачи работы.

Целью работы является разработка методов лазерной гониометрии, повышающих точность угловых измерений, и создание на их основе высокоточных измерительных систем, обеспечивающих единство измерений постоянных и изменяющихся во времени угловых величин.

Для достижения указанной цели необходимо:

• разработать новые методы измерений лазерной гониометрии;

• разработать методики измерений, минимизирующие погрешность угловых измерений;

• разработать принципы построения эталонных средств измерения угла;

• разработать и исследовать эталонные средства измерения угла;

• разработать принцип построения эталона показателя преломления твердых тел по методу угла наименьшего отклонения с использованием лазерного гониометра;

• разработать и исследовать лазерные гониометрические системы (ЛГС) для измерения изменяющихся во времени угловых величин;

• разработать регистрирующую аппаратуру для ЛГС.

Методы исследований включают в себя аппарат теории вероятностей и математической статистики, аппарат математического и регрессионного анализа, математическое моделирование, инженерно- физический эксперимент.

Научная новизна результатов работы заключается в следующем:

• Результаты исследования фазо-временного метода угловых измерений, в рамках которого предложена и исследована объединенная методика измерений, включающая в себя компенсацию обобщенного сдвига нуля и фильтрацию шума. Объединенная методика измерений позволяет уменьшить погрешность измерений и приблизиться к теоретическому пределу точности измерений в лазерной гониометрии.

• Метод построения высокоточных лазерных гониометрических систем (ЛГС), основанный на комплексировании кольцевого лазера (КЛ) и оптического датчика угла (ОДУ). Метод анализа погрешностей ЛГС, основанный на модифицированном методе кросс-калибровки, с использованием которого проведены исследования Государственного первичного эталона (ГПЭ) единицы плоского угла при угловом перемещении твердого тела.

• Метод анализа систематических погрешностей КЛ и интерференционного нуль индикатора в лазерном динамическом гониометре.

• Метод автоматизации процесса измерения угла наименьшего отклонения, который реализован в ГПЭ показателя преломления твердых и жидких сред.

• Результаты исследований лазерной гониометрической системы при бесконтактных измерениях угловых параметров движения объекта, открывающие возможности для развития метрологии угловых динамических измерений.

• Контактный метод измерения угловых параметров движения больших объектов, использующий инерциальные свойства кольцевого лазера.

Практическая ценность результатов работы заключается в создании эталонных средств измерений, позволяющих обеспечить единство измерений постоянных и изменяющихся во времени угловых величин. В работе получены следующие практические результаты:

1. Разработаны и внедрены новые режимы работы ЛГС, основанные на компенсации обобщенного сдвига нуля и фильтрации сигналов, позволяющие увеличить точность угловых измерений.

2. Совместно с ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева» решена задача метрологического обеспечения преобразователей угла, работающих в динамическом режиме. Создан эталон единицы плоского угла при угловом перемещении твердого тела. Для МО РФ создан измерительно-вычислительный комплекс, предназначенный для автоматизированного контроля высокоразрядных цифровых преобразователей угла, прошедший государственные испытания с целью утверждения типа.

3. Совместно с ФГУП «ВНИИОФИ» решена задача построения эталона показателя преломления твердых и жидких сред с использованием лазерного динамического гониометра, реализующего автоматизированный процесс измерения угла наименьшего отклонения.

4. Создан интерференционный нуль-индикатор, задающий опорное направление в процессе угловых измерений, обладающий расширенным динамическим диапазоном и повышенной точностью.

5. Предложен и реализован метод исследования лазерного динамического гониометра для калибровки оптических призм и оптических датчиков угла, позволяющий уменьшить погрешность измерения. Проведена сертификация разработанных образцов ЛДГ в национальном институте метрологии Швейцарии (METAS) и сличение с национальным эталоном плоского угла Германии (РТВ).

6. Создан лазерный динамический гониометр-автоколлиматор, позволяющий бесконтактным способом проводить измерения параметров углового движения объекта в диапазоне углов более 20°, с погрешностью не хуже 0,3 . Проведена его калибровка.

7. Создан лазерный инерциальный гониометр, измеряющий мгновенное угловое положение поворотного стола испытательного стенда, совершающего сложное угловое движение в неограниченном диапазоне угловых перемещений.

8. Создано программно управляемое устройство, которое обеспечивает регистрацию данных и ввод их в персональный компьютер для всего функционального ряда лазерных динамических систем.

Реализация результатов работы.

• Результаты работы реализованы при создании Государственных первичных эталонов: эталона единицы плоского угла при угловом перемещении твердого тела (ГЭТ 94-01) и эталона единицы показателя преломления (ГЭТ 138-2003).

• Измерительно-вычислительный комплекс, предназначенный для автоматизированного контроля высокоразрядных цифровых преобразователей угла, создан для МО РФ и используется в настоящее время в ФГУП ГосНИИАС.

• Лазерный динамический гониометр для калибровки оптических призм используется в национальных метрологических институтах Италии, Испании, Китая.

• Интерференционный нуль-индикатор используется в национальном метрологическом институте Германии (РТВ), в отраслевом метрологическом институте (CIM, г. Пекин, КНР), в институте точной механики для аэрокосмической промышленности (CPEI, г. Пекин, КНР); входит в состав: Государственного эталона единицы плоского угла при угловом перемещении твердого тела, измерительно-вычислительного комплекса для контроля параметров высокоразрядных преобразователей угла и ряда других углоизмерительных систем.

• Лазерный динамический гониометр-автоколлиматор используется для контроля параметров углового движения сканирующего зеркала в институте космических исследований РАН, институте спектроскопии РАН.

• Стенд контроля параметров вращательного движения внедрен в институте точной механике для аэрокосмической промышленности (CPEI, г. Пекин, КНР).

Апробация работы.

Результаты работы докладывались на: международных конференциях:

Symposium Gyro Technology, Stuttgart, 1991; 2001; 2003; 2007.

Int.Conf. on Gyroscopic technology and navigation, СПб., 1995; 1998;

2001;2002.

1 Межд.конф. по электромеханотронике, СПб., 1997.

3 Soviet-Chinese Gyro Technolog symposium, Nanjing, 1992. 3rd Intern. IMEKO Symp. "Laser metrology for Precision Measurement", Heidelberg, 1994.

International Conf. on Ultraprecision Engineering, Braunschweig, Germany, 1997. Conference of Integrated Navigation Systems, Beijing, November 1998.

EUSPEN international conference, Turin, May 2001; Glasgow, May-June

2004. Optical Measurement Systems for Industrial Inspection III, Munich, Germany, June 2003.

Международный научный конгресс «Гео -Сибирь2005», Новосибирск,

2005.

Российских конференциях:

III ВНТК "Прим. Лазеров", Таллинн, 1987.

XXII межотраслевой научно-техн. конфер. памяти Н. Н. Острякова, СПб, 2000, 2002.

7th Symposium on Laser Metrology, Novosibirsk, Russia, September 2002. Международной научно-технической конференции «Наука, образование и общество в 21 веке», С.-Пб., 2006.

Профессорско-преподавательских конференциях СПбГЭТУ (ЛЭТИ). Семинарах: ВНИИМ -2003; ГосНИИАС - 2003; РТВ -2007. Участие в выставках научно-технических достижений. The International Optoelectronics Exhibition, Interopto, Japan, 2004. The International Fair Factory Automation, Asia, 2005. 2nd International Precision Engineering, Machine Tools and Metalworking Exhibition, MTA Vietnam, 2006.

Метрология 2008, Москва, ВВЦ. Публикации.

Автор по теме диссертационной работы имеет 47 научных публикаций, включая 23 статьи: из них 14 работ опубликовано в рецензируемых журналах и изданиях, рекомендованных ВАК Минобрнауки России для публикации материалов докторских диссертаций; 24 публикации в материалах международных и всероссийских научно-технических конференциях и симпозиумах; 2 авторских свидетельства и 1 патент на изобретение РФ.

Личный вклад автора.

Автором предложены: фазо-временной метод измерений, обобщенная методика измерений, автоматизированный метод измерения угла наименьшего отклонения; разработаны методики исследований ЛГС, проведены экспериментальные исследования и математическое моделирование. В работах, выполненных в соавторстве, автору принадлежит постановка задач экспериментальных исследований, интерпретация результатов и формулировка общих закономерностей.

Структура и объем работы.

Работа состоит из введения, пяти глав, заключения, одного приложения и списка цитируемой литературы, включающего 117 наименований. Диссертация изложена на 293 страницах машинописного текста. Работа содержит 95 рисунков и 27 таблиц.

Заключение диссертации по теме «Информационно-измерительные и управляющие системы (по отраслям)», Павлов, Петр Алексеевич

Основные результаты диссертационной работы.

1. Предложен и исследован фазо-временной метод измерений в лазерной гониометрии, в котором наряду с измерением фазы выходного сигнала КЛ производится регистрация времени фазовых измерений. Метод включает уравнения измерений, использование которых уменьшает погрешность результата измерений, вызванную нестабильностью скорости вращения КЛ. Применение рассмотренных уравнений измерений в экспериментальных исследованиях ЛГС подтвердили достоверность теоретических выводов.

2. На основании проведенных исследований предложена объединенная методика измерений, состоящая из компенсации обобщенного сдвига нуля и фильтрации шума, позволяющая уменьшить влияние всех типов шумов кроме случайного дрейфа КЛ, уменьшить погрешность измерения и тем самым приблизиться к теоретическому пределу точности измерений в лазерной гониометрии.

3. Предложен и исследован метод построения эталонных лазерных гониометрических систем, заключающийся в комплексировании КЛ и оптического ДУ, позволяющий реализовывать эталонные системы различного уровня. В зависимости от назначения ЛГС воспроизведение и передача единицы плоского угла может осуществляться как КЛ, так и оптическим ДУ.

4. На основе предложенного метода создан Государственный первичный эталон единицы плоского угла при угловом перемещении твердого тела, входящий в состав объединенного эталона ГЭТ 94-01, который предназначен для воспроизведения, хранения и передачи единицы линейного ускорения и единицы плоского угла в пределах от 0,2" до 360°, СКО результата измерения Б = 0,04" при 30 независимых измерениях и неисключенную систематическую погрешность 0 = 0,05". Сличения ГЭТ 94-01 с ГПЭ единицы плоского угла с использованием 12-гранной эталонной призмой подтвердили достоверность результатов исследований.

5. Создан и исследован измерительно-вычислительный комплекс для автоматизированного контроля высокоразрядных цифровых преобразователей угла, характеризующийся СКО суммарной погрешности 0,04" в диапазоне угловых скоростей ±(30 720) 7с и угловых ускорений ±(0 20) 7с2. Впервые для передачи размера единицы плоского угла от ГПЭ ГЭТ 94-01 использован кольцевой лазер. ИВК зарегистрирован в Государственном реестре под № 32850-06 и допущен к применению в Российской Федерации как средство измерения военного назначения.

6. Исследованы методы анализа, на основе которых проведены исследования точностных характеристик ЛДГ, предназначенных для поверки и калибровки ДУ, работающих в динамическом режиме, и многогранных призм. Калибровка ЛДГ, проведенная в Швейцарском национальном метрологическом институте, подтвердила достоверность проведенных исследований. Сличения ЛДГ с национальным эталоном плоского угла Германии посредством датчика угла МЖ-905 позволили

271 определить погрешность ЛДГ при калибровке датчиков угла, которая не превысила 0,03".

7. Предложен и исследован автоматизированный метод измерения угла наименьшего отклонения в схеме с неподвижной призмой и вращающимся совместно с КЛ зеркалом. Метод состоит в измерении угла отклонения при последовательных разворотах призмы вблизи угла наименьшего отклонения с последующей аппроксимацией экспериментальной кривой полиномом, по которому численным методом находится угол наименьшего отклонения. Предложенный метод используется в ГПЭ единицы показателя преломления (ГЭТ 138-2003).

8. Проведенные исследования показали, что средства лазерной гониометрии, такие как ЛДГА, реализующий бесконтактный метод измерений в угловом диапазоне не менее 20°, и ЛИГ, реализующий контактный метод измерений в неограниченном угловом диапазоне с высокой частотой регистрации данных, обеспечивают проведение динамических угловых измерений с погрешностью менее 2,4 • 10"6 рад.

Заключение

В результате выполнения диссертационной работы были научно обоснованы технические решения, внедрение которых позволило создать Государственный первичный эталон единицы показателя преломления, а также Государственный первичный эталон единицы плоского угла при угловом перемещении твердого тела и государственную поверочную схему для средств измерений плоского угла при угловом перемещении твердого тела, а также заложить основы для создание объединенного эталона единицы плоского угла и ГПС, обеспечивающих единство измерений постоянных и изменяющихся во времени угловых величин.

Список литературы диссертационного исследования доктор технических наук Павлов, Петр Алексеевич, 2008 год

1. ГОСТ 8.016-81. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений плоского угла. Введ. 1982-0107. - М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 1984. - 9 с.

2. ГОСТ 8.288-78 ГСИ. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений угловойо лскорости в диапазоне 5x10" до 2,5x10" рад/с. . Введ. 1978-01-07. - М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 1978. -6 с.

3. ГОСТ 8.289-78 ГСИ. Государственный первичный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений постоянноголуглового ускорения в диапазоне 1-100 рад/с . Введ. 1978-01-07. М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 1978. - 6 с.

4. Probst, R. Recent international comparisons in angle metrology / Probst R. // Requirements and recent developments in high precision angle metrology : proceedings of the 186th PTB-Seminar, Braunschweig, November. 2003. -P. 117.

5. Состояние и перспективы создания средств передачи размера единицы плоского угла, угловой скорости и ускорения на основе кольцевых лазеров / Б.Э. Блантер и др. // Измерительная техника. 1984. - № 7. - С. 27.

6. Кривцов, Е.П. Исследование погрешности воспроизведения единицы плоского угла кольцевым лазером / Е.П. Кривцов, Ю.В. Филатов // Измерительная техника. 1989. - № 12. - С. 11.

7. Филатов, Ю. В. Методы и средства лазерной гониометрии: автореф. дис. . д-ра техн. наук / Ю.В. Филатов; Ленингр. ин-т точной механики и оптики. Л.: Изд-во ЛИТМО, 1991.

8. Блантер, Б. Е. Экспериментальное исследование точности магнитных преобразователей / Б.Е. Блантер // Измерительная техника. — 1977. -№ 7. С.40.

9. Лазерные измерительные системы /А.С. Батраков и др.; под ред. Д.П. Лукьянова М.: Радио и связь, 1981.

10. Aronowitz, F. Fundamentals of ring laser gyro / F. Aronowitz // Optical Gyros and their Application. RTO AG 339. - 1999. - May. - P. 3-1.

11. Allan, D.W. Statistics of atomic frequency standards / D.W. Allan// Proceedings of IEEE. 1966. - Vol. 54, № 2. - P. 221.

12. Rutman, J. // Proceedings of IEEE. 1978. - Vol. 66. - P. 1048.

13. Павлов, П.А. Метод уменьшения случайной погрешности лазерного динамического гониометра / П.А. Павлов // Измерительная техника. -2008.-№7.-С. 25.

14. Dynamic ring laser goniometer / Filatov Yu.V., Loukianov D.P., Pavlov P.A., Burnaschev M. N., Probst R. // Optical Gyros and their Application. RTO AG 339. - May 1999. - P. 12-1.

15. Развитие методов и средств лазерной динамической гониометрии / М.Н. Бурнашев, Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов // Квантовая электроника. 2000. - Т. 30, № 2. - С. 141.

16. Павлов, П.А. Анализ алгоритмов измерений лазерным динамическим гониометром / П.А. Павлов // Измерительная техника. 2008. - № 1. -С. 17.

17. Бендат, Дж. Приложения корреляционного и спектрального анализа: пер. с англ. / Дж. Бендат, А. Пирсол. М.: Мир, 1982. - 312с.

18. IEEE STD 647-1995, IEEE Standart Specification Format Guide and Test Procedure for Single Axis Axis Laser Gyros.

19. Бендат, Дж. Прикладной анализ случайных данных: пер. с англ. / Дж. Бендат, А. Пирсол. -М.: Мир, 1989. 540с.24.www.heidenhain.de.

20. The new РТВ angle comparator /R. Probst et al. // Meas. Sci. Technol-1998.-Vol. 9.-PP. 1059-1066.

21. Calibration of high resolution electronic autocollimators against an angle comparator / A. Just et al. // Metrologia.- 2003.- Vol. 40 PP. 288-294.

22. Пат. 1831937 СССР , МПК A3 Фотоэлектрическое устройство для измерения угловых перемещений / Гордеев С.В., Турухано Б.Г.

23. Гордеев, С.В. Исследование метрологических характеристик голографических решеток / С.В. Гордеев, В.П. Горелик, Б.Г. Турухано // Материалы 14-й Всесоюз. школы по голографии- JL, 1982.

24. Пат. 2222777 Российская Федерация, МПК7 G 01 В 9/10. Гониометр / Бурнашев М.Н., Гончаров Н.В., Лукьянов Д.П., Павлов П.А.,

25. Филатов Ю.В.; заявитель и патентообладатель СПбГЭТУ «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина). -№ 2002116910; заявл. 24.06.2002 ; опубл. 27.01.2004, Бюл. № 3. 6 с. : ил.

26. Dynamic goniometers based on ring laser and optical encoder / M. Bournachev, Y. Filatov, N. Goncharov, D. Loukianov, P. Pavlov // Proceedings of 4-th EUSPEN international conference, Glasgow, May-June 2004. Glasgow, 2004 . - PP. 318-319.

27. Sim, P.J. // Modern Techiques in Metrology. Singapore: World Scientific, 1984,- PP.102-121.

28. Метод анализа точностных характеристик датчиков угла /В.А. Смирнов и др. // Измерительная техника. 1991. - № 4. - С. 7.

29. Двухканальный прецизионный преобразователь угла /И.П. Глаголев и др. // Измерительная техника. 1991. - № 4. - С. 8.

30. Masuda, Т. High accuracy calibration system for angular encjders / T. Masuda, V. Kajitani // J. of robotics and mechatroics. 1993. - Vol. 5, No 5.- PP. 448-452.

31. Automatic high precision calibration system for angle encoder /Т. Watanabe et al. // Proceeding of SPIE. 2001. - V. 4401. - PP. 267 - 274.

32. Probst, R. Self-calibration of divided circles in the basis of a prime factor algorithm / R. Probst // Meas. Sci. Technol. 2007. - Vol. 18. - P. 1.

33. Корн, Г. Справочник по математике (для научных работников и инженеров) / Г. Корн, Т. Корн. М.: Наука, 1974. - 832 с.

34. Андерсон, Т. Статистический анализ временных рядов / Т. Андерсон . М.: Мир, 1976.-755 с.

35. Химмельблау, Д. Анализ процессов статистическими методами / Д. Химмельблау. М.: Мир, 1976. - 957 с.

36. Фотоэлектрические преобразователи информации / J1.H. Преснухин и др.- М.: Машиностроение, 1974. 376 с.

37. Синельников, А.Е. Новый эталон России в области измерения низкочастотных параметров движения /А.Е. Синельников, В.Н. Кудрявцев, П.А. Павлов // Гироскопия и навигация 2003- № 1 (40).- С. 63 - 75.

38. Reproduction of plane angle unit in dynamic mode by means of ring laser and holographic optical encoder /M.N. Bournachev, Y.V. Filatov, D.P. Loukianov, P.A. Pavlov, A.E. Sinelnikov // Proceedings of 2-nd

39. EUSPEN internatioinal conference, Turin, May 2001. Turin, 2001. - PP. 322-325.

40. Домрачев, В.Г. Цифровые преобразователи угла: Принципы построения, теория точности, методы контроля / В.Г. Домрачев, Б.С. Мейко.-М.: Энергоатомиздат, 1984.-328 с.

41. ГОСТ РВ 52015-2003. Преобразователи угла цифровые. Общие технические условия. Введ. 2003-05-02. -М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 2003. - 53 с.

42. Грушвицкий, Р.И. Устройство регистрации сигналов унифицированного ряда лазерных динамических гониометров / Р.И. Грушвицкий, Д.В. Килочек, П.А. Павлов // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ» / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. 2008. - № 1. - С. 64-70.

43. ГОСТ 8.381-80. Эталоны. Способы выражения погрешностей. Введ. 1981-01-01. -М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 1980. - 8 с.

44. Кривцов, Е.П. О точности интерференционного нуль-индикатора / Е.П. Кривцов, П.А. Павлов, A.M. Юдин // Применение лазеров: сб. Л., 1984.

45. Исследование точностных характеристик автоколлимационного нуль-индикатора с псевдошумовой маской / Е.Н. Евстафьев, П.А. Павлов, Д.П. Лукьянов и др. // Методы и устройства оптической голографии: сб. -Л., 1984.

46. Павлов, П.А. Результаты калибровки многогранных призм с помощью лазерного гониометра ИУП-1Л / П.А. Павлов, Ю.В. Филатов // Изв. гос.электротехн. ун-та / С.-Петерб. гос электротехн. ун-т — 1997. Вып. 509. -С.41.

47. Филатов, Ю.В. Анализ работы интерференционного углового нуль-индикатора / Ю.В. Филатов // Оптико-механическая промышленность. -1989,-№4.-С. 13-17.

48. Коронкевич, В. П. Лазерная интерферометрия / В.П. Коронкевич, B.C. Соболев, Ю.Н. Дубнищев. Новосибирск: Наука, 1983.

49. Зуев, В.Е. Перенос оптических сигналов в земной атмосфере / В.Е. Зуев, М.В. Кабанов. М., 1977. - 368 с.

50. Probst, R. Measurement of angle and flatness diviations of polygon prism faces bsing a phase-shifting interferometer / R. Probst // VDI Berichte NR, 118, 1994. P. 173.

51. Павлов, П.А. Анализ погрешности углового интерференционного нуль-индикатора / П.А. Павлов // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ» / С.-Петерб. гос. электротехн ун-т. № 4- 2008. - С. 64-70.

52. Ишанин, Г.Г. Приемники излучения / Г.Г. Ишанин, Э.Д. Панков, В.П. Челибанов.- СПб.: Папирос, 2003.- 527с.

53. Бендат, Дж. Прикладной анализ случайных данных: пер. с англ. / Дж. Бендат, А. Пирсол. М.: Мир, 1989. - 540с., ил.

54. Филатов, Ю.В. Анализ работы интерференционного углового нуль-индикатора /Ю.В. Филатов // Оптико-механическая промышленность .-1989.-№4.-С. 13.

55. Гост Р 8.000-2000 Государственная система обеспечения единства измерений. Основные положения. Введ. 2001-01-01. - М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 2000. - 8 с.

56. Лукьянов, Д.П. Разработка унифицированного ряда лазерных гониометрических систем для машиностроения /Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов // Применение лазеров: тез. докл. III Всесоюз. научн.-техн. конф., г. Таллинн, 1987. Таллинн, 1987.

57. Development of testbeds for laser and fiber-optic gyros testings / M. Burnashev, D. Loukianov, P. Pavlov, Y. Filatov // 3 Soviet-Chines Gyro Technolog symposium, Nanjing, 1992. Nanjing, China, 1992.

58. Динамическая аттестация преобразователей угол-код методами и средствами лазерной гониометрии / Д.П. Лукьянов, М.Н. Бурнашев, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов // 1 Междунар. конф. по электромеханотронике, г. Санкт-Петербург, 1997 г. СПб., 1997.

59. Лазерные системы динамической аттестации угловых преобразователей различного типа / М.Н. Бурнашев, Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов // Изв. ГЭТУ / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. 1997. - Вып. 509. - С. 36-40.

60. Ring laser gyro systems for dynamic calibration of angular optical encoders / Y.V. Filatov, M.Y. Agapov, M.N. Burnashev, D.P. Loukianov, P.A. Pavlov // Proceedings of Symp. Gyro Technology, Stuttgart, 2003. Stuttgart, 2003. - PP. 9.0-9.8.

61. Анализ современных технологий синтеза углоизмерительных структур для высокоточных угловых измерений / В.П. Кирьянов, А.В. Кирьянов,

62. Д.Ю. Кручинин, О.Б. Яковлев // Оптический журнал.- 2007. Т. - 74. -№ 12.-С. 40.

63. Иоффе, Б.В. Рефрактометрические методы химии / Б. В. Иоффе. -Изд. 2-е. Л.: Химия, 1974. - 400 с.

64. Отражательная рефрактометрия / М. В. Лейкин и др. Л.: Машиностроение, 1983.

65. Автоматический гониометр-спектрометр: А.С. 1427173, МКИ G 01 В 9/10 .1986. / Виноградов Э.Ф., Демчук В.Ю., Зайцев И.И. и др. № 4270774/24-28; заявл. 15.04.87; опубл. 23.07.89, Бюл. № 27. - 8 с.

66. Демчук, В.Ю. Измерение показателей преломления оптического стекла с помощью автоматизированных гониометров-спектрометров на основе кольцевого лазера / В.Ю. Демчук // Оптический журнал. 2006 . -Т. 73, № 9. - С.51-56.

67. Борн, М. Основы оптики: пер. с англ. /М. Борн, Э. Вольф М.: Наука, 1973.-719 с.

68. ГОСТ 5723-82. Стекло оптическое. Методы измерения показателей преломления на гониометре.

69. Standart refractometric complex based on dynamic laser goniometer / G.N. Vishnyakov, G.G. Levin, G.N. Zoiuzev et al. // Proceedings of 7th Symposium on Laser Metrology, Novosibirsk, Russia, September, 2002. -Novosibirsk, 2002.

70. Измерение показателя преломления на гониометре в динамическом режиме / Г.Н. Вишняков, Г.Г. Левин, С.В. Корнышева, Г.Н. Зюзев, М.Б. Людомирский, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов // Оптический журнал. 2005. - Т. 72, № 12. - С. 53 - 58.

71. Alan, J. Werner Methods in high precision refractometry of optical glasses / J. Alan // Applied Optic. 1968. - Vol.7, N5. - PP. 837-843.

72. Tentori, D. Refractometry by minimum deviation: accuracy analysis /D. Tentori , J. R. Lerms i I Optical Engineering. 1990 - Vol. 29, No 2. -PP. 160-168.

73. ГОСТ 8.583 2003 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений показателя преломления твердых, жидких и газообразных веществ. - Введ. 2004-01-10. - М.: Госстандарт России: Изд-во стандартов, 2004. - 7 с.

74. Bengt, Е. The refractive index of air /Е. Bengt // Metrología. 1966. -Vol. 2, № 2.

75. Вишняков, Г.Н. Государственный первичный эталон единицы показателя преломления / Г.Н. Вишняков, Г.Г. Левин, С.В. Корнышева // Измерительная техника. 2004. - № 11. - С. 3 - 6.

76. Vishnyakov G. N., Levin G. G., Kornysheva S. V. // Measurement Techniques. 2004. - V. 47. - N 11. -P. 1039.

77. Лукьянов, Д.П. Прецизионные бесконтактные системы контроля углового положения объекта / Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов.- Л.: ЛДНТП, 1984. 24 с. с ил.

78. Лукьянов, Д.П. Лазерный измеритель параметров углового движения объекта / Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, A.M. Юдин // Применение лазеров: сб. Л., 1984.

79. Павлов, П.А. Контроль углового положения стенда с помощью лазерного гониометра / П.А. Павлов, A.M. Юдин // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. 1985. - Вып. 352. - С. 5.

80. Исследование бесконтактного лазерного измерителя / Е.П. Кривцов, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов, A.M. Юдин // Применение лазеров: тез. докл. III Всесоюз. науч.-техн. конф., г. Таллинн, 1987 г. Таллинн, 1987. - С.64.

81. Precision Angle Measurements in Diffractional Spectrometer by means of Ring Laser / Y. Filatov, D. Loukianov, B. Burnashev, K. Kirianopv,

82. A. Mesentcev, P. Pavlov // Procceedings of 4th International Conf. on Ultraprecision Engineering , Braunschweig, Germany, 1997.

83. Precision angle measurement in a diffractional spectrometer by means of a ring laser / M. Burnashev, Y. Filatov, K. Kirianov, D. Loukianov, A. Mesentcev, P. Pavlov // Measurement Science and Technology. 1998. -Vol. 9, N7. -PP. 1067-1071.

84. Программа экспериментов по исследованию мезоатомов на Московской фабрике с помощью двухкристального дифракционного спектрометра : препринт ИЯИ-1005/99 / Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, Ю.В. Филатов и др.; Ин-т ядер, исслед. 1999. - 26 с.

85. Павлов, П.А. Лазерное угломерное устройство с расширенным диапазоном измерения / П.А. Павлов, Ю.В. Филатов, A.M. Юдин // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. 1990. - № 427. - С. 63.

86. Филатов, Ю.В. Исследование погрешности лазерного измерителя углового положения объекта / Ю.В. Филатов // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. 1988. - Вып. 400. - С. 56.

87. Павлов, П.А. Анализ погрешности измерения угла при использовании телескопической системы / П.А. Павлов, A.M. Юдин // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. 1986 - Вып. 366. - С. 65.

88. Кольцов, И.М. Интерференционное устройство регистрации нулевого положения / И.М. Кольцов, В.М. Лекомцев, В.П. Михеев // Измерительная техника. 1976. - № 7. - С.29.

89. Calibration of high resolution electronic autocollimators against an angle comparator / A. Just, M. Krause, R. Probst, R. Wittekohf // Metrologia. -2003. Vol. 40. - PP. 288-294.

90. Интерференционный экзаменатор для аттестации высокоточных автоколлиматоров / В.Т. Мартынов и др. // Измерительная техника. -1984.-№ 12.-С. 11.

91. Шестопалов, Ю.Н. Методы воспроизведения единиц плоского угла / Ю.Н. Шестопалов // Исследования в области линейных и угловых измерений: сб. науч. тр. JL: Энергоатомиздат, 1988. - С. 51.

92. Исследование двухкоординатного лазерного измерителя углового положения объекта / Д.П. Лукьянов, П.А. Павлов, А.С. Понырко и др. // Материалы «Школа-85». Метролог, обеспечение прецизион. навигацион. систем, 1985.

93. Архангельский, Б.В. Экспериментальное исследование двухкоординатного лазерного измерителя углового положения объекта / Б.В. Архангельский, П.А. Павлов // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. -1987.-Вып. 367.-С. 46.

94. Лазерева, Н.Б. Выбор метода оценки параметров углового движения гиростабилизированной платформы лазерным измерителем / Н.Б. Лазарева, П.А. Павлов // Изв. Ленингр. электротехн. ин-та. 1989. -Вып. 412.-С. 46.

95. Измерение параметров углового движения сканирующего зеркала / М.Ю. Агапов, Е.А. Бачиш, Е.Д. Бохман, П.А. Павлов // Изв. СПбГЭТУ

96. ЛЭТИ». Сер. Приборостроение и информационные технологии / С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т. 2007. -Вып 1. - С. 52-59.

97. Modified Laser Goniometer for Precision Angular Calibration of Test Beds in Dynamic Mode / M. Burnashev, Yu. Filatov, D. Loukianov, P. Pavlov // Proceedings of 1-st EUSPEN international conference, Bremen, May 1999.

98. Development and tests of RLG based system for dynamic angle measurements / M.N. Burnashev, Yu.V. Filatov, D.P. Loukianov, P. Pavlov, R. Probst, A. Just // Proc. of Symp. Gyro Technology, Stuttgart, 2001.-Stuttgart, Germany. 2001. - P. 9.0 - 9.11.

99. Filatov, Yu.V. Dynamic angle measurement by means of a ring laser / Yu.V. Filatov, D.P. Loukianov, R. Probst // Metrología. 1997. - Vol. 34. -P. 343.

100. Каратьяну Г. Частотная модуляция / Г. Каратьяну; Академия Румынской народной республики. 1961.-112 с.

101. Баскаков, С.И. Радиотехнические цепи и сигналы: учеб. для вузов по спец. «Радиотехника» / С.И. Баскаков. 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш. шк, 1988.-448 с.