Разработка новых материалов для защитных ионно-плазменных покрытий с СМК структурой и технологий их нанесения на лопатки ГТД тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.16.06, кандидат наук Шехтман, Семен Романович

• Шехтман, Семен Романович
• кандидат наук
• 2015

Оглавление диссертации кандидат наук Шехтман, Семен Романович

ОГЛАВЛЕНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ЛОПАТОК ГТД ОТ АГРЕССИВНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ. ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1. Объект исследования. Условия работы лопаток ГТД

1.2. Принципы защиты лопаток компрессора от агрессивного воздействия

1.3. Анализ защитных покрытий для лопаток ГТД

1.4. Анализ методов нанесения покрытий на лопатки ГТД

1.5. Многослойные ионно-плазменные покрытия

1.6. Анализ процесса формирования многослойных покрытий с субмикрокристаллической структурой

1.7 Анализ методов создания многослойных покрытий с субмикрокристаллической структурой

ГЛАВА 2. МЕТОДИКИ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

2.1. Объект исследований, механические свойства и химический состав исследуемых материалов и покрытий

2.2 Принцип работы и краткое описание модернизированной установки ННВ6.6-И1

2.3 Методики исследования свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий и эксплуатационных свойств лопаток компрессора ГТД

с покрытиями

2.3.1 Вторичная ионная масс-спектрометрия

2.3.2. Методика рентгеноструктурного анализа покрытий

2.3.3 Методика исследования адгезионной прочности вакуумных ионно-

плазменных покрытий

2.3.4 Методика измерения микротвердости

2.3.5 Методика определения структуры

2.3.6 Методика коррозионных испытаний лопаток компрессора ГТД

с ВИП покрытиями

2.3.7 Методика оценки толщины покрытия на образцах на приборе С8М САШТЕ8Т

2.3.8 Методика проведения испытаний на усталостную прочность

ГЛАВА 3. МЕТОДЫ И МЕХАНИЗМЫ ФОРМИРОВАНИЯ ВАКУУМНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ С СУБМИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ

3.1. Механизм формирования многослойных покрытий с субмикрокристаллической структурой композиции 77-С-57

3.2. Исследование вакуумно-дугового разряда генерируемого графито-кремниевым катодом

3.3. Процесс формирования многослойного покрытия системы 77-Г/ТУ

с субмикрокристаллической структурой

3.4. Математическая модель процесса осаждения вакуумных ионно-плазменных покрытий с СМК структурой с двух электродуговых

испарителей

ГЛАВА 4. ФОРМИРОВАНИЯ ПОКРЫТИЙ С СМК СТРУКТУРОЙ

В УСЛОВИЯХ МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДОПОЛНИТЕЛЬНОЙ ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ

4.1 Формирование покрытий с субмикрокристаллической структурой в условия модифицирования поверхности дополнительной ионной бомбардировкой

4.2 Получение покрытий с СМК структурой в условиях плазменного ассистирования

4.3 Получение покрытий с СМК структурой осаждением с модифицированием поверхности разрядом на основе эффекта полого

катода

ГЛАВА 5. СТРУКТУРА И ФАЗОВЫЙ СОСТАВ ПОКРЫТИЙ С СУБМИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ

5.1. Исследование структуры и фазового состава вакуумных ионно-плазменных покрытий композиции 77-С-5/

5.2. Исследования ВИЛ покрытий на основе 77-Г/ТУ с СМК структурой. 180 5.3 Исследования покрытий с СМК структурой, полученных с использованием разряда на основе эффекта полого катода

ГЛАВА 6. ИССЛЕДОВАНИЕ СМК СТРУКТУРЫ, МЕХАНИЧЕСКИХ И ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОГО ПОКРЫТИЯ

6.1 Исследование свойств многослойного покрытия системы 77-С-57

6.2 Эксплуатационные свойства покрытий на основе 77-С-57

6.3 Результаты исследования микротвердости образцов с многослойными покрытиями системы 77-С-57

6.4 Исследование свойств многослойного покрытия системы 77 - 77/У

с СМК структурой

ГЛАВА 7. ТЕХНОЛОГИИ ВАКУУМНОГО ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С СМК СТРУКТУРОЙ НА ЛОПАТКИ КОМПРЕССОРА ГТД

7.1. Разработка технологии ВИЛ многослойных покрытий системы 77-С-57 в условиях плазменного ассистирования и их последующей термической обработки на лопатки компрессора ГТД

7.2. Разработка технологического процесса синтеза многослойного покрытия композиции 77-С-57

7.3. Технология плазменно-ассистированного нанесения покрытий 77-Г/ТУ

на лопатки компрессора ГТД

7.4 Разработка технологического процесса осаждения покрытия Г/'-Г/ТУ

с СМК структурой

7.5 Технология осаждения покрытий с СМК структурой на лопатки

компрессора ГТД с использованием разряда на основе эффекта полого

катода

7.6. Разработка технологического процесса осаждения покрытия ТьТТЫ с СМК структурой с дополнительной ионной бомбардировкой,

реализуемой разрядом на основе эффекта полого катода

7.7 Модернизированная промышленная установки ННВ-6,6-И1

ЗАКЛЮЧЕНИЕ. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ПО РАБОТЕ

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРИЛОЖЕНИЯ

СОКРАЩЕНИЯ И УСЛОВНЫЕ ОБОЗНАЧЕНИЯ

СМК структура - субмикрокристаллическая структура

РУБ - физические методы осаждения

ГТД - газотурбинный двигатель

КНД - компрессор низкого давления

КВД - компрессор высокого давления

СУО - химические методы осаждения

ЭДИ - электродуговой испаритель

ВИП - вакуумные ионно-плазменные

НСДР - несамостоятельный сильноточный диффузионный разряд

ЭПК - эффект полого катода

ТИ - термическое испарение в вакууме

РИБ - распыление с ионной бомбардировкой

ХОП - химическое осаждение покрытий

ПИНК - плазменный источник с накальным катодом

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Разработка новых материалов для защитных ионно-плазменных покрытий с СМК структурой и технологий их нанесения на лопатки ГТД»

ВВЕДЕНИЕ

Актуальность темы. Повышение уровня эксплуатационных свойств наиболее нагруженных, ответственных и дорогостоящих деталей ГТД, таких как лопатки компрессора, изготавливаемых из высоколегированных сталей, титановых сплавов и жаропрочных сталей, является наиболее важной задачей авиационного двигателестроения. Решение этой задачи осуществляется с использованием нескольких подходов: разработка перспективных поликристаллических и монокристаллических сплавов, модернизация способов изготовления, формообразования и обработки изделий, развитие новых методов поверхностной обработки деталей и нанесение на поверхность защитных покрытий, в том числе и функциональных покрытий с различной микроструктурой. Разработка новых материалов защитных покрытий, способов и процессов их нанесения для создания многослойных покрытий, обладающих более высокими эксплуатационными характеристиками по сравнению с монослойными, отвечающих современным требованиям по защите поверхности лопаток компрессора ГТД, работающих в условиях повышенных температур, усталостных и термоусталостных нагрузок, является важной задачей авиадвигателестроения.

Особенно остро стоит вопрос о защите поверхности лопаток компрессора ГТД при работе в условиях повышенных температур, когда рабочая температура может достигать 600 - 800 °С (для последних ступеней компрессора. Для решения этой проблемы, наряду с совершенствованием составов жаростойких сталей и титановых сплавов, разрабатываются технологии защиты поверхности лопаток ГТД от агрессивного воздействия.

Перспективным направлением для защиты лопаток компрессора ГТД являются многослойные покрытия, состоящие из периодически расположенных слоев из различных материалов манометровой толщины, обладающие высокими механическими и эксплуатационными свойствами.

Благодаря особенностям строения, большому количеству слоев и их толщине в нанометровом диапазоне, покрытия с субмикрокристаллпческой структурой и наноструктурированные покрытия сочетают в себе качества слоистых систем и специфические свойства нанообъектов. Кроме того, проведение процесса ионно-плазменного осаждения веществ с одновременной ионной бомбардировкой приводит к получению покрытия с субмикрокристаллической структурой (СМК), обладающего повышенными эксплуатационными свойствами.

Так как в большинстве случаев разрушение деталей авиационных двигателей начинается либо с поверхности, либо разрушение наблюдается в тонком приповерхностном слое, чрезвычайно важно и экономически более целесообразно разработать технологии получения защитных и упрочняющих покрытий, свойства которых по прочности и пластичности недостижимы для традиционных моно- и поликристаллических структур.

В этой связи особый интерес представляют карбиды, силициды и карбосилициды металлов, обладающие высокими механическими и эксплуатационными свойствами, высокой твердостью, коррозионной стойкостью и термодинамической стабильностью. Однако синтез таких соединений традиционными способами возможен при длительном воздействии высокой температуры. Карбосилицид титана Ti-C-Si обладает комплексом полезных физико-механических, химических свойств, которые невозможно получить в обычных сплавах. Он обладает уникальным свойством сдерживать распространение микротрещин и их рост, а материалы, содержащие карбосилицид титана, обладают высокой стойкостью к повреждениям.

Предлагаемый метод синтеза принципиально нового многослойного покрытия системы Ti-C-Si с СМК структурой позволит получить соединение, содержащее в своем составе фазы сложных карбидов и карбосилицидов титана (Пат.2272088 РФ от 20.03.2006).

Актуальность исследований подтверждены Государственной научно-технической программой академии наук Республики Башкортостан. Это проекты: «Исследование физико-химических закономерностей взаимодействия электронных, ионных и плазменных потоков с поверхностью конструкционных материалов, моделирование и разработка проектов электронно-ионно-плазменных технологий», «Многофункциональные ионно-плазменные покрытия для изделий межотраслевого назначения», «Композиционные конденсированные ионно-плазменные покрытия для изделий машиностроения», гранты: «Ведущие научные школы Российской Федерации» «Исследование и разработка ионно-плазменной технологии создания многофункциональных слоевых покрытий на основе композиции углерод-металл и алюминий - металл» (ГТШ-294.2003.8) и «Технология ионно-имплантационного модифицирования и ионно-плазменного осаждения покрытий применительно к изделиям новых поколений» (№ 00-15-99053), «Создание на базе вакуумной ионно-плазменной конденсации веществ нанотехнологии модифицирования поверхности деталей машин», «Нанотехнологии получения поверхностей с наноструктурированными покрытиями на деталях энергетических установок на основе высокотемпературного структурно-фазового модифицирования сильноточными разрядами в вакууме», «Инновационные технологии и оборудование для высокотемпературного модифицирования и нанесения защитных наноструктурированных покрытий в вакууме на детали энергетических установок» и др.

Цель работы. Создание новых материалов и технологий получения вакуумных ионно-плазменных покрытий с субмикрокристаллической структурой для защиты поверхности лопаток компрессора и турбины ГТД.

В соответствии с целью в работе были поставлены следующие задачи:

1. Разработать новые материалы и технологии получения многослойных ионно-плазменных покрытий с субмикрокристаллической

структурой (СМК) на лопатках ГТД в условиях модифицирования

поверхности ионным потоком.

2. Разработать способ модификации поверхности разрядом на основе эффекта полого катода (ЭПК).

3. Экспериментально исследовать химический, фазовый состав и свойства новых материалов вакуумных ионно-плазменных покрытий с СМК структурой, используемых для защиты поверхности лопаток ГТД.

4. Теоретически и экспериментально исследовать процессы нанесения покрытий в условиях модифицирования поверхности ионным потоком.

5. Исследовать эксплуатационные свойства лопаток ГТД с вакуумными ионно-плазменными покрытиями с СМК структурой.

6. Разработать технологии нанесения вакуумных ионно-плазменных покрытий с СМК структурой на лопатки ГТД.

Научная новизна

1. Впервые разработан метод синтеза нового материала покрытия 77-С-57 в условиях модифицирования поверхности ионным потоком при осаждении нанометровых слоев 77 и С-57 из плазмы дугового разряда, генерируемой титановым и графитокремниевым катодами.

2. Установлено, что при формировании покрытий Г/'-С-Я/ методом осаждения нанометровых слоев в условиях модифицирования поверхности ионным потоком образуются сложные карбиды (7766С, 778С5 и др.) и карбосилициды титана (77У?/С?, 77557зС). Установлено, что повышение эксплуатационных свойств лопаток компрессора ГТД (коррозионная и эрозионная стойкость, усталостная прочность и т.д.) связано с образованием в покрытии СМК структуры и наличием в поверхностном слое синтезированного покрытия сложных карбидов и карбосилицидов титана.

3. Установлено, что в системе, состоящей из специального экрана в виде сетки и обрабатываемой поверхности детали, находящихся под отрицательным потенциалом, возникает эффект полого катода (ЭПК),

проявляющийся в формировании плазмы с повышенной

концентрацией заряженных частиц, генерируемых быстрыми осциллирующими электронами, эмиттируемыми с поверхности катодной полости, приводящий к интенсивной бомбардировке обрабатываемой детали заряженными частицами (Патенты РФ № 2075538, № 2096493). Система используется для модифицирования поверхности потоком ионов с целью обеспечения новых свойств поверхности и покрытия.

4. Впервые установлены зависимости фазового состава, коррозионной и эрозионной стойкости, термо и теплостойкости, усталостной прочности нового материала покрытий систем ТьС-^ и ТьТлЫ от синергетического эффекта уменьшения толщины слоев многослойного покрытия до нанометровых значений (30 ...100 нм) и проведения процесса нанесения покрытий в условиях дополнительной ионной бомбардировки.

5. Установлено, что синергетический эффект уменьшения толщины слоев многослойного покрытия до нанометровых значений (30 ...100 нм) и проведение процесса нанесения нового материала покрытий системы ТьС^ при модифицировании поверхности в условиях дополнительной ионной бомбардировки с образованием СМК структуры приводит к повышению коррозионной стойкости (на 20 - 35 %), термической стабильности (на 25 -30 %). При осаждении многослойных покрытий системы Г/-Г/ТУ с СМК структурой установлено, что синергетический эффект приводит к повышению коррозионной стойкости (на 30 - 35 %), термической стабильности (на 10 - 25%), эрозионной стойкости (в 1,9 раза) и предела выносливости (на 25 — 30%).

Практическая ценность работы

1. Разработан способ осаждения многослойных композитов, содержащих в поверхностном слое сложные карбиды (патент 2272088 РФ от 20.03.2006).

2. Разработан способ модифицирования поверхности, включающий модификацию и активацию поверхности плазмой повышенной плотности, создаваемой с помощью системы, реализующей эффект полого катода (патент 2096493 от 20.11.97).

3. Разработан способ вакуумно-плазменного нанесения покрытий,

включающий осаждение покрытия в инертном газе с помощью системы,

состоящей из обрабатываемой детали и экрана в виде сетки, отличающийся

тем, что для получения покрытий с СМК структурой осаждение

осуществляют в сочетании с модифицированием поверхности ионным

2 1

потоком при давлении инертного газа 10" - 10" Па. (патент 2145362 РФ от 10.02.2000).

4. Разработана технология осаждения нового материала многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий системы 77-С-57 применительно к лопаткам компрессора второй ступени ГТД.

5. Впервые экспериментально установлено повышение микротвердости, коррозионной и теплостойкости лопаток компрессора ГТД с покрытием 77-С-57 при проведении последующей термической обработки в диапазоне температур 200 - 300 °С, которое объясняется наличием в поверхностном слое сложных карбидов и карбосилицидов титана и снятием остаточных напряжений.

6. Разработана технология нанесения многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий 77-777У на лопатки компрессора второй ступени КНД, и на ее основе разработан технологический процесс осаждения покрытий, который рекомендован к внедрению на ОАО «Уфимское моторостроительное производственное объединение».

7. Разработан метод модифицирования поверхности и нанесения покрытий на поверхность конструкционных материалов с использованием тлеющего разряда на основе эффекта полого катода (патенты РФ № 2075538, №2096493, №2101383).

8. Полученные в диссертации результаты используются для подготовки студентов по специальностям 150206 «Машины и технологии высокоэффективных процессов обработки», 151001 «Технология машиностроения», по направлениям подготовки бакалавра 151900 «Конструкторско-технологическое обеспечение машиностроительных производств», 150700 «Машиностроение».

Достоверность полученных результатов обеспечивается сопоставлением теоретических результатов с экспериментальными данными, в том числе с результатами исследований других авторов, а также оценкой погрешности эксперимента статистическими методами и успешной реализацией технологии в производстве, применением отработанных методов и технических средств.

Основные научные положения и результаты, полученные лично автором и выносимые на защиту

1. Новый материал покрытия, полученный методом синтеза системы 77-С-57, основанный на осаждении нанометровых слоев 77 и С-57 из плазмы, генерируемой титановым и графитокремниевым катодами в условии модифицирования поверхности ионным потоком для лопаток компрессора

ГТД, работающих в диапазоне температур от 500 до 700 °С.

!

2. Способ синтеза нового материала покрытия 77-С-57 с субмикрокристаллической структурой, основанный на осаждении нанометровых слоев 77 и С-57 из плазмы, генерируемой титановым и графитокремниевым катодами в условии модифицирования поверхности дополнительной ионной бомбардировкой, позволяющий получать в поверхностном слое лопаток компрессора ГТД сложные карбиды и карбосилициды титана.

3. Способ модифицирования поверхности лопаток компрессора ГТД, включающий очистку и активацию поверхности плазмой повышенной

плотности, создаваемой с помощью системы, реализующей эффект полого катода (ЭПК).

4. Технология нанесения вакуумных ионно-плазменных покрытий с субмикрокристаллической структурой на детали ГТД в условиях плазменного ассистирования.

5. Впервые установлено, что повышение коррозионной и эрозионной стойкости, термической стабильности и предела выносливости многослойных покрытий системы Ti-TiN с СМК структурой определяется синергетическим эффектом уменьшения толщины слоев многослойного покрытия до нанометровых значений и проведением процесса осаждения в условиях модификации поверхности дополнительной ионной бомбардировкой.

Апробация работы. Основные результаты и положения диссертационной работы докладывались и обсуждались на ряде конференций, симпозиумов, семинаров:

Международной НТК "Вакуумная наука и техника" (Москва, 1994); III конференции "Модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" (Томск, 1994); Международной НТК "Отделочно-упрочняющая технология в машиностроении" (Минск, 1994); Международной НТК "Напыление и покрытия-95" (Санкт-Петербург, 1995); 4-й Международной конференции (Харьков, Рыбачье, 1995); 4-й Всероссийской конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" (Томск, 1996); Международной НТК "Проблемы и перспективы развития двигателестроения в поволжском регионе" (Самара, 1997); Межнациональном совещании "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 1998); V международной конференция "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" (Томск, 2002, 2012); Международной конференции «Материаловедение и современные технологии», (Магнитогорск, 2003);

Международной научно-технической конференции «Проблемы и перспективы развития двигателестроения», (Самара, 2003); Международном совещании «Радиационная физика твердого тела», (Севастополь, 2004); XI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника», (Судак, 2004); XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» (Судак, 2005); Харьковской нанотехнологической ассамблеи-2008, (Харьков, 2008); XVI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника», (Судак, 2009); Международном совещании «Проведение научных исследований в области индустрии наносистем и материалов» (Белгород, 2009); XVII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» (Судак, 2010); XVIII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» (Судак, 2011 — 2013); XXI Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология» (Санкт Петербург, 2012); Региональных научно-технических конференциях, Уфа, 1994 - 2012 г.г. В законченном виде диссертация обсуждалась в ФГБОУ ВПО «Уфимский государственный авиационный технический университет», ФГБОУ ВПО «Камская Государственная Инженерно-Экономическая Академия», в Самарском государственном аэрокосмическом университете имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет), в Московском авиационном институте (национальном исследовательском институте).

Публикации. По теме диссертации опубликовано 69 работ в виде научных статей, трудов, материалов, докладов, в том числе 13 публикаций в центральных рецензированных журналах, рекомендованных ВАК, 1 монография, 2 учебных пособия с грифом УМО высших учебных

заведений РФ по образованию в области вакуумной ионно-плазменной технологии. Получены 7 патентов РФ.

Структура и объем работы. Диссертация изложена на 287 страницах машинописного текста, состоит из введения, 7 глав, основных выводов, приложения, содержит 29 таблицы, 120 рисунка и список литературы из 262 наименований.

ГЛАВА 1 АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ

ЛОПАТОК ГТД ОТ АГРЕССИВНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ. ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ ИССЛЕДОВАНИЯ

1.1 Объект исследования. Условия работы лопаток ГТД

В зависимости от особенностей современного самолета, условий его использования к авиадвигателям предъявляются общие технические требования. Такие как, обеспечение необходимой тяги (мощности) при максимально возможном значении тяги (мощности). А также требования к удельной лобовой тяги, когда удельный расход топлива и массы минимально возможный. При этом двигатель обладать следующими показателями: надежностью, ремонтопригодностью, быть высокотехнологичным при эксплуатации и производстве, а также обеспечивать ресурс [93, 127, 134, 208, 227, 246].

Зачастую выполнение вышеперечисленных требований не всегда представляется возможным. Тогда возникает необходимость при проектировании авиадвигателя для конкретного аппарата в принятии компромиссных решении. Так, например, для истребителей-перехватчиков, с небольшой дальностью полета, обладающими скоростными и высотными характеристиками определяющую роль несет удельная масса двигателя. Она может быть снижена за счет повышения температуры газа перед турбиной. Негативным моментом может являться увеличение удельного расхода топлива и снижение ресурса. Поэтому при проектировании двигателя выбирают параметры, максимально удовлетворяющие наиболее важные для летательного аппарата требования [93, 127, 134, 208, 227, 246].

Современные авиационные двигатели должны соответствовать высоким требованиям по надежности, минимальной массе, экономичности и ресурсу. В течение ресурса двигатель должен удовлетворять требованиям безопасности полетов, сохранять заданные эксплуатационные характеристики (тягу, удельный расход топлива и др) [104]. Эти задачи

успешно решаются путем совершенствования конструкции,

улучшения аэродинамических и термодинамических характеристик двигателей, а также благодаря использованию новых, более эффективных материалов, технологий изготовления деталей и узлов, поверхностного упрочнения и нанесения покрытий [28, 91, 93, 127, 184, 212].

Надежность авиационной техники - свойство летательного аппарата в целом и (или) его частей (конструкции, бортового оборудования, двигателей и др.) выполнять заданные функции, сохраняя значения эксплуатационных показателей в установленных пределах, соответствующих режимам и условиям использования, технического обслуживания, ремонта, хранения и транспортировки [151,263].

Надежность, являясь комплексным свойством, в зависимости от назначения и условий применения изделий авиационной техники может включать свойства безотказности, долговечности, ремонтопригодности и сохраняемости в отдельности или при определённом их сочетании. Изделия авиационной техники являются сложными системами, и уровень их надежности зависит от уровня надежности составных частей.

Надежность авиационного газотурбинного двигателя в значительной степени определяется надежностью работы его узлов и агрегатов -компрессоров, турбин, камер сгорания. При этом повышенные требования по прочности и ресурсу предъявляются ко всем высоконагруженным элементам конструкции двигателя: лопаткам компрессора, лопаткам турбины, дискам и др. [151, 263]. Решение проблемы повышения прочности и их ресурса во многом строится на применении новых технологий: как технологий получения изделий, так и защиты поверхности получаемых изделий.

Типичным представителем газотурбинных двигателей является ГТД АЛ-31Ф (рисунок 1.1), устанавливаемый на самолетах семейства «СУ». Двигатель АЛ-31Ф двухконтурный, двухвальный со смешением потоков внутреннего и наружных контуров за турбиной, с общей для двух контуров

форсажной камерой и регулируемым сверхзвуковым всережимным

реактивным соплом.

Рисунок 1.1 - АЛ-31Ф Турбореактивный двухконтурный двигатель с общей

форсажной камерой

Двигатель развивает стендовую тягу 12500 кгс на режиме "полный форсаж" и 7600 кгс - на режиме "максимал". На истребителе Су-27К возможно использование так называемого особого режима работы двигателя (ОР), на котором тяга кратковременно повышается до 12800 - 13000 кгс. Удельный расход топлива на максимальном режиме работы 0.75 кг/(кгс.ч), на форсаже - 1.92 кг/(кгс.ч), минимальный крейсерский удельный расход топлива 0.67 кг/(кгс.ч). Высоконапорный двухкаскадный компрессор обеспечивает 23-кратное сжатие поступающего воздуха при его расходе через двигатель до 110 кг/с и степени двухконтурности около 0.59. Температура газов перед турбиной достигает 1665 К. Габаритная длина двигателя 4950 мм, диаметр входа 905 мм, максимальный диаметр 1180 мм. Сухая масса двигателя 1530 кг, удельный вес двигателя 0.12. Ресурс

двигателя до первого ремонта составляет 1000 ч, назначенный ресурс - 1500 ч.

Учитывая высокую стоимость и длительный срок создания нового двигателя, на первый план выходят задачи увеличения его ресурса, повышения его надежности и возможности на базе существующих моделей двигателей создать их модификации с более высокими эксплуатационными характеристиками.

Безаварийная эксплуатация ГТД, увеличение ресурса и надежности невозможны без современных методов защиты поверхности деталей от агрессивного воздействия. С одной стороны, детали современных газотурбинных двигателей изготавливаются ажурными, тонкостенными и пустотелыми, что обуславливается необходимостью снижения веса, с другой стороны, они работают в условиях высоких и быстроменяющихся температур, агрессивных сред; одновременно материал подвержен воздействию высоких статистических и динамических напряжений, амплитуда и частота которых изменяются в широких пределах. Частая и быстрая смена температур (тепловой удар) приводит к появлению различного рода дефектов (разрушение материала вследствие потери жаропрочности, накопление дефектов структуры и развития трещин усталости, коррозии, термоусталость, разрушение при контактном взаимодействии деталей), в подавляющем большинстве случаев наблюдаемых в тонком приповерхностном слое, и, которые являются первопричиной снижения общей прочности и разрушения деталей в эксплуатации.

Кроме того, долговечность и ресурс работы двигателя зависит от совершенства его конструкции, обеспечивающей надежную работу основных узлов и агрегатов при естественном износе и изменении свойств материалов и покрытий.

В практически любом газотурбинном двигателе все его основные части - компрессор, камера сгорания, турбина и реактивное сопло - представляют

единую цепь с последовательно соединенными звеньями. В этой последовательной цепи при отказе одного из звеньев цепи нарушается работоспособность изделия в целом, а вероятность его безотказной работы определяется как произведение вероятностей безотказной работы всех входящих в состав элементов [93, 127, 184, 227].

Надежность газотурбинных двигателей в значительной степени зависит от надежности работы лопаток компрессора и турбины, поскольку они являются наиболее нагруженными деталями. Лопатки подвергаются действию статистических, динамических и циклических нагрузок. На поверхности хвостовиков лопаток, бандажных и антивибрационных полок создаются высокие контактные напряжения [93, 134].

1.1.1 Условия работы лопаток компрессора ГТД

Компрессор газотурбинного двигателя АЛ-31Ф осевой, двухкаскадный имеет 13 ступеней. В его состав входит четырехступенчатый компрессор низкого давления (КНД) (рисунок 1.2) и девятиступенчатый компрессор высокого давления (КВД) (рисунок 1.3) с тремя регулируемыми направляющими аппаратами (входным и первых двух ступеней). Рабочие лопатки первых трех ступеней КНД имеют антивибрационные полки [16].

Компрессор авиационного двигателя служит для дальнейшего сжатия воздушного потока (накопления потенциальной энергии потока) и подачи его в камеру сгорания с наименьшими потерями давления.

Компрессор должен отвечать следующим функциям:

- обеспечить подачу воздуха в камеру сгорания с наименьшими потерями и равномерным полем скоростей и давлений по сечению камеры сгорания;

- обеспечить заданную степень повышения давления в компрессоре;

- иметь высокий КПД на рабочих режимах (до « 0,86);

Рисунок 1.2 - Компрессор низкого давления

Рисунок 1.3 - Компрессор высокого давления

- обеспечить устойчивую работу на всех режимах работы и полета;

- иметь высокую эксплуатационную надежность и ресурс.

По своему назначению лопатки компрессора (рисунки 1.4, 1.5, 1.6) подразделяются на рабочие лопатки ротора и лопатки статора. Рабочие лопатки ротора компрессора предназначены для изменения энергии потока воздуха. Лопатки статора компрессора служат для изменения направления

потока воздуха и превращения энергии, обусловленной скоростью потока, в энергию его давления.

Рисунок 1.4 - Лопатка ротора компрессора

Лопатки являются самой массовой группой деталей ГТД. Они устанавливаются в роторе и в статоре компрессоров. Их надежность и совершенство в значительной степени определяют газодинамическое совершенство двигателя и его надежность [104]. Они испытывают воздействие нескольких эксплуатационных факторов: высоких нагрузок, вибрации, неравномерного циклического нагрева, коррозии, эрозии; существует опасность повреждения лопаток посторонними предметами.

Список литературы диссертационного исследования кандидат наук Шехтман, Семен Романович, 2015 год

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Абрамов A.C., Виноградов А .Я., Косарев А.И. и др. Исследование ионной бомбардировки пленок аморфного кремния в процессе плазмохимического осаждения в высокочастотном разряде. // Журнал технической физики, 1998, том 68, №2.-С.52-59

2. Абрамов В.Г., Якупов И.М., Мингажев А.Д. Автоматизация проектирования технологических экранов для нанесения конструкционных покрытий // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности. -Уфа: УАИ, 1989. -С.35 - 38.

3. Абраимов Н.В. Высокотемпературные материалы и покрытия для газовых турбин. —М.: Машиностроение, 1993, — 336 с.

4. Авцинов Р.И. Осипов A.B. Панфилов Ю.В. Синтез тонкопленочных покрытий с повышенными прочностными свойствами // Материалы научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» 2009. - С. 145 - 149.

5.Агзамов Р.Д., Будилов В.В., Адашева С.Л. Коррозионные свойства многослойных покрытий композиции Ti-TiN нанесенных методом плазменно-ассистированногр нанесения покрытий // Инновационные проблемы развития машиностроения в Башкортостане: сб. тр. / Научн.-тех. конф. Уфа: Гилем, -2003. - С.242 - 254.

6. Акимов Л.М. Выносливость жаропрочных материалов. -М.: Металлургия,

1,977.-138 с. .........

\

7. Акмалетдинов Р.Г., Гумеров Х.С. Оценка влияния атмосферы на детали проточной части авиационного ГТД. - Уфа.

8.Аксенов И.И., Белоус. В.А., Заднепровский Ю.А. и др., Осаждение «Толстых».металлических,слоев.из плазмы дугового.разряда в вакууме.// Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: -Харьков 2001.- С.226 - 231.

9.Аксенов И.И., Стрельницкий В.Е. Синтез безводородных пленок алмазоподобного углерода//Харьковская ассамблея. 2003 -С.96- 105. Ю.Алексеев Н.И., Дюжев Г. А. Статистическая модель образования фуллеренов на основе квантовохимических расчетов // Журнал технической физики, 2001, т. 71, вып.5, - С.67 - 70.

П.Андриевский P.A., Анисимова И.А, Анисимов В.П. Формирование структуры и микротвердость многослойных дуговых конденсатов на основе нитридов Ti, Zr, Nb и Cr // Физика и химия обработки материалов №2, 1992.-С. 99- 103.

12.Андриевский P.A., Рагуля A.B. Наноструктурные материалы. - М: Издательский центр «Академия», 2005. - 192 с.

13.Анищенко JI.M., Кузнецов С.Е., Лавренюк С.Ю. Эффективность обработки полиимидной пленки в различных зонах тлеющего разряда // Физика и химия обработки материалов, 1985. - № 6. - С. 46 - 47.

14.Анциферов В. Н., Косогор С. П. Многослойные вакуумно-плазменные покрытия на основе карбидов титана и хрома, их структура и свойства //Физика и химия обработки материалов, 1996, №6. -С.61 -65.

15.Анферов М. А. Моделирование и оптимизация технологических процессов в авиадвигателестроении. - Уфа: УАИ, 1990. - 81 с.

16.Артюхов И. В., Кеменов В. Н., Нестеров С. Б. Молекулярная ^анотехнология. Подход Э.Дрекслера / Материалы XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» 2005, -С. 149 - 154.

17.Арцимович Л. А. Элементарная физика плазмы. -М.: Атомиздат, 1969. -191 с.

18.Бабад-Захряпин А. А., Кузнецов Г. Д. Радиационно-стимулируемая химикоттермическая обработка. -М.: Энергоиздат, 1982. - 182 С.

19.Барвинок В. А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990. - 385 с.

20.Бавинок В. А., Богданович В. И. Физические основы и математическое моделирование процессов вакуумного ионно-плазменного напыления. -М.: Машиностроение, 1999. - 309 с.

21.Барченко В. Т., Коваленко В. А. Применение модулей на базе несамостоятельного тлеющего разряда для ионной очистки и модификации поверхности изделий // Тезисы докладов научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника" -Гурзуф, 1995. -С. 23.

22. Беликов А. П., Павлюченко А. О., Одиноков И. В. Исследование упрочняющих твердосмазочных покрытий, формируемых вакуумными методами // Вакуумная наука и техника: Материалы VIII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов. - М.: МГИЭМ.2001. - С.236 - 241.

23.Белый А. В., Карпенко Г. Д., Мышкин Н. К. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. - Москва: Машиностроение, 1991.

24.Береснеев В. М., Толок В. Т., Гриценко В. И. Покрытия на основе тугоплавких соединений, осаждаемых из потоков металлической плазмы вакуумной дуги / Физическая инженерия поверхности. - 2003. Т.1 № 3 - 4. — С. 237-257.

i i

25.Бериш Р. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. -М.: Мир, 1986,-Вып. 11,-501 с.

26.Беграмбеков JI. Б., Вергазов С. В., Вечтамов JI. В. и др. Напыление тонкопленочных покрытий в плазме инициированного газового разряда // Тезисы докладов 4 Всероссийской конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" -Томск, 1996. -С. 474 - 476.

27.Берлин Е. В., Сейдман JI. А. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии - М.: Техносфера, 2010. - 528 с.

28.Боченин В. И., Бурнаков К. К. Неразрушающий контроль покрытий лопаток газовых турбин // Защита металлов, 1996. -Т. 32, № 6. -С. 670 - 672.

29.Бойченко M. К., Бычков Ю. А., Карпухин С. Д. и др. Исследование твердости многослойных тонкопленочных покрытий // Вакуумная наука и техника: Материалы VII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов. - М.: МГИЭМ, 2000.

30.Бойченко М. К., Булыгина Е. В., Быков Ю. А. и др. Исследование твердости сверхтонких пленок // Харьковская научная ассамблея. 2003 -С.144 - 147.

31.Борисов Д. П., Гончаренко И. М., Коваль H. Н. и др. Ионно-плазменное формирование износостойких слоев на поверхности конструкционной стали//Физика и химия обработки материалов, 1997. - №4. - С.40 - 44.

32.Боровский С. М., Гриценко Г., В., Маслов Н. Б. и др. Особенности использования ионно-плазменных покрытий для защиты поверхности деталей // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИ, 1990.-С. 22 - 30..

33.Боровский С. М., Мухин В. С. Пластификация покрытий и подложки как метод повышения эксплуатационных свойств деталей // Проблемы машиностроения и автоматизации. Международный журнал, -1993. -№6, -С.23 - 28.

34.Бородин В. С., Коган Ю. М. Исследование разряда в полом катоде // ЖТФ, 1966.-T. XXXVI, выпЛ.,-С. 181 - 185. .

35.Бородин В. С., Коган Ю. М., Лягущенко Р. Н. Исследование разряда в полом катоде -2 // ЖТФ, 1966. -T. XXXVI, вып. 7. -С. 1198 - 1201.

36.Боченин В. И., Бурнаков К. К. Неразрушающий контроль покрытий лопаток газовых турбин // Защита металлов, 1996. -Т. 32, № 6. -С. 670 - 672.

37.Бугаев С. П., Крейндель Ю. Е., Щанин П. М. Электронные пучки большого сечения. -М.: Энергоатомиздат. - 220 с.

38.Будилов В. В., Иванов В. Ю., Мухин В. С. Интегрированные вакуумные ионно-плазменные технологии обработки ... деталей газотурбинных двигателей. - Уфа, Гилем, 2004. - 216 с.

39.Будилов В. В., Мухин В. С., Минаева О. Б. Математическое моделирование процессов осаждения вакуумных ионно-плазменных покрытий // Изв. вузов. Авиационная техника №1, 1995. - С.92 - 95.

40.Будилов В. В. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Диссертация на соискание доктора технических наук. -Уфа, 1994. - 372 с.

41.Будилов В. В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий // Уфа, УГАТУ, 1993. -77 с.

42.Будилов В. В., Мельников С. А. Основные закономерности формирования шероховатости вакуумных покрытий // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности. Межвуз. науч.сб. - Уфа: УАИ, 1987. -С.42 - 49.

43.Будилов В. В. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Автореф. дис. док. техн. наук. - Уфа, 1994.-44 с.

44.Будилов В. В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий // - Уфа, УГАТУ, 1993. -74 с.

45.Булат>В. Е., Лукашевич Л. Л., Нагайбеков Р. Б. Физические основы и параметры очистки поверхности металлов от окалины действием вакуумной дуги // Тезисы докладов 4 Всероссийской конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" -Томск, 1996.-С. 461 -462.

46.Булатов В. П., Гинзбург Б. М., Козырев Ю. П. и др. Влияние режимов вакуумно-дугового напыления на износостойкость карбидо-титановых покрытий. - Трение и износ. -1994. - 15. -№ 6. -С. 1009.

" I I ' , , 1» I I

47.Бурдовицин В. А. Галинский В. Л., Груздев В. А. и др. Аксиальное распределение параметров плазмы в катодной полости отражательного разряда // ЖТФ, 1992. -Т. 62. -С. 108 - 114.

48.Буров И. В., Лисенков А. А. Современное состояние и перспективы развития технологии вакуумного дугового нанесения износостойких покрытий//Вакуумная техника и технология. 2002, Том 12 №1. - С.55 - 59.

49.Быков Ю. А., Карпухин С. Д., Газукина Е. И. О некоторых особенностях структуры и свойств металлических "тонких" плёнок // Материаловедение и технология обработки материалов. - 2000. - №6. - С.45 - 47.

50.Быковский Ю. А., Неволин В. Н., Фоминский В. Ю. Ионная и лазерная имплантация металлических материалов. -М.: Энергоатомиздат, 1991. -240 с.

51.Бычков С. А., Моляр А. Г., Нечипоренко О. Ю. и др. Многослойные и многокомпонентные ионно-плазменные покрытия // Вакуумныетехнологии и оборудование : Сб. докл. / V Междунар. конфер. Харьков, 23-27 апр. 2002 г. - Харьков, 2002. - С. 283 - 284.

52.Вакуумные дуги. Теория и приложения / Под ред. Дж.Лафферти; Пер. с анг. - М.: Наука, 1982. -302 с.

53.Валиев Р.З., Александров И. В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. -М.: Логос, 2000. — 272 с.

54.Васильев В. Ю., Неволин В. Н., Фоминский В.Ю. Ионная имплантация металлических материалов. -М.:Энергоатомиздат, 1991. - 240 с.

55.Васильев В.Ю., Исаев Н. И., Гусева М.И. // Поверхность: физика, химия, механика. -1986, -№5. - С.13-14.

56.Васильева Г. Г., Крейндель Ю. Е. Эффект полого катода в разряде типа пеннинга низкого давления // ЖТФ, 1969. -Т. XXXIX, вып. 2. - С. 298 г 301.

57.Васильев В.В., Турин И. В.,. Турин В. А. и др. Исследование влияния структурных и электрофизических характеристик материала графитовых катодов на , стабильность вакуумно-дугового разряда // Вакуумные

технологические процессы получения тонких пленок и

покрытий: - Харьков, 2001. - С.111 - 116.

58. Векслер В.И. Вторичная ионная эмиссия металлов. - М.: Наука, 1978. -240 с.

59.Вершина А. К., Бельчин И. А., Пителько A.A. Защитно-декоративные свойства электродуговых вакуумных Ti и TiN - покрытий, осажденных в потоках плазмы // Физика и химия обработки материалов. 1990, Т5. — С.93 -96.

60.Велихов Е. П., Ковалев А. С., Рахимов А. С. Физические явления в газоразрядной плазме. - М.: Атомиздат, 1987. - 312 с.

61. Вендик О. Г., Горин Ю. Н., Попов В. Ф. Корпускулярно-фотонная технология. -М.: Высшая школа, 1984. -340 с.

62.Верещака А. С. Основные аспекты применения и совершенствования режущих инструментов с износостойкими покрытиями // С ТИН №9, 2000. - С. 33 - 40.

63.Ветров Н. 3., Кузнецов В., Лисенков A.A. и др. Влияние капельной фракции на газопоглощающие свойства титанового покрытия, формируемого из плазмы вакуумно-дугового разряда// Вакуумная техника и технология 1999, т. 9, №3, - С.27 - 30.

64.Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий (Обзор зарубежной литературы за 1979-1983 гг.) // Технология легких сплавов. 1984.-№ 10.

65.Воронин Н. А., Семёнов А. П. Вакуумные ионно-плазменные технологии упрочнения поверхностей деталей машин // Сб. «Методы и средства упрочнения поверхностей деталей концентрированными потоками энергий». Москва: Наука, 1991. - 402 с.

<56.Вторичная ионная, масс-спектрометрия // Методические указания по спецкурсу «Электронная микроскопия и микроанализ» - Уфа, 2000. -25 с. 67.Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов, -М.: Атомиздат, 1972. - 356 с....... .

68.Гаврилов H. В., Никулин С. П., Радковский Г. В. Источник интенсивных широких пучков ионов газов на основе разряда с полым катодом в магнитном поле / ПТЭ. 1996. №1. - С. 93 - 98.

69.Галкина М. Е., Гончаров И. ТО., Колпаков А. Я. и др. Отжиг углеродных конденсатов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом // Харьковская научная ассамблея. 2003. -С.233 -235.

70.Гальченко Н. К., Белюк С. И., Панин В. Е. и др. Электронно-лучевая наплавка композиционных покрытий на основе диборида титана // Физика и химия обработки материалов. 2002, №4. - С.68 - 72.

71.Гальченко Н. К., Дампилон Б. В., Белюк С. И. и др. Покрытия на основе азотистой стали с карбонитридным упрочнением, полученные методом электронно-лучевой наплавки // Физика и химия обработки материалов, 2003, №2. - С.61 - 65.

72.Гасилин В. В., Маринин В. Г., Незовибатько Ю.Н. и др. Нанесение покрытий в дуговом разряде с помощью высокочастотных полей // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: - Харьков, 2001.-С. 141 - 144.

73.Гилев В. Г. Синтез нанопористых материалов и мембран на основе карбида кремния в дисперсных реакционных системах // Физика и химия обработки материалов, 2003, №2. — С.79 - 84.

74.Гнесин Г.Г., Фоменко С. Н. Износостойкие покрытия на инструментальных материалах (обзор) // Порошковая металлургия. - 1996. -№9- 10. - С.17 - 26.

75.Гнюсов С. Ф., Иванов Ю. Ф., Ротштейн В. П. Поверхностная и объемная модификация марганцовистой стали сильноточным низкоэнергетическим электронным пучком //Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. -С.16-21.

76.Головин Ю. И. Введение в нанотехнологию. - М.: Издательство машиностроение - 1, 2003. - 112 с.

77.Голант В. Е., Жилинский А. П., Сахаров С. А. Основы физики плазмы. -М.: 1977. - 460 с.

78.Голосков В. В., Кеменов В. Н., Котова Т. В., и др. Некоторые аспекты формирования тонкопленочных покрытий с помощью ионно-плазменных технологий / Материалы XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» 2005. -С. 154 - 155.

79.Голубев В. С., Пашкин С. В. Тлеющий разряд повышенного давления. -М.: Наука, 1990.- 380 с.

80.Грановский В. JI. Электрический ток в газах. Установившийся ток. - М.: Наука, 1971.-544 с.

81.Горелик С. С., Скаков Ю. А., Расторгуев JI. Н. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. -М.: МИСИС, 1994. - 328 с.

82.Гречихин JI. И., Иващенко С. А., Макаревич Е. В. Упругие напряжения в тонкопленочных покрытиях или ионно-плазменном упрочнении алюминиевых сплавов металлическими и интерметаллическими соединениями на основе титана // Физика и химия обработки материалов, 2002. - №4. -С.57 - 62.

83.Григоров А. И., Семенов А. П. Обработка газовых подшипников с применением ионного распыления. -М.: Наука, 1976. - 122 с.

84.Гусев А. И. Нанокристаллические материалы: Методы получения и свойства - Екатеринбург, НИСО УрО РАН, 1998.

85.Гусева М. Б. Ионная стимуляция в процессах образования тонких пленок на поверхности твердого, тела / Статьи Соросовского Образовательного журнала, 1998.

86.Данилин Б.С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. - М.: Энергоатомиздат, 1987. -264 с.

87.Данилин. Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. - М.: Энергоатомиздат, 1989. - 328 с.

<

88.Данилин Б. С. Получение тонкопленочных элементов микросхем. -М.: Энергия, 1977. - 136 с.

89.Данилин Б. С., Сыргин В. К. Магнетронные распылительные системы -М.: Радио и связь, 1982. - 72 с.

90.Достанко А. Г., Грушевский В. С. Плазменная металлизация в вакууме. -Минск: Наука и техника, 1983. - 279 с.

91.Евстигнеев М. И., Подзей А. В., Сулима А. М. Технология производства двигателей летательных аппаратов. -М.: Машиностроение, 1982. -260 С.

92.Елинсон В. М. Ионно-плазменные методы конструирования поверхности на основе пленок углерода //, Харьковская научная ассамблея, 2003. -С.169-188.

93. Елисеев Ю.С., Бойцов А. Г., Крымов В. В. Технология производства авиационных газотурбинных двигателей -М.: Машиностроение, 2003. - 512 с.

94.Ерузин A.A., Афанасьев В.Н., Гавриленко И.Б. и др. Свойства углеродистых полимерных пленок, полученных с помощью дугового разряда на полом катоде // Физика и химия обработки материалов, 2003, №4. — С.28 - 30.

95.Жаропрочные сплавы для газовых турбин / Под ред. P.E. Шалина - М.: Металлургия, 1981. - 480 с.

96.Жаропрочные покрытия для защиты конструкционных материалов. / Труды УП Всесоюзного совещания по жаростойким покрытиям. - Ленинград: Наука, 1977. -310 с.

97.Жерздев C.B., Тамарин Ю. А. Керамические конденсированные покрытия рабочих охлаждаемых, лопаток газотурбинных двигателей // Тезисы докладов международной.научно-технической конференции "Напыление и покрытия -95", Санкт-Петербург, 1995. - С. 35 - 37.

98.Жолткевич Н. Д., Горницкий А. Я., Буденный M. М. и др:, Применение упрочняющих покрытий для повышения износостойкости рабочих

элементов штампов // Кузнечно- штамповочное производство 1998, №11. - С.28 - 30.

99.Захаров A.M. Диаграммы состояния двойных и тройных систем. - М: Металлургия. 1978. - 294 с.

100. Заявка 20935 Англия. Механические свойства пленок нитрида титана. Плазменное осаждение пленок нитрида титана / Мюзил Дж., Вискожид Дж., Баснер Р., Уэллер Ф. Опубл. 1985.

101. Иванченко JI. А., Паскал В. В., Литовченко H.A. и др. Исследование структуры и физико-химических свойств карбонитрида титана переменного состава//Физика и химия обработки материалов, 1992. №4, - С.83 - 87.

102. Иванов М.И., Мубояджян С.А. Исследование процесса очистки поверхности бомбардировкой ионами аргона // Тезисы докладов российского научно-технического семинара "Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин" - М:. МГАТУ, 1995. - С. 34.

103. Инженерия поверхности деталей / Под ред. А.Г. Суслова. - М.: Машиностроение, 2008. - 320 с.

104. Иноземцев A.A., Нихамкин М. А. Сандрацкий В. Л. Основы конструирования авиационных двигателей и энергетических установок: - М.: Машиностроение, 2008. Т.2. - 368 с.

105. Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером. -Екатеринбург: УИФ Наука, 1993. - 144 С.

106. Калашникова М. С., Белова С. А., Мазепина Ю. А. и др. Коррозионная стойкость поверхностных слоев конструкционных сталей после лазерной обработки // физика и химия обработки материалов,

2003, №2. - С.39 - 43.

1 7

107. Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. - М.: Мир, 1967. - 506 с.

108. Капцов Н. А. Электроника. -М.: Гос.изд. технико-теоретической литературы, 1953. - 468 ,с.

109. Карпов Ю.И., Чижмаков М.Б. Особенности формирования покрытий Ti (N,C) на твердосплавных пластинах // Вестник машиностроения. -№ 3. - 1992.

110. Картмазов Г.Н., Поляков Ю.И., Лукирский Ю. В. и др. Исследование кавитационно-эрозионной стойкости толстых покрытий системы (Ti, Сг, Nb)-C, полученных методом атомно-ионного осаждения // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: -Харьков, 2001. - С. 129 - 134.

111. Кипарисов С. С., Левинский Ю. В., Петров А. П. Карбид титана -М.: Металлургия. 1987- -216 с.

112. Кириченко В. Н., Ткаченко В. М., Тютюнник В. Б. Влияние геометрических размеров, материала катода и рода газа на область оптимальных давлений тлеющего разряда с цилиндрическим полым катодом //ЖТФ, 1976. -Т. 46, вып. 9. - С. 1857 - 1867.

113. Клубникин В. С. Напыление и покрытия: особенности развития и достижения // Тезисы докладов международной научно-технической конференции "Напыление и покрытия - 95". - Санкт-Петербург, 1995. -С.З -6.

114. Клярфельд Б. Н., Москалев Б.И. Роль фотоэффекта в эмиссии электронов из катода тлеющего разряда в Кг и Хе // ЖТФ, 1969. -Т. XXXIX, вып. 6. -С. 1066 - 1069.

115. Коваль H. Н. Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом / Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора технических наук. Томск, 2000. -74 с.

116., Ковальский К. А., Петухов К. Ю. Строение и свойства тонких пленок нанокристаллических материалов / Материалы XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» 2005. - С. 137 - 141.

117. Ковальчук Б. М., Назаров Д. С., Новиков А. А. и др. Источник мощных низкоэнергетических электронных пучков // Тезисы докладов III конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" - Томск, ИСЭ СО РАН, 1994. Т. 1. - С. 3 - 5.

118. Ковшов А. И. Технология машиностроения. -М.: Машиностроение, 1987.-320 с.

119. Когновицкий С. О., Нащекин А. В. и др. Композитные фуллереносодержащие наноструктуры C60-CdTe(-CdSe) // Журнал технической физики, 2003, т. 29, вып.11. - С.79 - 85.

120. Ковивчак В. С., Попов Е. В., Михайлов К. А, и др. Модификация AI сплавов мощным ионным пучком при повышенных температурах // Физика и химия обработки материалов, 2004, №1. - С.28 - 30.

121. Колмаков А. Г., Карпов Ю. И., Геминов В.Н. и др. Перераспределение химических элементов в системе подложка — покрытие при формировании покрытий TiN и Ti(N,C) на стали Р6М5 комбинированным ионно-плазменным методом //Физика и химия обработки материалов, 1992.-С. 78 - 82.

122. Коломыцев П. Т. Высокотемпературные защитные покрытия для никелевых сплавов. - М.: Металлургия, 1991. -237 с.

123., Коломыцев П. Т. Газовая коррозия и прочность никелевых сплавов. т-M-i Металлургия, 1984. -215 с.

124. Коломыцев П.Т. Жаростойкие диффузионные покрытия. -М.: Металлургия, 1979. - 271 с.

125. Копылов А. А., Стяжкин В.А., Палеева С.Я.. и др. Свойства титановых лопаток компрессора с имплантированным нитридным покрытием. Физика и химия обработки материалов. 1999. №2. -С.65 - 68.

126. Костиков В.И. Плазменные покрытия. - М.: Металлургия, 1978. - 160 с.

127. Косточкин В. В. Надежность авиационных двигателей и силовых установок. -М.: Машиностроение, 1988. - 272 с.

128. Костржицкий А. И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. - М.: Машиностроение, 1987. - 208 с.

129. Костюк Г. И., Волошко А. Ю., Гулый С. В и др. Исследование влияния стационарного ВЧ-разряда на процесс формирования покрытий, наносимых методом КИБ // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: - Харьков, 2001. - С.239 - 250.

130. Крейндель Ю.Е., Лемешев Н.М., Слосман А. И. Эффект полого катода при азотировании в тлеющем разряде // Электронная обработка материалов, 1990. -вып.6. - С. 38 - 47.

131. Крейндель Ю. Е., Никулин С. П. Тлеющий разряд с полым катодом в режиме частичного заполнения полости плазмой // ЖТФ, 1992. -Т. 62. вып. 4. -С. 89 - 93.

132. Крейндель Ю. Е., Никулин С.П., Шубин О. А. Влияние электронной эмиссии из плазмы на структуру отражательного разряда с полым катодом // ЖТФ, 1990. -Т. 60, вып. 4. - С. 88 - 92.

133. Кривошеев И.А., Струговец С.А., Камаева Р. Ф. Анализ влияния частиц пыли на параметры ступеней осевого компрессора // Вестник Воронежского государственного технического университета. 2011. Том 7. No 7. С. 35т 40.

134. Крымов В. В., Елисеев Ю. С., Зудин К. И. Производство газотурбинных двигателей / Под ред. В.В. Крымова. - М.: Машиностроение, 2002. — 376 с.

135. Кудинов В. В., Бобров Г. В. Нанесение покрытий, напыление теория, технология и оборудование. -М.: Металлургия, 1992. - 432 с.

1:36.' Кудинов В. В. Нанесение покрытий плазмой. -М.: Наука, 1990. - 170 с. 137. Кудинов В. В., Иванов В. М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. -М.: Машиностроение, 1981. -126 с.

138. Кузнецов Н. Д. Перспективные газотурбинные двигатели и проблема коррозии // Проблемы прочности, 1993. - № 8. - С. 78 - 86.

139. Кузьмичев А. И. Импульсные магнетронные распылительные системы // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий:—Харьков. 2001. — С.221 -245.

140. Куляпин В.М., Старцева О. А. Взаимосвязанные процессы в электрическом разряде. - Уфа, УАИ, 1989. - 51 с.

141. Курнат Р. Н. Хаусова С. Г. Структурные изменения и механизмы зарождения термоусталостных трещин в жаропрочных сплавах с покрытиями // Проблемы прочности, 1993. - № 12. - С. 33 - 38.

142. Кучеренко Е. Т. Справочник по физическим основам вакуумной техники. - Киев: Вища школа, 1981. -358 с.

143. Лахтин Ю. М. Металловедение и термическая обработка металлов: Учебник для вузов. - 3-е изд., перераб. и доп. - М.: Металлургия, 1983. - 360 с.

144. Лазарев Э. М., Бецофен С. -Я. Фазовый состав, структура, текстура и остаточные напряжения в покрытиях из нитрида и карбида титана на твердых сплавах и сталях //Физика и химия обработки материалов 1993, №6, -С. 60 -64.

Ц5. Лесников В. П., Кузнецов В. П., Репина О. В. Защитные свойства покрытий Co-Cr-Al-Y // Защита металлов, 1996. -Т. 32, № 5. - С. 473 - 477. 146. Литвинов А. А. Изучение физических основ получения композиционных покрытий в тройной системе Ti-Zr-N // Физика и химия обработки материалов, 2001. №4. — С.76-81.

J47. Ляшенко Б. А., Рутковский А. В., Сорока Е. Б. и др. Свойства TiN покрытия, нанесенного на сталь Х18Н9Т методом КИБ // 6-я Международная конференция «Пленки и покрытия 2001» - С. 173 - 175. 148. Максимович Г. Г., Шатинский В.Ф. Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями. - Киев: Наукова думка, 1983. - 264 с.

149. Малыхин С. В., Першин Ю. П., Пугачев А. Т. и др. Структура многослойных периодических пленочных композиций W/Si, полученных магнетронным распылением // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий:-Харьков 2001.-С.334 - 336.

150. Маринин В.Г., Таран В. С. О влиянии ионно-плазменных покрытий на стойкость изделий из стали // Харьковская научная ассамблея, 2002. -С.314 - 318.

151. Маринин В. Г. Эрозия PVD-покрытий при воздействии кавитации и пароводяного конденсата // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: - Харьков, 2001. — С. 177 - 180.

152. Масленков С. Б., Масленкова Е. А. Стали и сплавы для высоких температур: Справ. Изд. В 2-х кн. Кн.1. - М.: Металлургия, 1991. - 383 с.

153. Мацевитый В. М., Борушко М. С., Береснев В. М. и др. Структура и механические свойства вакуумно-плазменных покрытий TiCN // Известия высших учебных заведений. Черная металлургия. 1984. - № 3.

154. Мелехов В. Д., Романьков С. Е., Волкова Т.В. Влияние температуры и ионного облучения на динамику структурной перестройки сплава Ti-48Al-2Nb при искусственном старении // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. - С.5 -11.

155. Месси Г., Бархоп Е. Электронные и ионные столкновения / Под ред. С. М. Осовец -М.: Мир, 1958. - 604 с.

156. Месяц Г. А. Проскуровский Д. И. Импульсный электрический разряд в вакууме. -М.: 1984. -203 с.

157. Металловедение и термическая обработка стали: Справ. Изд. В 3-х т. / Под ред. Бернштейна M. J1. Т. 1. Методы испытаний и исследования. В 2-х кн. - М., Металлургия, 1991.

158. Мингажев А. Д. Исследование и разработка технологии получения на деталях ГТД конденсированных жаростойких покрытий с дискретным перемещающимся фронтом наращивания: Автореф. дис.канд.техн.наук. -Уфа, 1987.-24 с.

159. Мингажев А. Д., Абрамов В. Г. К анализу процесса осаждения материала при дискретном фронте наращивания // Оптимизация технологических процессов по критериям прочности. -Уфа: УАИ, 1989. - С. 33 -37.

160. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / Под. ред. Дж.М. Паута - М.: Машиностроение, 1987.-424 с.

161. Москалев Б. И. Разряд с полым катодом. -М.: 1969. -180 с.

162. Мубояджян С. А. Ионно-плазменные защитные покрытия для лопаток авиационных ГТД: Автореф. дис. док. техн. наук. -М.1997. - 49 С.

163.. Мухин В. С., Будилов В. В., Сухова Н. А. и др. Исследование фазового состава многослойных покрытий системы Ti-C-Si, синтезированных из плазмы вакуумно-дугового разряда // Труды XIV международного совещания «Радиационная физика твердого тела». - М.: НИИ ПМТ МГИЭМ (ТУ), 2004. -С.615 -619.

164. Мухин В. С., Будилов В. В., Сухова Н. А. и др. Синтез многослойных покрытий на основе композиции титан - углерод в вакууме // Инновационные проблемы развития машиностроения в Башкортостане: Сб.науч.трудов. -Уфа: Гилем, 2Q03. - С. 194 - 209.

165. Мухин В. С. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. - Уфа: УАИ, 1990. - 75 с.

166. Мухин В. С., Смыслов А. М., Боровский С. М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. - М.: Машиностроение, 1995. - 190 с.

167. В. С. Мухин, В .В. Будилов, С. Р. Шехтман Методология создания покрытий с повышенными эксплуатационными свойствами и технология их нанесения на лопатки компрессора ГТД // Вестник УГАТУ. — Уфа: - 2012. -Т. 16., JNf«5 (50). -С. 149-153.

168. Насыров Ш. Г. Особенности создания и использования ионно-плазменных покрытий // М.: Машиностроитель, 1999. №11 - С.54 - 55.

169. Никитин В. И. Коррозия и защита лопаток газовых турбин. -Ленинград: Машиностроение, 1987. - 272 с.

170. Никитин М. М. Технология и оборудование вакуумного напыления. -М.: Металлургия, 1992. - 265 с.

171. Николаев А. Г., Оке Е. М., Юшков Г. Ю. Источник непрерывного ленточного ионного пучка на основе тлеющего разряда с полым катодом // Тезисы докладов III конференции " Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц" - Томск, ИСЭ СО РАН, 1994, Т.2. - С. 17 - 19.

172. Никулин С. П. Характеристики тлеющего разряда низкого давления с цилиндрическим полым катодом при большой протяженности катодного слоя // ЖТФ, 1992. -Т 62, вып. 12. - С. 21 - 27.

173. Нихамкин М.Ш. , Семенова И.В. Вероятностная оценка стойкости лопаток компрессора ГТД к повреждению посторонними предметами -Самара. Вестник СГАТУ, №3 (19), - 2009. С. 93 - 97.

174. Новиков И. И., Строганов Г. Б., Новиков А. И. Металловедение, термообработка и рентгенография. - М.: МИСИС, 1994. - 480 с.

175.,. Оура К., Лифшиц В. Г.? Саранин А. А. и др. Введение в физику поверхности / Под ред. В. И. Сергиенко. -М.: Наука, 2006. - 490 с.

176. Падалко В. Г., Толок В. Т. Методы плазменных технологий высоких энергий // Атомная энергетика, 1978. - Т. 44.,- С. 476 - 478.

177. Палатник Л. С. Структура и свойства конденсированных плёнок.// Сб.: Структура и свойства металлических плёнок. - Киев: Наукова думка, 19,66. -С. 4-9. ,

178. Панфилов Ю. В. Оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме // Харьковская научная ассамблея, 2003. - С.204 - 215.

i t

179. Панфилов IO. В., Беликов А. И., Булыгина Е. В. и др. Методы формирования наноструктур, реализуемые в малогабаритной вакуумной установке модульного типа / Материалы XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» 2005. - С. 141 - 144.

180. Панфилов Ю. В., Осипов А. В., Авцинов Р. И. Синтез тонкопленочных покрытий с повышенными прочностными свойствами //Вакуумная наука и техника: Материалы VIII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов. - М.: МГИЭМ. 2001. - С.145 - 152.

181. Панфилов Ю. В. Наноструктурированные материалы и нанотехнология: современное состояние и тенденции развития / Материалы XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» 2005. - С. 145 - 149.

182. Панфилов Ю.В., Сидорова С. В., Чабанов А. А. и др. Нанотехнологическая вакуумная установка модульного типа для формирования тонкопленочных наноструктур. Материалы XV научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника» - М.: МИЭМ. 2008. - С. 211 - 215.

183. Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов E.H., Мубояджян С.А., Сулима А.М. и др. // Авиационная промышленность. 1992. - № 9. - С. 9 - 12.

184. Петухов А.Н., Селиванов К.С., Смыслов А.Н. Фреттинг и фретинг-усталость высоконагруженных малоподвижных соединений газотурбинных двигателей и энергетических установок - М.: Машиностроение, 2012. - 297 с.

185. Пикула Э. Р. Эрозионный износ проточной части компрессоров

i

авиационных газотурбинных двигателей». Проблемы безопасности полетов. ВИНИТИ, № 6,1990. - С. 46 - 50.

186. Плотников С. В., Ремнев Г. Е., Погребняк А. Д. Массоперенос и структурно-фазовые превращения в многокомпонентных системах при мощном импульсном воздействии // Тезисы докладов III конференции

"Модификация свойств конструкционных материалов

пучками заряженных частиц". - Томск, ИСЭ СО РАН, 1994. -Т.1. - С. 90 -92.

187. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин /Под ред. А.М Сулима, В.А Шулов, ТО.Д. Ягодкин - М.: Машиностроение, 1988. -240 с.

188. Пятыхин JI. И., Падалко В. Г., Купченко В. В. и др. Исследование коррозионных свойств вакуумно-плазменных нитридно-титановых покрытий на сплаве ВТ-8 // Защита металлов. 1988. -T.XXIV. -№6. - С.996 - 998.

189. Райзер Ю. П. Основы современной физики газоразрядных процессов. -М.: Наука, 1980. - 416 с:

190. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. -М.: Высшая школа, 1987. -320 с.

191.' Ремнев Г. Е., Ночовная Н. А., Шулов В. А. и др. Причины формирования микродефектов на поверхности металлов и сплавов при воздействии мощных ионных пучков наносекундной длительности // Тезисы докладов III конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц". - Томск, ИСЭ СО РАН, 1994. -Т1. -С. 79 - 81.: . ..t":b; .....

192.Ремнев \ Г. Е:, Струц В. К., Исаков И. Ф. и др. Упрочнение твердосплавных режущих пластин при воздействии мощных ионных пучков // Тезисы докладов III конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц". - Томск, ИСЭ СО РАН, 1994. -Т1. - С. 87 -. 89.

193. Ройх И. Л., Колтунова Л. Н., Лебединский О. В. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме. - М.: Машиностроение, 1976'.- 350 с. ....., . .

194. Ройх И.Л., Колтунова Л.Н., Федосов С.Н. Нанесение защитных покрытий в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. - 369 с.

195. Рыженков В. А., Крайнов В. К., Нефедкин С. И. и др. Исследование коррозионной стойкости титановых ионно-плазменных покрытий // Харьковская научная ассамблея, 2003. - С.292 - 294.

196. Савинков Н. А. Адгезионные свойства пленок оксида и нитрида титана на поверхности диэлектриков и методика неразрушающего контроля адгезионной прочности // Физика и химия обработки материалов, 2004, №1. - С.58 - 61.

197. Сайдахмедов P. X. Прогнозирование фазового состава и свойств ионно-плазменных покрытий на основе карбидов титана и ниобия //Физика и химия обработки материалов, 2002. - №5, - С.18 - 20.

198. Самойлович М. И. Глобальная технологическая революция или нанотехнологическая инициатива (аналитический обзор) — М.: ОАО ЦНИТИ "Техномаш.

199. Семенов А. П., Батуев Б.-Ш. Ч. К вопросу извлечения ионов из разряда с полым катодом в условиях проникающей плазмы // ЖТФ, 1991. -Т. 61, вып.5. - С. 21 -27.

200. Селиванов К. С.

201. Симе Ч., Хатель В. Жаропрочные сплавы. -М: Металлургия, 1976. -568 с.

202. Синкевич О. А., Стаханов И. П. Физика плазмы. Стационарные процессы в частично ионизованном газе. -М.: Высшая школа, 1991. - 191 с.

203. Синолицин Э. К. Получение прочного сцепления с подложкой при низкоскоростном напылении жидких металлических частиц // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. - С.49 - 52.

204. Смирнов Б. М. Физика слабоионизированного газа в задачах с решениями. -М.: Наука, Гл. ред. физ. мат. лит, 1985. - 424 с.

205. Смирнова Т. П., Бадалян А. М., Яковкина JT. В. и др. Плазмохимическое осаждение пленок карбонитрида кремния из сильных производных несимметричного диметилгидразина // Вакуумные

■ I , ,.

I ( V

технологические процессы получения тонких пленок и

покрытий: - Харьков, 2001. - С.295 - 299.

206. Смыслов А. М. Комбинированные технологии на базе ионно-имплантационного модифицирования поверхности, обеспечивающие повышение ресурса и надежности лопаток компрессора и турбины ГТД: Автореф. дис. док. техн. наук. - Уфа, 1993. - 40 с.

207. Современные технологии в производстве газотурбинных двигателей / Колл. авторов; Под ред. А.Г. Братухина, Г.К. Язова, Б.Е. Карасева. -М.: Машиностроение, 1997.-416 с.

208. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др. -М.: Машиностроение, 1991. - 176 с.

209. Струговец С.А., Кривошеев И.А., Галиулин P.M. и др. Разработка метода параметрической диагностики технического состояния ГТД на основе анализа , эрозии лопаток и закономерности протекания характеристик компрессора - Уфа, Вестник УГАТУ. -2010. - Т. 14. №4 (39). С. 3 - 10.

210. Сулима A.M., Шулов В.А., Ягодкин Ю.Д. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин - М.: Машиностроение, 1988. -241 с.,,

211. Сулима A.M., Ягодкин Ю.Д., Пастухов K.M. и др. Применение пучков заряженных частиц в технологии изготовления и ремонта лопаток турбин // Тезисы докладов российского научно-технического семинара "Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин" - М:. МГАТУ, 1995.,-С. 8.

2,12. Суслов А.Г., Федоров В.П., Горленко O.A. и др. Технологическое обеспечение и повышение эксплуатационных свойств деталей / Под общей ред. А.Г. Суслова. -М.: Машиностроение, 2006.-448 с. 213. Сухова H.A. Анализ методов получения высокотвердых покрытий на, основе, графита и .композиции графит-металл / Сухова H.A.// ( - ]

Технологические проблемы развития машиностроения в

Башкортостане.: Сборник научных трудов. - Уфа, 2001. - С.124 - 134.

214. Сухова Н.А Разработка метода получения высокотвердых композиционных металлографических покрытий //Вестник УГАТУ -Уфа, 2002. -С.211 -214.

215. Сухова H.A. Технология ионно-плазменного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы Ti-C-Si применительно к деталям энергетических установок» Диссертация канд.техн.наук, -Уфа, 2005.

216. Табаков В.П. Применение покрытий на основе карбонитрида титана для повышения стойкости режущего инструмента // Станки и инструменты. -№ 11.-1991.

217. Тамарин Ю.А. Жаростойкие диффузионные покрытия лопаток ГТД. М.: Машиностроение, 1978. -.132 С.

218. Тамарин Ю.А., Качанов Е.Б., Жерздев C.B. Свойства керамических покрытий для турбинных лопаток // Проблемы машиностроения и надежности машин, 1994. -№ 1. -С. 74 - 80.

219. Температуроустойчивые покрытия. Труды 11-го Всесоюзного совещания по жаростойким покрытиям г. Тула. - Ленинград: Наука, 1985. -325 С.

220. Токмань В.В., Проценко И.Е, Чорноус А.Н. Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Со. // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий. -Харьков, 2001.-С. 23 -

26. , , , ^

221. Третьяков, И.П., . Верещака A.C. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. - Москва: Машиностроение, 1986

222. Тушинский Л.П., Плохов A.B. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий. — Новосибирск: Наука, 1986. - 197 с.

. I ' и . ,

223. Углов В.В., Кулешов А.К., Самарцев М.П. и др. Термическая стабильность углеродных композиционных покрытий // Физика и химия обработки материалов №1, 2001. - С.55 - 60.

224. Углов В.В., Приходько Ж.Л., Ходасевич В.В. и др. Влияние состава на механические свойства покрытий (Т1, 2г)К , сформированных методом конденсации с ионной бомбардировкой // Физика и химия обработки материалов, 2003, №5. - С.48 - 52.

225. Файнер Н.И., Румянцев Ю.М., Косинова М.Л. Твердофазные превращения в тонких слоях карбонитрида кремния в процессе высокотемпературного отжига // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: - Харьков 2001.-С.247-251.

226. Файнер Н.И., Румянцев Ю.М., Косинова М.Л. и др. Структура пленок нитрида кремния, полученных плазмохимическим разложением из газовой фазы // Неорганические материалы. 1998, т. 34, № 10, - С. 1250 - 1254.

227. Физико-химические методы обработки в производстве газотурбинных двигателей / Под ред. Б.П. Саушкина. -М.: Дрофа, 2002. - 656 с.

228. Фокин М. Н. Жигалова К. А. Методы коррозионных испытаний металлов. Под ред. Колотыркина Я. М. -М.: Металлургия, 1986. - 80 с.

229. Фольмер М. Кинетика образования новой фазы. - М.: Металлургия, 1986.-430 с.

230. Фукс-Рабинович Г.С. Особенности структуры и свойств комбинированных покрытий для режущего инструмента // Трение и износ. -1994.- 15. -№ 6. - С.994.

231. Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел: Сб.статей 1986-1987 гг. /.Пер. с англ. Сост. Е.С. Машкова . -М.: Мир, 1989. -349 с.

232. Хамчуков Ю.Д., Бобровский В.В., Сычов ИЛО. и др. Свойства углеродных покрытий, синтезированных из импульсных плазменных потоков и обработанных потоками газовых ионов // Физика и химия обработки материалов, 2003, №5. — С.35 - 39.

233. Хирс Д, Паунд Г. Испарение и конденсация. - М.: Металлургия, 1966.-196 с.

234. Ходасевич В.В., Солодухин И.А., Углов В.В. и др. Влияние ионной обработки поверхности подложки на физико-механические свойства осаждаемых покрытий//Вакуумная техника и технология, 1997, №2.-С.З - 6.

235. Чен Ф. Введение в физику плазмы./ Пер. с англ. -М.: Мир, 1987. - 210 С.

236. Чернетский A.B. Введение в физику плазмы. - М.: Атомиздат, 1969. -303 С.

237. Черный О.В., Кривуля С.С., Свинаренко А.П. Сверхпроводящие характеристики многослойного композита Nb-Ti/Ti // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: -Харьков, 2001. - С,183 - 185.

238. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. - М.: Радио и связь, 1987. - 464 с.

239. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем. - М.: Энергия, 1977.-376 с.

240. Шехтман С.Р. Метод ионно-плазменной очистки и осаждения покрытий на детали ГТД с использованием разряда на основе эффекта полого катода. Диссертация канд.техн.наук, Уфа, 1999 г.

241. Ширяев С.А., Атаманов М.В., Гусева М.И. и др. Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой // Журнал технической физики, 2002, том 72, вып.2.-С. 99-104.

242. Шмитт-Томас К.Г. Металловедение для машиностроения //Справочник -М.: «Металлургия», 1995. - 512 с.

243. Шулов В.А. Модификация свойств жаропрочных сплавов непрерывными и импульстными ионными пучками: Автореф. дис. док. техн. наук.-Минск, 1994.-42 с.

244. Шулов В.А., Ночовная H.A., Ремнев Г.Е. и др. Кинетика испарения и абляции при облучении мощными ионными пучками изделий из жаропрочных сплавов с защитными покрытиями // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. - С.22 - 28.

245. Шулов В.А., Ночовная H.A., Ремнев Г.Е. Термодинамические оценки возможностей протекания физико-химических процессов в поверхностных слоях металлов и сплавов при облучении мощными ионными пучками // Тезисы докладов III конференции "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц". - Томск. ИСЭ СО РАН, 1994. -Т.1. -С. 76 -78.

246. Юрьев B.JL, Грибановский В.А., Старочкина C.B. Технологии изготовления лопаток компрессора газотурбинных двигателей -М.: Машиностроение, 2011. - 424 с.

247. Ягодкин Ю.Д. Основы технологических процессов обработки пучками заряженных частиц деталей газовых турбин при их изготовлении и ремонте: Автореф. дис. док. техн. наук. -М.: 1995. - 38 с.

248. Ягодкин Ю.Д., Каблов E.H., Мубояджян С.А. и др. Влияние облучения мощным электронном пучком на состояние поверхностного слоя жаропрочных сплавов // IV Всероссийская конференция "Модификация свойств конструкционных, материалов пучками заряженных частиц" -Томск, 1996.-С. 183 - 185.

249,. Ягодкин Ю.Д. Покрытия и способы их получения // Новости науки и техники. Сер.: Новые материалы, технология их производства и обработки. -М.: 1988,-№6.-С.1-41.

250.. Ajexandrov I.V., Enikeev N.A., Kilmametov A.R. and Valiev R.Z. Microstructure ,and properties of nanocrystals // Intern. Conf. on the,Quntit.

Description of Mater. Microstructure Q-MAT ' 97, Warsaw, April 1997, -p. 173-184.

251. Barthel G. Lichtbogenspritzen fur das Regenerieren von Kurbelwellienteilen // Schweißtechnik, 1990. № 3. -S. 126 - 127.

252. Blume F., Rosert R., Kaziolek M. Verschleißfeste Gestalting von Oberflachen durch Auftragsschweißen // Schweißtechnik, 1988. - № 3. -S. 108 -110.

253. Herbert Christopher G., Johnstone Robert A.W. Mass spectrometry basics. CRC Press, Taylor & Francis Group, LLC, 2003. - 474 c.

254. , Koval N.N. Elion nitriding of steels // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -327 - 329p.

255. Lowrie R., Boone D.H. Composite coatings of CoCrAlY plus platinum // Thin. Solid. Films., 1977. -№ 3. - P 491 - 498.

256. Massel I., Glang R. Handbook of Thin Film Technolology. McCraw Hill Hook Company, 1970. V.2.768 p.

257. Shanbar S. Vacuum Plasma Sprayed Metallic coating // Journal of Metals, 1981.-T. 33, 10,-P. 13-20.

258. Springer R.W.,, Catbett D.S. Structure and mechanical properties of Al / AlxOy.vacuum deposited laminate // Thin. Solid. Films. 1977. -№ 2. - P. 197 -205. , ■

259. Sundgren J.-E., Hentzell T.G. A review of the present state of art in hard coatings growns from,the vapor phase // J. Vac. Sei. and Technol A. - 1968. - V. 4 - N5. — P.2259 - 2279.

260. Valiev R.Z., Alexandrov I.V., Chiou W.A., Mishra R.S. and Mukherjee A.K., Comparative structural studies of nanocrystalline materials processed by different techniques // Mater. Sei. Forum. 1997. Vols. 235 - 238, 497 - 506.

261. Weichlrodt K.-H. Dietzschold D. Brauer A. Einsatz von Auftragsverfahren zur Einzelteillinstandsentzung // Fertigungtechnik und Betrieb. 1988, -№ 10.-S. 591- 594.

262. Zhang K., Alexandrov I.V., Valiev R.Z. and Lu K., The structural characterization of a nanocrystalline Cu by means of the X-ray diffraction // J. Appl. Phys. 1996. -Vol.21, 407 - 416.