Технология ионно-плазменного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы Ti-C-Si применительно к деталям энергетических установок тема диссертации и автореферата по ВАК РФ 05.02.08, кандидат технических наук Сухова, Надежда Александровна

• Сухова, Надежда Александровна
• кандидат технических наук
• 2005

Оглавление диссертации кандидат технических наук Сухова, Надежда Александровна

Введение.

Глава 1. Современные технологии нанесения покрытий на детали энергетических установок.

1.1. Современные методы защиты поверхности деталей энергетических установок.

1.1.1. Эксплуатационные характеристики деталей энергетических установок и применяемые для их изготовления материалы.

1.1.2. Технологические методы защиты поверхностного слоя деталей энергетических установок.

1.2. Особенности влияния фазового состава, структуры и * параметров покрытий на их эксплуатационные характеристики.

1.3. Современные способы нанесения многослойных покрытий в вакууме.

1.4. Постановка задачи исследования.

Глава 2. Методики экспериментальных исследований.

2.1. Объект исследований, механические свойства и химический состав исследуемых материалов и покрытий.

2.2. Принцип работы и краткое описание модернизированной установки ННВ 6.6-И 1.

2.3. Методики исследования свойств вакуумных ионно-плазменных покрытий.

2.3.1. Вторичная ионная масс-спектрометрия (ВИМС).

2.3.2. Методика рентгеноструктурного анализа покрытий.

2.3.3. Методика исследования адгезии вакуумных ионно-плазменных покрытий.

2.3.4. Методика измерения микротвердости.

2.3.5. Методика коррозионных испытаний.

Глава 3. Ионно-плазменное нанесение многослойных покрытий системы Ti-C-Si в условиях дополнительной ионной бомбардировки.

3.1. Моделирование процесса формирования и роста многослойного покрытия системы Ti-C-Si.

3.2. Исследование технологических характеристик графитокремниевого катода.

3.3. Математическая модель процесса осаждения многослойных вакуумного ионно - плазменного покрытий на основе Ti-(C-Si) с двух электродуговых испарителей.

Глава 4. Исследование свойств многослойных покрытий системы TiC-Si.

4.1. Адгезия осаждаемого покрытия.

4.2. Результаты масс-спектрального анализа образцов с многослойными покрытиями системы Ti-C-Si.

4.3. Результаты рентгеноструктурного анализа образцов с многослойными покрытиями системы Ti-C-Si.

4.4. Влияние термической обработки на изменение относительных интенсивностей фаз синтезированного многослойного покрытия Ti-C-Si.

4.5. Результаты исследования микротвердости образцов с ф многослойными покрытиями системы Ti-C-Si.

4.6. Результаты исследования электродного потенциала образцов с многослойными покрытиями системы Ti-C-Si.

4.7. Исследование релаксационной стойкости и термостойкости многослойных покрытий системы Ti-C-Si.

Глава 5. Разработка технологии ионно-плазменного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы 123 Ti-c-Si.

5.1. Разработка технологии ионно-плазменного осаждения многослойных покрытий системы Ti-C-Si в условиях плазменного ассистирования и их последующей 123 термической обработки.

5.2. Разработка технологического процесса осаждения многослойного покрытия системы Ti-C-Si.

Введение диссертации (часть автореферата) на тему «Технология ионно-плазменного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы Ti-C-Si применительно к деталям энергетических установок»

При производстве энергетических установок (авиационных газотурбинных двигателей, газотурбинных установок для перекачки нефти и газа, теплоэнергетических станций) все большее применение находят технологии, способные коренным образом улучшить качественные показатели выпускаемых изделий. К таким технологиям, в частности, относятся вакуумные ионно-плазменные методы обработки, позволяющие создавать на поверхности защитные покрытия, обеспечивающие, как следствие, повышение эксплуатационных свойств деталей.

Применяемые в настоящее время защитные покрытия для целого ряда деталей энергетических установок, работающих в условиях высоких температур, нагрузок и агрессивных сред не в полной мере отвечают необходимому комплексу требований по их защите. В связи с чем, продолжается поиск новых способов и процессов нанесения покрытий в направлении создания многослойных композиций, обладающих более высокими эксплуатационными свойствами по сравнению с монослойными.

Карбиды, силициды и карбосилициды металлов обладают уникальным сочетанием высокой твердости, коррозионной стойкости и термодинамической устойчивости, однако получение таких фаз традиционными методами связано с высокой температурой и продолжительностью процесса их синтеза. При этом технологии получения защитных покрытий из таких композиций отсутствуют.

На основе анализа литературных источников и предварительных исследований было высказано предположение (гипотеза) о том, что если осуществить в вакууме ионно-плазменное последовательное осаждение веществ системы Т^-С-Б! при их одновременной ионной бомбардировке, то возможно получение многослойного покрытия, содержащего такие фазы как карбиды, силициды и карбосилициды титана, а при последующей термической обработке - регулирование его фазового состава.

Актуальность исследований подтверждается тем, что они включены в Государственную научно-техническую программу академии наук Республики Башкортостан. Это проекты: «Композиционные конденсированные ионно-плазменные покрытия для изделий машиностроения», «Исследование физико-химических закономерностей взаимодействия электронных, ионных и плазменных потоков с поверхностью конструкционных материалов, моделирование и разработка проектов электронно-ионно-плазменных технологий», «Многофункциональные ионно-плазменные покрытия для изделий межотраслевого назначения». Исследования выполнялись также по грантам «Ведущие научные школы Российской Федерации» «Исследование и разработка ионно-плазменной технологии создания многофункциональных слоевых покрытий на основе композиции углерод-металл и алюминий -металл» (НШ-294.2003.8) и «Технология ионно-имплантационного модифицирования и ионно-плазменного осаждения покрытий применительно к изделиям новых поколений» (№00-15-99053).

Основные научные результаты, полученные лично автором и выносимые на защиту:

1. Метод и технология ионно-плазменного осаждения многослойных покрытий системы Тл-С-Б! в условиях плазменного ассистирования, содержащих карбиды и карбосилициды титана с использованием в качестве катода - графита, пропитанного кремнием и их термической обработки.

2. Математическая модель ионно-плазменного осаждения многослойных покрытий системы Тл-С-Б! с двух электродуговых испарителей.

3. Закономерности влияния толщины слоев многослойного покрытия системы Тл-С-Б! на свойства поверхностного слоя.

4. Закономерности изменения свойств поверхностного слоя с многослойными покрытиями системы ТьС^ в зависимости от температуры термической обработки.

Научная новизна:

1. Впервые разработан метод получения многослойных ионно-плазменных покрытий системы Т1-С-81, основанный на последовательном осаждении слоев Л и С-81 из плазмы, генерируемой титановым и графито-кремниевым катодами в условиях дополнительной ионной бомбардировки и их последующей термической обработкой.

2. Впервые установлено, что при осаждении покрытий системы Тл-С-^ методом последовательного осаждения слоев в условиях плазменного ассистирования образуются сложные карбиды и карбосилициды титана.

3. Разработана математическая модель процесса осаждения многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий системы Тл-С-81 с двух электродуговых испарителей, учитывающая положение изделий относительно плазменных потоков.

4. Впервые экспериментально установлено повышение микротвердости, коррозионной стойкости и релаксационной стойкости многослойных покрытий системы 14-0-81 с уменьшением толщины отдельных слоев до нанометровых значений (30.200 нм). Показано что, изменяя направленным образом параметры покрытия за счет регулирования процесса осаждения, обеспечивается повышение качества поверхностного слоя.

5. Впервые экспериментально установлен диапазон температур термической обработки деталей с многослойными покрытиями системы ТЧ-С-81, в котором наблюдается повышение микротвердости, коррозионной стойкости и термостойкости, что объясняется увеличением содержания карбидов и карбосилицидов титана в покрытии и сохранением многослойной композиции. Показано, что регулированием температуры термической обработки позволяет управлять качеством поверхностного слоя.

Общая методика исследования: В работе использовались методы оценки циклической термостойкости, релаксационной стойкости, измерения электродного потенциала поверхности.

Фазовый состав поверхности образцов с покрытием исследовался методами рентгеноструктурного анализа (дифрактометр ДРОН-4-07), методом вторичной ионной масс-спектроскопии (Полюс-4). Металлографический анализ проводился на микроскопе «МЕТАУАЬ®», измерение микротвердости производилось на приборе ПМТ-3.

Практическая ценность работы:

1. Разработан способ вакуумного ионно-плазменного нанесения многослойных композитов, содержащих сложные карбиды (Приоритет № 2004121288 от 12.07.2004).

2. Разработана методика аналитического расчета и выбора технологических характеристик процесса осаждения вакуумного ионно-плазменного покрытия системы И-С-Б! в зависимости от его толщины и количества слоев.

3. Разработана технология осаждения и термической обработки вакуумных ионно-плазменных многослойных покрытий системы ТЧ-С-81 применительно к деталям энергетических установок.

4. Разработан и предложен к внедрению технологический процесс нанесения и термической обработки многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий системы Т1-С-81 для защиты лопаток компрессора высокого давления ГТД для ОАО «Уфимское моторостроительное производственное объединение». Результаты исследований внедрены в учебный процесс УГАТУ в виде методических указаний к лабораторным работам по специальности 150206 «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».

Апробация работы: Основные результаты работы докладывались и обсуждались на: Всероссийской молодежной научной конференции «VI Королевские чтения», Самара - 2001; Пятой международной конференция "Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц", Томск - 2002; Международной конференции «Материаловедение и современные технологии», Магнитогорск - 2003; Международной научно-технической конференции «Проблемы и перспективы развития двигателестроения», Самара - 2003; Международном совещании «Радиационная физика твердого тела», Севастополь - 2004; XI научно-техническая конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника», Судак - 2004; Региональных научно-технических конференциях, Уфа - 2000 - 2004 г.г.

Публикации: По теме диссертации опубликовано 18 печатных работ.

Структура и объем работы: Диссертация состоит из введения, 5 глав, основных выводов и приложений, изложена на 152 станицах, содержит 59 рисунков, 17 таблиц, библиографию из 113 наименований и одно приложение.

Заключение диссертации по теме «Технология машиностроения», Сухова, Надежда Александровна

ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ

1. Впервые разработана^ реализована на практике новая технология ионно-плазменного осаждения и термической обработки многослойных покрытий системы ТС-С-Б^ обеспечивающая повышения качества поверхностного слоя деталей энергетических установок.

2. Разработан принципиально новый метод получения многослойных ионно-плазменных покрытий системы Т1-С-81, основанный на последовательном осаждении слоев Т1 и С-Б1 из плазмы, генерируемой титановым и графито-кремниевым катодами и их последующей термической обработкой. Дополнительная бомбардировка ионами аргона конденсированного покрытия позволяет получать многослойные многокомпонентные покрытия системы Т1-С-81 содержащие карбиды и карбосилициды титана.

3. Разработана математическая модель процесса осаждения многослойных вакуумных ионно-плазменных покрытий системы ТЬС-Б! с двух электродуговых испарителей, учитывающая положение изделий относительно плазменных потоков.

4. Установлено, что осаждение Т1, чередующегося с осаждением С и в условиях дополнительной бомбардировки ионами Аг приводит к формированию многослойного покрытия, содержащего титан, углерод, карбиды титана и кремния, силициды титана, карбосилициды. При переходе от многослойного покрытия к многослойному композиту, вследствие взаимодействия между слоями Т1 и С-81 на границе раздела слоев, происходит снижение содержания Т1, С и повышение содержания карбида и карбосилицида титана.

5. Установлено, что с ростом температуры термической обработки происходит снижение содержания Т\, С и повышение содержания карбида и карбосилицида титана в многослойном композите, что обусловлено более активным протеканием межслоевых диффузионных процессов.

6. Установлено, что по сравнению с многослойным покрытием микротвердость многослойного композита выше на 20 - 50 %, электродный потенциал ниже на 20 — 25 %, релаксационная стойкость выше на 30%, что связано с увеличением содержания карбида и карбосилицида титана в многослойном композите.

7. Установлено, что вакуумный отжиг многослойного композита при температуре 200 - 300°С и т = 20 мин. приводит к повышению микротвердости на 20 - 40 %, понижению электродного потенциала поверхности на 30-35 %, повышению релаксационной стойкости на 25 - 30 %. Это объясняется тем, что в процессе термической обработки происходит более активное протекание межслоевых диффузионных процессов, обеспечивающих увеличение содержания карбида и карбосилицида титана в многослойном композите.

8. Разработан и предложен к внедрению в производство типовой технологический процесс нанесения многослойных защитных вакуумных ионно-плазменных покрытий системы ТьС-81 в условиях дополнительной ионной бомбардировки на лопатки компрессора высокого давления ГТД.

Список литературы диссертационного исследования кандидат технических наук Сухова, Надежда Александровна, 2005 год

1. Абрамов A.C., Виноградов А.Я., Косарев А.И. и др. Исследование ионной бомбардировки пленок аморфного кремния в процессе плазмохимического осаждения в высокочастотном разряде. // Журнал технической физики, 1998, том 68, №2.-С.52-59

2. Авраменко Б.А., Бугаев Е.А., Зубарев E.H. и др. Структура слоев кобальта в многослойной композиции Со/С // Харьковская научная ассамблея. 2003 -С.212-217.

3. Аксенов И.И., Белоус В.А., Заднепровский Ю.А. и др., Осаждение «Толстых» Металлических слоев из плазмы дугового разряда в вакууме. // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С.226-231.

4. Аксенов И.И., Стрельницкий В.Е. Синтез безводородных пленок алмазоподобного углерода//Харьковская ассамблея. 2003 -С.96-105.

5. Алексеев Н.И., Дюжев Г.А. Статистическая модель образования фуллеренов на основе квантовохимических расчетов // Журнал технической физики, 2001, т. 71, вып.5, С-67-70

6. Андриевский P.A.,. Анисимова И.А, Анисимов В.П. Формирование структуры и микротвердость многослойных дуговых конденсатов на основе нитридов Ti, Zr, Nb и Cr // Физика и химия обработки материалов №2,1992.-С.99-103.

7. Анциферов В.Н., Косогор С.П. Многослойные вакуумно-плазменные покрытия на основе карбидов титана и хрома, их структура и свойства//Физика и химия обработки материалов, 1996, №6. -С.61-65.

8. Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. -М.: Машиностроение, 1990. 385 с.

9. Белый A.B., Карпенко Г.Д., Мышкин Н.К. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев. — Москва: Машиностроение, 1991.

10. Богданович В.И. Кинетика плазмохимического синтеза нитридных покрытий из ускоренных плазменных потоков // Харьковская научная ассамблея. 2003. -С.301-303.

11. Бойко A.B., Блинков И.В., Полянский A.M. и др. Разработка и нанесение защитного покрытия на материал лопатки соплового аппарата турбины многоразового ракетного жидкостного двигателя // Физика и химия обработки материалов, 2004, №1. С.48-50.

12. Бойченко М.К., Булыгина Е.В., Быков Ю.А. и др. Исследование твердости сверхтонких пленок // Харьковская научная ассамблея. 2003 -С. 144-147.

13. Борисов Д.П., Гончаренко И.М., Коваль H.H. и др. Ионно-плазменное формирование износостойких слоев на поверхности конструкционной стали//Физика и химия обработки материалов, 1997. №4.-С.40-44.

14. Будилов В.В., Иванов В.Ю., Мухин B.C. Интегрированные вакуумные ионно-плазменные технологии обработки деталей газотурбинных двигателей. -Уфа, Гилем, 2004. -216с.

15. Будилов В.В., Мухин B.C., Минаева О.Б. Математическое моделирование процессов осаждения вакуумных ионно-плазменных покрытий // Изв. Вузов. Авиационная техника №1,1995.- С.92-95.

16. Будилов B.B. Обеспечение эксплуатационных свойств деталей ГТД вакуумными ионно-плазменными методами обработки с учетом технологической наследственности. Диссертация на соискание доктора технических наук. -Уфа, 1994. 372 с.

17. Будилов В.В. Технология вакуумного ионно-плазменного нанесения покрытий // УГАТУ, Уфа, 1993. -77 с.

18. Будилов В.В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий // УГАТУ, Уфа, 1993. -74 с.

19. Булатов В.П., Гинзбург Б.М., Козырев Ю.П., Красный В.А., Седаков Е.Б., Кузнецов В.Г. Влияние режимов вакуумно-дугового напыления на износостойкость карбидо-титановых покрытий. Трение и износ. -1994. -15. -№ 6. -С.1009.

20. Буров И.В., Лисенков A.A. Современное состояние и перспективы развития технологии вакуумного дугового нанесения износостойких покрытий //Вакуумная техника и технология. 2002, Том 12 №1. -С.55-59.

21. Бычков С.А., Моляр А.Г., Нечипоренко О.Ю., Семенченко В.П. Многослойные и многокомпонентные ионно-плазменные покрытия

22. Вершина А.К., Бельчин И.А., Пителько A.A. Защитно-декоративные свойства электродуговых вакуумных Ti и TiN-покрытий, осажденных в потоках плазмы // Физика и химия обработки материалов. -1990, -Т5. -С.93-96.

23. Верещак A.C. Основные аспекты применения и совершенствования режущих инструментов с износостойкими покрытиями //СТИН №9, 2000.» С. 33-40

24. Ветров Н.З., Кузнецов В., Лисенков A.A. и др. Влияние капельной фракции на газопоглощающие свойства титанового покрытия, формируемого из плазмы вакуумно-дугового разряда// Вакуумная техника и технология 1999, т. 9, №3, С.27-30.

25. Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий ( Обзор зарубежной литературы за 1979-1983 гг.) // Технология легких сплавов. .-1984.-№ 10

26. Воронин Н. А., Семёнов А. П. Вакуумные ионно-плазменные технологии упрочнения поверхностей деталей машин // Сб. «Методы и средства упрочнения поверхностей деталей концентрированными потоками энергий». Москва: Наука, 1991. -402 с.

27. Вторичная ионная масс-спектрометрия //Методические указания по спецкурсу «Электронная микроскопия и микроанализ». - Уфа, 2000. — 25с.

28. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. -М.: Атомиздат, 1972. -356 с.

29. Галкина М.Е., Гончаров И.Ю., Колпаков А.Я. и др. Отжиг углеродных конденсатов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом // Харьковская научная ассамблея. 2003. -С.233-235.

30. Гальченко Н.К., Белюк С.И., Панин В.Е. и др. Электронно-лучевая наплавка композиционных покрытий на основе диборида титана //Физика и химия обработки материалов. 2002, №4.-С.68-72.

31. Гальченко Н.К., Дампилон Б.В., Белюк С.И. и др. Покрытия на основе азотистой стали с карбонитридным упрочнением, полученные методом электронно-лучевой наплавки // Физика и химия обработки материалов, 2003, №2. С.61-65.

32. Гасилин В.В., Маринин В.Г., Незовибатько Ю.Н. и др. Нанесение покрытий в дуговом разряде с помощью высокочастотных полей // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков, 2001. -С.141-144.

33. Гилев В.Г. Синтез нанопористых материалов и мембран на основе карбида кремния в дисперсных реакционных системах // Физика и химия обработки материалов, 2003, №2. С.79-84.

34. Гнесин Г.Г., Фоменко С.Н. Износостойкие покрытия на инструментальных материалах (обзор) // Порошковая металлургия. 1996. -№9-10.- С. 17-26.

35. Гнюсов С.Ф., Иванов Ю.Ф., Ротштейн В.П. Поверхностная и объемная модификация марганцовистой стали сильноточным низкоэнергетическим электронным пучком // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. С. 16-21.

36. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев J1.H. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. -М.: МИСИС, 1994. -328 с.

37. Гусев А.И. Нанокристаллические материалы: Методы получения и свойства НИСО УрО РАН, Екатеринбург, 1998

38. Елинсон В.М. Ионно-плазменные методы конструирования поверхности на основе пленок углерода//Харьковская научная ассамблея, 2003. — С.169-188.

39. Елисеев Ю.С., Бойцов А.Г., Крымов В.В., Хворостухин Л.А. Технология производства авиационных газотурбинных двигателей / М.: Машиностроение, 2003, -512 с.

40. Ерузин A.A., Афанасьев В.Н., Гавриленко И.Б. и др. Свойства углеродистых полимерных пленок, полученных с помощью дугового разряда на полом катоде // Физика и химия обработки материалов, 2003, №4. С.28-30.

41. Жоу Кесонг, Жанг Ронгуо Исследования и разработка технологии поверхностной обработки металлов в Китае // Физика и химия обработки материалов, 1997. -№ 5. -С. 64 -73.

42. Захаров A.M. Диаграммы состояния двойных и тройных систем. -М: Металлургия. 1978. 294 с.

43. Заявка 20935 Англия. Механические свойства пленок нитрида титана. Плазменное осаждение пленок нитрида титана / Мюзил Дж., Вискожид Дж., Баснер Р., Уэллер Ф. Опубл. 1985.

44. Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров A.A. и др. Получение многослойных пленок с помощью ВЧ магнетронного распыления мишеней VB2 и ZrB2 // Харьковская научная ассамблея. 2003. -С. 114118.

45. Иванченко Л.А., Паскал В.В., Литовченко H.A. и др. Исследование структуры и физико-химических свойств карбонитрида титана переменного состава // Физика и химия обработки материалов, 1992 ,№4, С.83-87

46. Калашникова М.С., Белова С.А., Мазепина Ю.А. и др. Коррозионная стойкость поверхностных слоев конструкционных сталей после лазерной обработки // Физика и химия обработки материалов, 2003, №2. С.39-43.

47. Карпов Ю.И., Чижмаков М.Б. Особенности формирования покрытий Ti (N,C) на твердосплавных пластинах // Вестник машиностроения. № 3. - 1992.

48. Кипарисов С.С. , Левинский Ю.В., Петров А.П. Карбид титана -М.: Металлургия. 1987. -216 с.

49. Коваль H.H. Источники низкотемпературной плазмы и электронных пучков на основе дуговых разрядов низкого давления с полым анодом / Диссертация в виде научного доклада на соискание ученой степени доктора технических наук. Томск, 2000. -74 с.

50. Когновицкий С.О., Нащекин A.B. и др. Композитные фуллереносодержащие наноструктуры C60-CdTe(-CdSe) // Журнал технической физики, 2003, т. 29, вып.11, С.79-85

51. Ковивчак B.C., Попов Е.В., Михайлов К.А. и др. Модификация AI сплавов мощным ионным пучком при повышенных температурах // Физика и химия обработки материалов, 2004, №1. С.28-30.

52. Костржицкий А.И., Лебединский О.В. Многокомпонентные вакуумные покрытия. -М.: Машиностроение, 1987.-208 с.

53. Костюк Г.И., Волошко А.Ю.,.Гулый С.В и др. Исследование влияния стационарного ВЧ-разряда на процесс формирования покрытий, наносимых методом КИБ // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков, 2001.-С.239-250.

54. Кузьмичев А.И. Импульсные магнетронные распылительные системы // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков. 2001.-С.221-245.

55. Лахтин Ю. М. Металловедение и термическая обработка металлов: Учебник для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. -М.: Металлургия, 1983. -360 с.

56. Лазарев Э.М., Бецофен С.Я. Фазовый состав, структура, текстура и остаточные напряжения в покрытиях из нитрида и карбида титана натвердых сплавах и сталях // Физика и химия обработки материалов 1993,№6, С. -60-64 ^

57. Литвинов А. А. Изучение физических основ получения композиционных покрытий в тройной системе Ti-Zr-N //Физика и химия обработки материалов, 2001. №4. -С.76-81.

58. Ляшенко Б.А., Рутковский A.B., Сорока Е.Б. и др. Свойства TiN покрытия, нанесенного на сталь Х18Н9Т методом КИБ //6-я Международная конференция «Пленки и покрытия 2001» С. 173-175.

59. Максимович Г.Г., Шатинский В.Ф. Физико-химические процессы при плазменном напылении и разрушении материалов с покрытиями. -Киев: Наукова думка , 1983. -264 с.

60. Малыхин C.B., Першин Ю.П., Пугачев А.Т. и др. Структура многослойных периодических пленочных композиций W/Si, полученных магнетронным распылением // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С.334-336.

61. Маринин В.Г., Таран B.C. О влиянии ионно-плазменных покрытий на стойкость изделий из стали // Харьковская научная ассамблея, 2002, С.314-318.

62. Маринин В.Г. Эрозия PVD-покрытий при воздействии кавитации и пароводяного конденсата // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С. 177-180.

63. Масленков С.Б., Масленкова Е.А. Стали и сплавы для высоких температур: Справ. Изд. В 2-х кн. Кн.1/-М.: Металлургия, 1991, 383 с.

64. Мацевитый В.М., Борушко М.С., Береснев В.М., Романова Л.М., Удовенко Е.С. Структура и механические свойства вакуумно-плазменных покрытий TiCN // Известия высших учебных заведений. Черная металлургия. -1984.-№ 3.

65. Мелехов В.Д., Романьков С.Е., Волкова Т.В. Влияние температуры и ионного облучения на динамику структурной перестройки сплава Ti48AL-2Nb при искусственном старении // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. С.5-11.

66. Металловедение и термическая обработка стали: Справ. Изд. В 3-х т./ Под ред. Бернштейна M.JT. Т. 1. Методы испытаний и исследования. В 2-х кн. М., Металлургия, 1991.

67. Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками / под. ред. Паута Дж.М. М.: Машиностроение, 1987.-424 с.

68. Мухин B.C. Технологические аспекты прочности деталей ГТД // Оптимизация процессов обработки конструкционных материалов. -Уфа: УАИД990.-75 с.

69. Мухин B.C., Смыслов A.M., Боровский С.М. Модификация поверхности деталей ГТД по условиям эксплуатации. М.: Машиностроение, 1995, -190 с.

70. Мухин B.C., Шустер Л.Ш. Износ инструмента и долговечность из авиационных материалов. -Уфа: Уаи, 1987. -215 с.

71. Насыров Ш.Г. Особенности создания и использования ионно-плазменных покрытий // М.: Машиностроитель, 1999. №11,- С.54-55.

72. Новиков И.И., Строганов Г.Б., Новиков А.И. Металловедение, термообработка и рентгенография. -М.:МИСИС, 1994. -480с.

73. Панфилов Ю.В. Оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме//Харьковская научная ассамблея, 2003.-С.204-215.

74. Панфилов Ю.В., Осипов A.B., Авцинов Р.И. Синтез тонкопленочных покрытий с повышенными прочностными свойствами //Вакуумная наука и техника: Материалы VIII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов.-М.:МГИЭМ.2001.-С.145-152.

75. Пашнев В.К., Опалев O.A., Выровец И.И. и др. Тлеющий разряд для нанесения алмазных покрытий на большие поверхности // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: -Харьков, 2001.-С.61-64.

76. Перспективы применения ионной обработки в авиадвигателестроении / Каблов E.H., Мубояджян С.А., Сулима A.M., Ягодкин Ю.Д. и др.// Авиационная промышленность. -1992. -№ 9. -С. 9-12.

77. Пятыхин Л.И., Падалка В.Г., Купченко В.В. и др. Исследование коррозионных свойств вакуумно-плазменных нитридно-титановых покрытий на сплаве ВТ-8 // Защита металлов. -1988. -T.XXIV. -№6.-С.996-998.

78. Ройх И.Л., Колтунова JI.H., Лебединский О.В. Защитные покрытия, получаемые методом ионного осаждения в вакууме. -М.: Машиностроение, 1976. -350 с.

79. Рыженков В.А., Крайнов В.К., Нефедкин С.И. и др. Исследование коррозионной стойкости титановых ионно-плазменных покрытий // Харьковская научная ассамблея, 2003. -С.292-294.

80. Савинков H.A. Адгезионные свойства пленок оксида и нитрида титана на поверхности диэлектриков и методика неразрушающего контроля адгезионной прочности // Физика и химия обработки материалов, 2004, №1. С.58-61.

81. Сайдахмедов Р.Х. Прогнозирование фазового состава и свойств ионно-плазменных покрытий на основе карбидов титана и ниобия //Физика и химия обработки материалов, 2002.-№5,-С. 18-20.

82. Синолицин Э.К. Получение прочного сцепления с подложкой при низкоскоростном напылении жидких металлических частиц // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. С.49-52.

83. Соболь Е.А., Гладких Л.И., Соболь О.В. и др. Механизм ß-WC—>a-W2C превращения при отжиге пленок карбида вольфрама, полученных магнетронным распылением // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий:-Харьков 2001.-С.330-333.

84. Современные технологии в производстве газотурбинных двигателей / Колл. авторов; Под ред. А.Г. Братухина, Г.К. Язова, Б.Е. Карасева. -М.: Машиностроение, 1997.-416с.

85. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П. и др. -М.: Машиностроение, 1991. -176 с.

86. Сулима A.M., Шулов В.А., Ягодкин Ю.Д. Поверхностный слой и эксплуатационные свойства деталей машин. М.: Машиностроение, 1988.-241с.

87. Сухова H.A. Анализ методов получения высокотвердых покрытий на основе графита и композиции графит-металл / Сухова H.A.// Технологические проблемы развития машиностроения в Башкортостане.: Сборник научных трудов.-Уфа, 2001.-С. 124-134.

88. Сухова Н.А Разработка метода получения высокотвердых композиционных металлографических покрытий. //Вестник УГАТУ -Уфа, 2002-С.211-214.

89. Табаков В.П. Применение покрытий на основе карбонитрида титана для повышения стойкости режущего инструмента // Станки и инструменты-№ 11.-1991.

90. Токмань В.В.,. Проценко И.Е, Чорноус А.Н. Особенности кристаллической структуры и электрических свойств пленочных материалов на основе Ti, Ni и Со. // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий. -Харьков. 2001.-С.23-26

91. Третьяков И.П., Верещака A.C. Режущие инструменты с износостойкими покрытиями. Москва: Машиностроение, 1986

92. Тушинский Л.И.,Плохов A.B. Исследование структуры и физико-механических свойств покрытий. Новосибирск: Наука, 1986. - 197 с.

93. Углов В.В., Кулешов А.К., Самарцев М.П. и др. Термическая стабильность углеродных композиционных покрытий //Физика и химия обработки материалов №1, 2001. С.55-60.

94. Углов В.В., Приходько Ж.Л., Ходасевич В.В. и др. Влияние состава на механические свойства покрытий (Ti, Zr)N , сформированных методом конденсации с ионной бомбардировкой // Физика и химия обработки материалов, 2003, №5. С.48-52.

95. Файнер Н. И., Румянцев Ю.М., Косинова М.Л. Твердофазные превращения в тонких слоях карбонитрида кремния в процессе высокотемпературного отжига // Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков 2001.-С.247-251.

96. Фокин М. Н. Жигалова К. А. Методы коррозионных испытаний металлов. Под ред. Колотыркина Я. М. -Москва: Металлургия, 1986. -80с.

97. Фукс-Рабинович Г.С. Особенности структуры и свойств комбинированных покрытий для режущего инструмента // Трение и износ. -1994. 15. -№ 6. - С.994.

98. Хамчуков Ю.Д., Бобровский В.В., Сычов И.Ю. и др. Свойства углеродных покрытий, синтезированных из импульсных плазменных потоков и обработанных потоками газовых ионов // Физика и химия обработки материалов, 2003, №5. С.35-39.

99. Ходасевич В.В., Солодухин И.А., Углов В.В. и др. Влияние ионной обработки поверхности подложки на физико-механические свойства осаждаемых покрытий //Вакуумная техника и технология, 1997, №2,.-С.3-6.

100. Черный О.В., Кривуля С.С., Свинаренко А.П. Сверхпроводящие характеристики многослойного композита Nb-Ti/Ti// Вакуумные технологические процессы получения тонких пленок и покрытий: Харьков, 2001. -С.183-185.

101. Ширяев С.А., Атаманов М.В., Гусева М.И. и др. Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой // Журнал технической физики, 2002, том 72, вып.2. С. 99-104

102. Шмитт-Томас К.Г. Металловедение для машиностроения //Справочник Москва «Металлургия», 1995. -512 с.

103. ШуловВ.А., Ночовная Н.А., Ремнев Г.Е. и др. Кинетика испарения и абляции при облучении мощными ионными пучками изделий из жаропрочных сплавов с защитными покрытиями // Физика и химия обработки материалов, 2003, №1. С.22-28.

104. Sundgren J.-E., Hentzell T.G. A review of the present state of art in hard coatings growns from the vapor phase // J. Vac. Sci. and Technol A. 1998. -V.4-N5. - P.2259-2279.

105. Koval N.N. Elion nitriding of steels // 5-th International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows. -Tomsk, 2000. -327-329p.